KR20210158237A - Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same - Google Patents

Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20210158237A
KR20210158237A KR1020200076733A KR20200076733A KR20210158237A KR 20210158237 A KR20210158237 A KR 20210158237A KR 1020200076733 A KR1020200076733 A KR 1020200076733A KR 20200076733 A KR20200076733 A KR 20200076733A KR 20210158237 A KR20210158237 A KR 20210158237A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
shelves
carrier
fixing pin
guide
Prior art date
Application number
KR1020200076733A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
임혁순
이정석
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200076733A priority Critical patent/KR20210158237A/en
Publication of KR20210158237A publication Critical patent/KR20210158237A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

The present invention provides an apparatus for transferring carriers which allows shelves to load and unload carriers and may prevent shake of a hoist unit. The apparatus for transferring carriers comprises: a vehicle driving along a drive rail to transfer the carriers; a stoker disposed adjacent to the drive rail, and including a plurality of shelves to store the carriers and guide units provided at the shelves. The vehicle includes: a drive unit driving along the drive rail; a hoist unit connected with the drive unit and being liftably provided; a hand unit to fix the carriers; and a slide unit movably provided at the hoist unit toward the shelves so that a fixed pin protruding to the shelves is fixed to the guide units, and to transfer the hand unit toward the shelves in order to load and unload the carriers on and from the shelves when the fixed pin is fixed to the guide unit.

Description

캐리어 이송 장치 및 이를 이용한 캐리어 이적재 방법{Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same}Carrier transfer device and carrier transfer method using the same {Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same}

본 발명은 캐리어 이송 장치 및 이를 이용한 캐리어 이적재 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선반들로 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치 및 이를 이용한 캐리어 이적재 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier transfer apparatus and a carrier transfer method using the same, and more particularly, to a carrier transfer apparatus for transferring carriers on shelves and a carrier transfer method using the same.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, an object such as a semiconductor substrate, a printed circuit board, or a reticle may be stored in a stocker while being accommodated in a carrier.

상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 다수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 선반들은 좌우 및 상하 방향으로 배열될 수 있다. 상기 캐리어들은 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다. The stocker may include a plurality of shelves for accommodating the carriers. The shelves may be arranged in left and right and up and down directions. There are various types of the carriers, such as FOUP, FOSB, magazine, and reticle pod depending on the object.

상기 스토커는 상기 캐리어들의 로딩 및 언로딩을 위한 로드 포트와 상기 로드 포트와 상기 선반들 사이에서 상기 캐리어들을 이송하는 이송 로봇이 구비될 수 있다. The stocker may be provided with a load port for loading and unloading of the carriers, and a transfer robot for transferring the carriers between the load port and the shelves.

상기 스토커는 상기 선반들, 상기 로드 포트 및 상기 이송 로봇을 구비하므로, 상기 스토커는 많은 공간을 필요로 한다. 따라서, 상기 스토커가 구비된 공간의 활용도가 저하될 수 있다. Since the stocker has the shelves, the load port and the transfer robot, the stocker requires a lot of space. Accordingly, the utilization of the space provided with the stocker may be reduced.

또한 비히클이 상기 캐리어를 상기 로딩 및 언로딩할 때 벨트 타입의 호이스트 유닛에서 흔들림이 발생한다. 따라서 상기 비히클이 상기 캐리어를 정확한 위치로 로딩 및 언로딩하기 어렵다. Also, shaking occurs in the belt-type hoist unit when the vehicle loads and unloads the carrier. Therefore, it is difficult for the vehicle to load and unload the carrier to the correct position.

본 발명은 캐리어를 선반들이 직접 이적재하고, 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하는 캐리어 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a carrier transport device that directly transfers the carrier to the shelves and prevents the hoist unit from shaking.

본 발명은 상기 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이적재 방법을 제공한다. The present invention provides a carrier transfer method using the carrier transfer device.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클 및 상기 주행 레일에 인접하도록 배치되며, 상기 캐리어를 보관하기 위한 다수의 선반들과, 상기 선반들에 각각 구비되는 가이드 유닛들을 스토커를 포함하고, 상기 비히클은, 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 연결되며, 승강 가능하도록 구비되는 호이스트 유닛과, 상기 캐리어를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 선반들을 향해 돌출되는 고정핀이 상기 가이드 유닛들에 고정되도록 상기 호이스트 유닛에 상기 선반들을 향해 이동 가능하도록 구비되고, 상기 고정핀이 상기 가이드 유닛에 고정되면 상기 캐리어를 상기 선반들에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 상기 선반들을 향해 이동시키는 슬라이드 유닛을 포함할 수 있다. A carrier transport apparatus according to the present invention includes a vehicle that travels along a traveling rail and transports a carrier, a plurality of shelves disposed adjacent to the traveling rail, and a plurality of shelves for storing the carrier, and guides provided on the shelves, respectively a stocker for units, wherein the vehicle includes a traveling unit configured to travel along the traveling rail, a hoist unit connected to the traveling unit and provided to be lifted, a hand unit for fixing the carrier, and the shelf Fixing pins protruding toward the guide units are provided on the hoist unit to be movable toward the shelves so that they are fixed to the guide units, and when the fixing pins are fixed to the guide unit, in order to transfer the carrier to the shelves It may include a slide unit for moving the hand unit toward the shelves.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 고정핀을 수용하는 수용홈을 갖는 가이드 부재를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the guide units may include a guide member having a receiving groove for accommodating the fixing pin.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 수용홈의 내부에 구비되며 상기 고정핀의 이동을 가이드하는 가이드 롤러들을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, each of the guide units may further include guide rollers provided in the receiving groove and guiding the movement of the fixing pin.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 롤러들은 상기 수용홈의 하부면 및 상부면에 각각 구비되고, 상기 고정핀의 하부면과 상부면을 각각 지지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide rollers are respectively provided on the lower surface and the upper surface of the receiving groove, and may support the lower surface and the upper surface of the fixing pin, respectively.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 수용홈의 내부에 구비되며, 상기 고정핀을 감지하기 위한 센서를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, each of the guide units is provided inside the receiving groove, and may further include a sensor for detecting the fixing pin.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서는, 상기 수용홈의 입구에 배치되며, 상기 고정핀의 진입을 감지하기 위한 제1 센서 및 상기 수용홈의 내부에 배치되며, 상기 수용홈에 수용된 상기 고정핀의 정위치 여부를 감지하는 제2 센서를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the sensor is disposed at the entrance of the receiving groove, the first sensor for detecting the entry of the fixing pin and the inside of the receiving groove, the sensor is accommodated in the receiving groove A second sensor for detecting whether the fixing pin is in the correct position may be further included.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은 상기 캐리어의 플랜지를 고정하는 포크일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the hand unit may be a fork for fixing the flange of the carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 슬라이드 유닛에 구비되며, 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 승강시키는 승강 유닛을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the vehicle may further include an elevating unit provided in the slide unit and elevating the hand unit in order to load the carrier onto the shelf.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛과 상기 슬라이드 유닛의 흔들림을 안정적으로 방지하기 위해 상기 고정핀은 한 쌍이 구비되며, 상기 한 쌍의 고정핀들을 수용하기 위해 상기 가이드 유닛들은 상기 각 선반들에 한 쌍씩 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, a pair of fixing pins are provided in order to stably prevent shaking of the hand unit and the slide unit, and in order to accommodate the pair of fixing pins, the guide units are each A pair of shelves may be provided.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 유닛들은 상기 각 선반들의 상부면 또는 하부면에 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the guide units may be provided on the upper surface or the lower surface of each shelf.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정핀은 상기 캐리어를 이적재하기 위한 상기 선반과 인접한 상방의 상기 선반에 구비된 상기 가이드 유닛에 의해 지지될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the fixing pin may be supported by the guide unit provided on the shelf adjacent to the shelf for loading the carrier.

본 발명에 따른 캐리어 이적재 방법은, 주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클에서 호이스트 유닛이 핸드 유닛과 슬라이드 유닛을 하강시키는 단계와, 상기 슬라이드 유닛으로부터 스토커에 구비된 다수의 선반들을 향해 돌출되는 고정핀이 상기 각 선반들에 각각 구비된 가이드 유닛들 중 하나에 고정되도록 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들을 향해 슬라이딩시키는 단계와, 상기 고정핀이 상기 가이드 유닛에 고정되면 상기 캐리어를 상기 선반들에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 상기 선반들을 향해 이동시키는 단계 및 상기 슬라이드 유닛에 구비된 승강 유닛으로 상기 캐리어를 고정하는 상기 핸드 유닛을 승강시켜 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하는 단계를 포함할 수 있다. A carrier loading and unloading method according to the present invention includes the steps of: a hoist unit lowering a hand unit and a slide unit in a vehicle that travels along a traveling rail and transports a carrier; and protrudes from the slide unit toward a plurality of shelves provided in a stocker sliding the slide unit toward the shelves so that the fixing pins are fixed to one of the guide units respectively provided on the shelves; This may include moving the hand unit toward the shelves for loading and unloading, and lifting the hand unit for fixing the carrier with a lifting unit provided in the slide unit to load the carrier onto the shelf. have.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 이적재 방법은, 상기 캐리어를 이적재하는 단계 이후에, 상기 핸드 유닛과 함께 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들로부터 멀어지도록 이동시키는 단계 및 상기 호이스트 유닛으로 상기 핸드 유닛과 상기 슬라이드 유닛을 상승시키는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in the method for loading and unloading the carrier, after the step of loading the carrier, moving the slide unit together with the hand unit away from the shelves and using the hoist unit The method may further include raising the hand unit and the slide unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들을 향해 슬라이딩시키는 단계에서, 상기 가이드 유닛에 포함된 가이드 부재의 수용홈의 입구에 배치된 제1 센서로 상기 고정핀의 진입을 감지하고, 상기 수용홈의 내부에 배치된 제2 센서로 상기 수용홈에 수용된 상기 고정핀의 정위치 여부를 감지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in the step of sliding the slide unit toward the shelves, the first sensor disposed at the entrance of the receiving groove of the guide member included in the guide unit detects the entry of the fixing pin. And, it is possible to detect whether the correct position of the fixing pin accommodated in the receiving groove with a second sensor disposed inside the receiving groove.

본 발명에 따르면, 상기 캐리어를 상기 호이스트 유닛으로 하강시킨 후 상기 슬라이드 유닛으로 상기 선반들을 향해 이송하므로, 상기 캐리어 이송 장치는 상기 캐리어들을 상기 선반들에 직접 이적재할 수 있다. 상기 캐리어들의 이적재를 위한 로드 포트 및 상기 선반들과 상기 로드 포트 사이에서 상기 캐리어들을 이송하는 이송 로봇이 불필요하므로, 상기 스토커의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 캐리어들을 신속하게 이적재할 수 있다. According to the present invention, since the carrier is lowered by the hoist unit and then transferred to the shelves by the slide unit, the carrier transfer device can directly transfer the carriers to the shelves. Since a load port for loading and unloading the carriers and a transport robot for transporting the carriers between the shelves and the load port are unnecessary, the structure of the stocker can be simplified and the carriers can be loaded and unloaded quickly. .

또한, 상기 고정핀이 상기 가이드 유닛들에 의해 지지되므로 상기 슬라이드 유닛이 하강한 상태에서 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 상기 캐리어들의 이적재가 안정적으로 이루어질 수 있다. In addition, since the fixing pin is supported by the guide units, it is possible to prevent the slide unit from shaking in a lowered state, and the loading and unloading of the carriers can be made stably.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 가이드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 고정핀과 가이드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 6 내지 도 9는 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이적재 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.1 is a side view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view for explaining the stocker shown in FIG. 1 .
3 is a schematic cross-sectional view for explaining the guide unit shown in FIG.
FIG. 4 is a side view for explaining the vehicle shown in FIG. 1 .
5 is a schematic side view for explaining the fixing pin and the guide unit shown in FIG.
6 to 9 are side views for explaining a carrier transfer method using the carrier transport device shown in FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 다수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 가이드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 5는 도 1에 도시된 고정핀과 가이드 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. Figure 1 is a side view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view for explaining the stocker shown in Figure 1, Figure 3 is to explain the guide unit shown in Figure 2 is a schematic cross-sectional view for, FIG. 4 is a side view for explaining the vehicle shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a schematic side view for explaining the fixing pin and guide unit shown in FIG.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 캐리어 이송 장치(300)는 스토커(100) 및 비히클(120)을 포함할 수 있다. 1 to 5 , the carrier transport apparatus 300 may include a stocker 100 and a vehicle 120 .

상기 스토커(100)는 캐리어(10)들을 보관하기 위한 것으로, 다수의 선반(110)들 및 가이드 유닛(120)들을 포함할 수 있다. The stocker 100 is for storing the carriers 10 , and may include a plurality of shelves 110 and guide units 120 .

상기 비히클(200)은 상기 캐리어(10)들을 이송하며 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들로 이적재 하기 위한 것으로, 주행 유닛(210), 프레임 유닛(220), 호이스트 유닛(230), 슬라이드 유닛(240), 고정핀(250), 승강 유닛(260) 및 핸드 유닛(270)을 포함할 수 있다. The vehicle 200 transports the carriers 10 and is for loading and unloading the carriers 10 onto the shelves 110 , and includes a traveling unit 210 , a frame unit 220 , and a hoist unit 230 . , it may include a slide unit 240 , a fixing pin 250 , a lifting unit 260 and a hand unit 270 .

상기 스토커(100)는 상기 비히클(200)이 주행하는 주행 레일(20)에 인접하도록 배치된다. 상기 스토커(100)는 지면(미도시)에 놓여지거나 천장(30)에 고정될 수 있다. The stocker 100 is disposed adjacent to the traveling rail 20 on which the vehicle 200 travels. The stocker 100 may be placed on the ground (not shown) or fixed to the ceiling 30 .

상기 캐리어(10)는 대상물(미도시)이 수용할 수 있다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다.The carrier 10 can accommodate an object (not shown). Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board, a reticle, and the like. Examples of the carrier 10 include a FOUP, a FOSB, a magazine, and a reticle pod.

상기 선반(110)들은 상기 캐리어(10)들을 보관하기 위한 것으로, 좌우 방향 및 상하 방향으로 배열되며, 상기 캐리어(10)들을 각각 지지할 수 있다. 예를 들면, 상기 선반(110)들은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어들(10)의 하부면을 각각 지지한다. The shelves 110 are for storing the carriers 10, are arranged in the left-right direction and the vertical direction, and can support the carriers 10, respectively. For example, each of the shelves 110 has a substantially flat plate shape, and supports the lower surfaces of the carriers 10 , respectively.

상기 가이드 유닛(120)들은 상기 선반(110)들에 각각 구비되고, 상기 고정핀(250)을 지지하여 고정할 수 있다. 따라서, 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 주행 유닛(210)으로부터 하강한 상태에서 흔들리는 것을 방지할 수 있다. The guide units 120 are respectively provided on the shelves 110 , and may be fixed by supporting the fixing pins 250 . Accordingly, it is possible to prevent the slide unit 240 from shaking while descending from the traveling unit 210 .

구체적으로 상기 가이드 유닛(120)들은 상기 선반들(110)의 상부면 또는 하부면에 구비될 수 있다. 이와 달리 도시되지는 않았지만 상기 가이드 유닛(120)들은 상기 선반들(110)의 하방에 상기 선반들(110)과 인접하도록 구비될 수도 있다. 이때, 상기 가이드 유닛(120)들은 전후 방향을 따라 배치될 수 있다. Specifically, the guide units 120 may be provided on the upper or lower surfaces of the shelves 110 . Although not shown otherwise, the guide units 120 may be provided below the shelves 110 to be adjacent to the shelves 110 . In this case, the guide units 120 may be disposed along the front-rear direction.

상기 각 가이드 유닛(120)들은 가이드 부재(121)를 포함할 수 있다.Each of the guide units 120 may include a guide member 121 .

상기 가이드 부재(121)는 상기 전후 방향으로 형성되는 수용홈(122)을 갖는다. 상기 가이드 부재(121)는 상기 고정핀(250)을 가이드하여 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 수용되도록 한다. The guide member 121 has a receiving groove 122 formed in the front-rear direction. The guide member 121 guides the fixing pin 250 so that the fixing pin 250 is accommodated in the receiving groove 122 .

상기 각 가이드 유닛(120)들은 가이드 롤러(123)들을 더 포함한다. Each of the guide units 120 further includes guide rollers 123 .

상기 가이드 롤러(123)들은 상기 수용홈(122)에 구비되어 상기 수용홈(122)에 수용되는 상기 고정핀(250)의 이동을 가이드한다. The guide rollers 123 are provided in the receiving groove 122 to guide the movement of the fixing pin 250 accommodated in the receiving groove 122 .

일 예로, 상기 가이드 롤러(123)들은 상기 수용홈(122)의 하부면 및 상부면에 각각 구비되고, 상기 고정핀(250)의 하부면과 상부면을 각각 지지할 수 있다. For example, the guide rollers 123 are respectively provided on the lower surface and the upper surface of the receiving groove 122 , and may support the lower surface and the upper surface of the fixing pin 250 , respectively.

이와 달리, 상기 가이드 롤러(123)들은 상기 수용홈(122)의 양측면에 각각 구비되고, 상기 고정핀(250)의 하부면과 상부면을 각각 지지할 수 있다. Alternatively, the guide rollers 123 are provided on both sides of the receiving groove 122 , respectively, and may support the lower surface and the upper surface of the fixing pin 250 , respectively.

상기 가이드 롤러(123)들은 상기 가이드 부재(121)와 상기 고정핀(250) 사이의 마찰을 방지할 수 있으므로, 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 원활하게 삽입되도록 한다. Since the guide rollers 123 can prevent friction between the guide member 121 and the fixing pin 250 , the fixing pin 250 is smoothly inserted into the receiving groove 122 .

또한, 상기 가이드 롤러(123)들은 우레탄과 같은 탄성 재질로 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 가이드 롤러(123)들은 상기 고정핀(250)으로부터 전달되는 진동을 감소시킬 수 있다. In addition, the guide rollers 123 may be made of an elastic material such as urethane. Accordingly, the guide rollers 123 may reduce vibration transmitted from the fixing pin 250 .

한편 도시되지는 않았지만, 상기 가이드 부재(121)는 상기 수용홈(122)을 구비하지 않고 상기 가이드 롤러(123)들을 고정할 수도 있다. Meanwhile, although not shown, the guide member 121 may fix the guide rollers 123 without the receiving groove 122 .

상기 각 가이드 유닛(120)들은 상기 수용홈(122)의 내부에 구비되며, 상기 고정핀(250)을 감지하기 위한 센서(124)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(124)를 이용하여 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 수용되었는지 여부를 확인할 수 있다. Each of the guide units 120 is provided inside the receiving groove 122 , and may further include a sensor 124 for detecting the fixing pin 250 . It can be checked whether the fixing pin 250 is accommodated in the receiving groove 122 using the sensor 124 .

구체적으로, 상기 센서(124)는 제1 센서(125) 및 제2 센서(126)를 포함할 수 있다. Specifically, the sensor 124 may include a first sensor 125 and a second sensor 126 .

상기 제1 센서(125)는 상기 수용홈(122)의 입구에 배치되며, 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 진입하는 것을 감지한다. The first sensor 125 is disposed at the entrance of the receiving groove 122 , and detects that the fixing pin 250 enters the receiving groove 122 .

상기 제2 센서(126)는 상기 수용홈(122)의 내부에 배치되며, 상기 수용홈(122)에 수용된 상기 고정핀(250)이 정위치인지 여부를 감지한다. 즉, 상기 제2 센서(126)는 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 정상적으로 삽입되었는지 여부를 감지할 수 있다. The second sensor 126 is disposed inside the accommodating groove 122 and detects whether the fixing pin 250 accommodated in the accommodating groove 122 is in the correct position. That is, the second sensor 126 may detect whether the fixing pin 250 is normally inserted into the receiving groove 122 .

일 예로, 상기 제1 센서(125) 및 상기 제2 센서(126)는 각각 발광 센서 및 수광 센서로 이루어질 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 센서(125) 및 상기 제2 센서(126)는 각각 근접 센서로 이루어질 수 있다. For example, the first sensor 125 and the second sensor 126 may include a light emitting sensor and a light receiving sensor, respectively. Alternatively, each of the first sensor 125 and the second sensor 126 may be a proximity sensor.

상기 주행 유닛(210)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(20)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(210)의 양측면에 주행 롤러(211)가 구비된다. 상기 주행 롤러(211)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(20)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 상기 스토커(100)에 인접한 영역에서는 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.The traveling unit 210 moves the vehicle 100 along the traveling rail 20 . Driving rollers 211 are provided on both sides of the traveling unit 210 . The traveling roller 211 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the vehicle 100 travels along the traveling rail 20 . For example, the vehicle 100 may move in the left-right direction in an area adjacent to the stocker 100 .

한편, 상기 주행 유닛(210)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(20)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(20)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 210 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the traveling rail 20 . A traveling direction of the vehicle 100 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 20 .

상기 프레임 유닛(220)은 상기 주행 유닛(210)의 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(220)은 상기 캐리어(10)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 캐리어(10)가 상기 상하 방향 및 상기 전후 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(220)은 하부면과 상기 전후 방향이 개방될 수 있다. The frame unit 220 is fixed to the lower surface of the traveling unit 210 . The frame unit 220 has an empty inside to accommodate the carrier 10 . In addition, the lower surface of the frame unit 220 and the front-rear direction may be opened so that the carrier 10 can move in the vertical direction and the front-rear direction.

상기 호이스트 유닛(230)은 상기 프레임 유닛(220)의 내측 상부면에 구비되며, 상기 슬라이드 유닛(240)을 승강시킨다. The hoist unit 230 is provided on the inner upper surface of the frame unit 220 and elevates the slide unit 240 .

구체적으로, 상기 호이스트 유닛(230)은 상기 슬라이드 유닛(240)과 연결되는 연결부(231), 상기 연결부(231)와 연결되는 다수의 벨트(233)들 및 상기 벨트(233)를 권취하거나 권출하여 상기 슬라이드 유닛(240)을 승강시키는 승강 구동부(235)를 포함할 수 있다. Specifically, the hoist unit 230 winds up or unwinds a connection part 231 connected to the slide unit 240, a plurality of belts 233 connected to the connection part 231, and the belt 233. It may include a lift driving unit 235 for elevating the slide unit 240 .

상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 호이스트 유닛(230), 구체적으로, 상기 연결부(231)에 상기 선반(110)들을 향해 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 전후 방향으로 이동가능하도록 구비될 수 있다. The slide unit 240 is provided on the hoist unit 230 , specifically, the connection part 231 to be movable toward the shelves 110 . That is, the slide unit 240 may be provided to be movable in the front-rear direction.

상기 슬라이드 유닛(240)에는 상기 선반(110)들을 향해 상기 전후 방향으로 돌출되는 상기 고정핀(250)이 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 선반(110)들을 향해 이동하면서 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)들 중 어느 하나에 고정될 수 있다. 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)에 고정되므로, 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 호이스트 유닛(230)에 의해 하강한 상태에서도 상기 슬라이드 유닛(240)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. The slide unit 240 is provided with the fixing pins 250 protruding in the front-rear direction toward the shelves 110 . As the slide unit 240 moves toward the shelves 110 , the fixing pin 250 may be fixed to any one of the guide units 120 . Since the fixing pin 250 is fixed to the guide unit 120 , it is possible to prevent the slide unit 240 from shaking even when the slide unit 240 is lowered by the hoist unit 230 .

상기 고정핀(250)은 상기 슬라이드 유닛(240)에 한 쌍이 구비되고, 상기 각 선반(110)들에 상기 가이드 유닛(120)들이 한 쌍씩 구비될 수 있다. 상기 가이드 유닛(120)들이 상기 고정핀(250)들을 안정적으로 고정할 수 있으므로, 상기 슬라이드 유닛(240)을 견고하게 고정할 수 있다. 상기 슬라이드 유닛(240)이 견고하게 고정되므로, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 안정적이고 정확하게 이적재할 수 있다.A pair of the fixing pins 250 may be provided on the slide unit 240 , and a pair of the guide units 120 may be provided on each shelf 110 . Since the guide units 120 can stably fix the fixing pins 250 , the slide unit 240 can be firmly fixed. Since the slide unit 240 is firmly fixed, the carrier 10 can be stably and accurately loaded onto the shelves 110 .

또한, 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(240)에 고정되면, 상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 이적재하기 위해 상기 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들을 향해 상기 전후 방향을 따라 이동시킬 수 있다. In addition, when the fixing pin 250 is fixed to the guide unit 240 , the slide unit 240 includes the lifting unit 260 and the The hand unit 270 may be moved in the front-rear direction toward the shelves 110 .

상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 슬라이드 유닛(240) 자체를 상기 전후 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부 및 상기 승강 유닛(260)과 상기 핸드 유닛(270)을 상기 전후 방향으로 이동시키기 위한 제2 구동부를 포함할 수 있다. The slide unit 240 includes a first driving unit for moving the slide unit 240 itself in the front-rear direction, and a second driving unit for moving the lifting unit 260 and the hand unit 270 in the front-rear direction. may include

이와 달리 상기 제1 구동부가 상기 호이스트 유닛(230)의 상기 연결부(231)에 구비되어 상기 슬라이드 유닛(240)을 상기 전후 방향으로 이동시킬 수도 있다. Alternatively, the first driving part may be provided in the connection part 231 of the hoist unit 230 to move the slide unit 240 in the front-rear direction.

상기 연결부와 상기 슬라이드 유닛(240) 사이 및 상기 슬라이드 유닛(240)과 상기 승강 유닛(260) 사이에는 LM 가이드가 각각 구비되어 상기 슬라이드 유닛(240)과 상기 승강 유닛(260)의 상기 전후 방향 이동을 가이드할 수 있다. LM guides are respectively provided between the connection part and the slide unit 240 and between the slide unit 240 and the elevating unit 260 to move the slide unit 240 and the elevating unit 260 in the front-rear direction. can guide you.

상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 상기 상하 방향을 따라 승강시킨다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)이 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 안착하거나, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)으로부터 들어 올릴 수 있다. The lifting unit 260 raises and lowers the hand unit 270 in the vertical direction. Accordingly, the hand unit 270 may seat the carrier 10 on the shelf 110 or lift the carrier 10 from the shelf 110 .

상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 승강하기 위해 볼스크류 및 회전 모터, 리니어 모터, 실린더 등을 포함할 수 있다. The elevating unit 260 may include a ball screw, a rotary motor, a linear motor, a cylinder, and the like to elevate the hand unit 270 .

상기 핸드 유닛(270)은 상기 캐리어(10)를 고정한다. 상기 핸드 유닛(270)은 포크인 것이 바람직하나, 그리퍼(Gripper)나 로봇암일 수도 있다. The hand unit 270 fixes the carrier 10 . The hand unit 270 is preferably a fork, but may be a gripper or a robot arm.

일 예로, 상기 캐리어(10)가 상기 풉(FOUP)이나 상기 레티클 포드인 경우, 상기 핸드 유닛(270)은 상기 풉(FOUP)이나 상기 레티클 포드에 구비된 플랜지를 고정할 수 있다. For example, when the carrier 10 is the FOUP or the reticle pod, the hand unit 270 may fix a flange provided in the FOUP or the reticle pod.

이와 달리 상기 캐리어(10)가 상기 포스비(FOSB)나 상기 매거진인 경우, 상기 핸드 유닛(270)은 상기 포스비(FOSB)나 상기 매거진의 하부면을 고정할 수 있다. On the other hand, when the carrier 10 is the FOSB or the magazine, the hand unit 270 may fix the lower surface of the FOSB or the magazine.

상기 고정핀(250)이 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)에 구비된 상기 가이드 유닛(120)에 고정되는 경우, 상기 슬라이드 유닛(240)의 하방에 구비된 상기 핸드 유닛(270)이 상기 슬라이드 유닛(240)의 상방으로 이동할 수 없다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)으로 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 이적재할 수 없다. When the fixing pin 250 is fixed to the guide unit 120 provided on the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred, the hand unit provided below the slide unit 240 . 270 cannot move upwards of the slide unit 240 . Accordingly, the carrier 10 cannot be loaded onto the shelf 110 by the hand unit 270 .

상기 고정핀(250)이 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)과 인접한 상방의 상기 선반(110)에 구비된 상기 가이드 유닛(120)에 고정될 수 있다. 상기 슬라이드 유닛(240)의 하방에 구비된 상기 핸드 유닛(270)이 자유롭게 승강할 수 있으므로, 상기 핸드 유닛(270)으로 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 이적재할 수 있다. The fixing pin 250 may be fixed to the guide unit 120 provided on the shelf 110 adjacent to the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred. Since the hand unit 270 provided below the slide unit 240 can freely move up and down, the carrier 10 can be loaded onto the shelf 110 using the hand unit 270 .

상기 캐리어(10)는 상기 호이스트 유닛(230)에 의해 승강하고, 상기 슬라이드 유닛(240)에 의해 상기 전후 방향으로 이동하므로, 상기 캐리어(10)가 상기 선반(110)들에 직접 이적재될 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들에 신속하게 이적재할 수 있다. Since the carrier 10 is raised and lowered by the hoist unit 230 and moved in the front-rear direction by the slide unit 240 , the carrier 10 can be directly loaded onto the shelves 110 . have. Accordingly, the carrier transport apparatus 300 can quickly transfer the carriers 10 to the shelves 110 .

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 각 선반(110)에는 상기 캐리어(10)의 적재 여부를 감지할 수 있는 센서가 구비되고, 상기 센서로부터 상기 선반(110)들의 상기 캐리어 적재 여부에 대한 정보를 획득할 수 있다. Although not shown in detail, each shelf 110 is provided with a sensor capable of detecting whether the carrier 10 is loaded, and information on whether the carrier 10 is loaded on the shelves 110 is obtained from the sensor. can

상기 각 선반(110) 또는 상기 비히클(200)에는 상기 캐리어(10)에 표시된 인식 부호를 확인하기 위한 리더기가 구비되고, 상기 리더로부터 상기 선반(110)들에 적재된 상기 캐리어(10)에 대한 정보를 획득할 수 있다. Each shelf 110 or the vehicle 200 is provided with a reader for confirming the identification code displayed on the carrier 10, and the reader for the carrier 10 loaded on the shelves 110 information can be obtained.

상기 정보에 따라 상기 비히클(200)이 상기 캐리어(10)들을 이적재하므로, 상기 캐리어(10)들의 이적재 공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. Since the vehicle 200 transfers and loads the carriers 10 according to the information, it is possible to improve the accuracy of the transfer and load process of the carriers 10 .

상기 스토커(100)는 상기 각 선반(110)들의 후면에 반사부(130)들을 더 포함할 수 있다. The stocker 100 may further include reflection units 130 on the rear surface of each shelf 110 .

상기 반사부(130)들은 상기 각 선반(110)들의 후면 중앙에 배치되거나, 상기 각 선반(110)에 상기 캐리어(10)가 적재된 상태에서 노출되도록 상기 각 선반(110)들의 후면 일측에 배치될 수 있다. The reflectors 130 are disposed at the center of the rear surface of each shelf 110 , or disposed on one rear side of each shelf 110 to be exposed while the carrier 10 is loaded on each shelf 110 . can be

상기 비히클(200)은 티칭용 센서(280)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 티칭용 센서(280)는 상기 핸드 유닛(270)에 구비될 수 있다. The vehicle 200 may further include a sensor 280 for teaching. For example, the teaching sensor 280 may be provided in the hand unit 270 .

상기 핸드 유닛(270)이 상기 각 선반(110)들과 마주한 상태에서 상기 티칭용 센서(280)는 상기 반사부(130)들을 향해 광을 조사하고, 상기 반사부(130)들에서 반사되는 반사광을 수신하여 상기 각 선반(110)들의 위치를 티칭할 수 있다. In a state where the hand unit 270 faces each of the shelves 110 , the teaching sensor 280 irradiates light toward the reflection units 130 , and the reflected light reflected from the reflection units 130 . can be received to teach the positions of the respective shelves 110 .

상기 비히클(200)의 주행 및 상기 호이스트 유닛(230)의 승강에 따라 상기 반사부(130)들과 상기 티칭용 센서(280)를 이용하여 상기 각 선반(110)들의 위치를 모두 티칭할 수 있다. 그러므로, 상기 각 선반(110)들의 티칭 결과를 이용하여 상기 비히클(200)이 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들에 안정적으로 적재하거나, 상기 선반(110)들로부터 상기 캐리어(10)들을 안정적으로 이재할 수 있다. According to the driving of the vehicle 200 and the elevation of the hoist unit 230, all positions of the shelves 110 can be taught using the reflectors 130 and the teaching sensor 280. . Therefore, the vehicle 200 stably loads the carriers 10 on the shelves 110 using the teaching result of each shelf 110 , or the carrier 10 from the shelves 110 . can be transferred stably.

도 6 내지 도 9는 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이적재 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.6 to 9 are side views for explaining a carrier transfer method using the carrier transport apparatus shown in FIG. 1 .

도 6을 참조하면, 주행 레일(20)을 따라 주행하며 캐리어(10)를 이송하는 비히클(200)에서 호이스트 유닛(230)이 핸드 유닛(270)과 슬라이드 유닛(240)을 하강시킨다. Referring to FIG. 6 , the hoist unit 230 lowers the hand unit 270 and the slide unit 240 in the vehicle 200 that travels along the traveling rail 20 and transports the carrier 10 .

구체적으로, 상기 비히클(200)이 스토커(100)와 인접하면, 주행 유닛(210)이 정지한다. 이후, 상기 호이스트 유닛(230)이 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(240)을 하강시킨다. 이때 상기 슬라이드 유닛(240)에 구비된 고정핀(250)이 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)과 인접한 상방의 상기 선반(110)에 구비된 상기 가이드 유닛(120)과 동일한 높이에 위치할 수 있다. Specifically, when the vehicle 200 is adjacent to the stocker 100 , the traveling unit 210 stops. Thereafter, the hoist unit 230 lowers the hand unit 270 and the slide unit 240 . At this time, the guide unit 120 provided in the upper shelf 110 adjacent to the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred and loaded with the fixing pin 250 provided in the slide unit 240 and They may be located at the same height.

도 7을 참조하면, 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)들 중 하나에 고정되도록 상기 슬라이드 유닛(240)을 상기 선반(110)들을 향해 이동시킨다. Referring to FIG. 7 , the slide unit 240 is moved toward the shelves 110 so that the fixing pin 250 is fixed to one of the guide units 120 .

구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 선반들(110)을 향해 전후 방향으로 이동하면서 상기 고정핀(250)이 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)과 인접한 상방의 상기 선반(110)에 구비된 상기 가이드 유닛(120)에 고정된다. Specifically, as the slide unit 240 moves in the front-rear direction toward the shelves 110 , the fixing pin 250 is positioned above the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred and loaded. It is fixed to the guide unit 120 provided on the shelf 110 .

상기 고정핀(250)은 상기 가이드 유닛(120)의 수용홈(122)에 삽입되어 고정될 수 있다. 이때, 상기 수용홈(122)의 입구에 배치된 제1 센서(125)로 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 진입하는 것을 감지한다. 또한, 상기 수용홈(122)의 내부에 배치된 제2 센서(126)로 상기 수용홈(122)에 수용된 상기 고정핀(250)이 정위치인지 여부를 감지한다. 즉, 상기 제2 센서(126)로 상기 고정핀(250)이 상기 수용홈(122)에 정상적으로 삽입되었는지 여부를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)에 정확하게 고정되었는지를 확인할 수 있다. The fixing pin 250 may be inserted and fixed in the receiving groove 122 of the guide unit 120 . At this time, the first sensor 125 disposed at the entrance of the receiving groove 122 detects that the fixing pin 250 enters the receiving groove 122 . In addition, the second sensor 126 disposed inside the receiving groove 122 detects whether the fixing pin 250 accommodated in the receiving groove 122 is in the correct position. That is, it is possible to detect whether the fixing pin 250 is normally inserted into the receiving groove 122 with the second sensor 126 . Accordingly, it can be confirmed whether the fixing pin 250 is correctly fixed to the guide unit 120 .

상기 고정핀(250)이 상기 가이드 핀(120)에 고정되므로, 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 호이스트 유닛(230)에 의해 하강한 상태에서도 상기 슬라이드 유닛(240)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. Since the fixing pin 250 is fixed to the guide pin 120 , it is possible to prevent the slide unit 240 from shaking even when the slide unit 240 is lowered by the hoist unit 230 .

상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)에 고정되면 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들을 향해 이동시킨다. When the fixing pin 250 is fixed to the guide unit 120 , the hand unit 270 is moved toward the shelves 110 to transfer and load the carrier 10 on the shelves 110 .

구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들을 향해 상기 전후 방향을 따라 이동시킬 수 있다. Specifically, the slide unit 240 may move the lifting unit 260 and the hand unit 270 toward the shelves 110 in the front-rear direction.

이후, 상기 승강 유닛(260)으로 상기 핸드 유닛(270)을 승강시켜 상기 캐리어(10)를 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)에 이적재할 수 있다.Thereafter, the hand unit 270 may be lifted by the lifting unit 260 to load the carrier 10 onto the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred.

구체적으로, 상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 상기 상하 방향을 따라 승강시킨다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)이 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 안착하거나, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)으로부터 들어 올릴 수 있다. Specifically, the lifting unit 260 raises and lowers the hand unit 270 in the vertical direction. Accordingly, the hand unit 270 may seat the carrier 10 on the shelf 110 or lift the carrier 10 from the shelf 110 .

상기 슬라이드 유닛(240)이 견고하게 고정되므로, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 안정적이고 정확하게 이적재할 수 있다.Since the slide unit 240 is firmly fixed, the carrier 10 can be stably and accurately loaded onto the shelves 110 .

도 8을 참조하면, 상기 핸드 유닛(270)과 함께 상기 슬라이드 유닛(240)을 상기 선반(110)들로부터 멀어지도록 상기 전후 방향으로 이동시킨다. Referring to FIG. 8 , the slide unit 240 together with the hand unit 270 is moved in the front-rear direction to move away from the shelves 110 .

구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(240)은 상기 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들로부터 멀어지도록 상기 전후 방향을 따라 이동시킬 수 있다. Specifically, the slide unit 240 may move the lifting unit 260 and the hand unit 270 in the front-rear direction to move away from the shelves 110 .

이후, 상기 슬라이드 유닛(240)이 상기 선반들(110)로부터 멀어지도록 상기 전후 방향으로 이동한다. 따라서, 상기 고정핀(250)이 상기 가이드 유닛(120)으로부터 이탈되어 상기 고정핀(250)과 상기 가이드 유닛(120)의 고정이 해제될 수 있다. Thereafter, the slide unit 240 moves in the front-rear direction to move away from the shelves 110 . Accordingly, the fixing pin 250 is separated from the guide unit 120 , so that the fixing of the fixing pin 250 and the guide unit 120 may be released.

도 9를 참조하면, 상기 호이스트 유닛(230)으로 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(240)을 상승시킬 수 있다. Referring to FIG. 9 , the hand unit 270 and the slide unit 240 may be raised by the hoist unit 230 .

구체적으로, 상기 호이스트 유닛(230)이 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(240)을 상승시켜 프레임 유닛(220)의 내부에 위치시킨다. Specifically, the hoist unit 230 raises the hand unit 270 and the slide unit 240 to be positioned inside the frame unit 220 .

이후, 상기 비히클(200)이 상기 주행 레일(20)을 따라 주행할 수 있다. Thereafter, the vehicle 200 may travel along the traveling rail 20 .

상술한 바와 같이, 상기 캐리어를 상기 호이스트 유닛으로 하강시킨 후 상기 슬라이드 유닛으로 상기 선반들을 향해 이송하므로, 상기 캐리어 이송 장치는 상기 캐리어들을 상기 선반들에 직접 이적재할 수 있다. 상기 캐리어들의 이적재를 위한 로드 포트 및 상기 선반들과 상기 로드 포트 사이에서 상기 캐리어들을 이송하는 이송 로봇이 불필요하므로, 상기 스토커의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 캐리어들을 신속하게 이적재할 수 있다. As described above, since the carrier is lowered to the hoist unit and then transferred to the shelves by the slide unit, the carrier transfer device can directly transfer the carriers to the shelves. Since a load port for loading and unloading the carriers and a transport robot for transporting the carriers between the shelves and the load port are unnecessary, the structure of the stocker can be simplified, and the carriers can be loaded and unloaded quickly. .

또한, 상기 고정핀이 상기 가이드 유닛들에 의해 지지되므로 상기 슬라이드 유닛이 하강한 상태에서 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 상기 캐리어들의 이적재가 안정적으로 이루어질 수 있다. In addition, since the fixing pin is supported by the guide units, it is possible to prevent the slide unit from shaking in a lowered state, and the loading and unloading of the carriers can be made stably.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 선반
120 : 가이드 유닛 121 : 가이드 부재
122 : 수용홈 123 : 가이드 롤러
124 : 센서 125 : 제1 센서
126 : 제2 센서 130 : 반사부
200 : 비히클 210 : 주행 유닛
220 : 프레임 유닛 230 : 호이스트 유닛
231 : 연결부 233 : 벨트
235 : 승강 구동부 240 : 슬라이드 유닛
250 : 고정핀 260 : 승강 유닛
270 : 핸드 유닛 280 : 티칭용 센서
300 : 캐리어 이송 장치 10 : 캐리어
20 : 이송 레일 30 : 천장100: stocker 110: shelf
120: guide unit 121: guide member
122: receiving groove 123: guide roller
124: sensor 125: first sensor
126: second sensor 130: reflector
200: vehicle 210: driving unit
220: frame unit 230: hoist unit
231: connection 233: belt
235: elevating driving unit 240: slide unit
250: fixing pin 260: elevating unit
270: hand unit 280: sensor for teaching
300: carrier transport device 10: carrier
20: transfer rail 30: ceiling

Claims (14)

주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클; 및
상기 주행 레일에 인접하도록 배치되며, 상기 캐리어를 보관하기 위한 다수의 선반들과, 상기 선반들에 각각 구비되는 가이드 유닛들을 스토커를 포함하고,
상기 비히클은,
상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 유닛;
상기 주행 유닛에 연결되며, 승강 가능하도록 구비되는 호이스트 유닛;
상기 캐리어를 고정하는 핸드 유닛; 및
상기 선반들을 향해 돌출되는 고정핀이 상기 가이드 유닛들에 고정되도록 상기 호이스트 유닛에 상기 선반들을 향해 이동 가능하도록 구비되고, 상기 고정핀이 상기 가이드 유닛에 고정되면 상기 캐리어를 상기 선반들에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 상기 선반들을 향해 이동시키는 슬라이드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.a vehicle that travels along the traveling rail and transports the carrier; and
It is disposed adjacent to the traveling rail, and includes a plurality of shelves for storing the carrier, and a stocker for guide units respectively provided on the shelves,
The vehicle is
a traveling unit provided to travel along the traveling rail;
a hoist unit connected to the traveling unit and provided to be able to ascend and descend;
a hand unit for fixing the carrier; and
The fixing pins protruding toward the shelves are provided on the hoist unit to be movable toward the shelves so that they are fixed to the guide units, and when the fixing pins are fixed to the guide units, the carrier is loaded onto the shelves and a slide unit for moving the hand unit toward the shelves. 제1항에 있어서, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 고정핀을 수용하는 수용홈을 갖는 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.According to claim 1, wherein each of the guide units carrier transport device, characterized in that it comprises a guide member having a receiving groove for accommodating the fixing pin. 제2항에 있어서, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 수용홈의 내부에 구비되며 상기 고정핀의 이동을 가이드하는 가이드 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.[Claim 3] The carrier transport apparatus according to claim 2, wherein each of the guide units further comprises guide rollers provided inside the receiving groove and guiding the movement of the fixing pin. 제3항에 있어서, 상기 가이드 롤러들은 상기 수용홈의 하부면 및 상부면에 각각 구비되고, 상기 고정핀의 하부면과 상부면을 각각 지지하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. [4] The carrier transport apparatus according to claim 3, wherein the guide rollers are respectively provided on a lower surface and an upper surface of the accommodating groove, and respectively support the lower surface and the upper surface of the fixing pin. 제2항에 있어서, 상기 각 가이드 유닛들은 상기 수용홈의 내부에 구비되며, 상기 고정핀을 감지하기 위한 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. [3] The carrier transport apparatus according to claim 2, wherein each of the guide units is provided in the receiving groove and further comprises a sensor for detecting the fixing pin. 제5항에 있어서, 상기 센서는,
상기 수용홈의 입구에 배치되며, 상기 고정핀의 진입을 감지하기 위한 제1 센서; 및
상기 수용홈의 내부에 배치되며, 상기 수용홈에 수용된 상기 고정핀의 정위치 여부를 감지하는 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 감지 장치. According to claim 5, wherein the sensor,
a first sensor disposed at the entrance of the receiving groove and configured to detect the entry of the fixing pin; and
Carrier transport detection device disposed in the receiving groove, characterized in that it further comprises a second sensor for detecting whether the correct position of the fixing pin accommodated in the receiving groove. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛은 상기 캐리어의 플랜지를 고정하는 포크인 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. [2] The carrier transport apparatus according to claim 1, wherein the hand unit is a fork for fixing a flange of the carrier. 제1항에 있어서, 상기 비히클은, 상기 슬라이드 유닛에 구비되며, 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 승강시키는 승강 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The carrier transport apparatus of claim 1, wherein the vehicle further comprises an elevating unit provided in the slide unit and elevating the hand unit in order to load the carrier onto the shelf. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛과 상기 슬라이드 유닛의 흔들림을 안정적으로 방지하기 위해 상기 고정핀은 한 쌍이 구비되며,
상기 한 쌍의 고정핀들을 수용하기 위해 상기 가이드 유닛들은 상기 각 선반들에 한 쌍씩 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The method of claim 1, wherein a pair of fixing pins are provided to stably prevent shaking of the hand unit and the slide unit,
In order to accommodate the pair of fixing pins, the guide units are provided in pairs on the respective shelves. 제1항에 있어서, 상기 가이드 유닛들은 상기 각 선반들의 상부면 또는 하부면에 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.The carrier transport apparatus according to claim 1, wherein the guide units are provided on an upper surface or a lower surface of each of the shelves. 제10항에 있어서, 상기 고정핀은 상기 캐리어를 이적재하기 위한 상기 선반과 인접한 상방의 상기 선반에 구비된 상기 가이드 유닛에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. 11. The carrier transport apparatus of claim 10, wherein the fixing pin is supported by the guide unit provided on the shelf adjacent to the shelf for loading and unloading the carrier. 주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클에서 호이스트 유닛이 핸드 유닛과 슬라이드 유닛을 하강시키는 단계;
상기 슬라이드 유닛으로부터 스토커에 구비된 다수의 선반들을 향해 돌출되는 고정핀이 상기 각 선반들에 각각 구비된 가이드 유닛들 중 하나에 고정되도록 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들을 향해 슬라이딩시키는 단계;
상기 고정핀이 상기 가이드 유닛에 고정되면 상기 캐리어를 상기 선반들에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 상기 선반들을 향해 이동시키는 단계; 및
상기 슬라이드 유닛에 구비된 승강 유닛으로 상기 캐리어를 고정하는 상기 핸드 유닛을 승강시켜 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이적재 방법.lowering the hand unit and the slide unit by the hoist unit in the vehicle that travels along the traveling rail and transports the carrier;
sliding the slide unit toward the shelves so that a fixing pin protruding from the slide unit toward the plurality of shelves provided in the stocker is fixed to one of the guide units provided on the respective shelves;
when the fixing pin is fixed to the guide unit, moving the hand unit toward the shelves to transfer the carrier to the shelves; and
and lifting the hand unit for fixing the carrier with an elevating unit provided in the slide unit to load the carrier onto the shelf. 제12항에 있어서, 상기 캐리어를 이적재하는 단계 이후에,
상기 핸드 유닛과 함께 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들로부터 멀어지도록 이동시키는 단계; 및
상기 호이스트 유닛으로 상기 핸드 유닛과 상기 슬라이드 유닛을 상승시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이적재 방법. According to claim 12, After the step of loading the carrier,
moving the slide unit together with the hand unit away from the shelves; and
Carrier loading and unloading method characterized in that it further comprises the step of raising the hand unit and the slide unit with the hoist unit. 제12항에 있어서, 상기 슬라이드 유닛을 상기 선반들을 향해 슬라이딩시키는 단계에서, 상기 가이드 유닛에 포함된 가이드 부재의 수용홈의 입구에 배치된 제1 센서로 상기 고정핀의 진입을 감지하고, 상기 수용홈의 내부에 배치된 제2 센서로 상기 수용홈에 수용된 상기 고정핀의 정위치 여부를 감지하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이적재 방법. According to claim 12, In the step of sliding the slide unit toward the shelves, the first sensor disposed at the entrance of the receiving groove of the guide member included in the guide unit to detect the entry of the fixing pin, the receiving A carrier transfer and loading method, characterized in that the second sensor disposed inside the groove detects whether the fixing pin accommodated in the receiving groove is in the correct position.
KR1020200076733A 2020-06-23 2020-06-23 Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same KR20210158237A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200076733A KR20210158237A (en) 2020-06-23 2020-06-23 Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200076733A KR20210158237A (en) 2020-06-23 2020-06-23 Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210158237A true KR20210158237A (en) 2021-12-30

Family

ID=79178649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200076733A KR20210158237A (en) 2020-06-23 2020-06-23 Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210158237A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101436764B1 (en) Plate-shaped member transfer facility
KR100640105B1 (en) Automated guided vehicle, automated guided vehicle system and wafer conveyance method
KR101350252B1 (en) Article storage facility
KR100880462B1 (en) Probing apparatus and probing method
KR102259283B1 (en) Object transport apparatus
KR101770161B1 (en) Tray transferring apparatus
JP4166813B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
KR20190047900A (en) Stoker
CN110235235B (en) Bridge type conveying vehicle system and teaching unit
KR20070109934A (en) Processing apparatus
KR20220058223A (en) Carriage robot and tower lift including the same
KR20200100982A (en) Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
KR102020227B1 (en) Apparatus and method for transferring carrier
KR102294887B1 (en) Apparatus for transferring articles
KR20220023462A (en) Rail alignment unit and Vehicle maintenance apparatus having the same
KR20210158241A (en) Guiding structure of hoist unit and apparatus for transferring carriers having the same
KR20210158237A (en) Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same
KR20210025353A (en) Hand unit, vehicle having the same, and method of fixing object using the same
KR101940017B1 (en) Tray transferring apparatus
KR20220057738A (en) Unit for detecting position of vehicle and overhead hoist transport having the same
KR20220093819A (en) Hand unit and vehicle having the same
KR20190072407A (en) Transfer facility, transfer method
KR20210144439A (en) Shelf unit and carrier transferring apparatus having the same
KR102246806B1 (en) Apparatus for transferring a carrier
KR20210133446A (en) Apparatus for transferring articles