KR101603926B1 - System for transferring product - Google Patents

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문인호
이철휴
최광열
송재연
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주식회사 신성에프에이
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Abstract

본 발명은 물류 이송 시스템에 관한 것으로, 제1카세트와 제2카세트를 정위치까지 이송시키는 컨베이어; 상기 정위치로 이송된 상기 제1카세트를 파지하여 들어올리는 리프팅부; 및 들어올려진 상기 제1카세트와 상기 컨베이어에 의해 상기 제1카세트에 후속하여 상기 정위치로 이송된 제2카세트를 적재하여 반송하는 반송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템을 제공한다. 이러한 본 발명은 복수 개의 카세트를 동시에 반송하는 것이 가능하여 카세트의 이송에 소요되는 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a logistics transfer system, comprising: a conveyor for transferring a first cassette and a second cassette to a predetermined position; A lifting unit for holding and lifting the first cassette conveyed to the predetermined position; And a transport robot for loading and transporting the first cassette lifted and the second cassette transported to the correct position following the first cassette by the conveyor. According to the present invention, a plurality of cassettes can be transported at the same time, thereby reducing the time required for transporting the cassettes.

Description

물류 이송 시스템{System for transferring product}System for transferring product

본 발명은 물류 이송 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수 개의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 이송하는데 소요되는 공정시간(tact time)을 절약할 수 있는 물류 이송 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a logistics transfer system, and more particularly, to a logistics transfer system capable of saving a tact time required for transferring a cassette on which a plurality of wafers are mounted.

근래에 반도체 제조 기술은 정보 통신 기술의 비약적인 발전에 따라 집적도, 신뢰도 및 처리 속도 등을 향상시키는 방향으로 발전되고 있다. 상기 반도체는 실리콘 단결정으로부터 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼를 제작하고, 상기 반도체 기판 상에 가공막을 형성하고, 상기 가공막을 전기적 또는 유전적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로서 제조된다.BACKGROUND ART [0002] In recent years, semiconductor manufacturing technology has been developed in a direction to improve integration degree, reliability and processing speed in accordance with the rapid development of information communication technology. The semiconductor is manufactured by manufacturing a silicon wafer used as a semiconductor substrate from a silicon single crystal, forming a processed film on the semiconductor substrate, and forming the processed film into a pattern having electrical or genetic characteristics.

상기 패턴들은 막 형성, 사진 식각, 연마, 이온 주입 등의 단위 공정들의 선택적 또는 반복적 수행에 따라 형성된다. 0.15㎛ 이하의 디자인 룰(design rule)을 요구하는 최근의 반도체 제조 공정에서 상기 단위 공정들에 적용되는 압력, 온도 등과 같은 공정 조건의 제어는 더욱 정밀하게 수행되어야 하며, 이를 위해 다양한 제어 장치의 개발이 활발하게 진행되고 있다. 또한, 대량 생산을 다수의 반도체 제조 장치가 제조 공정 라인에 구비되며,이들의 동작 및 제어가 자동화되고 있는 추세이다.The patterns are formed according to selective or repetitive execution of unit processes such as film forming, photolithography, polishing, and ion implantation. In a recent semiconductor manufacturing process requiring a design rule of 0.15 탆 or less, control of process conditions such as pressure, temperature and the like applied to the unit processes must be performed more precisely. For this purpose, various control devices Is progressing actively. In addition, a large number of semiconductor manufacturing apparatuses are provided in a manufacturing process line in mass production, and their operation and control are being automated.

자동화에 대한 일 예로서, 상기 제조 공정을 수행하는 장치들이 구비되는 작업 공간(bay area)에서 반도체 기판을 이송하는 무인 반송대차(auto guided vehicle: AGV)등을 포함하는 이송 장치가 있다. 최근에는 무인 반송대차 뿐만 아니라 오버 헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport: OHT)를 이송에 적용하고 있다. As an example of automation, there is a transfer device including an auto guided vehicle (AGV) for transferring a semiconductor substrate in a bay area equipped with the devices for performing the manufacturing process. In recent years, overhead hoist transport (OHT) as well as unmanned conveyance bogies have been applied to transport.

종래 기술의 반도체 제조설비는, 다수개의 웨이퍼가 탑재된 카세트(예를 들어, FOUP: Front Opening Unified Pod)를 보관하는 스토커와 웨이퍼의 단위공정이 이루어지는 단위 공정 장치 사이에서 자동반송장치에 의해 카세트가 이송되도록 형성되어 있다. 자동반송장치는 무인 작업공간에서 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위 공정 장치 사이에서 카세트를 순차적으로 이동시킬 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] A conventional semiconductor manufacturing facility has a cassette (for example, a front opening unified pod (FOUP)) on which a plurality of wafers are mounted and a cassette Respectively. The automatic transport apparatus can sequentially move the cassettes between the stocker and the unit processing apparatus according to the program set in the unmanned work space.

그런데, 종래의 자동반송장치는 오직 하나의 카세트만을 순차적으로 이송하도록 구성되어 있어 카세트의 반송시간이 오래걸리는 문제점이 있으며, 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하여 카세트의 반송시간을 절감시킬 기술의 등장이 요구되고 있는 실정이다.However, since the conventional automatic conveying apparatus is configured to sequentially convey only one cassette, the conveying time of the cassette takes a long time. In order to solve the problems of the related art, It is a fact that is demanded.

한국공개특허 제10-2008-0077372호(2008.08.22)Korean Patent Publication No. 10-2008-0077372 (Aug. 22, 2008)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 복수 개의 카세트를 동시에 반송시킬 수 있는 물류 이송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a goods conveyance system capable of simultaneously conveying a plurality of cassettes in order to solve the above problems.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 제1카세트와 제2카세트를 정위치까지 이송시키는 컨베이어; 상기 정위치로 이송된 상기 제1카세트를 파지하여 들어올리는 리프팅부; 및 들어올려진 상기 제1카세트와 상기 컨베이어에 의해 상기 제1카세트에 후속하여 상기 정위치로 이송된 제2카세트를 적재하여 반송하는 반송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a conveyor for conveying a first cassette and a second cassette to a predetermined position. A lifting unit for holding and lifting the first cassette conveyed to the predetermined position; And a transport robot for loading and transporting the first cassette lifted and the second cassette transported to the correct position following the first cassette by the conveyor.

여기서 상기 반송 로봇은 일측에 포스트가 결합되는 아암; 및 상기 아암에 구동력을 전달하여 상기 아암을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부를 구비하고, 상기 포스트에는 들어올려진 상기 제1카세트가 적재되는 제1포크와 상기 컨베이어의 상기 정위치로 이송된 상기 제2카세트가 적재되는 제2포크가 결합된 것을 특징으로 한다.The conveying robot includes an arm coupled to a post on one side thereof; And an arm driving part for moving the arm forward or backward on a horizontal plane by transmitting a driving force to the arm, wherein the post includes a first fork on which the first cassette is lifted and a second fork And a second fork on which two cassettes are stacked.

또한, 상기 리프팅부는 상기 제1카세트를 파지하기 위한 핑거를 구비한 그립퍼; 및 상기 그립퍼를 승강시키는 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The lifting unit may include a gripper having a finger for gripping the first cassette; And a gripper driving unit for moving the gripper up and down.

또한, 상기 컨베이어는 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 가이드 레일; 각각의 상기 가이드 레일에 장착되고, 구동장치에 의해 구동력을 전달받아 회전하는 풀리 어셈블리; 상기 풀리 어셈블리에 체결되어 회전하며 상기 정위치를 향해 상기 제1카세트와 상기 제2카세트를 이송시키는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the conveyor may include a pair of guide rails disposed opposite to each other; A pulley assembly mounted to each of the guide rails and rotated by receiving a driving force by a driving device; And a drive belt that is coupled to the pulley assembly and rotates to feed the first cassette and the second cassette toward the predetermined position.

또한, 상기 컨베이어는 상기 제1카세트 또는 상기 제2카세트가 상기 정위치에 위치한 경우, 이를 감지하여 상기 구동장치의 작동을 정지시키는 정위치 감지센서를 구비할 수 있다.In addition, the conveyor may include a stationary position sensor that senses the first cassette or the second cassette when the first cassette or the second cassette is positioned to stop the operation of the driving apparatus.

또한, 상기 반송 로봇은 상기 리프팅부에 의해 들어올려진 상기 제1카세트의 하부로 상기 제1포크가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제1높이 감지센서; 및 상기 정위치에 배치된 상기 제2카세트의 하부로 상기 제2포크가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제2높이 감지센서를 구비할 수 있다.The transport robot may further include a first height detection sensor for detecting whether the first fork can enter the lower portion of the first cassette lifted by the lifting unit. And a second height sensing sensor for sensing whether the second fork can enter the lower portion of the second cassette disposed at the predetermined position.

또한, 상기 제1높이 감지센서의 감지결과 상기 제1카세트의 하부로 상기 제1포크가 진입할 수 없는 경우, 상기 그립퍼는 상기 제1포크가 상기 제1카세트의 하부로 진입할 수 있도록 상기 제1카세트의 높이를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, if the first fork can not enter the lower portion of the first cassette as a result of the detection of the first height sensor, the gripper may move the first fork to the lower portion of the first cassette, And the height of one cassette is adjusted.

또한, 상기 컨베이어는 상기 정위치로 이송된 상기 제2카세트의 높이를 조절하는 높이 조절부를 구비하고, 상기 제2높이 감지센서의 감지결과 상기 제2카세트의 하부로 상기 제2포크가 진입할 수 없는 경우, 상기 높이 조절부는 상기 제2포크가 상기 제2카세트의 하부로 진입할 수 있도록 상기 제2카세트의 높이를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the conveyor may include a height adjuster for adjusting the height of the second cassette conveyed to the correct position, and the second height sensor may sense that the second fork can enter the lower portion of the second cassette The height adjuster adjusts the height of the second cassette so that the second fork can enter the lower portion of the second cassette.

또한, 상기 제1높이 감지센서와 상기 제2높이 감지센서가 각각 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트의 하부로 상기 제1포크와 상기 제2포크가 진입할 수 있음을 감지한 경우, 상기 반송 로봇은 상기 아암을 전진시켜 상기 제1포크 및 상기 제2포크를 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트의 하부로 진입시키는 것을 특징으로 한다.When the first height detecting sensor and the second height detecting sensor detect that the first fork and the second fork can enter the lower portion of the first cassette and the second cassette respectively, The robot advances the arm so that the first fork and the second fork enter the lower portion of the first cassette and the second cassette.

또한, 상기 제1포크와 상기 제2포크가 각각 상기 제1카세트와 상기 제2카세트의 하부에 진입한 상태에서 상기 그립퍼와 상기 높이 조절부는 각각 상기 제1카세트와 상기 제2카세트를 하강시켜 상기 제1포크와 상기 제2포크의 상부에 안착되도록 하고, 상기 핑거는 상기 제1카세트의 파지를 해제하는 것을 특징으로 한다.In addition, the gripper and the height adjuster lower the first cassette and the second cassette, respectively, while the first fork and the second fork enter the lower portion of the first cassette and the second cassette, respectively, And the second finger is seated on the first fork and the second fork, and the finger disengages the first cassette.

또한, 상기 반송 로봇은 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트가 각각 상기 제1포크 및 제2포크에 안착되었는지 여부를 감지하는 안착 감지센서를 구비하고, 상기 안착 감지센서에 의해 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트가 각각 상기 제1포크 및 제2포크에 안착된 것이 감지되면, 상기 아암은 상기 카세트들이 적재된 상태로 후퇴하는 것을 특징으로 한다.It is preferable that the carrying robot include a seating detection sensor for detecting whether the first cassette and the second cassette are respectively seated on the first fork and the second fork, When it is detected that the second cassette is seated on the first fork and the second fork, respectively, the arm is retracted with the cassettes loaded.

본 발명은 복수 개의 카세트를 동시에 반송하는 것이 가능하여 카세트의 이송에 소요되는 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a plurality of cassettes can be transported at the same time, thereby reducing the time required for transporting the cassettes.

도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템의 사시도이다.
도2는 반송 로봇의 사시도이다.
도3은 컨베이어와 리프팅부의 사시도이다.
도4는 카세트가 컨베이어의 정위치에 배치된 상태를 도시한 사시도이다.
도5는 컨베이어의 정위치에 배치된 카세트를 그립퍼가 파지한 상태를 도시한 사시도이다.
도6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템을 통해 2개의 카세트가 반송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view of a logistics transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the carrying robot.
3 is a perspective view of the conveyor and the lifting portion;
Fig. 4 is a perspective view showing a state in which the cassette is disposed at a predetermined position of the conveyor. Fig.
5 is a perspective view showing a state in which a gripper grips a cassette disposed at a predetermined position of the conveyor.
6 is a view for explaining a process in which two cassettes are transported through a logistics transport system according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. Further, if it is determined that the gist of the present invention may be blurred, detailed description thereof will be omitted. Further, the preferred embodiments of the present invention will be described below, but it is needless to say that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be practiced by those skilled in the art.

도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템의 사시도이다.1 is a perspective view of a logistics transfer system according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)은 승강 장치(1)에 구비되는 승강 레일(2)을 따라 상하로 수직이동하며 카세트(6,7)를 이송하는 반송 로봇(100)과, 반송 로봇(100)에 카세트(6,7)가 적재될 수 있도록 카세트(6,7)를 수평이동시키는 컨베이어(200) 및 반송 로봇(100)에 2개의 카세트(6,7)가 적재될 수 있도록 컨베이어(200)에 의해 이동된 제1카세트(6)를 들어올리는 리프팅부(300)를 포함한다.The logistics transport system 10 according to the preferred embodiment of the present invention includes a transportation robot 100 that vertically moves up and down along the lifting rail 2 provided in the lifting device 1 and transports the cassettes 6 and 7, A conveyor 200 for horizontally moving the cassettes 6 and 7 so that the cassettes 6 and 7 can be loaded on the carrying robot 100 and two cassettes 6 and 7 are loaded on the carrying robot 100 And a lifting unit 300 for lifting the first cassette 6 moved by the conveyor 200 so that the first cassette 6 is lifted.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)은 컨베이어(200)에 의해 제1카세트(6)와 제2카세트(7)가 정위치까지 이송되면, 리프팅부(300)가 정위치로 이송된 제1카세트(6)를 파지하여 들어올리고, 반송 로봇(100)은 들어올려진 제1카세트(6)와 컨베이어(200)에 의해 제1카세트(6)에 후속하여 정위치로 이송된 제2카세트(7)를 적재하여 반송하는 것이다.When the first cassette 6 and the second cassette 7 are conveyed to a predetermined position by the conveyor 200, the lifting and conveying system 10 according to the preferred embodiment of the present invention can move the lifting unit 300 to a predetermined position And the carrying robot 100 moves the first cassette 6 and the second cassette 6 transferred to the first cassette 6 by the conveyed first cassette 6 and the first cassette 6, The second cassette 7 is loaded and transported.

여기서 제1카세트(6)와 제2카세트(7)는 컨베이어(200)에 진입된 순서에 따라 제1, 제2로 구분된 동일한 형태의 카세트(6,7)로써 다수 개의 웨이퍼가 탑재된 전면 개방 일체형 포드(FOUP: Front Opening Unified Pod)일 수 있으며, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)은 반도체 제조 시설에서 이용될 수 있는 것이다.The first cassette 6 and the second cassette 7 are cassettes 6 and 7 of the same type divided into first and second groups according to the order in which the first cassette 6 and the second cassette 7 enter the conveyor 200, And may be a front opening unified pod (FOUP), and the logistics transfer system 10 according to the preferred embodiment of the present invention can be used in a semiconductor manufacturing facility.

또한, 상기 정위치라 함은 반송 로봇(100)의 포크(132,134)가 카세트(6,7)의 하부로 진입하여 카세트(6,7)가 포크(132,134)에 적재될 수 있도록 컨베이어(200) 상에서 카세트(6,7)가 배치되는 위치를 말한다.The term " perpendicularity " means that the fork 132,134 of the conveying robot 100 enters the lower portion of the cassettes 6 and 7 and is mounted on the conveyor 200 so that the cassettes 6 and 7 can be loaded on the forks 132 and 134 Refers to a position where the cassettes 6 and 7 are disposed.

도2는 반송 로봇의 사시도이다. 이하, 도2를 참고하여 반송 로봇(100)을 더욱 상세하게 설명한다.2 is a perspective view of the carrying robot. Hereinafter, the carrying robot 100 will be described in more detail with reference to Fig.

반송 로봇(100)은 아암(110)에 구동력을 전달하여 아암(110)을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부(120)를 구비하고, 아암(110)의 일측에는 포스트(130)가 결합된다.The carrying robot 100 includes an arm driving unit 120 that transmits a driving force to the arm 110 to move the arm 110 forward or backward on a horizontal plane and a post 130 is coupled to one side of the arm 110.

이때, 아암(110)은 수평면 상에서 작동하는 관절아암으로 구현될 수 있다.At this time, the arm 110 may be embodied as a joint arm operating on a horizontal plane.

포스트(130)에는 리프팅부(300)에 의해 들어올려진 제1카세트(6)가 적재되는 제1포크(132)와 컨베이어(200)의 상기 정위치로 이송된 상기 제2카세트가 적재되는 제2포크(134)가 결합된다.The post 130 is provided with a first fork 132 on which the first cassette 6 lifted by the lifting part 300 is loaded and a second fork 132 on which the second cassette conveyed to the correct position of the conveyor 200 is loaded The fork 134 is engaged.

제1포크(132)와 제2포크(134)는 상하방향으로 배치되어 각각 제1카세트(6)와 제2카세트(7)를 적재한다. 이때, 제1포크(132)와 제2포크(134)는 그 사이에 제2카세트(7)가 배치될 수 있도록 충분한 이격거리를 가지고 배치된다.The first fork 132 and the second fork 134 are arranged in the vertical direction to load the first cassette 6 and the second cassette 7, respectively. At this time, the first fork 132 and the second fork 134 are disposed with a sufficient separation distance so that the second cassette 7 can be disposed therebetween.

도2에서 제1포크(132)와 제2포크(134)는 평평한 플레이트의 형태로 형성되어 있으나, 카세트(6,7)를 적재할 수 있는 형태라면 어떠한 형태로 형성되어도 무방하다.In FIG. 2, the first fork 132 and the second fork 134 are formed in the form of a flat plate, but may be formed in any form as long as the cassettes 6 and 7 can be loaded.

또한, 반송 로봇(100)은 리프팅부(300)에 의해 들어올려진 제1카세트(6)의 하부로 제1포크(132)가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제1높이 감지센서(140)와, 컨베이어(200)의 정위치에 배치된 제2카세트(7)의 하부로 제2포크(134)가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제2높이 감지센서(142)를 구비한다.The transport robot 100 further includes a first height detection sensor 140 for detecting whether the first fork 132 can enter the lower portion of the first cassette 6 lifted by the lifting unit 300, And a second height detection sensor 142 for detecting whether the second fork 134 can enter the lower portion of the second cassette 7 disposed at a predetermined position of the conveyor 200. [

이러한 제1높이 감지센서(140)와 제2높이 감지센서(142)는 포스트(130)에 결합되어 구비될 수 있다.The first height detection sensor 140 and the second height detection sensor 142 may be coupled to the post 130.

제1높이 감지센서(140)와 제2높이 감지센서(142)가 각각 제1카세트(6) 및 제2카세트(7)의 하부로 제1포크(132)와 제2포크(134)가 진입할 수 있음을 감지하면,The first height detection sensor 140 and the second height detection sensor 142 are positioned below the first cassette 6 and the second cassette 7 such that the first fork 132 and the second fork 134 enter If it detects that it can,

반송 로봇(100)은 아암 구동부(120)를 작동시키고, 이에 의해 아암(110)이 전진하여 제1포크(132) 및 제2포크(134)가 제1카세트(6) 및 제2카세트(7)의 하부로 각각 진입하게 된다.The carrying robot 100 actuates the arm driving part 120 so that the arm 110 advances and the first fork 132 and the second fork 134 move to the first cassette 6 and the second cassette 7 Respectively.

반송 로봇(100)은 제1카세트(6) 및 제2카세트(7)가 각각 제1포크(132) 및 제2포크(134)에 안착되었는지 여부를 감지하는 안착 감지센서(144)를 더 구비한다.The carrying robot 100 further includes a seating detection sensor 144 for detecting whether the first cassette 6 and the second cassette 7 are seated on the first fork 132 and the second fork 134 respectively do.

제1포크(132)와 제2포크(134)가 각각 제1카세트(6)와 제2카세트(7)의 하부에 진입하게 되면, 제1카세트(6)와 제2카세트(7)는 하강하여 제1포크(132)와 제2포크(134)에 안착되는데, 안착 감지센서(144)는 제1카세트(6)와 제2카세트(7)의 안착 여부를 감지하는 것이다.When the first fork 132 and the second fork 134 enter the lower portion of the first cassette 6 and the second cassette 7 respectively, the first cassette 6 and the second cassette 7 are lowered The seating sensor 144 detects whether or not the first cassette 6 and the second cassette 7 are seated on the first fork 132 and the second fork 134, respectively.

안착 감지센서(144)에 의해 제1카세트(6) 및 제2카세트(7)가 각각 제1포크(132) 및 제2포크(134)에 안착된 것이 감지되면, 아암 구동부(120)는 카세트(6,7)들이 적재된 상태로 아암(110)을 후퇴시킨다.When the seating detection sensor 144 detects that the first cassette 6 and the second cassette 7 are seated on the first fork 132 and the second fork 134 respectively, The arm 110 is retracted with the arms 6 and 7 loaded.

이와 같이 컨베이어(200)로부터 이송된 카세트(6,7)가 적재된 반송 로봇(100)은 승강 장치(1)에 의해 상승하여 지시된 위치로 카세트(6,7)를 반송하게 되는 것이다.The conveying robot 100 loaded with the cassettes 6 and 7 conveyed from the conveyor 200 as described above is elevated by the elevating device 1 to convey the cassettes 6 and 7 to the indicated positions.

도3은 컨베이어와 리프팅부의 사시도이고, 도4는 카세트가 컨베이어의 정위치에 배치된 상태를 도시한 사시도이며, 도5는 컨베이어의 정위치에 배치된 카세트를 그립퍼가 파지한 상태를 도시한 사시도이다.Fig. 4 is a perspective view showing a state in which the cassette is disposed at a predetermined position of the conveyor, Fig. 5 is a perspective view showing a state in which the cassette placed in the correct position of the conveyor is gripped by the gripper, to be.

이하, 도3 내지 도5를 참고하여 컨베이어(200)와 리프팅부(300)에 대해 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the conveyor 200 and the lifting unit 300 will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 5. FIG.

먼저, 컨베이어(200)는 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(210)과, 각각의 가이드 레일(210)에 장착되고 구동장치(미도시)에 의해 구동력을 전달받아 회전하는 풀리 어셈블리(220) 및 풀리 어셈블리(220)에 체결되어 회전하며 정위치를 향해 제1카세트(6)와 제2카세트(7)를 이송시키는 구동벨트(230)를 구비한다.The conveyor 200 includes a pair of guide rails 210 disposed opposite to each other and a pulley assembly 220 mounted on each of the guide rails 210 and rotated by receiving a driving force by a driving device And a drive belt 230 coupled to the pulley assembly 220 and rotated to feed the first cassette 6 and the second cassette 7 toward a predetermined position.

가이드 레일(210)은 구동벨트(230)에 의해 정위치로 이송되는 카세트(6,7)가 이송 중 경로를 이탈하지 않도록 가이드하는 역할을 한다.The guide rails 210 serve to guide the cassettes 6 and 7 fed to the correct position by the drive belt 230 so as not to deviate from the path during conveyance.

풀리 어셈블리(220)는 체결된 구동벨트(230)를 회전시키도록 구비되는 것으로 구동풀리, 종동풀리, 롤러 등의 결합으로 이루어질 수 있으며, 구동벨트(230)의 장력을 조절하기 위한 수단이 구비될 수도 있다.The pulley assembly 220 is provided to rotate the coupled drive belt 230 and may be a combination of a drive pulley, a driven pulley, a roller, or the like, and includes means for adjusting the tension of the drive belt 230 It is possible.

또한, 컨베이어(200)는 제1카세트(6) 또는 제2카세트(7)가 정위치에 위치한 경우, 이를 감지하여 구동장치(미도시)의 작동을 정지시키는 정위치 감지센서(240)를 더 구비할 수 있다.The conveyor 200 further includes a position sensor 240 for detecting the position of the first cassette 6 or the second cassette 7 when the first cassette 6 or the second cassette 7 is positioned and stopping the operation of the driving device .

이러한 정위치 감지센서(240)를 구비함으로써 카세트(6,7)가 정위치에서 이탈되지 않고 반송 로봇(100)에 안착될 수 있게 된다.By providing such a position detection sensor 240, the cassettes 6 and 7 can be seated on the carrying robot 100 without deviating from the correct position.

컨베이어(200)는 상기한 정위치 감지센서(240) 외에도 카세트(6,7)의 위치를 체크하거나, 카세트(6,7)가 컨베이어(200) 상에 진입하였는지 여부를 감지하는 등의 다양한 센서를 구비하여 반송 로봇(100), 컨베이어(200) 및 리프팅부(300)의 동작을 제어하는데 이용하는 것이 가능함은 물론이다.The conveyor 200 is provided with various sensors such as a position sensor 240 for checking the position of the cassettes 6 and 7 or a detection of whether the cassettes 6 and 7 have entered the conveyor 200 And may be used for controlling the operations of the conveying robot 100, the conveyor 200, and the lifting unit 300.

또한, 컨베이어(200)는 제1카세트(6)에 이어서 정위치로 이송된 제2카세트(7)의 높이를 조절하는 높이 조절부(250)를 더 구비한다.The conveyor 200 further includes a height adjuster 250 for adjusting the height of the second cassette 7 fed to the first cassette 6 in a predetermined position.

제2높이 감지센서(142)의 감지결과 정위치로 이송된 제2카세트(7)의 하부로 제2포크(134)가 진입할 수 없는 경우, 높이 조절부(250)는 제2포크(134)가 제2카세트(7)의 하부로 진입할 수 있도록 제2카세트(7)의 높이를 조절하는 역할을 한다.When the second fork 134 can not enter the lower portion of the second cassette 7 conveyed to the correct position as a result of the detection of the second height detection sensor 142, the height adjuster 250 moves the second fork 134 To the lower portion of the second cassette 7, as shown in FIG.

한편, 리프팅부(300)는 제1카세트(6)를 파지하기 위한 핑거(312)가 구비된 그립퍼(310)와, 그립퍼(310)를 승강시키는 그립퍼 구동부(320)를 포함한다.The lifting unit 300 includes a gripper 310 having a finger 312 for gripping the first cassette 6 and a gripper driving unit 320 for moving the gripper 310 up and down.

그립퍼 구동부(320)는 제1카세트(6)가 컨베이어(200)의 정위치로 이송되면 그립퍼(310)를 하강시키고, 하강된 그립퍼(310)는 핑거(312)로 제1카세트(6)를 파지한다. 제1카세트(6)가 그립퍼(310)에 파지되면 그립퍼 구동부(320)는 그립퍼(310)를 상승시킴으로써 제1카세트(6)가 들어올려지는 것이다.The gripper driving part 320 moves the gripper 310 down when the first cassette 6 is transferred to the correct position of the conveyor 200 and the lowered gripper 310 moves the first cassette 6 Grasp it. When the first cassette 6 is gripped by the gripper 310, the gripper driving unit 320 raises the gripper 310 to lift the first cassette 6.

이때, 제1높이 감지센서(140)의 감지결과 제1카세트(6)의 하부로 제1포크(132)가 진입할 수 없는 경우, 그립퍼(310)는 그립퍼 구동부(320)에 의해 승강되면서 제1포크(132)가 제1카세트(6)의 하부로 진입할 수 있도록 제1카세트(6)의 높이를 조절하는 하는 역할을 수행한다.When the first fork 132 can not enter the lower portion of the first cassette 6 as a result of the detection of the first height sensor 140, the gripper 310 is moved up and down by the gripper driving unit 320, And the height of the first cassette 6 is adjusted so that the fork 132 can enter the lower portion of the first cassette 6.

도6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템을 통해 2개의 카세트가 반송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a process in which two cassettes are transported through a logistics transport system according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 도6을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)의 동작과정을 설명한다.Hereinafter, the operation of the logistics transfer system 10 according to the preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

먼저, 도6의 (a)에 도시된 바와 같이 제1카세트(6)가 컨베이어(200)에 의해 정위치로 진입하면, 정위치 감지센서(240)에 의해 제1카세트(6)가 정위치에 도달한 것이 감지되고, 구동벨트(230)를 회전시키는 구동장치(미도시)의 작동을 정지시킨다.6 (a), when the first cassette 6 enters the correct position by the conveyor 200, the first cassette 6 is moved to the right position by the positive position sensor 240, And stops the operation of a driving device (not shown) that rotates the driving belt 230.

이어서, 그립퍼(310)가 하강하여 정위치에 배치된 제1카세트(6)를 파지한 후(도6의 (b)), 다시 상승하여 제1카세트(6)를 들어올린다(도6의 (c)). 이때, 제1높이 감지센서(140)의 감지결과에 따라 그립퍼(310)가 제1카세트(6)의 높이를 조절하여 제1카세트(6)의 하부로 제1포크(132)가 진입할 수 있도록 한다.6 (b)), the gripper 310 rises again to lift the first cassette 6 (see Fig. 6 (a)), the gripper 310 descends to hold the first cassette 6 c)). At this time, the gripper 310 adjusts the height of the first cassette 6 according to the detection result of the first height detecting sensor 140 so that the first fork 132 can enter the lower portion of the first cassette 6 .

제1카세트(6)가 들어올려진 후에는 제2카세트(7)가 컨베이어(200)의 정위치로 이송된다(도6의 (d)). 이때, 제2높이 감지센서(142)의 감지결과에 따라 높이 조절부(250)가 제2카세트(7)의 높이를 조절하여 제2카세트(7)의 하부로 제2포크(134)가 진입할 수 있도록 한다.After the first cassette 6 is lifted, the second cassette 7 is conveyed to the correct position of the conveyor 200 (Fig. 6 (d)). At this time, the height adjusting part 250 adjusts the height of the second cassette 7 according to the detection result of the second height detecting sensor 142, and the second fork 134 enters the lower part of the second cassette 7 .

높이 감지센서들(140,142)에 의해 포크(132,134)의 진입이 가능함이 확인되면, 아암 구동부(120)는 아암(110)을 전진시켜 제1포크(132) 및 제2포크(134)를 각각 제1카세트(6)와 제2카세트(7)의 하부로 진입시킨다. 이 상태에서 그립퍼(310)와 높이 조절부(250)는 각각 제1카세트(6)와 제2카세트(7)를 하강시켜 제1포크(132)와 제2포크(134)의 상부에 카세트들(6,7)이 안착되도록 하고, 그립퍼(310)에 구비된 핑거(312)는 제1카세트(6)의 파지를 해제한다(도6의 (e)).When it is confirmed that the forks 132 and 134 can be advanced by the height detection sensors 140 and 142, the arm driving unit 120 advances the arm 110 to move the first fork 132 and the second fork 134, respectively, 1 cassette 6 and the second cassette 7, respectively. In this state, the gripper 310 and the height adjuster 250 lower the first cassette 6 and the second cassette 7, respectively, and move the cassettes 6 and the cassettes 7 to the upper portions of the first fork 132 and the second fork 134, And the fingers 312 provided on the gripper 310 release gripping of the first cassette 6 (Fig. 6 (e)).

마지막으로 카세트들(6,7)이 각각의 포크(132,134)에 적재되면 안착 감지센서(144)는 카세트들(6,7)이 안착된 상태를 확인하고, 카세트들(6,7)이 정상적으로 포크(132,134)에 안착된 것이 확인되면 아암 구동부(120)는 아암(110)을 후퇴시킴으로써 2개의 카세트(6,7)를 한 번에 이송할 수 있도록 하는 것이다(도6의 (f)).Finally, when the cassettes 6 and 7 are loaded on the respective forks 132 and 134, the seating detection sensor 144 confirms that the cassettes 6 and 7 are seated and the cassettes 6 and 7 are normally The arm driving unit 120 retracts the arm 110 so that the two cassettes 6 and 7 can be transferred at a time (Fig. 6 (f)).

한편, 구체적으로 도시하지는 않았으나, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)을 이용하여 하나의 카세트(7)만을 이송할 수 있도록 하는 것도 가능함은 당업자에게 있어서 매우 자명한 일이다.It will be apparent to those skilled in the art that, although not specifically shown, it is also possible to transport only one cassette 7 using the logistics transport system 10 according to the preferred embodiment of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 이송 시스템(10)은 하나 또는 두 개의 카세트(6,7)를 한 번에 이송하는 것이 가능하기 때문에 카세트(6,7)를 이송하는데 소요되는 공정시간(tact time)을 크게 절약할 수 있다는 점에서 매우 유용한 것이다.As described above, since the logistics transfer system 10 according to the preferred embodiment of the present invention is capable of transferring one or two cassettes 6 and 7 at a time, it is difficult to transfer the cassettes 6 and 7 This is very useful in that it can greatly save the tact time.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate and not to limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and accompanying drawings. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 승강 장치 2: 승강 레일
6: 제1카세트 7: 제2카세트
10: 물류 이송 장치
100: 반송 로봇 110: 아암
120: 아암 구동부 130: 포스트
132: 제1포크 134: 제2포크
140: 제1높이 감지센서 142: 제2높이 감지센서
144: 안착 감지센서
200: 컨베이어 210: 가이드 레일
220: 풀리 어셈블리 230: 구동벨트
240: 정위치 감지센서 250: 높이 조절부
300: 리프팅부 310: 그립퍼
312: 핑거 320: 그립퍼 구동부1: elevating device 2: elevating rail
6: first cassette 7: second cassette
10: Logistics transfer device
100: conveying robot 110:
120: arm drive part 130: post
132: first fork 134: second fork
140: first height detecting sensor 142: second height detecting sensor
144: Seat detection sensor
200: conveyor 210: guide rail
220: pulley assembly 230: drive belt
240: Positional position detection sensor 250:
300: lifting part 310: gripper
312: finger 320: gripper drive

Claims (11)

제1카세트와 제2카세트를 정위치까지 이송시키는 컨베이어;
상기 정위치로 이송된 상기 제1카세트를 파지하여 들어올리는 리프팅부; 및
들어올려진 상기 제1카세트와 상기 컨베이어에 의해 상기 제1카세트에 후속하여 상기 정위치로 이송된 제2카세트를 적재하여 반송하는 반송 로봇을 포함하되,
상기 반송 로봇은
일측에 포스트가 결합되는 아암; 및
상기 아암에 구동력을 전달하여 상기 아암을 수평면 상에서 전진 또는 후퇴시키는 아암 구동부를 구비하고,
상기 포스트에는 들어올려진 상기 제1카세트가 적재되는 제1포크와 상기 컨베이어의 상기 정위치로 이송된 상기 제2카세트가 적재되는 제2포크가 결합된 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.A conveyor for conveying the first cassette and the second cassette to a predetermined position;
A lifting unit for holding and lifting the first cassette conveyed to the predetermined position; And
And a transport robot for loading and transporting the first cassette which is lifted and the second cassette which is transported to the correct position following the first cassette by the conveyor,
The conveying robot
An arm to which a post is coupled on one side; And
And an arm driving unit for transmitting a driving force to the arm to move the arm forward or backward on a horizontal plane,
Wherein said post is coupled to a first fork on which said first cassette is lifted and a second fork on which said second cassette is conveyed to said correct position of said conveyor. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 리프팅부는
상기 제1카세트를 파지하기 위한 핑거를 구비한 그립퍼; 및
상기 그립퍼를 승강시키는 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.The method according to claim 1,
The lifting portion
A gripper having a finger for gripping the first cassette; And
And a gripper driving unit for moving the gripper up and down. 제3항에 있어서,
상기 컨베이어는
서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 가이드 레일;
각각의 상기 가이드 레일에 장착되고, 구동장치에 의해 구동력을 전달받아 회전하는 풀리 어셈블리;
상기 풀리 어셈블리에 체결되어 회전하며 상기 정위치를 향해 상기 제1카세트와 상기 제2카세트를 이송시키는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.The method of claim 3,
The conveyor
A pair of guide rails arranged to face each other;
A pulley assembly mounted to each of the guide rails and rotated by receiving a driving force by a driving device;
And a drive belt that is coupled to the pulley assembly and rotates to transfer the first cassette and the second cassette toward the correct position. 제4항에 있어서,
상기 컨베이어는
상기 제1카세트 또는 상기 제2카세트가 상기 정위치에 위치한 경우, 이를 감지하여 상기 구동장치의 작동을 정지시키는 정위치 감지센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.5. The method of claim 4,
The conveyor
And a stationary position sensor for sensing operation of the first cassette or the second cassette when the first cassette or the second cassette is located at the predetermined position and stopping the operation of the driving device. 제5항에 있어서,
상기 반송 로봇은
상기 리프팅부에 의해 들어올려진 상기 제1카세트의 하부로 상기 제1포크가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제1높이 감지센서; 및
상기 정위치에 배치된 상기 제2카세트의 하부로 상기 제2포크가 진입할 수 있는지 여부를 감지하는 제2높이 감지센서를 구비한 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.6. The method of claim 5,
The conveying robot
A first height detection sensor for detecting whether the first fork can enter the lower portion of the first cassette lifted by the lifting portion; And
And a second height detection sensor for detecting whether the second fork can enter the lower portion of the second cassette disposed in the correct position. 제6항에 있어서,
상기 제1높이 감지센서의 감지결과 상기 제1카세트의 하부로 상기 제1포크가 진입할 수 없는 경우, 상기 그립퍼는 상기 제1포크가 상기 제1카세트의 하부로 진입할 수 있도록 상기 제1카세트의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.The method according to claim 6,
Wherein when the first fork can not enter the lower portion of the first cassette as a result of the detection of the first height sensor, the gripper moves the first fork to the lower portion of the first cassette, And the height of the conveying path is adjusted. 제7항에 있어서,
상기 컨베이어는
상기 정위치로 이송된 상기 제2카세트의 높이를 조절하는 높이 조절부를 구비하고,
상기 제2높이 감지센서의 감지결과 상기 제2카세트의 하부로 상기 제2포크가 진입할 수 없는 경우, 상기 높이 조절부는 상기 제2포크가 상기 제2카세트의 하부로 진입할 수 있도록 상기 제2카세트의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.8. The method of claim 7,
The conveyor
And a height adjuster for adjusting a height of the second cassette conveyed to the predetermined position,
Wherein when the second fork can not enter the lower portion of the second cassette as a result of the detection of the second height sensor, the height adjuster adjusts the height of the second fork so that the second fork can enter the lower portion of the second cassette, And the height of the cassette is adjusted. 제8항에 있어서,
상기 제1높이 감지센서와 상기 제2높이 감지센서가 각각 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트의 하부로 상기 제1포크와 상기 제2포크가 진입할 수 있음을 감지한 경우,
상기 반송 로봇은 상기 아암을 전진시켜 상기 제1포크 및 상기 제2포크를 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트의 하부로 진입시키는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.9. The method of claim 8,
When the first height detecting sensor and the second height detecting sensor detect that the first fork and the second fork can enter the lower portion of the first cassette and the second cassette respectively,
Wherein the transport robot advances the arm so that the first fork and the second fork enter the lower portion of the first cassette and the second cassette. 제9항에 있어서,
상기 제1포크와 상기 제2포크가 각각 상기 제1카세트와 상기 제2카세트의 하부에 진입한 상태에서
상기 그립퍼와 상기 높이 조절부는 각각 상기 제1카세트와 상기 제2카세트를 하강시켜 상기 제1포크와 상기 제2포크의 상부에 안착되도록 하고,
상기 핑거는 상기 제1카세트의 파지를 해제하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.10. The method of claim 9,
In a state in which the first fork and the second fork enter the lower portion of the first cassette and the second cassette,
The gripper and the height adjuster lower the first cassette and the second cassette to be seated on the first fork and the second fork, respectively,
Wherein said finger releases the gripping of said first cassette. 제10항에 있어서,
상기 반송 로봇은 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트가 각각 상기 제1포크 및 제2포크에 안착되었는지 여부를 감지하는 안착 감지센서를 구비하고,
상기 안착 감지센서에 의해 상기 제1카세트 및 상기 제2카세트가 각각 상기 제1포크 및 제2포크에 안착된 것이 감지되면, 상기 아암은 상기 카세트들이 적재된 상태로 후퇴하는 것을 특징으로 하는 물류 이송 시스템.11. The method of claim 10,
Wherein the carrying robot includes a seating detection sensor for detecting whether each of the first cassette and the second cassette is seated on the first fork and the second fork,
Wherein when said first and second cassettes are seated on said first fork and said second fork by said seating detection sensor, said arm retracts in a state in which said cassettes are loaded, system.
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JP2003051527A (en) 2001-08-02 2003-02-21 Takehide Hayashi Foup (sealed container) moving robot for efem (device for putting in and out wafer for sealed container, and feeding to production device or recycling) for dealing with automatic semiconductor conveyance

Patent Citations (1)

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