KR102397848B1 - Stocker and transfer systems comprising the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스토커를 제공한다. 스토커는, 카세트를 수납하는 선반들과; 상기 선반들에 카세트를 로드하거나, 상기 선반들로부터 카세트를 언로드하는 반송 로봇과; 제1레일을 주행하는 제1비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제1포트와; 상기 제1레일 보다 낮은 높이에 제공되는 제2레일을 주행하는 제2비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제2포트와; 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 선반들, 상기 제1포트, 그리고 상기 제2포트 사이에 카세트를 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.The present invention provides a stocker. The stocker includes: shelves for accommodating cassettes; a transport robot for loading cassettes on the shelves or unloading cassettes from the shelves; a first port for loading or unloading a cassette by a first vehicle traveling on a first rail; a second port for loading or unloading a cassette by a second vehicle traveling on a second rail provided at a lower height than the first rail; a controller, wherein the controller may control the transport robot to transport a cassette between the shelves, the first port, and the second port.

Figure R1020200004209
Figure R1020200004209

Description

스토커, 이를 포함하는 이송 시스템{Stocker and transfer systems comprising the same}Stocker and transfer systems comprising the same

본 발명은 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker and a transport system including the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various types of processes such as deposition, photography, and etching are performed, and devices performing each of these processes are disposed in a semiconductor manufacturing line. Objects such as a wafer for performing a semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in a container such as a FOUP. In addition, the objects on which the process has been performed may be recovered from each semiconductor processing apparatus into a container, and the recovered container may be transported to the outside.

용기는 오버 헤드 호이스트 트랜포트(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT) 와 같은 비히클에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.The vessel is transported by a vehicle such as an Overhead Hoist Transport (OHT). The OHT transfers the container in which the object is accommodated to a load port of any one of the semiconductor processing devices. In addition, the OHT may pick up the container in which the processed object is accommodated from the load port and transport it to the outside, or transport it to another of the semiconductor processing apparatuses.

반도체 소자 제조에 대한 처리 효율을 높이기 위해서는, OHT가 반도체 공정 장치들 사이에 용기를 전달하는 시간을 단축해야 한다. OHT의 용기 반송 시간을 단축하기 위한 방안으로, OHT가 주행하는 레일을 구분하여 사용하는 방안이 이용되고 있다. 예를 들어, 반도체 제조 라인의 천장에 상부 레일, 그리고 상부 레일보다 하부에 배치되는 하부 레일을 설치한다. 상부 레일은 분기점, 그리고 타 레일들과의 연결이 상대적으로 적게 제공되고, 하부 레일은 반도체 제조 장치에 용기를 전달하는 경로를 제공하는 반송 레일과 연결되게 제공된다. 이에, 상부 레일은 OHT의 고속 주행 경로로 이용되고, 하부 레일은 OHT의 저속 주행 경로로 이용한다. 즉, 상, 하부 레일의 용도를 서로 달리하여, OHT의 용기 반송 시간을 단축한다. 상술한 바와 같이, OHT의 용기 반송 시간을 단축하기 위해 상, 하부 레일의 용도를 달리하는 경우, OHT와 같은 비히클 필수적으로 상, 하부 레일 간에 이동될 수 있게 제공되어야 한다.In order to increase processing efficiency for semiconductor device manufacturing, the time required for OHT to transfer containers between semiconductor processing devices should be shortened. As a method to shorten the container transport time of the OHT, a method of using the rail on which the OHT runs is used separately. For example, an upper rail and a lower rail disposed below the upper rail are installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line. The upper rail is provided with relatively few junctions and connections with other rails, and the lower rail is provided to be connected with a transport rail that provides a path for delivering a container to a semiconductor manufacturing apparatus. Accordingly, the upper rail is used as the high-speed traveling path of the OHT, and the lower rail is used as the low-speed traveling path of the OHT. That is, the use of the upper and lower rails is different, and the container transport time of the OHT is shortened. As described above, when the use of the upper and lower rails is changed to shorten the container transport time of the OHT, a vehicle such as the OHT must be provided to be movable between the upper and lower rails.

도 1은 비히클이 상부 레일, 그리고 하부 레일 사이를 이동하는 일반적인 모습을 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 상부 레일(12), 하부 레일(14)이 제공되고, 카세트(C)를 파지하는 비히클(18)은 상부 레일(12), 그리고 하부 레일(14) 중 적어도 하나를 주행할 수 있도록 제공된다. 그리고, 비히클(18)은 상부 레일(12), 또는 하부 레일(14)과 서로 조합될 수 있도록 제공되고, 승강 가능한 승강 레일(16)을 매개로 상, 하부 레일 간에 이동될 수 있다. 즉, 도 1에서 도시하고 있는 비히클 승강 방법은 승강 레일(16) 자체를 승하강 시켜 비히클(18)을 승강시킨다. 그러나, 이 경우 승강 레일(16)을 승강시킬 수 있는 별도의 승강 장치가 요구되며, 이러한 승강 장치는 반도체 제조 라인의 공간을 소비한다.1 is a view showing a general state that a vehicle moves between an upper rail and a lower rail. Referring to FIG. 1 , an upper rail 12 and a lower rail 14 are provided, and the vehicle 18 holding the cassette C travels at least one of the upper rail 12 and the lower rail 14 . provided to do so. In addition, the vehicle 18 is provided to be combined with the upper rail 12 or the lower rail 14 , and can be moved between the upper and lower rails via the elevating elevating rail 16 . That is, in the vehicle elevating method shown in FIG. 1 , the vehicle 18 is elevated by elevating the elevating rail 16 itself. However, in this case, a separate elevating device capable of elevating the elevating rail 16 is required, and such elevating device consumes space in a semiconductor manufacturing line.

도 2, 그리고 도 3은 비히클이 슬로프 레일을 주행하여 상부로 이동하는 일반적인 모습을 보여주는 도면이다. 주행 레일(22), 그리고 슬로프 레일(24)이 제공되고, 카세트(C)를 파지하는 비히클(28)은 주행 레일(22), 그리고 슬로프 레일(24) 중 적어도 하나를 주행할 수 있도록 제공된다. 슬로프 레일(24)의 일 단은, 주행 레일(22)의 일 단과 서로 연결될 수 있다. 또한, 슬로프 레일(24)은 고속 주행 레일과 연결될 수 있다. 즉, 도 2와 도 3에서 도시하는 비히클 승강 방법은, 별도의 슬로프 레일(24)을 설치하여 비히클(28)을 승강시킨다. 그러나, 이 경우에도 별도의 슬로프 레일(24)의 설치가 요구되며, 이러한 슬로프 레일(24)은 반도체 제조 라인의 공간을 소비한다. 2 and 3 are views showing a general state in which the vehicle travels on the slope rail and moves upward. A traveling rail 22 and a slope rail 24 are provided, and a vehicle 28 holding the cassette C is provided to travel on at least one of the traveling rail 22 and the slope rail 24 . . One end of the slope rail 24 may be connected to one end of the traveling rail 22 . In addition, the slope rail 24 may be connected to the high-speed traveling rail. That is, in the vehicle raising/lowering method shown in FIGS. 2 and 3 , a separate slope rail 24 is provided to raise and lower the vehicle 28 . However, even in this case, the installation of a separate slope rail 24 is required, and the slope rail 24 consumes space in the semiconductor manufacturing line.

본 발명은 카세트 등의 용기를 효율적으로 이송할 수 있는 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a stocker capable of efficiently transporting a container such as a cassette, and a transport system including the same.

또한, 본 발명은 반도체 제조 라인의 공간을 효율적으로 이용할 수 있는 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a stocker that can efficiently use the space of a semiconductor manufacturing line, and a transport system including the same.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the following description.

본 발명은 스토커를 제공한다. 스토커는, 카세트를 수납하는 선반들과; 상기 선반들에 카세트를 로드하거나, 상기 선반들로부터 카세트를 언로드하는 반송 로봇과; 제1레일을 주행하는 제1비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제1포트와; 상기 제1레일 보다 낮은 높이에 제공되는 제2레일을 주행하는 제2비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제2포트와; 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 선반들, 상기 제1포트, 그리고 상기 제2포트 사이에 카세트를 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.The present invention provides a stocker. The stocker includes: shelves for accommodating cassettes; a transport robot for loading cassettes on the shelves or unloading cassettes from the shelves; a first port for loading or unloading a cassette by a first vehicle traveling on a first rail; a second port for loading or unloading a cassette by a second vehicle traveling on a second rail provided at a lower height than the first rail; a controller, wherein the controller may control the transport robot to transport a cassette between the shelves, the first port, and the second port.

일 실시 예에 의하면, 상기 제1포트는 상기 제2포트보다 높은 높이에 제공될 수 있다.According to an embodiment, the first port may be provided at a higher height than the second port.

일 실시 예에 의하면, 상기 선반들은, 제1방향과 제3방향을 따라 배치되되, 상기 제3방향은, 상기 제1방향, 그리고 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향에 수직할 수 있다.According to an embodiment, the shelves are disposed along a first direction and a third direction, wherein the third direction is in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction when viewed from above. can be vertical.

일 실시 예에 의하면, 상기 반송 로봇은, 상기 카세트를 파지 및 반송하는 로봇 아암과; 상기 로봇 아암을 상기 제1방향을 따라 안내하는 제1가이드 레일과; 상기 로봇 아암을 상기 제3방향을 따라 안내하는 제2가이드 레일을 포함하고, 상기 선반들 중 일부는 상기 제1가이드 레일의 일 측에 배치되고, 상기 선반들 중 다른 일부는 상기 제1가이드 레일의 타 측에 배치될 수 있다.According to an embodiment, the transport robot includes: a robot arm for holding and transporting the cassette; a first guide rail for guiding the robot arm in the first direction; a second guide rail for guiding the robot arm along the third direction, some of the shelves are disposed on one side of the first guide rail, and another portion of the shelves is the first guide rail may be disposed on the other side of the

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제1비히클이 카세트를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제2포트에 로딩된 카세트를 상기 제1포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the transport robot to transport the cassette accommodated in the shelf or the cassette loaded in the second port to the first port when the first vehicle holds the cassette .

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제2비히클이 카세트를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제1포트에 로딩된 카세트를 상기 제2포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the transport robot to transport the cassette accommodated in the shelf or the cassette loaded in the first port to the second port when the second vehicle holds the cassette .

또한, 본 발명은 물품이 수납된 용기를 이송하는 이송 시스템을 제공한다. 이송 시스템은, 제1레일과; 상기 제1레일보다 낮은 높이에 제공되는 제2레일과; 상부에서 바라볼 때 그 일 단 및 타 단이 상기 제2레일과 연결되고, 반도체 제조 장치의 상부에 배치되는 반송 레일과; 상기 제1레일을 주행하는 제1비히클과; 상기 제2레일을 주행하는 제2비히클과; 카세트들을 수납하고, 상기 제1비히클 및 상기 제2비히클에 카세트들을 전달하는 스토커를 포함하고, 상기 스토커는, 용기를 수납하는 선반들과; 상기 선반들에 용기를 로드하거나, 상기 선반들로부터 용기를 언로드하는 반송 로봇과; 제1레일을 주행하는 제1비히클이 용기를 로딩 또는 언로딩하는 제1포트와; 상기 제1레일 보다 높은 높이에 제공되는 제2레일을 주행하는 제2비히클이 용기를 로딩 또는 언로딩하는 제2포트와; 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 선반들, 상기 제1포트, 그리고 상기 제2포트 사이에 용기를 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.In addition, the present invention provides a transport system for transporting the container in which the article is accommodated. The transport system includes: a first rail; a second rail provided at a height lower than the first rail; a transport rail having one end and the other end connected to the second rail when viewed from above, and disposed above the semiconductor manufacturing apparatus; a first vehicle traveling on the first rail; a second vehicle traveling on the second rail; a stocker for accommodating cassettes and for delivering cassettes to the first vehicle and the second vehicle, the stocker comprising: shelves for accommodating containers; a transport robot for loading containers on the shelves or unloading containers from the shelves; a first port through which the first vehicle traveling on the first rail loads or unloads the container; a second port for loading or unloading a container by a second vehicle traveling on a second rail provided at a height higher than the first rail; a controller, wherein the controller may control the transport robot to transport the container between the shelves, the first port, and the second port.

일 실시 예에 의하면, 상기 제1포트는 상기 제2포트보다 높은 높이에 제공될 수 있다.According to an embodiment, the first port may be provided at a higher height than the second port.

일 실시 예에 의하면, 상기 선반들은, 제1방향과 제3방향을 따라 배치되되, 상기 제3방향은, 상기 제1방향, 그리고 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향에 수직할 수 있다.According to an embodiment, the shelves are disposed along a first direction and a third direction, wherein the third direction is in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction when viewed from above. can be vertical.

일 실시 예에 의하면, 상기 반송 로봇은, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 아암과; 상기 로봇 아암을 상기 제1방향을 따라 안내하는 제1가이드 레일과; 상기 로봇 아암을 상기 제3방향을 따라 안내하는 제2가이드 레일을 포함하고, 상기 선반들 중 일부는 상기 제1가이드 레일의 일 측에 배치되고, 상기 선반들 중 다른 일부는 상기 제1가이드 레일의 타 측에 배치될 수 있다.According to an embodiment, the transport robot includes: a robot arm for holding and transporting the container; a first guide rail for guiding the robot arm in the first direction; a second guide rail for guiding the robot arm along the third direction, some of the shelves are disposed on one side of the first guide rail, and another portion of the shelves is the first guide rail may be disposed on the other side of the

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제1비히클이 용기를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제2포트에 로딩된 용기를 상기 제1포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the transport robot to transport the cassette accommodated in the shelf or the container loaded in the second port to the first port when the first vehicle grips the container. .

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 제2비히클이 용기를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제1포트에 로딩된 용기를 상기 제2포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the transport robot to transport the cassette accommodated in the shelf or the container loaded in the first port to the second port when the second vehicle grips the container. .

일 실시 예에 의하면, 상기 제1비히클의 평균 주행 속력은, 상기 제2비히클의 평균 주행 속력보다 클 수 있다.According to an embodiment, the average traveling speed of the first vehicle may be greater than the average traveling speed of the second vehicle.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 카세트 등의 용기를 효율적으로 이송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to efficiently transport a container such as a cassette.

또한 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반도체 제조 라인의 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to efficiently use the space of the semiconductor manufacturing line.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 비히클이 상부 레일, 그리고 하부 레일 사이를 이동하는 일반적인 모습을 보여주는 도면이다.
도 2, 그리고 도 3은 비히클이 슬로프 레일을 주행하여 상부로 이동하는 일반적인 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 시스템을 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커를 설명하기 위한 대략적인 평단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커를 설명하기 위한 대략적인 정단면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 대차 수용부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커가 반도체 제조 라인의 우물 천장 구조에 설치된 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 도 8의 제1비히클이 카세트를 파지하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 도 8의 제2비히클이 카세트를 파지하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 제1선반에서 제1포트로 카세트가 반송되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 12는 제2포트에서 제1포트로 카세트가 반송되는 모습을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a general state that a vehicle moves between an upper rail and a lower rail.
2 and 3 are views showing a general state in which the vehicle travels upward on the slope rail.
4 is a view from the top of the transport system according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic plan sectional view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic front cross-sectional view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
7 is a schematic side view for explaining the bogie receiving unit shown in FIG. 5 .
8 is a view showing a state in which the stocker according to an embodiment of the present invention is installed in a well ceiling structure of a semiconductor manufacturing line.
9 is a view showing a state in which the first vehicle of FIG. 8 holds the cassette.
FIG. 10 is a view showing a state in which the second vehicle of FIG. 8 holds the cassette.
11 is a view showing a state in which the cassette is conveyed from the first shelf to the first port.
12 is a view showing a state in which the cassette is conveyed from the second port to the first port.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. However, the present invention may be implemented in several different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. Specifically, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features or It should be understood that the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of addition.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

본 실시 예의 이송 시스템은 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 이송 시스템은 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 카세트(C)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.The transport system of this embodiment can be used to transport containers. In particular, the transport system of the present embodiment can transport the container in which the article is accommodated. The article may be a substrate or reticle, such as a wafer. The container in which the article is accommodated may be a Front Opening Unified Pod (FOUP). In addition, the container in which the article is accommodated may be a pod (POD). In addition, the container in which the article is accommodated may be a cassette (C). In addition, the container in which the article is accommodated may include a magazine for accommodating a plurality of printed circuit boards, a tray for accommodating a plurality of semiconductor packages, and the like.

이하에서는, 이송 시스템이 웨이퍼 등의 기판이 수납된 카세트를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 이송하는 것을 예로 들어 설명한다. 이하에서는 도 4 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다. 또한, 이하에서는 상부에서 바라볼 때 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)으로 정의하고, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 수직한 방향을 제3방향(Z)으로 정의한다. Hereinafter, an example in which the transfer system transfers a cassette in which a substrate such as a wafer is accommodated to semiconductor processing apparatuses disposed in a semiconductor manufacturing line will be described as an example. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 12 . In addition, hereinafter, when viewed from the top, a direction perpendicular to the first direction (X) is defined as a second direction (Y), and a direction perpendicular to the first direction (X) and the second direction (Y) is defined as a third direction It is defined as the direction (Z).

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 시스템을 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 시스템(S)은 제1설비 영역(100), 제2설비 영역(200), 이송 영역(300), 그리고 스토커(1000)를 포함할 수 있다.4 is a view from the top of the transport system according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 , the transport system S according to an embodiment of the present invention may include a first equipment area 100 , a second equipment area 200 , a transfer area 300 , and a stocker 1000 . can

제1설비 영역(100), 그리고 제2설비 영역(200)은 반도체 제조 장치(A)가 설치되는 영역이다. 이송 영역(300)은 카세트(C)를 파지하고, 전달하는 비히클(V1, V2)들이 고속 주행하는 레일(310)이 설치되는 영역이다.The first facility area 100 and the second facility area 200 are areas in which the semiconductor manufacturing apparatus A is installed. The transfer area 300 is an area in which the rail 310 in which the vehicles V1 and V2 that grip and deliver the cassette C travel at high speed are installed.

제1설비 영역(100)은 다수의 반도체 제조 장치(A)가 설치되고, 제1방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 제2설비 영역(200)은 다수의 반도체 제조 장치(A)가 설치되고, 제1방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 다수의 반도체 제조 장치(A)는 예를 들어, 사진, 식각, 애싱, 이온 주입, 박막 증착, 세정 등의 공정을 수행할 수 있는 장치일 수 있다. 제1설비 영역(100)과 제2설비 영역(200)은 이송 영역(300)을 기준으로 서로 대칭되도록 제공될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1설비 영역(100)과 제2설비 영역(200)은 다양하게 변형될 수 있다.The first equipment area 100 may have a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses A installed therein and may extend in a first direction X. The second facility area 200 may have a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses A installed therein and may extend in the first direction X. The plurality of semiconductor manufacturing devices A may be devices capable of performing processes such as photography, etching, ashing, ion implantation, thin film deposition, and cleaning, for example. The first facility area 100 and the second facility area 200 may be provided to be symmetrical to each other with respect to the transfer area 300 . However, the present invention is not limited thereto, and the first facility area 100 and the second facility area 200 may be variously modified.

이송 영역(300)은 제1설비 영역(100)과 제2설비 영역(200) 사이에 배치될 수 있다. 이송 영역(300)에는 비히클(V1, V2)들이 이동하기 위한 적어도 하나 이상의 레일(310)이 설치될 수 있다. 레일(310)은 고속 주행 레일을 포함할 수 있다. 예컨대, 레일(310)은 후술하는 제1레일(312), 그리고 제2레일(314)을 포함할 수 있다. 제1레일(312)은 고속 주행 레일로 제공될 수 있다. 제2레일(314)은 저속 주행 레일로 제공될 수 있다. The transfer area 300 may be disposed between the first facility area 100 and the second facility area 200 . At least one rail 310 for moving the vehicles V1 and V2 may be installed in the transfer region 300 . The rail 310 may include a high-speed traveling rail. For example, the rail 310 may include a first rail 312 and a second rail 314 to be described later. The first rail 312 may be provided as a high-speed traveling rail. The second rail 314 may be provided as a low-speed traveling rail.

또한, 제1설비 영역(100), 그리고 제2설비 영역(200) 각각에는 반송 레일(110, 210)들이 제공될 수 있다. 예컨대, 제1설비 영역(100)에는 제1반송 레일(110)이 제공되고, 제2설비 영역(200)에는 제2반송 레일(210)이 제공될 수 있다. 반송 레일(110, 210)의 일 단과 타 단은 레일(310)과 연결될 수 있다. 예컨대, 반송 레일(110, 210)의 일 단과 타 단은 상술한 제2레일(314)과 연결될 수 있다. 반송 레일(110, 210)을 주행하는 비히클(V1, V2)들은 레일(310)을 주행하는 비히클(V1, V2)들 보다 저속으로 주행할 수 있다.In addition, transport rails 110 and 210 may be provided in each of the first facility area 100 and the second facility area 200 . For example, the first transport rail 110 may be provided in the first equipment area 100 , and the second transfer rail 210 may be provided in the second equipment region 200 . One end and the other end of the transport rails 110 and 210 may be connected to the rail 310 . For example, one end and the other end of the transport rails 110 and 210 may be connected to the above-described second rail 314 . Vehicles V1 and V2 traveling on the transport rails 110 and 210 may travel at a lower speed than vehicles V1 and V2 traveling on the rail 310 .

또한, 반송 레일(110, 210)은 반도체 제조 장치(A)의 상부에 배치될 수 있다. 반송 레일(110, 210), 그리고 반도체 제조 장치(A)는 서로 인접하게 배치될 수 있다. 상부에서 바라볼 때, 반도체 제조 장치(A)들은 반송 레일(110, 210)의 일 측 및/또는 타측에 제공될 수 있다. 이와 달리, 상부에서 바라볼 때, 반도체 제조 장치(A)들은 반송 레일(110, 210)과 중첩되게 배치될 수 있다. 반송 레일(110, 210)을 주행하는 비히클(V1, V2)들은 반도체 제조 장치(A)에 카세트(C)를 전달하거나, 반도체 제조 장치(A)로부터 카세트(C)를 반출할 수 있다. In addition, the transport rails 110 and 210 may be disposed on the semiconductor manufacturing apparatus A. The transport rails 110 and 210 and the semiconductor manufacturing apparatus A may be disposed adjacent to each other. When viewed from above, the semiconductor manufacturing apparatuses A may be provided on one side and/or the other side of the transport rails 110 and 210 . Alternatively, when viewed from above, the semiconductor manufacturing apparatuses A may be disposed to overlap the transport rails 110 and 210 . Vehicles V1 and V2 traveling on the conveyance rails 110 and 210 may deliver the cassette C to the semiconductor manufacturing apparatus A or transport the cassette C from the semiconductor manufacturing apparatus A.

스토커(1000)는 기판이 수납된 카세트(C)를 저장할 수 있다. 스토커(1000)는 기판이 수납된 카세트(C)를 비히클(V1, V2)로 전달할 수 있다. 스토커(1000)는 제1설비 영역(100) 및/또는 제2설비 영역(200)에 제공될 수 있다. 이와 달리, 도 4에서는 스토커(1000)가 제1설비 영역(100) 및/또는 제2설비 영역(200)에 제공되는 것을 예로 들어 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 스토커(1000)는 이송 영역(300)에도 제공될 수 있다. The stocker 1000 may store the cassette C in which the substrate is accommodated. The stocker 1000 may deliver the cassette C in which the substrate is accommodated to the vehicles V1 and V2. The stocker 1000 may be provided in the first facility area 100 and/or the second facility area 200 . On the contrary, in FIG. 4 , the stocker 1000 is provided in the first facility area 100 and/or the second facility area 200 as an example, but the present invention is not limited thereto and the stocker 1000 is provided in the transfer area ( 300) can also be provided.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커를 설명하기 위한 대략적인 평단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커를 설명하기 위한 대략적인 정단면도이고, 도 7은 도 5에 도시된 대차 수용부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. Figure 5 is a schematic plan sectional view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a schematic front sectional view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is in Figure 5 It is a schematic side view for explaining the illustrated balance receiving unit.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 스토커(1000)는 제1선반(1100), 대차 수용부(1200), 반송 로봇(1400), 제1포트(1500), 그리고 제2포트(1600)를 포함할 수 있다.5 to 7 , the stocker 1000 includes a first shelf 1100 , a bogie accommodating unit 1200 , a transport robot 1400 , a first port 1500 , and a second port 1600 . can do.

제1선반(1100)은 카세트(C)를 수납할 수 있는 구조로 제공될 수 있다. 제1선반(1100)은 복수로 제공될 수 있다. 제1선반(1100)들은 제1방향(X) 및 제3방향(Z)을 따라 배열될 수 있다. 일 예로, 도시된 바와 같이 제1선반(1100)들은 반송 로봇(1400)의 제1가이드 레일(1440)을 기준으로 서로 마주보며 2 열로 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 제1선반(1100)들은 1 열로 배치될 수 도 있다.The first shelf 1100 may be provided in a structure capable of accommodating the cassette (C). A plurality of first shelves 1100 may be provided. The first shelves 1100 may be arranged along the first direction (X) and the third direction (Z). For example, as shown, the first shelves 1100 may be arranged in two rows facing each other based on the first guide rail 1440 of the transport robot 1400 . As another example, although not shown, the first shelves 1100 may be arranged in one row.

대차 수용부(1200)는 대차(1300)를 수용할 수 있는 공간을 제공한다. 대차 수용부(1200)는 제1선반(1100)들과 나란히 배치될 수 있다. 대차 수용부(1200)는 대차(1300)를 수용하기 위해 내부 공간을 가질 수 있고, 대략 중공의 육면체 형상을 가질 수 있다. 대차 수용부(1200)는 대차(1300)의 출입을 위해 일 측이 개방될 수 있다. 또한, 대차 수용부(1200)는 도킹 플레이트(1220), 셔터(1240), 도킹 레일(1260), 대차 감지 센서(1280), 그리고 도킹 감지 센서(1290)를 포함할 수 있다.The bogie accommodating part 1200 provides a space for accommodating the bogie 1300 . The bogie accommodating part 1200 may be disposed side by side with the first shelves 1100 . The bogie accommodating part 1200 may have an internal space to accommodate the bogie 1300 , and may have a substantially hollow hexahedral shape. One side of the bogie accommodating part 1200 may be opened for entry and exit of the bogie 1300 . Also, the bogie accommodating part 1200 may include a docking plate 1220 , a shutter 1240 , a docking rail 1260 , a bogie detection sensor 1280 , and a docking detection sensor 1290 .

도킹 플레이트(1220)는 대차(1300)가 대차 수용부(1200)로 수용되면, 대차(1300)를 도킹하여 고정시킬 수 있다. 도킹 플레이트(1220)는 대차(1300)가 대차 수용부(1200)에 수용되기 위해 이동하는 방향의 단부에 상하로 연장하도록 배치될 수 있다. 도킹 플레이트(1220)는 대차(1300)와의 도킹을 위해 대차(1300)가 삽입되는 홈을 갖거나, 대차(1300)를 고정하기 위한 실린더를 구비할 수 도 있다.The docking plate 1220 may dock and fix the bogie 1300 when the bogie 1300 is accommodated in the bogie accommodating part 1200 . The docking plate 1220 may be disposed to extend up and down at an end in a direction in which the bogie 1300 moves to be accommodated in the bogie accommodating part 1200 . The docking plate 1220 may have a groove into which the bogie 1300 is inserted for docking with the bogie 1300 , or may include a cylinder for fixing the bogie 1300 .

도킹 레일(1260)은 대차 수용부(1200)의 바닥면에 대차(130)의 이동 방향을 따라 연장될 수 있따. 도킹 레일(1260)은 대차(1300)가 도킹 플레이트(1200)에 도킹되도록 대차(1300)를 안내하는 경로를 제공할 수 있다. 이에, 대차(1300)가 정확하고 안정적으로 도킹 플레이트(1220)와 도킹될 수 있다.The docking rail 1260 may extend along the moving direction of the bogie 130 to the bottom surface of the bogie accommodating part 1200 . The docking rail 1260 may provide a path for guiding the bogie 1300 so that the bogie 1300 is docked to the docking plate 1200 . Accordingly, the bogie 1300 may be accurately and stably docked with the docking plate 1220 .

대차 감지 센서(1280)는 도킹 플레이트(1220)와 인접하도록 구비된다. 예를 들면, 대차 감지 센서(1280)는 도킹 플레이트(1220)와 인접한 바닥면이나 측면에 구비될 수 있다. 대차 감지 센서(1280)는 대차 수용부(1200)의 내부에 대차(1300)의 존재 여부를 감지한다. 대차 감지 센서(1280)는 근접 센서일 수 있다. 도킹 감지 센서(1290)는 도킹 플레이트(1220)에 구비되며, 대차(1300)가 도킹 플레이트(1220)에 고정되었는지 여부를 감지한다. 예를 들면, 도킹 감지 센서(1209)는 도킹 플레이트(1220)의 홈에 구비되어 대차(1300)가 상기 홈에 삽입되는지를 감지하거나, 대차(130)가 도킹 플레이트(122)의 실린더와 결합되는지를 감지할 수 있다. 따라서, 대차 감지 센서(1280) 및 도킹 감지 센서(1209)를 이용하여 대차(1300)의 도킹 불량을 신속하게 확인할 수 있다. 그러므로, 대차(1300)가 도킹 플레이트(1220)에 정확하고 안정적으로 도킹될 수 있다.The bogie detection sensor 1280 is provided to be adjacent to the docking plate 1220 . For example, the balance detection sensor 1280 may be provided on a bottom surface or a side surface adjacent to the docking plate 1220 . The bogie detection sensor 1280 detects whether the bogie 1300 is present inside the bogie accommodating part 1200 . The bogie detection sensor 1280 may be a proximity sensor. The docking detection sensor 1290 is provided on the docking plate 1220 , and detects whether the bogie 1300 is fixed to the docking plate 1220 . For example, the docking detection sensor 1209 is provided in the groove of the docking plate 1220 to detect whether the bogie 1300 is inserted into the groove, or whether the bogie 130 is coupled to the cylinder of the docking plate 122 . can detect Accordingly, it is possible to quickly check the docking failure of the bogie 1300 using the bogie detection sensor 1280 and the docking detection sensor 1209 . Therefore, the bogie 1300 may be accurately and stably docked to the docking plate 1220 .

대차(1300)는 대차 수용부(1200)의 개방된 일측을 통해 대차 수용부(1200)에 수용되며, 대차 수용부(1200)의 도킹플레이트(1220)와 도킹되어 고정된다. 대차(1300)는 다수의 카세트(C)들을 수납한다. The bogie 1300 is accommodated in the bogie accommodating part 1200 through the open one side of the bogie accommodating part 1200 , and is docked and fixed with the docking plate 1220 of the bogie accommodating part 1200 . The bogie 1300 accommodates a plurality of cassettes (C).

구체적으로 대차(1300)는 몸체(1320), 도어(1340), 이동 바퀴(1360) 및 도킹 바퀴(1380)를 포함한다. 몸체(1320)는 일면이 개방된 중공의 육면체 형상을 갖는다. 몸체(1320)에는 다수의 제2 선반들(1330)이 구비된다. 제2 선반들(1303)에는 카세트(C)들이 수납될 수 있다.Specifically, the bogie 1300 includes a body 1320 , a door 1340 , a moving wheel 1360 , and a docking wheel 1380 . The body 1320 has a hollow hexahedral shape with one side open. A plurality of second shelves 1330 are provided on the body 1320 . Cassettes C may be accommodated in the second shelves 1303 .

도어(1340)는 몸체(1320)의 일면에 상하로 이동 가능하도록 구비된다. 이때, 도어(1340)는 몸체(1320)에 구비된 가이드에 의해 상기 상하 이동이 가이드될 수 있다. 따라서, 도어(1340)는 몸체(1320)의 개방 부위를 개폐할 수 있다. 몸체(1320)와 도어(1340) 사이에는 밀봉을 위해 오링(미도시)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 오링은 몸체(1320)의 일면 둘레를 따라 구비될 수 있다. 따라서, 몸체(1320)의 개방 부위가 도어(1340)에 의해 차단되면, 몸체(1320)의 내부는 밀봉 상태가 될 수 있다. 그러므로, 카세트(C)들이 대차(1300)에 적재되어 이송될 때 외부의 파티클로 인해 카세트(C)들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.The door 1340 is provided on one surface of the body 1320 to be movable up and down. In this case, the vertical movement of the door 1340 may be guided by a guide provided on the body 1320 . Accordingly, the door 1340 may open and close an open portion of the body 1320 . An O-ring (not shown) may be provided between the body 1320 and the door 1340 for sealing. For example, the O-ring may be provided along the circumference of one surface of the body 1320 . Accordingly, when the open portion of the body 1320 is blocked by the door 1340 , the interior of the body 1320 may be sealed. Therefore, it is possible to prevent the cassettes (C) from being contaminated due to external particles when the cassettes (C) are loaded and transported on the bogie (1300).

이동 바퀴(1360)는 몸체(1320)의 이동을 위해 몸체(1320)의 하부면에 구비된다. 이동 바퀴(1360)의 예로는 회전이 가능한 캐스터를 들 수 있다. 이동 바퀴(1360)가 구비되므로 작업자가 대차(1300)를 쉽게 이동시킬 수 있다. 도킹 바퀴(1360)는 몸체(1320)의 하부면에 구비된다. 이때 도킹 바퀴(1360)는 회전하지 않고 고정된다. 도킹 바퀴(1360)는 대차(1300)가 도킹 플레이트(1220)와 도킹될 때만 사용되며, 대차(1300)의 이동시 사용되지 않는다.The moving wheel 1360 is provided on the lower surface of the body 1320 for movement of the body 1320 . An example of the moving wheel 1360 may include a rotatable caster. Since the moving wheel 1360 is provided, the operator can easily move the bogie 1300 . The docking wheel 1360 is provided on the lower surface of the body 1320 . At this time, the docking wheel 1360 is fixed without rotating. The docking wheel 1360 is used only when the bogie 1300 is docked with the docking plate 1220 , and is not used when the bogie 1300 is moved.

도킹 바퀴(1360)는 도킹 레일(1260)을 따라 이동할 수 있다. 대차(1300)가 도킹 레일(1260)에 의해 안내되므로, 대차(1300)가 도킹 플레이트(1220)에 안정적으로 도킹될 수 있다.The docking wheel 1360 may move along the docking rail 1260 . Since the bogie 1300 is guided by the docking rail 1260 , the bogie 1300 may be stably docked to the docking plate 1220 .

도킹 바퀴(1360)는 이동 바퀴(1360)와 동일선 상이 아닌 다른 위치에 위치할 수 있다. 따라서, 도킹 바퀴(1360)가 도킹 레일(1260)을 따라 이동할 때 이동 바퀴(1360)의 간섭을 받지 않을 수 있다.The docking wheel 1360 may be located at a different position than the moving wheel 1360 . Accordingly, when the docking wheel 1360 moves along the docking rail 1260 , it may not receive interference from the moving wheel 1360 .

또한, 도킹 바퀴(1360)의 높이가 이동 바퀴(1360)의 높이보다 높게 위치할 수 있다. 따라서, 도킹 바퀴(1360)가 대차 수용부(1200)의 내부의 바닥면에 구비된 도킹 레일(1260)에 쉽게 진입할 수 있다.In addition, the height of the docking wheel 1360 may be located higher than the height of the moving wheel 1360 . Accordingly, the docking wheel 1360 may easily enter the docking rail 1260 provided on the bottom surface of the inside of the bogie accommodating part 1200 .

한편, 도킹 바퀴(1360)의 높이가 이동 바퀴(1360)의 높이와 동일할 수도 있다. Meanwhile, the height of the docking wheel 1360 may be the same as the height of the moving wheel 1360 .

대차 수용부(1200)는 셔터(1240)를 더 포함할 수 있다. 대차(1300)가 대차 수용부(1200)에 수용되어 도킹 플레이트(1220)와 도킹된 상태에서 셔터(1240)는 대차(1300)의 도어(1350)와 마주보도록 배치된다. The bogie accommodating part 1200 may further include a shutter 1240 . In a state in which the bogie 1300 is accommodated in the bogie accommodating part 1200 and docked with the docking plate 1220 , the shutter 1240 is disposed to face the door 1350 of the bogie 1300 .

셔터(1240)는 대차(1300)의 도어(1340)로부터 돌출되는 링크 블록(1340)을 수용하기 위한 수용홈(1250)을 갖는다. 이때, 링크 블록(1340)과 수용홈(1250)은 서로 대응하는 높이 및 위치에 배치된다. 셔터(1240)가 대차(1300)를 향하도록 이동하여 수용 홈(12500)에 링크 블록(1340)을 수용함으로써 셔터(1240)와 도어(1340)가 결합된다. 셔터(1240)와 도어(1340)가 결합된 상태에서 셔터(1240)가 수직 방향, 즉 상하로 이동하면서 대차(1300)의 도어(1340)를 개폐할 수 있다.The shutter 1240 has a receiving groove 1250 for accommodating the link block 1340 protruding from the door 1340 of the bogie 1300 . In this case, the link block 1340 and the receiving groove 1250 are disposed at heights and positions corresponding to each other. The shutter 1240 and the door 1340 are coupled to each other by accommodating the link block 1340 in the receiving groove 12500 by moving the shutter 1240 toward the bogie 1300 . In a state in which the shutter 1240 and the door 1340 are coupled, the door 1340 of the bogie 1300 may be opened and closed while the shutter 1240 moves in the vertical direction, that is, up and down.

반송 로봇(1400)은 스토커(1000) 내에서 카세트(C)를 반송할 수 있다. 반송 로봇(1400)은 선반(1100, 1330)들에 카세트(C)를 로드하거나, 선반(1100, 1330)들로부터 카세트(C)를 언로드 할 수 있다. 또한, 반송 로봇(1400)은 선반(1100, 1300)들, 그리고 후술하는 제1포트(1500), 제2포트(1600) 사이에 카세트(C)를 반송할 수 있다. 반송 로봇(1400)은 로봇 아암(1420), 제1가이드 레일(1440), 그리고 제2가이드 레일(1460)을 포함할 수 있다.The transport robot 1400 may transport the cassette C in the stocker 1000 . The transport robot 1400 may load the cassette C on the shelves 1100 and 1330 or unload the cassette C from the shelves 1100 and 1330 . Also, the transport robot 1400 may transport the cassette C between the shelves 1100 and 1300 and a first port 1500 and a second port 1600 to be described later. The transfer robot 1400 may include a robot arm 1420 , a first guide rail 1440 , and a second guide rail 1460 .

반송 로봇(1400)은 2 열로 배열된 제1선반들(1100)들 사이에 제공될 수 있다. 즉, 반송 로봇(1400)이 가지는 제1가이드 레일(1440)을 기준으로 제1선반(1100)들 중 일부는 제1가이드 레일(1440)의 일 측에 배치되고, 제1선반(1100)들 중 다른 일부는 제1가이드 레일(1440)의 타 측에 배치될 수 있다.The transfer robot 1400 may be provided between the first shelves 1100 arranged in two rows. That is, some of the first shelves 1100 are disposed on one side of the first guide rail 1440 based on the first guide rail 1440 of the transport robot 1400 , and the first shelves 1100 are The other part may be disposed on the other side of the first guide rail 1440 .

반송 로봇(1400)이 가지는 로봇 아암(1420)은 제1선반(1100) 및 제2선반들(1330)을 향하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예컨대, 반송 로봇(1400)이 포함하는 로봇 아암(1420)은 그 길이가 연장 및/또는 수축될 수 있도록 제공될 수 있다. 또한, 로봇 아암(1420)은 카세트(C)를 제1선반(1100), 후술하는 제1포트(1500), 그리고 제2포트(1600)에 로딩 또는 언로딩시킬 수 있는 핸드를 가질 수 있다. 로봇 아암(1420)이 가지는 핸드는 카세트(C)를 파지 및 반송할 수 있다.The robot arm 1420 of the transport robot 1400 may be configured to be movable toward the first shelf 1100 and the second shelves 1330 . For example, the robot arm 1420 included in the transfer robot 1400 may be provided such that its length can be extended and/or retracted. In addition, the robot arm 1420 may have a hand capable of loading or unloading the cassette C to the first shelf 1100 , a first port 1500 to be described later, and a second port 1600 . The hand possessed by the robot arm 1420 can hold and transport the cassette C.

제1가이드 레일(1440)은 로봇 아암(1420)을 제1방향(X)을 따라 안내할 수 있다. 제2가이드 레일(1460)은 로봇 아암(1420)을 제3방향(Z)을 따라 안내할 수 있다. 또한, 반송 로봇(1400)은 로봇 아암(1420)이 제1가이드 레일(1440), 그리고 제2가이드 레일(1460)을 따라 이동할 수 있도록 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 구동기 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 포함하도록 구성될 수 있다.The first guide rail 1440 may guide the robot arm 1420 in the first direction X. The second guide rail 1460 may guide the robot arm 1420 in the third direction Z. Also, the transport robot 1400 may include a driver (not shown) so that the robot arm 1420 can move along the first guide rail 1440 and the second guide rail 1460 . As an example, it may be configured to include a drive motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커(1000)는 제1포트(1500), 그리고 제2포트(1600)를 포함할 수 있다. 제1포트(1500), 그리고 제2포트(1600)는 후술하는 제1비히클(V1), 그리고 제2비히클(V2)이 카세트(C)를 로딩 또는 언로딩 하는 구성일 수 있다.Also, the stocker 1000 according to an embodiment of the present invention may include a first port 1500 and a second port 1600 . The first port 1500 and the second port 1600 may be configured such that a first vehicle V1 and a second vehicle V2, which will be described later, load or unload the cassette C.

제1포트(1500)는 제2포트(1600)보다 상부에 배치될 수 있다. 제1포트(1500)는 선반 형상으로 제공될 수 있다. 제1포트(1500)의 일 측은 반송 로봇(1400)의 제1가이드 레일(1440), 그리고 제2가이드 레일(1460)을 향하여 개방될 수 있다. 또한, 제1포트(1500)의 타 측은 후술하는 제1레일(312)을 향하여 개방될 수 있다. 즉, 제1포트(1500)의 양 측은 개방되어, 스토커(1000) 내 저장되고 반송되는 카세트(C)들은 제1포트(1500)를 거쳐 스토커(1000)의 외부로 반출될 수 있다.The first port 1500 may be disposed above the second port 1600 . The first port 1500 may be provided in a shelf shape. One side of the first port 1500 may be opened toward the first guide rail 1440 and the second guide rail 1460 of the transfer robot 1400 . In addition, the other side of the first port 1500 may be opened toward the first rail 312 to be described later. That is, both sides of the first port 1500 are opened, and the cassettes C stored and transported in the stocker 1000 may be carried out to the outside of the stocker 1000 through the first port 1500 .

제2포트(1600)는 제1포트(1500)보다 하부에 배치될 수 있다. 제2포트(1600)는 컨베이어를 포함하도록 제공될 수 있다. 제2포트(1600)는 스토커(1000)에 형성된 개구를 통해 카세트(C)를 외부로 반출할 수 있다.The second port 1600 may be disposed below the first port 1500 . The second port 1600 may be provided to include a conveyor. The second port 1600 may transport the cassette C to the outside through the opening formed in the stocker 1000 .

도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커가 반도체 제조 라인의 우물 천장 구조에 설치된 모습을 보여주는 도면이다. 도 8을 참조하면, 상술한 이송 영역(300)에 제공되는 레일(310)은 제1레일(312), 그리고 제2레일(314)을 포함할 수 있다. 제1포트(1500)는 제1레일(312)을 주행하는 제1비히클(V1)과 대응하는 높이에 제공될 수 있다. 예컨대, 제1포트(1500)는 제1레일(312)을 주행하는 제1비히클(V1)의 하우징과 대응하는 높이에 제공될 수 있다. 제2포트(1600)는 제2레일(314)을 주행하는 제2비히클(V2)보다 아래에 제공될 수 있다. 또한, 제2포트(1600)는 스토커(1000)로부터 제2레일(314)을 향하는 방향으로 돌출되는 형상을 가질 수 있다.8 is a view showing a state in which a stocker according to an embodiment of the present invention is installed in a well ceiling structure of a semiconductor manufacturing line. Referring to FIG. 8 , the rail 310 provided in the transfer region 300 may include a first rail 312 and a second rail 314 . The first port 1500 may be provided at a height corresponding to the first vehicle V1 traveling on the first rail 312 . For example, the first port 1500 may be provided at a height corresponding to the housing of the first vehicle V1 traveling on the first rail 312 . The second port 1600 may be provided below the second vehicle V2 running on the second rail 314 . Also, the second port 1600 may have a shape protruding from the stocker 1000 in a direction toward the second rail 314 .

제1레일(312)은 제2레일(314)보다 상부에 배치될 수 있다. 제1레일(312)은 고속 주행 레일로 이용될 수 있다. 제2레일(314)은 저속 주행 레일로 이용될 수 있다. 즉, 제1레일(312)을 주행하는 제1비히클(V1)의 평균 주행 속력은, 제2레일(314)을 주행하는 제2비히클(V2)의 평균 주행 속력보다 클 수 있다. 제2레일(314)에 상술한 반송 레일(110, 210)들이 연결될 수 있다. 또한, 비히클(V1, V2)들은 제1레일(312) 및/또는 제2레일(314)을 주행할 수 있다. 비히클(V1, V2) 중 제1비히클(V1)은 제1레일(312)을 주행할 수 있다. 비히클(V1, V2) 중 제2비히클(V2)은 제2레일(314)을 주행할 수 있다. 제1비히클(V1)은 오버 헤드 호이스트 셔터(Overhead Hoist Shutter, 이하 OHS)일 수 있다. 제1비히클(V1)은 카세트(C)가 수용될 수 있는 하우징, 그리고, 외부에서 카세트(C)를 하우징 내로 이동 시키고, 파지하는 쉘을 포함할 수 있다. 예컨대, 제1비히클(V1)은 도 9에 도시된 바와 같이, 하우징 내에 제공되는 쉘이 제1포트(1500)를 향하는 방향으로 이동되어, 제1포트(1500)에 안착된 카세트(C)를 파지할 수 있다. 카세트(C)를 파지한 쉘은 다시금 하우징 내로 이동할 수 있다. 이에, 제1비히클(V1)은 카세트(C)를 파지 및 반송할 수 있다.The first rail 312 may be disposed above the second rail 314 . The first rail 312 may be used as a high-speed traveling rail. The second rail 314 may be used as a low-speed traveling rail. That is, the average traveling speed of the first vehicle V1 traveling on the first rail 312 may be greater than the average traveling speed of the second vehicle V2 traveling on the second rail 314 . The above-described transport rails 110 and 210 may be connected to the second rail 314 . Also, the vehicles V1 and V2 may travel on the first rail 312 and/or the second rail 314 . Among the vehicles V1 and V2 , the first vehicle V1 may travel on the first rail 312 . Among the vehicles V1 and V2 , the second vehicle V2 may travel on the second rail 314 . The first vehicle V1 may be an overhead hoist shutter (OHS). The first vehicle V1 may include a housing in which the cassette C can be accommodated, and a shell that moves and grips the cassette C from the outside into the housing. For example, in the first vehicle V1, as shown in FIG. 9 , the shell provided in the housing is moved in the direction toward the first port 1500 , and the cassette C seated in the first port 1500 is can be gripped The shell holding the cassette C can move back into the housing. Accordingly, the first vehicle (V1) can hold and transport the cassette (C).

제2비히클(V2)은 오버 헤드 호이스트 트랜스포트(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)일 수 있다. 제2비히클(V2)은 카세트(C)를 파지할 수 있는 그립퍼(Gripper)를 포함할 수 있다. 예컨대, 제2비히클(V2)은 도 10에 도시된 바와 같이, 그립퍼가 하강하여, 제2포트(1600)에 안착된 카세트(C)를 파지할 수 있다. 카세트(C)를 파지한 그립퍼는 상승 및 카세트(C)를 고정할 수 있다. 이에, 제2비히클(V2)은 카세트(C)를 파지 및 반송할 수 있다. The second vehicle V2 may be an overhead hoist transport (OHT). The second vehicle V2 may include a gripper capable of gripping the cassette C. For example, as shown in FIG. 10 , the second vehicle V2 may grip the cassette C seated in the second port 1600 as the gripper descends. The gripper holding the cassette (C) can lift and fix the cassette (C). Accordingly, the second vehicle V2 can hold and transport the cassette C.

이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커(1000)에서 카세트(C)가 외부로 반송되는 예에 대하여 설명한다. 또한, 이하에서 설명하는 스토커(1000)에서 카세트(C)가 외부로 반송되는 예를 수행하기 위해 제어기(미도시)는 이송 시스템(S)을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 스토커(1000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기는 비히클(V1, V2)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기는 반송 로봇(1400)을 제어할 수 있다.Hereinafter, an example in which the cassette C is transported to the outside in the stocker 1000 according to an embodiment of the present invention will be described. In addition, in order to perform an example in which the cassette C is transported to the outside in the stocker 1000 to be described below, a controller (not shown) may control the transport system S. For example, the controller may control the stocker 1000 . Also, the controller may control the vehicles V1 and V2. Also, the controller may control the transport robot 1400 .

제1비히클(V1)이 카세트(C)를 파지시 제1선반(1100)에 수납된 카세트(C)는 반송 로봇(1400)에 의해 제1포트(1500)로 전달될 수 있다(도 11 참조). 제1포트(1500)에 전달된 카세트(C)는 제1비히클(V1)이 가지는 쉘에 의해 파지될 수 있다. 또한, 제1비히클(V1)이 카세트(C)를 파지시 제2포트(1600)에 안착되었던 카세트(C)가 반송 로봇(1400)에 의해 제1포트(1500)로 전달될 수도 있다(도 12 참조). 이 경우에도 마찬가지로, 제1포트(1500)에 전달된 카세트(C)는 제1비히클(V1)이 가지는 쉘에 의해 파지될 수 있다.When the first vehicle V1 holds the cassette C, the cassette C accommodated in the first shelf 1100 may be transferred to the first port 1500 by the transfer robot 1400 (see FIG. 11 ). ). The cassette C delivered to the first port 1500 may be gripped by the shell of the first vehicle V1. In addition, the cassette C, which was seated in the second port 1600 when the first vehicle V1 grips the cassette C, may be transferred to the first port 1500 by the transfer robot 1400 (Fig. 12). Likewise in this case, the cassette C delivered to the first port 1500 may be gripped by the shell of the first vehicle V1.

이와 반대로, 제2비히클(V2)이 카세트(C)를 파지시 제1선반(1100)에 수납된 카세트(C)는 반송 로봇(1400)에 의해 제2포트(1600)로 전달될 수 있다. 제2포트(1600)에 전달된 카세트(C)는 제2포트(1600)가 가지는 컨베이어에 의해, 제2비히클(V2)이 파지하기 용이한 위치로 이동될 수 있다. 이후, 제2비히클(V2)이 가지는 그립퍼에 의해 파지될 수 있다. 또한, 제2비히클(V2)이 카세트(C)를 파지시 제1포트(1500)에 안착되었던 카세트(C)가 반송 로봇(1400)에 의해 제2포트(1600)로 전달될 수도 있다. 이 경우에도 마찬가지로, 제2포트(1600)에 전달된 카세트(C)는 제2비히클(V2)이 가지는 그립퍼에 의해 파지될 수 있다.Conversely, when the second vehicle V2 holds the cassette C, the cassette C accommodated in the first shelf 1100 may be transferred to the second port 1600 by the transfer robot 1400 . The cassette C delivered to the second port 1600 may be moved to a position where the second vehicle V2 is easily gripped by the conveyor of the second port 1600 . Thereafter, the second vehicle V2 may be gripped by a gripper. Also, the cassette C, which was seated in the first port 1500 when the second vehicle V2 grips the cassette C, may be transferred to the second port 1600 by the transfer robot 1400 . Likewise in this case, the cassette C delivered to the second port 1600 may be gripped by the gripper of the second vehicle V2.

일반적으로 카세트(C)의 반송 시간 단축을 위해, 레일들의 용도를 구분하는 방안이 이용되고 있다. 예컨대, 레일들 중 어느 하나는 고속 주행 레일로 이용되고, 레일들 중 다른 하나는 저속 주행 레일로 이용된다. 저속 주행 레일로 제공되는 레일은 반도체 제조 장치와 인접하게 제공되는 반송 레일과 연결된다. 또한, 고속 주행 레일과 저속 주행 레일은 공간을 효율적으로 활용하기 위해 상하 방향을 따라 배치된다. 또한, 일반적으로는 고속 주행 레일과 저속 주행 레일 사이에 비히클이 이동되기 위해서, 비히클이 위치된 승강 레일이 상하 방향으로 이동하여 비히클을 이동시킨다. 이와 달리, 비히클이 슬로프 레일을 따라 이동하여 상하 방향으로 이동되는 경우도 있다.In general, in order to shorten the conveyance time of the cassette (C), a method of classifying the use of the rails is used. For example, one of the rails is used as a high-speed traveling rail, and the other of the rails is used as a low-speed traveling rail. The rail provided as the low-speed traveling rail is connected to the conveying rail provided adjacent to the semiconductor manufacturing apparatus. In addition, the high-speed traveling rail and the low-speed traveling rail are arranged along the vertical direction in order to efficiently utilize the space. Also, in general, in order to move the vehicle between the high-speed traveling rail and the low-speed traveling rail, the elevating rail on which the vehicle is positioned moves in the vertical direction to move the vehicle. Alternatively, there is a case where the vehicle moves along the slope rail to move up and down.

그러나, 상술한 두 가지 비히클 승강 방법은, 별도의 승강 장치가 요구되거나, 슬로프 레일의 추가적인 설치가 요구되기 때문에 반도체 제조 라인의 공간 활용성을 떨어뜨린다. 그러나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커(1000)는 제1포트(1500), 제2포트(1600), 반송 로봇(1400)을 포함하고, 반송 로봇(1400)이 제1포트(1500)와 제2포트(1600) 사이에 카세트(C)를 반송할 수 있도록 구성된다. 본 발명의 일 실시 예는 비히클의 승강 없이, 카세트만을 상하 방향으로 이동시킨다. 이에, 본 발명은 별도의 승강 장치나 슬로프 레일의 추가적인 설치가 요구되지 않기 때문에, 반도체 제조 라인의 공간 활용성을 높일 수 있다.However, since the above-described two vehicle lifting methods require a separate lifting device or additional installation of a slope rail, space utilization of the semiconductor manufacturing line is reduced. However, the stocker 1000 according to an embodiment of the present invention includes a first port 1500 , a second port 1600 , and a transport robot 1400 , and the transport robot 1400 is a first port 1500 . It is configured to be able to transport the cassette (C) between the and the second port (1600). An embodiment of the present invention moves only the cassette in the vertical direction without lifting the vehicle. Accordingly, in the present invention, since additional installation of a separate lifting device or slope rail is not required, space utilization of the semiconductor manufacturing line can be improved.

상술한 예에서는, 이송 시스템(S)이 웨이퍼 등의 기판이 수납된 카세트(C)를 반송하는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 상술한 이송 시스템(S)은 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. In the above-described example, the transfer system S has been described as an example of transferring the cassette C in which a substrate such as a wafer is accommodated, but the present invention is not limited thereto. For example, the above-described transport system (S) may be equally or similarly applied to various manufacturing lines requiring transport of articles.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The above-described embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in specific application fields and uses of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

일반적인 반송 장치 : 10
상부 레일 : 12
하부 레일 : 14
승강 레일 : 16
비히클 : 18
카세트 : C
일반적인 반송 장치 : 20
주행 레일 : 22
슬로프 레일 : 24
비히클 : 28
이송 시스템 : S
반도체 제조 장치 : A
제1설비 영역 : 100
제1반송 레일 : 110
제2설비 영역 : 200
제2반송 레일 : 210
반송 영역 : 300
고속 주행 레일 : 310
제1레일 : 312
제2레일 : 314
스토커 : 1000
카세트 : C
제1비히클 : V1
제2비히클 : V2
제1선반 : 1100
대차 수용부 : 1200
도킹 플레이트 : 1220
셔터 : 1240
도킹 레일 : 1260
대차 감지 센서 : 1280
도킹 감지 센서 : 1290
대차 : 1300
몸체 : 1320
제2선반 : 1330
도어 : 1340
수용 홈 : 1350
이동 바퀴 : 1360
도킹 바퀴 : 1380
반송 로봇 : 1400
로봇 아암 : 1420
제1가이드 레일 : 1440
제2가이드 레일 : 1460
제1포트 : 1500
제2포트 : 1600Typical conveying device: 10
Upper rail: 12
Bottom rail: 14
Lifting rail: 16
Vehicle: 18
Cassette: C
Typical conveying device: 20
Running rail: 22
Slope Rail: 24
Vehicle: 28
Conveying system: S
Semiconductor manufacturing equipment: A
1st facility area: 100
1st transfer rail: 110
2nd facility area: 200
2nd transfer rail: 210
Bounce area: 300
High-speed running rail: 310
1st rail: 312
2nd rail: 314
Stalker: 1000
Cassette: C
1st vehicle: V1
Second vehicle: V2
1st shelf : 1100
Balance receiving part: 1200
Docking plate: 1220
Shutter: 1240
Docking Rail: 1260
Bogie detection sensor: 1280
Docking detection sensor: 1290
Balance: 1300
Body: 1320
2nd shelf : 1330
Door: 1340
Receiving Home: 1350
Moving wheels: 1360
Docking Wheels: 1380
Transport robot: 1400
Robot Arm: 1420
1st guide rail: 1440
2nd guide rail: 1460
Port 1 : 1500
2nd port: 1600

Claims (13)

카세트를 수납하는 선반들과;
상기 선반들에 카세트를 로드하거나, 상기 선반들로부터 카세트를 언로드하는 반송 로봇과;
제1레일을 주행하는 제1비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제1포트와;
상기 제1레일 보다 낮은 높이에 제공되는 제2레일을 주행하는 제2비히클이 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 제2포트와;
상부에서 바라볼 때 그 일 단 및 타 단이 상기 제2레일과 연결되고, 반도체 제조 장치의 상부에 배치되는 반송 레일과;
제어기를 포함하고,
상기 제1비히클의 평균 주행 속력은, 상기 제2비히클의 평균 주행 속력보다 크게 제공되고,
상기 제어기는,
상기 선반들, 상기 제1포트, 그리고 상기 제2포트 사이에 카세트를 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어하되,
상기 제1비히클이 카세트를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제2포트에 로딩된 카세트를 상기 제1포트로 반송하도록, 상기 제2비히클이 카세트를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제1포트에 로딩된 카세트를 상기 제2포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어하는 스토커.Shelves for accommodating cassettes;
a transport robot for loading cassettes on the shelves or unloading cassettes from the shelves;
a first port for loading or unloading a cassette by a first vehicle traveling on a first rail;
a second port for loading or unloading a cassette by a second vehicle traveling on a second rail provided at a height lower than the first rail;
a transport rail having one end and the other end connected to the second rail when viewed from above, and disposed above the semiconductor manufacturing apparatus;
comprising a controller;
The average traveling speed of the first vehicle is provided to be greater than the average traveling speed of the second vehicle;
The controller is
Control the transport robot to transport the cassette between the shelves, the first port, and the second port,
When the first vehicle holds the cassette, the cassette accommodated in the shelf or the cassette stored in the shelf when the second vehicle holds the cassette, such that the cassette accommodated in the shelf or the cassette loaded in the second port is transferred to the first port A stocker for controlling the transport robot to transport the cassette loaded in the first port to the second port. 제1항에 있어서,
상기 제1포트는 상기 제2포트보다 높은 높이에 제공되는 스토커.According to claim 1,
The first port is a stocker provided at a higher height than the second port. 제2항에 있어서,
상기 선반들은,
제1방향과 제3방향을 따라 배치되되,
상기 제3방향은,
상기 제1방향, 그리고 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향에 수직한 스토커.3. The method of claim 2,
The shelves are
Doedoe disposed along the first direction and the third direction,
The third direction is
A stocker perpendicular to the first direction and a second direction perpendicular to the first direction when viewed from above. 제3항에 있어서,
상기 반송 로봇은,
상기 카세트를 파지 및 반송하는 로봇 아암과;
상기 로봇 아암을 상기 제1방향을 따라 안내하는 제1가이드 레일과;
상기 로봇 아암을 상기 제3방향을 따라 안내하는 제2가이드 레일을 포함하고,
상기 선반들 중 일부는 상기 제1가이드 레일의 일 측에 배치되고, 상기 선반들 중 다른 일부는 상기 제1가이드 레일의 타 측에 배치되는 스토커.4. The method of claim 3,
The transport robot is
a robot arm for gripping and conveying the cassette;
a first guide rail for guiding the robot arm in the first direction;
a second guide rail for guiding the robot arm along the third direction;
Some of the shelves are disposed on one side of the first guide rail, and another part of the shelves are disposed on the other side of the first guide rail. 삭제delete 삭제delete 물품이 수납된 용기를 이송하는 이송 시스템에 있어서,
제1레일과;
상기 제1레일보다 낮은 높이에 제공되는 제2레일과;
상부에서 바라볼 때 그 일 단 및 타 단이 상기 제2레일과 연결되고, 반도체 제조 장치의 상부에 배치되는 반송 레일과;
상기 제1레일을 주행하는 제1비히클과;
상기 제2레일을 주행하는 제2비히클과;
카세트들을 수납하고, 상기 제1비히클 및 상기 제2비히클에 카세트들을 전달하는 스토커를 포함하고,
상기 스토커는,
용기를 수납하는 선반들과;
상기 선반들에 용기를 로드하거나, 상기 선반들로부터 용기를 언로드하는 반송 로봇과;
제1레일을 주행하는 제1비히클이 용기를 로딩 또는 언로딩하는 제1포트와;
상기 제1레일 보다 높은 높이에 제공되는 제2레일을 주행하는 제2비히클이 용기를 로딩 또는 언로딩하는 제2포트와;
제어기를 포함하고,
상기 제1비히클의 평균 주행 속력은, 상기 제2비히클의 평균 주행 속력보다 크게 제공되고,
상기 제어기는,
상기 선반들, 상기 제1포트, 그리고 상기 제2포트 사이에 용기를 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어하되,
상기 제1비히클이 용기를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제2포트에 로딩된 용기를 상기 제1포트로 반송하도록, 상기 제2비히클이 용기를 파지시 상기 선반에 수납된 카세트 또는 상기 제1포트에 로딩된 용기를 상기 제2포트로 반송하도록 상기 반송 로봇을 제어하는 이송 시스템.In the transport system for transporting the container in which the article is stored,
a first rail;
a second rail provided at a height lower than the first rail;
a transport rail having one end and the other end connected to the second rail when viewed from above, and disposed above the semiconductor manufacturing apparatus;
a first vehicle traveling on the first rail;
a second vehicle traveling on the second rail;
a stocker receiving cassettes and delivering cassettes to the first vehicle and the second vehicle;
The stocker is
shelves for accommodating containers;
a transport robot for loading containers on the shelves or unloading containers from the shelves;
a first port through which the first vehicle traveling on the first rail loads or unloads the container;
a second port for loading or unloading a container by a second vehicle traveling on a second rail provided at a height higher than the first rail;
comprising a controller;
The average traveling speed of the first vehicle is provided to be greater than the average traveling speed of the second vehicle;
The controller is
Control the transport robot to transport the container between the shelves, the first port, and the second port,
When the first vehicle holds the container, the cassette or the cassette housed in the shelf when the second vehicle grips the container so that the cassette stored on the shelf or the container loaded in the second port is returned to the first port. A transport system for controlling the transport robot to transport the container loaded in the first port to the second port. 제7항에 있어서,
상기 제1포트는 상기 제2포트보다 높은 높이에 제공되는 이송 시스템.8. The method of claim 7,
The first port is a transport system that is provided at a higher height than the second port. 제8항에 있어서,
상기 선반들은,
제1방향과 제3방향을 따라 배치되되,
상기 제3방향은,
상기 제1방향, 그리고 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향에 수직한 이송 시스템.9. The method of claim 8,
The shelves are
Doedoe disposed along the first direction and the third direction,
The third direction is
A transport system perpendicular to the first direction and a second direction perpendicular to the first direction when viewed from above. 제9항에 있어서,
상기 반송 로봇은,
상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 아암과;
상기 로봇 아암을 상기 제1방향을 따라 안내하는 제1가이드 레일과;
상기 로봇 아암을 상기 제3방향을 따라 안내하는 제2가이드 레일을 포함하고,
상기 선반들 중 일부는 상기 제1가이드 레일의 일 측에 배치되고, 상기 선반들 중 다른 일부는 상기 제1가이드 레일의 타 측에 배치되는 이송 시스템.10. The method of claim 9,
The transport robot is
a robot arm for gripping and conveying the container;
a first guide rail for guiding the robot arm in the first direction;
a second guide rail for guiding the robot arm along the third direction;
Some of the shelves are disposed on one side of the first guide rail, and another portion of the shelves are disposed on the other side of the first guide rail. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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