KR20210144442A - Material transfer apparatus - Google Patents

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KR20210144442A
KR20210144442A KR1020200061809A KR20200061809A KR20210144442A KR 20210144442 A KR20210144442 A KR 20210144442A KR 1020200061809 A KR1020200061809 A KR 1020200061809A KR 20200061809 A KR20200061809 A KR 20200061809A KR 20210144442 A KR20210144442 A KR 20210144442A
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traveling
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KR1020200061809A
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이준범
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세메스 주식회사
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Abstract

Disclosed is a material transfer apparatus capable of reducing an error between a moving distance calculated based on an encoder signal of a transport vehicle and a real moving distance. The material transfer apparatus comprises: a running rail extending along a material transfer path; and a transport vehicle movably configured along the running rail. The transport vehicle includes: a forward running module including a front wheel disposed on the running rail, a front motor to rotate the front wheel, and a front encoder to measure number of revolutions of the front motor; a rearward running module including a rear wheel disposed on the running rail, a rear motor to rotate the rear wheel, and a rear encoder to measure number of revolutions of the rear motor; a hoist module connected with lower portions of the forward running module and the rearward running module to transport materials; and a motion controller to control operations of the forward running module and the rearward running module based on a measured signal of the front encoder when a front traction between the front wheel and the running rail is greater than a rear traction between the rear wheel and the running rail and base on a measured signal of the rear encoder when the rear traction is greater than the front traction.

Description

자재 이송 장치{MATERIAL TRANSFER APPARATUS}MATERIAL TRANSFER APPARATUS

본 발명의 실시예들은 자재 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 자재 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device for material conveying. More particularly, it relates to a material transfer apparatus including a transfer vehicle configured to be movable along a traveling rail for material transfer in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device or display device, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, glass substrates, and display panels are transported unmanned such as OHT (Overhead Hoist Transport) device, RGV (Rail Guided Vehicle) device, AGV (Automatic Guided Vehicle), etc. can be transported through the system. In particular, the OHT device may include a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail installed on the ceiling of the clean room.

예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량은 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 전방 및 후방 주행 모듈들과 상기 전방 및 후방 주행 모듈들의 하부에 연결되며 상기 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다.For example, in a clean room for manufacturing a semiconductor device, a traveling rail for material conveying may be installed on a ceiling, and a plurality of conveying vehicles may be movably disposed along the traveling rail. The transport vehicle may include front and rear traveling modules configured to be movable along the traveling rail, and a hoist module connected to lower portions of the front and rear traveling modules for lifting and lowering the material.

또한, 상기 이송 차량은 상기 전방 및 후방 주행 모듈들의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기는 상기 이송 차량의 이동 속도를 제어하기 위하여 상기 전방 및 후방 주행 모듈들에 속도 지령을 제공할 수 있다. 상기 모션 제어기는 상기 이송 차량의 이동 속도와 이동 거리에 기초하여 피드백 방식으로 상기 전방 및 후방 주행 모듈들의 동작을 제어할 수 있다.In addition, the transfer vehicle may include a motion controller for controlling the operation of the front and rear driving modules, and the motion controller commands speed to the front and rear driving modules to control the moving speed of the transfer vehicle. can provide The motion controller may control operations of the front and rear driving modules in a feedback manner based on a moving speed and a moving distance of the transport vehicle.

상기 전방 및 후방 주행 모듈들은 상기 주행 레일 상에 놓여지는 휠들과 상기 휠들을 회전시키기 위한 모터들 및 상기 모터들의 회전수를 측정하기 위한 엔코더들을 포함할 수 있다. 상기 모션 제어기는 상기 엔코더들 중 하나의 측정 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 이동 속도와 이동 거리를 산출할 수 있다. 그러나, 상기 이송 차량의 주행 도중 상기 휠들과 상기 주행 레일 사이에서 슬립 현상 즉 상기 휠들의 미끄러짐이 발생되는 경우 상기 이송 차량의 속도 제어 및 위치 제어에 오류가 발생될 수 있다. 특히, 상기 엔코더의 측정 신호에 기초하여 산출된 이동 거리와 실제 이동 거리 사이에 오차가 발생될 수 있으며 상기 오차를 보정하는 과정에서 진동이 발생될 수 있다. 또한 상기 오차를 보정하기 위한 별도의 센서와 보정 알고리즘이 요구된다.The front and rear driving modules may include wheels placed on the driving rail, motors for rotating the wheels, and encoders for measuring the number of rotations of the motors. The motion controller may calculate a moving speed and a moving distance of the transport vehicle based on a measurement signal of one of the encoders. However, when a slip phenomenon, that is, slip of the wheels, occurs between the wheels and the traveling rail while the transfer vehicle is traveling, errors may occur in speed control and position control of the transfer vehicle. In particular, an error may occur between the moving distance calculated based on the measurement signal of the encoder and the actual moving distance, and vibration may be generated in the process of correcting the error. In addition, a separate sensor and a correction algorithm for correcting the error are required.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0023531호 (공개일자 2019년 03월 08일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0023531 (published on March 08, 2019) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047902호 (공개일자 2019년 05월 09일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0047902 (published on May 09, 2019)

본 발명의 실시예들은 이송 차량의 엔코더 신호에 기초하여 산출된 이동 거리와 실제 이동 거리 사이의 오차를 감소시킬 수 있는 자재 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a material transfer device capable of reducing an error between a movement distance calculated based on an encoder signal of a transfer vehicle and an actual movement distance.

본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치는, 자재 이송 경로를 따라 연장하는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 이송 차량은, 상기 주행 레일 상에 배치되는 전방 휠과 상기 전방 휠을 회전시키기 위한 전방 모터와 상기 전방 모터의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더를 포함하는 전방 주행 모듈과, 상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠과 상기 후방 휠을 회전시키기 위한 후방 모터와 상기 후방 모터의 회전수를 측정하기 위한 후방 엔코더를 포함하는 후방 주행 모듈과, 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 하부에 연결되며 자재 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 전방 휠과 상기 주행 레일 사이의 전방 접지력이 상기 후방 휠과 상기 주행 레일 사이의 후방 접지력보다 큰 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하고, 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 큰 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여, 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 모션 제어기를 포함할 수 있다.The material transfer apparatus according to an embodiment of the present invention may include a travel rail extending along a material transfer path, and a transfer vehicle configured to be movable along the travel rail. Here, the transfer vehicle includes a front wheel disposed on the traveling rail, a front driving module including a front motor for rotating the front wheel, and a front encoder for measuring the number of revolutions of the front motor, and the traveling rail a rear wheel disposed on the rear wheel, a rear motor for rotating the rear wheel, and a rear driving module including a rear encoder for measuring the number of revolutions of the rear motor, and connected to the lower portions of the front driving module and the rear driving module and a hoist module for material transport, and when the front gripping force between the front wheel and the running rail is greater than the rear gripping force between the rear wheel and the running rail, based on the measurement signal of the front encoder, the rear gripping force is the When greater than the front traction force, based on the measurement signal of the rear encoder, a motion controller for controlling the operations of the front driving module and the rear driving module in a feedback manner may be included.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 이송 차량이 가속 주행하는 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하고, 상기 이송 차량이 감속 주행하는 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller provides a speed command based on a measurement signal of the front encoder when the transfer vehicle accelerates, and measures the rear encoder when the transfer vehicle decelerates. A speed command may be provided based on the signal.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자재 이송 경로는 오르막 구간과 내리막 구간을 포함하고, 상기 모션 제어기는, 상기 이송 차량이 상기 오르막 구간에서 상향 이동하는 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하고, 상기 이송 차량이 상기 내리막 구간에서 하향 이동하는 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the material transport path includes an uphill section and a downhill section, and the motion controller, when the transport vehicle moves upward in the uphill section, a speed based on a measurement signal of the front encoder A command may be provided, and when the transport vehicle moves downward in the downhill section, a speed command may be provided based on a measurement signal of the rear encoder.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전방 주행 모듈은 상기 전방 모터에 전류를 인가하기 위한 전방 서보팩을 더 포함하고, 상기 후방 주행 모듈은 상기 후방 모터에 전류를 인가하기 위한 후방 서보팩을 더 포함하며, 상기 모션 제어기는 상기 이송 차량의 속도를 제어하기 위한 속도 지령을 상기 전방 서보팩과 상기 후방 서보팩에 동시에 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the front traveling module further includes a front SERVOPACK for applying a current to the front motor, and the rear traveling module further includes a rear SERVOPACK for applying a current to the rear motor. The motion controller may simultaneously provide a speed command for controlling the speed of the transport vehicle to the front SERVOPACK and the rear SERVOPACK.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 전방 엔코더의 측정 신호와 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 이동 거리를 각각 산출할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller may calculate the movement distances of the front traveling module and the rear traveling module, respectively, based on the measurement signal of the front encoder and the measurement signal of the rear encoder.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 이송 차량이 출발 지점으로부터 출발 후 기 설정된 속도까지 가속 주행하고 이어서 기 설정된 위치까지 상기 기 설정된 속도로 등속 주행하며 상기 기 설정된 위치를 통과한 후 목표 지점까지 감속 주행하도록 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 동작을 제어하고, 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 출발 지점으로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량의 이동 거리를 산출하며, 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 지점까지 상기 이송 차량의 이동 거리를 산출할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller is configured to accelerate the transfer vehicle from a starting point to a preset speed after departure and then travel at a constant speed at the preset speed to a preset position and pass the preset position. After controlling the operation of the front driving module and the rear driving module to drive down to a target point, the moving distance of the transfer vehicle is calculated from the starting point to the preset position based on the measurement signal of the front encoder, The moving distance of the transfer vehicle from the preset position to the target point may be calculated based on the measurement signal of the rear encoder.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 전방 엔코더의 측정 신호와 상기 후방 엔코더의 측정 신호를 선택적으로 수신하기 위한 스위칭 소자를 구비할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller may include a switching element for selectively receiving the measurement signal of the front encoder and the measurement signal of the rear encoder.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 동작은 상기 전방 접지력이 상기 후방 접지력보다 큰 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하고 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 큰 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 피드백 방식으로 제어될 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량의 이동 속도와 이동 거리가 보다 정확하게 산출될 수 있고, 이에 따라 상기 이송 차량의 실제 이동 거리와 산출된 이동 거리 사이의 오차가 감소될 수 있다. 결과적으로, 상기 거리 오차를 보정하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있으며 또한 상기 거리 오차를 보정하는 과정에서 발생될 수 있는 진동이 크게 감소될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the operations of the front driving module and the rear driving module are based on the measurement signal of the front encoder when the front traction force is greater than the rear traction force, and the rear traction force is the front traction force When it is greater than the gripping force, it may be controlled in a feedback manner based on the measurement signal of the rear encoder. As a result, the moving speed and the moving distance of the transfer vehicle can be calculated more accurately, and accordingly, the error between the actual moving distance of the transfer vehicle and the calculated moving distance can be reduced. As a result, the time required for correcting the distance error may be reduced, and vibrations that may be generated in the process of correcting the distance error may be greatly reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전방 주행 모듈과 후방 주행 모듈을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의한 전방 모터와 후방 모터의 제어 방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 차량이 가속 주행하는 경우 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 이송 차량이 감속 주행하는 경우 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 6은 오르막 구간을 갖는 자재 이송 경로에서 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 7은 내리막 구간을 갖는 자재 이송 경로에서 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.1 is a schematic side view for explaining a material transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating the front traveling module and the rear traveling module shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a block diagram illustrating a method of controlling a front motor and a rear motor by the motion controller shown in FIG. 1 .
FIG. 4 is a schematic side view for explaining speed control of the transfer vehicle when the transfer vehicle shown in FIG. 1 accelerates; FIG.
FIG. 5 is a schematic side view for explaining speed control of the transfer vehicle when the transfer vehicle shown in FIG. 1 travels in deceleration.
6 is a schematic side view for explaining speed control of a transfer vehicle in a material transfer path having an uphill section.
7 is a schematic side view illustrating speed control of a transfer vehicle in a material transfer path having a downhill section.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전방 주행 모듈과 후방 주행 모듈을 설명하기 위한 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의한 전방 모터와 후방 모터의 제어 방법을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a schematic side view for explaining a material transport device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view for explaining the front traveling module and the rear traveling module shown in FIG. 1, FIG. 3 is FIG. It is a block diagram for explaining a method of controlling a front motor and a rear motor by the motion controller shown in FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 자재 이송 장치(100)는 복수의 웨이퍼들이 수납된 용기(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)의 이송을 위해 사용될 수 있다.1 to 3 , a material transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used for transferring a material 10 in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device. As an example, the material transfer apparatus 100 may be used to transfer a container 10 in which a plurality of wafers are accommodated, for example, a Front Opening Unified Pod (FOUP).

상기 자재 이송 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸과 같은 건물의 천장 부위에 장착된 주행 레일(102)을 포함할 수 있다. 상기 주행 레일(102)은 기 설정된 자재 이송 경로를 따라 연장할 수 있으며, 상기 주행 레일(102) 상에는 상기 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량(110)이 배치될 수 있다.The material transport apparatus 100 may include a traveling rail 102 mounted on a ceiling portion of a building such as a clean room in which a semiconductor device or a display device manufacturing process is performed. The traveling rail 102 may extend along a preset material conveying path, and a conveying vehicle 110 configured to be movable along the traveling rail 102 may be disposed on the traveling rail 102 .

상기 이송 차량(110)은 상기 주행 레일(102) 상에 배치되는 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130), 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 하부에 연결되며 상기 자재(10)의 이송을 위해 상기 자재(10)를 승강시키는 호이스트 모듈(140)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 클린룸의 천장 부위에는 상기 주행 레일(102)을 고정시키기 위한 레이스웨이 구조물이 장착될 수 있으며, 상기 레이스웨이 구조물에 한 쌍의 주행 레일들(102)이 상기 자재 이송 경로를 따라 평행하게 장착될 수 있다. 상기 호이스트 모듈(140)은 한 쌍의 연결축들에 의해 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 하부에 연결될 수 있으며, 상기 자재(10)를 파지하기 위한 그리퍼를 구비하는 핸드 유닛(142)과, 승강 벨트들을 이용하여 상기 핸드 유닛(142)을 승강시키기 위한 승강 유닛(144)을 포함할 수 있다.The transfer vehicle 110 is connected to the lower portions of the front traveling module 120 and the rear traveling module 130, the front traveling module 120 and the rear traveling module 130 disposed on the traveling rail 102, It may include a hoist module 140 for elevating the material 10 for the transfer of the material (10). For example, a raceway structure for fixing the traveling rail 102 may be mounted on the ceiling portion of the clean room, and a pair of traveling rails 102 traverse the material transport path in the raceway structure. They can be mounted parallel to each other. The hoist module 140 may be connected to the lower portions of the front traveling module 120 and the rear traveling module 130 by a pair of connecting shafts, and a hand having a gripper for gripping the material 10 . It may include a unit 142 and an elevating unit 144 for elevating the hand unit 142 using elevating belts.

상기 전방 주행 모듈(120)은 상기 주행 레일들(102) 상에 배치되는 한 쌍의 전방 휠들(122)과 상기 전방 휠들(122)을 회전시키기 위한 전방 모터(124)와 상기 전방 모터(124)의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더(126)를 포함할 수 있다. 상기 후방 주행 모듈(130)은 상기 주행 레일들(102) 상에 배치되는 한 쌍의 후방 휠들(132)과 상기 후방 휠들(132)을 회전시키기 위한 후방 모터(134)와 상기 후방 모터(134)의 회전수를 측정하기 위한 후방 엔코더(136)를 포함할 수 있다.The front driving module 120 includes a pair of front wheels 122 disposed on the driving rails 102 , and a front motor 124 for rotating the front wheels 122 and the front motor 124 . It may include a front encoder 126 for measuring the number of rotations. The rear driving module 130 includes a pair of rear wheels 132 disposed on the driving rails 102 and a rear motor 134 for rotating the rear wheels 132 and the rear motor 134 . It may include a rear encoder 136 for measuring the number of revolutions.

또한, 상기 이송 차량(110)은 속도 제어 및 위치 제어를 위해 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 속도 지령을 제공하는 모션 제어기(150)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 전방 주행 모듈(120)은 상기 전방 모터(124)에 구동 전류를 인가하기 위한 전방 서보팩(128)을 포함할 수 있고, 상기 후방 주행 모듈(130)은 상기 후방 모터(134)에 구동 전류를 인가하기 위한 후방 서보팩(138)을 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 서보팩(128)과 후방 서보팩(138)에 속도 지령을 동시에 제공할 수 있다.In addition, the transport vehicle 110 may include a motion controller 150 that provides a speed command to the front traveling module 120 and the rear traveling module 130 for speed control and position control. As an example, the front driving module 120 may include a front servo pack 128 for applying a driving current to the front motor 124 , and the rear driving module 130 may include the rear motor 134 . ) may include a rear SERVOPACK 138 for applying a driving current, and the motion controller 150 may simultaneously provide a speed command to the front SERVOPACK 128 and the rear SERVOPACK 138 . .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 휠들(122)과 상기 주행 레일들(102) 사이의 전방 접지력과 상기 후방 휠들(132)과 상기 주행 레일들(102) 사이의 후방 접지력에 따라 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호와 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호를 선택적으로 사용할 수 있다. 구체적으로, 상기 전방 접지력이 상기 후방 접지력보다 큰 경우 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있으며, 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 큰 경우 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller 150 is configured to provide a front traction force between the front wheels 122 and the running rails 102 and the rear wheels 132 and the running rails 102 . The measurement signal of the front encoder 126 and the measurement signal of the rear encoder 136 may be selectively used according to the rear traction force of the . Specifically, when the front traction force is greater than the rear traction force, the motion controller 150 controls the operations of the front driving module 120 and the rear driving module 130 in a feedback manner based on the measurement signal of the front encoder. When the rear traction force is greater than the front traction force, the motion controller 150 controls the operation of the front driving module 120 and the rear driving module 130 based on the measurement signal of the rear encoder 136 . Feedback can be controlled.

도 4는 도 1에 도시된 이송 차량이 가속 주행하는 경우 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 5는 도 1에 도시된 이송 차량이 감속 주행하는 경우 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.4 is a schematic side view for explaining the speed control of the transport vehicle when the transport vehicle shown in FIG. 1 accelerates driving, and FIG. 5 is a speed control of the transport vehicle when the transport vehicle shown in FIG. 1 decelerates. It is a schematic side view for explanation.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 이송 차량(110)이 가속 주행하는 경우, 예를 들면, 상기 이송 차량(110)이 출발 지점으로부터 출발한 후 기 설정된 속도까지 가속하는 경우 관성에 의해 상기 후방 휠들(132)과 비교하여 상기 전방 휠들(122)에 더 큰 하중이 인가될 수 있으므로 상기 전방 접지력이 상기 후방 접지력보다 클 수 있다. 이 경우, 상기 후방 휠들(132)과 상기 주행 레일들(102) 사이의 경우보다 상기 전방 휠들(122)과 상기 주행 레일들(102) 사이에서의 슬립 현상이 작을 수 있으며, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 속도 지령을 제공할 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량(110)이 가속하는 동안 상기 이송 차량(110)의 속도 제어가 보다 정확하게 수행될 수 있으며 또한 상기 이송 차량(110)의 이동 거리가 보다 정확하게 산출될 수 있다.4 and 5 , when the transfer vehicle 110 accelerates, for example, when the transfer vehicle 110 starts from a starting point and accelerates to a preset speed, the rearward due to inertia Since a greater load may be applied to the front wheels 122 compared to the wheels 132 , the front grip force may be greater than the rear grip force. In this case, the slip phenomenon between the front wheels 122 and the traveling rails 102 may be smaller than the case between the rear wheels 132 and the traveling rails 102 , and the motion controller 150 may ) may provide a speed command to the front traveling module 120 and the rear traveling module 130 based on the measurement signal of the front encoder 126 . As a result, while the transfer vehicle 110 is accelerating, speed control of the transfer vehicle 110 can be performed more accurately, and the moving distance of the transfer vehicle 110 can be calculated more accurately.

또한, 상기 이송 차량(110)이 감속 주행하는 경우, 예를 들면, 상기 이송 차량(110)이 목표 지점에서 정지하기 위해 감속하는 경우 관성에 의해 상기 전방 휠들(122)과 비교하여 상기 후방 휠들(132)에 더 큰 하중이 인가될 수 있으므로 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 클 수 있다. 이 경우, 상기 전방 휠들(122)과 상기 주행 레일들(102) 사이의 경우보다 상기 후방 휠들(132)과 상기 주행 레일들(102) 사이에서의 슬립 현상이 작을 수 있으며, 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 속도 지령을 제공할 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량(110)이 감속하는 동안 상기 이송 차량(110)의 속도 제어가 보다 정확하게 수행될 수 있으며 또한 상기 이송 차량(110)의 이동 거리가 보다 정확하게 산출될 수 있다.In addition, when the transfer vehicle 110 decelerates, for example, when the transfer vehicle 110 decelerates to stop at a target point, compared with the front wheels 122 by inertia, the rear wheels ( 132), since a larger load may be applied, the rear traction force may be greater than the front traction force. In this case, the slip phenomenon between the rear wheels 132 and the traveling rails 102 may be smaller than the case between the front wheels 122 and the traveling rails 102 , and the motion controller 150 may ) may provide a speed command to the front traveling module 120 and the rear traveling module 130 based on the measurement signal of the rear encoder 136 . As a result, while the transfer vehicle 110 is decelerating, speed control of the transfer vehicle 110 can be performed more accurately, and the moving distance of the transfer vehicle 110 can be calculated more accurately.

한편, 상기 모션 제어기(150)는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어기로부터 상기 자재 이송 경로를 포함하는 맵(Map) 데이터를 수신할 수 있으며, 상기 맵 데이터에 기초하여 상기 이송 차량(110)이 출발 지점으로부터 출발하여 목표 지점에 도착하도록 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 제어할 수 있다. 또한, 상기 이송 차량(110)이 상기 출발 지점으로부터 상기 목표 지점을 향하여 이동하는 동안 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호와 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 상기 후방 이송 모듈(130)의 이동 속도와 이동 거리를 각각 산출할 수 있다.Meanwhile, the motion controller 150 may receive map data including the material transport path from a higher-level controller such as an OHT Control Server (OCS) device, and based on the map data, the transport vehicle 110 ) may control the operations of the front driving module 120 and the rear driving module 130 to arrive at the target point from the starting point. In addition, while the transfer vehicle 110 is moving from the starting point toward the target point, the motion controller 150 is based on the measurement signal of the front encoder 126 and the measurement signal of the rear encoder 136 . The moving speed and moving distance of the front traveling module 120 and the rear conveying module 130 may be calculated, respectively.

특히, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 출발 지점으로부터 출발 후 기 설정된 속도까지 가속 주행하도록 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 가속 주행을 위한 속도 지령을 제공할 수 있으며, 아울러 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.In particular, the motion controller 150 commands the forward driving module 120 and the rear driving module 130 to accelerate driving so that the transfer vehicle 110 accelerates to a preset speed after departure from the starting point. may be provided, and the operations of the front driving module 120 and the rear driving module 130 may be controlled in a feedback manner based on the measurement signal of the front encoder 126 .

상기 이송 차량(110)은 상기 기 설정된 속도에 도달된 후 기 설정된 위치까지 상기 기 설정된 속도로 등속 주행할 수 있으며, 이를 위해 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 등속 주행을 위한 속도 지령을 제공할 수 있다. 이때, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 그러나, 상기 이송 차량(110)이 등속 주행하는 경우 상기 전방 접지력과 후방 접지력이 동일 또는 유사할 수 있으므로 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 제어할 수도 있다. 다만, 상기 이송 차량(110)이 가속 상태에서 등속 상태로 변경되더라도 상기 모션 제어기(150)로 수신되는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호를 그대로 유지하는 것이 제어 관점에서 보다 바람직할 수 있다.After reaching the preset speed, the transport vehicle 110 may travel at the preset speed at the preset speed to a preset position, and for this purpose, the motion controller 150 includes the front driving module 120 and the rear driving module A speed command for constant speed driving may be provided to 130 . In this case, the motion controller 150 may control the operations of the front driving module 120 and the rear driving module 130 in a feedback manner based on the measurement signal of the front encoder 126 . However, since the front traction force and the rear traction force may be the same or similar when the transfer vehicle 110 travels at a constant speed, the motion controller 150 controls the front driving module ( The operation of the 120 ) and the rear driving module 130 may be feedback-controlled. However, even if the transfer vehicle 110 is changed from an acceleration state to a constant velocity state, it may be more preferable from a control point of view to maintain the measurement signal of the front encoder 126 received by the motion controller 150 as it is.

상기 이송 차량(110)은 상기 기 설정된 위치를 통과한 후 상기 목표 지점에서 정지하도록 감속 주행할 수 있으며, 이를 위해 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 감속 주행을 위한 속도 지령을 제공할 수 있다. 이때, 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.After passing through the preset position, the transport vehicle 110 may decelerate to stop at the target point. For this purpose, the motion controller 150 includes the front driving module 120 and the rear driving module 130 . It is possible to provide a speed command for decelerating driving. In this case, the motion controller 150 may control the front driving module 120 and the rear driving module 130 in a feedback manner based on the measurement signal of the rear encoder 136 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호와 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호를 선택적으로 수신하기 위한 스위칭 소자(152)를 구비할 수 있다. 상기 스위칭 소자(152)의 동작은 상기 모션 제어기(150)에 의해 제어될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller 150 is a switching element for selectively receiving the measurement signal of the front encoder 126 and the measurement signal of the rear encoder 136 as shown in FIG. (152) may be provided. The operation of the switching element 152 may be controlled by the motion controller 150 .

예를 들면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 출발 지점으로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량(110)의 이동 속도와 이동 거리를 산출할 수 있으며, 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 지점까지 상기 이송 차량(110)의 이동 속도와 이동 거리를 산출할 수 있다. 특히, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치에 도달된 후 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호를 수신하기 위해 상기 스위칭 소자(152)를 동작시킬 수 있다.For example, the motion controller 150 may calculate the moving speed and the moving distance of the transfer vehicle 110 from the starting point to the preset position based on the measurement signal of the front encoder 126, The moving speed and moving distance of the transfer vehicle 110 from the preset position to the target point may be calculated based on the measurement signal of the rear encoder 136 . In particular, the motion controller 150 may operate the switching element 152 to receive the measurement signal of the rear encoder 136 after the transfer vehicle 110 reaches the preset position.

또한, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 속도로 가속되도록 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 산출된 이동 속도를 오차 신호로 사용하는 피드백 제어를 수행할 수 있으며, 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치에 도달되도록 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 산출된 이동 거리를 오차 신호로 사용하는 피드백 제어를 수행할 수 있다. 이어서, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 목표 지점에 도달되도록 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 산출된 이동 거리를 오차 신호로 사용하는 피드백 제어를 수행할 수 있다.In addition, the motion controller 150 performs feedback control using the moving speed calculated based on the measurement signal of the front encoder 126 as an error signal so that the transfer vehicle 110 is accelerated to the preset speed. Also, feedback control may be performed using the movement distance calculated based on the measurement signal of the front encoder 126 as an error signal so that the transfer vehicle 110 arrives at the preset position. Then, the motion controller 150 may perform feedback control using the movement distance calculated based on the measurement signal of the rear encoder 136 as an error signal so that the transfer vehicle 110 reaches the target point. have.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 출발 지점으로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량(110)의 이동 거리를 산출하고, 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 지점까지 상기 이송 차량(110)의 이동 거리를 산출할 수 있으며, 상기 이동 거리들을 합산하여 상기 이송 차량(110)의 전체 이동 거리를 산출할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller 150 calculates the moving distance of the transfer vehicle 110 from the starting point to the preset position based on the measurement signal of the front encoder 126, The movement distance of the transfer vehicle 110 from the preset position to the target point may be calculated based on the measurement signal of the rear encoder 136 , and the total movement distance of the transfer vehicle 110 may be calculated by summing the movement distances. The distance traveled can be calculated.

상기 이송 차량(110)이 상기 전방 엔코더(126)와 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 목표 지점에 도착한 경우 상기 이송 차량(110)의 현재 위치와 실제 목표 위치 사이에는 오차가 발생될 수 있다. 즉, 상기 전방 엔코더(126)와 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량(110)의 이동 거리와 상기 이송 차량(110)의 실제 이동 거리가 다를 수 있으며, 이 경우 상기 이송 차량(110)의 위치 보정 단계가 수행될 수 있다. 일 예로서, 상기 목표 지점에는 상기 이송 차량(110)의 위치 보정을 위한 도그, 예를 들면, 반사판이 설치될 수 있으며, 상기 이송 차량(110)에는 상기 도그를 검출하기 위한 센서, 예를 들면, 상기 반사판을 검출하기 위한 광 센서가 설치될 수 있다. 상기 이송 차량(110)은 상기 센서에 의해 상기 도그가 검출되는 위치까지 이동될 수 있으며, 이를 위하여 상기 모션 제어기(150)는 상기 센서의 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 제어할 수 있다.When the transfer vehicle 110 arrives at the target point based on the measurement signals of the front encoder 126 and the rear encoder 136, an error may occur between the current position of the transfer vehicle 110 and the actual target position. can That is, the moving distance of the transport vehicle 110 calculated based on the measurement signals of the front encoder 126 and the rear encoder 136 may be different from the actual moving distance of the transport vehicle 110 , in this case, the A position correction step of the transfer vehicle 110 may be performed. As an example, a dog for correcting the position of the transport vehicle 110 may be installed at the target point, for example, a reflector, and a sensor for detecting the dog, for example, on the transport vehicle 110 , an optical sensor for detecting the reflector may be installed. The transport vehicle 110 may be moved to a position where the dog is detected by the sensor, and for this, the motion controller 150 is configured to use the front driving module 120 and the rear driving module based on the signal of the sensor. The operation of 130 can be controlled.

한편, 상기와 같이 상기 전방 접지력과 후방 접지력에 기초하여 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호와 후방 엔코더(136)의 측정 신호를 선택적으로 사용함으로써 상기 모션 제어기(150)에 의해 산출된 이동 거리와 실제 이동 거리 사이의 오차가 크게 감소될 수 있으며 이에 따라 상기 이송 차량(110)의 위치 보정에 소요되는 시간이 크게 감소될 수 있다. 또한, 상기 산출된 이동 거리와 실제 이동 거리 사이의 오차가 감소됨에 따라 상기 이송 차량(110)의 위치 보정 거리가 단축될 수 있고 아울러 상기 오차를 보정하는 과정에서 발생되는 진동이 크게 감소될 수 있다.On the other hand, the movement distance calculated by the motion controller 150 by selectively using the measurement signal of the front encoder 126 and the measurement signal of the rear encoder 136 based on the front grip force and the rear grip force as described above and The error between the actual moving distances may be greatly reduced, and accordingly, the time required for correcting the position of the transport vehicle 110 may be greatly reduced. In addition, as the error between the calculated moving distance and the actual moving distance is reduced, the position correction distance of the transport vehicle 110 may be shortened, and vibration generated in the process of correcting the error may be greatly reduced. .

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 자재 이송 경로는 오르막 구간과 내리막 구간을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 클린룸 내에 복층으로 구성되는 주행 레일들이 배치되는 경우, 상기 이송 차량(110)의 자재 이송 경로는 하층의 주행 레일로부터 상층의 주행 레일을 연결하는 오르막 구간 또는 상층의 주행 레일로부터 하층의 주행 레일을 연결하는 내리막 구간을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the material transport path may include an uphill section and a downhill section. For example, when running rails composed of multiple layers are disposed in the clean room, the material transport path of the transport vehicle 110 is an uphill section connecting the driving rail of the upper floor from the running rail of the lower floor or the running rail of the upper floor It may include a downhill section connecting the running rails of the lower floor.

도 6은 오르막 구간을 갖는 자재 이송 경로에서 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 7은 내리막 구간을 갖는 자재 이송 경로에서 이송 차량의 속도 제어를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.6 is a schematic side view for explaining the speed control of the transfer vehicle in the material transfer path having an uphill section, and FIG. 7 is a schematic side view for explaining the speed control of the transfer vehicle in the material transfer path having a downhill section.

도 6을 참조하면, 상기 이송 차량(110)이 오르막 구간에서 상향 이동하는 경우 상기 이송 차량(110)의 자중에 의해 상기 전방 휠들(122)에 하중이 증가될 수 있고, 이에 따라 상기 전방 접지력이 상기 후방 접지력보다 커질 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 오르막 구간에서 기 설정된 속도로 상향 이동하도록 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 속도 지령을 제공할 수 있으며, 특히 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 제어할 수 있다.Referring to FIG. 6 , when the transfer vehicle 110 moves upward in an uphill section, the load on the front wheels 122 may be increased by the weight of the transfer vehicle 110 , and accordingly, the front traction It may be greater than the rear traction force. According to another embodiment of the present invention, the motion controller 150 provides the speed to the front driving module 120 and the rear driving module 130 so that the transfer vehicle 110 moves upward at a preset speed in the uphill section. A command may be provided, and in particular, operations of the front driving module 120 and the rear driving module 130 may be feedback-controlled based on the measurement signal of the front encoder 126 .

도 7을 참조하면, 상기 이송 차량(110)이 내리막 구간에서 하향 이동하는 경우 상기 이송 차량(110)의 자중에 의해 상기 후방 휠들(132)에 하중이 증가될 수 있고, 이에 따라 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 커질 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 내리막 구간에서 기 설정된 속도로 하향 이동하도록 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)에 속도 지령을 제공할 수 있으며, 특히 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈(120)과 후방 주행 모듈(130)의 동작을 피드백 제어할 수 있다.Referring to FIG. 7 , when the transfer vehicle 110 moves downward in the downhill section, the load on the rear wheels 132 may be increased by the weight of the transfer vehicle 110 , and accordingly, the rear traction force It may be greater than the front traction force. According to another embodiment of the present invention, the motion controller 150 provides the speed to the front driving module 120 and the rear driving module 130 so that the transfer vehicle 110 moves downward at a preset speed in the downhill section. A command may be provided, and in particular, the operation of the front driving module 120 and the rear driving module 130 may be feedback-controlled based on the measurement signal of the rear encoder 136 .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 주행 모듈(120)과 상기 후방 주행 모듈(130)의 동작은 상기 전방 접지력이 상기 후방 접지력보다 큰 경우 상기 전방 엔코더(126)의 측정 신호에 기초하고 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 큰 경우 상기 후방 엔코더(136)의 측정 신호에 기초하여 피드백 방식으로 제어될 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량(110)의 이동 속도와 이동 거리가 보다 정확하게 산출될 수 있고, 이에 따라 상기 이송 차량(110)의 실제 이동 거리와 산출된 이동 거리 사이의 오차가 감소될 수 있다. 결과적으로, 상기 거리 오차를 보정하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있으며 또한 상기 거리 오차를 보정하는 과정에서 발생될 수 있는 진동이 크게 감소될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the operation of the front driving module 120 and the rear driving module 130 is a measurement signal of the front encoder 126 when the front traction force is greater than the rear traction force. based on and when the rear grip force is greater than the front grip force, it may be controlled in a feedback manner based on the measurement signal of the rear encoder 136 . As a result, the moving speed and the moving distance of the transport vehicle 110 may be more accurately calculated, and accordingly, an error between the actual moving distance of the transport vehicle 110 and the calculated moving distance may be reduced. As a result, the time required for correcting the distance error may be reduced, and vibrations that may be generated in the process of correcting the distance error may be greatly reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 자재 100 : 자재 이송 장치
102 : 주행 레일 110 : 이송 차량
120 : 전방 주행 모듈 122 : 전방 휠
124 : 전방 모터 126 : 전방 엔코더
128 : 전방 서보팩 130 : 후방 주행 모듈
132 : 후방 휠 134 : 후방 모터
136 : 후방 엔코더 138 : 후방 서보팩
140 : 호이스트 모듈 142 : 핸드 유닛
144 : 승강 유닛 150 : 모션 제어기
152 : 스위칭 소자10: material 100: material conveying device
102: running rail 110: transport vehicle
120: front driving module 122: front wheel
124: front motor 126: front encoder
128: front servo pack 130: rear driving module
132: rear wheel 134: rear motor
136: rear encoder 138: rear servo pack
140: hoist module 142: hand unit
144: elevating unit 150: motion controller
152: switching element

Claims (7)

자재 이송 경로를 따라 연장하는 주행 레일; 및
상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량을 포함하되,
상기 이송 차량은,
상기 주행 레일 상에 배치되는 전방 휠과 상기 전방 휠을 회전시키기 위한 전방 모터와 상기 전방 모터의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더를 포함하는 전방 주행 모듈과,
상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠과 상기 후방 휠을 회전시키기 위한 후방 모터와 상기 후방 모터의 회전수를 측정하기 위한 후방 엔코더를 포함하는 후방 주행 모듈과,
상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 하부에 연결되며 자재 이송을 위한 호이스트 모듈과,
상기 전방 휠과 상기 주행 레일 사이의 전방 접지력이 상기 후방 휠과 상기 주행 레일 사이의 후방 접지력보다 큰 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하고, 상기 후방 접지력이 상기 전방 접지력보다 큰 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여, 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 모션 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.running rails extending along the material transport path; and
A transport vehicle configured to be movable along the running rail,
The transport vehicle is
A front driving module including a front wheel disposed on the traveling rail, a front motor for rotating the front wheel, and a front encoder for measuring the number of revolutions of the front motor;
a rear wheel disposed on the traveling rail, a rear driving module including a rear motor for rotating the rear wheel, and a rear encoder for measuring the number of revolutions of the rear motor;
a hoist module connected to the lower part of the front traveling module and the rear traveling module and for transferring materials;
When the front grip force between the front wheel and the running rail is greater than the rear grip force between the rear wheel and the running rail, based on the measurement signal of the front encoder, when the rear grip force is greater than the front grip force of the rear encoder Based on the measurement signal, the material transfer device comprising a motion controller for controlling the operation of the front traveling module and the rear traveling module in a feedback manner. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
상기 이송 차량이 가속 주행하는 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하고,
상기 이송 차량이 감속 주행하는 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.According to claim 1, wherein the motion controller,
When the transport vehicle accelerates, a speed command is provided based on the measurement signal of the front encoder,
Material transfer apparatus, characterized in that for providing a speed command based on the measurement signal of the rear encoder when the transfer vehicle is decelerating. 제1항에 있어서, 상기 자재 이송 경로는 오르막 구간과 내리막 구간을 포함하고,
상기 모션 제어기는,
상기 이송 차량이 상기 오르막 구간에서 상향 이동하는 경우 상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하고,
상기 이송 차량이 상기 내리막 구간에서 하향 이동하는 경우 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.According to claim 1, wherein the material transport path comprises an uphill section and a downhill section,
The motion controller is
When the transfer vehicle moves upward in the uphill section, a speed command is provided based on the measurement signal of the front encoder,
When the transport vehicle moves downward in the downhill section, the material transport device according to claim 1 , wherein a speed command is provided based on a measurement signal of the rear encoder. 제1항에 있어서, 상기 전방 주행 모듈은 상기 전방 모터에 전류를 인가하기 위한 전방 서보팩을 더 포함하고,
상기 후방 주행 모듈은 상기 후방 모터에 전류를 인가하기 위한 후방 서보팩을 더 포함하며,
상기 모션 제어기는 상기 이송 차량의 속도를 제어하기 위한 속도 지령을 상기 전방 서보팩과 상기 후방 서보팩에 동시에 제공하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.According to claim 1, wherein the front driving module further comprises a front servo-pack for applying a current to the front motor,
The rear driving module further includes a rear SERVOPACK for applying a current to the rear motor,
wherein the motion controller simultaneously provides a speed command for controlling the speed of the transport vehicle to the front SERVOPACK and the rear SERVOPACK. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는 상기 전방 엔코더의 측정 신호와 상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 이동 거리를 각각 산출하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.According to claim 1, wherein the motion controller is a material transfer device, characterized in that for calculating the movement distances of the front traveling module and the rear traveling module, respectively, based on the measurement signal of the front encoder and the measurement signal of the rear encoder. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
상기 이송 차량이 출발 지점으로부터 출발 후 기 설정된 속도까지 가속 주행하고 이어서 기 설정된 위치까지 상기 기 설정된 속도로 등속 주행하며 상기 기 설정된 위치를 통과한 후 목표 지점까지 감속 주행하도록 상기 전방 주행 모듈과 상기 후방 주행 모듈의 동작을 제어하고,
상기 전방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 출발 지점으로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량의 이동 거리를 산출하며,
상기 후방 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 지점까지 상기 이송 차량의 이동 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.According to claim 1, wherein the motion controller,
the front driving module and the rear so that the transfer vehicle accelerates from a starting point to a preset speed, then travels at the preset speed to a preset position at a constant speed, passes the preset position, and then decelerates to a target point control the operation of the driving module,
Calculate the moving distance of the transfer vehicle from the starting point to the preset position based on the measurement signal of the front encoder,
Material transfer apparatus, characterized in that for calculating the moving distance of the transfer vehicle from the preset position to the target point based on the measurement signal of the rear encoder. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는 상기 전방 엔코더의 측정 신호와 상기 후방 엔코더의 측정 신호를 선택적으로 수신하기 위한 스위칭 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.The material transfer apparatus according to claim 1, wherein the motion controller includes a switching element for selectively receiving the measurement signal of the front encoder and the measurement signal of the rear encoder.
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