KR102020227B1 - Apparatus and method for transferring carrier - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 이동, 상하 이동 및 회전시키는 이송부를 포함하는 비히클 및 상기 주행 레일에 인접하게 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어가 적재되는 복수의 슬롯들을 갖는 버퍼 유닛을 포함한다. 상기 이송부는 상기 캐리어를 상기 비히클의 주행 방향과 수직하도록 회전시켜 상기 슬롯들에 적재할 수 있다.Carrier transport apparatus according to the present invention includes a travel unit for traveling along the travel rail provided on the ceiling of the semiconductor manufacturing line and a transport unit coupled to the travel unit to hold the carrier to be detachable to move horizontally, up and down and rotate And a buffer unit provided adjacent to the vehicle and the travel rail, the buffer unit having a plurality of slots in which the carrier carried by the vehicle is loaded. The transfer unit may rotate the carrier so as to be perpendicular to the driving direction of the vehicle and to be loaded in the slots.

Description

캐리어 이송 장치 및 방법{Apparatus and method for transferring carrier}Apparatus and method for transferring carrier
본 발명은 캐리어 이송 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치 및 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a carrier transfer apparatus and method, and more particularly, to a carrier transfer apparatus and method for transferring a carrier in a semiconductor manufacturing line.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 적재된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state loaded on a carrier or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.
상기 캐리어는 비히클에 의해 이송된다. 상기 비히클은 상기 대상물이 적재된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 적재된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is carried by the vehicle. The vehicle transfers the carrier on which the object is loaded, to the load port of the semiconductor processing apparatuses, and picks up the carrier on which the processed object is loaded from the load port and returns it to the outside.
상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어를 임시로 적재하기 위한 버퍼 유닛이 구비된다. 상기 버퍼 유닛에는 상기 캐리어가 안착된다. When a carrier is present in the load pod of the semiconductor processing apparatus, a buffer unit for temporarily loading the carrier carried by the vehicle is provided. The carrier is seated in the buffer unit.
종래 기술에 따르면, 상기 비히클은 상기 캐리어를 회전시키지 않고 상기 비히클의 주행 방향과 평행하도록 상기 버퍼 유닛에 적재한다. 상기 캐리어가 상기 비히클의 주행 방향과 평행하도록 상기 버퍼 유닛에 복수로 적재되는 경우, 상기 캐리어가 몇 개 적재되었는지 확인하기 어렵다. 따라서, 상기 버퍼 유닛에 복수의 캐리어를 적재하지 못하고 하나의 캐리어만 적재한다. 그러므로, 상기 버퍼 유닛의 적재 효율이 저하될 수 있다. According to the prior art, the vehicle is loaded in the buffer unit so as to be parallel to the running direction of the vehicle without rotating the carrier. When a plurality of carriers are loaded in the buffer unit so that the carriers are parallel to the running direction of the vehicle, it is difficult to determine how many carriers are loaded. Therefore, a plurality of carriers cannot be loaded in the buffer unit, but only one carrier is loaded. Therefore, the loading efficiency of the buffer unit can be lowered.
본 발명은 버퍼 유닛에 적재되는 캐리어의 수를 증가시킬 수 있는 캐리어 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a carrier transport apparatus capable of increasing the number of carriers loaded on a buffer unit.
본 발명은 버퍼 유닛에 적재되는 캐리어의 수를 증가시킬 수 있는 캐리어 이송 방법을 제공한다. The present invention provides a carrier transport method capable of increasing the number of carriers loaded in a buffer unit.
본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 이동, 상하 이동 및 회전시키는 이송부를 포함하는 비히클 및 상기 주행 레일에 인접하게 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어가 적재되는 복수의 슬롯들을 갖는 버퍼 유닛을 포함하고, 상기 이송부는 상기 캐리어를 상기 비히클의 주행 방향과 수직하도록 회전시켜 상기 슬롯들에 적재할 수 있다. Carrier transport apparatus according to the present invention includes a travel unit for traveling along the travel rail provided on the ceiling of the semiconductor manufacturing line and a transport unit coupled to the travel unit to hold the carrier to be detachable to move horizontally, up and down and rotate A buffer unit provided adjacent to the vehicle and the traveling rail, the buffer unit having a plurality of slots in which the carrier carried by the vehicle is loaded, wherein the transfer unit rotates the carrier to be perpendicular to the driving direction of the vehicle; Can be loaded on the field.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 슬롯들은 상기 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the slots may be arranged along a direction parallel to the driving direction.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 기 버퍼 유닛은 상기 슬롯들의 후면에 광을 반사하기 위한 반사판을 가지며, 상기 비히클은 상기 슬롯들 개수와 동일한 개수만큼 상기 슬롯들의 위치와 대응하는 위치에 구비되며, 상기 반사판을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 슬롯들이 빈 상태인지를 확인하기 위한 광센서들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the buffer unit has a reflector for reflecting light on the rear of the slots, the vehicle is provided at a position corresponding to the position of the slots by the same number of slots And light sensors for irradiating light toward the reflector and checking whether the slots are empty according to whether the light reflected from the reflector is received.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클에서 상기 이송부의 회전 중심축은 상기 캐리어의 외측에 위치하며, 상기 이송부는 상기 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 상기 캐리어를 회전시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the central axis of rotation of the transfer unit in the vehicle is located outside the carrier, the transfer unit may rotate the carrier in a direction corresponding to the position of the empty slot of the slots. .
본 발명에 따른 캐리어 이송 방법은 주행부의 주행에 따라 비히클을 주행 레일의 일측에 배치된 버퍼 유닛과 인접하도록 위치시키는 단계와, 상기 비히클에 구비된 광센서와 상기 버퍼 유닛의 슬롯 후면에 구비된 반사판을 이용하여 상기 버퍼 유닛에서 상기 비히클의 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열된 한 쌍의 슬롯들이 빈 상태인지를 확인하는 단계 및 상기 비히클에서 상기 주행부와 결합된 이송부가 상기 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 파지된 캐리어를 회전시켜 상기 빈 슬롯에 적재하는 단계를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a carrier transport method includes positioning a vehicle to be adjacent to a buffer unit disposed at one side of a travel rail according to the driving of a driving unit, and an optical sensor provided at the vehicle and a reflector provided at a rear surface of a slot of the buffer unit. Checking whether the pair of slots arranged along the direction parallel to the driving direction of the vehicle is empty in the buffer unit, and the transfer unit coupled to the driving unit in the vehicle is an empty slot among the slots. Rotating the carrier is held in the direction corresponding to the position of the may include the step of loading in the empty slot.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클에서 상기 이송부의 회전 중심축은 상기 캐리어의 외측에 위치할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the central axis of rotation of the transfer unit in the vehicle may be located outside the carrier.
본 발명의 캐리어 이송 장치는 비히클에서 캐리어를 상기 비히클의 주행 방향과 수직하도록 회전시켜 버퍼 유닛에 적재한다. 따라서, 상기 버퍼 유닛에 상기 캐리어를 상기 주행 방향과 수직하도록 적재할 수 있다. The carrier transport apparatus of the present invention rotates the carrier in the vehicle so as to be perpendicular to the running direction of the vehicle and loads the carrier in the buffer unit. Therefore, the carrier can be loaded in the buffer unit so as to be perpendicular to the traveling direction.
또한, 상기 캐리어 이송 장치는 상기 비히클에서 이송부의 회전 중심축이 상기 캐리어의 외측에 위치한다. 따라서, 상기 이송부가 상기 캐리어를 상기 주행 방향과 수직하도록 회전시키는 경우, 상기 이송부의 회전 방향에 따라 상기 회전 후 상기 캐리어의 위치가 달라질 수 있다. 그러므로, 상기 이송부는 상기 버퍼 유닛의 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 상기 캐리어를 회전시킨 후 상기 캐리어를 상기 버퍼 유닛에 적재함으로써 상기 캐리어의 적재를 신속하게 수행할 수 있다. In the carrier transport apparatus, the rotational center axis of the transport unit in the vehicle is located outside of the carrier. Therefore, when the conveyer rotates the carrier to be perpendicular to the traveling direction, the position of the carrier after the rotation may vary according to the rotational direction of the conveyer. Therefore, the transfer part can quickly load the carrier by rotating the carrier in a direction corresponding to the position of the empty slot among the slots of the buffer unit and then loading the carrier into the buffer unit.
그리고, 상기 캐리어 이송 장치는 광 센서와 반사판이 상기 주행 방향과 수직하도록 광을 조사하거나 반사하고, 상기 버퍼 유닛에 상기 캐리어가 상기 주행 방향과 수직하도록 적재된다. 상기 광 센서와 상기 반사판 사이의 광 진행 방향과 상기 슬롯들의 배열 방향이 수직하므로, 상기 광 센서와 상기 반사판을 이용하여 상기 버퍼 유닛에 적재된 상기 캐리어들이 적재된 슬롯의 위치나 빈 슬롯의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. The carrier transport apparatus irradiates or reflects light so that the optical sensor and the reflector are perpendicular to the travel direction, and is loaded in the buffer unit so that the carrier is perpendicular to the travel direction. Since the light traveling direction between the optical sensor and the reflector and the arrangement direction of the slots are perpendicular, the position of the slot on which the carriers mounted on the buffer unit are loaded or the position of the empty slot is determined using the optical sensor and the reflector. It can be easily confirmed.
본 발명의 캐리어 이송 방법에 따르면, 버퍼 유닛의 한 쌍의 슬롯들에서 빈 슬롯을 확인한 후, 상기 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 캐리어를 회전시켜 상기 빈 슬롯에 적재한다. 따라서, 상기 버퍼 유닛에 다수의 캐리어를 신속하게 적재할 수 있다. According to the carrier conveying method of the present invention, after checking the empty slot in the pair of slots of the buffer unit, the carrier is rotated in the direction corresponding to the position of the empty slot and loaded in the empty slot. Therefore, a large number of carriers can be loaded in the buffer unit quickly.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 I-I′선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에서 캐리어를 회전시켜 버퍼 유닛에 적재하는 것을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
1 is a schematic front view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.
3 and 4 are cross-sectional views for explaining loading of a carrier by rotating the carrier in FIG.
FIG. 5 is a flowchart for describing a carrier transport method using the carrier transport device illustrated in FIG. 1.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 I-I′선을 기준으로 절단한 단면도이다.FIG. 1 is a schematic front view illustrating a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 캐리어 이송 장치(100)는 비히클(110) 및 버퍼 유닛(120)을 포함한다. 1 and 2, the carrier transport apparatus 100 includes a vehicle 110 and a buffer unit 120.
비히클(110)은 반도체 공정 장치들이 구비된 반도체 공정 라인의 천장(10)에 구비된 주행 레일(20)을 따라 이동하면서 대상물이 적재된 캐리어(30)를 이송한다. The vehicle 110 moves along the travel rail 20 provided in the ceiling 10 of the semiconductor processing line including the semiconductor processing apparatuses and transports the carrier 30 on which the object is loaded.
상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 상기 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지, 노광을 위한 마스크 등을 들 수 있다. 캐리어(30)의 예로는 복수의 반도체 기판들을 적재하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP), 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 상기 복수의 인쇄회로 기판들을 적재하기 위한 매거진, 상기 복수의 반도체 패키지들을 적재하기 위한 트레이 등을 들 수 있다. Examples of the object may include a semiconductor substrate, a printed circuit board to which dies are attached, a semiconductor package in which dies are bonded to the printed circuit board, a mask for exposure, and the like. Examples of the carrier 30 may include a front opening Unified Pod (FOUP) for loading a plurality of semiconductor substrates, a front opening shipping box (FOSB), a magazine for loading the plurality of printed circuit boards, and the plurality of printed circuit boards. And a tray for stacking semiconductor packages.
특히, 캐리어(30)가 직육면체 형상을 갖는 경우, 비히클(110)은 캐리어(30)의 장축이 비히클(110)의 주행 방향과 평행하도록 캐리어(30)를 이송한다. In particular, when the carrier 30 has a rectangular parallelepiped shape, the vehicle 110 transfers the carrier 30 such that the long axis of the carrier 30 is parallel to the traveling direction of the vehicle 110.
비히클(110)은 주행부(112), 하우징(114), 이송부(116)를 포함할 수 있다.The vehicle 110 may include a driving unit 112, a housing 114, and a transfer unit 116.
주행부(112)는 별도 구동부에 의해 주행 롤러가 회전하면서 주행 레일(20)을 따라 주행한다. The travel unit 112 travels along the travel rail 20 while the travel roller rotates by a separate drive unit.
하우징(114)은 주행부(112)의 하부에 고정된다. 하우징(114)은 캐리어(30)의 상하 이동을 위해 하방이 개방되고, 캐리어(30)의 수평 이동을 위해 일측 측면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 비히클(100)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다. 또한, 하우징(114)은 캐리어(30)가 회전할 때 간섭되지 않도록 충분한 내부 공간을 갖는다. The housing 114 is fixed to the lower portion of the driving part 112. The housing 114 may be opened downward for vertical movement of the carrier 30, and one side side may be opened for horizontal movement of the carrier 30. In this case, the one side surface may be a direction perpendicular to the driving direction of the vehicle 100. In addition, the housing 114 has sufficient internal space so that it does not interfere when the carrier 30 rotates.
이송부(116)는 하우징(114)의 내부 상면에 구비되며, 캐리어(30)를 파지하여 이송한다. 한편, 이송부(116)는 하우징(114) 없이 주행부(112)에 직접 고정될 수도 있다. The transfer unit 116 is provided on the inner upper surface of the housing 114, and grips and transfers the carrier 30. Meanwhile, the transfer unit 116 may be directly fixed to the driving unit 112 without the housing 114.
이송부(116)는 주행부(112)와 연결되며, 캐리어(30)를 착탈 가능하도록 파지한다. 또한, 이송부(116)는 수평 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 이송부(116)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 상기 수평 이동하고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 이때, 상기 수평 이동 방향은 하우징(114)의 개방된 측면일 수 있다. 따라서, 이송부(116)는 캐리어(30)를 상기 수평 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.The transfer unit 116 is connected to the driving unit 112 and grips the carrier 30 to be detachable. In addition, the transfer unit 116 is provided to be movable in the horizontal direction and the vertical direction. For example, the transfer unit 116 may move horizontally using a belt, pulley, gear, and the like, and may move up and down using a motor, a cylinder, or the like. In this case, the horizontal movement direction may be an open side of the housing 114. Accordingly, the transfer unit 116 may move the carrier 30 in the horizontal and vertical directions.
또한, 이송부(116)는 캐리어(30)의 방향을 전환하기 위해 캐리어(30)를 파지한 상태에서 회전시킬 수 있다.In addition, the transfer unit 116 may rotate while holding the carrier 30 in order to change the direction of the carrier 30.
일 예로, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 일측으로 편향될 수 있다. 이때, 상기 일측은 이송부(116)의 회전 중심축(C)을 기준으로 비히클(110)의 주행 방향 좌측 또는 우측일 수 있다. 즉, 이송부(116)의 회전 중심축(C)은 캐리어(30)의 외측에 위치한다. 따라서, 이송부(116)가 캐리어(30)를 상기 주행 방향과 수직하도록 회전시키는 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)를 회전시키는 방향에 따라 상기 회전 후 캐리어(30)의 위치가 달라질 수 있다. For example, a position at which the carrier 30 is gripped by the transfer unit 116 may be biased to one side with respect to the rotational central axis C of the transfer unit 116. In this case, the one side may be a driving direction left or right of the vehicle 110 based on the rotation center axis C of the transfer unit 116. That is, the rotation center axis C of the transfer unit 116 is located outside the carrier 30. Therefore, when the transfer unit 116 rotates the carrier 30 to be perpendicular to the traveling direction, the position of the carrier 30 after the rotation may vary according to the direction in which the transfer unit 116 rotates the carrier 30. .
다른 예로, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)과 일치할 수 있다.As another example, the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer unit 116 may coincide with the rotational central axis C of the transfer unit 116.
이송부(116)가 캐리어(30)를 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동시키거나 회전시킬 수 있으므로, 이송부(116)는 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120) 또는 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 버퍼 유닛(120) 또는 상기 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. Since the transfer unit 116 may move or rotate the carrier 30 in the horizontal direction and the vertical direction, the transfer unit 116 transfers the carrier 30 to the buffer unit 120 or the load port of the semiconductor processing apparatus. May be loaded or unloaded from the buffer unit 120 or the load port.
버퍼 유닛(120)은 비히클(110)의 이송 경로의 일측에 구비될 수 있다. 다른 예로, 버퍼 유닛(120)은 비히클(110)의 이송 경로의 양측에 구비되거나, 하방에 구비될 수도 있다. The buffer unit 120 may be provided at one side of the transfer path of the vehicle 110. As another example, the buffer unit 120 may be provided at both sides of the transport path of the vehicle 110 or be provided below.
버퍼 유닛(120)은 비히클(110)에 의해 이송되는 캐리어(30)를 적재한다. 캐리어(30)는 버퍼 유닛(120)에 구비된 다수의 슬롯들에 적재된다. 이때, 상기 슬롯들은 상기 주행 방향을 따라 배열된다. 따라서, 캐리어(30)는 버퍼 유닛(120)에 상기 주행 방향을 따라 배열되도록 적재될 수 있다. The buffer unit 120 loads the carrier 30 carried by the vehicle 110. The carrier 30 is loaded in a plurality of slots provided in the buffer unit 120. In this case, the slots are arranged along the driving direction. Therefore, the carrier 30 may be loaded in the buffer unit 120 to be arranged along the driving direction.
예를 들면, 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트에 캐리어(30)가 놓여진 경우, 비히클(110)이 캐리어(30)를 바로 상기 로드 포트로 로딩할 수 없다. 따라서, 비히클(110)이 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)에 임시로 적재한다. For example, when the carrier 30 is placed in the load port of the semiconductor processing apparatuses, the vehicle 110 may not load the carrier 30 directly into the load port. Therefore, the vehicle 110 temporarily loads the carrier 30 in the buffer unit 120.
버퍼 유닛(120)은 고정 부재(122) 및 적재부(124)를 포함한다. The buffer unit 120 includes a fixing member 122 and a loading part 124.
고정 부재(122)는 천장(10)에 다수개가 고정되며 하방으로 연장한다. 예를 들면, 고정 부재(122)는 기둥 형상을 가질 수 있다. A plurality of fixing members 122 are fixed to the ceiling 10 and extend downward. For example, the fixing member 122 may have a pillar shape.
적재부(124)는 고정 부재(122)의 하단에 고정된다. 예를 들면, 고정 부재(122)는 적재부(124)의 모서리들과 연결될 수 있다. 적재부(124)는 대략 평판 형태를 가지며, 비히클(110)에 의해 이송된 캐리어(30)를 적재한다. 이때, 캐리어(30)는 상기 주행 방향과 수직하도록 회전된 상태로 적재부(124)에 적재될 수 있다. 예를 들면, 캐리어(30)는 상기 장축이 상기 주행 방향과 수직하도록 적재부(124)에 적재될 수 있다. The loading part 124 is fixed to the lower end of the fixing member 122. For example, the fixing member 122 may be connected to the corners of the loading unit 124. The stacking portion 124 has a substantially flat plate shape, and loads the carrier 30 carried by the vehicle 110. In this case, the carrier 30 may be loaded in the loading unit 124 in a state of being rotated to be perpendicular to the driving direction. For example, the carrier 30 may be loaded on the loading unit 124 such that the long axis is perpendicular to the travel direction.
구체적으로, 이송부(116)가 캐리어(30)를 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 90도 회전시킨 후, 상기 수평 이동을 통해 적재부(124)의 상방으로 이동한 후 하강하여 적재부(124)에 캐리어(30)를 적재한다. In detail, the transfer unit 116 rotates the carrier 30 by 90 degrees so as to be perpendicular to the travel direction, and then moves upwards of the loading unit 124 through the horizontal movement and then descends to the loading unit 124. The carrier 30 is loaded.
이때, 적재부(124)가 비히클(110)의 이송부(116)에 의해 이송되는 캐리어(30)의 높이와 같거나 캐리어(30)의 높이보다 높은 높이에 위치하는 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)의 적재를 위해 수평 이동할 때 캐리어(30)와 적재부(124)가 충돌할 우려가 있다. 그러므로, 적재부(124)는 비히클(110)의 이송부(116)에 의해 이송되는 캐리어(30)의 높이보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. At this time, when the loading part 124 is located at the same height as the height of the carrier 30 conveyed by the conveying part 116 of the vehicle 110 or higher than the height of the carrier 30, the conveying part 116 is a carrier There is a fear that the carrier 30 and the loading part 124 collide with each other when horizontally moving for loading of the 30. Therefore, the loading part 124 may be located at a height lower than the height of the carrier 30 carried by the transfer part 116 of the vehicle 110.
한편, 적재부(124)의 상면에는 다수의 가이드(126)들을 포함할 수 있다. 가이드(126)들은 이송부(116)에 의해 하강하는 캐리어(30)를 가이드하여 캐리어(30)가 적재부(124) 상의 기준 위치에 정확하게 안착되도록 한다.  On the other hand, the upper surface of the mounting portion 124 may include a plurality of guides (126). The guides 126 guide the carrier 30 descending by the transfer part 116 so that the carrier 30 is accurately seated in a reference position on the loading part 124.
캐리어(30)가 적재부(124) 상의 상기 기준 위치에 정확하게 안착되므로, 캐리어(30)를 상기 반도체 공정 장치로 로딩하기 위해 비히클(110)의 이송부(116)가 적재부(124)에 적재된 캐리어(30)를 픽업할 때 이송부(116)가 캐리어(30)를 정확하게 픽업할 수 있다. Since the carrier 30 is correctly seated at the reference position on the loading part 124, the transfer part 116 of the vehicle 110 is loaded on the loading part 124 to load the carrier 30 into the semiconductor processing apparatus. When picking up the carrier 30, the transfer unit 116 can pick up the carrier 30 accurately.
하나의 캐리어(30)를 가이드하기 위해 네 개의 가이드(126)들이 필요하다. 즉, 네 개의 가이드(126)들이 캐리어(30)가 적재되는 하나의 상기 슬롯을 형성할 수 있다. Four guides 126 are needed to guide one carrier 30. That is, the four guides 126 may form one slot in which the carrier 30 is loaded.
버퍼 유닛(120)은 다양한 개수의 캐리어(30)를 적재하기 위해 다수의 슬롯들을 가질 수 있지만, 한 쌍의 캐리어(30)를 적재하도록 한 쌍을 슬롯들을 갖는 것이 바람직하다.The buffer unit 120 may have multiple slots for loading various numbers of carriers 30, but it is preferred to have a pair of slots for loading a pair of carriers 30.
또한, 주행 레일(20)을 따라 버퍼 유닛(120)을 추가로 결합하여 캐리어(30)를 적재하기 위한 공간을 확장할 수 있다. 또한, 서로 결합된 버퍼 유닛(120)을 분리하여 캐리어(30)를 적재하기 위한 공간을 축소할 수도 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(120)의 결합이나 분리를 통해 캐리어(30)를 적재하기 위한 공간을 용이하게 조절할 수 있다. In addition, the buffer unit 120 may be further coupled along the travel rail 20 to expand a space for loading the carrier 30. In addition, the space for loading the carrier 30 may be reduced by separating the buffer units 120 coupled to each other. Therefore, the space for loading the carrier 30 can be easily adjusted by coupling or detaching the buffer unit 120.
버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)가 적재된 상태를 확인하기 위해 광 센서(118) 및 반사판(128)을 갖는다. 광 센서(118)가 비히클(110)에 구비되고 반사판(128)이 버퍼 유닛(120)에 구비될 수 있다. The optical sensor 118 and the reflecting plate 128 are provided to confirm the state in which the carrier 30 is loaded in the buffer unit 120. An optical sensor 118 may be provided in the vehicle 110 and a reflector plate 128 may be provided in the buffer unit 120.
광 센서(118)는 반사판(128)을 향해 광을 조사하고, 반사판(128)으로부터 반사된 광을 수신한다. 상기 광의 수신 여부를 이용하여 버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)가 적재되었는지 여부를 확인할 수 있다. The optical sensor 118 irradiates light toward the reflecting plate 128 and receives the light reflected from the reflecting plate 128. It may be determined whether the carrier 30 is loaded in the buffer unit 120 using the light.
광 센서(118)는 비히클(110)에서 하우징(114)의 내부에 구비될 수 있다. 광 센서(118)는 버퍼 유닛(120)에 적재된 캐리어(30)의 하부면과 상부면 사이의 높이에 위치할 수 있다. 또한, 광 센서(118)는 이송부(116)에 파지된 캐리어(30)의 높이보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. The optical sensor 118 may be provided inside the housing 114 in the vehicle 110. The optical sensor 118 may be located at a height between a lower surface and an upper surface of the carrier 30 loaded in the buffer unit 120. In addition, the optical sensor 118 may be located at a height lower than the height of the carrier 30 held by the transfer unit 116.
광 센서(118)는 버퍼 유닛(120)에 적재되는 캐리어(30)의 개수만큼 구비되며, 버퍼 유닛(120)에 적재되는 캐리어(30)의 위치와 대응하도록 배열될 수 있다. The optical sensor 118 may be provided as many as the number of carriers 30 loaded in the buffer unit 120, and may be arranged to correspond to the position of the carrier 30 loaded in the buffer unit 120.
반사판(128)은 버퍼 유닛(120)에서 캐리어(30)가 안착되는 가이드(126)들의 후단에 구비되며, 비히클(110)과 마주 보도록 배치된다. The reflector plate 128 is provided at the rear ends of the guides 126 on which the carrier 30 is seated in the buffer unit 120, and is disposed to face the vehicle 110.
반사판(128)은 상기 주행 방향을 따라 배열되는 캐리어(30)들을 모두 커버하도록 한 개가 구비되거나, 버퍼 유닛(120)에 적재되는 캐리어(30)의 개수만큼 구비될 수 있다. 반사판(128)은 광 센서(118)와 동일한 높이에 위치할 수 있다. One reflective plate 128 may be provided to cover all the carriers 30 arranged along the driving direction, or may be provided as many as the number of carriers 30 loaded on the buffer unit 120. The reflector 128 may be positioned at the same height as the optical sensor 118.
광 센서(118)가 상기 주행 방향과 수직하는 방향으로 광을 조사하므로, 버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)들이 상기 주행 방향과 수직하는 방향을 따라 적재되는 경우, 광 센서(118)의 광 조사 방향과 캐리어(30)들의 적재 방향이 평행하게 된다. 따라서, 광 센서(118)와 반사판(128)을 이용하여 버퍼 유닛(120)에서 캐리어(30)들이 적재된 슬롯의 위치나 빈 슬롯의 위치를 확인하기 어렵다. Since the optical sensor 118 irradiates light in a direction perpendicular to the traveling direction, when the carriers 30 are loaded in the buffer unit 120 along a direction perpendicular to the traveling direction, the light of the optical sensor 118 The irradiation direction and the loading direction of the carriers 30 become parallel. Therefore, it is difficult to check the position of the slot in which the carriers 30 are loaded or the position of the empty slot in the buffer unit 120 using the optical sensor 118 and the reflecting plate 128.
버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)들이 상기 주행 방향을 따라 적재되는 경우, 광 센서(118)의 광 조사 방향과 캐리어(30)들의 적재 방향이 수직하게 되므로, 광 센서(118)와 반사판(128)을 이용하여 버퍼 유닛(120)에서 캐리어(30)들이 적재된 슬롯의 위치나 빈 슬롯의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. When the carriers 30 are mounted in the buffer unit 120 along the traveling direction, the light irradiation direction of the optical sensor 118 and the loading direction of the carriers 30 become perpendicular, so that the optical sensor 118 and the reflector plate ( 128, the location of the slot in which the carriers 30 are loaded or the location of the empty slot in the buffer unit 120 can be easily identified.
한편 도시되지는 않았지만, 광 센서(118)가 버퍼 유닛(120)에 구비되고, 반사판(128)이 비히클(110)에 구비될 수 있다. Although not shown, an optical sensor 118 may be provided in the buffer unit 120, and a reflecting plate 128 may be provided in the vehicle 110.
도 3 및 도 4는 도 2에서 캐리어를 회전시켜 버퍼 유닛에 적재하는 것을 설명하기 위한 단면도들이다. 3 and 4 are cross-sectional views for explaining loading of a carrier by rotating the carrier in FIG.
도 3 및 도 4에서는 버퍼 유닛(120)이 두 개의 캐리어(30)를 적재하기 위해 두 개의 슬롯들을 가지며, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 비히클(110)의 주행 방향의 좌측으로 편향된 경우를 기준으로 설명한다. 3 and 4, the buffer unit 120 has two slots for loading two carriers 30, and the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer unit 116 is a central axis of rotation of the transfer unit 116. A description will be given on the basis of the case where (C) is deflected to the left of the travel direction of the vehicle 110.
도 3과 같이 버퍼 유닛(120)에서 비히클(110)의 이송 방향 후단에 위치한 슬롯에 캐리어(30)가 위치하고, 상기 이송 방향 전단에 위치한 슬롯이 빈 슬롯인 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)를 반시계 방향을 따라 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 90도 회전시킨 후, 상기 수평 이동을 통해 버퍼 유닛(120)의 빈 슬롯 상방으로 이동한 후 하강하여 상기 빈 슬롯에 캐리어(30)를 적재한다. As shown in FIG. 3, when the carrier 30 is positioned in the slot located at the rear end of the vehicle 110 in the buffer unit 120, and the slot located at the front end of the transport direction is an empty slot, the transfer unit 116 is the carrier 30. ) Rotates 90 degrees to be perpendicular to the travel direction along the counterclockwise direction, and then moves upward above the empty slot of the buffer unit 120 through the horizontal movement, and then descends to load the carrier 30 in the empty slot. do.
도 4와 같이 버퍼 유닛(120)에서 비히클(110)의 이송 방향 전단에 위치한 슬롯에 캐리어(30)가 위치하고, 비히클(110)의 이송 방향 후단에 위치한 슬롯이 빈 슬롯인 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)를 시계 방향을 따라 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 90도 회전시킨 후, 상기 수평 이동을 통해 버퍼 유닛(120)의 빈 슬롯 상방으로 이동한 후 하강하여 상기 빈 슬롯에 캐리어(30)를 적재한다. As shown in FIG. 4, when the carrier 30 is located in a slot located at the front end of the transport direction of the vehicle 110 in the buffer unit 120, and the slot located at the rear end of the transport direction of the vehicle 110 is an empty slot, the transfer part 116 is provided. Rotates the carrier 30 90 degrees clockwise to be perpendicular to the travel direction, and then moves upward above the empty slot of the buffer unit 120 through the horizontal movement and then descends to move the carrier 30 to the empty slot. Load).
한편, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 비히클(110)의 주행 방향의 우측으로 편향된 경우, 이송부(116)는 캐리어(30)를 도 3 및 도 4의 회전 방향과 반대방향으로 90도 회전시킨 후 상기 빈 슬롯에 적재할 수 있다. On the other hand, when the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer part 116 is deflected to the right of the traveling direction of the vehicle 110 with respect to the rotational central axis C of the transfer part 116, the transfer part 116 may have a carrier 30. ) Can be loaded in the empty slot after rotating 90 degrees in a direction opposite to the rotation direction of FIGS. 3 and 4.
따라서, 이송부(116)에 의해 회전된 캐리어(30)와 상기 빈 슬롯을 정렬하기 위해 이송부(116)가 상기 주행 방향을 따라 별도로 이동할 필요가 없다. 그러므로, 이송부(116)가 버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)를 신속하게 적재할 수 있다. Thus, the transfer unit 116 does not need to move separately along the travel direction to align the carrier 30 rotated by the transfer unit 116 and the empty slot. Therefore, the transfer part 116 can quickly load the carrier 30 in the buffer unit 120.
한편, 이송부(116)가 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)에 적재하는 과정을 반대로 수행함으로써 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)으로부터 이재할 수 있다. Meanwhile, the carrier 116 may transfer the carrier 30 from the buffer unit 120 by reversing the process of loading the carrier 30 into the buffer unit 120.
상기와 같이 캐리어 이송 장치(100)는 캐리어(30)가 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 회전된 상태로 버퍼 유닛(120)에 적재되며, 캐리어(30)가 상기 주행 방향을 따라 적재된다. 따라서, 광 센서(118)와 반사판(128)을 이용하여 버퍼 유닛(120)에서 캐리어(30)가 적재된 슬롯이나 빈 슬롯을 용이하게 확인할 수 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(120)에 다수의 캐리어(30)들을 적재할 수 있다. As described above, the carrier transfer device 100 is loaded on the buffer unit 120 while the carrier 30 is rotated so as to be perpendicular to the travel direction, and the carrier 30 is loaded along the travel direction. Accordingly, the slot in which the carrier 30 is loaded or the empty slot in the buffer unit 120 can be easily identified using the optical sensor 118 and the reflecting plate 128. Therefore, the plurality of carriers 30 can be loaded in the buffer unit 120.
도 5는 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이송 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 5 is a flowchart for describing a carrier transport method using the carrier transport device illustrated in FIG. 1.
도 5를 참조하면, 먼저, 주행부(112)의 주행에 따라 비히클(110)을 주행 레일(20)과 일측에 배치된 버퍼 유닛(120)과 인접하도록 위치시킨다.(S110)Referring to FIG. 5, first, the vehicle 110 is positioned to be adjacent to the travel rail 20 and the buffer unit 120 disposed on one side according to the driving of the driving unit 112 (S110).
구체적으로, 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어(30)가 존재하는 경우, 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)에 적재하기 위해 비히클(110)이 버퍼 유닛(120)에 인접하도록 위치하게 된다. 예를 들면, 비히클(110)과 버퍼 유닛(120)은 비히클(110)의 주행 방향과 수직하는 방향을 따라 배열될 수 있다. In detail, when the carrier 30 is present in the load pod of the semiconductor processing apparatus, the vehicle 110 is positioned to be adjacent to the buffer unit 120 in order to load the carrier 30 into the buffer unit 120. For example, the vehicle 110 and the buffer unit 120 may be arranged along a direction perpendicular to the driving direction of the vehicle 110.
비히클(110)에 구비된 광센서(118)와 버퍼 유닛(120)의 슬롯 후면에 구비된 반사판(128)을 이용하여 버퍼 유닛(120)에서 비히클(110)의 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열된 한 쌍의 슬롯들이 빈 상태인지를 확인한다.(S120)By using the optical sensor 118 provided in the vehicle 110 and the reflecting plate 128 provided at the rear of the slot of the buffer unit 120, the buffer unit 120 may follow a direction parallel to the driving direction of the vehicle 110. It is checked whether the pair of slots arranged are empty (S120).
구체적으로, 광 센서(118)에서 반사판(128)을 향해 광을 조사하고, 반사판(128)으로부터 반사된 광을 다시 광 센서(118)에서 수신한다. 광 센서(118)에서 상기 반사광을 수신하는 경우 버퍼 유닛(120)의 슬롯이 빈 것으로 판단하고, 광 센서(118)에서 상기 반사광을 수신하지 못하는 경우 버퍼 유닛(120)의 슬롯에 캐리어(30)가 적재된 것으로 판단한다. Specifically, the light sensor 118 irradiates light toward the reflecting plate 128 and receives the light reflected from the reflecting plate 128 at the light sensor 118 again. When the optical sensor 118 receives the reflected light, the slot of the buffer unit 120 is determined to be empty, and when the optical sensor 118 does not receive the reflected light, the carrier 30 is inserted into the slot of the buffer unit 120. It is determined that is loaded.
상기 슬롯들이 비히클(110)의 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열되므로, 버퍼 유닛(120)에 캐리어(30)들이 상기 주행 방향과 평행한 방향을 따라 적재된다. 따라서, 광 센서(118)의 광 조사 방향과 캐리어(30)들의 적재 방향이 수직하게 되므로, 광 센서(118)와 반사판(128)을 이용하여 버퍼 유닛(120)에서 캐리어(30)들이 적재된 슬롯의 위치나 빈 슬롯의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. Since the slots are arranged along a direction parallel to the driving direction of the vehicle 110, the carriers 30 are loaded in the buffer unit 120 along the direction parallel to the driving direction. Therefore, since the light irradiation direction of the optical sensor 118 and the loading direction of the carriers 30 become perpendicular, the carriers 30 are loaded from the buffer unit 120 using the optical sensor 118 and the reflector plate 128. You can easily check the position of the slot or the position of the empty slot.
버퍼 유닛(120)에서 상기 빈 슬롯이 확인되면, 비히클(110)에서 주행부(112)와 결합된 이송부(116)가 상기 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 파지된 캐리어(30)를 회전시켜 상기 빈 슬롯에 적재한다.(S130)When the empty slot is confirmed in the buffer unit 120, the carrier 30 coupled to the driving unit 112 in the vehicle 110 is gripped in a direction corresponding to the position of the empty slot among the slots 30. Rotate to load into the empty slot. (S130)
일 예로, 비히클(110)에서 이송부(116)의 회전 중심축(C)은 이송부(116)에 파지된 캐리어(30)의 외측에 위치할 수 있다. 이때, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 비히클(110)의 주행 방향의 좌측 및 우측으로 편향될 수 있다.For example, the rotation center axis C of the transfer unit 116 in the vehicle 110 may be located outside the carrier 30 held by the transfer unit 116. In this case, the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer unit 116 may be biased to the left and right of the driving direction of the vehicle 110 with respect to the rotational central axis C of the transfer unit 116.
캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 비히클(110)의 주행 방향의 좌측으로 편향된 경우, 도 3과 같이 버퍼 유닛(120)에서 비히클(110)의 이송 방향 전단에 위치한 슬롯이 빈 슬롯인 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)를 반시계 방향을 따라 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 90도 회전시킨 후, 상기 수평 이동을 통해 버퍼 유닛(120)의 빈 슬롯 상방으로 이동한 후 하강하여 상기 빈 슬롯에 캐리어(30)를 적재하고, 도 4와 같이 버퍼 유닛(120)에서 비히클(110)의 이송 방향 후단에 위치한 슬롯이 빈 슬롯인 경우, 이송부(116)가 캐리어(30)를 시계 방향을 따라 상기 주행 방향에 대해 수직하도록 90도 회전시킨 후, 상기 수평 이동을 통해 버퍼 유닛(120)의 빈 슬롯 상방으로 이동한 후 하강하여 상기 빈 슬롯에 캐리어(30)를 적재한다. When the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer part 116 is biased to the left side of the traveling direction of the vehicle 110 with respect to the rotational central axis C of the transfer part 116, the buffer unit 120 as shown in FIG. 3. When the slot located at the front end of the vehicle 110 is an empty slot, the transfer unit 116 rotates the carrier 30 by 90 degrees to be perpendicular to the traveling direction along the counterclockwise direction, and then through the horizontal movement. After moving upward above the empty slot of the buffer unit 120, the carrier 30 is loaded in the empty slot, and as shown in FIG. 4, the slot located at the rear end of the vehicle 110 in the buffer unit 120 is empty. In the case of a slot, the transfer unit 116 rotates the carrier 30 in a clockwise direction perpendicular to the traveling direction, and then moves upwards to the empty slot of the buffer unit 120 through the horizontal movement and then descends. To load the carrier 30 in the empty slot.
한편, 캐리어(30)가 이송부(116)에 파지되는 위치가 이송부(116)의 회전 중심축(C)에 대해 비히클(110)의 주행 방향의 우측으로 편향된 경우, 이송부(116)는 캐리어(30)를 도 3 및 도 4의 회전 방향과 반대방향으로 90도 회전시킨 후 상기 빈 슬롯에 적재할 수 있다. On the other hand, when the position at which the carrier 30 is gripped by the transfer part 116 is deflected to the right of the traveling direction of the vehicle 110 with respect to the rotational central axis C of the transfer part 116, the transfer part 116 may have a carrier 30. ) Can be loaded in the empty slot after rotating 90 degrees in a direction opposite to the rotation direction of FIGS. 3 and 4.
따라서, 이송부(116)에 의해 회전된 캐리어(30)와 상기 빈 슬롯을 정렬하기 위해 이송부(116)가 상기 주행 방향을 따라 별도로 이동할 필요가 없다. 그러므로, 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)에 신속하게 적재할 수 있다. Thus, the transfer unit 116 does not need to move separately along the travel direction to align the carrier 30 rotated by the transfer unit 116 and the empty slot. Therefore, the carrier 30 can be loaded in the buffer unit 120 quickly.
한편, 캐리어(30)를 이송부(116)에서 버퍼 유닛(120)으로 적재하는 과정을 반대로 수행함으로써 캐리어(30)를 버퍼 유닛(120)으로부터 이송부(116)로 이재할 수 있다. Meanwhile, the carrier 30 may be transferred from the buffer unit 120 to the transfer unit 116 by reversely loading the carrier 30 from the transfer unit 116 to the buffer unit 120.
상기와 같이 본 발명의 캐리어 이송 방법에 따르면, 버퍼 유닛(120)의 한 쌍의 슬롯들에서 빈 슬롯을 확인한 후, 상기 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 캐리어(30)를 회전시켜 상기 빈 슬롯에 적재한다. 따라서, 버퍼 유닛(120)에 다수의 캐리어(30)를 신속하게 적재할 수 있다. According to the carrier transport method of the present invention as described above, after checking the empty slot in the pair of slots of the buffer unit 120, by rotating the carrier 30 in the direction corresponding to the position of the empty slot the empty slot Load on. Therefore, the plurality of carriers 30 can be quickly loaded in the buffer unit 120.
상술한 바와 같이, 본 발명의 캐리어 이송 장치 및 방법에 따르면, 캐리어를 비히클의 주행 방향과 수직하도록 회전시켜 버퍼 유닛에 상기 주행 방향과 수직하도록 배열하여 적재할 수 있고, 상기 광 센서와 상기 반사판을 이용하여 상기 버퍼 유닛에 적재된 상기 캐리어들이 적재된 슬롯의 위치나 빈 슬롯의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어 이송 장치 및 방법을 이용하여 상기 버퍼 유닛의 다수의 캐리어들을 신속하고 정확하게 적재할 수 있다. As described above, according to the carrier conveying apparatus and method of the present invention, the carrier can be rotated so as to be perpendicular to the traveling direction of the vehicle and arranged in the buffer unit so as to be arranged so as to be perpendicular to the traveling direction, and the optical sensor and the reflecting plate can be loaded. The position of the slot in which the carriers loaded in the buffer unit are loaded or the position of the empty slot can be easily confirmed. Therefore, the carrier carrier and the method can be used to quickly and accurately load multiple carriers of the buffer unit.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
100 : 캐리어 이송 장치 110 : 비히클
112 : 주행부 114 : 하우징
116 : 이송부 118 : 광 센서
120 : 버퍼 유닛 122 : 고정부
124 : 적재부 126 : 가이드
128 : 반사판 10 : 천장
20 : 주행 레일 30 : 캐리어
C : 회전 중심축
100 carrier carrier 110 vehicle
112: driving unit 114: housing
116: transfer unit 118: light sensor
120: buffer unit 122: fixed part
124: loading section 126: guide
128: reflector 10: ceiling
20: running rail 30: carrier
C: rotation center axis

Claims (6)

  1. 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 이동, 상하 이동 및 회전시키는 이송부를 포함하는 비히클; 및
    상기 주행 레일에 인접하게 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어가 적재되는 복수의 슬롯들을 갖는 버퍼 유닛을 포함하고,
    상기 이송부는 상기 캐리어를 상기 비히클의 주행 방향과 수직하도록 회전시켜 상기 슬롯들에 적재하고,
    상기 비히클에서 상기 이송부의 회전 중심축은 상기 캐리어의 외측에 위치하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
    A vehicle including a travel unit traveling along a travel rail provided on a ceiling of a semiconductor manufacturing line, and a transport unit coupled to the travel unit to grip and detach the carrier so as to move horizontally, vertically, and rotate; And
    A buffer unit provided adjacent to the travel rail and having a plurality of slots in which a carrier carried by the vehicle is loaded;
    The conveying unit rotates the carrier so as to be perpendicular to the driving direction of the vehicle, and loads the carriers in the slots,
    And a rotation center axis of the transfer part in the vehicle is located outside the carrier.
  2. 제1항에 있어서, 상기 슬롯들은 상기 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. 2. The carrier transport apparatus of claim 1, wherein the slots are arranged along a direction parallel to the travel direction.
  3. 제2항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 상기 슬롯들의 후면에 광을 반사하기 위한 반사판을 가지며,
    상기 비히클은 상기 슬롯들 개수와 동일한 개수만큼 상기 슬롯들의 위치와 대응하는 위치에 구비되며, 상기 반사판을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 슬롯들이 빈 상태인지를 확인하기 위한 광센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.
    According to claim 2, The buffer unit has a reflector for reflecting light on the rear of the slots,
    The vehicle is provided at a position corresponding to the positions of the slots by the same number as the number of slots, and irradiates light toward the reflecting plate and determines whether the slots are empty according to whether or not the light reflected from the reflecting plate is received. Carrier transport apparatus comprising optical sensors for identifying.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이송부는 상기 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 상기 캐리어를 회전시키는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. 4. The carrier transport apparatus of claim 3, wherein the transport unit rotates the carrier in a direction corresponding to a position of an empty slot among the slots.
  5. 주행부의 주행에 따라 비히클을 주행 레일의 일측에 배치된 버퍼 유닛과 인접하도록 위치시키는 단계;
    상기 비히클에 구비된 광센서와 상기 버퍼 유닛의 슬롯 후면에 구비된 반사판을 이용하여 상기 버퍼 유닛에서 상기 비히클의 주행 방향과 평행한 방향을 따라 배열된 한 쌍의 슬롯들이 빈 상태인지를 확인하는 단계; 및
    상기 비히클에서 상기 주행부와 결합된 이송부가 상기 슬롯들 중 빈 슬롯의 위치에 대응하는 방향으로 파지된 캐리어를 회전시켜 상기 빈 슬롯에 적재하는 단계를 포함하고,
    상기 비히클에서 상기 이송부의 회전 중심축은 상기 캐리어의 외측에 위치하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
    Positioning the vehicle to be adjacent to the buffer unit disposed on one side of the travel rail according to the driving of the driving part;
    Checking whether the pair of slots arranged along the direction parallel to the driving direction of the vehicle in the buffer unit is empty by using an optical sensor provided in the vehicle and a reflector provided on the rear surface of the slot of the buffer unit ; And
    Rotating the carrier gripped in the direction corresponding to the position of the empty slot among the slots in the vehicle, and transporting the moving part coupled to the driving part to load the empty slot in the empty slot;
    And a rotation center axis of the transfer part in the vehicle is located outside the carrier.
  6. 삭제delete
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