KR102207870B1 - Unit for supporting a gripping part and apparatus for transferring a carrier having the unit - Google Patents

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    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Abstract

그립부 지지유닛은 OHT의 이송 레일에 고정되는 고정부와 상기 고정부와 연결되어 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT의 이동부에 결합되어 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 그립부가 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하는 지지부를 포함한다. 따라서, 상기 그립부의 처짐을 방지하여 상기 그립부가 상기 캐리어를 정확한 위치에 로딩할 수 있다. The grip part support unit is provided at a fixed part fixed to the transport rail of the OHT, an extension part connected to the fixing part and extending downward, and a lower end of the extension part, and is coupled to the moving part of the OHT to facilitate loading and unloading of the carrier. For example, when the grip part moves in the horizontal direction, it includes a support part supporting the grip part to prevent sagging of the grip part. Accordingly, by preventing sagging of the grip portion, the grip portion can load the carrier at an accurate position.

Description

그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치{Unit for supporting a gripping part and apparatus for transferring a carrier having the unit}Grip support unit and carrier transporting device having the same TECHNICAL FIELD

본 발명은 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT(Overhead Hoist Transport)의 그립부가 캐리어를 로딩을 위해 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하기 위한 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a grip part support unit and a carrier transport device having the same, and more particularly, to prevent sagging of the grip part by supporting the grip part when the grip part of the OHT (Overhead Hoist Transport) moves in the horizontal direction for loading the carrier. It relates to a grip portion support unit and a carrier conveying device having the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in a carrier, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트에 로딩하거나 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 언로딩하여 외부로 반송한다.The carrier is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT transfers the carrier in which the object is accommodated and loads it into the load ports of the semiconductor processing apparatuses, or unloads the carrier in which the processed object is received from the load port and transports the carrier to the outside.

상기 OHT는 그립부가 수평 방향 및 수직 방향으로 이동하여 상기 캐리어를 로딩 또는 언로딩한다. 상기 그립부가 상기 캐리어의 로딩을 위해 상기 수평 방향으로 이동하는 경우, 상기 캐리어의 무게로 인해 상기 그립부가 하방으로 처질 수 있다. 상기 그립부가 처진 상태에서 상기 수직 방향으로 이동하는 경우, 상기 그립부가 상기 캐리어를 상기 로드 포트에 정확하게 로딩하기 어렵다. 따라서, 상기 캐리어의 로딩 에러가 발생하여 상기 캐리어의 이송 및 상기 반도체 제조 공정이 지연될 수 있다. The OHT loads or unloads the carrier by moving a grip part in a horizontal direction and a vertical direction. When the grip part moves in the horizontal direction for loading of the carrier, the grip part may sag downward due to the weight of the carrier. When the grip part moves in the vertical direction while the grip part is sagging, it is difficult for the grip part to accurately load the carrier into the load port. Accordingly, a loading error of the carrier may occur, and thus the transport of the carrier and the semiconductor manufacturing process may be delayed.

본 발명은 OHT의 그립부가 수평 이동할 때 처짐을 방지할 수 있는 그립부 지지유닛을 제공한다. The present invention provides a grip portion support unit capable of preventing sagging when the grip portion of the OHT moves horizontally.

본 발명은 상기 그립부 지지유닛을 갖는 캐리어 이송 장치를 제공한다.The present invention provides a carrier transfer device having the grip portion support unit.

본 발명에 따른 그립부 지지유닛은 OHT의 이송 레일에 고정되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되어 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT의 이동부에 결합되어 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 그립부가 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하는 지지부를 포함할 수 있다. The grip part support unit according to the present invention is provided at a fixing part fixed to the transport rail of the OHT, an extension part extending downwardly connected to the fixing part, and a lower end of the extension part, and being coupled to the moving part of the OHT When the grip unit moves in a horizontal direction for loading and unloading, it may include a support unit supporting the grip unit to prevent sagging of the grip unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부는 상기 그립부에 구비된 롤러를 지지할 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the support part may support a roller provided in the grip part.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일과, 상기 이송 레일을 따라 이동하는 이동부 및 상기 이동부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT 및 상기 OHT의 이송 레일에 고정되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되어 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT의 이동부에 결합되어 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 그립부가 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하는 지지부를 포함하는 그립부 지지유닛으로 이루어질 수 있다. The carrier conveying device according to the present invention includes a conveying rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line, a moving part moving along the conveying rail, and a grip part that is coupled to the moving part and grips the carrier so as to be detachable and moves horizontally and vertically. The OHT and a fixing part fixed to the transport rail of the OHT, and an extension part connected to the fixing part and extending downward and provided at the lower end of the extension part, and are coupled to the moving part of the OHT to load the carrier and When the grip part moves in a horizontal direction for unloading, the grip part support unit may include a support part that supports the grip part to prevent sagging of the grip part.

본 발명에 따른 그립부 지지유닛은 OHT의 그립부가 캐리어의 로딩을 위해 수평 이동할 때 상기 그립부을 지지한다. 따라서, 상기 그립부가 상기 캐리어의 무게로 인하 처지는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 그립부가 상기 캐리어를 반도체 공정 장치의 로드 포트에 정확하게 로딩하여 상기 캐리어의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다. The grip part support unit according to the present invention supports the grip part when the grip part of the OHT moves horizontally for loading the carrier. Accordingly, it is possible to prevent the grip portion from being reduced by the weight of the carrier and sagging. Therefore, the grip unit accurately loads the carrier into the load port of the semiconductor processing apparatus, thereby improving the transfer reliability of the carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그립부 지지유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 그립부 지지유닛을 설명하기 위한 부분 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view for explaining a grip portion support unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially exploded perspective view for explaining the grip part support unit shown in FIG. 1.
3 is a front view for explaining a carrier transport device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a grip portion support unit and a carrier transport device having the same according to an embodiment of the present invention. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그립부 지지유닛을 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 그립부 지지유닛을 설명하기 위한 부분 분해 사시도이다. FIG. 1 is a front view illustrating a grip part supporting unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partial exploded perspective view illustrating the grip part supporting unit shown in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 그립부 지지유닛(100)은 OHT(10)에 구비되어 OHT(10)의 그립부(16)가 수평 방향으로 이동할 때 그립부(16)를 지지한다. 1 and 2, the grip part support unit 100 is provided in the OHT 10 to support the grip part 16 when the grip part 16 of the OHT 10 moves in the horizontal direction.

OHT(10)는 상기 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일(12), 이송 레일(12)을 따라 이동하는 이동부(14) 및 이동부(14)에 결합되어 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부(16)를 포함한다. 그립부(16)는 양측 측면에 롤러(17)를 포함할 수 있다. The OHT 10 includes a transfer rail 12 provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing devices are continuously arranged, a moving part 14 and a moving part 14 moving along the transfer rail 12. It includes a grip unit 16 for horizontal and vertical movement by gripping the carrier 20 to be detachable. The grip unit 16 may include rollers 17 on both side surfaces.

OHT(10)는 상기 반도체 공정 장치에서 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어(20)에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공하거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다. The OHT (10) provides the object for performing the semiconductor device manufacturing process in the semiconductor processing device to each semiconductor processing device in a state in which the object for performing the semiconductor device manufacturing process is stored in the carrier 20, or to be recovered from the semiconductor processing device by using the carrier. I can.

상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 상기 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(20)의 예로는 복수의 반도체 기판들을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 상기 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 상기 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다. Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board to which dies are attached, and a semiconductor package in which dies are bonded to the printed circuit board. Examples of the carrier 20 include a front opening unified pod (FOUP) for storing a plurality of semiconductor substrates and a front opening shipping box (FOSB), a magazine for storing the plurality of printed circuit boards, the And a tray for storing a plurality of semiconductor packages.

그립부 지지유닛(100)은 고정부(110), 연장부(120) 및 지지부(130)를 포함한다. The grip part support unit 100 includes a fixing part 110, an extension part 120, and a support part 130.

고정부(110)는 OHT(10)의 이송 레일(12)에 구비된다. 구체적으로, 고정부(110)는 대략 빔 형상을 가지며, 이송 레일(12)과 수직하는 수평 방향으로 연장하도록 배치된다. 고정부(110)는 나사 등의 체결 수단에 의해 일단부가 이송 레일(12)에 단단하게 고정될 수 있다. 따라서, 고정부(110)는 이송 레일(12)의 일측으로 돌출된 형태를 갖는다. The fixing part 110 is provided on the transfer rail 12 of the OHT 10. Specifically, the fixing part 110 has an approximately beam shape and is disposed to extend in a horizontal direction perpendicular to the transfer rail 12. One end of the fixing part 110 may be firmly fixed to the transfer rail 12 by a fastening means such as a screw. Accordingly, the fixing part 110 has a shape protruding toward one side of the transfer rail 12.

고정부(110)는 연장부(120)를 안정적으로 고정하기 위해 적어도 두 개가 구비되는 것이 바람직하다. It is preferable that at least two fixing parts 110 are provided to stably fix the extension part 120.

연장부(120)는 고정부(110)와 연결되어 하방으로 연장한다. 연장부(120)는 가로 부재(122) 및 세로 부재(124)를 포함한다. The extension part 120 is connected to the fixing part 110 and extends downward. The extension 120 includes a horizontal member 122 and a vertical member 124.

가로 부재(122)는 고정부(110)의 하부면 또는 상부면에 고정된다. 구체적으로, 가로 부재(122)는 고정부(110)에 별도의 체결 부재에 의해 체결되거나, 고정부(110)에 일 예로, 가로 부재(122)는 대략 사각 프레임 형태를 가지거나, 고정부(110)와 수직하는 수평 방향을 따라 연장하는 빔 형상을 가질 수 있다. 가로 부재(122)가 상기 빔 형상을 갖는 경우, 가로 부재(122)는 적어도 두 개가 구비될 수 있다. The horizontal member 122 is fixed to the lower or upper surface of the fixing unit 110. Specifically, the horizontal member 122 is fastened to the fixing part 110 by a separate fastening member, or to the fixing part 110, for example, the horizontal member 122 has an approximately square frame shape, or the fixing part ( 110) and may have a shape of a beam extending in a horizontal direction perpendicular to it. When the horizontal member 122 has the beam shape, at least two horizontal members 122 may be provided.

세로 부재(124)는 가로 부재(122)에 고정되며, 가로 부재(122)로부터 상기 하방으로 연장한다. 구체적으로, 세로 부재(124)의 상단은 가로 부재(122)의 양단에 고정된다. 세로 부재(124)는 가로 부재(122)와 별도의 체결 부재에 의해 고정되거나, 세로 부재(124)는 가로 부재(122)와 일체로 형성될 수 있다. The vertical member 124 is fixed to the horizontal member 122 and extends downward from the horizontal member 122. Specifically, the upper end of the vertical member 124 is fixed to both ends of the horizontal member (122). The vertical member 124 may be fixed by a separate fastening member from the horizontal member 122, or the vertical member 124 may be integrally formed with the horizontal member 122.

세로 부재(124)는 지지부(130)를 안정적으로 고정하기 위해 가로 부재(122)의 양단에 각각 두 개씩 고정될 수 있다.Two vertical members 124 may be fixed to both ends of the horizontal member 122 in order to stably fix the support part 130.

지지부(130)는 연장부(120)의 하단에 고정된다. 구체적으로, 지지부(130)는 일정한 폭을 갖는 평판 형태를 가지며, 고정부(110)의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장한다. 지지부(130)는 한 쌍이 구비되며, 가로 부재(122)의 양단에 각각 고정된 세로 부재(124)의 하단에 고정된다. The support part 130 is fixed to the lower end of the extension part 120. Specifically, the support part 130 has a flat plate shape having a certain width and extends in the same direction as the extension direction of the fixing part 110. A pair of support parts 130 are provided and are fixed to the lower end of the vertical members 124 fixed to both ends of the horizontal member 122, respectively.

지지부(130)는 그립부(16)의 롤러(17)의 하단 높이와 실질적으로 동일한 높이에 위치한다. 따라서, 그립부(16)가 캐리어(20)의 로딩을 위해 상기 수평 방향으로 이동할 때, 지지부(130)가 그립부(16)의 양측면에 구비된 롤러(17)를 지지할 수 있다. The support part 130 is located at a height substantially the same as the height of the lower end of the roller 17 of the grip part 16. Accordingly, when the grip unit 16 moves in the horizontal direction for loading the carrier 20, the support unit 130 may support the rollers 17 provided on both sides of the grip unit 16.

그립부(16)의 양측면이 지지부(130)에 의해 지지되므로, 캐리어(20)의 하중으로 인해 그립부(16)가 처지는 것을 방지할 수 있다. 그립부(16)의 처짐이 방지되므로, 그립부(16)가 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 정확하게 로딩할 수 있다. Since both sides of the grip unit 16 are supported by the support unit 130, it is possible to prevent the grip unit 16 from sagging due to the load of the carrier 20. Since sagging of the grip unit 16 is prevented, the grip unit 16 can accurately load the carrier 20 to the load port of the semiconductor processing apparatus.

상기와 같이 그립부 지지유닛(100)은 OHT(10)의 그립부(16)가 캐리어(20)의 로딩을 위해 수평 이동할 때 그립부(16)를 지지하여 그립부(16)가 캐리어(20)의 무게로 인하 처지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, OHT(10)의 그립부(16)가 캐리어(20)를 상기 로드 포트에 정확하게 로딩할 수 있으므로, 캐리어(20)의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
As described above, the grip part support unit 100 supports the grip part 16 when the grip part 16 of the OHT 10 moves horizontally for loading the carrier 20 so that the grip part 16 is applied to the weight of the carrier 20. It can prevent lowering and sagging. Therefore, since the grip unit 16 of the OHT 10 can accurately load the carrier 20 into the load port, the transfer reliability of the carrier 20 can be improved.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 3 is a front view for explaining a carrier transport device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 캐리어 이송 장치(200)는 캐리어(20)를 이송하기 위한 OHT(210) 및 캐리어(20)가 반도체 공정 장치로 로딩되기 전에 임시로 캐리어(20)를 수납하기 위한 그립부 지지유닛(100)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the carrier transfer device 200 supports an OHT 210 for transferring the carrier 20 and a grip part for temporarily accommodating the carrier 20 before the carrier 20 is loaded into the semiconductor processing device. It includes a unit 100.

OHT(210)는 이송 레일(212), 이동부(214) 및 그립부(216)를 포함한다. The OHT 210 includes a transfer rail 212, a moving part 214, and a grip part 216.

이송 레일(212)은 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다. 이송 레일(212)은 트랙 형태를 가질 수 있다. The transfer rail 212 is provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged. The transfer rail 212 may have a track shape.

이동부(214)는 이송 레일(212)을 따라 이동한다. 이동부(214)는 내부에 구비되는 모터의 구동력으로 이송 레일(212)을 따라 이동할 수 있다. The moving part 214 moves along the transfer rail 212. The moving part 214 may move along the transfer rail 212 by a driving force of a motor provided therein.

그립부(216)는 이동부(214)와 연결되며, 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지한다. 그립부(216)는 수평 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 그립부(216)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 상기 수평 이동하고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 따라서, 그립부(216)는 캐리어(20)를 상기 수평 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 그러므로, 그립부(216)는 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나 상기 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. The grip part 216 is connected to the moving part 214 and grips the carrier 20 to be detachable. The grip part 216 is provided to be movable in horizontal and vertical directions. For example, the grip part 216 may move horizontally using belts, pulleys, gears, and the like, and may move up and down using a motor or a cylinder. Accordingly, the grip part 216 may move the carrier 20 in the horizontal and vertical directions. Therefore, the grip part 216 may load the carrier 20 to or unload the carrier 20 from the load port of the semiconductor processing apparatus.

한편, 그립부(216)는 양측 측면에 롤러(217)를 포함할 수 있다. Meanwhile, the grip part 216 may include rollers 217 on both side surfaces.

그립부 지지유닛(100)은 고정부(110), 연장부(120) 및 지지부(130)를 포함한다. The grip part support unit 100 includes a fixing part 110, an extension part 120, and a support part 130.

고정부(110), 연장부(120) 및 지지부(130)에 관한 구체적인 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 고정부(110), 연장부(120) 및 지지부(130)에 관한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다. A detailed description of the fixing part 110, the extension part 120, and the support part 130 is substantially as described in the fixing part 110, the extension part 120, and the support part 130 with reference to FIGS. 1 and 2 It is the same, so it is omitted.

캐리어 이송 장치(200)는 그립부 지지유닛(100)을 이용하여 OHT(210)의 그립부(216)가 캐리어(20)의 로딩을 위해 수평 이동할 때 그립부(216)를 지지하여 그립부(216)가 캐리어(20)의 무게로 인하 처지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, OHT(210)의 그립부(116)가 캐리어(20)를 상기 로드 포트에 정확하게 로딩할 수 있으므로, 캐리어(20)의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다. The carrier transfer device 200 supports the grip part 216 when the grip part 216 of the OHT 210 moves horizontally for loading the carrier 20 using the grip part support unit 100 so that the grip part 216 The weight of 20 can prevent sagging. Therefore, since the grip part 116 of the OHT 210 can accurately load the carrier 20 into the load port, the transfer reliability of the carrier 20 can be improved.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 그립부 지지유닛은 OHT의 그립부가 캐리어의 로딩을 위해 수평 이동할 때 상기 그립부을 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지한다. 따라서, 상기 그립부가 상기 캐리어를 반도체 공정 장치의 로드 포트에 정확하게 로딩할 수 있으므로, 캐리어 이송 장치의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As described above, the grip part support unit according to the present invention supports the grip part when the grip part of the OHT moves horizontally for loading the carrier to prevent sagging of the grip part. Accordingly, since the grip unit can accurately load the carrier into the load port of the semiconductor processing device, the transfer reliability of the carrier transfer device can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

100 : 그립부 지지유닛 110 : 고정부
120 : 연장부 130 : 지지부
10 : OHT 20 : 캐리어100: grip part support unit 110: fixed part
120: extension part 130: support part
10: OHT 20: carrier

Claims (3)

OHT의 이송 레일에 고정되는 고정부;
상기 고정부와 연결되어 하방으로 연장하는 연장부; 및
상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT의 이동부에 결합되어 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 그립부가 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 그립부 지지유닛. A fixing part fixed to the transport rail of the OHT;
An extension part connected to the fixing part and extending downward; And
It is provided at the lower end of the extension part, and is coupled to the moving part of the OHT to support the grip part when the grip part moves in a horizontal direction for loading and unloading of the carrier to prevent sagging of the grip part. Grip support unit. 제1항에 있어서, 상기 지지부는 상기 그립부에 구비된 롤러를 지지하는 것을 특징으로 하는 그립부 지지유닛. The grip unit support unit according to claim 1, wherein the support unit supports a roller provided in the grip unit. 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일과, 상기 이송 레일을 따라 이동하는 이동부 및 상기 이동부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT; 및
상기 OHT의 이송 레일에 고정되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되어 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT의 이동부에 결합되어 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 그립부가 수평 방향으로 이동할 때 상기 그립부를 지지하여 상기 그립부의 처짐을 방지하는 지지부를 포함하는 그립부 지지유닛으로 이루어지는 캐리어 이송 장치. OHT including a transfer rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line, a moving part moving along the transfer rail, and a grip part coupled to the moving part to grip the carrier so as to be detachable and move horizontally and vertically; And
A fixing part fixed to the transport rail of the OHT, an extension part connected to the fixing part and extending downward, and provided at the lower end of the extension part, and a grip part for loading and unloading the carrier by being coupled to the moving part of the OHT Carrier transfer device comprising a grip unit support unit including a support unit for preventing sagging of the grip unit by supporting the grip unit when moving in the horizontal direction.
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