KR102531402B1 - Transferring unit and article transferring apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과; 상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와; 상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고, 상기 그립 부재는, 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와; 상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함할 수 있다.The present invention provides a conveying unit. A conveying unit that conveys a container including a housing in which articles are accommodated and travels on a rail includes: a body having an actuator; a wheel coupled to the body and traveling on the rail; a grip member for chucking or unchucking the head coupled to the housing; and an elevating member that moves the grip member in a vertical direction and is coupled to the body, wherein the grip member is provided to be inserted into a space between a lower surface of the head and an upper surface of the housing to chuck the head. with the gripper; A roller rotatably coupled to each of the grippers may be included.
Description
본 발명은 반송 유닛 및 척킹 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 웨이퍼 등이 수납된 용기를 이송하는 반송 유닛, 그리고 상기 반송 유닛이 용기를 척킹하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying unit and a chucking method, and more particularly, to a conveying unit for conveying a container containing wafers or the like in a semiconductor manufacturing line, and a method for chucking the container by the conveying unit.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various types of processes such as deposition, photo, and etching processes are performed, and devices performing each of these processes are disposed in a semiconductor manufacturing line. Objects such as wafers for performing a semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in a container such as a FOUP. In addition, objects subjected to the process may be recovered from each semiconductor processing apparatus into a container, and the recovered container may be transported to the outside.
용기는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.Containers are transported by Overhead Hoist Transport (OHT). The OHT transfers a container containing an object to a load port of any one of semiconductor processing devices. In addition, the OHT may pick up a container containing a processed object from a load port and transport it to the outside or to another one of semiconductor processing devices.
도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재(10)는 베이스 플레이트(12), 벨트(14), 가이드 레일(16), 그리고 그립퍼(18)를 포함한다. 베이스 플레이트(12)에는 가이드 레일(16)이 제공된다. 또한, 베이스 플레이트(12)는 벨트(16)와 결합되어 상하 방향으로 승강된다. 가이드 레일(16)은 그립퍼(18)의 수평 방향 이동을 가이드 할 수 있는 경로를 제공한다. 그립퍼(18)는 가이드 레일(16)의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. 1 is a view showing a grip member of a general product transport device. Referring to FIG. 1 , a
도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 용기(C)는 바디(CB)와 헤드(CH)를 포함한다. 바디(CB)는 대상물이 수납되는 수납 공간을 가진다. 헤드(CH)는 바디(CB)에 결합되고, 그립퍼(18)에 의해 그립되는 부분일 수 있다. 그립퍼(18)가 용기(C)의 헤드(CH)를 그립하는 경우, 그립퍼(18)는 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이에, 그립퍼(18)는 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입한다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입을 완료하면, 그립퍼(18)는 벨트(14)에 의해 위 방향으로 이동한다. 이때, 그립퍼(18)와 헤드(CH)의 하면은 충돌하게 된다. 이는, 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입시에 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하거나, 그립퍼(18)와 헤드(CH)가 서로 마찰되어 파티클이 발생되는 등의 문제 발생이 없도록 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 일정 간격 이격되어 상기 사이 공간으로 진입하기 때문이다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하게 되면, 진동이 발생한다. 발생된 진동은 용기(C)의 바디(CB)로 전달된다. 바디(CB)에 전달된 진동은 바디(CB) 내에서 파티클을 유발시킨다. 유발된 파티클은 대상물에 부착되어 대상물 처리의 불량을 야기한다.2 and 3 are views showing how the grip member of FIG. 1 chucks a container. Referring to Figures 2 and 3, the container (C) includes a body (CB) and a head (CH). The body CB has a storage space in which objects are stored. The head CH may be a part coupled to the body CB and gripped by the
본 발명은 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a conveying unit and a chucking method capable of effectively conveying articles such as substrates.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a transfer unit and a chucking method capable of minimizing the generation of particles in a container for storing articles such as substrates.
또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a transport unit and a chucking method capable of minimizing vibration transmitted to the container when a container accommodating an article such as a substrate and a grip member gripping the container contact each other.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과; 상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와; 상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고, 상기 그립 부재는, 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와; 상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함할 수 있다.The present invention provides a conveying unit. A conveying unit that conveys a container including a housing in which articles are accommodated and travels on a rail includes: a body having an actuator; a wheel coupled to the body and traveling on the rail; a grip member for chucking or unchucking the head coupled to the housing; and an elevating member that moves the grip member in a vertical direction and is coupled to the body, wherein the grip member is provided to be inserted into a space between a lower surface of the head and an upper surface of the housing to chuck the head. with the gripper; A roller rotatably coupled to each of the grippers may be included.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상기 그립퍼들의 이동 방향을 가이드 하는 수평 이동 레일을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the grip member may include a horizontal movement rail for guiding movement directions of the grippers.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립퍼는, 상하 방향으로 연장되고, 상기 수평 이동 레일과 결합되는 결합부와; 상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입 가능한 삽입부를 포함하고, 상기 롤러는, 상기 삽입부에 회전 가능하게 결합될 수 있다.According to one embodiment, the gripper, extending in the vertical direction, and coupled to the horizontal moving rail; An insertion part extending in a horizontal direction from the coupling part and insertable into the interspace, and the roller may be rotatably coupled to the insertion part.
일 실시 예에 의하면, 상기 결합부에는, 상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단이 형성될 수 있다.According to an embodiment, a protruding end inserted into a groove formed on a side surface of the head when the grip member chucks the container may be formed on the coupling part.
일 실시 예에 의하면, 상기 홈과 상기 돌출단은 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다.According to one embodiment, the groove and the protruding end may have shapes corresponding to each other.
일 실시 예에 의하면, 상기 롤러는, 상기 사이 공간의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.According to one embodiment, the roller may have a smaller diameter than the diameter of the interspace.
일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하여 상기 용기를 반송시 상기 그립퍼들의 위치가 고정되도록 상기 그립 부재를 제어할 수 있다.According to an embodiment, the unit may further include a controller, and the controller may control the grip member to fix the positions of the grippers when the grip member chucks the head and transports the container.
일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하기 위해 상기 그립퍼들이 수평 이동시 상기 롤러가 상기 헤드의 측면과 접촉되지 않도록 상기 그립퍼들을 승강시키도록 상기 승강 부재를 제어할 수 있다.According to an embodiment, the unit further includes a controller, and the controller lifts and moves the grippers so that the roller does not come into contact with the side surface of the head when the grippers move horizontally so that the grip member chucks the head. It is possible to control the elevating member so as to do so.
일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상부에서 바라볼 때, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 정위치 되었는지 여부를 감지하는 센서를 가지는 푸셔를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the grip member, when viewed from the top, may include a pusher having a sensor for detecting whether the grip member is in the right position when chucking the head.
일 실시 예에 의하면, 상기 푸셔는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드에 형성된 홀에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, the pusher may have a shape in which a portion of the pusher can be inserted into a hole formed in the head when the grip member chucks the head.
일 실시 예에 의하면, 복수의 상기 그립퍼들 중 어느 하나는 상기 헤드의 제1영역을 척킹하도록 설치되고, 복수의 상기 그립퍼들 중 다른 하나는 상기 헤드의 제2영역을 척킹하도록 설치되되, 상기 제2영역은, 상부에서 바라볼 때 상기 헤드의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다.According to an embodiment, one of the plurality of grippers is installed to chuck the first region of the head, and the other of the plurality of grippers is installed to chuck the second region of the head. Area 2 may be an area symmetrical to the first area based on the center of the head when viewed from above.
또한, 본 발명은 척킹 방법을 제공한다. 반송 유닛을 이용하여 상기 용기를 척킹하는 척킹 방법은, 상기 유닛이 상기 용기의 상부로 이동하는 제1이동 단계와; 상기 그립퍼, 그리고 상기 롤러가 상기 사이 공간에 삽입 가능한 위치로 이동되는 제1승강 단계와; 상기 그립퍼가 수평 이동하여 상기 롤러가 상기 헤드의 하면과 접촉되는 수평 이동 단계와; 상기 그립퍼가 상기 용기를 척킹한 상태로 상기 용기를 이동시키는 제2승강 단계를 포함할 수 있다.In addition, the present invention provides a chucking method. A chucking method for chucking the container using a transfer unit includes: a first moving step of moving the unit to an upper portion of the container; a first lifting step of moving the gripper and the roller to a position where they can be inserted into the interspace; a horizontal movement step of horizontally moving the gripper so that the roller comes into contact with the lower surface of the head; A second lifting step of moving the container in a state in which the gripper chucks the container may be included.
일 실시 예에 의하면, 상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때, 상기 제1승강 단계에는, 상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 높도록 상기 그립퍼를 이동시킬 수 있다.According to an embodiment, a virtual straight line that passes through the center of the roller and is parallel to the horizontal direction is defined as a first line, and a virtual straight line located on top of virtual straight lines that are in contact with the outer surface of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as a first line. When the straight line is defined as the second line, in the first lifting step, the gripper is moved such that the first line is lower in height than the lower surface of the head and the second line is equal to or higher in height than the lower surface of the head. can be moved
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, articles such as substrates can be effectively transported.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to minimize the generation of particles in a container accommodating articles such as substrates.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, when a container for storing an article such as a substrate and a grip member gripping the container come into contact, vibration transmitted to the container can be minimized.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 8은 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 13은 도 12의 제1이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 14, 그리고 도 15는 도 12의 제1승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 16, 그리고 도 17은 도 12의 수평 이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 18은 도 12의 제2승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 19는 도 12의 제2이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a grip member of a general product transport device.
2 and 3 are views showing how the grip member of FIG. 1 chucks a container.
4 is a view from above of a semiconductor manufacturing apparatus and an article conveying apparatus of the present invention.
FIG. 5 is a front view of the article conveying device of FIG. 4 .
FIG. 6 is a side view of the article conveying device of FIG. 4 .
FIG. 7 is a view of the product conveying device of FIG. 4 viewed from above.
8 is a view showing how the transport unit of the present invention travels without changing the travel direction.
9 is a view showing how the conveying unit of the present invention changes the traveling direction.
10 is a view showing a grip member included in the conveying unit of the present invention.
11 is a view of the grip member and the container of FIG. 10 viewed from above.
12 is a flow chart showing a chucking method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a view showing an appearance of a transfer unit performing the first moving step of FIG. 12 .
14 and 15 are diagrams showing appearances of a transfer unit performing the first lifting step of FIG. 12 .
16 and 17 are diagrams showing a conveyance unit performing the horizontal movement step of FIG. 12 .
FIG. 18 is a view showing an appearance of a transfer unit performing the second lifting step of FIG. 12 .
FIG. 19 is a view showing an appearance of a conveying unit performing the second moving step of FIG. 12 .
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing preferred embodiments of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and actions.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.'Including' a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components unless otherwise stated. Specifically, terms such as "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features or It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.
본 실시 예의 물품 반송 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.The article conveying device of this embodiment can be used to convey containers. In particular, the article conveying device of the present embodiment can convey the container in which the article is stored. The article may be a substrate such as a wafer or a reticle. A container in which articles are stored may be a Front Opening Unified Pod (FOUP). Also, a container in which an article is stored may be a pod. In addition, the container in which the article is stored may include a magazine for accommodating a plurality of printed circuit boards, a tray for accommodating a plurality of semiconductor packages, and the like.
이하에서는, 물품 반송 장치가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. Hereinafter, an example in which the product transport device transports a container in which a substrate such as a wafer is stored to semiconductor process devices disposed in a semiconductor manufacturing line will be described as an example. However, it is not limited thereto, and the article conveying device of the present embodiment can be applied to various production lines that require conveyance of articles and/or containers containing articles in the same or similar manner.
이하에서는 도 4 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 19 .
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치일 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.4 is a view from above of a semiconductor manufacturing apparatus and an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 , the
도 4에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.In FIG. 4 , the
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 5 내지 도 7을 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.FIG. 5 is a front view of the product transport device of FIG. 4 , FIG. 6 is a side view of the product transport device of FIG. 4 , and FIG. 7 is a top view of the product transport device of FIG. 4 . Referring to FIGS. 5 to 7 , an
레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.The
조향 레일(330)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)이 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 일부는 상부에서 바라볼 때 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다. A
반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 휠(520, 530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그립 부재(600), 그리고 제어기를 포함할 수 있다.The
바디(510)에는 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 휠(520, 530)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 바디(510)는 내부에 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)에 동력을 전달하여 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.
휠(520, 530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠(520, 530)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠(520, 530)은 주행 휠(520), 그리고 조향 휠(530)을 포함할 수 있다.The
주행 휠(520)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.The
조향 휠(530)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 바디(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠(520)이 회전하여 반송 유닛(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠(530)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠(530)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.
프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고 그립 부재(600)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 두 개의 바디(510)에 각각 결합될 수 있다. The
슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 전방, 후방, 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 승강 부재(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 승강 부재(570)의 위치를 변경할 수 있다.
승강 부재(570)는 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 승강 부재(570)는 프레임(540) 및/또는 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 승강 부재(570)는 내부에 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 구동기는 그립 부재(600)와 연결된 벨트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. 그립 부재(600)의 구체적인 설명은 후술한다.The lifting
이하에서는, 주행 레일(310)을 주행하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 8과 도 9를 참조하면, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 일부는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 다른 일부는 직선 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)의 굴곡진 부분은 주행 레일(310)들의 교차 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)의 직선 부분은 주행 레일(310)의 주행 영역에 배치될 수 있다.Hereinafter, a method of changing the traveling direction of the
반송 유닛(500)이 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 서로 접촉되지 않는 위치로 이동된다. 즉, 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되지 않으므로, 반송 유닛(500)은 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하게 된다(도 8 참조). 그러나, 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우에도 조향 휠 (530)에 의해 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되지 않는다면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉될 수도 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 도 8의 조향 레일(330)의 좌측 면과 접촉될 수도 있다.When the conveying
이와 달리, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되는 위치로 이동될 수 있다. 구체적으로, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 면과 접촉되도록 그 위치가 변경된다. 예컨대, 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향이 우측 방향인 경우, 우측 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 우측 면과 접촉되도록 조향 휠(530)의 위치가 변경된다(도 9 참조). 도 9에 도시된 예로 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경을 설명하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 기준으로 우측 주행 휠(520)는 주행 레일(310)과 계속하여 접촉된다. 그리고, 반송 유닛(500)의 좌측 주행 휠(520)는 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되면서 주행 레일(310)과 이격된다. 그리고, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경이 완료될 때까지 조향 레일(330)과 계속하여 접촉한다. 주행 방향 변경이 완료되면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)로부터 이격되고, 좌측 주행 휠(520)은 다시 주행 레일(310)과 접촉된다.Unlike this, when changing the driving direction of the
도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이고, 도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다. 도 10과 도 11을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 그립 부재(600)에 대하여 상세히 설명한다. 우선, 그립 부재(600)에 대하여 설명하기에 앞서, 그립 부재(600)가 척킹하는 용기(20)에 대하여 간략히 설명한다.FIG. 10 is a view showing a grip member included in the conveyance unit of the present invention, and FIG. 11 is a view of the grip member and the container of FIG. 10 viewed from above. The
용기(20)는 내부에 물품을 수납할 수 있다. 용기(20)는 풉(FOUP)일 수 있다. 또한, 용기(20)에 수납되는 물품은 웨이퍼 등의 기판일 수 있다. 용기(20)는 하우징(21), 그리고 헤드(23)를 포함할 수 있다. 용기(20)는 물품이 수납되는 수납 공간을 가질 수 있다. 헤드(23)는 후술하는 그립 부재(600)에 의해 척킹 또는 언척킹 될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)에 결합될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다, 헤드(23)는 결합 부재(22)를 매개로 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다. The
또한, 헤드(23)에는 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 홀(25)과, 후술하는 돌출단(656)이 삽입되는 홈(27)이 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심 영역에 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 원 형상을 가질 수 있다. 또한, 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)의 일부가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)는 헤드(23)의 측면에 형성될 수 있다. 홈(27)은 헤드(23)의 측면에서 상부에서 바라본 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 홈(27)은 상부에서 바라볼 때 헤드(23)의 측면에서 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 갈수록 그 폭이 점차 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)은 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)은 후술하는 돌출단(656)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)이 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가지는 경우, 돌출단(656)은 홈(27)에 삽입될 수 있도록 이와 동일 또는 유사한 삼각 형상을 가질 수 있다.In addition, the
그립 부재(600)는 용기(20)를 척킹 또는 언척킹할 수 있다. 그립 부재(600)는 베이스 플레이트(610), 수평 이동 레일(620), 구동 부재(630), 푸셔(640), 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 포함할 수 있다.The
베이스 플레이트(610)는 판 형상을 가질 수 있다. 베이스 플레이트(610)는 승강 부재(570)의 벨트(572)와 결합될 수 있다. 승강 부재(570)의 벨트(572)가 감기거나 풀리면서, 베이스 플레이트(610)는 상하 방향으로 이동될 수 있다. 베이스 플레이트(610)에는 수평 이동 레일(620)이 제공될 수 있다.The
수평 이동 레일(620)은 베이스 플레이트(610)의 상면에 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 후술하는 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 예컨대, 수평 이동 레일(620)은 그립퍼(650)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 복수로 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다.The horizontal moving
구동 부재(630)는 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)에 동력을 전달하여 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)와 결합될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)에 제공될 수 있다. 즉, 구동 부재(630)가 동력을 발생시키면, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)을 따라 이동될 수 있다. 이에, 구동 부재(630)와 결합된 그립퍼(650)는 구동 부재(630)로부터 동력을 전달 받아 수평 이동 레일(620)이 가이드 하는 이동 방향을 따라 이동될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 구동 부재(630)들 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)들 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)는 모터일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 구동 부재(630)는 실린더, 솔레노이드 등 동력을 발생시키는 다양한 공지의 장치로 변형될 수 있다.The driving
푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 베이스 플레이트(610)의 중심 영역에 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 그 중심이 베이스 플레이트(610)의 중심과 일치되도록 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 하부로 갈수록 그 직경이 점차 작아지는 상광하협의 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입될 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 그 일부가 삽입되어, 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 척킹이 용이하도록 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.When viewed from above, the
또한, 푸셔(640)에는 센서(미도시)가 제공될 수 있다. 푸셔(640)에 제공되는 센서는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 그립 부재(600)가 정위치 되었는지 여부를 감지할 수 있다. 또한, 푸셔(640)에 제공되는 센서는 접촉식 센서일 수 있다. 푸셔(640)가 헤드(23)에 접촉되면, 승강 부재(570)는 센서로부터 신호를 전달 받아, 그립 부재(600)의 하강을 중단할 수 있다.In addition, a sensor (not shown) may be provided in the
그립퍼(650)는 용기(20)의 헤드(23)를 척킹할 수 있다. 그립퍼(650)는 절곡된 형상을 가질 수 있다. 그립퍼(650)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 그립퍼(650)는 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 어느 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 어느 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 다른 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 다른 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 일 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 타 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나와, 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상부에서 바라볼 때, 푸셔(640)를 기준으로 서로 대칭되는 형상을 가지고, 서로 대칭되는 위치에 설치될 수 있다. 즉, 복수의 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 제1영역을 척킹할 수 있도록 설치되고, 복수의 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 제1영역과 상이한 영역인 제2영역을 척킹할 수 있도록 설치될 수 있다. 여기서, 제2영역은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다. The
그립퍼(650)는 결합부(652), 삽입부(654), 그리고 돌출단(656)을 포함할 수 있다. The
결합부(652)는 상하 방향으로 연장될 수 있다. 결합부(652)는 구동 부재(630)를 매개로 수평 이동 레일(620)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 삽입부(654)는 결합부(652)로부터 수평 방향을 따라 연장될 수 있다. 삽입부(654)는 상술한 사이 공간(29)에 삽입될 수 있다. 삽입부(654) 일단의 상면은 하향 경사진 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 결합부(652)에 제공될 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)의 측면에 형성된 홈(27)에 삽입될 수 있다. 돌출단(656)은 홈(27)과 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)에 형성된 홈(27)에 삽입되어 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.The
롤러(670)는 그립퍼(650)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 복수로 제공될 수 있다. 롤러(670)들은 각각 그립퍼(650)들 각각에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 진입할 수 있도록, 사이 공간(29)의 간격보다 작은 직경을 가질 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)가 사이 공간(29)에 삽입시, 헤드(23)의 하면과 접촉될 수 있다.The
제어기(미도시)는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록 반송 유닛(300)을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록, 그립 부재(600) 및/또는 승강 부재(570)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하여, 용기(20)를 반송시 그립퍼(650)들의 위치가 고정되도록 그립 부재(600)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하기 위해, 그립퍼(650)들이 수평 이동시 롤러(670)가 헤드(23)의 측면과 접촉되지 않도록 그립퍼(650)들을 승강시키도록 승강 부재(570)를 제어할 수 있다.A controller (not shown) may control the
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법은, 제1이동 단계(S10), 제1승강 단계(S20), 수평 이동 단계(S30), 제2승강 단계(S40), 그리고 제2이동 단계(S50)를 포함할 수 있다.12 is a flow chart showing a chucking method according to an embodiment of the present invention. 12, the chucking method according to an embodiment of the present invention includes a first moving step (S10), a first lifting step (S20), a horizontal moving step (S30), a second lifting step (S40), and A second moving step (S50) may be included.
제1이동 단계(S10)는 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동하는 단계이다(도 13 참조). 제1이동 단계(S10)에는 주행 휠(520) 및/또는 조향 휠(530)의 회전에 의해, 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 제1이동 단계(S10)에는 반송 유닛(300)이 반도체 공정 장치(100)의 로드 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 이와 달리, 제1이동 단계(S10)에는 용기(20)를 저장하는 스토퍼의 반입/반출 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수도 있다.The first moving step (S10) is a step in which the
제1승강 단계(S20)는 그립 부재(600)가 하강하는 단계이다(도 14 참조). 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 그립 부재(600)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 벨트(572)를 풀러 그립 부재(600)의 베이스 플레이트(610)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 그립 부재(600)가 하강하여, 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 용기(21)의 상면의 사이 공간(29)에 삽입 가능한 위치로 이동될 수 있다. 승강 부재(570)는 그립퍼(650)가 수평 이동시, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과는 이격되되, 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 접촉되는 위치까지 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 하강시킬 수 있다. The first lifting step ( S20 ) is a step in which the
예컨대, 도 15에 도시된 바와 같이, 롤러(670)의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인(L1)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인(L2)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 하부에 위치하는 가상의 직선을 제3라인(L3)으로 정의할 때, 제1승강 단계(S20)에는 제1라인(L1)이 헤드(23)의 하면보다는 높이가 낮고, 제2라인(L2)이 헤드(23)의 하면과 높이가 같거나 높고, 그립퍼(650)의 삽입부(654)의 상면이 헤드(23)의 하면보다 높이가 낮도록, 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다.For example, as shown in FIG. 15, an imaginary straight line passing through the center of the
이 경우, 도 15와 도 16에 도시된 바와 같이, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 하우징(21)의 사이 공간(29)에 진입하더라도, 그립퍼(650)는 헤드(23)와 접촉되지 않는다. 이에, 그립퍼(650)가 사이 공간(29)에 진입시, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 마찰되는 문제, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 충돌하는 문제를 발생시키지 않는다. 또한, 롤러(670)가 헤드(23)와 접촉되더라도, 롤러(670)는 그립퍼(650)가 수평 이동하면서 회전하게 된다. 즉, 롤러(670)는 헤드(23)와 접촉된 상태에서 이동되더라도, 헤드(23)와 마찰되어 파티클을 발생시키거나, 헤드(23)와 충돌하여 그립퍼(650)의 이동이 제한되는 문제를 방지할 수 있다. 또한, 수평 이동 단계(S30)가 수행된 이후에는, 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태일 수 있다.In this case, as shown in FIGS. 15 and 16 , even if the
제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 이동시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)의 그립퍼(650)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 상승시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시키도록 구동 부재(630)를 제어할 수 있다. 제2승강 단계(S40)가 수행되기 이전, 수평 이동 단계(S30)에서 롤러(654)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태가 된다. 즉, 제2승강 단계(S40)가 수행되는 시점에는, 수평 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 이격되지 않고 서로 접촉된 상태이다. 이에, 제2승강 단계(S40)에서 그립 부재(600)가 용기(20)를 상승시키더라도, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과 충돌하는 문제를 방지할 수 있다. 이에, 하우징(21)이 가지는 수납 공간에서 파티클이 발생하는 문제를 방지할 수 있고, 나아가 발생된 파티클에 의해 수납 공간에 수납된 물품이 오염되는 것을 최소화 할 수 있다.In the second lifting step ( S40 ), the
제2이동 단계(S50)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로, 반송 유닛(300)이 이동하는 단계이다. 제2이동 단계(S50)에는 반송 유닛(300)이 이동하여, 용기(20)를 반도체 제조 장치(100) 또는 스토커 등에 반송할 수 있다.In the second moving step ( S50 ), the conveying
상술한 예에서는, 용기(20)가 풉(FOUP)이고, 물품이 웨이퍼 등의 기판인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 용기(20)는 파드(POD)일 수 있고, 물품은 레티클 등의 포토 마스크일 수도 있다.In the above example, the
상술한 예에서는, 물품 반송 장치(300, 500)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 장치(300, 500)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. In the above example, it has been described that the
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and describe preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope equivalent to the written disclosure and / or within the scope of skill or knowledge in the art. The foregoing embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in specific application fields and uses of the present invention are also possible. Therefore, the above detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to cover other embodiments as well.
물품 반송 장치 : 1000
레일 : 300
주행 레일 : 310
조향 레일 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
가이드 레일 : 512
주행 휠 : 520
조향 휠 : 530
승강 부재 : 570
그립 부재 : 600
베이스 플레이트 : 610
수평 이동 레일 : 620
구동 부재 : 630
그립퍼 : 650
롤러 : 670Goods transport device: 1000
Rail: 300
Running Rail: 310
Steering Rail: 330
Transfer unit: 500
Body: 510
Guide Rail: 512
Driving wheel: 520
Steering wheel: 530
Elevating member: 570
Grip member: 600
Base plate: 610
Horizontal travel rail: 620
Driving member: 630
Gripper: 650
Roller: 670
Claims (18)
구동기를 가지는 바디;
상기 바디에 결합되고 상기 레일을 주행하는 휠;
상기 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재; 및
상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키는 승강 부재를 포함하고,
상기 그립 부재는:
상기 헤드의 하면과 상기 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어, 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼;
상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 복수의 롤러; 및
상기 그립퍼들을 수평 방향으로 이동시키는 구동 부재를 포함하고,
각각의 상기 그립퍼는:
상하 방향으로 연장되는 결합부; 및
상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입가능한 삽입부를 포함하고,
상기 롤러는 상기 삽입부에 회전 가능하게 결합되고,
상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상측의 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때,
상기 승강 부재는 상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 상기 헤드의 하면보다 높이가 높고, 상기 삽입부의 상면이 상기 헤드의 하면보다 높이가 낮도록 상기 그립퍼들을 이동시키는 하강 동작을 수행하고;
상기 구동 부재는 상기 그립퍼들에 설치된 상기 롤러들이 상기 사이 공간에 삽입되도록 상기 그립퍼들을 이동시키는 그립 동작을 수행하고; 및
상기 승강 부재는 상기 그립 부재를 상승시켜 상기 용기를 들어올리는 승강 동작을 수행하도록 구성되는,
반송 유닛.In the conveying unit that travels along a rail installed on a manufacturing line and conveys a container in which an article is stored, the container including a housing in which the article is accommodated and a head coupled to the housing:
a body having an actuator;
a wheel coupled to the body and traveling on the rail;
a grip member for chucking or unchucking the head; and
A lifting member for moving the grip member in a vertical direction;
The grip member is:
a plurality of grippers provided to be inserted into a space between a lower surface of the head and an upper surface of the housing and chucking the head;
a plurality of rollers rotatably coupled to each of the grippers; and
A driving member for moving the grippers in a horizontal direction;
Each said gripper:
Coupling portion extending in the vertical direction; and
An insertion portion extending in a horizontal direction from the coupling portion and insertable into the interspace,
The roller is rotatably coupled to the insertion part,
A virtual straight line that passes through the center of the roller and is parallel to the horizontal direction is defined as a first line, and an upper virtual straight line among virtual straight lines that are in contact with the outer surface of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as a second line. at the time,
In the elevating member, the first line is lower in height than the lower surface of the head, the second line is equal to or higher than the lower surface of the head, and the upper surface of the insertion part is lower than the lower surface of the head. performing a descending operation of moving the grippers to a lower height;
the driving member performs a gripping operation of moving the grippers so that the rollers installed in the grippers are inserted into the interspace; and
The lifting member is configured to perform a lifting operation of lifting the container by lifting the grip member.
transfer unit.
상기 하강 동작에서 상기 제2라인은 상기 헤드의 하면보다 높이가 높도록 상기 그립퍼들을 이동시키는,
반송 유닛.According to claim 1,
In the lowering operation, the second line moves the grippers so that the height is higher than the lower surface of the head.
transfer unit.
상기 하강 동작에서 상기 제2라인은 상기 헤드의 하면과 높이가 같도록 상기 그립퍼들을 이동시키는,
반송 유닛.According to claim 1,
In the lowering operation, the second line moves the grippers so that the height is the same as the lower surface of the head.
transfer unit.
상기 롤러의 직경은 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이의 거리보다 작은 크기로 형성되는,
반송 유닛.According to claim 1,
The diameter of the roller is formed to be smaller than the distance between the lower surface of the head and the upper surface of the housing,
transfer unit.
상기 삽입부는 정면에서 보았을 때 상기 롤러의 직경보다 작은 높이로 형성되는,
반송 유닛.According to claim 1,
The insertion portion is formed at a height smaller than the diameter of the roller when viewed from the front,
transfer unit.
각각의 상기 그립퍼는:
상기 결합부에 제공되며, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단을 더 포함하고,
상기 돌출단은 상기 홈과 서로 대응하는 형상을 가지는,
반송 유닛.According to claim 1,
Each said gripper:
It is provided in the coupling part and further includes a protruding end inserted into a groove formed on a side surface of the head when the grip member chucks the head,
The protruding end has a shape corresponding to the groove and each other,
transfer unit.
상기 그립 부재는:
판 형상을 가지며, 상기 승강 부재의 벨트와 결합되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상부에 설치되며, 상기 그립퍼의 수평 방향 이동을 가이드하는 수평 이동 레일; 및
상기 베이스 플레이트의 중심 영역에 제공되며, 상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드에 형성되는 홀에 적어도 일부가 삽입되는 푸셔를 포함하는,
반송 유닛.According to claim 1,
The grip member is:
a base plate having a plate shape and coupled to the belt of the elevating member;
a horizontal moving rail installed above the base plate and guiding horizontal movement of the gripper; and
A pusher provided in a central region of the base plate and at least partially inserted into a hole formed in the head when the grip member chucks the container,
transfer unit.
상기 푸셔에는 접촉식 센서가 제공되고,
상기 승강 부재는 상기 푸셔가 상기 헤드에 접촉되면, 상기 그립 부재의 하강을 중단하도록 구성되는,
반송 유닛.According to claim 8,
A contact sensor is provided in the pusher,
The lifting member is configured to stop the lowering of the grip member when the pusher contacts the head.
transfer unit.
제조 라인에 설치된 레일을 따라 주행하며, 물품이 수납된 용기 - 상기 용기는 물품이 수납되는 하우징 및 상기 하우징에 결합되는 헤드를 포함함 - 를 반송하는 반송 유닛; 및
상기 반송 유닛을 제어하는 제어기를 포함하고,
상기 반송 유닛은:
구동기를 가지는 바디;
상기 바디에 결합되고 상기 레일을 주행하는 휠;
상기 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재; 및
상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키는 승강 부재를 포함하고,
상기 그립 부재는:
상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어, 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼;
상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 복수의 롤러; 및
상기 그립퍼들을 수평 방향으로 이동시키는 구동 부재를 포함하고,
각각의 상기 그립퍼는:
상하 방향으로 연장되는 결합부; 및
상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입가능한 삽입부를 포함하고,
상기 롤러는 상기 삽입부에 회전 가능하게 결합되고,
상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상측의 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때,
상기 제어기는:
상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 상기 헤드의 하면보다 높이가 높고, 상기 삽입부의 상면이 상기 헤드의 하면보다 높이가 낮도록 상기 승강 부재가 상기 그립퍼들을 이동시키는 하강 동작;
상기 그립퍼들에 설치된 상기 롤러들이 상기 사이 공간에 삽입되도록 상기 구동 부재가 상기 그립퍼들을 이동시키는 그립 동작; 및
상기 승강 부재가 상기 그립 부재를 상승시켜 상기 용기를 들어올리는 승강 동작을 수행하도록 상기 승강 부재, 그리고 상기 구동 부재를 제어하는,
물품 반송 장치.In an article conveying device for conveying articles:
a transport unit that travels along a rail installed in a manufacturing line and transports a container in which an article is stored, wherein the container includes a housing in which the article is accommodated and a head coupled to the housing; and
A controller for controlling the transfer unit;
The conveying unit is:
a body having an actuator;
a wheel coupled to the body and traveling on the rail;
a grip member for chucking or unchucking the head; and
A lifting member for moving the grip member in a vertical direction;
The grip member is:
a plurality of grippers provided to be inserted into the space between the lower surface of the head and the upper surface of the housing and chucking the head;
a plurality of rollers rotatably coupled to each of the grippers; and
A driving member for moving the grippers in a horizontal direction;
Each said gripper:
Coupling portion extending in the vertical direction; and
An insertion portion extending in a horizontal direction from the coupling portion and insertable into the interspace,
The roller is rotatably coupled to the insertion part,
A virtual straight line that passes through the center of the roller and is parallel to the horizontal direction is defined as a first line, and an upper virtual straight line among virtual straight lines that are in contact with the outer surface of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as a second line. at the time,
The controller:
The first line has a height lower than the lower surface of the head, the second line has the same height as or higher than the lower surface of the head, and the upper surface of the insertion part has a height lower than the lower surface of the head. a lowering operation in which the elevating member moves the grippers so as to;
a gripping operation in which the driving member moves the grippers so that the rollers installed in the grippers are inserted into the interspace; and
Controlling the lifting member and the driving member so that the lifting member lifts the grip member to perform a lifting operation of lifting the container,
Goods transport device.
상기 제어기는,
상기 하강 동작에서 상기 제2라인은 상기 헤드의 하면보다 높이가 높도록 상기 그립퍼들을 이동시키도록 상기 승강 부재를 제어하는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
The controller,
In the lowering operation, the second line controls the lifting member to move the grippers so that the height is higher than the lower surface of the head.
Goods conveyance device.
상기 제어기는,
상기 하강 동작에서 상기 제2라인은 상기 헤드의 하면과 높이가 같도록 상기 그립퍼들을 이동시키도록 상기 승강 부재를 제어하는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
The controller,
In the lowering operation, the second line controls the lifting member to move the grippers so that the height is the same as the lower surface of the head.
Goods conveyance device.
상기 롤러의 직경은 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이의 거리보다 작은 크기로 형성되는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
The diameter of the roller is formed to be smaller than the distance between the lower surface of the head and the upper surface of the housing,
Goods conveyance device.
상기 삽입부는 정면에서 보았을 때 상기 롤러의 직경보다 작은 높이로 형성되는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
The insertion portion is formed at a height smaller than the diameter of the roller when viewed from the front,
Goods conveyance device.
각각의 상기 그립퍼는:
상기 결합부에 제공되며, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단을 더 포함하고,
상기 돌출단은 상기 홈과 서로 대응하는 형상을 가지는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
Each said gripper:
It is provided in the coupling part and further includes a protruding end inserted into a groove formed on a side surface of the head when the grip member chucks the head,
The protruding end has a shape corresponding to the groove and each other,
Goods conveyance device.
상기 그립 부재는:
판 형상을 가지며, 상기 승강 부재의 벨트와 결합되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상부에 설치되며, 상기 그립퍼의 수평 방향 이동을 가이드하는 수평 이동 레일; 및
상기 베이스 플레이트의 중심 영역에 제공되며, 상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드에 형성되는 홀에 적어도 일부가 삽입되는 푸셔를 포함하는,
물품 반송 장치.According to claim 10,
The grip member is:
a base plate having a plate shape and coupled to the belt of the elevating member;
a horizontal moving rail installed above the base plate and guiding horizontal movement of the gripper; and
A pusher provided in a central region of the base plate and at least partially inserted into a hole formed in the head when the grip member chucks the container,
Goods conveyance device.
상기 푸셔에는 접촉식 센서가 제공되고,
상기 승강 부재는 상기 푸셔가 상기 헤드에 접촉되면, 상기 그립 부재의 하강을 중단하도록 구성되는,
물품 반송 장치.
According to claim 17,
A contact sensor is provided in the pusher,
The lifting member is configured to stop the lowering of the grip member when the pusher contacts the head.
Goods conveyance device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220141789A KR102531402B1 (en) | 2020-01-15 | 2022-10-28 | Transferring unit and article transferring apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200005267A KR20210091943A (en) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | Transferring unit and chucking method |
KR1020220141789A KR102531402B1 (en) | 2020-01-15 | 2022-10-28 | Transferring unit and article transferring apparatus |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200005267A Division KR20210091943A (en) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | Transferring unit and chucking method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20220150268A KR20220150268A (en) | 2022-11-10 |
KR102531402B1 true KR102531402B1 (en) | 2023-05-12 |
Family
ID=76773094
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200005267A KR20210091943A (en) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | Transferring unit and chucking method |
KR1020220141789A KR102531402B1 (en) | 2020-01-15 | 2022-10-28 | Transferring unit and article transferring apparatus |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200005267A KR20210091943A (en) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | Transferring unit and chucking method |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (2) | KR20210091943A (en) |
CN (1) | CN113120597B (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102390436B1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-04-25 | 주식회사 율곡 | Autoloader type reversing device |
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JP2005064130A (en) | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Asyst Shinko Inc | Carrier device |
JP2016163001A (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 村田機械株式会社 | Gripper device, transfer device, and transfer method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101343235B1 (en) * | 2011-11-14 | 2013-12-18 | 주식회사 엘지실트론 | Shipping box transfer apparatus |
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CN110654968B (en) * | 2019-10-10 | 2020-11-27 | 温州睿程机械科技有限公司 | Lifting machine capable of automatically clamping materials |
-
2020
- 2020-01-15 KR KR1020200005267A patent/KR20210091943A/en not_active IP Right Cessation
-
2021
- 2021-01-15 CN CN202110053081.1A patent/CN113120597B/en active Active
-
2022
- 2022-10-28 KR KR1020220141789A patent/KR102531402B1/en active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210091943A (en) | 2021-07-23 |
CN113120597B (en) | 2023-06-27 |
KR20220150268A (en) | 2022-11-10 |
CN113120597A (en) | 2021-07-16 |
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