KR102385265B1 - Article transferring apparatus and Overhead hoist transport - Google Patents

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KR102385265B1 KR1020200022512A KR20200022512A KR102385265B1 KR 102385265 B1 KR102385265 B1 KR 102385265B1 KR 1020200022512 A KR1020200022512 A KR 1020200022512A KR 20200022512 A KR20200022512 A KR 20200022512A KR 102385265 B1 KR102385265 B1 KR 102385265B1
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이시영
이주호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 물품 반송 장치를 제공한다. 물품 반송 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일을 주행하는 반송 유닛을 포함하고,상기 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디; 상기 바디에 결합되고, 상기 구동기로부터 동력을 전달받아 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠; 상기 바디의 이동과 함께 이동되며, 용기를 파지하는 그립 부재; 그리고, 상기 그립 부재가 파지하는 용기의 흔들림을 최소화하는 짐벌을 포함할 수 있다.The present invention provides an article carrying apparatus. The article transport apparatus includes: a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line on which semiconductor processing apparatuses are continuously arranged; and a conveying unit traveling on the traveling rail, wherein the conveying unit includes: a body having a actuator; a traveling wheel coupled to the body and receiving power from the actuator to travel on the traveling rail; a grip member that is moved along with the movement of the body and grips the container; In addition, the grip member may include a gimbal to minimize the shaking of the container gripped.

Description

물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치{Article transferring apparatus and Overhead hoist transport}Article transferring apparatus and Overhead hoist transport

본 발명은 물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 웨이퍼 등이 수납된 용기를 반송하는 물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an article transfer apparatus and an overhead transfer apparatus, and more particularly, to an article transfer apparatus and an overhead transfer apparatus for transferring a container in which wafers are accommodated in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various types of processes such as deposition, photography, and etching are performed, and devices performing each of these processes are disposed in a semiconductor manufacturing line. Objects such as a wafer for performing a semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in a container such as a FOUP. In addition, the objects on which the process has been performed may be recovered from each semiconductor processing apparatus into a container, and the recovered container may be transported to the outside.

용기는 오버 헤드 트랜스퍼 장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.The vessel is transported by an overhead hoist transport (OHT). The OHT transfers the container in which the object is accommodated to a load port of any one of the semiconductor processing devices. In addition, the OHT may pick up the container in which the processed object is accommodated from the load port and transport it to the outside, or transport it to another of the semiconductor processing apparatuses.

오버 헤드 트랜스퍼 장치는 레일, 그리고 비히클을 포함할 수 있다. 비히클은 용기를 파지하는 그립 부재와 결합될 수 있다. 레일은 반도체 제조 라인의 천장에 설치될 수 있다. 비히클은 레일을 이동할 수 있다. 반도체 제조 라인에 설치되는 반도체 공정 장치들로 용기를 전달할 수 있다. 비히클이 레일을 따라 이동하면서, 비히클에는 흔들림 또는 진동이 발생할 수 있다. 예컨대, 비히클이 주행을 시작하거나, 비히클의 주행을 제동하는 경우, 비히클의 휠과 레일이 서로 마찰되어 비히클에 흔들림 또는 진동이 발생할 수 있다. 또한, 비히클이 주행 방향을 변경하는 경우, 비히클에 전달되는 원심력에 의해 비히클에 흔들림 또는 진동이 발생될 수 있다. 비히클에 발생하는 흔들림 또는 진동은 용기에 그대로 전달된다. 용기에 전달된 비히클의 흔들림 또는 진동은 용기 내에서 파티클을 발생시킬 수 있다. 발생된 파티클은 용기에 수납되어 있는 물품, 예컨대 웨이퍼와 같은 기판에 부착될 수 있다.The overhead transfer device may include a rail and a vehicle. The vehicle may be associated with a grip member that grips the container. The rail may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line. The vehicle can move the rails. The container may be delivered to semiconductor processing devices installed in a semiconductor manufacturing line. As the vehicle moves along the rail, the vehicle may vibrate or vibrate. For example, when the vehicle starts to travel or stops the vehicle from traveling, the wheels and rails of the vehicle may rub against each other to cause shaking or vibration in the vehicle. Also, when the vehicle changes the traveling direction, shaking or vibration may be generated in the vehicle due to centrifugal force transmitted to the vehicle. Shaking or vibration occurring in the vehicle is transmitted to the container as it is. Shaking or vibration of the vehicle delivered to the container can generate particles within the container. The generated particles may adhere to an article contained in a container, for example a substrate such as a wafer.

본 발명은 물품이 수납된 용기를 효율적으로 반송할 수 있는 물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an article transport device and an overhead transfer device capable of efficiently transporting a container in which articles are accommodated.

또한, 본 발명은 물품이 수납된 용기에 전달되는 흔들림 또는 진동을 최소화 할 수 있는 물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide an article transport device and an overhead transfer device capable of minimizing shaking or vibration transmitted to a container in which articles are accommodated.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 물품 반송 장치를 제공한다. 물품 반송 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일을 주행하는 반송 유닛을 포함하고, 상기 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디; 상기 바디에 결합되고, 상기 구동기로부터 동력을 전달받아 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠; 상기 바디의 이동과 함께 이동되며, 용기를 파지하는 그립 부재; 그리고, 상기 그립 부재가 파지하는 용기의 흔들림을 최소화하는 짐벌을 포함할 수 있다.The present invention provides an article carrying apparatus. The article transport apparatus includes: a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line on which semiconductor processing apparatuses are continuously arranged; a conveying unit traveling on the traveling rail, wherein the conveying unit includes: a body having a actuator; a traveling wheel coupled to the body and receiving power from the actuator to travel on the traveling rail; a grip member that is moved along with the movement of the body and grips the container; In addition, the grip member may include a gimbal to minimize the shaking of the container gripped.

일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 그립 부재를 승강 시키는 승강 부재를 더 포함하고, 상기 짐벌은, 상기 승강 부재와 결합될 수 있다.According to an embodiment, the device may further include an elevating member for elevating the grip member, and the gimbal may be coupled to the elevating member.

일 실시 예에 의하면, 상기 승강 부재를 측 방향으로 이동시키는 슬라이더를 더 포함하고, 상기 짐벌은, 상기 슬라이더, 그리고 상기 승강 부재 사이에 설치될 수 있다.According to an embodiment, the device may further include a slider that moves the lifting member in a lateral direction, and the gimbal may be installed between the slider and the lifting member.

일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 바디와 결합되고, 내부 공간을 가지는 프레임을 더 포함하고, 상기 슬라이더, 상기 승강 부재, 그리고 상기 그립 부재는 상기 내부 공간에 배치될 수 있다.According to an embodiment, the device may further include a frame coupled to the body and having an inner space, and the slider, the lifting member, and the grip member may be disposed in the inner space.

일 실시 예에 의하면, 상기 짐벌은, 상기 그립 부재의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 기울기 및/또는 진동을 계측하는 가속도 센서; 그리고, 상기 그립 부재의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 회전 운동을 계측하는 자이로 센서를 포함할 수 있다.In an embodiment, the gimbal may include: an acceleration sensor configured to measure an inclination and/or vibration of the grip member by directly or indirectly measuring an acceleration with respect to shaking of the grip member; In addition, the gyro sensor may include a gyro sensor that measures the rotational motion of the grip member by directly or indirectly measuring the rotational speed with respect to the shaking of the grip member.

일 실시 예에 의하면, 상기 짐벌은, 상부에서 바라볼 때, 상기 반송 유닛의 주행 방향에 수직한 제1축을 중심으로 회전 가능하게 제공되는 제1아암; 그리고, 상부에서 바라볼 때, 상기 제1축과 수직한 제2축을 중심으로 회전 가능하게 제공되며, 상기 제1아암과 결합되는 제2아암을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the gimbal may include: a first arm rotatably provided about a first axis perpendicular to a traveling direction of the conveying unit when viewed from above; And, when viewed from the top, the second arm is provided rotatably about a second axis perpendicular to the first axis, and may include a second arm coupled to the first arm.

일 실시 예에 의하면, 상기 짐벌은, 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 가속도 센서, 그리고 상기 자이로 센서에서 계측하는 측정 값을 근거로 상기 그립 부재가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 상기 제1아암, 그리고 상기 제2아암을 회전시키는 신호를 발생시킬 수 있다.According to an embodiment, the gimbal may further include a control unit, wherein the control unit includes the first control unit to keep the grip member level even when shaking based on measurement values measured by the acceleration sensor and the gyro sensor. and generate a signal to rotate the arm and the second arm.

또한, 본 발명은 오버 헤드 트랜스퍼 장치를 제공한다. 연속적으로 배치된 반도체 공정 장치들에 기판이 수납된 용기를 반송하는 오버 헤드 트랜스퍼 장치는, 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일을 주행하는 비히클; 상기 비히클과 결합되어 상기 용기를 파지하는 그립 부재; 그리고, 상기 그립 부재와 결합되어 상기 그립 부재가 파지하는 용기의 흔들림을 최소화하는 흔들림 방지 부재를 포함하고, 상기 흔들림 방지 부재는, 상기 그립 부재의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 기울기 및/또는 진동을 계측하는 가속도 센서; 그리고, 상기 그립 부재의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 회전 운동을 계측하는 자이로 센서를 포함할 수 있다.The present invention also provides an overhead transfer device. An overhead transfer apparatus for transporting a container in which a substrate is accommodated in consecutively arranged semiconductor processing apparatuses includes: a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line; a vehicle traveling on the traveling rail; a grip member coupled to the vehicle to grip the container; and an anti-shake member coupled to the grip member to minimize shaking of the container gripped by the grip member, wherein the anti-shake member directly or indirectly measures an acceleration with respect to shaking of the grip member to determine the grip an acceleration sensor for measuring inclination and/or vibration of the member; In addition, the gyro sensor may include a gyro sensor that measures the rotational motion of the grip member by directly or indirectly measuring the rotational speed with respect to the shaking of the grip member.

일 실시 예에 의하면, 상기 흔들림 방지 부재는, 상기 비히클의 주행 방향과 평행한 제1축을 중심으로 회전 가능하게 제공되는 제1아암; 그리고, 상부에서 바라볼 때 상기 제1축과 수직한 제2축을 중심으로 회전 가능하게 제공되며, 상기 제1아암과 결합되는 제2아암을 포함할 수 있다.In an embodiment, the shaking preventing member may include: a first arm rotatably provided about a first axis parallel to a traveling direction of the vehicle; In addition, the second arm is provided rotatably about a second axis perpendicular to the first axis when viewed from above, and may include a second arm coupled to the first arm.

일 실시 예에 의하면, 상기 흔들림 방지 부재는, 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 가속도 센서, 그리고 상기 자이로 센서에서 계측하는 측정 값을 근거로 상기 그립 부재가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 상기 제1아암, 그리고 상기 제2아암을 회전시키는 신호를 발생시킬 수 있다.According to an embodiment, the shaking preventing member may further include a control unit, wherein the control unit is configured to maintain the grip member level even when shaking based on measurement values measured by the acceleration sensor and the gyro sensor. A signal for rotating the first arm and the second arm may be generated.

일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 그립 부재를 승강 시키는 승강 부재를 더 포함하고, 상기 흔들림 방지 부재는, 상기 승강 부재와 결합될 수 있다.According to an embodiment, the device may further include an elevating member for elevating the grip member, and the shaking preventing member may be coupled to the elevating member.

일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 양 측면, 그리고 하면이 개방된 통 형상을 가지고, 상기 비히클과 결합되는 프레임과; 상기 프레임이 가지는 내부 공간에 배치되고, 상기 승강 부재를 개방된 상기 양 측면을 향하는 방향으로 이동시키는 슬라이더를 더 포함하고, 상기 흔들림 방지 부재는, 상기 슬라이더, 그리고 상기 승강 부재 사이에 설치될 수 있다.According to an embodiment, the device includes: a frame having an open tubular shape on both sides and a lower surface, coupled to the vehicle; The frame may further include a slider disposed in the inner space of the frame and configured to move the lifting member in a direction toward the open both sides, wherein the anti-shake member may be installed between the slider and the lifting member. .

일 실시 예에 의하면, 상기 흔들림 방지 부재는, 상기 슬라이더에 설치되는 베이스; 상기 제1아암을 회전시키고, 상기 베이스에 결합되는 상기 슬라이더에 결합되는 제1회전 구동부; 그리고, 상기 제2아암을 회전시키고, 상기 제1아암에 결합되는 제2회전 구동부를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the shaking preventing member may include: a base installed on the slider; a first rotation driving unit configured to rotate the first arm and coupled to the slider coupled to the base; And, it may include a second rotation driving unit to rotate the second arm and coupled to the first arm.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 물품이 수납된 용기를 효율적으로 반송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to efficiently transport the container in which the article is accommodated.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 물품이 수납된 용기에 전달되는 흔들림 또는 진동을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to minimize the shaking or vibration transmitted to the container in which the article is accommodated.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 반도체 제조 장치와 본 발명의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 도 1의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2와 도 3의 슬라이더가 흔들림 방지 부재, 그립 부재를 측 방향으로 이동시키는 모습을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 흔들림 방지 부재를 보여주는 도면이다.
도 9는 도 8의 흔들림 방지 부재가 포함하는 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 10과 도 11은 반송 유닛에 흔들림 또는 진동이 발생하였을 때 흔들림 방지 부재가 구동하는 일 예를 보여주는 도면이다.1 is a view of a semiconductor manufacturing apparatus and an article transport apparatus of the present invention as viewed from above.
FIG. 2 is a view of the article transport apparatus of FIG. 1 as viewed from the front;
FIG. 3 is a side view of the article transport apparatus of FIG. 1 .
4 is a view showing a state in which the slider of FIGS. 2 and 3 moves the anti-shake member and the grip member in the lateral direction.
FIG. 5 is a view of the article transport apparatus of FIG. 1 as viewed from above.
6 is a view showing a state in which the conveying unit of the present invention travels without changing the traveling direction.
7 is a view showing a state in which the conveying unit of the present invention changes the traveling direction.
8 is a view showing an anti-shake member included in the conveying unit of the present invention.
9 is a block diagram schematically illustrating a configuration included in the shaking preventing member of FIG. 8 .
10 and 11 are views illustrating an example in which the shaking preventing member is driven when shaking or vibration occurs in the conveying unit.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. However, the present invention may be implemented in several different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. Specifically, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features or It should be understood that the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of addition.

어떤 구성요소들이 서로 '결합'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 서로 직접적으로 결합되거나, 또 다른 구성을 매개로 간접적으로 결합되는 것을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that certain components are 'coupled' to each other, unless otherwise stated, directly coupled to each other or indirectly coupled through another component.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

본 실시 예의 물품 반송 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치는 오버 헤드 트랜스퍼 장치(Over head hoist transport)일 수 있다.The article transport apparatus of this embodiment can be used to transport containers. In particular, the article transport apparatus of the present embodiment can transport the container in which the article is accommodated. The article may be a substrate or reticle, such as a wafer. The container in which the article is accommodated may be a Front Opening Unified Pod (FOUP). In addition, the container in which the article is accommodated may be a pod (POD). In addition, the container in which the article is accommodated may include a magazine for accommodating a plurality of printed circuit boards, a tray for accommodating a plurality of semiconductor packages, and the like. Also, the article transport apparatus according to an embodiment of the present invention may be an overhead hoist transport device.

이하에서는, 물품 반송 장치가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. Hereinafter, an example in which the article transport device transports a container in which a substrate such as a wafer is accommodated to semiconductor processing devices disposed in a semiconductor manufacturing line will be described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and the article transport apparatus of the present embodiment may be equally or similarly applied to various manufacturing lines requiring transport of articles and/or containers in which articles are accommodated.

이하에서는 도 1 내지 도 10를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 10 .

도 1은 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치일 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.1 is a top view of a semiconductor manufacturing apparatus and an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 , the article transport apparatus 1000 according to the present invention can transport the container 20 in which the article is accommodated in a semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing apparatuses 100 are continuously arranged. The article transport device 1000 may be an overhead hoist transport (OHT) device. The article transport apparatus 1000 may include a rail 300 and a transport unit 500 . The transfer unit 500 may hold the container 20 . The transfer unit 500 may travel along a predetermined path along the rail 300 . The rail 300 may be provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line.

도 1에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.In FIG. 1 , the rail 300 is illustrated in a substantially hexagonal shape, but the shape of the rail 300 may be variously modified, such as a circular shape or a square shape. The rail 300 is provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line and may be installed so that the semiconductor processing apparatuses 100 can be checked from above. The installation range of the rail 300 may be arranged in a wide area so that the entire semiconductor processing apparatus 100 can be viewed.

도 2는 도 1의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 2와 도 3의 슬라이더가 흔들림 방지 부재, 그립 부재를 측 방향으로 이동시키는 모습을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 2 내지 도 5를 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.FIG. 2 is a front view of the article transport device of FIG. 1, FIG. 3 is a side view of the article transport device of FIG. 1, and FIG. 4 is the slider of FIGS. It is a view showing a state of moving in the lateral direction, and FIG. 5 is a view of the article transport apparatus of FIG. 1 as viewed from above. 2 to 5 , the article transport apparatus 1000 may include a rail 300 and a transport unit 500 .

레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.The rail 300 may include a driving rail 310 and a steering rail 330 . A traveling wheel 520 of a conveying unit 500 to be described later may be in contact with the traveling rail 310 . The traveling rails 310 may be provided in plurality, and may be provided to be spaced apart from each other. For example, the traveling rails 310 may be provided as a pair. The pair of running rails 310 may be parallel to each other and may be provided at the same height.

조향 레일(330)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)이 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 일부는 상부에서 바라볼 때 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다. The steering wheel 530 of the transport unit 500 to be described later may selectively contact the steering rail 330 . The steering rail 330 may be disposed above the driving rail 310 . The steering rail 330 may be disposed between the pair of driving rails 310 when viewed from above. Also, a portion of the steering rail 330 may have a curved shape when viewed from the top. The steering rail 330 may change the traveling direction of the conveying unit 500 .

반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 휠(520, 530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그립 부재(580), 그리고 흔들림 방지 부재(600)를 포함할 수 있다. The transfer unit 500 may travel on the rail 300 . The transfer unit 500 may travel on the traveling rail 310 . The transfer unit 500 may hold the container 20 . The transfer unit 500 may travel on the rail 300 while gripping the container 20 . The conveying unit 500 includes a body 510, wheels 520 and 530, a frame 540, a neck 550, a slider 560, a lifting member 570, a grip member 580, and an anti-shake member ( 600) may be included.

바디(510)는 비히클일 수 있다. 바디(510)에는 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 휠(520, 530)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 바디(510)는 내부에 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)에 동력을 전달하여 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.The body 510 may be a vehicle. Wheels 520 and 530 and a neck 550 may be coupled to the body 510 . Wheels 520 and 530 may be rotatably coupled to the body 510 . In addition, a neck 550 may be rotatably coupled to the body 510 . The body 510 may have a driver (not shown) therein. The actuator may rotate the wheels 520 and 530 . The driver may transmit power to the wheels 520 and 530 to rotate the wheels 520 and 530 . Also, a plurality of bodies 510 may be provided. Each body 510 may have the above-described driver. In addition, the aforementioned wheels 520 and 530 and the neck 550 may be coupled to each body 510 .

휠(520, 530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠(520, 530)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠(520, 530)은 주행 휠(520), 그리고 조향 휠(530)을 포함할 수 있다.The wheels 520 and 530 may be rotatably coupled to the body 510 . The wheels 520 and 530 may be rotated in contact with the rail 300 . The wheels 520 and 530 may include a driving wheel 520 and a steering wheel 530 .

주행 휠(520)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.The driving wheel 520 may be coupled to the body 510 . The driving wheel 520 may be rotatably coupled to the body 510 . The traveling wheel 520 may come into contact with the traveling rail 310 among the rails 300 and rotate to drive the traveling rail 310 . A plurality of driving wheels 520 may be provided. The driving wheels 520 may be provided as a pair. One of the driving wheels 520 may be rotatably coupled to one surface of the body 510 , and the other of the driving wheels 520 may be rotatably coupled to the other surface opposite to one surface of the body 510 . The driving wheel 520 may be rotated by receiving power from a driver of the body 510 .

조향 휠(530)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 그 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 바디(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠(520)이 회전하여 반송 유닛(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠(530)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.The steering wheel 530 may be coupled to the body 510 . The steering wheel 530 may be rotatably coupled to the body 510 . The steering wheel 530 may selectively contact the steering rail 330 . The steering wheel 530 may come into contact with the steering rail 330 when the traveling direction of the transport unit 500 is changed. The steering wheel 530 may not come into contact with the steering rail 330 when the conveying unit 500 travels without changing the traveling direction. The steering wheel 530 may be coupled to the upper surface of the body 510 . The position of the steering wheel 530 may be changed by power transmitted by a driver of the body 510 . The steering wheel 530 may be coupled to the upper surface of the body 510 so that its position on the upper surface of the body 510 can be changed. The steering wheel 530 may be coupled to the body 510 via a guide rail 512 provided on the upper surface of the body 510 . The steering wheel 530 may be provided to be changeable in a position along the longitudinal direction of the guide rail 512 . The longitudinal direction of the guide rail 512 may be perpendicular to a direction in which the traveling wheel 520 rotates and the conveying unit 500 travels. Also, a plurality of steering wheels 530 may be provided. For example, the steering wheel 530 may be provided as a pair. The pair of steering wheels 530 may be disposed along the traveling direction of the conveying unit 500 .

프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그립 부재(580), 그리고 흔들림 방지 부재(600)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 두 개의 바디(510)에 각각 결합될 수 있다. The frame 540 may have an internal space. A slider 560 , an elevating member 570 , a grip member 580 , and an anti-shake member 600 , which will be described later, may be provided in the inner space of the frame 540 . In addition, the frame 540 may have a hexahedral shape with both sides and lower surfaces open. That is, the frame 540 may be provided with a front and back as a blocking plate (Blocking Plate). Accordingly, it is possible to prevent the container 20 held by air resistance from shaking when the conveying unit 500 is driven. In addition, the frame 540 may be coupled to the body 510 via the neck 550 . The neck 550 may be rotatably provided with respect to the body 510 and the frame 540 . The frame 540 may be coupled to at least one body 510 via at least one neck 550 . For example, one frame 540 is provided, and two necks 550 may be coupled to one frame 540 . In addition, the two necks 550 may be respectively coupled to the two bodies 510 .

슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)이 가지는 내부 공간에 배치되고, 프레임(540)의 개방된 양 측면을 향하여 그 길이가 연장될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 그립 부재(580)와 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 흔들림 방지 부재(600)와 결합될 수 있다. 이에, 도 4에 도시된 바와 같이 슬라이더(560)는 그 길이가 연장되어, 승강 부재(570), 그립 부재(580), 흔들림 방지 부재(600), 그리고 그립 부재(580)에 파지된 용기(20)의 위치를 변경할 수 있다. 예컨대, 슬라이더(560)는 그 길이가 연장되어 승강 부재(570)를 측 방향으로 이동시킬 수 있다.The slider 560 may be coupled to the frame 540 . The slider 560 is disposed in the inner space of the frame 540 , and its length may extend toward both open sides of the frame 540 . The slider 560 is provided in the inner space of the frame 540 and may be coupled to the lower surface of the frame 540 . Also, the slider 560 may be coupled to a grip member 580 to be described later. Also, the slider 560 may be coupled to a shaking preventing member 600 to be described later. Accordingly, as shown in FIG. 4 , the slider 560 has an extended length, and the lifting member 570 , the grip member 580 , the shaking prevention member 600 , and the container ( 20) can be changed. For example, the length of the slider 560 may be extended to move the lifting member 570 in the lateral direction.

반송 유닛(500)은 승강 부재(570)를 포함할 수 있다. 승강 부재(570)는 구동기, 그리고 벨트(572)를 포함할 수 있다. 승강 부재(570)의 벨트(572)는 후술하는 그립 부재(580)와 연결될 수 있다. 벨트(572)는 구동기가 발생시키는 구동력에 의해 그립 부재(580)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 구동기는 구동력을 발생시켜 벨트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(580)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 승강 부재(570)는 그립 부재(580)를 승하강 시킬 수 있는 다양한 공지의 장치로 변형될 수 있다. 또한, 승강 부재(570)는 후술하는 흔들림 방지 부재(600)와 결합될 수 있다. 또한, 그립 부재(580)는 승강 부재(570)를 매개로 흔들림 방지 부재(600)와 결합될 수 있다. The conveying unit 500 may include an elevating member 570 . The lifting member 570 may include a driver and a belt 572 . The belt 572 of the lifting member 570 may be connected to a grip member 580 to be described later. The belt 572 may move the grip member 580 in the vertical direction by a driving force generated by the driver. For example, the actuator may generate a driving force to wind or unwind the belt 572 to move the grip member 580 in the vertical direction. However, the present invention is not limited thereto, and the lifting member 570 may be modified into various known devices capable of raising and lowering the grip member 580 . In addition, the lifting member 570 may be coupled to a shaking preventing member 600 to be described later. In addition, the grip member 580 may be coupled to the shaking preventing member 600 via the elevating member 570 .

또한, 그립 부재(580)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(580)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. Also, the grip member 580 may grip the container 20 . The grip member 580 may detachably grip the container 20 . The grip member 580 may load the container 20 into or unload from the load port of the semiconductor processing apparatus.

이하에서는, 주행 레일(310)을 주행하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 6과 도 7을 참조하면, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 일부는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 다른 일부는 직선 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)의 굴곡진 부분은 주행 레일(310)들의 교차 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)의 직선 부분은 주행 레일(310)의 주행 영역에 배치될 수 있다.Hereinafter, a method of changing the traveling direction of the conveying unit 500 traveling on the traveling rail 310 will be described. 6 is a view showing a state in which the conveying unit travels without changing the traveling direction according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a view showing a state in which the conveying unit changes the traveling direction according to an embodiment of the present invention am. 6 and 7 , the steering rail 330 may be disposed above the driving rail 310 . Also, the steering rail 330 may be disposed between the pair of driving rails 310 when viewed from above. A portion of the steering rail 330 may have a curved shape. In addition, another portion of the steering rail 330 may have a straight shape. A curved portion of the steering rail 330 may be disposed at an intersection region of the driving rails 310 . A straight portion of the steering rail 330 may be disposed in a driving area of the driving rail 310 .

반송 유닛(500)이 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 서로 접촉되지 않는 위치로 이동된다. 즉, 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되지 않으므로, 반송 유닛(500)은 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하게 된다(도 6 참조). 그러나, 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우에도 조향 휠 (530)에 의해 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되지 않는다면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉될 수도 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 도 6의 조향 레일(330)의 좌측 면과 접촉될 수도 있다.When the conveying unit 500 moves in a straight line without changing the traveling direction, the steering wheel 530 of the conveying unit 500 is moved to a position where it does not contact the steering rail 330 with each other. That is, since the steering wheel 530 does not come into contact with the steering rail 330 , the conveying unit 500 moves in a straight line without changing the driving direction (refer to FIG. 6 ). However, if the driving direction of the conveying unit 500 is not changed by the steering wheel 530 even in the case of linear motion without changing the driving direction, the steering wheel 530 may come into contact with the steering rail 330 . For example, the steering wheel 530 may contact the left surface of the steering rail 330 of FIG. 6 .

이와 달리, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되는 위치로 이동될 수 있다. 구체적으로, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 면과 접촉되도록 그 위치가 변경된다. 예컨대, 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향이 우측 방향인 경우, 우측 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 우측 면과 접촉되도록 조향 휠(530)의 위치가 변경된다(도 7 참조). 도 7에 도시된 예로 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경을 설명하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 기준으로 우측 주행 휠(520)은 주행 레일(310)과 계속하여 접촉된다. 그리고, 반송 유닛(500)의 좌측 주행 휠(520)은 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되면서 주행 레일(310)과 이격된다. 그리고, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경이 완료될 때까지 조향 레일(330)과 계속하여 접촉한다. 주행 방향 변경이 완료되면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)로부터 이격되고, 좌측 주행 휠(520)은 다시 주행 레일(310)과 접촉된다.Alternatively, when the traveling direction of the conveying unit 500 is to be changed, the steering wheel 530 of the conveying unit 500 may be moved to a position in contact with the steering rail 330 . Specifically, the position of the steering wheel 530 is changed so as to be in contact with the surface of the steering rail 330 corresponding to the driving direction after the change based on the driving direction before the change of the conveying unit 500 . For example, when the driving direction is the right direction after changing the driving direction before the change of the conveying unit 500 , the position of the steering wheel 530 is changed so as to be in contact with the right side of the steering rail 330 corresponding to the right direction. (see Fig. 7). Referring to the change of the traveling direction of the conveying unit 500 as an example illustrated in FIG. 7 , the right traveling wheel 520 continues to contact the traveling rail 310 based on the traveling direction of the conveying unit 500 . In addition, the left traveling wheel 520 of the conveying unit 500 is spaced apart from the traveling rail 310 while the traveling direction of the conveying unit 500 is changed. And, the steering wheel 530 continues to contact the steering rail 330 until the change of the driving direction of the conveying unit 500 is completed. When the driving direction change is completed, the steering wheel 530 is separated from the steering rail 330 , and the left driving wheel 520 comes into contact with the driving rail 310 again.

이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 흔들림 방지 부재(600)에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 흔들림 방지 부재(600)는 짐벌일 수 있다. 흔들림 방지 부재(600)는 슬라이더(560), 그리고 그립 부재(580) 사이에 설치될 수 있다. 예컨대, 흔들림 방지 부재(600)는 슬라이더(560), 그리고 승강 부재(570) 사이에 설치될 수 있다.Hereinafter, the shaking preventing member 600 according to an embodiment of the present invention will be described in detail. The shaking preventing member 600 according to an embodiment of the present invention may be a gimbal. The shaking preventing member 600 may be installed between the slider 560 and the grip member 580 . For example, the shaking preventing member 600 may be installed between the slider 560 and the elevating member 570 .

도 8은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 흔들림 방지 부재(600)를 보여주는 도면이고, 도 9는 도 8의 흔들림 방지 부재(600)가 포함하는 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다. 도 7과 도 8을 참조하면, 흔들림 방지 부재(600)는 베이스(610), 제1아암(620), 제1회전 구동부(630), 제2아암(640), 제2회전 구동부(650), 가속도 센서(660), 자이로 센서(670), 그리고 제어부(690)를 포함할 수 있다.FIG. 8 is a view showing the shaking preventing member 600 included in the conveying unit of the present invention, and FIG. 9 is a block diagram schematically showing the configuration included in the shaking preventing member 600 of FIG. 8 . 7 and 8 , the shaking preventing member 600 includes a base 610 , a first arm 620 , a first rotation driving unit 630 , a second arm 640 , and a second rotation driving unit 650 . , an acceleration sensor 660 , a gyro sensor 670 , and a controller 690 .

베이스(610)는 슬라이더(560)에 설치될 수 있다. 베이스(610)는 슬라이더(560)보다 아래에 설치될 수 있다. 도 7에서는 베이스(610)의 형상이 판 형상인 것을 예로 들어 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 베이스(610)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.The base 610 may be installed on the slider 560 . The base 610 may be installed below the slider 560 . In FIG. 7 , the shape of the base 610 is illustrated as an example of a plate shape, but the shape of the base 610 is not limited thereto and the shape of the base 610 may be variously modified.

제1회전 구동부(630)는 베이스(610)와 결합될 수 있다. 제1회전 구동부(630)는 베이스(610)와 별도의 연결 프레임(632)을 매개로 결합될 수 있다. 제1회전 구동부(630)는 제1아암(620)을 회전시킬 수 있다. 제1회전 구동부(630)는 상부에서 바라보았을 때 반송 유닛(500)의 주행 방향에 수직한 제1축(L1)을 중심으로 제1아암(620)을 회전시킬 수 있다. 제1아암(620)은 전체적으로 'ㄱ' 형상을 가질 수 있다. 제1아암(620)의 일 단은 제1회전 구동부(630)와 연결되고 제1아암(620)의 타 단은 제2회전 구동부(650)와 연결될 수 있다. 제1회전 구동부(630)가 제1아암(620)을 회전시키면 제2회전 구동부(650)를 제2축(L2)을 중심으로 회전시킬 수 있다.The first rotation driving unit 630 may be coupled to the base 610 . The first rotation driving unit 630 may be coupled to the base 610 via a separate connection frame 632 . The first rotation driving unit 630 may rotate the first arm 620 . The first rotation driving unit 630 may rotate the first arm 620 about the first axis L1 perpendicular to the traveling direction of the conveying unit 500 when viewed from above. The first arm 620 may have an overall 'L' shape. One end of the first arm 620 may be connected to the first rotation driving unit 630 , and the other end of the first arm 620 may be connected to the second rotation driving unit 650 . When the first rotation driving unit 630 rotates the first arm 620 , the second rotation driving unit 650 may be rotated about the second axis L2 .

제2회전 구동부(650)는 제1아암(620)의 타 단과 결합될 수 있다. 제2회전 구동부(650)는 제2아암(640)을 회전시킬 수 있다. 제2회전 구동부(650)는 상부에서 바라보았을 때 제1축(L1)에 수직한 제2축(L2)을 중심으로 제2아암(640)을 회전시킬 수 있다. 제2아암(640)은 전체적으로 'ㄴ' 형상을 가질 수 있다. 제2아암(640)의 일 단은 제1회전 구동부(650)와 연결되고, 'ㄴ' 형상을 가지는 제2아암(640)의 아래 바닥면은 상술한 그립 부재(580)와 결합될 수 있다. 제2회전 구동부(650)가 제2아암(640)을 회전시키면 그립 부재(580)를 제2축(L2)을 중심으로 회전시킬 수 있다.The second rotation driving unit 650 may be coupled to the other end of the first arm 620 . The second rotation driving unit 650 may rotate the second arm 640 . The second rotation driving unit 650 may rotate the second arm 640 about a second axis L2 perpendicular to the first axis L1 when viewed from above. The second arm 640 may have an overall 'B' shape. One end of the second arm 640 may be connected to the first rotation driving unit 650 , and a lower bottom surface of the second arm 640 having an 'B' shape may be coupled to the grip member 580 described above. . When the second rotation driving unit 650 rotates the second arm 640 , the grip member 580 may be rotated about the second axis L2 .

또한, 흔들림 방지 부재(600)는 가속도 센서(660), 자이로 센서(670), 그리고 제어부(690)를 더 포함할 수 있다. 가속도 센서(660)는 그립 부재(580)의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 그립 부재(580)의 기울기 및/또는 진동을 계측할 수 있다. 예컨대, 가속도 센서(660)는 그립 부재(580)의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 그립 부재(580)의 기울기 및/또는 진동을 계측할 수 있다. 자이로 센서(670)는 그립 부재(580)의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 그립 부재(580)의 회전 운동을 계측할 수 있다. 예컨대, 자이로 센서(670)는 그립 부재(580)의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 그립 부재(580)의 회전 운동을 계측할 수 있다.Also, the shaking preventing member 600 may further include an acceleration sensor 660 , a gyro sensor 670 , and a controller 690 . The acceleration sensor 660 may measure the inclination and/or vibration of the grip member 580 by directly or indirectly measuring the acceleration with respect to the shaking of the grip member 580 . For example, the acceleration sensor 660 may measure the inclination and/or vibration of the grip member 580 by directly or indirectly measuring the acceleration with respect to the shaking of the grip member 580 . The gyro sensor 670 may measure the rotational motion of the grip member 580 by directly or indirectly measuring the rotational speed with respect to the shaking of the grip member 580 . For example, the gyro sensor 670 may measure the rotational motion of the grip member 580 by directly or indirectly measuring the rotational speed in response to the shaking of the grip member 580 .

제어부(690)는 흔들림 방지 부재(600)를 제어할 수 있다. 제어부(690)는 가속도 센서(660), 그리고 자이로 센서(670)에서 계측하는 측정 값을 근거로 그립 부재(580)가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 제1아암(620), 그리고 제2아암(640)을 회전시키는 신호를 발생시킬 수 있다. 해당 신호를 전달 받은 제1회전 구동부(630), 그리고 제2회전 구동부(650)는 그립 부재(580)가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 제1아암(620), 그리고 제2아암(640)을 회전시킬 수 있다.The controller 690 may control the shaking preventing member 600 . The control unit 690 controls the first arm 620 and the second arm ( 640) to rotate the signal. The first rotation driving unit 630 and the second rotation driving unit 650 that have received the corresponding signal hold the first arm 620 and the second arm 640 so that the grip member 580 can remain horizontal even when shaking. can be rotated

도 10과 도 11은 반송 유닛에 흔들림 또는 진동이 발생하였을 때 흔들림 방지 부재가 구동하는 일 예를 보여주는 도면이다. 우선 도 10을 참조하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 회전 축으로 반송 유닛(500)이 반 시계 방향으로 흔들리는 경우, 흔들림 방지 부재(600)는 시계 방향으로 제2아암(640)을 회전 시킬 수 있다. 또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 반송 유닛(500)의 주행 방향에 수직한 방향을 회전 축으로 반송 유닛(500)이 시계 방향으로 흔들리는 경우, 흔들림 방지 부재(600)는 반 시계 방향으로 제1아암(620)을 회전시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 흔들림 방지 부재(600)는 반송 유닛(500)이 흔들리는 방향에 대하여 반대되는 방향으로 제1아암(620) 및/또는 제2아암(640)을 회전시켜 그립 부재(580)가 파지하는 용기(20)의 수평을 유지할 수 있다. 이에, 용기(20)가 반송되면서 반송 유닛(500)에 발생되는 흔들림, 그리고 진동이 용기(20)에 전달되는 것을 최소화 할 수 있다. 이에, 용기(20) 내에서 파티클이 발생되는 것을 최소화 할 수 있으며, 파티클이 용기(20) 내에 수납된 물품에 부착되는 것 또한 최소화 할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치(1000)는 물품이 수납된 용기(20)를 효과적으로 반송할 수 있다.10 and 11 are views showing an example in which the shaking preventing member is driven when shaking or vibration occurs in the conveying unit. First, referring to FIG. 10 , when the conveying unit 500 shakes counterclockwise with the traveling direction of the conveying unit 500 as the rotation axis, the shaking preventing member 600 rotates the second arm 640 in the clockwise direction. can do it In addition, as shown in FIG. 11 , when the conveying unit 500 shakes in a clockwise direction with a direction perpendicular to the traveling direction of the conveying unit 500 as a rotation axis, the shaking preventing member 600 rotates counterclockwise. One arm 620 can be rotated. That is, the shaking preventing member 600 according to an embodiment of the present invention rotates the first arm 620 and/or the second arm 640 in a direction opposite to the direction in which the conveying unit 500 shakes to grip the grip. The member 580 may maintain the level of the container 20 gripped by the member 580 . Accordingly, it is possible to minimize shaking and vibration generated in the conveying unit 500 while the container 20 is being conveyed from being transmitted to the container 20 . Accordingly, it is possible to minimize the generation of particles in the container 20, it is also possible to minimize the particles attached to the article accommodated in the container (20). Accordingly, the article transport apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention can effectively transport the container 20 in which the article is accommodated.

상술한 예에서는, 용기(20)가 풉(FOUP)이고, 물품이 웨이퍼 등의 기판인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 용기(20)는 파드(POD)일 수 있고, 물품은 레티클 등의 포토 마스크일 수도 있다.In the above-described example, the container 20 is a FOUP and the article is a substrate such as a wafer as an example, but is not limited thereto. For example, the container 20 may be a pod, and the article may be a photomask such as a reticle.

상술한 예에서는, 물품 반송 장치(300, 500)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 장치(300, 500)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. In the above-described example, it has been described that the article transport apparatuses 300 and 500 are provided in a semiconductor manufacturing line as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the article transport apparatuses 300 and 500 may be equally or similarly applied to various manufacturing lines requiring transport of an article.

상술한 예에서는 흔들림 방지 부재(600)가 2 축인 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 흔들림 방지 부재(600)는 3 축인 것으로 제공될 수 있다. 예컨대, 흔들림 방지 부재(600)의 상술한 연결 프레임(632)이 베이스(610)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 3 축 인 경우에도 상술한 기술 사상은 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. In the above-described example, it has been described that the shaking preventing member 600 has two axes as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the anti-shake member 600 may be provided as having three axes. For example, the above-described connection frame 632 of the anti-shake member 600 may be rotatably provided with respect to the base 610 . Even in the case of three axes, the above-described technical idea may be applied identically or similarly.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The above-described embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in specific application fields and uses of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

짐벌, 흔들림 방지 부재 : 600
베이스 : 610
제1아암 : 620
제1회전 구동부 : 630
제2아암 : 640
제2회전 구동부 : 650
가속도 센서 : 660
자이로 센서 : 670
제어부 : 690
Gimbal, anti-shake member: 600
Base: 610
1st arm: 620
1st rotation driving unit: 630
2nd arm: 640
Second rotation drive unit: 650
Accelerometer: 660
Gyro Sensor: 670
Control: 690

Claims (13)

반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일;
상기 주행 레일을 주행하는 반송 유닛을 포함하고,
상기 반송 유닛은,
구동기를 가지는 바디;
상기 바디에 결합되고, 상기 구동기로부터 동력을 전달받아 상기 주행 레일을 주행하는 주행 휠;
상기 바디의 이동과 함께 이동되며, 용기를 파지하는 그립 부재; 그리고,
상기 그립 부재가 파지하는 용기의 흔들림을 최소화하는 짐벌을 포함하고,
상기 짐벌은,
상부에서 바라볼 때, 상기 반송 유닛의 주행 방향에 수직한 제1축을 중심으로 회전 가능하게 제공되는 제1아암;
상부에서 바라볼 때, 상기 제1축과 수직한 제2축을 중심으로 회전 가능하게 제공되며, 상기 제1아암과 결합되는 제2아암;
상기 제1아암을 회전시키는 제1회전 구동부; 및
상기 제2아암을 회전시키는 제2회전 구동부를 포함하고,
상기 제1아암은 일단이 상기 제1회전 구동부에 결합되고, 타단이 상기 제2회전 구동부에 결합되며, 상기 일단과 상기 타단의 사이에는 절곡된 부분을 포함하고,
상기 제1회전 구동부가 상기 제1아암을 회전시키면 상기 제1아암은 상기 제2회전 구동부를 상기 제2축을 중심으로 회전시키는 물품 반송 장치.a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line on which semiconductor processing devices are continuously arranged;
and a conveying unit that travels on the traveling rail;
The conveying unit is
a body having an actuator;
a traveling wheel coupled to the body and receiving power from the actuator to travel on the traveling rail;
a grip member that is moved along with the movement of the body and grips the container; And,
and a gimbal that minimizes shaking of the container gripped by the grip member,
The gimbal is
a first arm rotatably provided about a first axis perpendicular to the traveling direction of the conveying unit when viewed from above;
a second arm rotatably provided about a second axis perpendicular to the first axis when viewed from above, and coupled to the first arm;
a first rotation driving unit for rotating the first arm; and
a second rotation driving unit for rotating the second arm;
The first arm has one end coupled to the first rotation driving unit, the other end coupled to the second rotation driving unit, and includes a bent portion between the one end and the other end,
When the first rotation driving unit rotates the first arm, the first arm rotates the second rotation driving unit about the second axis. 제1항에 있어서,
상기 물품 반송 장치는,
상기 그립 부재를 승강 시키는 승강 부재를 더 포함하고,
상기 짐벌은,
상기 승강 부재와 결합되는 물품 반송 장치.According to claim 1,
The article transport device,
Further comprising an elevating member for elevating the grip member,
The gimbal is
An article transport device coupled to the lifting member. 제2항에 있어서,
상기 승강 부재를 측 방향으로 이동시키는 슬라이더를 더 포함하고,
상기 짐벌은,
상기 슬라이더, 그리고 상기 승강 부재 사이에 설치되는 물품 반송 장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a slider for moving the lifting member in the lateral direction,
The gimbal is
An article transport device provided between the slider and the elevating member. 제3항에 있어서,
상기 물품 반송 장치는,
상기 바디와 결합되고, 내부 공간을 가지는 프레임을 더 포함하고,
상기 슬라이더, 상기 승강 부재, 그리고 상기 그립 부재는 상기 내부 공간에 배치되는 물품 반송 장치.4. The method of claim 3,
The article transport device,
Combined with the body, further comprising a frame having an internal space,
wherein the slider, the lifting member, and the grip member are disposed in the inner space. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 짐벌은,
상기 그립 부재의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 기울기 및/또는 진동을 계측하는 가속도 센서; 그리고,
상기 그립 부재의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 회전 운동을 계측하는 자이로 센서를 포함하는 물품 반송 장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The gimbal is
an acceleration sensor measuring an inclination and/or vibration of the grip member by directly or indirectly measuring an acceleration with respect to shaking of the grip member; And,
and a gyro sensor configured to measure a rotational motion of the grip member by directly or indirectly measuring a rotational speed in response to shaking of the grip member. 제1항에 있어서,
상기 제2아암은 상기 그립 부재와 결합되고,
상기 제2회전 구동부가 상기 제2아암을 회전시키면, 상기 그립 부재는 상기 제2축을 중심으로 회전되는 물품 반송 장치.According to claim 1,
the second arm is coupled to the grip member;
When the second rotation driving unit rotates the second arm, the grip member is rotated about the second axis. 제5항에 있어서,
상기 짐벌은,
제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 가속도 센서, 그리고 상기 자이로 센서에서 계측하는 측정 값을 근거로 상기 그립 부재가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 상기 제1아암, 그리고 상기 제2아암을 회전시키는 신호를 발생시키는 물품 반송 장치.6. The method of claim 5,
The gimbal is
further comprising a control unit,
The control unit is
and generating a signal to rotate the first arm and the second arm so that the grip member can remain horizontal even when the grip member is shaken based on measured values measured by the acceleration sensor and the gyro sensor. 연속적으로 배치된 반도체 공정 장치들에 기판이 수납된 용기를 반송하는 오버 헤드 트랜스퍼 장치에 있어서,
반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일;
상기 주행 레일을 주행하는 비히클;
상기 비히클과 결합되어 상기 용기를 파지하는 그립 부재; 그리고,
상기 그립 부재와 결합되어 상기 그립 부재가 파지하는 용기의 흔들림을 최소화하는 흔들림 방지 부재를 포함하고,
상기 흔들림 방지 부재는,
상기 그립 부재의 흔들림에 대한 가속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 기울기 및/또는 진동을 계측하는 가속도 센서;
상기 그립 부재의 흔들림에 대한 회전속도를 직접 또는 간접적으로 측정하여 상기 그립 부재의 회전 운동을 계측하는 자이로 센서;
상기 비히클의 주행 방향과 평행한 제1축을 중심으로 회전 가능하게 제공되는 제1아암;
상부에서 바라볼 때 상기 제1축과 수직한 제2축을 중심으로 회전 가능하게 제공되며, 상기 제1아암과 결합되는 제2아암;
상기 제1아암을 회전시키는 제1회전 구동부; 및
상기 제2아암을 회전시키는 제2회전 구동부를 포함하고,
상기 제1아암은 일단이 상기 제1회전 구동부에 결합되고, 타단이 상기 제2회전 구동부에 결합되며, 상기 일단과 상기 타단의 사이에는 절곡된 부분을 포함하고,
상기 제1회전 구동부가 상기 제1아암을 회전시키면 상기 제1아암은 상기 제2회전 구동부를 상기 제2축을 중심으로 회전시키는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.An overhead transfer apparatus for transporting a container in which a substrate is accommodated in sequentially arranged semiconductor processing apparatuses, the overhead transfer apparatus comprising:
a traveling rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line;
a vehicle traveling on the traveling rail;
a grip member coupled to the vehicle to grip the container; And,
and an anti-shake member coupled to the grip member to minimize shaking of the container gripped by the grip member;
The anti-shake member,
an acceleration sensor measuring an inclination and/or vibration of the grip member by directly or indirectly measuring an acceleration with respect to shaking of the grip member;
a gyro sensor for measuring the rotational motion of the grip member by directly or indirectly measuring the rotational speed in response to the shaking of the grip member;
a first arm rotatably provided about a first axis parallel to the traveling direction of the vehicle;
a second arm rotatably provided about a second axis perpendicular to the first axis when viewed from above and coupled to the first arm;
a first rotation driving unit for rotating the first arm; and
a second rotation driving unit for rotating the second arm;
The first arm has one end coupled to the first rotation driving unit, the other end coupled to the second rotation driving unit, and includes a bent portion between the one end and the other end,
When the first rotation driving unit rotates the first arm, the first arm rotates the second rotation driving unit about the second axis. 제8항에 있어서,
상기 제2아암은 상기 그립 부재와 결합되고,
상기 제2회전 구동부가 상기 제2아암을 회전시키면, 상기 그립 부재는 상기 제2축을 중심으로 회전되는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.9. The method of claim 8,
the second arm is coupled to the grip member;
When the second rotation driving unit rotates the second arm, the grip member is rotated about the second axis. 제9항에 있어서,
상기 흔들림 방지 부재는,
제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 가속도 센서, 그리고 상기 자이로 센서에서 계측하는 측정 값을 근거로 상기 그립 부재가 흔들림에도 수평을 유지할 수 있도록 상기 제1아암, 그리고 상기 제2아암을 회전시키는 신호를 발생시키는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.10. The method of claim 9,
The anti-shake member,
further comprising a control unit,
The control unit is
An overhead transfer device generating a signal for rotating the first arm and the second arm so that the grip member can remain horizontal even when the grip member is shaken based on the measurement values measured by the acceleration sensor and the gyro sensor. 제9항 또는 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 오버 헤드 트랜스퍼 장치는,
상기 그립 부재를 승강 시키는 승강 부재를 더 포함하고,
상기 흔들림 방지 부재는,
상기 승강 부재와 결합되는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.11. The method of any one of claims 9 or 10,
The overhead transfer device is
Further comprising an elevating member for elevating the grip member,
The anti-shake member,
An overhead transfer device coupled to the elevating member. 제11항에 있어서,
상기 오버 헤드 트랜스퍼 장치는,
양 측면, 그리고 하면이 개방된 통 형상을 가지고, 상기 비히클과 결합되는 프레임과;
상기 프레임이 가지는 내부 공간에 배치되고, 상기 승강 부재를 개방된 상기 양 측면을 향하는 방향으로 이동시키는 슬라이더를 더 포함하고,
상기 흔들림 방지 부재는,
상기 슬라이더, 그리고 상기 승강 부재 사이에 설치되는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.12. The method of claim 11,
The overhead transfer device is
a frame having an open tubular shape on both sides and a lower surface and coupled to the vehicle;
It is disposed in the inner space of the frame, further comprising a slider for moving the lifting member in a direction toward the open both sides,
The anti-shake member,
An overhead transfer device installed between the slider and the elevating member. 제12항에 있어서,
상기 흔들림 방지 부재는,
상기 슬라이더에 설치되는 베이스; 및 상기 베이스와 상기 제1회전 구동부를 연결하는 연결 프레임을 포함하는 오버 헤드 트랜스퍼 장치.
13. The method of claim 12,
The anti-shake member,
a base installed on the slider; and a connection frame connecting the base and the first rotation driving unit.
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