KR20210043785A - Object transport apparatus and object transport method - Google Patents

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KR20210043785A KR1020190126146A KR20190126146A KR20210043785A KR 20210043785 A KR20210043785 A KR 20210043785A KR 1020190126146 A KR1020190126146 A KR 1020190126146A KR 20190126146 A KR20190126146 A KR 20190126146A KR 20210043785 A KR20210043785 A KR 20210043785A
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이승준
이준범
하승석
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides an object transport device which can minimize an occurrence of vibration in a transport unit. The object transport device comprises: a rail member; a transport unit picking up an object and transporting the object to various positions while being transported along the rail member; a first driving unit positioned at a front portion based on a direction in which the transport unit travels, and allowing the transport unit to move with respect to the rail member; a second driving unit positioned at a rear portion based on a direction in which the transport unit travels, and allowing the transport unit to move with respect to the rail member; and a control unit controlling a torque by the first driving unit and controlling a moving distance of the transport unit by the second driving unit when the transport unit travels in a decelerated state.

Description

대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법{Object transport apparatus and object transport method}Object transport apparatus and object transport method TECHNICAL FIELD

본 발명은 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체를 제조 라인에서 대상물을 이송하는데 사용되는 대상물 이송 장치에서 사용될 수 있는 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an object transport device and an object transport method, and more particularly, to an object transport device and an object transport method that can be used in the object transport device used to transport the object in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing device in a state accommodated in a carrier, or may be recovered from each semiconductor processing device using the carrier.

상기 캐리어는 대상물 이송 장치(OHT: Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 대상물 이송 장치는 대상물이 수납된 캐리어를 이송하여 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is transported by an object transport device (OHT: Overhead Hoist Transport). The object transfer device transfers the carrier in which the object is accommodated and transfers it to the load ports of semiconductor processing devices, and picks up the carrier in which the processed object is received from the load port and transfers it to the outside.

한편, 대상물 이송 장치는 레일과, 캐리어를 픽업하는 이송 유닛, 전방 구동부 및 후방 구동부를 포함할 수 있다. 이러한 이송 유닛이 레일을 따라서 가속, 등속 및 감속 등 다양한 상황에 따라, 관성에 의하여 전방 구동부 또는 후방 구동부에 부하가 발생될 수 있다. 이송 유닛이 부하의 불균형에 의하여 전방 또는 후방으로 쏠리는 현상과 함께 진동도 심하게 발생될 수 있다. 이와 같은 진동은 대상물 이송 장치의 기구적인 손상을 발생시킬 뿐만 아니라 캐리어에 수납된 대상물에도 충격을 가할 수 있다. 그리고, 이송 유닛의 주행이 안정적으로 실시되지 못할 수 있다.Meanwhile, the object conveying device may include a rail, a conveying unit for picking up a carrier, a front driving part and a rear driving part. According to various situations such as acceleration, constant speed, and deceleration along the rail of such a transfer unit, a load may be generated on the front driving unit or the rear driving unit by inertia. Vibration may also be severely generated along with a phenomenon in which the transfer unit is pulled forward or backward due to an imbalance of the load. Such vibration may not only cause mechanical damage to the object transport device, but may also impact the object accommodated in the carrier. In addition, it may not be possible to stably drive the transfer unit.

한국공개특허 제2018-0002219호Korean Patent Publication No. 2018-0002219

본 발명의 목적은 동작 중 진동이 발생되는 것을 최소화할 수 있는 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an object transport device and an object transport method capable of minimizing the occurrence of vibration during operation.

본 발명의 일 측면에 따른 대상물 이송 장치는 레일 부재; 대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛; 상기 이송 유닛이 주행하는 방향을 기준으로 앞부분에 위치되고, 상기 이송 유닛이 상기 레일 부재에 대해 이동될 수 있게 하는 제1 구동 유닛; 상기 이송 유닛이 주행하는 방향을 기준으로 뒷부분에 위치되고, 상기 이송 유닛이 상기 레일 부재에 대해 이동될 수 있게 하는 제2 구동 유닛; 및 상기 이송 유닛이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛으로 상기 이송 유닛의 이동 거리를 제어하는 제어부;를 포함한다.An object transport device according to an aspect of the present invention includes a rail member; A transfer unit for picking up an object and transferring the object to various positions while being transported along the rail member; A first driving unit positioned at a front portion based on a direction in which the transfer unit travels, and allowing the transfer unit to be moved relative to the rail member; A second driving unit positioned at a rear portion based on a direction in which the transfer unit travels, and allowing the transfer unit to be moved relative to the rail member; And a control unit controlling a torque by the first driving unit and controlling a moving distance of the conveying unit by the second driving unit when the conveying unit travels in a decelerated state.

한편, 상기 이송 유닛이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 상기 제어부는 상기 제2 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어할 수 있다.On the other hand, when the transfer unit is traveling in an accelerated or constant speed state, the controller may control a torque by the second driving unit and control a distance at which the transfer unit is moved by the first driving unit.

한편, 상기 제어부는 상기 제1 구동 유닛의 동작을 제어하는 제1 서브 제어부; 및 상기 제2 구동 유닛의 동작을 제어하는 제2 서브 제어부;를 포함할 수 있다.Meanwhile, the control unit includes: a first sub control unit for controlling an operation of the first driving unit; And a second sub control unit that controls the operation of the second driving unit.

한편, 상기 제어부는, 상기 제1 서브 제어부와 상기 제2 서브 제어부를 전기적으로 연결하고, 상기 제1 구동 유닛에서 생성된 토크값을 제2 구동 유닛으로 전달하거나, 상기 제2 구동 유닛에서 생성된 토크값을 제1 구동 유닛으로 전달하는 토크 전달부를 포함할 수 있다.Meanwhile, the control unit may electrically connect the first sub control unit and the second sub control unit, and transmit a torque value generated by the first driving unit to a second driving unit, or It may include a torque transmission unit for transmitting the torque value to the first drive unit.

본 발명의 일 측면에 따른 대상물 이송 방법은 상기 이송 유닛이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어할 수 있다.In the method of transferring an object according to an aspect of the present invention, when the transfer unit is traveling in a decelerated state, the first drive unit controls the torque and the second drive unit controls the distance the transfer unit moves. have.

한편, 상기 이송 유닛이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 상기 제2 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어할 수 있다.On the other hand, when the transfer unit travels in an accelerated or constant speed state, the second driving unit may control torque, and the first driving unit may control a distance at which the transfer unit is moved.

본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 이송 유닛이 가속, 등속 및 감속되는 경우, 제어부를 사용하여 제1 구동 유닛 및 제2 구동 유닛에서 토크가 선택적으로 발생되도록 할 수 있다. 특히, 이송 유닛이 감속되는 경우, 상기 제1 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛으로 상기 이송 유닛의 이동 거리를 제어할 수 있다.In the object conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, when the conveying unit is accelerated, constant speed, and decelerated, torque may be selectively generated in the first driving unit and the second driving unit using a control unit. In particular, when the transfer unit is decelerated, the first drive unit controls the torque, and the second drive unit controls the moving distance of the transfer unit.

이에 따라, 이송 유닛이 레일 부재를 따라 속도가 가변되면서 이동되는 과정에서 제1 구동휠 및 제2 구동휠 각각에 상이한 부하가 발생되더라도, 이송 유닛에 진동이 발생되는 것을 최소화할 수 있다.Accordingly, even if different loads are generated on each of the first driving wheel and the second driving wheel in the process of moving the conveying unit while the speed is varied along the rail member, it is possible to minimize the occurrence of vibration in the conveying unit.

따라서, 이송 유닛에 이송되는 대상물이 진동에 의하여 충격을 받는 것을 방지할 수 있고, 대상물 이송 장치의 기구적인 손상을 방지할 수 있다. 그리고, 이송 유닛의 주행이 종래의 대상물 이송 장치와 비교하여 더욱 안정적으로 실시될 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the object to be transported to the transport unit from being impacted by vibration, and to prevent mechanical damage to the object transport device. And, the running of the transfer unit can be performed more stably compared to the conventional object transfer device.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 도시한 구성도이다.
도 3은 이송 유닛이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 제어부의 동작 과정을 도시한 도면이다.
도 4는 이송 유닛이 감속 상태로 주행하는 경우, 제어부의 동작 과정을 도시한 도면이다.
도 5는 비교예에 따른 대상물 이송 장치가 주행되는 과정에서, 이송 유닛이 감속될 때의 시간에 따른 바퀴 부재의 회전 속도를 도시한 그래프이다.
도 6은 실시예에 따른 대상물 이송 장치가 주행되는 과정에서, 이송 유닛이 감속될 때의 시간에 따른 바퀴 부재의 회전 속도를 도시한 그래프이다.1 is a view showing an object transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram showing an object transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating an operation process of a control unit when the transfer unit travels in an accelerated or constant speed state.
4 is a diagram illustrating an operation process of a control unit when the transfer unit travels in a decelerated state.
5 is a graph showing the rotational speed of a wheel member according to time when the transfer unit is decelerated in the process of driving the object transfer device according to the comparative example.
6 is a graph showing a rotational speed of a wheel member according to time when the transfer unit is decelerated in a process in which the object transfer device according to the embodiment is driven.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description have been omitted, and the same reference numerals are attached to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described only in a representative embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, only configurations different from the representative embodiment will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also being "indirectly connected" with another member therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 레일 부재(130), 이송 유닛(140), 제1 구동 유닛(110), 제2 구동 유닛(120) 및 제어부(150)를 포함한다.1 and 2, the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention includes a rail member 130, a transfer unit 140, a first drive unit 110, and a second drive unit 120. ) And a control unit 150.

레일 부재(130)는 반도체 제조 라인의 천장에 설치되거나, 천장에 결합된 프레임(미도시)에 설치될 수 있다. 레일 부재(130)는 일례로 두 개의 레일이 서로 일정 거리 이격되게 배치된 것일 수 있다. 이러한 레일 부재(130)는 직선 및 곡선 등 다양한 형상으로 구성되어 천장의 다양한 영역에 배치될 수 있다. The rail member 130 may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line or on a frame (not shown) coupled to the ceiling. The rail member 130 may be, for example, two rails disposed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The rail member 130 may be configured in various shapes such as a straight line and a curved line and disposed in various areas of the ceiling.

이송 유닛(140)은 대상물(미도시)을 픽업하고, 상기 레일 부재(130)를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송한다. 이송 유닛(140)은 레일 부재(130)로부터 전원을 공급받을 수 있다. 이와 다르게, 이송 유닛(140)은 충전식 배터리를 포함할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.The transfer unit 140 picks up an object (not shown) and transfers the object to various positions while being transferred along the rail member 130. The transfer unit 140 may receive power from the rail member 130. Alternatively, the transfer unit 140 may include a rechargeable battery, but is not limited thereto.

제1 구동 유닛(110)은 상기 이송 유닛(140)이 주행하는 방향을 기준으로 앞부분에 위치된다. 제1 구동 유닛(110)은 상기 이송 유닛(140)이 상기 레일 부재(130)에 대해 이동될 수 있게 한다.The first driving unit 110 is located at the front part based on the direction in which the transfer unit 140 travels. The first driving unit 110 allows the transfer unit 140 to be moved relative to the rail member 130.

제1 구동 유닛(110)은 일례로 제1 모터(111)와 제1 구동휠(112)을 포함할 수 있다. 제1 구동휠(112)은 제1 모터(111)의 회전축에 결합될 수 있고, 레일 부재(130)에 밀착되도록 설치될 수 있다. 제1 모터(111)가 동작되면, 제1 구동휠(112)이 회전되면서 이송 유닛(140)이 레일 부재(130)를 따라 이동될 수 있다.The first driving unit 110 may include, for example, a first motor 111 and a first driving wheel 112. The first driving wheel 112 may be coupled to the rotation shaft of the first motor 111 and may be installed to be in close contact with the rail member 130. When the first motor 111 is operated, the transfer unit 140 may be moved along the rail member 130 while the first driving wheel 112 is rotated.

제2 구동 유닛(120)은 상기 이송 유닛(140)이 주행하는 방향을 기준으로 뒷부분에 위치된다. 제2 구동 유닛(120)은 상기 이송 유닛(140)이 상기 레일 부재(130)에 대해 이동될 있게 한다.The second driving unit 120 is located at the rear part based on the direction in which the transfer unit 140 travels. The second driving unit 120 allows the transfer unit 140 to be moved relative to the rail member 130.

제2 구동 유닛(120)은 일례로 제2 모터(121)와 제2 구동휠(122)을 포함할 수 있다. 제2 구동휠(122)은 제2 모터(121)의 회전축에 결합될 수 있고, 레일 부재(130)에 밀착되도록 설치될 수 있다. 제2 모터(121)가 동작되면, 제2 구동휠(122)이 회전되면서 이송 유닛(140)이 레일 부재(130)를 따라 이동될 수 있다.The second driving unit 120 may include, for example, a second motor 121 and a second driving wheel 122. The second driving wheel 122 may be coupled to the rotation shaft of the second motor 121 and may be installed to be in close contact with the rail member 130. When the second motor 121 is operated, the transfer unit 140 may be moved along the rail member 130 while the second driving wheel 122 is rotated.

제어부(150)는 상기 이송 유닛(140)이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛(110)으로 토크를 제어한다. 그리고, 제어부(150)는 상기 제2 구동 유닛(120)으로 상기 이송 유닛(140)의 이동 거리를 제어한다.When the transfer unit 140 travels in a decelerated state, the control unit 150 controls the torque with the first driving unit 110. In addition, the control unit 150 controls the moving distance of the transfer unit 140 to the second driving unit 120.

이와 반대로, 상기 이송 유닛(140)이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 상기 제어부(150)는 상기 제2 구동 유닛(120)으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛(110)으로 상기 이송 유닛(140)이 이동되는 거리를 제어할 수 있다.Conversely, when the transfer unit 140 is traveling at an acceleration or constant speed, the control unit 150 controls the torque with the second drive unit 120 and transfers the transfer to the first drive unit 110. It is possible to control the distance the unit 140 is moved.

한편, 상기 제어부(150)는 일례로 제1 서브 제어부(151)와 제2 서브 제어부(152)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the control unit 150 may include, for example, a first sub control unit 151 and a second sub control unit 152.

제1 서브 제어부(151)는 상기 제1 구동 유닛(110)의 동작을 제어한다.The first sub control unit 151 controls the operation of the first driving unit 110.

이를 위한 제1 서브 제어부(151)는 일례로, 위치 제어부(A1), 속도 제어부(A2), 토크 제어부(A3), 신호 증폭기(A4)를 포함할 수 있다.The first sub-controller 151 for this may include, for example, a position control unit A1, a speed control unit A2, a torque control unit A3, and a signal amplifier A4.

위치 제어부(A1)는 목표 위치를 수신받고, 목표 위치를 기초로하여 제1 모터(111)의 회전수를 계산할 수 있다.The position controller A1 may receive the target position and calculate the number of rotations of the first motor 111 based on the target position.

속도 제어부(A2)는 이송 유닛(140)이 레일 부재(130)를 따라서 안정적인 주행이 가능한 속도가 유지되도록 할 수 있다. 속도 제어부(A2)는 이송 유닛(140)의 속도를 가속, 등속 및 감속이 가능하도록 할 수 있다.The speed control unit A2 may allow the transfer unit 140 to maintain a speed at which stable driving is possible along the rail member 130. The speed control unit A2 may enable acceleration, constant speed, and deceleration of the speed of the transfer unit 140.

토크 제어부(A3)는 제1 구동휠(112)에서 발생되는 토크를 제어할 수 있다.The torque controller A3 may control torque generated by the first driving wheel 112.

신호 증폭기(A4)는 토크 제어부(A3)를 통하여 전송되는 동작 신호를 증폭할 수 있다.The signal amplifier A4 may amplify an operation signal transmitted through the torque control unit A3.

제2 서브 제어부(152)는 상기 제2 구동 유닛(120)의 동작을 제어한다.The second sub control unit 152 controls the operation of the second driving unit 120.

제2 서브 제어부(152)도 제1 서브 제어부(151)와 동일하게 위치 제어부(B1), 속도 제어부(B2), 토크 제어부(B3), 신호 증폭기(B4)를 포함할 수 있다. 이러한 위치 제어부(B1), 속도 제어부(B2), 토크 제어부(B3), 신호 증폭기(B4)는 제1 서브 제어부(151)의 위치 제어부(A1), 속도 제어부(A2), 토크 제어부(A3), 신호 증폭기(A4)와 동일할 수 있으므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.The second sub control unit 152 may also include a position control unit B1, a speed control unit B2, a torque control unit B3, and a signal amplifier B4, similarly to the first sub control unit 151. The position control unit B1, the speed control unit B2, the torque control unit B3, and the signal amplifier B4 are the position control unit A1, the speed control unit A2, and the torque control unit A3 of the first sub control unit 151. , Since it may be the same as that of the signal amplifier A4, a description thereof will be omitted.

한편, 상기 제어부(150)는 토크 전달부(153)를 포함할 수 있다. Meanwhile, the control unit 150 may include a torque transmission unit 153.

토크 전달부(153)는 상기 제1 서브 제어부(151)와 상기 제2 서브 제어부(152)를 전기적으로 연결한다. 토크 전달부(153)는 상기 제1 구동 유닛(110)에서 생성된 토크값을 제2 구동 유닛(120)으로 전달하거나, 상기 제2 구동 유닛(120)에서 생성된 토크값을 제1 구동 유닛(110)으로 전달한다.The torque transmission unit 153 electrically connects the first sub control unit 151 and the second sub control unit 152 to each other. The torque transmission unit 153 transmits the torque value generated by the first driving unit 110 to the second driving unit 120 or transmits the torque value generated by the second driving unit 120 to the first driving unit. Pass it to (110).

제1 구동 유닛(110)에서 토크가 발생되어야 하는 경우, 토크 전달부(153)는 제2 서브 제어부(152)에서 발생되는 토크값을 제1 서브 제어부(151)의 토크 제어부(A3)로 전송할 수 있다. 따라서, 제2 서브 제어부(152)는 이송 유닛(140)의 이송 거리를 제어하는 것을 실시할 수 있다.When torque is to be generated from the first drive unit 110, the torque transmission unit 153 transmits the torque value generated by the second sub control unit 152 to the torque control unit A3 of the first sub control unit 151. I can. Accordingly, the second sub-controller 152 may control the transfer distance of the transfer unit 140.

이와 반대로, 제2 구동 유닛(120)에서 토크가 발생되어야 하는 경우, 토크 전달부(153)는 제1 서브 제어부(151)에서 발생되는 토크값을 제2 서브 제어부(152)의 토크 제어부(A3)로 전송할 수 있다. 따라서, 제1 서브 제어부(151)는 이송 유닛(140)의 이송 거리를 제어하는 것을 실시할 수 있다.On the contrary, when torque is to be generated in the second driving unit 120, the torque transmission unit 153 converts the torque value generated by the first sub-control unit 151 into the torque control unit A3 of the second sub-control unit 152. ). Accordingly, the first sub-controller 151 may control the transfer distance of the transfer unit 140.

이와 같이 토크 전달부(153)는 제1 서브 제어부(151) 또는 제2 서브 제어부(152) 중에서 토크가 발생되어야 하는 곳으로 토크값을 전달하여, 제1 구동 유닛(110) 또는 제2 구동 유닛(120)에서 토크가 선택적으로 발생되도록 할 수 있다.In this way, the torque transmission unit 153 transmits a torque value to a place where torque is to be generated among the first sub-controller 151 or the second sub-controller 152, so that the first driving unit 110 or the second driving unit Torque can be selectively generated at 120.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)의 동작 과정에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, an operation process of the object transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 3을 참조하면, 이송 유닛(140)이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 제1 서브 제어부(151)가 메인으로 동작되고, 제2 서브 제어부(152)가 보조로 동작될 수 있다.Referring to FIG. 3, when the transfer unit 140 travels in an accelerated or constant speed state, the first sub-controller 151 may be operated as a main and the second sub-controller 152 may be operated as an auxiliary.

목표 위치가 제1 서브 제어부(151)에 입력된다. 여기서, 목표 위치는 이송 유닛(140)이 이송되어야 하는 레일 부재(130)의 특정 위치이다. 제1 서브 제어부(151)에서는 목표 위치를 기초로 하여 제1 모터(111)의 회전수를 계산한다. 그리고, 제1 서브 제어부(151)는 토크값을 토크 전송부(153)로 전달하고, 제2 서브 제어부(152)의 토크 제어부(A3)는 토크값을 전달받아서 제2 모터(121)를 동작시킬 수 있다.The target position is input to the first sub control unit 151. Here, the target position is a specific position of the rail member 130 to which the transport unit 140 is to be transported. The first sub-controller 151 calculates the number of revolutions of the first motor 111 based on the target position. In addition, the first sub-controller 151 transmits the torque value to the torque transmission unit 153, and the torque control unit A3 of the second sub-controller 152 receives the torque value and operates the second motor 121. I can make it.

이에 따라, 제2 구동휠(122)에서 토크가 발생된다. 제1 구동휠(112)은 목표 위치까지 이송 유닛(140)이 이송되도록 회전될 수 있다. 이송 유닛(140)은 제2 구동휠(122)에서 발생되는 토크와 제1 구동휠(112)의 회전에 의하여 목표 위치까지 이동될 수 있다.Accordingly, torque is generated in the second drive wheel 122. The first driving wheel 112 may be rotated so that the transfer unit 140 is transferred to the target position. The transfer unit 140 may be moved to the target position by the torque generated by the second driving wheel 122 and the rotation of the first driving wheel 112.

여기서, 제1 모터(111)로부터 획득될 수 있는 현재 위치 데이터는 위치 제어부(A1)로 전송되고, 위치 제어부(A1)는 목표 위치와 현재 위치의 차이를 계산할 수 있다.Here, the current position data that can be obtained from the first motor 111 is transmitted to the position controller A1, and the position controller A1 may calculate a difference between the target position and the current position.

도 4를 참조하면, 이송 유닛(140)이 감속 상태로 주행하는 경우, 제2 서브 제어부(152)가 메인으로 동작되고, 제1 서브 제어부(151)가 보조로 동작될 수 있다.Referring to FIG. 4, when the transfer unit 140 travels in a decelerated state, the second sub-controller 152 may operate as a main and the first sub-controller 151 may operate as an auxiliary.

목표 위치가 제2 서브 제어부(152)에 입력된다. 제2 서브 제어부(152)에서는 목표 위치를 기초로 하여 제2 모터(121)의 회전수를 계산한다. 그리고, 제2 서브 제어부(152)는 토크값을 토크 전송부(153)로 전달하고, 제1 서브 제어부(151)의 토크 제어부(A3)는 토크값을 전달받아서 제1 모터(111)를 동작시킬 수 있다.The target position is input to the second sub-control unit 152. The second sub-controller 152 calculates the number of rotations of the second motor 121 based on the target position. In addition, the second sub control unit 152 transmits the torque value to the torque transmission unit 153, and the torque control unit A3 of the first sub control unit 151 operates the first motor 111 by receiving the torque value. I can make it.

이에 따라, 제1 구동휠(112)에서 토크가 발생된다. 제2 구동휠(122)은 목표 위치까지 이송 유닛(140)이 이송되도록 회전될 수 있다. 이송 유닛(140)은 제1 구동휠(112)에서 발생되는 토크와 제2 구동휠(122)의 회전에 의하여 목표 위치까지 이동될 수 있다.Accordingly, torque is generated in the first driving wheel 112. The second driving wheel 122 may be rotated so that the transfer unit 140 is transferred to the target position. The transfer unit 140 may be moved to the target position by the torque generated by the first driving wheel 112 and the rotation of the second driving wheel 122.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)로 대상물을 이송하는 대상물 이송 방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, an object transport method for transporting an object to the object transport device 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법은 상기 이송 유닛(140)이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛(110)으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛(120)으로 상기 이송 유닛(140)이 이동되는 거리를 제어한다. 이와 다르게, 상기 이송 유닛(140)이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 상기 제2 구동 유닛(120)으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛(110)으로 상기 이송 유닛(140)이 이동되는 거리를 제어할 수 있다.In the method of transferring an object according to an embodiment of the present invention, when the transfer unit 140 is traveling in a decelerated state, torque is controlled by the first driving unit 110 and the second driving unit 120 is used to control the torque. Controls the distance the transfer unit 140 is moved. In contrast, when the transfer unit 140 travels at an acceleration or constant speed, the second drive unit 120 controls the torque, and the transfer unit 140 moves to the first drive unit 110. You can control the distance.

이러한 대상물 이송 방법은 대상물 이송 장치(100)의 동작 방법을 설명하면서 함께 설명하였으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Since this method of transporting an object has been described together while describing the operation method of the object transporting apparatus 100, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 일실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)가 종래의 대상물 이송 장치와 비교하여 안정적으로 동작된다는 것은 다음의 실험 결과를 통하여 확인될 수 있다.It can be confirmed through the following experimental results that the object transport device 100 according to an embodiment of the present invention operates stably compared to the conventional object transport device.

실험은 이송 유닛이 감속되는 과정에서 시간(s)에 따른 바퀴의 회전속도(rpm)를 측정한 것이다.The experiment was to measure the rotational speed (rpm) of the wheel over time (s) while the transfer unit was decelerating.

실시예에 따른 대상물 이송 장치는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 이송 장치이고, 비교예에 따른 온도 측정 장치는 뒷바퀴로만 토크를 발생시키는 대상물 이송 장치이다.The object transporting device according to the embodiment is an object transporting device according to an embodiment of the present invention, and the temperature measuring device according to the comparative example is an object transporting device that generates torque only with the rear wheel.

도 5를 참조하면, 비교예에 따른 대상물 이송 장치는 6초 내지 8초 사이의 범위인 V1영역에서 진동이 심하게 발생되었다. 반면, 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 6초 내지 8초 사이의 범위인 V2영역에서 진동이 거의 발생되지 않았다. 즉, 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 비교예에 따른 대상물 이송 장치와 비교하여 대상물을 이송하는 과정에서 진동을 발생시키지 않고 안정적으로 이송할 수 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 5, in the object transport apparatus according to the comparative example, vibration was severely generated in the region V1 in the range of 6 seconds to 8 seconds. On the other hand, referring to FIG. 6, in the object conveying apparatus according to the embodiment, vibration was hardly generated in the V2 region in the range of 6 seconds to 8 seconds. That is, it can be seen that the object transfer device according to the embodiment can stably transfer the object without generating vibration in the process of transferring the object compared with the object transfer device according to the comparative example.

도 1로 되돌아가서, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 이송 유닛(140)이 가속, 등속 및 감속되는 경우, 제어부(150)를 사용하여 제1 구동 유닛(110) 및 제2 구동 유닛(120)에서 토크가 선택적으로 발생되도록 할 수 있다.Returning to FIG. 1, the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention uses the control unit 150 when the transfer unit 140 is accelerated, constant speed, and decelerated, the first driving unit 110 and the Torque may be selectively generated in the second driving unit 120.

특히, 이송 유닛(140)이 감속되는 경우, 제1 구동 유닛(110)으로 토크를 제어하고, 제2 구동 유닛(120)으로 상기 이송 유닛의 이동 거리를 제어할 수 있다.In particular, when the transfer unit 140 is decelerated, the first drive unit 110 controls the torque, and the second drive unit 120 controls the moving distance of the transfer unit.

이에 따라, 이송 유닛(140)이 레일 부재(130)를 따라 속도가 가변되면서 이동되는 과정에서 제1 구동휠(112) 및 제2 구동휠(122) 각각에 상이한 부하가 발생되더라도, 이송 유닛(140)에 진동이 발생되는 것을 최소화할 수 있다.Accordingly, even if different loads are generated on each of the first driving wheel 112 and the second driving wheel 122 in the process of moving the conveying unit 140 along the rail member 130 while changing the speed, the conveying unit ( 140) vibration can be minimized.

따라서, 이송 유닛(140)에 이송되는 대상물이 진동에 의하여 충격을 받는 것을 방지할 수 있고, 대상물 이송 장치(100)의 기구적인 손상을 방지할 수 있다. 그리고, 이송 유닛(140)의 주행이 종래의 대상물 이송 장치와 비교하여 더욱 안정적으로 실시될 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the object to be transported to the transport unit 140 from being impacted by vibration, and to prevent mechanical damage to the object transport device 100. In addition, the running of the transfer unit 140 may be performed more stably compared to the conventional object transfer device.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings and the detailed description of the disclosed invention referenced so far are merely illustrative of the present invention, and these are used only for the purpose of describing the present invention, and limitations or claims It is not used to limit the scope of the invention described in the range. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 대상물 이송 장치
110: 제1 구동 유닛
111: 제1 모터
112: 제1 구동휠
120: 제2 구동 유닛
121: 제2 모터
122: 제2 구동휠
130: 레일 부재
140: 이송 유닛
150: 제어부
151: 제1 서브 제어부
152: 제2 서브 제어부
153: 토크 전달부100: object transfer device
110: first drive unit
111: first motor
112: first drive wheel
120: second drive unit
121: second motor
122: second drive wheel
130: rail member
140: transfer unit
150: control unit
151: first sub control unit
152: second sub control unit
153: torque transmission unit

Claims (6)

레일 부재;
대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛;
상기 이송 유닛이 주행하는 방향을 기준으로 앞부분에 위치되고, 상기 이송 유닛이 상기 레일 부재에 대해 이동될 수 있게 하는 제1 구동 유닛;
상기 이송 유닛이 주행하는 방향을 기준으로 뒷부분에 위치되고, 상기 이송 유닛이 상기 레일 부재에 대해 이동될 수 있게 하는 제2 구동 유닛; 및
상기 이송 유닛이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛으로 상기 이송 유닛의 이동 거리를 제어하는 제어부;를 포함하는 대상물 이송 장치.Rail member;
A transfer unit for picking up an object and transferring the object to various positions while being transported along the rail member;
A first driving unit positioned at a front portion based on a direction in which the transfer unit travels, and allowing the transfer unit to be moved relative to the rail member;
A second driving unit positioned at a rear portion based on a direction in which the transfer unit travels, and allowing the transfer unit to be moved relative to the rail member; And
When the transfer unit is traveling in a decelerated state, the first drive unit controls the torque, and the second drive unit controls a moving distance of the transfer unit. 제1항에 있어서,
상기 이송 유닛이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우,
상기 제어부는 상기 제2 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어하는 대상물 이송 장치.The method of claim 1,
When the transfer unit travels in an accelerated or constant speed state,
The control unit controls the torque by the second drive unit, and controls the distance to which the transfer unit is moved by the first drive unit. 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 제1 구동 유닛의 동작을 제어하는 제1 서브 제어부; 및
상기 제2 구동 유닛의 동작을 제어하는 제2 서브 제어부;를 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 1,
The control unit,
A first sub control unit controlling an operation of the first driving unit; And
Object transfer device comprising a; a second sub-control unit for controlling the operation of the second driving unit. 제3항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 제1 서브 제어부와 상기 제2 서브 제어부를 전기적으로 연결하고, 상기 제1 구동 유닛에서 생성된 토크값을 제2 구동 유닛으로 전달하거나, 상기 제2 구동 유닛에서 생성된 토크값을 제1 구동 유닛으로 전달하는 토크 전달부를 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 3,
The control unit,
The first sub-controller and the second sub-controller are electrically connected, and a torque value generated by the first driving unit is transmitted to a second driving unit, or a torque value generated by the second driving unit is first driven. Object transfer device including a torque transmission unit for transmitting to the unit. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 대상물 이송 장치로 대상물을 이송하는 대상물 이송 방법에 있어서,
상기 이송 유닛이 감속 상태로 주행하는 경우, 상기 제1 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제2 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어하는 대상물 이송 방법.In the object transport method for transporting the object to the object transport device according to any one of claims 1 to 4,
When the transfer unit is traveling in a decelerated state, the first drive unit controls torque and the second drive unit controls a distance at which the transfer unit is moved. 제5항에 있어서,
상기 이송 유닛이 가속 또는 등속 상태로 주행하는 경우, 상기 제2 구동 유닛으로 토크를 제어하고, 상기 제1 구동 유닛으로 상기 이송 유닛이 이동되는 거리를 제어하는 대상물 이송 방법.The method of claim 5,
When the transfer unit travels at an acceleration or constant speed, the second drive unit controls torque and the first drive unit controls a distance at which the transfer unit moves.
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