KR102098791B1 - Stocker - Google Patents

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Abstract

스토커는 도어가 개방된 제1 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 포트와, 상기 도어가 닫힌 제2 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 포트와, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어들을 수납하기 위한 선반들과, 상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어에 상기 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하는 도어 탈부착 유닛 및 상기 제1 포트, 상기 제2 포트, 상기 선반들 및 상기 도어 탈부착 유닛 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 이송하는 이송 유닛을 포함할 수 있다. The stocker includes a first port for supporting the first carrier for loading and unloading of the first carrier with the door open, and a first port for supporting the second carrier for loading and unloading of the second carrier with the door closed. 2 ports, shelves for storing the first carrier and the second carriers, and attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier, or attaching the second carrier The first carrier and the second between the door detachable unit and the first port, the second port, the shelves and the door detachable unit separating the door from the second carrier to change to the first carrier. It may include a transport unit for transporting the carrier.

Description

스토커{Stocker}Stocker

본 발명은 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어들을 보관하기 위한 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker, and more particularly, to a stocker for storing carriers.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 기판들 또는 웨이퍼들이 수납된 캐리어들은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들 및 상기 캐리어들을 로딩 및 언로딩하기 위한 포트를 구비할 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device, carriers in which semiconductor substrates or wafers are stored may be stored in a stocker. The stocker may include a plurality of shelves for receiving the carriers and a port for loading and unloading the carriers.

상기 포트는 액티브 포트 또는 패시브 포트로 구분된다. The ports are divided into active ports or passive ports.

상기 액티브 포트는 천장 반송 장치로 상기 캐리어를 로딩하거나, 상기 천장 반송 장치로부터 상기 캐리어를 언로딩한다. 상기 액티브 포트는 도어가 개방된 상기 캐리어를 지지할 수 있다. The active port loads the carrier with a ceiling transport device, or unloads the carrier from the ceiling transport device. The active port can support the carrier with the door open.

상기 패시브 포트는 상기 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 캐리어를 지지한다. 상기 패시브 포트는 상기 도어가 닫힌 상기 캐리어를 지지할 수 있다. The passive port supports the carrier that is loaded and unloaded by the ceiling conveying device. The passive port can support the carrier with the door closed.

상기 액티브 포트와 상기 패시브 포트는 각각 다른 종류의 캐리어를 지지하므로, 하나의 스토커에 동시에 구비되지 않고 서로 다른 스토커에 구비된다. 따라서, 상기 액티브 포트가 구비되는 스토커와 상기 패시브 포트가 구비되는 스토커가 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 반도체 장치의 제조 공정에서 요구되는 상기 스토커의 종류가 증가할 수 있다.Since the active port and the passive port each support different types of carriers, they are not provided on one stocker at the same time, but are provided on different stockers. Accordingly, a stocker provided with the active port and a stocker provided with the passive port may be provided, respectively. Therefore, the type of the stocker required in the manufacturing process of the semiconductor device may increase.

본 발명은 도어가 개방된 캐리어와 도어가 닫힌 캐리어를 동시에 보관하는 스토커를 제공한다. The present invention provides a stocker that simultaneously stores a carrier with an open door and a closed door.

본 발명에 따른 스토커는, 도어가 개방된 제1 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 포트와, 상기 도어가 닫힌 제2 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 포트와, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어들을 수납하기 위한 선반들과, 상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어에 상기 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하는 도어 탈부착 유닛 및 상기 제1 포트, 상기 제2 포트, 상기 선반들 및 상기 도어 탈부착 유닛 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 이송하는 이송 유닛을 포함할 수 있다. The stocker according to the present invention includes a first port supporting the first carrier for loading and unloading of the first carrier with the door open, and the second port for loading and unloading of the second carrier with the door closed. A second port supporting a carrier, shelves for receiving the first carrier and the second carriers, and attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier, or The first between the door detachable unit and the first port, the second port, the shelves and the door detachable unit separating the door from the second carrier to change the second carrier to the first carrier. It may include a carrier and a transfer unit for transporting the second carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트는 제1 천장 반송 장치로 상기 제1 캐리어를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치로부터 상기 제1 캐리어를 언로딩하고, 상기 제2 포트는 제2 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어를 지지할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the first port loads the first carrier with a first ceiling transport device, or unloads the first carrier from the first ceiling transport device, and the second port The second carrier, which is loaded and unloaded by the second ceiling conveying device, may be supported.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트는, 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 연결되며, 상기 제1 지지부를 상기 제1 천장 반송 장치를 향해 수평 이동시키는 슬라이딩부 및 상기 제1 지지부가 상기 제1 캐리어를 로딩 및 언로딩하도록 상기 제1 지지부 및 상기 슬라이딩부를 승강시키는 승강부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port is connected to the first support portion supporting the first carrier, and the first support portion, and the first support portion is horizontal toward the first ceiling transport device. It may include a sliding portion for moving and the lifting portion for elevating the first support portion and the sliding portion so that the first support portion loads and unloads the first carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 지지부는 상기 제1 캐리어를 일정 각도만큼 기울어지도록 지지하며, 상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 상기 기울어진 상태로 이송할 수 있다. According to embodiments of the present invention, to prevent the object loaded on the first carrier from escaping through the open door of the first carrier, the first support part inclines the first carrier by an angle. Support, the transport unit may transport the first carrier and the second carrier in the inclined state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 포트는, 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 지지부 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제2 지지부의 경사를 조절하는 제1 조절부를 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the second port may include a second support portion supporting the second carrier and the second support portion such that the second carrier maintains either a horizontal state or an inclined state. It may include a first adjusting unit for adjusting the inclination.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 천장 반송 장치와 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고, 상기 이송 유닛과 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. According to embodiments of the present invention, when loading and unloading the second carrier between the second ceiling transport device and the second support, the second support maintains the horizontal state, and the transfer unit and When loading and unloading the second carrier between the second supports, the second support may maintain the tilted state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 탈부착 유닛은, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 지지하는 제3 지지부와, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제3 지지부의 경사를 조절하는 제2 조절부와, 상기 도어를 적재하는 적재부 및 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하여 상기 적재부에 적재하는 탈부착부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door detachable unit includes a third support portion supporting the first carrier and the second carrier, and the first carrier and the second carrier in a horizontal state and the inclined state. A second adjustment unit for adjusting the inclination of the third support to maintain any one of the one, and attaching the door of the loading unit to the loading unit for loading the door and the first carrier, or the door from the second carrier. It may include a detachable portion to be separated and loaded on the loading portion.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리할 때 상기 제3 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고, 상기 이송 유닛과 상기 제3 지지부 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제3 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when attaching the door of the loading unit to the first carrier or separating the door from the second carrier, the third support maintains the horizontal state, and the transfer unit and When loading and unloading the first carrier and the second carrier between the third supports, the third support may maintain the inclined state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 천장 반송 장치와 상기 제2 천장 반송 장치가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 제1 포트와 상기 제2 포트는 상기 이송 유닛의 양측에 각각 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port and the second port are respectively disposed on both sides of the transport unit to prevent the first ceiling transport apparatus and the second ceiling transport apparatus from interfering with each other. You can.

본 발명에 따른 스토커는 상기 선반에 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어를 동시에 보관할 수 있다. 따라서, 반도체 장치의 제조 공정에서 요구되는 상기 스토커의 종류를 줄일 수 있으며, 상기 스토커의 활용도를 높일 수 있다. The stocker according to the present invention can simultaneously store the first carrier and the second carrier on the shelf. Therefore, the type of the stocker required in the manufacturing process of the semiconductor device can be reduced, and the utilization of the stocker can be increased.

또한, 상기 스토커는 상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하고, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경할 수 있다. 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어 사이의 변경이 용이하므로, 상기 제1 천장 반송 장치 및 상기 제2 천장 반송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the stocker may change the first carrier to the second carrier, and the second carrier to the first carrier. Since it is easy to change between the first carrier and the second carrier, it is possible to improve the transfer efficiency of the first ceiling transport device and the second ceiling transport device.

그리고, 상기 제1 포트, 상기 도어 탈부착 유닛 및 상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어를 상기 일정 각도 기울어진 상태로 지지한다. 따라서, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. In addition, the first port, the door detachable unit and the transfer unit support the first carrier in an inclined state at the predetermined angle. Therefore, it is possible to prevent the object loaded on the first carrier from being dislodged through the open door of the first carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 포트를 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제2 포트를 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 도어 탈부착 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.
도 5는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.1 is a schematic front view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view illustrating the first port illustrated in FIG. 1.
FIG. 3 is an enlarged view illustrating the second port illustrated in FIG. 1.
FIG. 4 is an enlarged view illustrating the door detachable unit illustrated in FIG. 1.
5 is an enlarged view for explaining the transfer unit shown in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention can be applied to various changes and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention are included. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "include" or "have" are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 포트를 설명하기 위한 확대도이고, 도 3은 도 1에 도시된 제2 포트를 설명하기 위한 확대도이고, 도 4는 도 1에 도시된 도어 탈부착 유닛을 설명하기 위한 확대도이고, 도 5는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.1 is a schematic front view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view for explaining the first port shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a second view shown in FIG. 1. 4 is an enlarged view for explaining the port, FIG. 4 is an enlarged view for explaining the door detachable unit shown in FIG. 1, and FIG. 5 is an enlarged view for explaining the transfer unit shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 스토커(100)는 선반들(110), 제1 포트(120), 제2 포트(130), 도어 탈부착 유닛(140) 및 이송 유닛(150)을 포함할 수 있다. 1 to 5, the stocker 100 may include shelves 110, a first port 120, a second port 130, a door detachable unit 140 and a transport unit 150. have.

상기 선반들(110)은 제1 캐리어들(12) 및 제2 캐리어들(22)을 수납할 수 있다. 상기 선반들(110)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 일정 각도만큼 기울어진 상태로 수납할 수 있다. 상기 선반들(110)은 X축 방향 및 Z축 방향으로 배열될 수 있다. The shelves 110 may accommodate the first carriers 12 and the second carriers 22. The shelves 110 may receive the first carrier 12 and the second carrier 22 in an inclined state by a predetermined angle. The shelves 110 may be arranged in the X-axis direction and the Z-axis direction.

일 예로, 도시된 바와 같이 선반들(110)은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 선반들(110)을 1열로 배치될 수도 있다. For example, as shown, the shelves 110 may be arranged to face each other in two rows and to be parallel. As another example, although not illustrated, the shelves 110 may be arranged in one row.

상기 제1 캐리어들(12) 및 상기 제2 캐리어들(22)은 각각 대상물을 수용한다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 웨이퍼, 인쇄회로기판, 반도체 패키지, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 제1 캐리어들(12) 및 상기 제2 캐리어들(22)의 예로는 풉(FOUP, Front Open Unified Pod), 포스비(FOSB, Front Opening Shipping Box), 매거진 등을 들 수 있다. The first carriers 12 and the second carriers 22 each receive an object. Examples of the object include semiconductor substrates, wafers, printed circuit boards, semiconductor packages, and reticles. Examples of the first carriers 12 and the second carriers 22 include a front open unified pod (FOUP), a front opening shipping box (FOSB), and a magazine.

상기 제1 캐리어들(12)은 도어(24)가 분리되어 일측이 개방되며, 상기 제2 캐리어들(12)은 상기 도어(24)가 부착되어 상기 일측이 차단된다. The first carriers 12 have a door 24 separated and one side is opened, and the second carriers 12 have the door 24 attached and the one side is blocked.

제1 천장 반송 장치(10)는 상기 제1 캐리어(12)를 이송하고, 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 X축 방향을 따라 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. The first ceiling transport apparatus 10 transports the first carrier 12, and the second ceiling transport apparatus 20 transports the second carrier 22. The first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 transport the first carrier 12 and the second carrier 22 along the X-axis direction.

상기 제1 천장 반송 장치(10) 및 상기 제2 천장 반송 장치(20)의 예로는 OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Overhead Shuttle System) 등을 들 수 있다. Examples of the first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 include overhead hoist transport (OHT) and overhead shuttle system (OHS).

상기 제1 천장 반송 장치(10)는 상기 개방된 일측이 상방을 향하도록 상기 제1 캐리어(12)를 일정 각도만큼 기울어지도록 고정한다. 따라서, 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 상기 대상물이 상기 개방된 일측을 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The first ceiling transport apparatus 10 fixes the first carrier 12 to be inclined by a predetermined angle such that the opened one side faces upward. Therefore, it is possible to prevent the object loaded on the first carrier 12 from being displaced through the opened one side.

상기 제2 캐리어(22)는 상기 도어(24)가 닫힌 상태이므로 상기 대상물이 이탈되지 않는다. 따라서, 상기 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 고정할 수 있다. In the second carrier 22, since the door 24 is closed, the object is not separated. Accordingly, the second ceiling transport device 20 may fix the second carrier 22 in a horizontal state.

상기 제1 포트(120)는 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어(12)를 지지한다. 상기 제1 포트(120)는 상기 제1 천장 반송 장치(10)로 상기 제1 캐리어(12)를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로부터 상기 제1 캐리어(12)를 언로딩한다. The first port 120 supports the first carrier 12 for loading and unloading the first carrier 12. The first port 120 loads the first carrier 12 into the first ceiling transport apparatus 10 or unloads the first carrier 12 from the first ceiling transport apparatus 10. .

상기 제1 포트(120)는 제1 지지부(122), 슬라이딩부(124) 및 승강부(126)를 포함할 수 있다. The first port 120 may include a first support portion 122, a sliding portion 124 and a lifting portion 126.

상기 제1 지지부(122)는 상기 제1 캐리어(12)를 지지한다. 예를 들면, 상기 제1 지지부(122)의 상기 제1 캐리어(12)의 하부면을 지지할 수 있다. The first support part 122 supports the first carrier 12. For example, the lower surface of the first carrier 12 of the first support portion 122 may be supported.

상기 제1 지지부(122)는 상기 제1 캐리어(12)를 상기 일정 각도만큼 기울어지도록 지지한다. 따라서, 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어(12)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The first support part 122 supports the first carrier 12 to be inclined by the predetermined angle. Therefore, it is possible to prevent the object loaded on the first carrier 12 from being separated from the first carrier 12.

상기 슬라이딩부(124)는 상기 제1 지지부(122)와 연결되며, 상기 제1 지지부(122)를 상기 제1 천장 반송 장치(10)를 향해 수평 이동시킨다. 일 예로, 상기 슬라이딩부(124)는 상기 제1 지지부(122)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. The sliding part 124 is connected to the first support part 122 and horizontally moves the first support part 122 toward the first ceiling conveying device 10. For example, the sliding part 124 may horizontally move the first support part 122 in the Y-axis direction.

상기 승강부(126)는 상기 제1 지지부(122) 및 상기 슬라이딩부(124)를 승강시킬 수 있다. 따라서, 상기 제1 지지부(122)가 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제1 천장 반송 장치(10)에 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로부터 상기 제1 캐리어(122)를 언로딩할 수 있다. The elevating portion 126 may elevate the first support portion 122 and the sliding portion 124. Therefore, the first support part 122 loads the first carrier 12 to the first ceiling transport apparatus 10 or unloads the first carrier 122 from the first ceiling transport apparatus 10. Can be loaded.

상기 제1 포트(120)는 제1 감지부(128)를 더 포함할 수 있다. The first port 120 may further include a first sensing unit 128.

상기 제1 감지부(128)는 상기 제1 지지부(122)의 상방에 구비되며, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로 로딩되는 상기 제1 캐리어(12)에서 상기 도어(24)를 감지한다. The first sensing unit 128 is provided above the first support unit 122 and detects the door 24 from the first carrier 12 loaded into the first ceiling transport device 10. .

상기 제1 천장 반송 장치(10)로 로딩되는 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)가 부착된 경우, 상기 제1 캐리어(12)를 이용하는 후속 공정이 정상적으로 이루어지기 어렵다. 따라서, 상기 제1 감지부(128)가 상기 제1 캐리어(12)에서 상기 도어(24)가 감지되면, 알람부(미도시)가 작업자에게 경고하기 위해 알람을 발생한다. When the door 24 is attached to the first carrier 12 loaded into the first ceiling transport device 10, subsequent processes using the first carrier 12 are difficult to be normally performed. Therefore, when the door 24 is detected by the first carrier unit 128 by the first carrier 12, an alarm unit (not shown) generates an alarm to warn the operator.

일 예로, 상기 제1 포트(120)는 하나가 구비되어 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 포트(120)는 한 쌍이 구비되어 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 분리하여 수행할 수 있다.For example, one of the first ports 120 may be provided to simultaneously load and unload the first carrier 12. As another example, the first port 120 is provided with a pair, and may be performed by separating loading and unloading of the first carrier 12.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 천장 반송 장치(10)가 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제1 포트(120)로 로딩하거나 상기 제1 포트(120)로부터 언로딩할 수도 있다. Meanwhile, although not illustrated, the first ceiling transport apparatus 10 may load the first carrier 12 into the first port 120 or unload from the first port 120.

상기 제2 포트(130)는 상기 제2 천장 반송 장치(20)에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어(22)를 지지한다. The second port 130 supports the second carrier 22 which is loaded and unloaded by the second ceiling conveying device 20.

상기 제2 포트(130)는 제2 지지부(132) 및 제1 조절부(134)를 포함할 수 있다. The second port 130 may include a second support part 132 and a first adjustment part 134.

상기 제2 지지부(132)는 상기 제2 캐리어(22)를 지지한다. 예를 들면, 상기 제2 지지부(132)의 상기 제2 캐리어(22)의 하부면을 지지할 수 있다. The second support part 132 supports the second carrier 22. For example, the lower surface of the second carrier 22 of the second support portion 132 may be supported.

상기 제1 조절부(134)는 상기 제2 지지부(132)의 기울기를 조절하여 상기 제2 캐리어(22)가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 한다. The first adjustment part 134 adjusts the inclination of the second support part 132 so that the second carrier 22 maintains either the horizontal state or the inclined state.

상기 제2 천장 반송 장치(20)가 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 이송한다. 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제2 지지부(132)로 로딩하거나, 상기 제2 지지부(132)로부터 상기 제2 캐리어(22)를 언로딩할 때, 상기 제2 지지부(132)는 상기 수평 상태를 유지한다. 상기 제2 천장 반송 장치(20) 및 상기 제2 지지부(132)에서 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 제2 천장 반송 장치(20)와 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 원활하게 로딩 및 언로딩할 수 있다. The second ceiling transport device 20 transports the second carrier 22 in a horizontal state. When the second ceiling conveying device 20 loads the second carrier 22 into the second support 132 or unloads the second carrier 22 from the second support 132, The second support part 132 maintains the horizontal state. Since the second carrier 22 can be maintained in a horizontal state by the second ceiling transport device 20 and the second support part 132, the second ceiling transport device 20 and the second support part 132 Between the second carrier 22 can be smoothly loaded and unloaded.

상기 이송 유닛(150)과 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 로딩 및 언로딩할 때, 상기 제2 지지부(132)는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. When loading and unloading the second carrier 22 between the transfer unit 150 and the second support 132, the second support 132 may maintain the inclined state.

상기 이송 유닛(150) 및 상기 제2 지지부(132)에서 상기 제2 캐리어(22)를 상기 기울어진 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 이송 유닛(150)과 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 원활하게 로딩 및 언로딩할 수 있다. Since the second carrier 22 can be maintained in the inclined state in the transfer unit 150 and the second support portion 132, the agent may be removed between the transfer unit 150 and the second support portion 132. 2 The carrier 22 can be smoothly loaded and unloaded.

상기 제2 포트(130)는 제2 감지부(136)를 더 포함할 수 있다. The second port 130 may further include a second sensing unit 136.

상기 제2 감지부(136)는 상기 제2 지지부(132)의 상방에 구비되며, 상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩되는 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)를 감지한다. The second sensing unit 136 is provided above the second support unit 132, and detects the door 24 from the second carrier 22 loaded into the second ceiling transport device 20. .

상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩되는 상기 제2 캐리어(22)에 상기 도어(24)가 부착되지 않은 경우, 상기 제2 캐리어(22)를 이용하는 후속 공정이 정상적으로 이루어지기 어렵다. 따라서, 상기 제2 감지부(136)가 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)가 감지되지 않는 경우, 알람부(미도시)가 작업자에게 경고하기 위해 알람을 발생한다. When the door 24 is not attached to the second carrier 22 loaded with the second ceiling transport device 20, subsequent processes using the second carrier 22 are difficult to be normally performed. Accordingly, when the second sensing unit 136 does not detect the door 24 on the second carrier 22, an alarm unit (not shown) generates an alarm to warn the operator.

일 예로, 상기 제2 포트(130)는 하나가 구비되어 상기 제2 캐리어(22)의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 포트(130)는 한 쌍이 구비되어 상기 제2 캐리어(22)의 로딩 및 언로딩을 분리하여 수행할 수 있다.For example, one of the second ports 130 may be provided to simultaneously load and unload the second carrier 22. As another example, the second port 130 is provided with a pair, and may be performed by separating loading and unloading of the second carrier 22.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 포트(130)가 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩하거나 상기 제2 천장 반송 장치(20)로부터 언로딩할 수도 있다. On the other hand, although not shown, the second port 130 may load the second carrier 22 into the second ceiling conveying device 20 or unload from the second ceiling conveying device 20. .

일 예로, 도시된 바와 같이 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 상기 이송 유닛(150)의 양측에 각각 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 서로 간섭하는 것을 방지할 수 있다. For example, as illustrated, the first port 120 and the second port 130 may be disposed on both sides of the transfer unit 150, respectively. Therefore, it is possible to prevent the first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 from interfering with each other.

다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 상기 이송 유닛(150)의 일측에 각각 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 서로 다른 높이에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 서로 간섭하는 것을 방지할 수 있다. As another example, although not illustrated, the first port 120 and the second port 130 may be respectively disposed on one side of the transfer unit 150. At this time, the first port 120 and the second port 130 may be located at different heights. Therefore, it is possible to prevent the first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 from interfering with each other.

상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제2 캐리어(22)로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24) 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제1 캐리어(12)로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리한다. The door detachable unit 140 attaches the door 24 to the first carrier 12 to change the first carrier 12 to the second carrier 22, or the second carrier 22 In order to change the first carrier 12, the door 24 is separated from the second carrier 22.

도시된 바와 같이 상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제1 포트(120)의 하방에 구비될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제2 포트(130)의 하방 등 다양한 위치에 구비될 수 있다.As illustrated, the door detachable unit 140 may be provided below the first port 120. Although not illustrated, the door detachable unit 140 may be provided at various locations, such as below the second port 130.

상기 도어 탈부착 유닛(140)은 제3 지지부(142), 제2 조절부(144), 적재부(146), 탈부착부(148)를 포함할 수 있다. The door detachable unit 140 may include a third support part 142, a second adjustment part 144, a loading part 146, and a detachable part 148.

상기 제3 지지부(142)는 상기 제1 캐리어(12) 또는 상기 제2 캐리어(22)를 지지할 수 있다. The third support part 142 may support the first carrier 12 or the second carrier 22.

상기 제2 조절부(144)는 상기 제3 지지부(142)의 기울기를 조절하여 상기 제1 캐리어(12) 또는 제2 캐리어(22)가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 한다. The second adjustment part 144 adjusts the inclination of the third support part 142 so that the first carrier 12 or the second carrier 22 maintains either the horizontal state or the inclined state. .

상기 제1 캐리어(12) 또는 상기 제2 캐리어(22)가 상기 기울어진 상태에서는 상기 도어(24)의 부착이나 분리가 어렵다. 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리할 때, 상기 제3 지지부(142)는 상기 수평 상태를 유지한다. 따라서, 상기 탈부착부(148)가 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 안정적으로 부착하고, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 안정적으로 분리할 수 있다. When the first carrier 12 or the second carrier 22 is tilted, it is difficult to attach or detach the door 24. When attaching the door 24 to the first carrier 12 or separating the door 24 from the second carrier 22, the third support 142 maintains the horizontal state. Therefore, the detachable portion 148 can stably attach the door 24 to the first carrier 12 and stably separate the door 24 from the second carrier 22.

상기 이송 유닛(150)과 상기 제3 지지부(142) 사이에서 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 로딩 및 언로딩할 때, 상기 제3 지지부(142)는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. When loading and unloading the first carrier 12 and the second carrier 22 between the transfer unit 150 and the third support 142, the third support 142 is tilted You can keep it.

또한, 상기 제2 조절부(144)는 상기 제3 지지부(142)를 회전시킬 수 있다. In addition, the second adjustment part 144 may rotate the third support part 142.

상기 제1 캐리어(12)에서 개방된 일측이나, 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)가 부착된 일측이 상기 탈부착부(148)와 마주보지 않는 경우, 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)를 분리할 수 없다. 따라서, 상기 제3 지지부(142)를 회전시켜 상기 제1 캐리어(12)에서 개방된 일측이나, 상기 제2 캐리어(22)에서 도어가 부착된 일측이 상기 탈부착부(148)와 마주보도록 한다. When one side opened from the first carrier 12 or one side to which the door 24 is attached from the second carrier 22 does not face the detachable portion 148, the first carrier 12 It is not possible to attach the door 24 to or separate the door 24 from the second carrier 22. Accordingly, the third support 142 is rotated so that one side opened from the first carrier 12 or one side attached to the door from the second carrier 22 faces the detachable portion 148.

상기 적재부(146)는 상기 도어(24)를 적재한다. The loading unit 146 loads the door 24.

예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 적재부(146)는 상면이 개방된 중공의 육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 도어(24)는 상기 적재부(146)에 상하 방향으로 적재될 수 있다. For example, as shown, the loading part 146 may have a hollow hexahedral shape with an open top surface. The door 24 may be loaded in the vertical direction on the loading unit 146.

또한, 상기 적재부(146)는 상기 도어(24)를 승강시키는 승강 부재나 상기 도어(24)를 탄성적으로 지지하는 탄성 부재를 이용하여 최상단 도어(24)의 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 상기 탈부착부(148)가 동일한 위치에서 상기 도어(24)를 픽업하거나 적재할 수 있다. In addition, the loading part 146 may maintain the position of the uppermost door 24 constant by using an elevating member for elevating the door 24 or an elastic member elastically supporting the door 24. Thus, the detachable portion 148 can pick up or load the door 24 at the same location.

다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 적재부(146)는 측면이 개방된 중공의 육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 도어(24)는 상기 적재부(146)에 수평 방향으로 적재될 수 있다.As another example, although not illustrated, the loading part 146 may have a hollow hexahedral shape with an open side. The door 24 may be mounted in the horizontal direction on the loading portion 146.

상기 탈부착부(148)는 상기 제1 캐리어(12)에 상기 적재부(146)의 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리하여 상기 적재부(146)에 적재할 수 있다. The detachable portion 148 attaches the door 24 of the loading portion 146 to the first carrier 12, or separates the door 24 from the second carrier 22 to load the loading portion. Can be loaded at (146).

상기 탈부착부(148)는 상기 제3 지지부(142)와 상기 적재부(146) 사이에서 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 또한, The detachable portion 148 may be provided to be horizontally movable in the X-axis direction and the Y-axis direction between the third support portion 142 and the loading portion 146. Also,

상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 도어(24)를 상기 적재부(146)에 적재하기 위해 상기 탈부착부(148)는 상기 도어(24)를 회전시킬 수도 있다.The detachable part 148 may rotate the door 24 to attach the door 24 to the first carrier 12 or to load the door 24 on the loading part 146. .

상기 이송 유닛(150)은 상기 선반들(110), 상기 제1 포트(120), 상기 제2 포트(130) 및 상기 도어 탈부착 유닛(140) 사이에서 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. The transfer unit 150 is the first carrier 12 and the second between the shelves 110, the first port 120, the second port 130 and the door detachable unit 140 The carrier 22 is transported.

상기 이송 유닛(150)은 상기 2열로 배열된 선반들(110) 사이에 구비될 수 있다. 상기 선반들(110)이 1열로 구비되는 경우, 상기 이송 유닛(150)의 상기 선반들(110)의 전방에 배치될 수 있다. The transfer unit 150 may be provided between the shelves 110 arranged in the two rows. When the shelves 110 are provided in one row, they may be disposed in front of the shelves 110 of the transfer unit 150.

상기 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일들과 수직 방향으로 연장되는 가이드 레일들에 의해 안내될 수 있으며, 상기 X축 방향으로 이송 유닛(150)을 이동시키기 위한 X축 구동부와 상기 Y축 방향으로 이송 유닛(150)을 이동시키기 위한 Z축 구동부를 구비할 수 있다.The transfer unit 150 may be configured to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction. Although not shown in detail, the transfer unit 150 may be guided by guide rails extending in the X-axis direction and guide rails extending in the vertical direction, and moving the transfer unit 150 in the X-axis direction An X-axis driving unit and a Z-axis driving unit for moving the transfer unit 150 in the Y-axis direction may be provided.

또한, 이송 유닛(150)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)의 이송을 위한 로봇암(152)을 구비할 수 있다. 상기 로봇암(152)은 상기 선반들(110), 상기 제1 포트(120), 상기 제2 포트(130) 및 상기 도어 탈부착 유닛(140)을 향하여 회전 및 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 로봇암(152)은 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하고, 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 유닛(150)은 상기 로봇암(152)을 회전시키기 위한 회전 구동부 및 상기 Y축 방향으로 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다.In addition, the transport unit 150 may include a robot arm 152 for transporting the first carrier 12 and the second carrier 22. The robot arm 152 may be configured to be rotatable and movable toward the shelves 110, the first port 120, the second port 130, and the door detachable unit 140. As an example, the robot arm 152 may be rotatable about the Z axis, and may be configured to be movable in the Y axis direction. The transfer unit 150 may include a rotation driving unit for rotating the robot arm 152 and a Y-axis driving unit for driving in the Y-axis direction.

일 예로서, 상기 X축, Y축, Z축 및 회전 구동부들은 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the X-axis, Y-axis, Z-axis and rotation driving units may be respectively configured using a power transmission device including a motor and a timing belt and pulleys.

상기 이송 유닛(150)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 상기 기울어진 상태로 이송한다. 따라서, 상기 이송 유닛(150)이 상기 제1 캐리어(12)를 이송하는 동안 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 상기 대상물이 상기 개방된 일측을 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The transport unit 150 transports the first carrier 12 and the second carrier 22 in the inclined state. Therefore, it is possible to prevent the object loaded on the first carrier 12 from being displaced through the opened one side while the transfer unit 150 is transporting the first carrier 12.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 선반
120 : 제1 포트 130 : 제2 포트
140 : 도어 탈부착 유닛 150 : 이송 유닛
10 : 제1 천장 반송 장치 12 : 제1 캐리어
20 : 제2 천장 반송 장치 22 : 제2 캐리어
24 : 도어100: Stocker 110: Shelf
120: first port 130: second port
140: door detachable unit 150: transfer unit
10: 1st ceiling conveying device 12: 1st carrier
20: second ceiling transfer device 22: second carrier
24: door

Claims (9)

도어가 개방된 제1 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 포트;
상기 도어가 닫힌 제2 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 포트;
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어들을 수납하기 위한 선반들;
상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어에 상기 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하는 도어 탈부착 유닛; 및
상기 제1 포트, 상기 제2 포트, 상기 선반들 및 상기 도어 탈부착 유닛 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 이송하는 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.A first port for supporting the first carrier for loading and unloading of the first carrier with the door open;
A second port supporting the second carrier for loading and unloading the second carrier with the door closed;
Shelves for accommodating the first carrier and the second carriers;
A door detachable unit for attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier, or separating the door from the second carrier to change the second carrier to the first carrier ; And
And a transfer unit for transferring the first carrier and the second carrier between the first port, the second port, the shelves and the door detachable unit. 제1항에 있어서, 상기 제1 포트는 제1 천장 반송 장치로 상기 제1 캐리어를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치로부터 상기 제1 캐리어를 언로딩하고,
상기 제2 포트는 제2 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어를 지지하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method of claim 1, wherein the first port loads the first carrier with a first ceiling transport device, or unloads the first carrier from the first ceiling transport device,
The second port supports a second carrier that is loaded and unloaded by a second ceiling conveying device. 제2항에 있어서, 상기 제1 포트는,
상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 지지부;
상기 제1 지지부와 연결되며, 상기 제1 지지부를 상기 제1 천장 반송 장치를 향해 수평 이동시키는 슬라이딩부; 및
상기 제1 지지부가 상기 제1 캐리어를 로딩 및 언로딩하도록 상기 제1 지지부 및 상기 슬라이딩부를 승강시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method of claim 2, wherein the first port,
A first support portion supporting the first carrier;
A sliding part connected to the first support part and horizontally moving the first support part toward the first ceiling conveying device; And
Stocker characterized in that it comprises a lifting portion for lifting the first support portion and the sliding portion to load and unload the first support portion of the first carrier. 제3항에 있어서, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 지지부는 상기 제1 캐리어를 일정 각도만큼 기울어지도록 지지하며,
상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 상기 기울어진 상태로 이송하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method according to claim 3, wherein the first support unit supports the first carrier to be inclined by a predetermined angle to prevent an object loaded on the first carrier from escaping through an open door of the first carrier,
The transport unit is a stocker, characterized in that for transporting the first carrier and the second carrier in the inclined state. 제4항에 있어서, 상기 제2 포트는,
상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 지지부; 및
상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제2 지지부의 경사를 조절하는 제1 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method of claim 4, wherein the second port,
A second support portion supporting the second carrier; And
A stocker comprising a first adjustment portion for adjusting the inclination of the second support so that the second carrier maintains either the horizontal state or the inclined state. 제5항에 있어서, 상기 제2 천장 반송 장치와 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고,
상기 이송 유닛과 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method according to claim 5, wherein the second support maintains the horizontal state when loading and unloading the second carrier between the second ceiling transport device and the second support,
When loading and unloading the second carrier between the transfer unit and the second support, the second support maintains the inclined state. 제5항에 있어서, 상기 도어 탈부착 유닛은,
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 지지하는 제3 지지부;
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제3 지지부의 경사를 조절하는 제2 조절부;
상기 도어를 적재하는 적재부; 및
상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하여 상기 적재부에 적재하는 탈부착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커. According to claim 5, The door detachable unit,
A third support portion supporting the first carrier and the second carrier;
A second adjusting unit that adjusts the inclination of the third support so that the first carrier and the second carrier maintain either one of a horizontal state and the inclined state;
A loading unit for loading the door; And
A stocker comprising a detachable portion for attaching the door of the loading unit to the first carrier or separating the door from the second carrier and loading the loading unit in the loading unit. 제7항에 있어서, 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리할 때 상기 제3 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고,
상기 이송 유닛과 상기 제3 지지부 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제3 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 스토커. According to claim 7, When attaching the door of the loading unit to the first carrier, or when separating the door from the second carrier, the third support maintains the horizontal state,
When loading and unloading the first carrier and the second carrier between the transfer unit and the third support, the third support maintains the inclined state. 제2항에 있어서, 상기 제1 천장 반송 장치와 상기 제2 천장 반송 장치가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 제1 포트와 상기 제2 포트는 상기 이송 유닛의 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커. The method according to claim 2, wherein the first port and the second port are respectively disposed on both sides of the transfer unit to prevent the first ceiling transport apparatus and the second ceiling transport apparatus from interfering with each other. stalker.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005353940A (en) * 2004-06-14 2005-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Storage for semiconductor substrate, storage method, and method for manufacturing semiconductor substrate using the same
KR101108744B1 (en) * 2004-12-31 2012-02-24 엘지디스플레이 주식회사 Auto guided vehicle
JP5212165B2 (en) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing equipment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005053705A (en) 2004-11-12 2005-03-03 Sharp Corp Method and system for conveying glass substrate

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