KR20240002802A - Body frame and stocker including same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 제조 공정에서 웨이퍼와 같은 물품이 적재된 용기를 반송 및 적재할 수 있는 바디 프레임 및 이를 포함하는 스토커에 관한 것으로서, 상기 바디 프레임은, 수직 방향으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체의 조합으로 형성되고, 상기 프레임 구조체는, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 상단에 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀이 형성될 수 있다.The present invention relates to a body frame capable of transporting and loading a container loaded with items such as wafers in a semiconductor device manufacturing process and a stocker including the same, wherein the body frame includes at least two frames that can be separated in the vertical direction It is formed by a combination of structures, and the frame structure has at least one guide block or guide pin on the top of the outermost vertical frame to guide the docking position when docking another frame structure seated on the top. This can be formed.
Description
본 발명은 바디 프레임 및 이를 포함하는 스토커에 관한 것으로서, 더 상세하게는 반도체 소자 제조 공정에서 웨이퍼와 같은 물품이 적재된 용기를 반송 및 적재할 수 있는 바디 프레임 및 이를 포함하는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a body frame and a stocker including the same, and more specifically, to a body frame and a stocker including the same that can transport and load containers loaded with items such as wafers in a semiconductor device manufacturing process.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 물품들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 물품들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.To manufacture semiconductor devices, various types of processes such as deposition, photography, and etching processes are performed, and devices that perform each of these processes are placed within a semiconductor manufacturing line. Items such as wafers for performing a semiconductor device manufacturing process may be stored in a container such as a FOUP and provided to each semiconductor processing equipment. Additionally, products on which the process has been performed may be recovered as containers from each semiconductor processing equipment, and the recovered containers may be returned to the outside.
이때, 용기는, 오버 헤드 호이스트 트랜스포트(Overhead Hoist Transport, OHT)와 같은 비히클에 의해 이송될 수 있다. OHT는, 물품이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송할 수 있다. 또한, OHT는, 공정 처리된 물품이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.At this time, the container may be transported by a vehicle such as an overhead hoist transport (OHT). The OHT can transfer a container containing an article to a load port of any one of the semiconductor processing devices. Additionally, the OHT can pick up a container containing a processed product from a load port and transport it to the outside or to another one of the semiconductor processing equipment.
이러한, 용기는, 반도체 소자 제조 공정 상에서 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 스토커는, 용기들을 적재하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있고, 스토커의 내부에는 용기들을 반송하기 위한 반송 로봇을 포함하는 이적재 유닛이 설치될 수 있다. 이적재 유닛은, 스토커 내에서 반송 로봇을 수평 및 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 용기를 반송할 수 있다.These containers can be stored in a stocker during the semiconductor device manufacturing process. The stocker may be provided with a plurality of shelves for loading containers, and a transfer and loading unit including a transfer robot for transferring the containers may be installed inside the stocker. The transfer and loading unit can move the transport robot in the horizontal and vertical directions within the stocker and can transport containers.
일반적으로, 스토커의 골격을 이루는 바디 프레임은, 복수의 프레임 구조체를 적층하여 형성하는데, 어느 한 프레임 구조체의 상부에 다른 프레임 구조체를 도킹 시, 도킹 부위에 안착 기준이 되는 부분이 없어, 프레임의 절단면을 기준으로 작업자가 수작업으로 맞춤으로써, 프레임 구조체의 도킹이 정위치에 되지 않거나, 도킹 중 프레임 구조체가 이탈로 안전사고가 발생할 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 도킹 위치를 수작업으로 일일이 맞춤으로서 작업시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.In general, the body frame that forms the skeleton of the stalker is formed by stacking a plurality of frame structures. When docking another frame structure on top of one frame structure, there is no reference for seating at the docking area, so the cut surface of the frame There was a problem in that the docking of the frame structure was not in the correct position or a safety accident could occur due to the frame structure breaking away during docking due to the worker adjusting it manually based on . In addition, there was a problem in that it took a lot of time to manually adjust the docking positions.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 어느 한 프레임 구조체의 상부에 다른 프레임 구조체를 도킹 시, 도킹 과정에서 프레임 구조체가 도킹 정위치로 자연스럽게 정렬될 수 있는 바디 프레임 및 이를 포함하는 스토커를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention is intended to solve several problems including the problems described above, and includes a body frame in which the frame structure can be naturally aligned to the correct docking position during the docking process when docking another frame structure on top of one frame structure; The purpose is to provide a stalker that includes this. However, these tasks are illustrative and do not limit the scope of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 바디 프레임이 제공된다. 상기 바디 프레임은, 물품이 수납된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반이 수평 방향 및 수직 방향 중 적어도 어느 한 방향 이상으로 형성될 수 있도록 프레임(Frame) 구조로 형성되는 스토커의 바디 프레임에 있어서, 상기 바디 프레임은, 상기 수직 방향으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체의 조합으로 형성되고, 상기 프레임 구조체는, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 상단에 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀이 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a body frame is provided. In the body frame of the stocker, the body frame is formed in a frame structure so that a plurality of shelves for loading containers containing goods can be formed in at least one of the horizontal and vertical directions, The body frame is formed by a combination of at least two frame structures that can be separated in the vertical direction, and the frame structure guides the docking position when docking another frame structure mounted on the top, At least one guide block or guide pin may be formed on the top of the outermost vertical frame.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가이드 블록은, 상기 수직 프레임의 상단의 일측면에 설치되는 제 1 블록; 및 상기 제 1 블록과 수직한 방향으로 형성될 수 있도록, 상기 수직 프레임의 상단의 타측면에 설치되는 제 2 블록;을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the guide block includes: a first block installed on one side of the top of the vertical frame; and a second block installed on the other side of the top of the vertical frame so as to be formed in a direction perpendicular to the first block.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제 1 블록 및 상기 제 2 블록은, 상기 다른 프레임 구조체의 상기 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 적어도 일부분에, 상기 도킹 위치를 향해 소정의 각도로 경사지게 형성되는 가이드 경사면이 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first block and the second block are, at least in part, a guide formed to be inclined at a predetermined angle toward the docking position so as to guide the docking position of the other frame structure. A slope may be formed.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 다른 프레임 구조체는, 상기 프레임 구조체의 상부에 도킹 시, 상기 가이드 블록에 의해 상기 도킹 위치가 가이드될 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 하단에 상기 가이드 블록과 형합될 수 있는 적어도 하나의 안착 블록이 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the other frame structure includes the guide block at the bottom of the outermost vertical frame so that the docking position can be guided by the guide block when docked at the top of the frame structure. At least one seating block that can be joined can be formed.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 안착 블록은, 상기 가이드 경사면과 동일한 경사 각도로 경사지게 형성되되 상기 가이드 경사면과 반대 방향으로 경사지게 형성되어, 상기 다른 프레임 구조체가 상기 프레임 구조체의 상부에 도킹 시, 상기 가이드 경사면에 안착될 수 있는 안착 경사면이 적어도 일부분에 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the seating block is formed to be inclined at the same inclination angle as the guide inclined surface, but is inclined in a direction opposite to the guide inclined surface, so that when the other frame structure is docked on the upper part of the frame structure, A seating inclined surface that can be seated on the guide inclined surface may be formed at least in part.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록은, 상기 가이드 경사면이 서로 다른 경사 각도로 경사지게 형성되는 2단 경사면으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first block and the second block may be formed as two-stage inclined surfaces in which the guide inclined surfaces are inclined at different inclination angles.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가이드 경사면은, 상기 2단 경사면 중 상부에 위치한 상부 경사면이 상기 수평 방향을 기준으로 제 1 각도로 경사지게 형성되고, 상기 상부 경사면의 하부에 위치한 하부 경사면이 상기 수평 방향을 기준으로 상기 제 1 각도 보다 큰 제 2 각도로 경사지게 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the guide inclined surface is formed so that the upper inclined surface located at the upper part of the two-stage inclined surface is inclined at a first angle with respect to the horizontal direction, and the lower inclined surface located below the upper inclined surface is formed at the It may be formed to be inclined at a second angle greater than the first angle based on the horizontal direction.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가이드 핀은, 상기 수직 프레임의 중심부에 형성된 관통홀부에 삽입될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the guide pin may be inserted into a through hole formed in the center of the vertical frame.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가이드 핀은, 상기 수직 프레임의 상기 관통홀부에 삽입 시, 상기 관통홀부의 내경면을 나사 깎기할 수 있도록, 상기 관통홀부에 삽입되는 부분이 태핑 나사(Tapping screw)로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the guide pin has a part inserted into the through-hole part called a tapping screw (Tapping screw) so that the inner diameter surface of the through-hole part can be screwed when inserted into the through-hole part of the vertical frame. It can be formed as a screw).
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 스토커가 제공된다. 상기 스토커는, 물품이 수납된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반이 수평 방향 및 수직 방향 중 적어도 어느 한 방향 이상으로 형성될 수 있도록 프레임(Frame) 구조로 형성되는 바디 프레임; 상기 바디 프레임의 일측에 형성되어, 상기 용기가 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트; 및 상기 바디 프레임 내부의 이동 통로에 설치되어, 상기 복수의 선반 중 어느 한 선반에 상기 용기를 로딩하거나 언로딩하는 이적재 유닛;을 포함하고, 상기 바디 프레임은, 상기 수직 방향으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체의 조합으로 형성되고, 상기 프레임 구조체는, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 상단에 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀이 형성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a stalker is provided. The stocker includes a body frame formed in a frame structure so that a plurality of shelves for loading containers containing goods can be formed in at least one of the horizontal and vertical directions; a load port formed on one side of the body frame through which the container is loaded or unloaded; and a transfer unit installed in a moving passage inside the body frame to load or unload the container onto any one of the plurality of shelves, wherein the body frame can be separated in the vertical direction. It is formed by a combination of at least two frame structures, and the frame structure has at least one guide at the top of the outermost vertical frame to guide the docking position when docking another frame structure seated on top. Blocks or guide pins may be formed.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프레임 구조체의 최외곽에 위치한 프레임 상단에 경사면이 형성된 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀을 설치함으로써, 프레임 구조체의 상부에 다른 프레임 구조체의 도킹 시, 가이드 블록 또는 가이드 핀에 의해 다른 프레임 구조체의 도킹 과정에서 도킹 위치가 자연스럽게 안내될 수 있다.According to one embodiment of the present invention made as described above, by installing at least one guide block or guide pin with an inclined surface formed on the top of the frame located at the outermost part of the frame structure, when docking another frame structure on top of the frame structure , the docking position can be naturally guided during the docking process of another frame structure by a guide block or guide pin.
이에 따라, 프레임 구조체의 도킹이 정위치에 정확하게 이루어지도록 유도할 수 있으며, 프레임 구조체의 도킹 중 프레임 구조체가 이탈하여 안전사고가 발생할 수 있는 위험성을 줄일 수 있고, 작업 과정에서 프레임 구조체의 도킹 위치가 정위치로 자연스럽게 정렬됨으로써 작업시간을 획기적으로 줄일 수 있는 바디 프레임 및 이를 포함하는 스토커를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Accordingly, it is possible to ensure that the docking of the frame structure is carried out accurately at the correct position, and the risk of a safety accident occurring due to the frame structure being separated during docking can be reduced, and the docking position of the frame structure during the work process can be ensured. By being naturally aligned in the correct position, it is possible to implement a body frame and a stocker including it that can dramatically reduce work time. Of course, the scope of the present invention is not limited by this effect.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 바디 프레임을 포함하는 스토커가 설치된 반도체 소자 제조 공정의 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 평면 및 측면을 각각 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 4는, 도 3의 스토커에 포함된 바디 프레임의 “A”부분을 확대한 모습을 개략적으로 나타내는 확대 사시도이다.
도 5는, 도 2 및 도 3의 스토커에 포함된 바디 프레임의 일 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6 내지 도 8은, 도 5의 바디 프레임의 프레임 구조체의 도킹 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 9 및 도 10은, 도 2 및 도 3의 스토커에 포함된 바디 프레임의 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 11은, 도 2 및 도 3의 스토커에 포함된 바디 프레임의 또 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 12 및 도 13은, 도 2 및 도 3의 스토커에 포함된 바디 프레임의 또 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도들이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a transfer system in a semiconductor device manufacturing process in which a stocker including a body frame is installed according to an embodiment of the present invention.
Figures 2 and 3 are cross-sectional views schematically showing the plane and side, respectively, of a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged perspective view schematically showing an enlarged portion “A” of the body frame included in the stocker of FIG. 3.
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing an embodiment of the body frame included in the stocker of FIGS. 2 and 3 based on a cross-section taken along the cutting line BB of FIG. 4.
Figures 6 to 8 are cross-sectional views showing step by step the docking process of the frame structure of the body frame of Figure 5.
FIGS. 9 and 10 are cross-sectional views schematically showing another embodiment of the body frame included in the stocker of FIGS. 2 and 3 based on a cross-section taken along the cutting line BB of FIG. 4.
FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing another embodiment of the body frame included in the stocker of FIGS. 2 and 3 based on a cross-section taken along the cutting line BB of FIG. 4.
FIGS. 12 and 13 are cross-sectional views schematically showing another embodiment of the body frame included in the stocker of FIGS. 2 and 3 based on a cross section taken along the cutting line BB of FIG. 4.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art, and the following examples may be modified into various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Additionally, the thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated for convenience and clarity of explanation.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will now be described with reference to drawings that schematically show ideal embodiments of the present invention. In the drawings, variations of the depicted shape may be expected, for example, depending on manufacturing technology and/or tolerances. Accordingly, embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shape of the area shown in this specification, but should include, for example, changes in shape resulting from manufacturing.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 바디 프레임(도 3의 200)을 포함하는 스토커(1000)가 설치된 반도체 소자 제조 공정의 이송 시스템(S)을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2 및 도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커(1000)의 평면 및 측면을 각각 개략적으로 나타내는 단면도들이다. 그리고, 도 4는, 도 3의 스토커(1000)에 포함된 바디 프레임(200)의 “A”부분을 확대한 모습을 개략적으로 나타내는 확대 사시도이고, 도 5는, 도 2 및 도 3의 스토커(1000)에 포함된 바디 프레임(200)의 일 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 6 내지 도 8은, 도 5의 바디 프레임(200)의 프레임 구조체(201, 202)의 도킹 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다. 또한, 도 9 및 도 10은, 도 2 및 도 3의 스토커(1000)에 포함된 바디 프레임(200)의 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 11은, 도 2 및 도 3의 스토커(1000)에 포함된 바디 프레임(200)의 또 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 12 및 도 13은, 도 2 및 도 3의 스토커(1000)에 포함된 바디 프레임(200)의 또 다른 실시예를 도 4의 절취선 B-B를 따라 취한 단면을 기준으로 개략적으로 나타내는 단면도들이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a transfer system (S) of a semiconductor device manufacturing process in which a
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 바디 프레임(도 3의 200)을 구비하는 스토커(1000)가 설치된 반도체 제조 공정의 이송 시스템(S)은, 반도체 소자 제조 공정 내에서 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 예컨대, 이송 시스템(S)은, 물품이 수납된 용기(도 3의 F)를 반송할 수 있다. 여기서, 상기 물품은, 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다.As shown in FIG. 1, the transfer system (S) of the semiconductor manufacturing process in which the
더욱 구체적으로, 상기 물품이 수납되는 용기는, 풉(Front Opening Unified Pod: FOUP)일 수 있다. 그러나, 용기는, 반드시 이에 국한되지 않고, 수납되는 상기 물품의 종류에 따라, 포스비(POSB), 매거진, 레티클 포드 및 트레이 등 다양한 종류가 적용될 수 있다.More specifically, the container in which the article is stored may be a Front Opening Unified Pod (FOUP). However, the container is not necessarily limited to this, and various types such as POSB, magazine, reticle pod, and tray may be applied depending on the type of the article being stored.
도 1에 도시된 바와 같이, 이송 시스템(S)은, 크게, 제 1 설비 영역(A1)과, 제 2 설비 영역(A2)과, 이송 영역(A3) 그리고 스토커(1000)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, the transfer system (S) may largely include a first facility area (A1), a second facility area (A2), a transfer area (A3), and a
예컨대, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2)은, 반도체 제조 장치(1)가 설치되는 영역일 수 있다. 또한, 이송 영역(A3)은, 용기를 파지하고 이송하는 비히클이 주행할 수 있는 레일이 설치되는 영역이다.For example, the first equipment area A1 and the second equipment area A2 may be areas where the
더욱 구체적으로, 제 1 설비 영역(A1)은, 다수의 반도체 제조 장치(1)가 설치되고, X축 방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 또한, 제 2 설비 영역(A2)은, 다수의 반도체 제조 장치(1)가 설치되고, X축 방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 다수의 반도체 제조 장치(1)는, 예를 들어, 사진, 식각, 애싱, 이온 주입, 박막 증착, 세정 등의 공정을 수행할 수 있는 장치일 수 있다. 이러한, 제 1 설비 영역(A1)과 제 2 설비 영역(A2)은, 이송 영역(A3)을 기준으로 서로 대칭되도록 형성될 수 있다. 그러나, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2)은, 반드시 도 1에 국한되지 않고, 다양한 형태로 변형될 수 있다.More specifically, the first facility area A1 may have a plurality of
또한, 이송 영역(A3)은, 제 1 설비 영역(A1)과 제 2 설비 영역(A2) 사이에 배치될 수 있다. 이송 영역(A3)에는, 비히클들이 이동하기 위한 적어도 하나 이상의 이송 레일(R3)이 설치될 수 있다. 또한, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2) 각각에는 반송 레일(R1, R2)이 설치될 수 있다. 예컨대, 제 1 설비 영역(A1)에는 제 1 반송 레일(R1)이 설치되고, 제 2 설비 영역(A2)에는 제 2 반송 레일(R2)이 설치되며, 제 1 반송 레일(R1) 및 제 2 반송 레일(R2)의 일단과 타단은 이송 레일(R3)과 연결될 수 있다.Additionally, the transfer area A3 may be disposed between the first equipment area A1 and the second equipment area A2. In the transfer area A3, at least one transfer rail R3 for moving vehicles may be installed. Additionally, conveyance rails R1 and R2 may be installed in each of the first facility area A1 and the second facility area A2. For example, a first conveyance rail (R1) is installed in the first facility area (A1), a second conveyance rail (R2) is installed in the second facility area (A2), and the first conveyance rail (R1) and the second conveyance rail (R1) are installed in the second facility area (A2). One end and the other end of the transfer rail (R2) may be connected to the transfer rail (R3).
이러한, 반송 레일(R1, R2)은, 반도체 제조 장치(1)의 상부에 배치될 수 있으며, 반송 레일(R1, R2)과 반도체 제조 장치(1)는 서로 인접하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 반송 레일(R1, R2)을 주행하는 상기 비히클들은 반도체 제조 장치(1)에 용기(도 3의 F)를 전달하거나, 반도체 제조 장치(1)로부터 용기(도 3의 F)를 반출할 수 있다.The transport rails R1 and R2 may be placed on top of the
상술한 이송 시스템(S)에서, 스토커(1000)는, 물품이 수납된 용기를 적재하여 저장할 수 있다. 스토커(1000)는, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2) 중 적어도 어느 한 영역 이상에 설치될 수 있으며, 필요에 따라 이송 영역(A3)에도 설치될 수 있다.In the above-described transport system (S), the
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스토커(1000)는, 크게, 이적재 유닛(100)과, 바디 프레임(200) 및 로드 포트(300)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the
예컨대, 로드 포트(300)는, 후술될 바디 프레임(200)의 일측에 형성되어, 용기(F)가 로딩되거나 언로딩될 수 있다. 로드 포트(300)는, 반도체 소자의 제조에 이용되는 웨이퍼 또는 레티클 등의 다수의 상기 물품을 수용하는 용기(F)가 안착되는 공간을 제공하고, 용기(F)를 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 예컨대, 로드 포트(300)는, 스토커(1000)의 외부로부터 스토커(1000)의 내부 공간으로, 또는 스토커(1000)의 내부 공간으로부터 스토커(1000)의 외부로 용기(F)를 전달하기 위한 것이다.For example, the
또한, 이적재 유닛(100)은, 후술될 바디 프레임(200) 내부의 이동 통로(220)에 설치되어, 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반에 용기(F)를 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 이러한, 이적재 유닛(100)은, 크게, 반송 로봇(110)과, 크레인부(120) 및 주행부(130)를 포함할 수 있다.In addition, the
예컨대, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 반송 로봇(110)은, 바디 프레임(200)의 내부에 반송 로봇(110)이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로(220) 내에 설치되고, 용기(F)를 파지 및 반송하는 로봇 암(111)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIGS. 2 and 3, the
더욱 구체적으로, 반송 로봇(110)은, 크레인부(120) 및 주행부(130)에 의해 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)의 각 방향으로 용기(F)를 반송 가능하며, 로드 포트(300)와 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반의 사이나, 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반에서 다른 한 선반으로 용기(F)를 반송 가능할 수 있다.More specifically, the
또한, 반송 로봇(110)에 설치된 로봇 암(111)은 다관절 로봇 암으로서, 파지된 용기(F)의 반송을 위해 반송 로봇(110)에서 수평 방향(Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 예컨대, 도시되진 않았지만, 반송 로봇(110)은, 로봇 암(111)을 Y축 방향으로 선형 이동시키기 위한 Y축 구동부(미도시)와, 로봇 암(111)을 Z축 방향으로 선형 이동시키기 위한 Z축 구동부(미도시) 및 로봇 암(111)을 회전시키기 위한 회전 구동부(미도시)를 로봇 암(111)을 구동하기 위한 구동부로 구비할 수 있다.In addition, the
상술한 바와 같이, 반송 로봇(110)의 로봇 암(111)은, 반송 로봇(110) 상에서 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반이나, 로드 포트(300)를 향해 이동 및 회전 가능하게 구성될 수 있으며, 포크 형태의 암을 이용하여, 용기(F)의 상부를 파지하여 용기(F)를 매달아 반송하거나, 용기(F)의 측면을 파지하여 반송할 수 있다.As described above, the
또한, 크레인부(120)는, 반송 로봇(110)을 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방으로, 즉, 수직 방향(Z축 방향)으로 승하강시킬 수 있다.Additionally, the
예컨대, 크레인부(120)는, 주행부(130) 상에 설치되어 수직 방향(Z축 방향)으로 길게 연장되게 형성되는 복수의 승하강 레일을 포함하도록 구성될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 복수의 승하강 레일은 LM 가이드와 같이, 반송 로봇(110)의 수직 방향(Z축 방향)으로의 선형 이동을 가이드할 수 있는 모든 종류의 레일 부재가 적용될 수 있다.For example, the
이에 따라, 반송 로봇(110)이 크레인부(120)의 상기 복수의 승하강 레일을 따라 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(수직 방향)으로 승하강할 수 있다.Accordingly, the
또한, 주행부(130)는, 크레인부(120)를 바디 프레임(200)의 전방 또는 후방으로, 즉, 수평 방향 중 X축 방향으로 슬라이딩 이동시킬 수 있다.Additionally, the traveling
예컨대, 주행부(130)는, 바디 프레임(200)의 내부에 반송 로봇(110)이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로(220)의 바닥면(221)에 이동 통로(220)의 연장 방향을 따라 X축 방향으로 길게 연장되게 형성되는 주행 레일(132) 및 주행 레일(132)을 따라 바디 프레임(200)의 전방 또는 후방으로 전후진 슬라이딩 이동할 수 있는 주행 플레이트(131)를 포함할 수 있다.For example, the traveling
더욱 구체적으로, 주행 레일(132)은, LM 가이드와 같이, 주행 플레이트(131)를 이동 통로(220)의 연장 방향인 X축 방향으로 선형 이동시킬 수 있는 모든 종류의 레일 부재가 적용될 수 있다. 또한, 주행 플레이트(131)는, 주행 레일(132)을 타고 이동할 수 있는 일종의 비히클과 같은 주행체로서 상면에 크레인부(120)를 지지하고, 주행 레일(132)의 연장 방향을 따라 주행함으로써 선형으로 슬라이딩 이동할 수 있다.More specifically, the traveling
이에 따라, 주행 플레이트(131)가 주행 레일(132)을 따라 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 X축 방향으로 주행하여 슬라이딩 이동함에 따라, 그 상면에 설치된 크레인부(120)에 구비된 반송 로봇(110) 또한, 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 X축 방향으로 전후진 이동할 수 있다.Accordingly, as the traveling
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 바디 프레임(200)은, 물품이 수납된 용기(F)를 적재하기 위한 복수의 선반(210)이 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향) 중 적어도 어느 한 방향 이상으로 형성될 수 있도록 프레임(Frame) 구조로 형성되되, 수직 방향(Z축 방향)으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체(201, 202)의 조합으로 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the
이때, 바디 프레임(200)의 하부를 이루는 프레임 구조체(201)는, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체(202)의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임(201a) 상단에 적어도 하나의 가이드 블록(400)이 형성될 수 있다.At this time, the
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이, 가이드 블록(400)은, 수직 프레임(201a)의 상단의 일측면에 설치되는 제 1 블록(410) 및 제 1 블록(410)과 수직한 방향으로 형성될 수 있도록, 수직 프레임(201a)의 상단의 타측면에 설치되는 제 2 블록(420)을 포함하여 구성됨으로써, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체(202)의 수직 프레임(202a)의 하단부가 수용되는 코너 벽부 형상을 이룰 수 있다.For example, as shown in FIG. 4, the
이러한, 제 1 블록(410) 및 제 2 블록(420)은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프레임 구조체(201)의 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체(202)의 상기 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 적어도 일부분에, 도킹 위치를 향해 소정의 각도로 경사지게 형성되는 가이드 경사면(SL-1)이 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the
예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임 구조체(201)의 상부에 다른 프레임 구조체(202)를 도킹 시, 프레임 구조체(201)를 향해 하강하는 다른 프레임 구조체(202)가 상기 도킹 위치의 정위치로부터 벗어난 상태로 하강하더라도, 도 7에 도시된 바와 같이, 가이드 블록(400)의 가이드 경사면(SL-1)과 접촉되어, 가이드 경사면(SL-1)을 타고 상기 도킹 위치의 정위치를 향해 경사지게 하강함으로써, 최종적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 도킹 위치의 정위치로 용이하게 안착될 수 있다.For example, as shown in FIG. 6, when docking another
이때, 다른 프레임 구조체(202)의 상기 도킹 위치의 정위치 안착을 더욱 효과적으로 가이드할 수 있도록, 도 9에 도시된 바와 같이, 다른 프레임 구조체(202)는, 프레임 구조체(201)의 상부에 도킹 시, 가이드 블록(400)에 의해 상기 도킹 위치가 가이드될 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임(202a) 하단에 가이드 블록(400)과 형합될 수 있는 적어도 하나의 안착 블록(430)이 형성될 수 있다.At this time, in order to more effectively guide the anchoring of the
이러한, 안착 블록(430)은, 가이드 블록(400)의 가이드 경사면(SL-1)과 동일한 경사 각도로 경사지게 형성되되 가이드 경사면(SL-1)과 반대 방향으로 경사지게 형성되어, 다른 프레임 구조체(202)가 프레임 구조체(201)의 상부에 도킹 시, 가이드 경사면(SL-1)에 안착될 수 있는 안착 경사면(SL-2)이 적어도 일부분에 형성될 수 있다.This
이에 따라, 도 10에 도시된 바와 같이, 프레임 구조체(201)의 상부에 다른 프레임 구조체(202)를 도킹 시, 프레임 구조체(201)를 향해 하강하는 다른 프레임 구조체(202)가 상기 도킹 위치의 정위치로부터 벗어난 상태로 하강하더라도, 가이드 블록(400)의 가이드 경사면(SL-1)과 안착 블록(430)의 안착 경사면(SL-2)과의 접촉에 의해, 안착 경사면(SL-2)이 가이드 경사면(SL-1)을 타고 다른 프레임 구조체(202)를 상기 도킹 위치의 정위치 방향으로 안내함으로써, 최종적으로, 다른 프레임 구조체(202)가 상기 도킹 위치의 정위치로 용이하게 안착될 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 10, when docking another
이외에도, 도 11에 도시된 바와 같이, 가이드 블록(400)의 제 1 블록(410) 및 제 2 블록(420)은, 가이드 경사면(SL-1)이 서로 다른 경사 각도로 경사지게 형성되는 2단 경사면으로 형성될 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 11, the
예컨대, 가이드 경사면(SL-1)은, 상기 2단 경사면 중, 상부에 위치한 상부 경사면(SL-1a)이 수평 방향(X축 방향 또는 Y축 방향)을 기준으로 제 1 각도(a1)로 경사지게 형성되고, 상부 경사면(SL-1a)의 하부에 위치한 하부 경사면(SL-1b)이 수평 방향(X축 방향 또는 Y축 방향)을 기준으로 제 1 각도(a1) 보다 큰 제 2 각도(a2)로 경사지게 형성될 수 있다.For example, the guide inclined surface SL-1 is such that the upper inclined surface SL-1a located at the top of the two-stage inclined surfaces is inclined at a first angle a1 based on the horizontal direction (X-axis direction or Y-axis direction). is formed, and the lower slope (SL-1b) located below the upper slope (SL-1a) has a second angle (a2) greater than the first angle (a1) relative to the horizontal direction (X-axis direction or Y-axis direction). It can be formed inclinedly.
이에 따라, 상측에서 바라봤을 때, 가이드 블록(400)의 가이드 경사면의 입구가 더 외곽으로 벌어지게 형성됨으로써, 프레임 구조체(201)의 상부에 다른 프레임 구조체(202)를 도킹 시, 프레임 구조체(201)를 향해 하강하는 다른 프레임 구조체(202)가 상기 도킹 위치의 정위치로부터 다소 많이 벗어난 상태로 하강하더라도, 우선 넓게 경사진 상부 경사면(SL-1a)과 접촉함으로써 가이드 블록(400)과 접촉되고, 최종적으로 좁게 경사진 하부 경사면(SL-1b)과 접촉함으로써 상기 도킹 위치의 정위치로 용이하게 안착될 수 있다.Accordingly, when viewed from above, the entrance of the guide inclined surface of the
또한, 도 12에 도시된 바와 같이, 프레임 구조체(201)는, 상부에 안착되는 다른 프레임 구조체(202)의 도킹 시, 상기 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임(201a) 상단에 가이드 핀(500)이 형성될 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 12, the
예컨대, 수직 프레임(201a, 202a)은, 압출 공정에 의해 성형되는 알루미늄 프로파일로서, 중심부에 관통홀부(H1, H2)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 가이드 핀(500)을 프레임 구조체(201) 측 수직 프레임(201a)의 중심부에 형성된 관통홀부(H1)에 삽입하면, 다른 프레임 구조체(202)가 프레임 구조체(201)를 향해 하강하여 도킹되는 과정에서, 상부로 돌출된 가이드 핀(500)의 상부 부분이 다른 프레임 구조체(202)의 관통홀부(H2)로 삽입되는 과정에서, 도 13에 도시된 바와 같이, 다른 프레임 구조체(202)의 상기 도킹 위치가 정위치로 안내될 수 있다.For example, the
이때, 가이드 핀(500)의 상단부에도, 상술한 가이드 블록(400)의 가이드 경사면(SL-1)과 동일한 목적으로, 가이드 경사면(SL-3)이 형성되어, 프레임 구조체(201)의 상부에 다른 프레임 구조체(202)를 도킹 시, 프레임 구조체(201)를 향해 하강하는 다른 프레임 구조체(202)가 상기 도킹 위치의 정위치로부터 벗어난 상태로 하강하더라도, 가이드 핀(500)의 상단부가 용이하게 다른 프레임 구조체(202)의 관통홀부(H2)로 삽입되도록 유도할 수 있다.At this time, a guide inclined surface (SL-3) is formed at the upper end of the
또한, 가이드 핀(500)의 견고한 고정을 위해, 가이드 핀(500)의 관통홀부(H1)에 삽입되는 부분을 태핑 나사(Tapping screw)로 형성하여, 가이드 핀(500)을 수직 프레임(201a)의 관통홀부(H1)에 삽입 시, 가이드 핀(500)을 회전시키면서 삽입하여 관통홀부(H1)의 내경면을 나사 깍기하면서 삽입되도록 할 수도 있다.In addition, in order to firmly fix the
이에 따라, 가이드 핀(500)의 하부 부분이 프레임 구조체(201)의 관통홀부(H1)에 나사 결합된 형태가 됨으로써, 가이드 핀(500)의 견고한 고정이 이루어질 수 있다.Accordingly, the lower portion of the
따라서, 본 발명의 여러 실시예에 따른 바디 프레임(200) 및 이를 포함하는 스토커(1000)에 따르면, 프레임 구조체(201)의 최외곽에 위치한 프레임 상단에 가이드 경사면(SL-1, SL-3)이 형성된 적어도 하나의 가이드 블록(400) 또는 가이드 핀(500)을 설치함으로써, 프레임 구조체(201)의 상부에 다른 프레임 구조체(202)의 도킹 시, 가이드 블록(400) 또는 가이드 핀(500)에 의해 다른 프레임 구조체(202)의 도킹 과정에서 도킹 위치가 정위치로 자연스럽게 안내될 수 있다.Therefore, according to the
그러므로, 프레임 구조체들(201, 202)의 도킹이 정위치에 정확하게 이루어지도록 유도할 수 있으며, 프레임 구조체들(201, 202)의 도킹 중 프레임 구조체들(201, 202)이 이탈하여 안전사고가 발생할 수 있는 위험성을 줄일 수 있고, 작업 과정에서 프레임 구조체들(201, 202)의 도킹 위치가 정위치로 자연스럽게 정렬됨으로써 작업시간을 획기적으로 줄일 수 있는 효과를 가질 수 있다.Therefore, the docking of the
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached patent claims.
1: 반도체 제조 장치
100: 이적재 유닛
110: 반송 로봇
111: 로봇 암
120: 크레인부
130: 주행부
131: 주행 플레이트
132: 주행 레일
200: 바디 프레임
201, 202: 프레임 구조체
201a, 202a: 수직 프레임
210: 복수의 선반
220: 이동 통로
221: 바닥면
300: 로드 포트
400: 가이드 블록
410: 제 1 블록
420: 제 2 블록
430: 안착 블록
500: 가이드 핀
1000: 스토커
S: 이송 시스템
A1: 제 1 설비 영역
A2: 제 2 설비 영역
A3: 제 3 설비 영역
R1: 제 1 반송 레일
R2: 제 2 반송 레일
R3: 이송 레일
R1-1: 제 1-1 가이드 레일
R1-2: 제 1-2 가이드 레일
R2-1: 제 2-1 가이드 레일
R2-2: 제 2-2 가이드 레일
F: 용기
SL-1: 가이드 경사면
SL-1a: 상부 경사면
SL-1b: 하부 경사면
SL-2: 안착 경사면
SL-3: 가이드 경사면
H1, H2: 관통홀부1: Semiconductor manufacturing equipment
100: Transfer unit
110: Transfer robot
111: Robot arm
120: Crane unit
130: Running unit
131: Running plate
132: Running rail
200: body frame
201, 202: frame structure
201a, 202a: vertical frame
210: Vengeance Lathe
220: moving passage
221: bottom surface
300: load port
400: Guide block
410: first block
420: second block
430: Seating block
500: Guide pin
1000: Stalker
S: conveying system
A1: First facility area
A2: Second facility area
A3: Third facility area
R1: first conveying rail
R2: second transport rail
R3: Transport rail
R1-1: 1-1 guide rail
R1-2: 1-2 guide rail
R2-1: 2-1 guide rail
R2-2: 2-2 guide rail
F: Courage
SL-1: Guide slope
SL-1a: Upper slope
SL-1b: lower slope
SL-2: Seating slope
SL-3: Guide slope
H1, H2: Through hole part
Claims (10)
상기 바디 프레임은,
상기 수직 방향으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체의 조합으로 형성되고,
상기 프레임 구조체는,
상부에 안착되는 다른 프레임 구조체의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 상단에 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀이 형성되는, 바디 프레임.In the body frame of the stocker, which is formed as a frame structure so that a plurality of shelves for loading containers containing goods can be formed in at least one of the horizontal and vertical directions,
The body frame is,
Formed by a combination of at least two frame structures that can be separated in the vertical direction,
The frame structure is,
A body frame in which at least one guide block or guide pin is formed on the top of the outermost vertical frame to guide the docking position when docking another frame structure seated on the top.
상기 가이드 블록은,
상기 수직 프레임의 상단의 일측면에 설치되는 제 1 블록; 및
상기 제 1 블록과 수직한 방향으로 형성될 수 있도록, 상기 수직 프레임의 상단의 타측면에 설치되는 제 2 블록;
을 포함하는, 바디 프레임.According to claim 1,
The guide block is,
A first block installed on one side of the top of the vertical frame; and
a second block installed on the other side of the top of the vertical frame so as to be formed in a direction perpendicular to the first block;
Including, body frame.
제 1 블록 및 상기 제 2 블록은,
상기 다른 프레임 구조체의 상기 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 적어도 일부분에, 상기 도킹 위치를 향해 소정의 각도로 경사지게 형성되는 가이드 경사면이 형성되는, 바디 프레임.According to claim 2,
The first block and the second block are,
A body frame wherein at least a portion of the body frame is formed with a guide inclined surface inclined at a predetermined angle toward the docking position so as to guide the docking position of the other frame structure.
상기 다른 프레임 구조체는,
상기 프레임 구조체의 상부에 도킹 시, 상기 가이드 블록에 의해 상기 도킹 위치가 가이드될 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 하단에 상기 가이드 블록과 형합될 수 있는 적어도 하나의 안착 블록이 형성되는, 바디 프레임.According to claim 3,
The other frame structures above are,
A body frame in which at least one seating block that can be fitted with the guide block is formed at the bottom of the outermost vertical frame so that the docking position can be guided by the guide block when docked to the upper part of the frame structure. .
상기 안착 블록은,
상기 가이드 경사면과 동일한 경사 각도로 경사지게 형성되되 상기 가이드 경사면과 반대 방향으로 경사지게 형성되어, 상기 다른 프레임 구조체가 상기 프레임 구조체의 상부에 도킹 시, 상기 가이드 경사면에 안착될 수 있는 안착 경사면이 적어도 일부분에 형성되는, 바디 프레임.According to claim 4,
The seating block is,
It is formed to be inclined at the same inclination angle as the guide inclined surface, but is inclined in a direction opposite to the guide inclined surface, so that when the other frame structure is docked on the upper part of the frame structure, at least a portion of the seating inclined surface that can be seated on the guide inclined surface is provided. Formed body frame.
상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록은,
상기 가이드 경사면이 서로 다른 경사 각도로 경사지게 형성되는 2단 경사면으로 형성되는, 바디 프레임.According to claim 3,
The first block and the second block are,
A body frame wherein the guide inclined surface is formed as a two-stage inclined surface inclined at different inclination angles.
상기 가이드 경사면은,
상기 2단 경사면 중 상부에 위치한 상부 경사면이 상기 수평 방향을 기준으로 제 1 각도로 경사지게 형성되고, 상기 상부 경사면의 하부에 위치한 하부 경사면이 상기 수평 방향을 기준으로 상기 제 1 각도 보다 큰 제 2 각도로 경사지게 형성되는, 바디 프레임.According to claim 6,
The guide slope is,
The upper slope located at the upper part of the two-stage slope is formed to be inclined at a first angle with respect to the horizontal direction, and the lower slope located below the upper slope is formed at a second angle greater than the first angle with respect to the horizontal direction. A body frame formed inclinedly.
상기 가이드 핀은,
상기 수직 프레임의 중심부에 형성된 관통홀부에 삽입되는, 바디 프레임.According to claim 1,
The guide pin is,
A body frame inserted into a through hole formed in the center of the vertical frame.
상기 가이드 핀은,
상기 수직 프레임의 상기 관통홀부에 삽입 시, 상기 관통홀부의 내경면을 나사 깎기할 수 있도록, 상기 관통홀부에 삽입되는 부분이 태핑 나사(Tapping screw)로 형성되는, 바디 프레임.According to claim 8,
The guide pin is,
A body frame wherein a portion inserted into the through-hole portion is formed of a tapping screw so that an inner diameter surface of the through-hole portion can be screwed when inserted into the through-hole portion of the vertical frame.
상기 바디 프레임의 일측에 형성되어, 상기 용기가 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트; 및
상기 바디 프레임 내부의 이동 통로에 설치되어, 상기 복수의 선반 중 어느 한 선반에 상기 용기를 로딩하거나 언로딩하는 이적재 유닛;을 포함하고,
상기 바디 프레임은,
상기 수직 방향으로 분리될 수 있는 적어도 2개의 프레임 구조체의 조합으로 형성되고,
상기 프레임 구조체는,
상부에 안착되는 다른 프레임 구조체의 도킹(Docking) 시, 도킹 위치를 가이드할 수 있도록, 최외곽에 위치한 수직 프레임 상단에 적어도 하나의 가이드 블록 또는 가이드 핀이 형성되는, 스토커.A body frame formed in a frame structure so that a plurality of shelves for loading containers containing goods can be formed in at least one of the horizontal and vertical directions;
a load port formed on one side of the body frame through which the container is loaded or unloaded; and
A transfer unit installed in a moving passage inside the body frame to load or unload the container onto one of the plurality of shelves,
The body frame is,
Formed by a combination of at least two frame structures that can be separated in the vertical direction,
The frame structure is,
A stocker in which at least one guide block or guide pin is formed on the top of the outermost vertical frame to guide the docking position when docking another frame structure mounted on the upper part.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220080849A KR20240002802A (en) | 2022-06-30 | 2022-06-30 | Body frame and stocker including same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220080849A KR20240002802A (en) | 2022-06-30 | 2022-06-30 | Body frame and stocker including same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20240002802A true KR20240002802A (en) | 2024-01-08 |
Family
ID=89533241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020220080849A KR20240002802A (en) | 2022-06-30 | 2022-06-30 | Body frame and stocker including same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20240002802A (en) |
-
2022
- 2022-06-30 KR KR1020220080849A patent/KR20240002802A/en unknown
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