KR20230100196A - Overhead hoist transport - Google Patents

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KR20230100196A
KR20230100196A KR1020210189884A KR20210189884A KR20230100196A KR 20230100196 A KR20230100196 A KR 20230100196A KR 1020210189884 A KR1020210189884 A KR 1020210189884A KR 20210189884 A KR20210189884 A KR 20210189884A KR 20230100196 A KR20230100196 A KR 20230100196A
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KR1020210189884A
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이성호
박노재
강옥경
이준호
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세메스 주식회사
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Abstract

OHT 장치는 반송물을 이송하는 이송 차량, 이송 차량의 주행 경로를 제공하는 주행 레일, 반송물이 안착되는 제1 안착 위치를 표시하는 제1 안착면, 반송물이 안착되는 제2 안착 위치를 표시하고, 제1 안착면의 레벨보다 높은 레벨을 갖는 제2 안착면 및 이송 차량에 구비되는 티칭용 지그를 포함한다. 티칭용 지그는 제1 안착 위치에 대응하는 제1 이미지를 획득하는 제1 카메라, 제2 안착 위치에 대응하는 제2 이미지를 획득하는 제2 카메라 및 제1 카메라와 연결되고, 제1 카메라에 회전력을 제공하는 회전력 제공부를 포함한다.The OHT device displays a transport vehicle for transporting a transported object, a traveling rail providing a travel path for the transport vehicle, a first seating surface displaying a first seating position on which the transported product is seated, and a second seating position on which the transported object is seated. It includes a second seating surface having a level higher than the level of the first seating surface and a teaching jig provided in the transfer vehicle. The teaching jig is connected to a first camera that acquires a first image corresponding to the first seating position, a second camera that acquires a second image corresponding to the second seating position, and the first camera, and a rotational force applied to the first camera. It includes a rotational force providing unit that provides.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치{OVERHEAD HOIST TRANSPORT}Overhead hoist transfer device {OVERHEAD HOIST TRANSPORT}

본 발명은 기판 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 'OHT 장치'라 한다)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 OHT 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate overhead hoist transport (hereinafter referred to as 'OHT device'). More specifically, it relates to an OHT device for transporting a conveyed material in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 유리기판, 인쇄회로기판, 반도체 장치들, 디스플레이 장치들과 같은 반송물들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 반송물의 이송을 위하여 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.In a manufacturing process of a semiconductor device or display device, transported objects such as wafers, glass substrates, printed circuit boards, semiconductor devices, and display devices may be transported through an unmanned transport system such as a rail guided vehicle (RGV) or an OHT device. In particular, the OHT device may include a transport vehicle configured to be movable along a running rail installed on the ceiling of a clean room to transport transported objects.

한편, 상기 OHT 장치의 사용을 위해서는 상기 반송물의 이적재 동작을 위한 티칭 작업이 요구된다.On the other hand, in order to use the OHT device, a teaching operation for the loading/unloading operation of the conveyed object is required.

본 발명의 과제는 티칭 정밀도를 향상 시킬 수 있는 OHT 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide an OHT device capable of improving teaching accuracy.

상기 본 발명의 과제를 달성하기 위하여 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 이송 장치는 반송물을 이송하는 이송 차량, 상기 이송 차량의 주행 경로를 제공하는 주행 레일, 상기 반송물이 안착되는 제1 안착 위치를 표시하는 제1 안착면, 상기 반송물이 안착되는 제2 안착 위치를 표시하고, 상기 제1 안착면의 레벨보다 높은 레벨을 갖는 제2 안착면 및 상기 이송 차량에 구비되는 티칭용 지그를 포함할 수 있다. 또한, 상기 티칭용 지그는 상기 제1 안착 위치에 대응하는 제1 이미지를 획득하는 제1 카메라, 상기 제2 안착 위치에 대응하는 제2 이미지를 획득하는 제2 카메라 및 상기 제1 카메라와 연결되고, 상기 제1 카메라에 회전력을 제공하는 회전력 제공부를 포함할 수 있다.In order to achieve the object of the present invention, an overhead hoist transport device according to an embodiment displays a transport vehicle transporting a transported object, a traveling rail providing a travel path of the transported vehicle, and a first seating position where the transported object is seated. It may include a first seating surface that displays a second seating position where the conveyed object is seated and has a level higher than the level of the first seating surface, and a teaching jig provided in the transfer vehicle. . In addition, the teaching jig is connected to a first camera for obtaining a first image corresponding to the first seating position, a second camera for acquiring a second image corresponding to the second seating position, and the first camera, , It may include a rotational force providing unit for providing rotational force to the first camera.

실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라는 중력 방향을 향하도록 배치될 수 있다.In embodiments, the first camera may be disposed to face a direction of gravity.

실시예들에 있어서, 상기 제2 카메라는, 상기 중력 방향과 교차하며 상기 이송 차량의 상기 주행 경로와 수직한 방향을 향하도록 배치될 수 있다.In embodiments, the second camera may be disposed to cross the direction of gravity and face a direction perpendicular to the driving path of the transportation vehicle.

실시예들에 있어서, 상기 티칭용 지그는 상기 제1 카메라의 흔들림을 감지하는 위치센서를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the teaching jig may further include a position sensor for detecting shaking of the first camera.

실시예들에 있어서, 상기 티칭용 지그는 상기 제1 안착 위치까지의 거리를 센싱하는 거리센서를 더 포함할 수 있다.In embodiments, the teaching jig may further include a distance sensor for sensing a distance to the first seating position.

실시예들에 있어서, 상기 거리센서는 상기 제2 안착 위치까지의 거리를 센싱할 수 있다. In embodiments, the distance sensor may sense a distance to the second seating position.

본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치는 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.The OHT device according to an embodiment of the present invention can improve teaching precision.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 나타내는 도면이다.
도 2 내지 4는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 안착면에 물품이 안착되는 과정을 나타내는 도면들이다.
도 5는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 티칭용 지그를 나타내는 도면이다.1 is a diagram showing an OHT device according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are views illustrating a process in which an article is seated on a first seating surface included in the OHT device of FIG. 1 .
5 is a view showing a teaching jig included in the OHT device of FIG. 1 .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.And with reference to the accompanying drawings will be described in more detail exemplary embodiments. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 나타내는 도면이다.1 is a diagram showing an OHT device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 이송 차량(100), 주행 레일(200), 제1 안착면(300), 제2 안착면(400) 및 티칭용 지그(500)를 포함하고, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 반송물(10)을 운반하기 위해 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , an OHT device 1000 according to an embodiment of the present invention includes a transport vehicle 100, a running rail 200, a first seating surface 300, a second seating surface 400, and a teaching Including the jig 500, it can be used to transport various types of conveyed objects 10 in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

도 2 내지 4는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 안착면에 물품이 안착되는 과정을 나타내는 도면들이다.2 to 4 are views illustrating a process in which an article is seated on a first seating surface included in the OHT device of FIG. 1 .

도 2 내지 도 4를 참조하면, 이송 차량(100)은 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130) 및 호이스트 유닛(140)을 포함하고, 반송물(10)을 이송할 수 있다.2 to 4, the transport vehicle 100 includes a driving unit 110, a frame unit 120, a slide unit 130, and a hoist unit 140, and can transport a transported object 10. there is.

주행 레일(200)은 이송 차량(100)의 주행 경로를 제공할 수 있다. 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 휠(112)이 구비될 수 있다. 주행 휠(112)은 별도의 구동부에 의해 회전할 수 있다. 따라서, 이송 차량(100)이 주행 레일(10)을 따라 주행할 수 있다. 예를 들어, 도 2 및 도 3을 서로 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 이송 차량(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.The travel rail 200 may provide a travel path for the transport vehicle 100 . Driving wheels 112 may be provided on both sides of the driving unit 110 . The driving wheel 112 may be rotated by a separate driving unit. Thus, the transport vehicle 100 can travel along the travel rail 10 . For example, as can be seen by comparing FIGS. 2 and 3 with each other, the transport vehicle 100 can move along the X-axis direction.

한편, 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 이에 따라, 주행 레일(10)의 분기 지점에서 이송 차량(100)의 주행 방향이 조절될 수 있다.Meanwhile, the driving unit 110 has a steering roller (not shown) on its upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the running rail 10 . Accordingly, the driving direction of the transport vehicle 100 may be adjusted at the divergence point of the traveling rail 10 .

프레임 유닛(120)은 주행 유닛(110)의 하부면에 고정된다. 프레임 유닛(120)은 반송물(10)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 반송물(10)이 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.The frame unit 120 is fixed to the lower surface of the driving unit 110 . The frame unit 120 has an empty interior to accommodate the conveyed object 10 . In addition, the lower surface and one side of the Y-axis direction of the frame unit 120 may be opened so that the conveyed object 10 may move along the Y-axis direction and the Z-axis direction.

슬라이드 유닛(130)은 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 슬라이드 유닛(130)은 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.The slide unit 130 is provided on the inner upper surface of the frame unit 120 . The slide unit 130 may horizontally move the hoist unit 140 in the Y-axis direction. At this time, the hoist unit 140 may move horizontally through the open side of the frame unit 120 .

호이스트 유닛(140)은 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비 된다. 도 3 및 도 4를 서로 비교하거나 도 4 및 도 5를 서로 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 반송물(10)을 승강시킬 수 있다.The hoist unit 140 is provided on the lower surface of the slide unit 130 to be horizontally movable in the Y-axis direction. As can be seen by comparing FIGS. 3 and 4 or comparing FIGS. 4 and 5 with each other, the hoist unit 140 may lift or lower the conveyed object 10 by winding or unwinding the belt 142 .

제1 안착면(300)은 반송물(10)이 안착되는 제1 안착 위치(310)를 표시할 수 있다. 예를 들어, 제1 안착면(300)에는 제1 안착 위치(310)를 표시하는 십자가 형상이 그려져 있을 수 있다. 제1 안착면(300)은 반송물(10)이 각종 공정에 사용되기 위해 안착되거나, 반송물(10)을 상대적으로 긴 시간동안 보관하기 위해 안착되는 안착면일 수 있다.The first seating surface 300 may indicate a first seating position 310 where the conveyed object 10 is seated. For example, a cross shape indicating the first seating position 310 may be drawn on the first seating surface 300 . The first seating surface 300 may be a seating surface on which the transported product 10 is seated for use in various processes or to store the transported product 10 for a relatively long period of time.

제2 안착면(400)은 반송물(10)이 안착되는 제2 안착 위치(410)를 표시할 수 있다. 예를 들어, 제2 안착면(400)에는 제2 안착 위치(410)를 표시하는 십자가 형상이 그려져 있을 수 있다. 제2 안착면(400)은 주행 레일(200)의 측면에 배치되어 상대적으로 짧은 시간동안 반송물(10)을 보관하기 위해 안착되는 안착면일 수 있다. 이에 따라, 제2 안착면(400)은 제1 안착면(300)의 레벨보다 높은 레벨을 가질 수 있다.The second seating surface 400 may indicate a second seating position 410 where the conveyed object 10 is seated. For example, a cross shape indicating the second seating position 410 may be drawn on the second seating surface 400 . The second seating surface 400 may be a seating surface disposed on the side of the travel rail 200 to be seated in order to store the conveyed object 10 for a relatively short period of time. Accordingly, the second seating surface 400 may have a level higher than that of the first seating surface 300 .

도 5는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 티칭용 지그를 나타내는 도면이다.5 is a view showing a teaching jig included in the OHT device of FIG. 1 .

도 1 및 도 5를 참조하면, 티칭용 지그(500)는 이송 차량(100)에 구비되고, 제1 카메라(510), 제2 카메라(520), 회전력 제공부(530), 위치센서(540) 및 거리센서(550)를 포함할 수 있다.1 and 5, the teaching jig 500 is provided in the transport vehicle 100, and includes a first camera 510, a second camera 520, a rotation force providing unit 530, and a position sensor 540. ) and a distance sensor 550.

제1 카메라(510)는 중력 방향(DG)을 향하도록 배치될 수 있다. The first camera 510 may be disposed to face the direction of gravity (D G ).

또한, 제1 카메라(510)는 제1 안착 위치(310)에 대응하는 제1 이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1 이미지는 제1 안착 위치(310)를 확인하여 제1 안착 위치(310)에 반송물(10)을 정확히 안착하기 위해 사용될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 이미지는 티칭에 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 이미지를 통해 제1 안착 위치(310)가 확인되면, 제1 안착 위치(310)에 반송물(10)을 정확히 안착하기 위해 이송 차량(100)이 제어될 수 있다.Also, the first camera 510 may obtain a first image corresponding to the first seating position 310 . The first image may be used to accurately seat the conveyed object 10 in the first seating position 310 by confirming the first seating position 310 . In other words, the first image may be used for teaching. For example, when the first seating position 310 is confirmed through the first image, the transport vehicle 100 may be controlled to accurately seat the transport object 10 on the first seating position 310 .

제2 카메라(510)는 중력 방향(DG)과 교차하며 상기 주행 경로(X 축 방향)와 수직한 방향을 향하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 카메라(510)는 복수일 수 있고, 제2 카메라(510) 중 어느 하나(520A)는 중력 방향(DG)과 교차하며 상기 주행 경로(X 축 방향)와 수직한 제1 방향(D1)을 향하도록 배치되고, 제2 카메라(510) 중 다른 하나(520B)는 중력 방향(DG)과 교차하며 상기 주행 경로(X 축 방향)와 수직한 제2 방향(D2)을 향하도록 배치될 수 있다. The second camera 510 may be disposed to cross the direction of gravity (D G ) and face a direction perpendicular to the driving path (X-axis direction). For example, as shown in FIG. 2 , a plurality of second cameras 510 may be provided, and one of the second cameras 510 (520A) intersects the direction of gravity (D G ) and the driving path ( X-axis direction) and the other one of the second cameras 510 (520B) intersects the gravitational direction (D G ) and is disposed to face the first direction (D 1 ) perpendicular to the driving path (X-axis direction). And it may be disposed to face the second direction (D 2 ) perpendicular to.

또한, 제2 카메라(520)는 제2 안착 위치(410)에 대응하는 제2 이미지를 획득할 수 있다. 상기 제2 이미지는 제2 안착 위치(320)를 확인하여 제2 안착 위치(320)에 반송물(10)을 정확히 안착하기 위해 사용될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제2 이미지는 티칭에 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 이미지를 통해 제2 안착 위치(320)가 확인되면, 제2 안착 위치(320)에 반송물(10)을 정확히 안착하기 위해 이송 차량(100)이 제어될 수 있다.Also, the second camera 520 may obtain a second image corresponding to the second seating position 410 . The second image may be used to accurately seat the conveyed object 10 in the second seating position 320 by confirming the second seating position 320 . In other words, the second image may be used for teaching. For example, when the second seating position 320 is identified through the second image, the transfer vehicle 100 may be controlled to accurately seat the conveyed object 10 at the second seating position 320 .

일 실시예에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 회전력 제공부(530)는 제1 카메라(510)와 연결되고, 제1 카메라(510)에 회전력을 제공할 수 있다. 티칭용 지그(500)는 이송 차량(100)에 구비되므로, 제1 카메라(510)가 흔들릴 수 있다. 이 경우, 위치센서(540)가 제1 카메라(510)의 흔들림을 감지할 수 있고, 회전력 제공부(530)가 제1 카메라(510)에 회전력을 제공하여 제1 카메라(510)의 흔들림을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 제1 카메라(510)가 상기 제1 이미지를 보다 정확히 획득할 수 있다. 따라서, 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.In one embodiment, as shown in FIG. 2 , the rotational force providing unit 530 may be connected to the first camera 510 and provide rotational force to the first camera 510 . Since the teaching jig 500 is provided in the transportation vehicle 100, the first camera 510 may be shaken. In this case, the position sensor 540 may detect shaking of the first camera 510, and the rotational force providing unit 530 may provide rotational force to the first camera 510 to prevent shaking of the first camera 510. can be minimized. Accordingly, the first camera 510 may obtain the first image more accurately. Therefore, teaching precision can be improved.

다른 실시예에서, 상세히 도시되지는 않았으나, 회전력 제공부(530)는 제2 카메라(520)와 연결되고, 제2 카메라(520)에 회전력을 제공할 수 있다. 티칭용 지그(500)는 이송 차량(100)에 구비되므로, 제2 카메라(520)가 흔들릴 수 있다. 이 경우, 위치센서(540)가 제2 카메라(520)의 흔들림을 감지할 수 있고, 회전력 제공부(530)가 제2 카메라(520)에 회전력을 제공하여 제2 카메라(520)의 흔들림을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 제2 카메라(520)가 상기 제2 이미지를 보다 정확히 획득할 수 있다. 따라서, 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.In another embodiment, although not shown in detail, the rotational force providing unit 530 may be connected to the second camera 520 and provide rotational force to the second camera 520 . Since the teaching jig 500 is provided in the transport vehicle 100, the second camera 520 may be shaken. In this case, the position sensor 540 may detect shaking of the second camera 520, and the rotational force providing unit 530 may provide rotational force to the second camera 520 to prevent shaking of the second camera 520. can be minimized. Accordingly, the second camera 520 may acquire the second image more accurately. Therefore, teaching precision can be improved.

상술한 회전력 제공부(530)는 다양하게 구성될 수 있다. 일 예로, 회전력 제공부(530)는 짐벌일 수 있다.The rotational force providing unit 530 described above may be configured in various ways. For example, the rotational force providing unit 530 may be a gimbal.

상술한 위치센서(540)는 다양하게 구성될 수 있다. 일 예로, 위치센서(540)는 자이로 센서일 수 있다.The above-described position sensor 540 may be configured in various ways. For example, the position sensor 540 may be a gyro sensor.

거리센서(550)는 제1 안착 위치(310)까지의 거리를 센싱할 수 있다. 예를 들어, 제1 안착면(300)에 물품(10)이 로딩되거나, 제1 안착면(300)으로부터 물품(10)이 언로딩될 때, 제1 안착 위치(310)까지의 거리를 센싱할 수 있다.The distance sensor 550 may sense the distance to the first seating position 310 . For example, when the article 10 is loaded on the first seating surface 300 or the article 10 is unloaded from the first seating surface 300, the distance to the first seating position 310 is sensed. can do.

거리센서(550)는 제2 안착 위치(410)까지의 거리를 센싱할 수 있다. 예를 들어, 제2 안착면(400)에 물품(10)이 로딩되거나, 제2 안착면(400)으로부터 물품(10)이 언로딩될 때, 제2 안착 위치(410)까지의 거리를 센싱할 수 있다.The distance sensor 550 may sense the distance to the second seating position 410 . For example, when the article 10 is loaded on the second seating surface 400 or the article 10 is unloaded from the second seating surface 400, the distance to the second seating position 410 is sensed. can do.

본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 이송 차량(100), 주행 레일(200), 제1 안착면(300), 제2 안착면(400) 및 티칭용 지그(500)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 안착면(300)과 달리 제2 안착면(400)은 주행 레일(200)의 측면에 배치될 수 있고, 제1 안착면(300)의 레벨 보다 높은 레벨을 가질 수 있다. 또한, 티칭용 지그(500)는 제1 카메라(510), 제2 카메라(520), 회전력 제공부(530), 위치센서(540) 및 거리센서(550)을 포함할 수 있다. 또한, 제1 카메라(510)는 제1 안착면(300)에 표시된 제1 안착 위치(310)에 대응하는 상기 제1 이미지를 획득할 수 있고, 제2 카메라(520)는 제2 안착면(400)에 표시된 제2 안착 위치(410)에 대응하는 상기 제2 이미지를 획득할 수 있다. 또한, 위치센서(540)는 제1 카메라(510)의 흔들림을 감지할 수 있고, 회전력 제공부(530)는 제1 카메라(510)에 회전력을 제공하여 제1 카메라(510)의 흔들림을 최소화할 수 있다. 따라서, 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.The OHT device 1000 according to an embodiment of the present invention includes a transport vehicle 100, a running rail 200, a first seating surface 300, a second seating surface 400, and a teaching jig 500. can do. Also, unlike the first seating surface 300 , the second seating surface 400 may be disposed on a side surface of the running rail 200 and may have a level higher than that of the first seating surface 300 . In addition, the teaching jig 500 may include a first camera 510, a second camera 520, a rotation force providing unit 530, a position sensor 540, and a distance sensor 550. In addition, the first camera 510 may acquire the first image corresponding to the first seating position 310 displayed on the first seating surface 300, and the second camera 520 may acquire the second seating surface ( The second image corresponding to the second seating position 410 displayed in 400) may be obtained. In addition, the position sensor 540 may detect shaking of the first camera 510, and the rotational force providing unit 530 provides rotational force to the first camera 510 to minimize shaking of the first camera 510. can do. Therefore, teaching precision can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

1000 : OHT 장치 100 : 이송 차량
200 : 주행 레일 300 : 제1 안착면
310 : 제1 안착 위치 400 : 제2 안착면
410 : 제2 안착 위치 500 : 티칭용 지그
510 : 제1 카메라 520 : 제2 카메라
530 : 회전력 제공부 540 : 위치센서
550 : 거리센서1000: OHT device 100: transport vehicle
200: running rail 300: first seating surface
310: first seating position 400: second seating surface
410: second seating position 500: jig for teaching
510: first camera 520: second camera
530: rotational force providing unit 540: position sensor
550: distance sensor

Claims (6)

반송물을 이송하는 이송 차량;
상기 이송 차량의 주행 경로를 제공하는 주행 레일;
상기 반송물이 안착되는 제1 안착 위치를 표시하는 제1 안착면;
상기 반송물이 안착되는 제2 안착 위치를 표시하고, 상기 제1 안착면의 레벨보다 높은 레벨을 갖는 제2 안착면; 및
상기 이송 차량에 구비되는 티칭용 지그를 포함하고,
상기 티칭용 지그는,
상기 제1 안착 위치에 대응하는 제1 이미지를 획득하는 제1 카메라;
상기 제2 안착 위치에 대응하는 제2 이미지를 획득하는 제2 카메라; 및
상기 제1 카메라와 연결되고, 상기 제1 카메라에 회전력을 제공하는 회전력제공부를 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.a transport vehicle that transports conveyed goods;
a travel rail providing a travel path for the transport vehicle;
a first seating surface displaying a first seating position where the conveyed object is seated;
a second seating surface displaying a second seating position where the conveyed object is seated and having a level higher than that of the first seating surface; and
Including a teaching jig provided in the transport vehicle,
The teaching jig,
a first camera acquiring a first image corresponding to the first seating position;
a second camera acquiring a second image corresponding to the second seating position; and
An overhead hoist transfer device comprising a rotational force providing unit connected to the first camera and providing rotational force to the first camera. 제1 항에 있어서,
상기 제1 카메라는 중력 방향을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 1,
The overhead hoist transport device, characterized in that the first camera is disposed to face the direction of gravity. 제2 항에 있어서,
상기 제2 카메라는,
상기 중력 방향과 교차하며 상기 이송 차량의 상기 주행 경로와 수직한 방향을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 2,
The second camera,
An overhead hoist transport device, characterized in that disposed to cross the direction of gravity and face a direction perpendicular to the travel path of the transport vehicle. 제1 항에 있어서,
상기 티칭용 지그는,
상기 제1 카메라의 흔들림을 감지하는 위치센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 1,
The teaching jig,
The overhead hoist transport device further comprising a position sensor for detecting shaking of the first camera. 제1 항에 있어서,
상기 티칭용 지그는,
상기 제1 안착 위치까지의 거리를 센싱하는 거리센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 1,
The teaching jig,
The overhead hoist transfer device further comprising a distance sensor for sensing a distance to the first seating position. 제5 항에 있어서,
상기 거리센서는 상기 제2 안착 위치까지의 거리를 센싱하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.



According to claim 5,
The overhead hoist transport device, characterized in that the distance sensor senses the distance to the second seating position.
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