KR102247447B1 - Object transport apparatus - Google Patents

Object transport apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR102247447B1
KR102247447B1 KR1020190126143A KR20190126143A KR102247447B1 KR 102247447 B1 KR102247447 B1 KR 102247447B1 KR 1020190126143 A KR1020190126143 A KR 1020190126143A KR 20190126143 A KR20190126143 A KR 20190126143A KR 102247447 B1 KR102247447 B1 KR 102247447B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
electromagnet
coupling space
magnetic member
lifting
Prior art date
Application number
KR1020190126143A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210043227A (en
Inventor
염돈철
송지근
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190126143A priority Critical patent/KR102247447B1/en
Publication of KR20210043227A publication Critical patent/KR20210043227A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102247447B1 publication Critical patent/KR102247447B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 기재의 대상물 이송 장치는 제1 결합 공간을 포함하는 제1 레일 부재; 상기 제1 레일 부재로부터 하방으로 이격되게 위치되고, 제1 결합 공간과 대응되는 크기의 제2 결합 공간을 포함하는 제2 레일 부재; 대상물을 픽업하고, 상기 제1 레일 부재 또는 상기 제2 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛; 상기 제1 레일 부재에서 제1 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제1 자성 부재; 상기 제2 레일 부재에서 제2 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제2 자성 부재; 및 상기 제1 결합 공간과 상기 제2 결합 공간에 대응되는 크기로 이루어진 승강 레일 및 상기 승강 레일의 양쪽 단부 각각에 설치되고, 상기 제1 자성 부재 또는 제2 자성 부재 사이에서 인력 및 척력이 선택적으로 발생되도록 극성이 변화되는 전자석 부재를 포함하는 승강 유닛;을 포함한다.The object transport device of the present disclosure includes a first rail member including a first coupling space; A second rail member located downwardly from the first rail member and including a second coupling space having a size corresponding to the first coupling space; A transfer unit for picking up an object and transferring the object to various positions while being transported along the first rail member or the second rail member; A first magnetic member installed in a portion constituting a first coupling space in the first rail member; A second magnetic member installed in a portion constituting a second coupling space in the second rail member; And a lifting rail having a size corresponding to the first coupling space and the second coupling space, and installed at both ends of the lifting rail, and attraction and repulsion between the first magnetic member or the second magnetic member are selectively It includes; a lifting unit including an electromagnet member whose polarity is changed to be generated.

Figure R1020190126143
Figure R1020190126143

Description

대상물 이송 장치{Object transport apparatus}Object transport apparatus

본 발명은 대상물 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체를 제조 라인에서 대상물을 이송하는데 사용되는 대상물 이송 장치에서 사용될 수 있는 대상물 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an object conveying device, and more particularly, to an object conveying device that can be used in an object conveying device used to convey an object in a manufacturing line of a semiconductor.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing device in a state accommodated in a carrier, or may be recovered from each semiconductor processing device using the carrier.

상기 캐리어는 대상물 이송 장치(OHT: Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 대상물 이송 장치는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다. 이러한 대상물 이송 장치는 레일을 복층으로 하여 캐리어를 다양한 장소에 위치시킬 수 있다.The carrier is transported by an object transport device (OHT: Overhead Hoist Transport). The object transfer device transfers the carrier in which the object is accommodated and transfers it to the load ports of the semiconductor processing devices, and picks up the carrier in which the processed object is received from the load port and transfers it to the outside. Such an object conveying device can position the carrier in various places by using the rail as a double layer.

한편, 캐리어를 파지하여 레일을 따라 이송되는 이송 유닛의 층간 이동은 이송 유닛이 상승 또는 하강되는 승강 레일에 위치된 상태에서, 승강 레일이 상승 또는 하강하면서, 이송 유닛이 상부 고정 레일 또는 하부 고정 레일을 따라 이동하는 방법이 일반적이다. 여기서, 승강 레일이 레일로부터 분리되면, 고정 레일의 일부분이 개방될 수 있다. 따라서, 고정 레일을 따라 이송중인 다른 이송 유닛이 개방된 레일로 이동되지 않게 하기 위한 안전 장치가 필요할 수 있다.On the other hand, the inter-floor movement of the transfer unit, which is transferred along the rail by gripping the carrier, is in a state where the transfer unit is located on the lift rail on which the transfer unit is raised or lowered, while the lift rail is raised or lowered, while the transfer unit is placed on the upper fixed rail or the lower fixed rail It is common to move along. Here, when the lifting rail is separated from the rail, a part of the fixed rail may be opened. Accordingly, a safety device may be required to prevent other transfer units being transferred along the fixed rail from being moved to the open rail.

여기서, 승강 레일이 어느 하나의 고정 레일에 위치된 이후에, 승강 레일과 고정 레일의 고정을 위하여 고정용 홀과 금속 핀을 서로 결합시키는 것이 일반적이다.Here, after the lifting rail is positioned on any one of the fixed rails, it is common to couple the fixing hole and the metal pin to each other in order to fix the lifting rail and the fixed rail.

한편, 승강 레일과 고정 레일의 단차가 발생되는 경우, 금속 핀이 고정용 홀에 삽입되지 않거나, 삽입되는 과정에서 금속 핀과 고정용 홀의 마찰로 인하여 파티클이 발생될 수 있다. 그리고, 금속 핀이 정해진 스트로크만큼 고정용 홀에 삽입되지 않는 경우, 금속 핀을 반복적으로 재시도하는 동작과 이를 보정하기 위한 피드백 과정의 불일치에 의한 에러가 발생되면서, 대상물 이송 시간이 오래 소요될 수 있다.Meanwhile, when a step between the lifting rail and the fixed rail occurs, the metal pin may not be inserted into the fixing hole, or particles may be generated due to friction between the metal pin and the fixing hole during the insertion process. In addition, when the metal pin is not inserted into the fixing hole for a predetermined stroke, an error occurs due to a mismatch between the operation of repeatedly retrying the metal pin and the feedback process for correcting it, and it may take a long time to transport the object. .

한국공개특허 제2019-0023531호Korean Patent Publication No. 2019-0023531

본 발명의 목적은 동작 과정 중 에러가 발생되는 것을 방지할 수 있는 대상물 이송 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an object transport device capable of preventing an error from occurring during an operation process.

본 발명의 일 측면에 따른 대상물 이송 장치는 제1 결합 공간을 포함하는 제1 레일 부재; 상기 제1 레일 부재로부터 하방으로 이격되게 위치되고, 제1 결합 공간과 대응되는 크기의 제2 결합 공간을 포함하는 제2 레일 부재; 대상물을 픽업하고, 상기 제1 레일 부재 또는 상기 제2 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛; 상기 제1 레일 부재에서 제1 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제1 자성 부재; 상기 제2 레일 부재에서 제2 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제2 자성 부재; 및 상기 제1 결합 공간과 상기 제2 결합 공간에 대응되는 크기로 이루어진 승강 레일 및 상기 승강 레일의 양쪽 단부 각각에 설치되고, 상기 제1 자성 부재 또는 제2 자성 부재 사이에서 인력 및 척력이 선택적으로 발생되도록 극성이 변화되는 전자석 부재를 포함하는 승강 유닛;을 포함한다.An object transport device according to an aspect of the present invention includes: a first rail member including a first coupling space; A second rail member located downwardly from the first rail member and including a second coupling space having a size corresponding to the first coupling space; A transfer unit for picking up an object and transferring the object to various positions while being transported along the first rail member or the second rail member; A first magnetic member installed in a portion constituting a first coupling space in the first rail member; A second magnetic member installed in a portion constituting a second coupling space in the second rail member; And a lifting rail having a size corresponding to the first coupling space and the second coupling space, and installed at both ends of the lifting rail, and attraction and repulsion between the first magnetic member or the second magnetic member are selectively It includes; a lifting unit including an electromagnet member whose polarity is changed to be generated.

한편, 상기 전자석 부재는 상기 승강 레일에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제2 자성 부재는 제2 레일 부재에 회전 가능하게 결합되며, 상기 승강 레일 및 상기 제2 자성 부재에 각각 설치되고, 상기 전자석 부재가 회전되게 하며, 상기 제2 자성 부재도 상기 전자석 부재와 연동하여 회전되게 하는 동력 부재; 및 상기 전자석 부재 또는 상기 제2 자성 부재가 회전되도록, 상기 동력 부재의 동작을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the electromagnet member is rotatably coupled to the elevating rail, the second magnetic member is rotatably coupled to the second rail member, respectively installed on the elevating rail and the second magnetic member, the electromagnet member A power member to rotate and rotate the second magnetic member in association with the electromagnet member; And a control unit for controlling an operation of the power member so that the electromagnet member or the second magnetic member is rotated.

한편, 상기 승강 레일이 상기 제2 레일 부재의 제2 결합 공간에 위치된 상태에서 제1 레일 부재의 제1 결합 공간을 향하여 이동되어야 하는 경우, 상기 제어부는, 상기 전자석 부재에서 상기 제2 자성 부재를 마주하는 면이 아래를 향하게 하고, 상기 제2 자성 부재에서 상기 전자석 부재를 마주하는 면이 위를 향하게 하도록 상기 동력 부재를 제어할 수 있다.On the other hand, when the lifting rail is to be moved toward the first coupling space of the first rail member while being located in the second coupling space of the second rail member, the control unit, the second magnetic member in the electromagnet member The power member may be controlled such that a surface facing the electromagnet member faces downward, and a surface facing the electromagnet member in the second magnetic member faces upward.

한편, 상기 전자석 부재는 상기 제1 자성 부재와 동일한 극성일 수 있다.Meanwhile, the electromagnet member may have the same polarity as the first magnetic member.

한편, 상기 승강 레일이 제1 레일 부재의 제1 결합 공간에 계속 위치되는 경우, 상기 제어부는, 상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재를 제어할 수 있다.Meanwhile, when the lifting rail is continuously positioned in the first coupling space of the first rail member, the controller may control the power member so that the electromagnet member is perpendicular to the lifting rail.

한편, 상기 승강 레일이 제2 레일 부재의 제2 결합 공간에 계속 위치되는 경우, 상기 제어부는, 상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 수직이 되게 하고, 상기 제2 자성 부재가 상기 제2 레일 부재에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재를 제어할 수 있다.On the other hand, when the lifting rail is continuously positioned in the second coupling space of the second rail member, the control unit causes the electromagnet member to be perpendicular to the lifting rail, and the second magnetic member is the second rail member It is possible to control the power member to be perpendicular to.

한편, 상기 전자석 부재는 상기 제1 자성 부재 및 제2 자성 부재와 반대 극성일 수 있다.Meanwhile, the electromagnet member may have a polarity opposite to that of the first magnetic member and the second magnetic member.

한편, 상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 하는 제1 각도 유지 유닛을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the electromagnet member may further include a first angle maintaining unit for maintaining a constant angle with respect to the lifting rail.

한편, 상기 제1 각도 유지 유닛은, 상기 승강 레일에서 상기 전자석 부재가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입되는 제1 수납부; 상기 전자석 부재의 적어도 일측으로부터 돌출되는 제1 가이드핀; 및 상기 승강 레일에서 상기 제1 가이드핀이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 전자석 부재가 회전되는 과정에서 상기 제1 가이드핀이 이동되는 궤적을 따라 형성되는 제1 가이드부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the first angle maintaining unit, the first receiving portion that is inserted at a predetermined angle to a portion of the elevating rail where the electromagnet member is located; A first guide pin protruding from at least one side of the electromagnet member; And a first guide part penetrating a part of a portion of the lifting rail facing the first guide pin, and formed along a trajectory in which the first guide pin moves while the electromagnet member is rotated. have.

한편, 상기 제2 자성 부재가 상기 제2 레일 부재에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 하는 제2 각도 유지 유닛을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the second magnetic member may further include a second angle maintaining unit capable of maintaining a predetermined angle with respect to the second rail member.

한편, 상기 제2 각도 유지 유닛은, 상기 제2 레일 부재에서 상기 제2 자성 부재가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입되는 제2 수납부; 상기 제2 자성 부재의 적어도 일측으로부터 돌출되는 제2 가이드핀; 및 상기 제2 레일 부재에서 상기 제2 가이드핀이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 제2 자성 부재가 회전되는 과정에서 상기 제2 가이드핀이 이동되는 궤적을 따라 형성되는 제2 가이드부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the second angle maintaining unit, the second receiving portion that is inserted at a predetermined angle to a portion of the second rail member where the second magnetic member is located; A second guide pin protruding from at least one side of the second magnetic member; And a second guide part penetrating a portion of a portion of the second rail member facing the second guide pin, and formed along a trajectory in which the second guide pin moves while the second magnetic member is rotated. It may include.

본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 제1 자성 부재, 제2 자성 부재 및 전자석 부재를 사용하여 비접촉 방식으로 승강 레일의 위치를 고정할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 종래의 대상물 이송 장치에서와 같이 고정용 홀이나 금속 핀과 같은 기계적인 방식으로 레일들을 고정하지 않으므로, 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있다.The object transporting device according to an embodiment of the present invention may fix the position of the lifting rail in a non-contact manner using a first magnetic member, a second magnetic member, and an electromagnet member. Accordingly, the object transport device according to an embodiment of the present invention does not fix the rails in a mechanical manner such as a fixing hole or a metal pin, as in a conventional object transport device, and thus particles can be prevented from being generated. .

뿐만 아니라, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 승강 레일의 승강 또는 하강 이후에 전자석 부재에서 극성을 변경하기만 하고, 고정용 홀이나 금속 핀의 동작 에러와 같은 상황이 발생되지 않는다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 동작 과정에서 에러가 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the object transport apparatus according to an embodiment of the present invention only changes the polarity in the electromagnet member after the lifting or lowering of the lifting rail, and a situation such as an operation error of a fixing hole or a metal pin does not occur. That is, the object transport apparatus according to an embodiment of the present invention can prevent an error from occurring during an operation process.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 승강 유닛의 동작 과정이 종래의 대상물 이송 장치와 비교하여 현저하게 간소화될 수 있으므로, 전체적인 동작시간을 단축하여 대상물 이송 시간도 감소시킬 수 있다.Accordingly, in the object transport apparatus according to an embodiment of the present invention, since the operation process of the lifting unit can be significantly simplified compared to the conventional object transport apparatus, the overall operation time can be shortened, thereby reducing the object transport time.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 승강 레일이 제2 레일 부재로부터 제1 레일 부재로 이동(상승)이 필요한 경우, 제어부가 전자석 부재 및 상기 제2 자성 부재가 회전되도록 동력 부재를 제어한다.In addition, the object transport device according to an embodiment of the present invention, when the lifting rail needs to move (raise) from the second rail member to the first rail member, the control unit is a power member so that the electromagnet member and the second magnetic member are rotated. Control.

이에 따라, 전자석 부재는 승강 레일에 경사지게 위치되고, 제2 자성 부재는 제2 레일 부재에 경사지게 위치될 수 있다. 그리고, 전자석 부재는 제2 자성 부재와 동일한 극성으로 변화한다. 그러므로, 제2 자성 부재와 전자석 부재 사이에서 척력이 발생되면서, 전자석 부재에서 제2 자성 부재를 향하는 면이 아래 방향을 향하고 있다. 따라서, 승강 레일이 위를 향하여 용이하게 이동될 수 있는 상태가 될 수 있다.Accordingly, the electromagnet member may be positioned to be inclined to the lifting rail, and the second magnetic member may be positioned to be inclined to the second rail member. Then, the electromagnet member changes to the same polarity as the second magnetic member. Therefore, while a repulsive force is generated between the second magnetic member and the electromagnet member, the surface of the electromagnet member facing the second magnetic member faces downward. Accordingly, the lifting rail can be in a state in which it can be easily moved upward.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 정면에서 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 측면에서 도시한 도면이다.
도 3은 승강 레일이 제1 레일 부재로부터 제2 레일 부재로 하강되는 과정을 도시한 도면이다.
도 4는 제1 각도 유지 유닛을 아래에서 바라본 도면이다.
도 5는, 도 3의 제1 각도 유닛 유닛에 의하여 전자석 부재가 승강 레일에 대해 경사지게 위치된 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 제2 각도 유지 유닛을 위에서 바라본 도면이다.
도 7은, 도 6의 제2 각도 유닛 유닛에 의하여 제2 자성 부재가 제2 레일 부재에 대해 경사지게 위치된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 제2 자성 부재와 전자석 부재가 각각 회전되는 과정을 도시한 단면도이다.
도 9는 승강 레일이 제2 레일 부재에 위치된 상태를 도시한 도면이다.1 is a view showing an object transfer device according to an embodiment of the present invention from the front.
2 is a view showing an object transport device according to an embodiment of the present invention from the side.
3 is a view showing a process in which the lifting rail is lowered from the first rail member to the second rail member.
4 is a view of the first angle maintaining unit as viewed from below.
FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the electromagnet member is located obliquely with respect to the lifting rail by the first angle unit unit of FIG. 3.
6 is a view as viewed from above of the second angle maintaining unit.
FIG. 7 is a diagram illustrating a state in which the second magnetic member is positioned obliquely with respect to the second rail member by the second angle unit unit of FIG. 6.
8 is a cross-sectional view illustrating a process in which the second magnetic member and the electromagnet member are respectively rotated.
9 is a view showing a state in which the lifting rail is positioned on the second rail member.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description have been omitted, and the same reference numerals are attached to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described only in a representative embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, only configurations different from the representative embodiment will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also being "indirectly connected" with another member therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 제1 레일 부재(110), 제2 레일 부재(120), 이송 유닛(130), 제1 자성 부재(112), 제2 자성 부재(122) 및 승강 유닛(140)을 포함한다.1 to 3, the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention includes a first rail member 110, a second rail member 120, a transfer unit 130, and a first magnetic member. 112, a second magnetic member 122 and a lifting unit 140.

제1 레일 부재는 제1 결합 공간(111)을 포함한다. 제1 결합 공간(111)은 제1 레일 부재(110)의 일부분에 개방되게 형성된 부분이다. 후술할 승강 유닛(140)에 포함된 승강 레일(141)이 제1 결합 공간(111)에 위치될 수 있다.The first rail member includes a first coupling space 111. The first coupling space 111 is a portion formed to be open to a part of the first rail member 110. The lifting rail 141 included in the lifting unit 140 to be described later may be located in the first coupling space 111.

제2 레일 부재는 상기 제1 레일 부재(110)로부터 하방으로 이격되게 위치될 수 잇다. 제2 레일 부재(120)는 제1 결합 공간(111)과 대응되는 크기의 제2 결합 공간(121)을 포함한다. 제2 결합 공간(121)은 제2 레일 부재(120)의 일부분에 개방되게 형성된 부분이다. 후술할 승강 유닛(140)에 포함된 승강 레일(141)이 제2 결합 공간(121)에 위치될 수 있다.The second rail member may be positioned to be spaced downward from the first rail member 110. The second rail member 120 includes a second coupling space 121 having a size corresponding to the first coupling space 111. The second coupling space 121 is a portion formed to be open to a part of the second rail member 120. The lifting rail 141 included in the lifting unit 140 to be described later may be located in the second coupling space 121.

제1 결합 공간(111)과 제2 결합 공간(121)은 상하방향으로 나란할 수 있다. 이에 따라, 후술한 승강 유닛(140)이 동작되면서, 승강 유닛(140)의 일부분이 제1 결합 공간(111)과 제2 결합 공간(121) 각각에 위치될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.The first coupling space 111 and the second coupling space 121 may be parallel to each other in the vertical direction. Accordingly, while the lifting unit 140 to be described later is operated, a part of the lifting unit 140 may be located in each of the first coupling space 111 and the second coupling space 121. A detailed description of this will be described later.

제1 레일 부재(110) 및 제2 레일 부재(120)는 반도체 제조 라인의 천장에 설치되거나, 천장에 결합된 프레임(F)에 설치될 수 있다. 제1 레일 부재(110) 및 제2 레일 부재(120)는 일례로 두 개의 레일이 서로 일정 거리 이격되게 배치된 것일 수 있다.The first rail member 110 and the second rail member 120 may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line or on the frame F coupled to the ceiling. The first rail member 110 and the second rail member 120 may be, for example, that two rails are disposed to be spaced apart from each other by a predetermined distance.

제1 레일 부재(110) 및 제2 레일 부재(120)는 이송 유닛(130)이 다양한 장소로 이동하도록 할 수 있다. 이러한 제1 레일 부재(110) 및 제2 레일 부재(120)는 직선 및 곡선 등 다양한 형상으로 구성되어 천장의 다양한 영역에 배치될 수 있다.The first rail member 110 and the second rail member 120 may allow the transfer unit 130 to move to various places. The first rail member 110 and the second rail member 120 may have various shapes such as straight lines and curves, and may be disposed in various areas of the ceiling.

이송 유닛은 대상물(미도시)을 픽업하고, 상기 제1 레일 부재(110) 또는 상기 제2 레일 부재(120)를 따라서 이송되면서 대상물을 다양한 위치로 이송한다. 이를 위한 이송 유닛(130)의 상측에는 구동 부재(101)와 바퀴 부재(102)가 설치될 수 있다. 바퀴 부재(102)가 구동 부재(101)에 의해 회전되면, 이송 유닛(130)이 상기 제1 레일 부재(110) 또는 상기 제2 레일 부재(120)를 따라서 이송될 수 있다.The transfer unit picks up an object (not shown) and transfers the object to various positions while being transferred along the first rail member 110 or the second rail member 120. A driving member 101 and a wheel member 102 may be installed on the upper side of the transfer unit 130 for this purpose. When the wheel member 102 is rotated by the driving member 101, the transport unit 130 may be transported along the first rail member 110 or the second rail member 120.

이송 유닛(130)은 제1 레일 부재(110) 또는 제2 레일 부재(120)로부터 전원을 공급받을 수 있다. 이와 다르게, 이송 유닛(130)은 충전식 배터리를 포함할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 이와 같은 이송 유닛(130)에 의해 이송되는 대상물은 웨이퍼 캐리어(FOUP)일 수 있다. 웨이퍼 캐리어는 복수의 웨이퍼를 수납할 수 있다. 복수의 웨이퍼가 상하방향으로 나란하게 적층되어 웨이퍼 캐리어의 내부에 수납될 수 있다.The transfer unit 130 may receive power from the first rail member 110 or the second rail member 120. Alternatively, the transfer unit 130 may include a rechargeable battery, but is not limited thereto. The object transferred by the transfer unit 130 may be a wafer carrier (FOUP). The wafer carrier can accommodate a plurality of wafers. A plurality of wafers may be stacked side by side in the vertical direction to be accommodated in the wafer carrier.

제1 자성 부재(112)는 상기 제1 레일 부재(110)에서 제1 결합 공간(111)을 구성하는 부분에 설치된다. 제1 결합 공간(111)은 제1 레일 부재(110)에서 연결이 되지 않은 부분일 수 있고, 서로 좌우 방향으로 나란하게 이격된 두 개의 제1 자성 부재(112) 사이의 공간일 수 있다.The first magnetic member 112 is installed in a portion of the first rail member 110 constituting the first coupling space 111. The first coupling space 111 may be a portion of the first rail member 110 that is not connected, and may be a space between two first magnetic members 112 spaced parallel to each other in the left and right directions.

제2 자성 부재(122)는 상기 제2 레일 부재(120)에서 제2 결합 공간(121)을 구성하는 부분에 설치된다. 제2 결합 공간(121)은 제2 레일 부재(120)에서 연결이 되지 않은 부분일 수 있고, 서로 좌우 방향으로 나란하게 이격된 두 개의 제2 자성 부재(122) 사이의 공간일 수 있다.The second magnetic member 122 is installed in a portion of the second rail member 120 constituting the second coupling space 121. The second coupling space 121 may be a portion that is not connected to the second rail member 120, and may be a space between the two second magnetic members 122 spaced parallel to each other in the left and right directions.

상기 제2 자성 부재(122)와 제1 자성 부재(112)의 극성은 서로 상이할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제2 자성 부재(122)와 제1 자성 부재(112)의 극성은 동일한 것도 가능할 수 있다.Polarities of the second magnetic member 122 and the first magnetic member 112 may be different from each other. Alternatively, the second magnetic member 122 and the first magnetic member 112 may have the same polarity.

승강 유닛(140)은 이송 유닛(130)을 상승 또는 하강시켜서, 이송 유닛(130)이 제1 레일 부재(110) 또는 제2 레일 부재(120)에 위치되도록 할 수 있다.The lifting unit 140 may raise or lower the transport unit 130 so that the transport unit 130 is positioned on the first rail member 110 or the second rail member 120.

이를 위한 승강 유닛(140)은 일례로, 승강 레일(141)과 전자석 부재(142)를 포함한다.For this, the lifting unit 140 includes, for example, a lifting rail 141 and an electromagnet member 142.

승강 레일(141)은 상기 제1 결합 공간(111)과 상기 제2 결합 공간(121)에 대응되는 크기로 이루어진다. 승강 레일(141)의 수직 단면 형상은 제1 레일 부재(110) 또는 제2 레일 부재(120)와 동일할 수 있고, 길이는 제1 레일 부재(110)나 제2 레일 부재(120)보다 상대적으로 짧게 이루어진 것일 수 있다. 승강 레일(141)은 제1 결합 공간(111)에 위치되거나, 제2 결합 공간(121)에 위치될 수 있다.The lifting rail 141 has a size corresponding to the first coupling space 111 and the second coupling space 121. The vertical cross-sectional shape of the lifting rail 141 may be the same as the first rail member 110 or the second rail member 120, and the length is relative to the first rail member 110 or the second rail member 120. It may be made short. The lifting rail 141 may be located in the first coupling space 111 or in the second coupling space 121.

전자석 부재(142)는 상기 승강 레일(141)의 양쪽 단부 각각에 설치될 수 있다. 전자석 부재(142)는 상기 제1 자성 부재(112) 또는 제2 자성 부재(122) 사이에서 인력 및 척력이 선택적으로 발생되도록 극성이 변화될 수 있다.Electromagnet members 142 may be installed at both ends of the lifting rail 141. The polarity of the electromagnet member 142 may be changed so that attractive force and repulsive force are selectively generated between the first magnetic member 112 or the second magnetic member 122.

예를 들어, 전자석 부재(142)는 제1 자성 부재(112)와 인력이 작용하는 극성으로 변화되어 승강 레일(141)이 제1 레일 부재(110)로부터 이동되지 않도록 할 수 있다. 그리고, 전자석 부재(142)는 제2 자성 부재(122)와 인력이 작용하는 극성으로 변화되어 승강 레일(141)이 제2 레일 부재(120)로부터 이동되지 않도록 할 수 있다.For example, the electromagnet member 142 may be changed to a polarity in which the first magnetic member 112 and the attractive force act to prevent the lifting rail 141 from moving from the first rail member 110. In addition, the electromagnet member 142 is changed to a polarity in which the second magnetic member 122 and the attractive force act, so that the lifting rail 141 may not be moved from the second rail member 120.

또한, 전자석 부재(142)는 제2 자성 부재(122)와 척력이 작용하는 극성으로 변화되어 승강 레일(141)이 제2 레일 부재(120)로부터 분리가 용이하게 되도록 할 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.In addition, the electromagnet member 142 may be changed to a polarity in which a repulsive force acts with the second magnetic member 122 so that the lifting rail 141 can be easily separated from the second rail member 120. A detailed description of this will be described later.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 제1 자성 부재(112), 제2 자성 부재(122) 및 전자석 부재(142)를 사용하여 비접촉 방식으로 승강 레일(141)의 위치를 고정할 수 있다.2 and 3, the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention uses a first magnetic member 112, a second magnetic member 122, and an electromagnet member 142. The position of the lifting rail 141 may be fixed in a non-contact manner.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 종래의 대상물 이송 장치에서와 같이 고정용 홀이나 금속 핀과 같은 기계적인 방식으로 레일들을 고정하지 않으므로, 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, the object transport device 100 according to an embodiment of the present invention does not fix the rails in a mechanical manner such as a fixing hole or a metal pin, as in a conventional object transport device, so that particles are prevented from being generated. I can.

뿐만 아니라, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 승강 레일(141)의 승강 또는 하강 이후에 전자석 부재(142)에서 극성을 변경하기만 하고, 고정용 홀이나 금속 핀의 동작 에러와 같은 상황이 발생되지 않는다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 동작 과정에서 에러가 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention only changes the polarity in the electromagnet member 142 after the lifting or lowering of the lifting rail 141, and the operation of the fixing hole or metal pin The situation like an error does not occur. That is, the object transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may prevent an error from occurring during an operation process.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 승강 유닛(140)의 동작 과정이 종래의 대상물 이송 장치와 비교하여 현저하게 간소화될 수 있으므로, 전체적인 동작시간을 단축하여 대상물 이송 시간도 감소시킬 수 있다.Therefore, in the object transport device 100 according to an embodiment of the present invention, since the operation process of the lifting unit 140 can be significantly simplified compared to the conventional object transport device, the overall operation time is shortened to reduce the object transport time. Can also be reduced.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)에서 전자석 부재(142)는 승강 레일(141)에 회전 가능하게 결합되고, 제2 자성 부재(122)는 제2 레일 부재(120)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.On the other hand, in the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention, the electromagnet member 142 is rotatably coupled to the lifting rail 141, and the second magnetic member 122 is the second rail member 120 Can be rotatably coupled to.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 제1 각도 유지 유닛(160)을 더 포함할 수 있다.4 to 7, the object transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a first angle maintaining unit 160.

제1 각도 유지 유닛(160)은 상기 전자석 부재(142)가 상기 승강 레일(141)에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 한다.The first angle maintaining unit 160 enables the electromagnet member 142 to maintain a certain angle with respect to the lifting rail 141.

상기 제1 각도 유지 유닛(160)은 일례로, 제1 수납부(161), 제1 가이드핀(162) 및 제1 가이드부(163)를 포함할 수 있다.The first angle maintaining unit 160 may include, for example, a first accommodating part 161, a first guide pin 162, and a first guide part 163.

제1 수납부(161)는 상기 승강 레일(141)에서 상기 전자석 부재(142)가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입된다. 이러한 제1 수납부(161)는 승강 레일(141)에서 전자석 부재(142)가 회전 가능하게 결합되는 단부에 삼각형 형상으로 인입된 부분일 수 있다.The first accommodating part 161 is inserted into a portion of the lifting rail 141 where the electromagnet member 142 is positioned at a predetermined angle. The first accommodating part 161 may be a portion inserted in a triangular shape to an end portion of the lifting rail 141 to which the electromagnet member 142 is rotatably coupled.

전자석 부재(142)가 제1 수납부(161) 쪽으로 최대한 회전되면, 전자석 부재(142)가 제1 수납부(161)에 수납될 수 있다. 이때, 전자석 부재(142)는 승강 레일(141)에 대해 경사지게 위치될 수 있다.When the electromagnet member 142 is rotated toward the first accommodating part 161 as much as possible, the electromagnet member 142 may be accommodated in the first accommodating part 161. In this case, the electromagnet member 142 may be positioned to be inclined with respect to the lifting rail 141.

이와 반대로, 전자석 부재(142)가 제1 수납부(161)로부터 최대한 멀어지는 방향으로 회전되면, 전자석 부재(142)는 승강 레일(141)에 대해 수직인 상태일 수 있다.Conversely, when the electromagnet member 142 is rotated in a direction as far away from the first storage unit 161, the electromagnet member 142 may be in a state perpendicular to the lifting rail 141.

제1 가이드핀(162)은 상기 전자석 부재(142)의 적어도 일측으로부터 돌출된다. 제1 가이드핀(162)은 전자석 부재(142)의 일측면으로부터 돌출될 수도 있고, 전자석 부재(142)의 양측면 각각으로부터 돌출될 수도 있다.The first guide pin 162 protrudes from at least one side of the electromagnet member 142. The first guide pin 162 may protrude from one side of the electromagnet member 142 or may protrude from each of both side surfaces of the electromagnet member 142.

제1 가이드부(163)는 상기 승강 레일(141)에서 상기 제1 가이드핀(162)이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 전자석 부재(142)가 회전되는 과정에서 상기 제1 가이드핀(162)이 이동되는 궤적을 따라 형성된다. 제1 가이드부(163)의 형상은 일례로 아크(arc) 형상일 수 있다. 제1 가이드부(163)는 제1 가이드핀(162)의 이동을 안내하여 전자석 부재(142)가 안정적으로 회전되도록 할 수 있다.The first guide part 163 penetrates a part of the portion of the lifting rail 141 where the first guide pin 162 faces, and the first guide pin ( 162) is formed along the moving trajectory. The shape of the first guide part 163 may be, for example, an arc shape. The first guide part 163 may guide the movement of the first guide pin 162 to stably rotate the electromagnet member 142.

이와 같은 제1 각도 유지 유닛(160)은 전자석 부재(142)가 승강 레일(141)에 대해 수직 또는 경사지게 위치되도록 할 수 있다.The first angle maintaining unit 160 may allow the electromagnet member 142 to be positioned vertically or inclined with respect to the lifting rail 141.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 제2 각도 유지 유닛(170)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the object transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a second angle maintaining unit 170.

제2 각도 유지 유닛(170)은 상기 제2 자성 부재(122)가 상기 제2 레일 부재(120)에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 한다.The second angle maintaining unit 170 enables the second magnetic member 122 to maintain a constant angle with respect to the second rail member 120.

상기 제2 각도 유지 유닛(170)은 일례로, 제2 수납부(171), 제2 가이드핀(172) 및 제2 가이드부(173)를 포함할 수 있다.The second angle maintaining unit 170 may include, for example, a second accommodating part 171, a second guide pin 172, and a second guide part 173.

제2 수납부(171)는 상기 제2 레일 부재(120)에서 상기 제2 자성 부재(122)가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입된다. 이러한 제2 수납부(171)는 제2 레일 부재(120)에서 제2 자성 부재(122)가 회전 가능하게 결합되는 단부에 삼각형 형상으로 인입된 부분일 수 있다.The second accommodating part 171 is inserted into a portion of the second rail member 120 where the second magnetic member 122 is positioned at a predetermined angle. The second accommodating part 171 may be a portion inserted in a triangular shape at an end portion of the second rail member 120 to which the second magnetic member 122 is rotatably coupled.

제2 자성 부재(122)가 제2 수납부(171) 쪽으로 최대한 회전되면, 제2 자성 부재(122)가 제2 수납부(171)에 수납될 수 있다. 이때, 제2 자성 부재(122)는 제2 레일 부재(120)에 대해 경사지게 위치될 수 있다.When the second magnetic member 122 is rotated toward the second receiving unit 171 as much as possible, the second magnetic member 122 may be accommodated in the second receiving unit 171. In this case, the second magnetic member 122 may be positioned to be inclined with respect to the second rail member 120.

이와 반대로, 제2 자성 부재(122)가 제2 수납부(171)로부터 최대한 멀어지는 방향으로 회전되면, 제2 자성 부재(122)는 제2 레일 부재(120)에 대해 수직인 상태일 수 있다.Conversely, when the second magnetic member 122 is rotated in a direction as far away from the second accommodating part 171, the second magnetic member 122 may be in a state perpendicular to the second rail member 120.

제2 가이드핀(172)은 상기 제2 자성 부재(122)의 적어도 일측으로부터 돌출된다. 제2 가이드핀(172)은 제2 자성 부재(122)의 일측면으로부터 돌출될 수도 있고, 제2 자성 부재(122)의 양측면 각각으로부터 돌출될 수도 있다.The second guide pin 172 protrudes from at least one side of the second magnetic member 122. The second guide pin 172 may protrude from one side surface of the second magnetic member 122 or may protrude from each of both side surfaces of the second magnetic member 122.

제2 가이드부(173)는 상기 제2 레일 부재(120)에서 상기 제2 가이드핀(172)이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 제2 자성 부재(122)가 회전되는 과정에서 상기 제2 가이드핀(172)이 이동되는 궤적을 따라 형성된다. 제2 가이드부(173)의 형상은 일례로 아크(arc) 형상일 수 있다. 제2 가이드부(173)는 제2 가이드핀(172)의 이동을 안내하여 제2 자성 부재(122)가 안정적으로 회전되도록 할 수 있다.The second guide part 173 penetrates a part of the second rail member 120 facing the second guide pin 172, and the second magnetic member 122 is rotated. 2 The guide pin 172 is formed along the moving trajectory. The shape of the second guide part 173 may be, for example, an arc shape. The second guide part 173 may guide the movement of the second guide pin 172 to stably rotate the second magnetic member 122.

이와 같은 제2 각도 유지 유닛(170)은 제2 자성 부재(122)가 제2 레일 부재(120)에 대해 수직 또는 경사지게 위치되도록 할 수 있다.The second angle maintaining unit 170 may allow the second magnetic member 122 to be positioned vertically or inclined with respect to the second rail member 120.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 동력 부재(151)와 제어부(152)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the object transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a power member 151 and a control unit 152.

동력 부재는 상기 전자석 부재(142) 및 상기 제2 자성 부재(122)에 각각 설치된다. 예를 들어, 동력 부재(151)는 전자석 부재(142)가 승강 레일(141)에 대해 회전될 수 있게 하는 회전축(X)을 회전시켜서 전자석 부재(142)를 회전시킬 수 있다.Power members are installed on the electromagnet member 142 and the second magnetic member 122, respectively. For example, the power member 151 may rotate the electromagnet member 142 by rotating a rotation shaft X that allows the electromagnet member 142 to rotate with respect to the lifting rail 141.

또한, 제2 자성 부재(122)가 제2 레일 부재(120)에 대해 회전될 수 있게 하는 회전축(X)을 회전시켜서 제2 자성 부재(122)를 회전시킬 수 있다. 다만, 동력 부재(151)가 이와 같은 것으로 한정하지는 않으며, 전자석 부재(142) 또는 제2 자성 부재(122)를 회전시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다. 이러한 동력 부재(151)는 상기 전자석 부재(142)가 회전되게 하며, 상기 제2 자성 부재(122)도 상기 전자석 부재(142)와 연동하여 회전되게 한다.In addition, the second magnetic member 122 may be rotated by rotating a rotation shaft X that allows the second magnetic member 122 to rotate with respect to the second rail member 120. However, the power member 151 is not limited to this, and any one capable of rotating the electromagnet member 142 or the second magnetic member 122 may be used. The power member 151 causes the electromagnet member 142 to rotate, and the second magnetic member 122 also rotates in conjunction with the electromagnet member 142.

제어부(152)는 상기 전자석 부재(142) 또는 상기 제2 자성 부재(122)가 회전되도록, 상기 동력 부재(151)의 동작을 제어한다. 제어부(152)는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)를 전반적으로 제어하는 것일 수 있다. 이와 같은 제어부(152)의 동작은 다음과 같다.The controller 152 controls the operation of the power member 151 so that the electromagnet member 142 or the second magnetic member 122 rotates. The control unit 152 may be for overall control of the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention. The operation of the control unit 152 is as follows.

우선, 상기 승강 레일(141)이 상기 제2 레일 부재(120)의 제2 결합 공간(121)에 위치된 상태에서 제1 레일 부재(110)의 제1 결합 공간(111)을 향하여 이동되어야 하는 경우, 상기 제어부(152)는 상기 전자석 부재(142)에서 상기 제2 자성 부재(122)를 마주하는 면이 아래를 향하게 한다. 그리고, 제어부(152)는 상기 제2 자성 부재(122)에서 상기 전자석 부재(142)를 마주하는 면이 위를 향하게 하도록 상기 동력 부재(151)를 제어할 수 있다.First, in a state in which the lifting rail 141 is located in the second coupling space 121 of the second rail member 120, it should be moved toward the first coupling space 111 of the first rail member 110. In this case, the control unit 152 makes the surface of the electromagnet member 142 facing the second magnetic member 122 face down. In addition, the control unit 152 may control the power member 151 such that a surface of the second magnetic member 122 facing the electromagnet member 142 faces upward.

이때, 상기 전자석 부재(142)는 상기 제1 자성 부재(112)와 동일한 극성일 수 있다. 이에 따라, 전자석 부재(142)와 제1 자성 부재(112)가 서로 밀어내려고 함으로써, 승강 레일(141)이 제2 레일 부재(120)로부터 상방으로 이동하기에 용이한 상태가 될 수 있다.In this case, the electromagnet member 142 may have the same polarity as the first magnetic member 112. Accordingly, since the electromagnet member 142 and the first magnetic member 112 try to push each other, the lifting rail 141 can be easily moved upward from the second rail member 120.

이와 다르게, 상기 승강 레일(141)이 제1 레일 부재(110)의 제1 결합 공간(111)에 계속 위치되는 경우, 상기 제어부(152)는 상기 전자석 부재(142)가 상기 승강 레일(141)에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재(151)를 제어할 수 있다.In contrast, when the lifting rail 141 is continuously positioned in the first coupling space 111 of the first rail member 110, the control unit 152 is the electromagnet member 142 is the lifting rail 141 It is possible to control the power member 151 to be perpendicular to.

그리고, 상기 승강 레일(141)이 제2 레일 부재(120)의 제2 결합 공간(121)에 계속 위치되는 경우, 상기 제어부(152)는 상기 전자석 부재(142)가 상기 승강 레일(141)에 대해 수직이 되게 한다. 그리고, 제어부(152)는 상기 제2 자성 부재(122)가 상기 제2 레일 부재(120)에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재(151)를 제어할 수 있다.And, when the lifting rail 141 is continuously located in the second coupling space 121 of the second rail member 120, the control unit 152 is the electromagnet member 142 to the lifting rail 141 To be perpendicular to it. In addition, the controller 152 may control the power member 151 so that the second magnetic member 122 is perpendicular to the second rail member 120.

이때, 상기 전자석 부재(142)는 상기 제1 자성 부재(112) 및 제2 자성 부재(122)와 반대 극성일 수 있다. 이에 따라, 전자석 부재(142)와 제1 자성 부재(112)가 서로 끌어당기려고 함으로써, 전자석 부재(142)가 제1 레일 부재(110)의 제1 결합 공간(111)에 안정적으로 위치될 수 있다. 또는, 전자석 부재(142)와 제2 자성 부재(122)가 서로 끌어당기려고 함으로써, 제2 레일 부재(120)의 제2 결합 공간(121)에 안정적으로 위치될 수 있다.In this case, the electromagnet member 142 may have a polarity opposite to that of the first magnetic member 112 and the second magnetic member 122. Accordingly, the electromagnet member 142 and the first magnetic member 112 try to attract each other, so that the electromagnet member 142 can be stably positioned in the first coupling space 111 of the first rail member 110. have. Alternatively, since the electromagnet member 142 and the second magnetic member 122 try to attract each other, they may be stably positioned in the second coupling space 121 of the second rail member 120.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 승강 레일(141)이 제2 레일 부재(120)로부터 제1 레일 부재(110)로 이동(상승)이 필요한 경우, 제어부(152)는 전자석 부재(142) 및 상기 제2 자성 부재(122)가 회전되도록 동력 부재(151)를 제어한다.8 and 9, in the object transfer device 100 according to an embodiment of the present invention, the lifting rail 141 moves from the second rail member 120 to the first rail member 110 ( When lifting) is required, the control unit 152 controls the power member 151 to rotate the electromagnet member 142 and the second magnetic member 122.

이에 따라, 전자석 부재(142)는 승강 레일(141)에 경사지게 위치되고, 제2 자성 부재(122)는 제2 레일 부재(120)에 경사지게 위치될 수 있다. 그리고, 전자석 부재(142)는 제2 자성 부재(122)와 동일한 극성으로 변화될 수 있다.Accordingly, the electromagnet member 142 may be positioned to be inclined to the lifting rail 141, and the second magnetic member 122 may be positioned to be inclined to the second rail member 120. In addition, the electromagnet member 142 may be changed to have the same polarity as the second magnetic member 122.

그러므로, 제2 자성 부재(122)와 전자석 부재(142) 사이에서 척력이 발생되고, 전자석 부재(142)에서 제2 자성 부재(122)를 향하는 면이 아래 방향을 향하고 있다. 따라서, 승강 레일(141)이 위를 향하여 용이하게 이동될 수 있는 상태가 될 수 있다.Therefore, a repulsive force is generated between the second magnetic member 122 and the electromagnet member 142, and a surface from the electromagnet member 142 toward the second magnetic member 122 is facing downward. Accordingly, the lifting rail 141 may be in a state in which it can be easily moved upward.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings and the detailed description of the disclosed invention referenced so far are merely illustrative of the present invention, which are used only for the purpose of describing the present invention, and are limited in meaning or claims. It is not used to limit the scope of the invention described in the range. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 대상물 이송 장치 101: 구동 부재
102: 바퀴 부재 110: 제1 레일 부재
111: 제1 결합 공간 112: 제1 자성 부재
120: 제2 레일 부재 121: 제2 결합 공간
122: 제2 자성 부재 130: 이송 유닛
140: 승강 유닛 141: 승강 레일
142: 전자석 부재 151: 동력 부재
152: 제어부 160: 제1 각도 유지 유닛
161: 제1 수납부 162: 제1 가이드핀
163: 제1 가이드부 170: 제2 각도 유지 유닛
171: 제2 수납부 172: 제2 가이드핀
173: 제2 가이드부100: object transfer device 101: drive member
102: wheel member 110: first rail member
111: first coupling space 112: first magnetic member
120: second rail member 121: second coupling space
122: second magnetic member 130: transfer unit
140: elevating unit 141: elevating rail
142: electromagnet member 151: power member
152: control unit 160: first angle maintaining unit
161: first accommodating part 162: first guide pin
163: first guide part 170: second angle maintaining unit
171: second receiving part 172: second guide pin
173: second guide part

Claims (11)

승강 레일이 위치되도록 개방되게 형성된 제1 결합 공간을 포함하는 제1 레일 부재;
상기 제1 레일 부재로부터 하방으로 이격되게 위치되고, 제1 결합 공간과 대응되는 크기로 승강 레일이 위치되도록 개방되게 형성된 제2 결합 공간을 포함하는 제2 레일 부재;
대상물을 픽업하고, 상기 제1 레일 부재 또는 상기 제2 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛;
상기 제1 레일 부재에서 제1 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제1 자성 부재;
상기 제2 레일 부재에서 제2 결합 공간을 구성하는 부분에 설치되는 제2 자성 부재; 및
상기 제1 결합 공간과 상기 제2 결합 공간에 대응되는 크기로 이루어진 승강 레일 및 상기 승강 레일의 양쪽 단부 각각에 설치되고, 상기 제1 자성 부재 또는 제2 자성 부재 사이에서 인력 및 척력이 선택적으로 발생되도록 극성이 변화되는 전자석 부재를 포함하는 승강 유닛;을 포함하는 대상물 이송 장치.A first rail member including a first coupling space formed to be opened so that the lifting rail is positioned;
A second rail member disposed to be spaced apart from the first rail member and including a second coupling space formed to be opened so that the lifting rail is positioned in a size corresponding to the first coupling space;
A transfer unit for picking up an object and transferring the object to various positions while being transported along the first rail member or the second rail member;
A first magnetic member installed in a portion constituting a first coupling space in the first rail member;
A second magnetic member installed in a portion constituting a second coupling space in the second rail member; And
Installed at both ends of the lifting rail and the lifting rail, each having a size corresponding to the first coupling space and the second coupling space, and selectively generating attractive force and repulsive force between the first magnetic member or the second magnetic member An object transfer device comprising a; lifting unit including an electromagnet member whose polarity is changed so as to be. 제1항에 있어서,
상기 전자석 부재는 상기 승강 레일에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제2 자성 부재는 제2 레일 부재에 회전 가능하게 결합되며,
상기 승강 레일 및 상기 제2 자성 부재에 각각 설치되고, 상기 전자석 부재가 회전되게 하며, 상기 제2 자성 부재도 상기 전자석 부재와 연동하여 회전되게 하는 동력 부재; 및
상기 전자석 부재 또는 상기 제2 자성 부재가 회전되도록, 상기 동력 부재의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 1,
The electromagnet member is rotatably coupled to the lifting rail, the second magnetic member is rotatably coupled to the second rail member,
A power member installed on the lifting rail and the second magnetic member, respectively, to rotate the electromagnet member, and rotate the second magnetic member in association with the electromagnet member; And
Object transport device comprising a; a control unit for controlling the operation of the power member so that the electromagnet member or the second magnetic member rotates. 제2항에 있어서,
상기 승강 레일이 상기 제2 레일 부재의 제2 결합 공간에 위치된 상태에서 제1 레일 부재의 제1 결합 공간을 향하여 이동되어야 하는 경우,
상기 제어부는,
상기 전자석 부재에서 상기 제2 자성 부재를 마주하는 면이 아래를 향하게 하고, 상기 제2 자성 부재에서 상기 전자석 부재를 마주하는 면이 위를 향하게 하도록 상기 동력 부재를 제어하는 대상물 이송 장치.The method of claim 2,
When the lifting rail is to be moved toward the first coupling space of the first rail member while being located in the second coupling space of the second rail member,
The control unit,
An object transporting device for controlling the power member such that a surface of the electromagnet member facing the second magnetic member faces downward, and a surface of the second magnetic member facing the electromagnet member faces upward. 제3항에 있어서,
상기 전자석 부재는 상기 제1 자성 부재와 동일한 극성인 대상물 이송 장치.The method of claim 3,
The electromagnet member has the same polarity as the first magnetic member. 제2항에 있어서,
상기 승강 레일이 제1 레일 부재의 제1 결합 공간에 계속 위치되는 경우,
상기 제어부는,
상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재를 제어하는 대상물 이송 장치.The method of claim 2,
When the lifting rail is continuously positioned in the first coupling space of the first rail member,
The control unit,
An object conveying device for controlling the power member so that the electromagnet member is perpendicular to the lifting rail. 제2항에 있어서,
상기 승강 레일이 제2 레일 부재의 제2 결합 공간에 계속 위치되는 경우,
상기 제어부는,
상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 수직이 되게 하고, 상기 제2 자성 부재가 상기 제2 레일 부재에 대해 수직이 되도록 상기 동력 부재를 제어하는 대상물 이송 장치.The method of claim 2,
When the lifting rail is continuously positioned in the second coupling space of the second rail member,
The control unit,
An object conveying device for controlling the power member such that the electromagnet member is perpendicular to the lifting rail and the second magnetic member is perpendicular to the second rail member. 제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 전자석 부재는 상기 제1 자성 부재 및 제2 자성 부재와 반대 극성인 대상물 이송 장치.The method according to claim 5 or 6,
The electromagnet member has a polarity opposite to that of the first magnetic member and the second magnetic member. 제2항에 있어서,
상기 전자석 부재가 상기 승강 레일에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 하는 제1 각도 유지 유닛을 더 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 2,
The object transfer device further comprises a first angle maintaining unit that enables the electromagnet member to maintain a constant angle with respect to the lifting rail. 제8항에 있어서,
상기 제1 각도 유지 유닛은,
상기 승강 레일에서 상기 전자석 부재가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입되는 제1 수납부;
상기 전자석 부재의 적어도 일측으로부터 돌출되는 제1 가이드핀; 및
상기 승강 레일에서 상기 제1 가이드핀이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 전자석 부재가 회전되는 과정에서 상기 제1 가이드핀이 이동되는 궤적을 따라 형성되는 제1 가이드부;를 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 8,
The first angle maintaining unit,
A first accommodating part inserted at a predetermined angle into a portion of the elevating rail where the electromagnet member is located;
A first guide pin protruding from at least one side of the electromagnet member; And
A first guide portion passing through a portion of a portion of the lifting rail facing the first guide pin, and formed along a trajectory in which the first guide pin moves while the electromagnet member is rotated; Device. 제2항에 있어서,
상기 제2 자성 부재가 상기 제2 레일 부재에 대해 일정한 각도를 유지할 수 있게 하는 제2 각도 유지 유닛을 더 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 2,
The object conveying apparatus further comprises a second angle maintaining unit that enables the second magnetic member to maintain a constant angle with respect to the second rail member. 제10항에 있어서,
상기 제2 각도 유지 유닛은,
상기 제2 레일 부재에서 상기 제2 자성 부재가 위치되는 부분에 일정 각도로 인입되는 제2 수납부;
상기 제2 자성 부재의 적어도 일측으로부터 돌출되는 제2 가이드핀; 및
상기 제2 레일 부재에서 상기 제2 가이드핀이 마주하는 부분의 일부분을 관통하고, 상기 제2 자성 부재가 회전되는 과정에서 상기 제2 가이드핀이 이동되는 궤적을 따라 형성되는 제2 가이드부;를 포함하는 대상물 이송 장치.The method of claim 10,
The second angle maintaining unit,
A second accommodating part inserted at a predetermined angle into a portion of the second rail member where the second magnetic member is located;
A second guide pin protruding from at least one side of the second magnetic member; And
A second guide part which penetrates a part of a portion of the second rail member facing the second guide pin and is formed along a trajectory in which the second guide pin moves while the second magnetic member is rotated; Object transfer device comprising.
KR1020190126143A 2019-10-11 2019-10-11 Object transport apparatus KR102247447B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190126143A KR102247447B1 (en) 2019-10-11 2019-10-11 Object transport apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190126143A KR102247447B1 (en) 2019-10-11 2019-10-11 Object transport apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210043227A KR20210043227A (en) 2021-04-21
KR102247447B1 true KR102247447B1 (en) 2021-04-30

Family

ID=75740411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190126143A KR102247447B1 (en) 2019-10-11 2019-10-11 Object transport apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102247447B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018075936A (en) * 2016-11-08 2018-05-17 株式会社ダイフク Hand lifter for overhead carrier

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102441186B1 (en) * 2015-08-28 2022-09-08 삼성전자주식회사 Substrate transfer device
KR102020232B1 (en) * 2017-08-23 2019-09-10 세메스 주식회사 Tower lift
KR102270043B1 (en) 2017-08-29 2021-06-28 세메스 주식회사 Transfer apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018075936A (en) * 2016-11-08 2018-05-17 株式会社ダイフク Hand lifter for overhead carrier

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210043227A (en) 2021-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5823742B2 (en) Gripping device, transport device, processing device, and electronic device manufacturing method
KR101463473B1 (en) Transfer device
US11232965B2 (en) Transport system
KR101341445B1 (en) Edge grip type pre-aligner having buffer stage
EP3476772B1 (en) Conveyance system
WO2012043110A1 (en) Transfer system
JP2008511178A (en) Elevator-based tool loading and buffering system
KR102583574B1 (en) Carriage robot and tower lift including the same
JPWO2007004551A1 (en) Container transport device and container transport system
JP2008100835A (en) Carrying system
KR102289021B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
CN108172540B (en) Transfer machine
KR102247447B1 (en) Object transport apparatus
JP2009040563A (en) Pressing mechanism and conveyance device
CN113471117A (en) Tower elevator, tower elevator driving method, and machine-readable medium
KR102141200B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
KR20210128784A (en) Unit for fixing cassette and vehicle having the same
KR102226761B1 (en) Object transport apparatus
KR20220150268A (en) Transferring unit and article transferring apparatus
KR100731997B1 (en) Magnetic levitaing transfer equipment and workpiece processing system using the same
KR102228145B1 (en) Apparatus for transporting carrier and system for controlling the apparatus
KR102247036B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
KR20210091412A (en) Transferring unit and article transferring apparatus comprising the same
KR102076166B1 (en) Cassette loadlock apparatus having aligner
KR102221114B1 (en) Overhead Hoist transport device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant