KR102270043B1 - Transfer apparatus - Google Patents

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KR102270043B1 KR1020170109434A KR20170109434A KR102270043B1 KR 102270043 B1 KR102270043 B1 KR 102270043B1 KR 1020170109434 A KR1020170109434 A KR 1020170109434A KR 20170109434 A KR20170109434 A KR 20170109434A KR 102270043 B1 KR102270043 B1 KR 102270043B1
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Abstract

이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 및 상기 경사 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 호이스트 모듈을 상기 경사 레일을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함한다.A transfer device is disclosed. The transfer device includes a hoist module for transporting goods, a first traveling rail providing a movement path of the hoist module, and a second traveling rail providing a movement path of the hoist module at a different height from the first traveling rail. and an inclined rail connecting between the first and second running rails, and a running module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second running rails and the inclined rail; and a lifting module for raising or lowering the hoist module along the inclined rail.

Figure R1020170109434
Figure R1020170109434

Description

이송 장치{Transfer apparatus}Transfer apparatus

본 발명의 실시예들은 물건 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 기판 수납 용기와 같은 이송 대상물을 호이스트 모듈을 이용하여 이송하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transport device for transporting articles. More particularly, it relates to a transfer device for transferring a transfer object such as a substrate storage container in a semiconductor manufacturing process using a hoist module.

일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 대하여 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위하여 증착, 사진 식각, 산화, 이온 주입, 세정 등의 제조 공정들이 선택적 및/또는 반복적으로 수행될 수 있다.In general, a semiconductor or display device can be manufactured by repeatedly performing a series of manufacturing processes on a substrate such as a silicon wafer or a glass substrate. For example, manufacturing processes such as deposition, photolithography, oxidation, ion implantation, and cleaning may be selectively and/or repeatedly performed to form circuit patterns on the substrate.

상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 상기 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트, 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 수납 용기는 RGV(Rail Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 무인 반송 장치에 의해 상기 제조 공정들 사이에서 이송될 수 있다.The manufacturing processes as described above are performed in a clean room in which cleanliness is managed to prevent contamination, and substrate transfer between the manufacturing processes may be performed using a substrate storage container such as a cassette or FOUP. For example, the substrate storage container may be transported between the manufacturing processes by an unmanned transport device such as a Rail Guided Vehicle (RGV), an Overhead Hoist Transport (OHT), or the like.

상기 OHT 장치는 주행 레일 상에서 이동 가능하게 구성된 주행 모듈과 상기 주행 모듈의 아래에 회전 가능하도록 현수된 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 주행 모듈은 모터를 포함하는 구동부를 이용하여 구동 휠을 회전시킴으로써 상기 주행 레일 상에서 이동할 수 있다. 한편, 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 복층의 클린룸들 사이에서 상기 호이스트 모듈의 층간 이동은 수직 방향으로 설치된 OHT 리프트를 이용하거나 낮은 경사도, 예를 들면, 약 6° 내지 8° 정도의 경사도를 갖는 경사 레일을 설치하고 상기 주행 모듈의 추진력을 이용하여 이루어질 수 있다. 또한, 상기 경사 레일은 같은 층 내에서 서로 다른 높이로 설치된 주행 레일들 사이에서의 이동에서도 사용될 수 있다.The OHT device may include a traveling module configured to be movable on the traveling rail and a hoist module rotatably suspended below the traveling module. The driving module may move on the driving rail by rotating a driving wheel using a driving unit including a motor. On the other hand, the interfloor movement of the hoist module between the multi-layered clean rooms in which the semiconductor manufacturing process is performed uses an OHT lift installed in the vertical direction or has a low inclination, for example, about 6° to 8°. It may be achieved by installing an inclined rail and using the driving force of the driving module. In addition, the inclined rail can be used to move between running rails installed at different heights within the same floor.

그러나, 상기 OHT 리프트를 이용하는 경우 한 대씩만 이동이 가능하므로 이동 속도가 느리고, 상기 경사 레일 상에서 상기 주행 모듈의 자체 추진력을 이용하여 이동하는 경우 상승 및 하강 거리가 길고 또한 주행 모듈을 구성하는 모터의 추진력을 증가시켜야 하는 문제점이 있다.However, when using the OHT lift, only one unit can be moved, so the moving speed is slow, and when moving using the self-propelling force of the traveling module on the inclined rail, the ascending and descending distances are long and the motor constituting the traveling module. There is a problem that the driving force needs to be increased.

대한민국 공개특허공보 제10-2007-0120020호 (공개일자 2007년 12월 21일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0120020 (published on December 21, 2007) 대한민국 등록특허공보 제10-1407418호 (등록일자: 2014년 06월 09일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1407418 (Registration date: June 09, 2014)

본 발명의 실시예들은 호이스트 모듈을 이용하는 이송 장치에 있어서 서로 다른 높이의 주행 레일들 사이에서 이동 속도를 향상시키고 제조 비용을 절감할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention have an object to provide a transport device that can improve the moving speed between the traveling rails of different heights and reduce the manufacturing cost in the transport device using a hoist module.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 및 상기 경사 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 호이스트 모듈을 상기 경사 레일을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.A transport device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a hoist module for transporting goods, a first traveling rail providing a movement path of the hoist module, and the first traveling rail at a different height. A second traveling rail providing a movement path of the hoist module, an inclined rail connecting between the first and second traveling rails, and mounted on the hoist module, the first and second traveling rails and the It may include a traveling module configured to be movable on the inclined rail, and an elevating module for raising or lowering the hoist module along the inclined rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은, 상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈 또는 상기 주행 모듈을 지지하는 서포트 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module includes a conveyor configured to be parallel to the inclined rail, and a support unit mounted on the conveyor to support the hoist module or the traveling module when the hoist module is raised or lowered. may include.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 주행 모듈은 전방 주행 유닛과 후방 주행 유닛을 포함하며, 상기 호이스트 모듈의 상승시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 후방 부위를 지지하고, 상기 호이스트 모듈의 하강시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 전방 부위를 지지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the traveling module includes a front traveling unit and a rear traveling unit, and when the hoist module is raised, the support unit supports the rear portion of the rear traveling unit, and the hoist module is lowered. The support unit may support a front portion of the rear traveling unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 유닛은 상기 호이스트 모듈의 상승 및 하강시 자중에 의한 회전을 방지하기 위해 상기 전방 및 후방 주행 유닛들을 상기 경사 레일 상에 밀착시키는 가압 부재를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the support unit may further include a pressing member for adhering the front and rear traveling units on the inclined rail to prevent rotation due to their own weight when the hoist module is raised and lowered. have.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor may include a first extension extending parallel to an end of the first running rail and a second extension extending in parallel with an end of the second running rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은 상기 제1 연장부 또는 제2 연장부에서 상기 서포트 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module may further include a driving unit for moving the support unit in the vertical direction in the first extension part or the second extension part.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the transport device is disposed adjacent to the first extension portion and the second extension portion, respectively, and is located on an end of the first running rail and an end of the second running rail. It may further include sensors for detecting the hoist module.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.A transport device according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes a hoist module for transporting goods, a first traveling rail providing a movement path of the hoist module, and the first traveling rail at a different height. a second traveling rail providing a movement path of the hoist module; a traveling module mounted on the upper portion of the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; an end of the first traveling rail and the It may include a lifting module for raising or lowering the hoist module in an inclined direction between the ends of the second traveling rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은, 상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈을 픽업하기 위한 픽업 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module may include a conveyor configured to be parallel to the inclined rail, and a pickup unit mounted on the conveyor to pick up the hoist module when the hoist module is raised or lowered. can

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor may include a first extension extending parallel to an end of the first running rail and a second extension extending in parallel with an end of the second running rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the transport device is disposed adjacent to the first extension portion and the second extension portion, respectively, and a hoist positioned on an end of the first running rail and an end of the second running rail It may further include sensors for detecting the module.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 모듈은 수평 상태가 유지되도록 상기 픽업 유닛에 의해 현수된 상태에서 상기 컨베이어에 의해 상승 또는 하강될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the hoist module may be raised or lowered by the conveyor in a state suspended by the pickup unit to maintain a horizontal state.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the transfer device includes a hoist module for transporting goods, a first running rail providing a movement path of the hoist module, and a height different from the first running rail. a second traveling rail providing a movement path of the hoist module; a traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; an end of the first traveling rail; It may include a lifting module for raising or lowering the hoist module in an inclined direction between the ends of the second traveling rail.

상기 승강 모듈은 상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일을 따라 상기 호이스트 모듈을 상승 또는 하강시킬 수 있으며, 또한 이와 다르게 현수 방식으로 상기 호이스트 모듈을 상승 또는 하강시킬 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈은 복수의 호이스트 모듈들을 연속적으로 이동시키기 위해 컨베이어 상에 복수의 서포트 유닛들 또는 복수의 픽업 유닛들을 장착할 수 있으며, 이에 따라 종래의 OHT 리프트보다 빠른 속도로 호이스트 모듈들을 층간 이동시킬 수 있다.The elevating module may elevate or lower the hoist module along an inclined rail connecting between the first and second traveling rails, and alternatively raise or lower the hoist module in a suspended manner. In particular, the elevating module may mount a plurality of support units or a plurality of pickup units on a conveyor in order to continuously move the plurality of hoist modules, and thus move the hoist modules between floors at a faster speed than the conventional OHT lift. can do it

또한, 상기 승강 모듈은 컨베이어를 이용하여 상기 호이스트 모듈을 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 주행 모듈 자체의 추진력을 이용하여 층간 이동하는 종래 기술과 비교하여 상기 주행 모듈의 추진력을 크게 상승시킬 필요가 없으므로 상기 이송 장치의 제조 비용이 크게 감소될 수 있다. 추가적으로, 종래 기술과 비교하여 상기 경사 레일의 경사도를 상대적으로 높게 구성할 수 있으므로 상기 호이스트 모듈들의 층간 이동 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, the elevating module may move the hoist module using a conveyor. That is, since there is no need to significantly increase the driving force of the driving module compared to the prior art of moving between floors using the driving force of the driving module itself, the manufacturing cost of the transport device can be greatly reduced. Additionally, since the inclination of the inclined rail can be configured to be relatively high compared to the prior art, the inter-floor movement speed of the hoist modules can be further improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 호이스트 모듈과 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 해제 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 8은 도 1에 도시된 호이스트 모듈의 하강을 설명하기 위한 개략도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 10은 도 9에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the hoist module and the driving module shown in FIG. 1 .
3 to 5 are schematic views for explaining a coupling process of the support unit and the driving module shown in FIG. 1 .
6 and 7 are schematic views for explaining a process of releasing the coupling between the support unit and the driving module shown in FIG. 1 .
8 is a schematic diagram for explaining the lowering of the hoist module shown in FIG.
9 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to another embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a schematic configuration diagram for explaining the pickup unit shown in FIG. 9 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 호이스트 모듈과 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic configuration diagram for explaining the hoist module and the traveling module shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 물건 이송을 위한 이송 장치(100)는 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼, 리드 프레임, 트레이, 글래스 기판 등과 같은 다양한 이송 대상물(10)을 호이스트를 이용하여 이송하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)을 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장 부위에 배치된 주행 레일 상에서 이동 가능하게 구성될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , a transfer apparatus 100 for transferring objects according to an embodiment of the present invention includes various transfer objects 10 such as wafers, lead frames, trays, and glass substrates in a semiconductor or display manufacturing process. can be used to transport using a hoist. In particular, the transport device 100 may include a hoist module 110 for transporting goods, and the hoist module 110 moves on a traveling rail disposed on a ceiling portion of a clean room in which the semiconductor manufacturing process is performed. configurable.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(120)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 복층으로 구성되는 클린룸들 내에서 하층에 제1 주행 레일(120)이 배치되고 상층에 제2 주행 레일(130)이 배치될 수 있으며, 상기와 다르게, 동일한 층 내에서 서로 다른 높이를 갖는 제1 주행 레일과 제2 주행 레일이 설치될 수 있다. 상기 이송 장치(100)는, 상기 호이스트 모듈(110)의 층간 이동 또는 서로 다른 높이를 갖는 레일들 사이에서의 이동을 위해 상기 제1 주행 레일(120)과 제2 주행 레일(130) 사이를 연결하는 경사 레일(125)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 및 상기 경사 레일(125) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 is a first traveling rail 120 that provides a movement path of the hoist module 110 and at a different height from the first traveling rail 120 . It may include a second traveling rail 130 that provides a movement path of the hoist module 110 . For example, in clean rooms consisting of multiple floors, the first running rail 120 may be disposed on the lower floor and the second running rail 130 may be disposed on the upper floor. A first traveling rail and a second traveling rail having a height may be installed. The transfer device 100 connects between the first running rail 120 and the second running rail 130 for inter-floor movement of the hoist module 110 or for movement between rails having different heights. and a traveling module 140 mounted on an upper portion of the hoist module 110 and configured to be movable on the first and second traveling rails 120 and 130 and the sloped rail 125 . ) may be included.

상기 주행 모듈(140)은 전방 주행 유닛(142)과 후방 주행 유닛(144)을 포함할 수 있으며, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은 모터와 같은 구동 기구를 이용하여 구동 휠들(146)을 회전시킴으로써 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 상에서 이동할 수 있다. 아울러, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은 회전축을 통해 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 각각 회전 가능하도록 장착될 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은, 곡선 경로와 직선 경로가 분기되는 지점에서 조향을 위한 조향 롤러들과, 주행 경로 이탈을 방지하기 위한 가이드 롤러들을 포함하여 다양한 요소들을 추가적으로 구비할 수 있다.The driving module 140 may include a front driving unit 142 and a rear driving unit 144 , and although not shown in detail, the front and rear driving units 142 and 144 are a driving mechanism such as a motor. may be used to rotate the driving wheels 146 to move on the first and second driving rails 120 and 130 . In addition, the front and rear traveling units 142 and 144 may be respectively rotatably mounted on the upper portion of the hoist module 110 through a rotation shaft, and although not shown, the front and rear traveling units 142 , 144) may additionally include various elements, including steering rollers for steering at the point where the curved path and the straight path branch off, and guide rollers for preventing deviation from the driving path.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 층간 이동 또는 레일간 이동을 위해 상기 호이스트 모듈(110)을 상기 경사 레일(125)을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(150)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 승강 모듈(150)은 상기 호이스트 모듈(110)을 견인 방식으로 상기 경사 레일(125)을 따라 상승 또는 하강시킬 수 있다. 상기 승강 모듈(150)은, 상기 경사 레일(125)과 평행하게 배치되는 컨베이어(152)와, 상기 컨베이어(152)에 장착되며 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 및 하강시 상기 호이스트 모듈(110) 또는 상기 주행 모듈(140)을 지지하는 서포트 유닛(160)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈(150)은 상기 컨베이어(152)에 장착된 복수의 서포트 유닛들(160)을 포함할 수 있으며, 상기 복수의 서포트 유닛들(160)을 이용하여 복수의 호이스트 모듈들(110)을 연속적으로 상승 또는 하강시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 includes a lifting module 150 for raising or lowering the hoist module 110 along the inclined rail 125 for inter-floor movement or inter-rail movement. may include As an example, the elevating module 150 may raise or lower the hoist module 110 along the inclined rail 125 in a traction manner. The elevating module 150 includes a conveyor 152 disposed in parallel with the inclined rail 125 , and is mounted on the conveyor 152 and includes the hoist module 110 when the hoist module 110 is raised and lowered. Alternatively, it may include a support unit 160 supporting the driving module 140 . In particular, the elevating module 150 may include a plurality of support units 160 mounted on the conveyor 152 , and a plurality of hoist modules 110 using the plurality of support units 160 . ) can be continuously raised or lowered.

상기 컨베이어(152)는 상기 서포트 유닛(160)과 상기 주행 모듈(140)과의 결합 및 해제를 위한 제1 연장부(156)와 제2 연장부(158)를 구비할 수 있으며, 상기 서포트 유닛들(160)은 각각 구동부(170; 도 3 참조)에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 컨베이어(152)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 경사 레일(125)과 평행하게 구성되는 경사부(154)와, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부와 평행하게 구성되는 제1 연장부(156) 및 상기 제2 주행 레일(130)과 평행하게 구성되는 제2 연장부(158)를 구비할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 연장부(156)와 상기 경사부(154) 및 상기 제2 연장부(158) 사이에는 경로 변경을 위한 아이들 롤러들이 배치될 수 있다.The conveyor 152 may include a first extension 156 and a second extension 158 for coupling and disengaging the support unit 160 and the driving module 140 , and the support unit Each of the 160 may be configured to be movable in the vertical direction by the driving unit 170 (refer to FIG. 3 ). For example, as shown in FIG. 1 , the conveyor 152 includes an inclined portion 154 configured to be parallel to the inclined rail 125 , and an end portion of the first running rail 120 to be parallel to each other. A first extension portion 156 and a second extension portion 158 configured to be parallel to the second traveling rail 130 may be provided. Although not shown in detail, idle rollers for changing a path may be disposed between the first extension part 156 , the inclined part 154 , and the second extension part 158 .

도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 과정을 설명하기 위한 개략도들이며, 도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 해제 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.3 to 5 are schematic views for explaining a coupling process between the support unit and the driving module shown in FIG. 1, and FIGS. 6 and 7 are for explaining the process of releasing the coupling between the support unit and the driving module shown in FIG. 1 are schematics.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 주행 모듈(140)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상으로 이동될 수 있으며, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 컨베이어(152)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 위치된 주행 모듈(110)의 상부에 위치될 수 있다.3 to 5 , the hoist module 110 may be moved on the end of the first traveling rail 120 by the traveling module 140 , and the support unit 160 is the conveyor It may be located on the upper portion of the traveling module 110 located on the end of the first traveling rail 120 by 152 .

상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 또는 하강시 상기 주행 모듈(140)을 지지하기 위한 서포트 부재(162, 164)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승시 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위를 지지하기 위한 제1 서포트 부재(162)와 상기 호이스트 모듈(110)의 하강시 상기 후방 주행 유닛(144)의 전방 부위를 지지하기 위한 제2 서포트 부재(164)를 포함할 수 있다.The support unit 160 may include support members 162 and 164 for supporting the driving module 140 when the hoist module 110 is raised or lowered. For example, the support unit 160 includes a first support member 162 for supporting the rear portion of the rear traveling unit 144 when the hoist module 110 is raised and the lowering of the hoist module 110 . A second support member 164 for supporting a front portion of the rear traveling unit 144 may be included.

상기 서포트 유닛(160)은 상기 구동부(170)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 위치된 주행 모듈(110)을 향해 하강될 수 있다. 이때, 상기 제1 서포트 부재(162)와 제2 서포트 부재(164)는 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위와 전방 부위에 각각 인접하도록 하강될 수 있다.The support unit 160 may be lowered toward the traveling module 110 positioned on the end of the first traveling rail 120 by the driving unit 170 . In this case, the first support member 162 and the second support member 164 may be lowered to be adjacent to the rear portion and the front portion of the rear traveling unit 144 , respectively.

이어서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 컨베이어(152)의 동작에 의해 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위가 상기 제1 서포트 부재(162)에 의해 지지될 수 있으며, 이에 의해 상기 주행 모듈(140)과 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 경사 레일(125)을 따라 상승될 수 있다. 이때, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 구동 휠들은 아이들 상태로 전환될 수 있으며, 이에 따라 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 추진력이 아닌 상기 컨베이어(152)의 동작에 의한 상승이 이루어질 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 5 , the rear portion of the rear traveling unit 144 may be supported by the first support member 162 by the operation of the conveyor 152, whereby the traveling module ( 140 ) and the hoist module 110 may be raised along the inclined rail 125 . At this time, the driving wheels of the front and rear traveling units 142 and 144 may be switched to an idle state, and accordingly, the driving force of the conveyor 152 is not the driving force of the front and rear traveling units 142 and 144 . Ascent by motion can be made.

또한, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승시 상기 호이스트 모듈(110)의 자중에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 회전되는 것을 방지하기 위하여 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)을 상기 경사 레일(125) 상에 밀착시키는 가압 부재(166)를 구비할 수 있다. 상기 가압 부재(166)는 상기 구동부(170)에 의해 상기 제1 및 제2 서포트 부재들(162, 164)과 함께 수직 방향으로 이동될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 가압 부재(166)가 매우 개략적으로 도시되고 있으나, 상기 가압 부재(166)는 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 구조에 따라 형상 변경이 가능하므로 상기 가압 부재(166)의 도시된 형상에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.In addition, the support unit 160 is the front and rear traveling units 142 to prevent the hoist module 110 from being rotated by the weight of the hoist module 110 when the hoist module 110 is raised. , 144 may be provided with a pressing member 166 for closely contacting the inclined rail 125 on the. The pressing member 166 may be vertically moved together with the first and second support members 162 and 164 by the driving unit 170 . As shown, although the pressing member 166 is shown very schematically, the pressing member 166 can be changed in shape according to the structure of the front and rear traveling units 142 and 144, so the pressing member The scope of the present invention will not be limited by the shape shown in (166).

도 6에 도시된 바와 같이 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 도착된 후 도 7에 도시된 바와 같이 상기 서포트 유닛(160)이 상기 구동부(170)에 의해 상승될 수 있으며, 이에 따라 상기 서포트 유닛(160)과 상기 주행 모듈(140) 사이의 결합이 해제될 수 있다. 이어서, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 주행 모듈(140)의 추진력에 의해 상기 제2 주행 레일(130)을 따라 이동될 수 있다.As shown in FIG. 6 , after the hoist module 110 arrives on the end of the second traveling rail 130 , as shown in FIG. 7 , the support unit 160 is driven by the driving unit 170 . may be raised, and thus the coupling between the support unit 160 and the driving module 140 may be released. Subsequently, the hoist module 110 may be moved along the second traveling rail 130 by the driving force of the traveling module 140 .

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 이송 장치(100)는 상기 제1 연장부(156) 및 제2 연장부(158)에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 및 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈(110)을 검출하기 위한 센서들(미도시)을 더 포함할 수 있다. 아울러, 상기 센서들에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출되는 경우 상기 호이스트 모듈(110)과 승강 모듈(150)의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, although not shown, the transfer device 100 is disposed adjacent to the first extension part 156 and the second extension part 158, respectively, and the end of the first traveling rail 120 and the second Sensors (not shown) for detecting the hoist module 110 located on the end of the traveling rail 130 may be further included. In addition, when the hoist module 110 is detected by the sensors, it may further include a controller (not shown) for controlling the operations of the hoist module 110 and the elevating module 150 .

예를 들면, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 상기 호이스트 모듈(110)이 도착된 경우 상기 센서에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 일시 정지될 수 있으며, 상기 승강 모듈(150)은 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 서포트 유닛(160)에 의해 지지되도록 상기 서포트 유닛(160)을 동작시킬 수 있다. 또한, 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 승강 모듈(150)에 의해 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 도착된 경우 상기 센서에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출될 수 있으며, 상기 컨베이어(152)의 동작이 일시 정지될 수 있다. 이어서, 상기 서포트 유닛(160)과 상기 호이스트 모듈(110)의 결합이 해제될 수 있다. 상기 제어부는 상기 센서들의 신호값들에 따라 상기와 같이 호이스트 모듈(110)과 상기 승강 모듈(150)의 동작을 제어할 수 있다. For example, when the hoist module 110 arrives on the end of the first traveling rail 120, the hoist module 110 may be detected by the sensor, and the hoist module 110 is It may be temporarily stopped on the end of the first traveling rail 120 , and the elevating module 150 operates the support unit 160 so that the hoist module 110 is supported by the support unit 160 . can In addition, when the hoist module 110 arrives on the end of the second traveling rail 130 by the elevating module 150, the hoist module 110 may be detected by the sensor, and the conveyor The operation of 152 may be paused. Subsequently, the coupling between the support unit 160 and the hoist module 110 may be released. The controller may control the operations of the hoist module 110 and the elevating module 150 as described above according to the signal values of the sensors.

또한, 상기 제어부는 상기 제1 주행 레일(120) 및 제2 주행 레일(130) 상의 다른 호이스트 모듈들과의 충돌을 방지할 수 있도록 상기 호이스트 모듈(110) 및 상기 승강 모듈(150)의 동작을 제어할 수 있다.In addition, the control unit controls the operation of the hoist module 110 and the elevating module 150 to prevent collisions with other hoist modules on the first travel rail 120 and the second travel rail 130 . can be controlled

도 8은 도 1에 도시된 호이스트 모듈의 하강을 설명하기 위한 개략도이다.8 is a schematic diagram for explaining the lowering of the hoist module shown in FIG.

도 8을 참조하면, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 구동부(170)에 의해 상기 제2 주행 모듈(130)의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈(110) 상의 주행 모듈(140)과 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 서포트 부재(162)와 제2 서포트 부재(164)는 상기 구동부(170)에 의해 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위와 전방 부위에 각각 인접하도록 하강될 수 있으며, 상기 컨베이어 벨트(152)의 동작에 의해 상기 경사 레일(125) 상에서 하강될 수 있다. 이때, 상기 후방 주행 유닛(144)의 전방 부위가 상기 제2 서포트 부재(164)에 의해 지지될 수 있으며, 아울러 상기 가압 부재(166)에 의해 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)이 상기 경사 레일(125) 상에 밀착될 수 있다.Referring to FIG. 8 , the support unit 160 may be coupled to the driving module 140 on the hoist module 110 positioned on the end of the second driving module 130 by the driving unit 170 . . Specifically, the first support member 162 and the second support member 164 may be lowered to be adjacent to the rear portion and the front portion of the rear traveling unit 144 by the driving unit 170, respectively, and the It may be lowered on the inclined rail 125 by the operation of the conveyor belt 152 . At this time, the front portion of the rear traveling unit 144 may be supported by the second support member 164 , and the front and rear traveling units 142 and 144 may be moved by the pressing member 166 . It may be in close contact with the inclined rail 125 .

한편, 상기에서는 상기 서포트 유닛(160)이 상기 주행 모듈(140)을 지지하고 있으나, 상기와 다르게 상기 호이스트 모듈(110)을 직접 지지하도록 구성될 수도 있다.Meanwhile, although the support unit 160 supports the driving module 140 in the above, it may be configured to directly support the hoist module 110 differently from the above.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 10은 도 9에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.9 is a schematic configuration diagram for explaining a transport apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a schematic configuration diagram for explaining the pickup unit shown in FIG. 9 .

도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치(100)는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(120)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(130)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)과, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부와 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈(110)을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(180)을 포함할 수 있다.9 and 10 , the transport device 100 according to another embodiment of the present invention includes a hoist module 110 for transporting objects, and a first travel providing a movement path of the hoist module 110 . The rail 120 and the second traveling rail 130 providing a movement path of the hoist module 110 at a different height from the first traveling rail 120, and the hoist module 110 are mounted on top a traveling module 140 configured to be movable on the first and second traveling rails 120 and 130 , and between an end of the first traveling rail 120 and an end of the second traveling rail 130 . It may include a lifting module 180 for raising or lowering the hoist module 110 in an inclined direction.

상기 호이스트 모듈(110)과 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 및 상기 주행 모듈(140)은 도 1 및 도 2를 참조하여 기 설명된 바와 실질적으로 동일하므로 이들에 대한 추가적인 설명은 생략한다.Since the hoist module 110 and the first and second traveling rails 120 and 130 and the traveling module 140 are substantially the same as those previously described with reference to FIGS. 1 and 2 , additional descriptions thereof is omitted.

상기 승강 모듈(180)은, 도시된 바와 같이 경사진 방향으로 배치된 컨베이어(182)와, 상기 컨베이어(182)에 장착되며 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈(110)을 픽업하기 위한 픽업 유닛(190)을 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(182)는 도 1을 참조하여 기 설명된 바와 유사하게 상기 경사진 방향으로 연장하는 경사부(184)와, 상기 제1 주행 레일(120)과 평행하게 연장하는 제1 연장부(186)와 상기 제2 주행 레일(130)과 평행하게 연장하는 제2 연장부(188)를 포함할 수 있다.The elevating module 180 is mounted on the conveyor 182 and the conveyor 182 arranged in an inclined direction as shown in the figure. When the hoist module 110 is raised or lowered, the hoist module 110 is It may include a pickup unit 190 for picking up. The conveyor 182 includes an inclined portion 184 extending in the inclined direction and a first extension portion 186 extending in parallel with the first traveling rail 120 similarly as described above with reference to FIG. 1 . ) and a second extension 188 extending parallel to the second traveling rail 130 .

상기 호이스트 모듈(110)은 상승 또는 하강시 수평 상태가 유지되도록 상기 픽업 유닛(190)에 의해 현수된 상태에서 상기 컨베이어(180)에 의해 이송될 수 있다. 예를 들면, 상기 픽업 유닛(190)은 상기 호이스트 모듈(110)을 픽업하기 위한 피커(192)를 포함할 수 있으며, 벨트(194) 등을 이용하는 호이스트 방식으로 상기 피커(192)를 상하 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 피커(192)는 그리퍼 형태로 구성될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)에는 상기 피커(192)에 의한 파지가 가능하도록 걸림 부재(112)가 구비될 수 있다.The hoist module 110 may be transported by the conveyor 180 in a state suspended by the pickup unit 190 to maintain a horizontal state when ascending or descending. For example, the pickup unit 190 may include a picker 192 for picking up the hoist module 110, and may move the picker 192 up and down in a hoist method using a belt 194 or the like. can In this case, the picker 192 may be configured in the form of a gripper, and the hoist module 110 may be provided with a locking member 112 to enable gripping by the picker 192 .

그러나, 상기 피커(192)와 걸림 부재(112)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 예를 들면, 상기 피커(192)는 후크 형태를 가질 수도 있으며, 상기 걸림 부재(112)는 상기 후크 형태의 피커(192)와 대응하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 픽업 유닛(190)은 상승 및 하강시 상기 호이스트 모듈(110)이 수평 상태로 유지되도록 하는 현수 방식이 구현되도록 다양한 형태로 구성될 수 있으므로 상기 픽업 유닛(190) 자체의 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지도 않을 것이다.However, since the configuration of the picker 192 and the locking member 112 can be variously changed, the scope of the present invention will not be limited thereby. For example, the picker 192 may have a hook shape, and the engaging member 112 may be configured to correspond to the hook-shaped picker 192 . In addition, since the pickup unit 190 can be configured in various forms to implement a suspension method that allows the hoist module 110 to be maintained in a horizontal state when ascending and descending, the pickup unit 190 can be viewed by the configuration of itself. Neither will the scope of the invention be limited.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(110)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(120)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)과, 상기 제1 주행 레일(110)의 단부와 상기 제2 주행 레일(120)의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈(110)을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(150, 180)을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the transfer device 100 includes a hoist module 110 for transporting goods, and a first traveling rail 120 that provides a movement path of the hoist module 110 . ) and a second traveling rail 120 that provides a movement path of the hoist module 110 at a different height from the first traveling rail 110, and is mounted on the upper portion of the hoist module 110 and the first and a traveling module 140 configured to be movable on the second traveling rails 110 and 120 , and the hoist module between an end of the first traveling rail 110 and an end of the second traveling rail 120 . It may include elevating modules 150 and 180 for raising or lowering the 110 in an inclined direction.

상기 승강 모듈(150, 180)은 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이를 연결하는 경사 레일(125)을 따라 상기 호이스트 모듈(110)을 상승 또는 하강시킬 수 있으며, 또한 이와 다르게 현수 방식으로 상기 호이스트 모듈(110)을 상승 또는 하강시킬 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈(150, 180)은 복수의 호이스트 모듈들(110)을 연속적으로 이동시키기 위해 컨베이어(152, 182) 상에 복수의 서포트 유닛들(160) 또는 복수의 픽업 유닛들(190)을 장착할 수 있으며, 이에 따라 종래의 OHT 리프트보다 빠른 속도로 호이스트 모듈들(110)을 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이에서 이동시킬 수 있다.The elevating modules 150 and 180 may raise or lower the hoist module 110 along the inclined rail 125 connecting between the first and second traveling rails 110 and 120, and also Alternatively, the hoist module 110 may be raised or lowered in a suspended manner. In particular, the elevating module 150 , 180 includes a plurality of support units 160 or a plurality of pickup units 190 on the conveyors 152 and 182 to continuously move the plurality of hoist modules 110 . can be mounted, and thus the hoist modules 110 can be moved between the first and second traveling rails 110 and 120 at a faster speed than the conventional OHT lift.

또한, 상기 승강 모듈(150, 180)은 컨베이어(152, 182)를 이용하여 상기 호이스트 모듈(110)을 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 주행 모듈(140) 자체의 추진력을 이용하여 층간 이동하는 종래 기술과 비교하여 상기 주행 모듈(140)의 추진력을 크게 상승시킬 필요가 없으므로 상기 이송 장치(100)의 제조 비용이 크게 감소될 수 있다. 추가적으로, 종래 기술과 비교하여 상기 경사 레일(125)의 경사도를 상대적으로 높게 구성할 수 있으므로 상기 호이스트 모듈들(110)의 층간 이동 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, the lifting modules 150 and 180 may move the hoist module 110 using the conveyors 152 and 182 . That is, since there is no need to significantly increase the driving force of the driving module 140 compared to the prior art of moving between floors using the driving force of the driving module 140 itself, the manufacturing cost of the transport device 100 will be greatly reduced. can Additionally, since the inclination of the inclined rail 125 can be configured to be relatively high compared to the prior art, the inter-floor movement speed of the hoist modules 110 can be further improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

100 : 이송 장치 110 : 호이스트 모듈
120 : 제1 주행 레일 125 : 경사 레일
130 : 제2 주행 레일 140 : 주행 모듈
142 : 전방 주행 유닛 144 : 후방 주행 유닛
146 : 구동 휠 150 : 승강 모듈
152 : 컨베이어 154 : 경사부
156 : 제1 연장부 158 : 제2 연장부
160 : 서포트 유닛 162 : 제1 서포트 부재
164 : 제2 서포트 부재 166 : 가압 부재
170 : 구동부 180 : 컨베이어
190 : 픽업 유닛 192 : 피커100: transport device 110: hoist module
120: first traveling rail 125: inclined rail
130: second driving rail 140: driving module
142: front traveling unit 144: rear traveling unit
146: drive wheel 150: elevating module
152: conveyor 154: inclined part
156: first extension 158: second extension
160: support unit 162: first support member
164: second support member 166: pressing member
170: driving unit 180: conveyor
190: pickup unit 192: picker

Claims (12)

물건 이송을 위한 호이스트 모듈;
상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일;
상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일;
상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일;
상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 및 상기 경사 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈; 및
상기 호이스트 모듈을 상기 경사 레일을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함하되,
상기 승강 모듈은, 상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈 또는 상기 주행 모듈을 지지하는 서포트 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.hoist module for transporting goods;
a first traveling rail providing a movement path of the hoist module;
a second traveling rail providing a movement path of the hoist module at a different height from the first traveling rail;
an inclined rail connecting the first and second traveling rails;
a traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails and the inclined rail; and
Comprising a lifting module for raising or lowering the hoist module along the inclined rail,
The lifting module includes a conveyor configured to be parallel to the inclined rail, and a support unit mounted on the conveyor and supporting the hoist module or the traveling module when the hoist module is raised or lowered. . 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 주행 모듈은 전방 주행 유닛과 후방 주행 유닛을 포함하며,
상기 호이스트 모듈의 상승시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 후방 부위를 지지하고,
상기 호이스트 모듈의 하강시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 전방 부위를 지지하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, wherein the driving module comprises a front traveling unit and a rear traveling unit,
When the hoist module is raised, the support unit supports the rear portion of the rear traveling unit,
When the hoist module is lowered, the support unit supports a front portion of the rear traveling unit. 제3항에 있어서, 상기 서포트 유닛은 상기 호이스트 모듈의 상승 및 하강시 자중에 의한 회전을 방지하기 위해 상기 전방 및 후방 주행 유닛들을 상기 경사 레일 상에 밀착시키는 가압 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 3, wherein the support unit further comprises a pressing member for adhering the front and rear traveling units on the inclined rail to prevent rotation due to their own weight when the hoist module is raised and lowered. transport device. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.2. The conveying apparatus of claim 1, wherein the conveyor includes a first extension extending parallel to an end of the first running rail and a second extension extending parallel to an end of the second running rail. . 제5항에 있어서, 상기 승강 모듈은 상기 서포트 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.[Claim 6] The transport device according to claim 5, wherein the elevating module further comprises a driving unit for moving the support unit in a vertical direction. 제5항에 있어서, 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The sensor according to claim 5, which is disposed adjacent to each of the first and second extensions and detects a hoist module located on an end of the first running rail and an end of the second running rail. Transport device, characterized in that it further comprises. 물건 이송을 위한 호이스트 모듈;
상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일;
상기 제1 주행 레일로부터 수평 방향으로 이격되며 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일;
상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈; 및
상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함하되,
상기 승강 모듈은, 상기 제1 및 제2 주행 레일들의 단부들 상부에서 경사진 방향으로 배치된 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈을 픽업하기 위한 픽업 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.hoist module for transporting goods;
a first traveling rail providing a movement path of the hoist module;
a second traveling rail spaced apart from the first traveling rail in a horizontal direction and providing a movement path of the hoist module at a different height from the first traveling rail;
a traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; and
a lifting module for raising or lowering the hoist module in an inclined direction between an end of the first running rail and an end of the second running rail;
The elevating module includes a conveyor disposed in an inclined direction above the ends of the first and second traveling rails, and a pickup unit mounted on the conveyor to pick up the hoist module when the hoist module is raised or lowered. Conveying device, characterized in that it comprises. 삭제delete 제8항에 있어서, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.9. The conveying apparatus of claim 8, wherein the conveyor comprises a first extension extending parallel to an end of the first running rail and a second extension extending parallel to an end of the second running rail. . 제10항에 있어서, 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.11. The method of claim 10, disposed adjacent to each of the first extension portion and the second extension portion, each of the sensors for detecting a hoist module located on the end of the first running rail and the end of the second running rail. Transport device, characterized in that it further comprises. 제8항에 있어서, 상기 호이스트 모듈은 수평 상태가 유지되도록 상기 픽업 유닛에 의해 현수된 상태에서 상기 컨베이어에 의해 상승 또는 하강되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 8, wherein the hoist module is raised or lowered by the conveyor in a state suspended by the pickup unit to maintain a horizontal state.
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