KR20160066210A - Unit for buffering a carrier and apparatus for transferring a carrier having the unit - Google Patents

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KR20160066210A
KR20160066210A KR1020140170256A KR20140170256A KR20160066210A KR 20160066210 A KR20160066210 A KR 20160066210A KR 1020140170256 A KR1020140170256 A KR 1020140170256A KR 20140170256 A KR20140170256 A KR 20140170256A KR 20160066210 A KR20160066210 A KR 20160066210A
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이성호
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세메스 주식회사
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Abstract

A carrier buffer unit can comprise: a fixing unit provided in one side of a ceiling of a semiconductor manufacturing line having a transfer rail of an automatic handling trolley (OHT); an extension unit extended downward from the fixing unit; and a storage unit provided at a lower end of the extension unit and storing the carrier transferred by the OHT. Therefore, the OHT can rapidly load the OHT on the carrier buffer unit.

Description

캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치{Unit for buffering a carrier and apparatus for transferring a carrier having the unit}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a carrier buffer unit and a carrier transfer unit having the same.

본 발명은 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어의 이송시 상기 캐리어를 임시로 보관하기 위한 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier buffer unit and a carrier transporting apparatus having the carrier buffer unit, and more particularly, to a carrier buffer unit and a carrier transporting apparatus having the carrier buffer unit for temporarily storing the carrier in transporting carriers in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being housed in the carrier or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT transports the carrier accommodating the object to the load port of the semiconductor processing apparatuses, picks up the carrier accommodating the processed object from the load port, and conveys the carrier to the outside.

상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 임시로 저장하기 위한 버퍼부가 구비된다. 상기 버퍼부는 상기 반도체 공정 장치에 구비되거나, 상기 반도체 공정 장치와 인접하여 구비된다. 한국등록특허 제10-1088050호에는 상기 반도체 공정 장치에 상기 버퍼부가 구비되는 구성이 개시되어 있다. And a buffer unit for temporarily storing the carrier transferred by the OHT when the carrier exists in the load pod of the semiconductor processing apparatus. The buffer unit may be provided in the semiconductor processing apparatus or may be provided adjacent to the semiconductor processing apparatus. Korean Patent No. 10-1088050 discloses a configuration in which the buffer unit is provided in the semiconductor processing apparatus.

상기 버퍼부가 상기 반도체 공정 장치에 구비되거나, 상기 반도체 공정 장치와 인접하여 구비되는 경우, 상기 OHT와 상기 버퍼부 사이의 간격이 커 상기 OHT가 상기 캐리어를 상기 버퍼부로 로딩하는데 많은 시간이 소요된다.When the buffer unit is provided in the semiconductor processing apparatus or adjacent to the semiconductor processing apparatus, the OHT has a large distance between the OHT and the buffer unit, and the OHT takes a long time to load the carrier into the buffer unit.

또한, 상기 반도체 공정 장치가 위치한 장소의 공간이 협소한 경우, 상기 버퍼부를 구비하기 어려울 수 있다. In addition, when the space of the semiconductor processing apparatus is narrow, it may be difficult to provide the buffer unit.

한국등록특허 제10-1088050호 (2011.11.23. 등록)Korean Registered Patent No. 10-1088050 (Registered on November 23, 2011)

본 발명은 설치가 용이하며 OHT가 캐리어를 로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 캐리어 버퍼 유닛을 제공한다. The present invention provides a carrier buffer unit that is easy to install and can shorten the time required for OHT to load a carrier.

본 발명은 상기 캐리어 버퍼 유닛을 갖는 캐리어 이송 장치를 제공한다.The present invention provides a carrier transporting apparatus having the carrier buffer unit.

본 발명에 따른 캐리어 버퍼 유닛은 OHT의 이송 레일이 구비된 반도체 제조 라인의 천장 일측에 구비되는 고정부와, 상기 고정부로부터 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위한 수납부를 포함할 수 있다. The carrier buffer unit according to the present invention is provided with a fixing part provided at one side of a ceiling of a semiconductor manufacturing line equipped with an OHT transferring rail, an extension part extending downward from the fixing part, and a lower part of the extension part, And a receiving portion for receiving the carrier conveyed by the receiving portion.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수납부는 상기 캐리어가 안착될 위치를 가이드하기 위한 가이드 부재들을 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the receiving portion may include guide members for guiding a position where the carrier is to be placed.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수납부는 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어의 높이 보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the receiving portion may be located at a height lower than the height of the carrier transported by the OHT.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일과, 상기 이송 레일을 따라 이동하는 이동부 및 상기 이동부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT 및 상기 OHT의 이송 레일이 구비된 천장 일측에 구비되는 고정부, 상기 고정부로부터 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위한 수납부를 포함하는 캐리어 버퍼 유닛으로 이루어질 수 있다. A carrier transporting apparatus according to the present invention comprises a transport rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line, a moving unit moving along the transport rail, and a grip unit coupled to the moving unit, A fixing part provided at one side of the ceiling provided with the conveying rail of the OHT, an extension part extending downward from the fixing part, and a lower part provided at the lower end of the extending part to receive a carrier conveyed by the OHT And a carrier buffer unit including a receiving portion for receiving the carrier.

본 발명에 따른 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에서 상기 캐리어 버퍼 유닛이 OHT의 이송 레일이 구비된 천정 일측에 구비된다. 따라서, 상기 캐리어 버퍼 유닛을 공간의 제약없이 용이하게 설치할 수 있다. In the carrier buffer unit and the carrier transporting apparatus having the carrier buffer unit according to the present invention, the carrier buffer unit is provided at one side of the ceiling provided with the transport rail of the OHT. Therefore, the carrier buffer unit can be easily installed without restriction on the space.

또한, 상기 캐리어 버퍼 유닛과 상기 OHT 사이의 간격이 작으므로, 상기 OHT가 상기 캐리어를 상기 캐리어 버퍼 유닛으로 로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. Further, since the interval between the carrier buffer unit and the OHT is small, the time required for the OHT to load the carrier into the carrier buffer unit can be shortened. Therefore, the transport efficiency of the carrier can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 버퍼 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view illustrating a carrier buffer unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view for explaining a carrier transporting apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a carrier buffer unit and a carrier transfer device having the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 버퍼 유닛을 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view illustrating a carrier buffer unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 캐리어 버퍼 유닛(100)은 OHT(10)의 일측에 구비되며, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들의 로드 포트에 캐리어(20)가 놓여진 경우 OHT(10)에 의해 이송되는 캐리어(20)를 임시로 저장한다. 1, the carrier buffer unit 100 is provided at one side of the OHT 10 and is transported by the OHT 10 when the carrier 20 is placed in the load port of semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices The carrier 20 is temporarily stored.

OHT(10)는 상기 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일(12), 이송 레일(12)을 따라 이동하는 이동부(14) 및 이동부(14)에 결합되어 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부(16)를 포함한다. The OHT 10 includes a conveying rail 12 provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing apparatuses are continuously disposed, a moving unit 14 moving along the conveying rail 12, and a moving unit 14 And a grip portion 16 for holding the carrier 20 so as to be detachable so as to move horizontally and vertically.

OHT(10)는 상기 반도체 공정 장치에서 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어(20)에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공하거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다.  The OHT 10 is provided in each semiconductor processing apparatus in a state in which the object for performing the semiconductor element manufacturing process is housed in the carrier 20 in the semiconductor processing apparatus or is recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier .

상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 상기 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(20)의 예로는 복수의 반도체 기판들을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 상기 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 상기 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다. Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board to which the dies are attached, and a semiconductor package in which the dies are bonded to the printed circuit board. Examples of the carrier 20 include a front opening unified foam (FOUP) and a front opening shipping box (FOSB) for housing a plurality of semiconductor substrates, a magazine for accommodating the plurality of printed circuit boards, A tray for housing a plurality of semiconductor packages, and the like.

캐리어 버퍼 유닛(100)은 고정부(110), 연장부(120) 및 수납부(130)를 포함한다. The carrier buffer unit 100 includes a fixing portion 110, an extension portion 120, and a receiving portion 130.

고정부(110)는 OHT(10)의 이송 레일(12)이 구비되는 반도체 제조 라인의 천장 일측에 구비된다. 구체적으로, 고정부(110)는 일 방향으로 연장되는 이송 레일(12)과 이격되어 배치된다. 고정부(110)는 나사 등의 체결 수단에 의해 상기 천장에 단단하게 고정될 수 있다. The fixing portion 110 is provided at one side of the ceiling of the semiconductor manufacturing line where the transferring rail 12 of the OHT 10 is provided. Specifically, the fixing portion 110 is disposed apart from the conveying rail 12 extending in one direction. The fixing portion 110 can be firmly fixed to the ceiling by fastening means such as screws.

연장부(120)는 고정부(110)로부터 하방으로 연장한다. 연장부(120)는 상단이 고정부(110)와 연결되고, 하단이 수납부(130)와 연결된다. 연장부(120)는 대략 막대 형상을 가지며, 수납부(130)를 안정적으로 고정하기 위해 적어도 4개의 부재로 이루어질 수 있다. The extension portion 120 extends downward from the fixing portion 110. The upper end of the extension part 120 is connected to the fixing part 110 and the lower end of the extension part 120 is connected to the receiving part 130. The extension portion 120 has a substantially rod shape and may be formed of at least four members in order to stably fix the storage portion 130.

수납부(130)는 연장부(120)의 하단에 구비되어 연장부(120)에 고정된다. 수납부(130)는 대략 평판 형태를 가지며, OHT(10)에 의해 이송된 캐리어(20)를 수납한다. The storage part 130 is provided at the lower end of the extension part 120 and is fixed to the extension part 120. The receiving portion 130 has a substantially flat plate shape and accommodates the carrier 20 conveyed by the OHT 10.

구체적으로, 그립부(16)가 상기 수평 이동을 통해 수납부(130)의 상방으로 이동한 후 하강하여 수납부(130)에 캐리어(20)를 수납한다. Specifically, the grip portion 16 moves upwardly of the housing portion 130 through the horizontal movement, then descends to accommodate the carrier 20 in the housing portion 130.

이때, 수납부(130)가 OHT(10)의 그립부(16)에 의해 이송되는 캐리어(10)의 높이와 같거나 캐리어(10)의 높이보다 높은 높이에 위치하는 경우, 그립부(16)가 캐리어(10)의 수납을 위해 수평 이동할 때 캐리어(20)와 수납부(130)가 충돌할 우려가 있다. 그러므로, 수납부(130)는 OHT(10)의 그립부(16)에 의해 이송되는 캐리어(10)의 높이 보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. At this time, when the storage portion 130 is located at a height equal to or higher than the height of the carrier 10 to be transported by the grip portion 16 of the OHT 10, There is a possibility that the carrier 20 and the storage portion 130 may collide with each other when horizontally moved to accommodate the storage portion 10. Therefore, the receiving portion 130 may be located at a height lower than the height of the carrier 10 conveyed by the grip portion 16 of the OHT 10.

한편, 수납부(130)는 상면에 다수의 가이드들(132)을 포함할 수 있다. 가이드들(132)은 그립부(16)에 의해 하강하는 캐리어(20)를 가이드하여 캐리어(20)가 수납부(130) 상의 기 설정 위치에 정확하게 안착되도록 한다.
Meanwhile, the storage unit 130 may include a plurality of guides 132 on its upper surface. The guides 132 guide the carrier 20 descending by the grip portion 16 so that the carrier 20 is correctly seated in the predetermined position on the receiving portion 130. [

캐리어(20)가 수납부(130) 상의 기 설정 위치에 정확하게 안착되므로, 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치로 로딩하기 위해 OHT(10)의 그립부(16)가 수납부(130)에 수납된 캐리어(20)를 픽업할 때 그립부(16)가 캐리어(20)를 정확하게 픽업할 수 있다. The grip portion 16 of the OHT 10 is housed in the accommodating portion 130 in order to load the carrier 20 into the semiconductor processing apparatus since the carrier 20 is accurately seated in the predetermined position on the accommodating portion 130 The grip portion 16 can accurately pick up the carrier 20 when picking up the carrier 20. [

상기와 같이 캐리어 버퍼 유닛(100)은 상기 천정에 OHT(10)와 인접하여 구비되므로, OHT(10)가 캐리어(20)를 캐리어 버퍼 유닛(100)에 신속하게 안착시킬 수 있다. 또한, 캐리어 버퍼 유닛(100)은 상기 천정에 구비되므로, 비교적 좁은 공간에서도 캐리어 버퍼 유닛(100)을 용이하게 설치할 수 있다.
As described above, since the carrier buffer unit 100 is provided adjacent to the OHT 10 on the ceiling, the OHT 10 can quickly place the carrier 20 into the carrier buffer unit 100. Further, since the carrier buffer unit 100 is provided on the ceiling, the carrier buffer unit 100 can be easily installed even in a relatively narrow space.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 2 is a front view for explaining a carrier transporting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 캐리어 이송 장치(200)는 캐리어(20)를 이송하기 위한 OHT(210) 및 캐리어(20)가 반도체 공정 장치로 로딩되기 전에 임시로 캐리어(20)를 수납하기 위한 캐리어 버퍼 유닛(220)을 포함한다. 2, the carrier transport apparatus 200 includes an OHT 210 for transporting the carrier 20 and a carrier buffer 20 for temporarily storing the carrier 20 before the carrier 20 is loaded into the semiconductor processing apparatus. Unit 220 as shown in FIG.

OHT(210)는 이송 레일(212), 이동부(214) 및 그립부(216)를 포함한다. The OHT 210 includes a transfer rail 212, a moving part 214, and a grip part 216.

이송 레일(212)은 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다. 이송 레일(212)은 트랙 형태를 가질 수 있다. The transfer rail 212 is provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices for manufacturing semiconductor devices are continuously disposed. The feed rail 212 may have a track shape.

이동부(214)는 이송 레일(212)을 따라 이동한다. 이동부(214)는 내부에 구비되는 모터의 구동력으로 이송 레일(212)을 따라 이동할 수 있다. The moving part 214 moves along the conveying rail 212. The moving part 214 can move along the conveying rail 212 by the driving force of a motor provided therein.

그립부(216)는 이동부(214)와 연결되며, 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지한다. 그립부(216)는 수평 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 그립부(216)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 상기 수평 이동하고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 따라서, 그립부(216)는 캐리어(20)를 상기 수평 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 그립부(216)는 캐리어(20)를 캐리어 버퍼 유닛(100) 또는 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나 캐리어 버퍼 유닛(100) 또는 상기 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. The grip portion 216 is connected to the moving portion 214 and grips the carrier 20 so as to be detachable. The grip portion 216 is provided so as to be movable in the horizontal and vertical directions. For example, the grip portion 216 can be horizontally moved using a belt, a pulley, a gear, or the like, and can be moved up and down using a motor, a cylinder, or the like. Therefore, the grip portion 216 can move the carrier 20 in the horizontal and vertical directions. The grip portion 216 may also load the carrier 20 into the carrier buffer unit 100 or the load port of the semiconductor processing apparatus or unload from the carrier buffer unit 100 or the load port.

캐리어 버퍼 유닛(220)은 고정부(222), 연장부(224) 및 가이드 부재(226a)를 가지는 수납부(226)를 포함한다. The carrier buffer unit 220 includes a receiving portion 226 having a fixing portion 222, an extension portion 224 and a guide member 226a.

고정부(222), 연장부(224) 및 수납부(226)에 관한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 고정부(110), 연장부(120) 및 수납부(130)에 관한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다. A detailed description of the fixing part 222, the extension part 224 and the receiving part 226 is substantially the same as the description of the fixing part 110, the extension part 120 and the receiving part 130 with reference to FIG. Therefore, it is omitted.

캐리어 이송 장치(200)는 OHT(210)와 캐리어 버퍼 유닛(220)이 인접하여 구비되므로, OHT(210)가 캐리어(20)를 캐리어 버퍼 유닛(220)에 신속하게 안착시킬 수 있다. 또한, 캐리어 이송 장치(200)는 캐리어 버퍼 유닛(220)을 상기 천정에 구비할 수 있으므로, 비교적 좁은 공간에서도 캐리어 버퍼 유닛(220)을 용이하게 설치할 수 있다. The OHT 210 and the carrier buffer unit 220 are adjacent to each other so that the carrier transfer device 200 can quickly place the carrier 20 into the carrier buffer unit 220. [ Further, since the carrier transfer device 200 can include the carrier buffer unit 220 on the ceiling, the carrier buffer unit 220 can be easily installed even in a relatively narrow space.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치는 캐리어 버퍼 유닛을 OHT의 이송 레일이 구비된 천정 일측에 구비한다. 상기 OHT와 상기 캐리어 버퍼 유닛이 서로 인접하므로, 상기 OHT가 상기 캐리어를 상기 캐리어 버퍼 유닛으로 신속하게 로딩할 수 있다. 그러므로, 상기 캐리어의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, in the carrier buffer unit and carrier transporting apparatus having the carrier buffer unit according to the present invention, the carrier buffer unit is provided at one side of the ceiling provided with the transport rail of the OHT. Since the OHT and the carrier buffer unit are adjacent to each other, the OHT can quickly load the carrier into the carrier buffer unit. Therefore, the transport efficiency of the carrier can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 캐리어 버퍼 유닛 110 : 고정부
120 : 연장부 130 : 수납부
10 : OHT 20 : 캐리어100: carrier buffer unit 110:
120: extension part 130:
10: OHT 20: Carrier

Claims (4)

OHT의 이송 레일이 구비된 반도체 제조 라인의 천장 일측에 구비되는 고정 부;
상기 고정부로부터 하방으로 연장하는 연장부; 및
상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위한 수납부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 버퍼 유닛. A fixing part provided on one side of a ceiling of a semiconductor manufacturing line equipped with a transfer rail of an OHT;
An extension extending downward from the fixing portion; And
And a receiving portion provided at a lower end of the extending portion and for receiving a carrier conveyed by the OHT. 제1항에 있어서, 상기 수납부는 상기 캐리어가 안착될 위치를 가이드하기 위한 가이드 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 버퍼 유닛.2. The carrier buffer unit of claim 1, wherein the receiving portion includes guide members for guiding a position at which the carrier is to be mounted. 제1항에 있어서, 상기 수납부는 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어의 높이 보다 낮은 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 캐리어 버퍼 유닛. The carrier buffer unit according to claim 1, wherein the housing portion is located at a height lower than a height of a carrier carried by the OHT. 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 이송 레일과, 상기 이송 레일을 따라 이동하는 이동부 및 상기 이동부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT; 및
상기 OHT의 이송 레일이 구비된 천장 일측에 구비되는 고정부, 상기 고정부로부터 하방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 하단에 구비되며, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위한 수납부를 포함하는 캐리어 버퍼 유닛으로 이루어지는 캐리어 이송 장치. An OHT including a conveying rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line, a moving part moving along the conveying rail, and a grip part coupled to the moving part to grip the carrier so as to be removable so as to horizontally and vertically move the carrier. And
A fixing part provided on one side of the ceiling provided with the transferring rail of the OHT, an extension part extending downward from the fixing part, and a storage part for storing the carrier transferred by the OHT, A carrier transfer device comprising a carrier buffer unit.
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