KR101448527B1 - Buffer Apparatus for Test tray and In-line Test Handler having the same - Google Patents

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KR101448527B1
KR101448527B1 KR1020130067830A KR20130067830A KR101448527B1 KR 101448527 B1 KR101448527 B1 KR 101448527B1 KR 1020130067830 A KR1020130067830 A KR 1020130067830A KR 20130067830 A KR20130067830 A KR 20130067830A KR 101448527 B1 KR101448527 B1 KR 101448527B1
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김경태
유웅현
박해준
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미래산업 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a test tray storage apparatus and an inline test handler including the same, comprising: a storage member installed in a conveyor unit to transport a test tray along a transportation path and a supporting unit to support the test tray located in the storage location to enable the test tray located in the storage location to avoid another test tray transported along the transportation path by the conveyor unit. According to the present invention, the test tray storage apparatus prevents work time from being delayed when the difference of time consumed for executing a loading process, an unloading process, and a test process respectively is generated, improves transportation efficiency for the test tray by preventing the transportation time for the test tray from being delayed, and reduces time consumed until the completion of the test process for a semiconductor device.

Description

테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러{Buffer Apparatus for Test tray and In-line Test Handler having the same}[0001] The present invention relates to a test tray storage device and an in-line test handler having the same,

본 발명은 테스트 트레이에 대한 이송 효율을 향상시키기 위한 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a test tray storage device for improving the transport efficiency of a test tray and an inline test handler including the same.

메모리 혹은 비메모리 반도체 소자, 모듈 IC 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 공정을 수행하는 장치들을 거쳐 제조된다. 이러한 장치들 중의 하나인 테스트 핸들러는 반도체 소자가 테스트되도록 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키고, 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 공정을 수행하기 위한 장치이다. 반도체 소자는 테스트 결과 양품으로 분류됨으로써 제조가 완료된다.Memory or non-memory semiconductor devices, module ICs (hereinafter referred to as "semiconductor devices") are manufactured through devices that perform various processes. One of these devices is a device for performing a process of connecting a semiconductor device to a test equipment so that the semiconductor device is tested and classifying the tested semiconductor device into classes according to a test result. The semiconductor device is classified as a good product as a result of the test, thereby completing the manufacture.

도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a test handler according to the prior art.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 고객트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩유닛(1100), 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키는 테스트유닛(1200), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 수납시키는 언로딩유닛(1300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a test handler 1000 according to the related art includes a loading unit 1100 for storing a semiconductor device contained in a customer tray in a test tray 200, a semiconductor device accommodated in the test tray 200, And an unloading unit 1300 that classifies the tested semiconductor devices into classes according to test results and stores them in a customer tray.

상기 로딩유닛(1100)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 로딩유닛(1100)은 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커(1110), 및 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트 트레이(200)로 이송하는 로딩픽커(1120)를 포함한다. 테스트 트레이(200)는 테스트될 반도체 소자가 수납되면, 상기 테스트유닛(1200)으로 이송된다.The loading unit 1100 performs a loading process for accommodating the tested semiconductor devices in the test tray 200. The loading unit 1100 includes a loading stacker 1110 for storing a customer tray containing semiconductor elements to be tested and a loading picker 1120 for transferring semiconductor elements to be tested from a customer tray to a test tray 200 . The test tray 200 is transferred to the test unit 1200 when the semiconductor device to be tested is accommodated.

상기 테스트유닛(1200)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(400)에 접속시키는 테스트공정을 수행한다. 이에 따라, 상기 테스트장비(400)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 전기적으로 연결됨으로써, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트한다. 반도체 소자에 대한 테스트가 완료되면, 테스트 트레이(200)는 상기 언로딩유닛(1300)으로 이송된다.The test unit 1200 performs a test process of connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray 200 to the test equipment 400. Accordingly, the test equipment 400 is electrically connected to the semiconductor devices accommodated in the test tray 200, thereby testing the semiconductor devices accommodated in the test tray 200. When the test for the semiconductor device is completed, the test tray 200 is transferred to the unloading unit 1300.

상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 담기 위한 고객트레이를 저장하는 언로딩스택커(1310), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에서 고객트레이로 이송하는 언로딩픽커(1320)를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 고객트레이로 이송됨에 따라 테스트 트레이(200)가 비게 되면, 비어 있는 테스트 트레이(200)는 다시 상기 로딩유닛(1100)으로 이송된다.The unloading unit 1300 performs an unloading process for separating the tested semiconductor device into the test tray 200. [ The unloading unit 1300 includes an unloading stacker 1310 for storing a customer tray for storing the tested semiconductor devices and an unloading picker 1320 for transferring the tested semiconductor devices from the test tray 200 to the customer tray. ). When the test tray 200 becomes empty as the tested semiconductor element is transferred to the customer tray, the empty test tray 200 is transferred to the loading unit 1100 again.

이와 같이 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 하나의 장치 안에서 테스트 트레이(200)를 순환 이동시키면서 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 순차적으로 수행하였다. 이러한 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 다음과 같은 문제가 있다.Thus, the test handler 1000 according to the related art sequentially performs the loading process, the test process, and the unloading process while circulating the test tray 200 in one apparatus. The test handler 1000 according to the related art has the following problems.

첫째, 최근 기술 발전에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 상기 로딩유닛(1100)이 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간이 단축되고 있다. 반면, 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자의 종류가 다양해지고, 반도체 소자의 구조가 복잡해지는 등에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정을 수행하는데 걸리는 시간이 늘어나고 있다. 이에 따라, 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정이 로딩공정에 비해 더 오랜 시간이 걸리게 되었다. 따라서, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 테스트유닛(1200)으로 곧바로 이송하지 못하고, 상기 테스트유닛(1200)에서 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)에서 대기시켜야 하므로, 작업시간이 지연되는 문제가 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하는 시간이 발생함에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간도 지연되는 문제가 있다.First, according to recent technological developments, the time taken for the loading unit 1100 to perform the loading process based on one test tray 200 is shortened. On the other hand, in the test equipment 400, it takes a long time to perform a test process based on one test tray 200 due to various kinds of semiconductor devices, a complicated structure of semiconductor devices, and the like. As a result, the testing process takes longer time than the loading process based on one test tray 200. Accordingly, the test handler 1000 according to the prior art fails to transfer the test tray 200, which has completed the loading process, to the test unit 1200, The loading unit 1100 has to wait for the operation unit 200 to be in a standby state. The test handler 1000 according to the related art performs the loading process for the next test tray 200 as the loading unit 1100 waits for the test tray 200 to wait in the loading unit 1100 There is a problem in that the time taken to perform the operation is also delayed.

둘째, 상기 로딩공정과 마찬가지로 상기 언로딩유닛(1300)이 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간 또한 단축되고 있다. 그러나, 상술한 바와 같이 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하여야 하므로, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 언로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)으로 곧바로 이송하지 못하고, 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩유닛(1300)에서 대기시켜야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 언로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 언로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간이 지연되는 문제가 있다.Second, the time required for the unloading unit 1300 to perform the unloading process is also shortened, like the loading process. However, since the test tray 200 must wait in the loading unit 1100 until the test process is completed as described above, the test handler 1000 according to the related art will not be able to test the test tray 200 having completed the unloading process, The test tray 200 can not be immediately transferred to the loading unit 1100 and the unloading unit 1300 should wait. Accordingly, the test handler 1000 according to the related art has a problem that the time taken until the unloading unit 1100 performs the unloading process for the next test tray 200 is delayed.

셋째, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100), 상기 테스트유닛(1200) 및 상기 언로딩유닛(1300) 중에서 어느 하나에만 고장이 발생해도, 정상적으로 작동하는 나머지 구성 또한 작업을 수행할 수 없는 문제가 있다.Third, the test handler 1000 according to the related art can not operate normally even if a failure occurs in only one of the loading unit 1100, the test unit 1200, and the unloading unit 1300 There is a problem that can not be performed.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an inline test handler that can prevent a delay in the operation time even if there is a difference in time required for performing each of the loading process, .

본 발명은 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 적어도 하나에 고장이 발생하더라도 전체 작업시간에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide an inline test handler that can prevent an entire operation time from being affected even if a failure occurs in at least one of the devices performing the loading process, the test process, and the unloading process.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치는 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재; 및 상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛을 포함할 수 있다. 상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지할 수 있다.A test tray storage apparatus according to the present invention comprises: a storage member installed in a conveyor unit for conveying a test tray along a conveyance path; And a support unit installed in the storage member and supporting the test tray placed in the storage position such that the test tray is located at a storage position spaced from the conveyance path. The support unit may support a test tray located in the storage location to avoid a test tray being carried along the transport path by the conveyor unit when the test tray is in the storage location.

본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러는 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛; 상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛; 상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛; 상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함할 수 있다. 상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관할 수 있다.An inline test handler according to the present invention includes: a first chamber unit for performing a test process for a semiconductor device; A second chamber unit installed apart from the first chamber unit and performing a test process for the semiconductor device; A sorting unit spaced apart from each of the first chamber unit and the second chamber unit; A conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path so that the first chamber unit, the second chamber unit, and the sorting unit are connected in-line; And a storage device installed in the conveyor unit, for transferring the test tray supported by the conveyor unit to a storage location for storage. The storage device transports the test tray supported by the conveyor unit from the conveying path to a storage position spaced apart from the conveying path so as to avoid a test tray carried along the conveying path by the conveyor unit when the test tray is placed in the storage position .

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.The present invention can prevent a delay in the operation time even if there is a difference in time required to perform each of the loading process, the unloading process, and the test process, thereby improving the manufacturing yield of the semiconductor device.

본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.The present invention can prevent the entire system from stopping even if a failure occurs in any one of the devices performing the loading process, the unloading process, and the testing process, thereby preventing the loss of the working time.

본 발명은 테스트 트레이에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 테스트 트레이에 대한 운반 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.The present invention can be implemented to prevent a delay in transport time for a test tray, thereby improving transport efficiency for a test tray, thereby reducing the time required for completing a test process for a semiconductor device have.

도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 2는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 설치된 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 3은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 개략적인 측단면도
도 5는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치에 있어서 승강유닛의 개략적인 사시도
도 6은 본 발명에 따른 지지유닛을 설명하기 위한 도 3의 A 부분을 확대하여 나타낸 일부 절개도
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 보관위치에서 운반경로로 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 10 내지 도 12는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 운반경로에서 보관위치로 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 13은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치에 있어서 대기위치, 운반경로, 및 보관위치의 위치관계를 설명하기 위한 개념도
도 14는 본 발명에 따른 반출유닛 및 반송유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 15 내지 도 17은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 반출하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 18은 본 발명에 따른 반입유닛 및 반송유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 19 내지 도 21은 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치가 테스트 트레이를 반입하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 22는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 블록도
도 23은 본 발명에 따른 챔버유닛의 개략적인 평면도
도 24 및 도 25는 본 발명에 따른 챔버유닛의 실시예를 설명하기 위한 개념도
도 26은 본 발명에 따른 컨베이어유닛의 개략적인 측면도
도 27은 본 발명에 따른 소팅유닛의 개략적인 평면도1 is a schematic top view of a test handler according to the prior art;
2 is a schematic plan view of an inline test handler equipped with a test tray storage device according to the present invention;
3 is a schematic perspective view of a test tray storage apparatus according to the present invention;
Figure 4 is a schematic side cross-sectional view of a test tray storage device according to the present invention
5 is a schematic perspective view of the elevating unit in the test tray storing apparatus according to the present invention.
6 is an enlarged partial cutaway view of part A of Fig. 3 for explaining a support unit according to the present invention. Fig.
7 to 9 are schematic side cross-sectional views for explaining the process of moving the test tray from the storage position to the conveyance path according to the present invention.
10 to 12 are schematic side cross-sectional views for explaining the process of moving the test tray from the transport path to the storage position according to the present invention.
13 is a conceptual diagram for explaining the positional relationship between the standby position, the conveyance path, and the storage position in the test tray storage apparatus according to the present invention
14 is a schematic perspective view for explaining a carry-out unit and a carry unit according to the present invention;
15 to 17 are schematic side cross-sectional views for explaining a process of carrying out a test tray storage apparatus according to the present invention.
18 is a schematic perspective view for explaining a carrying unit and a carrying unit according to the present invention;
19 to 21 are schematic side cross-sectional views for explaining the process of bringing the test tray into the test tray storage apparatus according to the present invention
Figure 22 is a schematic block diagram of an inline test handler according to the present invention
23 is a schematic plan view of a chamber unit according to the present invention
24 and 25 are schematic views for explaining an embodiment of the chamber unit according to the present invention
Figure 26 is a schematic side view of a conveyor unit according to the present invention
27 is a schematic plan view of a sorting unit according to the present invention

이하에서는 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of a test tray storage apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 인라인 테스트 핸들러(100)에 설치되는 것이다. 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 복수개의 챔버유닛(110), 및 테스트 트레이(200)를 운반하는 컨베이어유닛(120)을 포함한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)가 상기 챔버유닛(110)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 수행되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 또한, 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)에 대해 언로딩공정이 수행되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 즉, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)를 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)를 따라 운반함으로써, 상기 챔버유닛(110)들을 인라인(In-line)으로 연결한다.2 to 4, a test tray storage apparatus 1 according to the present invention is installed in an in-line test handler 100. The inline test handler 100 includes a plurality of chamber units 110 and a conveyor unit 120 for conveying the test tray 200. The chamber unit 110 includes a plurality of chamber units 110 for testing semiconductor devices accommodated in the test tray 200. The conveyor unit 120 carries the test tray 200 such that the test tray 200 having completed the loading process performs the test process through at least one of the chamber units 110. The conveyor unit 120 carries the test tray 200 through at least one of the chamber units 110 so that the unloading process is performed on the test tray 200 that has been tested. That is, the conveyor unit 120 connects the chamber units 110 in-line by transporting the test tray 200 along a transport path (MP, shown in FIG. 4).

여기서, 상기 챔버유닛(110)에 반입되기 위해 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 대기하고 있는 대기 테스트 트레이(210, 도 2에 도시됨)가 발생하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 챔버유닛(110)에 반입될 때까지 상기 대기 테스트 트레이(210)의 후방 측에 위치된 후방 테스트 트레이(220, 도 2에 도시됨)를 운반하지 못하게 된다. 상기 대기 테스트 트레이(210)가 대기하고 있는 상태에서, 상기 컨베이어닛(120)이 상기 후방 테스트 트레이(220)를 계속하여 운반하면, 상기 후방 테스트 트레이(220)가 상기 대기 테스트 트레이(210)에 충돌하게 되기 때문이다. 이에 따라, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 챔버유닛(110)에 반입될 때까지 상기 후방 테스트 트레이(220)도 대기시켜야 하므로, 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율이 저하되는 문제가 있다. 또한, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 대기 테스트 트레이(210)로 인해 운반시간이 지연되고, 이에 따라 반도체 소자에 대해 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간 또한 증가하는 문제가 있다.Here, when an atmospheric test tray 210 (shown in FIG. 2) which is supported by the conveyor unit 120 to be brought into the chamber unit 110 is generated, the conveyor unit 120 performs the waiting test The tray 210 is not able to carry the rear test tray 220 (shown in FIG. 2) located on the rear side of the waiting test tray 210 until the tray 210 is brought into the chamber unit 110. When the conveyance unit 120 continuously conveys the rear test tray 220 while the waiting test tray 210 is waiting, the rear test tray 220 is moved to the waiting test tray 210 This is because they collide. The inline test handler 100 is required to wait for the rear test tray 220 until the waiting test tray 210 is brought into the chamber unit 110. Therefore, There is a problem that the efficiency is lowered. In addition, the in-line test handler 100 has a problem that the transportation time is delayed due to the waiting test tray 210, and thus the time taken until the test process is completed for the semiconductor device also increases.

이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 지지된 테스트 트레이(200)를 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)로 이송하여 보관할 수 있도록 상기 컨베이어유닛(120)에 설치된다. 테스트 트레이(200)는 상기 보관위치(SP)에 위치됨에 따라 상기 운반경로(MP)로부터 이격됨으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피하게 된다.In order to solve this problem, a test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured to store a test tray 200 supported by the conveyor unit 120 in a storage position SP (shown in FIG. 4) And is installed in the conveyor unit 120. The test tray 200 is spaced from the conveying path MP as it is located at the storage position SP so that the test tray 200 conveyed along the conveying path MP by the conveyor unit 120 .

이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 대기 테스트 트레이(210)가 상기 후방 테스트 트레이(220)를 회피하도록 상기 대기 테스트 트레이(210)를 상기 보관위치(SP)로 이송하여 보관함으로써, 상기 컨베이어유닛(120)이 상기 후방 테스트 트레이(220)를 계속하여 운반할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 대기 테스트 트레이(210)로 인해 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시킴으로써, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 대한 장비 가동율을 향상시킬 수 있다.The test tray storage apparatus 1 according to the present invention transfers the standby test tray 210 to the storage position SP so that the standby test tray 210 avoids the rear test tray 220 So that the conveyor unit 120 can continue to carry the rear test tray 220. [ Therefore, the test tray storage device 1 according to the present invention can prevent the delay time of the test tray 200 from being delayed due to the waiting test tray 210, The time it takes to complete can be reduced. The test tray storage device 1 according to the present invention can improve the transportation efficiency of the test tray 200 in the inline test handler 100 to improve the equipment operation rate of the inline test handler 100 .

이를 위해, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같은 구성을 포함한다.To this end, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention includes the following configuration.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치되는 보관부재(2), 및 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지하는 지지유닛(3)을 포함한다.2 to 4, a test tray storage apparatus 1 according to the present invention includes a storage member 2 installed in the conveyor unit 120, And a support unit (3) for supporting the test tray (200) placed thereon.

상기 보관부재(2)는 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 보관한다. 테스트 트레이(200)는 상기 보관부재(2) 내부에 위치되어 상기 지지유닛(3)에 지지됨으로써, 상기 보관위치(SP)에 위치된다. 상기 보관부재(2)는 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 내부에 테스트 트레이(200)를 보관할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.The storage member (2) holds the test tray (200) located at the storage position (SP). The test tray 200 is located in the storage position SP by being positioned inside the storage member 2 and being supported by the support unit 3. The storage member 2 may be formed in a rectangular parallelepiped shape in which the inside is empty, but the present invention is not limited thereto. The storage member 2 may be formed in any other shape as long as it can store the test tray 200 therein.

상기 보관부재(2)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치됨으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 지지된다. 상기 보관부재(2)는 상기 운반경로(MP)의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 운반경로(MP)의 상측에 위치된다. 이에 따라, 상기 컨베이어유닛(120)이 운반하는 테스트 트레이(200)는, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 아래를 통과함으로써 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)에 충돌하지 않고 계속하여 운반될 수 있다.The storage member (2) is installed in the conveyor unit (120) to be supported by the conveyor unit (120). The storage member 2 may be installed on the conveyor unit 120 so as to be positioned above the transport path MP. In this case, the test tray 200 located at the storage position SP is located above the transport path MP. The test tray 200 conveyed by the conveyor unit 120 passes through the test tray 200 located at the storage position SP and thereby passes through the test tray 200 located at the storage position SP 200 without collision.

이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)가 상기 운반경로(MP)에 대해 측방에 설치되는 것과 비교할 때, 상기 보관부재(2)가 상기 운반경로(MP)의 상측에 설치됨으로써 상기 보관부재(2)로 인해 상기 컨베이어유닛(120)의 크기가 측방으로 증가되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 상기 운반경로(MP)를 따라 평행하게 설치되는 컨베이어유닛(120)들이 서로 이격되는 거리를 줄임으로써, 상기 보관부재(2)로 인해 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기가 증가하는 것을 방지할 수 있다.The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured such that the storage member 2 is moved along the conveyance path MP as compared with the case where the storage member 2 is provided laterally with respect to the conveyance path MP, So that the size of the conveyor unit 120 can be prevented from increasing laterally due to the storage member 2. Accordingly, the test tray storage device 1 according to the present invention can reduce the distance by which the conveyor units 120 installed parallel to the conveyance path MP in the inline test handler 100 are spaced apart from each other, The overall size of the inline test handler 100 can be prevented from increasing due to the storage member 2.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지유닛(3)은 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 지지유닛(3)은 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)로부터 이격된 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지되도록, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 테스트 트레이(200)는 상기 지지유닛(3)에 지지되어 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.2 to 4, the support unit 3 is installed in the storage member 2. [ The support unit 3 is positioned at the storage position SP so that the test tray 200 spaced from the transport path MP (shown in Fig. 4) Thereby supporting the test tray 200. The test tray 200 is supported by the support unit 3 and is located at the storage position SP so that the test tray 200 conveyed along the conveyance path MP by the conveyor unit 120 can be avoided can do. Therefore, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention can prevent the delay time of the test tray 200 from being delayed, thereby reducing the time taken until the test process for the semiconductor device is completed have.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지유닛(3)은 지지기구(31)를 포함할 수 있다.2 to 4, the support unit 3 may include a support mechanism 31. [

상기 지지기구(31)는 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 지지기구(31)는 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)의 상측에서 지지한다. 이에 따라, 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)는, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 아래를 통과하여 계속하여 운반될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있으면서도, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 상기 운반경로(MP)를 따라 평행하게 설치되는 컨베이어유닛(120)들이 서로 이격되는 거리를 줄일 수 있다.The support mechanism (31) is installed in the storage member (2). The support mechanism 31 supports the test tray 200 located at the storage position SP (shown in FIG. 4) above the transport path MP (shown in FIG. 4). The test tray 200 conveyed along the conveying path MP by the conveyor unit 120 passes under the test tray 200 located at the storage position SP and is continuously conveyed . Therefore, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention can prevent the delay time of the test tray 200 from being delayed, and can prevent the test tray 200 from being moved in parallel with the conveyance path MP in the inline test handler 100. [ So that the distance between the conveyor units 120 installed adjacent to each other can be reduced.

상기 지지기구(31)는 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지한다. 이 경우, 상기 보관부재(2)는 복수개의 테스트 트레이(200)를 상하로 적층하여 보관한다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)는 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들 중에서 최하측에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지함으로써, 테스트 트레이(200)들이 상기 보관부재(2)에 보관된 상태로 유지되도록 지지할 수 있다. 최하측에 위치된 테스트 트레이(200)는, 상기 운반경로(MP) 상측에 위치되게 상기 지지기구(31)에 지지될 수 있다.The support mechanism 31 supports the bottom surface of the test tray 200 located at the storage position SP. In this case, the storage member 2 stacks a plurality of test trays 200 up and down. The support mechanism 31 supports the test tray 200 positioned at the lowermost position among the test trays 200 stored in the storage member 2 so that the test trays 200 2). ≪ / RTI > The test tray 200 positioned at the lowermost side can be supported by the support mechanism 31 so as to be positioned above the transport path MP.

따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 컨베이어유닛(120)에 의해 상기 운반경로(MP)를 따라 운반되는 테스트 트레이(200)를 회피하도록 상기 보관부재(2)에 보관되는 테스트 트레이(200)의 개수를 늘릴 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 더 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 더 줄일 수 있다.The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is therefore capable of storing test trays 200 stored in the storage member 2 to avoid test trays 200 carried along the transport path MP by the conveyor unit 120 The number of trays 200 can be increased. Accordingly, the test tray storage device 1 according to the present invention can further improve the transport efficiency of the test tray 200 in the inline test handler 100, It is possible to further reduce the time taken to become.

상기 지지부재(31)는 전체적으로 'ㄴ' 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 지지유닛(3)을 복수개 포함할 수 있다. 상기 지지유닛(3)들은 서로 이격된 위치에서 상기 보관부재(2)에 결합된다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)들은 테스트 트레이(200)의 서로 다른 부분을 분담하여 지지함으로써, 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치되게 더 안정적으로 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있다.The support member 31 may be formed in a different shape as long as it is capable of supporting the test tray 200. The test tray storage device (1) according to the present invention may include a plurality of the support units (3). The support units (3) are coupled to the storage member (2) at mutually spaced locations. Accordingly, the support mechanisms 31 share the different portions of the test tray 200, so that the test tray 200 is positioned at the storage position SP to more stably support the test tray 200 can do.

도 3, 도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 승강유닛(4)을 더 포함할 수 있다.3, 5 to 8, the test tray storing apparatus 1 according to the present invention may further include a lifting unit 4. [

상기 승강유닛(4)은 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP, 도 7에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP, 도 7에 도시됨) 간에 승강시킨다. 상기 승강유닛(4)은 상기 컨베이어유닛(120, 도 3에 도시됨)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 지지유닛(3)은 상기 지지기구(31)를 이동시키기 위한 이동기구(32)를 포함할 수 있다. 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 지지위치(HP, 도 8에 도시됨) 및 해제위치(RP, 도 7에 도시됨) 간에 이동시킨다. 상기 지지기구(31)는 상기 지지위치(HP)에 위치되면, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 상기 지지기구(31)는 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)로부터 이격된다.The elevating unit 4 elevates and lowers the test tray 200 between the conveyance path MP (shown in Fig. 7) and the storage position SP (shown in Fig. 7). The elevating unit 4 may be installed in the conveyor unit 120 (shown in FIG. 3). In this case, the supporting unit 3 may include a moving mechanism 32 for moving the supporting mechanism 31. The moving mechanism 32 moves the supporting mechanism 31 between the supporting position HP (shown in Fig. 8) and the releasing position RP (shown in Fig. 7). The support mechanism 31 supports the test tray 200 located at the storage position SP when the support mechanism 31 is positioned at the support position HP. When the support mechanism 31 is located at the release position RP, the support mechanism 31 is separated from the test tray 200 located at the storage position SP.

상기 승강유닛(4)은 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치된 상태에서 상기 운반경로(MP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)로 상승시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 승강유닛(4)이 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 상승시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 상기 지지기구(31)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)로 이동시킴으로써 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다. 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)가 상기 보관부재(2) 내부를 향하도록 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다. 상기 이동기구(32)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 지지기구(31)를 이동시킬 수 있다.The lift unit 4 raises the test tray 200 located at the conveyance path MP to the storage position SP with the support mechanism 31 positioned at the release position RP. The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured such that in the process of raising the test tray 200 from the conveyance path MP to the storage position SP, 200 can be prevented from colliding with the support mechanism (31). When the test tray 200 is positioned at the storage position SP, the movement mechanism 32 moves the support mechanism 31 to the support position HP so that the test tray 200, which is located at the storage position SP, (200). The moving mechanism 32 can be coupled to the storage member 2 such that the support mechanism 31 faces the inside of the storage member 2. [ The moving mechanism 32 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a motor using a rack gear, a pinion gear, A gear system, a belt system using a motor, a pulley and a belt, a linear motor using a coil and a permanent magnet, or the like can be used to move the support mechanism 31.

상기 승강유닛(4)은 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치된 상태에서 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)로 하강시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 승강유닛(4)이 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 하강시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 상기 지지기구(31)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 상기 승강유닛(4)이 상기 보관위치(SP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한 상태에서, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)에서 상기 해제위치(RP)로 이동시킬 수 있다. 상기 지지유닛(3)은 상기 지지위치(HP)에 위치된 지지기구(31)가 상기 보관위치(SP)로 상승된 승강유닛(4)에 간섭되지 않는 위치에서 상기 보관부재(2)에 설치될 수 있다.The elevating unit 4 descends the test tray 200 located at the storage position SP to the conveying path MP in a state where the supporting mechanism 31 is located at the releasing position RP. The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured such that in the process of descending the test tray 200 from the storage position SP to the conveyance path MP, 200 can be prevented from colliding with the support mechanism (31). The moving mechanism 32 moves the support mechanism 31 to the support position HP in a state in which the elevation unit 4 supports the test tray 200 positioned at the storage position SP, To the release position RP. The support unit 3 is installed in the storage member 2 at a position where the support mechanism 31 positioned at the support position HP does not interfere with the elevation unit 4 raised to the storage position SP .

도 3, 도 5, 도 7 내지 도 9를 참고하면, 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같이 동작하여 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 이동시킬 수 있다.Referring to FIGS. 3, 5 and 7 to 9, when a plurality of test trays 200 are stored in the storage member 2, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention operates as follows To move the test tray 200 from the storage position SP to the transport path MP.

우선, 상기 지지기구(31)는 상기 이동기구(32)에 의해 상기 지지위치(HP)에 위치됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200) 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이(210)를 지지하고 있다. 상기 제1테스트 트레이(210)에는 제2테스트 트레이(220)가 지지되어 있다.First, the support mechanism 31 is positioned at the support position HP by the moving mechanism 32, so that a first test (hereinafter referred to as " first test ") positioned at the lowermost position among the test trays 200 stored in the storage member 2 And supports the tray 210. A second test tray 220 is supported on the first test tray 210.

다음, 상기 승강유닛(4)이 상승하여 상기 제1테스트 트레이(210)를 지지하면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 해제위치(RP)로 이동시킨다.7, the moving mechanism 32 moves the support mechanism 31 to the release position RP as shown in FIG. 7, when the lifting unit 4 is lifted up and supports the first test tray 210. Then, .

다음, 상기 이동기구(32)가 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 승강유닛(4)은 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)의 위치에 위치되도록 하강한다.8, when the moving mechanism 32 is positioned at the releasing position RP, the elevator unit 4 moves the second test tray 220 to the first test tray 210, As shown in Fig.

다음, 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(HP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 지지기구(31)는 상기 제1테스트 트레이(210)의 상면에 형성된 삽입홈(211)에 삽입됨으로써, 상기 제2테스트 트레이(220)의 밑면을 지지하게 된다. 테스트 트레이(200)들은 각각 상기 지지기구(31)와 대략 일치하는 개수의 삽입홈을 포함할 수 있다.Next, the moving mechanism 32 moves the supporting mechanism 31 to the supporting position HP. The support mechanism 31 is inserted into the insertion groove 211 formed on the upper surface of the first test tray 210 to support the bottom surface of the second test tray 220. Each of the test trays 200 may include a number of insertion grooves substantially coinciding with the support mechanism 31.

다음, 상기 지지기구(31)가 상기 제2테스트 트레이(220)를 지지하면, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 승강유닛(4)은 상기 제1테스트 트레이(210)가 상기 운반경로(MP)에 위치되도록 하강한다. 이 경우, 상기 제2테스트 트레이(220)는 상기 지지기구(31)에 지지됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들을 지지하면서 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지된다.9, when the support mechanism 31 supports the second test tray 220, the elevator unit 4 moves the first test tray 210 to the conveying path MP, As shown in Fig. In this case, the second test tray 220 is supported by the support mechanism 31 to support the test trays 200 stored in the storage member 2 while being positioned at the storage position SP maintain.

상술한 바와 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP)에서 상기 운반경로(MP)로 이동시킬 수 있다.The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is capable of storing the test tray 200 in the storage position SP when the plurality of test trays 200 are stored in the storage member 2. [ To the conveying path (MP).

도 3, 도 5, 도 10 내지 도 12를 참고하면, 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 다음과 같이 동작하여 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 이동시킬 수 있다.3, 5 and 10 to 12, when a plurality of test trays 200 are stored in the storage member 2, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention is operated as follows To move the test tray 200 from the transport path MP to the storage position SP.

우선, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 지지기구(31)는 상기 이동기구(32)에 의해 상기 지지위치(HP)에 위치됨으로써, 상기 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200) 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이(210)를 지지하고 있다.10, the support mechanism 31 is positioned at the support position HP by the moving mechanism 32, so that the lowest position among the test trays 200 stored in the storage member 2 And the first test tray 210 located on the second side.

다음, 상기 승강유닛(4)은 상기 운반경로(MP)에 위치된 제2테스트 트레이(220)를 지지한 상태에서 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)의 밑면에 접촉되도록 상기 제2테스트 트레이(220)를 상승시킨다. 이 경우, 상기 지지기구(31)는 상기 제2테스트 트레이(220)에 형성된 삽입홈(211)에 삽입된다.The second test tray 220 is supported on the bottom surface of the first test tray 210 in a state in which the second test tray 220 positioned on the conveyance path MP is supported, The second test tray 220 is raised so as to be in contact. In this case, the support mechanism 31 is inserted into the insertion groove 211 formed in the second test tray 220.

다음, 상기 제1테스트 트레이(210)가 상기 승강유닛(4)에 지지된 제2테스트 트레이(220)에 지지되면, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 해제위치(RP)로 이동시킨다.Next, when the first test tray 210 is supported by the second test tray 220 supported by the elevating unit 4, the moving mechanism 32 moves the support mechanism 31 ) To the release position RP.

다음, 상기 지지기구(31)가 상기 해제위치(RP)에 위치되면, 상기 승강유닛(4)은 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 제1테스트 트레이(210)를 밀어 올려서 상기 보관위치(SP)에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이(220)를 상승시킨다.Next, when the support mechanism 31 is positioned at the release position RP, the elevator unit 4 pushes up the first test tray 210 by the second test tray 220, The second test tray 220 is lifted so that the second test tray 220 is positioned at the second test tray SP.

다음, 상기 제2테스트 트레이(220)가 상기 보관위치(SP)에 위치되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동기구(32)는 상기 지지기구(31)를 상기 지지위치(RP)로 이동시킨다. 그 후, 상기 승강유닛(4)은 상기 운반경로(MP) 쪽으로 하강한다. 이 경우, 상기 제2테스트 트레이(220)는 상기 지지기구(31)에 의해 밑면이 지지됨으로써, 상기 제1테스트 트레이(210)를 포함하여 보관부재(2)에 보관된 테스트 트레이(200)들을 지지하면서 상기 보관위치(SP)에 위치된 상태로 유지된다.12, when the second test tray 220 is positioned at the storage position SP, the movement mechanism 32 moves the support mechanism 31 to the support position RP . Thereafter, the elevating unit 4 descends toward the conveying path MP. In this case, the second test tray 220 is supported by the support mechanism 31 so that the test trays 200 stored in the storage member 2 including the first test tray 210 And is held in the storage position SP.

상술한 바와 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 보관부재(2)에 복수개의 테스트 트레이(200)가 보관되는 경우, 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)에서 상기 보관위치(SP)로 이동시킬 수 있다.The test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured such that when the plurality of test trays 200 are stored in the storage member 2, To the storage position (SP).

도 3, 도 5 및 도 13을 참고하면, 상기 승강유닛(4)은 승강부재(41, 도 13에 도시됨) 및 승강기구(42, 도 13에 도시됨)를 포함할 수 있다.3, 5 and 13, the elevating unit 4 may include an elevating member 41 (shown in FIG. 13) and an elevating mechanism 42 (shown in FIG. 13).

상기 승강부재(41)는 상기 승강기구(42)에 결합된다. 상기 승강부재(41)는 상기 승강기구(42)에 의해 승강된다. 상기 승강부재(41)는 테스트 트레이(200)를 지지할 수 있다.The elevating member 41 is coupled to the elevating mechanism 42. The elevating member (41) is elevated by the elevating mechanism (42). The elevating member 41 can support the test tray 200.

상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 승강시킨다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 대기위치(WP, 도 13에 도시됨), 상기 운반경로(MP, 도 13에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 대기위치(WP)는 상기 운반경로(MP)의 하측에 형성된다. 상기 승강부재(41)가 상기 대기위치(WP)에 위치되면, 상기 컨베이어유닛(120, 도 3에 도시됨)은 상기 승강부재(41)에 방해됨이 없이 상기 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP)를 따라 운반할 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 테스트 트레이(200)를 상기 운반경로(MP) 및 상기 보관위치(SP) 간에 이동시키기 위해 상기 승강부재(41)를 상기 운반경로(MP) 및 상기 보관위치(SP) 간에 승강시킬 수 있다.The lifting mechanism (42) lifts the lifting member (41). The elevating mechanism 42 can lift the elevating member 41 between the standby position (WP, shown in FIG. 13), the conveying path (shown in FIG. 13) and the storage position SP . The standby position (WP) is formed on the lower side of the conveyance path (MP). When the elevating member 41 is positioned at the standby position WP, the conveyor unit 120 (shown in FIG. 3) can move the test tray 200 without being disturbed by the elevating member 41 And can be carried along the path MP. The elevating mechanism 42 moves the elevating member 41 to the transport path MP and the storage position SP to move the test tray 200 between the transport path MP and the storage position SP, ).

상기 승강기구(42)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 승강부재(41)를 이동시킬 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다.The elevating mechanism 42 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, System, a linear motor using a coil and a permanent magnet, or the like, can be used to move the elevating member 41. The elevating mechanism 42 may be installed in the conveyor unit 120.

도 2, 도 5, 도 14 내지 도 16을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 반출유닛(5, 도 5에 도시됨) 및 반송유닛(6, 도 14에 도시됨)을 더 포함할 수 있다.Referring to Figures 2, 5 and 14-16, a test tray storage device 1 according to the present invention includes a carry-out unit 5 (shown in Figure 5) and a transfer unit 6 (shown in Figure 14) As shown in FIG.

상기 반출유닛(5)은 테스트 트레이(200)를 반출하는 기능을 수행한다. 예컨대, 상기 반출유닛(5)은 상기 컨베이어유닛(120, 도 2에 도시됨)에 지지되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨)으로 반출할 수 있다. 상기 반출유닛(5)은 테스트 트레이(200)를 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시키기 위해 테스트 트레이(200)를 상기 보관부재(2)에 보관하는 기능뿐만 아니라, 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출하는 기능을 갖출 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 별도의 장치를 통해 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 및 다른 컨베이어유닛(120)으로 반출하는 기능을 구현하는 것과 비교할 때, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기를 줄일 수 있다.The carry-out unit 5 performs a function of carrying out the test tray 200. For example, the unloading unit 5 may take out the test tray 200 supported by the conveyor unit 120 (shown in FIG. 2) to the chamber unit 110 (shown in FIG. 2). The carry-out unit 5 may take out the test tray 200 to another conveyor unit 120. The test tray storage apparatus 1 according to the present invention can not only store the test tray 200 in the storage member 2 in order to improve the transportation efficiency for the test tray 200, 200) to the chamber unit (110) or another conveyor unit (120). Therefore, the test tray storage device 1 according to the present invention is configured such that the test tray 200 is taken out to the chamber unit 110 and the other conveyor units 120 through a separate device in the inline test handler 100 Functionality, the overall size of the inline test handler 100 can be reduced.

상기 반출유닛(5)은 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 삽입위치(IP, 도 16에 도시됨)로 이동시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)는 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 상기 보관부재(2)에 형성된 통과홈(21, 도 15에 도시됨)에 삽입된다. 상기 통과홈(21)은 상기 보관부재(2)에서 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)을 향하는 측벽을 관통하여 형성된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 지지한다.The carry-out unit 5 can move the test tray 200 supported by the lifting member 41 to the insertion position (IP, shown in FIG. 16). The test tray 200 is inserted into the passage groove 21 (shown in Fig. 15) formed in the storage member 2 when it is positioned at the insertion position IP. The passage groove 21 is formed through a side wall of the storage member 2 facing the chamber unit 110 or another conveyor unit 120. The transfer unit 6 supports the test tray 200 located at the insertion position IP.

이 경우, 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 운반경로(MP, 도 15에 도시됨) 및 상기 보관위치(SP, 도 15에 도시됨) 사이의 이송위치(TP)로 승강시킨다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)로 상승시킴으로써, 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 상승시킬 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)로 하강시킴으로써, 상기 보관위치(SP)에 위치되어 있던 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 하강시킬 수 있다. 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 통과홈(21) 및 상기 삽입위치(IP)와 대략 일치하는 높이에 위치된다.In this case, the elevating mechanism 42 moves the elevating member 41 to the transporting position TP between the transporting path MP (shown in Fig. 15) and the storing position SP (shown in Fig. 15) Lift. The elevating mechanism 42 can elevate the test tray 200 supported by the conveyor unit 120 to the conveying position TP by raising the elevating member 41 to the conveying position TP have. The elevating mechanism 42 can lower the test tray 200 positioned at the storage position SP to the transfer position TP by lowering the elevation member 41 to the transfer position TP have. The test tray 200 positioned at the transfer position TP is located at a height substantially coinciding with the passage groove 21 and the insertion position IP.

도 15에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(200)를 지지하고 있는 승강부재(41)가 상기 이송위치(TP)에 위치되면, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 반출유닛(5)은 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 반출유닛(5)은 반출부재(51, 도 5에 도시됨) 및 반출기구(52, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.15, when the elevating member 41 supporting the test tray 200 is positioned at the conveying position TP, as shown in FIG. 16, the taking-out unit 5 is moved to the elevation member 41 by pushing the test tray 200 to the inserted position IP. To this end, the carry-out unit 5 may include a carry-out member 51 (shown in Fig. 5) and a take-out mechanism 52 (shown in Fig. 5).

상기 반출부재(51)는 상기 반출기구(52)에 결합된다. 상기 반출부재(51)는 상기 반출기구(52)에 의해 이동됨으로써, 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 반출부재(51)는 전체적으로 'ㄴ' 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 밀어서 이동시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.The carry-out member (51) is coupled to the carry-out mechanism (52). The carry-out member 51 can be moved by the carry-out mechanism 52 to move the test tray 200 located at the transfer position TP to the insertion position IP. The carry-out member 51 may be formed in a different shape as long as the test tray 200 can be moved by pushing it.

상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 이동시킨다. 상기 반출기구(52)는 상기 승강부재(41)에 설치된다. 이에 따라, 상기 승강기구(42)가 상기 승강부재(41)를 승강시키면, 상기 반출기구(52)는 상기 승강부재(41)와 함께 승강된다. 상기 승강기구(42)가 상기 승강부재(41)를 상기 이송위치(TP)에 위치시키면, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 이동시킴으로써 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)를 반출할 수 있다. 상기 반출기구(52)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 반출부재(51)를 이동시킬 수 있다. 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)를 승강시킬 수도 있다. 테스트 트레이(200)를 반출하는 작업이 수행되지 않는 경우, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)가 테스트 트레이(200)에 간섭되지 않도록 상기 반출부재(51)를 하강시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)를 반출하는 작업이 수행되는 경우, 상기 반출기구(52)는 상기 반출부재(51)가 테스트 트레이(200)에 접촉되도록 상기 반출부재(51)를 상승시킬 수 있다.And the unloading mechanism (52) moves the unloading member (51). The unloading mechanism (52) is installed on the elevating member (41). Accordingly, when the elevating mechanism 42 lifts the elevating member 41, the elevating and lowering mechanism 52 moves up and down together with the elevating member 41. When the elevating mechanism 42 places the elevating member 41 at the conveying position TP, the conveying mechanism 52 moves the conveying member 51 so that the test supported by the elevating member 41 The tray 200 can be taken out. The take-out mechanism 52 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, The moving member 51 can be moved by using a coil, a linear motor using a permanent magnet, or the like. The carrying-out mechanism (52) may raise and lower the carrying-out member (51). If the operation of carrying out the test tray 200 is not performed, the unloading mechanism 52 may lower the unloading member 51 so that the unloading member 51 does not interfere with the test tray 200. When the operation of carrying out the test tray 200 is performed, the unloading mechanism 52 may raise the unloading member 51 so that the unloading member 51 contacts the test tray 200.

도 2, 도 5, 도 14 내지 도 17을 참고하면, 상기 반송유닛(6, 도 14에 도시됨)은 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP, 도 16에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지할 수 있도록 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 보관부재(2) 외부에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합된다. 상기 반송유닛(6)은 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)가 상기 보관부재(2)로부터 반출되도록 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 이동시킨다.2, 5, and 14 to 17, the transfer unit 6 (shown in Fig. 14) is installed in the storage member 2. [ The transfer unit 6 is installed in the storage member 2 so as to support the bottom surface of the test tray 200 located at the insertion position (IP, shown in FIG. 16). The transfer unit (6) is coupled to the storage member (2) so as to be positioned outside the storage member (2). The transport unit 6 moves the test tray 200 positioned at the insertion position IP so that the test tray 200 positioned at the insertion position IP is transported out of the storage member 2. [

상기 반송유닛(6)은 회전롤러(61, 도 14에 도시됨) 및 회전기구(62, 도 14에 도시됨)를 포함할 수 있다.The conveying unit 6 may include a rotating roller 61 (shown in Fig. 14) and a rotating mechanism 62 (shown in Fig. 14).

상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에 설치된다. 상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 상기 회전롤러(61)는 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)의 밑면을 지지할 수 있도록 상기 보관부재(2)의 외부에 설치된다. 상기 회전롤러(61)는 상기 보관부재(2)에서 상기 통과홈(21, 도 15에 도시됨)이 형성된 측벽 쪽에 위치되게 상기 보관부재(2)에 설치될 수 있다. 상기 반송유닛(6)은 상기 회전롤러(61)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 회전롤러(61)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다.The rotating roller (61) is installed in the storage member (2). The rotating roller 61 may be rotatably installed on the storage member 2. The rotating roller 61 is installed outside the storage member 2 so as to support the bottom surface of the test tray 200 positioned at the insertion position IP. The rotary roller 61 may be installed on the storage member 2 so as to be positioned on the side wall of the storage member 2 where the passage groove 21 (shown in FIG. 15) is formed. The transport unit 6 may include a plurality of the rotating rollers 61. [ In this case, the rotary rollers 61 may be coupled to the storage member 2 at a predetermined distance from each other.

상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전시킨다. 상기 회전기구(62)는 보관부재(2) 또는 상기 컨베이어유닛(120)에 설치될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)에 위치되어 상기 회전롤러(61)에 지지되면, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전시킴으로써 상기 삽입위치(IP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 반출할 수 있다. 상기 회전롤러(61)에 의해 반출되는 테스트 트레이(200)는 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨) 또는 다른 컨베이어유닛(120, 도 2에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(61)를 회전축을 중심으로 회전시키기 위해 상기 회전롤러(61)의 회전축에 직접 결합되는 모터를 포함할 수 있다. 상기 모터 및 상기 회전롤러(61)의 회전축이 소정 거리로 이격된 경우, 상기 회전기구(62)는 상기 모터 및 상기 회전롤러(61)의 회전축을 연결하는 연결수단을 더 포함할 수도 있다. 상기 연결수단은 체인, 벨트, 기어 등일 수 있다.The rotating mechanism (62) rotates the rotating roller (61). The rotating mechanism 62 may be installed in the storage member 2 or the conveyor unit 120. 16, when the test tray 200 is positioned at the insertion position IP and is supported by the rotating roller 61, the rotating mechanism 62 rotates the rotating roller 61, as shown in FIG. 17, The test tray 200 positioned at the insertion position IP can be taken out by rotating the test tray 61. [ The test tray 200 carried by the rotating roller 61 may move to the chamber unit 110 (shown in FIG. 2) or another conveyor unit 120 (shown in FIG. 2). The rotating mechanism 62 may include a motor that is directly coupled to the rotating shaft of the rotating roller 61 to rotate the rotating roller 61 around the rotating shaft. The rotation mechanism 62 may further include a connection unit for connecting the rotation shaft of the motor and the rotation roller 61 when the rotation shaft of the motor and the rotation roller 61 are spaced apart from each other by a predetermined distance. The connecting means may be a chain, a belt, a gear, or the like.

도 2, 도 5, 도 18 내지 도 21을 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 반입유닛(7, 도 18에 도시됨)을 더 포함할 수 있다.2, 5 and 18 to 21, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention may further include a carry-in unit 7 (shown in FIG. 18).

상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 반입하는 기능을 수행한다. 예컨대, 상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110)에서 상기 보관부재(2) 내부로 반입할 수 있다. 상기 반입유닛(7)은 테스트 트레이(200)를 다른 컨베이어유닛(120)에서 상기 보관부재(2) 내부로 반입할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 향상시키기 위해 테스트 트레이(200)를 상기 보관부재(2)에 보관하는 기능뿐만 아니라, 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 또는 다른 컨베이어유닛(120)으로부터 반입하는 기능을 갖출 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)는 상기 인라인 테스트 핸들러(100)에 있어서 별도의 장치를 통해 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110) 및 다른 컨베이어유닛(120)으로부터 반입하는 기능을 구현하는 것과 비교할 때, 상기 인라인 테스트 핸들러(100)의 전체적인 크기를 줄일 수 있다.The loading unit 7 performs a function of loading the test tray 200. For example, the carry-in unit 7 may carry the test tray 200 from the chamber unit 110 to the inside of the storage member 2. The carry-in unit 7 may carry the test tray 200 from the other conveyor unit 120 into the storage member 2. The test tray storage apparatus 1 according to the present invention can not only store the test tray 200 in the storage member 2 in order to improve the transportation efficiency for the test tray 200, 200 from the chamber unit 110 or the other conveyor unit 120. [0035] Therefore, the test tray storage apparatus 1 according to the present invention is configured such that the test tray 200 is carried from the chamber unit 110 and the other conveyor unit 120 through a separate device in the inline test handler 100 Functionality, the overall size of the inline test handler 100 can be reduced.

상기 반입유닛(7)은 상기 삽입위치(IP, 도 20에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP, 도 21에 도시됨)로 이동시킨다. 이에 따라, 테스트 트레이(200)는 상기 이송위치(TP)로 이송되어 상기 승강부재(41)에 지지된다. 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)는, 상기 승강기구(42)에 의해 상기 운반경로(MP)로 하강되어 상기 컨베이어유닛(120)에 지지될 수 있다. 상기 승강부재(41)에 지지된 테스트 트레이(200)는, 상기 승강기구(42)에 의해 상기 보관위치(SP)로 상승될 수도 있다.The carrying unit 7 moves the test tray 200 located at the insertion position IP (shown in Fig. 20) to the transfer position TP (shown in Fig. 21). Accordingly, the test tray 200 is transported to the transporting position TP and is supported by the elevating member 41. The test tray 200 supported by the elevating member 41 may be lowered to the conveying path MP by the elevating mechanism 42 and supported by the conveying unit 120. [ The test tray 200 supported by the lifting member 41 may be lifted to the storage position SP by the lifting mechanism 42.

이 경우, 상기 반송유닛(6)은 도 19에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(200)를 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 회전기구(62)는 테스트 트레이(200)를 반출할 때와 비교할 때, 상기 회전롤러(61)를 반대방향으로 회전시킴으로써 테스트 트레이(200)를 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 회전기구(62)가 상기 회전롤러(1)를 제1회전방향으로 회전시켜서 테스트 트레이(200)를 반출하는 경우, 상기 회전기구(62)는 상기 회전롤러(1)를 상기 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 테스트 트레이(200)를 반입할 수 있다. 상기 반송유닛(6)에 의해 반입되는 테스트 트레이(200)는, 상기 챔버유닛(110, 도 2에 도시됨)으로부터 배출된 것일 수 있다. 상기 반송유닛(6)에 의해 반입되는 테스트 트레이(200)는, 다른 컨베이어유닛(110)으로부터 배출된 것일 수도 있다. 상기 테스트 트레이(200)가 상기 반송유닛(6)에 의해 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 도 20 및 도 21에 도시된 바와 같이 상기 반입유닛(7)은 상기 삽입위치(IP, 도 20에 도시됨)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 이송위치(TP, 도 21에 도시됨)로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 반입유닛(7)은 반입부재(71, 도 20에 도시됨) 및 반입기구(72, 도 20에 도시됨)를 포함할 수 있다.In this case, the transfer unit 6 can move the test tray 200 to the insertion position IP as shown in FIG. The rotating mechanism 62 can move the test tray 200 to the inserted position IP by rotating the rotating roller 61 in the opposite direction as compared with when the test tray 200 is taken out. For example, when the rotating mechanism 62 rotates the rotating roller 1 in the first rotating direction to take out the test tray 200, the rotating mechanism 62 rotates the rotating roller 1 in the first direction The test tray 200 may be rotated by rotating the test tray 200 in a second rotational direction opposite to the rotational direction. The test tray 200 carried by the transfer unit 6 may be discharged from the chamber unit 110 (shown in FIG. 2). The test tray 200 carried by the transport unit 6 may be discharged from another conveyor unit 110. When the test tray 200 is positioned at the insertion position IP by the transfer unit 6, as shown in FIGS. 20 and 21, the carry-in unit 7 is moved to the insertion position IP (Shown in FIG. 21) by pushing the test tray 200 located at the transfer position (shown in FIG. 21). To this end, the loading unit 7 may include a loading member 71 (shown in Fig. 20) and a loading mechanism 72 (shown in Fig. 20).

상기 반입부재(71)는 상기 반입기구(72)에 결합된다. 상기 반입부재(71)는 상기 반입기구(72)에 의해 이동됨으로써, 상기 이송위치(TP)에 위치된 테스트 트레이(200)를 밀어서 상기 삽입위치(IP)로 이동시킬 수 있다. 상기 반입부재(71)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 테스트 트레이(200)를 밀어서 이동시킬 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.The carrying member 71 is engaged with the carrying mechanism 72. The carrying member 71 can be moved by the carrying mechanism 72 to move the test tray 200 located at the carrying position TP to the inserted position IP. The carrying member 71 may be formed in a rectangular plate as a whole, but the present invention is not limited thereto. The carrying member 71 may be formed in any other form as long as the test tray 200 can be pushed and moved.

상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 이동시킨다. 상기 반입기구(72)는 상기 보관부재(2)의 외부에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합된다. 상기 반입기구(72)는 상기 보관부재(2)에서 상기 통과홈(21, 도 19에 도시됨)이 형성된 측벽 쪽에서 상기 통과홈(21)의 상측에 위치되게 상기 보관부재(2)에 결합될 수 있다. 상기 반입기구(72)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 반입부재(71)를 이동시킬 수 있다. 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 승강시킬 수도 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)로 이동되기 이전에, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 간섭되지 않도록 상기 반입부재(71)를 상승시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 삽입위치(IP)에 위치되면, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 접촉되도록 상기 반입부재(71)를 하강시킬 수 있다. 상기 반입부재(71)가 테스트 트레이(200)에 접촉되면, 도 21에 도시된 바와 같이 상기 반입기구(72)는 상기 반입부재(71)를 이동시킴으로써 테스트 트레이(200)를 상기 이송위치(TP)로 이동시킬 수 있다.The carrying mechanism (72) moves the carrying member (71). The loading mechanism (72) is coupled to the storage member (2) so as to be located outside the storage member (2). The carrying mechanism 72 is coupled to the storage member 2 at the upper side of the passage groove 21 on the side wall of the storage member 2 where the passage groove 21 . The loading mechanism 72 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, System, a linear motor using a coil and a permanent magnet, etc., can be used to move the carrying member 71. The carrying mechanism 72 may move the carrying member 71 up and down. 19, before the test tray 200 is moved to the insertion position IP, the carry-in mechanism 72 moves the carry-in member 71 so that the carry-in member 71 does not interfere with the test tray 200, The member 71 can be raised. When the test tray 200 is positioned at the insertion position IP, as shown in FIG. 20, the carry-in mechanism 72 moves the take-up member 71 Can be lowered. 21, the carrying mechanism 72 moves the test tray 200 to the transfer position TP (TP) by moving the carrying member 71, as shown in FIG. 21, ).

이하에서는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the inline test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 22를 참고하면, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 복수개의 챔버유닛(110, 도 22에 도시됨), 상기 챔버유닛(110)들이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이(200)를 운반하는 컨베이어유닛(120, 도 22에 도시됨), 상기 챔버유닛(110)들 각각으로부터 이격되어 설치된 소팅유닛(130, 도 22에 도시됨), 및 테스트 트레이(200)를 상기 보관위치(SP, 도 4에 도시됨)로 이송하여 보관하기 위한 보관장치(1)를 포함할 수 있다. 상기 보관장치(1)는 상술한 본 발명에 따른 테스트 트레이 보관장치(1)에서 설명한 바와 같으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.2 to 22, an inline test handler 100 according to the present invention includes a plurality of chamber units 110 (shown in FIG. 22) in which a test process for semiconductor devices is performed, A sorting unit 130 (shown in Fig. 22) installed apart from each of the chamber units 110, and a test tray 200 (shown in Fig. 22) (1) for transporting and storing the recording medium (200) to the storage position (SP, shown in FIG. 4). Since the storage device 1 is as described in the test tray storage device 1 according to the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

상기 소팅유닛(130)은 반도체 소자에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 공정을 의미한다. 상기 언로딩공정은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로부터 분리한 후에, 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 공정을 의미한다. 상기 챔버유닛(110)들은 각각 상기 테스트공정을 수행한다. 상기 챔버유닛(110)들은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 복수개 설치된다. 상기 컨베이어유닛(120)은 서로 이격되게 설치된 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들을 인라인으로 연결한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)이 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행하는 것에 대해 상기 챔버유닛(11)들이 각각 테스트공정을 독립적으로 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.The sorting unit 130 performs a loading process and an unloading process for semiconductor devices. The loading process refers to a process of storing a semiconductor device to be tested into a test tray 200. The unloading process refers to a process of separating the tested semiconductor devices from the test tray 200 and classifying them according to the test results. Each of the chamber units 110 performs the test process. A plurality of the chamber units 110 are installed along the conveyor unit 120. The conveyor unit 120 connects the sorting unit 130 and the chamber units 110 installed in a spaced relation to each other. Accordingly, the in-line test handler 100 according to the present invention can perform the loading process and the unloading process for the sorting unit 130 independently of the chamber units 11 have. Therefore, the inline test handler 100 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정에 대해 상기 테스트공정을 독립적으로 수행할 수 있으므로, 상기 챔버유닛(110)들 및 상기 소팅유닛(130) 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 정상적으로 작동하는 나머지 장치는 계속하여 작업을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 챔버유닛(110)들 및 상기 소팅유닛(130) 중에서 어느 하나에 고장이 발생한 경우 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.First, since the inline test handler 100 according to the present invention can independently perform the test process for the loading process and the unloading process, the in-line test handler 100 can perform the test process independently of the chamber units 110 and the sorting unit 130 Even if one fails, the remaining device can continue to operate normally. Therefore, the inline test handler 100 according to the present invention prevents the entire system from stopping when any one of the chamber units 110 and the sorting unit 130 fails, .

둘째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어유닛(120)이 테스트 트레이(200)를 효율적으로 분배할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 장비 가동률을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 보관장치(1)를 이용하여 테스트 트레이(200)에 대한 운반시간이 지연되는 것을 방지할 수 있으므로, 테스트 트레이(200)에 대한 운반 효율을 더 향상시킬 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 테스트공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄일 수 있다.Secondly, the inline test handler 100 according to the present invention can efficiently distribute the test tray 200 to the conveyor unit 120 in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process, can do. Therefore, the inline test handler 100 according to the present invention can improve the equipment operation rate. The inline test handler 100 according to the present invention can prevent the transport time of the test tray 200 from being delayed by using the storage device 1, It is possible to reduce the time required until the test process for the semiconductor device is completed.

셋째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들이 별개의 장치로 구성되므로, 상기 소팅유닛(130)에 설치되는 기구 내지 장치들의 개수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)에 대한 잼 레이트(Jam rate)를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 소팅유닛(130)에 잼이 발생함에 따라 상기 소팅유닛(130)이 정지하는 시간을 줄임으로써 상기 소팅유닛(130)에 대한 가동시간을 증대시킬 수 있다.Third, since the sorting unit 130 and the chamber units 110 are configured as separate devices, the inline test handler 100 according to the present invention can reduce the number of mechanisms or devices installed in the sorting unit 130 . Accordingly, the inline test handler 100 according to the present invention can reduce the jam rate for the sorting unit 130. [ Accordingly, the inline test handler 100 according to the present invention increases the operation time of the sorting unit 130 by reducing the time required for the sorting unit 130 to stop as jamming occurs in the sorting unit 130 .

이하에서는 상기 챔버유닛(110), 상기 컨베이어유닛(120), 및 상기 소팅유닛(130)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the chamber unit 110, the conveyor unit 120, and the sorting unit 130 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 22 및 도 21을 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트공정을 수행한다. 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(400, 도 23에 도시됨)에 접속시킴으로써, 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자가 접속됨에 따라 반도체 소자와 전기적으로 연결되면, 반도체 소자를 테스트한다. 테스트 트레이(200)는 복수개의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 이 경우, 상기 챔버유닛(110)은 복수개의 반도체 소자를 상기 테스트장비(400)에 접속시킬 수 있고, 상기 테스트장비(400)는 복수개의 반도체 소자를 테스트할 수 있다. 상기 테스트장비(400)는 하이픽스보드(Hi-Fix Board)를 포함할 수 있다.22 and 21, the chamber unit 110 performs the test process. The chamber unit 110 may perform the test process by connecting the semiconductor device accommodated in the test tray 200 to the test equipment 400 (shown in FIG. 23). The test equipment 400 tests the semiconductor device when the semiconductor device is electrically connected to the semiconductor device as the semiconductor device is connected thereto. The test tray 200 can accommodate a plurality of semiconductor elements. In this case, the chamber unit 110 may connect a plurality of semiconductor devices to the test equipment 400, and the test equipment 400 may test a plurality of semiconductor devices. The test equipment 400 may include a Hi-Fix Board.

상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트공정이 이루어지는 제1챔버(110a, 도 23에 도시됨)를 포함한다. 상기 제1챔버(110a)에는 상기 테스트장비(400)가 설치된다. 상기 테스트장비(400)는 일부 또는 전부가 상기 제1챔버(110a) 내부에 삽입되게 설치된다. 상기 테스트장비(400)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들이 접속되는 테스트소켓들(미도시)을 포함한다. 상기 테스트장비(400)는 상기 테스트 트레이(200)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 테스트소켓들을 포함할 수 있다. 예컨대, 테스트 트레이(200)는 64개, 128개, 256개, 512개 등의 반도체 소자들을 수납할 수 있다. 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들이 상기 테스트소켓들에 접속되면, 상기 테스트장비(400)는 상기 테스트소켓들에 접속된 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 상기 제1챔버(110a)는 상기 테스트장비(400)가 삽입되는 부분이 개방되게 형성된 직방체 형태로 형성될 수 있다.The chamber unit 110 includes a first chamber 110a (shown in FIG. 23) in which the test process is performed. The test chamber 400 is installed in the first chamber 110a. The test equipment 400 is partially or wholly inserted into the first chamber 110a. The test equipment 400 includes test sockets (not shown) to which the semiconductor devices housed in the test tray 200 are connected. The test equipment 400 may include a number of test sockets that approximately match the number of semiconductor devices housed in the test tray 200. For example, the test tray 200 can accommodate 64, 128, 256, 512, etc. semiconductor elements. When the semiconductor devices housed in the test tray 200 are connected to the test sockets, the test equipment 400 can test the semiconductor devices connected to the test sockets. The first chamber 110a may be formed in a rectangular parallelepiped shape in which a portion where the test equipment 400 is inserted is opened.

상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 상기 테스트장비(400)에 접속시키기 위한 콘택유닛(110b, 도 23에 도시됨)을 포함한다. 상기 콘택유닛(110b)은 상기 제1챔버(110a)에 설치된다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 접속시킨다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 이동시키면, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들은 상기 테스트장비(400)에 접속된다. 이에 따라, 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 반도체 소자들에 대한 테스트가 완료되면, 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. The chamber unit 110 includes a contact unit 110b (shown in FIG. 23) for connecting the test tray 200 to the test equipment 400. The contact unit 110b is installed in the first chamber 110a. The contact unit 110b connects the semiconductor devices accommodated in the test tray 200 to the test equipment 400. The contact unit 110b may move the semiconductor devices accommodated in the test tray 200 toward or away from the test equipment 400. [ The semiconductor devices accommodated in the test tray 200 are moved to the test equipment 400 by moving the semiconductor devices housed in the test tray 200 toward the test equipment 400 Respectively. Accordingly, the test equipment 400 can test semiconductor devices. When the test for the semiconductor devices is completed, the contact unit 110b can move the semiconductor devices housed in the test tray 200 in a direction away from the test equipment 400. [

테스트 트레이(200)에는 반도체 소자들을 수납하기 위한 캐리어모듈들이 설치된다. 상기 캐리어모듈들은 각각 적어도 하나 이상의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 상기 캐리어모듈들은 각각 스프링(미도시)들에 의해 테스트 트레이(200)에 탄성적으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 밀면, 상기 캐리어모듈들이 상기 테스트장비(400)에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 밀던 힘을 제거하면, 상기 캐리어모듈들은 스프링이 갖는 복원력에 의해 상기 테스트장비(400)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)이 상기 캐리어모듈들과 반도체 소자들을 이동시키는 과정에서, 테스트 트레이(200)가 함께 이동할 수도 있다.The test tray 200 is provided with carrier modules for accommodating semiconductor elements. The carrier modules may each contain at least one semiconductor element. The carrier modules are resiliently and movably coupled to the test tray 200 by springs (not shown), respectively. When the contact unit 110b pushes the semiconductor devices housed in the test tray 200 toward the test equipment 400, the carrier units can move toward the test equipment 400. When the contact unit 110b removes the pushing force of the semiconductor devices housed in the test tray 200, the carrier modules can move away from the test equipment 400 due to the restoring force of the springs. The test tray 200 may move together when the contact unit 110b moves the carrier modules and the semiconductor elements.

도시되지 않았지만, 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되기 위한 복수개의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택소켓들은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되어 반도체 소자들을 이동시킴으로써, 반도체 소자들을 상기 테스트장비(400)에 접속시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)은 테스트 트레이(200)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택유닛(110b)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등에 의해 이동될 수 있다.Although not shown, the contact unit 110b may include a plurality of contact sockets for contacting the semiconductor devices housed in the test tray 200. [ The contact sockets may contact the semiconductor devices housed in the test tray 200 to move the semiconductor devices, thereby connecting the semiconductor devices to the test equipment 400. The contact unit 110b may include a number of contact sockets that are approximately equal to the number of semiconductor elements received in the test tray 200. The contact unit 110b may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear, and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, Method, a linear motor using a coil and a permanent magnet, or the like.

도 22 내지 도 25를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 테스트장비(400, 도 23에 도시됨)가 상온의 환경에서 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 환경에서도 반도체 소자를 테스트할 수 있도록, 제2챔버(110c, 도 23에 도시됨) 및 제3챔버(110d, 도 23에 도시됨)를 더 포함한다.22 through 25, the chamber unit 110 may be configured to allow the test equipment 400 (shown in FIG. 23) to test the semiconductor device in a high temperature or low temperature environment, The second chamber 110c (shown in Fig. 23), and the third chamber 110d (shown in Fig. 23).

상기 제2챔버(110c)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 제1온도로 조절한다. 상기 제2챔버(110c)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 소팅유닛(130)에 의해 테스트될 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 컨베이어유닛(120, 도 22에 도시됨)에 의해 상기 챔버유닛(110) 쪽으로 운반된 후에 상기 보관장치(1, 도 22에 도시됨)에 의해 상기 제2챔버(110c)로 이송된 것이다. 상기 제1온도는 테스트될 반도체 소자가 상기 테스트장비(400)에 의해 테스트될 때, 테스트될 반도체 소자들이 갖는 온도 범위이다. 상기 제2챔버(110c)는 테스트될 반도체 소자를 상기 제1온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트될 반도체 소자가 상기 제1온도로 조절되면, 테스트 트레이(200)는 상기 제2챔버(110c)에서 상기 제1챔버(110a)로 이송된다.The second chamber 110c regulates the semiconductor elements accommodated in the test tray 200 to a first temperature. The test tray 200 located in the second chamber 110c is a chamber in which semiconductor devices to be tested by the sorting unit 130 are contained and is conveyed by the conveyor unit 120 (110), and then transferred to the second chamber (110c) by the storage device (1, Fig. 22). The first temperature is the temperature range that the semiconductor devices to be tested have when the semiconductor device to be tested is tested by the test equipment 400. The second chamber 110c includes at least one of an electrothermal heater and a liquefied nitrogen injection system to adjust the semiconductor device to be tested to the first temperature. When the semiconductor device to be tested is adjusted to the first temperature, the test tray 200 is transferred from the second chamber 110c to the first chamber 110a.

상기 제3챔버(110d)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 제2온도로 조절한다. 상기 제3챔버(110d)에 위치된 테스트 트레이(200)는 상기 테스트공정을 거쳐 테스트된 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 제1챔버(110a)로부터 이송된 것이다. 상기 제2온도는 상온 또는 이에 근접한 온도를 포함하는 온도 범위이다. 상기 제3챔버(110d)는 테스트된 반도체 소자를 상기 제2온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 상기 제2온도로 조절되면, 테스트 트레이(200)는 상기 보관장치(1)로 이송된다. 상기 보관장치(1)로 이송된 테스트 트레이(200)는 상기 컨베이어유닛(120)에 지지되어 다른 챔버유닛(110) 또는 상기 소팅유닛(130)으로 운반될 수 있다. 상기 보관장치(1)로 이송된 테스트 트레이(200)는 상기 보관부재(2)로 이송되어 상기 보관부재(2)에 보관될 수도 있다.The third chamber 110d regulates the semiconductor devices accommodated in the test tray 200 to a second temperature. The test tray 200 located in the third chamber 110d is a semiconductor wafer in which the semiconductor devices tested through the testing process are accommodated and transferred from the first chamber 110a. The second temperature is a temperature range including room temperature or a temperature close thereto. The third chamber 110d includes at least one of an electrothermal heater and a liquefied nitrogen injection system to adjust the tested semiconductor device to the second temperature. When the tested semiconductor device is adjusted to the second temperature, the test tray 200 is transferred to the storage device 1. The test tray 200 conveyed to the storage unit 1 may be carried to the other chamber unit 110 or the sorting unit 130 by being supported by the conveyor unit 120. The test tray 200 transferred to the storage device 1 may be transferred to the storage member 2 and stored in the storage member 2. [

도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 이송수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)에서 상기 제1챔버(110a)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 제3챔버(110d)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(200)를 이송할 수 있다.Although not shown, the chamber unit 110 may include a transfer means (not shown) for transferring the test tray 200. The conveying means can push the test tray 200 or pull the test tray 200 to convey it. The transferring means may transfer the test tray 200 containing the semiconductor elements to be tested from the second chamber 110c to the first chamber 110a. The transfer means may transfer the test tray 200 containing the tested semiconductor devices from the first chamber 110a to the third chamber 110d. The conveying means may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley and a belt, And a linear motor using a permanent magnet or the like can be used to transfer the test tray 200.

도 24에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(110)은 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)가 수평방향으로 나란하게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 챔버유닛(110)은 복수개의 제1챔버(110a)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(110a)들은 복수개가 상하로 적층 설치될 수 있다.As shown in FIG. 24, the second chamber 110c, the first chamber 110a, and the third chamber 110d may be arranged in a horizontal direction in the chamber unit 110. FIG. In this case, the chamber unit 110 may include a plurality of first chambers 110a. A plurality of the first chambers 110a may be vertically stacked.

도 25에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(110)은 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)가 수직방향으로 적층 설치될 수도 있다. 즉, 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a), 및 상기 제3챔버(110d)는 상하로 적층 설치될 수 있다. 상기 제2챔버(110c)는 상기 제1챔버(110a)의 상측에 위치되게 설치될 수 있고, 상기 제3챔버(110d)는 상기 제1챔버(110a)의 하측에 위치되게 설치될 수 있다.As shown in FIG. 25, the second chamber 110c, the first chamber 110a, and the third chamber 110d may be stacked in the vertical direction in the chamber unit 110. FIG. That is, the second chamber 110c, the first chamber 110a, and the third chamber 110d may be stacked vertically. The second chamber 110c may be disposed on the upper side of the first chamber 110a and the third chamber 110d may be disposed on the lower side of the first chamber 110a.

도 22 내지 도 24를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 테스트 트레이(200)를 수평상태와 수직상태 간에 회전시키기 위한 로테이터(110e, 도 24에 도시됨)를 포함할 수 있다.22 to 24, the chamber unit 110 may include a rotator 110e (shown in FIG. 24) for rotating the test tray 200 between a horizontal state and a vertical state.

상기 로테이터(110e)는 상기 챔버유닛(110)에 설치된다. 상기 로테이터(110e)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 수평상태에서 수직상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1챔버(110a)는 수직상태로 세워진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 소팅유닛(130)은 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 로테이터(110e)는 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 수직상태에서 수평상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 소팅유닛(130)은 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(200)에 대해 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.The rotator 110e is installed in the chamber unit 110. The rotator 110e can rotate the test tray 200 in which the semiconductor device to be tested is housed from a horizontal state to a vertical state. Accordingly, the first chamber 110a can perform the test process on the test tray 200 that is vertically erected. Also, the sorting unit 130 may perform the loading process on the test tray 200 that is laid in a horizontal state. The rotator 110e can rotate the test tray 200 in which the tested semiconductor devices are housed from a vertical state to a horizontal state. Accordingly, the sorting unit 130 can perform the unloading process on the test tray 200 that is laid in a horizontal state.

상기 챔버유닛(110)은 도 24 및 도 25에 도시된 바와 같이, 하나의 로테이터(110e)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로테이터(110e)는 상기 제2챔버(110c)와 상기 제3챔버(110d) 사이에 설치될 수 있다. 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)는 상기 로테이터(110e)에 의해 수직상태가 되도록 회전된 후에, 상기 이송수단에 의해 상기 로테이터(110e)에서 상기 제2챔버(110c)로 이송될 수 있다. 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)는 상기 이송수단에 의해 상기 제3챔버(110d)에서 상기 로테이터(110e)로 이송된 후에, 상기 로테이터(110e)에 의해 수평상태가 되도록 회전될 수 있다.The chamber unit 110 may include one rotator 110e, as shown in FIGS. In this case, the rotator 110e may be installed between the second chamber 110c and the third chamber 110d. The test tray 200 in which the semiconductor device to be tested is accommodated can be rotated by the rotator 110e to be vertical and then transferred from the rotator 110e to the second chamber 110c by the transferring means have. The test tray 200 in which the tested semiconductor device is accommodated is conveyed from the third chamber 110d to the rotator 110e by the conveying means and then rotated by the rotator 110e to be horizontal have.

도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 회전시키기 위한 제1로테이터 및 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(200)를 회전시키기 위한 제2로테이터를 포함할 수도 있다. 상기 제1로테이터는 상기 제2챔버(110c) 내부 또는 상기 제2챔버(110c) 외부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2로테이터는 상기 제3챔버(110d) 내부 또는 상기 제3챔버(110d) 외부에 위치되게 설치될 수 있다.Although not shown, the chamber unit 110 includes a first rotator for rotating the test tray 200 in which semiconductor elements to be tested are accommodated, and a second rotator for rotating the test tray 200 in which the tested semiconductor elements are housed, . ≪ / RTI > The first rotator may be installed inside the second chamber 110c or outside the second chamber 110c. The second rotator may be installed inside the third chamber 110d or outside the third chamber 110d.

도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(110)은 상기 로테이터(110e) 없이 수평상태의 테스트 트레이(200)에 대해 테스트공정을 수행할 수도 있다. 이 경우, 테스트 트레이(200)는 수평상태로 상기 제2챔버(110c), 상기 제1챔버(110a) 및 상기 제3챔버(110d) 간에 이송되면서 상기 테스트공정이 수행될 수 있다.Although not shown, the chamber unit 110 may perform a test process on the test tray 200 in a horizontal state without the rotator 110e. In this case, the test process may be performed while the test tray 200 is transferred between the second chamber 110c, the first chamber 110a, and the third chamber 110d in a horizontal state.

도시되지 않았지만, 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 챔버유닛(110)으로 반입할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)로 반입할 수 있다. 상기 챔버유닛(110)이 상기 제2챔버(110c)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 보관장치(1)로부터 반출되는 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)를 경유하여 상기 제1챔버(110a)로 반입할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다. 상기 챔버유닛(110)이 상기 제3챔버(110d)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 제1챔버(110a)에서 상기 제3챔버(110d)를 경유하여 상기 보관장치(1)로 반출할 수 있다.Although not shown, the conveying means may bring the test tray 200 taken out of the storage apparatus 1 into the chamber unit 110. The conveying means may bring the test tray 200 taken out of the storage device 1 into the first chamber 110a. If the chamber unit 110 includes the second chamber 110c, the conveying means may move the test tray 200, which is taken out of the storage apparatus 1, to the second chamber 110c via the second chamber 110c, 1 chamber 110a. The conveying means may take out the test tray 200 having been subjected to the test process to the storage device 1. [ The transferring means may take out the test tray 200 from which the test process has been completed to the storage device 1 from the first chamber 110a. If the chamber unit 110 includes the third chamber 110d, the transfer unit may transfer the test tray 200 from the first chamber 110a to the third chamber 110d, To the storage device (1).

도 2 및 도 22를 참고하면, 상기 챔버유닛(110)은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 복수개가 설치된다. 상기 챔버유닛(110)들은 상기 컨베이어유닛(120)을 따라 서로 소정 거리 이격되게 설치된다. 예컨대, 상기 컨베이어유닛(120)에는 제1챔버유닛(111) 및 제2챔버유닛(112)이 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 N개(N은 2보다 큰 정수)의 챔버유닛(110)을 포함할 수도 있다.Referring to FIGS. 2 and 22, a plurality of the chamber units 110 are installed along the conveyor unit 120. The chamber units 110 are installed at a predetermined distance from each other along the conveyor unit 120. For example, the first chamber unit 111 and the second chamber unit 112 may be installed on the conveyor unit 120 at a predetermined distance from each other. The inline test handler 100 according to the present invention may include N (N is an integer greater than 2) chamber units 110. [

도 2 및 도 22를 참고하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)가 상기 소팅유닛(130) 및 상기 챔버유닛(110)들 간에 이송되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 소팅유닛(130)으로부터 배출된 테스트 트레이(200)가 상기 챔버유닛(110)으로 공급되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)으로부터 배출된 테스트 트레이(200)가 상기 소팅유닛(130)으로 공급되도록 테스트 트레이(200)를 운반한다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 컨베이어유닛(120)을 통해 서로 이격되게 설치된 소팅유닛(130) 및 챔버유닛(110)들 간에 테스트 트레이(200)를 순환 이동시키면서, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.2 and 22, the conveyor unit 120 conveys the test tray 200 such that the test tray 200 is transferred between the sorting unit 130 and the chamber units 110. [ The conveyor unit 120 carries the test tray 200 such that the test tray 200 discharged from the sorting unit 130 is supplied to the chamber unit 110. The conveyor unit 120 conveys the test tray 200 such that the test tray 200 discharged from the chamber unit 110 is supplied to the sorting unit 130. The inline test handler 1 according to the present invention circulates the test tray 200 between the sorting unit 130 and the chamber units 110 installed apart from each other through the conveyor unit 120, The testing process, and the unloading process for the semiconductor devices accommodated in the semiconductor device 200.

도 26을 참고하면, 상기 컨베이어유닛(120)은 테스트 트레이(200)를 운반하기 위한 컨베이어(120a)를 포함한다. 상기 컨베이어(120a)는 서로 소정 거리 이격되게 설치된 복수개의 회전부재(120b)를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 회전시킨다. 테스트 트레이(200)는 상기 회전부재(120b)들에 지지된 상태로 상기 회전부재(120b)들이 회전함에 따라 운반될 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 시계방향과 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들이 회전하는 방향을 조절함으로써, 테스트 트레이(200)를 운반하는 방향을 조절할 수 있다. 상기 회전부재(120b)들은 각각 원통형태로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 26, the conveyor unit 120 includes a conveyor 120a for conveying the test tray 200. FIG. The conveyor 120a may include a plurality of rotary members 120b spaced apart from each other by a predetermined distance. The conveyor 120a rotates the rotatable members 120b around respective rotation axes. The test tray 200 may be carried as the rotating members 120b rotate while being supported by the rotating members 120b. The conveyor 120a can rotate the rotary members 120b in a clockwise direction and a counterclockwise direction about respective rotation axes. Accordingly, the conveyor 120a can adjust the direction in which the test tray 200 is conveyed by adjusting the direction in which the rotating members 120b rotate. Each of the rotary members 120b may be formed in a cylindrical shape.

도시되지 않았지만, 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 각각의 회전축을 중심으로 회전시키기 위한 동력원을 포함할 수 있다. 상기 동력원은 모터일 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 동력원과 상기 회전부재(120b)들 각각의 회전축을 연결하기 위한 연결수단을 포함할 수도 있다. 상기 연결수단은 풀리 및 벨트일 수 있다. 상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 감싸도록 결합된 순환부재(미도시)를 더 포함할 수 있다. 테스트 트레이(200)는 상기 순환부재에 지지된다. 상기 순환부재는 내부에 위치한 회전부재(120b)들이 각각의 회전축을 중심으로 회전함에 따라 순환 이동하면서 테스트 트레이(200)를 운반할 수 있다.Although not shown, the conveyor 120a may include a power source for rotating the rotary members 120b around respective rotation axes. The power source may be a motor. The conveyor 120a may include connecting means for connecting the rotational axis of each of the power source and the rotary member 120b. The connecting means may be a pulley and a belt. The conveyor 120a may further include a circulation member (not shown) coupled to surround the rotation members 120b. The test tray 200 is supported by the circulation member. The circulation member can circulate the test tray 200 while the rotatable members 120b disposed therein rotate around the respective rotation axes.

상기 컨베이어(120a)는 상기 회전부재(120b)들을 지지하기 위한 설치기구(120c)를 포함한다. 상기 설치기구(120c)는 상기 회전부재(120b)들에 지지된 테스트 트레이(200)가 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)에 위치되게 상기 회전부재(120b)들을 지지한다. 상기 보관장치(1)는 상기 보관부재(2, 도 4에 도시됨)가 상기 운반경로(MP, 도 4에 도시됨)의 상측에 위치되게 설치기구(120c)에 설치될 수 있다.The conveyor 120a includes an installation mechanism 120c for supporting the rotary members 120b. The mounting mechanism 120c supports the rotating members 120b such that the test tray 200 supported by the rotating members 120b is positioned on the conveying path MP (shown in FIG. 4). The storage device 1 may be installed in the installation mechanism 120c such that the storage member 2 (shown in Fig. 4) is positioned above the transportation path MP (shown in Fig. 4).

상기 컨베이어유닛(120)은 상기 컨베이어(120a)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들은 서로 인접하게 설치된다. 테스트 트레이(200)는 상기 컨베이어(120a)들을 따라 운반됨으로써, 상기 챔버유닛(110, 도 22에 도시됨)들 및 상기 소팅유닛(130, 도 22에 도시됨) 간에 이송될 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들은 각각 개별적으로 작동하면서, 테스트 트레이(200)를 개별적으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 컨베이어(120a)들 중에서 적어도 하나가 정지한 상태에서 다른 컨베이어(120a)는 테스트 트레이(200)를 운반하기 위해 작동할 수 있다.The conveyor unit 120 may include a plurality of conveyors 120a. The conveyors 120a are installed adjacent to each other. The test tray 200 may be transported along the conveyors 120a and thereby be transferred between the chamber unit 110 (shown in Fig. 22) and the sorting unit 130 (shown in Fig. 22). The conveyor 120a can move the test tray 200 individually while operating individually. For example, while at least one of the conveyors 120a is stationary, another conveyor 120a may operate to convey the test tray 200. [

상기 컨베이어유닛(120)은 상기 챔버유닛(110)의 개수에 대응되는 개수의 컨베이어(120a)를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(120a)들에는 각각 상기 보관장치(1)가 설치될 수 있다. 상기 챔버유닛(110)들이 각각 제1챔버(110a), 제2챔버(110c) 및 제3챔버(110d)를 포함하는 경우, 상기 컨베이어(120a)들 각각에는 2개씩의 보관장치(1)가 설치될 수 있다. 이 경우, 하나의 보관장치(1)는 상기 제2챔버(110c)에 대응되는 위치에 설치됨으로써, 테스트 트레이(200)를 상기 제2챔버(110c)로 반출하는 기능을 수행할 수 있다. 다른 하나의 보관장치(1)는 상기 제3챔버(110d)에 대응되는 위치에 설치됨으로써, 테스트 트레이(200)를 상기 제3챔버(110d)로부터 반입하는 기능을 수행할 수 있다.The conveyor unit 120 may include a number of conveyors 120a corresponding to the number of the chamber units 110. [ The conveyor 120a may be provided with the storage device 1, respectively. In the case where the chamber units 110 include the first chamber 110a, the second chamber 110c and the third chamber 110d, two storage devices 1 are provided in each of the conveyors 120a Can be installed. In this case, one storage device 1 is installed at a position corresponding to the second chamber 110c, thereby performing the function of taking out the test tray 200 to the second chamber 110c. The other storage device 1 may be installed at a position corresponding to the third chamber 110d so that the test tray 200 may be loaded from the third chamber 110d.

도 23 및 도 27을 참고하면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행한다. 상기 소팅유닛(130)은 상기 챔버유닛(110)들로부터 이격되게 설치된다. 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩공정을 수행하기 위한 로딩유닛(131, 도 27에 도시됨)을 포함할 수 있다.23 and 27, the sorting unit 130 performs the loading process and the unloading process. The sorting unit 130 is spaced apart from the chamber units 110. The sorting unit 130 may include a loading unit 131 (shown in FIG. 27) for performing the loading process.

상기 로딩유닛(131)은 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트 트레이(200)로 이송한다. 상기 로딩유닛(131)은 로딩스택커(1311, 도 27에 도시됨) 및 로딩픽커(1312, 도 27에 도시됨)를 포함할 수 있다.The loading unit 131 transfers the semiconductor devices to be tested from the customer tray to the test tray 200. The loading unit 131 may include a loading stacker 1311 (shown in FIG. 27) and a loading picker 1312 (shown in FIG. 27).

상기 로딩스택커(1311)는 고객트레이를 지지한다. 상기 로딩스택커(1311)에 지지된 고객트레이는 테스트될 반도체 소자들을 담고 있다. 상기 로딩스택커(1311)는 테스트될 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장할 수 있다. 고객트레이들은 상하로 적층되어 상기 로딩스택커(1311)에 저장될 수 있다.The loading stacker 1311 supports the customer tray. The customer tray supported on the loading stacker 1311 contains semiconductor elements to be tested. The loading stacker 1311 may store a plurality of customer trays containing semiconductor elements to be tested. The customer trays can be stacked up and down and stored in the loading stacker 1311.

상기 로딩픽커(1312)는 상기 로딩스택커(1311)에 위치된 고객트레이로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업하여 테스트 트레이(200)에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)에 테스트될 반도체 소자가 수납될 때, 테스트 트레이(200)는 로딩위치(131a, 도 27에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 제1축방향(X축 방향)과 제2축방향(Y축 방향)으로 이동하면서 테스트될 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 승강할 수도 있다. The loading picker 1312 may pick up a semiconductor device to be tested from a customer tray located in the loading stacker 1311 and store the semiconductor device in a test tray 200. When the semiconductor element to be tested is received in the test tray 200, the test tray 200 can be placed in the loading position 131a (shown in FIG. 27). The loading picker 1312 can transfer the semiconductor device to be tested while moving in the first axis direction (X axis direction) and the second axis direction (Y axis direction). The loading picker 1312 may be raised or lowered.

상기 로딩유닛(131)은 테스트될 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 로딩버퍼(1313, 도 27에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩픽커(1312)는 고객트레이로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(1313)를 경유하여 상기 로딩위치(131a)에 위치된 테스트 트레이(200)에 수납시킬 수 있다. 상기 로딩픽커(1312)는 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 상기 로딩버퍼(1313)로 이송하는 제1로딩픽커(1312a, 도 27에 도시됨), 및 테스트될 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(1313)에서 테스트 트레이(200)로 이송하는 제2로딩픽커(1312b, 도 27에 도시됨)를 포함할 수도 있다.The loading unit 131 may further include a loading buffer 1313 (shown in FIG. 27) for temporarily storing semiconductor elements to be tested. In this case, the loading picker 1312 picks up the semiconductor device to be tested from the customer tray and transfers the picked up semiconductor device to the test tray 200 located at the loading position 131a via the loading buffer 1313. [ As shown in Fig. The loading picker 1312 includes a first loading picker 1312a (shown in FIG. 27) for transferring a semiconductor element to be tested from the customer tray to the loading buffer 1313, and a loading buffer 1313, (Shown in FIG. 27) that transports the test strip 200 from the test tray 200 to the test tray 200.

도시되지 않았지만, 상기 로딩유닛(131)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩위치(131a)에서 상기 컨베이어유닛(130)으로 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩위치(131a)에서 상기 보관장치(1)로 이송할 수도 있다. 상기 로딩이송수단은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 컨베이어유닛(130)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수도 있다.Although not shown, the loading unit 131 may include a loading and conveying means for conveying the test tray 200. The loading and transporting means can push the test tray 200 or pull the test tray 200 to transport it. The loading and conveying means may transfer the test tray 200 from which the loading process has been completed to the conveyor unit 130 from the loading position 131a. The loading and conveying means may transfer the test tray 200 from which the loading process is completed to the storage device 1 from the loading position 131a. The loading and conveying means may convey the empty test tray 200 from the conveyor unit 130 to the loading position 131a. The loading transfer means may transfer the empty test tray 200 from the storage device 1 to the loading position 131a.

도 23 및 도 27을 참고하면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 언로딩공정을 수행하기 위한 언로딩유닛(132, 도 27에 도시됨)을 포함할 수 있다.23 and 27, the sorting unit 130 may include an unloading unit 132 (shown in FIG. 27) for performing the unloading process.

상기 언로딩유닛(132)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로부터 분리하여 고객트레이로 이송한다. 상기 언로딩유닛(132)은 언로딩스택커(1321, 도 27에 도시됨) 및 언로딩픽커(1322, 도 27에 도시됨)를 포함할 수 있다.The unloading unit 132 separates the tested semiconductor device from the test tray 200 and transfers the separated semiconductor device to the customer tray. The unloading unit 132 may include an unloading stacker 1321 (shown in FIG. 27) and an unloading picker 1322 (shown in FIG. 27).

상기 언로딩스택커(1321)는 고객트레이를 지지한다. 상기 언로딩스택커(1321)에 지지된 고객트레이에는 테스트된 반도체 소자들이 담겨진다. 상기 언로딩스택커(1321)는 테스트된 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장할 수 있다. 고객트레이들은 상하로 적층되어 상기 언로딩스택커(1321)에 저장될 수 있다.The unloading stacker 1321 supports the customer tray. The customer tray supported on the unloading stacker 1321 contains the tested semiconductor elements. The unloading stacker 1321 may store a plurality of customer trays containing the tested semiconductor elements. The customer trays can be stacked up and down and stored in the unloading stacker 1321.

상기 언로딩픽커(1322)는 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업하여 상기 언로딩스택커(1321)에 위치된 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자가 픽업될 때, 테스트 트레이(200)는 언로딩위치(132a, 도 27에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따른 등급별로 그 등급에 해당하는 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동하면서 테스트된 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 승강할 수도 있다. 상기 언로딩유닛(132)이 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 모두 분리함에 따라 테스트 트레이(200)가 비게 되면, 상기 소팅유닛(130)은 비어 있는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩유닛(132)에서 상기 로딩유닛(131)로 이송할 수 있다.The unloading picker 1322 picks up the tested semiconductor devices from the test tray 200 and stores them in a customer tray located in the unloading stacker 1321. When the tested semiconductor device is picked up from the test tray 200, the test tray 200 can be placed in the unloading position 132a (shown in FIG. 27). The unloading picker 1322 can store the tested semiconductor devices in a customer tray corresponding to the grade according to the test result. The unloading picker 1322 can transfer the tested semiconductor device while moving in the first axis direction (X axis direction) and the second axis direction (Y axis direction). The unloading picker 1322 may be raised or lowered. If the test tray 200 becomes empty as the unloading unit 132 separates all of the tested semiconductor devices from the test tray 200, the sorting unit 130 unloads the empty test tray 200 And can be transferred from the unit 132 to the loading unit 131.

상기 언로딩유닛(132)은 테스트된 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 언로딩버퍼(1323, 도 27에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 언로딩픽커(1322)는 상기 언로딩위치(132a)에 위치된 테스트 트레이(200)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(1323)를 경유하여 상기 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(1322)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에서 상기 언로딩버퍼(1323)로 이송하는 제1언로딩픽커(1322a, 도 27에 도시됨), 및 테스트된 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(1323)에서 고객트레이로 이송하는 제2언로딩픽커(1322b, 도 27에 도시됨)를 포함할 수도 있다.The unloading unit 132 may further include an unloading buffer 1323 (shown in FIG. 27) for temporarily storing the tested semiconductor elements. In this case, the unloading picker 1322 picks up the tested semiconductor device from the test tray 200 located at the unloading position 132a, and then transfers the picked up semiconductor device to the unloading buffer 1323 And stored in the customer tray. The unloading picker 1322 includes a first unloading picker 1322a (shown in FIG. 27) for transferring the tested semiconductor element from the test tray 200 to the unloading buffer 1323, And a second unloading picker 1322b (shown in FIG. 27) for transferring the unloading buffer 1323 to the customer tray.

도시되지 않았지만, 상기 언로딩유닛(132)은 테스트 트레이(200)를 이송하기 위한 언로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 테스트 트레이(200)를 밀거나 테스트 트레이(200)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 컨베이어유닛(120)에서 상기 언로딩위치(132a)로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 보관장치(1)에서 상기 언로딩위치(132a)로 이송할 수도 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 컨베이어유닛(130)으로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 보관장치(1)로 이송할 수도 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩위치(132a)에서 상기 로딩위치(131a)로 이송할 수도 있다.Although not shown, the unloading unit 132 may include unloading and conveying means for conveying the test tray 200. The unloading / conveying means can push the test tray 200 or pull the test tray 200 to transport it. The unloading and conveying means may transfer the test tray 200 from which the test process is completed to the unloading position 132a from the conveyor unit 120. [ The unloading and conveying means may transfer the test tray 200 from which the test process has been completed to the unloading position 132a from the storage device 1. [ The unloading and conveying means may transfer the test tray 200 which is empty as the unloading process is completed from the unloading position 132a to the conveyor unit 130. [ The unloading and conveying means may transfer the test tray 200 which is empty as the unloading process is completed from the unloading position 132a to the storage device 1. [ The unloading and conveying means may transfer the test tray 200 which becomes empty as the unloading process is completed, from the unloading position 132a to the loading position 131a.

도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅유닛(130)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 소팅유닛(130)들은 상기 컨베이어유닛(130)을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 소팅유닛(130)은 상기 로딩유닛(131)과 상기 언로딩유닛(132)이 서로 이격되어 설치될 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 서로 독립적으로 수행되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정이 서로 독립적으로 수행됨에 따라 각 공정들에 걸리는 작업시간이 서로에게 영향을 미치는 것을 최소화할 수 있다. 상기 로딩유닛(131)과 상기 언로딩유닛(132)은 상기 컨베이어유닛(130)을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다.Although not shown, the inline test handler 1 according to the present invention may include a plurality of sorting units 130. In this case, the sorting units 130 may be installed apart from each other along the conveyor unit 130. According to a modified embodiment of the present invention, the sorting unit 130 may be installed such that the loading unit 131 and the unloading unit 132 are spaced apart from each other. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention can be implemented such that the loading process and the unloading process are performed independently of each other. Accordingly, since the loading process, the unloading process, and the testing process are performed independently of each other, the inline test handler 1 according to the present invention can minimize the influence of the working time on each process . The loading unit 131 and the unloading unit 132 may be installed apart from each other along the conveyor unit 130.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It will be clear to those who have knowledge.

1 : 테스트 트레이 보관장치 2 : 보관부재 3 : 지지유닛 4 : 승강유닛
5 : 반출유닛 6 : 반송유닛 7 : 반입유닛 100 : 인라인 테스트 핸들러1: Test tray storage device 2: Storage member 3: Support unit 4: Lift unit
5: carry-out unit 6: transfer unit 7: carry-in unit 100: inline test handler

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
상기 보관장치는,
테스트 트레이를 상기 운반경로 및 상기 보관위치 간에 승강시키기 위한 승강유닛;
상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구; 및
상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지위치 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이로부터 이격되는 해제위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.A first chamber unit in which a test process for a semiconductor device is performed;
A second chamber unit installed apart from the first chamber unit and performing a test process for the semiconductor device;
A sorting unit spaced apart from each of the first chamber unit and the second chamber unit;
A conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path so that the first chamber unit, the second chamber unit, and the sorting unit are connected in-line; And
And a storage device installed in the conveyor unit for transferring and storing the test tray supported by the conveyor unit to a storage location,
The storage device transfers the test tray supported by the conveyor unit from the conveying path to a storage position spaced apart from the conveying path so as to avoid a test tray carried along the conveying path by the conveying unit when the test tray is placed in the storage position Keep it,
The storage device comprises:
A lifting unit for lifting and lowering the test tray between the transport path and the storage position;
A support mechanism for supporting the test tray placed in the storage position; And
And a moving mechanism for moving the support mechanism between a support position where the support mechanism supports the test tray positioned in the storage position and a release position where the support mechanism is spaced apart from the test tray placed in the storage position. Inline test handler. 제4항에 있어서,
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 보관위치로 상승시키고, 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 운반경로로 하강시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.5. The method of claim 4,
The elevating unit elevates the test tray to the storage position while the support mechanism is located at the release position and lowers the test tray to the conveyance path with the support mechanism being located at the release position Inline test handler. 제4항에 있어서,
상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하기 위한 보관부재를 포함하고;
상기 이동기구는 상기 승강유닛이 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이를 지지한 상태에서, 상기 지지기구가 상기 제1테스트 트레이에 지지된 제2테스트 트레이를 지지하도록 상기 지지기구를 상기 지지위치로 이동시켜서 상기 제1테스트 트레이에 형성된 삽입홈에 삽입시키며;
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 제2테스트 트레이를 지지하면, 상기 제1테스트 트레이를 하강시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.5. The method of claim 4,
And a storage member installed in the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path, for storing the test tray stacked vertically in the storage position;
Wherein the moving mechanism supports the second test tray supported by the first test tray in a state in which the lift unit supports the first test tray positioned at the lowermost position among the test trays stored in the storage member The support mechanism is moved to the support position and inserted into the insertion groove formed in the first test tray;
Wherein the elevating unit descends the first test tray when the supporting mechanism is inserted into the insertion groove and supports the second test tray. 제4항에 있어서,
상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하기 위한 보관부재를 포함하고;
상기 이동기구는 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이가 상기 승강유닛에 지지된 제2테스트 트레이에 지지되면, 상기 지지기구를 상기 해제위치로 이동시키고;
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치되면, 상기 제2테스트 트레이가 상기 제1테스트 트레이를 밀어 올려서 상기 보관위치에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이를 상승시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.5. The method of claim 4,
And a storage member installed in the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path, for storing the test tray stacked vertically in the storage position;
The moving mechanism moves the support mechanism to the release position when the first test tray positioned at the lowermost one of the test trays stored in the storage member is supported by the second test tray supported by the lift unit;
Wherein the elevation unit raises the second test tray so that the second test tray pushes up the first test tray to be positioned at the storage position when the support mechanism is located at the release position. . 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
상기 보관장치는,
상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
상기 승강기구가 테스트 트레이를 지지한 승강부재를 상기 이송위치에 위치시키면, 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이가 상기 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반출유닛; 및
상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 보관부재로부터 반출되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 이동시키는 반송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.A first chamber unit in which a test process for a semiconductor device is performed;
A second chamber unit installed apart from the first chamber unit and performing a test process for the semiconductor device;
A sorting unit spaced apart from each of the first chamber unit and the second chamber unit;
A conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path so that the first chamber unit, the second chamber unit, and the sorting unit are connected in-line; And
And a storage device installed in the conveyor unit for transferring and storing the test tray supported by the conveyor unit to a storage location,
The storage device transfers the test tray supported by the conveyor unit from the conveying path to a storage position spaced apart from the conveying path so as to avoid a test tray carried along the conveying path by the conveying unit when the test tray is placed in the storage position Keep it,
The storage device comprises:
A storage member provided on the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path and having a passage groove through which the test tray passes;
A lifting member for supporting the test tray;
An elevating mechanism for elevating the elevating member such that the elevating member is positioned at a conveying position between the conveying path and the storage position;
Wherein the test tray supported by the elevating member is positioned at the insertion position where the test tray supported by the elevating member is inserted into the passage groove by inserting the elevating member supporting the test tray at the conveying position, To a position; And
And a transfer unit for moving the test tray positioned at the insertion position so that the test tray positioned at the insertion position is carried out of the storage member. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
상기 보관장치는,
상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반송유닛; 및
상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 이송위치에 위치된 승강부재에 지지되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 이송위치로 이동시키는 반입유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.A first chamber unit in which a test process for a semiconductor device is performed;
A second chamber unit installed apart from the first chamber unit and performing a test process for the semiconductor device;
A sorting unit spaced apart from each of the first chamber unit and the second chamber unit;
A conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path so that the first chamber unit, the second chamber unit, and the sorting unit are connected in-line; And
And a storage device installed in the conveyor unit for transferring and storing the test tray supported by the conveyor unit to a storage location,
The storage device transports the test tray supported by the conveyor unit from the conveying path to a storage position spaced apart from the conveying path so as to avoid a test tray carried along the conveying path by the conveyor unit when the test tray is placed in the storage position However,
The storage device comprises:
A storage member provided on the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path and having a passage groove through which the test tray passes;
A lifting member for supporting the test tray;
An elevating mechanism for elevating the elevating member such that the elevating member is positioned at a conveying position between the conveying path and the storage position;
A transporting unit for moving the test tray to the inserting position so that the test tray is located at the inserting position where the test tray is inserted into the through hole formed in the storage member; And
And a carry-in unit that moves the test tray positioned at the insertion position to the transfer position so that the test tray positioned at the insertion position is supported by the lift member positioned at the transfer position. 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제1챔버유닛;
상기 제1챔버유닛으로부터 이격되어 설치되고, 반도체 소자에 대한 테스트공정이 이루어지는 제2챔버유닛;
상기 제1챔버유닛 및 상기 제2챔버유닛 각각으로부터 이격되어 설치되는 소팅유닛;
상기 제1챔버유닛, 상기 제2챔버유닛, 및 상기 소팅유닛이 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하는 컨베이어유닛; 및
상기 컨베이어유닛에 설치되고, 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 보관위치로 이송하여 보관하기 위한 보관장치를 포함하고,
상기 보관장치는 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 컨베이어유닛에 지지된 테스트 트레이를 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치로 이송하여 보관하되,
상기 보관장치는,
상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되고, 테스트 트레이가 통과하기 위한 통과홈이 형성된 보관부재;
상기 통과홈에 삽입되어 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 회전롤러; 및
상기 회전롤러를 제1회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로부터 반출시키고, 상기 회전롤러를 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로 반입시키는 회전기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.A first chamber unit in which a test process for a semiconductor device is performed;
A second chamber unit installed apart from the first chamber unit and performing a test process for the semiconductor device;
A sorting unit spaced apart from each of the first chamber unit and the second chamber unit;
A conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path so that the first chamber unit, the second chamber unit, and the sorting unit are connected in-line; And
And a storage device installed in the conveyor unit for transferring and storing the test tray supported by the conveyor unit to a storage location,
The storage device transfers the test tray supported by the conveyor unit from the conveying path to a storage position spaced apart from the conveying path so as to avoid a test tray carried along the conveying path by the conveying unit when the test tray is placed in the storage position Keep it,
The storage device comprises:
A storage member provided on the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path and having a passage groove through which the test tray passes;
A rotating roller inserted in the through-hole to support a test tray positioned at an insertion position; And
Rotating the rotating roller in the first rotating direction to take out the test tray positioned at the inserting position from the storage member and rotating the rotating roller in the second rotating direction opposite to the first rotating direction, And a rotating mechanism for bringing the positioned test tray into the storage member. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛; 및
테스트 트레이를 상기 운반경로 및 상기 보관위치 간에 승강시키기 위한 승강유닛을 포함하고,
상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하되,
상기 지지유닛은 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구, 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지위치 및 상기 지지기구가 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이로부터 이격되는 해제위치 간에 상기 지지기구를 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.A storage member installed in the conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path;
A support unit installed in the storage member for supporting a test tray placed in the storage position such that the test tray is located at a storage position spaced from the transportation path; And
And a lift unit for moving the test tray between the conveyance path and the storage position,
The support unit supports a test tray located in the storage location to avoid a test tray carried along the transport path by the conveyor unit when the test tray is in the storage location,
Wherein the support unit comprises: a support mechanism for supporting the test tray positioned in the storage position; and a support position for supporting the test tray in which the support mechanism is located in the storage position, And a moving mechanism for moving the support mechanism between the release positions spaced from the release position. 제14항에 있어서,
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 보관위치로 상승시키고, 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치된 상태에서 테스트 트레이를 상기 운반경로로 하강시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.15. The method of claim 14,
The elevating unit elevates the test tray to the storage position while the support mechanism is located at the release position and lowers the test tray to the conveyance path with the support mechanism being located at the release position A test tray storage device. 제14항에 있어서,
상기 보관부재는 상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되어 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하고;
상기 이동기구는 상기 승강유닛이 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이를 지지한 상태에서, 상기 지지기구가 상기 제1테스트 트레이에 지지된 제2테스트 트레이를 지지하도록 상기 지지기구를 상기 지지위치로 이동시켜서 상기 제1테스트 트레이에 형성된 삽입홈에 삽입시키며;
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 제2테스트 트레이를 지지하면, 상기 제1테스트 트레이를 하강시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.15. The method of claim 14,
The storage member is installed on the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path, and stacks the test tray in the storage position in the vertical direction;
Wherein the moving mechanism supports the second test tray supported by the first test tray in a state in which the lift unit supports the first test tray positioned at the lowermost position among the test trays stored in the storage member The support mechanism is moved to the support position and inserted into the insertion groove formed in the first test tray;
Wherein the elevating unit descends the first test tray when the supporting mechanism is inserted into the insertion groove and supports the second test tray. 제14항에 있어서,
상기 보관부재는 상기 운반경로의 상측에 위치되게 상기 컨베이어유닛에 설치되어 상기 보관위치에서 테스트 트레이를 상하로 적층하여 보관하고;
상기 이동기구는 상기 보관부재에 보관된 테스트 트레이 중에서 최하측에 위치된 제1테스트 트레이가 상기 승강유닛에 지지된 제2테스트 트레이에 지지되면, 상기 지지기구를 상기 해제위치로 이동시키고;
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 해제위치에 위치되면, 상기 제2테스트 트레이가 상기 제1테스트 트레이를 밀어 올려서 상기 보관위치에 위치되도록 상기 제2테스트 트레이를 상승시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.15. The method of claim 14,
The storage member is installed on the conveyor unit so as to be positioned above the conveyance path, and stacks the test tray in the storage position in the vertical direction;
The moving mechanism moves the support mechanism to the release position when the first test tray positioned at the lowermost one of the test trays stored in the storage member is supported by the second test tray supported by the lift unit;
Wherein the elevation unit elevates the second test tray so that the second test tray pushes up the first test tray to be positioned at the storage position when the support mechanism is located at the release position. Device. 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
상기 승강기구가 테스트 트레이를 지지한 승강부재를 상기 이송위치에 위치시키면, 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 상기 승강부재에 지지된 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반출유닛; 및
상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 보관부재로부터 반출되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 이동시키는 반송유닛을 포함하고,
상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.A storage member installed in the conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path;
A support unit installed in the storage member for supporting a test tray placed in the storage position such that the test tray is located at a storage position spaced from the transportation path;
A lifting member for supporting the test tray;
An elevating mechanism for elevating the elevating member such that the elevating member is positioned at a conveying position between the conveying path and the storage position;
And the test tray supported by the elevating member is positioned at the insertion position where the test tray supported by the elevating member is inserted into the passage groove formed in the holding member when the elevating mechanism holds the elevating member supporting the test tray at the conveying position, A carry-out unit for moving the tray to the insertion position; And
And a transport unit for moving the test tray positioned at the insertion position so that the test tray positioned at the insertion position is transported out of the storage member,
Wherein said support unit supports a test tray located in said storage location to avoid a test tray carried along said transport path by said conveyor unit when said test tray is in said storage location. . 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
테스트 트레이를 지지하기 위한 승강부재;
상기 승강부재가 상기 운반경로와 상기 보관위치 사이의 이송위치에 위치되도록 상기 승강부재를 승강시키는 승강기구;
테스트 트레이가 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되는 삽입위치에 위치되도록 테스트 트레이를 상기 삽입위치로 이동시키는 반송유닛; 및
상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이가 상기 이송위치에 위치된 승강부재에 지지되도록 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 이송위치로 이동시키는 반입유닛을 포함하고,
상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.A storage member installed in the conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path;
A support unit installed in the storage member for supporting a test tray placed in the storage position such that the test tray is located at a storage position spaced from the transportation path;
A lifting member for supporting the test tray;
An elevating mechanism for elevating the elevating member such that the elevating member is positioned at a conveying position between the conveying path and the storage position;
A transporting unit for moving the test tray to the inserting position so that the test tray is located at the inserting position where the test tray is inserted into the through hole formed in the storage member; And
And a carry-in unit for moving the test tray positioned at the insertion position to the transfer position so that the test tray positioned at the insertion position is supported by the lift member positioned at the transfer position,
Wherein said support unit supports a test tray located in said storage location to avoid a test tray carried along said transport path by said conveyor unit when said test tray is in said storage location. . 테스트 트레이를 운반경로를 따라 운반하기 위한 컨베이어유닛에 설치되는 보관부재;
상기 보관부재에 설치되고, 테스트 트레이가 상기 운반경로로부터 이격된 보관위치에 위치되도록 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 지지유닛;
상기 보관부재에 설치되고, 상기 보관부재에 형성된 통과홈에 삽입되어 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 회전롤러; 및
상기 회전롤러를 제1회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로부터 반출시키고, 상기 회전롤러를 제1회전방향에 대해 반대되는 제2회전방향으로 회전시켜서 상기 삽입위치에 위치된 테스트 트레이를 상기 보관부재로 반입시키는 회전기구를 포함하고,
상기 지지유닛은 테스트 트레이가 상기 보관위치에 위치되면 상기 컨베이어유닛에 의해 상기 운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 보관위치에 위치된 테스트 트레이를 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 보관장치.A storage member installed in the conveyor unit for conveying the test tray along the conveyance path;
A support unit installed in the storage member for supporting a test tray placed in the storage position such that the test tray is located at a storage position spaced from the transportation path;
A rotating roller installed in the storage member and supporting a test tray inserted into the passage groove formed in the storage member and positioned at the insertion position; And
Rotating the rotating roller in the first rotating direction to take out the test tray positioned at the inserting position from the storage member and rotating the rotating roller in the second rotating direction opposite to the first rotating direction, And a rotating mechanism for bringing the positioned test tray into the storage member,
Wherein said support unit supports a test tray located in said storage location to avoid a test tray carried along said transport path by said conveyor unit when said test tray is in said storage location. .
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