KR20200021786A - Stocker - Google Patents

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KR20200021786A
KR20200021786A KR1020180097578A KR20180097578A KR20200021786A KR 20200021786 A KR20200021786 A KR 20200021786A KR 1020180097578 A KR1020180097578 A KR 1020180097578A KR 20180097578 A KR20180097578 A KR 20180097578A KR 20200021786 A KR20200021786 A KR 20200021786A
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Abstract

A stocker includes: a first port supporting a first carrier for loading and unloading of the first carrier of which a door is opened; a second port supporting a second carrier for loading and unloading of the second carrier of which the door is closed; shelves for storing the first carrier and the second carrier; a door attachment and detachment unit attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier or detaching the door from the second carrier to change the second carrier to the first carrier; and a transfer unit transferring the first carrier and the second carrier between the first port, the second port, the shelves and the door attachment and detachment unit, thereby storing the carrier of which the door is opened and the carrier of which the door is closed at the same time.

Description

스토커{Stocker}Stalker {Stocker}

본 발명은 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어들을 보관하기 위한 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker, and more particularly to a stocker for storing carriers.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 기판들 또는 웨이퍼들이 수납된 캐리어들은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들 및 상기 캐리어들을 로딩 및 언로딩하기 위한 포트를 구비할 수 있다.In the process of manufacturing a semiconductor device, carriers in which semiconductor substrates or wafers are accommodated may be stored in a stocker. The stocker may have a plurality of shelves for receiving the carriers and a port for loading and unloading the carriers.

상기 포트는 액티브 포트 또는 패시브 포트로 구분된다. The port is divided into an active port or a passive port.

상기 액티브 포트는 천장 반송 장치로 상기 캐리어를 로딩하거나, 상기 천장 반송 장치로부터 상기 캐리어를 언로딩한다. 상기 액티브 포트는 도어가 개방된 상기 캐리어를 지지할 수 있다. The active port loads the carrier into the ceiling conveying device or unloads the carrier from the ceiling conveying device. The active port may support the carrier with the door open.

상기 패시브 포트는 상기 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 캐리어를 지지한다. 상기 패시브 포트는 상기 도어가 닫힌 상기 캐리어를 지지할 수 있다. The passive port supports the carrier loaded and unloaded by the ceiling conveying device. The passive port may support the carrier with the door closed.

상기 액티브 포트와 상기 패시브 포트는 각각 다른 종류의 캐리어를 지지하므로, 하나의 스토커에 동시에 구비되지 않고 서로 다른 스토커에 구비된다. 따라서, 상기 액티브 포트가 구비되는 스토커와 상기 패시브 포트가 구비되는 스토커가 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 반도체 장치의 제조 공정에서 요구되는 상기 스토커의 종류가 증가할 수 있다.Since the active port and the passive port each support different kinds of carriers, the active port and the passive port are provided in different stockers instead of simultaneously in one stocker. Therefore, a stocker provided with the active port and a stocker provided with the passive port may be provided. Therefore, the kind of stocker required in the manufacturing process of the semiconductor device may increase.

본 발명은 도어가 개방된 캐리어와 도어가 닫힌 캐리어를 동시에 보관하는 스토커를 제공한다. The present invention provides a stocker for storing the carrier with the door open and the carrier with the door closed.

본 발명에 따른 스토커는, 도어가 개방된 제1 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 포트와, 상기 도어가 닫힌 제2 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 포트와, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어들을 수납하기 위한 선반들과, 상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어에 상기 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하는 도어 탈부착 유닛 및 상기 제1 포트, 상기 제2 포트, 상기 선반들 및 상기 도어 탈부착 유닛 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 이송하는 이송 유닛을 포함할 수 있다. The stocker according to the present invention comprises a first port for supporting the first carrier for loading and unloading a first carrier with a door open, and the second port for loading and unloading a second carrier with the door closed. A second port for supporting a carrier, shelves for accommodating the first carrier and the second carriers, and attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier, The first between a door detachable unit and the first port, the second port, the shelves and the door detachable unit to separate the door from the second carrier to change the second carrier to the first carrier. It may include a carrier for transporting the carrier and the second carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트는 제1 천장 반송 장치로 상기 제1 캐리어를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치로부터 상기 제1 캐리어를 언로딩하고, 상기 제2 포트는 제2 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어를 지지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port loads the first carrier to a first ceiling carrier, or unloads the first carrier from the first ceiling carrier, and the second port is The second carrier loaded and unloaded by the second ceiling conveying apparatus may be supported.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트는, 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부와 연결되며, 상기 제1 지지부를 상기 제1 천장 반송 장치를 향해 수평 이동시키는 슬라이딩부 및 상기 제1 지지부가 상기 제1 캐리어를 로딩 및 언로딩하도록 상기 제1 지지부 및 상기 슬라이딩부를 승강시키는 승강부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port is connected to the first support part for supporting the first carrier and the first support part, and the first support part is horizontally directed toward the first ceiling conveying apparatus. The sliding part and the first support part may include a lifting part for lifting the first support part and the sliding part to load and unload the first carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 지지부는 상기 제1 캐리어를 일정 각도만큼 기울어지도록 지지하며, 상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 상기 기울어진 상태로 이송할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, to prevent the object loaded in the first carrier from being separated through the open door of the first carrier, the first support portion is inclined to the first carrier by an angle. The transfer unit may support the first carrier and the second carrier in the inclined state.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 포트는, 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 지지부 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제2 지지부의 경사를 조절하는 제1 조절부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the second port, the second support portion for supporting the second carrier and the second support portion to maintain any one of the horizontal state and the inclined state of the second carrier It may include a first control unit for adjusting the inclination.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 천장 반송 장치와 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고, 상기 이송 유닛과 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when loading and unloading the second carrier between the second ceiling conveying apparatus and the second support, the second support maintains the horizontal state, The second support may maintain the inclined state when loading and unloading the second carrier between the second supports.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 탈부착 유닛은, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 지지하는 제3 지지부와, 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제3 지지부의 경사를 조절하는 제2 조절부와, 상기 도어를 적재하는 적재부 및 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하여 상기 적재부에 적재하는 탈부착부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the door detachable unit, the third support for supporting the first carrier and the second carrier, the first carrier and the second carrier in a horizontal state and the inclined state A second adjusting part for adjusting an inclination of the third supporting part to hold any one of the first and second mounting parts; and a loading part for loading the door and a door for the loading part on the first carrier, It may include a detachable portion to be separated and loaded on the loading portion.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리할 때 상기 제3 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고, 상기 이송 유닛과 상기 제3 지지부 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제3 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when attaching the door of the loading part to the first carrier or detaching the door from the second carrier, the third support part maintains the horizontal state, The third support may maintain the inclined state when loading and unloading the first carrier and the second carrier between the third supports.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 천장 반송 장치와 상기 제2 천장 반송 장치가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 제1 포트와 상기 제2 포트는 상기 이송 유닛의 양측에 각각 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port and the second port are respectively disposed on both sides of the transfer unit to prevent the first ceiling conveying device and the second ceiling conveying device from interfering with each other. Can be.

본 발명에 따른 스토커는 상기 선반에 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어를 동시에 보관할 수 있다. 따라서, 반도체 장치의 제조 공정에서 요구되는 상기 스토커의 종류를 줄일 수 있으며, 상기 스토커의 활용도를 높일 수 있다. The stocker according to the present invention may simultaneously store the first carrier and the second carrier on the shelf. Therefore, the kind of the stocker required in the manufacturing process of the semiconductor device can be reduced, and the utilization of the stocker can be increased.

또한, 상기 스토커는 상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하고, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경할 수 있다. 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어 사이의 변경이 용이하므로, 상기 제1 천장 반송 장치 및 상기 제2 천장 반송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the stocker may change the first carrier to the second carrier, and the second carrier to the first carrier. Since the change between the first carrier and the second carrier is easy, the transfer efficiency of the first ceiling transfer device and the second ceiling transfer device can be improved.

그리고, 상기 제1 포트, 상기 도어 탈부착 유닛 및 상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어를 상기 일정 각도 기울어진 상태로 지지한다. 따라서, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The first port, the door detachable unit, and the transfer unit support the first carrier in an inclined angle. Therefore, the object loaded on the first carrier can be prevented from being separated through the open door of the first carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 포트를 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제2 포트를 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 도어 탈부착 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.
도 5는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.1 is a schematic front view illustrating a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view for explaining the first port illustrated in FIG. 1.
3 is an enlarged view illustrating the second port illustrated in FIG. 1.
FIG. 4 is an enlarged view for explaining the door detachment unit illustrated in FIG. 1.
5 is an enlarged view for describing the transfer unit illustrated in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific form disclosed, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art, and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 포트를 설명하기 위한 확대도이고, 도 3은 도 1에 도시된 제2 포트를 설명하기 위한 확대도이고, 도 4는 도 1에 도시된 도어 탈부착 유닛을 설명하기 위한 확대도이고, 도 5는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.1 is a schematic front view illustrating a stocker according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view illustrating the first port shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a second view shown in FIG. 1. 4 is an enlarged view for explaining the port, FIG. 4 is an enlarged view for explaining the door detachable unit shown in FIG. 1, and FIG. 5 is an enlarged view for explaining the transfer unit shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 스토커(100)는 선반들(110), 제1 포트(120), 제2 포트(130), 도어 탈부착 유닛(140) 및 이송 유닛(150)을 포함할 수 있다. 1 to 5, the stocker 100 may include shelves 110, a first port 120, a second port 130, a door detachable unit 140, and a transfer unit 150. have.

상기 선반들(110)은 제1 캐리어들(12) 및 제2 캐리어들(22)을 수납할 수 있다. 상기 선반들(110)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 일정 각도만큼 기울어진 상태로 수납할 수 있다. 상기 선반들(110)은 X축 방향 및 Z축 방향으로 배열될 수 있다. The shelves 110 may accommodate the first carriers 12 and the second carriers 22. The shelves 110 may accommodate the first carrier 12 and the second carrier 22 in an inclined state by a predetermined angle. The shelves 110 may be arranged in an X-axis direction and a Z-axis direction.

일 예로, 도시된 바와 같이 선반들(110)은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 선반들(110)을 1열로 배치될 수도 있다. For example, as shown, the shelves 110 may be arranged to face each other in two rows in parallel. As another example, although not shown, the shelves 110 may be arranged in a single row.

상기 제1 캐리어들(12) 및 상기 제2 캐리어들(22)은 각각 대상물을 수용한다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 웨이퍼, 인쇄회로기판, 반도체 패키지, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 제1 캐리어들(12) 및 상기 제2 캐리어들(22)의 예로는 풉(FOUP, Front Open Unified Pod), 포스비(FOSB, Front Opening Shipping Box), 매거진 등을 들 수 있다. The first carriers 12 and the second carriers 22 each receive an object. Examples of the object include a semiconductor substrate, a wafer, a printed circuit board, a semiconductor package, a reticle, and the like. Examples of the first carriers 12 and the second carriers 22 may include a front open unified pod (FOUP), a front opening shipping box (FOSB), a magazine, and the like.

상기 제1 캐리어들(12)은 도어(24)가 분리되어 일측이 개방되며, 상기 제2 캐리어들(12)은 상기 도어(24)가 부착되어 상기 일측이 차단된다. The first carriers 12 have a door 24 separated and one side is opened, and the second carriers 12 have the door 24 attached thereto and the one side is blocked.

제1 천장 반송 장치(10)는 상기 제1 캐리어(12)를 이송하고, 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 X축 방향을 따라 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. The first ceiling transport apparatus 10 transports the first carrier 12, and the second ceiling transport apparatus 20 transports the second carrier 22. The first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 transport the first carrier 12 and the second carrier 22 along the X-axis direction.

상기 제1 천장 반송 장치(10) 및 상기 제2 천장 반송 장치(20)의 예로는 OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Overhead Shuttle System) 등을 들 수 있다. Examples of the first ceiling transfer device 10 and the second ceiling transfer device 20 may include an overhead hoist transport (OHT), an overhead shuttle system (OHS), and the like.

상기 제1 천장 반송 장치(10)는 상기 개방된 일측이 상방을 향하도록 상기 제1 캐리어(12)를 일정 각도만큼 기울어지도록 고정한다. 따라서, 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 상기 대상물이 상기 개방된 일측을 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The first ceiling transport apparatus 10 fixes the first carrier 12 to be inclined by a predetermined angle so that the open one side faces upward. Therefore, the object loaded on the first carrier 12 can be prevented from being separated through the open side.

상기 제2 캐리어(22)는 상기 도어(24)가 닫힌 상태이므로 상기 대상물이 이탈되지 않는다. 따라서, 상기 제2 천장 반송 장치(20)는 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 고정할 수 있다. Since the door 24 is closed, the second carrier 22 does not detach the object. Therefore, the second ceiling transfer device 20 may fix the second carrier 22 in a horizontal state.

상기 제1 포트(120)는 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어(12)를 지지한다. 상기 제1 포트(120)는 상기 제1 천장 반송 장치(10)로 상기 제1 캐리어(12)를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로부터 상기 제1 캐리어(12)를 언로딩한다. The first port 120 supports the first carrier 12 for loading and unloading the first carrier 12. The first port 120 loads the first carrier 12 into the first ceiling conveyance apparatus 10 or unloads the first carrier 12 from the first ceiling conveyance apparatus 10. .

상기 제1 포트(120)는 제1 지지부(122), 슬라이딩부(124) 및 승강부(126)를 포함할 수 있다. The first port 120 may include a first support part 122, a sliding part 124, and a lifting part 126.

상기 제1 지지부(122)는 상기 제1 캐리어(12)를 지지한다. 예를 들면, 상기 제1 지지부(122)의 상기 제1 캐리어(12)의 하부면을 지지할 수 있다. The first support part 122 supports the first carrier 12. For example, the lower surface of the first carrier 12 of the first support part 122 may be supported.

상기 제1 지지부(122)는 상기 제1 캐리어(12)를 상기 일정 각도만큼 기울어지도록 지지한다. 따라서, 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어(12)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The first support part 122 supports the first carrier 12 to be inclined by the predetermined angle. Therefore, the object loaded on the first carrier 12 can be prevented from being separated from the first carrier 12.

상기 슬라이딩부(124)는 상기 제1 지지부(122)와 연결되며, 상기 제1 지지부(122)를 상기 제1 천장 반송 장치(10)를 향해 수평 이동시킨다. 일 예로, 상기 슬라이딩부(124)는 상기 제1 지지부(122)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. The sliding part 124 is connected to the first support part 122 and horizontally moves the first support part 122 toward the first ceiling transfer device 10. For example, the sliding part 124 may horizontally move the first support part 122 in the Y-axis direction.

상기 승강부(126)는 상기 제1 지지부(122) 및 상기 슬라이딩부(124)를 승강시킬 수 있다. 따라서, 상기 제1 지지부(122)가 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제1 천장 반송 장치(10)에 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로부터 상기 제1 캐리어(122)를 언로딩할 수 있다. The elevating part 126 may elevate the first support part 122 and the sliding part 124. Therefore, the first support part 122 loads the first carrier 12 into the first ceiling conveyance apparatus 10 or frees the first carrier 122 from the first ceiling conveyance apparatus 10. Can be loaded

상기 제1 포트(120)는 제1 감지부(128)를 더 포함할 수 있다. The first port 120 may further include a first detector 128.

상기 제1 감지부(128)는 상기 제1 지지부(122)의 상방에 구비되며, 상기 제1 천장 반송 장치(10)로 로딩되는 상기 제1 캐리어(12)에서 상기 도어(24)를 감지한다. The first detection unit 128 is provided above the first support unit 122 and detects the door 24 in the first carrier 12 loaded into the first ceiling transfer device 10. .

상기 제1 천장 반송 장치(10)로 로딩되는 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)가 부착된 경우, 상기 제1 캐리어(12)를 이용하는 후속 공정이 정상적으로 이루어지기 어렵다. 따라서, 상기 제1 감지부(128)가 상기 제1 캐리어(12)에서 상기 도어(24)가 감지되면, 알람부(미도시)가 작업자에게 경고하기 위해 알람을 발생한다. When the door 24 is attached to the first carrier 12 loaded into the first ceiling transport apparatus 10, a subsequent process using the first carrier 12 may not be normally performed. Accordingly, when the first detection unit 128 detects the door 24 in the first carrier 12, an alarm unit (not shown) generates an alarm to warn an operator.

일 예로, 상기 제1 포트(120)는 하나가 구비되어 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 포트(120)는 한 쌍이 구비되어 상기 제1 캐리어(12)의 로딩 및 언로딩을 분리하여 수행할 수 있다.For example, one first port 120 may be provided to simultaneously perform loading and unloading of the first carrier 12. As another example, the first port 120 may be provided with a pair to separate loading and unloading of the first carrier 12.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 천장 반송 장치(10)가 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제1 포트(120)로 로딩하거나 상기 제1 포트(120)로부터 언로딩할 수도 있다. Although not shown, the first ceiling transport apparatus 10 may load the first carrier 12 into the first port 120 or unload it from the first port 120.

상기 제2 포트(130)는 상기 제2 천장 반송 장치(20)에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어(22)를 지지한다. The second port 130 supports the second carrier 22 which is loaded and unloaded by the second ceiling conveying apparatus 20.

상기 제2 포트(130)는 제2 지지부(132) 및 제1 조절부(134)를 포함할 수 있다. The second port 130 may include a second support part 132 and a first adjusting part 134.

상기 제2 지지부(132)는 상기 제2 캐리어(22)를 지지한다. 예를 들면, 상기 제2 지지부(132)의 상기 제2 캐리어(22)의 하부면을 지지할 수 있다. The second support part 132 supports the second carrier 22. For example, the lower surface of the second carrier 22 of the second support part 132 may be supported.

상기 제1 조절부(134)는 상기 제2 지지부(132)의 기울기를 조절하여 상기 제2 캐리어(22)가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 한다. The first adjusting part 134 adjusts the inclination of the second support part 132 to maintain the second carrier 22 in one of a horizontal state and the inclined state.

상기 제2 천장 반송 장치(20)가 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 이송한다. 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제2 지지부(132)로 로딩하거나, 상기 제2 지지부(132)로부터 상기 제2 캐리어(22)를 언로딩할 때, 상기 제2 지지부(132)는 상기 수평 상태를 유지한다. 상기 제2 천장 반송 장치(20) 및 상기 제2 지지부(132)에서 상기 제2 캐리어(22)를 수평 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 제2 천장 반송 장치(20)와 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 원활하게 로딩 및 언로딩할 수 있다. The second ceiling transfer device 20 transfers the second carrier 22 in a horizontal state. When the second ceiling conveying device 20 loads the second carrier 22 into the second support 132 or unloads the second carrier 22 from the second support 132, The second support part 132 maintains the horizontal state. Since the second carrier 22 can be held in the horizontal state by the second ceiling conveying apparatus 20 and the second supporting portion 132, the second ceiling conveying apparatus 20 and the second supporting portion 132 are provided. The second carrier 22 can be smoothly loaded and unloaded therebetween.

상기 이송 유닛(150)과 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 로딩 및 언로딩할 때, 상기 제2 지지부(132)는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. When loading and unloading the second carrier 22 between the transfer unit 150 and the second support 132, the second support 132 may maintain the inclined state.

상기 이송 유닛(150) 및 상기 제2 지지부(132)에서 상기 제2 캐리어(22)를 상기 기울어진 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 이송 유닛(150)과 상기 제2 지지부(132) 사이에서 상기 제2 캐리어(22)를 원활하게 로딩 및 언로딩할 수 있다. Since the second carrier 22 may be maintained in the inclined state in the transfer unit 150 and the second support 132, the second carrier 22 and the second support 132 may be disposed between the second carrier 132 and the second support 132. The two carriers 22 can be loaded and unloaded smoothly.

상기 제2 포트(130)는 제2 감지부(136)를 더 포함할 수 있다. The second port 130 may further include a second sensing unit 136.

상기 제2 감지부(136)는 상기 제2 지지부(132)의 상방에 구비되며, 상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩되는 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)를 감지한다. The second detecting unit 136 is provided above the second supporting unit 132 and detects the door 24 in the second carrier 22 loaded into the second ceiling conveying apparatus 20. .

상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩되는 상기 제2 캐리어(22)에 상기 도어(24)가 부착되지 않은 경우, 상기 제2 캐리어(22)를 이용하는 후속 공정이 정상적으로 이루어지기 어렵다. 따라서, 상기 제2 감지부(136)가 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)가 감지되지 않는 경우, 알람부(미도시)가 작업자에게 경고하기 위해 알람을 발생한다. When the door 24 is not attached to the second carrier 22 loaded into the second ceiling conveying device 20, a subsequent process using the second carrier 22 may not be normally performed. Therefore, when the door 24 is not detected by the second detector 136 in the second carrier 22, an alarm unit (not shown) generates an alarm to warn an operator.

일 예로, 상기 제2 포트(130)는 하나가 구비되어 상기 제2 캐리어(22)의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 포트(130)는 한 쌍이 구비되어 상기 제2 캐리어(22)의 로딩 및 언로딩을 분리하여 수행할 수 있다.For example, one second port 130 may be provided to simultaneously perform loading and unloading of the second carrier 22. As another example, the second port 130 may be provided with a pair to separate the loading and unloading of the second carrier 22.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 포트(130)가 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제2 천장 반송 장치(20)로 로딩하거나 상기 제2 천장 반송 장치(20)로부터 언로딩할 수도 있다. Although not shown, the second port 130 may load the second carrier 22 into the second ceiling conveying apparatus 20 or unload it from the second ceiling conveying apparatus 20. .

일 예로, 도시된 바와 같이 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 상기 이송 유닛(150)의 양측에 각각 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 서로 간섭하는 것을 방지할 수 있다. For example, as illustrated, the first port 120 and the second port 130 may be disposed at both sides of the transfer unit 150, respectively. Therefore, it is possible to prevent the first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 from interfering with each other.

다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 상기 이송 유닛(150)의 일측에 각각 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 포트(120)와 상기 제2 포트(130)는 서로 다른 높이에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 제1 천장 반송 장치(10)와 상기 제2 천장 반송 장치(20)가 서로 간섭하는 것을 방지할 수 있다. As another example, although not shown, the first port 120 and the second port 130 may be disposed on one side of the transfer unit 150, respectively. In this case, the first port 120 and the second port 130 may be located at different heights. Therefore, it is possible to prevent the first ceiling transport apparatus 10 and the second ceiling transport apparatus 20 from interfering with each other.

상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제1 캐리어(12)를 상기 제2 캐리어(22)로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24) 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)를 상기 제1 캐리어(12)로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리한다. The door detachable unit 140 attaches the door 24 to the first carrier 12 to change the first carrier 12 into the second carrier 22, or the second carrier 22. The door 24 is separated from the second carrier 22 to change the first carrier 12.

도시된 바와 같이 상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제1 포트(120)의 하방에 구비될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 도어 탈부착 유닛(140)은 상기 제2 포트(130)의 하방 등 다양한 위치에 구비될 수 있다.As illustrated, the door detachment unit 140 may be provided below the first port 120. Although not shown, the door detachable unit 140 may be provided at various positions such as the lower side of the second port 130.

상기 도어 탈부착 유닛(140)은 제3 지지부(142), 제2 조절부(144), 적재부(146), 탈부착부(148)를 포함할 수 있다. The door detachable unit 140 may include a third support part 142, a second adjusting part 144, a loading part 146, and a detachable part 148.

상기 제3 지지부(142)는 상기 제1 캐리어(12) 또는 상기 제2 캐리어(22)를 지지할 수 있다. The third support part 142 may support the first carrier 12 or the second carrier 22.

상기 제2 조절부(144)는 상기 제3 지지부(142)의 기울기를 조절하여 상기 제1 캐리어(12) 또는 제2 캐리어(22)가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 한다. The second adjusting part 144 adjusts the inclination of the third support part 142 so that the first carrier 12 or the second carrier 22 maintains either the horizontal state or the inclined state. .

상기 제1 캐리어(12) 또는 상기 제2 캐리어(22)가 상기 기울어진 상태에서는 상기 도어(24)의 부착이나 분리가 어렵다. 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리할 때, 상기 제3 지지부(142)는 상기 수평 상태를 유지한다. 따라서, 상기 탈부착부(148)가 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 안정적으로 부착하고, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 안정적으로 분리할 수 있다. In the inclined state of the first carrier 12 or the second carrier 22, it is difficult to attach or detach the door 24. When the door 24 is attached to the first carrier 12 or the door 24 is separated from the second carrier 22, the third support part 142 maintains the horizontal state. Therefore, the detachable part 148 may stably attach the door 24 to the first carrier 12, and stably separate the door 24 from the second carrier 22.

상기 이송 유닛(150)과 상기 제3 지지부(142) 사이에서 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 로딩 및 언로딩할 때, 상기 제3 지지부(142)는 상기 기울어진 상태를 유지할 수 있다. When loading and unloading the first carrier 12 and the second carrier 22 between the transfer unit 150 and the third support 142, the third support 142 is tilted. State can be maintained.

또한, 상기 제2 조절부(144)는 상기 제3 지지부(142)를 회전시킬 수 있다. In addition, the second adjusting part 144 may rotate the third support part 142.

상기 제1 캐리어(12)에서 개방된 일측이나, 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)가 부착된 일측이 상기 탈부착부(148)와 마주보지 않는 경우, 상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나 상기 제2 캐리어(22)에서 상기 도어(24)를 분리할 수 없다. 따라서, 상기 제3 지지부(142)를 회전시켜 상기 제1 캐리어(12)에서 개방된 일측이나, 상기 제2 캐리어(22)에서 도어가 부착된 일측이 상기 탈부착부(148)와 마주보도록 한다. The first carrier 12 when one side opened from the first carrier 12 or one side to which the door 24 is attached from the second carrier 22 does not face the detachable part 148. The door 24 may not be attached to the door 24 or the door 24 may be separated from the second carrier 22. Accordingly, the third support part 142 is rotated such that one side open from the first carrier 12 or one side with a door from the second carrier 22 faces the detachable part 148.

상기 적재부(146)는 상기 도어(24)를 적재한다. The stacking portion 146 loads the door 24.

예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 적재부(146)는 상면이 개방된 중공의 육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 도어(24)는 상기 적재부(146)에 상하 방향으로 적재될 수 있다. For example, as illustrated, the loading part 146 may have a hollow hexahedral shape with an open top surface. The door 24 may be stacked in the loading portion 146 in the vertical direction.

또한, 상기 적재부(146)는 상기 도어(24)를 승강시키는 승강 부재나 상기 도어(24)를 탄성적으로 지지하는 탄성 부재를 이용하여 최상단 도어(24)의 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 상기 탈부착부(148)가 동일한 위치에서 상기 도어(24)를 픽업하거나 적재할 수 있다. In addition, the loading unit 146 may maintain the position of the uppermost door 24 by using an elevating member that elevates the door 24 or an elastic member that elastically supports the door 24. Therefore, the detachable portion 148 may pick up or load the door 24 at the same position.

다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 적재부(146)는 측면이 개방된 중공의 육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 도어(24)는 상기 적재부(146)에 수평 방향으로 적재될 수 있다.As another example, although not shown, the loading part 146 may have a hollow hexahedral shape with open sides. The door 24 may be mounted in the horizontal direction on the stacking portion 146.

상기 탈부착부(148)는 상기 제1 캐리어(12)에 상기 적재부(146)의 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 제2 캐리어(22)로부터 상기 도어(24)를 분리하여 상기 적재부(146)에 적재할 수 있다. The detachable part 148 attaches the door 24 of the loading part 146 to the first carrier 12, or separates the door 24 from the second carrier 22 to the loading part. 146 can be loaded.

상기 탈부착부(148)는 상기 제3 지지부(142)와 상기 적재부(146) 사이에서 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 또한, The detachable part 148 may be provided to horizontally move between the third support part 142 and the loading part 146 in the X-axis direction and the Y-axis direction. Also,

상기 제1 캐리어(12)에 상기 도어(24)를 부착하거나, 상기 도어(24)를 상기 적재부(146)에 적재하기 위해 상기 탈부착부(148)는 상기 도어(24)를 회전시킬 수도 있다.The detachable part 148 may rotate the door 24 to attach the door 24 to the first carrier 12 or to load the door 24 to the loading part 146. .

상기 이송 유닛(150)은 상기 선반들(110), 상기 제1 포트(120), 상기 제2 포트(130) 및 상기 도어 탈부착 유닛(140) 사이에서 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 이송한다. The transfer unit 150 includes the first carrier 12 and the second between the shelves 110, the first port 120, the second port 130, and the door detachable unit 140. The carrier 22 is conveyed.

상기 이송 유닛(150)은 상기 2열로 배열된 선반들(110) 사이에 구비될 수 있다. 상기 선반들(110)이 1열로 구비되는 경우, 상기 이송 유닛(150)의 상기 선반들(110)의 전방에 배치될 수 있다. The transfer unit 150 may be provided between the shelves 110 arranged in two rows. When the shelves 110 are provided in one row, the shelves 110 may be disposed in front of the shelves 110 of the transfer unit 150.

상기 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일들과 수직 방향으로 연장되는 가이드 레일들에 의해 안내될 수 있으며, 상기 X축 방향으로 이송 유닛(150)을 이동시키기 위한 X축 구동부와 상기 Y축 방향으로 이송 유닛(150)을 이동시키기 위한 Z축 구동부를 구비할 수 있다.The transfer unit 150 may be configured to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction. Although not shown in detail, the transfer unit 150 may be guided by guide rails extending in the X-axis direction and guide rails extending in the vertical direction, and moving the transfer unit 150 in the X-axis direction. An X-axis driving unit and a Z-axis driving unit for moving the transfer unit 150 in the Y-axis direction.

또한, 이송 유닛(150)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)의 이송을 위한 로봇암(152)을 구비할 수 있다. 상기 로봇암(152)은 상기 선반들(110), 상기 제1 포트(120), 상기 제2 포트(130) 및 상기 도어 탈부착 유닛(140)을 향하여 회전 및 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 로봇암(152)은 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하고, 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 유닛(150)은 상기 로봇암(152)을 회전시키기 위한 회전 구동부 및 상기 Y축 방향으로 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다.In addition, the transfer unit 150 may include a robot arm 152 for transferring the first carrier 12 and the second carrier 22. The robot arm 152 may be configured to be rotatable and movable toward the shelves 110, the first port 120, the second port 130, and the door detachable unit 140. As an example, the robot arm 152 may be configured to be rotatable about the Z axis and to be movable in the Y axis direction. The transfer unit 150 may include a rotation driver for rotating the robot arm 152 and a Y-axis driver for driving in the Y-axis direction.

일 예로서, 상기 X축, Y축, Z축 및 회전 구동부들은 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the X-axis, Y-axis, Z-axis and the rotational drive may be configured using a power transmission device including a motor and a timing belt and pulleys.

상기 이송 유닛(150)은 상기 제1 캐리어(12) 및 상기 제2 캐리어(22)를 상기 기울어진 상태로 이송한다. 따라서, 상기 이송 유닛(150)이 상기 제1 캐리어(12)를 이송하는 동안 상기 제1 캐리어(12)에 적재된 상기 대상물이 상기 개방된 일측을 통해 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The transfer unit 150 transfers the first carrier 12 and the second carrier 22 in the inclined state. Therefore, the object loaded on the first carrier 12 may be prevented from being separated through the opened one side while the transfer unit 150 transports the first carrier 12.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

100 : 스토커 110 : 선반
120 : 제1 포트 130 : 제2 포트
140 : 도어 탈부착 유닛 150 : 이송 유닛
10 : 제1 천장 반송 장치 12 : 제1 캐리어
20 : 제2 천장 반송 장치 22 : 제2 캐리어
24 : 도어100: Stalker 110: Lathe
120: first port 130: second port
140: door detachable unit 150: transfer unit
10: first ceiling transfer device 12: first carrier
20: second ceiling conveying device 22: second carrier
24: door

Claims (9)

도어가 개방된 제1 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 포트;
상기 도어가 닫힌 제2 캐리어의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 포트;
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어들을 수납하기 위한 선반들;
상기 제1 캐리어를 상기 제2 캐리어로 변경하기 위해 상기 제1 캐리어에 상기 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어를 상기 제1 캐리어로 변경하기 위해 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하는 도어 탈부착 유닛; 및
상기 제1 포트, 상기 제2 포트, 상기 선반들 및 상기 도어 탈부착 유닛 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 이송하는 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.A first port supporting said first carrier for loading and unloading a first carrier with a door open;
A second port supporting the second carrier for loading and unloading a second carrier with the door closed;
Shelves for receiving the first carrier and the second carriers;
A door detachable unit attaching the door to the first carrier to change the first carrier to the second carrier, or detaching the door from the second carrier to change the second carrier to the first carrier ; And
And a transfer unit for transferring the first carrier and the second carrier between the first port, the second port, the shelves and the door detachable unit. 제1항에 있어서, 상기 제1 포트는 제1 천장 반송 장치로 상기 제1 캐리어를 로딩하거나, 상기 제1 천장 반송 장치로부터 상기 제1 캐리어를 언로딩하고,
상기 제2 포트는 제2 천장 반송 장치에 의해 로딩 및 언로딩되는 상기 제2 캐리어를 지지하는 것을 특징으로 하는 스토커.The apparatus of claim 1, wherein the first port is configured to load the first carrier into a first ceiling carrier or to unload the first carrier from the first ceiling carrier.
And the second port supports the second carrier which is loaded and unloaded by a second ceiling conveying device. 제2항에 있어서, 상기 제1 포트는,
상기 제1 캐리어를 지지하는 제1 지지부;
상기 제1 지지부와 연결되며, 상기 제1 지지부를 상기 제1 천장 반송 장치를 향해 수평 이동시키는 슬라이딩부; 및
상기 제1 지지부가 상기 제1 캐리어를 로딩 및 언로딩하도록 상기 제1 지지부 및 상기 슬라이딩부를 승강시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method of claim 2, wherein the first port,
A first support part supporting the first carrier;
A sliding part connected to the first support part and horizontally moving the first support part toward the first ceiling conveying apparatus; And
And a lifter for elevating the first support and the sliding portion so that the first support loads and unloads the first carrier. 제3항에 있어서, 상기 제1 캐리어에 적재된 대상물이 상기 제1 캐리어의 개방된 도어를 통해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 지지부는 상기 제1 캐리어를 일정 각도만큼 기울어지도록 지지하며,
상기 이송 유닛은 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 상기 기울어진 상태로 이송하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method of claim 3, wherein the first support portion supports the first carrier to be inclined at an angle to prevent the object loaded on the first carrier from being separated through the open door of the first carrier,
And the transfer unit transfers the first carrier and the second carrier in the inclined state. 제4항에 있어서, 상기 제2 포트는,
상기 제2 캐리어를 지지하는 제2 지지부; 및
상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제2 지지부의 경사를 조절하는 제1 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.The method of claim 4, wherein the second port,
A second support part supporting the second carrier; And
And a first adjuster for adjusting the inclination of the second support so that the second carrier maintains one of a horizontal state and an inclined state. 제5항에 있어서, 상기 제2 천장 반송 장치와 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고,
상기 이송 유닛과 상기 제2 지지부 사이에서 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제2 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method of claim 5, wherein the second support portion maintains the horizontal state when loading and unloading the second carrier between the second ceiling conveying device and the second support portion,
And the second support portion maintains the inclined state when loading and unloading the second carrier between the transfer unit and the second support portion. 제5항에 있어서, 상기 도어 탈부착 유닛은,
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 지지하는 제3 지지부;
상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어가 수평 상태 및 상기 기울어진 상태 중 어느 하나를 유지하도록 상기 제3 지지부의 경사를 조절하는 제2 조절부;
상기 도어를 적재하는 적재부; 및
상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리하여 상기 적재부에 적재하는 탈부착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method of claim 5, wherein the door detachable unit,
A third support part supporting the first carrier and the second carrier;
A second adjuster adjusting an inclination of the third support so that the first carrier and the second carrier maintain one of a horizontal state and an inclined state;
A loading unit for loading the door; And
And a detachable part attaching the door of the loading part to the first carrier or separating the door from the second carrier and loading the loading part on the loading part. 제7항에 있어서, 상기 제1 캐리어에 상기 적재부의 도어를 부착하거나, 상기 제2 캐리어로부터 상기 도어를 분리할 때 상기 제3 지지부는 상기 수평 상태를 유지하고,
상기 이송 유닛과 상기 제3 지지부 사이에서 상기 제1 캐리어 및 상기 제2 캐리어를 로딩 및 언로딩할 때 상기 제3 지지부는 상기 기울어진 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method of claim 7, wherein the third support part maintains the horizontal state when the door of the loading part is attached to the first carrier or the door is separated from the second carrier.
And the third support portion maintains the inclined state when loading and unloading the first carrier and the second carrier between the transfer unit and the third support portion. 제2항에 있어서, 상기 제1 천장 반송 장치와 상기 제2 천장 반송 장치가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 제1 포트와 상기 제2 포트는 상기 이송 유닛의 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커. 3. The method of claim 2, wherein the first port and the second port are disposed at both sides of the transfer unit to prevent the first ceiling transfer device and the second ceiling transfer device from interfering with each other. stalker.
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