KR102578557B1 - Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same - Google Patents

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Abstract

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 사용한다. 그리고 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시킨 후, 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시킬 수 있다.The overhead hoist transfer transfer system and method includes a rail part connected to the ceiling, a running part that can hang an object and run along the rail part, a grip part that can hold the object, and loading or unloading of the object. For loading, an elevating lowering part that can lower the gripping part into the port of the processing device or from the port of the processing device is used. And after receiving the guide pin, which is provided to have a structure extending downward from one side of the grip portion toward the port, in a receiving portion provided on one side of the port to accommodate the guide pin when the grip portion descends. , the holding part may be driven in a horizontal direction along the port while the guide pin is accommodated in the receiving part.

Description

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법{Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same}Overhead hoist transfer transfer system and transfer method using the same {Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same}

본 발명은 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것으로써, 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조시 목적물 등과 같은 물류의 이송에 사용되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an overhead hoist transfer transfer system and a transfer method using the same. It concerns the transport method used.

반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.Integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display devices are manufactured by performing various processes such as thin film formation process, photolithography process, etching process, metal wiring process, etc. Accordingly, in the manufacturing of the integrated circuit device, a transfer process for transporting the target object required for manufacturing the integrated circuit device is always performed.

언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.In the case of the mentioned transfer process, it is mainly performed using a robot arm, etc., but when the robot arm, etc. is used as a transfer device, there is a disadvantage in that space utilization within the manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device is reduced. In particular, when the manufacturing line is a clean room, there is a problem that economic loss occurs due to a decrease in space utilization of the clean room because the clean room itself is expensive.

이에, 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(Overhead Hoist Transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 그리고 상기 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 사용한 이송에서는 목적물을 파지하는 파지부를 상,하로 구동시켜 가공 장치의 포터에 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.Accordingly, recently, an overhead hoist transfer system in which a transfer device is placed on the ceiling of the clean room has been installed and used in the transfer process of the integrated circuit elements. In the transfer using the overhead hoist transfer transfer system, the gripping part that grips the target can be driven up and down to load or unload it into the porter of the processing device.

그러나 종래의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 경우에는 상기 파지부를 이용하여 상기 목적물을 수평 방향으로는 구동시키지 못하고 있다. 이에, 상기 포터가 가공 장치의 측벽 등에 위치할 경우 수평 이동이 이루어지지 않기 때문에 그 대응이 불가한 문제점이 있다. 또한, 상기 파지부를 이용하여 무리하게 상기 목적물을 수평 이동시킬 경우 무게 중심이 틀어지는 문제점이 발생할 수 있고, 무리한 운행으로 인하여 파티클이 발생하는 문제점도 있다.However, in the case of a conventional overhead hoist transfer system, the object cannot be driven in the horizontal direction using the grip part. Accordingly, when the porter is located on the side wall of the processing device, there is a problem that it cannot be responded to because horizontal movement does not occur. In addition, if the object is horizontally moved forcibly using the gripper, the center of gravity may become distorted, and there is also a problem of particles being generated due to excessive movement.

본 발명은 일 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 제공하는데 있다.One purpose of the present invention is to provide an overhead hoist transfer system that can be driven horizontally along a port as well as vertically driven for raising and lowering when transporting an object.

본 발명의 다른 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a transfer method of an overhead hoist transfer system that can be driven horizontally along a port in addition to vertical drive for raising and lowering when transporting an object.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함할 수 있다.An overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention for achieving the above-mentioned object includes a rail part connected to the ceiling, a running part capable of hanging an object and traveling along the rail part, and the object. An overhead hoist transfer transport system comprising a gripping part capable of gripping, and a lifting and lowering part capable of lowering the gripping part into a port of a processing device or lifting it up and down from a port of the processing device for loading or unloading the object. , comprising a guide pin provided to have a structure extending in a downward direction from one side of the grip portion toward the port, and a receiving portion provided on one side of the port to accommodate the guide pin when the grip portion descends. guide unit; and a horizontal driving unit provided to drive the holding unit in a horizontal direction along the port while the guide pin is accommodated in the receiving unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어질 수 있다.In the overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention, the port may be located on the side wall of the processing device or may be embedded in the side wall of the processing device.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.In the overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention, the guide roller may be provided inside the receiving portion to support the guide pin when the guide pin is received.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비될 수 있다.In the overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention, the horizontal driving unit may be provided in the gripping unit.

언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함할 수 있다.The transfer method of the overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention for achieving the above-mentioned other objects includes a rail unit connected to the ceiling, a traveling unit capable of hanging an object and traveling along the rail unit, An overhead hoist comprising a gripping part capable of holding the object, and a raising and lowering part capable of lowering the gripping part into a port of the processing device or from a port of the processing device for loading or unloading the object. In the transfer method of the transfer system, a guide pin provided to have a structure extending in a downward direction from one side of the grip portion toward the port is placed on one side of the port to accommodate the guide pin when the grip portion descends. Accommodating it in a provided receiving unit; and driving the gripper in a horizontal direction along the port while the guide pin is accommodated in the receiving portion.

본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파지부가 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있기 때문에 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있다. 특히, 목적물을 수평 이송시킬 때 가이드 유닛을 이용하여 파지부를 지지함으로써 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 나아가 안정적인 수평 이송을 통하여 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.In the overhead hoist transfer transport system and transport method of the present invention, the object can be easily horizontally moved because the gripping part can be driven in the horizontal direction along the port. In particular, when horizontally transporting an object, the center of gravity can be prevented from being distorted by supporting the grip unit using a guide unit, and furthermore, the generation of particles can be minimized through stable horizontal transport.

따라서 본 발명은 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있을 것이다.Therefore, since the present invention can easily horizontally move the target without generating particles, it will be able to more easily respond to the transfer of the target from the side of the processing device or from a port having an embedded structure.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.1 is a diagram schematically showing an overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram for specifically explaining the guide unit and horizontal driving unit of FIG. 1.
Figure 3 is a process diagram for explaining the transfer method of the overhead hoist transfer transfer system according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be subject to various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, and should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. While describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “consist of” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.Figure 1 is a diagram schematically showing an overhead hoist transfer system according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a diagram for specifically explaining the guide unit and horizontal drive unit of Figure 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템은 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인(100)에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물(19)을 이송하는데 사용할 수 있다. 특히, 상기 제조 라인(100)은 클린룸으로써 바닥(300)에는 집적회조 소자의 단위 공정 등을 수행할 수 있는 가공 장치(20)가 구비될 수 있고, 천장(200)에는 목적물(19)의 이송을 위한 이송 시스템이 구비될 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the overhead hoist transfer system of the present invention transfers an object 19 such as a substrate, a mask, etc. in a manufacturing line 100 for manufacturing integrated circuit devices such as semiconductor devices, flat panel display devices, etc. It can be used to In particular, the manufacturing line 100 is a clean room, and the floor 300 may be equipped with a processing device 20 capable of performing unit processes of integrated fabrication devices, etc., and the ceiling 200 may be equipped with the target object 19. A transfer system for transfer may be provided.

여기서, 상기 목적물(19)이 마스크일 경우 상기 가공 장치(20)는 노광 공정을 수행하는 노광 장치일 수 있다. 그리고 상기 가공 장치(20)에는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩시 상기 목적물(19)이 놓이는 포트(21) 및 포트 게이트(23) 등이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 포트 게이트(23)를 포트(21)로도 이해할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서의 상기 포트(21) 및 상기 포트 게이트(23)는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하거나 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.Here, when the target object 19 is a mask, the processing device 20 may be an exposure device that performs an exposure process. In addition, the processing device 20 may be provided with a port 21 and a port gate 23 on which the object 19 is placed when loading or unloading the object 19. Here, the port gate 23 can also be understood as a port 21. Accordingly, the port 21 and the port gate 23 in one embodiment of the present invention are located on the side wall of the processing device 20 or are formed to have a structure embedded in the side wall of the processing device 20. You can.

그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(이하, '이송 시스템'이라 함)은 레일부(11), 주행부(13), 파지부(15), 승하강부(17) 등을 포함할 수 있다.And the overhead hoist transfer transfer system (hereinafter referred to as 'transfer system') according to an embodiment of the present invention includes a rail unit 11, a running unit 13, a grip unit 15, a raising and lowering unit 17, etc. may include.

상기 레일부(11)는 상기 천장(200) 쪽에 배치되도록 구비되는 것으로써, 상기 목적물(19)의 이송시 경로를 안내할 수 있다. 이에, 상기 레일부(11)는 상기 목적물(19)이 이송되는 가공 장치(20)의 포트(21) 등과 같은 목적지들 및 상기 목적지들 사이를 경유하는 경유지에 대한 경로를 안내하도록 구비될 수 있다.The rail unit 11 is provided to be disposed on the ceiling 200 and can guide the path of the object 19 when it is transported. Accordingly, the rail unit 11 may be provided to guide the route to destinations such as the port 21 of the processing device 20 through which the object 19 is transferred and to the transit points passing between the destinations. .

상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 수 있는 것으로써, 주로 상기 레일부(11)에 위치하는 주행휠, 상기 주행휠에 구동력을 제공할 수 있는 구동부 등을 포함할 수 있다.The running part 13 is capable of running along the rail part 11 and includes a running wheel mainly located on the rail part 11, a driving part capable of providing driving force to the running wheel, etc. You can.

특히, 상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 때 상기 목적물(19)을 매달고 주행하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 주행부(13)의 단부에는 상기 목적물(19)을 파지할 수 있는 파지부(15)가 구비될 수 있다. 그리고 상기 파지부(15)를 사용한 상기 목적물의 파지는 그립핑(gripping) 방식이 아닌 포킹(forking) 방식에 의해 달성될 수 있다. 즉, 핸드 블라겟(hand bracket)이 상기 목적물과 그 상부의 플랜지(flange) 사이로 진입하여 플랜지를 떠서 들어 올리는 방식에 의해 상기 목적물의 파지가 이루어지는 것이다.In particular, the traveling unit 13 may be provided to hang the target object 19 while traveling along the rail unit 11. Accordingly, a gripping part 15 capable of gripping the target object 19 may be provided at an end of the traveling part 13. And the gripping of the target object using the gripping portion 15 can be achieved by a forking method rather than a gripping method. That is, the object is gripped by a hand bracket entering between the object and the upper flange and lifting the flange.

상기 승하강부(17)는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부(15)를 가공 장치(20)의 포트(21)로 하강 또는 상기 가공 장치(20)의 포토(21)로부터 승강시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 승하강부(17)는 상기 파지부(15)를 상기 포트(21)로 하강 또는 상기 포트(21)로부터 승강시킬 수 있도록 상기 주행부(13)와 상기 파지부(15) 사이에서 상,하 구동을 하는 실린더 부재 등을 포함할 수 있다.The raising and lowering unit 17 lowers the gripping unit 15 to the port 21 of the processing device 20 or the port 21 of the processing device 20 for loading or unloading the object 19. It can be equipped to be lifted up and down. Accordingly, the raising and lowering unit 17 moves upward between the traveling unit 13 and the gripping unit 15 so as to lower the gripping unit 15 to the port 21 or to lift it from the port 21. , It may include a cylinder member that drives downward.

이에, 상기 이송 시스템은 상기 주행부(13)가 상기 목적물(19)을 매단 상태에서 상기 레일부(11)를 따라 주행하고 그리고 상기 가공 장치(20)의 포트(21)에서 상,하 구동을 함에 따라 상기 목적물(19)을 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.Accordingly, the transport system travels along the rail part 11 with the traveling part 13 hanging the object 19 and performs up and down driving at the port 21 of the processing device 20. Accordingly, the target object 19 can be loaded or unloaded.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 시스템은 가이드 유닛(31), 수평 구동부(39) 등을 더 포함할 수 있다.In particular, the transfer system according to an embodiment of the present invention may further include a guide unit 31, a horizontal drive unit 39, etc.

상기 가이드 유닛(31)은 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 것을 방지하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)를 지지하도록 구비될 수 있는 것이다.The guide unit 31 may be provided to prevent the gripper 15 from being tilted and the center of gravity from being distorted when the gripper 15 is horizontally transferred using a horizontal drive unit 39, which will be described later. That is, the guide unit 31 may be provided to support the gripper 15 when the gripper 15 moves horizontally.

이에, 상기 이송 시스템은 상기 파지부(15)를 지지하기 위한 가이드 유닛(31)을 구비할 수 있다. 상기 가이드 유닛(31)은 가이드 핀(33) 및 수용부(35)를 포함할 수 있다. 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 일측으로부터 상기 포트(21)를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 파지부(15)가 하강할 때 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있도록 상기 포트(21) 일측에 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 평면을 기준으로 수직 방향으로 연장되는 바(bar) 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 바 형상의 구조물인 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있는 공간을 갖는 박스 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 향하여 하강할 때 상기 수용부(35)에 상기 가이드 핀(33)이 삽입되는 구조를 갖는 것이다.Accordingly, the transfer system may be provided with a guide unit 31 to support the gripper 15. The guide unit 31 may include a guide pin 33 and a receiving portion 35. The guide pin 33 may be provided to have a structure extending downward from one side of the gripping part 15 toward the port 21, and the receiving part 35 may be provided so that the gripping part 15 It may be provided on one side of the port 21 to accommodate the guide pin 33 when descending. That is, the guide pin 33 may be provided to have a bar-shaped structure extending in a vertical direction with respect to the plane of the gripping portion 15, and the receiving portion 35 may have a bar-shaped structure. It may be provided to have a box-shaped structure with a space for accommodating the guide pin 33, which is a structure. In other words, the guide unit 31 has a structure in which the guide pin 33 is inserted into the receiving part 35 when the gripping part 15 descends toward the port 21.

따라서 본 발명에서는 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 가이드 유닛이 상기 파지부(15)를 지지함으로써 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 방지할 수 있고, 그 결과 보다 안정적으로 상기 파지부(15)의 수평 이동을 수행할 수 있다.Therefore, in the present invention, the guide unit supports the gripping part 15 when the gripping part 15 is moved horizontally using the horizontal driving unit 39, which will be described later, thereby preventing the gripping part 15 from being tilted and the center of gravity being distorted. As a result, the horizontal movement of the gripper 15 can be performed more stably.

그리고 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 보다 긴밀하게 지지될 필요가 있다. 이에, 상기 이송 시스템은 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 상기 가이드 핀(33)을 지지하도록 상기 수용부(35) 내측에 가이드 롤러(37)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 가이드 롤러(37)는 상기 수용부(35) 내에 상기 가이드 핀(33)이 수용될 때 보다 긴밀한 지지를 위하여 상기 가이드 핀(33)과 접촉 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 가이드 롤러(37)는 접촉으로 인한 파티클 등의 발생을 최소화할 수 있도록 우레탄 재질 등으로 이루어질 수 있다.And the guide pin 33 needs to be supported more tightly when accommodated in the receiving portion 35. Accordingly, the transfer system may be provided with a guide roller 37 inside the receiving portion 35 to support the guide pin 33 when the guide pin 33 is accommodated within the receiving portion 35. . Here, the guide roller 37 may be provided to have a structure that rotates in contact with the guide pin 33 for closer support when the guide pin 33 is accommodated in the receiving portion 35. Therefore, the guide roller 37 may be made of a urethane material to minimize the generation of particles due to contact.

상기 수평 구동부(39)는 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된 상태에서 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것이다. 여기서, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 전체를 구동시키는 것으로도 이해할 수 있으나, 상기 파지부(15)를 수직 방향을 기준으로 이분할하여 상기 포트(21) 쪽을 향하는 부분이 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동되는 것으로도 이해할 수 있다.The horizontal driving part 39 may be provided so that the holding part 15 can be driven in the horizontal direction along the port 21 while the guide pin 33 is accommodated in the receiving part 35. That is, the horizontal driving unit 39 may be provided to horizontally move the gripping unit 15. Here, the horizontal driving part 39 can be understood as driving the entire gripping part 15, but the gripping part 15 is divided into two based on the vertical direction and the part facing the port 21 is divided into two parts. It can also be understood as being driven in the horizontal direction along the port 21.

그리고 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 배치되도록 구비될 수 있다. 이는, 상기 수평 구동부(39)의 동작으로 인하여 파티클 등이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 따라서 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 실링 커버 등에 의해 밀폐되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.And the horizontal driving unit 39 may be provided to be disposed within the gripping unit 15. This is to prevent particles, etc. from being generated due to the operation of the horizontal driving unit 39. Accordingly, the horizontal driving unit 39 may be provided in the gripping unit 15 to have a structure sealed by a sealing cover or the like.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 상기 수평 구동부(39)를 구비함으로써 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 이송 시스템을 사용할 경우 상기 목적물(19)을 보다 안정적으로 이송할 수 있고, 특히 상기 포트(21)가 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖더라도 상기 목적물(19)의 이송에 별다른 지장을 주지 않을 것이다.In this way, the transfer system according to an embodiment of the present invention is capable of horizontally moving the gripping part 15 by providing the horizontal driving unit 39, and is provided with the guide unit 31, so that the gripping part ( It is possible to prevent the center of gravity of the gripping part 15 from being distorted when the horizontal movement of 15) is performed. Therefore, when using the transfer system, the object 19 can be transferred more stably, and in particular, the port 21 is located on the side wall of the processing device 20 or on the side wall of the processing device 20. Even if it has a buried structure, there will be no significant hindrance to the transportation of the target object 19.

또한, 상기 수평 구동부(39)가 상기 파지부(15) 내에 밀폐되는 구조로 구비되기 때문에 상기 파지부(15)를 구동시킬 때 발생하는 파티클을 최소화할 수 있다.Additionally, since the horizontal driving unit 39 is provided in a sealed structure within the holding unit 15, particles generated when driving the holding unit 15 can be minimized.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 시스템 자체에 대한 개조없이 상기 파지부(15)에 수평 구동 기능을 추가할 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 수평 구동시 기울어짐을 방지할 수 있는 것이다.The transfer system according to an embodiment of the present invention can add a horizontal driving function to the gripping part 15 without modifying the system itself, and can prevent tilting during horizontal driving by providing the guide unit 31. It is possible.

이하, 상기 이송 시스템을 사용하여 상기 목적물(19)을 이송하기 위한 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method for transporting the target object 19 using the transport system will be described.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.Figure 3 is a process diagram for explaining the transfer method of the overhead hoist transfer transfer system according to an embodiment of the present invention.

먼저 도 3에서의 이송 방법은 도 1에서의 이송 시스템을 사용하는 것이다. 이에, 도 1에서의 이송 시스템과 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.First, the transfer method in FIG. 3 uses the transfer system in FIG. 1. Accordingly, the same symbols will be used for the same members as those of the transport system in FIG. 1, and detailed description thereof will be omitted.

도 3을 참조하면, 상기 제조 라인(100)에서 상기 목적물(19)의 이송이 이루어진다. 즉, 상기 주행부(13)가 목적물(19)을 매달고 상기 레일부(11)를 따라 주행하는 것이다. 이때, 상기 목적물(19)은 상기 주행부(13)의 단부에 배치되는 상기 파지부(15)에 의해 파지된 상태를 유지한다. 그리고 상기 주행부(13)가 목적지인 상기 가공 장치(20)의 포트(21) 상부에 주행을 멈추고, 상기 포트(21) 상부에 위치한다.Referring to FIG. 3, the target object 19 is transported in the manufacturing line 100. That is, the traveling part 13 hangs the target object 19 and travels along the rail part 11. At this time, the target object 19 remains held by the gripping part 15 disposed at the end of the traveling part 13. Then, the traveling unit 13 stops traveling above the port 21 of the processing device 20, which is its destination, and is located above the port 21.

이어서, 상기 승하강부(17)를 사용하여 상기 파지부(15)를 하강시킨다. 이에, 상기 파지부(15)에 파지된 상기 목적물(19)이 상기 포트(21)에 놓인다. 이때, 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된다.(S31 단계) Next, the gripping part 15 is lowered using the raising and lowering part 17. Accordingly, the target object 19 held by the gripper 15 is placed in the port 21. At this time, the guide pin 33 is accommodated in the receiving portion 35 (step S31).

그리고 상기 수평 구동부(39)를 사용하여 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향을 구동한다.(S33 단계) 이에, 상기 목적물(19)을 보다 정확한 지점으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 가이드 핀(33) 및 상기 수용부(35)에 의해 상기 파지부(15)가 지지됨에 따라 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지지 않고 안전하게 이송이 이루어진다.Then, the gripping part 15 is driven in the horizontal direction along the port 21 using the horizontal driving part 39 (step S33). Accordingly, the target object 19 can be transported to a more accurate point. . Here, when the gripping part 15 is horizontally transferred, the gripping part 15 is supported by the guide pin 33 and the receiving part 35, so that the center of gravity of the gripping part 15 is not distorted. Transport is carried out safely.

본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있다. 이에, 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.In the overhead hoist transfer transfer system and transfer method of the present invention, the target object can be easily horizontally moved without generating particles, so it can more easily cope with the transfer of the target object from the side of the processing device or from a port having an embedded structure. Accordingly, the present invention can be expected to improve process reliability according to the manufacturing of integrated circuit devices.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art can make various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following patent claims. You will understand that it is possible.

11 : 레일부 13 : 주행부
15 : 파지부 17 : 승하강부
19 : 목적물 20 : 가공 장치
21 : 포트 23 : 포트 게이트
31 : 가이드 유닛 33 : 가이드 핀
35 : 수용부 37 : 가이드 레일
39 : 수평 구동부 100 : 제조 라인
200 : 천장 300 : 바닥11: rail part 13: running part
15: gripping part 17: raising and lowering part
19: object 20: processing device
21: Port 23: Port Gate
31: guide unit 33: guide pin
35: receiving part 37: guide rail
39: horizontal driving unit 100: manufacturing line
200: Ceiling 300: Floor

Claims (5)

천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서,
상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함하되,
상기 가이드 핀은 상기 파지부가 하강할 때 상기 포트에 놓이지 않고 상기 파지부에 매달려 있음으로써 상기 포트 상부의 공중에 떠있는 상기 파지부의 저면을 지지하도록 구비되고, 상기 수평 구동부는 상기 포트 상부의 공중에 떠있는 상기 가이드 핀에 의해 지지되는 상기 파지부를 수평 방향으로 구동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템. A rail part connected to the ceiling, a running part capable of hanging an object and traveling along the rail part, a grip part capable of holding the object, and the grip part for loading or unloading the object of the processing device. In the overhead hoist transfer transport system including a raising and lowering unit that can be lowered into a port or raised from a port of the processing device,
A guide unit including a guide pin provided to have a structure extending downward from one side of the grip portion toward the port, and a receiving portion provided on one side of the port to accommodate the guide pin when the grip portion descends; and
It includes a horizontal driving unit provided so that the holding unit can be driven in the horizontal direction along the port while the guide pin is accommodated in the receiving unit,
The guide pin is provided to support the bottom surface of the grip part floating in the air above the port by hanging on the grip part instead of being placed on the port when the grip part descends, and the horizontal drive unit is provided in the air above the port. An overhead hoist transfer system, characterized in that it is provided to drive the holding part supported by the guide pin floating in the horizontal direction. 제1 항에 있어서,
상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템.According to claim 1,
The port is an overhead hoist transfer system, characterized in that the port is located on the side wall of the processing device or has a structure embedded in the side wall of the processing device. 제1 항에 있어서,
상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.According to claim 1,
An overhead hoist transfer system further comprising a guide roller provided inside the receiving portion to support the guide pin when the guide pin is received. 제1 항에 있어서,
상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.According to claim 1,
An overhead hoist transfer system, characterized in that the horizontal drive unit is provided within the grip unit. 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서,
상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및
상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함하되,
상기 파지부가 하강할 때 상기 포트에 놓이지 않고 상기 파지부에 매달려 있음으로써 상기 포트 상부의 공중에 떠있는 상기 파지부의 저면을 상기 가이드 핀이 지지하도록 이루어질 수 있고, 그리고 상기 포트 상부의 공중에 떠있는 상기 가이드 핀에 의해 지지되는 상기 파지부를 수평 방향으로 구동하도록 이루어질 수 있는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법. A rail part connected to the ceiling, a running part capable of hanging an object and traveling along the rail part, a grip part capable of holding the object, and the grip part for loading or unloading the object of the processing device. In the transfer method of the overhead hoist transfer transfer system including a raising and lowering unit that can be lowered into a port or lowered from a port of the processing device,
accommodating a guide pin, which is provided to have a structure extending in a downward direction from one side of the grip portion toward the port, into a receiving portion provided on one side of the port so as to accommodate the guide pin when the grip portion descends; and
Including the step of driving the gripper in a horizontal direction along the port while the guide pin is accommodated in the receiving portion,
When the grip part descends, the guide pin may be configured to support the bottom of the grip part floating in the air above the port by hanging on the grip part instead of resting on the port, and floating in the air above the port. A transfer method of an overhead hoist transfer transfer system, characterized in that the grip part supported by the guide pin is driven in a horizontal direction.
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