KR100285582B1 - Apparatus for transferring a cassette - Google Patents
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Abstract
본 발명은 카세트를 공정 장비의 로드 포트로 이송시키기 위한 카세트 이송장치에 관한 것으로, 카세트(1)를 탑재하여 이동되는 차량(31), 차량(31)을 공정 장비(10)로 안내하기 위한 가이드 레일, 공정 장비(10)의 로드 포트(12)에 수직으로 설치된 가이드 포스트(35) 및 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상으로 이송 및 안착시키기 위한 카세트 이송부재(37)를 포함하는 것에 의해, 청정실의 면적을 절약할 수 있고, 카세트(1)를 안전하고 정확하게 로드 포트(12) 상에 안착시킬 수 있다는 효과가 있다.The present invention relates to a cassette conveying apparatus for transferring a cassette to a load port of a process equipment, the guide for guiding the vehicle 31, the vehicle 31, which is moved by mounting the cassette (1) to the process equipment (10) A cassette conveying member for conveying and seating the rail, the guide post 35 and the cassette 1 installed perpendicular to the load port 12 of the process equipment 10 onto the load port 12 of the process equipment 10 ( By including 37), the area of the clean room can be saved, and the cassette 1 can be safely and accurately seated on the load port 12.
Description
본 발명은 청정실 내에서의 카세트 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트를 정확하고, 안정적으로 공정 장비의 로드 포트 상에 안착시킬 수 있는 카세트 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette transfer apparatus in a clean room, and more particularly, to a cassette transfer apparatus capable of seating a cassette accurately and stably on a load port of a process equipment.
일반적으로, 카세트는 그의 정해진 청정도를 유지하면서 보관하는 일종의 창고인 스토커(stocker)에 보관되며 차량에 탑재되어 청정실내의 다른 스토커로 이송된다. 이송된 스토커 내의 각 카세트는 자동반송 시스템(automatic guided vehicle) 또는 오버 헤드 트랜스퍼(over head transfer)를 이용하여 공정 장비 쪽으로 반송되어 공정장비의 소망하는 위치에 안착된다.Generally, cassettes are stored in stockers, a type of warehouse that maintains their defined cleanliness and are mounted on vehicles and transferred to other stockers in the cleanroom. Each cassette in the transferred stocker is conveyed towards the process equipment using an automatic guided vehicle or overhead head transfer and seated at the desired location of the process equipment.
도 1a 및 1b는 각각 종래의 자동반송 시스템의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면이다.1A and 1B are diagrams for explaining the configuration and operation of a conventional automatic transport system, respectively.
도 1a에 도시된 바와 같이, 자동반송 시스템은 차량(20) 및 차량(20)에 장착된 로봇 아암(22)을 포함한다. 자동반송 시스템에 있어서 카세트(1)를 이송시키기 위해서는, 우선 스토커(도시하지 않음)로부터 차량(20)으로 카세트(1)를 이송시킨 후, 카세트(1)를 탑재한 차량(20)은 소정의 통로를 따라 공정 장비(10)의 전방까지 이동한다. 그후, 도 1b에 도시된 바와 같이, 로봇 아암(22)을 이용하여 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(load port, 12) 상에 안착시킨다.As shown in FIG. 1A, the auto transport system includes a vehicle 20 and a robot arm 22 mounted to the vehicle 20. In order to transfer the cassette 1 in the automatic transfer system, first, the cassette 1 is transferred from the stocker (not shown) to the vehicle 20, and then the vehicle 20 on which the cassette 1 is mounted is predetermined. Move along the passageway to the front of the process equipment 10. Then, as shown in FIG. 1B, the cassette 1 is seated on the load port 12 of the process equipment 10 using the robot arm 22.
도 2는 종래의 오버 헤드 트랜스퍼의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the configuration and operation of a conventional overhead transfer.
도시된 바와 같이, 오버 헤드 트랜스퍼는 차량(24) 및 카세트(1)의 이송을 위한 케이블(26)을 포함하며, 차량(24)이 스토커로부터 카세트(1)를 싣고 천정에 설치되어 있는 레일(도시하지 않음)을 따라 공정 장비(10) 바로 위까지 이동한다. 공정 장비(10) 바로 위에서는 케이블(26)을 이용하여 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상에 안착시킨다.As shown, the overhead transfer includes a vehicle 24 and a cable 26 for the transfer of the cassette 1, the vehicle 24 carrying the cassette 1 from the stocker and mounted on the ceiling ( Not shown) to just above the process equipment 10. Directly above the process equipment 10, the cassette 1 is seated on the load port 12 of the process equipment 10 using a cable 26.
그러나, 상술한 자동반송 시스템에 있어서는 자동반송 시스템의 차량이 이동할 수 있는 통로가 필요하므로 청정실의 면적이 많이 소요된다는 문제점이 있었으며, 상술한 오버 헤드 트랜스퍼는 카세트가 차량에 실려 천정에 설치되어 있는 레일을 따라 이동되기 때문에 청정실의 면적이 작게 소요된다는 장점은 있지만 카세트를 레일의 차량에서 공정 장비의 로드 포트 상에 안착시킬 때 호이스트(hoist)를 이용하기 때문에 정확하고 안정적인 카세트의 안착이 곤란하다는 문제점이 있었다.However, in the above-described automatic transport system, there is a problem that the area of the clean room is required because a passage for moving the vehicle of the automatic transport system is required, and the overhead transfer described above has a rail mounted on the ceiling with a cassette mounted on the vehicle. The clean room area is small because it is moved along, but it is difficult to mount the cassette accurately and stably because the hoist is used when the cassette is seated on the load port of the process equipment in the vehicle of the rail. there was.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 청정실 내에서 정확하고, 안정적으로 카세트를 장비의 로드 포트 상에 안착시킬 수 있는 카세트 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide a cassette conveying apparatus capable of accurately and stably placing a cassette on a load port of equipment in a clean room.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 이송장치는 카세트를 탑재하여 이동되는 차량, 차량을 공정 장비로 안내하기 위한 가이드 레일, 공정 장비의 로드 포트에 수직으로 설치된 가이드 포스트 및 카세트를 공정 장비의 로드 포트 상으로 이송 및 안착시키기 위한 카세트 이송부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The cassette conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention for achieving the above object is a vehicle mounted with a cassette, a guide rail for guiding the vehicle to the process equipment, a guide post installed perpendicular to the load port of the process equipment And a cassette transport member for transporting and seating the cassette onto the load port of the process equipment.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 이송장치는 카세트를 탑재하여 이동되는 차량, 차량을 공정 장비로 안내하기 위한 메인 레일 및 차량에 의해 반송된 카세트의 그리핑을 위해 차량을 안내하는 서브 레일을 갖는 가이드 레일, 공정 장비의 로드 포트에 수직으로 설치된 가이드 포스트 및 카세트를 그리핑하고, 그리핑한 카세트가 공정 장비의 로드 포트 바로 위에 정렬되도록 가이드 포스트를 중심으로 회전된 후, 하강운동하여 그리핑한 카세트를 로드 포트 상에 안착시키기 위한 카세트 이송부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The cassette conveying apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a vehicle which is mounted with a cassette, a main rail for guiding the vehicle to process equipment, and a sub rail for guiding the vehicle for gripping the cassette conveyed by the vehicle. Gripping guide rails, guide posts and cassettes installed perpendicular to the load port of the process equipment, and rotating the grips about the guide posts so that the cassette is aligned directly above the load port of the process equipment, and then gripping And a cassette conveying member for seating one cassette on the load port.
본 발명의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
도 1a 및 도 1b는 각각 종래의 자동반송 시스템의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면,1A and 1B are diagrams for explaining the configuration and operation of a conventional automatic transport system, respectively;
도 2는 종래의 오버 헤드 트랜스퍼의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면,2 is a view for explaining the configuration and operation of the conventional overhead transfer,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성도,3 is a configuration diagram of a cassette transport apparatus according to a first embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 이송장치의 작동을 설명하기 위한 도면,4 is a view for explaining the operation of the cassette transport apparatus according to the first embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성도,5 is a configuration diagram of a cassette transport apparatus according to a second embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 이송장치의 작동을 설명하기 위한 도면.6 is a view for explaining the operation of the cassette transport apparatus according to a second embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
31 : 차량 33 : 제 1 가이드 레일31: vehicle 33: first guide rail
35 : 가이드 포스트 37 : 제 1 카세트 이송부재35 guide post 37 first cassette transfer member
38 : 베이스 플레이트 39 : 그리퍼38: base plate 39: gripper
41 : 제 2 가이드 레일 43 : 메인 레일41: second guide rail 43: main rail
43a, 43b : 제 1 및 제 2 이동가능 레일43a, 43b: first and second movable rails
45 : 서브 레일 45a, 45b : 제 1 및 제 2 서브 레일부45: sub rail 45a, 45b: first and second sub rail portion
47 : 제 2 카세트 이송부재47: second cassette transfer member
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 이송장치에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a cassette transport apparatus according to the present invention.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 이하의 기재에 있어서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.3 and 4 are views for explaining the configuration and operation of the cassette transport apparatus according to the first embodiment of the present invention, respectively. In addition, in the following description, the same code | symbol is attached | subjected about the same component as before.
도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 이송장치는 스토커(도시하지 않음)로부터 카세트(1)를 공정 장비(10)로 이동시키기 위한 차량(31), 차량(31)을 공정 장비(10)로 안내하기 위한 제 1 가이드 레일(33), 공정 장비(10)의 로드 포트(12)에 수직으로 설치된 가이드 포스트(35) 및 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상으로 이송시키기 위한 제 1 카세트 이송부재(37)를 포함한다. 제 1 카세트 이송부재(37)는 대략 'ㄷ' 형상을 가지며, 가이드 포스트(35)를 따라 상하로 이동가능하도록 또한 가이드 포스트(35)를 중심으로 회전가능하도록 가이드 포스트(35)에 마련된 베이스 플레이트(38) 및 베이스 플레이트(38) 상에 수평이동 가능하게 마련된 그리퍼(39)로 구성된다.As shown, the cassette conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention provides a vehicle 31 and a vehicle 31 for moving the cassette 1 from the stocker (not shown) to the process equipment 10. The first guide rail 33 for guiding the process equipment 10, the guide post 35 and the cassette 1 installed perpendicular to the load port 12 of the process equipment 10 are loaded with the process equipment 10. A first cassette conveying member 37 for conveying onto the port 12. The first cassette conveying member 37 has a substantially 'c' shape, and is provided with a base plate provided in the guide post 35 so as to be movable up and down along the guide post 35 and rotatable about the guide post 35. And a gripper 39 provided on the base plate 38 so as to be movable horizontally.
이하, 카세트(1)의 이송과정을 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the transfer process of the cassette 1 will be described.
우선, 차량(31)이 스토커로부터 카세트(1)를 싣고 천정에 설치되어 있는 제 1 가이드 레일(33)을 따라 제 1 카세트 이송부재(37)에 대응하는 위치까지 이동하면, 제 1 카세트 이송부재(37)는 로드 포트(12)에 설치되어 있는 가이드 포스트(35)를 따라 카세트(1) 위치까지 상승운동한다.First, when the vehicle 31 loads the cassette 1 from the stocker and moves to the position corresponding to the first cassette transport member 37 along the first guide rail 33 provided on the ceiling, the first cassette transport member 37 moves up to the cassette 1 position along the guide post 35 provided in the load port 12.
그후, 그리퍼(39)는 베이스 플레이트(38)로부터 카세트(1)쪽 즉, 화살표A 방향으로 슬라이딩 운동하면, 베이스 플레이트(38)는 상방향으로 대략 5㎝정도 상승운동하여 그리퍼(39)를 통해 카세트(1)를 그리핑한 후, 베이스 플레이트(38) 상으로 리턴하여, 그리핑한 카세트(1)가 공정 장비(10)의 로드 포트(2) 바로 위에 정렬되도록 베이스 플레이트(38)가 가이드 포스트(35)를 중심으로 회전한다.Then, when the gripper 39 slides from the base plate 38 toward the cassette 1, that is, in the direction of the arrow A, the base plate 38 moves upward by about 5 cm in the upward direction through the gripper 39. After gripping the cassette 1, the base plate 38 is guided so that it returns to the base plate 38 so that the gripping cassette 1 is aligned directly above the load port 2 of the process equipment 10. It rotates about the post 35.
다음에, 베이스 플레이트(38)는 가이드 포스트(35)를 따라 하강운동하여 그리퍼(39)가 그리핑한 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(12)상에 안착시킨다.The base plate 38 then moves down along the guide post 35 to seat the cassette 1 gripped by the gripper 39 on the load port 12 of the process equipment 10.
상술한 기술에 있어서, 제 1 카세트 이송부재(38)는 카세트(1)를 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상에 안착시키기 위해, 차량(31)에 의해 반송된 카세트(1)를 그리핑하고, 카세트(1)가 로드 포트(12) 바로 위에 정렬되도록 가이드 포스트(35)를 중심으로 회전된 후, 하강운동하는 것으로 기재되어 있지만, 제 1 카세트 이송부재(37)는 카세트를 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상에 안착시키기 위해, 차량(31)에 의해 반송된 카세트(1)를 그리핑한 후, 그리핑한 카세트(1)의 하면이 공정 장비(10)의 로드 포트(12)와 동일 레벨이 될 때까지 하강운동한 후, 회전운동하여 카세트(1)를 로드 포트(12) 상에 안착시킬 수도 있다.In the above-described technique, the first cassette transfer member 38 carries the cassette 1 conveyed by the vehicle 31 in order to seat the cassette 1 on the load port 12 of the process equipment 10. Although it is described as gripping and rotating about the guide post 35 so that the cassette 1 is aligned directly above the load port 12, the first cassette conveying member 37 processes the cassette. After gripping the cassette 1 carried by the vehicle 31 to seat it on the load port 12 of the equipment 10, the bottom surface of the gripping cassette 1 is placed on the process equipment 10. After the downward motion until the level is the same as the load port 12, it may be rotated to seat the cassette 1 on the load port 12.
한편, 도 5 및 도 6은 각각 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구성 및 그의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 제 2 실시예에 있어서 제 1 실시예와의 차이점은 레일 및 카세트 이송부재의 구성뿐이므로, 이하의 설명에 있어서는 이를 중심으로 기재하며, 제 1 실시예와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이며 그에 대한 구체적인 설명은 생략한다.5 and 6 are views for explaining the configuration and operation of the cassette transport apparatus according to the second embodiment of the present invention, respectively. The only difference from the first embodiment in the second embodiment is the configuration of the rail and the cassette conveying member, and therefore, in the following description, this will be described as the center, and the same components as in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Detailed description thereof will be omitted.
도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 이송장치는 차량(31)을 공정 장비(10)로 안내하기 위한 메인 레일(43) 및 차량(31)에 의해 반송된 카세트(1)의 그리핑을 위한 서브 레일(45)을 포함하는 제 2 가이드 레일(41) 및 서브 레일(45)에 의해 안내된 차량(31)으로부터 카세트(1)를 그리핑하여, 그리핑한 카세트(1)가 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 바로 위에 정렬되도록 가이드 포스트(35)를 중심으로 회전된 후, 하강운동하여 카세트(1)를 로드 포트(12) 상에 안착시키기 위한 제 2 카세트 이송부재(47)를 포함한다.As shown in FIG. 5, the cassette conveying apparatus according to the second embodiment of the present invention is a cassette conveyed by the main rail 43 and the vehicle 31 for guiding the vehicle 31 to the process equipment 10. The cassette 1 is gripped from the vehicle 31 guided by the second guide rail 41 and the sub-rail 45 including the sub-rail 45 for the gripping of (1), and The cassette 1 is rotated about the guide post 35 so as to be aligned directly above the load port 12 of the process equipment 10, and then moves downward to seat the cassette 1 on the load port 12. A second cassette transfer member 47 is included.
메인레일(43)은 제 2 카세트 이송부재(47)에 대응하는 부분에, 제 1 이동가능 레일(43a)을 포함한다.The main rail 43 includes a first movable rail 43a at a portion corresponding to the second cassette transfer member 47.
서브레일(45)은 메인레일(43)과 직각으로 형성되어 차량(31)을 제 2 카세트 이송부재(47)로 안내하기 위한 제 1 서브 레일부(45a) 및 제 1 서브 레일부(45a)와 연동하도록, 제 1 서브 레일부(45a)와 직각, 즉 메인레일(43)과 평행하게 마련되는 제 2 서브 레일부(45b)를 포함한다. 이러한 구성에 의해, 차량(31)이 메인레일(43)을 따라 제 1 이동가능 레일(43a) 상에 위치하면, 제 1 이동가능 레일(43a)이 제 2 카세트 이송부재(47)쪽으로 이동하며, 이에 따라 제 2 이동가능 레일(43b)이 제 1 이동가능 레일(43a) 위치로 이동되어, 메인레일(43)을 연결시킨다. 이하, 카세트(1)의 이송과정을 도 6을 참조하여 설명한다.The subrail 45 is formed at a right angle with the main rail 43 so that the first sub rail part 45a and the first sub rail part 45a for guiding the vehicle 31 to the second cassette transfer member 47 are provided. And a second sub rail part 45b provided at right angles to the first sub rail part 45a, that is, parallel to the main rail 43. With this configuration, when the vehicle 31 is located on the first movable rail 43a along the main rail 43, the first movable rail 43a moves toward the second cassette conveying member 47. Thus, the second movable rail 43b is moved to the position of the first movable rail 43a to connect the main rail 43. Hereinafter, the transfer process of the cassette 1 will be described with reference to FIG.
우선, 차량(31)이 스토커로부터 카세트(1)를 싣고 천정에 설치되어 있는 메인 레일(43)을 따라 제 2 카세트 이송부재(47)에 대응하는 위치, 즉 제 1 이동가능 레일(43a)까지 이동되면, 제 1 이동가능 레일(43a)은 제 2 카세트 이송부재(47)쪽 즉, 화살표B 방향으로 이동된다. 그후, 제 2 카세트 이송부재(47)는 소정거리 상승운동하여 카세트(1)를 그리핑한다. 이 상태에서, 메인레일(43)은 제 2 이동가능 레일(43a)에 의해 연속적인 상태를 유지한다.First, the vehicle 31 loads the cassette 1 from the stocker and moves to the position corresponding to the second cassette transfer member 47 along the main rail 43 installed on the ceiling, that is, to the first movable rail 43a. When moved, the first movable rail 43a is moved toward the second cassette transfer member 47, that is, in the direction of the arrow B. FIG. Thereafter, the second cassette conveying member 47 grips the cassette 1 by the upward movement of the predetermined distance. In this state, the main rail 43 is maintained in a continuous state by the second movable rail 43a.
그후, 카세트(1)를 그리핑한 제 2 카세트 이송부재(47)는 가이드 포스트(35)를 중심으로 화살표C 방향으로 회전한 후 하강하여 공정 장비(10)의 로드 포트(12) 상에 안착시킨다.Thereafter, the second cassette conveying member 47 gripping the cassette 1 is rotated in the direction of an arrow C about the guide post 35 and then lowered to be seated on the load port 12 of the process equipment 10. Let's do it.
상술한 바와 같이 본 발명은 바람직한 예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형 실시 할 수 있음을 알 수 있을 것이다.As described above, the present invention has been described and illustrated with reference to preferred examples, but it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.
따라서, 본 발명에 따른 카세트 이송장치에 의해, 청정실의 면적을 절약할 수 있고, 카세트를 안전하고 정확하게 로드 포트 상에 안착시킬 수 있다는 효과가 있다.Therefore, the cassette transport apparatus according to the present invention has the effect of saving the area of the clean room and allowing the cassette to be safely and accurately seated on the load port.
Claims (5)
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