JP2007227972A - Carrier stocker - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカに関する。 The present invention relates to a carrier stocker that accommodates a carrier that accommodates a substrate.
キャリアストッカは基板を収容するキャリアを外部から受け取って収容し、収容したキャリアを必要に応じて所定位置に搬送するものである。 The carrier stocker receives and accommodates a carrier that accommodates a substrate from the outside, and conveys the accommodated carrier to a predetermined position as necessary.
近年、基板を収容するキャリアとしては従来のように基板の主面を垂直にして、複数の基板を水平方向に一列に配列した状態で基板を収容する水平配列キャリアに加え、基板の主面を水平にして複数の基板を垂直方向に一列に配列した状態で基板を収容する垂直配列キャリアが使用されるようになった。 In recent years, in addition to a horizontal array carrier that accommodates substrates in a state where a plurality of substrates are arranged in a row in a horizontal direction as a conventional carrier for accommodating substrates, the main surface of the substrate is A vertical arrangement carrier that accommodates substrates in a state where a plurality of substrates are arranged in a line in a vertical direction in a horizontal direction has come to be used.
このような垂直配列キャリア(以下、単にキャリアという。)を図5(a)に示す。 Such a vertically arranged carrier (hereinafter simply referred to as a carrier) is shown in FIG.
キャリアCは前面に開口THを有するキャリア本体CBと該開口に対して着脱可能な前面蓋FLを有する。 The carrier C has a carrier body CB having an opening TH on the front surface and a front lid FL that can be attached to and detached from the opening.
キャリア本体CBの上部にはキャリア本体CBから上方に延びる柱状部材CPが設けられ、柱状部材CPの頂部には鍔部材CTが設けられている。 A columnar member CP extending upward from the carrier main body CB is provided on the top of the carrier main body CB, and a flange member CT is provided on the top of the columnar member CP.
また、前面蓋FLにはロック機構が設けられている。ロック機構の詳細は図示しないがロック穴CHに後述のオープナー920が有する着脱機構を嵌合させて着脱機構を動作させることにより、前面蓋FLとキャリア本体CBとを固定、解除できる。
Further, the front lid FL is provided with a lock mechanism. Although details of the lock mechanism are not shown, the front cover FL and the carrier body CB can be fixed and released by fitting a detachment mechanism of an
このようなキャリアCは図5(b)のようにステージ911に載置され、そして、オープナー920によって前面蓋FLが着脱される。なお、図5(b)には便宜上X、Y、Z軸を設定する。オープナー920は上方に開口を有し、機枠等に固定されているハウジング921とハウジング921に対してX軸方向に進退可能で、かつ、上下方向に移動可能な着脱ハンド922を有する。また、着脱ハンド922には図示はしないがロック穴CHと嵌合して前面蓋のロック機構を作動させたり解除させたりする着脱機構が設けられている。また、着脱機構はキャリア本体CBから外した前面蓋FLを保持することができ、着脱ハンド922が前面蓋FLを保持して下降することによって、開口THを通じての基板Wの搬入、搬出が可能になる。
Such a carrier C is placed on the
このようなキャリアCを収容するキャリアストッカではキャリアストッカの外部から基板Wを収容したキャリアCを受け取る第1受け渡し部と、ステージ911のようにキャリアCが載置され、載置されているキャリアC内の基板Wがキャリアストッカの外部に対して搬入、搬出される第2受け渡し部とを有し、第1受け渡し部と第2受け渡し部との間でキャリアCを搬送する搬送手段を有する。このような搬送手段には例えば、鍔部材CTを把持してキャリアCを吊り下げた状態でステージ911に搬送する搬送ロボットがある。
In such a carrier stocker that accommodates the carrier C, a first delivery unit that receives the carrier C that accommodates the substrate W from the outside of the carrier stocker, and the carrier C that is placed like the
しかし、鍔部材CTを把持してキャリアCを吊り下げた状態で搬送する場合、柱状部材CPの強度の問題から急な加減速ができないので搬送速度の高速化は望めない。このため、スループットの向上はある程度までしか求められない。 However, when the carrier member C is transported while holding the collar member CT and suspended, the speed of transportation cannot be increased because rapid acceleration / deceleration cannot be performed due to the problem of the strength of the columnar member CP. For this reason, improvement in throughput is only required to a certain extent.
本発明の目的はキャリアストッカにおけるスループットの向上を図ることである。 An object of the present invention is to improve throughput in a carrier stocker.
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、基板を収容するキャリアを収容するキャリアストッカにおいて、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第1受け渡し部と、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、または、基板処理装置との間でキャリアに対して基板を受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第2受け渡し部と、キャリアの底部の内、前記第1受け渡し部および第2受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送するキャリア搬送手段とを有し、前記第2受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is a carrier stocker for accommodating a carrier for accommodating a substrate, and supports a part of the bottom of the carrier for delivering the carrier to and from the outside of the carrier stocker. In order to deliver the carrier between the first delivery unit for placing the carrier and the outside of the carrier stocker, or to deliver the substrate to the carrier with the substrate processing apparatus, the bottom of the carrier A second delivery part for placing the carrier while supporting a part of the carrier, and supporting a part of the bottom part of the carrier different from the parts supported by the first delivery part and the second delivery part, Carrier transport means for transporting the carrier between the delivery section and the second delivery section, and the second delivery section is a cut-off that the carrier transport means can pass through. Characterized in that it has an away portion.
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記第1受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the carrier stocker according to the first aspect of the present invention, the first delivery part has a notch part through which the carrier conveying means can pass.
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記キャリア搬送手段は、上下方向に昇降可能な昇降ハンドを有し、前記昇降ハンドの上面にはキャリアの底部を支持するピンが立設されていることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the carrier stocker according to the first or second aspect of the present invention, the carrier transport means has a lifting hand that can be lifted up and down, and a carrier is disposed on an upper surface of the lifting hand. The pin which supports the bottom part of this is standingly arranged.
また、請求項4の発明は、請求項3の発明に係るキャリアストッカにおいて、前記キャリア搬送手段は、前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間で水平方向に延設されたレールと、前記レールを走行する走行台と、前記走行台に設けられるとともに、前記昇降ハンドが取り付けられた垂直ベースと、を有することを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the carrier stocker according to the third aspect of the present invention, the carrier conveying means includes a rail extending in the horizontal direction between the first delivery section and the second delivery section, A traveling base that travels on the rail, and a vertical base that is provided on the traveling base and to which the lifting hand is attached.
本発明によれば、キャリア搬送手段は、第1受け渡し部および第2受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持して第1受け渡し部と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送することができるため、キャリア搬送手段の移動速度を大きくすることができ、キャリアストッカのスループットの向上を図ることができる。 According to the present invention, the carrier transport unit transports the carrier between the first delivery unit and the second delivery unit while supporting a portion different from the portions supported by the first delivery unit and the second delivery unit. Therefore, the moving speed of the carrier conveying means can be increased, and the throughput of the carrier stocker can be improved.
<第1実施形態のキャリアストッカ>
図1は本発明に係る第1施形態のキャリアストッカ1の斜視図である。なお、便宜上図示のようにX、Y、Z軸を設定する。
<Carrier Stocker of First Embodiment>
FIG. 1 is a perspective view of a carrier stocker 1 according to a first embodiment of the present invention. For convenience, the X, Y, and Z axes are set as shown.
キャリアストッカ1は隔壁2を境界に基板処理装置等の他の装置4に連設されている。 The carrier stocker 1 is connected to another apparatus 4 such as a substrate processing apparatus with a partition wall 2 as a boundary.
また、隔壁2には開口3が開けられており、開口3を挟んで隔壁2のX軸正方向側にはオープナー70が設けられている。
An
オープナー70はキャリアCの前面蓋(不図示)を着脱する着脱ハンド71を有し、該着脱ハンド71はX軸方向に進退可能で、Z軸方向に昇降可能である。そして、着脱ハンド71には前面蓋のロックを着脱する着脱機構72が設けられており、開口3を通じて第2受け渡し部30(後述)に載置されたキャリアCの前面蓋を着脱する。
The
なお、着脱ハンド71が前面蓋を外すときは、着脱機構72が前面蓋を保持した状態で前記着脱ハンド71がX軸正方向に移動してさらに降下することによって、開口3を通じてのキャリアC内の基板(不図示)の出し入れが可能になる。
When the attachment
キャリアストッカ1は搬入出ロボット50(後述)に対してキャリアCを受け渡しする第1受け渡し部10、複数のキャリアCを載置しておくストック棚60A、60B、その他の装置4に対してキャリア内の基板が受け渡しされるためにキャリアが載置される第2受け渡し部30、キャリアCを保持して第1受け渡し部10、ストック棚60A、60Bとの間でキャリアCを搬送するキャリア搬送ロボット20、キャリア搬送ロボットと第2受け渡し部との間でキャリアCを搬送する仲介リフタ40を有する。
The carrier stocker 1 includes a
<第1受け渡し部>
第1受け渡し部10は第1載置台11を有している。
<First delivery section>
The
第1載置台11は、後述の搬入出ロボット50の支持スライダ55や、キャリア搬送ロボット20の昇降ハンド23が昇降したときに該支持スライダ55や昇降ハンド23が通過できる通過口12を有する。この通過口12の大きさはキャリアCの底面の周辺部分が第1載置台11に乗る程度の大きさにされている。
The first mounting table 11 has a passage opening 12 through which the
よって、第1載置台11はキャリアCの底部の周辺部分を支持することによってキャリアCを支持する。 Therefore, the first mounting table 11 supports the carrier C by supporting the peripheral portion of the bottom of the carrier C.
<ストック棚>
ストック棚60A、60Bはそれぞれ第1載置台11と同様の構造であって、第1受け渡し部10が外部から受け取ったキャリアまたは第1受け渡し部10が外部へ渡すキャリアを一時的に保管する。
<Stock shelf>
Each of the
<第2受け渡し部>
第2受け渡し部30は水平ベース31と水平ベース上でX軸方向に水平移動する水平移動台32とを有する。水平移動台32にはキャリアCが載置されたとき、キャリアCの底面に形成されている図示せぬピン穴に嵌合する3本のピン33が立設されている。このため、水平移動台32上ではキャリアCは位置決めがなされる。
<Second delivery section>
The
また、水平移動台32は、図3(a)のように仲介リフタ40下方で該仲介リフタ40との間でキャリアCを受け渡しする仲介位置と、図3(b)のように仲介位置よりもX軸正方向で、キャリアCの前面蓋とオープナー70の着脱ハンド71とが接触する蓋開閉位置との2つの位置をX軸方向に沿って水平移動する。
Further, the horizontal moving table 32 has an intermediate position for transferring the carrier C to and from the
<キャリア搬送ロボット>
図1に戻ってキャリア搬送ロボット20はY軸方向に延設されているレールR1上を走行する走行台21、走行台21上に固定されている垂直ベース22、垂直ベース22に沿って昇降する昇降ハンド23を有する。
<Carrier transfer robot>
Returning to FIG. 1, the
昇降ハンド23は第1載置台11の通過口12に対して昇降する際、該通過口12を通過可能な形状をしている。具体的には昇降ハンド23の一部が平面視で通過口12と相似形状をなしている。なお、昇降ハンド23の一部と通過口12とは相似形状であるが、平面視での大きさは昇降ハンド23の方が小さいため、昇降ハンド23は通過口12を通過可能である。このため、昇降ハンド23はキャリアCの底部のうち、第1載置台11が支持しているキャリアCの周辺部分よりも内側を支持する。すなわち、昇降ハンド23はキャリアCの底部のうち、第1載置台11が支持している部分とは異なる部分を支持する。
The raising / lowering
また昇降ハンド23の上面にはキャリアCの底面に形成されている図示せぬピン穴に嵌合する3本のピン24が立設されている。このため、昇降ハンド23上ではキャリアCは位置決めがなされる。
Further, on the upper surface of the
このようなキャリア搬送ロボット20は走行台21がY軸方向に走行し、また、昇降ハンド23が垂直ベース22に沿って昇降することによって、キャリアを第1受け渡し部10、ストック棚60A、60B、仲介リフタ40に対して受け渡しできる。
The
また、昇降ハンド23上にはピン24が立設されていて該ピン24がキャリアCのピン穴と嵌合するため、キャリア搬送ロボット20が急加減速を行っても昇降ハンド23上でキャリアCの位置がずれることはなく、キャリアCは安定して搬送される。
Further, since the
<仲介リフタ>
仲介リフタ40は第2受け渡し部30の上方に設けられている。図2に仲介リフタ40の詳細を示す。
<Intermediary lifter>
The
リフタベース41はキャリアストッカ1の図示せぬフレームに固定されている。そして、リフタベース41には水平移動台32の移動方向すなわちX軸方向において固定チャック42と回動チャック43とが並んで設けられ、該固定チャック42および、回動チャック43は一体的にリフタベース41に対して昇降可能に設けられている。
The
固定チャック42はY軸方向に沿って延びる部材であって、キャリアCの鍔部材CTが上下方向に通過可能な切り欠き42Aを有し、また、鍔部材CTの下面を支持する支持面42Dを有する。
The fixed
回動チャック43はY軸方向に沿った軸43Aと、軸43Aと回動チャック本体43Cとを連結する連結部材43Bとを有する。そして、回動チャック本体43Cは鍔部材CTの下面を支持する支持面43Dを有する。
The
この回動チャック43では軸43Aを中心に回動することによって、図2(a)のように支持面43Dが垂直状態になる解除姿勢と、図2(b)のように支持面43Dが水平になる保持姿勢とをとることができる。
In this
<搬入出ロボット>
図1に戻って、キャリアストッカ1に対しては搬入出ロボット50がキャリアCを搬入、搬出する。
<Loading / unloading robot>
Returning to FIG. 1, the carry-in / out
なお、図中2台の搬入出ロボット50が示されているが、これらはいずれも同様の構造である。
In addition, although the two carrying-in / out
搬入出ロボット50は床面等に固定された固定ベース51、固定ベース51に対して昇降する昇降ベース52、昇降ベース52上で昇降ベース52に対してX軸方向に水平移動する第1スライダ53、第1スライダ53上で第1スライダ53に対してX軸方向に水平移動する第2スライダ54、第2スライダ54上で第2スライダ54に対してX軸方向に水平移動する支持スライダ55を有する。
The loading /
支持スライダ55はキャリア搬送ロボット20の昇降ハンド23と同様、第1載置台11の通過口12を通過可能な形状となっている。このため、支持スライダ55はキャリアCの底部のうち、第1載置台11が支持している部分とは異なる部分を支持する。
The
搬入出ロボット50では昇降ベース52に対して第1スライダ53、第2スライダ54、支持スライダ55が相対的に移動することによって支持スライダ55をX軸方向に移動させることができる。また、昇降ベース52が昇降することによって、支持スライダ55の位置を上下させることができる。
In the loading /
搬入出ロボット50がキャリアストッカ1に対してキャリアCを渡す場合は、まず、図1のY軸負方向に示す搬入出ロボット50のように支持スライダ55を昇降ベース52上に位置させた状態で不図示の搬送機からキャリアCを受け取る。このとき、昇降ベース52は上昇させておく。そして、図1のY軸正方向に示す搬入出ロボット50のように第1スライダ53、第2スライダ54、支持スライダ55をX軸正方向に移動させ、キャリアCを第1載置台11上に位置させる。その後、昇降ベース52を降下させて支持スライダ55に通過口12を通過させることによって、支持スライダ55上のキャリアCを第1載置台11に渡す。
When the loading /
ここで支持スライダ55上にはピン56が立設されていて該ピン56がキャリアCのピン穴と嵌合するため、支持スライダ55上でキャリアCの位置がずれることはなく、キャリアCは安定して搬送される。
Here, since the
<キャリアストッカの動作>
次にキャリアストッカ1の動作の一例について説明する。
<Operation of carrier stocker>
Next, an example of the operation of the carrier stocker 1 will be described.
まず、第1載置台11からキャリア搬送ロボット20がキャリアCを受け取る場合について説明する。
First, the case where the
搬入出ロボット50から第1載置台11の通過口12上にキャリアCが載置される。このとき、支持スライダ55上のピン56によって支持スライダ55上において位置決めがなされるのでキャリアCは第1載置台11の所定の位置に位置決めされている。
The carrier C is placed on the passing
その後、キャリア搬送ロボット20の昇降ハンド23を第1載置台11よりも低い位置に配した状態で走行台21を走行させ、昇降ハンド23をキャリアが載置されている通過口12の下方に位置させる。この状態で昇降ハンド23を垂直ベース22に対して上昇させることによって昇降ハンド23が開口12を通過してキャリアCの底面に達する。このとき、キャリアCは第1載置台11上で所定の位置に位置決めされているので昇降ハンド23のピン24とキャリアCのピン穴とが確実に嵌合する。さらに、昇降ハンド23を上昇させることによって昇降ハンド23でキャリアCの底面を支持できる。このとき、昇降ハンド23はキャリアCの底部のうち、第1載置台11が支持している部分とは異なる部分を支持している。
Thereafter, the traveling
その次に必要に応じてキャリア搬送ロボット20を移動させて昇降ハンド23に支持しているキャリアCをストック棚60A、60Bに載置したり、仲介リフタ40に搬送する。
Next, the
なお、キャリア搬送ロボット20が保持しているキャリアCを第1載置台11に載置する場合は上記と逆の手順を踏めばよい。
Note that when the carrier C held by the
次に、キャリアCがキャリア搬送ロボット20によって仲介リフタ40に搬送され、該キャリアCが仲介リフタ40によって第2受け渡し部30に搬送される場合について説明する。
Next, a case where the carrier C is transported to the
まず、昇降ハンド23上にキャリアCを支持させておく。
First, the carrier C is supported on the lifting
仲介リフタ40は図2(a)のように固定チャック42、および、回動チャック43をリフタベース41に対して上昇させた状態でかつ、回動チャック43を解除姿勢にしておく。
As shown in FIG. 2A, the
この状態でキャリア搬送ロボット20を移動させて固定チャック42の支持面42D上方にキャリアCの鍔部材CTを配する。
In this state, the
このとき、固定チャック42には切り欠き42Aが設けられているので鍔部材CTと固定チャック42とは干渉することがない。特に鍔部材CTの上下方向における厚みがキャリアCの仕様毎に異なっていても干渉することがない。
At this time, since the
次に、図2(b)のように回動チャック43を回動させて支持面43DをキャリアCの鍔部材CTとキャリア本体CRとの間に配する。そして、昇降ハンド23を降下させれば鍔部材CTが支持面42D、43Dによって支持され、その結果、仲介リフタ40によって、キャリアCが保持される。このとき、昇降ハンド23にはピン24が立設されており、昇降ハンド23上でキャリアCが位置決めされているので仲介リフタ40の所定の位置にキャリアCが保持される。
Next, as shown in FIG. 2B, the
以上のようにしてキャリア搬送ロボット20から仲介リフタ40にキャリアCが渡される。
As described above, the carrier C is delivered from the
次に、昇降ハンド23を水平移動台32上方から退避させ、図3(a)のように固定チャック42と回動チャック43とをともにリフタベース41に対して降下させればキャリアCが水平移動台32上に載置される。
Next, when the lifting
このとき、仲介リフタ40においてキャリアCが所定の位置に位置決めされているのでキャリアCは確実に水平移動台32上のピン33に嵌合する。
At this time, since the carrier C is positioned at a predetermined position in the
さらに、第2受け渡し部30におけるキャリアCの開口3側への水平移動について説明する。
Furthermore, the horizontal movement of the carrier C toward the
図3(a)のように水平移動台32上にキャリアCが載置された状態で、図3(b)のように回動チャック43を回動させて該回動チャック43を解除姿勢にする。そして、水平移動台32をX軸正方向に移動させて蓋開閉位置に移動させることによってキャリアCを開口3側へ移動させることができる。この後、図1に示すオープナー70によってキャリアCの図示せぬ前面蓋が外される。
In the state where the carrier C is placed on the horizontal moving table 32 as shown in FIG. 3A, the
このように水平移動台32の移動に伴ってキャリアCも移動するが、回動チャック43が回動して解除姿勢をとることにより回動チャック43はキャリアCの移動経路外に移動するので回動チャック43とキャリアCとの干渉を防止することができる。
As described above, the carrier C also moves with the movement of the horizontal moving table 32. However, when the
なお、蓋開閉位置にある水平移動台32が支持しているキャリアCを仲介リフタ40を介してキャリア搬送ロボット20に渡す場合は上記と逆の手順を踏めばよい。
In the case where the carrier C supported by the horizontal moving table 32 in the lid opening / closing position is transferred to the
なお、キャリアCは収容枚数の違いによって高さ方向の寸法が異なり、したがって、鍔部材CTの高さ方向における位置が異なるものがある。 Note that the carrier C has different height dimensions depending on the number of sheets accommodated, and therefore, there is a carrier C having a different position in the height direction.
鍔部材CTの位置がそれぞれ異なるキャリアCを混在させて取り扱う場合、例えばキャリア搬送ロボットが鍔部材CTを保持して搬送するものではキャリア搬送ロボットがキャリアを受け渡しする際、鍔部材CTを保持しに行く高さ方向の位置をキャリアCの寸法に従って変更せねばならず、制御が複雑になってしまう。 When handling the carrier C having different positions of the collar member CT, for example, in the case where the carrier transport robot holds and transports the collar member CT, the carrier transport robot holds the collar member CT when delivering the carrier. The position in the height direction to go must be changed according to the dimensions of the carrier C, and the control becomes complicated.
しかし、本実施形態のキャリアストッカ1によれば、キャリア搬送ロボット20はキャリアCの底部を支持して搬送し、第1受け渡し部10、ストッカ棚60A、60Bもキャリア搬送ロボット20との間でキャリアCを受け渡しするとき、キャリアCの底部を支持する。このため、上記第1受け渡し部10、ストッカ棚60A、60Bに対してはキャリアCの高さ方向の寸法の違いに関係なく、キャリア搬送ロボット20は同じ制御でキャリアCの受け渡しができ、制御が簡単になる。
However, according to the carrier stocker 1 of the present embodiment, the
また、キャリア搬送ロボット20はキャリアCの底部を支持して搬送するのでキャリアCの鍔を保持して搬送するものに比べて急な加減速ができ、搬送の高速化を図れる。
Further, since the
<第2実施形態のキャリアストッカ>
図4に第2実施形態のキャリアストッカ100を示す。
<Carrier Stocker of Second Embodiment>
FIG. 4 shows a
第1実施形態のキャリアストッカ1と本実施形態のキャリアストッカ100との違いはキャリアストッカ100は仲介リフタを有していないこと、第2受け渡し部の構造が違うことである。よって、第2受け渡し部300について説明する。
The difference between the carrier stocker 1 of the first embodiment and the
第2受け渡し部300は隔壁2に固定された固定部材301と固定部材301に固定されたL型部材302とL型部材302上に固定された第2載置台303を有する。
The
第2載置台303は昇降ハンド23が昇降する際に通過可能な切り欠き部304を有する。そして、キャリアCを支持した昇降ハンド23が第2載置台303上方から下方に降下することで、キャリアCの底面の周辺部分が第2載置台303に乗り、キャリアCは第2載置台303に支持される。この場合、第2載置台303はキャリアCの底部の周辺部分を支持し、昇降ハンド23は該周辺部分よりも内側の部分を支持する。すなわち、昇降ハンド23はキャリアCの底部のうち、第1載置台11、第2載置台303によって支持される部分とは異なる部分を支持している。
The
ここでは、昇降ハンド23上で位置決めされた状態でキャリアCが第2載置台303に載置されるのでキャリアCは第2載置台303の所定の位置に載置される。このため、オープナー70によって確実にキャリアCの前面蓋が着脱される。
Here, since the carrier C is mounted on the second mounting table 303 while being positioned on the lifting
この第2実施形態のキャリアストッカ100では第1実施形態のキャリアストッカ1のような仲介リフタ40が不要なので装置コストの上昇を抑えることができる。
In the
また、キャリアCは収容枚数の違いによって高さ方向の寸法が異なり、したがって、鍔部材CTの高さ方向における位置がそれぞれ異なるものがある。 Further, the carrier C has different height dimensions due to the difference in the number of accommodated sheets, and accordingly, there is a carrier C having a different position in the height direction.
鍔部材CTの位置が異なるキャリアCを混在させて取り扱う場合、例えばキャリア搬送ロボットが鍔部材CTを保持して搬送するものではキャリア搬送ロボットがキャリアを受け渡しする際、鍔部材CTを保持しに行く高さ方向の位置をキャリアCの寸法に従って変更せねばならず、制御が複雑になってしまう。 When handling the carrier C with different positions of the collar member CT, for example, when the carrier transport robot holds and transports the collar member CT, when the carrier transport robot delivers the carrier, it goes to hold the collar member CT. The position in the height direction must be changed according to the dimensions of the carrier C, and the control becomes complicated.
しかし、本実施形態のキャリアストッカ100によれば、キャリア搬送ロボット20はキャリアCの底部を支持して搬送し、第1受け渡し部10、ストッカ棚60A、60B、第2受け渡し部300もキャリア搬送ロボット20との間でキャリアCを受け渡しするときキャリアCの底部を支持する。このため、キャリアCの高さ方向の寸法の違いに関係なく、キャリア搬送ロボット20は同じ制御でキャリアCの受け渡しができ、制御が簡単になる。
However, according to the
また、鍔部材CTを持つキャリア、持たないキャリアの何れも搬送することができる。 In addition, it is possible to transport either a carrier having the flange member CT or a carrier not having it.
以上のようなキャリアストッカ1、100によればキャリア搬送ロボット20はキャリアCの底部を支持して搬送するのでキャリアCの鍔部材CTを保持して搬送するものに比べて急な加減速ができ、搬送の高速化を図れる。
According to the
また、キャリア搬送ロボット20がキャリアCの底部を支持して搬送できるため、キャリア搬送ロボット20が鍔部材CTや、柱状部材CPを保持する必要が無く、鍔部材CTや、柱状部材CPに力がかかることが少なくなる。このため、鍔部材CTや、柱状部材CPの寿命を伸ばすことができる。
In addition, since the
なお、以上のようなキャリアストッカ1、100では第2受け渡し部30、300が他の装置4へ基板を渡すためにキャリアCを支持するが、キャリアCそのものを他の装置4へ渡すためにキャリアCを保持してもよい。
In the
1、100 キャリアストッカ
10 第1受け渡し部
20 キャリア搬送ロボット
24、33、56 ピン
30、300 第2受け渡し部
32 水平移動台
40 仲介リフタ
42 固定チャック
43 回動チャック
303 第2載置台
C キャリア
CT 鍔部材
CP 柱状部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100
Claims (4)
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第1受け渡し部と、
キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しするために、または、基板処理装置との間でキャリアに対して基板を受け渡しするために、キャリアの底部の一部を支持しつつキャリアを載置する第2受け渡し部と、
キャリアの底部の内、前記第1受け渡し部および第2受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送するキャリア搬送手段とを有し、
前記第2受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。 A carrier stocker for accommodating a carrier for accommodating a substrate,
A first delivery unit for placing the carrier while supporting a part of the bottom of the carrier in order to deliver the carrier to and from the outside of the carrier stocker;
In order to deliver the carrier to / from the outside of the carrier stocker, or to deliver the substrate to / from the substrate processing apparatus, the carrier is placed while supporting a part of the bottom of the carrier. A second delivery section;
Carrier conveying means for supporting a portion of the bottom of the carrier different from the portions supported by the first delivery portion and the second delivery portion, and for conveying the carrier between the first delivery portion and the second delivery portion. And
The second stocker has a notch through which the carrier transport means can pass.
前記第1受け渡し部は、前記キャリア搬送手段が通過可能な切り欠き部を有することを特徴とするキャリアストッカ。 The carrier stocker according to claim 1,
The first stocker has a notch through which the carrier transport means can pass.
前記キャリア搬送手段は、上下方向に昇降可能な昇降ハンドを有し、前記昇降ハンドの上面にはキャリアの底部を支持するピンが立設されていることを特徴とするキャリアストッカ。 The carrier stocker according to claim 1 or 2,
The carrier transporter has a lifting hand that can be moved up and down in the vertical direction, and a pin that supports a bottom portion of the carrier is erected on an upper surface of the lifting hand.
前記キャリア搬送手段は、
前記第1受け渡し部と第2受け渡し部との間で水平方向に延設されたレールと、
前記レールを走行する走行台と、
前記走行台に設けられるとともに、前記昇降ハンドが取り付けられた垂直ベースと、
を有することを特徴とするキャリアストッカ。 The carrier stocker according to claim 3,
The carrier conveying means is
A rail extending horizontally between the first delivery portion and the second delivery portion;
A traveling platform that travels on the rail;
A vertical base provided on the platform and to which the lifting hand is attached;
A carrier stocker characterized by comprising:
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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