KR102316942B1 - Shelf unit and stocker having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 선반 유닛은, 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들 및 X축 방향 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 포함할 수 있다.The shelf unit according to the present invention is provided in the form of a plurality of shelves supporting carriers, respectively, and a lattice shape along the X-axis direction and the Z-axis direction perpendicular to the X-axis, and the X of the shelves according to the type of the carriers. Rails for guiding the shelves to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction to adjust the axial spacing and the Z-axis spacing.

Description

선반 유닛 및 이를 갖는 스토커{Shelf unit and stocker having the same}Shelf unit and stocker having the same

본 발명은 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 캐리어를 수용하는 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a shelf unit and a stocker having the same, and more particularly, to a shelf unit accommodating a plurality of carriers and a stocker having the same.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들은 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다. In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, an object such as a semiconductor substrate, a printed circuit board, or a reticle may be stored in a stocker in a state accommodated in a carrier, and the stocker includes a plurality of shelves for accommodating the carriers. can be provided There are various types of the carriers, such as FOUP, FOSB, magazine, and reticle pod depending on the object.

상기 선반들은 수평 및 수직 방향으로 배열되며, 상기 선반의 간격과 높이가 고정된다. 따라서, 상기 선반들에는 한 종류의 캐리어들만이 적재될 수 있다. 또한, 다른 종류의 캐리어를 적재하기 위해서는 다른 선반이나 다른 스토커를 이용해야 한다.The shelves are arranged in horizontal and vertical directions, and the spacing and height of the shelves are fixed. Accordingly, only one type of carriers can be loaded on the shelves. In addition, different shelves or different stockers must be used to load different types of carriers.

그러므로, 상기 스토커는 상기 선반에 다른 종류의 캐리어들을 적재할 수 없고, 상기 캐리어의 종류 변화에 대응하기 어렵다. Therefore, the stocker cannot load different types of carriers on the shelf, and it is difficult to respond to the type change of the carriers.

본 발명은 다양한 종류의 캐리어들을 적재할 수 있는 선반 유닛을 제공한다.The present invention provides a shelf unit capable of loading various types of carriers.

본 발명은 상기 선반 유닛을 갖는 스토커를 제공한다. The present invention provides a stocker having the above shelf unit.

본 발명에 따른 선반 유닛은, 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들 및 X축 방향 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 포함할 수 있다.The shelf unit according to the present invention is provided in the form of a plurality of shelves supporting carriers, respectively, and a lattice shape along the X-axis direction and the Z-axis direction perpendicular to the X-axis, and the X of the shelves according to the type of the carriers. Rails for guiding the shelves to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction to adjust the axial spacing and the Z-axis spacing.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레일들은, 상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열되고, 상기 선반들의 상기 X축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 X축 레일들 및 상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열되고, 상기 X축 레일들의 상기 Z축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 Z축 레일들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the rails extend in the X-axis direction and are arranged in the Z-axis direction, and a plurality of X-axis rails and the Z-axis for guiding movement of the shelves in the X-axis direction It may include a plurality of Z-axis rails extending in the direction and arranged in the X-axis direction to guide the movement of the X-axis rails in the Z-axis direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 유닛은, 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들 및 상기 X축 레일들을 이동시키기 위한 구동부 및 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 상기 선반들에 적재될 상기 캐리어들의 크기에 대응하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the shelf unit includes a driving unit for moving the shelves and the X-axis rails and a driving part for adjusting the X-axis direction spacing and the Z-axis direction spacing of the shelves, and the shelves. The X-axis direction interval and the Z-axis direction interval may further include a control unit for controlling the driving unit to correspond to the size of the carriers to be loaded on the shelves.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상기 Z축 방향을 따라 배열된 상기 선반들이 동시에 상기 X축 방향으로 이동하도록 상기 구동부를 제어할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the controller may control the driving unit to simultaneously move the shelves arranged along the Z-axis direction in the X-axis direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상기 선반들에 적재될 상기 캐리어들의 종류에 대한 정보를 전달받고, 상기 정보에 따라 상기 선반들에 상기 캐리어들이 적재 가능하도록 상기 구동부를 제어할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the controller may receive information on the types of the carriers to be loaded on the shelves, and control the driving unit to load the carriers on the shelves according to the information. have.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 조절된 상기 선반들의 위치 정보를 미리 설정하고, 상기 위치 정보에 따라 상기 선반들이 상기 설정된 위치로 이동하도록 상기 구동부를 제어할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the control unit presets the position information of the shelves in which the distance in the X-axis direction and the distance in the Z-axis direction are adjusted according to the types of the carriers, and the shelf according to the position information. The driving unit may be controlled to move to the set position.

본 발명에 따른 스토커는, 캐리어들을 적재하기 위한 선반 유닛과, 이송 유닛으로부터 상기 캐리어들을 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트 및 상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고, 상기 선반 유닛은, 상기 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들 및 X축 방향 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 포함할 수 있다. A stocker according to the present invention includes a shelf unit for loading carriers, a load port for receiving the carriers from or transferring the carriers to the transport unit, and transporting the carriers between the shelf unit and the load port. and a transport robot for The shelves may include rails for guiding the shelves to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction in order to adjust the distance between the shelves in the X-axis direction and the Z-axis direction.

본 발명에 따른 상기 선반 유닛은 상기 선반들을 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동시켜 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절할 수 있다. 따라서, 상기 선반 유닛은 다양한 종류의 캐리어를 적재할 수 있다. 또한, 공정 변화로 인해 상기 캐리어들의 종류 변화하더라도 상기 선반 유닛은 상기 캐리어들의 종류 변화에 용이하게 대응할 수 있다. The shelf unit according to the present invention may move the shelves in the X-axis direction and the Z-axis direction to adjust the spacing between the shelves in the X-axis direction and the Z-axis direction. Accordingly, the shelf unit can load various types of carriers. Also, even if the types of the carriers are changed due to a change in the process, the shelf unit can easily respond to the change in the types of the carriers.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 로봇을 이용한 티칭을 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view illustrating the shelf unit shown in FIG. 1 .
3 is a side view for explaining teaching using the transfer robot shown in FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 이송 로봇을 이용한 티칭을 설명하기 위한 측면도이다. Figure 1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view for explaining the shelf unit shown in Figure 1, Figure 3 is using the transfer robot shown in Figure 1 It is a side view for explaining teaching.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 스토커(100)는 로드 포트(110), 선반 유닛(120) 및 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다. 1 to 3 , the stocker 100 may include a load port 110 , a shelf unit 120 , and a transfer robot 130 .

상기 로드 포트(110)는 별도의 이송 유닛으로부터 캐리어(10)를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어(10)를 전달한다. 상기 로드 포트(110)는 캐리어(10)가 안착되는 공간을 제공한다. 상기 캐리어(10)는 대상물(미도시)이 수용한 상태로 상기 로드 포트(110)에 안착된다. The load port 110 receives the carrier 10 from a separate transfer unit or transfers the carrier 10 to the transfer unit. The load port 110 provides a space in which the carrier 10 is seated. The carrier 10 is seated on the load port 110 in a state in which an object (not shown) is accommodated.

상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다. 상기 대상물에 따라 상기 캐리어(10)의 종류가 달라질 수 있다. Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board, a reticle, and the like. Examples of the carrier 10 include a FOUP, a FOSB, a magazine, and a reticle pod. The type of the carrier 10 may vary according to the object.

상기 로드 포트(110)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)가 상기 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 캐리어(20)를 상기 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다. Alignment pins (not shown) may be provided on the seating surface of the load port 110 . An alignment groove (not shown) may be provided on a lower surface of the carrier 10 . When the carrier 10 is seated on the load port 110 , the alignment pins are inserted into the alignment groove, so that the carrier 20 can be accurately seated on the load port 110 .

상기 선반 유닛(120)은 상기 캐리어(10)들을 적재한다. 상기 선반 유닛(120)은 다수의 선반들(121), 레일들(122), 구동부(125) 및 제어부(126)를 포함할 수 있다. The shelf unit 120 loads the carriers 10 . The shelf unit 120 may include a plurality of shelves 121 , rails 122 , a driving unit 125 , and a control unit 126 .

상기 선반들(121)은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어들(10)의 하부면을 각각 지지한다. Each of the shelves 121 has a substantially flat plate shape, and supports the lower surfaces of the carriers 10 , respectively.

상기 레일들(122)은 X축 방향(좌우 방향) 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향(상하 방향)을 따라 격자 형태로 구비된다. 상기 레일들(122)은 상기 선반들(121)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 한다. 따라서, 상기 캐리어(10)들의 종류에 따라 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절할 수 있다. The rails 122 are provided in the form of a grid along the X-axis direction (left and right direction) and the Z-axis direction (vertical direction) perpendicular to the X-axis. The rails 122 guide the shelves 121 to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction. Accordingly, the distance between the shelves 121 in the X-axis direction and the distance in the Z-axis direction may be adjusted according to the types of the carriers 10 .

구체적으로, 상기 레일들(122)은 다수의 X축 레일들(123) 및 다수의 Y축 레일들(124)을 포함할 수 있다. Specifically, the rails 122 may include a plurality of X-axis rails 123 and a plurality of Y-axis rails 124 .

상기 X축 레일들(123)은 상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열된다. 상기 선반들(121)은 상기 X축 레일들(123)에 장착되며, 상기 X축 레일들(123)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 X축 레일들(123)은 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 이동을 가이드할 수 있다. The X-axis rails 123 extend in the X-axis direction and are arranged in the Z-axis direction. The shelves 121 are mounted on the X-axis rails 123 and can move along the X-axis rails 123 . Accordingly, the X-axis rails 123 may guide the movement of the shelves 121 in the X-axis direction.

상기 각 X축 레일들(123)에는 다수의 선반들(121)이 장착될 수 있다. 상기 선반들(121)이 상기 X축 레일들(123)을 따라 이동하므로, 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 간격을 조절할 수 있다. A plurality of shelves 121 may be mounted on each of the X-axis rails 123 . Since the shelves 121 move along the X-axis rails 123 , the distance between the shelves 121 in the X-axis direction can be adjusted.

상기 Z축 레일들(124)은 상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열된다. 상기 X축 레일들(123)은 상기 Z축 레일들(124)에 장착되며, 상기 Z축 레일들(124)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 Z축 레일들(124)은 상기 X축 레일들(123)의 상기 Z축 방향 이동을 가이드할 수 있다. The Z-axis rails 124 extend in the Z-axis direction and are arranged in the X-axis direction. The X-axis rails 123 are mounted on the Z-axis rails 124 and can move along the Z-axis rails 124 . Accordingly, the Z-axis rails 124 may guide the movement of the X-axis rails 123 in the Z-axis direction.

상기 선반들(121)이 상기 X축 레일들(123)에 장착되므로, 상기 선반들(121)과 상기 X축 레일들(123)이 동시에 상기 Z축 레일들(124)을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 선반들(121)의 상기 Z축 방향 간격을 조절할 수 있다. Since the shelves 121 are mounted on the X-axis rails 123 , the shelves 121 and the X-axis rails 123 may simultaneously move along the Z-axis rails 124 . Accordingly, the distance between the shelves 121 in the Z-axis direction may be adjusted.

상기 구동부(125)는 상기 선반들(121) 및 상기 X축 레일들(123)과 연결되며, 상기 선반들(121) 및 상기 X축 레일들(123)을 이동시킬 수 있다. 상기 구동부(125)는 상기 각 선반들(121) 및 상기 각 X축 레일들(123)에 구비될 수 있다. 상기 구동부(125)의 예로는 스텝 모터를 들 수 있다. The driving unit 125 is connected to the shelves 121 and the X-axis rails 123 , and may move the shelves 121 and the X-axis rails 123 . The driving unit 125 may be provided on each of the shelves 121 and each of the X-axis rails 123 . An example of the driving unit 125 may be a stepper motor.

상기 구동부(125)가 상기 각 선반들(121)을 개별적으로 상기 X축 방향으로 이동시켜 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 간격을 조절할 수 있다. 또한, 상기 구동부(125)가 상기 각 X축 레일들(123)을 개별적으로 상기 Z축 방향으로 이동시켜 상기 선반들(121)의 상기 Z축 방향 간격을 조절할 수 있다.The driving unit 125 may individually move each of the shelves 121 in the X-axis direction to adjust the distance between the shelves 121 in the X-axis direction. In addition, the driving unit 125 may individually move each of the X-axis rails 123 in the Z-axis direction to adjust the spacing between the shelves 121 in the Z-axis direction.

상기 제어부(126)는 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 상기 선반들(121)에 적재될 상기 캐리어들(10)의 크기에 대응하도록 상기 구동부(125)를 제어한다. The control unit 126 controls the driving unit 125 so that the X-axis direction spacing and the Z-axis direction spacing of the shelves 121 correspond to the sizes of the carriers 10 to be loaded on the shelves 121 . control

상기 제어부(126)는 상기 선반들(125)에 적재될 상기 캐리어들(10)의 종류 및 개수에 대한 정보를 전달받고, 상기 정보에 따라 상기 선반들(125)에 상기 캐리어들(10)이 적재 가능하도록 상기 구동부(125)를 제어할 수 있다. The control unit 126 receives information on the type and number of the carriers 10 to be loaded on the shelves 125 , and the carriers 10 are placed on the shelves 125 according to the information. The driving unit 125 may be controlled to be loaded.

따라서, 상기 선반들(121)에 다양한 종류의 캐리어들(10)을 적재할 수 있으므로, 상기 선반 유닛(120)의 활용도를 높일 수 있다. 또한, 다른 종류의 캐리어들(10)을 적재하기 위해 별도의 선반 유닛(120)을 구비할 필요가 없으므로, 상기 선반 유닛(120)의 구비하는데 소요되는 비용을 절감할 수 있다. Accordingly, since various types of carriers 10 can be loaded on the shelves 121 , the utilization of the shelf unit 120 can be increased. In addition, since there is no need to provide a separate shelf unit 120 to load different types of carriers 10 , the cost required for providing the shelf unit 120 can be reduced.

또한, 상기 제어부(126)는 상기 캐리어들(10)의 종류에 따라 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 조절되는 상기 선반들(121)의 위치 정보를 미리 설정하고 상기 정보를 저장할 수 있다. 상기 제어부(126)가 상기 캐리어들(10)의 종류에 대한 정보를 전달받으면, 상기 선반들(121)이 상기 설정된 위치로 이동하도록 상기 제어부(126)가 상기 구동부(125)를 제어할 수 있다. 따라서, 상기 선반들(121)의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 신속하게 조절할 수 있다. In addition, the control unit 126 may preset position information of the shelves 121 to which the X-axis direction interval and the Z-axis direction interval are adjusted according to the type of the carriers 10 and store the information. have. When the control unit 126 receives information on the type of the carriers 10 , the control unit 126 may control the driving unit 125 to move the shelves 121 to the set position. . Accordingly, the distance between the shelves 121 in the X-axis direction and the distance in the Z-axis direction can be quickly adjusted.

그리고, 상기 제어부(126)는 상기 Z축 방향을 따라 배열된 상기 선반들(121)이 동시에 상기 X축 방향으로 이동하도록 상기 구동부(125)를 제어할 수 있다. 따라서, 상기 선반들(121)은 상기 Z축 방향을 따라 동일 선상에 위치할 수 있다. 그러므로, 상기 이송 로봇(130)이 상기 선반들(121)의 위치를 용이하게 티칭할 수 있다. In addition, the controller 126 may control the driving unit 125 to simultaneously move the shelves 121 arranged along the Z-axis direction in the X-axis direction. Accordingly, the shelves 121 may be positioned on the same line along the Z-axis direction. Therefore, the transfer robot 130 can easily teach the positions of the shelves 121 .

상기 이송 로봇(130)은 상기 로드 포트(110)와 상기 선반 유닛(120) 사이에 배치되며, 상기 로드 포트(110)와 상기 선반 유닛(120) 사이에서 상기 캐리어들(10)을 이송한다. The transfer robot 130 is disposed between the load port 110 and the shelf unit 120 , and transfers the carriers 10 between the load port 110 and the shelf unit 120 .

상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(130)은 상기 이송 로봇(130)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(130)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(130)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다. The transfer robot 130 may be provided to enable movement and rotational movement in the X-axis direction and the Z-axis direction for the transport of the carriers 10 . Although not shown in detail, the transfer robot 130 includes an X-axis driving unit for moving the transfer robot 130 in the X-axis direction, and a Z-axis driving unit for moving the transfer robot 130 in the Z-axis direction. and a rotation driving unit for rotating the transfer robot 130 .

또한, 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위한 로봇암(132)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(132)은 상기 선반들(110)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇암(132)은 상기 캐리어들(10)을 파지하여 이송한다.In addition, the transfer robot 130 may include a robot arm 132 for transferring the carriers 10 , and the robot arm 132 may be configured to be movable toward the shelves 110 . can The robot arm 132 grips and transports the carriers 10 .

일 예로서, 상기 로봇암(132)은 상기 X축 방향에 대하여 수직하는 Y축 방향(전후 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 로봇(130)은 상기 로봇암(132)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇암(132)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다. As an example, the robot arm 132 may be configured to be movable in a Y-axis direction (front-to-back direction) perpendicular to the X-axis direction. The transfer robot 130 may include a Y-axis driving unit for driving the robot arm 132 . The robot arm 132 may be a multi-joint robot arm that can be extended and contracted.

일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들 및 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the X-axis, Y-axis, and Z-axis driving units and the rotation driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys, respectively.

따라서 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어(10)를 상기 로드 포트(110)에 안착하거나, 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)을 상기 선반 유닛(120)에 적재하거나 상기 선반 유닛(120)으로부터 상기 캐리어들(10)을 이재할 수 있다.Accordingly, the transfer robot 130 may seat the carrier 10 on the load port 110 or transfer the carrier 10 seated on the load port 110 . Also, the transfer robot 130 may load the carriers 10 on the shelf unit 120 or transfer the carriers 10 from the shelf unit 120 .

상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다. The transfer robot 130 may be provided in plurality to quickly transfer the carriers 10 .

한편, 상기 이송 로봇(130)은 상부면에 티칭용 센서(134)를 구비할 수 있다. 상기 센서(140)의 예로는 광센서를 들 수 있다. On the other hand, the transfer robot 130 may be provided with a sensor 134 for teaching on the upper surface. An example of the sensor 140 may be an optical sensor.

상기 센서(134)는 상기 각 선반들(121)의 후면에 구비된 반사판(121a)으로 광을 조사하고 상기 반사판(121a)으로부터 반사되는 반사광의 수신하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 감지한다. The sensor 134 irradiates light to the reflective plate 121a provided on the rear surface of each shelf 121 and receives the reflected light reflected from the reflective plate 121a to detect the position of each shelf 121 . do.

또한, 상기 이송 로봇(130)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동할 수 있으므로, 상기 센서(134)와 상기 반사판(121a)을 이용하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 모두 감지할 수 있다. 그러므로, 상기 이송 로봇(130)이 상기 캐리어들(10)을 상기 선반들(121)에 안정적으로 적재하거나, 상기 선반들(121)로부터 상기 캐리어들(10)을 안정적으로 이재할 수 있다. In addition, since the transfer robot 130 can move in the X-axis direction and the Z-axis direction, it is possible to detect all positions of the shelves 121 using the sensor 134 and the reflector 121a. can Therefore, the transfer robot 130 may stably load the carriers 10 on the shelves 121 or stably transfer the carriers 10 from the shelves 121 .

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 스토커는 상기 선반 유닛에서 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절할 수 있으므로, 상기 스토커는 다양한 종류의 캐리어를 적재할 수 있고, 공정 변화로 인해 상기 캐리어들의 종류 변화하더라도 상기 캐리어들의 종류 변화에 용이하게 대응할 수 있다. As described above, in the stocker according to the present invention, since the X-axis direction and the Z-axis direction spacing of the shelves in the shelf unit can be adjusted, the stocker can load various types of carriers, and process changes Therefore, even if the types of the carriers change, it is possible to easily respond to a change in the types of the carriers.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 로드 포트
120 : 선반 유닛 121 : 선반
121a : 반사판 122 : 레일
123 : X축 레일 124 : Z축 레일
125 : 구동부 126 : 제어부
130 : 이송 로봇 132 : 로봇암
134 : 센서 10 : 캐리어100: stalker 110: load port
120: shelf unit 121: shelf
121a: reflector 122: rail
123: X-axis rail 124: Z-axis rail
125: driving unit 126: control unit
130: transfer robot 132: robot arm
134: sensor 10: carrier

Claims (7)

캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들; 및
X축 방향 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. a plurality of shelves each supporting the carriers; and
The shelves are provided in the form of a grid along the X-axis direction and the Z-axis direction perpendicular to the X-axis, and the shelves are arranged in the X-axis direction to adjust the spacing between the X-axis direction and the Z-axis direction of the shelves according to the types of carriers. A shelf unit comprising rails for guiding to be movable in the axial direction and the Z-axis direction. 제1항에 있어서, 상기 레일들은,
상기 X축 방향으로 연장하며 상기 Z축 방향으로 배열되고, 상기 선반들의 상기 X축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 X축 레일들; 및
상기 Z축 방향으로 연장하며 상기 X축 방향으로 배열되고, 상기 X축 레일들의 상기 Z축 방향 이동을 가이드 하는 다수의 Z축 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. According to claim 1, wherein the rails,
a plurality of X-axis rails extending in the X-axis direction and arranged in the Z-axis direction to guide movement of the shelves in the X-axis direction; and
and a plurality of Z-axis rails extending in the Z-axis direction and arranged in the X-axis direction to guide movement of the X-axis rails in the Z-axis direction. 제2항에 있어서, 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들 및 상기 X축 레일들을 이동시키기 위한 구동부; 및
상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 상기 선반들에 적재될 상기 캐리어들의 크기에 대응하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. The apparatus of claim 2, further comprising: a driving unit for moving the shelves and the X-axis rails to adjust the distance in the X-axis direction and the distance in the Z-axis direction of the shelves; and
The shelf unit further comprising: a control unit for controlling the driving unit so that the distance between the X-axis direction and the Z-axis direction of the shelves correspond to the sizes of the carriers to be loaded on the shelves. 제3항에 있어서, 상기 제어부는 상기 Z축 방향을 따라 배열된 상기 선반들이 동시에 상기 X축 방향으로 이동하도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. The shelf unit according to claim 3, wherein the control unit controls the driving unit to simultaneously move the shelves arranged along the Z-axis direction in the X-axis direction. 제3항에 있어서, 상기 제어부는 상기 선반들에 적재될 상기 캐리어들의 종류에 대한 정보를 전달받고, 상기 정보에 따라 상기 선반들에 상기 캐리어들이 적재 가능하도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. The shelf according to claim 3, wherein the controller receives information on the types of the carriers to be loaded on the shelves, and controls the driving unit to load the carriers on the shelves according to the information. unit. 제5항에 있어서, 상기 제어부는 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격이 조절된 상기 선반들의 위치 정보를 미리 설정하고, 상기 위치 정보에 따라 상기 선반들이 상기 설정된 위치로 이동하도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. According to claim 5, wherein the control unit sets the position information of the shelves in the X-axis direction and the interval in the Z-axis direction is adjusted according to the type of the carrier in advance, and the shelves are set positions according to the position information A shelf unit, characterized in that the drive unit is controlled to move to the 캐리어들을 적재하기 위한 선반 유닛;
이송 유닛으로부터 상기 캐리어들을 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트; 및
상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고,
상기 선반 유닛은,
상기 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들; 및
X축 방향 및 상기 X축과 수직하는 Z축 방향을 따라 격자 형태로 구비되며, 상기 캐리어들의 종류에 따라 상기 선반들의 상기 X축 방향 간격 및 상기 Z축 방향 간격을 조절하기 위해 상기 선반들이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 가이드 하는 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.a shelf unit for loading carriers;
a load port for receiving the carriers from or transferring the carriers to the transfer unit; and
a transfer robot for transferring the carrier between the lathe unit and the load port;
The shelf unit is
a plurality of shelves each supporting the carriers; and
The shelves are provided in the form of a grid along the X-axis direction and the Z-axis direction perpendicular to the X-axis, and the shelves are arranged in the X-axis direction to adjust the spacing between the X-axis direction and the Z-axis direction of the shelves according to the types of carriers. A stocker comprising rails for guiding to be movable in the axial direction and the Z-axis direction.
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