KR102202218B1 - Elevating type equipment to prepare article for interlayer conveyance - Google Patents

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박준호
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Abstract

Provided is an elevation-type object preparing facility for conveyance between floors capable of reducing object conveying time comprising: a shelf module having a first loading unit formed to support a first object, a second loading unit arranged in a different level to the first loading unit along a height direction and formed to support a second object, and an elevation driving unit formed to elevate the first and second loading units; a horizontal conveying module formed to convey the first and second objects to a loading position along a horizontal direction intersecting with the heightwise direction; and a control module which controls the shelf module and the horizontal conveying module to load the first object on the first loading unit from the horizontal conveying module in the loading position and allows the elevation driving unit to elevate the first and second loading units so that the second object is loaded on the second loading unit from the horizontal conveying module in a state where the second loading unit is positioned in a different level to the horizontal conveying module.

Description

층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비{ELEVATING TYPE EQUIPMENT TO PREPARE ARTICLE FOR INTERLAYER CONVEYANCE}Elevating object preparation facility for interfloor transfer {ELEVATING TYPE EQUIPMENT TO PREPARE ARTICLE FOR INTERLAYER CONVEYANCE}

본 발명은 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비에 관한 것이다.The present invention relates to an elevating object preparation facility for inter-floor transfer.

근래에 반도체 제조 기술은 정보 통신 기술의 비약적인 발전에 따라 집적도, 신뢰도 및 처리 속도 등을 향상시키는 방향으로 발전하고 있다. 상기 반도체의 제조 단계는 다음과 같다. 먼저, 실리콘 단결정으로부터 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼가 제작되고, 상기 반도체 기판상에 가공막이 형성되고, 이후 상기 가공막이 전기적 또는 유전적 특성을 갖는 패턴들로 형성된다.In recent years, semiconductor manufacturing technology is developing in the direction of improving the degree of integration, reliability, and processing speed, etc. with the rapid development of information and communication technology. The manufacturing steps of the semiconductor are as follows. First, a silicon wafer used as a semiconductor substrate is fabricated from a silicon single crystal, a processed film is formed on the semiconductor substrate, and then the processed film is formed into patterns having electrical or dielectric properties.

상기 패턴들은 막 형성, 사진 식각, 연마, 이온 주입 등의 단위 공정들의 선택적 또는 반복적 수행에 따라 형성된다. 0.15㎛ 이하의 디자인 규칙(design rule)을 요구하는 최근의 반도체 제조 공정에서 상기 단위 공정들에 적용되는 압력, 온도 등과 같은 공정 조건의 제어는 더욱 정밀하게 수행되어야 한다. 이를 위해 다양한 제어 장치의 개발이 활발하게 진행되고 있다. 또한, 대량 생산을 다수의 반도체 제조 장치가 제조 공정 라인에 구비된다. 이들의 동작 및 제어는 자동화되고 있는 추세이다.The patterns are formed by selectively or repetitively performing unit processes such as film formation, photo etching, polishing, and ion implantation. In a recent semiconductor manufacturing process that requires a design rule of 0.15 μm or less, the control of process conditions such as pressure and temperature applied to the unit processes must be performed more precisely. To this end, various control devices are being actively developed. In addition, a large number of semiconductor manufacturing apparatuses for mass production are provided in the manufacturing process line. Their operation and control are becoming more automated.

자동화에 대한 일 예로서, 상기 제조 공정을 수행하는 장치들이 구비되는 작업 공간(bay area)에서 반도체 기판을 이송하는 무인 반송대차(auto guided vehicle: AGV) 등을 포함하는 이송 장치가 있다. 최근에는 무인 반송대차 뿐만 아니라 오버 헤드 트랜스퍼(over head transfer: OHT)를 이송에 적용하고 있다.As an example of automation, there is a transfer device including an auto guided vehicle (AGV) for transferring a semiconductor substrate in a work space (bay area) in which devices for performing the manufacturing process are provided. In recent years, overhead transfer (OTT) as well as unmanned transfer trucks are applied to transfer.

종래 기술의 반도체 제조설비에서는, 다수 개의 웨이퍼가 탑재된 카세트를 보관하는 스토커와 웨이퍼의 단위공정이 수행되는 단위 공정 장치 사이에서 자동반송장치에 의해 카세트가 이송된다. 자동반송장치는 무인 작업공간에서 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위 공정 장치 사이에서 카세트를 순차적으로 이동시킬 수 있다.In a semiconductor manufacturing facility of the prior art, a cassette is transferred by an automatic transfer device between a stocker storing a cassette on which a plurality of wafers are mounted and a unit processing device in which unit processing of the wafer is performed. The automatic transfer device can sequentially move the cassette between the stocker and the unit process unit according to a program set in an unmanned work space.

그런데, 종래의 자동반송장치는 오직 하나의 카세트만을 순차적으로 이송하도록 구성되어 있어 카세트의 반송시간이 오래 걸리는 문제점이 있다. 나아가, 자동반송을 위해 카세트를 준비하는 중에, 카세트를 떨어뜨리는 사고가 발생하기도 한다.However, since the conventional automatic transfer device is configured to transfer only one cassette in sequence, it takes a long time to transfer the cassette. Furthermore, while preparing a cassette for automatic transport, an accident of dropping the cassette may occur.

본 발명의 일 목적은, 한 번에 복수의 대상물을 반송할 수 있는 방식으로 대상물을 준비하여 대상물 반송 시간을 절감시킬 수 있는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an elevating object preparation facility for inter-floor transport, which can reduce the object transport time by preparing an object in a manner capable of transporting a plurality of objects at once.

본 발명의 다른 일 목적은, 반송 준비를 위해 대상물을 상승시키는 과정에서 대상물을 떨어뜨릴 가능성을 구조적으로 제거할 수 있는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an elevating object preparation facility for inter-floor transport that can structurally eliminate the possibility of dropping an object in the process of raising an object for transport preparation.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비는, 제1 대상물을 받치도록 구성되는 제1 적재 유닛과, 높이 방향을 따라 상기 제1 적재 유닛과 다른 레벨에 배치되고 제2 대상물을 받치도록 구성되는 제2 적재 유닛과, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛을 승강 구동하도록 구성되는 승강구동 유닛을 구비하는 선반 모듈; 상기 높이 방향과 교차하는 수평 방향을 따라 로딩 위치로 상기 제1 대상물 및 상기 제2 대상물을 반송하도록 구성되는 수평 반송 모듈; 및 상기 선반 모듈과 상기 수평 반송 모듈을 제어하여, 상기 로딩 위치에서 상기 제1 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 상기 제1 적재 유닛에 로딩되게 하고, 상기 승강구동 유닛이 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛을 승강시켜 상기 제2 적재 유닛이 상기 수평 반송 모듈에 대응하는 레벨에 위치한 상태에서 상기 제2 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 상기 제2 적재 유닛에 로딩되게 하는 제어 모듈을 포함할 수 있다.An elevating object preparation facility for inter-floor transfer according to an aspect of the present invention for realizing the above-described problem includes a first loading unit configured to support a first object, and different from the first loading unit along a height direction. A shelf module having a second loading unit disposed on the level and configured to support a second object, and an elevating drive unit configured to elevate and drive the first loading unit and the second loading unit; A horizontal transport module configured to transport the first object and the second object to a loading position along a horizontal direction crossing the height direction; And controlling the shelf module and the horizontal transfer module, so that the first object is loaded from the horizontal transfer module to the first loading unit at the loading position, and the lift driving unit comprises the first loading unit and the first loading unit. 2 It may include a control module for lifting the loading unit so that the second object is loaded from the horizontal transfer module to the second loading unit while the second loading unit is located at a level corresponding to the horizontal transfer module. .

여기서, 상기 승강구동 유닛은, 상기 높이 방향을 따라 배치되는 수직 프레임; 상기 수직 프레임에 설치되고, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛이 설치되는 수평 프레임; 및 상기 수평 프레임을 상기 수직 프레임을 따라 구동하는 수직구동부를 포함할 수 있다.Here, the elevating drive unit includes a vertical frame disposed along the height direction; A horizontal frame installed on the vertical frame and on which the first loading unit and the second loading unit are installed; And a vertical driving unit for driving the horizontal frame along the vertical frame.

여기서, 상기 수평 프레임은, 상기 제1 적재 유닛이 설치되는 제1 수평 프레임; 및 상기 제1 수평 프레임과 다른 레벨에 위치하고, 상기 제2 적재 유닛이 설치되는 제2 수평 프레임을 포함할 수 있다.Here, the horizontal frame, a first horizontal frame in which the first loading unit is installed; And a second horizontal frame positioned at a different level from the first horizontal frame and on which the second loading unit is installed.

여기서, 상기 승강구동 유닛은, 상기 제1 수평 프레임 및 상기 제2 수평 프레임을 연결하는 연결 프레임을 더 포함할 수 있다.Here, the lift driving unit may further include a connection frame connecting the first horizontal frame and the second horizontal frame.

여기서, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛 각각은, 상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물이 안착되는 안착부; 및 상기 안착부를 상기 제1 수평 프레임 또는 상기 제2 수평 프레임에 대해 이동시키도록 구성되는 수평구동부를 포함할 수 있다.Here, each of the first loading unit and the second loading unit may include a seating portion on which the first object or the second object is seated; And a horizontal driving part configured to move the seating part with respect to the first horizontal frame or the second horizontal frame.

여기서, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛 각각은, 상기 안착부를 상기 높이 방향을 따르는 선회축을 중심으로 선회시키도록 구성되는 선회구동부를 더 포함할 수 있다. Here, each of the first loading unit and the second loading unit may further include a pivoting driving unit configured to pivot the seating unit about a pivoting axis along the height direction.

여기서, 상기 안착부는, 상기 수평 반송 모듈로부터 로딩받은 상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물을 자체적으로 중앙에 위치시키도록 구동되는 적재 컨베이어를 포함할 수 있다.Here, the seating unit may include a loading conveyor that is driven to position the first object or the second object loaded from the horizontal transfer module in the center by itself.

여기서, 상기 반송 방향은, 상기 높이 방향에 수직한 방향이고, 상기 수평 반송 모듈은, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛과 평행하게 배치되는 반송 컨베이어를 포함할 수 있다.Here, the conveying direction is a direction perpendicular to the height direction, and the horizontal conveying module may include a conveying conveyor disposed in parallel with the first loading unit and the second loading unit.

여기서, 상기 수평 반송 모듈이 상기 제1 대상물 및 상기 제2 대상물을 반송하는 구간인 반송 구간 내에 위치하고, 인수 위치에서 인수한 상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물을 상기 수평 반송 모듈 상에 정위치시키는 위치결정 모듈이 더 구 비될 수 있다.Here, the horizontal transfer module is located in a transfer section, which is a section in which the first and second objects are transferred, and the first object or the second object received at the receiving position is correctly positioned on the horizontal transfer module. A positioning module may be further provided.

본 발명의 다른 일 측면에 따른 층간 반송을 위한 대상물 준비 방법은, 수평 반송 모듈을 이용하여 제1 대상물 및 제2 대상물을 로딩 위치로 반송하는 단계; 상기 로딩 위치에서 상기 제1 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 제1 적재 유닛에 로딩되게 하여, 상기 제1 적재 유닛이 상기 제1 대상물을 받치는 상태가 되게 하는 단계; 승강구동 유닛을 이용하여 상기 제1 대상물을 받치는 상기 제1 적재 유닛 및 높이 방향을 따라 상기 제1 적재 유닛과 다른 레벨에 위치하는 제2 적재 유닛을 승강시키는 단계; 및 상기 제2 적재 유닛이 상기 수평 반송 모듈에 대응하는 레벨에 위치한 상태에서, 상기 로딩 위치에서 상기 제2 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 상기 제2 적재 유닛에 로딩되게 하여 상기 제2 적재 유닛이 상기 제2 대상물을 받치는 상태가 되게 하는 단계를 포함할 수 있다.An object preparation method for interlayer transport according to another aspect of the present invention includes the steps of transporting a first object and a second object to a loading position using a horizontal transport module; Causing the first object to be loaded from the horizontal transfer module to a first loading unit in the loading position, so that the first loading unit is in a state to support the first object; Elevating the first loading unit supporting the first object and a second loading unit located at a different level from the first loading unit along a height direction using an elevation driving unit; And in a state in which the second loading unit is located at a level corresponding to the horizontal transfer module, the second object is loaded from the horizontal transfer module to the second loading unit at the loading position so that the second loading unit It may include the step of bringing the second object into a state of supporting.

여기서, 상기 로딩 위치에서 상기 제1 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 제1 적재 유닛에 로딩되게 하여, 상기 제1 적재 유닛이 상기 제1 대상물을 받치는 상태가 되게 하는 단계는, 상기 제1 대상물이 안착되는 안착부를 수평구동부를 이용하여 수평 이동시켜, 상기 제1 대상물을 상기 로딩 위치에서 대기 위치로 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다.Here, in the loading position, the step of causing the first object to be loaded from the horizontal transfer module to the first loading unit so that the first loading unit is in a state to support the first object, wherein the first object is seated It may further include moving the first object from the loading position to the standby position by horizontally moving the seated portion to be horizontally driven.

여기서, 상기 로딩 위치에서 상기 제1 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 제1 적재 유닛에 로딩되게 하여, 상기 제1 적재 유닛이 상기 제1 대상물을 받치는 상태가 되게 하는 단계는, 상기 제1 대상물이 안착되는 안착부를 선회구동부를 이용하여 상기 높이 방향을 따르는 선회축을 중심으로 선회시켜, 상기 제1 대상물이 지향하는 방향을 변경시키는 단계를 더 포함할 수 있다.Here, in the loading position, the step of causing the first object to be loaded from the horizontal transfer module to the first loading unit so that the first loading unit is in a state to support the first object, wherein the first object is seated It may further include the step of changing the direction in which the first object is directed by turning the seating portion to be centered on a pivoting axis along the height direction using a pivoting drive part.

여기서, 상기 승강구동 유닛을 이용하여 상기 제1 대상물을 받치는 상기 제1 적재 유닛 및 높이 방향을 따라 상기 제1 적재 유닛과 다른 레벨에 위치하는 제2 적재 유닛을 승강시키는 단계는, 상기 승강구동 유닛에 의해 상기 제1 적재 유닛과 상기 제2 적재 유닛 간의 간격을 유지한 채로 승강시키는 단계를 포함할 수 있다. Here, the step of elevating the first loading unit for supporting the first object and the second loading unit located at a different level from the first loading unit in a height direction using the lift driving unit, the lift driving unit It may include the step of elevating while maintaining the gap between the first loading unit and the second loading unit.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비에 의하면, 선반 모듈의 제1 적재 유닛과 제2 적재 유닛은 각각 제1 대상물 또는 제2 대상물을 받치도록 구성되고 그러한 제1 적재 유닛과 제2 적재 유닛에 제1 대상물 또는 제2 대상물을 로딩하기 위해서는 인수 위치와 로딩 위치 간에 제1 대상물 및 제2 대상물을 반송하는 수평 반송 모듈이 사용되는데, 제어 모듈은 수평 반송 모듈이 제1 대상물을 제1 적재 유닛에 로딩한 후에 선반 모듈의 승강구동 유닛을 작동시켜 제1 적재 유닛이 제1 대상물을 안정적으로 지지한 상태로 제2 적재 유닛과 함께 승강하고 이어서 수평 반송 모듈이 제2 대상물을 제2 적재 유닛에 로딩하게 하기에, 제1 대상물이 수평 반송 모듈에 의해 제1 적재 유닛에 적재된 높이에서 승강되는 중에 제1 대상물이 낙하하여 손상될 위험을 구조적으로 제거할 수 있다. According to the elevating object preparation facility for interfloor conveyance according to the present invention configured as described above, the first loading unit and the second loading unit of the shelf module are each configured to support the first object or the second object, In order to load the first object or the second object into the loading unit and the second loading unit, a horizontal transfer module that transfers the first object and the second object between the receiving position and the loading position is used.The control module includes a horizontal transfer module. 1 After loading the object into the first loading unit, the lifting drive unit of the shelf module is operated, and the first loading unit moves up and down together with the second loading unit while stably supporting the first object. Since the object is loaded into the second loading unit, it is possible to structurally eliminate the risk that the first object will fall and be damaged while the first object is elevated from the height loaded on the first loading unit by the horizontal transfer module.

나아가, 제1 대상물과 제2 대상물을 높이 방향을 따라 복층으로 배치함에 의해, 층간 반송을 위한 랙 마스터가 한 번에 2개의 대상물을 인수하여 반송할 수 있게 한다. 이는 대상물에 대한 반송 시간을 획기적으로 단축할 수 있게 하는 이점을 제공한다.Further, by arranging the first object and the second object in a double layer along the height direction, the rack master for inter-floor transport can take over and transport two objects at a time. This provides the advantage of being able to drastically shorten the conveyance time for the object.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)에 대한 개념도이다.
도 2는 도 1의 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)의 구조를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1의 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)에 대한 제어 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 층간 반송을 위한 대상물 준비 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 도 4의 일 단계(S3)에 대한 구체적 내용을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6은 도 4 및 도 5의 준비 방법에 대응하는 준비 설비(100)의 작동 상태를 순차적으로 나타낸 측면도이다.1 is a conceptual diagram of an elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view for explaining the structure of the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer of FIG. 1.
3 is a control block diagram of the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer of FIG. 1.
4 is a flow chart illustrating a method of preparing an object for interlayer transport according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a flow chart for explaining specific details of step S3 of FIG. 4.
6 is a side view sequentially showing an operating state of the preparation facility 100 corresponding to the preparation method of FIGS. 4 and 5.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.Hereinafter, an elevating object preparation facility for inter-floor transfer according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same/similar reference numerals are assigned to the same/similar configurations even in different embodiments, and the description is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)에 대한 개념도이다.1 is a conceptual diagram of an elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)는 대상물(A1,A2)을 반송하여 대기 위치(WP)에서 준비시키는 것으로서, 그렇게 준비된 대상물은 랙 마스터(RM)에 의해 다른 층으로 반송될 수 있다. 여기서, 대상물은 웨이퍼를 수용하는 용기로서 예를 들어, 풉(FOUP: Front Open Unified Pod)일 수 있다. 풉은 전방에 개방 가능한 도어가 있어서, 방향성을 가지는 용기이다. 랙 마스터(RM)는 여러 층에 걸쳐 연장되는 수직 레일을 따라 층간에 이동 가능하고, 또한 다관절 아암에 연결된 포크(F)에 의해 대상물을 인수하도록 구성된다. Referring to this drawing, the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transport is to transport the objects A1 and A2 to prepare them in the standby position WP, and the prepared objects are different by the rack master RM. Can be conveyed in layers. Here, the object is a container for accommodating a wafer, and may be, for example, a FOUP (Front Open Unified Pod). The FOUP has a door that can be opened in the front, so it is a container with directionality. The rack master RM is movable between floors along vertical rails extending over several floors, and is also configured to take over the object by a fork F connected to the articulated arm.

층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)는, 구체적으로, 선반 모듈(110), 수평 반송 모듈(130), 그리고 위치결정 모듈(150)을 선택적으로 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 선반 모듈(110), 수평 반송 모듈(130), 및 위치결정 모듈(150)이 이루는 세트는 총 2개로 배열되어 있다. 이들 중 한 세트는 대상물(A1,A2)이 랙 마스터(RM)에 입고되게 하는 것이라면, 다른 한 세트는 대상물(A1,A2)이 랙 마스터(RM)로부터 배출되게 하는 것이다. 랙 마스터(RM)는 반원형 궤적을 따라 포크(F)를 이동시키면서, 2개의 세트로부터 대상물(A1,A2)을 인수하거나 그에 인계할 수 있다.The elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer may selectively include, specifically, a shelf module 110, a horizontal transfer module 130, and a positioning module 150. In this embodiment, a set of the shelf module 110, the horizontal transfer module 130, and the positioning module 150 is arranged in two. One set of these is to cause the objects (A1, A2) to be put into the rack master (RM), the other set is to allow the objects (A1, A2) to be discharged from the rack master (RM). The rack master RM can take over or take over the objects A1 and A2 from two sets while moving the fork F along a semicircular trajectory.

선반 모듈(110)은 랙 마스터(RM)의 포크(F)가 인수할 수 있는 상태로 대상물(A1,A2)을 보관하는 구성이다. 선반 모듈(110)은 대기 위치(WP)에 대응하여 위치할 수 있다. 선반 모듈(110)은 제1 대상물(A1) 및 제2 대상물(A2)을 복층 구조로 보관할 수 있다. The shelf module 110 is configured to store the objects A1 and A2 in a state that the fork F of the rack master RM can take over. The shelf module 110 may be positioned corresponding to the standby position WP. The shelf module 110 may store the first object A1 and the second object A2 in a multilayer structure.

수평 반송 모듈(130)은 인수 위치(RP)에서 로딩 위치(LP)까지 대상물(A1,A2)을 수평 반송하는 장치이다. 그에 의해, 수평 반송 모듈(130)의 반송 구간은 인수 위치(RP)와 로딩 위치(LP)를 연결하는 구간을 포함할 수 있다. 수평 반송 모듈(130)은 예를 들어 반송 컨베이어로 구성되는 경우에, 그의 양측에 나란하게 배열되는 복수의 롤러(135)에 의해 대상물(A1,A2)을 반송할 수 있다. 복수의 롤러(135)는 벨트(미도시)에 의해 서로 연동될 수도 있다. 수평 반송 모듈(130)은 오버 헤드 트랜스퍼(over head transfer: OHT)로부터 천장에서 내려오는 대상물(A1,A2)을 인수할 수 있다. The horizontal conveyance module 130 is a device that horizontally conveys the objects A1 and A2 from the receiving position RP to the loading position LP. Thereby, the transfer section of the horizontal transfer module 130 may include a section connecting the receiving location RP and the loading location LP. The horizontal conveyance module 130 can convey the objects A1 and A2 by a plurality of rollers 135 arranged side by side on both sides of the horizontal conveying module 130, for example, when configured as a conveying conveyor. The plurality of rollers 135 may be interlocked with each other by a belt (not shown). The horizontal transfer module 130 may take over objects A1 and A2 descending from the ceiling from an overhead transfer (OTT).

위치결정 모듈(150)은 수평 반송 모듈(130)에 공급되는 대상물을 정위치시키기 위한 구성이다. 이를 위해, 위치결정 모듈(150)은 수평 반송 모듈(130)의 반송 구간 내에 위치하는 인수 위치(RP)에 위치하게 된다. 위치결정 모듈(150)은 구체적으로, 수평 반송 모듈(130)의 2열의 롤러(135)들 사이의 빈 공간에 위치하는 지지판(151)을 구비할 수 있다. 위치결정 모듈(150)이 사용되는 경우라면, 대상물(A1,A2)은 오버 헤드 트랜스퍼(over head transfer: OHT)로부터 바로 수평 반송 모듈(130)에 다운되지 않고, 위치결정 모듈(150)의 지지판(151)에 일차로 다운된 후에 지지판(151)의 하강에 따라 수평 반송 모듈(130)로 넘겨지게 된다. The positioning module 150 is a configuration for positioning an object supplied to the horizontal transfer module 130. To this end, the positioning module 150 is positioned at a receiving position RP located within the transport section of the horizontal transport module 130. Specifically, the positioning module 150 may include a support plate 151 positioned in an empty space between the two rows of rollers 135 of the horizontal transfer module 130. If the positioning module 150 is used, the objects A1 and A2 are not directly down to the horizontal transfer module 130 from an overhead transfer (OTT), and the support plate of the positioning module 150 After being first down to 151, it is transferred to the horizontal transfer module 130 according to the lowering of the support plate 151.

이러한 구성에 의하면, 수평 반송 모듈(130)은 인수 위치(RP)에서 대상물(A1,A2)을 인수하여 로딩 위치(LP)까지 반송한다. 나아가, 수평 반송 모듈(130)은 로딩 위치(LP)에서 대상물(A1,A2)을 선반 모듈(110)에 적재한다. 그러면, 랙 마스터(RM)는 선반 모듈(110)에 적재된 대상물(A1,A2)을 인수하여, 선반 모듈(110) 등이 위치한 층과 다른 층으로 대상물(A1,A2)을 반송하게 된다. According to this configuration, the horizontal conveyance module 130 takes over the objects A1 and A2 from the take-up position RP and conveys them to the loading position LP. Further, the horizontal transfer module 130 loads the objects A1 and A2 on the shelf module 110 at the loading position LP. Then, the rack master RM takes over the objects A1 and A2 loaded on the shelf module 110, and transports the objects A1 and A2 to a layer different from the floor on which the shelf module 110 is located.

여기서, 수평 반송 모듈(130)은 인수 위치(RP)에서 인수한 복수 개의 대상물(A1,A2)을 인수 위치(RP)까지 이동시키는 시점을 조절할 수 있다. 다시 말해, 수평 반송 모듈(130)은 선반 모듈(110)에 대상물(A1,A2)을 로딩하고 난 후에, 랙 마스터(RM)가 해당 대상물(A1,A2)을 인수한 후에야 다시 대상물(A1,A2)을 선반 모듈(110)에 로딩한다. 이러한 수평 반송 모듈(130)에 의해 오버 헤드 트랜스퍼가 대상물(A1,A2)을 수평 반송 모듈(130)에 바로 내리는 경우에 비해, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100) 위에서 대기해야 하는 시간을 없애거나 줄일 수 있게 된다. Here, the horizontal transfer module 130 may adjust the timing of moving the plurality of objects A1 and A2 received at the receiving position RP to the receiving position RP. In other words, after the horizontal transfer module 130 loads the objects A1 and A2 on the shelf module 110, the rack master RM takes over the objects A1 and A2. A2) is loaded into the shelf module 110. Time to wait on the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer compared to the case where the overhead transfer directly lowers the objects A1 and A2 to the horizontal transfer module 130 by the horizontal transfer module 130 Can be eliminated or reduced.

나아가, 수평 반송 모듈(130)이 아닌 위치결정 모듈(150)을 통해 대상물을 공급받음에 의해서는, 대상물의 자세가 정확히 정렬된 상태에서 대상물이 일련의 반송 과정을 거쳐 선반 모듈(110)에 역시 정확한 자세로 적재될 수 있다. Further, by receiving the object through the positioning module 150 rather than the horizontal transport module 130, the object is also transferred to the shelf module 110 through a series of transport processes in a state in which the posture of the object is accurately aligned. Can be loaded in the correct posture.

이상의 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)의 보다 구체적 구성에 대해 도 2 내지 도 3을 참조하여 설명한다. A more specific configuration of the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer will be described with reference to FIGS. 2 to 3.

도 2는 도 1의 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)의 구조를 설명하기 위한 측면도이다.FIG. 2 is a side view for explaining the structure of the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer of FIG. 1.

본 도면을 참조하면, 선반 모듈(110)은 제1 적재 유닛(111)과 제2 적재 유닛(115), 그리고 승강구동 유닛(121)을 포함할 수 있다. Referring to this drawing, the shelf module 110 may include a first loading unit 111, a second loading unit 115, and an elevating drive unit 121.

제1 적재 유닛(111)은 제1 대상물(A1)을 하측에서 받치는 구성이다. 제2 적재 유닛(115)은 제2 대상물(A2)을 하측에서 받치는 구성이다. 이들은 높이 방향 또는 수직 방향(V)을 따라 서로 다른 레벨에 위치한다. 본 실시예에서는 제1 적재 유닛(111)이 제2 적재 유닛(115) 보다 하측에 위치한 것을 예시하고 있다. The first loading unit 111 is configured to support the first object A1 from the lower side. The second loading unit 115 is configured to support the second object A2 from the lower side. They are located at different levels along the height direction or vertical direction (V). In this embodiment, it is illustrated that the first loading unit 111 is located below the second loading unit 115.

제1 적재 유닛(111)과 제2 적재 유닛(115)은 각기 안착부(112,116)를 가질 수 있다. 안착부(112,116)에는 대상물(A1,A2)이 안착되는 대상이 된다. 이러한 안착부(112,116)로서는, 예를 들어 적재 컨베이어가 사용될 수 있다. 상기 적재 컨베이어는 수평 반송 모듈(130)의 컨베이어와 같이 롤러(112a,116a)를 채용한 것일 수 있다. 그에 의해, 상기 적재 컨베이어는 수평 반송 모듈(130)로부터 그에 로딩된 대상물(A1,A2)을 자체적으로 그의 중앙으로 이동시키도록 구성된다. 나아가, 상기 적재 컨베이어가 수평구동부(113,117, 도 3 참조)에 의해 전체적으로 수평 방향(H)으로 이동됨에 따라서, 대상물(A1,A2)은 상기 적재 컨베이어와 함께 대기 위치(WP)에 위치할 수 있다. 본 도면에서는 그러한 상태를 예시하고 있다. The first loading unit 111 and the second loading unit 115 may have mounting portions 112 and 116, respectively. Objects A1 and A2 are seated on the seating portions 112 and 116. As the seating portions 112 and 116, a loading conveyor may be used, for example. The loading conveyor may be one employing rollers 112a and 116a like the conveyor of the horizontal transfer module 130. Thereby, the loading conveyor is configured to move the objects A1 and A2 loaded thereon from the horizontal conveying module 130 to its center by itself. Further, as the loading conveyor is moved in the horizontal direction (H) as a whole by the horizontal driving parts 113 and 117 (see FIG. 3), the objects A1 and A2 may be located in the standby position WP together with the loading conveyor. . Such a state is illustrated in this figure.

승강구동 유닛(121)은 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)을 승강 구동하는 구성이다. 그에 따라, 제1 적재 유닛(111)은 제1 대상물(A1)을 받친 채로 수직 방향(V)을 따라 승강될 수 있다. 승강구동 유닛(121)의 작동에 따라 제1 적재 유닛(111)이 승강되는 중에, 제2 적재 유닛(115)은 제1 적재 유닛(111)과 함께 승강될 수 있다. The elevating drive unit 121 is configured to elevate and drive the first loading unit 111 and the second loading unit 115. Accordingly, the first loading unit 111 may be raised and lowered along the vertical direction V while supporting the first object A1. While the first loading unit 111 is elevated according to the operation of the elevating drive unit 121, the second loading unit 115 may be elevated together with the first loading unit 111.

승강구동 유닛(121)은 구체적으로, 수평 프레임(122,123)과 수직 프레임(124), 그리고 연결 프레임(미도시)을 포함할 수 있다. The elevating driving unit 121 may specifically include horizontal frames 122 and 123, vertical frames 124, and a connection frame (not shown).

수평 프레임(122,123)은 중 제1 수평 프레임(122)에는 제1 적재 유닛(111)에 설치되고, 이와 유사하게 제2 수평 프레임(123)에는 제2 적재 유닛(115)이 설치될 수 있다. 여기서, 제1 수평 프레임(122)과 제2 수평 프레임(123)은 각기 독립적으로 수직 프레임(124)에 설치된다. 이와 달리, 제1 수평 프레임(122)이 수직 프레임(124)에 설치되는 반면에, 제2 수평 프레임(123)은 수직 프레임(124)이 아닌 제1 수평 프레임(122)에 연결되는 것도 가능하다. 어느 방식에 의하건, 제1 수평 프레임(122)과 제2 수평 프레임(123)은 수직 방향(V)을 따라 서로 다른 레벨에 위치하게 된다. 본 실시예에서는 제1 수평 프레임(122)이 제2 수평 프레임(123) 보다 하측에 위치하는 구성을 예시하고 있다. The horizontal frames 122 and 123 may be installed in the first stacking unit 111 on the first horizontal frame 122, and similarly, the second stacking unit 115 may be installed in the second horizontal frame 123. Here, the first horizontal frame 122 and the second horizontal frame 123 are each independently installed on the vertical frame 124. Alternatively, while the first horizontal frame 122 is installed on the vertical frame 124, the second horizontal frame 123 may be connected to the first horizontal frame 122 rather than the vertical frame 124. . Regardless of which method, the first horizontal frame 122 and the second horizontal frame 123 are positioned at different levels along the vertical direction (V). In this embodiment, a configuration in which the first horizontal frame 122 is positioned below the second horizontal frame 123 is illustrated.

상기 연결 프레임은 제1 수평 프레임(122)과 제2 수평 프레임(123)을 구조적으로 연결하는 구성이다. 이를 위해, 상기 연결 프레임은 수직 방향(V)을 따라 배열되면서, 양단이 각각 제1 수평 프레임(122) 또는 제2 수평 프레임(123)에 연결되는 부재일 수 있다. The connection frame structurally connects the first horizontal frame 122 and the second horizontal frame 123. To this end, the connection frame may be a member that is arranged along the vertical direction V and has both ends connected to the first horizontal frame 122 or the second horizontal frame 123, respectively.

수평 반송 모듈(130)은 수직 방향(V)에 교차하는 반송 방향을 따라 대상물(A1,A2)을 반송하도록 배치된다. 여기서, 상기 반송 방향은 대체로 수평 방향(H)을 따른 방향일 수 있다. 수평 반송 모듈(130)은 구체적으로 반송 컨베이어일 수 있다. 상기 반송 컨베이어는 베이스(131)와 롤러(135)를 포함할 수 있다. 베이스(131)는 수평 방향(H)을 따라 배열되고, 롤러(135)는 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)의 롤러(112a,116a)에 정렬되도록 배열될 수 있다. The horizontal conveying module 130 is arranged to convey the objects A1 and A2 along the conveying direction crossing the vertical direction V. Here, the transport direction may be a direction generally along the horizontal direction (H). The horizontal transfer module 130 may be specifically a transfer conveyor. The transfer conveyor may include a base 131 and a roller 135. The base 131 is arranged along the horizontal direction (H), and the rollers 135 may be arranged to be aligned with the rollers 112a and 116a of the first loading unit 111 and the second loading unit 115.

도 3은 도 1의 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)에 대한 제어 블럭도이다.3 is a control block diagram of the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transfer of FIG. 1.

본 도면(및 도 1 내지 도 2)을 참조하면, 선반 모듈(110)에 있어서, 제1 적재 유닛(111)과 제2 적재 유닛(115)은 수평구동부(113,117)와 선회구동부(114,118)를 더 포함할 수 있다. Referring to this drawing (and FIGS. 1 to 2), in the shelf module 110, the first loading unit 111 and the second loading unit 115 include horizontal driving parts 113 and 117 and turning driving parts 114 and 118. It may contain more.

수평구동부(113,117)는 안착부로서 적재 컨베이어(112,116)를 수평 방향(H)을 따라 이동시키는 구성이다. 수평구동부(113,117)에 의해, 적재 컨베이어(112,116)는 수평 프레임(122,123)에 대해 상대 이동되게 된다. 구체적으로, 적재 컨베이어(112,116)는 로딩 위치(LP)에 근접한 지점에서 대상물(A1,A2)이 대기 위치(WP)에 위치하는 지점 간에 수평 이동될 수 있다. The horizontal driving units 113 and 117 are configured to move the loading conveyors 112 and 116 along the horizontal direction H as a seating unit. By the horizontal driving units 113 and 117, the loading conveyors 112 and 116 are moved relative to the horizontal frames 122 and 123. Specifically, the loading conveyors 112 and 116 may be horizontally moved between the points where the objects A1 and A2 are located at the standby position WP at a point close to the loading position LP.

선회구동부(114,118)는 적재 컨베이어(112,116)를 수직 방향(V)을 따르는 선회축을 중심으로 선회시키는 구성이다. 이러한 선회구동부(114,118)는 대상물(A1,A2)을 적재 컨베이어(112,116)와 함께 선회시켜서, 대상물(A1,A2)이 선반 모듈(110)에서 수평 반송 모듈(130)에서와 다른 방향을 지향할 수 있게 한다(도 1 참조). The pivoting drive units 114 and 118 are configured to pivot the loading conveyors 112 and 116 around a pivoting axis along the vertical direction V. These pivoting drives 114 and 118 rotate the objects A1 and A2 together with the loading conveyors 112 and 116, so that the objects A1 and A2 can be directed in a direction different from that in the horizontal transfer module 130 in the shelf module 110. (See Fig. 1).

수평구동부(113,117)는 모터, LM 가이드 등에 의해 구성될 수 있고, 선회구동부(114,118)는 모터, 회전 베어링 등에 의해 구성될 수 있다. 이러한 구성은 당업자에게 어렵지 않는 사항이므로 구체적 설명은 생략한다. The horizontal driving units 113 and 117 may be configured by a motor, an LM guide, or the like, and the turning driving units 114 and 118 may be configured by a motor or a rotary bearing. This configuration is not difficult to those skilled in the art, so a detailed description will be omitted.

승강구동 유닛(121)은 수직구동부(125)를 더 가질 수 있다. 수직구동부(125)는 수평 프레임(122,123)을 수직 방향(V)을 따라 구동하는 구성이다. 수직구동부(125)의 작동에 의해 수평 프레임(122,123)이 승강되면, 그에 설치된 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)은 수평 반송 모듈(130)의 상측 영역 및 하측 영역 간에 이동되도록 승강하게 된다.The elevating driving unit 121 may further have a vertical driving unit 125. The vertical drive unit 125 is configured to drive the horizontal frames 122 and 123 along the vertical direction V. When the horizontal frames 122 and 123 are raised and lowered by the operation of the vertical drive unit 125, the first loading unit 111 and the second loading unit 115 installed therein move between the upper area and the lower area of the horizontal transfer module 130 You will be ascending and descending as much as possible.

수직구동부(125)는 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115) 중 어느 하나만 승강 구동하는 것이어도 된다. 다른 하나는 상기 연결 프레임을 통해 상기 어느 하나에 연결되어 있으므로, 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)은 동시에 승강될 수 있다. 수직구동부(125)는, 예를 들어 모터와, 볼스크류 등으로 구성될 수 있을 것이고, 이는 당업자에게 어렵지 않은 사항이므로 구체적 설명은 생략한다. The vertical drive unit 125 may be driven to lift only one of the first loading unit 111 and the second loading unit 115. Since the other is connected to any of the above through the connection frame, the first loading unit 111 and the second loading unit 115 can be raised and lowered at the same time. The vertical drive unit 125 may be composed of, for example, a motor and a ball screw, and this is not difficult for a person skilled in the art, so a detailed description thereof will be omitted.

수평 반송 모듈(130)은 롤러(135)를 구동하기 위한 롤러구동 유닛(137)을 더 구비할 수 있다. 롤러구동 유닛(137)은 예를 들어 복수의 롤러(135)들을 연결하는 벨트와, 그 벨트를 회전 구동하기 위한 모터 및 풀리로 구성될 수 있다. The horizontal transfer module 130 may further include a roller driving unit 137 for driving the roller 135. The roller drive unit 137 may include, for example, a belt connecting a plurality of rollers 135, and a motor and a pulley for rotating the belt.

위치결정 모듈(150)은 지지판(151, 도 1 참조)을 승강 구동하기 위한 승강구동 유닛(155)을 가질 수 있다. 승강구동 유닛(155)이 롤러(135) 보다 낮은 레벨로 하강되면, 대상물(A1,A2)은 수평 반송 모듈(130)의 롤러(135)에 안착되게 된다. The positioning module 150 may have an elevating driving unit 155 for elevating and driving the support plate 151 (see FIG. 1 ). When the lifting drive unit 155 descends to a level lower than the roller 135, the objects A1 and A2 are seated on the roller 135 of the horizontal conveyance module 130.

제어 모듈(170)은 선반 모듈(110), 수평 반송 모듈(130), 및 위치결정 모듈(150)을 제어하기 위한 구성이다. 예를 들어, 제어 모듈(170)은 선반 모듈(110)에서는 적재 컨베이어(112,116), 수평구동부(113,117), 선회구동부(114,118) 등의 작동을 제어한다.The control module 170 is a configuration for controlling the lathe module 110, the horizontal transfer module 130, and the positioning module 150. For example, the control module 170 controls the operation of the loading conveyors 112 and 116, the horizontal driving units 113 and 117, and the turning driving units 114 and 118 in the shelf module 110.

메모리(190)는 적재 컨베이어(112,116)의 작동 시간 등과 같은 구체적 제어 정보, 제어 프로그램을 저장하는 장치이다. 메모리(190)에 저장된 정보 등은 제어 모듈(170)의 작동을 위해 참조된다. The memory 190 is a device that stores specific control information, such as operation times of the loading conveyors 112 and 116, and a control program. Information and the like stored in the memory 190 are referred to for operation of the control module 170.

이제, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비(100)를 이용한 층간 반송을 위한 대상물 준비 방법에 대해 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명한다.Now, a method for preparing an object for inter-floor transport using the elevating object preparation facility 100 for inter-floor transport will be described with reference to FIGS. 4 to 6.

먼저, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 층간 반송을 위한 대상물 준비 방법을 설명하기 위한 순서도이다.First, FIG. 4 is a flow chart illustrating a method of preparing an object for interlayer transport according to another embodiment of the present invention.

본 도면(및 도 1 내지 도 3)을 참조하면, 층간 반송을 위한 대상물 준비 방법은, 대상물(A1,A2)을 로딩 위치(LP)로 반송하는 단계(S1)로부터 시작될 수 있다. 이를 위해, 제어 모듈(170)은 수평 반송 모듈(130)이 대상물(A1,A2)을 인수 위치(RP)에서 인수하여 로딩 위치(LP)까지 반송하게 한다. 구체적으로, 제어 모듈(170)은 수평 반송 모듈(130)의 롤러구동 유닛(137)을 작동시킨다. Referring to this drawing (and FIGS. 1 to 3), the method of preparing an object for interlayer transport may start from the step S1 of transporting the objects A1 and A2 to the loading position LP. To this end, the control module 170 allows the horizontal transfer module 130 to take over the objects A1 and A2 at the receiving position RP and transport them to the loading position LP. Specifically, the control module 170 operates the roller drive unit 137 of the horizontal transfer module 130.

로딩 위치(LP)에서 제1 대상물(A1)은 제1 적재 유닛(111)에 로딩된다(S3). 이를 위해, 제1 적재 유닛(111)의 수직 방향(V)을 따른 레벨은 수평 반송 모듈(130)의 레벨에 대응된 상태이다. 제어 모듈(170)은 수평 반송 모듈(130)의 롤러(135)를 구동하여 제1 대상물(A1)이 제1 적재 유닛(111)으로 인계되게 한다. 그에 의해, 제1 적재 유닛(111)은 제1 대상물(A1)의 하부를 받쳐서 안정적으로 그를 지지하게 된다. At the loading position LP, the first object A1 is loaded into the first loading unit 111 (S3). To this end, the level along the vertical direction V of the first loading unit 111 corresponds to the level of the horizontal transfer module 130. The control module 170 drives the rollers 135 of the horizontal conveyance module 130 so that the first object A1 is transferred to the first loading unit 111. Thereby, the first loading unit 111 supports the lower portion of the first object A1 to stably support it.

이 상태에서, 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)의 승강, 구체적으로는 하강이 이루어진다(S5). 이를 위해, 제어 모듈(170)은 승강구동 유닛(121) 중 수직구동부(125)를 작동시켜, 제1 적재 유닛(111)이 제1 대상물(A1)을 받치는 그 상태로 하강하게 한다. 제1 대상물(A1)은 제1 적재 유닛(111)에 의해 하부가 안정적으로 지지된 채로 하강하게 되므로, 그 하강 과정에서 낙하할 위험이 구조적으로 제거된다. 제1 적재 유닛(111)이 하강할 때는 그와 함께 제2 적재 유닛(115) 역시 하강하게 된다. 그에 따라, 제2 적재 유닛(115)의 수직 방향(V)을 따른 레벨은 수평 반송 모듈(130)의 레벨에 대응하는 상태가 된다. In this state, the first loading unit 111 and the second loading unit 115 are elevated, specifically, lowered (S5). To this end, the control module 170 operates the vertical drive unit 125 of the lift drive unit 121 so that the first loading unit 111 descends to the state that supports the first object A1. Since the first object A1 descends with its lower portion stably supported by the first loading unit 111, the risk of falling during the descending process is structurally eliminated. When the first loading unit 111 descends, the second loading unit 115 also descends with it. Accordingly, the level along the vertical direction V of the second loading unit 115 is in a state corresponding to the level of the horizontal conveyance module 130.

제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)의 하강 후에는, 제2 대상물(A2)이 제2 적재 유닛(115)에 적재된다(S7). 이를 위해, 제어 모듈(170)은 수평 반송 모듈(130)의 롤러(135)를 작동시켜, 로딩 위치(LP)에서 제2 대상물(A2)이 제2 적재 유닛(115)으로 인계되어 그에 적재되게 한다. 그에 의해, 제2 적재 유닛(115) 역시 제2 대상물(A2)을 안정적으로 받치는 상태가 된다.After the first loading unit 111 and the second loading unit 115 are lowered, the second object A2 is loaded on the second loading unit 115 (S7). To this end, the control module 170 operates the roller 135 of the horizontal transfer module 130 so that the second object A2 is transferred to the second loading unit 115 at the loading position LP and loaded thereon. do. Thereby, the second loading unit 115 is also in a state in which the second object A2 is stably supported.

이렇게 대상물(A1,A2)이 복층으로 배열된 상태에서, 랙 마스터(RM)는 그들을 동시에 인수하여 다른 층으로 반송할 수 있다.In the state in which the objects A1 and A2 are arranged in a double layer, the rack master RM can take over them at the same time and transfer them to another floor.

도 5는 도 4의 일 단계(S3)에 대한 구체적 내용을 설명하기 위한 순서도이다.FIG. 5 is a flow chart for explaining specific details of step S3 of FIG. 4.

본 도면을 참조하면, 제1 적재 유닛(111)은 제1 대상물(A1)을 인수한다(S11). 이 과정에서, 제어 모듈(170)은 적재 컨베이어(112), 구체적으로 롤러(112a)를 작동시켜 제1 대상물(A1)이 적재 컨베이어(112)의 중앙에 위치하게 할 수 있다. 이는 제1 대상물(A1)이 적재 컨베이어(112)에 의해 보다 안정적으로 지지되게 한다.Referring to this drawing, the first loading unit 111 takes over the first object A1 (S11). In this process, the control module 170 may operate the loading conveyor 112, specifically the roller 112a, so that the first object A1 is located at the center of the loading conveyor 112. This allows the first object A1 to be supported more stably by the loading conveyor 112.

다음으로, 제어 모듈(170)은 제1 대상물(A1)을 대기 위치(WP)로 이동시킬 수 있다(S13). 이를 위해, 제어 모듈(170)은 수평구동부(113)를 작동시켜, 적재 컨베이어(112)가 제1 대상물(A1)을 적재한 채로 수평 방향(H)으로 위치 이동되게 한다. Next, the control module 170 may move the first object A1 to the standby position WP (S13). To this end, the control module 170 operates the horizontal drive unit 113 so that the loading conveyor 112 is positioned in the horizontal direction H while loading the first object A1.

나아가, 제어 모듈(170)은 제1 대상물(A1)을 선회시킬 수도 있다(S15). 그에 따라, 제1 대상물(A1)은 랙 마스터(RM)의 포크(F)에 대해 정렬된 상태로 선회된다. 이를 위해, 제어 모듈(170)은 선회구동부(114)를 작동시켜, 역시 제1 대상물(A1)이 안착된 적재 컨베이어(112) 자체를 선회시키게 된다. Furthermore, the control module 170 may rotate the first object A1 (S15). Accordingly, the first object (A1) is rotated in a state aligned with the fork (F) of the rack master (RM). To this end, the control module 170 operates the turning drive unit 114 to turn the loading conveyor 112 itself on which the first object A1 is seated.

이러한 과정들을 통해, 제1 대상물(A1)은 제1 적재 유닛(111)에서 랙 마스터(RM)가 인수하기에 적합한 위치 및 방향으로 조정될 수 있다. 나아가, 이러한 과정은 제1 대상물(A1) 뿐만 아니라, 제2 대상물(A2)에도 적용될 수 있다.Through these processes, the first object A1 may be adjusted to a position and direction suitable for the rack master RM to take over in the first loading unit 111. Furthermore, this process can be applied not only to the first object A1 but also to the second object A2.

도 6은 도 4 및 도 5의 준비 방법에 대응하는 준비 설비(100)의 작동 상태를 순차적으로 나타낸 측면도이다.6 is a side view sequentially showing an operating state of the preparation facility 100 corresponding to the preparation method of FIGS. 4 and 5.

본 도면(및 도 1 내지 도 5)을 참조하면, 도 6(a)에서와 같이, 제1 적재 컨베이어(112)는 로딩 위치(LP)에 근접하여 수평 반송 모듈(130)과 대체로 하나의 반송 라인을 형성하게 된다. 이 상태에서, 제1 대상물(A1)은 수평 반송 모듈(130)을 거쳐서 적재 컨베이어(112)로 인계된다. Referring to this drawing (and FIGS. 1 to 5), as in FIG. 6(a), the first loading conveyor 112 is close to the loading position LP, and the horizontal transfer module 130 and generally one transfer To form a line. In this state, the first object A1 is handed over to the loading conveyor 112 via the horizontal conveying module 130.

도 6(b)를 살펴 보면, 제1 적재 컨베이어(112)는 수평 이동하여 제1 대상물(A1)은 대기 위치(WP)에 위치하게 된다. 이러한 상태에서, 제1 적재 유닛(111)은 제1 대상물(A1)을 받치는 채로 하강하게 된다. 이때, 제1 적재 유닛(111) 뿐만 아니라 제2 적재 유닛(115)도 동시에 하강된다. 이상과 달리, 제1 적재 유닛(111)이 하강한 상태에서, 제1 적재 컨베이어(112)가 수평 이동될 수도 있다. Referring to FIG. 6(b), the first loading conveyor 112 moves horizontally so that the first object A1 is positioned at the standby position WP. In this state, the first loading unit 111 descends while supporting the first object A1. At this time, not only the first loading unit 111 but also the second loading unit 115 is lowered at the same time. Unlike the above, in the state in which the first loading unit 111 is lowered, the first loading conveyor 112 may be horizontally moved.

이러한 하강 중에, 제1 적재 유닛(111) 및 제2 적재 유닛(115)은 그들의 초기 설정된 간격을 그대로 유지할 수 있다. 이는 랙 마스터(RM)가 대상물(A1,A2)을 인수하기에 적합한 설정 간격이 그대로 유지됨을 의미한다.During this descent, the first loading unit 111 and the second loading unit 115 can maintain their initial set interval as it is. This means that the setting interval suitable for the rack master RM to take over the objects A1 and A2 is maintained.

도 6(c)를 살펴 보면, 이제는 제2 적재 컨베이어(116)에 제2 대상물(A2)이 인계된다. 이를 위해, 앞선 단계에서, 제2 적재 컨베이어(116)는 로딩 위치(LP)에 근접하여 수평 반송 모듈(130)과 대체로 하나의 반송 라인을 형성한 상태를 이루고 있다. Referring to FIG. 6(c), the second object A2 is now handed over to the second loading conveyor 116. To this end, in the previous step, the second loading conveyor 116 is close to the loading position LP and forms a state in which a horizontal transfer module 130 and a generally one transfer line are formed.

도 6(d)를 참조하면, 제2 적재 컨베이어(116)가 이동하여 제2 대상물(A2)이 대기 위치(WP)에 위치하게 된다. 그 결과, 2개의 대상물(A1,A2)은 복층으로 배치되어 랙 마스터(RM)가 인수하기 적합한 상태로 준비된다. Referring to FIG. 6(d), the second loading conveyor 116 moves so that the second object A2 is located at the standby position WP. As a result, the two objects A1 and A2 are arranged in a double layer and are prepared in a state suitable for the rack master RM to take over.

상기와 같은 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The elevating object preparation facility for inter-floor transport as described above is not limited to the configuration and operation method of the embodiments described above. The above embodiments may be configured so that all or a part of each of the embodiments may be selectively combined and various modifications may be made.

100: 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비
110: 선반 모듈 111: 제1 적재 유닛
112: 제1 적재 컨베이어 115: 제2 적재 유닛
116: 제2 적재 컨베이어 121: 승강구동 유닛
130: 수평 반송 모듈 135: 롤러
150: 위치결정 모듈 151: 지지판
170: 제어 모듈100: elevating object preparation facility for interfloor transfer
110: shelf module 111: first loading unit
112: first loading conveyor 115: second loading unit
116: second loading conveyor 121: elevating drive unit
130: horizontal conveying module 135: roller
150: positioning module 151: support plate
170: control module

Claims (13)

제1 대상물을 받치도록 구성되는 제1 적재 유닛과, 높이 방향을 따라 상기 제1 적재 유닛과 다른 레벨에 배치되고 제2 대상물을 받치도록 구성되는 제2 적재 유닛과, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛을 승강 구동하도록 구성되는 승강구동 유닛을 구비하여, 랙 마스터가 제1 적재 유닛에 적재된 상기 제1 대상물 및 상기 제2 적재 유닛에 적재된 상기 제2 대상물 중 적어도 하나를 인수할 수 있도록 준비하는 선반 모듈; 상기 높이 방향과 교차하는 수평 방향을 따라 로딩 위치로 상기 제1 대상물 및 상기 제2 대상물을 반송하도록 구성되는 수평 반송 모듈; 및 상기 선반 모듈과 상기 수평 반송 모듈을 제어하여, 상기 로딩 위치에서 상기 제1 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 상기 제1 적재 유닛에 로딩되게 하고, 상기 승강구동 유닛이 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛을 승강시켜 상기 제2 적재 유닛이 상기 수평 반송 모듈에 대응하는 레벨에 위치한 상태에서 상기 제2 대상물이 상기 수평 반송 모듈로부터 상기 제2 적재 유닛에 로딩되게 하는 제어 모듈을 포함하고,
상기 승강구동 유닛은, 상기 높이 방향을 따라 배치되는 수직 프레임; 상기 수직 프레임에 설치되고, 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛이 설치되는 수평 프레임; 및 상기 수평 프레임을 상기 수직 프레임을 따라 구동하여 상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛이 상기 수평 반송 모듈의 상측 영역 및 하측 영역 간에 이동되게 하는 수직구동부를 포함하며,
상기 수평 프레임은, 상기 제1 적재 유닛이 설치되는 제1 수평 프레임; 및 상기 제1 수평 프레임과 다른 레벨에 위치하고, 상기 제2 적재 유닛이 설치되는 제2 수평 프레임을 포함하고,
상기 승강구동 유닛은, 상기 제1 적재 유닛과 상기 제2 적재 유닛간의 설정 간격이 그대로 유지되도록 상기 제1 수평 프레임 및 상기 제2 수평 프레임을 연결하여, 상기 랙 마스터의 포크가 상기 제1 대상물 및 상기 제2 대상물 중 적어도 하나를 인수하는데 장애가 발생하지 않게 하는 연결 프레임을 더 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
A first loading unit configured to support a first object, a second loading unit disposed at a level different from that of the first loading unit along a height direction and configured to support a second object, the first loading unit and the A lift drive unit configured to drive a second loading unit up and down, wherein the rack master can take at least one of the first object loaded in the first loading unit and the second object loaded in the second loading unit. Shelf module to be prepared; A horizontal transport module configured to transport the first object and the second object to a loading position along a horizontal direction crossing the height direction; And controlling the shelf module and the horizontal transfer module, so that the first object is loaded from the horizontal transfer module to the first loading unit at the loading position, and the lift driving unit comprises the first loading unit and the first loading unit. 2 It includes a control module for lifting the loading unit so that the second object is loaded into the second loading unit from the horizontal transfer module while the second loading unit is located at a level corresponding to the horizontal transfer module,
The elevating drive unit may include a vertical frame disposed along the height direction; A horizontal frame installed on the vertical frame and on which the first loading unit and the second loading unit are installed; And a vertical driving unit for driving the horizontal frame along the vertical frame so that the first loading unit and the second loading unit move between an upper area and a lower area of the horizontal transfer module,
The horizontal frame includes: a first horizontal frame on which the first loading unit is installed; And a second horizontal frame positioned at a different level from the first horizontal frame and on which the second loading unit is installed,
The elevating drive unit connects the first horizontal frame and the second horizontal frame so that a set distance between the first loading unit and the second loading unit is maintained, so that the fork of the rack master is connected to the first object and An elevating object preparation facility for inter-floor transport, further comprising a connection frame for preventing an obstacle to occur in taking at least one of the second objects.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛 각각은,
상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물이 안착되는 안착부; 및
상기 안착부를 상기 제1 수평 프레임 또는 상기 제2 수평 프레임에 대해 이동시키도록 구성되는 수평구동부를 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
The method of claim 1,
Each of the first loading unit and the second loading unit,
A seating portion on which the first object or the second object is seated; And
An elevating object preparation facility for inter-floor conveyance comprising a horizontal driving unit configured to move the seating portion relative to the first horizontal frame or the second horizontal frame.
 제5항에 있어서,
상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛 각각은,
상기 안착부를 상기 높이 방향을 따르는 선회축을 중심으로 선회시키도록 구성되는 선회구동부를 더 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
The method of claim 5,
Each of the first loading unit and the second loading unit,
An elevating object preparation facility for inter-floor conveyance further comprising a pivoting drive unit configured to pivot the seating unit around a pivoting axis along the height direction.
 제5항에 있어서,
상기 안착부는,
상기 수평 반송 모듈로부터 로딩받은 상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물을 자체적으로 중앙에 위치시키도록 구동되는 적재 컨베이어를 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
The method of claim 5,
The seating part,
An elevating object preparation facility for inter-floor transfer, comprising a loading conveyor driven to position the first object or the second object loaded from the horizontal transfer module in the center of itself.
 제1항에 있어서,
상기 반송 방향은,
상기 높이 방향에 수직한 방향이고,
상기 수평 반송 모듈은,
상기 제1 적재 유닛 및 상기 제2 적재 유닛과 평행하게 배치되는 반송 컨베이어를 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
The method of claim 1,
The conveying direction is,
Is a direction perpendicular to the height direction,
The horizontal transfer module,
An elevating object preparation facility for inter-floor transfer, comprising a transfer conveyor disposed in parallel with the first loading unit and the second loading unit.
 제1항에 있어서,
상기 수평 반송 모듈이 상기 제1 대상물 및 상기 제2 대상물을 반송하는 구간인 반송 구간 내에 위치하고, 인수 위치에서 인수한 상기 제1 대상물 또는 상기 제2 대상물을 상기 수평 반송 모듈 상에 정위치시키는 위치결정 모듈을 더 포함하는, 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비.
The method of claim 1,
Position determination in which the horizontal transfer module is located in a transfer section, which is a section in which the first and second objects are transferred, and the first object or the second object received at the receiving position is correctly positioned on the horizontal transfer module An elevating object preparation facility for inter-floor conveyance further comprising a module.
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