KR20190070263A

KR20190070263A - Transfer facility, transfer method

Info

Publication number: KR20190070263A
Application number: KR1020180141476A
Authority: KR
Inventors: 요시타카 데구찌; 나오야 수에히로
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2017-12-12
Filing date: 2018-11-16
Publication date: 2019-06-20
Also published as: CN109911620A; TWI787306B; JP6927007B2; TW201927665A; KR102535629B1; CN109911620B; JP2019106433A

Abstract

A transport facility (10) transports a cassette (90) to a deposition apparatus (80), and comprises a loading part (30) and a transport device (20). The loading part (30), the transport device (20), and a load port (83) of the deposition apparatus (80) are arranged on overlapped positions when viewed from above. The transport device (20) lifts and moves the cassette (90) between the loading part (30) and the load port (83) of the deposition apparatus (80). The loading part (30) is positioned on a lifting path of the cassette (90) when inserting or withdrawing the cassette (90) from the loading part (30) using the transport device (20), and can move in a direction of avoiding the lifting path of the cassette (90) when the cassette (90) is lifted by the transport device (20).

Description

{TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}

본 발명은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비 및 용기의 이송 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer facility for transferring a container containing an article to a processing apparatus for processing an article and a transfer method of the container.

상기 이송 설비로서는, 예를 들면, 처리 장치인 챔버에 기판을 수용한 카세트(용기)를 이송하는 설비가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이송 설비에 있어서는, 반송대차 유닛에 의해서 반송되는 카세트를 카세트 반송 유닛이 설비 내로 반입하고, 카세트 반송 유닛에 의해 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛(이송기)이 챔버에 이송한다. 혹은 챔버에 이송된 카세트를 카세트 이송 유닛이 받아들이고, 카세트 이송 유닛이 받아들인 카세트를 카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로 반출한다.As the transfer facility, for example, there is a facility for transferring a cassette (container) accommodating a substrate in a chamber which is a processing apparatus (see, for example, Patent Document 1). In the transporting apparatus of Patent Document 1, the cassette transporting unit transports the cassette transported by the transporting / transporting unit into the facility, and the cassette transporting unit (transporting device) transports the cassettes transported by the cassette transporting unit to the chamber. Or the cassette transferred to the chamber is received by the cassette transfer unit and the cassette received by the cassette transfer unit is taken out by the cassette transfer unit to the transfer bogie unit.

카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로부터 반입한 카세트는, 카세트 이송 유닛에 의해서 챔버에 이송되기 전에, 챔버의 위쪽에 마련되는 지지 가대(架台)((수하대(荷受台))에 놓인다. 마찬가지로, 카세트 이송 유닛이 챔버로부터 받아들인 카세트는, 카세트 반송 유닛에 의해서 반송대차 유닛에 이송되기 전에 지지 가대에 놓인다.The cassette carried in by the cassette transport unit from the transporting and baling unit is placed on a support stand ((support stand)) provided on the upper side of the chamber before being conveyed to the chamber by the cassette transfer unit. The cassette received by the conveying unit from the chamber is placed on the supporting table before being conveyed to the conveyance carriage unit by the cassette conveying unit.

카세트 이송 유닛은, 카세트를 위쪽으로부터 파지하여 승강 이동시키는 것에 의해, 지지 가대에 놓인 카세트를 챔버에 이송하고, 혹은 챔버로부터 받아들인 카세트를 지지 가대에 놓인다.The cassette transfer unit transfers the cassette placed on the support stand to the chamber by grasping the cassette from above and raising and lowering it, or puts the cassette received from the chamber on the support pedestal.

한국등록특허공보 제10-1511963호Korean Patent Registration No. 10-1511963

그렇지만, 상기와 같은 이송 설비에 있어서는, 카세트 이송 유닛(이송기)이 카세트(용기)를 파지하여 승강 이동시킬 때에, 카세트(용기)가 지지 가대(수하대)에 간섭하기 때문에, 지지 가대(수하대)와의 간섭을 피하기 위해서, 카세트(용기)를 선회시키는 등의 동작이 필요하게 된다. 그 때문에, 지지 가대(수하대)와 챔버(처리 장치) 사이의 카세트(용기)의 이송에 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다. 또, 카세트 이송 유닛(이송기)이, 상기 동작을 행함으로써, 카세트(용기)를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 없어, 카세트 이송 유닛(이송기)의 이송 정밀도가 나빠진다는 문제점이 있었다.However, in such a transfer facility as described above, when the cassette transfer unit (transfer unit) grasps the cassette (container) and moves it up and down, the cassette (container) interferes with the support table It is necessary to perform an operation such as turning the cassette (container) in order to avoid interference with the cassette. Therefore, there has been a problem that it takes time to transfer the cassette (container) between the supporting stand (receiving stand) and the chamber (processing apparatus). In addition, the cassette conveying unit (conveying unit) can not keep and hold the cassette (container) in a positioned state by performing the above-described operation, and the conveying accuracy of the cassette conveying unit (conveying unit) is deteriorated.

그래서, 본 발명은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비에 있어서, 처리 장치의 로드 포트와, 처리 장치의 로드 포트의 위쪽에 마련되는 수하대 사이의 용기의 이송를 효율 좋게 행하는 것이 가능한 이송 설비 및 이송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Thus, the present invention provides a transfer facility for transferring a container containing an article to a processing apparatus that performs processing on the article, the transfer facility comprising: a container body including a load port between the load port of the processing apparatus and a load port provided above the load port of the processing apparatus, And to provide a transfer facility and a transfer method capable of efficiently transferring the transfer material.

본 발명의 해결하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.The problems to be solved by the present invention are as follows. Means for solving the problems will be described below.

즉, 본 발명의 이송 설비는, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비로서, 상기 처리 장치의 위쪽에 마련되는 수하대와, 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 반송하는 이송기를 구비하고, 상기 수하대와 상기 이송기와 상기 처리 장치의 로드 포트가 평면시(平面視)에서 서로 겹치는 위치에 배치되고, 상기 이송기는, 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 용기를 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 승강 이동시키도록 구성되고, 상기 수하대는, 상기 이송기가 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입할 때에는, 상기 용기의 승강 경로 상에 위치하고, 상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에는, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.That is, the transfer facility of the present invention is a transfer facility for transferring a container containing the product to a processing apparatus that performs processing on the product, the transfer facility comprising: a water tank provided above the processing apparatus; Wherein the conveying unit is disposed at a position where the conveying unit and the load port of the processing unit overlap each other in plan view (in a plan view), and the conveying unit is configured to convey the conveying unit Wherein the container is configured to lift and carry the container between the receiving stand and the processing apparatus when the container is taken out or brought into the receptacle with respect to the receiving stand, And a control unit which is located on an ascending / descending path of the container, and when the container is moved up and down by the conveying unit, As shown in FIG.

상기 구성에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로 상과, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.In the above arrangement, the subcarriage moves between the elevating path of the container and the position avoiding the elevating path of the container in accordance with the elevating movement of the container by the conveying device.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대는, 상기 용기의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.In the transfer facility of the present invention, in the transfer facility, the float basin is configured to be movable in a direction orthogonal to an elevating path of the container.

상기 구성에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로 이동한다.In the above configuration, the submarine moves in a direction orthogonal to the elevating path of the container in accordance with the elevating movement of the container by the conveying device.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대는, 상기 용기를 놓는 복수의 장착부를 구비하고, 상기 복수의 장착부는, 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.In the transfer facility of the present invention, in the transfer facility, the float basin has a plurality of mounting portions for placing the container, and the plurality of mounting portions are configured to be movable in a direction in which they are separated from each other.

상기 구성에서는, 복수의 장착부가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 서로 떨어지는 방향으로 이동한다.In the above-described configuration, the plurality of mounting portions move in the direction in which they are separated from each other in accordance with the lifting and moving of the container by the conveyor.

본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대에 있어서의 상기 용기의 위치결정을 행하는 위치결정 장치를 구비하고, 상기 위치결정 장치는, 상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.The transfer facility of the present invention is characterized in that the transfer facility is provided with a positioning device for positioning the container in the float bed, and the positioning device, when the container is moved up and down by the conveyor, And is movable in a direction to avoid a lifting path of the container.

상기 구성에서는, 위치결정 장치는, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 위치결정을 행하는 위치와, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.In the above arrangement, the positioning apparatus moves between a position at which the container is positioned and a position at which the container is lifted and lowered, in accordance with the movement of the container by the conveyor.

본 발명의 이송 방법은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 용기의 이송 방법으로서, 상기 처리 장치의 위쪽에 마련되는 수하대와, 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 승강 반송하는 이송기와, 상기 처리 장치의 로드 포트를 평면시에서 서로 겹치는 위치에 배치하고, 상기 수하대에 지지된 용기를, 상기 이송기에 의해서 상기 수하대로부터 반출하고, 상기 수하대를 상기 이송기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동시키는 것에 의해, 상기 수하대로부터 반출한 용기를 상기 이송기가 승강 이동시키는 방법이다.A conveying method of the present invention is a conveying method of a container for conveying a container containing the article to a processing apparatus that performs processing on the article, the conveying method comprising: a receiving stand provided above the processing apparatus; And a load port of the processing apparatus is disposed at a position overlapping with the load port in a plan view, and a container supported by the receiving stand is taken out from the receiving stand by the conveyor, The conveying machine moves the conveying machine up and down by moving the conveying machine in a direction to avoid the elevating path of the conveying machine.

상기 방법에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로 상과, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.In the above method, the submerged bed moves between the elevating path of the container and the position of avoiding the elevating path of the container in accordance with the elevating movement of the container by the conveying machine.

본 발명의 이송 설비 및 용기의 이송 방법에 의하면, 수하대와 처리 장치의 로드 포트 사이에서 용기를 승강 이동시킬 때에, 수하대가 용기의 승강 경로를 피하는 위치로 이동하고 있기 때문에, 용기가 수하대에 간섭하는 일이 없다(용기가 수하대에 접촉하는 일이 없다). 그 때문에, 수하대와의 간섭을 피하기 위해서, 이송기에 의한 용기의 승강 이동 시에 용기를 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 되고, 수하대와 처리 장치의 로드 포트 사이의 용기의 이송를 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 이송기가 상기 동작을 행할 필요가 없기 때문에, 이송기가 용기를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 있고, 이송기의 이송 정밀도를 향상시킬 수가 있다.According to the transporting apparatus and the transporting method of the container of the present invention, when the container is lifted and moved between the load port and the load port of the processing apparatus, since the container is moved to a position avoiding the lifting / lowering path of the container, (The container does not come into contact with the receiver). Therefore, in order to avoid interference with the receiving end, the operation such as turning the container when the container is moved up and down by the conveyor is not required, and the container can be efficiently conveyed between the receiving port and the load port of the processing apparatus have. In addition, since the conveyor does not need to perform the above-described operation, the conveyor can hold and maintain the container in a positioned state, and the conveyance accuracy of the conveyor can be improved.

도 1은 본 발명에 관계된 이송 설비의 평면도이다.
도 2는 같은 이송 설비의 정면도이다.
도 3a는 같은 이송 설비에 있어서 카세트가 수하대 상에 놓이는 경우의 평면도이다.
도 3b는 같은 이송 설비에 있어서 카세트가 이송기에 의해 승강하는 경우의 평면도이다.
도 4는 같은 이송 설비에 있어서의 플로팅 유닛의 측면 단면도이다.
도 5는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 반송대차로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 6a는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입하기 전의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 6b는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입하기 전의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 7은 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 8a는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 수하대로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 8b는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 수하대로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 9는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 증착 장치의 로드 포트에 카세트를 이송할 때의 개략을 나타내는 정면 단면도이다.1 is a plan view of a transfer facility according to the present invention.
2 is a front view of the same transporting facility.
FIG. 3A is a plan view of the cassette in the same transport facility when placed on a receiving platform. FIG.
Fig. 3B is a plan view of the cassette when the cassette is moved up and down by the conveyer in the same conveyance facility.
4 is a side sectional view of the floating unit in the same transfer facility.
Fig. 5 is a side cross-sectional view schematically showing a fork unit of the same conveying equipment when the cassette is taken out from the conveyance truck. Fig.
FIG. 6A is a side view schematically showing the fork unit in the same transporting apparatus before carrying the cassette into the transporting facility. FIG.
FIG. 6B is a plan view schematically showing the fork unit in the same transporting apparatus before carrying the cassette into the transporting facility. FIG.
Fig. 7 is a side cross-sectional view schematically showing the fork unit in the same conveying facility when the cassette is carried into the conveying facility. Fig.
Fig. 8A is a side view schematically showing a case in which the conveying device in the same conveying facility takes out the cassette from the downstream side. Fig.
Fig. 8B is a plan view schematically showing a case where the conveying device in the same conveying equipment takes out the cassette from the submarine; Fig.
9 is a front cross-sectional view schematically showing a case where a conveying unit in the same conveying facility transfers a cassette to a load port of a deposition apparatus.

본 발명에 관계된 이송 설비(10)에 대하여 설명한다.The transfer facility 10 according to the present invention will be described.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 반도체 제품 혹은 액정 표시 소자 제품의 아직 완성되지 않은 제품인 기판(91)(「물품」의 1예)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)(「처리 장치」의 1예)에 부설되는 설비로서, 판모양체(板狀體)의 기판(91)을 수용한 카세트(90)(「용기」의 1예)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송하는 것이다. 이송 설비(10)에 있어서는, 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송됨과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출된 카세트(90)가 이송 설비(10)의 외부로 반출된다.As shown in Figs. 1 and 2, the transfer facility 10 is provided with a deposition device (not shown) for performing a deposition process on a substrate 91 (an example of an " article ") which is a semiconductor product or a liquid- A cassette 90 (one example of a " container ") accommodating a plate-like substrate 91 is attached to a deposition apparatus 80 (one example of a " processing apparatus " To the load port 83 of the main body. The cassette 90 brought into the transfer facility 10 is transferred to the load port 83 of the deposition apparatus 80 and is taken out from the load port 83 of the deposition apparatus 80 The cassette 90 is transported to the outside of the transfer facility 10.

이송 설비(10)에 있어서 반송되는 카세트(90)는, 그의 한쪽 측면 혹은 양측면이 개구(開口)된 대략 상자형(箱型) 형상의 부재에 의해 형성된다. 카세트(90)는, 그의 내부에 복수의 기판(91)을 수용 가능하게 되어 있다. 카세트(90)는, 그의 상부에 후술하는 이송기(20)에 계지되는 플랜지부(92)가 복수 형성되어 있다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면으로부터 돌출하여 마련되는 갈고리모양(鉤狀)의 부재에 의해 구성된다. 플랜지부(92)는, 카세트(90)의 상면의 복수 개소에 마련된다.The cassette 90 conveyed by the conveying apparatus 10 is formed by a substantially box-shaped member having one side or both sides thereof opened. The cassette 90 is capable of accommodating a plurality of substrates 91 therein. The cassette 90 has a plurality of flange portions 92 which are engaged with the conveyor 20, which will be described later. The flange portion 92 is constituted by a hook-shaped member protruding from the upper surface of the cassette 90. The flange portions 92 are provided at a plurality of locations on the upper surface of the cassette 90. [

이송 설비(10)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 부설되어 있다. 이송 설비(10)가 부설되는 증착 장치(80)는, 장치 전체가 장치 케이스(81)에 의해 덮여 있다. 장치 케이스(81)는, 그의 내부에 증착 장치(80)를 격납 가능한 내부 공간을 가진다. 장치 케이스(81)는, 그의 상부에, 카세트(90)를 내부로 반송하기 위한 카세트 반입구(82)가 형성되어 있다.The transfer facility 10 is laid on the upper side of the deposition apparatus 80. The entire apparatus is covered with the apparatus case 81 in the deposition apparatus 80 in which the transfer facility 10 is installed. The apparatus case 81 has an internal space in which the deposition apparatus 80 can be stored. The apparatus case 81 is provided, at its upper portion, with a cassette dispensing opening 82 for conveying the cassette 90 therein.

장치 케이스(81)는, 그의 내부 공간에 있어서 카세트(90)를 놓기 위한 로드 포트(83)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 로드 포트(83)는, 카세트 반입구(82)의 바로 밑(후술하는 이송기(20)의 바로 밑으로서, 이송기(20)에 의해서 승강하는 카세트(90)의 승강 경로 상)에 마련되어 있다.The device case 81 is provided with a load port 83 for placing the cassette 90 in its internal space. More specifically, the load port 83 is located on the up / down path of the cassette 90 which is raised / lowered by the conveyor 20 directly below the cassette inlet 82 (directly below the conveyor 20 described later) .

이송 설비(10)의 옆쪽으로서 증착 장치(80)의 위쪽에는, 카세트(90)를 이송 설비(10)에 대해서 반송하는 포크 유닛(40)이 마련되어 있다. 즉, 카세트(90)는, 증착 장치(80)의 위쪽으로서, 이송 설비(10)의 옆쪽으로부터 반입 또는 반출된다.A fork unit 40 for transporting the cassette 90 to the transfer facility 10 is provided above the deposition apparatus 80 as a side of the transfer facility 10. That is, the cassette 90 is carried in or out from the side of the transfer facility 10 as the upper side of the deposition apparatus 80.

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓아 수평 방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 것이다. 포크 유닛(40)은, 대차(台車) 주행 레일(85)을 따라 주행하는 반송대차(86)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 이송 설비(10)로 반입한다. 또, 포크 유닛(40)은, 이송 설비(10)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.As shown in Fig. 1, the fork unit 40 places the cassette 90 to move out in the horizontal direction. The fork unit 40 takes out the cassette 90 from the transporting carriage 86 running along the carriage running rail 85 and carries the cassette 90 carried out to the transporting facility 10. The fork unit 40 takes out the cassette 90 from the transfer facility 10 and transfers the taken out cassette 90 to the transfer carriage 86. [

포크 유닛(40)은, 그의 상면에 카세트(90)를 놓기 위한 장착면(41a)을 가지는 포크(41)와, 포크(41)를 수평 방향으로 출퇴 이동시키기 위한 굴신식(屈伸式, bending and stretching type) 암(42)과, 굴신식 암(42)을 선회하는 선회대(43)로 주로 구성되어 있다.The fork unit 40 includes a fork 41 having a mounting surface 41a for placing the cassette 90 on its upper surface and a fork 41 for bending and stretching the fork 41 in a horizontal direction stretching type arm 42 and a swivel arm 43 that pivots the swivel type arm 42. [

포크(41)는, 카세트(90)를 놓아 이송할 수 있는 대략 장방(長方, 직사각형) 형상의 판으로 구성된다. 포크(41)는, 굴신식 암(42)을 굴신시키는 것에 의해서, 반송대차(86) 혹은 이송 설비(10)(수하대(30))에 대해서 출퇴 이동을 행한다.The fork 41 is constituted by a substantially rectangular (rectangular, rectangular) plate that can be transported by placing the cassette 90 thereon. The fork 41 moves back and forth with respect to the transporting carriage 86 or the transporting facility 10 (the receiving rack 30) by moving the rocking arm 42.

굴신식 암(42)은, 한쌍의 암을 신장시키는 것에 의해, 반송대차(86)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 반출입 위치(45), 혹은 포크 유닛(40) 및 이송기(20)가 수하대(30)에 대해서 카세트(90)의 반입 또는 반출을 행하기 위한 카세트 반출입 위치(11)까지 포크(41)를 수평 이동시킨다.The pushing-type arm 42 extends the pair of arms to move the carry-on carriage 86 to the carry-in / carry-out position 45 or the fork unit 40 for carrying out the carry- The unit 20 horizontally moves the fork 41 to the cassette loading / unloading position 11 for loading / unloading the cassette 90 with respect to the receiving table 30. [

도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)의 양옆쪽에는, 카세트(90)를 일시적으로 보관하기 위한 버퍼 스테이션(95)이 마련되어 있다. 버퍼 스테이션(95)에는, 카세트(90)를 놓기 위한 장착대(96)가 마련되어 있다.As shown in Fig. 1, buffer units 95 for temporarily storing the cassette 90 are provided on both sides of the fork unit 40. As shown in Fig. The buffer station 95 is provided with a mounting table 96 for placing the cassette 90 thereon.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 그의 하부에, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 카세트(90)를 반출하기 위한 카세트 반출구(14)가 마련되어 있다. 카세트 반출구(14)는, 장치 케이스(81)의 카세트 반입구(82)와 연통하여 마련되어 있다.1 and 2, the transfer facility 10 is provided at its lower portion with a cassette exit port 14 for transferring the cassette 90 to the load port 83 of the deposition apparatus 80 have. The cassette dispenser 14 is provided in communication with the cassette dispenser opening 82 of the apparatus case 81.

이송 설비(10)는, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 반송부인 이송기(20)와, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 받아들임부(受入部)인 수하대(30)와, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 위치결정부인 푸셔(pusher)(25)(「위치결정 장치」의 1예)를 구비한다.The conveying apparatus 10 includes a conveying unit 20 which is a conveying unit of the cassette 90 in the conveying apparatus 10 and a conveying unit 20 which is a receiving unit of the cassette 90 in the conveying apparatus 10. [ And a pusher 25 (an example of a " positioning apparatus "), which is a positioning unit of the cassette 90 in the transfer facility 10, is provided.

이송기(20)와, 수하대(30)와, 로드 포트(83)는, 평면시에 있어서 서로 겹치는 위치에 배치된다. 구체적으로는, 수하대(30)와 로드 포트(83)가 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 경로 상에, 이송 설비(10)의 위쪽(천정측)으로부터 이송기(20), 수하대(30), 로드 포트(83)의 순으로 배치된다.The conveyor 20, the receiving stand 30, and the load port 83 are disposed at positions overlapping each other in plan view. More specifically, the receiving stand 30 and the load port 83 are placed on the conveying path of the conveyor 20 from the upper side (ceiling side) of the conveying facility 10 on the ascending / descending path of the cassette 90 by the conveying device 20, The receiving stand 30, and the load port 83 in this order.

도 2에 나타내는 바와 같이, 이송기(20)는, 수하대(30)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 카세트(90)를 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이에서 승강 이동시키는 것이다. 이송기(20)는, 로드 포트(83)의 위쪽에 마련되고, 평면시에 있어서 수하대(30) 및 로드 포트(83)와 겹치는 위치에 배치된다. 이송기(20)는, 포크 유닛(40)에 의해 수하대(30)로 반송된 카세트(90)를 수하대(30)로부터 반출하고, 또는, 로드 포트(83)로부터 반출한 카세트(90)를 수하대(30)에 대해서 반입한다. 이송기(20)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 있어서, 카세트(90)의 상부를 계지하여 연직 방향으로 승강 이동시키는 것에 의해 카세트(90)를 반송한다. 이송기(20)는, 카세트(90)를 승강 이동시키기 위한 승강 기구(21)와, 카세트(90)의 상부를 계지하기 위한 계지 기구(24)로 주로 구성되어 있다.2, the conveyor 20 conveys or unloads the cassette 90 to the receiving stand 30 and feeds the cassette 90 to the receiving stand 30 and the load port 83 As shown in Fig. The conveyor 20 is provided above the load port 83 and is disposed at a position overlapping the receiving stand 30 and the load port 83 in plan view. The conveyor 20 is configured to carry out the cassette 90 conveyed to the receiving table 30 by the fork unit 40 from the receiving tray 30 or to move the cassette 90 taken out from the load port 83, To the receiving base 30. The conveyor 20 conveys the cassette 90 by holding the upper portion of the cassette 90 up and down in the vertical direction on the upper side of the evaporation apparatus 80. The conveyor 20 is mainly composed of a lifting mechanism 21 for moving the cassette 90 up and down and a locking mechanism 24 for locking the upper portion of the cassette 90. [

승강 기구(21)는, 계지 기구(24)를 회동축(22B)에 의해 매단 상태로 지지한다. 승강 기구(21)는, 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제1 승강부(22)와, 제1 승강부(22) 및 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제2 승강부(23)로 구성되어 있다. 즉, 승강 기구(21)는, 2단계의 승강 이동에 의해 카세트(90)를 승강시킨다.The lifting mechanism (21) supports the retaining mechanism (24) in a state of being suspended by the rotating shaft (22B). The lifting mechanism 21 includes a first lifting unit 22 for lifting and moving the lifting mechanism 24 (the cassette 90), a first lifting unit 22 and an engaging mechanism 24 (a cassette 90) And a second lifting portion 23 for lifting and moving the lifting portion 23. That is, the lifting mechanism 21 lifts and lowers the cassette 90 by the two-step up and down movement.

제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 복수개의 승강 벨트(22A)와, 승강 벨트(22A)를 일체적으로 권취 및 권출하는 회동축(22B)과, 회동축(22B)을 회동하는 제1 모터(22C)로 주로 구성되어 있다. 제1 승강부(22)는, 제1 모터(22C)의 구동에 의해 회동축(22B)을 회동시켜 승강 벨트(22A)를 권취 및 권출함으로써 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시킨다. 제1 승강부(22)는, 승강 벨트(22A)를 권취 및 권출함으로써 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 것으로 인해, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 미세한 위치맞춤을 용이하게 행할 수가 있다.The first elevating portion 22 includes a plurality of elevating belts 22A for suspending and supporting the retaining mechanism 24, a pivotal shaft 22B for integrally winding and releasing the elevating belt 22A, And a first motor 22C that rotates the first motor 22B. The first elevating portion 22 is configured to lift the retaining belt 22A by rotating the rotating shaft 22B by driving the first motor 22C so that the retaining mechanism 24 (cassette 90) . The first elevating portion 22 lifts and moves the retaining mechanism 24 (the cassette 90) by winding up and pulling the lifting and lowering belt 22A to move the cassette 90 relative to the load port 83, Alignment can be easily performed.

제2 승강부(23)는, 회동축(22B)의 양단을 회동 가능하게 지지하는 지지체(23A)와, 지지체(23A)를 승강 가능하게 가이드하는 가이드체(23B)와, 지지체(23A)를 승강 이동시키는 구동 벨트(23C)와, 구동 벨트(23C)를 회동시키기 위한 제2 모터(23D)로 주로 구성되어 있다.The second lifting and lowering section 23 includes a support body 23A for rotatably supporting both ends of the rotary shaft 22B, a guide body 23B for guiding the support body 23A so as to be movable up and down, And a second motor 23D for rotating the drive belt 23C.

지지체(23A)는, 한쌍의 긴 모양(長尺狀, long)의 부재에 의해 구성되고, 연직 방향으로 세워 설치(立設)되는 상단부에 있어서 회동축(22B)을 회동 가능하게 지지함과 함께, 그의 하단부가 가이드체(23B)에 의해 승강 가능하게 가이드된다. 가이드체(23B)는, 한쌍의 긴 모양의 부재에 의해 구성된다. 구동 벨트(23C)는 가이드체(23B)의 상단부와 하단부 사이에 회동 가능하게 걸쳐진다. 제2 모터(23D)는 가이드체(23B)의 하단부에 마련된다.The support body 23A is constituted by a pair of elongated members and rotatably supports the pivot shaft 22B at an upper end standing upright in the vertical direction , And the lower end thereof is guided so as to be able to move up and down by the guide body 23B. The guide body 23B is constituted by a pair of elongated members. The drive belt 23C is rotatably supported between the upper end portion and the lower end portion of the guide body 23B. The second motor 23D is provided at the lower end of the guide body 23B.

제2 승강부(23)는, 제2 모터(23D)를 구동시켜 구동 벨트(23C)를 회동시키는 것에 의해 지지체(23A)를 가이드체(23B)를 따라 승강 이동시킨다. 이것에 의해, 지지체(23A)가 지지하는 회동축(22B)이 승강하고, 그 승강에 의해 승강 벨트(22A)를 개재하여 지지되는 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제2 승강부(23)는, 연직 방향으로 연장설치되는 긴 모양의 한 쌍의 가이드체(23B) 사이에서 회동축(22B)을 승강 이동시킴으로써, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 대략적인 위치맞춤을 행한다.The second elevating part 23 moves the support body 23A along the guide body 23B by moving the second motor 23D and rotating the drive belt 23C. As a result, the pivot shaft 22B supported by the support 23A is lifted and lowered, and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) supported by the lifting and lowering belt 22A moves up and down. The second lifting and lowering portion 23 is a portion of the cassette 90 relative to the load port 83 by moving the pivotal shaft 22B between the pair of long guide bodies 23B extending in the vertical direction And approximate alignment is performed.

이와 같이, 승강 기구(21)는, 제2 승강부(23)에 의해 카세트(90)를 로드 포트(83)에 대해서 대략적인 위치까지 하강시키고, 계속해서 제1 승강부(22)에 의해 카세트(90)를 로드 포트(83)에 대해서 접근하는 위치까지 하강시킴으로써, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 위치맞춤을 행한다.Thus, the elevating mechanism 21 causes the cassette 90 to descend to the approximate position with respect to the load port 83 by the second elevating and lowering section 23, The cassette 90 is positioned relative to the load port 83 by lowering the cassette 90 to a position where it approaches the load port 83.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)는, 복수의 승강 벨트(22A)에 의해 지지됨과 함께, 카세트(90)의 상부의 플랜지부(92)를 계지한다. 계지 기구(24)는, 카세트(90)의 계지 시에 카세트(90)와 대향하는 측에 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지하기 위한 계지부(24A)를 가진다. 계지부(24A)는, 카세트(90)의 플랜지부(92)에 대응하는 위치에 복수(도 1에 있어서는 4개) 마련되어 있다. 계지부(24A)는, 플랜지부(92)에 계지 가능한 갈고리모양의 부재에 의해 형성되고, 해당 갈고리모양의 부재가 소정 방향으로 선회 가능하게 구성되어 있다. 계지 기구(24)는, 계지부(24A)가 플랜지부(92)를 계지하는 것에 의해 카세트(90)를 매단 상태로 지지한다.As shown in Figs. 1 and 2, the locking mechanism 24 is supported by a plurality of lifting belts 22A, and locks the flange 92 on the upper portion of the cassette 90. Fig. The locking mechanism 24 has a locking portion 24A for locking the flange portion 92 of the cassette 90 on the side opposite to the cassette 90 when the cassette 90 is locked. A plurality of locking portions 24A are provided at positions corresponding to the flange portions 92 of the cassette 90 (four in Fig. 1). The engaging portion 24A is formed by a hook-shaped member engageable with the flange portion 92, and the hook-shaped member is configured to be able to turn in a predetermined direction. The locking mechanism 24 holds the cassette 90 in a tilted state by engaging the flange portion 92 with the lock portion 24A.

도 2에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 포크 유닛(40)에 의해 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90), 및 이송기(20)에 의해 로드 포트(83)로부터 반출되는 카세트(90)를 받아들이는 대이다. 수하대(30)는, 로드 포트(83)의 위쪽에 있어서, 포크 유닛(40)의 포크(41)가 카세트(90)를 반송하는 경로와, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시키는 경로가 교차하는 위치(카세트 반출입 위치(11))에 마련된다.2, the receiving stand 30 includes a cassette 90 which is carried by the fork unit 40 to the conveying facility 10 and a cassette 90 which is carried out from the load port 83 by the conveying machine 20 The cassette 90 is received. The receiving stand 30 is provided with a path for the fork 41 of the fork unit 40 to convey the cassette 90 and a path for conveying the cassette 90 to the upper side of the load port 83, (The cassette loading / unloading position 11) at which the paths to be traversed intersect.

도 3a에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 카세트(90)를 수하대(30) 상으로 반입할 때, 및 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)를 반출할 때에는, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시키는 경로(카세트(90)의 승강 경로, 카세트 반출입 위치(11)) 상에 위치한다. 한편, 도 3B에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시킬 때에는, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다. 즉, 수하대(30)는, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동에 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다.3A, when the fork unit 40 or the conveyor 20 brings the cassette 90 onto the receiving table 30, and the fork unit 40 or the conveying unit 20, When the cassette 90 on the receiving stand 30 is unloaded by the machine 20, the feeder 20 moves along the path (the ascending / descending path of the cassette 90, the cassette loading / unloading position 11) Lt; / RTI > On the other hand, as shown in Fig. 3B, when the conveyor 20 moves up and down the cassette 90, the receiving table 30 moves in a direction to avoid the ascending / descending path of the cassette 90. [ That is, the receiving stand 30 is configured to be movable in accordance with the elevation movement of the cassette 90 by the conveyor 20. [

도 1, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 카세트(90)를 놓는 복수(도 1, 도 3a 및 도 3b에서는 4개)의 플로팅 테이블(31)(「장착부」의 1예)과, 플로팅 테이블(31)을 지지하는 기대(32)와, 기대(32)를 접동(slide)시키기 위한 레일(33)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 1, 3A, and 3B, the receiving stand 30 includes a plurality of (four in Fig. 1, Fig. 3A, and Fig. 3B) A base 32 for supporting the floating table 31 and a rail 33 for slidably moving the base 32. The base 32 is provided with a base 32 for supporting the base 32 and a base 33 for supporting the base 32. [

플로팅 테이블(31)은, 포크 유닛(40)에 의해 반송되는 카세트(90)를 놓기 가능한 위치이고, 또한 이송기(20)가 카세트(90)의 상부를 계지 가능한 위치로서, 카세트(90)를 치우침 없이 놓기 가능한 위치에 배치된다. 플로팅 테이블(31)은, 그의 장착면(31a)에 플로팅 유닛(50)이 마련되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 장착면(31a)에 놓이는 카세트(90)를 수평 방향 전(全)방위로 이동 자유롭게 받쳐서 지지하기 위한 것이다. 플로팅 유닛(50)은, 원 형상으로 형성된다. 플로팅 유닛(50)은, 플로팅 테이블(31)을 구성하는 프레임체(frame body)의 내부에 수납되어 있다.The floating table 31 is a position where the cassette 90 conveyed by the fork unit 40 can be placed and the conveyor 20 is a position where the upper portion of the cassette 90 can be locked, It is placed at a position where it can be placed without bias. The floating table 31 is provided with a floating unit 50 on its mounting surface 31a. The floating unit 50 is for supporting the cassette 90 placed on the mounting surface 31a movably in the horizontal direction all directions. The floating unit 50 is formed in a circular shape. The floating unit 50 is accommodated in a frame body constituting the floating table 31.

도 4에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)은, 카세트(90)를 놓아 지지하기 위한 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 자유롭게 받쳐서 지지되는 구조를 가진다. 플로팅 유닛(50)은, 물품 장착 지지용의 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 복수의 전동 부재(54)를 보존유지구(55)로 회전 자유롭게 보존유지하는 상태로 구비한 전동식 지지체(56)에 의해, 고정부(53)에 대해서, 수평 방향의 전방위로 이동 자유롭게 또한 평면시에서 회전 자유롭게 받쳐서 지지되어 있다.4, the floating unit 50 is configured such that the movable portion 52 having the support portion 51 for supporting the cassette 90 is movably supported in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53 Structure. The floating unit 50 is configured such that the movable portion 52 having the support portion 51 for supporting and supporting the article is provided with the electric motor 54 having a state in which the plurality of transmission members 54 are rotatably held by the storage / Is supported by the support body (56) in such a manner that it can freely move in all directions in the horizontal direction and rotatably supported in the plane at the fixed portion (53).

전동식 지지체(56)는, 고정부(53)에 상향 상태로 구비시킨 평탄모양(平坦狀)의 고정부측 접촉면 형성 부재(57a)와, 가동부(52)에 하향 상태로 구비시킨 평탄모양의 가동부측 접촉면 형성 부재(57b) 사이에, 복수의 전동 부재(54)를 위치시킨 상태에서, 가동부(52) 및 고정부(53)에 대해서 수평 방향의 전방위로 이동 자유롭게 마련되어 있다.The electric support 56 includes a flat fixed contact side surface forming member 57a provided on the fixed portion 53 in an upward state and a flat movable side surface forming member 57b provided on the movable portion 52 in a downward state. The movable portion 52 and the fixed portion 53 are provided movably in all directions in the horizontal direction between the contact surface forming members 57b with the plurality of transmission members 54 being positioned.

플로팅 유닛(50)은, 가동부(52)를 고정부(53)에 대해서 수평 방향에 있어서의 물품 받침(受止)용 기준 위치로 복귀 이동시키는 가동부 복귀 수단(KF)과, 전동식 지지체(56)를 고정부(53)에 대해서 수평 방향에 있어서의 가동부 받침용 기준 위치로 복귀 이동시키는 지지체 복귀 수단(SF)을 가진다.The floating unit 50 includes a movable portion returning means KF for returning the movable portion 52 to the reference position for receiving an article in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53, (SF) for returning the fixed portion (53) to the movable portion supporting reference position in the horizontal direction with respect to the fixing portion (53).

가동부 복귀 수단(KF)은, 전자석(電磁石)(58a)에 의한 자기 흡인력에 의해 가동부(52)를 이동 부세하는 자석식의 복귀 수단이며, 고정부(53)측의 전자석(58a)과, 가동부(52)측의 강자성체(58b)가 평면시에서 동일한 위치에 서로 겹치는 상태로 되도록 이동 부세되는 것에 의해, 가동부(52)를 평면시에서의 회전 방향에 있어서의 특정 회전 위상(位相)으로 복귀 회전시킨다.The movable portion returning means KF is a magnet type returning means for moving and urging the movable portion 52 by the magnetic attracting force of the electromagnet 58a and the electromagnet 58a on the fixed portion 53 side and the moving portion The movable portion 52 is returned and rotated to a specific rotational phase (phase) in the rotational direction at the time of planarization by causing the ferromagnetic bodies 58b on the side of the movable portion 52 to move and overlap each other at the same position in the plan view .

지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식(付勢式)의 복귀 수단이다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 원환모양(圓環狀, annulus)의 전동식 지지체(56)의 지름 방향 바깥쪽측에 둘레방향(周方向)으로 등간격을 떼고 복수개의 누름 조작식의 코일 스프링(59)을 마련하고 있다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 지름 방향 바깥쪽측을 고정부(53)에 위치 고정 상태로 마련한 스프링 받침구(受具)(59a)에 의해서 받치고, 전동식 지지체(56)를 지름 방향 안쪽측을 향해 누름 조작하는 것에 의해서, 전동식 지지체(56)를 가동부 받침용 기준 위치로 복귀 이동시킨다.The support returning means SF is a resilient biasing type returning means using the elastic biasing force of the coil spring 59. The supporter returning means SF is provided with a plurality of pushing coil springs 59 (see Fig. 1) that are spaced equidistantly in the circumferential direction (circumferential direction) on the radially outer side of a toric annular electromotive support 56, ). The supporting member returning means SF supports the outer side of the coil spring 59 in the radial direction by a spring receiving member 59a provided in a fixed position on the fixing member 53 and supports the electric supporting member 56 The motor-driven support 56 is moved back to the reference position for supporting the movable portion by pushing toward the radially inward side.

도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 기대(32)는, 플로팅 테이블(31)을 지지하는 복수개의 기대 본체(32A)와, 기대 본체(32A)를 놓아 지지하는 한 쌍의 좌판(座板)(32B)으로 구성된다.As shown in Figs. 2, 3A and 3B, the base 32 includes a plurality of base bodies 32A for supporting the floating table 31, a pair of base plates 32A for supporting the base body 32A, Seat plate) 32B.

기대 본체(32A)는, 좌판(32B) 상에 세워 설치되는 긴 모양의 부재이며, 그의 상부에 있어서 플로팅 테이블(31)을 지지한다.The expectation main body 32A is a long member standing upright on the seat 32B, and supports the floating table 31 on its upper part.

좌판(32B)은, 복수개(도 3a 및 도 3b에서는 2개)의 기대 본체(32A)를 놓을 수 있는 장방(長方, 직사각형) 형상의 판모양의 부재에 의해 구성된다. 좌판(32B)은, 그의 하면의 긴쪽 방향의 양단부에 레일(33)에 대해서 접동 가능하게 계합(engage)하는 계합부가 형성되어 있다.The seat plate 32B is constituted by a plate-like member in the form of a rectangular (rectangular or rectangular) in which a plurality of (two in FIGS. 3A and 3B) base bodies 32A can be placed. The seat plate 32B is provided with engaging portions engagingly engageable with the rail 33 at both ends in the longitudinal direction of the bottom surface thereof.

레일(33)은, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로서, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 떨어지는 방향으로 수평으로 연장 설치된다. 레일(33)은, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)와 간섭하지 않도록 카세트(90)의 승강 경로를 피한 위치에 부설된다. 레일(33)은, 1장(枚)의 좌판(32B)에 대해서 2개 평행하게 배치되고, 좌판(32B)의 하면에 형성되는 계합부와 접동 가능하게 계합한다.The rail 33 is horizontally extended in a direction perpendicular to the elevation path of the cassette 90 in a direction of falling relative to the elevation path of the cassette 90. The rail 33 is laid at a position avoiding the lifting path of the cassette 90 so as not to interfere with the cassette 90 when the cassette 90 is moved up and down by the conveyor 20. [ The rails 33 are arranged in parallel to one sheet of the seat 32B so as to be slidably engaged with the engagement portions formed on the lower surface of the seat 32B.

수하대(30)는, 1장의 좌판(32B)에 대해서 2개의 기대 본체(32A)가 지지됨과 함께, 2개의 기대 본체(32A)의 각각에 1개의 플로팅 테이블(31)이 지지된다. 수하대(30)는, 2장의 좌판(32B)이 소정의 간격으로 평행하게 배치됨과 함께, 서로가 떨어지는 방향으로 수평으로 이동하도록 레일(33)을 따라 접동 가능하게 구성된다. 구체적으로는, 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 카세트(90)를 수하대(30) 상으로 반입할 때, 및 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)를 반출할 때에는, 쌍이 되는 2장의 좌판(32B)이 서로 접근하는 방향으로 레일(33)을 따라 접동하고, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시킬 때에는, 쌍이 되는 2장의 좌판(32B)이 서로 떨어지는 방향으로 레일(33)을 따라 접동한다. 이와 같이, 기대(32)를 구성하는 한 쌍의 좌판(32B)을 레일(33)을 따라 접동시킴으로써, 수하대(30)의 장착부인 플로팅 테이블(31)이 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능해진다.The receiving table 30 has two supporting tables 32A supported by one seat 32B and one floating table 31 supported by each of the two supporting tables 32A. The water receiving table 30 is structured such that the two seat plates 32B are disposed parallel to each other at a predetermined interval and are movable along the rails 33 so as to move horizontally in a direction in which they are separated from each other. More specifically, when the fork unit 40 or the conveyor 20 brings the cassette 90 onto the receiving table 30, and when the fork unit 40 or the conveyor 20 is moved to the receiving tray 30, The pair of left and right seat panels 32B are moved along the rail 33 in the direction in which the pair of the seat panels 32B approach each other and when the conveyor 20 moves up and down the cassette 90, The two seat plates 32B are slid along the rail 33 in the direction in which they are separated from each other. As described above, by sliding the pair of seat plates 32B constituting the base 32 along the rail 33, the floating table 31, which is the mounting portion of the receiving table 30, can be moved in the direction in which the floating tables 31 are separated from each other.

도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 푸셔(25)는, 수하대(30)에 있어서의 카세트(90)의 위치결정을 행하는 것이다. 푸셔(25)는, 수하대(30)에 놓이는 카세트(90)의 모서리부(角部)(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접함으로써, 수하대(30) 상에 있어서의 카세트(90)의 이동을 규제하여 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)는, 기대(32)의 2장의 좌판(32B)의 각각에 1개씩 세워 설치된다. 푸셔(25)는, 수하대(30)에 놓이는 카세트(90)를 쌍이 되는 푸셔(25)와 함께 끼워서 이루어지는 카세트(90)의 대각(對角) 위치 근방에 배치된다. 푸셔(25)는, 좌판(32B)에 지지되는 푸셔 본체부(25A)와, 푸셔 본체부(25A)에 지지되어 수평 방향으로 출퇴 이동 가능한 암부(25B)를 구비한다. 암부(25B)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접 가능하게 구성되어 있다. 푸셔(25)는, 암부(25B)를, 쌍이 되는 푸셔(25)의 암부(25B)와 함께, 수하대(30) 상의 카세트(90)의 대각 위치로부터 끼워넣도록, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접시킴으로써, 카세트(90)를 소정의 위치에 맞춘다. 여기서, 소정의 위치란, 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)의 자세를 보존유지한 상태로 계지하여 승강 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))이다. 암부(25B)는, 이송기(20)가 수하대(30)로부터 카세트(90)를 반출할 때에는, 카세트(90)를 향해 신장 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접한다. 암부(25B)는, 이송기(20)에 의해서 카세트(90)가 승강할 때에는, 카세트(90)로부터 떨어지는 방향으로 수축 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다.As shown in Figs. 2, 3A, and 3B, the pusher 25 is for positioning the cassette 90 in the receiving stand 30. The pusher 25 abuts on the corner portion 90A (the side of the lower corner portion) of the cassette 90 placed on the receiving stand 30 to move the cassette 90 on the receiving stand 30, And positioning of the cassette 90 is performed. The pushers 25 are installed one by one on each of the two seat panels 32B of the base 32. [ The pusher 25 is disposed in the vicinities of the diagonal positions of the cassette 90 formed by sandwiching the cassette 90 placed on the receiving stand 30 together with the pusher 25 paired therewith. The pusher 25 has a pusher main body portion 25A supported by the seat plate 32B and an arm portion 25B supported by the pusher main portion 25A and capable of moving back and forth in the horizontal direction. The arm portion 25B is configured so as to be able to contact the corner portion 90A (the side surface of the lower corner portion) of the cassette 90. [ The pusher 25 is configured such that the arm portion 25B is fitted with the arm portion 25B of the pushed-down pair 25 from the diagonal position of the cassette 90 on the receiving stand 30, The cassette 90 is brought into contact with the portion 90A (the side of the lower edge portion), thereby positioning the cassette 90 at a predetermined position. Here, the predetermined position is a position (cassette loading / unloading position 11) at which the conveyor 20 can ascend and descend while keeping the posture of the cassette 90 on the receiving stand 30 in a state of being held and maintained. When the conveyor 20 moves the cassette 90 out of the receiving stand 30, the arm portion 25B is extended toward the cassette 90 so that the edge portion 90A of the cassette 90 The side of the lower corner portion). When the cassette 90 is lifted and lowered by the conveyor 20, the arm portion 25B moves in a direction to avoid the lifting path of the cassette 90 by performing contraction movement in the direction away from the cassette 90. [

다음에, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 이송 방법에 대하여 설명한다.Next, the conveyance method of the cassette 90 in the conveyance facility 10 will be described.

도 5에 나타내는 바와 같이, 반송대차(86)에 의해 카세트(90)가 소정의 위치까지 반송되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)에 대해서 수평 이동시키는 것에 의해 반송대차(86) 상의 카세트(90)를 포크(41) 상에 놓아 지지한다.5, when the cassette 90 is conveyed to the predetermined position by the conveyance truck 86, the fork unit 40 extends the fork arm 42 to move the fork 41 to the conveyance truck 86 so that the cassette 90 on the transporting carriage 86 is placed on the fork 41 and supported.

도 6a, 도 6b 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 카세트(90)가 포크(41) 상에 놓이면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 포크(41)에 놓은 상태에서 굴신식 암(42)을 굴곡시킴과 함께 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여, 포크(41)를 이송 설비(10)의 수하대(30)(카세트 반출입 위치(11))의 위쪽까지 수평 이동시킨다. 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 수하대(30)의 위쪽까지 반송하면, 포크(41)를 하강시켜 카세트(90)를 수하대(30)에 놓는다. 이것에 의해, 카세트(90)가 포크 유닛(40)으로부터 수하대(30)에 이송된다.6A, 6B, and 7, when the cassette 90 is placed on the fork 41, the fork unit 40 moves the cassette 90 in a state that the cassette 90 is placed on the fork 41, 42 are bent and the fork 41 is turned. The fork unit 40 extends the forefinger arm 42 and horizontally moves the fork 41 to the upper side of the receiving table 30 (cassette loading / unloading position 11) of the feeding apparatus 10. [ The fork unit 40 moves down the fork 41 to place the cassette 90 on the receiving table 30 when the cassette 90 is transported to the upper side of the receiving table 30. As a result, the cassette 90 is transferred from the fork unit 40 to the receiving table 30.

도 7, 도 8a 및 도 8b에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)에 카세트(90)가 놓이면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 굴곡시켜, 포크(41)를 수하대(30)로부터 떨어진 위치까지 수평 이동시킨다. 또, 수하대(30)의 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 가능해지고), 카세트(90)가 수하대(30) 상에서 이동 가능한 상태로 된다. 계속해서, 푸셔(25)의 암부(25B)가 카세트(90)를 향해 신장 이동하고, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 한 쌍의 암부(25B)에 의해 대각 방향으로부터 협지(挾持)된 상태로 된다.7, 8A, and 8B, when the cassette 90 is placed on the receiving stand 30, the fork unit 40 bends the forked arm 42, (30). The operation of the floating unit 50 of the receiving table 30 is released (the movable unit 52 can move in the horizontal direction with respect to the fixed unit 53) and the cassette 90 is moved on the receiving table 30 It becomes movable. The arm portion 25B of the pusher 25 is extended toward the cassette 90 and contacts the edge portion 90A of the cassette 90. [ As a result, the cassette 90 is sandwiched by the pair of arm portions 25B from the diagonal direction.

푸셔(25)는, 한 쌍의 암부(25B)를 서로 신축 이동시키는 것에 의해, 카세트(90)를 사방으로 이동시킨다. 그리고, 푸셔(25)는, 카세트(90)를, 이송기(20)의 계지부(24A)(계지 기구(24))가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))까지 이동시킨다. 즉, 푸셔(25)는, 카세트(90)를 사방으로 이동시킴으로써, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)에 의한 카세트(90)의 위치결정이 완료하면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 수하대(30) 상에서 이동 불능인 상태로 된다. 이것에 의해, 카세트(90)가, 푸셔(25)에 의해 위치결정된 위치, 즉, 수하대(30) 상의 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지된다.The pusher 25 moves the cassette 90 in all directions by moving the pair of arm portions 25B to and from each other. The pusher 25 is configured so that the cassette 90 is positioned at a position at which the engaging portion 24A of the conveyor 20 (the retaining mechanism 24) can engage the flange portion 92 of the cassette 90 Position 11). That is, the pusher 25 positions the cassette 90 relative to the elevation position of the conveyor 20 by moving the cassette 90 in all directions. When the positioning of the cassette 90 by the pusher 25 is completed, the floating unit 50 is operated (the movable part 52 becomes unable to move horizontally with respect to the fixed part 53) and the cassette 90 ) Is unable to move on the receiving base 30. Thus, the cassette 90 is held at the position positioned by the pusher 25, that is, at the cassette loading / unloading position 11 on the receiving stand 30.

카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지되면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 이송기(20)의 계지 기구(24)가 카세트(90)의 위쪽 위치까지 하강한다. 그리고, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정 방향으로 선회함으로써, 카세트(90)의 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 의해 계지된다. 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 계지되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제된다(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 가능해진다). 이것에 의해, 카세트(90)가 이송기(20)에 의해 승강 이동 가능한 상태로 된다.When the cassette 90 is stored and held at the cassette loading / unloading position 11, the second elevating portion 23 of the conveying machine 20 is driven and the locking mechanism 24 of the conveying machine 20 is moved Lower to the upper position. The flange portion 92 of the cassette 90 is locked by the locking portion 24A when the locking portion 24A of the locking mechanism 24 is pivoted in a predetermined direction. When the flange portion 92 is engaged with the engagement portion 24A, the operation of the floating unit 50 is released (the movable portion 52 becomes movable in the horizontal direction with respect to the fixed portion 53). As a result, the cassette 90 can be moved up and down by the conveyor 20.

플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되면, 푸셔(25)는, 암부(25B)를 카세트(90)로부터 떨어지는 방향(카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향)으로 수축 이동시킨다.When the operation of the floating unit 50 is released, the pusher 25 retracts the arm 25B in the direction in which the arm 25B is detached from the cassette 90 (direction in which the lifting path of the cassette 90 is avoided).

암부(25B)가 수축 이동하면, 수하대(30)의 기대(32)가 레일(33)을 따라 접동한다. 구체적으로는, 카세트 반출입 위치(11)에 위치하는 한 쌍의 좌판(32B)이 서로 떨어지는 방향으로 레일(33)을 따라 수평으로 접동한다. 이것에 의해, 수하대(30)의 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동하고, 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)를 놓고 있던 위치에, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 경로가 형성된다.When the arm portion 25B contracts, the base 32 of the receiving stand 30 slides along the rail 33. Specifically, the pair of seat plates 32B located at the cassette loading / unloading position 11 horizontally slides along the rails 33 in the direction in which they are separated from each other. As a result, the floating table 31 of the receiving table 30 is moved in the direction of avoiding the ascending / descending path of the cassette 90 and the feeding table 20 is moved to the position where the loading table 31 has placed the cassette 90 ) Of the cassette 90 is formed.

수하대(30)의 플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어지면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 카세트(90)를 계지한 계지 기구(24)가 증착 장치(80)를 향해 하강한다. 구체적으로는, 제2 모터(23D)가 구동함으로써 구동 벨트(23C)가 작동하고, 구동 벨트(23C)가 작동함으로써 지지체(23A)가 가이드체(23B)를 따라 하강한다. 그리고, 지지체(23A)에 지지되는 회동축(22B)이 지지체(23A)와 함께 하강하고, 그 하강에 의해 승강 벨트(22A)에 지지되는 계지 기구(24)(카세트(90))가 소정 위치까지 하강한다.When the floating table 31 of the receiving tray 30 is moved away from the cassette loading / unloading position 11, the second elevating portion 23 of the conveyor 20 is driven and the locking mechanism 24, To the deposition apparatus 80, More specifically, the second motor 23D is driven to operate the drive belt 23C, and the drive belt 23C is operated to lower the support body 23A along the guide body 23B. The rotating shaft 22B supported by the supporting body 23A descends together with the supporting body 23A and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) supported by the lifting belt 22A by the descent moves to a predetermined position .

도 9에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)가 소정 위치까지 하강하면, 제2 승강부(23)의 구동이 정지하고, 제1 승강부(22)가 구동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송된다. 구체적으로는, 제2 모터(23D)의 구동이 정지함으로써, 제1 모터(22C)가 구동하여 회동축(22B)이 회동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 승강 벨트(22A)가 회동축(22B)에 의해서 아래쪽으로 권출되고(풀어내지고), 그 권출에 맞추어 계지 기구(24)(카세트(90))가 하강한다.As shown in Fig. 9, when the locking mechanism 24 is lowered to a predetermined position, the driving of the second elevating portion 23 is stopped, and the first elevating portion 22 is driven. Thereby, the cassette 90 which is retained by the retaining mechanism 24 is transferred to the load port 83 of the deposition apparatus 80. Specifically, when the driving of the second motor 23D is stopped, the first motor 22C is driven to rotate the rotating shaft 22B. As a result, the lifting and lowering belt 22A that suspends the retaining mechanism 24 is pulled down (pulled out) downward by the rotating shaft 22B, and the retaining mechanism 24 (the cassette 90) ).

한편, 증착 장치(80)에 있어서 기판(91)에 대한 처리가 완료하면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지한다. 그리고, 제1 모터(22C)가 구동하여 회동축(22B)이 회동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 승강 벨트(22A)가 회동축(22B)에 의해서 위쪽으로 권취되고(감기고), 그 권취에 맞추어 계지 기구(24)가 상승하여 카세트(90)가 로드 포트(83)로부터 반출된다. 계지 기구(24)가 소정 위치까지 상승하면, 제1 모터(22C)의 구동이 정지하고, 제2 모터(23D)가 구동한다. 이것에 의해, 구동 벨트(23C)가 작동하고, 구동 벨트(23C)가 작동함으로써 지지체(23A)가 가이드체(23B)를 따라 상승한다. 그리고, 지지체(23A)에 지지되는 회동축(22B)이 지지체(23A)와 함께 상승하고, 그 상승에 의해 승강 벨트(22A)에 지지되는 계지 기구(24)가 상승한다.On the other hand, when the processing for the substrate 91 is completed in the evaporation apparatus 80, the engagement portion 24A of the locking mechanism 24 locks the flange portion 92 of the cassette 90. [ Then, the first motor 22C is driven to rotate the rotary shaft 22B. As a result, the lifting and lowering belt 22A that suspends the retaining mechanism 24 is wound up (rolled) by the rotating shaft 22B, and the retaining mechanism 24 is lifted in accordance with the retraction, Is discharged from the load port (83). When the locking mechanism 24 is raised to a predetermined position, the driving of the first motor 22C is stopped and the second motor 23D is driven. As a result, the drive belt 23C is actuated, and the drive belt 23C is actuated to raise the support body 23A along the guide body 23B. The rotating shaft 22B supported by the supporting body 23A is lifted together with the supporting body 23A and the locking mechanism 24 supported by the lifting and lowering belt 22A is lifted.

계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 수하대(30)의 위쪽까지 상승하면, 수하대(30)의 기대(32)가 레일(33)을 따라 접동한다. 구체적으로는, 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어져 있던 한 쌍의 좌판(32B)이, 서로 접근하는 방향으로 레일(33)을 따라 수평으로 접동한다. 이것에 의해, 플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)에 배치된다.The base 32 of the receiving table 30 slides along the rail 33 when the cassette 90 which is locked to the locking mechanism 24 is lifted to the upper side of the receiving table 30. Specifically, the pair of seat plates 32B spaced apart from the cassette loading / unloading position 11 horizontally slides along the rails 33 in directions approaching each other. Thus, the floating table 31 is disposed at the cassette loading / unloading position 11.

플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)에 배치되면, 제2 모터(23D)가 구동하여 계지 기구(24)가 하강한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 하강하여 플로팅 테이블(31)에 놓인다. 카세트(90)가 플로팅 테이블(31)에 놓이면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정 방향으로 선회함으로써, 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제된다. 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 계속해서, 포크 유닛(40)은, 포크(41)를 상승시킴으로써, 수하대(30)에 놓여 있는 카세트(90)를 포크(41)에 놓아 지지한다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 굴절시킴과 함께, 카세트(90)를 놓은 포크(41)를 선회시킨다. 그리고, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)까지 수평 이동시키고, 포크(41) 상의 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.When the floating table 31 is placed at the cassette loading / unloading position 11, the second motor 23D is driven and the locking mechanism 24 is lowered. As a result, the cassette 90 is lowered and placed on the floating table 31. When the cassette 90 is placed on the floating table 31, the locking portion 24A of the locking mechanism 24 is pivoted in a predetermined direction, thereby releasing the engagement with the flange portion 92 by the locking portion 24A. The fork unit 40 extends the fork arm 42 to horizontally move the fork 41 to the cassette loading / unloading position 11 when the lock on the flange portion 92 is released by the lock portion 24A. Subsequently, the fork unit 40 raises the fork 41 to place the cassette 90 lying on the receiving table 30 on the fork 41 and support it. Further, the fork unit 40 deflects the bending arm 42 and turns the fork 41 on which the cassette 90 is placed. The fork unit 40 extends the fork arm 42 to move the fork 41 horizontally to the conveyance carriage 86 and feed the cassette 90 on the fork 41 to the conveyance carriage 86 do.

이상과 같이, 본 발명에 관계된 이송 설비(10)는, 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이에서 카세트(90)를 승강 이동시킬 때에, 수하대(30)가 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동하고 있기 때문에, 카세트(90)가 수하대(30)에 간섭하는 일이 없다(카세트(90)가 수하대(30)에 접촉하는 일이 없다). 그 때문에, 수하대(30)와의 간섭을 피하기 위해서, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)를 선회시키는 등의 동작이 불필요해지고, 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이의 카세트(90)의 이송를 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 이송기(20)가 상기 동작을 행할 필요가 없기 때문에, 이송기(20)가 카세트(90)를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 있고, 이송기(20)의 이송 정밀도를 향상시킬 수가 있다.As described above, the conveying apparatus 10 according to the present invention is configured such that when the cassette 90 is moved up and down between the receiving stand 30 and the load port 83, when the receiving stand 30 moves up and down the cassette 90 The cassette 90 does not interfere with the receiving table 30 (the cassette 90 does not come into contact with the receiving tray 30). For this reason, in order to avoid interference with the receiving table 30, it is not necessary to perform an operation such as turning the cassette 90 when the cassette 90 is moved up and down by the conveyor 20, The cassette 90 can be efficiently conveyed between the load ports 83. [ Since the conveyor 20 does not need to perform the above operation, the conveyor 20 can hold and hold the cassette 90 in a positioned state, and the conveyance accuracy of the conveyor 20 can be improved .

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)에 있어서 이송되는 물품은 카세트(90)에 한정되는 것은 아니고, 수하대(30)와 이송기(20) 사이에서 이송를 행하는 것이 가능한 물품이면 상관없다.In the present embodiment, the article to be transported in the transport facility 10 is not limited to the cassette 90, but may be an article capable of transporting between the transport platform 30 and the transport device 20 .

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 상부의 갈고리모양의 플랜지부(92)를 계지한 상태에서, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 이송기(20)가 카세트(90)의 측면을 파지한 상태에서 카세트(90)를 승강 이동시켜도 상관없다.In the present embodiment, the conveying unit 20 moves the cassette 90 in a state where the hooking portion 24A of the conveyor 20 holds the hooked flange portion 92 at the upper portion of the cassette 90 However, the present invention is not limited to this. For example, the cassette 90 may be moved up and down in a state where the conveyor 20 holds the side surface of the cassette 90.

본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)가 제1 승강부(22)와 제2 승강부(23)에 의한 2단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 승강부(22) 또는 제2 승강부(23)의 어느것인가 한쪽만, 즉, 1단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시켜도 상관없다. 또, 제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)에 부착한 승강 벨트(22A)를 회동축(22B)에 대해서 권취 및 권출함으로써 카세트(90)의 승강을 행하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 지지 프레임을 볼나사에 의해서 승강시키는 것에 의해 카세트(90)의 승강을 행해도 상관없다.In the present embodiment, the conveyor 20 moves the cassette 90 up and down by the two-step elevation movement by the first elevation portion 22 and the second elevation portion 23, Alternatively, only one of the first elevating portion 22 and the second elevating portion 23, that is, the elevating and lowering of the first stage, may be used to raise and lower the cassette 90. The first elevating portion 22 lifts and lowers the cassette 90 by winding and pulling up the lifting and lowering belt 22A attached to the retaining mechanism 24 with respect to the rotating shaft 22B, Rather, the cassette 90 may be raised or lowered by raising and lowering the support frame supporting the retaining mechanism 24 by the ball screw.

본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)이, 포크(41)의 폭 방향의 양단부에, 포크(41)의 긴쪽 방향을 따라 복수개 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치되어 있지만, 카세트(90)를 포크(41) 상에서 충분히 지지하는 것이 가능하면, 플로팅 유닛(50)의 배치 위치, 갯수는 한정되지 않는다.In the present embodiment, the floating unit 50 is disposed on the mounting surface 41a in such a state that a plurality of the floating units 50 are arranged at both end portions in the width direction of the fork 41 along the longitudinal direction of the fork 41, The position and the number of the floating unit 50 are not limited as long as the supporting unit 90 can be sufficiently supported on the fork 41. [

본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)의 가동부 복귀 수단(KF)을 자석식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 스프링의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다. 마찬가지로, 본 실시 형태에 있어서는, 지지체 복귀 수단(SF)을 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 자석식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다.In the present embodiment, the movable-portion returning means KF of the floating unit 50 is constituted by the magnetic-type returning means, but the present invention is not limited to this, but may be applied to the elastic-urging-type returning means using the elastic urging force of the spring . Similarly, in the present embodiment, the support member returning means SF is constituted by the returning means of elastic urging type, but it may be constituted by the magnet type returning means.

본 실시 형태에 있어서는, 푸셔(25)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접함으로써 카세트(90)의 위치를 규제하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 측면으로서, 당접 시에 카세트(90)의 위치를 규제 가능하면, 카세트(90)의 측면의 중앙부를 당접하도록 구성해도 상관없다. 또, 2개의 푸셔(25)에 의해 카세트(90)의 위치 규제를 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개, 혹은 3개 이상의 푸셔(25)에 의해 위치 규제를 행해도 상관없다.The pusher 25 restricts the position of the cassette 90 by abutting against the edge portion 90A of the cassette 90. The present invention is not limited to this, The center portion of the side surface of the cassette 90 may be in contact with the cassette 90 if the position of the cassette 90 can be regulated at the time of contact. Although the position of the cassette 90 is regulated by the two pushers 25, the position of the cassette 90 is not limited to this, and the position regulation may be performed by one pusher 25 or three pushers 25 or more.

본 실시 형태에 있어서는, 수하대(30)를 복수의 플로팅 테이블(31)과 기대(32)에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)를 놓을 수 있고 또한 이동 가능한 구성이면, 1개의 플로팅 테이블(31)과 기대(32)(기대 본체(32A), 좌판(32B))에 의해 구성해도 상관없다.In the present embodiment, the receiving table 30 is composed of a plurality of the floating tables 31 and the base 32. However, the present invention is not limited to this, and if the cassette 90 can be placed and moved , One floating table 31 and the base 32 (the base body 32A and the seat 32B).

본 실시 형태에 있어서는, 복수의 플로팅 테이블(31)이 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동 가능하면, 모든 플로팅 테이블(31)을 동일한 방향으로 이동시켜도 상관없다. 또, 복수의 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 수평으로 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동 가능하면, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 수평으로 직교하지 않는 방향, 예를 들면, 카세트(90)의 장착 위치(카세트 반출입 위치(11))로부터 비스듬히 아래(斜下) 방향으로 이동시켜도 상관없다.In the present embodiment, the plurality of floating tables 31 are configured to be movable in a direction in which they are separated from each other. However, the present invention is not limited to this, and if the movable table can move to a position avoiding the elevation path of the cassette 90, (31) may be moved in the same direction. The plurality of floating tables 31 are configured so as to be movable in a direction orthogonal to the elevating path of the cassette 90. However, the present invention is not limited to this, and may be a position where the elevating path of the cassette 90 is avoided If it is possible to move the cassette 90 in a direction that is not orthogonal to the elevation path of the cassette 90 such as the obliquely downward direction from the mounting position of the cassette 90 (cassette loading / unloading position 11) Does not matter.

본 실시 형태에 있어서는, 기대(32)를 개재하여 플로팅 테이블(31)을 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 플로팅 테이블(31) 자체를 직접 이동시켜도 상관없다.In the present embodiment, the floating table 31 is moved via the base 32. However, the present invention is not limited to this, and the floating table 31 itself may be moved directly.

본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)가 기판(91)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)에 부설되는 설비이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비이면, 증착 장치(80) 이외의 장치에 부설되는 설비이더라도 상관없다.In the present embodiment, the transfer facility 10 is installed in the evaporation apparatus 80 that performs the deposition processing with respect to the substrate 91. However, the present invention is not limited to this, The present invention is not limited to the equipment that is attached to the apparatus other than the deposition apparatus 80. For example,

10: 이송 설비
20: 이송기
30: 수하대
80: 증착 장치(처리 장치)
83: 로드 포트
90: 카세트(용기)
91: 기판(물품)10: Transfer facility
20: conveyor
Thirty
80: Deposition apparatus (processing apparatus)
83: Load port
90: Cassette (container)
91: substrate (article)

Claims

1. A transfer facility for transferring a container containing the product to a processing apparatus for processing the product,
A load receiving table provided above the processing apparatus,
And a conveying device for conveying the container between the receiving stand and the processing apparatus
And,
And the load port and the load port of the processing apparatus are disposed at positions where they overlap each other in plan view (plan view)
Wherein the conveyor is configured to move the container for carrying out or bringing in the container to and from the receiving stand and moving it between the receiving stand and the processing apparatus,
The undercarriage,
Wherein when the conveyor moves the container out of or into the receiving stand, the conveyor is located on the ascending / descending path of the container,
Wherein the container is configured to be movable in a direction in which the container is lifted and lowered by the conveyor
And a conveying device.

The method according to claim 1,
Wherein the float bed is configured to be movable in a direction orthogonal to an elevating path of the container
And a conveying device.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the water receiver includes a plurality of mounting portions for placing the container,
Wherein the plurality of mounting portions are configured to be movable in a direction in which they are separated from each other
And a conveying device.

3. The method according to claim 1 or 2,
And a positioning device for positioning the container in the water receptacle,
Wherein the positioning device is configured so as to be movable in a direction to avoid the lifting path of the container when the container is lifted and lowered by the conveying device
And a conveying device.

A method of conveying a container for conveying a container containing the article to a processing apparatus that performs processing on the article,
A conveyor for elevating and conveying the container between the receiving stand and the processing apparatus; and a load port of the processing apparatus disposed at a position overlapping each other in a plan view,
The container supported by the receiving stand is taken out from the receiving stand by the conveying device,
The conveyor is moved up and down by moving the conveyor base in a direction in which the conveyor is moved in the direction to avoid the elevation path of the conveyor
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