KR101398929B1 - Transporting vehicle system - Google Patents

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마사토미 카와구치
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

[과제] 반송차 시스템에 있어서 이송 장치의 비용을 저감한다.
[해결 수단] 반송차 시스템(1)은 궤도(3)와, 반송차(5)와, 버퍼(9)를 구비하고 있다. 궤도(3)는 복수의 처리 장치(2)를 따라 설치되어 있다. 반송차(5)는 궤도(3)를 주행해서 물품을 반송한다. 버퍼(9)는 궤도(3)의 측방에 배치되고, 롤러 컨베이어(63)로 이루어지는 적재면을 갖는다. 반송차(5)는 지지대로서의 롤러 컨베이어(39)와, 푸시풀 이송 장치(41)를 갖고 있다. 롤러 컨베이어(39)는 버퍼(9)의 롤러 컨베이어(63)와 동일 높이의 지지면을 갖는다. 푸시풀 이송 장치(41)는 물품을 밀고 당김으로써 버퍼(9)와 반송차(5) 사이에서 이동시킨다.
[PROBLEMS] To reduce the cost of a transfer device in a conveyer system.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The conveyance car system (1) includes a track (3), a conveyance car (5) and a buffer (9). The trajectory 3 is provided along a plurality of processing apparatuses 2. The transport vehicle 5 travels on the orbit 3 to transport the article. The buffer 9 is disposed on the side of the track 3 and has a loading surface made up of a roller conveyor 63. [ The conveying carriage 5 has a roller conveyor 39 as a support and a push-pull conveying device 41. The roller conveyor 39 has a support surface of the same height as the roller conveyor 63 of the buffer 9. [ The push-pull transfer device 41 moves between the buffer 9 and the transfer vehicle 5 by pushing and pulling the product.
Figure R1020100112580

Description

반송차 시스템{TRANSPORTING VEHICLE SYSTEM}[0001] TRANSPORTING VEHICLE SYSTEM [0002]
본 발명은 반송차 시스템, 특히 복수의 처리 장치 사이를 궤도를 따라 주행하는 반송차를 갖는 반송차 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a conveyance system, and more particularly to a conveyance system having a conveyance vehicle traveling along an orbit between a plurality of processing apparatuses.
대형화된 유리 기판 또는 그것이 복수 수납된 카세트를 반송하기 위한 반송차가 알려져 있다. 반송차는 공장 내의 클린룸 내를 자동 주행하고, 처리 장치 사이에서 물품을 반송한다. BACKGROUND ART A transporting vehicle for transporting a large-sized glass substrate or a cassette in which a plurality of the glass substrates are accommodated is known. The conveyance vehicle automatically runs in the clean room in the factory and returns the articles between the processing apparatuses.
반송차가 주행하는 궤도는, 예를 들면 천정으로부터 매달린 레일 또는 지상에 설치된 레일이다. 이 경우, 레일 및 반송차가 주행하는 공간은 외부로부터 차단된 클린룸으로 되어 있다.The trajectory on which the carriage travels is, for example, a rail suspended from the ceiling or a rail installed on the ground. In this case, the space in which the rails and the conveyance vehicle travel is a clean room that is blocked from the outside.
스테이션에는 스카라 암(SCARA arm)에 의한 이송 장치가 설치되어 있다. 스카라 암에 의한 이송 장치가 반송차로부터 유리 기판 또는 카세트를 스테이션의 적재 장소로 이송하고, 그와는 반대로 스테이션의 적재 장소로부터 유리 기판 또는 카세트를 반송차로 이송한다(예를 들면 특허문헌 1을 참조.). 또한, 반송차에 스카라 암에 의한 이송 장치를 설치한 것도 알려져 있다. The station is equipped with a conveyor by a SCARA arm. The conveying device by the scraper arm transfers the glass substrate or the cassette from the conveying car to the loading place of the station, and conveys the glass substrate or the cassette from the loading place of the station to the conveying car (for example, refer to Patent Document 1 .). It is also known that a conveying device of a scara arm is provided in a conveying car.
일본 특허 공개 2001-294302호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-294302
한편, 중량물을 반송하는 반송차 시스템에 있어서는 처리 장치의 근방에 사이드 버퍼(side buffer)를 배치하는 것이 고려된다. 그러나, 중량물을 보관하기 위한 사이드 버퍼에 스카라 암에 의한 이송 장치를 사용하면 사이드 버퍼의 비용이 증가하거나, 반송차의 중량이 지나치게 커진다고 하는 문제가 있다. On the other hand, in a conveyer system for conveying a heavy object, it is considered to dispose a side buffer in the vicinity of the processing apparatus. However, when a conveying device using a scara arm is used in the side buffer for storing heavy objects, there is a problem that the cost of the side buffer is increased or the weight of the conveying car becomes too large.
본 발명의 과제는 반송차 시스템에 있어서 중량물에 대응한 사이드 버퍼의 비용을 저감하는 것에 있다. An object of the present invention is to reduce the cost of a side buffer corresponding to a heavy object in a carrier system.
본 발명에 의한 반송차 시스템은 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위한 반송차 시스템으로서, 궤도와, 반송차와, 적재대를 구비하고 있다. 궤도는 복수의 처리 장치를 따라 설치되어 있다. 반송차는 궤도를 주행해서 물품을 반송한다. 적재대는 궤도의 측방에 배치되고, 적재면을 갖는다. 반송차는 지지대와, 푸시풀(push pull) 장치를 갖고 있다. 지지대는 적재대의 적재면과 동일 높이의 지지면을 갖는다. 푸시풀 이송 장치는 물품을 밀고 당김으로써 적재대와 지지대 사이에서 이동시킨다. A conveyance system according to the present invention is a conveyance system for conveying an article among a plurality of processing apparatuses, and is provided with a track, a conveyance carriage, and a loading stand. The orbit is installed along a plurality of processing apparatuses. The carriage carries the orbit and returns the article. The pallet is disposed on the side of the orbit and has a loading surface. The carriage has a support stand and a push pull device. The support has a support surface that is flush with the mounting surface of the table. The push-pull transfer device moves between the stack and support by pushing and pulling the product.
이 시스템에서는 반송차는 적재대의 측방에 정지하고, 푸시풀 이송 장치에 의해 지지대와 적재대 사이에서 물품을 이동시킨다. 물품은 푸시풀 이송 장치로부터 힘이 작용하면 적재면과 지지면 상을 이동한다. 이렇게 하여, 간단한 구조로 중량물의 이송이 가능하게 된다. 그 결과, 반송차 시스템에 있어서 중량물에 대응한 사이드 버퍼의 비용이 저감된다. 또한, 반송차에 설치된 이송 장치는 푸시풀 이송 장치이므로 반송차의 중량이 적어진다. In this system, the carriage stops at the side of the loading stand, and moves the article between the supporting stand and the loading stand by the push-pull conveying device. The article moves on the loading and supporting surfaces when a force is applied from the push-pull transfer device. In this way, the heavy material can be transported with a simple structure. As a result, the cost of the side buffer corresponding to the heavy object in the carrier system is reduced. Further, since the conveying device provided in the conveying car is a push-pull conveying device, the weight of the conveying car is reduced.
또한, 지지대의 지지면과 적재대의 적재면은 물품의 이송시에 동일 높이이면 된다. 즉, 어느 한쪽 또는 양쪽 면이 높이를 변경할 수 있고, 반송차의 주행 중 또는 정지 중에는 양쪽 면의 높이가 달라도 된다. In addition, the supporting surface of the supporting table and the loading surface of the loading table may be the same height at the time of transporting the article. In other words, the height of one or both sides can be changed, and the heights of both sides may be different during traveling or stopping of the transporting vehicle.
적재대는 커버와 커버 내에 적재된 물품 주위의 청정도를 높이기 위한 청정 장치를 더 갖고 있어도 된다. The stacker may further include a cover and a cleaning device for increasing the cleanliness around the article loaded in the cover.
이 시스템에서는 적재대에 있어서의 물품 주위의 청정도가 높아진다. 또한 커버는, 예를 들면 물품의 상방에만 배치되어 있어도 되고, 물품의 상방과 좌우에만 배치되어 있어도 되며, 물품의 상방과 좌우와 안쪽에 배치되어 있어도 된다.In this system, the cleanliness around the article in the loading zone is increased. Further, the cover may be disposed only on the upper side of the article, or on the upper side, the left side and the right side of the article, or on the upper side, the left side, and the inner side of the article.
적재대의 적재면은 전동(轉動) 가능한 컨베이어이고, 반송차의 지지면은 전동 가능한 컨베이어라도 된다. The loading surface of the loading table may be a motorized conveyor, and the supporting surface of the loading table may be a motorized conveyor.
이 시스템에서는 컨베이어가 전동 가능하므로 물품의 이송시에 마모분(磨耗粉)의 발생이 억제된다. In this system, since the conveyor is rollable, the generation of abrasion powder (wear powder) is suppressed at the time of conveyance of the article.
궤도는 복수의 처리 장치에 인접하는 루프를 갖고 있어도 된다. 반송차는 루프를 일방 통행으로 주행하고 있어도 된다. 적재대는 적어도 1개의 루프 내측에 있어서 루프의 양측 부분에 근접해서 배치되고, 루프의 길이 방향으로 1렬로 나란히 배치된 제 1 적재대 및 제 2 적재대를 갖고 있어도 된다. 제 1 적재대 및 제 2 적재대는 루프의 양측 부분의 한쪽을 향해서 개방된 제 1 개구부 및 루프의 양측 부분의 반대측을 향해서 개방된 제 2 개구부를 각각 갖고 있어도 된다. The orbit may have a loop adjacent to a plurality of processing apparatuses. The return vehicle may be traveling in a one-way loop. The stacker may have first and second stacking pads arranged close to both sides of the loop in at least one loop and arranged side by side in the longitudinal direction of the loop. The first stacking stage and the second stacking stage may each have a first opening opened toward one side of both sides of the loop and a second opening opened toward the opposite side of both side portions of the loop.
이 시스템에서는 적재대가 루프 내에 있어서 루프의 양측 부분을 향해서 각각 개방된 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 갖고 있다. 따라서, 물품의 임시 적치시에 목적으로 하는 처리 장치의 근방에 있는 적재대를 선택할 수 있다. 이상의 결과, 물품의 반송 효율이 향상된다. In this system, the loading bar has a first opening and a second opening, respectively, which are opened toward both sides of the loop in the loop. Therefore, it is possible to select a stacking zone in the vicinity of a target processing apparatus at the time of temporarily setting the article. As a result, the conveying efficiency of the article is improved.
적재대는 적재면을 상하 방향으로 통과해서 물품을 지지할 수 있는 지지 부재와, 지지 부재를 구동하는 구동 기구를 갖고 있고, 적재면에 물품이 적재된 상태에서 구동 기구가 지지 부재를 구동하면 지지 부재는 적재면을 통해서 물품을 상승시킴으로써 적재면 상에 물품을 놓기 위한 공간을 확보해도 된다. The loading table has a supporting member capable of supporting the article by passing the loading surface in a vertical direction and a driving mechanism for driving the supporting member. When the driving mechanism drives the supporting member in a state in which the article is loaded on the loading surface, A space for placing the article on the loading surface may be secured by raising the article through the loading surface.
이 시스템에서는 물품이 적재면에 놓이면 구동 기구가 지지 부재를 구동해서 상승시킴으로써 물품을 적재면보다 높은 위치로 이동시킨다. 그 상태에서 반송차로부터 물품을 적재면으로 반송시킬 수 있다. 이상의 결과, 적재대에 있어서의 물품 수용 능력이 높아져 있다. In this system, when the article is placed on the loading surface, the driving mechanism drives the supporting member to move up, thereby moving the article to a higher position than the loading surface. The article can be transported from the transport vehicle to the loading surface in this state. As a result of the above, the article storage capacity of the loading table is increased.
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
본 발명에 의한 반송차 시스템에서는 이송 장치의 비용이 저감된다. In the conveyance system according to the present invention, the cost of the conveying device is reduced.
도 1은 본 발명의 일실시형태가 채용된 반송차 시스템의 모식 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 3은 반송차의 모식 평면도이다.
도 4는 도 1의 부분 확대도이다.
도 5는 궤도의 변형예를 나타내는 반송차 시스템의 부분 모식 평면도이다.
도 6은 반송차 시스템의 제어계를 나타내는 블럭도이다.
도 7은 반송차 내의 콘트롤러의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 8은 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 12는 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 13은 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 14는 레일 상에 보호 커버를 설치한 상태를 설명하기 위한 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시형태가 채용된 반송차 시스템의 모식 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시형태가 채용된 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
도 17은 적재대의 모식 평면도이다.
도 18은 적재대의 부분 측면도이다.
도 19는 반송차 시스템의 부분 단면도이다.
1 is a schematic plan view of a conveyer system in which an embodiment of the present invention is employed.
2 is a partial cross-sectional view of a carrier system as one embodiment of the present invention.
3 is a schematic plan view of the conveyance car.
4 is a partially enlarged view of Fig.
5 is a partial schematic plan view of a carrier system showing a modified example of the trajectory.
6 is a block diagram showing a control system of the conveyance system.
Fig. 7 is a block diagram showing the configuration of the controller in the conveyance carriage.
8 is a partial cross-sectional view of a conveyance car system as one embodiment of the present invention.
Fig. 9 is a partial cross-sectional view of a carrier system as an embodiment of the present invention. Fig.
10 is a partial cross-sectional view of a carrier system as an embodiment of the present invention.
11 is a partial cross-sectional view of a carrier system as one embodiment of the present invention.
12 is a partial cross-sectional view of a conveyance car system as one embodiment of the present invention.
13 is a partial cross-sectional view of a carrier system as an embodiment of the present invention.
Fig. 14 is a partial cross-sectional view of a conveyer system for explaining a state in which a protective cover is provided on a rail. Fig.
15 is a schematic plan view of a conveyer system in which another embodiment of the present invention is employed.
16 is a partial cross-sectional view of a carrier system in which another embodiment of the present invention is employed.
Fig. 17 is a schematic plan view of a loading platform. Fig.
18 is a partial side view of the stand.
19 is a partial cross-sectional view of the conveyance car system.
(1) 반송차 시스템 (1) Car carrier system
도 1을 이용하여 본 발명에 의한 반송차 시스템(1)을 설명한다. 도 1은 본 발명의 일실시형태가 채용된 반송차 시스템의 모식 평면도이다. 이 실시형태에서는 반송차 시스템(1)은 대형 액정을 제조하는 액정 제조 공장에 채용되어 있다. 액정 제조 공장에는 복수의 처리 장치(2) 및 검사 장치(4)가 배치되어 있다. 1, a conveyance system 1 according to the present invention will be described. 1 is a schematic plan view of a conveyer system in which an embodiment of the present invention is employed. In this embodiment, the carriage system 1 is employed in a liquid crystal manufacturing factory for manufacturing a large-sized liquid crystal. A plurality of processing apparatuses 2 and inspection apparatuses 4 are arranged in a liquid crystal manufacturing factory.
반송차 시스템(1)은 복수의 처리 장치(2) 사이에서 물품(예를 들면 복수의 기판을 수용한 카세트)을 반송하는 시스템이고, 궤도(3)와, 반송차(5)와, 자동 창고(7)와, 복수의 버퍼(9)를 갖고 있다. 반송차 시스템(1)에서는 궤도(3)는 복수의 루프[주회로(周回路)]를 갖고 있고, 반송차(5)는 각 루프를 일방 통행으로 주행하도록 되어 있다. The conveyance system 1 is a system for conveying an article (for example, a cassette containing a plurality of substrates) between a plurality of processing apparatuses 2 and includes a trajectory 3, a conveyance car 5, (7), and a plurality of buffers (9). In the carriage system 1, the trajectory 3 has a plurality of loops (a main circuit), and the carriage 5 is configured to run the loops one-way.
궤도(3)는 제 1~제 4 루프(11,13,15,17)를 갖고 있다. 제 1~제 3 루프(11,13,15)는 일방향으로 길게 연장되어 있고, 그 때문에 직선 형상의 양측 부분과 양 끝에 있는 커브를 갖고 있다. 제 1~제 3 루프(11,13,15)는 서로 평행하게 나란히 연장되어 있다. 제 4 루프(17)는 제 1~제 3 루프(11,13,15)의 한쪽 끝 사이를 연장하도록 배치되어 있다. 이 실시형태에서는 제 1~제 3 루프(11,13,15)의 제 4 루프(17)와 반대측에는 궤도가 설치되어 있지 않다. 따라서, 제 1~제 4 루프(11,13,15,17) 사이로 장치를 반입하는 것 또는 그들 사이로부터 장치를 반출하는 것이 용이해진다. The orbit 3 has first to fourth loops 11, 13, 15, and 17. The first to third loops (11, 13, 15) extend long in one direction, and therefore have both straight portions and curves at both ends. The first to third loops (11, 13, 15) extend in parallel to each other. The fourth loop 17 is disposed so as to extend between one ends of the first to third loops 11, In this embodiment, no tracks are provided on the opposite sides of the first loop 17 of the first to third loops 11, 13, and 15. Therefore, it is easy to carry the device between the first to fourth loops 11, 13, 15, 17 or to move the device therebetween.
제 1 루프(11)는 복수의 제 1 지름길(shortcut)용 연결부(19)를 설치함으로써 제 1 소루프(11a), 제 2 소루프(11b), 제 3 소루프(11c)를 실현하고 있다. 제 2 루프(13)는 복수의 제 2 지름길용 연결부(21)를 설치함으로써 제 4 소루프(13a), 제 5 소루프(13b), 제 6 소루프(13c)를 실현하고 있다. 제 3 루프(15)는 복수의 제 3 지름길용 연결부(23)를 설치함으로써 제 7 소루프(15a), 제 8 소루프(15b), 제 9 소루프(15c)를 실현하고 있다. The first loop 11 realizes the first small loop 11a, the second small loop 11b and the third small loop 11c by providing a plurality of first shortcut connecting portions 19 . The second loop 13 realizes the fourth small loop 13a, the fifth small loop 13b and the sixth small loop 13c by providing a plurality of second short-path connecting portions 21. [ The third loop 15 realizes the seventh small loop 15a, the eighth small loop 15b and the ninth small loop 15c by providing a plurality of third short-path connecting portions 23. [
제 4 루프(17)는 제 4 지름길용 연결부(25)를 설치함으로써 제 10 소루프(17a), 제 11 소루프(17b)를 실현하고 있다. 제 10 소루프(17a)는 복수의 연결부(27)에 의해 제 1 루프(11) 및 제 2 루프(13)에 연결되어 있다. 제 11 소루프(17b)는 연결부(28)에 의해 제 3 루프(15)에 연결되어 있다. The fourth loop 17 realizes the tenth small loop 17a and the eleventh small loop 17b by providing the fourth short-path connecting portion 25. [ The tenth small loop 17a is connected to the first loop 11 and the second loop 13 by a plurality of connecting portions 27. [ The eleventh small loop 17b is connected to the third loop 15 by a connecting portion 28. [
복수의 처리 장치(2)는 제 1~제 4 루프(11,13,15,17)의 외측에 다수 나란히 배치되어 있다. 처리 장치(2)의 구성 및 종류는 공지이므로 여기에서는 상세한 설명을 생략한다. A plurality of processing apparatuses 2 are arranged on the outside of the first to fourth loops 11, 13, 15, 17 in parallel. Since the configuration and kind of the processing apparatus 2 are known, a detailed description thereof will be omitted here.
복수의 처리 장치(2)의 한 종류로서 각 루프 사이에 연속해서 배치된 연속 처리 장치(29)가 설치되어 있다. 연속 처리 장치(29)는 제 1 루프(11)와 제 2 루프(13) 사이, 및 제 2 루프(13)와 제 3 루프(15) 사이에 배치되어 있다. 연속 처리 장치(29)는 물품을 직접 이동 가능하게 연결하여 배치된 제 1 처리 장치(29a) 및 제 2 처리 장치(29b)를 포함하고 있다. 예를 들면, 제 1 처리 장치(29a)는 에칭 장치이고, 제 2 처리 장치(29b)는 박리 장치이다. 따라서, 물품은 제 1 루프(11)에 있는 반송차(5)로부터 제 1 처리 장치(29a)의 입구 스테이션(36)으로 반입·처리되고, 이어서 제 2 처리 장치(29b)로 반입·처리되며, 최후에 제 2 루프(13)의 출구 스테이션(38)에 있는 반송차(5)로 반출된다. 이상에 서술한 바와 같이, 복수의 처리 장치(2) 사이에 반송 궤도가 설치되어 있지 않으므로 반송차 시스템(1) 전체에서의 반송 공정수가 적어진다. As one type of the plurality of processing apparatuses 2, there is provided a continuous processing apparatus 29 continuously disposed between loops. The continuous processing device 29 is disposed between the first loop 11 and the second loop 13 and between the second loop 13 and the third loop 15. [ The continuous processing device 29 includes a first processing device 29a and a second processing device 29b which are arranged so as to directly move the articles. For example, the first processing device 29a is an etching device and the second processing device 29b is a peeling device. Thus, the articles are transported from the transporting carriage 5 in the first loop 11 to the inlet station 36 of the first processing apparatus 29a, and then transported to and processed by the second processing apparatus 29b , And finally to the transport vehicle 5 at the exit station 38 of the second loop 13. As described above, since the conveying trajectory is not provided between the plurality of processing apparatuses 2, the number of conveying steps in the entire conveying system 1 is reduced.
자동 창고(7)는 제 1 루프(11)와 제 2 루프(13) 사이에 배치되어 있다. 자동 창고(7)는 물품을 적재할 수 있는 복수의 선반과, 크레인을 갖고 있다. 자동 창고(7)의 구성은 공지이므로 여기에서는 설명을 생략한다. 자동 창고(7)는 제 1 루프(11)와 제 2 루프(13)가 연장되는 방향으로 길게 연장되어 있고, 제 1 루프(11)측으로 연장되는 제 1 스테이션(31)과, 제 2 루프(13)측으로 연장되는 제 2 스테이션(33)을 갖고 있다. 이것에 의해, 자동 창고(7)는 제 1 루프(11) 또는 제 2 루프(13)를 주행하는 반송차(5)와의 사이에서 물품을 출납할 수 있다.The automatic warehouse 7 is disposed between the first loop 11 and the second loop 13. The automatic warehouse (7) has a plurality of shelves capable of loading articles and a crane. Since the configuration of the automatic warehouse 7 is known, a description thereof will be omitted here. The automatic warehouse 7 has a first station 31 extending long in the direction in which the first loop 11 and the second loop 13 extend and a first station 31 extending toward the first loop 11, 13) side. Thereby, the automatic warehouse 7 can deliver and receive articles between the first loop 11 and the conveyance carriage 5 running on the second loop 13.
또한, 이 실시형태에서는 복수의 검사 장치(4)는 자동 창고(7)에 접속되는 형태로 자동 창고(7)의 주위에 배치되어 있다. 단, 검사 장치의 위치는 특별히 한정되지 않는다. In this embodiment, a plurality of inspection apparatuses 4 are arranged around the automatic warehouse 7 in such a manner as to be connected to the automatic warehouse 7. However, the position of the inspection apparatus is not particularly limited.
복수의 버퍼(9)는 물품을 처리 장치(2) 사이에서 반송할 때의 임시 적치 장소로서 기능하는 적재대이다. 복수의 버퍼(9)는 제 1~제 4 루프(11~17) 내, 보다 구체적으로는 각 소루프 내에 배치되어 있다. 버퍼(9)는 루프의 길이 방향을 따라 길게 형성되어 있고, 후술하는 바와 같이 개구부가 형성된 복수의 수납부를 갖고 있다. 제 1~제 9 소루프(11a,11b,11c,13a,13b,13c,15a,15b,15c) 내에는 각각 4개의 버퍼(9)가 배치되어 있다. 제 10 소루프(17a) 내에는 6개의 버퍼(9)가 배치되어 있다. 제 11 소루프(17b) 내에는 4개의 버퍼(9)가 일렬로 또한 직선 형상으로 배치되어 있다.The plurality of buffers 9 are stacked tables that serve as temporary temporary storage locations when the articles are transported between the processing apparatuses 2. The plurality of buffers 9 are arranged in the first to fourth loops 11 to 17, more specifically in each small loop. The buffer 9 is elongated along the longitudinal direction of the loop, and has a plurality of receiving portions formed with openings as will be described later. Four buffers 9 are arranged in the first to ninth small loops 11a, 11b, 11c, 13a, 13b, 13c, 15a, 15b, 15c. Six buffers 9 are arranged in the tenth small loop 17a. In the eleventh small loop 17b, four buffers 9 are arranged in a line and in a straight line.
도 4를 이용하여 제 1 버퍼(9A)와 제 2 버퍼(9B)의 배치 및 구조에 대해서 상세하게 설명한다. 도 4는 도 1의 부분 확대도이다. 각 소루프 내에서는 제 1 버퍼(9A)와 제 2 버퍼(9B)가 교대로 배치되어 있다. 제 1 버퍼(9A)와 제 2 버퍼(9B)는 기본적인 구조는 같지만, 개구부의 방향이 반대로 되어 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 소루프(11a) 내에 있어서 제 1 버퍼(9A)는 3대의 제 1 단위 버퍼(85)를 갖고 있다. 제 1 단위 버퍼(85)는 인접하는 궤도, 구체적으로는 제 1 소루프(11a)의 한쪽의 직선 부분을 향한 제 1 개구부(85a)를 갖고 있다. 제 2 버퍼(9B)는 3대의 제 2 단위 버퍼(86)를 갖고 있다. 제 2 단위 버퍼(86)는 인접하는 궤도, 구체적으로는 제 1 소루프(11a)의 다른쪽의 직선 부분을 향한 제 2 개구부(86a)를 갖고 있다. 이상으로부터 제 1 버퍼(9A)의 제 1 개구부(85a)와 제 2 버퍼(9B)의 제 2 개구부(86a)는 제 1 소루프(11a) 내에서 반대측을 향하고 있다. 이상의 결과, 제 1 버퍼(9A)에 대하여는 제 1 소루프(11a)의 제 1 사이드로부터의 접근이 가능하고, 제 2 버퍼(9B)에 대하여는 제 1 소루프(11a)의 제 2 사이드로부터의 접근이 가능하게 되어 있다. 이렇게 소루프의 어느 사이드로부터나 접근 가능한 버퍼가 1개의 소루프 내에 확보되어 있으므로 반송차(5)와 버퍼(9) 사이에서의 이송이 단시간에 실행 가능하다.The arrangement and structure of the first buffer 9A and the second buffer 9B will be described in detail with reference to FIG. 4 is a partially enlarged view of Fig. In each small loop, the first buffer 9A and the second buffer 9B are alternately arranged. The basic structure of the first buffer 9A and the second buffer 9B is the same, but the directions of the openings are reversed. As shown in Fig. 4, in the first small loop 11a, the first buffer 9A has three first unit buffers 85. In Fig. The first unit buffer 85 has a first opening 85a directed to an adjacent track, specifically, a linear portion of one of the first small loops 11a. The second buffer 9B has three second unit buffers 86. [ The second unit buffer 86 has a second opening 86a directed to an adjacent track, specifically, the other linear portion of the first small loop 11a. The first opening 85a of the first buffer 9A and the second opening 86a of the second buffer 9B are opposite to each other in the first small loop 11a. As a result, the first buffer 9A can be accessed from the first side of the first small loop 11a while the second buffer 9B can be accessed from the second side of the first small loop 11a Access is possible. Since a buffer accessible from either side of the small loop is secured in one small loop, the transfer between the transport vehicle 5 and the buffer 9 can be performed in a short time.
이상의 구성에 의해 각 처리 장치(2)에 인접하는 루프 내에 버퍼(9)가 있고, 특히 루프의 양측 부분을 향해서 각각 개구하는 개구부를 갖는 버퍼(9)가 있게 된다. 따라서, 2개의 처리 장치(2) 사이에서 물품을 반송할 때에는 통상은 2개의 커맨드로 반송을 실현할 수 있다. 구체적으로는 제 1 커맨드에 의해 반송차(5)가 출발지인 처리 장치(2)로부터 물품을 반출하고, 목적지인 처리 장치(2) 근방의 버퍼(9)로 반송한다. 제 2 커맨드에 의해 반송차(5)가 물품을 버퍼(9)로부터 목적지인 처리 장치(2)로 반송한다. 이렇게 반송차(5)의 2회의 동작에 의해 물품의 반송이 완료되므로 반송차 시스템(1)에 있어서의 물품의 반송 처리량이 향상된다.With the above arrangement, there is a buffer 9 in a loop adjacent to each processing apparatus 2, and in particular, a buffer 9 having an opening that opens toward both side portions of the loop. Therefore, when an article is transported between the two processing apparatuses 2, it is usually possible to realize transport by two commands. Concretely, the first command transfers the article from the processing apparatus 2, which is the origin of the transport vehicle 5, to the buffer 9 in the vicinity of the processing apparatus 2 which is the destination. The transport vehicle 5 carries the article from the buffer 9 to the destination processing apparatus 2 by the second command. Thus, since the conveyance of the articles is completed by the two operations of the conveyance carriage 5, the conveyance throughput of the articles in the conveyance carriage system 1 is improved.
도 5를 이용하여 반송차 시스템(1)의 변형예로서 정지 장소를 확보한 레이아웃을 설명한다. 도 5는 궤도의 변형예를 나타내는 반송차 시스템의 부분 모식 평면도이다. A layout in which a stopping position is ensured as a modified example of the carriage car system 1 will be described with reference to Fig. 5 is a partial schematic plan view of a carrier system showing a modified example of the trajectory.
도 5에서는 처리 장치(2)의 일부가 제거되고, 그 개소에 제 7 소루프(15a)로부터 연장되는 바이패스(89)가 배치되어 있다. 바이패스(89)는 양 끝이 제 7 소루프(15a)에 접속되어 있고, 그 중간부가 소정 길이의 직선 형상으로 되어서 제 7 소루프(15a)의 직선 부분에 대하여 평행하게 되어 있다. 바이패스(89)에는 복수대의 반송차(5)가 정지 가능하게 되어 있다. 또한, 바이패스(89)의 배치 위치, 형상은 이 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 바이패스(89)의 정차 가능 대수는 1대이어도 된다. In Fig. 5, a part of the processing apparatus 2 is removed, and a bypass 89 extending from the seventh small loop 15a is disposed at the portion. The bypass 89 is connected at its both ends to the seventh small loop 15a, and the intermediate portion thereof is linear in a predetermined length and parallel to the linear portion of the seventh small loop 15a. A plurality of conveyance carriages (5) can be stopped in the bypass (89). The arrangement position and shape of the bypass 89 are not limited to this embodiment. Further, the number of possible stops of the bypass 89 may be one.
점검 또는 메인터넌스가 필요한 반송차(5)는 바이패스(89)에 들어가고, 직선 부분에서 정지한다. 그 상태에서 작업자가 반송차(5)를 점검 또는 메인터넌스한다. 이상으로부터 점검 또는 메인터넌스 작업에 의해 처리 장치(2) 사이를 반송하는 반송차(5)의 작업을 정지시키는 일이 없다. 즉, 반송차 시스템(1)에 있어서의 다운 타임을 저감 또는 없앨 수 있다.The conveyance carriage 5 requiring inspection or maintenance enters the bypass 89 and stops at the straight portion. In this state, the operator checks or carries out the conveyance carriage 5. As a result, the work of the conveyance carriage 5 for conveying between the processing apparatuses 2 is not stopped by the inspection or maintenance operation. In other words, it is possible to reduce or eliminate the downtime in the conveyance system 1.
(2) 반송차(2)
도 2 및 도 3을 이용하여 반송차(5)의 구조에 대하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다. 도 3은 반송차의 모식 평면도이다. 도 2에 있어서는 지면 직교 방향이 반송차(5)의 반송 방향이고, 지면 좌우 방향이 물품의 이송 방향이다. 도 3에 있어서는 지면 상하 방향이 반송차(5)의 반송 방향이고, 지면 좌우 방향이 물품의 이송 방향이다. The structure of the carriage 5 will be described with reference to Figs. 2 and 3. Fig. 2 is a partial cross-sectional view of a carrier system as one embodiment of the present invention. 3 is a schematic plan view of the conveyance car. In Fig. 2, the direction orthogonal to the paper is the conveying direction of the conveyance carriage 5, and the lateral direction of the paper is the conveying direction of the article. 3, the vertical direction of the paper surface is the transport direction of the transport vehicle 5, and the horizontal direction of the paper is the transport direction of the article.
도 2에는 바닥면(32)과 천정면(34)이 나타내어지고, 또한 반송차(5), 버퍼(9), 처리 장치(2)의 스테이션(2a)이 나타내어져 있다. 반송차(5), 버퍼(9), 처리 장치(2)의 스테이션(2a)의 상면은 대략 같은 높이이고, 천정면(34)에 근접하고 있다.2 shows the bottom surface 32 and the ceiling surface 34 and also shows the carriage 5, the buffer 9 and the station 2a of the processing apparatus 2. In FIG. The top surface of the carriage 5, the buffer 9 and the station 2a of the processing apparatus 2 are approximately the same height and close to the ceiling surface 34. [
반송차(5)는 처리 장치(2)의 스테이션 사이에서 유리 기판 또는 카세트 등의 물품을 반송하기 위한 반송 수단이다. 반송차(5)는 본체(35)와, 주행부(37)와, 롤러 컨베이어(39)와, 푸시풀 이송 장치(41)와, 미니인바이런먼트(minienvironment) 기구(43)를 갖고 있다. The conveying carriage 5 is a conveying means for conveying an article such as a glass substrate or a cassette between the stations of the processing apparatus 2. [ The conveying carriage 5 has a main body 35, a running portion 37, a roller conveyor 39, a push-pull conveying device 41, and a mini-inference mechanism 43.
본체(35)는 대략 상자형 형상을 갖고 있다. The main body 35 has a substantially box-like shape.
주행부(37)는 본체(35)의 좌우 전후에 설치된 차륜(45)과, 차륜(45)에 접속된 주행 모터(131)(도 7)와, 주행 모터(131)에 설치된 인코더(139)(도 7)를 갖고 있다. 차륜(45)이 주행하는 레일(47)은 도 2로부터 분명하게 나타내는 바와 같이, 바닥면(32)에 형성된 오목부(32a) 내에 배치되어 있고, 바닥면(32)보다 하방에 배치되어 있다. The traveling section 37 includes a wheel 45 provided on the right and left front and rear of the main body 35, a traveling motor 131 (Fig. 7) connected to the wheel 45, an encoder 139 provided on the traveling motor 131, (Fig. 7). The rail 47 on which the wheel 45 travels is arranged in the concave portion 32a formed on the bottom surface 32 and is disposed below the bottom surface 32 as is clearly shown in Fig.
또한, 도 14에 나타내는 바와 같이 반송차(5)가 주행하지 않는 개소의 레일(47) 상에는 보호 커버(70)를 설치할 수 있다. 보호 커버(70)는 레일(47)을 피복하고, 바닥면(32)과 평행하게 배치된다. 보호 커버(70)에 의해 바닥면(32)이 평탄하게 되어 있으므로 작업자가 레일(47)을 넘어서 이동할 때에 레일(47)을 파손할 우려가 없다. As shown in Fig. 14, the protective cover 70 can be provided on the rail 47 where the conveyance carriage 5 does not run. The protective cover 70 covers the rail 47 and is disposed in parallel with the bottom surface 32. There is no fear that the rail 47 will be damaged when the operator moves beyond the rail 47 because the bottom surface 32 is flat by the protective cover 70. [
롤러 컨베이어(39)는 본체(35)의 상면에 전동 가능하게 설치되어 있고, 반송차(5)의 지지면을 구성하고 있다. 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 롤러 컨베이어(39)의 롤러(39a)는 주행 방향에 직각 방향으로 배열되어 있고, 이것에 의해 물품이 좌우 방향으로 용이하게 이동할 수 있다. 또한, 롤러 컨베이어(39)는 주행 방향으로 이격된 1쌍의 롤러열로 구성되어 있다. 롤러 컨베이어(39)의 롤러(39a)는 전부 프리롤러(자립적으로는 구동하지 않는 롤러)이고, 롤러의 열은 단순히 물품의 가이드 부재를 구성하고 있다. 따라서, 물품을 이송할 때의 저항을 줄일 수 있고, 중량이 있는 물품의 이송에 적합하다. 이렇게 반송차(5)의 지지면은 전동 가능한 롤러로 이루어지는 롤러 컨베이어(39)이므로 물품의 이송시에 마모분의 발생이 억제된다.The roller conveyor 39 is provided on the upper surface of the main body 35 so as to be capable of rolling, and constitutes a support surface of the conveyance carriage 5. [ As shown in Figs. 2 and 3, the rollers 39a of the roller conveyor 39 are arranged in a direction perpendicular to the running direction, whereby the article can be easily moved in the lateral direction. The roller conveyor 39 is constituted by a pair of roller rows spaced apart in the running direction. The rollers 39a of the roller conveyor 39 are all free rollers (rollers that do not drive independently), and the rows of rollers simply constitute the guide members of the articles. Therefore, the resistance at the time of transporting the article can be reduced, and it is suitable for transporting the heavy article. Thus, the support surface of the conveyance carriage 5 is a roller conveyor 39 made of rollable rollers, so that the occurrence of abrasion is suppressed during conveyance of the article.
푸시풀 이송 장치(41)는 롤러 컨베이어(39)의 롤러열 상의 물품을 밀고 당겨서 이동시키는 진퇴 장치이다. 푸시풀 이송 장치(41)는 좌우 방향으로 신축 가능한 암 기구(51)와, 암 기구(51)에 설치된 훅 부재(53)와, 암 기구(51)를 상하·좌우·진퇴시키는 푸시풀 구동 기구(133)(도 7)를 갖고 있다. 도 2에 나타내는 상태에서는 푸시풀 이송 장치(41)는 롤러 컨베이어(39)보다 하방에 배치되어 있다. 또한, 푸시풀 이송 장치(41)는 물품의 하중을 지지할 필요가 없으므로 구성이 간단하다. 따라서, 반송차(5)의 경량화가 실현된다. The push-pull conveying device 41 is a retractable device that pushes and pulls the article on the roller row of the roller conveyor 39 to move. The push-pull conveying apparatus 41 includes an arm mechanism 51 that is extendable and retractable in the left-right direction, a hook member 53 provided on the arm mechanism 51, and a push- (Fig. 7). In the state shown in Fig. 2, the push-pull conveying device 41 is disposed below the roller conveyor 39. Further, the push-pull transfer device 41 does not need to support the load of the article, so that the construction is simple. Therefore, the weight of the conveyance carriage 5 is realized.
훅 부재(53)는 암 기구(51)의 최상단의 암으로부터 좌우 방향 양측으로 더 연장되는 제 1부분(53a)과, 제 1부분(53a)의 단부로부터 상방으로 연장되는 제 2 부분(53b)을 갖고 있다. 제 2 부분(53b)끼리의 좌우 방향 거리는 물품의 좌우 방향길이보다 약간 길게 되어 있다. The hook member 53 includes a first portion 53a that extends further to both sides in the left and right direction from the uppermost arm of the arm mechanism 51 and a second portion 53b that extends upwardly from the end portion of the first portion 53a, Lt; / RTI > The lateral distance between the second portions 53b is slightly longer than the lateral length of the article.
미니인바이런먼트 기구(43)는 하우징(55)과, 1쌍의 셔터(57)와, FFU(Fan Filter Unit)(59)를 갖고 있다. 미니인바이런먼트 기구(43)는 반송차(5)에 있어서 물품 주위 환경의 청정도를 향상시키기 위한 기구이다. 하우징(55)은 본체(35)의 상부 및 전후에 설치되고, 소정의 공간을 차폐하고 있다. 하우징(55)의 좌우 양측에는 개구부가 형성되어 있고, 개구부에는 1쌍의 셔터(57)가 설치되어 있다. 셔터(57)는 셔터 구동 모터(135)(도 7)에 의해 개폐 동작이 가능하다. 도 2에 나타내는 상태에서는 1쌍의 셔터(57)는 하우징(55) 내의 공간을 외부로부터 차폐하고 있다. FFU(59)는 하우징(55) 내에 클린 에어를 공급하기 위한 장치이고, FFU 구동 모터(137)(도 7)에 의해 구동된다. The mini inverting mechanism 43 has a housing 55, a pair of shutters 57, and an FFU (Fan Filter Unit) 59. The mini-inhaler mechanism 43 is a mechanism for improving the cleanliness of the article circumstance in the conveyance carriage 5. [ The housing 55 is provided on the upper portion and front and rear of the main body 35, and shields a predetermined space. Openings are formed on both left and right sides of the housing 55, and a pair of shutters 57 are provided in the opening. The shutter 57 can be opened and closed by the shutter drive motor 135 (Fig. 7). In the state shown in Fig. 2, the pair of shutters 57 shields the space in the housing 55 from the outside. The FFU 59 is a device for supplying clean air into the housing 55 and is driven by the FFU driving motor 137 (Fig. 7).
(3) 버퍼(3) Buffers
도 2를 이용하여 버퍼(9)[도 4의 제 1 단위 버퍼(85), 제 2 단위 버퍼(86)에 상당]의 구조를 설명한다. The structure of the buffer 9 (corresponding to the first unit buffer 85 and the second unit buffer 86 in Fig. 4) will be described with reference to Fig.
버퍼(9)는, 예를 들면 제 1 소루프(11a)의 내측에 있어서 양측 부분에 근접하여 배치되어 있다. 버퍼(9)는 적재대(61)와, 롤러 컨베이어(63)와, 미니인바이런먼트 기구(65)를 갖고 있다. The buffer 9 is disposed, for example, close to both side portions inside the first small loop 11a. The buffer 9 has a loading table 61, a roller conveyor 63, and a mini-inhaler mechanism 65.
적재대(61)는 대략 상자형 형상을 갖고 있다. 롤러 컨베이어(63)는 적재대(61)의 상면에 전동 가능하게 설치되어 있고, 버퍼(9)의 적재면을 구성하고 있다. 롤러 컨베이어(63)는 반송차(5)의 롤러 컨베이어(39)와 동일 높이이다. 롤러 컨베이어(63)의 롤러는 주행 방향에 직각 방향으로 배열되어 있고, 이것에 의해 물품이 좌우 방향으로 용이하게 이동할 수 있게 되어 있다. 또한, 롤러 컨베이어(63)는 주행 방향으로 이격된 1쌍의 롤러열로 구성되어 있다. 롤러 컨베이어(63)의 롤러는 전부 프리롤러이다. 이렇게 버퍼(9)의 적재면은 전동 가능한 롤러로 이루어지는 롤러 컨베이어(63)이므로 물품의 이송시에 마모분의 발생이 억제된다.The pallet 61 has a substantially box-like shape. The roller conveyor 63 is provided on the upper surface of the loading table 61 so as to be able to rotate, and constitutes a loading surface of the buffer 9. The roller conveyor 63 is flush with the roller conveyor 39 of the conveyance carriage 5. The rollers of the roller conveyor 63 are arranged at right angles to the running direction, whereby the articles can be easily moved in the left and right directions. The roller conveyor 63 is composed of a pair of roller rows spaced apart in the running direction. The rollers of the roller conveyor 63 are all free rollers. Thus, since the loading surface of the buffer 9 is the roller conveyor 63 made of rollable rollers, the generation of abrasion is suppressed at the time of conveyance of the article.
미니인바이런먼트 기구(65)는 커버(67)와, FFU(69)를 갖고 있다. 미니인바이런먼트 기구(65)는 버퍼(9)에 있어서 커버(67) 내 즉 물품 주위 환경의 청정도를 향상시키기 위한 기구이다. 커버(67)는 적재대(61)의 상부에 설치되고, 소정의 공간을 차폐하고 있다. 커버(67)의 궤도측에는 개구부(67a)[도 4의 제 1 개구부(85a), 제 2 개구부(86a)에 상당]가 형성되어 있다. 이 실시형태에서는 커버는 물품의 상방에만 배치되어 있지만, 커버는 물품의 상방과 좌우에만 배치되어 있어도 되고, 물품의 상방과 좌우와 안쪽에 배치되어 있어도 된다. 이 실시형태에서는 개구부에 셔터는 설치되어 있지 않지만, 필요에 따라서 셔터를 설치해도 된다. FFU(69)는 커버(67) 내에 클린 에어를 공급함으로써 적재된 물품 주위의 청정도를 높이기 위한 장치이다. FFU(69)는 FFU 구동 모터(137)(도 7)에 의해 구동된다.The mini inverting mechanism 65 has a cover 67 and an FFU 69. The mini inhalation mechanism 65 is a mechanism for improving the cleanliness of the environment around the article in the cover 67 in the buffer 9. [ The cover 67 is provided on the upper portion of the loading table 61 and shields a predetermined space. An opening 67a (corresponding to the first opening 85a and the second opening 86a in Fig. 4) is formed on the track side of the cover 67. [ In this embodiment, the cover is disposed only above the article, but the cover may be disposed only above and to the left and right of the article, or may be disposed above, right, left, and inside of the article. In this embodiment, the shutter is not provided in the opening portion, but a shutter may be provided if necessary. The FFU 69 is a device for increasing the cleanliness around the loaded article by supplying clean air into the cover 67. [ The FFU 69 is driven by the FFU driving motor 137 (Fig. 7).
(4) 스테이션(4) Station
도 2를 이용하여 처리 장치(2)의 스테이션(2a)에 대하여 설명한다. 스테이션(2a)은 적재대(71)와, 롤러 컨베이어(73)를 갖고 있다.The station 2a of the processing apparatus 2 will be described with reference to Fig. The station 2a has a loading table 71 and a roller conveyor 73. [
적재대(71)는 대략 상자형 형상을 갖고 있다. 롤러 컨베이어(73)는 적재대(71)의 상면에 전동 가능하게 설치되어 있다. 롤러 컨베이어(73)의 롤러는 주행 방향에 직각 방향으로 배열되어 있고, 이것에 의해 물품이 좌우 방향으로 용이하게 이동할 수 있게 되어 있다. 또한, 롤러 컨베이어(73)는 주행 방향으로 이격된 1쌍의 롤러열로 구성되어 있다. 롤러 컨베이어(73)의 롤러는 전부 프리롤러이다.The stage 71 has a substantially box-like shape. The roller conveyor 73 is installed on the upper surface of the table 71 in a rolling manner. The rollers of the roller conveyor 73 are arranged in a direction perpendicular to the running direction, whereby the articles can be easily moved in the lateral direction. The roller conveyor 73 is constituted by a pair of roller rows spaced apart in the running direction. The rollers of the roller conveyor 73 are all free rollers.
(5) 제어 구성(5) Control configuration
도 6을 이용하여 반송차 시스템(1)의 제어계(120)를 설명한다. 도 6은 반송차 시스템의 제어계를 나타내는 블럭도이다. The control system 120 of the conveyance system 1 will be described with reference to Fig. 6 is a block diagram showing a control system of the conveyance system.
제어계(120)는 제조 콘트롤러(121)와, 물류 콘트롤러(123)와, 자동 창고 콘트롤러(125)와, 반송차 콘트롤러(127)를 갖고 있다.The control system 120 has a manufacturing controller 121, a distribution controller 123, an automatic warehouse controller 125, and a transportation car controller 127.
물류 콘트롤러(123)는 자동 창고 콘트롤러(125) 및 반송차 콘트롤러(127)의 상위 콘트롤러이다. 반송차 콘트롤러(127)는 복수의 반송차(5)를 관리하고, 이들에 반송 지령을 할당하는 할당 기능을 갖고 있다. 또한, 「반송 지령」은 주행에 관한 지령 및, 화물을 잡는 위치와 화물을 내리는 위치에 관한 지령을 포함하고 있다.The logistics controller 123 is a host controller of the automatic warehouse controller 125 and the conveyance car controller 127. The transporting car controller 127 has an allocation function for managing a plurality of transporting vehicles 5 and assigning a transporting instruction to them. The " transportation instruction " includes a command for traveling, and a command for a position for holding the cargo and a position for lowering the cargo.
제조 콘트롤러(121)는 처리 장치(2)와의 사이에서 통신할 수 있다. 처리 장치(2)는 처리가 종료된 물품의 반송 요구(화물 잡기 요구·화물 내리기 요구)를 제조 콘트롤러(121)에 송신한다.The manufacturing controller 121 can communicate with the processing apparatus 2. [ The processing device 2 transmits a transport request (cargo hold request / cargo release request) of the finished product to the manufacturing controller 121.
제조 콘트롤러(121)는 처리 장치(2)로부터의 반송 요구를 물류 콘트롤러(123)로 송신하고, 물류 콘트롤러(123)는 보고를 제조 콘트롤러(121)에 송신한다.The manufacturing controller 121 transmits a transport request from the processing apparatus 2 to the goods distribution controller 123 and the goods distribution controller 123 sends the report to the manufacture controller 121. [
물류 콘트롤러(123)는 제조 콘트롤러(121)로부터 반송 요구를 받으면 자동 창고(7)에서의 입고 또는 출고가 수반되고 있는 경우, 소정의 타이밍으로 입고 또는 출고 지령을 자동 창고 콘트롤러(125)에 송신한다. 그리고, 자동 창고 콘트롤러(125)는 이에 따라 입고 또는 출고 지령을 자동 창고(7)에 송신한다. 물류 콘트롤러(123)는 또한 제조 콘트롤러(121)로부터 반송 요구를 수취하면 그것을 반송 지령으로 변환하고, 반송차(5)에의 반송 지령 할당 동작을 행한다. When receiving a transportation request from the manufacturing controller 121, the goods distribution controller 123 transmits a goods receipt or departure order to the automatic warehouse controller 125 at a predetermined timing when goods receipt or dispatch is carried out in the automatic warehouse 7 . Then, the automatic warehouse controller 125 transmits the goods receipt or departure order to the automatic warehouse 7 accordingly. The distribution controller 123 also receives the transport request from the manufacturing controller 121, converts it into a transport instruction, and carries out a transport instruction allocation operation to the transport vehicle 5. [
반송차 콘트롤러(127)는 반송 지령을 작성하기 위해서 각 반송차(5)와 연속적으로 통신하고, 각 반송차(5)로부터 송신된 위치 데이터를 기초로 그 위치 정보를 얻고 있다.The transporting car controller 127 continuously communicates with each of the transporting vehicles 5 in order to create a transport instruction and obtains the location information based on the location data transmitted from each transporting vehicle 5. [
도 7을 이용하여 반송차(5)의 반송차 내 콘트롤러(129)에 대하여 설명한다. 도 7은 반송차 내의 콘트롤러의 구성을 나타내는 블럭도이다. The controller 129 in the conveyance carriage 5 of the conveyance carriage 5 will be described with reference to Fig. Fig. 7 is a block diagram showing the configuration of the controller in the conveyance carriage.
반송차 내 콘트롤러(129)는 CPU, RAM, ROM 등으로 이루어지고 프로그램을 실행하는 컴퓨터이다. 반송차 내 콘트롤러(129)의 메모리에는 루트맵이 보존되어 있다. 반송차(5)는 루트맵에 기재된 좌표와 자기(自機)의 내부 좌표[인코더(139)(후술)에 의해 구한 좌표]를 비교하면서 주행을 계속한다. The controller 129 in the carriage car is a computer which is made up of a CPU, a RAM, a ROM and the like and executes a program. A route map is stored in the memory of the controller 129 in the carriage carriage. The carriage 5 continues the traveling while comparing the coordinates written in the route map with the coordinates of the own (internal coordinates of the own apparatus) (coordinates obtained by the encoder 139 (described later)).
반송차 내 콘트롤러(129)에는 주행 모터(131), 푸시풀 구동 기구(133), 셔터 구동 모터(135), FFU 구동 모터(137), 인코더(139)가 접속되어 있다. A drive motor 131, a push-pull drive mechanism 133, a shutter drive motor 135, an FFU drive motor 137, and an encoder 139 are connected to the controller 129 in the conveyance.
(6) 반송차 시스템의 동작(6) Operation of the carriage system
도 2 및 도 8~도 13을 이용하여 반송차 시스템(1)에 있어서의 동작을 설명한다. 도 8~도 13은 본 발명의 일실시형태로서의 반송차 시스템의 부분 단면도이다. 도 2의 상태에서는 반송차(5)는 물품(C1)을 적재한 상태로 버퍼(9)와 처리 장치(2)의 스테이션(2a) 사이에 정지하고 있다. 스테이션(2a)에는 물품(C2)이 적재되어 있다. 이 상태로부터 반송차(5)는 물품(C1)을 버퍼(9)에 내리고, 이어서 물품(C2)을 스테이션(2a)으로부터 싣는다. 이하, 그 동작을 상세하게 설명한다.The operation of the conveyance system 1 will be described with reference to Figs. 2 and 8 to 13. Fig. 8 to 13 are partial cross-sectional views of a conveyance car system as an embodiment of the present invention. 2, the conveying carriage 5 is stopped between the buffer 9 and the station 2a of the processing apparatus 2 in a state in which the article C1 is loaded. An article C2 is loaded on the station 2a. From this state, the carriage 5 drops the article C1 to the buffer 9, and then loads the article C2 from the station 2a. Hereinafter, the operation thereof will be described in detail.
도 2의 상태로부터 반송차(5)에 있어서 셔터 구동 모터(135)가 구동됨으로써 버퍼(9)측의 셔터(57)가 개방된다. 또한, 푸시풀 구동 기구(133)의 승강 기구(도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 상승된다. 그 결과, 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)이 물품(C1)의 좌우 방향 양측에 배치된다. 암 기구(51)의 상승 후의 상태를 도 8에 나타낸다. The shutter 57 on the side of the buffer 9 is opened by driving the shutter drive motor 135 in the conveyance carriage 5 from the state shown in Fig. Further, the elevating mechanism (not shown) of the push-pull driving mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is raised. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed on both sides in the left-right direction of the article C1. The state after the arm mechanism 51 is raised is shown in Fig.
도 8의 상태로부터 반송차(5)에 있어서 푸시풀 구동 기구(133)의 슬라이드 기구(도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 버퍼(9)측으로 슬라이딩된다. 이것에 의해 물품(C1)은 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)에 밀려서 반송차(5)로부터 버퍼(9) 내로 반송된다. 구체적으로는 물품(C1)은 롤러 컨베이어(39) 및 롤러 컨베이어(63) 상을 미끄러져 이동한다. 물품(C1)의 이동 후의 상태를 도 9에 나타낸다. The slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven in the conveying carriage 5 from the state shown in Fig. 8 so that the arm mechanism 51 is slid toward the buffer 9 side. The article C1 is pushed by the second portion 53b of the hook member 53 and is transported into the buffer 9 from the transporting carriage 5. More specifically, the article C1 slides on the roller conveyor 39 and the roller conveyor 63 to move. The state of the article C1 after movement is shown in Fig.
도 9의 상태로부터 반송차(5)에 있어서 푸시풀 구동 기구(133)의 승강 기구 (도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 하강된다. 그 결과, 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)이 물품(C1)의 좌우 방향 양측보다 하방에 배치된다. 이어서, 푸시풀 구동 기구(133)의 슬라이드 기구(도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 반송차(5)측으로 슬라이딩된다. 이것에 의해, 암 기구(51)가 반송차(5) 내로 복귀한다. 최후에 셔터 구동 모터(135)가 구동되어서 버퍼(9)측의 셔터(57)가 폐쇄된다. 셔터(57)가 폐쇄된 상태를 도 10에 나타낸다. The elevating mechanism (not shown) of the push-pull driving mechanism 133 is driven in the conveying carriage 5 from the state shown in Fig. 9, and the arm mechanism 51 is lowered. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed below both sides in the left-right direction of the article C1. Then, a slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven to slide the arm mechanism 51 toward the conveyance carriage 5 side. As a result, the arm mechanism 51 returns to the carriage 5. Finally, the shutter drive motor 135 is driven to close the shutter 57 on the buffer 9 side. The state in which the shutter 57 is closed is shown in Fig.
이상에서 설명한 바와 같이, 반송차(5)는 버퍼(9)의 측방에 정지하고, 푸시풀 이송 장치(41)에 의해 본체(35)와 버퍼(9) 사이에서 물품을 이동시킨다. 물품은 푸시풀 이송 장치(41)로부터 힘이 작용하면 롤러 컨베이어(39)와 롤러 컨베이어(63) 상을 이동한다. 이렇게 하여, 간단한 구조로 중량물의 이송이 가능하게 되어 있다. As described above, the carriage 5 stops at the side of the buffer 9 and moves the article between the main body 35 and the buffer 9 by the push- The article moves on the roller conveyor 39 and the roller conveyor 63 when a force is applied from the push-pull conveying device 41. In this way, heavy materials can be conveyed with a simple structure.
도 10의 상태로부터 반송차(5)에 있어서 셔터 구동 모터(135)가 구동됨으로써 스테이션(2a)측의 셔터(57)가 개방된다. 또한, 푸시풀 구동 기구(133)의 슬라이드 기구(도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 버퍼(9)측으로 슬라이딩된다. 암 기구(51)의 슬라이딩 후의 상태를 도 11에 나타낸다. When the shutter drive motor 135 is driven in the conveyance carriage 5 from the state shown in Fig. 10, the shutter 57 on the station 2a side is opened. Further, the slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven to slide the arm mechanism 51 toward the buffer 9 side. The state after sliding the arm mechanism 51 is shown in Fig.
도 11의 상태로부터 반송차(5)에 있어서 푸시풀 구동 기구(133)의 승강 기구 (도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 상승된다. 그 결과, 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)이 물품(C2)의 좌우 방향 양측에 배치된다. 암 기구(51)가 상승한 상태를 도 12에 나타낸다. The elevating mechanism (not shown) of the push-pull driving mechanism 133 is driven in the conveying carriage 5 from the state of Fig. 11, and the arm mechanism 51 is raised. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed on both sides in the left-right direction of the article C2. The state in which the arm mechanism 51 is lifted is shown in Fig.
도 12의 상태로부터 푸시풀 구동 기구(133)의 슬라이드 기구가 구동되어서 암 기구(51)가 반송차(5)측으로 슬라이딩된다. 이것에 의해, 암 기구(51)가 반송차(5) 내로 복귀한다. 또한, 물품(C2)은 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)에 밀려서 스테이션(2a)으로부터 반송차(5) 내로 반송된다. 구체적으로는 물품(C2)은 롤러 컨베이어(73) 및 롤러 컨베이어(39) 상을 미끄러져 이동한다. 또한, 푸시풀 구동 기구(133)의 승강 기구(도시 생략)가 구동되어서 암 기구(51)가 하강된다. 그 결과, 훅 부재(53)의 제 2 부분(53b)이 물품(C2)의 좌우 방향 양측보다 하방에 배치된다. 최후에, 셔터 구동 모터(135)가 구동되어서 스테이션(2a)측의 셔터(57)가 폐쇄된다. 셔터(57)가 폐쇄된 상태를 도 13에 나타낸다. From the state of Fig. 12, the slide mechanism of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 slides toward the conveyance carriage 5 side. As a result, the arm mechanism 51 returns to the carriage 5. The article C2 is pushed by the second portion 53b of the hook member 53 and is conveyed from the station 2a into the conveyance car 5. [ More specifically, the article C2 slides on the roller conveyor 73 and the roller conveyor 39 to move. Further, the lift mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is lowered. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed below the left and right sides of the article C2. Finally, the shutter drive motor 135 is driven to close the shutter 57 on the station 2a side. The state in which the shutter 57 is closed is shown in Fig.
이상에 의해 일련의 이송 동작이 종료된다. As a result, a series of traversing operations is completed.
(7) 기타 실시형태(7) Other embodiments
이상, 본 발명의 일실시형태에 대하여 설명했지만 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다. Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible without departing from the gist of the invention.
특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라서 임의로 조합할 수 있다. In particular, a plurality of embodiments and modifications described in this specification may be arbitrarily combined as needed.
(A) 상기 실시형태에서는 다른 측을 향한 개구부를 각각이 복수 갖는 제 1 버퍼(9A)와 제 2 버퍼(9B)가 1개씩 교대로 설치되어 있지만, 본 발명은 그러한 실시형태에 한정되지 않는다. (A) In the above embodiment, the first buffer 9A and the second buffer 9B each having a plurality of openings facing to the other side are alternately provided one by one, but the present invention is not limited to such an embodiment.
버퍼는 루프 내에 있어서 루프의 양측 부분을 향해서 각각 개방된 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 갖고 있으면 어떠한 구조이어도 된다. 예를 들면, 한쪽 종류의 버퍼가 연속해서 배치되어 있어도 된다. 또한, 개구부를 1개만 갖고 있는 버퍼가 사용되고 있어도 된다. 즉, 버퍼의 형상, 각각의 버퍼의 연속수에 대해서는 특별히 한정되지 않는다. The buffer may have any structure as long as it has a first opening and a second opening which are open toward both sides of the loop in the loop. For example, one kind of buffer may be arranged continuously. Further, a buffer having only one opening may be used. That is, the shape of the buffer and the number of consecutive buffers are not particularly limited.
이상의 구조에 의해 버퍼가 루프 내에 있어서 루프의 양측 부분을 향해서 각각 개방된 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 갖고 있다. 따라서, 물품을 버퍼(9)에 반입할 때에 목적으로 하는 처리 장치(2)의 근방에 있고 또한 상기 처리 장치(2)를 향해서 개방된 개구부를 갖는 버퍼를 선택할 수 있다. 이상의 결과, 물품의 반송 효율이 향상된다. According to the above structure, the buffer has the first opening and the second opening which are respectively opened toward both sides of the loop in the loop. Therefore, when bringing the article into the buffer 9, it is possible to select a buffer near the processing apparatus 2, which has an opening that is opened toward the processing apparatus 2, As a result, the conveying efficiency of the article is improved.
(B) 루프 내에서 복수의 버퍼(9)는 직선 형상으로 배치되어 있지 않아도 된다. 단, 루프의 폭을 극단적으로 크게 하지 않기 위해서는 복수의 버퍼(9)는 일렬로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 버퍼(9)가 직선 형상으로 배치되어 있는 경우에는 루프의 폭을 최소한으로 설정할 수 있다. (B) The plurality of buffers 9 in the loop need not be arranged in a straight line. However, in order not to make the width of the loop extremely large, it is preferable that the plurality of buffers 9 are arranged in a line. Further, when the buffer 9 is arranged in a linear shape, the width of the loop can be set to a minimum.
(C) 도 15에 나타내는 반송차 시스템에서는 궤도(3)는 상기 실시형태의 구조에 추가하여 제 1~제 3 루프(11,13,15)의 제 4 루프(17)와 반대측에 제 5 루프(77)를 갖고 있다. (C) In the traction system shown in Fig. 15, the trajectory 3 has, in addition to the structure of the above-described embodiment, a fifth loop 17 on the opposite side to the fourth loop 17 of the first to third loops 11, (77).
제 5 루프(77)는 제 5 지름길 연결부(79)를 설치함으로써 제 12 소루프(77a), 제 13 소루프(77b)를 실현하고 있다. 제 12 소루프(77a)는 복수의 연결부(81)에 의해 제 1 루프(11) 및 제 2 루프(13)에 연결되어 있다. 제 13 소루프(77b)는 연결부(83)에 의해 제 3 루프(15)에 연결되어 있다. The fifth loop 77 realizes the twelfth small loop 77a and the thirteenth small loop 77b by providing the fifth short-cut line connecting portion 79. [ The twelfth small loop 77a is connected to the first loop 11 and the second loop 13 by a plurality of connecting portions 81. [ And the thirteenth small loop 77b is connected to the third loop 15 by the connecting portion 83. [
제 1~제 5 루프(11,13,15,17,77)의 레일은 상기 실시형태에서 설명한 바와 같이 바닥면(32)의 오목부(32a) 내에 수납되어 있다. 이 실시형태에서는, 예를 들면 통상시에는 제 5 루프(77)의 레일 상에 보호 커버를 씌워 둔다. 보호 커버를 배치함으로써 바닥면(32)이 평탄해지므로 제 1~제 4 루프(11,13,15,17) 사이로 장치를 반입하는 것 또는 그들 사이로부터 장치를 반출하는 것이 용이해진다. 또한, 작업자가 제 5 루프(77)를 넘어서 이동할 때에 레일을 파손할 우려가 없다. 그리고, 예를 들면 비상시에는 보호 커버를 벗기고 반송차(5)를 제 5 루프(77) 상에서 주행시키도록 할 수 있다. The rails of the first to fifth loops 11, 13, 15, 17, and 77 are accommodated in the concave portion 32a of the bottom surface 32 as described in the above embodiment. In this embodiment, for example, a protective cover is put on the rails of the fifth loop 77 during normal operation. By arranging the protective cover, the bottom surface 32 becomes flat, so that it is easy to carry the device between the first to fourth loops 11, 13, 15, 17 or to carry the device out of between them. Further, there is no fear that the rail will be damaged when the operator moves beyond the fifth loop 77. [ Then, for example, in the event of an emergency, the protective cover may be peeled off and the carriage 5 may be caused to run on the fifth loop 77.
이 실시형태에서는 제 5 루프(77) 내에는 버퍼는 설치되어 있지 않다. 단, 필요에 따라서 버퍼를 배치해도 된다.In this embodiment, no buffer is provided in the fifth loop 77. However, the buffer may be arranged as required.
(D) 도 16~도 19를 이용하여 버퍼에 있어서의 물품 수용 능력을 높인 다른 실시형태를 설명한다. 도 16은 본 발명의 또 다른 실시형태가 채용된 반송차 시스템의 부분 단면도이다. 도 17은 적재대의 모식 평면도이다. 도 18은 적재대의 부분 측면도이다. 도 19는 반송차 시스템의 부분 단면도이다. (D) Another embodiment in which the article storage capacity of the buffer is enhanced will be described with reference to Figs. 16 to 19. Fig. 16 is a partial cross-sectional view of a carrier system in which another embodiment of the present invention is employed. Fig. 17 is a schematic plan view of a loading platform. Fig. 18 is a partial side view of the stand. 19 is a partial cross-sectional view of the conveyance car system.
도 16 및 도 17에 나타내는 바와 같이, 버퍼(91)는 롤러 컨베이어(93)와, 지지 기구(95)를 갖고 있다. As shown in Figs. 16 and 17, the buffer 91 has a roller conveyor 93 and a support mechanism 95. Fig.
롤러 컨베이어(93)는 상기 실시형태와 마찬가지이지만, 각 롤러(93a) 사이에는 소정의 간극이 확보되어 있다. 롤러 컨베이어(93)는 롤러(93a)를 지지하는 지지부(93b), 지주(93c), 및 지지봉(93d)을 더 갖고 있다. 지지부(93b)는 롤러(93a)를 직접 지지하는 부분이고, 롤러(93a)가 배열된 방향으로 연장되어 있다. 지지부(93b)는 롤러(93a)의 다른 롤러열에 대향하는 측의 단부를 회전 가능하게 지지하고 있다. 지주(93c)는 지지부(93b)를 소정 높이로 유지하고 있다. 지지봉(93d)은 지주(93c)로부터 경사져서 연장되고 롤러(93a)의 다른 롤러열과 반대측의 단부를 회전 가능하게 지지하고 있다. 즉, 롤러(93a)의 다른 롤러열과 반대측에는 지주는 설치되어 있지 않다. The roller conveyor 93 is the same as the above embodiment, but a predetermined clearance is ensured between the rollers 93a. The roller conveyor 93 further has a support portion 93b for supporting the roller 93a, a support 93c, and a support bar 93d. The support portion 93b directly supports the roller 93a and extends in the direction in which the roller 93a is arranged. The support portion 93b rotatably supports the end of the roller 93a on the side opposite to the other roller row. The strut 93c holds the support portion 93b at a predetermined height. The support rod 93d extends obliquely from the strut 93c and rotatably supports an end of the roller 93a opposite to the other roller row. That is, no support is provided on the opposite side of the other roller row of the roller 93a.
지지 기구(95)는 롤러 컨베이어(93) 상의 물품을 롤러 컨베이어(93)보다 상방으로 이동시키기 위한 기구이고, 지지 부재(97)와, 구동 기구(99)를 갖고 있다. 지지 부재(97)는 1쌍의 롤러 컨베이어(93)를 상하 방향으로 각각 통과해서 물품을 지지할 수 있는 1쌍의 부재이고, 도 17에 나타내는 바와 같이 베이스 프레임(101)과, 베이스 프레임(101)으로부터 연장되는 복수의 가는 지지부(103)를 갖고 있다. 각 베이스 프레임(101)은 각 롤러 컨베이어(93)의 전후 방향 외측에 배치되고, 롤러 컨베이어(93)의 각 롤러(93a)가 배열된 방향으로 연장되어 있다. 도 16 및 도 17에 나타내는 바와 같이, 복수의 지지부(103)는 롤러 컨베이어(93)의 롤러(93a) 사이에 연장되어 있다. 지지부(103)의 상면은 평탄한 면이고, 롤러(93a)의 상면보다 하방에 배치되어 있다. 구동 기구(99)는 지지 부재(97)를 구동하기 위한 기구이고, 지주(105)와, 승강 모터(도시 생략)와, 체인(도시 생략)을 갖고 있다. 지주(105)는, 예를 들면 네 모퉁이에 설치되고 상하 방향으로 연장되어 있으며, 도 18에 나타내는 바와 같이 지지 부재(97)의 베이스 프레임(101) 양 끝을 상하 이동 가능하게 지지한다. 승강 모터(도시 생략)는 체인(도시 생략)을 통해서 지지 부재(97)를 상하 이동시킬 수 있다.The support mechanism 95 is a mechanism for moving the article on the roller conveyor 93 above the roller conveyor 93 and has a support member 97 and a drive mechanism 99. The support member 97 is a pair of members capable of supporting the article through the pair of roller conveyors 93 in the vertical direction. As shown in Fig. 17, the base frame 101 and the base frame 101 (Not shown). Each base frame 101 is disposed outside the front and rear of each roller conveyor 93 and extends in the direction in which the rollers 93a of the roller conveyor 93 are arranged. 16 and 17, the plurality of support portions 103 extend between the rollers 93a of the roller conveyor 93. As shown in Fig. The upper surface of the support portion 103 is a flat surface and is disposed below the upper surface of the roller 93a. The drive mechanism 99 is a mechanism for driving the support member 97 and has a support 105, a lift motor (not shown), and a chain (not shown). The support posts 105 are provided at, for example, four corners and extend in the vertical direction, and support both ends of the base frame 101 of the support member 97 so as to be movable up and down as shown in Fig. The elevating motor (not shown) can move the supporting member 97 up and down through a chain (not shown).
이 실시형태에서는 지주(105)가 높게 연장되어 있으므로 그에 따라 버퍼(91) 커버(67)의 천정부도 높아져 있고, 또한 천정면(34)도 버퍼(91)에 대응하는 부분이 높아져 있다. In this embodiment, the support 105 is extended so that the ceiling portion of the buffer 91 cover 67 is higher and the portion of the ceiling surface 34 corresponding to the buffer 91 is higher.
이 반송차 시스템에서는 물품이 롤러 컨베이어(93) 상에 놓여진 후에 승강 모터(도시 생략)가 체인(도시 생략)을 감아올림으로써 지지 부재(97)를 상승시킨다. 그러면, 복수의 지지부(103)가 롤러 컨베이어(93)의 롤러(93a) 사이를 통과해서 상방으로 이동한다. 이것에 의해, 도 18에 나타내는 바와 같이 지지 부재(97)의 지지부(103)가 물품(C)을 들어올리고, 그것에 의해 물품(C)이 롤러 컨베이어(93)의 롤러(93a)로부터 이격된다. 최종적으로는 도 19에 나타내는 바와 같이, 물품(C)은 버퍼(91) 내에서 가장 높은 위치에서 복수의 지지부(103)에 의해 지지된다. 이 상태에서 롤러 컨베이어(93) 상에는 다음의 물품을 반입할 수 있는 공간이 확보된다. 이상과 같이 해서 버퍼(91) 내에 2개의 물품이 반입 가능하다. 즉, 버퍼(91)에 있어서의 물품 수용 능력이 높아져 있다. In this conveyance car system, after the article is placed on the roller conveyor 93, a lifting motor (not shown) rolls up the chain (not shown) to raise the support member 97. Then, a plurality of support portions 103 pass between the rollers 93a of the roller conveyor 93 and move upward. 18, the support portion 103 of the support member 97 lifts the article C, whereby the article C is separated from the roller 93a of the roller conveyor 93. As shown in Fig. Finally, as shown in Fig. 19, the article C is supported by the plurality of supports 103 at the highest position in the buffer 91. Fig. In this state, a space is provided on the roller conveyor 93 so that the next item can be carried. As described above, two items can be brought into the buffer 91. That is, the buffer capacity of the buffer 91 is increased.
또한, 물품을 들어올리기 위한 지지 부재의 형상은 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 지지 부재는 예를 들면 사다리 형상이어도 된다. Further, the shape of the support member for lifting the article is not limited to the above embodiment. The support member may be, for example, in the shape of a ladder.
(E) 본체(35)의 롤러 컨베이어(39)와 버퍼(9)의 롤러 컨베이어(63)는 물품(C)의 이송시에 동일 높이이면 된다. 즉, 어느 한쪽 또는 양쪽 면이 높이를 변경할 수 있고, 반송차(5)의 주행 중 또는 정지 중에는 양쪽 면의 높이가 달라도 된다. (E) The roller conveyor 39 of the main body 35 and the roller conveyor 63 of the buffer 9 may have the same height at the time of conveyance of the article C. In other words, the height of one or both sides can be changed, and the height of both sides may be different during running or stop of the carriage carriage 5. [
(F) 상기 실시형태에서는 루프 내의 버퍼는 일렬로 배치되어 있었지만, 본 발명은 그러한 실시형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 루프 내에 2열의 버퍼가 배치되어 있어도 된다. (F) In the above embodiment, the buffers in the loop are arranged in a row, but the present invention is not limited to such an embodiment. For example, two rows of buffers may be arranged in a loop.
본 발명은 복수의 처리 장치 사이를 궤도를 따라 주행하는 반송차를 갖는 반송차 시스템에 널리 적용할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to a conveying car system having a conveying car traveling along a trajectory between a plurality of processing apparatuses.
1 : 반송차 시스템 2 : 처리 장치
2a : 스테이션 3 : 궤도
4 : 검사 장치 5 : 반송차
7 : 자동 창고 9 : 버퍼
9A : 제 1 버퍼 9B : 제 2 버퍼
11 : 제 1 루프 11a : 제 1 소루프
11b : 제 2 소루프 11c : 제 3 소루프
13 : 제 2 루프 13a : 제 4 소루프
13b : 제 5 소루프 13c : 제 6 소루프
15 : 제 3 루프 15a : 제 7 소루프
15b : 제 8 소루프 15c : 제 9 소루프
17 : 제 4 루프 17a : 제 10 소루프
17b : 제 11 소루프 19 : 제 1 지름길용 연결부
21 : 제 2 지름길용 연결부 23 : 제 3 지름길용 연결부
25 : 제 4 지름길용 연결부 27 : 연결부
28 : 연결부 29 : 연속 처리 장치
29a : 제 1 처리 장치 29b : 제 2 처리 장치
31 : 제 1 스테이션 32 : 바닥면
32a : 오목부 33 : 제 2 스테이션
34 : 천정면 35 : 본체(지지대)
36 : 입구 스테이션 37 : 주행부
38 : 출구 스테이션 39 : 롤러 컨베이어(지지면)
39a : 롤러 41 : 푸시풀 이송 장치
43 : 미니인바이런먼트 기구 45 : 차륜
47 : 레일 51 : 암 기구
53 : 훅 부재 53a : 제 1 부분
53b : 제 2 부분 55 : 하우징
57 : 셔터 59 : FFU(청정 장치)
61 : 적재대 63 : 롤러 컨베이어(적재면)
65 : 미니인바이런먼트 기구 67 : 커버
67a : 개구부 69 : FFU
70 : 보호 커버 71 : 적재대
73 : 롤러 컨베이어 77 : 제 5 루프
77a : 제 12 소루프 77b : 제 13 소루프
79 : 제 5 지름길용 연결부 81 : 연결부
83 : 연결부 85 : 제 1 단위 버퍼
85a : 제 1 개구부 86 : 제 2 단위 버퍼
86a : 제 2 개구부 89 : 바이패스
91 : 버퍼 93 : 롤러 컨베이어
93a : 롤러 93b : 지지부
93c : 지주 93d : 지지봉
95 : 지지 기구 97 : 지지 부재
99 : 구동 기구 101 : 베이스 프레임
103 : 지지부 105 : 지주
120 : 제어계 121 : 제조 콘트롤러
123 : 물류 콘트롤러 125 : 자동 창고 콘트롤러
127 : 반송차 콘트롤러 129 : 반송차 내 콘트롤러
131 : 주행 모터 133 : 푸시풀 구동 기구
135 : 셔터 구동 모터 137 : FFU 구동 모터
139 : 인코더
1: Carrier system 2: Processing device
2a: station 3: orbit
4: Inspection device 5:
7: Automatic warehouse 9: Buffer
9A: first buffer 9B: second buffer
11: first loop 11a: first small loop
11b: second small loop 11c: third small loop
13: second loop 13a: fourth small loop
13b: fifth small loop 13c: sixth small loop
15: third loop 15a: seventh small loop
15b: the eighth sub-loop 15c: the ninth sub-loop
17: fourth loop 17a: 10th small loop
17b: eleventh small loop 19: connection for the first short path
21: connection portion for the second short-circuit route 23: connection portion for the third short-
25: connection part for the fourth shortcut path 27: connection part
28: connection part 29: continuous processing device
29a: first processing device 29b: second processing device
31: first station 32: bottom surface
32a: recess 33: second station
34: front surface 35: main body (support base)
36: entrance station 37:
38: exit station 39: roller conveyor (supporting surface)
39a: roller 41: push-pull transfer device
43: Mini-in-bypassing mechanism 45: Wheel
47: rail 51: arm mechanism
53: hook member 53a: first portion
53b: second part 55: housing
57: shutter 59: FFU (cleaning device)
61: Stacking table 63: Roller conveyor (stacking surface)
65: Mini-in-bypassing mechanism 67: Cover
67a: opening 69: FFU
70: protective cover 71:
73: roller conveyor 77: fifth loop
77a: twelfth small loop 77b: thirteenth small loop
79: connection part for the fifth shortcut path 81: connection part
83: connection part 85: first unit buffer
85a: first opening portion 86: second unit buffer
86a: second opening 89: bypass
91: buffer 93: roller conveyor
93a: roller 93b:
93c: column 93d: support rod
95: Support mechanism 97: Support member
99: drive mechanism 101: base frame
103: Support part 105: Support
120: Control system 121: Manufacturing controller
123: Logistics controller 125: Automatic warehouse controller
127: conveying car controller 129: controller in conveying car
131: Travel motor 133: Push-pull drive mechanism
135: shutter drive motor 137: FFU drive motor
139: Encoder

Claims (5)

  1. 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위한 반송차 시스템으로서:
    상기 복수의 처리 장치를 따라 설치된 궤도,
    상기 궤도를 주행해서 물품을 반송하는 반송차, 및
    상기 궤도의 측방에 배치되고 적재면을 갖는 적재대를 구비하고;
    상기 반송차는 상기 적재대의 상기 적재면과 동일 높이의 지지면을 갖는 지지대와, 상기 물품을 밀고 당김으로써 상기 적재대와 상기 지지대 사이에서 이동시키는 푸시풀 이송 장치를 가지며,
    상기 적재대는 이 적재대를 덮는 커버와, 상기 커버 내에 클린 에어를 공급하여 커버 내의 청정도를 높이기 위한 청정 장치를 더 가지며,
    상기 커버는 물품의 상방, 좌우측 및 안쪽에 배치되어 있으며,
    상기 커버의 궤도측에는 개구부가 형성되어 있으며,
    상기 궤도는 복수의 처리 장치에 인접하는 복수의 루프를 갖고 있고,
    상기 적재대는 루프의 내측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
    A conveyance system for conveying an article between a plurality of processing apparatuses, comprising:
    An orbit installed along the plurality of processing apparatuses,
    A transporting vehicle traveling on the trajectory to transport the articles, and
    A loading table disposed on a side of the track and having a loading surface;
    Wherein the conveying carriage has a support base having a support surface at the same height as the mounting surface of the table and a push-pull conveying device for moving the article between the table and the support by pulling and pulling,
    Wherein the loading table has a cover for covering the loading table and a cleaning device for supplying clean air into the cover to increase cleanliness in the cover,
    The cover is disposed above, left, right, and inside of the article,
    An opening is formed in the track side of the cover,
    Wherein said trajectory has a plurality of loops adjacent to a plurality of processing apparatuses,
    And the stacking table is disposed inside the loop.
  2. 삭제delete
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 적재대의 상기 적재면은 전동 가능한 컨베이어이고,
    상기 반송차의 상기 지지면은 전동 가능한 컨베이어인 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
    The method according to claim 1,
    Wherein said loading surface of said table is a rollable conveyor,
    Wherein the support surface of the conveyance car is an electrically conductive conveyor.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송차는 상기 루프를 일방 통행으로 주행하고 있으며,
    상기 적재대는 1개 이상의 상기 루프의 내측에 있어서 상기 루프의 양측 부분에 근접해서 배치되고, 상기 루프의 길이 방향으로 일렬로 나란히 배치된 제 1 적재대 및 제 2 적재대를 갖고 있고,
    상기 제 1 적재대는 상기 루프의 상기 양측 부분의 한 쪽을 향해서 개방된 제 1 개구부를 가지며, 상기 제 2 적재대는 상기 루프의 상기 양측 부분의 한 쪽과 반대측인 방향을 향해서 개방된 제 2 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
    The method according to claim 1,
    The conveyance vehicle runs on the loop in one way,
    Wherein the stacking unit has a first stacking unit and a second stacking unit which are disposed in close proximity to both sides of the loop in the at least one of the loops and are arranged side by side in the longitudinal direction of the loop,
    The first stacking part has a first opening portion opened toward one side of the both side portions of the loop and the second stacking portion has a second opening portion opened toward a direction opposite to one side of the both side portions of the loop And the conveyance system.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 적재대는 상기 적재면을 상하 방향으로 통과해서 상기 물품을 지지할 수 있는 지지 부재와, 상기 지지 부재를 구동하는 구동 기구를 갖고 있고,
    상기 적재면에 물품이 적재된 상태에서 상기 구동 기구가 상기 지지 부재를 구동하면 상기 지지 부재는 상기 적재면을 통해서 상기 물품을 상승시킴으로써 상기 적재면 상에 물품을 두기 위한 공간을 확보하는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.

    The method according to claim 1,
    Wherein the stacking table has a support member capable of supporting the article by passing the stacking surface in a vertical direction and a drive mechanism for driving the support member,
    Wherein when the driving mechanism drives the supporting member in a state that the article is loaded on the loading surface, the supporting member secures a space for placing the article on the loading surface by raising the article through the loading surface Conveyance system.

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