KR20190072407A - Transfer facility, transfer method - Google Patents

Transfer facility, transfer method Download PDF

Info

Publication number
KR20190072407A
KR20190072407A KR1020180141463A KR20180141463A KR20190072407A KR 20190072407 A KR20190072407 A KR 20190072407A KR 1020180141463 A KR1020180141463 A KR 1020180141463A KR 20180141463 A KR20180141463 A KR 20180141463A KR 20190072407 A KR20190072407 A KR 20190072407A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
fork
unit
article
conveyor
Prior art date
Application number
KR1020180141463A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102535626B1 (en
Inventor
히로시 사카타
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20190072407A publication Critical patent/KR20190072407A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102535626B1 publication Critical patent/KR102535626B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Abstract

The present invention relates to a transfer facility (10) transferring a cassette (90) between a fork unit (40) and a transfer unit (20), comprising a pusher (25) restricting a position of the cassette (90) on an installation surface (41a) of the fork unit (40), wherein the fork unit (40) is provided with a floating unit (50) on the installation surface (41a), the floating unit (50) has a structure supported as an actuation unit (52) provided with a support unit (51) for supporting and installing an object capable of freely moving in a horizontal direction with respect to a fixation unit (53), the cassette (90) is supported at the support unit (51) for supporting and installing the object and enables the actuation unit (52) to move horizontally with respect to the fixation unit (53), and the pusher (25) restricts the position of the cassette (90) to determine the position of the cassette (90). The present invention enhances the efficiency in transferring the object between the fork unit (40) and transfer unit (20).

Description

이송 설비, 이송 방법{TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}{TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}

본 발명은, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송를 행하는 이송 설비에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying device for conveying an article between a first conveying device that places an article and moves out and forth in a horizontal direction and a second conveying device that supports an upper portion of the article to move up and down in a vertical direction.

상기 이송 설비로서는, 예를 들면, 처리 장치인 챔버에 기판을 수용한 카세트(물품)를 이송하는 설비가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이송 설비에 있어서는, 반송대차 유닛에 의해서 반송되는 카세트를 카세트 반송 유닛(제1 이송기)이 설비 내로 반입하고, 카세트 반송 유닛에 의해 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛(제2 이송기)이 챔버로 반입한다. 혹은 챔버로 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛이 반출하고, 카세트 이송 유닛이 반송하는 카세트를 카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛에 이송한다.As the transfer facility, there is, for example, a facility for transferring a cassette (article) containing a substrate in a chamber which is a processing apparatus (see, for example, Patent Document 1). In the transfer facility of Patent Document 1, the cassette conveying unit (first conveying machine) carries the cassette conveyed by the conveyance truck unit into the facility, and the cassette conveyed by the cassette conveying unit is conveyed to the cassette conveying unit ) Into the chamber. Or the cassette carried in the chamber is taken out by the cassette transfer unit and the cassette carried by the cassette transfer unit is transferred to the transfer bogie unit by the cassette transfer unit.

카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로부터 이송한 카세트는, 카세트 이송 유닛에 의해서 챔버로 반입되기 전에, 챔버의 위쪽에 마련되는 수하대(荷受台)에 놓인다. 마찬가지로, 카세트 이송 유닛이 챔버로부터 반출한 카세트는, 카세트 반송 유닛에 의해서 반송대차 유닛에 이송되기 전에 수하대에 놓인다.The cassette conveyed by the cassette conveying unit from the conveyance balancing unit is placed on a receiving stand provided above the chamber before being conveyed to the chamber by the cassette conveying unit. Likewise, the cassette carried out of the cassette transporting unit by the cassette is placed in the transporting position by the cassette transporting unit before being transported to the transporting carriage unit.

카세트 이송 유닛은, 카세트를 위쪽으로부터 파지하여 승강 이동시키는 것에 의해, 수하대에 놓인 카세트를 챔버로 반입하고, 혹은 챔버로부터 반출한 카세트를 수하대로 반입한다.The cassette transfer unit holds the cassette from above and moves the cassette upward and downward to carry the cassette placed in the receiving chamber into the chamber or carry the cassette carried out from the chamber to the receiving chamber.

한국등록특허공보 제10－1511963호Korean Patent Registration No. 10-1511963

그렇지만, 상기와 같은 이송 설비에 있어서는, 카세트(물품)를 카세트 반송 유닛(제1 이송기)과 카세트 이송 유닛(제2 이송기) 사이에서 이송할 때에, 이송 도중에, 일단 카세트(물품)를 수하대에 놓이는 동작이 필요하게 된다. 또, 카세트 이송 유닛(제2 이송기)이 카세트(물품)를 파지하여 승강 이동시킬 때에, 카세트(물품)가 수하대에 간섭하기 때문에, 수하대와의 간섭을 피하기 위해서, 카세트(물품)를 선회시키는 등의 동작이 필요하게 된다. 그 때문에, 카세트 반송 유닛(제1 이송기)과 카세트 이송 유닛(제2 이송기) 사이의 카세트(물품)의 이송에 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다.However, in the above transporting facility, when the cassette (article) is transported between the cassette transport unit (first transport device) and the cassette transport unit (second transport device), the cassette An operation to be placed on the downstream side is required. Further, when the cassette transfer unit (second transfer device) grasps the cassette (article) and moves it up and down, the cassette (article) interferes with the submergence period. Therefore, in order to avoid interference with the submergence, It is necessary to perform an operation such as turning. Therefore, there is a problem that it takes time to transfer the cassette (article) between the cassette transport unit (first transport device) and the cassette transport unit (second transport device).

그래서, 본 발명은, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이의 물품의 이송를 효율 좋게 행하는 것이 가능한 이송 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a conveying facility capable of efficiently conveying articles between a first conveying unit that places an article and moves in a horizontal direction in a horizontal direction, and a second conveying unit that supports an upper portion of the article to move up and down in a vertical direction .

본 발명의 해결 하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.The problems to be solved by the present invention are as follows. Means for solving the problems will be described below.

즉, 본 발명의 이송 설비는, 물품을 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송를 행하는 이송 설비로서, 상기 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품의 측면에 당접하여 상기 장착면에 있어서의 상기 물품의 위치 규제를 행하는 위치 규제 장치를 구비하고, 상기 제1 이송기는, 그의 장착면 상에 플로팅 유닛을 구비하고, 상기 플로팅 유닛은, 물품 장착 지지용의 지지부를 구비한 가동부가 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 자유롭게 받쳐서 지지되는 구조이며, 상기 물품은 상기 물품 장착 지지용의 지지부에 지지되고, 상기 가동부를 상기 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 가능하게 하며, 또한 상기 위치 규제 장치에 의해 상기 물품의 위치 규제를 행하는 것에 의해, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 물품의 위치결정이 상기 장착면 상에서 행해지는 것이다.That is, the transfer facility of the present invention is a transfer facility for transferring an article between a first conveyor for placing an article and moving it out in a horizontal direction and a second conveyor for supporting an upper portion of the article to move up and down in a vertical direction, And a position regulating device for restricting the position of the article on the mounting surface in contact with a side surface of the article placed on the mounting surface of the first conveyor, wherein the first conveying device has a floating unit Wherein the floating unit has a structure in which a movable portion having a supporting portion for mounting and supporting the article is supported and supported so as to be movable in a horizontal direction with respect to the fixed portion, the article is supported by the supporting portion for mounting and supporting the article, And the position regulating device allows the position of the article to be regulated by the position regulating device The positioning of the article relative to the elevating position of the second conveying device is performed on the mounting surface.

상기 구성에서는, 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품이, 제2 이송기의 승강 위치에 위치결정된다.In the above configuration, the article placed on the mounting surface of the first conveyor is positioned at the elevating position of the second conveyor.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 상기 제1 이송기의 위치결정을 행하는 위치결정 수단을 구비하는 것이다.The transfer facility of the present invention is provided with positioning means for positioning the first conveyor with respect to the elevated position of the second conveyor in the conveyance facility.

상기 구성에서는, 제1 이송기가 제2 이송기의 승강 위치에 위치결정된다.In the above configuration, the first conveyor is positioned at the elevation position of the second conveyor.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 물품은, 그의 상부에 상기 제2 이송기에 계지되는 계지부가 형성되는 대략 상자형 형상의 것이며, 또한 상기 계지부가 갈고리모양으로 형성되어 있는 것이다.In the transfer facility of the present invention, in the transfer facility, the article has a substantially box-like shape in which an engaging portion engaged with the second conveyor is formed on an upper portion thereof, and the engaging portion is formed in a hook shape will be.

상기 구성에서는, 갈고리모양의 계지부를 가지는 대략 상자형 형상의 물품이, 제1 이송기와 제2 이송기 사이에서 이송된다.In the above-described configuration, the substantially box-shaped article having the hook-shaped engaging portion is conveyed between the first conveying machine and the second conveying machine.

본 발명의 이송 설비에 의하면, 제1 이송기와 제2 이송기 사이의 물품의 이송를 수하대를 개재하지 않고 직접 행할 수가 있기 때문에, 이송 도중에 물품을 수하대에 놓는 동작 및 제2 이송기에 의한 물품의 승강 이동시에 물품을 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 된다. 그 때문에, 제1 이송기와 제2 이송기 사이의 물품의 이송를 효율 좋게 행할 수가 있다.According to the transfer facility of the present invention, since the transfer of the article between the first transfer device and the second transfer device can be performed directly without interposing the transfer bed, the operation of placing the article on the transfer bed during transfer and the operation of transferring the article by the second transfer device It is unnecessary to perform an operation such as turning the article at the time of ascending and descending. Therefore, the transfer of the articles between the first conveying machine and the second conveying machine can be performed efficiently.

도 1은 본 발명에 관계된 이송 설비의 평면도이다.
도 2는 같은(同) 이송 설비의 정면도이다.
도 3은 같은 이송 설비에 있어서의 플로팅 유닛의 측면 단면도이다.
도 4는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 반송대차로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 5a는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 5b는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 6은 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 7a는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 포크 유닛으로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 7b는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 포크 유닛으로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 8은 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 증착 장치의 로드 포트(load port)에 카세트를 이송할 때의 개략을 나타내는 정면 단면도이다.1 is a plan view of a transfer facility according to the present invention.
Fig. 2 is a front view of the same transfer facility.
3 is a side cross-sectional view of the floating unit in the same transfer facility.
Fig. 4 is a side cross-sectional view schematically showing a fork unit in the same conveying equipment when the cassette is taken out from the conveyance truck. Fig.
5A is a side view schematically showing the fork unit in the same conveying facility when the cassette is carried into the conveying facility.
Fig. 5B is a plan view schematically showing the fork unit in the same conveying facility when the cassette is carried into the conveying facility. Fig.
Fig. 6 is a side cross-sectional view schematically showing the fork unit in the same conveying apparatus when the cassette is carried into the conveying facility. Fig.
Fig. 7A is a side view schematically showing a case where the conveying device in the same conveying facility takes out the cassette from the fork unit; Fig.
Fig. 7B is a plan view schematically showing the conveying unit in the same conveying apparatus when the cassette is taken out from the fork unit. Fig.
8 is a front cross-sectional view schematically showing a case where a conveying device in the same conveying facility transfers a cassette to a load port of a deposition apparatus.

본 발명에 관계된 이송 설비(10)에 대해서 설명한다.The transfer facility 10 according to the present invention will be described.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 반도체 제품 혹은 액정 표시 소자 제품의 아직 완성되지 않은 제품인 기판(91)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)에 부설되는 설비이다. 이송 설비(10)는, 판모양체(板狀體)의 기판(91)을 수용한 카세트(90)(「물품」의 1예)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송하는 것이다. 이송 설비(10)에 있어서는, 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송됨과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출된 카세트(90)가 이송 설비(10)의 외부로 반출된다.As shown in Figs. 1 and 2, the transfer facility 10 is a facility to be attached to a deposition apparatus 80 that performs deposition processing on a substrate 91, which is a semiconductor product or a liquid crystal display device product, . The transfer facility 10 transfers a cassette 90 (one example of an " article ") containing a plate-shaped substrate 91 to the load port 83 of the deposition apparatus 80 . The cassette 90 brought into the transfer facility 10 is transferred to the load port 83 of the deposition apparatus 80 and is taken out from the load port 83 of the deposition apparatus 80 The cassette 90 is transported to the outside of the transfer facility 10.

이송 설비(10)에 있어서 반송되는 카세트(90)는, 그의 한쪽 측면 혹은 양측면이 개구(開口)된 대략 상자형 형상의 부재에 의해 형성된다. 카세트(90)는, 그의 내부에 복수의 기판(91)을 수용 가능하게 구성되어 있다. 카세트(90)는, 그의 상부에 후술하는 이송기(20)에 계지되는 플랜지부(92)(「계지부」의 1예)가 복수 형성되어 있다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면으로부터 돌출하여 마련되는 갈고리모양의 부재에 의해 구성된다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면의 복수 개소에 마련된다.The cassette 90 conveyed by the conveying apparatus 10 is formed by a member of a substantially box-like shape having one side or both sides thereof opened. The cassette 90 is configured to accommodate a plurality of substrates 91 therein. The cassette 90 has a plurality of flange portions 92 (one example of the " engagement portion ") which is engaged with a conveyor 20 described later on its upper portion. The flange portion 92 is constituted by a hook-shaped member protruding from the upper surface of the cassette 90. The flange portions 92 are provided at a plurality of locations on the upper surface of the cassette 90. [

이송 설비(10)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 부설되어 있다. 이송 설비(10)가 부설되는 증착 장치(80)는, 장치 전체가 장치 케이스(81)에 의해 덮여 있다. 장치 케이스(81)는, 그의 내부에 증착 장치(80)를 격납 가능한 내부 공간을 가진다. 장치 케이스(81)는, 그의 상부에, 카세트(90)를 내부로 반송하기 위한 카세트 반입구(82)가 형성되어 있다.The transfer facility 10 is laid on the upper side of the deposition apparatus 80. The entire apparatus is covered with the apparatus case 81 in the deposition apparatus 80 in which the transfer facility 10 is installed. The apparatus case 81 has an internal space in which the deposition apparatus 80 can be stored. The apparatus case 81 is provided, at its upper portion, with a cassette dispensing opening 82 for conveying the cassette 90 therein.

장치 케이스(81)는, 그의 내부 공간에 있어서 카세트(90)를 놓기 위한 로드 포트(83)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 로드 포트(83)는, 카세트 반입구(82)의 바로 밑(후술하는 이송기(20)의 바로 밑으로서, 이송기(20)에 의해서 승강하는 카세트(90)의 승강 경로 상)에 마련되어 있다.The device case 81 is provided with a load port 83 for placing the cassette 90 in its internal space. More specifically, the load port 83 is located on the up / down path of the cassette 90 which is raised / lowered by the conveyor 20 directly below the cassette inlet 82 (directly below the conveyor 20 described later) .

이송 설비(10)의 옆쪽으로서 증착 장치(80)의 위쪽에는, 카세트(90)를 이송 설비(10)에 대해서 반송하는 포크 유닛(40)(「 제1 이송기」의 1예)이 마련되어 있다. 즉, 카세트(90)는, 증착 장치(80)의 위쪽으로서, 이송 설비(10)의 옆쪽으로부터 반입 또는 반출된다.A fork unit 40 (one example of a "first conveying machine") for conveying the cassette 90 to the conveying facility 10 is provided above the deposition apparatus 80 as a side of the conveying facility 10 . That is, the cassette 90 is carried in or out from the side of the transfer facility 10 as the upper side of the deposition apparatus 80.

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓아 수평방향으로 출퇴 이동시키는 것이다. 포크 유닛(40)은, 대차(台車) 주행 레일(85)을 따라 주행하는 반송대차(86)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 이송 설비(10)로 반입한다. 또, 포크 유닛(40)은, 이송 설비(10)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.As shown in Fig. 1, the fork unit 40 places the cassette 90 to move back and forth in the horizontal direction. The fork unit 40 takes out the cassette 90 from the transporting carriage 86 running along the carriage running rail 85 and carries the cassette 90 carried out to the transporting facility 10. The fork unit 40 takes out the cassette 90 from the transfer facility 10 and transfers the taken out cassette 90 to the transfer carriage 86. [

포크 유닛(40)은, 그의 상면에 카세트(90)를 놓기 위한 장착면(41a)을 가지는 포크(41)와, 포크(41)를 수평방향으로 출퇴 이동시키기 위한 굴신식(屈伸式, bending and stretching type) 암(42)과, 굴신식 암(42)을 선회하는 선회대(43)로 주로 구성되어 있다.The fork unit 40 includes a fork 41 having a mounting surface 41a for placing the cassette 90 on its upper surface and a fork 41 for bending and stretching the fork 41 in a horizontal direction stretching type arm 42 and a swivel arm 43 that pivots the swivel type arm 42. [

포크(41)는, 카세트(90)에 놓아 이송 가능한 대략 장방(長方, 직사각형) 형상의 판으로 구성된다. 포크(41)는, 굴신식 암(42)을 굴신시키는 것에 의해서, 반송대차(86) 혹은 이송 설비(10)(이송기(20))에 대해서 출퇴 이동을 행한다.The fork 41 is constituted by a plate of a substantially rectangular shape that can be transported by being placed on the cassette 90. [ The fork 41 moves back and forth with respect to the transporting carriage 86 or the transporting facility 10 (the transporting device 20) by moving the rocking arm 42.

굴신식 암(42)은, 한 쌍의 암을 신장시키는 것에 의해, 반송대차(86)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 반출입 위치(45), 혹은 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 카세트 반출입 위치(11)까지 포크(41)를 수평 이동시킨다.The embroidery arm 42 extends the pair of arms so that the carry-out position 45 or the conveyor 20 for carrying out the carry-in or carry-out of the cassette 90 with respect to the carry- The fork 41 is horizontally moved to the cassette loading / unloading position 11 for carrying out the cassette 90 to / from the fork 41. [

도 1, 도 5a 및 도 5b에 나타내는 바와 같이, 포크(41)는, 장착면(41a)에 플로팅 유닛(50)이 마련되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 장착면(41a)에 놓이는 카세트(90)를 수평방향 전(全)방위로 이동 자유롭게 받쳐서 지지하기 위한 것이다. 플로팅 유닛(50)은, 포크(41)의 폭방향(포크(41)의 출퇴방향과 수평으로 직교하는 방향)의 양단 측에, 포크(41)의 긴쪽방향(포크의 출퇴방향)을 따라 복수개(도 1, 도 5a 및 도 5b에서는 2개씩 합계 4개) 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치된다.As shown in Figs. 1, 5A and 5B, the fork 41 is provided with the floating unit 50 on the mounting surface 41a. The floating unit 50 is for supporting the cassette 90 placed on the mounting surface 41a movably in the horizontal direction all directions. The floating unit 50 is provided with a plurality of (for example, two, three, four, three, four, three, four, three, four, (Four in total, two in Fig. 1, Fig. 5A and Fig. 5B) are arranged on the mounting surface 41a.

도 3에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)은, 포크(41)를 구성하는 프레임체(frame body)의 내부에 수납되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 카세트(90)를 놓아 지지하기 위한 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 자유롭게 받쳐서 지지되는 구조를 가진다. 플로팅 유닛(50)은, 물품 장착 지지용의 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 복수의 전동 부재(54)를 보존유지구(55)로 회전 자유롭게 보존유지하는 상태로 구비한 전동식 지지체(56)에 의해, 고정부(53)에 대해서, 수평방향의 전방위로 이동 자유롭게 또한 평면시(平面視)에서 회전 자유롭게 받쳐서 지지되어 있다.As shown in Fig. 3, the floating unit 50 is accommodated in a frame body constituting the fork 41. Fig. The floating unit 50 has a structure in which a movable portion 52 having a support portion 51 for supporting and releasing the cassette 90 is supported and supported movably in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53. [ The floating unit 50 is configured such that the movable portion 52 having the support portion 51 for supporting and supporting the article is provided with the electric motor 54 having a state in which the plurality of transmission members 54 are rotatably held by the storage / And is supported by the support body 56 so as to be freely movable in all directions in the horizontal direction and rotatably supported on the fixed portion 53 in plan view (in plan view).

전동식 지지체(56)는, 고정부(53)에 상향 상태로 구비시킨 평탄모양의 고정부측 접촉면 형성 부재(57a)와, 가동부(52)에 하향 상태로 구비시킨 평탄모양의 가동부측 접촉면 형성 부재(57b) 사이에, 복수의 전동 부재(54)를 위치시킨 상태에서, 가동부(52) 및 고정부(53)에 대해서 수평방향의 전방위로 이동 자유롭게 마련되어 있다.The electric supporting member 56 includes a flat fixed contact side surface forming member 57a provided on the fixed portion 53 in an upward state and a flat movable side contact surface forming member 57a provided on the movable portion 52 in a downward state 57b are provided movably in all directions in the horizontal direction with respect to the movable portion 52 and the fixed portion 53 in a state in which the plurality of transmission members 54 are positioned.

플로팅 유닛(50)은, 가동부(52)를 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 위치 고정시키는 위치 고정 수단(KF)과, 전동식 지지체(56)를 고정부(53)에 대해서 수평방향에 있어서의 기준 위치로 복귀 이동시키는 지지체 복귀 수단(SF)을 가진다.The floating unit 50 includes a position fixing means KF for fixing the movable portion 52 in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53 and a position fixing means KF for positioning the electric support 56 in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53 (SF) for returning to the reference position of the support member.

위치 고정 수단(KF)은, 전자석(電磁石)(58a)에 의한 자기 흡인력에 의해 가동부(52)의 고정부에 대한 수평 위치를 고정하는 고정 수단이다. 위치 고정 수단(KF)은, 고정부(53)측의 전자석(58a)과, 가동부(52)측의 강자성체(58b)를 자력에 의해 접착시키는 것에 의해, 가동부(52)의 평면시에서의 위치를 고정시킨다.The position fixing means KF is a fixing means for fixing the horizontal position of the movable portion 52 with respect to the fixed portion by the magnetic attraction force by the electromagnet (electromagnetic) 58a. The position fixation means KF is constructed such that the electromagnet 58a on the fixed portion 53 side and the ferromagnetic body 58b on the movable portion 52 side are magnetically bonded to each other so that the position of the movable portion 52 in the plane .

지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식의 복귀 수단이다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 원환모양의 전동식 지지체(56)의 지름방향 바깥쪽측에 둘레방향(周方向)으로 등 간격을 떼고 복수개의 누름 조작식의 코일 스프링(59)을 마련하고, 코일 스프링(59)의 지름방향 바깥쪽측을 고정부(53)에 위치 고정 상태로 마련한 스프링 받침구(59a)에 의해서 받치고, 전동식 지지체(56)를 지름방향 안쪽측을 향해 누름 조작하는 것에 의해서, 전동식 지지체(56)를 기준 위치로 복귀 이동시킨다.The support returning means (SF) is a resiliently biased return means using the elastic biasing force of the coil spring (59). The supporting member returning means SF is provided with a plurality of pressing operation coil springs 59 on the outer side in the radial direction of the toric electric supporting member 56 in the circumferential direction The radially outer side of the electric motor 59 is supported by a spring support 59a provided in a fixed position on the fixed portion 53 and the electric support 56 is pressed toward the radially inward side, (56) to the reference position.

도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 포크(41)는, 그의 긴쪽방향의 단부(포크(41)의 신장방향의 선단부)에, 후술하는 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합(嵌合)하는 롤러 감합부(41b)가 형성되어 있다. 롤러 감합부(41b)는, 포크(41)의 폭방향을 따라 형성되는 측면시(側面視) 오목모양(凹狀)의 긴 모양의 부재이다. 롤러 감합부(41b)는, 오목모양 부분이 아래쪽을 향한 상태로 형성되어 있다.As shown in Figs. 2 and 4, the fork 41 is fitted to a later-described positioning guide roller 26 at an end portion of the fork 41 in the elongation direction of the fork 41 And a roller engagement portion 41b is formed. The roller fitting portion 41b is a concave long member at a side surface (side view) formed along the width direction of the fork 41. [ The roller fitting portion 41b is formed with the concave portion facing downward.

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)의 양옆쪽에는, 카세트(90)를 일시적으로 보관하기 위한 버퍼 스테이션(95)이 마련되어 있다. 버퍼 스테이션(95)에는, 카세트(90)를 놓기 위한 장착대(96)가 마련되어 있다.As shown in Fig. 1, buffer units 95 for temporarily storing the cassette 90 are provided on both sides of the fork unit 40. As shown in Fig. The buffer station 95 is provided with a mounting table 96 for placing the cassette 90 thereon.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 그의 하부에, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 카세트(90)를 반출하기 위한 카세트 반출구(14)가 마련되어 있다. 카세트 반출구(14)는, 장치 케이스(81)의 카세트 반입구(82)와 연통하여 마련되어 있다.1 and 2, the transfer facility 10 is provided at its lower portion with a cassette exit port 14 for transferring the cassette 90 to the load port 83 of the deposition apparatus 80 have. The cassette dispenser 14 is provided in communication with the cassette dispenser opening 82 of the apparatus case 81.

이송 설비(10)는, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 반송부인 이송기(20)(「제2 이송기」의 1예)와, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 장착면(41a)에 놓여 있는 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 푸셔(pusher)(25)(「위치 규제 장치」의 1예)와, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 포크 유닛(40)의 포크(41)의 위치결정을 행하는 위치결정 가이드 롤러(26)(「위치결정 수단」의 1예)를 구비한다.The conveying apparatus 10 is configured to convey the conveying unit 20 (one example of the "second conveying unit") which is the conveying unit of the cassette 90 in the conveying unit 10 and the fork 41 of the fork unit 40, A pusher 25 (one example of a "position regulating device") for regulating the position of the cassette 90 placed on the mounting surface 41a of the conveyor 20 and a fork unit Positioning guide rollers 26 (one example of "positioning means") for positioning the fork 41 of the forks 40 are provided.

도 2에 나타내는 바와 같이, 이송기(20)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 카세트(90)를 포크(41)와 증착 장치(80)의 로드 포트(83) 사이에서 승강 이동시키는 것이다. 즉, 이송 설비(10)에 있어서는, 포크 유닛(40)에 의해 반송되는 카세트(90)를, 수하대 등에 일단 놓는 일 없이, 이송기(20)가 직접 포크 유닛(40)으로부터 반출함과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출되는 카세트(90)를, 수하대 등에 일단 놓는 일 없이, 이송기(20)가 직접 포크 유닛(40)에 대해서 반입한다.2, the conveyor 20 conveys or draws the cassette 90 to the fork 41 of the fork unit 40 and feeds the cassette 90 to the fork 41 And moves up and down between the load port (83) of the deposition apparatus (80). That is, in the conveying apparatus 10, the conveyor 20 is directly taken out of the fork unit 40 without placing the cassette 90 conveyed by the fork unit 40 once at the receiving stand or the like The conveyor 20 directly loads the cassette 90 carried out from the load port 83 of the deposition apparatus 80 into the fork unit 40 without placing the cassette 90 once in the receiving stand or the like.

이송기(20)는, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)의 위쪽에 마련되고, 평면시에 있어서 증착 장치(80)의 로드 포트(83)와 겹치는 위치에 배치된다. 이송기(20)는, 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된 카세트(90)를 포크(41)로부터 반출하고, 또는, 카세트 반출입 위치(11)까지 이동한 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반입한다. 이송기(20)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 있어서, 카세트(90)의 상부를 계지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 것에 의해 카세트(90)를 반송한다. 이송기(20)는, 카세트(90)를 승강 이동시키기 위한 승강 기구(21)와, 카세트(90)의 상부를 계지하기 위한 계지 기구(24)로 주로 구성되어 있다.The conveyor 20 is provided above the load port 83 of the deposition apparatus 80 and disposed at a position overlapping the load port 83 of the deposition apparatus 80 in plan view. The feeder 20 moves the cassette 90 carried to the cassette loading / unloading position 11 from the fork 41 or removes the cassette 90 from the fork 41 moved to the cassette loading / Lt; / RTI > The conveyor 20 conveys the cassette 90 by holding the upper portion of the cassette 90 up and down in the vertical direction on the upper side of the evaporation apparatus 80. The conveyor 20 is mainly composed of a lifting mechanism 21 for moving the cassette 90 up and down and a locking mechanism 24 for locking the upper portion of the cassette 90. [

승강 기구(21)는, 계지 기구(24)를 지지 프레임(22A)에 의해 매단 상태로 지지한다. 승강 기구(21)는, 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제1 승강부(22)와, 제1 승강부(22) 및 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제2 승강부(23)로 구성되어 있다. 즉, 승강 기구(21)는, 2단계의 승강 이동에 의해 카세트(90)를 승강시킨다.The lifting mechanism (21) supports the retaining mechanism (24) in a state of being supported by the supporting frame (22A). The lifting mechanism 21 includes a first lifting unit 22 for lifting and moving the lifting mechanism 24 (the cassette 90), a first lifting unit 22 and an engaging mechanism 24 (a cassette 90) And a second lifting portion 23 for lifting and moving the lifting portion 23. That is, the lifting mechanism 21 lifts and lowers the cassette 90 by the two-step up and down movement.

제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 지지 프레임(22A)과, 지지 프레임(22A)을 승강시키기 위한 볼나사(22B)와, 볼나사(22B)의 나사축(22d)을 회동(回動)하는 제1 모터(22C)로 주로 구성되어 있다.The first elevating portion 22 includes a support frame 22A for suspending the retaining mechanism 24, a ball screw 22B for lifting and lowering the support frame 22A, a screw shaft 22B And a first motor 22C that rotates the first and second motors 22a and 22d.

지지 프레임(22A)은, 정면시 역U자 모양으로 형성되는 프레임재(frame material)이다. 지지 프레임(22A)은, 그의 양단에 마련되는 한 쌍의 다리부(脚部)(22a)에 있어서 나사축(22d)을 회동 가능하게 지지하고, 한 쌍의 다리부(22a)에 가설되는 지지부(22b)에 있어서 계지 기구(24)를 매단 상태로 지지한다. 볼나사(22B)는, 나사축(22d)이 지지 프레임(22A)에 지지됨과 함께, 너트(22e)가 제2 승강부(23)에 지지된다. 제1 모터(22C)는, 지지 프레임(22A)의 양단 상부에 마련된다.The support frame 22A is a frame material formed in the inverted U-shape at the front face. The support frame 22A has a pair of leg portions 22a provided at both ends of the support frame 22A in such a manner that the screw shaft 22d is rotatably supported, And the locking mechanism 24 is supported in a state of being tucked in the locking groove 22b. The ball screw 22B is supported on the support frame 22A by the screw shaft 22d and the nut 22e is supported by the second lift part 23. [ The first motor 22C is provided on both ends of the support frame 22A.

제1 승강부(22)는, 제1 모터(22C)의 구동에 의해 나사축(22d)을 승강시킴으로써, 제2 승강부(23)에 지지되는 너트(22e)에 대해서 나사축(22d)을 승강시킨다. 이것에 의해, 나사축(22d)을 회동 가능하게 지지하는 지지 프레임(22A)이 승강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제1 승강부(22)는, 나사축(22d)의 회동에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 것으로 인해, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 미세한(섬세한) 위치맞춤을 용이하게 행할 수가 있다.The first elevating portion 22 is configured to move the screw shaft 22d upward and downward relative to the nut 22e supported by the second elevating portion 23 by moving the screw shaft 22d by driving the first motor 22C Lift. As a result, the support frame 22A, which rotatably supports the screw shaft 22d, is lifted and lowered, and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) is lifted and lowered by the lifting and lowering. The first elevating portion 22 moves the retaining mechanism 24 (the cassette 90) up and down by the rotation of the screw shaft 22d, (Delicate) positioning of the lens 90 can be easily performed.

제2 승강부(23)는, 볼나사(22B)의 너트(22e)를 승강 가능하게 가이드하는 가이드체(23A)와, 너트(22e)를 승강 이동시키는 구동 벨트(23B)와, 구동 벨트(23B)를 회동시키기 위한 제2 모터(23C)로 주로 구성되어 있다.The second lifting and lowering portion 23 includes a guide body 23A for guiding the nut 22e of the ball screw 22B to be movable up and down, a drive belt 23B for lifting and moving the nut 22e, And a second motor 23C for rotating the second motor 23B.

가이드체(23A)는, 한 쌍의 긴 모양의 부재에 의해 구성된다. 구동 벨트(23B)는, 가이드체(23A)의 상단부와 하단부 사이에 회동 가능하게 걸쳐 놓여진다. 제2 모터(23C)는 가이드체(23A)의 하단부에 마련된다.The guide body 23A is constituted by a pair of elongated members. The drive belt 23B is rotatably disposed between the upper end portion and the lower end portion of the guide body 23A. The second motor 23C is provided at the lower end of the guide body 23A.

제2 승강부(23)는, 제2 모터(23C)를 구동시켜 구동 벨트(23B)를 회동시키는 것에 의해 볼나사(22B)의 너트(22e)를 승강 이동시킨다. 이것에 의해, 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 승강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제2 승강부(23)는, 연직방향으로 연장설치(延設)되는 긴 모양의 한 쌍의 가이드체(23A) 사이에서 가이드 프레임(23A)을 승강 이동시킴으로써, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 대략적인 위치맞춤을 행한다.The second elevating part 23 moves the nut 22e of the ball screw 22B by moving the second motor 23C and rotating the drive belt 23B. As a result, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e is lifted and lowered, and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) is lifted and lowered. The second elevating portion 23 is configured to elevate and move the guide frame 23A between a pair of elongated guide bodies 23A extending in the vertical direction, The position of the cassette 90 relative to the cassette 83 is approximately aligned.

이와 같이, 승강 기구(21)는, 제2 승강부(23)에 의해 카세트(90)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 대략적인 위치까지 하강시키고, 계속해서 제1 승강부(22)에 의해 카세트(90)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 접근하는 위치까지 하강시킴으로써, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 위치맞춤을 할 수가 있다.As described above, the elevating mechanism 21 causes the cassette 90 to descend to the approximate position with respect to the load port 83 of the deposition apparatus 80 by the second elevating and lowering section 23, The positioning of the cassette 90 relative to the load port 83 of the deposition apparatus 80 is performed by lowering the cassette 90 to a position where the cassette 90 approaches the load port 83 of the deposition apparatus 80, .

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)는, 제1 승강부(22)의 지지 프레임(22A)(지지부(22b))에 의해 지지됨과 함께, 카세트(90)의 상부의 플랜지부(92)를 계지한다. 계지 기구(24)는, 카세트(90)의 계지 시에 카세트(90)와 대향하는 측에 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지하기 위한 계지부(24A)를 가진다. 계지부(24A)는, 카세트(90)의 플랜지부(92)에 대응하는 위치에 복수(도 1에 있어서는 4개) 마련되어 있다. 계지부(24A)는, 플랜지부(92)에 계지 가능한 갈고리모양의 부재에 의해 형성된다. 계지부(24A)는, 해당(當該) 갈고리모양의 부재가 소정방향으로 선회 가능하게 구성되어 있다. 계지 기구(24)는, 계지부(24A)가 플랜지부(92)를 계지하는 것에 의해 카세트(90)를 매단 상태로 지지한다.1 and 2, the locking mechanism 24 is supported by the support frame 22A (supporting portion 22b) of the first elevating portion 22 and is supported by the upper portion of the cassette 90 And engages with the supporting portion 92. The locking mechanism 24 has a locking portion 24A for locking the flange portion 92 of the cassette 90 on the side opposite to the cassette 90 when the cassette 90 is locked. A plurality of locking portions 24A are provided at positions corresponding to the flange portions 92 of the cassette 90 (four in Fig. 1). The engagement portion 24A is formed by a hook-shaped member engageable with the flange portion 92. [ The engagement portion 24A is configured such that the corresponding hook-like member can pivot in a predetermined direction. The locking mechanism 24 holds the cassette 90 in a tilted state by engaging the flange portion 92 with the lock portion 24A.

도 1 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 푸셔(25)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 장착면(41a)에 놓여 있는 카세트(90)의 위치 규제를 행하는 것이다. 푸셔(25)는, 포크(41)에 놓이는 카세트(90)의 모서리부(角部)(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접함으로써, 포크(41) 상에서의 카세트(90)의 위치를 규제한다. 푸셔(25)는, 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된 카세트(90)를, 쌍이 되는 푸셔(25)와 함께 끼워서 이루어지는 카세트(90)의 대각(對角) 위치 근방에 배치된다. 푸셔(25)는, 푸셔 본체(25A)와, 푸셔 본체(25A)에 지지되어 수평방향으로 출퇴 이동 가능한 암부(25B)를 구비한다. 암부(25B)는 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접 가능하게 구성되어 있다. 푸셔(25)는, 암부(25B)를, 쌍이 되는 푸셔(25)의 암부(25B)와 함께, 포크(41) 상의 카세트(90)의 대각 위치로부터 끼워넣도록, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접시킴으로써, 포크(41) 상의 카세트(90)의 위치를, 소정의 위치에 규제한다. 여기서, 소정의 위치란, 이송기(20)가 포크(41) 상의 카세트(90)의 자세를 보존유지한 상태에서 계지하여 승강 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))이다. 암부(25B)는, 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입할 때는, 카세트(90)를 향해 신장 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접한다. 암부(25B)는, 이송기(20)에 의해서 카세트(90)가 승강할 때에는, 카세트(90)로부터 떨어지도록 수축 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다.1 and 7B, the pusher 25 regulates the position of the cassette 90 placed on the mounting surface 41a of the fork 41 of the fork unit 40. As shown in Fig. The pusher 25 abuts on the corner portion 90A of the cassette 90 placed on the fork 41 so as to regulate the position of the cassette 90 on the fork 41, do. The pusher 25 is disposed in the vicinities of the diagonal positions of the cassette 90 formed by sandwiching the cassettes 90 carried to the cassette loading / unloading position 11 together with the pusher 25 paired. The pusher 25 has a pusher main body 25A and an arm portion 25B which is supported by the pusher main body 25A and can move back and forth in the horizontal direction. The arm portion 25B is configured to be able to contact the corner portion 90A (the side surface of the lower corner portion) of the cassette 90. [ The pusher 25 is configured such that the arm portion 25B is fitted with the arm portion 25B of the pushed pusher 25 from the diagonal position of the cassette 90 on the fork 41, The position of the cassette 90 on the fork 41 is regulated to a predetermined position by abutting the abutting portion 90A (the side face of the lower corner portion). Here, the predetermined position is a position (cassette loading / unloading position 11) at which the conveyor 20 can ascend and descend while keeping the posture of the cassette 90 on the fork 41. [ The arm portion 25B is adapted to extend and move toward the cassette 90 when the conveyor 20 moves the cassette 90 to or from the fork 41 so that the edge portion 90A of the cassette 90 ) (The side of the lower edge). When the cassette 90 is lifted and lowered by the conveyor 20, the arm portion 25B moves in a direction to avoid the lifting path of the cassette 90 by performing contraction movement so as to fall away from the cassette 90. [

도 2, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 위치결정 가이드 롤러(26)는, 포크 유닛(40)의 포크(41)의 출퇴 이동방향에 대해서 수평방향으로 직교하여 마련되는 긴 모양의 롤러이다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)까지 이동했을 때에 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합 가능한 위치에 마련된다. 위치결정 가이드 롤러(26)에, 카세트 반출입 위치(11)까지 이동한 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합함으로써, 이송기(20)가 포크(41)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하는 위치(카세트 반출입 위치(11))에, 포크(41)를 위치결정할 수가 있다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 롤러 감합부(41b)의 오목모양 부분의 형상에 맞춘 롤러 지름에 의해 구성되어 있다. 위치결정 가이드 롤러(26)는, 회동 가능하게 지지되는 회동축을 개재하여 회동한다. 위치결정 가이드 롤러(26)가 회동축을 개재하여 회동 가능하게 구성됨으로써, 위치결정 가이드 롤러(26)를 향해 이동하는 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 끌어넣어져 감합하기 쉬워진다.As shown in Figs. 2, 7A and 7B, the positioning guide roller 26 is a long-shaped roller provided orthogonally to the horizontal direction with respect to the moving direction of the fork 41 of the fork unit 40 . The positioning guide roller 26 is provided at a position where the roller fitting portion 41b of the fork 41 can engage when the fork 41 moves to the cassette loading / unloading position 11. [ The feeder 20 is moved to the position where the feeder 20 is moved relative to the fork 41 by the roller engagement portion 41b of the fork 41 moved to the cassette loading / unloading position 11 by the positioning guide roller 26, The fork 41 can be positioned at the position where the carry-out or carry-in is performed (the cassette loading / unloading position 11). The positioning guide roller 26 is constituted by a roller diameter corresponding to the shape of the concave portion of the roller fitting portion 41b. The positioning guide roller 26 rotates via a pivotally supported pivot shaft. The positioning guide roller 26 is configured to be rotatable via the rotating shaft so that the roller fitting portion 41b moving toward the positioning guide roller 26 is pulled into and engaged with the positioning guide roller 26 It gets easier.

다음에, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 이송 방법에 대하여 설명한다.Next, the conveyance method of the cassette 90 in the conveyance facility 10 will be described.

도 4에 나타내는 바와 같이, 반송대차(86)에 의해 카세트(90)가 소정의 위치까지 반송되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)에 대해서 수평 이동시키는 것에 의해 반송대차(86) 상의 카세트(90)를 포크(41) 상에 놓여 지지한다. 카세트(90)가 포크(41) 상에 놓이면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 불능인 상태로 된다.4, when the cassette 90 is conveyed to a predetermined position by the conveyance truck 86, the fork unit 40 extends the fork arm 42 to the fork 41 86 so that the cassette 90 on the transporting carriage 86 is placed on the fork 41 and supported. When the cassette 90 is placed on the fork 41, the floating unit 50 is operated (the movable part 52 becomes unable to move horizontally with respect to the fixed part 53) 41). ≪ / RTI >

도 5a, 도 5b 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)이 작동하면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 포크(41)에 놓인 상태에서 굴신식 암(42)을 굴곡 시킴과 함께 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장시켜 포크(41)를 이송 설비(10)의 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 이것에 의해, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 반송된다.5 (a), 5 (b) and 6, when the floating unit 50 is operated, the fork unit 40 rotates the bending arm 42 in a state where the cassette 90 is placed on the fork 41 With Sikkim, he turns the fork (41). The fork unit 40 extends the fork arm 42 to horizontally move the fork 41 to the cassette loading / unloading position 11 of the transfer facility 10. Thus, the cassette 90 is transported to the cassette loading / unloading position 11.

도 6, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 반송되면, 포크(41)가 하강함과 함께, 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합된다. 이것에 의해, 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)에 위치결정된다. 포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)에 위치결정되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 가능해지고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 가능한 상태로 된다. 계속해서, 푸셔(25)의 암부(25B)가 카세트(90)를 향해 신장 이동하고, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접한다. 이것에 의해, 카세트(90)의 한쪽의 대각이 한 쌍의 암부(25B)에 의해 끼워유지(挾持)된 상태로 된다.When the cassette 90 is transported to the cassette loading / unloading position 11 as shown in Figs. 6, 7A and 7B, the fork 41 is lowered and the roller fitting portion 41b of the fork 41 And is fitted to the positioning guide roller 26. [ Thus, the fork 41 is positioned at the cassette loading / unloading position 11. When the fork 41 is positioned at the cassette loading / unloading position 11, the operation of the floating unit 50 is released (the movable part 52 becomes movable in the horizontal direction with respect to the fixed part 53) Is movable on the fork 41. As shown in Fig. The arm portion 25B of the pusher 25 is extended toward the cassette 90 and contacts the edge portion 90A of the cassette 90. [ As a result, one of the diagonal angles of the cassette 90 is sandwiched and held between the pair of arm portions 25B.

푸셔(25)는, 한 쌍의 암부(25B)를 서로 신축 이동시키는 것에 의해, 카세트(90)를 사방으로 이동시킨다. 그리고, 푸셔(25)는, 카세트(90)를, 이송기(20)의 계지부(24A)(계지 기구(24))가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))까지 이동시킨다. 즉, 푸셔(25)는, 카세트(90)를 사방으로 이동시킴으로써 이송기(20)의 승강 위치에 대한 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)에 의한 카세트(90)의 위치결정이 완료하면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 포크(41) 상에서 이동 불능인 상태로 된다. 이것에 의해, 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지된다.The pusher 25 moves the cassette 90 in all directions by moving the pair of arm portions 25B to and from each other. The pusher 25 is configured so that the cassette 90 is positioned at a position at which the engaging portion 24A of the conveyor 20 (the retaining mechanism 24) can engage the flange portion 92 of the cassette 90 Position 11). That is, the pusher 25 positions the cassette 90 relative to the elevation position of the conveyor 20 by moving the cassette 90 in all directions. When the positioning of the cassette 90 by the pusher 25 is completed, the floating unit 50 is operated (the movable part 52 becomes unable to move horizontally with respect to the fixed part 53) and the cassette 90 Is forbidden to move on the fork 41. Thus, the cassette 90 is held at the cassette loading / unloading position 11.

카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지되면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 이송기(20)의 계지 기구(24)가 카세트(90)의 위쪽 위치까지 하강한다. 그리고, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정방향으로 선회함으로써, 카세트(90)의 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 의해 계지된다. 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 계지되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제된다(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평방향으로 이동 가능해진다). 이것에 의해, 카세트(90)가 이송기(20)에 의해 승강 이동 가능한 상태로 된다.When the cassette 90 is stored and held at the cassette loading / unloading position 11, the second elevating portion 23 of the conveying machine 20 is driven and the locking mechanism 24 of the conveying machine 20 is moved Lower to the upper position. The flange portion 92 of the cassette 90 is locked by the locking portion 24A when the locking portion 24A of the locking mechanism 24 is pivoted in a predetermined direction. When the flange portion 92 is engaged with the engagement portion 24A, the operation of the floating unit 50 is released (the movable portion 52 becomes movable in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53). As a result, the cassette 90 can be moved up and down by the conveyor 20.

플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되면, 포크 유닛(40)은 굴신식 암(42)을 굴곡 시켜 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어진 위치까지 수평 이동시킨다. 또, 푸셔(25)는, 암부(25B)를 카세트(90)로부터 떨어지는 방향(카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향)으로 수축 이동시킨다.When the operation of the floating unit 50 is released, the fork unit 40 bends the bending arm 42 to horizontally move the fork 41 to a position away from the cassette loading / unloading position 11. The pusher 25 contracts and moves the arm 25B in a direction in which the arm 25B is separated from the cassette 90 (a direction in which the lifting path of the cassette 90 is avoided).

포크(41) 및 암부(25B)가 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어진 위치까지 이동하면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 카세트(90)를 계지한 계지 기구(24)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)를 향해 하강한다. 구체적으로는, 제2 모터(23C)가 구동함으로써 구동 벨트(23B)가 작동하고, 구동 벨트(23B)가 작동함으로써 볼나사(22B)의 너트(22e)가 가이드체(23A)를 따라 하강한다. 그리고 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 하강하고, 그 하강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 소정 위치까지 하강한다.When the forks 41 and the arm portions 25B are moved to a position away from the cassette loading / unloading position 11, the second elevating portion 23 of the conveyor 20 is driven and the locking mechanism 24 descend toward the load port 83 of the deposition apparatus 80. [ Specifically, the second motor 23C is driven to operate the drive belt 23B, and the drive belt 23B is operated to cause the nut 22e of the ball screw 22B to descend along the guide body 23A . Then, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e descends, and the lowering of the retaining frame 22A causes the retaining mechanism 24 (the cassette 90) to descend to a predetermined position.

도 8에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)가 소정 위치까지 하강하면, 제2 승강부(23)의 구동이 정지하고, 제1 승강부(22)가 구동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송된다. 구체적으로는, 제2 모터(23C)의 구동이 정지함으로써, 제1 모터(22C)가 구동하여 볼나사(22B)의 나사축(22d)이 회동한다. 이것에 의해, 나사축(22d)을 지지하는 지지 프레임(22A)이 하강하고, 그 승강에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 하강한다.As shown in Fig. 8, when the locking mechanism 24 is lowered to a predetermined position, the driving of the second elevating portion 23 is stopped and the first elevating portion 22 is driven. Thereby, the cassette 90 which is retained by the retaining mechanism 24 is transferred to the load port 83 of the deposition apparatus 80. More specifically, when the driving of the second motor 23C is stopped, the first motor 22C is driven to rotate the screw shaft 22d of the ball screw 22B. As a result, the support frame 22A supporting the screw shaft 22d descends, and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) is lowered by raising and lowering the support frame 22A.

한편, 증착 장치(80)에 있어서 기판(91)에 대한 처리가 완료하면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지한다. 그리고, 제1 모터(22C)가 구동하여 볼나사(22B)의 나사축(22d)이 회동한다. 이것에 의해, 지지 프레임(22A)이 상승하고, 그 상승에 맞추어 계지 기구(24)가 상승하여 카세트(90)가 로드 포트(83)로부터 반출된다. 계지 기구(24)가 소정 위치까지 상승하면, 제1 모터(22C)의 구동이 정지하고, 제2 모터(23C)가 구동한다. 이것에 의해, 구동 벨트(23B)가 작동하고, 구동 벨트(23B)가 작동함으로써 볼나사(22B)의 너트(22e)가 가이드체(23A)를 따라 상승한다. 그리고, 너트(22e)를 지지하는 지지 프레임(22A)(나사축(22d))이 상승하고, 그 상승에 의해 계지 기구(24)(카세트(90))가 상승한다.On the other hand, when the processing for the substrate 91 is completed in the evaporation apparatus 80, the engagement portion 24A of the locking mechanism 24 locks the flange portion 92 of the cassette 90. [ Then, the first motor 22C is driven to rotate the screw shaft 22d of the ball screw 22B. As a result, the support frame 22A is lifted up, and the locking mechanism 24 is lifted in accordance with the upward movement, so that the cassette 90 is carried out from the load port 83. [ When the locking mechanism 24 is raised to a predetermined position, the driving of the first motor 22C is stopped and the second motor 23C is driven. As a result, the drive belt 23B operates, and the nut 22e of the ball screw 22B rises along the guide member 23A by operating the drive belt 23B. Then, the support frame 22A (screw shaft 22d) supporting the nut 22e rises, and the raising mechanism 24 (the cassette 90) rises.

계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)까지 상승하면, 포크 유닛(40)은 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 이 때, 롤러 감합부(41b)가 위치결정 가이드 롤러(26)에 감합된다.The fork unit 40 horizontally moves the fork 41 to the cassette loading / unloading position 11 when the cassette 90 held by the locking mechanism 24 is raised to the cassette loading / unloading position 11. [ At this time, the roller fitting portion 41b is engaged with the positioning guide roller 26. [

포크(41)가 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동하면, 제2 모터(23C)가 구동하여 계지 기구(24)가 하강한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 하강하여 포크(41)에 놓인다. 카세트(90)가 포크(41)에 놓이면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정방향으로 선회함으로써, 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제된다. 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제되면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓은 상태에서 포크(41)를 상승시켜 롤러 감합부(41b)와 위치결정 가이드 롤러(26)와의 감합을 해제하고, 굴신식 암(42)을 굴절시킴과 함께, 카세트(90)를 놓은 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장시켜 포크(41)를 반송대차(86)까지 수평 이동시키고, 포크(41) 상의 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.When the fork 41 horizontally moves to the cassette loading / unloading position 11, the second motor 23C is driven and the locking mechanism 24 is lowered. As a result, the cassette 90 is lowered and placed on the fork 41. When the cassette 90 is placed on the fork 41, the locking portion 24A of the locking mechanism 24 is pivoted in a predetermined direction, thereby releasing the engagement with the flange portion 92 by the locking portion 24A. The fork 41 is lifted in a state where the cassette 90 is placed and the roller attachment portion 41b and the positioning guide 41 are lifted by the locking portion 24A, The engagement with the roller 26 is released, the flexing arm 42 is deflected, and the fork 41 on which the cassette 90 is placed is turned. The fork unit 40 extends the fork 41 to the conveying carriage 86 horizontally and feeds the cassette 90 on the fork 41 to the conveying carriage 86 do.

이상과 같이, 본 발명에 관계된 이송 설비(10)는, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이의 카세트(90)의 이송를 수하대를 개재하지 않고 직접 행할 수가 있기 때문에, 이송 도중에 카세트(90)를 수하대에 놓는 동작 및 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)를 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 된다. 그 때문에, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이의 카세트(90)의 이송를 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 수하대가 불필요하게 되기 때문에, 이송 설비(10)가 설비 케이스로 덮인 것이더라도 카세트(90)의 이송를 행할 수가 있다.As described above, since the transfer facility 10 according to the present invention can carry out the transfer of the cassette 90 between the fork unit 40 and the transfer device 20 directly without interposing the transfer station, 90 in the conveying direction and the operation of turning the cassette 90 when the cassette 90 is moved up and down by the conveyor 20 becomes unnecessary. Therefore, the feeding of the cassette 90 between the fork unit 40 and the feeder 20 can be performed efficiently. In addition, since the receiving stand is unnecessary, the cassette 90 can be conveyed even if the conveying system 10 is covered with the equipment case.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)에 있어서 이송되는 물품은 카세트(90)에 한정되는 것은 아니고, 포크 유닛(40)과 이송기(20) 사이에서 이송를 행하는 것이 가능한 물품이면 상관없다.In the present embodiment, the article to be transported in the transport facility 10 is not limited to the cassette 90, and may be an article that can carry the transport between the fork unit 40 and the transport apparatus 20 .

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 상부의 갈고리모양 플랜지부(92)를 계지한 상태에서, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 이송기(20)가 카세트(90)의 측면을 파지한 상태에서 카세트(90)를 승강 이동시켜도 상관없다.In this embodiment, when the hooking flange portion 92 of the upper portion of the cassette 90 is engaged with the hooking portion 24A of the feeder 20, the feeder 20 moves the cassette 90 up and down However, the present invention is not limited to this. For example, the cassette 90 may be moved up and down while the conveyor 20 holds the side surface of the cassette 90.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)가 제1 승강부(22)와 제2 승강부(23)에 의한 2단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 승강부(22) 또는 제2 승강부(23)의 어느 것인가 한쪽만, 즉, 1단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시켜도 상관없다. 또, 제1 승강부(22)는, 볼나사(22B)를 이용하여 카세트(90)의 승강을 행하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 계지 기구(24)에 부착한 승강 벨트를 권취 및 권출함으로써 카세트(90)의 승강을 행해도 상관없다.In the present embodiment, the conveyor 20 moves the cassette 90 up and down by the two-step elevation movement by the first elevation portion 22 and the second elevation portion 23, Alternatively, only one of the first elevating portion 22 and the second elevating portion 23, that is, the elevating and lowering of the first stage, may be used to raise and lower the cassette 90. The first elevating and lowering portion 22 is configured to elevate and lower the cassette 90 by using the ball screw 22B, but the present invention is not limited thereto. The elevating and lowering belt attached to the retaining mechanism 24 may be wound and unwound So that the cassette 90 may be raised or lowered.

본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)이, 포크(41)의 폭방향의 양단부에, 포크(41)의 긴쪽방향을 따라 복수개 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치되어 있지만, 카세트(90)를 포크(41) 상에서 충분히 지지하는 것이 가능하면, 플로팅 유닛(50)의 배치 위치, 갯수는 한정되지 않는다.In the present embodiment, the floating unit 50 is disposed on the mounting surface 41a in such a state that a plurality of the floating units 50 are arranged at both end portions in the width direction of the fork 41 along the longitudinal direction of the fork 41, The position and the number of the floating unit 50 are not limited as long as the supporting unit 90 can be sufficiently supported on the fork 41. [

본 실시 형태에 있어서는, 지지체 복귀 수단(SF)을 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 자석식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다.In the present embodiment, the supporter returning means SF is constituted by the returning means of elastic urging type, but it may be constituted by the magnetic returning means.

본 실시 형태에 있어서는, 푸셔(25)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접함으로써 카세트(90)의 위치를 규제하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 측면으로서, 당접시에 카세트(90)의 위치를 규제 가능하면, 카세트(90)의 측면의 중앙부를 당접하도록 구성해도 상관없다. 또, 2개의 푸셔(25)에 의해 카세트(90)의 위치 규제를 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개, 혹은 3개 이상의 푸셔(25)에 의해 위치 규제를 행해도 상관없다.The pusher 25 restricts the position of the cassette 90 by abutting against the edge portion 90A of the cassette 90. The present invention is not limited to this, And the central portion of the side surface of the cassette 90 may be brought into contact with each other if the position of the cassette 90 can be regulated in the sugar plate. Although the position of the cassette 90 is regulated by the two pushers 25, the position of the cassette 90 is not limited to this, and the position regulation may be performed by one pusher 25 or three pushers 25 or more.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 포크 유닛(40)의 포크(41)의 위치결정을 롤러인 위치결정 가이드 롤러(26)에 의해 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지 가능한 구성이면, 예를 들면, 포크(41)의 롤러 감합부(41b)가 감합 가능한 볼록모양(突狀)의 부재에 의해 구성해도 상관없다.In the present embodiment, the fork 41 of the fork unit 40 is positioned by the positioning guide roller 26, which is a roller, with respect to the elevation position of the conveyor 20. However, the present invention is not limited thereto And the fork 41 can be held at the cassette loading / unloading position 11, it is possible to constitute the pressing member 41 even if it is constituted by, for example, a protruding member to which the roller fitting portion 41b of the fork 41 can be fitted none.

10: 이송 설비
20: 이송기(제2 이송기)
25: 푸셔(위치 규제 장치)
40: 포크 유닛(제1 이송기)
41a: 장착면
50: 플로팅 유닛
51: 지지부
52: 가동부
53: 고정부
90: 카세트10: Transfer facility
20: conveyor (second conveyor)
25: Pusher (position control device)
40: fork unit (first feeder)
41a: mounting face
50: Floating unit
51: Support
52:
53:
90: Cassette

Claims (3)

물품을 놓아 수평방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 제1 이송기와, 물품의 상부를 지지하여 연직방향으로 승강 이동시키는 제2 이송기 사이에서 물품의 이송를 행하는 이송 설비로서,
상기 제1 이송기의 장착면에 놓여 있는 물품의 측면에 당접하여 상기 장착면에 있어서의 상기 물품의 위치 규제를 행하는 위치 규제 장치를 구비하고,
상기 제1 이송기는, 그의 장착면 상에 플로팅 유닛을 구비하고,
상기 플로팅 유닛은, 물품 장착 지지용의 지지부를 구비한 가동부가 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 자유롭게 받쳐서 지지되는 구조이며,
상기 물품은 상기 물품 장착 지지용의 지지부에 지지되고,
상기 가동부를 상기 고정부에 대해서 수평방향으로 이동 가능하게 하며, 또한 상기 위치 규제 장치에 의해 상기 물품의 위치 규제를 행하는 것에 의해, 상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 물품의 위치결정이 상기 장착면 상에서 행해지는 것
　을 특징으로 하는 이송 설비.1. A transfer facility for transferring an article between a first conveyor for letting an article out and moving out in a horizontal direction and a second conveyor for supporting an upper portion of the article to move up and down in a vertical direction,
And a position regulating device for contacting the side surface of the article placed on the mounting surface of the first conveyor to regulate the position of the article on the mounting surface,
The first conveyor has a floating unit on its mounting surface,
The floating unit has a structure in which a movable portion having a supporting portion for mounting and supporting the article is supported and supported movably in the horizontal direction with respect to the fixed portion,
Wherein the article is supported by a support for supporting the article,
And the position of the article is regulated by the position regulating device so that positioning of the article with respect to the ascending / descending position of the second conveying device is performed by the mounting What is done on the face
And a conveying device. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 이송기의 승강 위치에 대한 상기 제1 이송기의 위치결정을 행하는 위치결정 수단을 구비하는 것
을 특징으로 하는 이송 설비.The method according to claim 1,
And positioning means for positioning the first conveyor with respect to the elevating position of the second conveyor
And a conveying device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 물품은, 그의 상부에 상기 제2 이송기에 계지되는 계지부가 형성되는 대략 상자형 형상의 것이며, 또한 상기 계지부가 갈고리모양으로 형성되어 있는 것인 것
을 특징으로 하는 이송 설비.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the article is of a substantially box-like shape having an engaging portion engaged with the second conveyor at an upper portion thereof, and the engaging portion is formed in a hook shape
And a conveying device.
KR1020180141463A 2017-12-15 2018-11-16 Transfer facility, transfer method KR102535626B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2017-240108 2017-12-15
JP2017240108A JP6794976B2 (en) 2017-12-15 2017-12-15 Transfer equipment, transfer method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190072407A true KR20190072407A (en) 2019-06-25
KR102535626B1 KR102535626B1 (en) 2023-05-23

Family

ID=66984538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180141463A KR102535626B1 (en) 2017-12-15 2018-11-16 Transfer facility, transfer method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6794976B2 (en)
KR (1) KR102535626B1 (en)
CN (1) CN109928188B (en)
TW (1) TWI756449B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117401417B (en) * 2023-12-01 2024-03-22 济南诺洁清洁用品有限公司 Conveying device for washing powder production

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006073946A (en) * 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Mach Mfg Co Ltd Glass substrate feeder
KR20070021056A (en) * 2005-08-16 2007-02-22 가부시키가이샤 다이후쿠 Floating unit and article support apparatus having floating unit
KR20150031532A (en) * 2013-09-16 2015-03-25 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system
JP2015063351A (en) * 2013-09-24 2015-04-09 村田機械株式会社 Carrier device and transfer device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3608950B2 (en) * 1998-06-26 2005-01-12 村田機械株式会社 Automated guided vehicle
JP4039157B2 (en) * 2002-07-22 2008-01-30 株式会社ダイフク Self-propelled cart
TWI228098B (en) * 2003-04-30 2005-02-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Manual guided vehicle capable of working on a rail
JP4614091B2 (en) * 2005-08-16 2011-01-19 株式会社ダイフク Floating unit and article support device
JP4949091B2 (en) * 2007-03-16 2012-06-06 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing apparatus, substrate processing method, and recording medium
KR101077566B1 (en) * 2008-08-20 2011-10-28 세메스 주식회사 Substrate processing apparatus and method for transferring substrate of the same
TWI363732B (en) * 2009-01-23 2012-05-11 Au Optronics Corp Object conveying device and method therefor
JP2010239115A (en) * 2009-03-10 2010-10-21 Hitachi Kokusai Electric Inc Substrate processing apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006073946A (en) * 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Mach Mfg Co Ltd Glass substrate feeder
KR20070021056A (en) * 2005-08-16 2007-02-22 가부시키가이샤 다이후쿠 Floating unit and article support apparatus having floating unit
KR20150031532A (en) * 2013-09-16 2015-03-25 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system
KR101511963B1 (en) 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 Cassette supplying system
JP2015063351A (en) * 2013-09-24 2015-04-09 村田機械株式会社 Carrier device and transfer device

Also Published As

Publication number Publication date
TWI756449B (en) 2022-03-01
CN109928188A (en) 2019-06-25
JP6794976B2 (en) 2020-12-02
CN109928188B (en) 2021-11-16
TW201927667A (en) 2019-07-16
JP2019106517A (en) 2019-06-27
KR102535626B1 (en) 2023-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4711770B2 (en) Conveying apparatus, vacuum processing apparatus, and conveying method
JP4636379B2 (en) Method and apparatus for receiving and receiving articles in a suspended lift carriage
TW201213215A (en) Conveying system
WO2010150531A1 (en) Storage container
KR20130072121A (en) Article transport facility
JPWO2018003287A1 (en) Transport system
KR20190072407A (en) Transfer facility, transfer method
KR102141200B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
US20120128455A1 (en) Transport system and storage device
JP2015117073A (en) Carrier system
KR101374670B1 (en) Apparatus for transferring cassette
KR102294887B1 (en) Apparatus for transferring articles
KR20190070263A (en) Transfer facility, transfer method
JP2010013250A (en) Conveyance system and computer program
KR102189275B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
KR101561226B1 (en) Carriage system
KR20200100982A (en) Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
JP2021176155A (en) Transfer facility and container transfer method
JP2012220617A (en) Proximity exposure device, and mask conveyance method of proximity exposure device
KR20220072236A (en) Transfer apparatus
JP2010111476A (en) Storage warehouse and carry-in/out method
KR102628404B1 (en) Stocker and article transport facility
JP5157787B2 (en) Transport system
JP2013165177A (en) Stocker device
KR20210158237A (en) Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant