KR102294887B1 - Apparatus for transferring articles - Google Patents

Apparatus for transferring articles Download PDF

Info

Publication number
KR102294887B1
KR102294887B1 KR1020190123934A KR20190123934A KR102294887B1 KR 102294887 B1 KR102294887 B1 KR 102294887B1 KR 1020190123934 A KR1020190123934 A KR 1020190123934A KR 20190123934 A KR20190123934 A KR 20190123934A KR 102294887 B1 KR102294887 B1 KR 102294887B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
transfer unit
transfer
port
unit
Prior art date
Application number
KR1020190123934A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210041345A (en
Inventor
김식
신윤성
김미향
고은산
박규형
김정운
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190123934A priority Critical patent/KR102294887B1/en
Publication of KR20210041345A publication Critical patent/KR20210041345A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102294887B1 publication Critical patent/KR102294887B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 물품에 대한 가공 공정이 이루어지는 건물들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제1 이송 유닛과, 상기 건물 내에서 상기 물품을 이송하는 제2 이송 유닛들과, 상기 제1 이송 유닛과 상기 제2 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 전달하는 스토커 유닛들 및 상기 제1 이송 유닛을 가로질러 상기 스토커 유닛들을 연결하도록 구비되고, 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 이송 유닛을 포함할 수 있다. The article transport apparatus according to the present invention includes a first transport unit for transporting the article between buildings in which a processing process for the article is performed, second transport units for transporting the article within the building, and the first stocker units for transferring the article between the transfer unit and the second transfer unit and a third transfer unit provided to connect the stocker units across the first transfer unit, for transferring the article between the stocker units It may include a transfer unit.

Description

물품 이송 장치{Apparatus for transferring articles}Apparatus for transferring articles}

본 발명은 물품 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스토커 유닛 사이에서 물품을 이송하는 물품 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an article transport device, and more particularly, to an article transport device for transporting articles between stocker units.

일반적으로, 물품 이송 장치는 증착, 노광, 식각, 세정 등과 같은 가공 공정을 수행하기 위해 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등과 같은 물품을 이송한다. 상기 물품들은 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다. 상기 물품 이송 장치는 상기 가공 공정이 이루어지는 건물들 사이에서 상기 물품을 이송하거나, 상기 건물들 내부에서 상기 물품을 이송한다. In general, an article transport apparatus transports articles such as wafers, printed circuit boards, reticles, etc. to perform processing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning. The articles may be transported loaded in a FOUP, FOSB, magazine, reticle pod, or the like. The article transport device transports the article between buildings where the processing process is performed, or transports the article inside the buildings.

상기 물품 이송 장치는 이송 유닛을 이용하여 상기 물품을 이송한다. 상기 건물들 사이의 거리가 먼 경우, 상기 물품의 이송하기 위한 주행 거리가 길어지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 길어진다. 그러므로, 상기 물품 이송 장치에서 상기 물품의 이송 효율이 저하될 수 있다.The article transfer device transfers the article using a transfer unit. When the distance between the buildings is long, the traveling distance for transporting the article increases, and the time required for transporting the article also increases. Therefore, the transfer efficiency of the article in the article transfer device may be reduced.

본 발명은 물품을 보관하기 위한 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 신속하게 이동시킬 수 있는 물품 이송 장치를 제공한다. The present invention provides an article transfer device capable of quickly moving the article between stocker units for storing the article.

본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 물품에 대한 가공 공정이 이루어지는 건물들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제1 이송 유닛과, 상기 건물 내에서 상기 물품을 이송하는 제2 이송 유닛들과, 상기 제1 이송 유닛과 상기 제2 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 전달하는 스토커 유닛들 및 상기 제1 이송 유닛을 가로질러 상기 스토커 유닛들을 연결하도록 구비되고, 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 이송 유닛을 포함할 수 있다. The article transport apparatus according to the present invention includes a first transport unit for transporting the article between buildings in which a processing process for the article is performed, second transport units for transporting the article within the building, and the first stocker units for transferring the article between the transfer unit and the second transfer unit and a third transfer unit provided to connect the stocker units across the first transfer unit, for transferring the article between the stocker units It may include a transfer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 스토커 유닛은, 상기 제1 이송 유닛으로부터 상기 물품을 전달받거나 상기 제1 이송 유닛으로 상기 물품을 전달하기 위한 제1 포트와, 상기 제2 이송 유닛으로부터 상기 물품을 전달받거나 상기 제2 이송 유닛으로 상기 물품을 전달하기 위한 제2 포트 및 상기 선반들, 상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 제3 이송 유닛 사이에서 상기 물품을 이송하는 제1 로봇을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each stocker unit includes a first port for receiving the goods from the first transfer unit or for transferring the goods to the first transfer unit, and from the second transfer unit. A second port for receiving the article or transferring the article to the second transfer unit and a first robot for transferring the article between the shelves, the first port, the second port and the third transfer unit may include.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 이송 유닛은, 레일 및 상기 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 스토커 유닛들과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the third transfer unit transfers the article while moving along the rail and the rail, and includes a stage in which loading and unloading of the article is performed between the stocker units. may include

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 물품의 방향을 전환하기 위해 상기 스테이지는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the stage may be provided to be rotatable in order to change the direction of the article.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 이송 유닛은 바닥면, 천장, 벽면, 그레이팅 하부 공간 중 어느 하나에 구비될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the third transfer unit may be provided in any one of a floor surface, a ceiling, a wall surface, and a lower space of the grating.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 이송 유닛은 이물질의 침투를 방지하고 상기 레일과 상기 스테이지를 보호하기 위해 상기 스토커 유닛들을 연결하는 터널을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the third transfer unit may further include a tunnel connecting the stocker units to prevent the penetration of foreign substances and to protect the rail and the stage.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트는 상기 물품을 상기 제1 이송 유닛으로 전달하거나 상기 선반들에 적재하기 위해 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 이송부를 포함하고, 상기 제2 포트는 상기 물품을 상기 제2 이송 유닛으로 전달하거나 상기 선반들에 적재하기 위해 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 이송부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port comprises a first transport for moving the article in a horizontal direction to deliver the article to the first transport unit or to be loaded on the shelves, The second port may include a second transport for moving the article in a horizontal direction to deliver the article to the second transport unit or to be loaded on the shelves.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 OHS(Over Head Shuttle) 및 OHT (Overhead Hoist Transport) 중 어느 하나일 수 있다. According to embodiments of the present invention, the first transfer unit and the second transfer unit may be any one of an Over Head Shuttle (OHS) and an Overhead Hoist Transport (OHT).

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 각각 다수의 레일들 및 상기 물품을 고정하여 상기 레일들을 따라 주행하는 이송부를 포함하고, 상기 레일들은, 상기 물품을 이송하기 위한 이송 레일들과, 상기 물품의 이적재가 이루어지는 이적재 레일들 및 상기 이송부가 상기 주행 레일들 및 상기 이적재 레일들 사이를 이동할 수 있도록 상기 이송 레일들과 상기 이적재 레일을 연결하는 연결 레일들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first transfer unit and the second transfer unit each include a plurality of rails and a transfer unit for fixing the article and traveling along the rails, wherein the rails include the article Transfer rails for transporting the goods, transfer rails on which the goods are loaded and unloaded, and the transfer unit connecting the transfer rails and the transfer rail so that the transfer unit can move between the traveling rails and the transfer rails It may include connecting rails.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛이 OHS(Over Head Shuttle)인 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛의 상방에 배치되고, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛의 상방에 배치되고, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛이 OHT (Overhead Hoist Transport)인 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛의 하방에 배치되고, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛의 하방에 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when the first transfer unit and the second transfer unit are OHS (Over Head Shuttle), the first port is disposed above the first transfer unit, and the second The port is disposed above the second transport unit, and when the first transport unit and the second transport unit are overhead hoist transport (OHT), the first port is disposed below the first transport unit, The second port may be disposed below the second transfer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 스토커 유닛은, 상기 제1 포트가 상기 제1 이송 유닛의 상방에 배치되는 경우, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 제1 이송 유닛과 상기 제1 포트 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 로봇을 더 포함하고, 상기 제1 포트가 상기 제1 이송 유닛의 하방에 배치되는 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛에 의해 직접 상기 물품이 이적재될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each stocker unit, when the first port is disposed above the first transfer unit, is provided to be movable in the horizontal direction and the vertical direction, the first transfer unit and a second robot for transferring the article between the first port and the first port, wherein when the first port is disposed below the first transfer unit, the first port is directly operated by the first transfer unit The article may be loaded and unloaded.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 스토커 유닛은, 상기 제2 포트가 상기 제2 이송 유닛의 상방에 배치되는 경우, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 제2 이송 유닛과 상기 제2 포트 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 로봇을 더 포함하고, 상기 제2 포트가 상기 제2 이송 유닛의 하방에 배치되는 경우, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛에 의해 직접 상기 물품이 이적재될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each stocker unit is provided to be movable in horizontal and vertical directions when the second port is disposed above the second transfer unit, and the second transfer unit and a second robot for transferring the article between the second port and the second port, wherein when the second port is disposed below the second transfer unit, the second port is directly operated by the second transfer unit The article may be loaded and unloaded.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 복층 형태로 상기 물품을 이송할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the first transfer unit and the second transfer unit may transfer the article in a multi-layered form.

본 발명에 따르면, 상기 물품 이송 장치는 상기 제1 이송 유닛을 이용하지 않고 상기 제3 이송 유닛을 이용하여 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송한다. 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하기 위한 주행 거리가 짧아지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 단축된다. 따라서, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율이 향상될 수 있다. According to the present invention, the article transfer device transfers the article between the stocker units by using the third transfer unit without using the first transfer unit. The traveling distance for transporting the article between the stocker units is shortened, and the time required for transporting the article is also shortened. Accordingly, the transfer efficiency of the article transfer apparatus can be improved.

본 발명에 따른 스토커 유닛은 상기 제1 이송 유닛과 상기 제2 이송 유닛으로부터 전달받은 상기 물품을 상기 선반에 보관하거나, 상기 제1 이송 유닛과 상기 제2 이송 유닛 사이에서 상기 물품을 전달할 수 있다. 따라서, 상기 물품을 원활하게 이송할 수 있다. The stocker unit according to the present invention may store the goods received from the first transfer unit and the second transfer unit on the shelf, or transfer the goods between the first transfer unit and the second transfer unit. Accordingly, the article can be smoothly transported.

상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 상기 이적재 레일들에서 상기 이송부가 지지한 상기 물품의 이적재가 이루어지므로, 상기 이송 레일들에서는 상기 이송부가 상기 물품의 이적재를 위해 정지할 필요가 없다. 상기 이송 레일들에서 상기 이송부가 신속하게 주행할 수 있으므로, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛이 상기 물품을 신속하게 이송할 수 있다.Since the first transfer unit and the second transfer unit transfer and load the article supported by the transfer unit on the transfer rails, the transfer unit does not need to stop for loading and unloading the article on the transfer rails. none. Since the conveying unit can rapidly travel on the conveying rails, the first conveying unit and the second conveying unit can rapidly convey the article.

상기 제2 로봇이 상기 제1 이송 유닛과 상기 제1 포트 사이 또는 상기 제2 이송 유닛과 상기 제2 포트 사이에서 상기 물품을 이송할 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛의 물품을 안정적으로 이적재할 수 있다. The second robot may transfer the article between the first transfer unit and the first port or between the second transfer unit and the second port. Accordingly, articles of the first transfer unit and the second transfer unit may be stably transferred.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 부분적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제1 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 제2 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 제3 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7 내지 도 11은 제2 로봇이 제1 이송 유닛의 물품을 제1 포트로 이송하는 것을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다. 1 is a schematic plan view for explaining an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partial side view for explaining the article transport apparatus shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a plan view illustrating the stocker unit shown in FIG. 1 .
4 is a plan view for explaining the first transfer unit shown in FIG.
5 is a side view for explaining the second robot shown in FIG.
6 is a plan view for explaining the third transfer unit shown in FIG.
7 to 11 are schematic side views for explaining that the second robot transfers the article of the first transfer unit to the first port.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 스토커 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 제1 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 제2 로봇을 설명하기 위한 측면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 제3 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a schematic plan view for explaining an article transport device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic side view for explaining the article transport device shown in Figure 1, Figure 3 is shown in Figure 1 It is a plan view for explaining the stocker unit, Figure 4 is a plan view for explaining the first transfer unit shown in Figure 1, Figure 5 is a side view for explaining the second robot shown in Figure 2, Figure 6 is It is a plan view for explaining the third transfer unit shown in FIG. 1 .

도 1 내지 도 6을 참조하면, 상기 물품 이송 장치(500)는 물품(20)에 대한 가공 공정이 이루어지는 건물(10)들 사이와 상기 건물(10)들의 내부에서 상기 물품(20)을 이송하거나 상기 물품(20)을 보관할 수 있다. 1 to 6 , the article transporting device 500 transports the article 20 between buildings 10 in which a processing process for the article 20 is performed and within the buildings 10 , or The article 20 can be stored.

상기 건물(10)들에는 증착, 노광, 식각, 세정 등을 다양한 가공 공정을 수행하기 위한 가공 설비들이 구비될 수 있다. 상기 물품(20)은 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등을 포함하며, FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다. The buildings 10 may be provided with processing facilities for performing various processing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning. The article 20 includes a wafer, a printed circuit board, a reticle, and the like, and may be transported while being loaded in a FOUP, FOSB, magazine, reticle pod, or the like.

상기 물품 이송 장치(100)는 제1 이송 유닛(100), 제2 이송 유닛(200)들, 스토커 유닛(300)들 및 제3 이송 유닛(400)을 포함할 수 있다. The article transfer apparatus 100 may include a first transfer unit 100 , second transfer units 200 , stocker units 300 , and a third transfer unit 400 .

상기 제1 이송 유닛(100)은 상기 건물(10)들을 지나도록 구비되며, 상기 건물(10)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송한다. The first transfer unit 100 is provided to pass through the buildings 10 , and transfers the article 20 between the buildings 10 .

일 예로, 상기 제1 이송 유닛(100)은 OHS (Over Head Shuttle)일 수 있다. For example, the first transfer unit 100 may be an Over Head Shuttle (OHS).

구체적으로, 상기 제1 이송 유닛(100)은 제1 레일(110)들 및 셔틀(120)들을 포함할 수 있다. Specifically, the first transfer unit 100 may include first rails 110 and shuttles 120 .

상기 제1 레일(110)들은 천장에 고정되며, 상기 셔틀(120)들이 순환하도록 고리 형상을 갖는다. The first rails 110 are fixed to the ceiling, and have a ring shape so that the shuttles 120 circulate.

상기 셔틀(120)들은 상기 물품(20)을 이송하기 위한 이송부로 사용되며, 상기 물품(20)의 하부면을 지지하여 고정하며, 상기 제1 레일(110)들을 따라 주행할 수 있다. The shuttles 120 are used as a transfer unit for transporting the article 20 , support and fix the lower surface of the article 20 , and may travel along the first rails 110 .

상기 제1 레일(110)은 상기 셔틀(120)들이 주행하기 위한 이송 레일(111)들, 상기 셔틀(120)들이 고정한 상기 물품(20)의 이적재가 이루어지는 이적재 레일(112)들 및 상기 셔틀(120)들이 상기 이송 레일(111)들 및 상기 이적재 레일(112)들 사이를 이동할 수 있도록 상기 이송 레일(111)들과 상기 이적재 레일(112)들을 연결하는 연결 레일(113)들을 포함할 수 있다. The first rail 110 includes transfer rails 111 for the shuttles 120 to travel, transfer rails 112 for loading and unloading the article 20 fixed by the shuttles 120 , and the shuttle. and connecting rails 113 connecting the transfer rails 111 and the transfer rails 112 so that 120 can move between the transfer rails 111 and the transfer rails 112 . can do.

상기 셔틀(120)들은 상기 물품(20)의 이송을 위해 상기 이송 레일(111)들을 따라 주행하고, 상기 물품(20)의 이적재가 필요한 경우 상기 연결 레일(113)들을 따라 상기 이적재 레일(112)들로 이동한다. 상기 셔틀(120)들이 상기 이적재 레일(112)들에서 정지한 후, 상기 물품(20)의 이적재가 이루어진다. The shuttles 120 travel along the transport rails 111 to transport the article 20 , and when it is necessary to load and load the article 20 , the shuttle 120 moves along the connection rails 113 along the transfer rail 112 . ) to go to After the shuttles 120 are stopped on the loading rails 112 , the loading and unloading of the article 20 is performed.

상기 이송 레일(111)들에서는 상기 셔틀(120)들이 상기 물품(20)의 이적재를 위해 정지할 필요가 없다. 상기 이송 레일들에서 상기 셔틀(120)들이 신속하게 주행할 수 있으므로, 상기 제1 이송 유닛(100)이 상기 물품(20)을 신속하게 이송할 수 있다.In the transport rails 111 , the shuttles 120 do not need to stop for loading and unloading the article 20 . Since the shuttles 120 can travel quickly on the transport rails, the first transport unit 100 can transport the article 20 quickly.

상기 제2 이송 유닛(200)은 상기 건물(10)들 내부에 구비되며, 상기 건물(10)들 내부에서 상기 물품(20)을 이송한다. The second transfer unit 200 is provided inside the buildings 10 , and transfers the article 20 inside the buildings 10 .

일 예로, 상기 제2 이송 유닛(200)들은 OHT (Overhead Hoist Transport)일 수 있다. For example, the second transport units 200 may be overhead hoist transport (OHT).

구체적으로, 상기 각 제2 이송 유닛(200)들은 제2 레일(210)들 및 비히클(220)들을 포함할 수 있다. Specifically, each of the second transfer units 200 may include second rails 210 and vehicles 220 .

상기 제2 레일(210)들은 천장에 고정되며, 상기 비히클(220)들이 순환하도록 고리 형상을 갖는다. The second rails 210 are fixed to the ceiling, and have a ring shape so that the vehicles 220 circulate.

상기 비히클(220)들은 상기 물품(20)을 이송하기 위한 이송부로 사용되며, 상기 물품(20)의 상부면을 고정하며, 상기 제2 레일(210)들을 따라 주행할 수 있다. The vehicles 220 are used as a transport unit for transporting the article 20 , fix the upper surface of the article 20 , and travel along the second rails 210 .

상기 비히클(220)들은 상기 제2 레일(210)들을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 상기 가공 설비들로 로딩하거나, 상기 가공 설비들로부터 상기 물품(20)을 언로딩한다. 상기 비히클(220)은 상기 물품(20)을 승하강시켜 상기 물품(20)을 로딩 및 언로딩할 수 있다. The vehicles 220 move along the second rails 210 to load the article 20 into or unload the article 20 from the processing equipment. The vehicle 220 may lift and lower the article 20 to load and unload the article 20 .

구체적으로 도시되지는 않았지만, 상기 비히클(220)은 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부, 핸드부를 포함한다. Although not specifically illustrated, the vehicle 220 includes a traveling unit, a frame unit, a slide unit, a hoist unit, and a hand unit.

상기 주행부는 상기 비히클(220)을 상기 제2 레일(210)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부의 양 측면에 주행 롤러가 구비된다. 상기 주행 롤러는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(220)이 상기 제2 레일(210)을 따라 주행한다. The driving unit moves the vehicle 220 along the second rail 210 . Driving rollers are provided on both sides of the traveling unit. The traveling roller is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the vehicle 220 travels along the second rail 210 .

한편, 상기 주행부는 상부면에 조향 롤러를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 제2 레일(210)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 제2 레일(210)의 분기 지점 또는 합류 지점에서 상기 비히클(220)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the traveling part is provided with a steering roller on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the second rail 210 . The traveling direction of the vehicle 220 may be adjusted at a branching point or a merging point of the second rail 210 .

상기 프레임부는 상기 주행부의 하부면에 고정된다. 상기 프레임부는 상기 물품(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 프레임부는 하부면과 일측면이 개방될 수 있다. 따라서, 상기 물품(20)이 상기 비히클(220)의 상하 방향을 따라 수직 이동하거나, 상기 비히클(220)의 주행 방향과 수직한 방향으로 수평 이동할 수 있다. The frame part is fixed to the lower surface of the traveling part. The frame part has a hollow shape inside to accommodate the article 20 . In addition, the frame part may have a lower surface and one side open. Accordingly, the article 20 may move vertically along the vertical direction of the vehicle 220 or horizontally move in a direction perpendicular to the traveling direction of the vehicle 220 .

상기 슬라이드부는 상기 프레임부의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 상기 수평 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부는 상기 프레임부의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The slide part is provided on an inner upper surface of the frame part. The slide unit may horizontally move the hoist unit in the horizontal direction. At this time, the hoist part may move horizontally through the open side of the frame part.

상기 호이스트부는 상기 슬라이드부의 하부면에 상기 수평 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist part is provided on a lower surface of the slide part to be horizontally movable in the horizontal direction.

상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하여 상기 상하 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부는 벨트로 상기 핸드부를 고정한다. 상기 호이스트부는 상기 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 호이스트부를 승강시킬 수 있다.The hoist unit may be raised and lowered along the vertical direction by fixing the hand unit. For example, the hoist part fixes the hand part with a belt. The hoist unit may take up or unwind the belt to elevate the hoist unit.

상기 핸드부는 상기 벨트의 단부에 고정되며, 상기 물품(20)을 고정한다. The hand part is fixed to the end of the belt and holds the article 20 .

상기 물품(20)은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. The article 20 is moved in the horizontal direction by the slide unit, and can be raised and lowered by the hoist unit.

자세히 도시되지는 않았으나, 상기 제2 레일(210)도 상기 제1 레일(110)과 마찬가지로 상기 비히클(220)들이 주행하기 위한 이송 레일들, 상기 비히클(220)들에 의해 고정된 상기 물품(20)의 이적재가 이루어지는 이적재 레일들 및 상기 비히클(220)들이 상기 이송 레일들 및 상기 이적재 레일들 사이를 이동할 수 있도록 상기 이송 레일들과 상기 이적재 레일들을 연결하는 연결 레일들을 포함할 수 있다. Although not shown in detail, the second rail 210 also includes transport rails for the vehicles 220 to travel and the article 20 fixed by the vehicles 220 like the first rail 110 . ) may include transfer rails and connection rails connecting the transfer rails and the transfer rails so that the vehicles 220 can move between the transfer rails and the transfer rails. .

상기 이송 레일들에서 상기 비히클(220)들이 신속하게 주행할 수 있으므로, 상기 제2 이송 유닛(200)들이 상기 물품(20)을 신속하게 이송할 수 있다.Since the vehicles 220 can travel quickly on the transport rails, the second transport units 200 can transport the article 20 quickly.

한편, 도시되지는 않았지만, 다른 예로, 상기 제1 이송 유닛(100)은 OHT 일 수 있고, 상기 제2 이송 유닛(200)들은 OHS일 수도 있다. Meanwhile, although not shown, as another example, the first transfer unit 100 may be an OHT, and the second transfer units 200 may be an OHS.

상기 제1 이송 유닛(100) 및 상기 제2 이송 유닛(200)들은 각각 단층으로 구비될 수도 있지만, 복층으로 구비될 수도 있다. 상기 제1 이송 유닛(100) 및 상기 제2 이송 유닛(200)들이 상기 복층으로 구비되는 경우, 상기 제1 이송 유닛(100) 및 상기 제2 이송 유닛(200)들이 이송할 수 있는 물품(20)의 개수를 늘일 수 있다. 따라서, 상기 물품 이송 장치(500)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. Each of the first transfer unit 100 and the second transfer unit 200 may be provided in a single layer, or may be provided in multiple layers. When the first transfer unit 100 and the second transfer unit 200 are provided in the multi-layered structure, the article 20 that the first transfer unit 100 and the second transfer unit 200 can transfer ) can be increased. Accordingly, the transfer efficiency of the article transfer apparatus 500 may be improved.

상기 스토커 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100)들과 상기 제2 이송 유닛(200)들들 사이에서 상기 물품(20)을 전달하거나 상기 물품(20)을 보관한다. The stocker unit 300 transfers the article 20 or stores the article 20 between the first transfer units 100 and the second transfer units 200 .

상기 스토커 유닛(300)은 다수의 선반(310)들, 제1 포트(320), 제2 포트(330), 제1 로봇(340)을 포함한다. The stocker unit 300 includes a plurality of shelves 310 , a first port 320 , a second port 330 , and a first robot 340 .

상기 선반(310)들은 상기 물품(20)을 수납하여 보관한다. 선반(310)들은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. The shelves 310 accommodate and store the article 20 . The shelves 310 may be arranged in a first horizontal direction (X-axis direction) and a vertical direction (Z-axis direction).

일 예로, 도시된 바와 같이 상기 선반(310)들은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 선반(310)들을 1열로 배치될 수도 있다. For example, as shown, the shelves 310 may be arranged in two rows to face each other and parallel to each other. As another example, although not shown, the shelves 310 may be arranged in one row.

상기 제1 포트(320)는 2열로 배열된 선반(310)들 중 어느 한 열에 구비될 수 있다. 상기 제1 포트(320)는 상기 선반(310)들로부터 상기 제1 이송 유닛(100)과 인접하도록 연장할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 포트(320)는 제2 수평 방향(Y축 방향)으로 연장할 수 있다. The first port 320 may be provided in any one of the shelves 310 arranged in two rows. The first port 320 may extend from the shelves 310 to be adjacent to the first transfer unit 100 . For example, the first port 320 may extend in a second horizontal direction (Y-axis direction).

상기 제1 포트(320)는 상기 제1 이송 유닛(100)으로부터 상기 물품(20)을 전달받거나 상기 제1 이송 유닛(100)으로 상기 물품(20)을 전달한다. The first port 320 receives the article 20 from the first transfer unit 100 or transfers the article 20 to the first transfer unit 100 .

구체적으로, 제1 포트(320)는 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이송하기 위한 제1 이송부(322)를 포함할 수 있다. 상기 제1 이송부(322)의 예로는 새들(saddle) 또는 컨베이어를 들 수 있다. 상기 제1 이송부(322)가 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이동시키므로, 상기 제1 포트(320)는 상기 제1 이송 유닛(10)으로부터 상기 물품(20)을 전달받아 상기 선반(310)들을 향해 상기 제2 수평 방향으로 이송하거나, 상기 선반(310)들로부터 상기 제1 이송 유닛(100)으로 상기 물품(20)을 전달할 수 있다. 상기 제1 이송 유닛(100)이 상기 스토커 유닛(300)과 이격되어 있더라도 상기 제1 포트(320)를 이용하여 상기 제1 이송 유닛(100)과 상기 스토커 유닛(300) 사이에서 상기 물품(20)을 신속하게 이송할 수 있다. Specifically, the first port 320 may include a first transfer unit 322 for transferring the article 20 in the second horizontal direction. An example of the first transfer unit 322 may be a saddle or a conveyor. Since the first transfer unit 322 moves the article 20 in the second horizontal direction, the first port 320 receives the article 20 from the first transfer unit 10 and receives the article 20 from the shelf. The article 20 may be transferred to the first transfer unit 100 from the shelves 310 or transferred in the second horizontal direction toward the 310 . Even if the first transfer unit 100 is spaced apart from the stocker unit 300 , the article 20 is used between the first transfer unit 100 and the stocker unit 300 using the first port 320 . ) can be transferred quickly.

한편, 상기 제1 포트(320)는 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이송하지 않고 상기 물품(20)을 단순 지지할 수도 있다. Meanwhile, the first port 320 may simply support the article 20 without transporting the article 20 in the second horizontal direction.

상기 제2 포트(330)는 2열로 배열된 선반(310)들 중 나머지 한 열에 구비될 수 있다. 즉, 상기 제2 포트(330)는 상기 선반(310)들을 기준으로 상기 제1 포트(320)와 반대되는 방향에 위치할 수 있다. 상기 제2 포트(330)는 상기 선반(310)들로부터 상기 제2 이송 유닛(200)들과 인접하도록 연장할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 포트(330)는 상기 제2 수평 방향으로 연장할 수 있다. The second port 330 may be provided in the other row of the shelves 310 arranged in two rows. That is, the second port 330 may be located in a direction opposite to the first port 320 with respect to the shelves 310 . The second port 330 may extend from the shelves 310 to be adjacent to the second transfer units 200 . For example, the second port 330 may extend in the second horizontal direction.

상기 제2 포트(330)는 상기 제2 이송 유닛(200)들로부터 상기 물품(20)을 전달받거나 상기 제2 이송 유닛(200)들로 상기 물품(20)을 전달한다. The second port 330 receives the article 20 from the second transfer units 200 or transfers the article 20 to the second transfer units 200 .

구체적으로, 상기 제2 포트(330)는 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 이송부(332)를 포함할 수 있다. 상기 제2 이송부(332)의 예로는 새들(saddle) 또는 컨베이어를 들 수 있다. 상기 제2 이송부(332)가 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이동시키므로, 상기 제2 포트(330)는 상기 제2 이송 유닛(100)으로부터 상기 물품(20)을 전달받아 상기 선반(310)들을 향해 상기 제2 수평 방향으로 이송하거나, 상기 선반(310)들로부터 상기 제2 이송 유닛(100)으로 상기 물품(20)을 전달할 수 있다. 상기 제2 이송 유닛(100)이 상기 스토커 유닛(300)과 이격되어 있더라도 상기 제2 포트(330)를 이용하여 상기 제2 이송 유닛(100)과 상기 스토커 유닛(300) 사이에서 상기 물품(20)을 신속하게 이송할 수 있다. Specifically, the second port 330 may include a second transfer unit 332 for transferring the article 20 in the second horizontal direction. An example of the second transfer unit 332 may be a saddle or a conveyor. Since the second transfer unit 332 moves the article 20 in the second horizontal direction, the second port 330 receives the article 20 from the second transfer unit 100 and receives the article 20 from the shelf. The article 20 may be transferred to the second horizontal direction toward the 310 , or the article 20 may be transferred from the shelves 310 to the second transfer unit 100 . Even if the second transfer unit 100 is spaced apart from the stocker unit 300 , the article 20 is used between the second transfer unit 100 and the stocker unit 300 using the second port 330 . ) can be transferred quickly.

한편, 상기 제2 포트(330)는 상기 물품(20)을 상기 제2 수평 방향으로 이송하지 않고 상기 물품(20)을 단순 지지할 수도 있다. Meanwhile, the second port 330 may simply support the article 20 without transporting the article 20 in the second horizontal direction.

상기 제1 로봇(340)은 2열로 배열된 선반(310)들 사이에 구비될 수 있다. 선반(310)들이 1열로 구비되는 경우, 제1 로봇(340)의 선반(310)들의 전방에 배치될 수 있다.The first robot 340 may be provided between shelves 310 arranged in two rows. When the shelves 310 are provided in one row, they may be disposed in front of the shelves 310 of the first robot 340 .

상기 제1 로봇(340)은 2열로 배열된 상기 선반(310)들 사이에 구비될 수 있다. 상기 선반(310)들이 1열로 구비되는 경우, 상기 제1 로봇(340)은 상기 선반(310)들의 전방에 배치될 수 있다. The first robot 340 may be provided between the shelves 310 arranged in two rows. When the shelves 310 are provided in one row, the first robot 340 may be disposed in front of the shelves 310 .

상기 제1 로봇(340)은 상기 물품(20)의 수납을 위하여 상기 제1 수평 방향 및 상기 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만 상기 제1 로봇(340)은 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 가이드 레일들과 상기 수직 방향으로 연장되는 가이드 레일들에 의해 안내될 수 있으며, 상기 제1 수평 방향으로 상기 제1 로봇(340)을 이동시키기 위한 수평 구동부와 상기 제1 로봇(340)을 상기 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 구비할 수 있다.The first robot 340 may be configured to be movable in the first horizontal direction and the vertical direction to accommodate the article 20 . Although not shown in detail, the first robot 340 may be guided by guide rails extending in the first horizontal direction and guide rails extending in the vertical direction, and the first robot 340 may be guided by the guide rails extending in the first horizontal direction. A horizontal driving unit for moving the robot 340 and a vertical driving unit for moving the first robot 340 in the vertical direction may be provided.

또한, 제1 로봇(340)은 상기 물품(20)의 적재와 전달을 위해 로봇암(342)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(342)은 상기 선반(310)들, 상기 제1 포트(320), 상기 제2 포트(330)를 향하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 로봇암(342)은 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 제1 로봇(340)은 상기 로봇암(342)을 구동하기 위한 제2 수평 구동부를 구비할 수 있다.In addition, the first robot 340 may include a robot arm 342 for loading and transferring the article 20 , and the robot arm 342 includes the shelves 310 and the first port ( 320), it may be configured to be movable toward the second port (330). As an example, the robot arm 342 may be configured to be movable in the second horizontal direction, and the first robot 340 may be provided with a second horizontal driving unit for driving the robot arm 342 . can

일 예로서, 상기 제1 및 제2 수평 구동부들 및 수직 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the first and second horizontal driving units and the vertical driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys, respectively.

따라서, 상기 제1 로봇(340)은 상기 제1 포트(320) 및 상기 제2 포트(330)의 상기 물품(20)을 상기 선반(310)들에 로드하거나, 상기 선반(310)들에 수납된 상기 물품(20)을 상기 제1 포트(320) 및 상기 제2 포트(330)로 전달할 수 있다. 또한, 상기 제1 로봇(340)은 상기 제1 포트(320)의 물품(20)을 상기 제2 포트(330)로 전달하거나, 상기 제2 포트(330)의 물품(20)을 상기 제1 포트(320)로 전달할 수 있다. Accordingly, the first robot 340 loads the articles 20 of the first port 320 and the second port 330 into the shelves 310 or accommodates them in the shelves 310 . The article 20 may be delivered to the first port 320 and the second port 330 . In addition, the first robot 340 transfers the article 20 of the first port 320 to the second port 330 or transfers the article 20 of the second port 330 to the first port 330 . It can be delivered to the port 320 .

상기 제1 이송 유닛(100)이 상기 OHS인 경우, 상기 제1 포트(320)는 상기 제1 이송 유닛(100)의 상방에 배치된다. 이 경우, 상기 스토커 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100)과 상기 제1 포트(320) 사이에서 상기 물품(20)을 이송하는 제2 로봇(350)을 더 포함할 수 있다.When the first transfer unit 100 is the OHS, the first port 320 is disposed above the first transfer unit 100 . In this case, the stocker unit 300 may further include a second robot 350 for transferring the article 20 between the first transfer unit 100 and the first port 320 .

상기 제2 로봇(350)은 상기 제2 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동가능 하도록 구비된다. 다른 예로, 상기 제2 로봇(350)은 상기 제1 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동가능 하도록 구비될 수도 있다.The second robot 350 is provided to be movable in the second horizontal direction and the vertical direction. As another example, the second robot 350 may be provided to be movable in the first horizontal direction and the vertical direction.

상기 제2 로봇(350)은 베이스부(352), 슬라이드부(354), 호이스트부(356), 핸드부(358)를 포함한다. The second robot 350 includes a base part 352 , a slide part 354 , a hoist part 356 , and a hand part 358 .

상기 베이스부(352)는 상기 슬라이드부(354), 상기 호이스트부(356), 상기 핸드부(358)를 고정하기 위한 것으로, 상기 베이스부(352)는 상기 선반(310)들에 고정되거나 별도의 고정 부재에 의해 고정될 수 있다. The base part 352 is for fixing the slide part 354 , the hoist part 356 , and the hand part 358 , and the base part 352 is fixed to the shelves 310 or separately. may be fixed by a fixing member of

상기 슬라이드부(354)는 상기 베이스부(352)의 하부면에 구비된다. 상기 슬라이드부(354)는 상기 호이스트부(356)를 상기 제2 수평 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부(356)는 상기 슬라이드부(354)의 하부면에 수평 이동 가능하도록 구비된다. 도시되지는 않았지만, 상기 슬라이드부(354)의 하부면에 상기 호이스트부(356)를 상기 수평 이동시키기 위해 가이드 레일 및 이동 블록을 포함하는 LM가이드가 구비될 수 있다. The slide part 354 is provided on a lower surface of the base part 352 . The slide part 354 may horizontally move the hoist part 356 in the second horizontal direction. The hoist part 356 is provided on the lower surface of the slide part 354 to be horizontally movable. Although not shown, an LM guide including a guide rail and a moving block may be provided on the lower surface of the slide part 354 to horizontally move the hoist part 356 .

상기 호이스트부(356)는 상기 핸드부(358)를 고정하여 상기 상하 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부(356)는 벨트(357)로 상기 핸드부(358)를 고정한다. 상기 호이스트부(356)는 상기 벨트(357)를 권취하거나 권출하여 상기 호이스트부(356)를 승강시킬 수 있다.The hoist unit 356 may be raised and lowered along the vertical direction by fixing the hand unit 358 . For example, the hoist part 356 fixes the hand part 358 with a belt 357 . The hoist unit 356 may take up or unwind the belt 357 to elevate the hoist unit 356 .

상기 핸드부(358)는 상기 벨트(357)의 단부에 고정되며, 상기 물품(20)을 고정한다. The hand portion 358 is fixed to the end of the belt 357 and holds the article 20 .

상기 물품(20)은 상기 슬라이드부(354)에 의해 상기 제2 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부(356)에 의해 승강할 수 있다. The article 20 may be moved in the second horizontal direction by the slide part 354 and may be moved up and down by the hoist part 356 .

상기 제2 로봇(350)은 상기 제1 이송 유닛(100)의 물품(20)을 상기 제1 포트(320)로 이송하거나, 상기 제1 포트(320)의 물품(20)을 상기 제1 이송 유닛(100)으로 이송할 수 있다. The second robot 350 transfers the article 20 of the first transfer unit 100 to the first port 320 or transfers the article 20 of the first port 320 to the first transfer. It can be transferred to the unit 100 .

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 이송 유닛(200)들이 상기 제1 이송 유닛(100)과 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 레일(210)은 상기 제1 레일(110)과 연결될 수 있다. 즉, 상기 제2 레일(210)은 상기 제1 레일(110)과 합류 및 분기할 수 있다. 따라서, 상기 물품(20)을 상기 제1 이송 유닛(100)에서 상기 제2 이송 유닛(200)들로 이송하거나, 상기 제2 이송 유닛(200)들에서 상기 제1 이송 유닛(100)으로 이송할 수 있다. Meanwhile, although not shown, the second transfer units 200 may be connected to the first transfer unit 100 . Specifically, the second rail 210 may be connected to the first rail 110 . That is, the second rail 210 may merge and branch with the first rail 110 . Accordingly, the article 20 is transferred from the first transfer unit 100 to the second transfer units 200 , or transferred from the second transfer units 200 to the first transfer unit 100 . can do.

상기 제3 이송 유닛(400)은 상기 제1 이송 유닛(100)을 가로질러 상기 스토커 유닛(300)들을 연결하도록 구비되고, 상기 스토커 유닛(300)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송할 수 있다. The third transfer unit 400 is provided to connect the stocker units 300 across the first transfer unit 100 , and can transfer the article 20 between the stocker units 300 . have.

상기 제3 이송 유닛(400)은 상기 제1 이송 유닛(100) 및 상기 제2 이송 유닛(200)들의 높이와 동일한 높이에 배치되거나, 상기 제1 이송 유닛(100) 및 상기 제2 이송 유닛(200)들의 높이와 다른 높이에 배치될 수 있다. The third transfer unit 400 is disposed at the same height as the height of the first transfer unit 100 and the second transfer unit 200, or the first transfer unit 100 and the second transfer unit ( 200) and may be arranged at a different height from the height of the.

예를 들면, 상기 제3 이송 유닛(400)은 바닥면, 천장에 구비되거나, 상기 벽면을 관통하여 구비되거나, 그레이팅 하부 공간에 구비될 수도 있다. For example, the third transfer unit 400 may be provided on the floor or ceiling, provided through the wall surface, or provided in the space below the grating.

상기 제3 이송 유닛(400)은 제3 레일(410), 스테이지(420)를 포함할 수 있다.The third transfer unit 400 may include a third rail 410 and a stage 420 .

상기 제3 레일(410)은 상기 제1 이송 레일(110)을 가로지르도록 배치되며, 상기 제1 이송 유닛(100)을 기준으로 서로 반대되도록 위치하는 두 개의 상기 스토커 유닛(300)들을 서로 연결할 수 있다. The third rail 410 is disposed to cross the first transfer rail 110 and connects the two stocker units 300 positioned opposite to each other with respect to the first transfer unit 100 to each other. can

상기 제3 레일(410)은 순환 가능하도록 고리 형상을 갖는다. 이와 달리 상기 제3 레일(410)은 직선 형상을 가질 수도 있다.The third rail 410 has a ring shape to be circulated. Alternatively, the third rail 410 may have a linear shape.

상기 스테이지(420)는 상기 제3 레일(410)을 따라 이동하면서 상기 스토커 유닛(300)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송한다. The stage 420 transfers the article 20 between the stocker units 300 while moving along the third rail 410 .

또한, 상기 스테이지(420)는 상기 스토커 유닛(300)들의 상기 제1 로봇(340)에 의해 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 이루어진다. In addition, in the stage 420 , loading and unloading of the article 20 is performed by the first robot 340 of the stocker units 300 .

구체적으로, 상기 스테이지(420)가 상기 스토커 유닛(300)들에 접근하면, 상기 제1 로봇(340)의 로봇암(342)이 상기 스테이지(420)를 향해 이동하면서 상기 물품(20)을 상기 스테이지(420)로 로딩하거나, 상기 물품(20)을 상기 스테이지(420)로부터 언로딩할 수 있다. Specifically, when the stage 420 approaches the stocker units 300 , the robot arm 342 of the first robot 340 moves toward the stage 420 to lift the article 20 . Loading into the stage 420 , or unloading the article 20 from the stage 420 .

상기 제3 레일(410)이 고리 형상을 가지므로, 상기 제3 이송 유닛(400)은 두 개의 상기 스토커 유닛(300)들 사이에서 상기 물품(20)을 왕복 이송할 수 있다. Since the third rail 410 has a ring shape, the third transfer unit 400 may reciprocate the article 20 between the two stocker units 300 .

상기 제3 이송 유닛(400)이 상기 제1 이송 유닛(100)을 가로지르도록 배치되므로, 상기 제1 이송 유닛(100)보다 상기 제3 이송 유닛(400)으로 상기 물품(20)을 이송할 때, 상기 스토커 유닛(300)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송하기 위한 주행 거리를 단축할 수 있고, 상기 물품(20)의 이송에 소요되는 시간도 단축될 수 있다. 따라서, 상기 물품 이송 장치(100)의 이송 효율이 향상될 수 있다. Since the third transfer unit 400 is disposed to cross the first transfer unit 100 , it is possible to transfer the article 20 to the third transfer unit 400 rather than the first transfer unit 100 . In this case, the travel distance for transporting the article 20 between the stocker units 300 can be shortened, and the time required for transporting the article 20 can also be shortened. Accordingly, the transfer efficiency of the article transfer apparatus 100 may be improved.

상기 스테이지(420)는 상기 제3 레일(410) 상에서 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 스테이지(420)는 상기 물품(20)의 방향을 용이하게 전환할 수 있다. 상기 스테이지(420)로부터 언로딩될 상기 물품(20)이나 상기 스테이지(420)로 로딩된 상기 물품(20)을 특정 방향을 향하도록 조절할 수 있다. The stage 420 may be rotatably provided on the third rail 410 . Accordingly, the stage 420 can easily change the orientation of the article 20 . The article 20 to be unloaded from the stage 420 or the article 20 loaded onto the stage 420 may be adjusted to face a specific direction.

도 6을 참조하면, 상기 스토커 유닛(300)들의 상기 제1 로봇(340)은 동일한 위치에서 상기 물품(20)을 상기 스테이지(420)로 로딩하거나 상기 스테이지(420)로부터 언로딩할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the first robot 340 of the stocker units 300 may load the article 20 into the stage 420 or unload it from the stage 420 at the same position.

예를 들면, 상기 스테이지(420)가 로딩/언로딩 위치(LUP1, LUP2)에 위치한 상태에서 상기 제1 로봇(340) 상기 물품(20)을 상기 스테이지(420)로 로딩하거나, 상기 스테이지(420)로부터 상기 물품(20)을 언로딩할 수 있다. 상기 로딩/언로딩 위치(LUP1, LUP2)에서만 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 이루어지므로, 상기 물품(20)을 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. For example, the first robot 340 loads the article 20 onto the stage 420 or the stage 420 in a state where the stage 420 is positioned at the loading/unloading positions LUP1 and LUP2. ) from the article 20 can be unloaded. Since the article 20 is loaded and unloaded only at the loading/unloading positions LUP1 and LUP2, the article 20 can be stably loaded and unloaded.

도시되지는 않았지만, 이와 달리, 상기 제1 로봇(340)은 서로 다른 위치에서 상기 물품(20)을 상기 스테이지(420)로 로딩하거나 상기 스테이지(420)로부터 언로딩할 수도 있다. Although not shown, alternatively, the first robot 340 may load the article 20 into the stage 420 or unload it from the stage 420 at different positions.

상기 제3 이송부(400)는 터널(430)을 더 포함할 수 있다. The third transfer unit 400 may further include a tunnel 430 .

상기 터널(430)은 상기 두 개의 스토커 유닛(300)들을 서로 연결하며, 상기 제3 레일(410)과 상기 스테이지(420)를 둘러싸도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 터널(430)은 이물질이 상기 제3 레일(410)과 상기 스테이지(420)로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 터널(430)은 상기 제3 레일(410)과 상기 스테이지(420)를 외부 충격으로부터 보호할 수 있다. The tunnel 430 connects the two stocker units 300 to each other and may be provided to surround the third rail 410 and the stage 420 . Accordingly, the tunnel 430 may prevent foreign substances from penetrating into the third rail 410 and the stage 420 . In addition, the tunnel 430 may protect the third rail 410 and the stage 420 from external impact.

도 7 내지 도 11은 제2 로봇이 제1 이송 유닛의 물품을 제1 포트로 이송하는 것을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다. 7 to 11 are schematic side views for explaining that the second robot transfers the article of the first transfer unit to the first port.

도 7을 참조하면, 먼저 상기 슬라이드부(354)가 상기 호이스트부(356)를 상기 제2 수평 방향으로 이동하여 상기 호이스트부(356)를 상기 제1 레일(110)의 이적재 레일(112)의 상방에 위치시킨다. Referring to FIG. 7 , first, the slide part 354 moves the hoist part 356 in the second horizontal direction to move the hoist part 356 to the transfer rail 112 of the first rail 110 . placed above the

도 8을 참조하면, 상기 호이스트부(356)가 상기 벨트(357)를 권출하여 상기 핸드부(358)를 상기 이적재 레일(112)에 위치한 상기 셔틀(120)을 향해 하강시킨다. 이후, 상기 핸드부(358)가 상기 셔틀(120)에 지지된 상기 물품(20)을 고정한다. Referring to FIG. 8 , the hoist unit 356 unwinds the belt 357 to lower the hand unit 358 toward the shuttle 120 located on the transfer rail 112 . Then, the hand part 358 fixes the article 20 supported on the shuttle 120 .

도 9를 참조하면, 상기 핸드부(358)가 상기 물품(20)을 고정하면, 상기 호이스트부(356)가 상기 벨트(357)를 권취하여 상기 핸드부(358)를 상승시킨다. 상기 핸드부(358)가 상승하면, 상기 슬라이드부(354)가 상기 호이스트부(356)를 상기 제2 수평 방향으로 이동하여 상기 호이스트부(356)를 원위치 시킨다. Referring to FIG. 9 , when the hand part 358 fixes the article 20 , the hoist part 356 winds up the belt 357 to raise the hand part 358 . When the hand part 358 rises, the slide part 354 moves the hoist part 356 in the second horizontal direction to return the hoist part 356 to its original position.

도 10을 참조하면, 상기 호이스트부(356)가 원위치된 상태에서 상기 호이스트부(356)가 상기 벨트(357)를 권출하여 상기 핸드부(358)를 상기 제1 포트(330)의 제1 이송부(322)를 향해 하강시킨다. 이후, 상기 핸드부(358)의 고정을 해제하여 상기 물품(20)을 상기 제1 이송부(322)로 전달한다. Referring to FIG. 10 , in a state in which the hoist unit 356 is in its original position, the hoist unit 356 unwinds the belt 357 and transfers the hand unit 358 to the first transfer unit of the first port 330 . Descend towards (322). Thereafter, the fixing of the hand unit 358 is released to transfer the article 20 to the first transfer unit 322 .

도 11을 참조하면, 상기 핸드부(358)의 고정이 해제되면, 상기 호이스트부(356)가 상기 벨트(357)를 권취하여 상기 핸드부(358)를 상승시키고, 상기 제1 이송부(322)는 상기 제2 수평 방향으로 이동하여 상기 물품(20)을 상기 선반(310)들을 향해 이송한다. Referring to FIG. 11 , when the fixing of the hand part 358 is released, the hoist part 356 winds up the belt 357 to raise the hand part 358 , and the first transfer part 322 . moves in the second horizontal direction to transport the article 20 toward the shelves 310 .

상기 제2 이송 유닛(200)들이 상기 OHT인 경우, 상기 제2 포트(330)는 상기 제2 이송 유닛(200)들의 하방에 배치된다. 이 경우, 상기 제2 이송 유닛(200)들이 상기 물품(20)을 상기 제2 포트(330)로 직접 이적재할 수 있다. When the second transfer units 200 are the OHT, the second port 330 is disposed below the second transfer units 200 . In this case, the second transfer units 200 may directly transfer the article 20 to the second port 330 .

예를 들면, 상기 제2 이송 유닛(200)들은 상기 비히클(220)에 구비된 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부, 상기 핸드부를 이용하여 상기 제2 이송 유닛(200)들의 상기 물품(20)을 상기 제2 포트(330)의 상기 제2 이송부(332)로 전달하거나, 상기 물품(20)을 제2 이송부(332)로부터 언로딩하여 상기 제2 이송 유닛(200)들에 수납할 수 있다. For example, the second transfer units 200 transport the article 20 of the second transfer units 200 using the slide unit, the hoist unit, and the hand unit provided in the vehicle 220 . It may be transferred to the second transfer unit 332 of the second port 330 , or the article 20 may be unloaded from the second transfer unit 332 and accommodated in the second transfer units 200 .

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 이송 유닛(100)은 OHT 인 경우, 상기 제1 포트(320)는 상기 제1 이송 유닛(100)의 하방에 배치된다. 이 경우, 상기 제2 로봇(350)이 구비되지 않고, 상기 제1 이송 유닛(100)이 상기 물품(20)을 상기 제1 포트(320)로 직접 이적재할 수 있다. Meanwhile, although not shown, when the first transfer unit 100 is an OHT, the first port 320 is disposed below the first transfer unit 100 . In this case, the second robot 350 is not provided, and the first transfer unit 100 may directly transfer the article 20 to the first port 320 .

또한, 상기 제2 이송 유닛(200)들은 OHS인 경우, 상기 제2 포트(330)는 상기 제2 이송 유닛(200)들의 상방에 배치된다. 이 경우, 상기 스토커 유닛(300)은 상기 제2 이송 유닛(200)들과 상기 제2 포트(330) 사이에서 상기 물품(20)을 이송하는 별도의 제2 로봇(350)을 더 포함할 수 있다.In addition, when the second transfer units 200 are OHS, the second port 330 is disposed above the second transfer units 200 . In this case, the stocker unit 300 may further include a separate second robot 350 for transferring the article 20 between the second transfer units 200 and the second port 330 . have.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 물품 이송 장치는 상기 제3 이송 유닛이 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 신속하게 이송할 수 있으므로, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, in the article transport apparatus according to the present invention, since the third transfer unit can quickly transfer the article between the stocker units, the transfer efficiency of the article transfer apparatus can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 제1 이송 유닛 110 : 제1 레일
120 : 셔틀 200 : 제2 이송 유닛
210 : 제2 레일 220 : 비히클
300 : 스토커 유닛 310 : 선반
320 : 제1 포트 330 : 제2 포트
340 : 제1 로봇 350 : 제2 로봇
400 : 제3 이송 유닛 410 : 제3 레일
420 : 스테이지 430 : 터널
500 : 물품 이송 장치 10 : 건물
20 : 물품100: first transfer unit 110: first rail
120: shuttle 200: second transfer unit
210: second rail 220: vehicle
300: stocker unit 310: shelf
320: first port 330: second port
340: first robot 350: second robot
400: third transfer unit 410: third rail
420: stage 430: tunnel
500: goods transport device 10: building
20: Goods

Claims (13)

물품에 대한 가공 공정이 이루어지는 건물들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제1 이송 유닛;
상기 건물 내에서 상기 물품을 이송하는 제2 이송 유닛들;
상기 제1 이송 유닛과 상기 제2 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 전달하는 스토커 유닛들; 및
상기 제1 이송 유닛을 가로질러 상기 스토커 유닛들을 연결하도록 구비되고, 상기 스토커 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 이송 유닛을 포함하고,
상기 각 스토커 유닛은,
상기 물품들을 수납하여 보관하기 위한 선반들;
상기 제1 이송 유닛으로부터 상기 물품을 전달받거나 상기 제1 이송 유닛으로 상기 물품을 전달하기 위한 제1 포트;
상기 제2 이송 유닛으로부터 상기 물품을 전달받거나 상기 제2 이송 유닛으로 상기 물품을 전달하기 위한 제2 포트; 및
상기 선반들, 상기 제1 포트, 상기 제2 포트 및 상기 제3 이송 유닛 사이에서 상기 물품을 이송하는 제1 로봇을 포함하고,
상기 제3 이송 유닛은, 레일 및 상기 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 스토커 유닛들과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함하고,
상기 제1 로봇이 상기 물품을 상기 스테이지로 로딩 및 언로딩하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.a first transfer unit for transferring the article between buildings in which a processing process for the article is performed;
second transfer units for transferring the article within the building;
stocker units for transferring the article between the first transfer unit and the second transfer unit; and
a third transfer unit provided to connect the stocker units across the first transfer unit, the third transfer unit transferring the article between the stocker units;
Each stocker unit,
Shelves for storing and storing the items;
a first port for receiving the article from or transferring the article to the first transfer unit;
a second port for receiving the article from or transferring the article to the second transfer unit; and
a first robot for transferring the article between the shelves, the first port, the second port and the third transfer unit;
The third transfer unit includes a rail and a stage for transferring the article while moving along the rail, and loading and unloading the article with the stocker units,
The article transport apparatus, characterized in that the first robot loads and unloads the article to the stage. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 물품의 방향을 전환하기 위해 상기 스테이지는 회전 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.The article transport apparatus according to claim 1, wherein the stage is rotatably provided to change the orientation of the article. 제1항에 있어서, 상기 제3 이송 유닛은 바닥면, 천장, 벽면, 그레이팅 하부 공간 중 어느 하나에 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. According to claim 1, wherein the third transfer unit is an article transfer device, characterized in that provided in any one of a floor surface, a ceiling, a wall surface, and a lower space of the grating. 제1항에 있어서, 상기 제3 이송 유닛은 이물질의 침투를 방지하고 상기 레일과 상기 스테이지를 보호하기 위해 상기 스토커 유닛들을 연결하는 터널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. The article transport apparatus according to claim 1, wherein the third transport unit further comprises a tunnel connecting the stocker units to prevent penetration of foreign substances and protect the rail and the stage. 제1항에 있어서, 상기 제1 포트는 상기 물품을 상기 제1 이송 유닛으로 전달하거나 상기 선반들에 적재하기 위해 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 이송부를 포함하고,
상기 제2 포트는 상기 물품을 상기 제2 이송 유닛으로 전달하거나 상기 선반들에 적재하기 위해 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.2. The method of claim 1, wherein the first port comprises a first transfer unit for moving the article in a horizontal direction for transferring the article to the first transfer unit or for loading on the shelves;
and the second port includes a second transfer unit for horizontally moving the article to transfer the article to the second transfer unit or to load the article on the shelves. 제1항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 OHS(Over Head Shuttle) 및 OHT (Overhead Hoist Transport) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. The article transport apparatus according to claim 1, wherein the first transport unit and the second transport unit are any one of an Over Head Shuttle (OHS) and an Overhead Hoist Transport (OHT). 제8항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 각각 다수의 레일들 및 상기 물품을 고정하여 상기 레일들을 따라 주행하는 이송부를 포함하고,
상기 레일들은,
상기 물품을 이송하기 위한 이송 레일들;
상기 물품의 이적재가 이루어지는 이적재 레일들; 및
상기 이송부가 상기 이송 레일들 및 상기 이적재 레일들 사이를 이동할 수 있도록 상기 이송 레일들과 상기 이적재 레일을 연결하는 연결 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. The method according to claim 8, wherein the first transfer unit and the second transfer unit each include a plurality of rails and a transfer unit for fixing the article and traveling along the rails,
The rails are
transport rails for transporting the article;
loading rails on which the goods are loaded and unloaded; and
and connecting rails connecting the transfer rails and the transfer rail so that the transfer unit can move between the transfer rails and the transfer rails. 제1항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛이 OHS(Over Head Shuttle)인 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛의 상방에 배치되고, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛의 상방에 배치되고,
상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛이 OHT (Overhead Hoist Transport)인 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛의 하방에 배치되고, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛의 하방에 배치되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. The method according to claim 1, wherein when the first transfer unit and the second transfer unit are OHS (Over Head Shuttle), the first port is disposed above the first transfer unit, and the second port is the second port. 2 is disposed above the transfer unit,
When the first transfer unit and the second transfer unit are OHT (Overhead Hoist Transport), the first port is disposed below the first transfer unit, and the second port is located below the second transfer unit. Article transport device, characterized in that disposed. 제10항에 있어서, 상기 제1 포트가 상기 제1 이송 유닛의 상방에 배치되는 경우, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 제1 이송 유닛과 상기 제1 포트 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 로봇을 더 포함하고,
상기 제1 포트가 상기 제1 이송 유닛의 하방에 배치되는 경우, 상기 제1 포트는 상기 제1 이송 유닛에 의해 직접 상기 물품이 이적재되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.The method according to claim 10, wherein when the first port is disposed above the first transfer unit, it is provided to be movable in horizontal and vertical directions, and the article is transferred between the first transfer unit and the first port. Further comprising a second robot to transfer,
When the first port is disposed below the first transfer unit, the first port is an article transfer device, characterized in that the article is transferred directly by the first transfer unit. 제10항에 있어서, 상기 제2 포트가 상기 제2 이송 유닛의 상방에 배치되는 경우, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 제2 이송 유닛과 상기 제2 포트 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 로봇을 더 포함하고,
상기 제2 포트가 상기 제2 이송 유닛의 하방에 배치되는 경우, 상기 제2 포트는 상기 제2 이송 유닛에 의해 직접 상기 물품이 이적재되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.The method according to claim 10, wherein when the second port is disposed above the second transfer unit, it is provided to be movable in horizontal and vertical directions, and the article is transferred between the second transfer unit and the second port. Further comprising a second robot to transfer,
When the second port is disposed below the second transfer unit, the second port is an article transfer device, characterized in that the article is transferred directly by the second transfer unit. 제1항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛 및 상기 제2 이송 유닛은 복층 형태로 상기 물품을 이송하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.The article transport apparatus according to claim 1, wherein the first transport unit and the second transport unit transport the article in a multi-layered form.
KR1020190123934A 2019-10-07 2019-10-07 Apparatus for transferring articles KR102294887B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190123934A KR102294887B1 (en) 2019-10-07 2019-10-07 Apparatus for transferring articles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190123934A KR102294887B1 (en) 2019-10-07 2019-10-07 Apparatus for transferring articles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210041345A KR20210041345A (en) 2021-04-15
KR102294887B1 true KR102294887B1 (en) 2021-08-27

Family

ID=75440866

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190123934A KR102294887B1 (en) 2019-10-07 2019-10-07 Apparatus for transferring articles

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102294887B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102628404B1 (en) * 2021-12-23 2024-01-23 세메스 주식회사 Stocker and article transport facility
KR102611190B1 (en) * 2021-12-30 2023-12-07 세메스 주식회사 Logistics system in manufacturing facility

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004327575A (en) * 2003-04-23 2004-11-18 Renesas Technology Corp Operation control method of semiconductor manufacturing facility
JP2006319154A (en) * 2005-05-13 2006-11-24 Asyst Shinko Inc Carrier system for suspended pattern hoisting/lowering carriage

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7771151B2 (en) * 2005-05-16 2010-08-10 Muratec Automation Co., Ltd. Interface between conveyor and semiconductor process tool load port
JP6690497B2 (en) * 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク Goods transport facility

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004327575A (en) * 2003-04-23 2004-11-18 Renesas Technology Corp Operation control method of semiconductor manufacturing facility
JP2006319154A (en) * 2005-05-13 2006-11-24 Asyst Shinko Inc Carrier system for suspended pattern hoisting/lowering carriage

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210041345A (en) 2021-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101463473B1 (en) Transfer device
JP7211439B2 (en) Conveyor system
JP6897864B2 (en) Stocker system
KR101414530B1 (en) Transporting vehicle system
US20120093620A1 (en) Stocker
KR102294887B1 (en) Apparatus for transferring articles
US20090022575A1 (en) Article storing apparatus
KR20200100982A (en) Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
JP2008019017A (en) Article storage device
JP2010241547A (en) Traveling vehicle system
JP2005029319A (en) Conveying system
CN112930312A (en) Bridge type conveying vehicle
KR102189288B1 (en) Die bonding apparatus
KR20210143566A (en) Article transport system and article storage equipment
KR102397848B1 (en) Stocker and transfer systems comprising the same
KR102189275B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
KR102235517B1 (en) Stocker system of overhead hoist type
KR102231176B1 (en) Apparatus for transferring articles
JP5470691B2 (en) Storage and transport system with storage
KR20200076298A (en) Apparatus for transferring articles
KR102098791B1 (en) Stocker
KR102684999B1 (en) Stocker and apparatus for transferring carrier having the same
KR20220039157A (en) Stocker and apparatus for transferring carrier having the same
JP2013165177A (en) Stocker device
JP7399552B2 (en) Container transport device and laser processing device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant