KR101612414B1 - System for transferring product - Google Patents

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KR101612414B1
KR101612414B1 KR1020150037258A KR20150037258A KR101612414B1 KR 101612414 B1 KR101612414 B1 KR 101612414B1 KR 1020150037258 A KR1020150037258 A KR 1020150037258A KR 20150037258 A KR20150037258 A KR 20150037258A KR 101612414 B1 KR101612414 B1 KR 101612414B1
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fork
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arm
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KR1020150037258A
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최광열
송재연
문인호
이철휴
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주식회사 신성에프에이
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Abstract

The present invention relates to a system for transferring products, which comprises: a carriage vertically moving along an elevating profile; and a returning robot combined with the carriage to return a cassette. The returning robot comprises: an arm with a post combined on one side; an arm driving unit to move the arm forward or backward on a horizontal plane; a first fork placed on the top of the post and a second fork placed on the bottom of the post; and a cover placed to face the top end unit of the cassette loaded in the forks. The present invention can simultaneously return multiple cassettes; reduce the time used for transferring a cassette; and prevent damage to a product when a cassette falls while being returned when an emergency stop is made.

Description

물류 이송 시스템{System for transferring product}System for transferring product

본 발명은 물류 이송 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 다수 개의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 이송하는데 소요되는 공정시간(tact time)을 절약할 수 있으며, 긴급 정지 등의 이벤트 발생 시 탑재된 카세트의 추락을 방지할 수 있는 물류 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a logistics transfer system. More particularly, the present invention relates to a logistics transportation system capable of saving a tact time required for transporting a cassette on which a plurality of wafers are mounted, and preventing a fall of a loaded cassette when an event such as an emergency stop occurs will be.

근래에 반도체 제조 기술은 정보 통신 기술의 비약적인 발전에 따라 집적도, 신뢰도 및 처리 속도 등을 향상시키는 방향으로 발전되고 있다. 상기 반도체는 실리콘 단결정으로부터 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼를 제작하고, 상기 반도체 기판 상에 가공막을 형성하고, 상기 가공막을 전기적 또는 유전적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로서 제조된다.BACKGROUND ART [0002] In recent years, semiconductor manufacturing technology has been developed in a direction to improve integration degree, reliability and processing speed in accordance with the rapid development of information communication technology. The semiconductor is manufactured by manufacturing a silicon wafer used as a semiconductor substrate from a silicon single crystal, forming a processed film on the semiconductor substrate, and forming the processed film into a pattern having electrical or genetic characteristics.

상기 패턴들은 막 형성, 사진 식각, 연마, 이온 주입 등의 단위 공정들의 선택적 또는 반복적 수행에 따라 형성된다. 0.15㎛ 이하의 디자인 룰(design rule)을 요구하는 최근의 반도체 제조 공정에서 상기 단위 공정들에 적용되는 압력, 온도 등과 같은 공정 조건의 제어는 더욱 정밀하게 수행되어야 하며, 이를 위해 다양한 제어 장치의 개발이 활발하게 진행되고 있다. 또한, 대량 생산을 다수의 반도체 제조 장치가 제조 공정 라인에 구비되며, 이들의 동작 및 제어가 자동화되고 있는 추세이다.The patterns are formed according to selective or repetitive execution of unit processes such as film forming, photolithography, polishing, and ion implantation. In a recent semiconductor manufacturing process requiring a design rule of 0.15 탆 or less, control of process conditions such as pressure, temperature and the like applied to the unit processes must be performed more precisely. For this purpose, various control devices Is progressing actively. In addition, a large number of semiconductor manufacturing apparatuses are provided in a manufacturing process line in mass production, and their operation and control are being automated.

자동화에 대한 일 예로서, 상기 제조 공정을 수행하는 장치들이 구비되는 작업 공간(bay area)에서 반도체 기판을 이송하는 무인 반송대차(auto guided vehicle: AGV)등을 포함하는 이송 장치가 있다. 최근에는 무인 반송대차 뿐만 아니라 오버 헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport: OHT)를 이송에 적용하고 있다. As an example of automation, there is a transfer device including an auto guided vehicle (AGV) for transferring a semiconductor substrate in a bay area equipped with the devices for performing the manufacturing process. In recent years, overhead hoist transport (OHT) as well as unmanned conveyance bogies have been applied to transport.

종래 기술의 반도체 제조설비는, 다수개의 웨이퍼가 탑재된 카세트(예를 들어, FOUP: Front Opening Unified Pod)를 보관하는 스토커와 웨이퍼의 단위공정이 이루어지는 단위 공정 장치 사이에서 자동반송장치에 의해 카세트가 이송되도록 형성되어 있다. 자동반송장치는 무인 작업공간에서 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위 공정 장치 사이에서 카세트를 순차적으로 이동시킬 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] A conventional semiconductor manufacturing facility has a cassette (for example, a front opening unified pod (FOUP)) on which a plurality of wafers are mounted and a cassette Respectively. The automatic transport apparatus can sequentially move the cassettes between the stocker and the unit processing apparatus according to the program set in the unmanned work space.

그런데, 종래의 자동반송장치는 오직 하나의 카세트만을 순차적으로 이송하도록 구성되어 있어 카세트의 반송시간이 오래 걸리며, 긴급 정시 등의 이벤트가 발생할 경우 반송장치의 급제동에 의해 반송 중이던 카세트가 낙하하여 제품이 손상되는 문제가 있다.However, the conventional automatic conveying apparatus is configured to sequentially convey only one cassette, so that the conveying time of the cassette takes a long time, and when an event such as an emergency occurs, the cassette which is being conveyed by the sudden braking of the conveying apparatus drops, There is a problem that is damaged.

이러한 종래 기술의 문제점을 해결하여 카세트의 반송시간을 절감시킬 수 있고, 카세트의 낙하를 방지할 수 있는 기술의 등장이 요구되고 있는 실정이다.It is an object of the present invention to solve the problems of the prior art and to provide a technique for reducing the conveyance time of the cassette and preventing the cassette from dropping.

한국공개특허 제10-2008-0077372호(2008.08.22)Korean Patent Publication No. 10-2008-0077372 (Aug. 22, 2008)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 복수 개의 카세트를 동시에 반송시킬 수 있고, 반송 중이던 카세트의 낙하를 방지할 수 있는 물류 이송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a goods conveyance system capable of simultaneously conveying a plurality of cassettes and preventing a drop of a cassette while it is being conveyed.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 승강 프로파일을 따라 상하로 이동하는 캐리지와 상기 캐리지에 결합되어 카세트를 반송하는 반송로봇을 포함하되, 상기 반송로봇은 일측에 포스트가 결합되는 아암; 상기 아암을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부; 상기 포스트의 상부에 배치되는 제1포크와 상기 포스트의 하부에 배치되는 제2포크; 및 상기 캐리지에 결합되고, 저면이 상기 제1포크의 정위치에 안착된 상기 카세트의 상단부를 마주보도록 배치되는 제1커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류이송시스템을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus including: a carriage moving up and down along an elevation profile; and a conveying robot coupled to the carriage to convey the cassette, wherein the conveying robot includes: An arm driving unit for advancing or retracting the arm on a horizontal plane; A first fork disposed on an upper portion of the post and a second fork disposed on a lower portion of the post; And a first cover coupled to the carriage and having a bottom surface facing the top end of the cassette seated in place on the first fork.

이때, 상기 물류이송시스템은 상기 아암 구동부에 결합되고, 저면이 상기 제2포크의 정위치에 안착된 상기 카세트의 상단부를 마주보도록 배치되는 제2커버를 더 포함하며, 상기 포스트에는 상기 제1포크의 하부에 위치하여 상기 제2커버가 관통되는 슬릿이 형성된 것을 특징으로 한다.The transport system may further include a second cover coupled to the arm driving unit and disposed to face an upper end of the cassette, the bottom surface of which is seated at a predetermined position of the second fork, And a slit through which the second cover passes is formed.

또한, 상기 제1포크 및 상기 제2포크의 상부면에는 상기 카세트의 하부면에 접하여 상기 카세트를 상기 포크에 정위치시키는 핀이 구비되고, 상기 제1커버 또는 상기 제2커버의 하부면과 상기 카세트의 상단부 사이의 간격은 상기 핀의 높이보다 작은 것을 특징으로 한다.Further, the upper surface of the first fork and the second fork are provided with pins for positioning the cassette in contact with the lower surface of the cassette to the fork, and the lower surface of the first cover or the second cover, And the interval between the upper ends of the cassettes is smaller than the height of the pins.

또한, 상기 제1커버는 좌측과 우측 단부에 하방을 향해 돌출형성되는 커버 플랜지가 구비된 것을 특징으로 한다.The first cover may include a cover flange protruding downward at left and right ends thereof.

본 발명은 복수 개의 카세트를 동시에 반송하는 것이 가능하여 카세트의 이송에 소요되는 시간을 절감할 수 있으며, 긴급 정지 시 반송 중이던 카세트가 낙하하여 제품이 손상되는 것을 방지하는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to transport a plurality of cassettes at the same time, thereby reducing the time required for conveying the cassette, and preventing the cassette from falling down during the emergency stop and damaging the product.

도1 및 도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류이송시스템의 사시도이다.
도3은 반송로봇의 아암이 전진한 상태를 나타낸 사시도이다.
도4는 반송로봇의 아암이 후퇴한 상태를 나타낸 사시도이다.
도5는 카세트가 적재된 반송로봇의 아암이 전진한 상태를 나타낸 사시도이다.
도6은 카세트가 적재된 반송로봇의 아암이 후퇴한 상태를 나타낸 사시도이다.1 and 2 are perspective views of a logistics transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a state in which the arm of the carrying robot is advanced.
4 is a perspective view showing a state in which the arm of the carrying robot is retracted.
5 is a perspective view showing a state in which an arm of a conveying robot on which a cassette is loaded is advanced.
6 is a perspective view showing a state in which an arm of the carrying robot loaded with a cassette is retracted.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. Further, if it is determined that the gist of the present invention may be blurred, detailed description thereof will be omitted. Further, the preferred embodiments of the present invention will be described below, but it is needless to say that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be practiced by those skilled in the art.

도1 및 도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류이송시스템의 사시도이고, 도3은 반송로봇의 아암이 전진한 상태를 나타낸 사시도이며, 도4는 반송로봇의 아암이 후퇴한 상태를 나타낸 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view showing a state in which an arm of a transport robot is advanced, FIG. 4 is a view showing a state in which an arm of a transport robot is retracted, and FIG. It is a perspective view.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류이송시스템(100)은 승강 프로파일(110)을 따라 상하로 수직이동하는 캐리지(120)와 캐리지(120)에 결합되어 카세트(10)를 반송하는 반송로봇(130) 및 반송로봇(130)에 적재된 카세트(10)의 낙하를 방지하는 커버(150,155)를 포함한다.The logistics transfer system 100 according to the preferred embodiment of the present invention includes a carriage 120 that vertically moves up and down along an elevation profile 110 and a conveyance robot 130 that is coupled to the carriage 120 to convey the cassette 10 And covers 150 and 155 for preventing the cassette 10 loaded on the carrying robot 130 from dropping.

여기서 카세트(10)는 다수 개의 웨이퍼가 탑재된 전면 개방 일체형 포드(FOUP: Front Open Unified Pod)일 수 있으며, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류이송시스템(100)은 반도체 제조 시설에서 이용될 수 있는 것이다.The cassette 10 may be a front open unified pod (FOUP) on which a plurality of wafers are mounted, and the logistics transfer system 100 according to the preferred embodiment of the present invention may be used in a semiconductor manufacturing facility It is.

구체적으로 반송로봇(130)은 아암(132)에 구동력을 전달하여 아암(132)을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부(134)를 구비하고, 아암(132)의 일측에는 포스트(136)가 결합된다.Specifically, the carrying robot 130 includes an arm driving unit 134 that transmits a driving force to the arm 132 to move the arm 132 forward or backward on a horizontal plane, and a post 136 is coupled to one side of the arm 132 do.

이때, 아암(132)은 수평면 상에서 작동하는 관절아암으로 구현될 수 있다.At this time, the arm 132 may be embodied as a joint arm operating on a horizontal plane.

포스트(136)에는 카세트(10)가 적재되는 2개의 포크(138,140)가 포스트(136)의 상하방향으로 배치되는데, 구체적으로 2개의 포크(138,140)는 포스트(136)의 상부에 배치되는 제1포크(138)와 포스트(136)의 하부에 배치되는 제2포크(140)로 이루어진다.Two forks 138 and 140 on which the cassette 10 is loaded are disposed in the post 136 in the up and down direction of the post 136. Specifically, the two forks 138 and 140 are disposed in the upper portion of the post 136, And a fork 138 and a second fork 140 disposed at a lower portion of the post 136.

상하방향으로 배치되는 제1포크(138)와 제2포크(140)에는 각각 카세트(10)가 적재되는데, 이때, 제1포크(138)와 제2포크(140)는 제2포크(140)에 적재되는 카세트(10)가 제1포크(138)에 간섭받지 않도록 충분한 이격거리를 두고 배치된다.The first fork 138 and the second fork 140 are mounted on the second fork 140. The first fork 138 and the second fork 140 are mounted on the first fork 138 and the second fork 140, The cassette 10 is placed at a sufficient distance from the first fork 138 so as not to interfere with the first fork 138. [

각 포크(138,140)의 상부면에는 적재된 카세트(10)의 하부면에 접하여 정위치를 잡아주는 핀(142)이 설치된다.The upper surface of each of the forks 138 and 140 is provided with a pin 142 that contacts the lower surface of the loaded cassette 10 to hold it in place.

또한, 포스트(136)에는 제1포크(138)의 하부에 위치하여 후술하는 제2커버(155)가 관통되는 슬릿(144)이 형성된다.The post 136 is formed with a slit 144, which is positioned below the first fork 138 and through which the second cover 155 described later passes.

반송로봇(130)에 적재된 카세트(10)의 낙하를 방지하는 커버(150,155)들은 제1커버(150)와 제2커버(155)로 이루어진다.The covers 150 and 155 for preventing the cassette 10 from dropping on the carrying robot 130 are composed of a first cover 150 and a second cover 155.

제1커버(150)는 평판형태로 형성되어 캐리지(120)에 결합된 제1지지대(152)에 연결되고, 저면이 제1포크(138)의 정위치에 안착된 카세트(10)의 상단부(12)를 마주보도록 배치된다.The first cover 150 is formed in the shape of a flat plate and is connected to a first support 152 coupled to the carriage 120 and has an underside for receiving the upper end of the cassette 10 12, respectively.

제2커버(155)는 슬릿(144)을 통과할 수 있는 평판의 형태로 형성된다. 이러한 제2커버(155)는 아암 구동부(134)에 결합되는 제2지지대(157)에 연결되고, 저면이 제2포크(140)의 정위치에 안착된 카세트(10)의 상단부(12)를 마주보도록 배치된다.The second cover 155 is formed in the form of a plate through which the slit 144 can pass. The second cover 155 is connected to the second support 157 coupled to the arm driving unit 134 and has an upper end 12 of the cassette 10 whose bottom surface is seated in the correct position of the second fork 140 Respectively.

이때, 제1커버(150)는 제1커버(150)의 하부면과 제1포크(138)에 적재된 카세트(10)의 상단부(12) 사이의 간격이 제1포크(138)에 구비된 핀(142)의 높이보다 작은 상태가 되도록 위치시킨다(도6 참고).The first cover 150 may be provided with a gap between the lower surface of the first cover 150 and the upper end 12 of the cassette 10 loaded on the first fork 138, So as to be smaller than the height of the pin 142 (see FIG. 6).

이렇게 함으로써 긴급 정지 등의 이벤트 발생으로 인해 이송 중이던 카세트(10)가 흔들리더라도 제1커버(150)가 카세트(10)에 접하여 카세트(10)의 기울어짐을 방지함으로써 카세트(10)의 낙하를 예방할 수 있게 되는 것이다.The first cover 150 prevents the cassette 10 from tilting by contacting the cassette 10 even if the cassette 10 being conveyed due to the occurrence of an emergency stop or the like is wobbled to prevent the cassette 10 from falling It will be possible.

이와 마찬가지로 제2커버(155)는 제2커버(155)의 하부면과 제2포크(140)에 적재된 카세트(10)의 상단부(12) 사이의 간격이 제2포크(140)에 구비된 핀(142)의 높이보다 작은 상태가 되도록 위치된다.Likewise, the second cover 155 has a gap between the lower surface of the second cover 155 and the upper end 12 of the cassette 10 loaded on the second fork 140, Is smaller than the height of the pin (142).

이를 위해 제2커버(155)가 관통되는 슬릿(144)의 위치 또는 슬릿(144)의 크기가 조절될 수 있음은 물론이다.The position of the slit 144 through which the second cover 155 penetrates or the size of the slit 144 can be adjusted.

또한, 제1커버(150)는 카세트(10)의 흔들림을 더욱 효과적으로 방지하기 위해 좌측과 우측 단부에 하방을 향해 돌출형성되는 커버 플랜지(154)가 더 구비될 수 있다.The first cover 150 may further include a cover flange 154 protruding downward at left and right ends to more effectively prevent the cassette 10 from shaking.

도시하지는 않았으나, 커버 플랜지(154)는 제2커버(155)의 좌측과 우측 단부에도 형성될 수 있으며, 제2커버(155)에 형성된 커버 플랜지(154)가 포스트(136)에 간섭되지 않도록 슬릿(144)의 상하 폭이 조절될 수 있다.Although not shown, the cover flange 154 can also be formed on the left and right ends of the second cover 155, and the cover flange 154 formed on the second cover 155 can be slit- The upper and lower widths of the upper and lower protrusions 144 can be adjusted.

도5는 카세트가 적재된 반송로봇의 아암이 전진한 상태를 나타낸 사시도이고, 도6은 카세트가 적재된 반송로봇의 아암이 후퇴한 상태를 나타낸 사시도이다.Fig. 5 is a perspective view showing a state in which an arm of a carrying robot loaded with a cassette is advanced, and Fig. 6 is a perspective view showing a state in which an arm of the carrying robot carrying a cassette is retracted.

도5에 도시된 바와 같이 반송 로봇(130)은 아암 구동부(134)를 작동시키고, 이에 의해 아암(132)이 전진하여 제1포크(138) 및 제2포크(140)가 반송로봇(130)의 전단에 배치된 컨베이어 장치(미도시)에 의해 상하로 배치된 2개의 카세트(10)들의 하부로 각각 진입함으로써 카세트(10)들을 적재시킨다.5, the carrying robot 130 actuates the arm driving unit 134 so that the arm 132 is moved forward to move the first fork 138 and the second fork 140 to the carrying robot 130, (Not shown) disposed at the front end of the cassette 10, thereby loading the cassettes 10, respectively.

카세트(10)들이 각각 제1포크(138) 및 제2포크(140)에 안착되면, 도6에 도시된 바와 같이 아암 구동부(134)가 카세트(10)들이 적재된 상태로 아암(110)을 후퇴시킨다.When the cassettes 10 are seated on the first fork 138 and the second fork 140 respectively, the arm driving part 134 moves the arm 110 in a state in which the cassettes 10 are loaded, as shown in FIG. Retreat.

이때, 제2커버(155)는 포스트(136)에 형성된 슬릿(144)을 통과하게 됨으로써 제2커버(155)와 포스트(136) 간의 충돌 또는 기구적 간섭을 피할 수 있게 되는 것이다.At this time, the second cover 155 passes through the slit 144 formed in the post 136, so that collision or mechanical interference between the second cover 155 and the post 136 can be avoided.

한편, 도시하지는 않았으나, 제1지지대(152)와 제2지지대(157)에는 카세트(10)의 좌측면과 우측면을 둘러싸도록 하는 하우징을 구비할 수 있으며, 이를 통해 비상 시 카세트(10)의 낙하를 더욱 효율적으로 방지하도록 하는 것이 가능하다.The first support 152 and the second support 157 may include a housing that surrounds the left and right sides of the cassette 10 so that the fall of the cassette 10 during an emergency Can be prevented more efficiently.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류이송시스템(100)은 복수 개의 카세트(10)를 동시에 반송하는 것이 가능하여 카세트(10)의 이송에 소요되는 시간을 절감할 수 있으며, 긴급 정지 시 반송 중이던 카세트(10)가 낙하하여 제품이 손상되는 것을 방지할 수 있어 매우 유용한 것이다.As described above, the logistics transport system 100 according to the preferred embodiment of the present invention can transport a plurality of cassettes 10 at the same time, thereby reducing the time required for transporting the cassette 10, It is possible to prevent the cassette 10, which is being transported during transportation, from falling and damaging the product, which is very useful.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate and not to limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and accompanying drawings. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 카세트 12: 상단부
100: 물류이송시스템
110: 승강 프로파일 120: 캐리지
130: 반송로봇 132: 아암
134: 아암 구동부 136: 포스트
138: 제1포크 140: 제2포크
142: 핀 144: 슬릿
150: 제1커버 152: 제1지지대
154: 커버 플랜지 155: 제2커버
157: 제2지지대10: cassette 12: upper part
100: Logistics transportation system
110: lift profile 120: carriage
130: conveying robot 132: arm
134: arm drive part 136: post
138: first fork 140: second fork
142: pin 144: slit
150: first cover 152: first support
154: cover flange 155: second cover
157: second support

Claims (4)

승강 프로파일을 따라 상하로 이동하는 캐리지와 상기 캐리지에 결합되어 카세트를 반송하는 반송로봇을 포함하는 물류이송시스템에 있어서,
상기 반송로봇은
일측에 포스트가 결합되는 아암;
상기 아암을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부;
상기 포스트의 상부에 배치되는 제1포크와 상기 포스트의 하부에 배치되는 제2포크; 및
상기 캐리지에 결합되고, 저면이 상기 제1포크의 정위치에 안착된 상기 카세트의 상단부를 마주보도록 배치되는 제1커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류이송시스템.A transportation system comprising: a carriage which moves up and down along a lift profile; and a transport robot which is coupled to the carriage and carries a cassette,
The conveying robot
An arm to which a post is coupled on one side;
An arm driving unit for advancing or retracting the arm on a horizontal plane;
A first fork disposed on an upper portion of the post and a second fork disposed on a lower portion of the post; And
And a first cover coupled to the carriage and having a bottom surface facing the top of the cassette seated in place on the first fork. 제1항에 있어서,
상기 아암 구동부에 결합되고, 저면이 상기 제2포크의 정위치에 안착된 상기 카세트의 상단부를 마주보도록 배치되는 제2커버를 더 포함하며,
상기 포스트에는 상기 제1포크의 하부에 위치하여 상기 제2커버가 관통되는 슬릿이 형성된 것을 특징으로 하는 물류이송시스템.The method according to claim 1,
And a second cover coupled to the arm drive and disposed to face an upper end of the cassette, the bottom surface of which is seated in place on the second fork,
And a slit is formed in the post at a lower portion of the first fork and through which the second cover passes. 제2항에 있어서,
상기 제1포크 및 상기 제2포크의 상부면에는 상기 카세트의 하부면에 접하여 상기 카세트를 정위치시키는 핀이 구비되고,
상기 제1커버 또는 상기 제2커버의 하부면과 상기 카세트의 상단부 사이의 간격은 상기 핀의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 물류이송시스템.3. The method of claim 2,
Wherein the upper surface of the first fork and the upper surface of the second fork are provided with pins for positioning the cassette in contact with the lower surface of the cassette,
And the distance between the lower surface of the first cover or the second cover and the upper end of the cassette is smaller than the height of the pin. 제2항에 있어서,
상기 제1커버 또는 상기 제2커버는
좌측과 우측 단부에 하방을 향해 돌출형성되는 커버 플랜지가 구비된 것을 특징으로 하는 물류이송시스템.3. The method of claim 2,
The first cover or the second cover
And a cover flange protruding downward from the left and right ends of the cover flange.
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