KR101487278B1 - In-line Test Handler - Google Patents

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KR101487278B1
KR101487278B1 KR20130143453A KR20130143453A KR101487278B1 KR 101487278 B1 KR101487278 B1 KR 101487278B1 KR 20130143453 A KR20130143453 A KR 20130143453A KR 20130143453 A KR20130143453 A KR 20130143453A KR 101487278 B1 KR101487278 B1 KR 101487278B1
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KR
South Korea
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unit
test
tray
conveyor
test tray
Prior art date
Application number
KR20130143453A
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Korean (ko)
Inventor
김경태
유웅현
박강수
박장용
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미래산업 주식회사
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Abstract

The present invention relates to an in-line test handler comprising: a sorting unit to perform a loading process of loading a semiconductor device to be tested in a test tray and an unloading process of unloading the tested semiconductor device from the test tray; multiple chamber units which are installed to be spaced apart from the storing unit; and a conveyor unit to convey the test tray so that the chamber units can be connected to each other in-line, wherein the conveyor unit includes multiple conveyors to convey the test tray along multiple conveying routes that are vertically spaced apart from each other. According to the present invention, the in-line test handler is realized to efficiently distribute the test tray considering the time to respectively perform the loading process, the unloading process and a test process, thereby improving an equipment operation rate and reducing the time to convey the test tray.

Description

인라인 테스트 핸들러{In-line Test Handler}In-line Test Handler [

본 발명은 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하기 위한 인라인 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to an inline test handler for classifying semiconductor devices into classes according to test results.

메모리 혹은 비메모리 반도체 소자, 모듈 IC 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 공정을 수행하는 장치들을 거쳐 제조된다. 이러한 장치들 중의 하나인 테스트 핸들러는 반도체 소자가 테스트되도록 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키고, 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 공정을 수행하기 위한 장치이다. 반도체 소자는 테스트 결과 양품으로 분류됨으로써 제조가 완료된다.Memory or non-memory semiconductor devices, module ICs (hereinafter referred to as "semiconductor devices") are manufactured through devices that perform various processes. One of these devices is a device for performing a process of connecting a semiconductor device to a test equipment so that the semiconductor device is tested and classifying the tested semiconductor device into classes according to a test result. The semiconductor device is classified as a good product as a result of the test, thereby completing the manufacture.

도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a test handler according to the prior art.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 고객트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩유닛(1100), 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키는 테스트유닛(1200), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 수납시키는 언로딩유닛(1300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a test handler 1000 according to the related art includes a loading unit 1100 for storing a semiconductor device contained in a customer tray in a test tray 200, a semiconductor device accommodated in the test tray 200, And an unloading unit 1300 that classifies the tested semiconductor devices into classes according to test results and stores them in a customer tray.

상기 로딩유닛(1100)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 로딩유닛(1100)은 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커(1110), 및 테스트될 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트 트레이(200)로 이송하는 로딩픽커(1120)를 포함한다. 테스트 트레이(200)는 테스트될 반도체 소자가 수납되면, 상기 테스트유닛(1200)으로 이송된다.The loading unit 1100 performs a loading process for accommodating the tested semiconductor devices in the test tray 200. The loading unit 1100 includes a loading stacker 1110 for storing a customer tray containing semiconductor elements to be tested and a loading picker 1120 for transferring semiconductor elements to be tested from a customer tray to a test tray 200 . The test tray 200 is transferred to the test unit 1200 when the semiconductor device to be tested is accommodated.

상기 테스트유닛(1200)은 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(400)에 접속시키는 테스트공정을 수행한다. 이에 따라, 상기 테스트장비(400)는 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자에 전기적으로 연결됨으로써, 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자를 테스트한다. 반도체 소자에 대한 테스트가 완료되면, 테스트 트레이(200)는 상기 언로딩유닛(1300)으로 이송된다.The test unit 1200 performs a test process of connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray 200 to the test equipment 400. Accordingly, the test equipment 400 is electrically connected to the semiconductor devices accommodated in the test tray 200, thereby testing the semiconductor devices accommodated in the test tray 200. When the test for the semiconductor device is completed, the test tray 200 is transferred to the unloading unit 1300.

상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)로 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 상기 언로딩유닛(1300)은 테스트된 반도체 소자를 담기 위한 고객트레이를 저장하는 언로딩스택커(1310), 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(200)에서 고객트레이로 이송하는 언로딩픽커(1320)를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 고객트레이로 이송됨에 따라 테스트 트레이(200)가 비게 되면, 비어 있는 테스트 트레이(200)는 다시 상기 로딩유닛(1100)으로 이송된다.The unloading unit 1300 performs an unloading process for separating the tested semiconductor device into the test tray 200. [ The unloading unit 1300 includes an unloading stacker 1310 for storing a customer tray for storing the tested semiconductor devices and an unloading picker 1320 for transferring the tested semiconductor devices from the test tray 200 to the customer tray. ). When the test tray 200 becomes empty as the tested semiconductor element is transferred to the customer tray, the empty test tray 200 is transferred to the loading unit 1100 again.

이와 같이 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 하나의 장치 안에서 테스트 트레이(200)를 순환 이동시키면서 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 순차적으로 수행하였다. 이러한 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 다음과 같은 문제가 있다.Thus, the test handler 1000 according to the related art sequentially performs the loading process, the test process, and the unloading process while circulating the test tray 200 in one apparatus. The test handler 1000 according to the related art has the following problems.

첫째, 최근 기술 발전에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 상기 로딩유닛(1100)이 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간이 단축되고 있다. 반면, 상기 테스트장비(400)는 반도체 소자의 종류가 다양해지고, 반도체 소자의 구조가 복잡해지는 등에 따라 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정을 수행하는데 걸리는 시간이 늘어나고 있다. 이에 따라, 하나의 테스트 트레이(200)를 기준으로 테스트공정이 로딩공정에 비해 더 오랜 시간이 걸리게 되었다. 따라서, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 테스트유닛(1200)으로 곧바로 이송하지 못하고, 상기 테스트유닛(1200)에서 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)에서 대기시켜야 하므로, 작업시간이 지연되는 문제가 있다. 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하는 시간이 발생함에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간도 지연되는 문제가 있다.First, according to recent technological developments, the time taken for the loading unit 1100 to perform the loading process based on one test tray 200 is shortened. On the other hand, in the test equipment 400, it takes a long time to perform a test process based on one test tray 200 due to various kinds of semiconductor devices, a complicated structure of semiconductor devices, and the like. As a result, the testing process takes longer time than the loading process based on one test tray 200. Accordingly, the test handler 1000 according to the prior art fails to transfer the test tray 200, which has completed the loading process, to the test unit 1200, The loading unit 1100 has to wait for the operation unit 200 to be in a standby state. The test handler 1000 according to the related art performs the loading process for the next test tray 200 as the loading unit 1100 waits for the test tray 200 to wait in the loading unit 1100 There is a problem in that the time taken to perform the operation is also delayed.

둘째, 상기 로딩공정과 마찬가지로 상기 언로딩유닛(1300)이 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간 또한 단축되고 있다. 그러나, 상술한 바와 같이 테스트공정이 완료될 때까지 테스트 트레이(200)가 상기 로딩유닛(1100)에서 대기하여야 하므로, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 언로딩공정이 완료된 테스트 트레이(200)를 상기 로딩유닛(1100)으로 곧바로 이송하지 못하고, 테스트 트레이(200)를 상기 언로딩유닛(1300)에서 대기시켜야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 언로딩유닛(1100)이 다음 테스트 트레이(200)에 대해 언로딩공정을 수행할 때까지 걸리는 시간이 지연되는 문제가 있다.Second, the time required for the unloading unit 1300 to perform the unloading process is also shortened, like the loading process. However, since the test tray 200 must wait in the loading unit 1100 until the test process is completed as described above, the test handler 1000 according to the related art will not be able to test the test tray 200 having completed the unloading process, The test tray 200 can not be immediately transferred to the loading unit 1100 and the unloading unit 1300 should wait. Accordingly, the test handler 1000 according to the related art has a problem that the time taken until the unloading unit 1100 performs the unloading process for the next test tray 200 is delayed.

셋째, 종래 기술에 따른 테스트 핸들러(1000)는 상기 로딩유닛(1100), 상기 테스트유닛(1200) 및 상기 언로딩유닛(1300) 중에서 어느 하나에만 고장이 발생해도, 정상적으로 작동하는 나머지 구성 또한 작업을 수행할 수 없는 문제가 있다.Third, the test handler 1000 according to the related art can not operate normally even if a failure occurs in only one of the loading unit 1100, the test unit 1200, and the unloading unit 1300 There is a problem that can not be performed.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an inline test handler that can prevent a delay in the operation time even if there is a difference in time required for performing each of the loading process, .

본 발명은 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 적어도 하나에 고장이 발생하더라도 전체 작업시간에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 인라인 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide an inline test handler that can prevent an entire operation time from being affected even if a failure occurs in at least one of the devices performing the loading process, the test process, and the unloading process.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러는 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이에 수납시키는 로딩공정 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이로부터 분리하는 언로딩공정을 수행하기 위한 N개(N은 0보다 큰 정수)의 소팅부; 상기 소팅부로부터 이격되어 설치되고, 테스트 트레이에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키기 위한 M개(M은 N보다 큰 정수)의 챔버부; 및 N개의 소팅부 및 M개의 챔버부가 서로 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반하는 컨베이어부를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어부는 제1운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하는 제1컨베이어, 및 상기 제1운반경로로부터 수직방향으로 이격된 제2운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하는 제2컨베이어를 포함할 수 있다.The inline test handler according to the present invention includes a loading process for accommodating a semiconductor device to be tested in a test tray and a N (N is an integer greater than 0) sorting process for performing an unloading process for separating the tested semiconductor device from the test tray part; M (M is an integer greater than N) chamber portions provided to be spaced apart from the sorting portion and for connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray to the test equipment; And a conveyor portion for conveying the test tray such that the N sorting and M chamber portions are inline connected to each other. The conveyor portion may include a first conveyor for conveying the test tray along the first conveyance path and a second conveyor for conveying the test tray along the second conveyance path vertically spaced from the first conveyance path.

본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러는 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이에 수납시키는 로딩공정 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이로부터 분리하는 언로딩공정을 수행하기 위한 복수개의 소팅부; 상기 소팅부들로부터 이격되어 설치되고, 테스트 트레이에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키기 위한 복수개의 챔버부; 및 상기 소팅부들 및 상기 챔버부들이 서로 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반하는 컨베이어부를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어부는 테스트 트레이를 운반하기 위한 복수개의 컨베이어기구를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어기구들은 각각 수직방향으로 이격된 복수개의 운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하기 위한 복수개의 컨베이어를 포함할 수 있다.An inline test handler according to the present invention includes a plurality of sorting units for performing a loading process for accommodating a semiconductor device to be tested in a test tray and an unloading process for separating the tested semiconductor device from the test tray; A plurality of chamber parts spaced apart from the sorting parts and connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray to the test equipment; And a conveyor portion for conveying the test tray such that the sorting portions and the chamber portions are connected inline with each other. The conveyor portion may include a plurality of conveyor mechanisms for conveying the test tray. The conveyor mechanisms may include a plurality of conveyors for conveying the test tray along a plurality of vertically spaced conveyance paths, respectively.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 테스트 트레이를 효율적으로 분배할 수 있도록 구현됨으로써, 장비 가동률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 테스트 트레이를 운반하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.The present invention can efficiently distribute the test tray in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process, and the test process, thereby improving the equipment operation rate and reducing the time taken to transport the test tray Can be shortened.

본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간에 차이가 발생하더라도 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 소자에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.The present invention can prevent a delay in the operation time even if there is a difference in time required to perform each of the loading process, the unloading process, and the test process, thereby improving the manufacturing yield of the semiconductor device.

본 발명은 로딩공정, 언로딩공정 및 테스트공정 각각을 수행하는 장치들 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.The present invention can prevent the entire system from stopping even if a failure occurs in any one of the devices performing the loading process, the unloading process, and the testing process, thereby preventing the loss of the working time.

본 발명은 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 장치 및 테스트공정을 수행하는 장치를 배치하는 작업의 용이성과 배치의 자유도를 향상시킬 수 있고, 이에 따라 공정라인을 확장 또는 축소시키는 작업의 용이성과 이러한 작업에 소요되는 추가 비용을 절감할 수 있다.The present invention can improve the ease of placement and arrangement of the apparatus for performing the loading and unloading processes and the apparatus for performing the testing process, The additional cost of the operation can be reduced.

도 1은 종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 2는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 3은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 컨베이어기구의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 컨베이어기구의 개략적인 정면도
도 5는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 챔버부의 개략적인 평면도
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 챔버부의 실시예를 설명하기 위한 개념도
도 8은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 소팅부의 개략적인 평면도
도 9는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 소팅부의 개략적인 정면도
도 10은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 소팅부의 개략적인 블록도
도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 이송기구의 승강속도를 조절하는 작동관계를 설명하기 위한 개략적인 정면도
도 13은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 개략적인 블록도
도 14는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 경로전환부의 개략적인 사시도
도 15 및 도 16은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 승강유닛이 지지기구를 승강시키는 작동관계를 설명하기 위한 경로전환부의 개략적인 측면도
도 17 및 도 18은 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러에 있어서 경로전환부가 테스트 트레이의 운반경로를 전환하는 작동관계를 설명하기 위한 개략적인 측면도1 is a schematic top view of a test handler according to the prior art;
Figure 2 is a schematic top view of an inline test handler according to the present invention.
3 is a schematic perspective view of a conveyor mechanism in an inline test handler according to the present invention.
Figure 4 is a schematic front view of a conveyor mechanism in an inline test handler according to the present invention
Fig. 5 is a schematic plan view of a chamber part in an inline test handler according to the present invention. Fig.
6 and 7 are conceptual diagrams for explaining an embodiment of the chamber part in the inline test handler according to the present invention
8 is a schematic plan view of a sorting part in an inline test handler according to the present invention.
Figure 9 is a schematic front view of a sorting section in an inline test handler according to the present invention;
10 is a schematic block diagram of a sorting unit in an inline test handler according to the present invention
Fig. 11 and Fig. 12 are schematic front views for explaining the operating relationship for controlling the elevating speed of the conveying mechanism in the inline test handler according to the present invention
Figure 13 is a schematic block diagram of an inline test handler according to the present invention
Fig. 14 is a schematic perspective view of the path switching unit in the inline test handler according to the present invention. Fig.
15 and 16 are schematic side views of a path switching unit for explaining an operating relationship in which the lifting unit lifts and supports the support mechanism in the inline test handler according to the present invention
17 and 18 are schematic side views for explaining an operating relationship in which the path switching unit switches the conveyance path of the test tray in the inline test handler according to the present invention

이하에서는 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the inline test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 테스트 트레이(100)를 운반하기 위한 컨베이어부(2), 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(300)에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 챔버부(3), 및 상기 챔버부(3)로부터 이격되어 설치되는 소팅부(4)를 포함한다.2, the inline test handler 1 according to the present invention includes a conveyor unit 2 for conveying a test tray 100, a semiconductor device accommodated in the test tray 100, , And a sorting part (4) spaced apart from the chamber part (3).

상기 소팅부(4)는 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이(100)에 수납시키는 로딩공정 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(100)로부터 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 N개(N은 0보다 큰 정수)의 소팅부(4) 및 M개(M은 N보다 큰 정수)의 챔버부(3)를 포함한다. 즉, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)에 비해 더 많은 개수의 챔버부(3)를 포함한다.The sorting unit 4 performs a loading process for storing the semiconductor devices to be tested in the test tray 100 and an unloading process for separating the tested semiconductor devices from the test tray 100. The inline test handler 1 according to the present invention comprises N (N is an integer greater than 0) sorting part 4 and M (M is an integer greater than N) chamber part 3. That is, the inline test handler 1 according to the present invention includes a greater number of chamber parts 3 than the sorting part 4.

상기 컨베이어부(2)는 서로 이격되게 설치된 챔버부(3)와 소팅부(4) 간에 테스트 트레이(100)를 운반함으로써, 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행하는 것에 대해 상기 테스트공정이 독립적으로 수행되도록 구현된다.The conveyor portion 2 carries the loading and unloading processes by transporting the test tray 100 between the chamber portion 3 and the sorting portion 4 which are spaced apart from each other, Lt; / RTI >

따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 효율적으로 분배할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 장비 가동률을 향상시킴으로써, 반도체 소자에 대해 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.First, the inline test handler 1 according to the present invention can efficiently distribute the test tray 100 in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process and the test process. can do. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can shorten the time taken to perform the loading process, the test process, and the unloading process for the semiconductor device by improving the equipment operation rate.

둘째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 컨베이어부(2)가 서로 이격되게 설치된 소팅부(4) 및 챔버부(3) 간에 테스트 트레이(100)를 운반하므로, 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3)를 배치하는 작업의 용이성과 자유도를 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3) 간에 테스트 트레이(100)를 운반하기 위한 동선이 최소화되도록 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3)를 배치하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 하나의 테스트 트레이(100)를 기준으로 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정이 완료될 때까지 걸리는 시간을 줄임으로써, 테스트된 반도체 소자에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.Secondly, since the inline test handler 1 according to the present invention carries the test tray 100 between the sorting part 4 and the chamber part 3 in which the conveyor part 2 is spaced apart from each other, the sorting part 4 ) And the chamber part (3) can be improved. The inline test handler 1 according to the present invention is configured to allow the sorting section 4 and the chamber section 3 to minimize the copper line for carrying the test tray 100 between the sorting section 4 and the chamber section 3. [ It is possible to dispose the part 3 on the surface. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention reduces the time taken for completing the loading process, the test process, and the unloading process based on one test tray 100, Can be improved.

셋째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3) 중에서 적어도 하나가 추가되더라도, 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 운반하는 경로를 변경함으로써 용이하게 대응할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3) 중에서 적어도 하나를 추가 또는 제거하여 공정라인을 확장 또는 축소시키는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있고, 이러한 작업에 소요되는 추가 비용 또한 줄일 수 있다.Thirdly, the inline test handler 1 according to the present invention is configured such that even if at least one of the sorting unit 4 and the chamber unit 3 is added, the conveyor unit 2 can not pass the path for conveying the test tray 100 It is possible to easily cope with the change. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can improve the ease of operation of expanding or contracting the process line by adding or removing at least one of the sorting unit 4 and the chamber unit 3, The additional cost of these tasks can also be reduced.

넷째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 컨베이어부(2)가 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정에 대해 상기 테스트공정이 독립적으로 수행되도록 테스트 트레이(100)를 운반하므로, 상기 챔버부(3) 및 상기 소팅부(4) 중에서 어느 하나에 고장이 발생하더라도 정상적으로 작동하는 나머지 장치는 계속하여 작업을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 챔버부(3) 및 상기 소팅부(4) 중에서 어느 하나에 고장이 발생한 경우 전체 시스템이 정지하는 것을 방지함으로써, 작업시간이 손실되는 것을 방지할 수 있다.Fourthly, since the inline test handler 1 according to the present invention carries the test tray 100 such that the conveyor portion 2 performs the test process independently for the loading process and the unloading process, Even if a failure occurs in any one of the sorting unit 3 and the sorting unit 4, the remaining device that operates normally can continue the operation. Therefore, the in-line test handler 1 according to the present invention prevents the entire system from stopping when a failure occurs in either the chamber part 3 or the sorting part 4, can do.

다섯째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)에 비해 더 많은 개수의 챔버부(3)를 포함하도록 구현됨으로써, 하나의 테스트 트레이(100)를 기준으로 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정에 비해 상기 테스트공정에 더 오랜 시간이 걸리는 것으로 인해 작업시간이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 상기 컨베이어부(2)가 상기 챔버부(3)들 각각이 개별적으로 테스트 트레이(100)에 대한 테스트공정을 수행할 수 있도록 테스트 트레이(100)를 운반함으로써, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 복수개의 테스트 트레이(100)에 대해 동시에 테스트공정을 수행하는 것이 가능하기 때문이다.Fifth, the inline test handler 1 according to the present invention is realized to include a greater number of chamber parts 3 than the sorting part 4, It is possible to prevent the operation time from being delayed because the test process takes longer time than the unloading process. By carrying the test tray 100 so that the conveyor portion 2 can perform the test process for the test tray 100 individually for each of the chamber portions 3, the inline test handler 1 Because it is possible to perform a test process on a plurality of test trays 100 at the same time.

여섯째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 챔버부(3)에 비해 더 적은 개수의 소팅부(4)를 포함하도록 구현됨으로써, 상기 소팅부(4)의 개수를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정을 수행하기 위한 공정라인을 구성하는데 드는 장비투자비를 절감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)가 설치공간에서 차지하는 면적을 줄임으로써, 설치공간에 대한 활용도를 향상시킬 수 있다.Sixth, the inline test handler 1 according to the present invention is configured to include a smaller number of sorting portions 4 than the chamber portion 3, thereby reducing the number of the sorting portions 4. [ Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can reduce the equipment investment cost for constructing the process line for performing the loading process, the unloading process, and the test process. In addition, the inline test handler 1 according to the present invention can improve the utilization of the installation space by reducing the area occupied by the sorting unit 4 in the installation space.

일곱째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)의 개수를 줄임으로써, 상기 소팅부(4)를 유지, 관리하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3) 간에 테스트 트레이(100)를 운반하는 작업을 상기 컨베이어부(2)에 의해 자동으로 구현할 수 있으므로, 작업자에 의해 수동으로 이루어지는 작업을 없애거나 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 작업자의 수를 줄임으로써, 운영 비용을 절감할 수 있다.Seventhly, the inline test handler 1 according to the present invention can improve the easiness to maintain and manage the sorting unit 4 by reducing the number of the sorting units 4. The inline test handler 1 according to the present invention can automatically implement the operation of conveying the test tray 100 between the sorting unit 4 and the chamber unit 3 by the conveyor unit 2 , The work done manually by the operator can be eliminated or reduced. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can reduce the operating cost by reducing the number of operators.

여덟째, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3)가 별개의 장치로 구성되므로, 상기 소팅부(4) 각각에 설치되는 기구 내지 장치들의 개수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)에 대한 잼 레이트(Jam Rate)를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)에 잼이 발생함에 따라 상기 소팅부(4)가 정지하는 시간을 줄임으로써 상기 소팅부(4)에 대한 가동시간을 증대시킬 수 있다.The inline test handler 1 according to the present invention is characterized in that the sorting unit 4 and the chamber unit 3 are constituted by separate devices so that the number of mechanisms or devices installed in each of the sorting units 4 is Can be reduced. Accordingly, the in-line test handler 1 according to the present invention can reduce the jam rate of the sorting unit 4. [ Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention increases the operation time of the sorting unit 4 by reducing the time required for the sorting unit 4 to stop as the jamming occurs in the sorting unit 4, .

이하에서는 상기 컨베이어부(2), 상기 챔버부(3) 및 상기 소팅부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the conveyor unit 2, the chamber unit 3 and the sorting unit 4 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 컨베이어부(2)는 상기 소팅부(4)에서 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(100)가 상기 챔버부(3)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 수행되도록 테스트 트레이(100)를 운반한다. 상기 컨베이어부(2)는 상기 챔버부(3)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)가 상기 소팅부(4)에서 언로딩공정이 수행되도록 테스트 트레이(100)를 운반한다. 즉, 상기 컨베이어부(2)는 서로 이격되게 설치된 챔버부(3) 및 소팅부(4)를 인라인(In-line)으로 연결한다. 상기 컨베이어부(2)는 테스트 트레이(100)를 운반하기 위한 복수개의 컨베이어기구(21)를 포함한다.2 through 4, the conveyor unit 2 is installed in the sorting unit 4 such that the test tray 100 having the loading process completed is subjected to a test process through at least one of the chamber units 3 And transports the test tray 100. The conveyor unit 2 carries the test tray 100 such that the test tray 100 having undergone the testing process through at least one of the chamber units 3 performs the unloading process in the sorting unit 4 . That is, the conveyor unit 2 connects the chamber unit 3 and the sorting unit 4 installed in a spaced-apart relation in-line. The conveyor part (2) includes a plurality of conveyor mechanisms (21) for conveying the test tray (100).

상기 컨베이어기구(21)들은 서로 이격되게 설치된 챔버부(3) 및 소팅부(4)를 인라인으로 연결하기 위한 운반경로(P1)(도 4에 도시됨)를 따라 테스트 트레이(100)를 운반한다. 상기 컨베이어기구(21)들은 상기 운반경로(P1)를 따라 서로 인접하게 설치될 수 있다.The conveyor mechanisms 21 convey the test tray 100 along a conveyance path P1 (shown in FIG. 4) for in-line connection of the chamber part 3 and the sorting part 4 which are spaced apart from each other . The conveyor mechanisms 21 may be installed adjacent to each other along the conveyance path P1.

예컨대, 상기 컨베이어기구(21)들 중에서 일부는 상기 챔버부(3)들이 설치된 방향과 동일한 방향으로 서로 인접하게 설치됨으로써, 상기 소팅부(4)에서 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(100)가 상기 챔버부(3)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 수행되도록 테스트 트레이(100)를 운반할 수 있다.For example, some of the conveyor mechanisms 21 are installed adjacent to each other in the same direction as the direction in which the chamber portions 3 are installed, so that the test tray 100 in which the loading process is completed in the sorting portion 4, The test tray 100 may be transported such that the test process is performed through at least one of the first and second portions 3.

본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)가 상기 소팅부(4)를 복수개 포함하는 경우, 상기 컨베이어기구(21)들 중에서 일부는 상기 소팅부(4)들이 설치된 방향과 동일한 방향으로 서로 인접하게 설치됨으로써, 상기 챔버부(3)들 중에서 적어도 하나를 거쳐 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)가 상기 소팅부(4)들 중에서 어느 하나에서 언로딩공정이 수행되도록 테스트 트레이(100)를 운반할 수 있다.When the inline test handler 1 according to the present invention includes a plurality of sorting units 4, some of the conveying units 21 are installed adjacent to each other in the same direction as the direction in which the sorting units 4 are installed The test tray 100 in which the test process has been completed through at least one of the chamber portions 3 can carry the test tray 100 so that the unloading process is performed in any one of the sorting portions 4 have.

상기 컨베이어기구(21)들 중에서 일부는, 상기 챔버부(3)들이 설치된 방향과 동일한 방향으로 서로 인접하게 설치된 컨베이어기구(21)들 및 상기 소팅부(4)들이 설치된 방향과 동일한 방향으로 서로 인접하게 설치된 컨베이어기구(21)들 각각에 연결되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어기구(21)들은 서로 이격되게 설치된 챔버부(3) 및 소팅부(4)를 인라인으로 연결할 수 있다.Some of the conveyor mechanisms 21 are disposed adjacent to each other in the same direction as the direction in which the sorter portions 4 are installed and the conveyor mechanisms 21 provided adjacent to each other in the same direction as the direction in which the chamber portions 3 are installed And the conveyor mechanism 21 may be installed to be connected to each of the conveyor mechanisms 21 installed. Accordingly, the conveyor mechanisms 21 can connect the chamber part 3 and the sorting part 4, which are spaced apart from each other, inline.

상기 컨베이어기구(21)들은 각각 수직방향(Z축 방향)으로 서로 이격되게 설치된 제1컨베이어(211, 도 4에 도시됨) 및 제2컨베이어(212, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.The conveyor mechanisms 21 may include a first conveyor 211 (shown in FIG. 4) and a second conveyor 212 (shown in FIG. 4) spaced apart from each other in the vertical direction (Z-axis direction) .

상기 제1컨베이어(211)는 제1운반경로(P1, 도 4에 도시됨)를 따라 테스트 트레이(100)를 운반한다. 상기 제1컨베이어(211)는 상기 제2컨베이어(212)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제1컨베이어(211)는 상기 컨베이어기구(21)의 컨베이어본체(21a)에 결합됨으로써, 상기 제2컨베이어(212)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 컨베이어본체(21a)는 상기 제1컨베이어(211)가 바닥으로부터 소정 거리 이격된 높이에 위치되도록 상기 제1컨베이어(211)를 지지한다.The first conveyor 211 carries the test tray 100 along a first conveyance path P1 (shown in FIG. 4). The first conveyor 211 may be disposed above the second conveyor 212. The first conveyor 211 may be installed on the upper side of the second conveyor 212 by being coupled to the conveyor body 21a of the conveyor mechanism 21. [ The conveyor body 21a supports the first conveyor 211 so that the first conveyor 211 is located at a height spaced from the floor by a predetermined distance.

상기 제1컨베이어(211)는 테스트 트레이(100)를 지지하기 위한 제1운반벨트(211a), 상기 제1운반벨트(211a)를 순환 이동시키기 위한 복수개의 제1풀리(211b), 및 상기 제1풀리(211b)들 중에서 적어도 하나를 회전시키기 위한 제1작동기구(211c)를 포함할 수 있다.The first conveyor 211 includes a first conveyor belt 211a for supporting the test tray 100, a plurality of first pulleys 211b for circulating the first conveyor belt 211a, And a first actuating mechanism 211c for rotating at least one of the first pulleys 211b.

상기 제1운반벨트(211a)는 내측에 상기 제1풀리(211b)들이 위치되도록 상기 제1풀리(211b)들에 감겨진다. 상기 제1운반벨트(211a)는 상기 제1풀리(211b)들이 회전함에 따라 순환 이동하면서 테스트 트레이(100)를 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반할 수 있다.The first conveyor belt 211a is wound on the first pulleys 211b so that the first pulleys 211b are positioned inside. The first conveyor belt 211a can carry the test tray 100 along the first conveyance path P1 while circulatingly moving as the first pulleys 211b rotate.

상기 제1풀리(211b)들은 상기 컨베이어본체(21a)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1풀리(211b)들은 상기 제1운반경로(P1)와 동일한 방향으로 서로 소정 거리 이격되게 상기 컨베이어본체(21a)에 설치될 수 있다. 상기 제1풀리(211b)들은 상기 제1운반벨트(211a)에 지지된 테스트 트레이(100)가 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반되도록 상기 제1운반벨트(211a)를 순환 이동시킬 수 있다.The first pulleys 211b are rotatably coupled to the conveyor body 21a. The first pulleys 211b may be installed on the conveyor body 21a at a predetermined distance from each other in the same direction as the first conveyance path P1. The first pulleys 211b may circulate the first conveyor belt 211a so that the test tray 100 supported by the first conveyor belt 211a is conveyed along the first conveyance path P1 have.

상기 제1작동기구(211c)는 상기 제1풀리(211b)들 중에서 적어도 하나를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 제1풀리(211b)들은 각각의 회전축을 중심으로 회전하면서 상기 제1운반벨트(211a)를 순환 이동시킴으로써, 상기 제1운반벨트(211a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제1운반경로(P1)를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1작동기구(211c)는 상기 제1풀리(211b)들 중에서 적어도 하나를 시계방향으로 회전시킴으로써, 상기 제1운반벨트(211a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 전진 이동시킬 수 있다. 상기 제1작동기구(211c)는 상기 제1풀리(211b)들 중에서 적어도 하나를 반시계향으로 회전시킴으로써, 상기 제1운반벨트(211a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 후진 이동시킬 수 있다.The first actuating mechanism 211c rotates at least one of the first pulleys 211b. Accordingly, the first pulleys 211b circulate the first conveyor belt 211a while rotating around the respective rotation axes, thereby rotating the test tray 100 supported on the first conveyor belt 211a And can be moved along the first conveyance path P1. The first actuating mechanism 211c may move at least one of the first pulleys 211b in the clockwise direction to advance the test tray 100 supported by the first conveyor belt 211a. The first actuating mechanism 211c may move the test tray 100 supported by the first conveyor belt 211a by rotating at least one of the first pulleys 211b in the anti-clockwise direction.

상기 제1작동기구(211c)는 상기 제1풀리(211b)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터를 포함할 수 있다. 상기 제1모터는 상기 컨베이어본체(21a)에 결합된다. 상기 제1모터는 상기 제1풀리(211b)들 중에서 어느 하나의 회전축에 직접 결합됨으로써, 상기 제1풀리(211b)들을 회전시킬 수 있다. 상기 제1모터와 상기 제1풀리(211b)들 중에서 어느 하나의 회전축이 서로 소정 거리 이격된 경우, 상기 제1작동기구(211c)는 제1연결수단을 더 포함할 수 있다. 상기 제1연결수단은 벨트, 체인 등일 수 있다. 상기 제1모터는 상기 제1연결수단을 통해 상기 제1풀리(211b)들 중에서 어느 하나의 회전축에 연결될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1작동기구(211c)는 상기 제1모터를 복수개 포함할 수도 있다.The first actuating mechanism 211c may include a first motor that provides a driving force for rotating the first pulley 211b. The first motor is coupled to the conveyor body 21a. The first motor may be directly coupled to any one of the first pulleys 211b to rotate the first pulleys 211b. The first actuating mechanism 211c may further include first connecting means when any one of the first motor and the first pulleys 211b is spaced apart from each other by a predetermined distance. The first connecting means may be a belt, a chain, or the like. The first motor may be connected to one of the first pulleys 211b through the first connecting means. Although not shown, the first actuating mechanism 211c may include a plurality of the first motors.

상기 제2컨베이어(212)는 제2운반경로(P2, 도 4에 도시됨)를 따라 테스트 트레이(100)를 운반한다. 상기 제2컨베이어(212)는 상기 제1컨베이어(211)의 하측에 위치되게 설치됨으로써, 테스트 트레이(100)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반할 수 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어기구(21)는 상기 수직방향(Z축 방항)으로 이격된 복수개의 운반경로들(P1, P2)을 따라 복수개의 테스트 트레이(100)를 개별적으로 운반할 수 있다.The second conveyor 212 carries the test tray 100 along a second conveyance path P2 (shown in FIG. 4). The second conveyor 212 is installed below the first conveyor 211 to thereby convey the test tray 100 along the second conveyance path P2. Accordingly, the conveyor mechanism 21 can individually convey the plurality of test trays 100 along a plurality of conveyance paths P1 and P2 spaced apart from each other in the vertical direction (Z-axis direction).

따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 챔버부(3) 또는 상기 소팅부(4)에 공급되기 위한 제1테스트 트레이(110, 도 4에 도시됨)가 상기 제1운반경로(P1)에 대기하고 있는 경우, 상기 제2컨베이어(212)를 이용하여 제2테스트 트레이(120, 도 4에 도시됨)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제2테스트 트레이(120)가 상기 제1운반경로(P1)에서 대기하고 있는 제1테스트 트레이(110)를 회피하여 이동하도록 상기 제2테스트 트레이(120)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제1컨베이어(211)에서 대기하고 있는 테스트 트레이(100)로 인해 다른 테스트 트레이(100)에 대한 운반작업이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 더 효율적으로 분배할 수 있도록 구현됨으로써, 장비 가동률을 더 향상시킬 수 있다.The inline test handler 1 according to the present invention thus has a first test tray 110 (shown in FIG. 4) for feeding to the chamber part 3 or the sorting part 4, P1), the second conveyor 212 can be used to convey the second test tray 120 (shown in FIG. 4) along the second conveyance path P2. That is, the in-line test handler 1 according to the present invention is configured such that the second test tray 120 avoids the first test tray 110 waiting in the first conveyance path P1, The tray 120 can be transported along the second transportation path P2. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention can prevent the delay of the transport operation for the other test trays 100 due to the test tray 100 waiting in the first conveyor 211 . Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can improve the efficiency of the test tray 100 in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process and the test process. It is possible to improve the equipment operation rate by implementing it so that it can be distributed.

상기 제2컨베이어(212)는 상기 컨베이어기구(21)의 컨베이어본체(21a)에 결합됨으로써, 상기 제1컨베이어(211)의 하측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 컨베이어본체(21a)는 상기 제2컨베이어(212)가 상기 제1컨베이어(211)와 바닥 사이에 위치되도록 상기 제2컨베이어(212)를 지지한다.The second conveyor 212 may be installed on the lower side of the first conveyor 211 by being coupled to the conveyor body 21a of the conveyor mechanism 21. [ The conveyor body 21a supports the second conveyor 212 such that the second conveyor 212 is positioned between the first conveyor 211 and the bottom.

상기 제2컨베이어(212)는 상기 제1컨베이어(211)가 테스트 트레이(100)를 운반하는 방향에 대해 반대되는 방향으로 테스트 트레이(100)를 운반할 수 있다. 예컨대, 상기 제1컨베이어(211)는 테스트 트레이(100)를 제1방향(A 화살표 방향, 도 3에 도시됨)으로 운반할 수 있고, 상기 제2컨베이어(211)는 테스트 트레이(100)를 제2방향(B 화살표 방향, 도 3에 도시됨)으로 운반할 수 있다. 상기 제2방향(B 화살표 방향)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향이다. 이에 따라, 상기 컨베이어부(2)는 상기 제1운반경로(P1)를 따라 배치되는 제1컨베이어(211)들이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 운반되는 테스트 트레이(100)를 전담하여 운반하고, 상기 제2운반경로(P2)를 따라 배치되는 제2컨베이어(212)들이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 운반되는 테스트 트레이(100)를 전담하여 운반하도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 운반되는 테스트 트레이(100) 및 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 운반되는 테스트 트레이(100)가 서로 간섭되는 것을 방지함으로써, 테스트 트레이(100)들이 서로 충돌함에 따라 손실이 발생하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 테스트 트레이(100)를 운반하는 작업에 대한 효율을 향상시킬 수 있다.The second conveyor 212 may transport the test tray 100 in a direction opposite to the direction in which the first conveyor 211 conveys the test tray 100. For example, the first conveyor 211 can convey the test tray 100 in a first direction (arrow A direction, shown in FIG. 3), and the second conveyor 211 can convey the test tray 100 Can be carried in a second direction (arrow B direction, as shown in Fig. 3). The second direction (arrow B direction) is opposite to the first direction (arrow A direction). Accordingly, the conveyor unit 2 exclusively carries the test tray 100 in which the first conveyors 211 disposed along the first conveyance path P1 are conveyed in the first direction (the direction of the arrow A) And the second conveyors 212 disposed along the second conveyance path P2 carry the test tray 100 carried in the second direction (direction of arrow B) exclusively. Therefore, the inline test handler 100 according to the present invention is configured such that the test tray 100 carried in the first direction (the arrow A direction) and the test tray 100 carried in the second direction (the arrow B direction) By preventing the test trays 100 from being interfered with each other, it is possible to prevent a loss from occurring as the test trays 100 collide with each other, as well as to improve efficiency in the operation of transporting the test tray 100.

상기 제2컨베이어(212)는 상기 챔버부(3)를 거쳐 상기 소팅부(4)로 공급될 테스트 트레이(100)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반할 수 있다. 이 경우, 상기 제1컨베이어(211)는 상기 챔버부(3)에 공급된 테스트 트레이(100)를 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반할 수 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어부(2)는 상기 제1운반경로(P1)를 따라 배치되는 제1컨베이어(211)들이 상기 챔버부(3)에 공급된 테스트 트레이(100)를 전담하여 운반하고, 상기 제2운반경로(P2)를 따라 배치되는 제2컨베이어(212)들이 상기 챔버부(3)를 거쳐 상기 소팅부(4)로 공급될 테스트 트레이(100)를 전담하여 운반하도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(100)는 상기 챔버부(3)를 거쳐 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 소팅부(4)로 운반하는데 걸리는 시간을 단축함으로써, 테스트 완료된 반도체 소자를 등급별로 분류하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.The second conveyor 212 may transport the test tray 100 to be supplied to the sorting unit 4 through the chamber unit 3 along the second conveyance path P2. In this case, the first conveyor 211 can transport the test tray 100 supplied to the chamber part 3 along the first conveyance path P1. Accordingly, the conveyor part 2 carries the test tray 100, which is supplied to the chamber part 3, exclusively by the first conveyors 211 arranged along the first conveyance path P1, The second conveyors 212 disposed along the second conveyance path P2 may be designed to carry the test tray 100 to be supplied to the sorting section 4 exclusively through the chamber section 3. [ Accordingly, the inline test handler 100 according to the present invention shortens the time taken to transport the test tray 100, which has been tested through the chamber part 3, to the sorting part 4, It is possible to shorten the time required for classifying the data into classes.

상기 제2컨베이어(212)는 테스트 트레이(100)를 지지하기 위한 제2운반벨트(212a), 상기 제2운반벨트(212a)를 순환 이동시키기 위한 복수개의 제2풀리(212b), 및 상기 제2풀리(212b)들 중에서 적어도 하나를 회전시키기 위한 제2작동기구(212c)를 포함할 수 있다.The second conveyor 212 includes a second conveyor belt 212a for supporting the test tray 100, a plurality of second pulleys 212b for circulating the second conveyor belt 212a, And a second actuating mechanism 212c for rotating at least one of the two pulleys 212b.

상기 제2운반벨트(212a)는 내측에 상기 제2풀리(212b)들이 위치되도록 상기 제2풀리(212b)들에 감겨진다. 상기 제2운반벨트(212a)는 상기 제2풀리(212b)들이 회전함에 따라 순환 이동하면서 테스트 트레이(100)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반할 수 있다. 상기 제2운반벨트(212a)는 상기 제1운반벨트(211a)의 하측에 위치되게 설치된다.The second conveyor belt 212a is wound on the second pulleys 212b so that the second pulleys 212b are located inside. The second conveyor belt 212a can carry the test tray 100 along the second conveyance path P2 while circulating the second pulleys 212b as they rotate. The second conveyor belt 212a is installed below the first conveyor belt 211a.

상기 제2풀리(212b)들은 상기 컨베이어본체(21a)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2풀리(212b)들은 상기 제2운반경로(P2)와 동일한 방향으로 서로 소정 거리 이격되게 상기 컨베이어본체(21a)에 설치될 수 있다. 상기 제2풀리들(212b)들은 상기 제2운반벨트(212a)에 지지된 테스트 트레이(100)가 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반되도록 상기 제2운반벨트(212a)를 순환 이동시킬 수 있다. 상기 제2풀리들(212b)들은 상기 제2운반벨트(212a)가 상기 제1운반벨트(211a)의 하측에 위치되도록 상기 제1풀리들(211b)의 하측에 위치되게 상기 컨베이어본체(21a)에 결합된다.The second pulleys 212b are rotatably coupled to the conveyor body 21a. The second pulleys 212b may be installed on the conveyor body 21a at a predetermined distance from each other in the same direction as the second conveyance path P2. The second pulleys 212b may circulate the second conveyor belt 212a so that the test tray 100 supported by the second conveyor belt 212a is conveyed along the second conveyance path P2 . The second pulleys 212b are positioned on the lower side of the first pulleys 211b such that the second conveyor belt 212a is positioned below the first conveyor belt 211a, Lt; / RTI >

상기 제2작동기구(212c)는 상기 제2풀리(212b)들 중에서 적어도 하나를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 제2풀리(212b)들은 각각의 회전축을 중심으로 회전하면서 상기 제2운반벨트(212a)를 순환 이동시킴으로써, 상기 제2운반벨트(212a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제2운반경로(P2)를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제2작동기구(212c)는 상기 제2풀리(212b)들 중에서 적어도 하나를 시계방향으로 회전시킴으로써, 상기 제2운반벨트(212a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 전진 이동시킬 수 있다. 상기 제2작동기구(212c)는 상기 제2풀리(212b)들 중에서 적어도 하나를 반시계향으로 회전시킴으로써, 상기 제2운반벨트(212a)에 지지된 테스트 트레이(100)를 후진 이동시킬 수 있다.The second actuating mechanism 212c rotates at least one of the second pulleys 212b. Accordingly, the second pulleys 212b circulate the second conveyor belt 212a while rotating around the respective rotation axes, thereby rotating the test tray 100 supported on the second conveyor belt 212a And can be moved along the second conveyance path P2. The second actuating mechanism 212c may move at least one of the second pulleys 212b clockwise to advance the test tray 100 supported by the second conveyor belt 212a. The second actuating mechanism 212c can move backward the test tray 100 supported by the second conveyor belt 212a by rotating at least one of the second pulleys 212b in the anti-clockwise direction.

상기 제2작동기구(212c) 및 상기 제1작동기구(211c)는 각각 테스트 트레이(100)를 동일한 방향으로 운반할 수도 있고, 서로 반대되는 방향으로 운반할 수도 있다. 이에 따라, 상기 컨베이어기구(21)는 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이격된 복수개의 운반경로들(P1, P2)을 따라 복수개의 테스트 트레이(100)를 개별적으로 운반할 수 있다.The second actuating mechanism 212c and the first actuating mechanism 211c may carry the test tray 100 in the same direction or in opposite directions, respectively. Accordingly, the conveyor mechanism 21 can individually convey a plurality of test trays 100 along a plurality of conveyance paths P1 and P2 spaced apart in the vertical direction (Z-axis direction).

상기 제2작동기구(212c)는 상기 제2풀리(212b)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터를 포함할 수 있다. 상기 제2모터는 상기 컨베이어본체(21a)에 결합된다. 상기 제2모터는 상기 제2풀리(212b)들 중에서 어느 하나의 회전축에 직접 결합됨으로써, 상기 제2풀리(212b)들을 회전시킬 수 있다. 상기 제2모터와 상기 제2풀리(212b)들 중에서 어느 하나의 회전축이 서로 소정 거리 이격된 경우, 상기 제2작동기구(212c)는 제2연결수단을 더 포함할 수 있다. 상기 제2연결수단은 벨트, 체인 등일 수 있다. 상기 제2모터는 상기 제2연결수단을 통해 상기 제2풀리(212b)들 중에서 어느 하나의 회전축에 연결될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2작동기구(212c)는 상기 제2모터를 복수개 포함할 수도 있다.The second actuating mechanism 212c may include a second motor that provides a driving force for rotating the second pulley 212b. The second motor is coupled to the conveyor body 21a. The second motor may be directly coupled to any one of the second pulleys 212b to rotate the second pulleys 212b. If the rotary shaft of the second motor and the second pulleys 212b are spaced apart from each other by a predetermined distance, the second actuating mechanism 212c may further include a second connecting unit. The second connecting means may be a belt, a chain, or the like. The second motor may be connected to one of the second pulleys 212b through the second connecting means. Although not shown, the second actuating mechanism 212c may include a plurality of the second motors.

도 4에는 상기 컨베이어기구(21)가 2개의 컨베이어들(211, 212)를 구비하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 컨베이어기구(21)는 상기 수직방향(Z축 방향)으로 서로 이격된 3개 이상의 컨베이어를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 컨베이어부(2)는 상기 수직방향(Z축 방향)으로 서로 이격된 3개 이상의 운반경로를 따라 테스트 트레이(100)를 운반할 수 있다.4, the conveyor mechanism 21 is shown to include two conveyors 211 and 212, but the present invention is not limited thereto. The conveyor mechanism 21 may be configured to be spaced apart from each other in the vertical direction (Z-axis direction) But may include three or more conveyors. In this case, the conveyor portion 2 can convey the test tray 100 along three or more conveyance paths spaced apart from each other in the vertical direction (Z-axis direction).

도 2, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 챔버부(3)는 상기 테스트공정을 수행한다. 상기 챔버부(3)는 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자를 테스트장비(300, 도 5에 도시됨)에 접속시킴으로써, 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트장비(300)는 반도체 소자가 접속됨에 따라 반도체 소자와 전기적으로 연결되면, 반도체 소자를 테스트한다. 테스트 트레이(100)는 복수개의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 이 경우, 상기 챔버부(3)는 복수개의 반도체 소자를 상기 테스트장비(300)에 접속시킬 수 있다. 상기 테스트장비(300)는 복수개의 반도체 소자를 테스트할 수 있다. 상기 테스트장비(300)는 하이픽스보드(Hi-Fix Board)를 포함할 수 있다.2, 5 to 7, the chamber part 3 performs the test process. The chamber part 3 may perform the test process by connecting the semiconductor device accommodated in the test tray 100 to the test equipment 300 (shown in FIG. 5). The test equipment 300 tests the semiconductor device when the semiconductor device is electrically connected to the semiconductor device as it is connected. The test tray 100 can accommodate a plurality of semiconductor elements. In this case, the chamber 3 may connect a plurality of semiconductor devices to the test equipment 300. The test equipment 300 may test a plurality of semiconductor devices. The test equipment 300 may include a Hi-Fix Board.

상기 챔버부(3)는 상기 테스트공정이 이루어지는 제1챔버(31, 도 5에 도시됨)를 포함한다. 상기 제1챔버(31)에는 상기 테스트장비(300)가 설치된다. 상기 테스트장비(300)는 일부 또는 전부가 상기 제1챔버(31) 내부에 삽입되게 설치된다. 상기 테스트장비(300)는 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들이 접속되는 테스트소켓들(미도시)을 포함한다. 상기 테스트장비(300)는 상기 테스트 트레이(100)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 테스트소켓들을 포함할 수 있다. 예컨대, 테스트 트레이(100)는 64개, 128개, 256개, 512개 등의 반도체 소자들을 수납할 수 있다. 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들이 상기 테스트소켓들에 접속되면, 상기 테스트장비(300)는 상기 테스트소켓들에 접속된 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 상기 제1챔버(31)는 상기 테스트장비(300)가 삽입되는 부분이 개방되게 형성된 직방체 형태로 형성될 수 있다.The chamber portion 3 includes a first chamber 31 (shown in FIG. 5) in which the test process is performed. The test chamber 300 is installed in the first chamber 31. The test equipment 300 is partially or wholly inserted into the first chamber 31. The test equipment 300 includes test sockets (not shown) to which the semiconductor devices housed in the test tray 100 are connected. The test equipment 300 may include a number of test sockets that approximately match the number of semiconductor devices housed in the test tray 100. For example, the test tray 100 can accommodate 64, 128, 256, 512, etc. semiconductor elements. When the semiconductor devices housed in the test tray 100 are connected to the test sockets, the test equipment 300 can test the semiconductor devices connected to the test sockets. The first chamber 31 may be formed in a rectangular parallelepiped shape in which a portion into which the test equipment 300 is inserted is opened.

상기 챔버부(3)는 테스트 트레이(100)를 상기 테스트장비(300)에 접속시키기 위한 콘택유닛(32, 도 5에 도시됨)을 포함한다. 상기 콘택유닛(32)은 상기 제1챔버(31)에 설치된다. 상기 콘택유닛(32)은 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)에 접속시킨다. 상기 콘택유닛(32)은 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(32)이 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)에 가까워지는 방향으로 이동시키면, 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들은 상기 테스트장비(300)에 접속된다. 이에 따라, 상기 테스트장비(300)는 반도체 소자들을 테스트할 수 있다. 반도체 소자들에 대한 테스트가 완료되면, 상기 콘택유닛(32)은 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. The chamber portion 3 includes a contact unit 32 (shown in FIG. 5) for connecting the test tray 100 to the test equipment 300. The contact unit 32 is installed in the first chamber 31. The contact unit 32 connects the semiconductor devices accommodated in the test tray 100 to the test equipment 300. The contact unit 32 may move the semiconductor devices accommodated in the test tray 100 toward or away from the test equipment 300. The semiconductor devices housed in the test tray 100 are moved to the test equipment 300 by moving the semiconductor devices accommodated in the test tray 100 in a direction in which the contact unit 32 approaches the test equipment 300 Respectively. Accordingly, the test equipment 300 can test semiconductor devices. The contact unit 32 may move the semiconductor devices housed in the test tray 100 in a direction away from the test equipment 300. [

테스트 트레이(100)에는 반도체 소자들을 수납하기 위한 캐리어모듈들이 설치된다. 상기 캐리어모듈들은 각각 적어도 하나 이상의 반도체 소자를 수납할 수 있다. 상기 캐리어모듈들은 각각 스프링(미도시)들에 의해 테스트 트레이(100)에 탄성적으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 콘택유닛(32)이 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)에 가까워지는 방향으로 밀면, 상기 캐리어모듈들이 상기 테스트장비(300)에 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(32)이 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들을 밀던 힘을 제거하면, 상기 캐리어모듈들은 스프링이 갖는 복원력에 의해 상기 테스트장비(300)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 콘택유닛(32)이 상기 캐리어모듈들과 반도체 소자들을 이동시키는 과정에서, 테스트 트레이(100)가 함께 이동할 수도 있다.The test tray 100 is provided with carrier modules for accommodating semiconductor elements. The carrier modules may each contain at least one semiconductor element. The carrier modules are resiliently and movably coupled to the test tray 100 by springs (not shown), respectively. When the contact unit 32 pushes the semiconductor devices housed in the test tray 100 toward the test equipment 300, the carrier units can move toward the test equipment 300. When the contact unit 32 removes the pushing force of the semiconductor devices housed in the test tray 100, the carrier modules can move away from the test equipment 300 due to the restoring force of the springs. In the process of moving the carrier modules and the semiconductor elements by the contact unit 32, the test tray 100 may move together.

도시되지 않았지만, 상기 콘택유닛(32)은 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되기 위한 복수개의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택소켓들은 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자들에 접촉되어 반도체 소자들을 이동시킴으로써, 반도체 소자들을 상기 테스트장비(300)에 접속시킬 수 있다. 상기 콘택유닛(32)은 테스트 트레이(100)에 수납되는 반도체 소자들의 개수와 대략 일치하는 개수의 콘택소켓을 포함할 수 있다. 상기 콘택유닛(32)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등에 의해 이동될 수 있다.Although not shown, the contact unit 32 may include a plurality of contact sockets for contacting the semiconductor devices housed in the test tray 100. The contact sockets may contact the semiconductor devices housed in the test tray 100 to move the semiconductor devices, thereby connecting the semiconductor devices to the test equipment 300. The contact unit 32 may include a number of contact sockets that approximately correspond to the number of semiconductor elements received in the test tray 100. The contact unit 32 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, Method, a linear motor using a coil and a permanent magnet, or the like.

도 2, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 챔버부(3)는 상기 테스트장비(300, 도 5에 도시됨)가 상온의 환경에서 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 환경에서도 반도체 소자를 테스트할 수 있도록, 제2챔버(33) 및 제3챔버(34)를 더 포함한다.Referring to FIGS. 2 and 5 to 7, the chamber 3 may be used to test the semiconductor device in the test equipment 300 (shown in FIG. 5) not only in a normal temperature environment but also in a high temperature or low temperature environment The second chamber 33, and the third chamber 34, respectively.

상기 제2챔버(33)는 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자를 제1온도로 조절한다. 상기 제2챔버(33)에 위치된 테스트 트레이(100)는 상기 소팅부(4)에 의해 테스트될 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 컨베이어부(2, 도 2에 도시됨)에 의해 상기 챔버부(3) 쪽으로 운반된 후에 상기 제2챔버(33)로 이송된 것이다. 상기 제1온도는 테스트될 반도체 소자가 상기 테스트장비(300)에 의해 테스트될 때, 테스트될 반도체 소자들이 갖는 온도 범위이다. 상기 제2챔버(33)는 테스트될 반도체 소자를 상기 제1온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트될 반도체 소자가 상기 제1온도로 조절되면, 테스트 트레이(100)는 상기 제2챔버(33)에서 상기 제1챔버(31)로 이송된다.The second chamber 33 regulates the semiconductor elements accommodated in the test tray 100 to a first temperature. The test tray 100 placed in the second chamber 33 is a chamber in which the semiconductor device to be tested is accommodated by the sorting unit 4 and is conveyed by the conveyor unit 2 (3) and then transferred to the second chamber (33). The first temperature is the temperature range of the semiconductor devices to be tested when the semiconductor device to be tested is tested by the test equipment 300. The second chamber 33 includes at least one of an electrothermal heater and a liquefied nitrogen injection system to adjust the semiconductor device to be tested to the first temperature. When the semiconductor device to be tested is adjusted to the first temperature, the test tray 100 is transferred from the second chamber 33 to the first chamber 31.

상기 제3챔버(34)는 테스트 트레이(100)에 수납된 반도체 소자를 제2온도로 조절한다. 상기 제3챔버(34)에 위치된 테스트 트레이(100)는 상기 테스트공정을 거쳐 테스트된 반도체 소자가 수납된 것으로, 상기 제1챔버(31)로부터 이송된 것이다. 상기 제2온도는 상온 또는 이에 근접한 온도를 포함하는 온도 범위이다. 상기 제3챔버(34)는 테스트된 반도체 소자를 상기 제2온도로 조절할 수 있도록 전열히터와 액화질소분사시스템 중에서 적어도 하나를 포함한다. 테스트된 반도체 소자가 상기 제2온도로 조절되면, 테스트 트레이(100)는 상기 컨베이어부(2)로 이송된다.The third chamber 34 regulates the semiconductor devices accommodated in the test tray 100 to a second temperature. The test tray 100 located in the third chamber 34 is a semiconductor wafer in which the semiconductor devices tested through the test process are accommodated and transferred from the first chamber 31. The second temperature is a temperature range including room temperature or a temperature close thereto. The third chamber 34 includes at least one of an electrothermal heater and a liquefied nitrogen injection system to adjust the tested semiconductor device to the second temperature. When the tested semiconductor element is adjusted to the second temperature, the test tray 100 is conveyed to the conveyor part 2.

도시되지 않았지만, 상기 챔버부(3)는 테스트 트레이(100)를 이송하기 위한 이송수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트 트레이(100)를 밀거나 테스트 트레이(100)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 상기 제2챔버(33)에서 상기 제1챔버(31)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 상기 제1챔버(31)에서 상기 제3챔버(34)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(100)를 이송할 수 있다.Although not shown, the chamber part 3 may include transfer means (not shown) for transferring the test tray 100. The conveying means can push the test tray 100 or pull the test tray 100 to convey it. The transfer means may transfer the test tray 100 containing the semiconductor device to be tested from the second chamber 33 to the first chamber 31. The transfer means may transfer the test tray 100 containing the tested semiconductor devices from the first chamber 31 to the third chamber 34. The conveying means may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley and a belt, And a linear motor using a permanent magnet or the like can be used to transfer the test tray 100.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 챔버부(3)는 상기 제2챔버(33), 상기 제1챔버(31), 및 상기 제3챔버(34)가 수평방향으로 나란하게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 챔버부(3)는 복수개의 제1챔버(31)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(31)들은 복수개가 상하로 적층 설치될 수 있다.As shown in FIG. 6, the second chamber 33, the first chamber 31, and the third chamber 34 may be arranged in parallel in the horizontal direction. In this case, the chamber part 3 may include a plurality of first chambers 31. A plurality of the first chambers 31 may be vertically stacked.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 챔버부(3)는 상기 제2챔버(33), 상기 제1챔버(31), 및 상기 제3챔버(34)가 수직방향으로 적층 설치될 수도 있다. 즉, 상기 제2챔버(33), 상기 제1챔버(31), 및 상기 제3챔버(34)는 상하로 적층 설치될 수 있다. 상기 제2챔버(33)는 상기 제1챔버(31)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제3챔버(34)는 상기 제1챔버(31)의 하측에 위치되게 설치될 수 있다.7, the second chamber 33, the first chamber 31, and the third chamber 34 may be vertically stacked on the chamber 3. That is, the second chamber 33, the first chamber 31, and the third chamber 34 may be stacked vertically. The second chamber 33 may be disposed above the first chamber 31. The third chamber 34 may be disposed below the first chamber 31.

도 2, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 챔버부(3)는 테스트 트레이(100)를 수평상태와 수직상태 간에 회전시키기 위한 로테이터(35, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.2, 5 to 7, the chamber part 3 may include a rotator 35 (shown in FIG. 6) for rotating the test tray 100 between a horizontal state and a vertical state.

상기 로테이터(35)는 상기 챔버부(3)에 설치된다. 상기 로테이터(35)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 수평상태에서 수직상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1챔버(31)는 수직상태로 세워진 테스트 트레이(100)에 대해 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 소팅부(4)는 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(100)에 대해 상기 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 로테이터(35)는 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 수직상태에서 수평상태로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 소팅부(4)는 수평상태로 눕혀진 테스트 트레이(100)에 대해 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.The rotator (35) is installed in the chamber part (3). The rotator 35 may rotate the test tray 100 in which the semiconductor device to be tested is housed from a horizontal state to a vertical state. Accordingly, the first chamber 31 may perform the test process for the test tray 100, which is vertically erected. Also, the sorting unit 4 may perform the loading process on the test tray 100 that is laid in a horizontal state. The rotator 35 can rotate the test tray 100 in which the tested semiconductor elements are housed from a vertical state to a horizontal state. Accordingly, the sorting unit 4 can perform the unloading process on the test tray 100 that is laid in a horizontal state.

상기 챔버부(3)는 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 하나의 로테이터(35)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로테이터(35)는 상기 제2챔버(33)와 상기 제3챔버(34) 사이에 설치될 수 있다. 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)는 상기 로테이터(35)에 의해 수직상태가 되도록 회전된 후에, 상기 이송수단에 의해 상기 로테이터(35)에서 상기 제2챔버(33)로 이송될 수 있다. 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)는 상기 이송수단에 의해 상기 제3챔버(34)에서 상기 로테이터(35)로 이송된 후에, 상기 로테이터(35)에 의해 수평상태가 되도록 회전될 수 있다.The chamber part 3 may include one rotator 35, as shown in FIGS. 6 and 7. In this case, the rotator 35 may be installed between the second chamber 33 and the third chamber 34. The test tray 100 in which the semiconductor device to be tested is accommodated can be transferred from the rotator 35 to the second chamber 33 by the conveying means after being rotated by the rotator 35 to be in a vertical state have. The test tray 100 in which the tested semiconductor elements are accommodated is conveyed from the third chamber 34 to the rotator 35 by the conveying means and then rotated by the rotator 35 to be horizontal have.

도시되지 않았지만, 상기 챔버부(3)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 회전시키기 위한 제1로테이터 및 테스트된 반도체 소자가 수납된 테스트 트레이(100)를 회전시키기 위한 제2로테이터를 포함할 수도 있다. 상기 제1로테이터는 상기 제2챔버(33) 내부 또는 상기 제2챔버(33) 외부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2로테이터는 상기 제3챔버(34) 내부 또는 상기 제3챔버(34) 외부에 위치되게 설치될 수 있다.Although not shown, the chamber part 3 includes a first rotator for rotating the test tray 100 in which semiconductor elements to be tested are housed, and a second rotator for rotating the test tray 100 in which the tested semiconductor elements are housed, . ≪ / RTI > The first rotator may be installed inside the second chamber 33 or outside the second chamber 33. The second rotator may be installed inside the third chamber 34 or outside the third chamber 34.

도시되지 않았지만, 상기 챔버부(3)는 상기 로테이터(35) 없이 수평상태의 테스트 트레이(100)에 대해 테스트공정을 수행할 수도 있다. 이 경우, 테스트 트레이(100)는 수평상태로 상기 제2챔버(33), 상기 제1챔버(31) 및 상기 제3챔버(34) 간에 이송되면서 상기 테스트공정이 수행될 수 있다.Although not shown, the chamber part 3 may perform a test process on the test tray 100 in a horizontal state without the rotator 35. In this case, the test process may be performed while the test tray 100 is transferred between the second chamber 33, the first chamber 31, and the third chamber 34 in a horizontal state.

도 2 및 도 5를 참고하면, 상기 이송수단은 상기 컨베이어부(2)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 챔버부(3)으로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 컨베이어부(2)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제1챔버(31)로 이송할 수 있다. 상기 챔버부(3)가 상기 제2챔버(33)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 컨베이어부(2)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제2챔버(33)를 경유하여 상기 제1챔버(31)로 이송할 수 있다.2 and 5, the conveying unit may convey the test tray 100 supported by the conveyor unit 2 to the chamber unit 3. [ The conveying unit may convey the test tray 100 supported by the conveyor unit 2 to the first chamber 31. When the chamber part 3 includes the second chamber 33, the conveying unit conveys the test tray 100 supported by the conveyor part 2 to the second chamber 33 via the second chamber 33, 1 chamber 31. In this way,

상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 컨베이어부(2)로 이송할 수 있다. 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 제1챔버(31)에서 상기 컨베이어부(2)로 이송할 수 있다. 상기 챔버부(3)가 상기 제3챔버(34)를 포함하는 경우, 상기 이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 제1챔버(31)에서 상기 제3챔버(34)를 경유하여 상기 컨베이어부(2)로 이송할 수 있다.The conveying unit may convey the test tray 100 to the conveyor unit 2 after the test process is completed. The conveying means may convey the test tray 100 from which the test process has been completed to the conveyor portion 2 from the first chamber 31. When the chamber part 3 includes the third chamber 34, the conveying means conveys the test tray 100 in which the test process is completed from the first chamber 31 to the third chamber 34 To the conveyor part (2).

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 소팅부(4)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정을 수행한다. 상기 소팅부(4)는 상기 챔버부(3)들로부터 이격되게 설치된다. 상기 소팅부(4)는 상기 컨베이어부(2)를 통해 상기 챔버부(3)들에 인라인으로 연결된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4) 및 상기 챔버부(3)들이 서로 이격되게 배치되더라도, 상기 컨베이어부(2)를 통해 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 소팅부(4)에서 상기 챔버부(3)로 운반할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 챔버부(3)에서 상기 소팅부(4)로 운반할 수 있다.2 to 12, the sorting unit 4 performs the loading process and the unloading process. The sorting part 4 is installed to be spaced apart from the chamber parts 3. The sorting part 4 is connected in-line to the chamber parts 3 through the conveyor part 2. [ The inline test handler 1 according to the present invention can be applied to the test tray 4 having the loading process completed through the conveyor unit 2 even if the sorting unit 4 and the chamber units 3 are disposed apart from each other 100 to the chamber part 3 from the sorting part 4. The inline test handler 1 according to the present invention can transport the test tray 100 from the chamber part 3 to the sorting part 4 after the test process is completed.

상기 소팅부(4)는 고객트레이(500)를 저장하기 위한 스택커유닛(41, 도 9에 도시됨), 상기 고객트레이(500)를 이송하기 위한 이송유닛(42, 도 9에 도시됨), 및 상기 이송유닛(42)이 승강하는 승강속도를 조절하기 위한 조절유닛(43, 도 10에 도시됨)을 포함한다.The sorting unit 4 includes a stacker unit 41 (shown in FIG. 9) for storing the customer tray 500, a transfer unit 42 (shown in FIG. 9) for transferring the customer tray 500, And an adjustment unit 43 (shown in Fig. 10) for adjusting the lift-up speed at which the transfer unit 42 ascends and descends.

상기 스택커유닛(41)은 테스트될 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 저장할 수 있다. 테스트될 반도체 소자들은, 상기 소팅부(4)에 의해 상기 고객트레이(500)에서 상기 테스트 트레이(100)로 옮겨진 후에, 상기 테스트 트레이(100)에 수납된 상태로 상기 컨베이어부(2)를 통해 상기 챔버부(3)로 운반된다. 상기 스택커유닛(41)은 테스트된 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 저장할 수 있다. 테스트된 반도체 소자들은 상기 테스트 트레이(100)에 수납된 상태로 상기 컨베이어부(2)를 통해 상기 챔버부(3)에서 상기 소팅부(4)로 운반된 후에, 상기 소팅부(4)에 의해 상기 테스트 트레이(100)에서 상기 고객트레이(500)로 옮겨진다.The stacker unit 41 may store a customer tray 500 containing semiconductor elements to be tested. The semiconductor devices to be tested are transferred from the customer tray 500 to the test tray 100 by the sorting unit 4 and then stored in the test tray 100 through the conveyor unit 2 And is transported to the chamber part (3). The stacker unit 41 may store a customer tray 500 containing the tested semiconductor elements. The tested semiconductor devices are transported from the chamber part 3 to the sorting part 4 through the conveyor part 2 in a state of being accommodated in the test tray 100 and then transferred to the sorting part 4 by the sorting part 4 And transferred from the test tray 100 to the customer tray 500.

상기 스택커유닛(41)은 테스트될 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 저장하는 로딩스택커(411)를 포함할 수 있다. 상기 로딩스택커(411)는 테스트될 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 상하로 적층하여 저장할 수 있다. 상기 스택커유닛(41)은 상기 로딩스택커(411)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩스택커(411)들은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다.The stacker unit 41 may include a loading stacker 411 for storing a customer tray 500 containing semiconductor elements to be tested. The loading stacker 411 may stack the customer tray 500 containing the semiconductor elements to be tested up and down. The stacker unit 41 may include a plurality of the loading stackers 411. In this case, the loading stackers 411 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

상기 스택커유닛(41)은 테스트된 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 저장하는 언로딩스택커(412)를 포함할 수 있다. 상기 언로딩스택커(412)는 테스트된 반도체 소자들이 담겨진 고객트레이(500)를 상하로 적층하여 저장할 수 있다. 상기 언로딩스택커(412)는 상기 로딩스택커(411)로부터 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 스택커유닛(41)은 상기 언로딩스택커(412)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 언로딩스택커(412)들은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다.The stacker unit 41 may include an unloading stacker 412 for storing the customer tray 500 containing the tested semiconductor elements. The unloading stacker 412 may stack the customer tray 500 in which the tested semiconductor elements are stacked up and down. The unloading stacker 412 may be installed at a predetermined distance from the loading stacker 411. The stacker unit 41 may include a plurality of the unloading stackers 412. In this case, the unloading stackers 412 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 이송유닛(42)은 상기 고객트레이(500)를 이송할 수 있다. 상기 이송유닛(42)은 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)를 픽업위치(PP, 도 9에 도시됨)로 이송할 수 있다. 상기 고객트레이(500)가 상기 픽업위치(PP)에 위치된 상태에서, 테스트될 반도체 소자들이 상기 고객트레이(500)에서 상기 테스트 트레이(100)로 옮겨지는 로딩공정이 수행된다. 이 경우, 상기 이송유닛(42)은 상기 로딩스택커(411)에 저장된 고객트레이(500)를 상기 픽업위치(PP)로 이송할 수 있다. 상기 픽업위치(PP)에 위치된 고객트레이(500)는 로딩지지기구(4a, 도 9에 도시됨)에 지지된 상태에서 상기 로딩공정이 수행될 수 있다. 상기 로딩지지기구(4a)는 소팅본체(4b)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 로딩지지기구(4a)가 하강한 상태에서, 상기 이송유닛(42)은 상기 고객트레이(500)를 상기 로딩스택커(411)에서 상기 로딩지지기구(4a)로 이송할 수 있다. 그 후 상기 로딩지지기구(4a)가 상승함으로써, 상기 고객트레이(500)는 상기 픽업위치(PP)에 위치될 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 12, the transfer unit 42 can transfer the customer tray 500. The transfer unit 42 can transfer the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 to the pickup position PP (shown in FIG. 9). A loading process is performed in which semiconductor devices to be tested are transferred from the customer tray 500 to the test tray 100 while the customer tray 500 is positioned at the pickup position PP. In this case, the transfer unit 42 may transfer the customer tray 500 stored in the loading stacker 411 to the pickup position PP. The loading process can be performed in a state where the customer tray 500 located at the pickup position PP is supported by the loading support mechanism 4a (shown in FIG. 9). The loading support mechanism 4a is movably coupled to the sorting body 4b. In a state where the loading support mechanism 4a is lowered, the transfer unit 42 can transfer the customer tray 500 from the loading stacker 411 to the loading support mechanism 4a. Then, as the loading support mechanism 4a is lifted, the customer tray 500 can be positioned at the pick-up position PP.

상기 이송유닛(42)은 수납위치(CP, 도 9에 도시됨)에 위치된 고객트레이(500)를 상기 스택커유닛(41)으로 이송할 수 있다. 상기 고객트레이(500)가 상기 수납위치(CP)에 위치된 상태에서, 테스트된 반도체 소자들이 상기 테스트 트레이(100)에서 상기 고객트레이(500)로 옮겨지는 언로딩공정이 수행된다. 이 경우, 상기 이송유닛(42)은 상기 수납위치(CP)에 위치된 고객트레이(500)를 상기 언로딩스택커(412)로 이송할 수 있다. 상기 수납위치(CP)에 위치된 고객트레이(500)는 언로딩지지기구(4c, 도 9에 도시됨)에 지지된 상태에서 상기 언로딩공정이 수행될 수 있다. 상기 언로딩지지기구(4c)는 상기 소팅본체(4b)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 언로딩지지기구(4c)가 상승한 상태에서, 상기 고객트레이(500)는 상기 수납위치(CP)에 위치될 수 있다. 상기 언로딩지지기구(4c)가 하강하면, 상기 이송유닛(42)은 상기 고객트레이(500)를 상기 언로딩지지기구(4c)에서 상기 언로딩스택커(412)로 이송할 수 있다.The transfer unit 42 can transfer the customer tray 500 located in the storage position CP (shown in Fig. 9) to the stacker unit 41. [ An unloading process is performed in which the tested semiconductor elements are transferred from the test tray 100 to the customer tray 500 while the customer tray 500 is located at the receiving position CP. In this case, the transfer unit 42 can transfer the customer tray 500 located at the receiving position CP to the unloading stacker 412. The unloading process can be performed in a state where the customer tray 500 located at the receiving position CP is supported by the unloading support mechanism 4c (shown in FIG. 9). The unloading support mechanism 4c is movably coupled to the sorting body 4b. In a state in which the unloading support mechanism 4c is raised, the customer tray 500 may be located at the receiving position CP. When the unloading support mechanism 4c is lowered, the transfer unit 42 can transfer the customer tray 500 from the unloading support mechanism 4c to the unloading stacker 412. [

상기 이송유닛(42)은 상기 고객트레이(500)를 홀딩하기 위한 복수개의 그립퍼(421), 및 상기 그립퍼(421)들을 이동시키기 위한 이송기구(422, 도 10에 도시됨)를 포함할 수 있다.The transfer unit 42 may include a plurality of grippers 421 for holding the customer tray 500 and a transfer mechanism 422 (shown in FIG. 10) for moving the grippers 421 .

상기 그립퍼(421)들은 각각 설치기구(423, 도 9에 도시됨)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 고객트레이(500)는 상기 그립퍼(421)들 사이에 위치됨으로써, 상기 그립퍼(421)들에 홀딩될 수 있다. 상기 그립퍼(421)들은 상기 설치기구(423)에 결합된 상태에서 서로 간의 간격이 조절되도록 이동될 수 있다. 상기 이송유닛(42)은 한번에 복수개의 고객트레이(500)를 홀딩할 수 있도록 상기 그립퍼(421)들을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 그립퍼(421)들은 상하로 적층되게 상기 설치기구(423)에 설치될 수 있다.The grippers 421 are movably coupled to an installation mechanism 423 (shown in FIG. 9), respectively. The customer tray 500 may be held between the grippers 421 by being positioned between the grippers 421. The grippers 421 may be moved to adjust the gap between the grippers 421 and the mounting mechanism 423. The transfer unit 42 may include a plurality of grippers 421 to hold a plurality of customer trays 500 at a time. In this case, the grippers 421 may be installed on the mounting mechanism 423 so as to be stacked up and down.

상기 그립퍼(421)들이 서로 가까워지는 방향으로 이동함에 따라, 상기 고객트레이(500)는 상기 그립퍼(421)들에 지지됨으로써 상기 그립퍼(421)들에 홀딩될 수 있다. 이 경우, 상기 그립퍼(421)들 중에서 일부가 상기 고객트레이(500)의 좌측면을 지지하고, 상기 그립퍼(421)들 중에서 일부가 상기 고객트레이(500)의 우측면을 지지할 수 있다. 상기 그립퍼(421)들이 서로 멀어지는 방향으로 이동함에 따라, 상기 고객트레이(500)는 상기 그립퍼(421)들로부터 이격됨으로써 상기 그립퍼(421)에 대한 홀딩이 해제될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 이송유닛(42)은 상기 그립퍼(421)들 간의 간격이 조절되도록 상기 그립퍼(421)들을 이동시키는 구동기구를 포함할 수 있다. 상기 구동기구는 상기 설치기구(423)에 결합될 수 있다.As the grippers 421 move toward each other, the customer tray 500 can be held on the grippers 421 by being supported by the grippers 421. In this case, some of the grippers 421 support the left side of the customer tray 500, and a part of the grippers 421 can support the right side of the customer tray 500. As the grippers 421 move away from each other, the customer tray 500 can be released from gripping with the gripper 421 by being separated from the grippers 421. Although not shown, the transfer unit 42 may include a driving mechanism for moving the grippers 421 such that the gap between the grippers 421 is adjusted. The driving mechanism may be coupled to the mounting mechanism 423.

상기 이송기구(422)는 상기 그립퍼(421)들을 이동시킨다. 상기 이송기구(422)는 상기 그립퍼(421)들이 스택커유닛(41)의 상측을 지나도록 상기 그립퍼(421)들을 수평방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 이송기구(422)는 상기 그립퍼(421)들이 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)를 홀딩하여 상기 로딩지지기구(4a)로 이송할 수 있도록 상기 그립퍼(421)들을 승강시킬 수 있다. 상기 이송기구(422)는 상기 그립퍼(421)들이 상기 언로딩지지기구(4c)에 지지된 고객트레이(500)를 홀딩하여 상기 스택커유닛(41)으로 이송할 수 있도록 상기 그립퍼(421)들을 승강시킬 수 있다. 상기 이송기구(422)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 그립퍼(421)들을 이동시킬 수 있다. 상기 이송기구(422)는 상기 설치기구(423)를 이동시킴으로써, 상기 그립퍼(421)들을 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 설치기구(423)는 상기 이송기구(22)에 결합될 수 있다.The feed mechanism 422 moves the grippers 421. The feed mechanism 422 may move the grippers 421 in the horizontal direction so that the grippers 421 pass over the upper side of the stacker unit 41. The gripper 421 may lift the gripper 421 so that the gripper 421 can hold the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 and transfer the gripper 421 to the loading support mechanism 4a. . The conveying mechanism 422 is configured such that the grippers 421 hold the customer tray 500 supported by the unloading support mechanism 4c and transfer the grippers 421 to the stacker unit 41 It can be raised and lowered. The conveying mechanism 422 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, A linear motor using a coil, a permanent magnet, or the like can be used to move the grippers 421. The conveying mechanism 422 can move the grippers 421 by moving the installation mechanism 423. [ In this case, the mounting mechanism 423 may be coupled to the conveying mechanism 22. [

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절한다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송기구(422)를 제어함으로써, 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 무선통신 및 유선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 이송기구(422)에 제어신호를 제공함으로써, 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 12, the adjusting unit 43 adjusts the elevating speed of the conveying unit 42. The control unit 43 can control the elevating speed of the conveying unit 42 by controlling the conveying mechanism 422. The control unit 43 may control the elevating speed of the conveying unit 42 by providing a control signal to the conveying mechanism 422 using at least one of wireless communication and wired communication.

상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 변속위치(VP, 도 11에 도시됨)에 도달할 때까지 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제1속도에 비해 느린 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 상기 변속위치(VP)는 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 제1고객트레이(510, 도 11에 도시됨)로부터 기설정된 안전거리(SD)로 이격된 위치이다. 상기 안전거리(SD)는 상기 이송유닛(42)이 정지함에 따라 발생하는 관성력 등으로 인해 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)에 충돌할 위험이 있는 거리로, 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 안전거리(SD)는 상기 이송유닛(42)에 대한 기구적인 오차 등을 고려하여 설정될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.The adjustment unit 43 is configured to shift from the shift position VP to the first speed after descending to the first speed until the transfer unit 42 reaches the shift position VP (shown in Fig. 11) The elevating speed of the conveying unit 42 can be adjusted so as to descend at a slow second speed. The shift position VP is a position spaced from the first customer tray 510 (shown in FIG. 11) located at the uppermost position in the stacker unit 41 to a predetermined safety distance SD. The safety distance SD is a distance at which there is a risk of collision with the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 due to an inertia force or the like generated when the transfer unit 42 stops, Can be set. The safety distance SD may be set in consideration of a mechanical error with respect to the transfer unit 42, and the like. Thus, the inline test handler 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

우선, 상기 이송유닛(42)이 항상 동일한 속도로 승강하는 경우, 상기 이송유닛(42)은 정지 시에 발생하는 관성력 등으로 인해 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)에 충돌하지 않는 속도로 하강하여야 한다. 이에 따라, 상기 이송유닛(42)은 상기 스택커유닛(41)로부터 상당한 거리로 이격된 높이에 위치된 경우와 같이 소정 구간 내에서 고객트레이(500)와 충돌할 위험이 없는 경우에도 느린 속도로 하강하게 되므로, 상기 고객트레이(500)를 이송하는 작업이 지연되게 된다.When the conveying unit 42 always ascends and descends at the same speed, the conveying unit 42 does not collide with the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 due to an inertia force or the like generated at the time of stopping It should descend at a speed that is not. Accordingly, even if there is no risk of collision with the customer tray 500 within a predetermined interval, such as when the conveying unit 42 is located at a height apart from the stacker unit 41 by a considerable distance, The operation to transfer the customer tray 500 is delayed.

다음, 상기 이송유닛(42)이 상기 조절유닛(43)에 의해 승강하는 속도가 조절되는 경우, 상기 이송유닛(42)은 상기 제2속도에 비해 빠른 제1속도로 상기 변속위치(VP)까지 하강할 수 있다.Next, when the speed at which the conveying unit 42 is lifted and lowered by the adjustment unit 43 is adjusted, the conveying unit 42 moves to the shift position VP at a first speed that is faster than the second speed Can be lowered.

이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 제1고객트레이(510)까지 하강하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 제1고객트레이(510)를 이송하는 작업에 걸리는 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)가 상기 픽업위치(PP)에 공급될 때까지 상기 로딩공정이 중지되는 대기시간을 줄임으로써, 상기 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 이송유닛(42)이 상기 변속위치(VP)에서부터 정지 시에 발생하는 관성력 등으로 인해 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)에 충돌할 위험이 없는 제2속도로 감속되므로, 상기 고객트레이(500)를 이송하는 작업에 걸리는 시간을 단축할 수 있으면서도 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The inline test handler 1 according to the present invention reduces the time taken for the transfer unit 42 to descend from the stacker unit 41 to the first customer tray 510 located at the uppermost stage, 1 time required for transferring the customer tray 510 can be shortened. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can reduce the waiting time for stopping the loading process until the customer tray 500 is supplied to the pick-up position PP, Time can be shortened. The inline test handler 1 according to the present invention can be applied to the inline test handler 1 according to an embodiment of the present invention in which the feeder unit 42 is moved to the customer tray 500, which is stored in the stacker unit 41, The time required for transferring the customer tray 500 can be shortened and the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 is damaged or damaged Can be prevented.

도 2 내지 도 12을 참고하면, 상기 소팅부(4)는 획득유닛(44)을 더 포함할 수 있다.2 to 12, the sorting unit 4 may further include an acquisition unit 44. [

상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42)이 상기 고객트레이(500)를 이송함에 따른 고객트레이 변동정보로부터 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 고객트레이(500)에 대한 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 고객트레이 변동정보는 상기 스택커유닛(41)으로부터 반출된 고객트레이(500)의 개수, 두께 등을 포함할 수 있다. 상기 고객트레이 변동정보는 상기 스택커유닛(41)에 반입된 고객트레이(500)의 개수, 두께 등을 포함할 수 있다.The acquiring unit 44 acquires variation height information for the customer tray 500 located at the uppermost position in the stacker unit 41 from the customer tray variation information as the transfer unit 42 transfers the customer tray 500, Can be obtained. The customer tray variation information may include the number, thickness, and the like of the customer trays 500 taken out from the stacker unit 41. The customer tray variation information may include the number and thickness of the customer trays 500 loaded into the stacker unit 41.

예컨대, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이송유닛(42)이 제1고객트레이(510)를 상기 스택커유닛(41)으로부터 반출한 경우, 상기 획득유닛(44)은 상기 제1고객트레이(510)의 바로 아래에 위치된 제2고객트레이(520)를 기준으로 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(44)은 상기 변동높이정보를 획득하면, 상기 변동높이정보로부터 상기 안전거리(SD)만큼 이격된 위치를 변속위치(VP')로 설정할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP')에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 변경된 변속위치(VP')에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)가 반출됨에 따라 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)의 개수가 감소된만큼, 상기 이송유닛(42)이 상기 제1속도로 하강하는 거리를 늘릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(410)를 이송하는 작업에 걸리는 시간 및 상기 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 더 단축할 수 있다.12, when the transfer unit 42 has taken out the first customer tray 510 from the stacker unit 41, the acquiring unit 44 transfers the first customer tray 510 to the first customer tray 510 And the second customer tray 520 positioned immediately below the first customer tray 520. In this case, When the obtaining unit 44 obtains the variation height information, the obtaining unit 44 may set a position that is spaced by the safety distance SD from the variation height information to the shift position VP '. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift the shift position from the changed shift position VP 'to the shift position VP' after the transfer unit 42 descends at the first speed until the shift unit 42 reaches the changed shift position VP ' The elevating speed of the conveying unit 42 can be adjusted so as to be lowered at the second speed. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention is configured such that as the number of the customer trays 500 stored in the stacker unit 41 decreases as the customer tray 500 is unloaded, ) At the first speed can be increased. Accordingly, the in-line test handler 1 according to the present invention can further shorten the time taken to transfer the customer tray 410 and the time required to perform the loading process.

예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 이송유닛(42)이 제1고객트레이(510)를 상기 스택커유닛(41)에 반입한 경우, 상기 획득유닛(44)은 상기 제1고객트레이(510)를 기준으로 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(44)은 상기 변동높이정보를 획득하면, 상기 변동높이정보로부터 상기 안전거리(SD)만큼 이격된 위치를 변속위치(VP)로 설정할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 변경된 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)가 반입됨에 따라 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)의 개수가 증가된만큼, 상기 이송유닛(42)이 상기 제1속도로 하강하는 거리를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)를 이송하는 작업에 걸리는 시간을 단축할 수 있으면서도, 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.11, when the transfer unit 42 has brought the first customer tray 510 into the stacker unit 41, the acquiring unit 44 transfers the first customer tray 510 to the first customer tray 510 The variation height information can be obtained on the basis of the variation height information. When the obtaining unit 44 obtains the variation height information, the obtaining unit 44 may set a position that is spaced apart from the variation height information by the safety distance SD as the shift position VP. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift from the changed shift position VP to the second shift position after descending at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP based on the variable height information, The elevation speed of the transfer unit 42 can be adjusted so as to be lowered at a predetermined speed. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention is configured such that as the number of the customer trays 500 stored in the stacker unit 41 increases as the customer tray 500 is loaded, Can be reduced at the first speed. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can shorten the time taken to transfer the customer tray 500, and can prevent damage to or damage to the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 Can be prevented.

상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42) 및 상기 스택커유닛(41) 중에서 적어도 하나로부터 상기 고객트레이 변동정보를 수신할 수 있다. 상기 이송유닛(42) 및 상기 스택커유닛(41)은 무선통신 및 유선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 고객트레이 변동정보를 상기 획득유닛(44)에 제공할 수 있다.The acquiring unit 44 may receive the customer tray variation information from at least one of the transfer unit 42 and the stacker unit 41. [ The transfer unit 42 and the stacker unit 41 may provide the acquiring unit 44 with the customer tray variation information using at least one of wireless communication and wired communication.

상기 스택커유닛(41)이 상기 로딩스택커(411, 도 9에 도시됨)를 포함하는 경우, 상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42)이 상기 로딩스택커(411)로부터 고객트레이(500)를 반출하면, 상기 로딩스택커(411)에서 반출된 고객트레이(500)의 개수 및 두께로부터 상기 로딩스택커(411)에 대한 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(44)은 상기 로딩스택커(411)에서 반출된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 이용하여 연산을 수행함으로써, 상기 로딩스택커(411)에 남아있는 고객트레이(500)들 중에서 최상단에 위치한 고객트레이(500)의 높이를 도출하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 또한, 상기 획득유닛(44)은 상기 로딩스택커(411)에 남아있는 고객트레이(500)들 중에서 최상단에 위치한 고객트레이(500)의 높이로부터 상기 안전거리(SD)만큼 이격된 위치를 변속위치(VP', 도 12에 도시됨)로 설정할 수 있다. 이 경우, 변경 후의 변속위치(VP')는 변경 전의 변속위치(VP, 도 11에 도시됨)에 비해 낮아지게 된다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 변경된 변속위치(VP')에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 변경된 변속위치(VP')에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩스택커(411)에 저장된 고객트레이(500)의 개수가 감소된만큼 상기 이송유닛(42)이 상기 제1속도로 하강하는 거리를 늘림으로써, 상기 로딩스택커(411)에서 상기 픽업위치(PP, 도 9에 도시됨)로 상기 고객트레이(410)를 이송하는 작업에 걸리는 시간 및 상기 로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.If the stacker unit 41 includes the loading stacker 411 (shown in FIG. 9), the acquiring unit 44 may be configured such that the transferring unit 42 can move from the loading stacker 411 to a customer tray The information on the variation height of the loading stacker 411 can be obtained from the number and thickness of the customer trays 500 taken out from the loading stacker 411. The acquisition unit 44 performs an operation using the number and the thickness of the customer trays 500 taken out from the loading stacker 411 so that the number of customer trays 500 remaining in the loading stacker 411 The variation height information can be obtained by deriving the height of the customer tray 500 located at the uppermost position in the customer tray 500. The acquiring unit 44 acquires a position spaced by the safety distance SD from the height of the customer tray 500 located at the uppermost of the customer trays 500 remaining in the loading stacker 411, (VP ', shown in FIG. 12). In this case, the shifting position VP 'after the change becomes lower than the shifting position VP (shown in Fig. 11) before the change. The control unit 43 controls the hydraulic pressure to be lowered from the changed shift position VP 'to the second speed after the transfer unit 42 descends at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP' The elevating speed of the transfer unit 42 can be adjusted. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention increases the distance at which the transfer unit 42 descends at the first speed as the number of the customer trays 500 stored in the loading stacker 411 decreases , It is possible to shorten the time taken to transfer the customer tray 410 from the loading stacker 411 to the pick-up position PP (shown in FIG. 9) and the time taken to perform the loading process .

상기 스택커유닛(41)이 상기 언로딩스택커(412, 도 9에 도시됨)를 포함하는 경우, 상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42)이 상기 언로딩스택커(412)에 고객트레이(500)를 반입하면, 상기 언로딩스택커(412)에서 반입된 고객트레이(500)의 개수 및 두께로부터 상기 언로딩스택커(412)에 대한 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(44)은 상기 언로딩스택커(412)에 반입된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 이용하여 연산을 수행함으로써, 상기 언로딩스택커(412)에 저장된 고객트레이(500)들 중에서 최상단에 위치한 고객트레이(500)의 높이를 도출하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 또한, 상기 획득유닛(44)은 상기 언로딩스택커(412)에 저장된 고객트레이(500)들 중에서 최상단에 위치한 고객트레이(500)의 높이로부터 상기 안전거리(SD)만큼 이격된 위치를 변속위치(VP, 도 11에 도시됨)로 설정할 수 있다. 이 경우, 변경 후의 변속위치(VP)는 변경 전의 변속위치(VP', 도 12에 도시됨)에 비해 높아지게 된다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 변경된 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 수납위치(CP, 도 9에 도시됨)에서 상기 언로딩스택커(412)로 상기 고객트레이(500)를 이송하는 작업에 걸리는 시간을 단축할 수 있으면서도, 상기 언로딩스택커(412)에 저장된 고객트레이(500)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.If the stacker unit 41 includes the unloading stacker 412 (shown in FIG. 9), the acquiring unit 44 may be configured such that the transferring unit 42 is placed in the unloading stacker 412 When the customer tray 500 is loaded, the variation height information for the unloading stacker 412 can be obtained from the number and thickness of the customer tray 500 loaded in the unloading stacker 412. The acquiring unit 44 performs an operation using the number and the thickness of the customer trays 500 brought into the unloading stacker 412 so that the customer tray 500 stored in the unloading stacker 412 can be used, The height of the customer tray 500 located at the top of the customer tray 500 may be derived to obtain the variation height information. The acquiring unit 44 acquires a position spaced by the safety distance SD from the height of the customer tray 500 located at the uppermost one of the customer trays 500 stored in the unloading stacker 412, (VP, shown in FIG. 11). In this case, the shifting position VP after the change becomes higher than the shifting position VP '(shown in Fig. 12) before the change. The control unit 43 controls the conveying unit 42 such that the conveying unit 42 is lowered from the changed shift position VP to the second speed after descending at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP, It is possible to adjust the ascending / Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention shortens the time taken to transfer the customer tray 500 from the storage position CP (shown in FIG. 9) to the unloading stacker 412 It is possible to prevent the customer tray 500 stored in the unloading stacker 412 from being damaged or damaged.

도 2 내지 도 12을 참고하면, 상기 소팅부(4)는 감지유닛(45)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 12, the sorting unit 4 may further include a sensing unit 45.

상기 감지유닛(45)은 상기 그립퍼(421)들 사이에 상기 고객트레이(500)가 위치되었는지 여부를 감지한다. 상기 감지유닛(45)은 상기 그립퍼(421)들 사이에 위치된 고객트레이(500)를 감지하면 감지정보를 생성하고, 생성한 감지정보를 상기 조절유닛(43)에 제공할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 감지정보가 수신되면, 상기 변속위치(VP, 도 11에 도시됨)에서부터 상기 제2속도로 하강하는 이송유닛(42)을 정지시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 이송유닛(42)에 대한 기구적인 오차, 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 제1고객트레이(510, 도 11에 도시됨)에 발생한 기울어짐, 열변형으로 인한 제1고객트레이(510)의 두께 변화 등으로 인해, 상기 획득유닛(44)이 연산에 의해 획득한 변동높이정보 및 실제로 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 제1고객트레이(510, 도 11에 도시됨)의 높이 간에 오차가 발생한 경우에도, 상기 이송유닛(42)이 상기 제1고객트레이(510)에 충돌함에 따라 상기 제1고객트레이(510)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 상기 획득유닛(44)은 연산에 의해 획득한 변동높이정보 및 실제로 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치한 제1고객트레이(510)의 높이 간에 오차가 발생한 경우, 오차값을 이용하여 상기 변동높이정보를 재설정함으로써 오차를 보정할 수도 있다.The sensing unit 45 senses whether the customer tray 500 is positioned between the grippers 421. The sensing unit 45 generates sensing information when sensing the customer tray 500 positioned between the grippers 421 and provides the sensing information to the adjusting unit 43. [ The control unit 43 may stop the transfer unit 42 descending at the second speed from the shift position VP (shown in FIG. 11) when the sensing information is received. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention is capable of measuring a mechanical error with respect to the transfer unit 42, a first customer tray 510 (shown in FIG. 11) located at the uppermost position in the stacker unit 41 The variation height information obtained by the calculation unit 44 due to the tilting and the thickness variation of the first customer tray 510 due to the thermal deformation, Even if an error occurs between the heights of the first customer trays 510 (shown in FIG. 11), the first customer trays 510 may be moved It is possible to prevent damage or breakage. When the difference between the height information obtained by the calculation and the height of the first customer tray 510 located at the uppermost position in the stacker unit 41 actually occurs, the obtaining unit 44 calculates the variation It is also possible to correct the error by resetting the height information.

도시되지 않았지만, 상기 감지유닛(45)은 발광센서 및 수광센서를 포함할 수 있다. 상기 발광센서 및 상기 수광센서는 각각 서로 이격되게 상기 그립퍼(421)들에 설치될 수 있다. 상기 감지유닛(45)은 상기 발광센서가 방출한 광이 상기 수광센서에 수신되면, 상기 그립퍼(421)들 사이에 고객트레이(500)가 위치되지 않은 것으로 판단할 수 있다. 이 상태에서 상기 그립퍼(421)들 사이에 상기 고객트레이(500)가 위치되면, 상기 고객트레이(500)는 상기 발광센서와 상기 수광센서 사이에 위치됨으로써, 상기 발광센서가 방출한 광이 상기 수광센서에 수신되지 못하게 차단한다. 이 경우, 상기 감지유닛(45)은 상기 그립퍼(421)들 사이에 고객트레이(500)가 위치된 것으로 판단하여 상기 감지정보를 생성하고, 상기 감지정보를 상기 조절유닛(43)에 제공할 수 있다. 상기 감지유닛(45)은 무선통신 및 유선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 조절유닛(43)에 상기 감지정보를 제공할 수 있다.Although not shown, the sensing unit 45 may include a light emitting sensor and a light receiving sensor. The light emitting sensor and the light receiving sensor may be installed on the grippers 421 so as to be spaced apart from each other. When the light emitted from the light emitting sensor is received by the light receiving sensor, the sensing unit 45 may determine that the customer tray 500 is not positioned between the grippers 421. In this state, when the customer tray 500 is positioned between the grippers 421, the customer tray 500 is positioned between the light emitting sensor and the light receiving sensor, It blocks the sensor from being received. In this case, the sensing unit 45 may determine that the customer tray 500 is positioned between the grippers 421 and generate the sensing information, and provide the sensing information to the adjusting unit 43 have. The sensing unit 45 may provide the sensing information to the adjusting unit 43 using at least one of wireless communication and wired communication.

여기서, 상기 로딩스택커(411)에 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(500)가 보충되는 경우, 상기 언로딩스택커(412)에 저장된 고객트레이(500)가 상기 소팅부(4)의 외부로 반출되는 경우 등과 같이 상기 이송유닛(42)을 통하지 않고 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)의 개수가 변동되면, 상기 소팅부(4)는 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치된 고객트레이(500)의 높이를 파악할 수 없게 된다. 이 경우, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 작업자에 의해 수동으로 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치된 고객트레이(500)에 대한 기준높이정보를 획득하도록 구현될 수도 있고, 자동으로 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치된 고객트레이(500)에 대한 기준높이정보를 획득하도록 구현될 수 있다.When the customer tray 500 containing the semiconductor elements to be tested is replenished in the loading stacker 411, the customer tray 500 stored in the unloading stacker 412 is moved to the outside of the sorting unit 4 The number of customer trays 500 stored in the stacker unit 41 is changed without passing through the transfer unit 42 such that the number of customer trays 500 is shifted from the stacker unit 41 The height of the customer tray 500 positioned at the uppermost position can not be grasped. In this case, the in-line test handler 1 according to the present invention may be implemented by an operator to manually obtain the reference height information for the customer tray 500 located at the uppermost position in the stacker unit 41, To obtain the reference height information for the customer tray 500 located at the uppermost position in the stacker unit 41.

우선, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)가 작업자에 의해 수동으로 상기 기준높이정보를 획득하는 실시예를 살펴보면, 다음과 같다.First, an embodiment in which the inline test handler 1 according to the present invention acquires the reference height information manually by an operator will be described as follows.

상기 획득유닛(44)은 작업자에 의해 상기 스택커유닛(41)에서 최상단에 위치된 고객트레이(500)에 대한 기준높이정보가 입력됨에 따라 상기 기준높이정보를 획득함으로써, 상기 조절유닛(43)이 상기 기준높이정보를 기준으로 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절하도록 구현될 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 기준높이정보가 획득되면, 상기 이송유닛(42)이 상기 기준높이정보에 해당하는 기준높이(SH, 도 11에 도시됨)로부터 상기 안전거리(SD)만큼 이격된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다. The acquiring unit 44 acquires the reference height information as the reference height information for the customer tray 500 located at the uppermost position in the stacker unit 41 is input by the operator, And adjust the elevating speed of the transfer unit 42 based on the reference height information. When the reference height information is obtained, the control unit 43 determines whether the transfer unit 42 is spaced apart from the reference height SH (shown in FIG. 11) corresponding to the reference height information by the safety distance SD The speed of the conveying unit 42 can be adjusted so as to descend from the shift position VP to the second speed after descending at the first speed until the shift position VP is reached.

상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)으로부터 고객트레이(500)를 반출하면, 상기 획득유닛(44)은 상기 기준높이정보로부터 반출된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 감산하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다.When the transport unit 42 transports the customer tray 500 from the stacker unit 41, the obtaining unit 44 subtracts the number and thickness of the customer trays 500 transported from the reference height information The variation height information can be obtained. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift from the shift position VP to the second position after the transfer unit 42 descends at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP based on the variation height information, The elevation speed of the transfer unit 42 can be adjusted so as to be lowered at a predetermined speed.

상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)에 고객트레이(500)를 반입하면, 상기 획득유닛(44)은 상기 기준높이정보에 반입된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 가산하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다.When the transfer unit 42 loads the customer tray 500 into the stacker unit 41, the obtaining unit 44 adds the number and thickness of the customer trays 500 loaded in the reference height information The variation height information can be obtained. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift from the shift position VP to the second position after the transfer unit 42 descends at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP based on the variation height information, The elevation speed of the transfer unit 42 can be adjusted so as to be lowered at a predetermined speed.

다음, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)가 자동으로 상기 기준높이정보를 획득하는 실시예를 살펴보면, 다음과 같다.Next, an embodiment in which the inline test handler 1 according to the present invention automatically obtains the reference height information will be described.

상기 조절유닛(22)은 상기 기준높이정보가 획득되기 이전인 경우, 상기 이송유닛(42)이 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절한다. 상기 조절유닛(22)은 상기 감지유닛(45)이 상기 그립퍼(421)들 사이에 위치된 고객트레이(500)를 감지하면, 상기 이송유닛(42)을 정지시킨다. 이 경우, 상기 조절유닛(22)은 상기 이송유닛(42)이 상기 제1속도로 하강하는 구간 없이 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절함으로써, 상기 이송유닛(42)이 정지함에 따라 발생하는 관성력 등으로 인해 상기 고객트레이(500)가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The adjusting unit 22 adjusts the elevating speed of the conveying unit 42 so that the conveying unit 42 descends at the second speed when the reference height information is obtained. The control unit 22 stops the transfer unit 42 when the detection unit 45 senses the customer tray 500 positioned between the grippers 421. [ In this case, the regulating unit 22 adjusts the elevating speed of the transferring unit 42 so that the transferring unit 42 is lowered at the second speed without a section where the transferring unit 42 is lowered at the first speed, The customer tray 500 can be prevented from being damaged or damaged due to an inertial force or the like generated due to the stopping of the user tray 42.

상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42)이 상기 제2속도로 하강하는 과정에서 상기 감지유닛(45)이 상기 그립퍼(421)들 사이에 위치된 고객트레이(500)를 감지하면, 상기 그립퍼(421)들의 높이로부터 상기 기준높이정보를 획득할 수 있다.When the sensing unit 45 senses the customer tray 500 positioned between the grippers 421 in the course of the lowering of the transfer unit 42 at the second speed, The reference height information can be obtained from the height of the grippers 421. [

상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)으로부터 고객트레이(500)를 반출하면, 상기 획득유닛(44)은 상기 기준높이정보로부터 반출된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 감산하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다.When the transport unit 42 transports the customer tray 500 from the stacker unit 41, the obtaining unit 44 subtracts the number and thickness of the customer trays 500 transported from the reference height information The variation height information can be obtained. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift from the shift position VP to the second position after the transfer unit 42 descends at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP based on the variation height information, The elevation speed of the transfer unit 42 can be adjusted so as to be lowered at a predetermined speed.

상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)에 고객트레이(500)를 반입하면, 상기 획득유닛(44)은 상기 기준높이정보에 반입된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 가산하여 상기 변동높이정보를 획득할 수 있다. 상기 조절유닛(43)은 상기 이송유닛(42)이 상기 변동높이정보를 기준으로 변경된 변속위치(VP)에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치(VP)에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절할 수 있다.When the transfer unit 42 loads the customer tray 500 into the stacker unit 41, the obtaining unit 44 adds the number and thickness of the customer trays 500 loaded in the reference height information The variation height information can be obtained. The control unit 43 controls the shift unit 42 to shift from the shift position VP to the second position after the transfer unit 42 descends at the first speed until the transfer unit 42 reaches the changed shift position VP based on the variation height information, The elevation speed of the transfer unit 42 can be adjusted so as to be lowered at a predetermined speed.

여기서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 스택커유닛(41)에 대한 스택커정보 및 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)의 개수정보를 자동으로 획득할 수도 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.Here, the inline test handler 1 according to the present invention may automatically acquire the stacker information for the stacker unit 41 and the number information of the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 . Specifically, it is as follows.

상기 조절유닛(22)은 상기 스택커유닛(41)이 비어 있는 상태에서 상기 이송유닛(42)이 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛(42)의 승강속도를 조절한다. 상기 조절유닛(22)은 상기 감지유닛(45)이 상기 스택커유닛(41)의 바닥면을 감지하면, 상기 이송유닛(42)을 정지시킨다.The adjusting unit 22 adjusts the elevating speed of the conveying unit 42 so that the conveying unit 42 descends at the second speed while the stacker unit 41 is empty. The control unit 22 stops the conveying unit 42 when the sensing unit 45 senses the bottom surface of the stacker unit 41.

상기 획득유닛(44)은 상기 이송유닛(42)이 상기 제2속도로 하강하는 과정에서 상기 감지유닛(45)이 상기 스택커유닛(41)의 바닥면을 감지하면, 상기 그립퍼(421)들의 높이로부터 비어 있는 스택커유닛(41)의 높이에 관한 스택커정보를 획득할 수 있다.When the sensing unit 45 senses the bottom surface of the stacker unit 41 in the course of the lowering of the conveying unit 42 at the second speed, Stacker information about the height of the empty stacker unit 41 from the height.

상기 스택커정보가 획득된 후에 작업자에 의해 상기 스택커유닛(41)에 소정 개수의 고객트레이(500)가 저장되면, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 자동으로 상기 기준높이정보를 획득하는 실시예에 따라 동작함으로써, 상기 기준높이정보를 획득할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)의 두께 및 상기 스택커정보를 이용하여 연산을 수행함으로써, 작업자에 의해 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500)의 개수정보를 획득할 수 있다. When a predetermined number of customer trays 500 are stored in the stacker unit 41 by the operator after the stacker information is obtained, the inline test handler 1 according to the present invention automatically acquires the reference height information , The reference height information can be obtained. The inline test handler 1 according to the present invention performs calculations using the thickness of the customer tray 500 and the stacker information so that the customer tray 500 stored in the stacker unit 41 Can be obtained.

여기서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 고객트레이(500)의 개수정보를 획득하기 위해 상기 고객트레이(500)의 두께 및 상기 스택커정보를 이용하여 연산을 수행한 결과값이 정수가 아닌 경우 등과 같이 오류가 발생한 경우, 상기 감지유닛(45)이 오작동한 것으로 판단하여 상기 감지유닛(45)의 센싱 감도에 대한 보정을 자동으로 수행할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.Here, the inline test handler 1 according to the present invention may be configured such that the result of performing an operation using the thickness of the customer tray 500 and the stacker information to obtain the number information of the customer tray 500 is an integer It is determined that the sensing unit 45 has malfunctioned and the sensing sensitivity of the sensing unit 45 can be automatically corrected. Specifically, it is as follows.

우선, 작업자가 비어 있는 스택커유닛(41)에 두께가 정확하게 확인된 고객트레이(500)를 소정 개수로 저장한다. 그리고, 작업자는 상기 스택커유닛(41)에 저장한 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 상기 소팅부(4)에 입력한다.First, a worker stores a predetermined number of customer trays 500 whose thickness is accurately confirmed in an empty stacker unit 41. The operator inputs the number and the thickness of the customer trays 500 stored in the stacker unit 41 into the sorting unit 4.

다음, 상기 조절유닛(22)은 상기 소팅부(4)에 입력된 고객트레이(500)의 개수 및 두께를 이용하여 상기 이송유닛(42)이 상기 스택커유닛(41)에 저장된 고객트레이(500) 중에서 최상단에 위치된 고객트레이(500)에 대응되는 높이에 도달하면, 상기 이송유닛(42)을 정지시킨다. 이 상태에서 상기 감지유닛(45)이 상기 고객트레이(500)를 감지하도록, 상기 감지유닛(45)의 센싱 감도에 대한 보정이 수행된다. 상기 감지유닛(45)의 센싱 감도에 대한 보정은, 작업자에 의해 수행될 수도 있다.Next, the control unit 22 controls the transfer unit 42 to transfer the customer tray 500 stored in the stacker unit 41, using the number and thickness of the customer tray 500 input to the sorting unit 4, The conveying unit 42 is stopped when the height reaches a height corresponding to the customer tray 500 located at the uppermost position among the plurality of the customer trays 500. [ In this state, correction for the sensing sensitivity of the sensing unit 45 is performed so that the sensing unit 45 senses the customer tray 500. [ The correction of the sensing sensitivity of the sensing unit 45 may be performed by an operator.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 소팅부(4)는 상기 로딩공정을 수행하기 위한 로딩유닛(46, 도 8에 도시됨)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 12, the sorting unit 4 may include a loading unit 46 (shown in FIG. 8) for performing the loading process.

상기 로딩유닛(46)은 테스트될 반도체 소자를 고객트레이(500)에서 테스트 트레이(100)로 이송한다. 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(500)는, 상기 이송유닛(42)에 의해 상기 로딩스택커(411)에서 상기 픽업위치(PP, 도 9에 도시됨)로 이송된 것이다. 상기 로딩유닛(46)은 반도체 소자를 이송하기 위한 로딩픽커(461)를 포함할 수 있다.The loading unit 46 transfers the semiconductor elements to be tested from the customer tray 500 to the test tray 100. The customer tray 500 containing the semiconductor elements to be tested is transferred from the loading stacker 411 to the pickup position PP (shown in FIG. 9) by the transfer unit 42. The loading unit 46 may include a loading picker 461 for transferring semiconductor devices.

상기 로딩픽커(461)는 상기 픽업위치(PP)에 위치된 고객트레이(500)로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업하여 테스트 트레이(100)에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(100)에 테스트될 반도체 소자가 수납될 때, 테스트 트레이(100)는 로딩위치(46a, 도 8에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 로딩픽커(461)는 제1축방향(X축 방향, 도 8에 도시됨)과 제2축방향(Y축 방향, 도 8에 도시됨)으로 이동하면서 테스트될 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 로딩픽커(461)는 승강할 수도 있다. The loading picker 461 may pick up the semiconductor device to be tested from the customer tray 500 located at the pick-up position PP and store it in the test tray 100. When the semiconductor element to be tested is accommodated in the test tray 100, the test tray 100 can be placed in the loading position 46a (shown in FIG. 8). The loading picker 461 can transfer semiconductor devices to be tested while moving in a first axis direction (X axis direction, shown in FIG. 8) and a second axis direction (Y axis direction, shown in FIG. 8) . The loading picker 461 may be raised or lowered.

상기 로딩유닛(46)은 테스트될 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 로딩버퍼(462, 도 8에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩픽커(461)는 고객트레이(500)로부터 테스트될 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(462)를 경유하여 상기 로딩위치(46a)에 위치된 테스트 트레이(100)에 수납시킬 수 있다. 상기 로딩픽커(461)는 테스트될 반도체 소자를 고객트레이(500)에서 상기 로딩버퍼(462)로 이송하는 제1로딩픽커(4611, 도 8에 도시됨), 및 테스트될 반도체 소자를 상기 로딩버퍼(462)에서 테스트 트레이(100)로 이송하는 제2로딩픽커(4612, 도 8에 도시됨)를 포함할 수도 있다.The loading unit 46 may further include a loading buffer 462 (shown in FIG. 8) for temporarily storing semiconductor elements to be tested. In this case, the loading picker 461 picks up the semiconductor element to be tested from the customer tray 500 and then transfers the picked up semiconductor element to the test tray (not shown) located at the loading position 46a via the loading buffer 462. [ (100). The loading picker 461 includes a first loading picker 4611 (shown in FIG. 8) for transferring semiconductor devices to be tested from the customer tray 500 to the loading buffer 462, (Shown in FIG. 8) for transporting the test strips from the test tray 462 to the test tray 100.

도시되지 않았지만, 상기 로딩유닛(46)은 테스트 트레이(100)를 이송하기 위한 로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 테스트 트레이(100)를 밀거나 테스트 트레이(100)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 상기 로딩공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 로딩위치(46a)에서 상기 컨베이어부(2)로 이송할 수 있다. 상기 로딩이송수단은 비어 있는 테스트 트레이(100)를 상기 컨베이어부(2)에서 상기 로딩위치(46a)로 이송할 수도 있다. 상기 로딩이송수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(100)를 이송할 수 있다.Although not shown, the loading unit 46 may include loading and transporting means for transporting the test tray 100. The loading and conveying means can push the test tray 100 or pull the test tray 100 to transport it. The loading and conveying means may transfer the test tray 100 from which the loading process has been completed to the conveyor portion 2 at the loading position 46a. The loading transfer means may transfer the empty test tray 100 from the conveyor portion 2 to the loading position 46a. The loading and conveying means may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley, The test tray 100 can be transferred using a linear motor using a coil, a permanent magnet, or the like.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 소팅부(4)는 상기 언로딩공정을 수행하기 위한 언로딩유닛(47, 도 8에 도시됨)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 12, the sorting unit 4 may include an unloading unit 47 (shown in FIG. 8) for performing the unloading process.

상기 언로딩유닛(47)은 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(100)로부터 분리하여 상기 수납위치(CP, 도 9에 도시됨)에 위치된 고객트레이(500)로 이송한다. 상기 고객트레이(500)에 테스트된 반도체 소자가 채워지면, 상기 고객트레이(500)는 상기 이송유닛(42)에 의해 상기 수납위치(CP)에서 상기 언로딩스택커(412)로 이송된다. 상기 언로딩유닛(47)은 테스트된 반도체 소자를 이송하기 위한 언로딩픽커(471, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.The unloading unit 47 separates the tested semiconductor element from the test tray 100 and transfers it to the customer tray 500 located at the receiving position CP (shown in FIG. 9). When the tested semiconductor device is filled in the customer tray 500, the customer tray 500 is transferred from the receiving position CP to the unloading stacker 412 by the transfer unit 42. The unloading unit 47 may include an unloading picker 471 (shown in FIG. 8) for transporting the tested semiconductor device.

상기 언로딩픽커(471)는 테스트 트레이(100)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업하여 상기 수납위치(CP)에 위치된 고객트레이(500)에 수납시킬 수 있다. 테스트 트레이(100)로부터 테스트된 반도체 소자가 픽업될 때, 테스트 트레이(100)는 언로딩위치(47a, 도 8에 도시됨)에 위치될 수 있다. 상기 언로딩픽커(471)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 결과에 따른 등급별로 그 등급에 해당하는 고객트레이(500)에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(471)는 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동하면서 테스트된 반도체 소자를 이송할 수 있다. 상기 언로딩픽커(471)는 승강할 수도 있다. 상기 언로딩유닛(47)이 테스트 트레이(100)로부터 테스트된 반도체 소자를 모두 분리함에 따라 테스트 트레이(100)가 비게 되면, 상기 소팅부(4)는 비어 있는 테스트 트레이(100)를 상기 언로딩유닛(47)에서 상기 로딩유닛(46)으로 이송할 수 있다.The unloading picker 471 picks up the tested semiconductor devices from the test tray 100 and stores the semiconductor devices in the customer tray 500 located at the storage position CP. When the tested semiconductor element is picked up from the test tray 100, the test tray 100 can be placed in the unloading position 47a (shown in FIG. 8). The unloading picker 471 can store the tested semiconductor devices in the customer tray 500 corresponding to the grade according to the test result. The unloading picker 471 can transfer the tested semiconductor device while moving in the first axis direction (X axis direction) and the second axis direction (Y axis direction). The unloading picker 471 may be raised or lowered. If the test tray 100 becomes empty as the unloading unit 47 separates all of the tested semiconductor devices from the test tray 100, the sorting unit 4 unloads the empty test tray 100 And can be transferred from the unit 47 to the loading unit 46.

상기 언로딩유닛(47)은 테스트된 반도체 소자를 일시적으로 수납하기 위한 언로딩버퍼(472, 도 8에 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 언로딩픽커(471)는 상기 언로딩위치(47a)에 위치된 테스트 트레이(100)로부터 테스트된 반도체 소자를 픽업한 후에, 픽업한 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(472)를 경유하여 상기 고객트레이(500)에 수납시킬 수 있다. 상기 언로딩픽커(471)는 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이(100)에서 상기 언로딩버퍼(472)로 이송하는 제1언로딩픽커(4711, 도 8에 도시됨), 및 테스트된 반도체 소자를 상기 언로딩버퍼(472)에서 고객트레이(500)로 이송하는 제2언로딩픽커(4712, 도 8에 도시됨)를 포함할 수도 있다.The unloading unit 47 may further include an unloading buffer 472 (shown in FIG. 8) for temporarily storing the tested semiconductor elements. In this case, the unloading picker 471 picks up the tested semiconductor device from the test tray 100 located at the unloading position 47a and then transfers the picked up semiconductor device to the unloading buffer 472 And can be accommodated in the customer tray 500. The unloading picker 471 includes a first unloading picker 4711 (shown in FIG. 8) for transferring the tested semiconductor element from the test tray 100 to the unloading buffer 472, And a second unloading picker 4712 (shown in FIG. 8) that transports the unloading buffer 472 from the unloading buffer 472 to the customer tray 500.

도시되지 않았지만, 상기 언로딩유닛(47)은 테스트 트레이(100)를 이송하기 위한 언로딩이송수단을 포함할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 테스트 트레이(100)를 밀거나 테스트 트레이(100)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 컨베이어부(2)에서 상기 언로딩위치(47a)로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(100)를 상기 언로딩위치(47a)에서 상기 컨베이어부(2)로 이송할 수 있다. 상기 언로딩이송수단은 상기 언로딩공정이 완료됨에 따라 비게 되는 테스트 트레이(100)를 상기 언로딩위치(47a)에서 상기 로딩위치(46a)로 이송할 수도 있다. 상기 언로딩이송수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(100)를 이송할 수 있다.Although not shown, the unloading unit 47 may include unloading and conveying means for conveying the test tray 100. The unloading and conveying means can push the test tray 100 or pull the test tray 100 to transport it. The unloading and conveying means can transfer the test tray 100 from which the test process has been completed to the unloading position 47a from the conveyor portion 2. [ The unloading and conveying means may convey the test tray 100 which is empty as the unloading process is completed, from the unloading position 47a to the conveyor portion 2. [ The unloading and conveying means may convey the test tray 100 which is emptied as the unloading process is completed, from the unloading position 47a to the loading position 46a. The unloading and conveying means may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley, A linear motor using a coil, a permanent magnet, or the like can be used to transfer the test tray 100.

도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 소팅부(4)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 소팅부(4)들은 상기 컨베이어부(2)를 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 소팅부(4)는 상기 로딩유닛(46)과 상기 언로딩유닛(47)이 서로 이격되어 설치될 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 서로 독립적으로 수행되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정이 서로 독립적으로 수행됨에 따라 각 공정들에 걸리는 작업시간이 서로에게 영향을 미치는 것을 최소화할 수 있다. 상기 로딩유닛(46)과 상기 언로딩유닛(47)은 상기 컨베이어부(2)를 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다.Although not shown, the inline test handler 1 according to the present invention may include a plurality of sorting units 4. In this case, the sorting units 4 may be installed apart from each other along the conveyor unit 2. According to a modified embodiment of the present invention, the sorting unit 4 may be installed such that the loading unit 46 and the unloading unit 47 are spaced apart from each other. Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention can be implemented such that the loading process and the unloading process are performed independently of each other. Accordingly, since the loading process, the unloading process, and the testing process are performed independently of each other, the inline test handler 1 according to the present invention can minimize the influence of the working time on each process . The loading unit 46 and the unloading unit 47 may be installed apart from each other along the conveyor unit 2. [

도 13 내지 도 18을 참고하면, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 경로전환부(5)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 13 to 18, the inline test handler 1 according to the present invention may further include a path switching unit 5.

상기 경로전환부(5)는 상기 컨베이어부(2, 도 13에 도시됨)에 연결되게 설치된다. 상기 경로전환부(5)는 상기 컨베이어기구(21, 도 13에 도시됨)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 경로전환부(5)는 테스트 트레이(100)에 대한 운반경로를 전환할 수 있다.The path switching unit 5 is installed to be connected to the conveyor unit 2 (shown in FIG. 13). The path switching unit 5 may be installed between the conveyor mechanism 21 (shown in FIG. 13). The path switching unit 5 may switch the transport path for the test tray 100. [

예컨대, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 경로전환부(5)는 일측에 위치된 제1컨베이어기구(21b)로부터 상기 제1운반경로(P1)를 따라 테스트 트레이(100)가 운반되면, 도 18에 도시된 바와 같이 해당 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제2운반경로(P2)로 전환할 수 있다. 이 경우, 테스트 트레이(100)는 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)에 의해 상기 경로전환부(5)로 운반될 수 있다. 상기 제1운반경로(P1)에서 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 경로전환부(5)의 타측에 위치된 제2컨베이어기구(21c)를 통해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다. 이 경우, 테스트 트레이(100)는 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다. 상기 제1운반경로(P1)에서 상기 제2운반경로(P2)로 운반경로가 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제1컨베이어기구(21b)를 통해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수도 있다. 이 경우, 테스트 트레이(100)는 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다.17, when the test tray 100 is conveyed along the first conveyance path P1 from the first conveyor mechanism 21b located at one side, the path switching unit 5, as shown in FIG. 18 The conveyance path of the test tray 100 can be switched to the second conveyance path P2 as shown in FIG. In this case, the test tray 100 can be conveyed to the path switching unit 5 by the first conveyor 211 of the first conveyor mechanism 21b. The test tray 100 which has been switched from the first conveyance path P1 to the second conveyance path P2 is connected to the second conveyance path 21b through the second conveyor mechanism 21c located on the other side of the path switching unit 5. [ 2 conveying path P2. In this case, the test tray 100 can be conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the second conveyor mechanism 21c. The test tray 100 in which the conveyance path is switched from the first conveyance path P1 to the second conveyance path P2 is moved along the second conveyance path P2 through the first conveyance mechanism 21b, Lt; / RTI > In this case, the test tray 100 can be conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the first conveyor mechanism 21b.

따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 상기 경로전환부(5)는 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제1컨베이어(211)에 테스트 트레이(100)가 대기하고 있는 경우, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제1운반경로(P1)에서 상기 제2운반경로(P2)로 전환할 수 있다. 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제1컨베이어(211)에 대기하고 있는 테스트 트레이(100)를 회피하여 상기 제2운반경로(P2)를 따라 계속하여 운반될 수 있다. 이 경우, 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다.First, when the test tray 100 is waiting on the first conveyor 211 of the second conveyor mechanism 21c, the path switching unit 5 turns on the first conveyor 21b of the first conveyor mechanism 21b 211 from the first conveyance path (P1) to the second conveyance path (P2). The test tray 100 switched to the second conveyance path P2 avoids the test tray 100 waiting in the first conveyor 211 of the second conveyor mechanism 21c, (P2). ≪ / RTI > In this case, the test tray 100 switched to the second conveyance path P2 is conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the second conveyance mechanism 21c .

이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제1컨베이어(211)에 대기하고 있는 테스트 트레이(100)로 인해 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)에 대한 운반작업이 지연되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 효율적으로 분배할 수 있도록 구현됨으로써, 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.Accordingly, the inline test handler 1 according to the present invention is capable of preventing the test tray 100 waiting on the first conveyor 211 of the second conveyor mechanism 21c from being in contact with the first conveyor mechanism 21b It is possible to prevent the conveyance operation for the test tray 100 conveyed from the conveyor 211 from being delayed. Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can efficiently distribute the test tray 100 in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process and the test process. It is possible to improve the equipment operation rate.

둘째, 상기 경로전환부(5)는 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)가 테스트공정이 완료된 것인 경우, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제1운반경로(P1)에서 상기 제2운반경로(P2)로 전환할 수 있다. 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)에 의해 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반되는 테스트 트레이(100)를 회피하여 상기 제2운반경로(P2)를 따라 계속하여 운반될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반되는 테스트 트레이(100)로 인해 대기하지 않고 상기 소팅부(4)로 계속하여 운반될 수 있다. 이 경우, 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다. 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제2컨베이어기구(21c)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 계속하여 운반됨으로써 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반되는 테스트 트레이(100)로 인해 대기하지 않고 상기 소팅부(4)로 운반될 수도 있다. 이 경우, 상기 제2운반경로(P2)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제2컨베이어(212)에 의해 상기 제2운반경로(P2)를 따라 운반될 수 있다.The path switching unit 5 switches the first conveyor mechanism 21b when the test tray 100 transported from the first conveyor 211 of the first conveyor mechanism 21b is tested, The conveyance path of the test tray 100 conveyed from the first conveyor 211 of the first conveyance path P1 may be switched from the first conveyance path P1 to the second conveyance path P2. The test tray 100 switched to the second conveyance path P2 is connected to the test tray 100 conveyed along the first conveyance path P1 by the first conveyor 211 of the first conveyance mechanism 21b 100) and continue to be conveyed along the second conveyance path P2. Accordingly, the test tray 100 switched to the second conveyance path P2 can be moved to the sorting section 4 without waiting due to the test tray 100 carried along the first conveyance path P1 It can be carried continuously. In this case, the test tray 100 switched to the second conveyance path P2 is conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the first conveyance mechanism 21b . The test tray 100 switched to the second conveyance path P2 is continuously conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the second conveyance mechanism 21c, It may be conveyed to the sorting unit 4 without waiting due to the test tray 100 carried along the first conveyance path P1. In this case, the test tray 100 switched to the second conveyance path P2 is conveyed along the second conveyance path P2 by the second conveyor 212 of the first conveyance mechanism 21b .

따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 테스트공정이 완료된 테스트 트레이(100)를 상기 소팅부(4)로 운반하는데 걸리는 시간을 단축함으로써, 테스트 완료된 반도체 소자를 등급별로 분류하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention shortens the time taken to transport the test tray 100 after the test process is completed to the sorting section 4, thereby reducing the time taken to classify the tested semiconductor devices into classes Can be shortened.

셋째, 상기 경로전환부(5)는 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제2컨베이어(212)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)가 상기 제2컨베이어기구(21c)에 배치된 챔버부(100)에 공급되어 테스트공정이 수행될 것인 경우, 상기 제1컨베이어기구(21b)의 제2컨베이어(212)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제2운반경로(P2)에서 상기 제1운반경로(P1)로 전환할 수 있다. 상기 제1운반경로(P1)로 전환된 테스트 트레이(100)는, 상기 제2컨베이어기구(21a)의 제1컨베이어(211)에 의해 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반됨으로써 상기 제2컨베이어기구(21c)에 배치된 챔버부(100)에 공급될 수 있다.The path switching unit 5 switches the test tray 100 from the second conveyor 212 of the first conveyor mechanism 21b to the chamber unit 100 disposed in the second conveyor mechanism 21c, The conveyance path of the test tray 100 conveyed from the second conveyor 212 of the first conveyor mechanism 21b is switched from the second conveyance path P2 to the second conveyance path 1 transport path (P1). The test tray 100 switched to the first conveyance path P1 is conveyed along the first conveyance path P1 by the first conveyor 211 of the second conveyance mechanism 21a, And may be supplied to the chamber part 100 disposed in the conveyor mechanism 21c.

따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 효율적으로 분배할 수 있도록 구현됨으로써, 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention can efficiently distribute the test tray 100 in consideration of the time taken to perform each of the loading process, the unloading process and the test process. It is possible to improve the equipment operation rate.

본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 경로전환부(5)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 경로전환부(5)들은 각각 상기 컨베이어기구(21)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정 및 상기 테스트공정 각각을 수행하는데 걸리는 시간을 고려하여 상기 컨베이어부(2)가 테스트 트레이(100)를 더 효율적으로 분배할 수 있도록 구현됨으로써, 장비 가동률을 더 향상시킬 수 있다.The inline test handler 1 according to the present invention may include a plurality of the path switching unit 5. The path switching portions 5 may be installed between the conveyor mechanisms 21, respectively. Accordingly, the in-line test handler 1 according to the present invention can reduce the time required for the conveying unit 2 to perform the loading process, the unloading process, and the test process, , It is possible to further improve the equipment operation rate.

도 13 내지 도 18을 참고하면, 상기 경로전환부(5)는 지지기구(51, 도 15에 도시됨) 및 승강유닛(52, 도 15에 도시됨)을 포함할 수 있다.13 to 18, the path switching unit 5 may include a support mechanism 51 (shown in Fig. 15) and a lift unit 52 (shown in Fig. 15).

상기 지지기구(51)는 테스트 트레이(100)를 지지한다. 상기 지지기구(51)는 상기 컨베이어기구(21)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)를 지지할 수 있다. 상기 지지기구(51)는 상기 승강유닛(52)에 의해 상기 수직방향(Z축 방향)으로 승강함으로써, 상기 제1컨베이어(211) 및 상기 제2컨베이어(212)로부터 운반되는 테스트 트레이(100)를 선택적으로 지지할 수 있다. 상기 지지기구(51)는 상기 컨베이어기구(21)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다.The support mechanism (51) supports the test tray (100). The support mechanism (51) can support the test tray (100) carried from the conveyor mechanism (21). The support mechanism 51 ascends and descends in the vertical direction (Z-axis direction) by the elevating unit 52 to guide the test tray 100 carried from the first conveyor 211 and the second conveyor 212, Can be selectively supported. The support mechanism (51) may be installed between the conveyor mechanisms (21).

상기 지지기구(51)는 본체(5a, 도 14에 도시됨)에 결합된다. 상기 본체(5a)는 상기 지지기구(51) 및 상기 컨베이어기구(21, 도 13에 도시됨) 간에 테스트 트레이(100)가 이송될 수 있는 높이에 상기 지지기구(51)가 위치되게 상기 지지기구(51)를 지지할 수 있다. 상기 본체(5a)는 상기 지지기구(51)가 상기 제1컨베이어기구(21b, 도 18에 도시됨) 및 상기 제2컨베이어기구(21c, 도 18에 도시됨) 사이에 위치되게 상기 지지기구(51)를 지지할 수 있다.The support mechanism 51 is coupled to the main body 5a (shown in Fig. 14). The main body 5a is supported by the support mechanism 51 such that the support mechanism 51 is positioned at a height at which the test tray 100 can be transferred between the support mechanism 51 and the conveyor mechanism 21 (51). The main body 5a is fixed to the support mechanism 51 such that the support mechanism 51 is positioned between the first conveyor mechanism 21b (shown in Fig. 18) and the second conveyor mechanism 21c (shown in Fig. 18) 51).

상기 지지기구(51)는 테스트 트레이(100)가 통과하기 위한 통과공(511, 도 14에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 통과공(511)에 의해 상기 지지기구(51)는 양측이 개방된 형태로 형성될 수 있다. 테스트 트레이(100)는 상기 통과공(511)을 통해 상기 지지기구(51)로 반입되고, 상기 지지기구(51)로부터 반출될 수 있다.The support mechanism 51 may include a through hole 511 (shown in FIG. 14) through which the test tray 100 passes. The support mechanism 51 may be formed in a shape in which both sides thereof are opened by the passage holes 511. [ The test tray 100 is carried into the support mechanism 51 through the through hole 511 and can be taken out of the support mechanism 51.

상기 지지기구(51)는 테스트 트레이(100)의 이동을 가이드하기 위한 가이드부재들(512, 512')을 포함할 수 있다. 테스트 트레이(100)는 양측 변(邊)들이 상기 가이드부재들(512, 512')에 삽입되어 상기 가이드부재들(512, 512')을 따라 이동할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 테스트 트레이(100)를 상기 지지기구(51)로 반입하는 공정 및 테스트 트레이(100)를 상기 지지기구(51)로부터 반출하는 공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. 상기 가이드부재들(512, 512')은 테스트 트레이(100)를 지지하는 기능도 병행하여 수행할 수 있다. 상기 가이드부재들(512, 512')은 각각 디귿 자 형태로 형성될 수 있다.The support mechanism 51 may include guide members 512 and 512 'for guiding the movement of the test tray 100. Both sides of the test tray 100 can be inserted into the guide members 512 and 512 'and move along the guide members 512 and 512'. The inline test handler 1 according to the present invention is capable of accurately measuring the accuracy of the process of bringing the test tray 100 into the support mechanism 51 and the process of removing the test tray 100 from the support mechanism 51 Can be improved. The guide members 512 and 512 'may also perform the function of supporting the test tray 100 in parallel. Each of the guide members 512 and 512 'may be formed in a diagonal shape.

상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)를 승강시킨다. 상기 지지기구(51)는 상기 승강유닛(52)에 결합될 수 있다. 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)를 승강시킴으로써, 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)가 상기 운반경로들(P1, P2) 중에서 어느 하나에 대응되는 높이에 위치되도록 상기 지지기구(51)를 승강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)의 운반경로를 전환할 수 있다.The elevating unit (52) lifts the supporting mechanism (51). The supporting mechanism 51 may be coupled to the elevating unit 52. The elevating unit 52 can raise and lower the test tray 100 supported by the supporting mechanism 51 by moving the supporting mechanism 51 up and down. The elevating unit 52 can lift the supporting mechanism 51 such that the supporting mechanism 51 is positioned at a height corresponding to any one of the transportation paths P1 and P2. Accordingly, the elevating unit 52 can switch the conveying path of the test tray 100 supported by the supporting mechanism 51. [0050]

상기 승강유닛(52)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 지기기구(51)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강유닛(52)이 실린더방식을 이용하여 상기 베이스기구(3)를 승강시키는 경우, 상기 지지기구(51)는 실린더의 로드에 결합됨으로써, 실린더의 로드가 이동함에 따라 승강할 수 있다. 상기 승강유닛(52)은 상기 본체(5a)에 결합될 수 있다.The elevating unit 52 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, System, a linear motor using a coil and a permanent magnet, etc., can be used to raise and lower the holding mechanism 51. When the elevating unit 52 moves up and down the base mechanism 3 using the cylinder system, the supporting mechanism 51 is coupled to the rod of the cylinder so that it can move up and down as the rod of the cylinder moves. The elevating unit 52 may be coupled to the main body 5a.

상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)가 상기 제1컨베이어(211) 및 상기 제2컨베이어(212)에 선택적으로 연결되어 테스트 트레이(100)를 운반하도록 상기 지지기구(51)를 승강시킬 수 있다.The lifting unit 52 is configured to lift the support mechanism 51 so that the support mechanism 51 is selectively connected to the first conveyor 211 and the second conveyor 212 to convey the test tray 100 .

예컨대, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 제1컨베이어기구(21b)에서 상기 제1운반경로(P1)를 따라 운반되는 테스트 트레이(100)는, 상기 제1운반경로(P1)에 대응되는 높이에 위치된 지지기구(51)로 운반될 수 있다. 이 경우, 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)가 상기 제1운반경로(P1)에 대응되는 높이에 위치되도록 상기 지지기구(51)를 상승시킨 상태이다. 이에 따라, 상기 지지기구(51)는 상기 제1컨베이어기구(21b) 및 상기 제2컨베이어기구(21c) 각각이 갖는 제1컨베이어(211)에 연결된다. 테스트 트레이(100)는 상기 제1운반경로(P1)를 형성하는 제1컨베이어기구(21b)의 제1컨베이어(211)로부터 상기 제1운반경로(P1)에 대응되는 높이에 위치된 지지기구(51)로 운반됨으로써, 상기 지지기구(51)의 가이드부재(512)에 지지될 수 있다.For example, as shown in FIG. 17, the test tray 100 carried along the first conveyance path P1 in the first conveyor mechanism 21b has a height corresponding to the first conveyance path P1 And can be conveyed to the supported support mechanism 51. In this case, the elevation unit 52 is in a state in which the support mechanism 51 is raised so that the support mechanism 51 is positioned at a height corresponding to the first conveyance path P1. Accordingly, the support mechanism 51 is connected to the first conveyor 211 of the first conveyor mechanism 21b and the second conveyor mechanism 21c, respectively. The test tray 100 is supported by a support mechanism positioned at a height corresponding to the first conveyance path P1 from the first conveyor 211 of the first conveyor mechanism 21b forming the first conveyance path P1 51 so as to be supported by the guide member 512 of the support mechanism 51.

상기 지지기구(51)에 테스트 트레이(100)가 지지되면, 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)를 승강시킴으로써 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)의 높이를 조절할 수 있다. 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 승강유닛(52)은 상기 지지기구(51)가 상기 제2운반경로(P2)에 대응되는 높이에 위치되도록 상기 지지기구(51)를 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지기구(51)는 상기 제2컨베이어기구(21c) 및 상기 제1컨베이어기구(21b) 각각이 갖는 제2컨베이어(212)에 연결된다. 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)는 상기 제2운반경로(P2)에 대응되는 높이로 하강된다. 테스트 트레이(100)는 상기 제2운반경로(P2)에 대응되는 높이에 위치된 지지기구(51)로부터 상기 제2운반경로(P2)를 형성하는 제2컨베이어기구(21c)의 제2컨베이어(212)로 운반될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제1컨베이어기구(21b)에서 상기 제2컨베이어기구(21c)로 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제1운반경로(P1)에서 상기 제2운반경로(P2)로 전환할 수 있다.When the test tray 100 is supported on the support mechanism 51, the elevation unit 52 adjusts the height of the test tray 100 supported by the support mechanism 51 by lifting the support mechanism 51 . For example, as shown in FIG. 18, the elevating unit 52 may lower the supporting mechanism 51 such that the supporting mechanism 51 is positioned at a height corresponding to the second conveying path P2. Accordingly, the support mechanism 51 is connected to the second conveyor 212 of each of the second conveyor mechanism 21c and the first conveyor mechanism 21b. The test tray 100 supported by the support mechanism 51 descends to a height corresponding to the second conveyance path P2. The test tray 100 is connected to a second conveyor of the second conveyor mechanism 21c forming the second conveyance path P2 from a support mechanism 51 located at a height corresponding to the second conveyance path P2 212 < / RTI > Therefore, the inline test handler 1 according to the present invention is configured such that the conveyance path of the test tray 100 conveyed from the first conveyor mechanism 21b to the second conveyor mechanism 21c is connected to the first conveyance path P1, To the second conveyance path (P2).

도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제1컨베이어기구(21b)에서 상기 제2컨베이어기구(21c)로 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제2운반경로(P2)에서 상기 제1운반경로(P1)로 전환할 수도 있다. 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제2컨베이어기구(21c)에서 상기 제1컨베이어기구(21b)로 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 상기 제1운반경로(P1)와 상기 제2운반경로(P2) 간에 전환할 수도 있다. 본 발명에 따른 인라인 테스트 핸들러(1)는 상기 제1컨베이어기구(21b)와 상기 제2컨베이어기구(21c) 간에 운반되는 테스트 트레이(100)의 운반경로를 변경하지 않고, 테스트 트레이(100)가 운반경로를 유지한 상태로 상기 제1컨베이어기구(21b)와 상기 제2컨베이어기구(21c) 간에 운반되도록 동작할 수도 있다.Although not shown, the in-line test handler 1 according to the present invention may be configured such that the conveyance path of the test tray 100 carried from the first conveyor mechanism 21b to the second conveyor mechanism 21c is connected to the second conveyance path P2) to the first conveyance path (P1). The inline test handler 1 according to the present invention is configured such that the conveyance path of the test tray 100 conveyed from the second conveyor mechanism 21c to the first conveyor mechanism 21b is connected to the first conveyance path P1, And the second conveyance path P2. The inline test handler 1 according to the present invention does not change the conveyance path of the test tray 100 conveyed between the first conveyor mechanism 21b and the second conveyor mechanism 21c, And may be operated to be transported between the first conveyor mechanism 21b and the second conveyor mechanism 21c while maintaining the conveyance path.

도시되지 않았지만, 상기 경로전환부(5)는 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)를 이송하기 위한 이송기구를 더 포함할 수 있다. 상기 이송기구는 테스트 트레이(100)를 밀거나 테스트 트레이(100)를 당겨서 이송할 수 있다. 상기 이송기구는 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제1컨베이어기구(21b, 도 17에 도시됨)로 이송할 수 있다. 상기 이송기구는 상기 지지기구(51)에 지지된 테스트 트레이(100)를 상기 제2컨베이어기구(21c, 도 17에 도시됨)로 이송할 수 있다. 상기 이송기구는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 테스트 트레이(100)를 이송할 수 있다.Although not shown, the path switching unit 5 may further include a transfer mechanism for transferring the test tray 100 supported by the support mechanism 51. The conveying mechanism can push the test tray 100 or pull the test tray 100 to convey it. The conveying mechanism may convey the test tray 100 supported by the support mechanism 51 to the first conveyor mechanism 21b (shown in FIG. 17). The conveying mechanism may convey the test tray 100 supported by the support mechanism 51 to the second conveyor mechanism 21c (shown in FIG. 17). The conveying mechanism may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley and a belt, And a linear motor using a permanent magnet or the like can be used to transfer the test tray 100.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It will be clear to those who have knowledge.

1 : 인라인 테스트 핸들러 2 : 컨베이어부
3 : 챔버부 4 : 소팅부
5 : 경로전환부 100 : 테스트 트레이1: Inline test handler 2: Conveyor part
3: chamber part 4: sorting part
5: path switching unit 100: test tray

Claims (16)

테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이에 수납시키는 로딩공정 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이로부터 분리하는 언로딩공정을 수행하기 위한 N개(N은 0보다 큰 정수)의 소팅부;
상기 소팅부로부터 이격되어 설치되고, 테스트 트레이에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키기 위한 M개(M은 N보다 큰 정수)의 챔버부; 및
N개의 소팅부 및 M개의 챔버부가 서로 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반하는 컨베이어부를 포함하고,
상기 컨베이어부는 제1운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하는 제1컨베이어, 및 상기 제1운반경로로부터 수직방향으로 이격된 제2운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하는 제2컨베이어를 포함하며;
상기 소팅부는 고객트레이를 저장하기 위한 스택커유닛, 고객트레이를 이송하기 위한 이송유닛, 및 상기 이송유닛이 승강하는 승강속도를 조절하기 위한 조절유닛을 포함하고;
상기 조절유닛은 상기 이송유닛이 상기 스택커유닛에서 최상단에 위치한 고객트레이로부터 기설정된 안전거리로 이격된 변속위치에 도달할 때까지 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치에서부터 상기 제1속도에 비해 느린 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛의 승강속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.N (N is an integer greater than 0) sorting unit for performing a loading process for accommodating a semiconductor device to be tested in a test tray and an unloading process for separating the tested semiconductor device from a test tray;
M (M is an integer greater than N) chamber portions provided to be spaced apart from the sorting portion and for connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray to the test equipment; And
And a conveyor portion for conveying the test tray such that the N sorting portions and the M chamber portions are inline connected to each other,
The conveyor portion including a first conveyor for conveying a test tray along a first conveyance path and a second conveyor for conveying a test tray along a second conveyance path vertically spaced from the first conveyance path;
Wherein the sorting unit includes a stacker unit for storing a customer tray, a transfer unit for transferring a customer tray, and an adjustment unit for adjusting a speed at which the transfer unit ascends and descends;
Wherein the control unit is further configured to control the transport unit to move from the shift position to the first speed after descending to the first speed until the transport unit reaches the shift position spaced from the customer tray located at the uppermost position in the stacker unit, And adjusts the lifting speed of the transfer unit to fall at a slow second speed. 제1항에 있어서,
상기 제2컨베이어는 상기 제1컨베이어가 테스트 트레이를 운반하는 방향에 대해 반대되는 방향으로 테스트 트레이를 운반하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
Wherein the second conveyor conveys the test tray in a direction opposite to the direction in which the first conveyor conveys the test tray. 제1항에 있어서,
상기 제1컨베이어는 상기 챔버부에 공급될 테스트 트레이를 상기 제1운반경로를 따라 운반하고,
상기 제2컨베이어는 상기 챔버부를 거쳐 상기 소팅부로 공급될 테스트 트레이가 상기 제1운반경로를 따라 운반되는 테스트 트레이를 회피하도록, 상기 챔버부를 거쳐 상기 소팅부로 공급될 테스트 트레이를 상기 제2운반경로를 따라 운반하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
Wherein the first conveyor conveys a test tray to be supplied to the chamber portion along the first conveyance path,
The second conveyor is configured to transfer the test tray to be supplied to the sorting portion via the chamber portion to the second conveyance path so that the test tray to be supplied to the sorting portion via the chamber portion avoids the test tray to be conveyed along the first conveyance path, In-line test handler. 제1항에 있어서,
상기 컨베이어부에 연결되게 설치되는 경로전환부를 포함하고;
상기 경로전환부는 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구, 및 상기 지지기구를 승강시키기 위한 승강유닛을 포함하며;
상기 승강유닛은 상기 지지기구가 상기 제1컨베이어 및 상기 제2컨베이어에 선택적으로 연결되어 테스트 트레이를 운반하도록 상기 지지기구를 승강시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
And a path switching unit connected to the conveyor unit;
Wherein the path switching unit includes a support mechanism for supporting the test tray, and a lift unit for lifting the support mechanism;
Wherein the lifting unit lifts up the support mechanism so that the support mechanism is selectively connected to the first conveyor and the second conveyor to convey the test tray. 제1항에 있어서,
상기 컨베이어부는 상기 제1컨베이어 및 상기 제2컨베이어가 결합되는 컨베이어본체를 포함하고;
상기 제1컨베이어는 테스트 트레이를 지지하기 위한 제1운반벨트, 상기 제1운반벨트에 지지된 테스트 트레이가 상기 제1운반경로를 따라 운반되도록 상기 제1운반벨트를 순환 이동시키는 복수개의 제1풀리, 및 상기 제1풀리들 중에서 적어도 하나를 회전시키기 위는 제1작동기구를 포함하며;
상기 제2컨베이어는 테스트 트레이를 지지하기 위한 제2운반벨트, 상기 제2운반벨트에 지지된 테스트 트레이가 상기 제2운반경로를 따라 운반되도록 상기 제2운반벨트를 순환 이동시키는 복수개의 제2풀리, 및 상기 제2풀리들 중에서 적어도 하나를 회전시키기 위는 제2작동기구를 포함하고;
상기 제2풀리들은 상기 제2운반벨트가 상기 제1운반벨트의 하측에 위치되도록 상기 제1풀리들의 하측에 위치되게 상기 컨베이어본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.The method according to claim 1,
Wherein the conveyor portion includes a conveyor body to which the first conveyor and the second conveyor are coupled;
Wherein the first conveyor comprises a first conveyor belt for supporting a test tray, a plurality of first pulleys for circulating the first conveyor belt so that a test tray supported on the first conveyor belt is conveyed along the first conveyor path, And a first actuating mechanism for rotating at least one of the first pulleys;
The second conveyor includes a second conveyor belt for supporting the test tray, a plurality of second pulleys for circulating the second conveyor belt so that the test tray supported by the second conveyor belt is conveyed along the second conveyance path, And a second actuating mechanism for rotating at least one of the second pulleys;
Wherein the second pulleys are coupled to the conveyor body to be positioned below the first pulleys such that the second conveyor belt is located below the first conveyor belt. 테스트될 반도체 소자를 테스트 트레이에 수납시키는 로딩공정 및 테스트된 반도체 소자를 테스트 트레이로부터 분리하는 언로딩공정을 수행하기 위한 복수개의 소팅부;
상기 소팅부들로부터 이격되어 설치되고, 테스트 트레이에 수납된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키기 위한 복수개의 챔버부; 및
상기 소팅부들 및 상기 챔버부들이 서로 인라인으로 연결되도록 테스트 트레이를 운반하는 컨베이어부를 포함하고,
상기 컨베이어부는 테스트 트레이를 운반하기 위한 복수개의 컨베이어기구를 포함하며,
상기 컨베이어기구들은 각각 수직방향으로 이격된 복수개의 운반경로를 따라 테스트 트레이를 운반하기 위한 복수개의 컨베이어를 포함하고;
상기 소팅부는 고객트레이를 저장하기 위한 스택커유닛, 고객트레이를 이송하기 위한 이송유닛, 및 상기 이송유닛이 승강하는 승강속도를 조절하기 위한 조절유닛을 포함하며;
상기 조절유닛은 상기 이송유닛이 상기 스택커유닛에서 최상단에 위치한 고객트레이로부터 기설정된 안전거리로 이격된 변속위치에 도달할 때까지 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치에서부터 상기 제1속도에 비해 느린 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛의 승강속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.A plurality of sorting units for performing a loading process for accommodating semiconductor devices to be tested in a test tray and an unloading process for separating the tested semiconductor devices from the test tray;
A plurality of chamber parts spaced apart from the sorting parts and connecting the semiconductor devices accommodated in the test tray to the test equipment; And
And a conveyor portion for conveying the test tray such that the sorting portions and the chamber portions are connected inline with each other,
Wherein the conveyor portion includes a plurality of conveyor mechanisms for conveying a test tray,
The conveyor mechanisms comprising a plurality of conveyors for conveying test trays along a plurality of vertically spaced conveyance paths;
Wherein the sorting unit includes a stacker unit for storing a customer tray, a transfer unit for transferring a customer tray, and an adjustment unit for adjusting a speed at which the transfer unit ascends and descends;
Wherein the control unit is further configured to control the transport unit to move from the shift position to the first speed after descending to the first speed until the transport unit reaches the shift position spaced from the customer tray located at the uppermost position in the stacker unit, And adjusts the lifting speed of the transfer unit to fall at a slow second speed. 제6항에 있어서,
테스트 트레이에 대한 운반경로를 전환하기 위한 경로전환부를 포함하고;
상기 경로전환부는 테스트 트레이를 지지하기 위한 지지기구, 및 상기 지지기구가 상기 운반경로들 중에서 어느 하나에 대응되는 높이에 위치되도록 상기 지지기구를 승강시키는 승강유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.The method according to claim 6,
And a path switching section for switching a transport path for the test tray;
Wherein the path switching unit includes a support mechanism for supporting the test tray and an elevation unit for elevating and lowering the support mechanism so that the support mechanism is positioned at a height corresponding to any one of the conveyance paths. . 삭제delete 제1항 또는 제6항에 있어서,
상기 소팅부는 상기 이송유닛이 고객트레이를 이송함에 따른 고객트레이 변동정보로부터 상기 스택커유닛에서 최상단에 위치한 고객트레이에 대한 변동높이정보를 획득하는 획득유닛을 포함하고;
상기 조절유닛은 상기 변동높이정보가 획득되면, 상기 이송유닛이 상기 변동높이정보를 기준으로 상기 변속위치에 도달할 때까지 상기 제1속도로 하강한 후에 상기 변속위치에서부터 상기 제2속도로 하강하도록 상기 이송유닛의 승강속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.7. The method according to claim 1 or 6,
Wherein the sorting unit includes an acquiring unit for acquiring variation height information for a customer tray located at the uppermost position in the stacker unit from the customer tray variation information as the transferring unit transfers the customer tray;
Wherein the control unit causes the transport unit to descend to the first speed from the shift position to the second speed until the transport unit reaches the shift position based on the fluctuation height information Wherein the control unit adjusts the speed of the transfer unit in the vertical direction. 제9항에 있어서,
상기 스택커유닛은 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커를 포함하고;
상기 획득유닛은 상기 이송유닛이 상기 로딩스택커로부터 고객트레이를 반출하면, 상기 로딩스택커에서 반출된 고객트레이의 개수 및 두께로부터 상기 로딩스택커에 대한 변동높이정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.10. The method of claim 9,
The stacker unit including a loading stacker for storing a customer tray containing semiconductor elements to be tested;
Wherein the obtaining unit obtains the variation height information for the loading stacker from the number and thickness of the customer trays taken out from the loading stacker when the transporting unit takes out the customer tray from the loading stacker. Test handler. 제9항에 있어서,
상기 스택커유닛은 테스트된 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 저장하는 언로딩스택커를 포함하고;
상기 획득유닛은 상기 이송유닛이 상기 언로딩스택커에 고객트레이를 반입하면, 상기 언로딩스택커에 반입된 고객트레이의 개수 및 두께로부터 상기 언로딩스택커에 대한 변동높이정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.10. The method of claim 9,
The stacker unit including an unloading stacker for storing a customer tray containing the tested semiconductor elements;
Wherein the acquiring unit acquires variation height information for the unloading stacker from the number and thickness of the customer trays loaded in the unloading stacker when the transporting unit loads the customer tray into the unloading stacker An inline test handler. 제1항 또는 제6항에 있어서,
상기 소팅부는 상기 이송유닛에 결합되는 감지유닛을 포함하고,
상기 이송유닛은 고객트레이를 홀딩하기 위한 복수개의 그립퍼를 포함하며,
상기 감지유닛은 상기 그립퍼들 사이에 고객트레이가 위치되었는지 여부를 감지하고;
상기 조절유닛은 상기 감지유닛이 상기 그립퍼들 사이에 위치된 고객트레이를 감지하면, 상기 변속위치에서부터 상기 제2속도로 하강하는 이송유닛을 정지시키는 것을 특징으로 하는 인라인 테스트 핸들러.7. The method according to claim 1 or 6,
Wherein the sorting unit comprises a sensing unit coupled to the transport unit,
Wherein the transfer unit comprises a plurality of grippers for holding a customer tray,
Wherein the sensing unit senses whether a customer tray is positioned between the grippers;
Wherein the control unit stops the transfer unit descending at the second speed from the shift position when the sensing unit senses a customer tray positioned between the grippers. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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