KR20180047868A - Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same - Google Patents

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Abstract

Used in an overhead hoist transfer transport system and a transport method are a rail portion connected to a ceiling, a traveling portion capable of traveling along the rail portion with a target object hung, a gripping portion capable of gripping the target object, and an elevating portion capable of lowering the gripping portion to a port of a processing apparatus or lowering the gripping portion from a photo of the processing apparatus for loading or unloading of the target object. A guide pin provided to have a structure extending downward to the port from one side of the gripping portion is accommodated in an accommodating portion, which is provided on one side of the port to be capable of accommodating the guide pin, when the gripping portion is lowered. Subsequently, the gripping portion can be driven in a horizontal direction along the port in a state where the guide pin is accommodated in the accommodating portion.

Description

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법{Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an overhead hoist transfer transfer system,

본 발명은 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것으로써, 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조시 목적물 등과 같은 물류의 이송에 사용되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an overhead hoist transfer transfer system and a transfer method using the overhead hoist transfer transfer system and an overhead hoist transfer transfer system used for transferring logistics such as objects in manufacturing integrated circuit devices such as semiconductor devices, And a transfer method using the same.

반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.Integrated circuit devices such as semiconductor devices, flat panel display devices, and the like are manufactured by performing various processes such as a thin film forming process, a photolithigraphy process, an etching process, a metal wiring process, and the like. Therefore, in the manufacture of the integrated circuit device, a transfer process for transferring an object necessary for manufacturing the integrated circuit device is always performed.

언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.In the case of using the robot arm or the like as a transfer device, there is a disadvantage that space utilization in the manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device is lowered. Particularly, when the manufacturing line is a clean room, since the clean room itself is expensive, there is a problem that economical loss due to a reduction in the space utilization of the clean room occurs.

이에, 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(Overhead Hoist Transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 그리고 상기 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 사용한 이송에서는 목적물을 파지하는 파지부를 상,하로 구동시켜 가공 장치의 포터에 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.In recent years, an overhead hoist transfer system (overhead hoist transfer) in which a transfer device is disposed on the ceiling of the clean room has been utilized in the transfer process of the integrated circuit device. In the transfer using the overhead hoist transfer transfer system, the gripping portion for gripping the object can be driven up and down to be loaded or unloaded into the porter of the processing apparatus.

그러나 종래의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 경우에는 상기 파지부를 이용하여 상기 목적물을 수평 방향으로는 구동시키지 못하고 있다. 이에, 상기 포터가 가공 장치의 측벽 등에 위치할 경우 수평 이동이 이루어지지 않기 때문에 그 대응이 불가한 문제점이 있다. 또한, 상기 파지부를 이용하여 무리하게 상기 목적물을 수평 이동시킬 경우 무게 중심이 틀어지는 문제점이 발생할 수 있고, 무리한 운행으로 인하여 파티클이 발생하는 문제점도 있다.However, in the conventional overhead hoist transfer transport system, the object is not horizontally driven using the gripper. Therefore, when the porter is located on the side wall of the processing apparatus or the like, there is a problem that it can not be coped with since the horizontal movement is not performed. In addition, when the object is horizontally moved using the gripper, the center of gravity may be distorted, and particles may be generated due to unreasonable driving.

본 발명은 일 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide an overhead hoist transfer transfer system capable of being horizontally driven along a port with vertical drive for up and down movements of the object during transport.

본 발명의 다른 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a transfer method of an overhead hoist transfer transfer system capable of being horizontally driven along a port in addition to vertical drive for up and down movements of a target object.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an overhead hoist transfer conveying system including a rail connected to a ceiling, a traveling part capable of traveling along the rail part suspended from an object, And an ascending and descending portion capable of descending the grip portion from the port of the processing device or from the port of the processing device for loading or unloading the object, and an overhead hoist transfer transfer system A guide pin having a structure extending downward from one side of the grip portion toward the port and an accommodation portion provided at one side of the port to receive the guide pin when the grip portion descends A guide unit; And a horizontal driving unit provided in the holding unit such that the holding unit can be horizontally driven along the port when the guide pin is received in the receiving unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어질 수 있다.In an overhead hoist transfer transport system according to an embodiment of the present invention, the port may have a structure located on a sidewall of the processing apparatus or a structure buried in a sidewall of the processing apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.In the overhead hoist transport system according to an embodiment of the present invention, the guide roller may further include a guide roller provided inside the receiving part to support the guide pin when the guide pin is received.

본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비될 수 있다.In the overhead hoist transport system according to an embodiment of the present invention, the horizontal driving unit may be provided in the grip unit.

언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a conveying method for an overhead hoist transfer conveying system, including a rail part connected to a ceiling, a traveling part hanging an object and traveling along the rail part, And an ascending and descending portion capable of descending the grip portion to the port of the machining device or descending from the port of the machining device for loading or unloading the object, A transferring method of a transfer transfer system comprising: a guide pin having a structure extending downward from one side of the gripper to the port, the guide pin having, on the one side of the port, The method comprising the steps of: And moving the gripper in a horizontal direction along the port in a state in which the guide pin is received in the accommodating portion.

본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파지부가 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있기 때문에 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있다. 특히, 목적물을 수평 이송시킬 때 가이드 유닛을 이용하여 파지부를 지지함으로써 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 나아가 안정적인 수평 이송을 통하여 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.In the overhead hoist transfer transfer system and transfer method of the present invention, since the grip portion can be horizontally driven along the port, the object can be easily moved horizontally. Particularly, when the object is horizontally conveyed, it is possible to prevent the center of gravity from being tilted by supporting the grip by using the guide unit, and further, generation of particles can be minimized through stable horizontal transfer.

따라서 본 발명은 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있을 것이다.Therefore, since the object can be easily moved horizontally without generating particles, the present invention can more easily cope with the transfer of the object on the side of the processing apparatus or the port having the buried structure.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.1 is a schematic representation of an overhead hoist transfer transport system in accordance with an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view for explaining the guide unit and the horizontal driving unit of FIG. 1 in detail.
3 is a flowchart illustrating a method of transferring an overhead hoist transfer transfer system according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an overhead hoist transfer transfer system will be described with reference to the accompanying drawings, in an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a schematic view of an overhead hoist transfer transfer system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view for explaining a guide unit and a horizontal drive unit of FIG. 1 in detail.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템은 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인(100)에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물(19)을 이송하는데 사용할 수 있다. 특히, 상기 제조 라인(100)은 클린룸으로써 바닥(300)에는 집적회조 소자의 단위 공정 등을 수행할 수 있는 가공 장치(20)가 구비될 수 있고, 천장(200)에는 목적물(19)의 이송을 위한 이송 시스템이 구비될 수 있다.1 and 2, the overhead hoist transfer transfer system of the present invention transports an object 19 such as a substrate, a mask, or the like in a manufacturing line 100 for manufacturing an integrated circuit device such as a semiconductor device, a flat panel display device, . Particularly, the manufacturing line 100 may be a clean room, and the floor 300 may be provided with a processing device 20 capable of performing a unit process of the integrated reproduction device, etc. In the ceiling 200, A transfer system for transferring may be provided.

여기서, 상기 목적물(19)이 마스크일 경우 상기 가공 장치(20)는 노광 공정을 수행하는 노광 장치일 수 있다. 그리고 상기 가공 장치(20)에는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩시 상기 목적물(19)이 놓이는 포트(21) 및 포트 게이트(23) 등이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 포트 게이트(23)를 포트(21)로도 이해할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서의 상기 포트(21) 및 상기 포트 게이트(23)는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하거나 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.Here, when the object 19 is a mask, the processing apparatus 20 may be an exposure apparatus that performs an exposure process. The processing device 20 may be provided with a port 21 and a port gate 23 on which the object 19 is placed when the object 19 is loaded or unloaded. Here, the port gate 23 can also be understood as a port 21. Thus, the port 21 and the port gate 23 in the embodiment of the present invention are configured to be located on the side wall of the processing apparatus 20 or embedded in the side wall of the processing apparatus 20 .

그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(이하, '이송 시스템'이라 함)은 레일부(11), 주행부(13), 파지부(15), 승하강부(17) 등을 포함할 수 있다.The overhead hoist transfer transfer system (hereinafter, referred to as "transfer system") according to an embodiment of the present invention includes a rail part 11, a traveling part 13, a grip part 15, an ascending and descending part 17 . ≪ / RTI >

상기 레일부(11)는 상기 천장(200) 쪽에 배치되도록 구비되는 것으로써, 상기 목적물(19)의 이송시 경로를 안내할 수 있다. 이에, 상기 레일부(11)는 상기 목적물(19)이 이송되는 가공 장치(20)의 포트(21) 등과 같은 목적지들 및 상기 목적지들 사이를 경유하는 경유지에 대한 경로를 안내하도록 구비될 수 있다.The rail part (11) is disposed on the side of the ceiling (200), thereby guiding the path of the object (19) during transportation. The rail part 11 may be provided so as to guide the route to the destination such as the port 21 of the processing apparatus 20 to which the object 19 is transferred and the intermediate route via the destination .

상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 수 있는 것으로써, 주로 상기 레일부(11)에 위치하는 주행휠, 상기 주행휠에 구동력을 제공할 수 있는 구동부 등을 포함할 수 있다.The traveling unit 13 is able to travel along the rail part 11 and includes a traveling wheel mainly located at the rail part 11 and a driving unit capable of providing a driving force to the traveling wheel .

특히, 상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 때 상기 목적물(19)을 매달고 주행하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 주행부(13)의 단부에는 상기 목적물(19)을 파지할 수 있는 파지부(15)가 구비될 수 있다. 그리고 상기 파지부(15)를 사용한 상기 목적물의 파지는 그립핑(gripping) 방식이 아닌 포킹(forking) 방식에 의해 달성될 수 있다. 즉, 핸드 블라겟(hand bracket)이 상기 목적물과 그 상부의 플랜지(flange) 사이로 진입하여 플랜지를 떠서 들어 올리는 방식에 의해 상기 목적물의 파지가 이루어지는 것이다.Particularly, the traveling part 13 may be provided to hang the object 19 when traveling along the rail part 11. [ Therefore, the grip portion 15 capable of gripping the object 19 can be provided at the end of the travel portion 13. [ The gripping of the object using the gripping part 15 can be achieved by a forking method instead of a gripping method. That is, the hand bracket enters between the object and the upper flange, lifts the flange, and lifts the object.

상기 승하강부(17)는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부(15)를 가공 장치(20)의 포트(21)로 하강 또는 상기 가공 장치(20)의 포토(21)로부터 승강시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 승하강부(17)는 상기 파지부(15)를 상기 포트(21)로 하강 또는 상기 포트(21)로부터 승강시킬 수 있도록 상기 주행부(13)와 상기 파지부(15) 사이에서 상,하 구동을 하는 실린더 부재 등을 포함할 수 있다.The lifting and lowering portion 17 is provided with a grip 21 for lowering the grip portion 15 to the port 21 of the machining device 20 or for moving the grip 21 to the port 21 of the machining device 20 for loading or unloading the object 19. [ As shown in FIG. The lifting and lowering portion 17 is provided between the traveling portion 13 and the grip portion 15 so that the grip portion 15 can be lowered to the port 21 or lifted from the port 21. [ A cylinder member for performing downward driving, and the like.

이에, 상기 이송 시스템은 상기 주행부(13)가 상기 목적물(19)을 매단 상태에서 상기 레일부(11)를 따라 주행하고 그리고 상기 가공 장치(20)의 포트(21)에서 상,하 구동을 함에 따라 상기 목적물(19)을 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.The traveling system is configured such that the traveling unit 13 travels along the rail part 11 in the state where the object 19 is in a trailing state and is driven up and down at the port 21 of the processing apparatus 20 The object 19 can be loaded or unloaded.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 시스템은 가이드 유닛(31), 수평 구동부(39) 등을 더 포함할 수 있다.In particular, the transport system according to an embodiment of the present invention may further include a guide unit 31, a horizontal drive unit 39, and the like.

상기 가이드 유닛(31)은 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 것을 방지하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)를 지지하도록 구비될 수 있는 것이다.The guide unit 31 may be provided to prevent the center of gravity of the grip unit 15 from being tilted when the grip unit 15 is horizontally moved using a horizontal drive unit 39 described later. That is, the guide unit 31 may be provided to support the grip unit 15 when the grip unit 15 is horizontally moved.

이에, 상기 이송 시스템은 상기 파지부(15)를 지지하기 위한 가이드 유닛(31)을 구비할 수 있다. 상기 가이드 유닛(31)은 가이드 핀(33) 및 수용부(35)를 포함할 수 있다. 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 일측으로부터 상기 포트(21)를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 파지부(15)가 하강할 때 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있도록 상기 포트(21) 일측에 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 평면을 기준으로 수직 방향으로 연장되는 바(bar) 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 바 형상의 구조물인 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있는 공간을 갖는 박스 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 향하여 하강할 때 상기 수용부(35)에 상기 가이드 핀(33)이 삽입되는 구조를 갖는 것이다.Accordingly, the transfer system may include a guide unit 31 for supporting the grip unit 15. [ The guide unit 31 may include a guide pin 33 and a receiving portion 35. The guide pin 33 may be provided to extend downward from the one side of the grip portion 15 toward the port 21 and the accommodation portion 35 may be formed so that the grip portion 15 And may be provided at one side of the port 21 so as to receive the guide pin 33 when descending. That is, the guide pin 33 may be provided to have a bar-shaped structure extending in the vertical direction with respect to the plane of the grip portion 15, and the accommodating portion 35 may have a bar- Shaped structure having a space for accommodating the guide pin 33 as a structure. In other words, the guide unit 31 has a structure in which the guide pin 33 is inserted into the receiving portion 35 when the grip portion 15 descends toward the port 21.

따라서 본 발명에서는 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 가이드 유닛이 상기 파지부(15)를 지지함으로써 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 방지할 수 있고, 그 결과 보다 안정적으로 상기 파지부(15)의 수평 이동을 수행할 수 있다.Therefore, in the present invention, when the grip unit 15 is horizontally moved by using the horizontal drive unit 39 described later, the guide unit supports the grip unit 15 to prevent the grip unit 15 from tilting, And as a result, it is possible to perform the horizontal movement of the grip portion 15 more stably.

그리고 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 보다 긴밀하게 지지될 필요가 있다. 이에, 상기 이송 시스템은 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 상기 가이드 핀(33)을 지지하도록 상기 수용부(35) 내측에 가이드 롤러(37)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 가이드 롤러(37)는 상기 수용부(35) 내에 상기 가이드 핀(33)이 수용될 때 보다 긴밀한 지지를 위하여 상기 가이드 핀(33)과 접촉 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 가이드 롤러(37)는 접촉으로 인한 파티클 등의 발생을 최소화할 수 있도록 우레탄 재질 등으로 이루어질 수 있다.And needs to be supported more tightly when the guide pin 33 is received in the receiving portion 35. [ The conveying system may include a guide roller 37 inside the accommodating portion 35 to support the guide pin 33 when the guide pin 33 is accommodated in the accommodating portion 35 . Here, the guide roller 37 may be provided so as to have a structure in which the guide pin 33 is rotated in contact with the guide pin 33 in order to more closely support the guide pin 33 when the guide pin 33 is received in the receiving part 35. Therefore, the guide roller 37 may be made of a urethane material so as to minimize the generation of particles due to contact.

상기 수평 구동부(39)는 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된 상태에서 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것이다. 여기서, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 전체를 구동시키는 것으로도 이해할 수 있으나, 상기 파지부(15)를 수직 방향을 기준으로 이분할하여 상기 포트(21) 쪽을 향하는 부분이 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동되는 것으로도 이해할 수 있다.The horizontal driving unit 39 may be provided to horizontally drive the grip unit 15 along the port 21 in a state where the guide pin 33 is received in the receiving unit 35. That is, the horizontal driving unit 39 may be provided to horizontally move the gripper 15. Here, the horizontal driving unit 39 may be understood to drive the entire grip unit 15, but a portion of the grip unit 15, which is divided in the vertical direction to face the port 21, And may be understood to be driven in the horizontal direction along the port 21.

그리고 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 배치되도록 구비될 수 있다. 이는, 상기 수평 구동부(39)의 동작으로 인하여 파티클 등이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 따라서 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 실링 커버 등에 의해 밀폐되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.The horizontal driving unit 39 may be disposed in the grip unit 15. This is to prevent particles or the like from being generated due to the operation of the horizontal driving unit 39. Accordingly, the horizontal driving unit 39 may be configured to be sealed in the grip unit 15 by a sealing cover or the like.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 상기 수평 구동부(39)를 구비함으로써 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 이송 시스템을 사용할 경우 상기 목적물(19)을 보다 안정적으로 이송할 수 있고, 특히 상기 포트(21)가 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖더라도 상기 목적물(19)의 이송에 별다른 지장을 주지 않을 것이다.As described above, the transfer system according to the embodiment of the present invention can horizontally move the gripper 15 by providing the horizontal drive unit 39, and by providing the guide unit 31, It is possible to prevent the center of gravity of the grip portion 15 from being twisted when horizontally moved. Therefore, it is possible to transfer the object 19 more stably when the transfer system is used, and in particular, to the structure in which the port 21 is located on the side wall of the processing apparatus 20 or the structure in which the port 21 is located on the side wall of the processing apparatus 20 Even if it has a structure to be filled up, it will not hinder the transfer of the object 19.

또한, 상기 수평 구동부(39)가 상기 파지부(15) 내에 밀폐되는 구조로 구비되기 때문에 상기 파지부(15)를 구동시킬 때 발생하는 파티클을 최소화할 수 있다.In addition, since the horizontal driving unit 39 is hermetically sealed in the grip unit 15, particles generated when driving the grip unit 15 can be minimized.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 시스템 자체에 대한 개조없이 상기 파지부(15)에 수평 구동 기능을 추가할 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 수평 구동시 기울어짐을 방지할 수 있는 것이다.The conveying system according to the embodiment of the present invention can add a horizontal driving function to the gripping unit 15 without modifying the system itself and the guide unit 31 is provided to prevent inclination You can.

이하, 상기 이송 시스템을 사용하여 상기 목적물(19)을 이송하기 위한 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method for transferring the object 19 using the transfer system will be described.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.3 is a flowchart illustrating a method of transferring an overhead hoist transfer transfer system according to an embodiment of the present invention.

먼저 도 3에서의 이송 방법은 도 1에서의 이송 시스템을 사용하는 것이다. 이에, 도 1에서의 이송 시스템과 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.First, the conveying method in FIG. 3 uses the conveying system in FIG. Therefore, the same reference numerals are used for the same members as those of the transfer system in FIG. 1, and a detailed description thereof will be omitted.

도 3을 참조하면, 상기 제조 라인(100)에서 상기 목적물(19)의 이송이 이루어진다. 즉, 상기 주행부(13)가 목적물(19)을 매달고 상기 레일부(11)를 따라 주행하는 것이다. 이때, 상기 목적물(19)은 상기 주행부(13)의 단부에 배치되는 상기 파지부(15)에 의해 파지된 상태를 유지한다. 그리고 상기 주행부(13)가 목적지인 상기 가공 장치(20)의 포트(21) 상부에 주행을 멈추고, 상기 포트(21) 상부에 위치한다.Referring to FIG. 3, the object 19 is transferred from the manufacturing line 100. That is, the traveling section 13 hangs the object 19 and travels along the rail section 11. [ At this time, the object 19 is held by the grip portion 15 disposed at the end of the travel portion 13. [ The traveling section 13 stops traveling on the upper portion of the port 21 of the processing apparatus 20 as the destination and is positioned above the port 21. [

이어서, 상기 승하강부(17)를 사용하여 상기 파지부(15)를 하강시킨다. 이에, 상기 파지부(15)에 파지된 상기 목적물(19)이 상기 포트(21)에 놓인다. 이때, 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된다.(S31 단계) Then, the grip portion 15 is lowered by using the ascending / descending portion 17. Thus, the object 19 held by the grip portion 15 is placed in the port 21. [ At this time, the guide pin 33 is received in the receiving portion 35 (step S31)

그리고 상기 수평 구동부(39)를 사용하여 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향을 구동한다.(S33 단계) 이에, 상기 목적물(19)을 보다 정확한 지점으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 가이드 핀(33) 및 상기 수용부(35)에 의해 상기 파지부(15)가 지지됨에 따라 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지지 않고 안전하게 이송이 이루어진다.The grip unit 15 drives the horizontal direction along the port 21 using the horizontal driving unit 39. In step S33, the object 19 can be transported to a more accurate position . Here, as the grip portion 15 is supported by the guide pin 33 and the accommodating portion 35 at the time of horizontally transporting the grip portion 15, the center of gravity of the grip portion 15 is not disturbed Transfer is carried out safely.

본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있다. 이에, 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.In the overhead hoist transfer transfer system and transfer method of the present invention, since the object can be horizontally moved easily without generating particles, it is possible to more easily cope with the transfer of the object on the side of the processing apparatus or the port having the buried structure. Thus, the present invention can be expected to improve process reliability due to the manufacture of integrated circuit devices.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 레일부 13 : 주행부
15 : 파지부 17 : 승하강부
19 : 목적물 20 : 가공 장치
21 : 포트 23 : 포트 게이트
31 : 가이드 유닛 33 : 가이드 핀
35 : 수용부 37 : 가이드 레일
39 : 수평 구동부 100 : 제조 라인
200 : 천장 300 : 바닥11: rail part 13:
15: grip portion 17: ascending / descending portion
19: object 20: processing apparatus
21: port 23: port gate
31: guide unit 33: guide pin
35: accommodating portion 37: guide rail
39: horizontal driving part 100: manufacturing line
200: ceiling 300: floor

Claims (5)

천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서,
상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템.A grip portion for gripping the object, a running portion for hanging the object and running along the rail portion, a grip portion for gripping the object, and a grip portion for gripping the grip portion, And an ascending and descending portion capable of ascending and descending from the port of the processing apparatus, the overhead hoist transfer transfer system comprising:
A guide pin having a structure extending downward from one side of the grip portion toward the port and a receiving portion provided at one side of the port to receive the guide pin when the grip portion descends; And
And a horizontal driving unit for horizontally driving the gripping part along the port when the guide pin is received in the receiving part. 제1 항에 있어서,
상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the port comprises a structure located on a side wall of the processing apparatus or a structure embedded in a side wall of the processing apparatus. 제1 항에 있어서,
상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.The method according to claim 1,
Further comprising a guide roller disposed inside the receiving part to support the guide pin when the guide pin is received. 제1 항에 있어서,
상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.The method according to claim 1,
And the horizontal drive unit is provided in the grip unit. 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서,
상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및
상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법.A grip portion for gripping the object, a running portion for hanging the object and running along the rail portion, a grip portion for gripping the object, and a grip portion for gripping the grip portion, And an ascending and descending portion capable of descending from the port of the processing apparatus or descending from the port of the processing apparatus,
A guide pin having a structure extending downward from one side of the grip portion to the port is received in a receiving portion provided at one side of the port so as to receive the guide pin when the grip portion descends; And
And moving the gripper in a horizontal direction along the port when the guide pin is received in the receiving portion.
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