KR20200076298A - Apparatus for transferring articles - Google Patents

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KR20200076298A
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류재영
정재윤
최중길
김식
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides an apparatus for transferring an article, which is capable of rapidly moving an article between a plurality of first circulation transfer units for transferring the article between article processing units. The apparatus for transferring an article comprises: a plurality of first circulation transfer units which are provided to pass through a plurality of article processing units, and are placed to transfer an article between the article processing units; a second circulation transfer unit which is connected to the first circulation transfer units and transfers the article between the first circulation transfer units; and a third circulation transfer unit which is disposed to cross the second circulation transfer unit at a lower height than the first circulation transfer units and the second circulation transfer unit, and transfers the article between the first circulation transfer units.

Description

물품 이송 장치{Apparatus for transferring articles}Item transfer device {Apparatus for transferring articles}

본 발명은 물품 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클이 레일을 따라 이동하면서 물품을 이송하는 물품 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an article conveying device, and more particularly, to an article conveying device for transporting an article while a vehicle moves along a rail.

일반적으로, 물품 이송 장치는 증착, 노광, 식각, 세정 등을 각각 수행하는 물품 처리부들로 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등과 같은 물품을 이송한다. 상기 물품들은 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다. 상기 물품 이송 장치는 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들 및 상기 제1 순환 이송 유닛들과 연결되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 순환 이송 유닛을 포함한다. In general, the article transfer device transfers articles such as wafers, printed circuit boards, reticles, etc. to article processing units that perform deposition, exposure, etching, cleaning, and the like, respectively. The items can be transported in a loaded state such as FOUP, FOSB, magazine, reticle pod, and the like. The article transport apparatus is connected to a plurality of first circulation transport units and the first circulation transport units for transporting goods between the product processing units, and transports the goods between the first circulation transport units. And a second circulation transfer unit.

상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하기 위해서는, 하나의 제1 순환 이송 유닛이 상기 물품을 상기 제2 순환 이송 유닛으로 전달하고, 상기 제2 순환 이송 유닛이 다시 다른 제1 순환 이송 유닛으로 상기 물품을 전달한다. 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이가 먼 경우, 상기 물품의 이송하기 위한 주행 거리가 길어지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 길어진다. 따라서, 상기 물품의 이송 효율이 저하될 수 있다. In order to transfer the article between the first circulation transfer units, one first circulation transfer unit delivers the article to the second circulation transfer unit, and the second circulation transfer unit again another first circulation transfer The article is delivered to the unit. When the distance between the first circulation transfer units is far, the travel distance for transferring the article becomes long, and the time required for transferring the article also increases. Therefore, the transfer efficiency of the article may be lowered.

본 발명은 기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 신속하게 이동시킬 수 있는 물품 이송 장치를 제공한다. The present invention provides an article transport apparatus capable of quickly moving the article between a plurality of first circulation transfer units for transferring the article between the existing article processing units.

본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 다수의 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들과, 상기 제1 순환 이송 유닛들과 연결되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 순환 이송 유닛 및 상기 제1 순환 이송 유닛 및 상기 제2 순환 이송 유닛보다 낮은 높이에 상기 제2 순환 이송 유닛을 가로지르도록 배치되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 순환 이송 유닛을 포함할 수 있다. The article transport apparatus according to the present invention is provided to pass through a plurality of article processing units, and is connected to the plurality of first circulation transfer units and the first circulation transfer units for transferring the goods between the product processing units, , A second circulation transport unit for transporting the goods between the first circulation transport units, and disposed to cross the second circulation transport unit at a lower height than the first circulation transport unit and the second circulation transport unit. And, it may include a third circulation transfer unit for transferring the article between the first circulation transfer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 순환 이송 유닛들은, 천장에 구비되는 제1 이송 레일 및 상기 제1 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제1 비히클을 각각 포함하고, 상기 제2 순환 이송 유닛은, 상기 제1 이송 레일들과 연결되도록 상기 천장에 구비되는 제2 이송 레일 및 상기 제2 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제2 비히클을 포함하고, 상기 제3 순환 이송 유닛은, 상기 제2 레일보다 낮은 높이에 구비되는 제3 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 제1 비히클이 승하강하면서 상기 제1 비히클과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first circulation transport units, the first transport rail provided on the ceiling and the first vehicle for moving the goods while moving along the first rail, the first vehicle for moving the goods up and down Each of which includes, and the second circulation transfer unit, while moving along the second transfer rail and the second rail provided on the ceiling so as to be connected to the first transfer rails, and transfer the article The drop includes a second vehicle, and the third circulation transfer unit transfers the article while moving along the third rail and the third rail provided at a lower height than the second rail, and the first vehicle It may include a stage in which the loading and unloading of the article between the first vehicle while moving up and down.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 물품의 방향을 전환하기 위해 상기 스테이지는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the stage may be provided to be rotatable to change the direction of the article.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 제1 비히클들과 상기 스테이지는 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 동일한 위치에서 이루어질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the first vehicles and the stage may be loaded and unloaded from the article at the same location.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 제1 비히클들과 상기 스테이지는 상기 물품의 로딩이 이루어지는 위치와 상기 물품의 언로딩이 이루어지는 위치가 상이할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the first vehicles and the stage may have a different position at which the article is loaded and a position at which the article is unloaded.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 레일들과 상기 제2 이송 레일들이 연결되므로, 상기 제1 비히클들은 상기 제2 이송 레일들을 따라 추가로 이동하고, 상기 제2 비히클은 상기 제1 이송 레일들을 따라 추가로 이동할 수 있다. According to embodiments of the present invention, since the first transport rails and the second transport rails are connected, the first vehicles further move along the second transport rails, and the second vehicle is the first transport rail. 1 Can be moved further along the transport rails.

본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 다수의 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들 및 상기 제1 순환 이송 유닛보다 낮은 높이에 배치되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 순환 이송 유닛을 포함하고, 상기 제1 순환 이송 유닛들은, 천장에 구비되는 제1 이송 레일 및 상기 제1 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제1 비히클을 각각 포함하고, 상기 제3 순환 이송 유닛은, 상기 제1 레일보다 낮은 높이에 구비되는 제3 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 제1 비히클이 승하강하면서 상기 제1 비히클과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함할 수 있다. The article transport apparatus according to the present invention is provided to pass through a plurality of article processing units, and is disposed at a lower height than the plurality of first circulation transport units and the first circulation transport unit for transferring the goods between the product processing units. And a third circulation transport unit for transporting the goods between the first circulation transport units, wherein the first circulation transport units move along the first transport rail and the first rail provided on the ceiling. Each of the first vehicle for transporting the article, the first vehicle for moving the article up and down, and the third circulation transfer unit, while moving along the third rail and the third rail provided at a lower height than the first rail It may include a stage for transferring the article, and loading and unloading of the article between the first vehicle while the first vehicle moves up and down.

본 발명에 따르면, 상기 물품 이송 장치는 상기 제2 순환 이송 유닛을 이용하지 않고 상기 제3 순환 이송 유닛을 이용하여 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송한다. 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하기 위한 주행 거리가 짧아지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 단축된다. 따라서, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율이 향상될 수 있다. According to the present invention, the article transport apparatus transfers the article between the first circulation transfer units using the third circulation transfer unit without using the second circulation transfer unit. The travel distance for transferring the article between the first circulation transfer units is shortened, and the time required to transfer the article is also shortened. Therefore, the transfer efficiency of the article transfer device can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제3 순환 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제3 순환 이송 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view for explaining an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for describing the article transport apparatus illustrated in FIG. 1.
FIG. 3 is a plan view illustrating the third circulation transfer unit illustrated in FIG. 1.
4 is a plan view illustrating another example of the third circulation transfer unit illustrated in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention may be variously modified and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention are included. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than actual in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, terms such as “include” or “have” are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It should be understood that the presence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in a commonly used dictionary, should be interpreted to have meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 is a plan view for explaining an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for describing the article transport apparatus illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 물품 이송 장치(100)는 물품 처리부(10)들 사이에서 물품(20)을 이송하기 위한 것으로, 제1 순환 이송 유닛(110), 제2 순환 이송 유닛(120) 및 제3 순환 이송 유닛(130)을 포함할 수 있다. 1 and 2, the article transport apparatus 100 is for transferring the article 20 between the article processing units 10, the first circulation transfer unit 110, the second circulation transfer unit ( 120) and the third circulation transfer unit 130.

상기 물품 처리부(10)들은 증착, 노광, 식각, 세정 등을 다양한 반도체 소자 제조 공정을 각각 수행할 수 있다. 상기 물품(20)은 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등을 포함하며, FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다. The article processing units 10 may perform various semiconductor device manufacturing processes, such as deposition, exposure, etching, and cleaning. The article 20 includes a wafer, a printed circuit board, a reticle, and the like, and may be transported while being loaded in a FOUP, FOSB, magazine, reticle pod, or the like.

상기 제1 순환 이송 유닛(110)은 상기 물품 처리부(10)들을 지나도록 구비되며, 상기 물품 처리부(10)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송한다. 상기 제1 순환 이송 유닛(110)은 다수개가 구비될 수 있다. The first circulation transfer unit 110 is provided to pass through the article processing units 10 and transfers the article 20 between the article processing units 10. A plurality of first circulation transfer units 110 may be provided.

상기 제1 순환 이송 유닛(110) 각각은, 제1 이송 레일(111) 및 제1 비히클(113)을 포함할 수 있다.Each of the first circulation transport units 110 may include a first transport rail 111 and a first vehicle 113.

상기 제1 이송 레일(111)은 상기 물품 처리부(10)들이 구비된 영역의 천장에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. The first transfer rail 111 is provided on the ceiling of the area where the article processing units 10 are provided and has a ring shape.

상기 제1 비히클(113)은 상기 제1 레일(111)을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 상기 물품 처리부(10)들로 로딩하거나, 상기 물품 처리부(10)들로부터 상기 물품(20)을 언로딩한다. 상기 제1 비히클(113)은 상기 물품(20)을 승하강시켜 상기 물품(20)을 로딩 및 언로딩할 수 있다. The first vehicle 113 loads the article 20 into the article handling units 10 while moving along the first rail 111 or receives the article 20 from the article handling units 10. Unload. The first vehicle 113 may load and unload the article 20 by lifting and lowering the article 20.

구체적으로 도시되지는 않았지만, 상기 제1 비히클(113)은 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부, 핸드부, 연결부를 포함한다. Although not specifically shown, the first vehicle 113 includes a traveling part, a frame part, a slide part, a hoist part, a hand part, and a connecting part.

상기 주행부는 상기 제1 비히클(113)을 상기 제1 이송 레일(111)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부의 양 측면에 주행 롤러가 구비된다. 상기 주행 롤러는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 제1 비히클(113)이 상기 제1 이송 레일(111)을 따라 주행한다. The driving unit moves the first vehicle 113 along the first transport rail 111. Travel rollers are provided on both sides of the travel unit. The traveling roller is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the first vehicle 113 travels along the first transport rail 111.

한편, 상기 주행부는 상부면에 조향 롤러를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 제1 이송 레일(111)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 제1 이송 레일(111)의 분기 지점 또는 합류 지점에서 상기 제1 비히클(113)의 주행 방향을 조절할 수 있다. Meanwhile, the driving unit includes a steering roller on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the first transfer rail 111. The driving direction of the first vehicle 113 may be adjusted at a branch point or a confluence point of the first transfer rail 111.

상기 프레임부는 상기 주행부의 하부면에 고정된다. 상기 프레임부는 상기 물품(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 프레임부는 하부면과 일측면이 개방될 수 있다. 따라서, 상기 물품(20)이 상기 제1 비히클(113)의 상하 방향을 따라 수직 이동하거나, 상기 제1 비히클(113)의 주행 방향과 수직한 방향으로 수평 이동할 수 있다. The frame portion is fixed to the lower surface of the driving portion. The frame portion has an empty shape inside to accommodate the article 20. In addition, the frame portion may have a lower surface and one side open. Accordingly, the article 20 may vertically move along the vertical direction of the first vehicle 113 or horizontally move in a direction perpendicular to the driving direction of the first vehicle 113.

상기 슬라이드부는 상기 프레임부의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 상기 수평 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부는 상기 프레임부의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The slide portion is provided on the inner upper surface of the frame portion. The slide portion may horizontally move the hoist portion in the horizontal direction. At this time, the hoist portion may move horizontally through an open side surface of the frame portion.

상기 호이스트부는 상기 슬라이드부의 하부면에 상기 수평 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist portion is provided on the lower surface of the slide portion to be horizontally movable in the horizontal direction.

상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하여 상기 상하 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부는 벨트로 상기 핸드부를 고정한다. 상기 호이스트부는 상기 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 호이스트부를 승강시킬 수 있다.The hoist portion may be moved up and down along the vertical direction by fixing the hand portion. For example, the hoist part fixes the hand part with a belt. The hoist portion may be lifted or unwound by hoisting or unwinding the belt.

상기 핸드부는 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 물품(20)을 고정한다. The hand portion is fixed to the end of the belt 142 and fixes the article 20.

상기 물품(20)은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. The article 20 is moved in the horizontal direction by the slide portion, and can be moved up and down by the hoist portion.

상기 연결부는 상기 슬라이드부와 상기 호이스트부 사이에 구비되며, 상기 호이스트부를 상기 슬라이드부에 대해 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 연결한다. The connecting portion is provided between the slide portion and the hoist portion, and connects the hoist portion to be movable in the horizontal direction with respect to the slide portion.

상기 호이스트부가 상기 수평 방향으로 안정적으로 이동하도록 상기 연결부는 한 쌍이 구비될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 상기 연결부는 서로 평행하도록 배치될 수 있다. A pair of connection parts may be provided so that the hoist part stably moves in the horizontal direction. At this time, the pair of the connecting portions may be arranged to be parallel to each other.

상기 연결부는 가이드 레일과 이동 블록을 포함하는 LM 가이드일 수 있다. The connecting portion may be an LM guide including a guide rail and a moving block.

상기 제2 순환 이송 유닛(120)은 상기 제1 순환 이송 유닛(110)들과 연결되며, 상기 제1 순환 이송 유닛(110)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송할 수 있다. 따라서, 상기 제2 순환 이송 유닛(120)은 상기 물품(20)을 하나의 제1 순환 이송 유닛(110)에서 다른 제1 순환 이송 유닛(110)으로 이송할 수 있다. The second circulation transport unit 120 is connected to the first circulation transport units 110 and may transfer the article 20 between the first circulation transport units 110. Accordingly, the second circulation transfer unit 120 may transfer the article 20 from one first circulation transfer unit 110 to another first circulation transfer unit 110.

상기 제2 순환 이송 유닛(120), 제2 이송 레일(121) 및 제2 비히클(123)을 포함할 수 있다.The second circulation transfer unit 120, the second transfer rail 121 and the second vehicle 123 may be included.

상기 제2 이송 레일(121)은 상기 천장에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. 또한, 상기 제2 이송 레일(121)은 상기 제1 이송 레일(111)들과 연결될 수 있다. 즉, 상기 제1 이송 레일(111)들은 상기 제2 이송 레일(121)과 합류 및 분기할 수 있다. The second transport rail 121 is provided on the ceiling and has a ring shape. Also, the second transport rail 121 may be connected to the first transport rails 111. That is, the first transfer rails 111 may join and branch with the second transfer rails 121.

상기 제2 비히클(123)은 상기 제2 레일(121)을 따라 이동하면서 상기 제1 순환 이송 유닛(110)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송한다. The second vehicle 123 moves the article 20 between the first circulation transport units 110 while moving along the second rail 121.

구체적으로, 상기 제1 이송 레일(111)들과 상기 제2 이송 레일(121)이 연결되므로, 상기 제1 비히클(113)이 상기 제1 이송 레일(111) 뿐만 아니라 상기 제2 이송 레일(121)을 따라 이동하거나, 상기 제2 비히클(123)이 상기 제2 이송 레일(121) 뿐만 아니라 상기 제1 이송 레일(111)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 제1 비히클(113)이 상기 물품(20)을 하나의 제1 순환 이송 유닛(110)에서 다른 제1 순환 이송 유닛(110)으로 이송하거나, 상기 제2 비히클(123)이 상기 물품(20)을 하나의 제1 순환 이송 유닛(110)에서 다른 제1 순환 이송 유닛(110)으로 이송할 수 있다. Specifically, since the first transport rails 111 and the second transport rails 121 are connected, the first vehicle 113 not only includes the first transport rail 111 but also the second transport rails 121 ), or the second vehicle 123 may move along the first transport rail 111 as well as the second transport rail 121. Accordingly, the first vehicle 113 transfers the article 20 from one first circulation transfer unit 110 to another first circulation transfer unit 110, or the second vehicle 123 transfers the article 20 may be transferred from one first circulation transfer unit 110 to another first circulation transfer unit 110.

이와 달리, 상기 제2 비히클(123)은 하나의 상기 제1 비히클(113)로부터 상기 물품(20)을 전달받고, 상기 제2 이송 레일(121)을 따라 상기 물품(20)을 이송한 후, 다른 상기 제1 비히클(113)로 상기 물품(20)을 다시 전달할 수도 있다. 이때, 상기 제1 비히클(113)들과 상기 제2 비히클(123)은 상기 물품(20)을 상기 천장에 별도로 구비된 버퍼 유닛(미도시)을 이용하여 전달할 수 있다. Alternatively, the second vehicle 123 receives the article 20 from one of the first vehicles 113, and after transferring the article 20 along the second transfer rail 121, The article 20 may be transferred back to the other first vehicle 113. In this case, the first vehicle 113 and the second vehicle 123 may transfer the article 20 using a buffer unit (not shown) separately provided on the ceiling.

상기 제3 순환 이송 유닛(130)은 상기 제1 순환 이송 유닛(110) 및 상기 제2 순환 이송 유닛(120)보다 낮은 높이에 상기 제2 순환 이송 유닛(120)을 가로지르도록 배치되며, 상기 제1 순환 이송 유닛(110)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송할 수 있다. The third circulation transfer unit 130 is disposed to cross the second circulation transfer unit 120 at a lower height than the first circulation transfer unit 110 and the second circulation transfer unit 120, and the The article 20 may be transferred between the first circulation transfer units 110.

상기 제3 순환 이송 유닛(130), 제3 이송 레일(131) 및 스테이지(133)를 포함할 수 있다.The third circulation transfer unit 130, a third transfer rail 131 and a stage 133 may be included.

상기 제3 이송 레일(131)은 상기 물품 처리부(10)들이 놓여진 지면에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. 또한, 상기 제3 이송 레일(131)은 상기 제2 이송 레일(121)을 가로지르도록 배치되며, 상기 제3 이송 레일(131)의 일부는 상기 제2 이송 레일(121)을 기준으로 서로 반대편에 위치하는 적어도 두 개의 상기 제1 이송 레일(111)의 하방에 위치한다. 따라서, 상기 제3 이송 레일(131)은 상기 제1 이송 레일(111)과 상하로 일부 중첩될 수 있다. The third transport rail 131 is provided on the ground on which the article processing units 10 are placed, and has a ring shape. In addition, the third transport rail 131 is disposed to cross the second transport rail 121, and a part of the third transport rail 131 is opposite to each other based on the second transport rail 121. It is located below the at least two of the first transfer rail 111. Therefore, the third transfer rail 131 may partially overlap the first transfer rail 111.

상기 스테이지(133)는 상기 제3 이송 레일(131)을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 이송한다. The stage 133 moves the article 20 while moving along the third transfer rail 131.

또한, 상기 스테이지(133)는 상기 제1 비히클(113)과의 사이에서 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 이루어진다. In addition, the stage 133 is loaded and unloaded between the first vehicle 113 and the article 20.

구체적으로, 상기 스테이지(133)가 상기 제1 이송 레일(111)의 하방에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(113)이 상기 물품(20)을 하강시켜 상기 제1 비히클(113)의 물품(20)을 상기 스테이지(133)로 로딩한다. 또한, 상기 스테이지(133)가 상기 제1 이송 레일(111)의 하방에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(113)이 상기 물품(20)을 상승시켜 상기 스테이지(133)로부터 상기 물품(20)을 언로딩한다.Specifically, while the stage 133 is located below the first transport rail 111, the first vehicle 113 lowers the article 20 to bring the article 20 of the first vehicle 113 into account. ) To the stage 133. In addition, the first vehicle 113 lifts the article 20 while the stage 133 is located below the first transfer rail 111 to lift the article 20 from the stage 133. Unload.

상기 제3 이송 레일(131)이 고리 형상을 가지므로, 상기 제3 순환 이송 유닛(130)은 두 개의 제1 순환 이송 유닛(110)들 사이에서 상기 물품(20)을 왕복 이송할 수 있다. Since the third transfer rail 131 has a ring shape, the third circulation transfer unit 130 may reciprocate the article 20 between two first circulation transfer units 110.

상기 제3 순환 이송 유닛(130)이 상기 제2 순환 이송 유닛(120)을 가로지르도록 배치되므로, 상기 제2 순환 이송 유닛(120)보다 상기 제3 순환 이송 유닛(130)으로 상기 물품(20)을 이송할 때, 상기 제1 순환 이송 유닛(110)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송하기 위한 주행 거리를 단축할 수 있고, 상기 물품(20)의 이송에 소요되는 시간도 단축될 수 있다. 따라서, 상기 물품 이송 장치(100)의 이송 효율이 향상될 수 있다. Since the third circulation transport unit 130 is disposed to cross the second circulation transport unit 120, the article 20 is transferred to the third circulation transport unit 130 rather than the second circulation transport unit 120. ), the travel distance for transporting the article 20 between the first circulation transfer units 110 can be shortened, and the time required for the transfer of the article 20 can also be shortened. have. Therefore, the transfer efficiency of the article transport apparatus 100 may be improved.

상기 스테이지(133)는 상기 제3 이송 레일(131) 상에서 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 스테이지(133)는 상기 물품(20)의 방향을 용이하게 전환할 수 있다. 상기 스테이지(133)로부터 언로딩될 상기 물품(20)이나 상기 스테이지(133)로 로딩된 상기 물품(20)을 특정 방향을 향하도록 조절할 수 있다. The stage 133 may be provided to be rotatable on the third transfer rail 131. Therefore, the stage 133 can easily switch the direction of the article 20. The article 20 to be unloaded from the stage 133 or the article 20 loaded into the stage 133 may be adjusted to face a specific direction.

도 3은 도 1에 도시된 제3 순환 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.FIG. 3 is a plan view illustrating the third circulation transfer unit illustrated in FIG. 1.

도 3을 참조하면, 상기 각 제1 비히클(113)들과 상기 스테이지(133)는 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 동일한 위치에서 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 3, loading and unloading of the article 20 may be performed at the same position in each of the first vehicles 113 and the stage 133.

예를 들면, 상기 스테이지(133)가 로딩/언로딩 위치(LUP1, LUP2)에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(113)들이 상기 물품(20)을 상기 스테이지(133)로 로딩하거나, 상기 제1 비히클(113)들이 상기 스테이지(133)로부터 상기 물품(20)을 언로딩할 수 있다. 상기 로딩/언로딩 위치(LUP1, LUP2)에서만 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 이루어지므로, 상기 물품(20)을 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. For example, while the stage 133 is located in the loading/unloading positions LUP1 and LUP2, the first vehicles 113 load the article 20 into the stage 133, or the first Vehicles 113 may unload the article 20 from the stage 133. Since the loading and unloading of the article 20 is performed only at the loading/unloading positions LUP1 and LUP2, the article 20 can be stably loaded and unloaded.

도 4는 도 1에 도시된 제3 순환 이송 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.4 is a plan view illustrating another example of the third circulation transfer unit illustrated in FIG. 1.

도 4를 참조하면, 상기 각 제1 비히클(113)들과 상기 스테이지(133)는 상기 물품(20)의 로딩이 이루어지는 위치와 상기 물품(20)의 언로딩이 이루어지는 위치가 상이할 수 있다. Referring to FIG. 4, each of the first vehicles 113 and the stage 133 may have a different location from which the article 20 is loaded and a location where the article 20 is unloaded.

예를 들면, 상기 스테이지(133)가 로딩 위치(LP1, LP2)에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(113)들이 상기 물품(20)을 상기 스테이지(133)로 로딩하고, 상기 스테이지(133)가 언로딩 위치(UP1, UP2)에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(113)들이 상기 스테이지(133)로부터 상기 물품(20)을 언로딩할 수 있다. 상기 로딩 위치(LP1, LP2)에서 상기 물품(20)의 로딩이 이루어지는 동안, 상기 언로딩 위치(UP1, UP2)에서 상기 물품(20)의 언로딩이 이루어질 수 있다. 즉, 상기 각 제1 비히클(113)들과 상기 스테이지(133) 사이에서 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩이 동시에 이루어질 수 있다. 상기 물품(20)의 로딩 및 언로딩을 신속하게 할 수 있으므로, 상기 물품 이송 장치(100)의 이송 효율이 더욱 향상될 수 있다. For example, the first vehicle 113 loads the article 20 into the stage 133 while the stage 133 is located in the loading positions LP1 and LP2, and the stage 133 The first vehicles 113 may unload the article 20 from the stage 133 in the unloading positions UP1 and UP2. While loading of the article 20 is performed at the loading positions LP1 and LP2, unloading of the article 20 may be performed at the unloading positions UP1 and UP2. That is, loading and unloading of the article 20 may be simultaneously performed between each of the first vehicles 113 and the stage 133. Since the loading and unloading of the article 20 can be quickly performed, the transfer efficiency of the article transferring apparatus 100 can be further improved.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 물품 이송 장치는 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 신속하게 이송할 수 있으므로, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, since the article transport apparatus according to the present invention can quickly transfer the article between the first circulation transfer units, it is possible to improve the transfer efficiency of the article transfer apparatus.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 물품 이송 장치 110 : 제1 순환 이송 유닛
111 : 제1 이송 레일 113 : 제1 비히클
120 : 제2 순환 이송 유닛 121 : 제2 이송 레일
123 : 제2 비히클 130 : 제3 순환 이송 유닛
131 : 제3 이송 레일 133 : 스테이지
10 : 물품 처리부 20 : 물품100: goods transport apparatus 110: first circulation transport unit
111: first transport rail 113: first vehicle
120: second circulation transfer unit 121: second transfer rail
123: second vehicle 130: third circulation transfer unit
131: third transfer rail 133: stage
10: article processing unit 20: article

Claims (7)

다수의 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들;
상기 제1 순환 이송 유닛들과 연결되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제2 순환 이송 유닛; 및
상기 제1 순환 이송 유닛 및 상기 제2 순환 이송 유닛보다 낮은 높이에 상기 제2 순환 이송 유닛을 가로지르도록 배치되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 순환 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.A plurality of first circulation transfer units provided to pass through a plurality of article processing units, and for transferring the articles between the article processing units;
A second circulation transfer unit connected to the first circulation transfer units and transferring the article between the first circulation transfer units; And
A third circulating transfer unit disposed to cross the second circulating transfer unit at a lower height than the first circulating transfer unit and the second circulating transfer unit, and transferring the article between the first circulating transfer units. Goods transport device comprising a. 제1항에 있어서, 상기 제1 순환 이송 유닛들은, 천장에 구비되는 제1 이송 레일 및 상기 제1 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제1 비히클을 각각 포함하고,
상기 제2 순환 이송 유닛은, 상기 제1 이송 레일들과 연결되도록 상기 천장에 구비되는 제2 이송 레일 및 상기 제2 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제2 비히클을 포함하고,
상기 제3 순환 이송 유닛은, 상기 제2 레일보다 낮은 높이에 구비되는 제3 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 제1 비히클이 승하강하면서 상기 제1 비히클과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.According to claim 1, The first circulation transfer unit, The first transfer rail provided on the ceiling and the first vehicle to move while moving along the first rail, and includes a first vehicle for lifting and lowering the article, respectively ,
The second circulation transport unit, the second transport rail provided on the ceiling so as to be connected to the first transport rails and the second vehicle to move the goods while moving along the second rail, the second vehicle to move the goods up and down Including,
The third circulating transfer unit transfers the article while moving along the third rail and the third rail provided at a lower height than the second rail, and the first vehicle moves up and down, and the first vehicle moves with the first vehicle. And a stage in which the loading and unloading of the article is performed. 제2항에 있어서, 상기 물품의 방향을 전환하기 위해 상기 스테이지는 회전 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.The article transport apparatus according to claim 2, wherein the stage is provided to be rotatable to change the direction of the article. 제2항에 있어서, 상기 각 제1 비히클들과 상기 스테이지는 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 동일한 위치에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. 3. The article transport apparatus according to claim 2, wherein each of the first vehicles and the stage are loaded and unloaded from the same location. 제2항에 있어서, 상기 각 제1 비히클들과 상기 스테이지는 상기 물품의 로딩이 이루어지는 위치와 상기 물품의 언로딩이 이루어지는 위치가 상이한 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. The article transport apparatus according to claim 2, wherein each of the first vehicles and the stage is different from a location where the article is loaded and a location where the article is unloaded. 제2항에 있어서, 상기 제1 이송 레일들과 상기 제2 이송 레일들이 연결되므로, 상기 제1 비히클들은 상기 제2 이송 레일들을 따라 추가로 이동하고, 상기 제2 비히클은 상기 제1 이송 레일들을 따라 추가로이동하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치. According to claim 2, Since the first transport rails and the second transport rails are connected, the first vehicles further move along the second transport rails, and the second vehicle transports the first transport rails. Goods transport device characterized in that it further moves along. 다수의 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하기 위한 다수의 제1 순환 이송 유닛들; 및
상기 제1 순환 이송 유닛보다 낮은 높이에 배치되며, 상기 제1 순환 이송 유닛들 사이에서 상기 물품을 이송하는 제3 순환 이송 유닛을 포함하고,
상기 제1 순환 이송 유닛들은, 천장에 구비되는 제1 이송 레일 및 상기 제1 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하며, 상기 물품을 승하강하는 제1 비히클을 각각 포함하고,
상기 제3 순환 이송 유닛은, 상기 제1 레일보다 낮은 높이에 구비되는 제3 레일 및 상기 제3 레일을 따라 이동하면서 상기 물품을 이송하고, 상기 제1 비히클이 승하강하면서 상기 제1 비히클과의 사이에서 상기 물품의 로딩 및 언로딩이 이루어지는 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.A plurality of first circulation transfer units provided to pass through a plurality of article processing units, and for transferring the articles between the article processing units; And
It is disposed at a lower height than the first circulation transfer unit, and includes a third circulation transfer unit for transferring the article between the first circulation transfer units,
Each of the first circulation transport units includes a first transport rail provided on a ceiling and a first vehicle that moves the goods while moving along the first rail, and moves the goods up and down,
The third circulation transfer unit, while moving along the third rail and the third rail provided at a lower height than the first rail, and the first vehicle while moving up and down the first vehicle and the first vehicle And a stage in which the loading and unloading of the article is performed.
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