KR102277208B1 - Tray storage buffer and apparatus for transferring trays having the same - Google Patents

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Abstract

트레이들을 수납하는 카트와 트레이들을 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하는 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 임시 수납하는 트레이 수납 버퍼가 개시된다. 트레이 수납 버퍼, 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며 트레이들을 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임과, 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 포트에 수납된 트레이들을 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임과, 포트의 바닥부에서 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀과, 메인 프레임에 결합되고 포트 안에 구비되며 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함할 수 있다. 이와 같이, 트레이 수납 버퍼는 트레이들의 반입 및 반출이 개방된 측부를 통해 이루어지므로, 트레이 이송 유닛의 동선에 간섭을 주지 않고 대량의 트레이들을 수납할 수 있다.Disclosed is a tray storage buffer for temporarily accommodating trays transported by a tray transport unit having a cart for accommodating trays and a fork for loading and unloading trays to and from the cart. A tray storage buffer, a main frame that is fixed to the ceiling of a semiconductor manufacturing line and has a plurality of ports for accommodating trays and has an open side for entering and exiting the trays, is mounted on the bottom of the port and spaced apart from each other to face A pair of support frames for supporting the trays stored in the port by being spaced apart from the bottom of the port, and a cart guide pin mounted on the side of the inlet from the bottom of the port to which the trays enter and exit and guide the position of the cart; A plurality of guide brackets coupled to the frame and provided in the port for guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from being tilted may be included. In this way, since the tray accommodation buffer is carried in and out of the trays through the open side, it is possible to accommodate a large amount of trays without interfering with the movement of the tray transfer unit.

Description

트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치{Tray storage buffer and apparatus for transferring trays having the same}Tray storage buffer and tray transfer device having the same {Tray storage buffer and apparatus for transferring trays having the same}

본 발명의 실시예들은 트레이 수납 버퍼 및 트레이 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 반도체 소자들의 수납을 위한 트레이들을 이송하기 위한 트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a tray receiving buffer and a tray transport device. More particularly, it relates to a tray receiving buffer for transporting trays for accommodating semiconductor devices in a semiconductor manufacturing process, and a tray transport apparatus having the same.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 이렇게 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정을 통하여 반도체 패키지들과 같은 전자 부품으로 제조될 수 있다.In general, semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes, and the semiconductor devices formed in this way are formed in electronic devices such as semiconductor packages through a dicing process, a bonding process, and a packaging process. It can be manufactured from parts.

이렇게 제조된 전자 부품들은 트레이에 수납된 상태로 OHT(Overhead Hoist Transfer)와 같은 이송 장치에 의해 검사 공정 등 후속 공정 설비들로 이송될 수 있다.The electronic components manufactured in this way may be transferred to subsequent process facilities, such as an inspection process, by a transfer device such as an overhead hoist transfer (OHT) in a state stored in a tray.

OHT는 복수의 트레이를 적층된 상태로 수납하며 반도체 제조 라인의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동하면서 트레이들을 후속 공정 설비의 로드 영역으로 이송할 수 있다. 이때, 후속 공정 설비의 로드 영역에 트레이들이 존재하는 경우 OHT는 트레이들을 트레이 수납 버퍼에 임시 수납한다. 트레이 수납 버퍼는 주행 레일을 따라 구비될 수 있으며, 트레이들을 적층된 형태로 수납할 수 있는 복수의 포트를 구비할 수 있다.The OHT accommodates a plurality of trays in a stacked state and can transport the trays to a load area of a subsequent process facility while moving along a traveling rail installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line. At this time, when trays exist in the load area of the subsequent process equipment, the OHT temporarily stores the trays in the tray storage buffer. The tray storage buffer may be provided along the traveling rail, and may include a plurality of ports capable of accommodating trays in a stacked form.

종래의 트레이 수납 버퍼는 OHT의 아래에 위치하며 개방된 상부를 통해 OHT로부터 트레이들이 반입 및 반출된다. 그러나 트레이의 사이즈가 증가할 경우 트레이 수납 버퍼에 적층된 트레이들의 높이 또한 증가하여 OHT의 동선 확보가 어렵고 소형 사이즈의 트레이만 트레이 수납 버퍼에 수납할 수 있는 문제점이 있다.The conventional tray storage buffer is located below the OHT, and trays are loaded and unloaded from the OHT through the open top. However, when the size of the tray increases, the height of the trays stacked on the tray storage buffer also increases, so that it is difficult to secure the OHT's movement and only small-sized trays can be stored in the tray storage buffer.

대한민국공개특허공보 제10-2009-0091482호 (2009.08.28)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2009-0091482 (2009.08.28) 대한민국공개특허공보 제10-2013-0098688호 (2013.09.05)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0098688 (2013.09.05)

본 발명의 실시예들은 트레이 이송 동선을 충분히 확보하면서 트레이 사이즈에 상관없이 트레이들을 임시 보관할 수 있는 트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a tray storage buffer capable of temporarily storing trays irrespective of the tray size while sufficiently securing the tray transport movement, and a tray transport device having the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 트레이 수납 버퍼는, 적층된 복수의 트레이가 수납되는 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하는 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납한다. 구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼, 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며 적층된 복수의 트레이를 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임과, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임과, 상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀과, 상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.Tray storage buffer according to an aspect of the present invention for achieving the above object, a tray transported by a tray transport unit having a cart in which a plurality of stacked trays are accommodated, and a fork for carrying in and taking out the trays into the cart. store them Specifically, the tray storage buffer, a main frame fixed to the ceiling of the semiconductor manufacturing line and having a plurality of ports for accommodating a plurality of stacked trays, the main frame having an open side for entry and exit of the trays, and the bottom of the port A pair of support frames mounted on the pole and positioned to face each other and spaced apart from the bottom of the port to support the trays accommodated in the port, and the bottom of the port mounted on the inlet side through which the trays enter and exit. and a cart guide pin for guiding the position of the cart, and a plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the port for guiding the trays in order to prevent the trays supported on the support frames from being tilted. may include.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼. 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 트레이들을 상기 포트에 반출 및 반입하기 위해 상기 포크부가 상기 포트 안으로 인입될 경우 상기 포크부의 위치를 감지하여 상기 포크부를 정위치시키기 위한 포크 얼라인부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray storage buffer. It may further include a fork aligner mounted on the bottom of the port and configured to detect the position of the fork when the fork is drawn into the port to transport and bring the trays into and out of the port to position the fork in place. have.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포크 얼라인부는 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위해 상기 포크부에 장착된 제1 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 포크 센싱 반사판을 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the fork alignment unit may include a fork sensing reflector that receives and reflects light from the first optical sensor mounted on the fork to detect the position of the fork in the port. have.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer may further include a tray sensing unit mounted on the bottom of the port and configured to detect whether the port is in an empty state.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 감지부는, 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되고 상기 포트 안의 트레이들 유무를 감지하기 위해 상기 트레이 이송 유닛에 장착된 제2 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 트레이 센싱 반사판을 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray sensing unit is disposed inclined with respect to the bottom of the port and receives light from a second optical sensor mounted on the tray transfer unit to detect the presence of trays in the port. A reflective tray sensing reflector may be provided.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 메인 프레임에서 상기 포트의 측부를 구성하는 기둥 프레임들에 결합되고 상기 포트에 수납된 트레이들의 측면 부위를 가이드할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide brackets may be coupled to the pillar frames constituting the side of the port in the main frame and guide side portions of the trays accommodated in the port.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 포트의 입구부 측에 위치하고 플레이트 형상을 가지며 상기 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓과, 상기 전방 가이드 브라켓들과 서로 대향하여 위치하고 상기 트레이들의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide brackets, a pair of front guide brackets positioned on the inlet side of the port and having a plate shape for guiding side portions of the trays, and the front guide brackets are opposite to each other It may include a pair of rear guide brackets positioned toward the side for guiding the rear portion together with the side portions of the trays.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 트레이 이송 장치는, 적층된 복수의 트레이가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하며 상기 트레이들을 이송하는 트레이 이송 유닛과, 상기 주행 레일의 일측에 구비되며 상기 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 천장에 고정되며 상기 트레이들을 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임과, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임과, 상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀과, 상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.In addition, the tray transport device according to another aspect of the present invention for achieving the above object is provided with a cart in which a plurality of stacked trays are accommodated and capable of vertical and horizontal movement and a fork unit for carrying in and taking out the trays into and out of the cart, A tray transport unit that travels along a traveling rail provided on the ceiling of a semiconductor manufacturing line and transports the trays, and a tray storage buffer that is provided on one side of the traveling rail and accommodates the trays transported by the tray transport unit. can Specifically, the tray storage buffer is fixed to the ceiling and has a plurality of ports for accommodating the trays, and a main frame with an open side for entry and exit of the trays, is mounted on the bottom of the port and spaced apart from each other a pair of support frames positioned to face each other and supporting the trays accommodated in the port by being spaced apart from the bottom of the port, and mounted on the side of the inlet from which the trays enter and exit from the bottom of the port, the position of the cart It may include a cart guide pin for guiding and a plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the port for guiding the trays in order to prevent the trays supported on the support frames from being tilted. .

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 포크 센싱 반사판을 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 트레이 이송 유닛은, 상기 포크부에 장착되며 상기 포크 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 포크 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제1 광센서를 더 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer may further include a fork sensing reflector that is mounted on the bottom of the port and detects the position of the fork in the port. In addition, the tray transfer unit is mounted on the fork portion and irradiates light toward the fork sensing reflector and further includes a first optical sensor for aligning the fork unit according to whether or not light reflected from the fork sensing reflector is received. can

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되며 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 센싱 반사판을 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 트레이 이송 유닛은, 상기 트레이 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 트레이 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 제2 광센서를 더 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer is mounted on the bottom of the port and disposed at an angle with respect to the bottom of the port, further comprising a tray sensing reflector for detecting whether the port is in an empty state. can In addition, the tray transfer unit may further include a second photosensor for irradiating light toward the tray sensing reflector and detecting whether the port is in an empty state according to whether the light reflected from the tray sensing reflector is received. .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 트레이 수납 버퍼는 주행 레일들의 일측에 구비되며 트레이들의 반입 및 반출이 개방된 측부를 통해 이루어진다. 이에 따라, 트레이 수납 버퍼는 트레이들의 크기가 커지더라도 트레이 이송 유닛의 동선에 간섭을 주지 않고 대량의 트레이들을 수납할 수 있다. 그 결과, 트레이 이송 장치의 효율을 향상시킬 수 있으며 설비의 공간 이용율을 높일 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the tray storage buffer is provided on one side of the traveling rails, and the loading and unloading of the trays is made through the open side. Accordingly, the tray storage buffer can accommodate a large amount of trays without interfering with the movement of the tray transfer unit even if the size of the trays increase. As a result, the efficiency of the tray transfer device can be improved and the space utilization rate of the equipment can be increased.

더욱이, 트레이 수납 버퍼는 카트 가이드 핀과 가이드 브라켓들을 구비함으로써, 트레이 이송 유닛에 의해 트레이들을 반입 및 반출할 수 있고 트레이들을 안전하게 수납할 수 있다.Furthermore, since the tray storage buffer is provided with a cart guide pin and guide brackets, trays can be loaded and unloaded by the tray transfer unit and the trays can be safely accommodated.

또한, 트레이 수납 버퍼는 트레이들의 반입 및 반출 시 포트 안에서 포크부를 정렬하기 위한 포크 얼라인부를 구비함으로써, 트레이들의 더욱 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.In addition, the tray storage buffer has a fork aligning unit for aligning the fork in the port when the trays are loaded and unloaded, thereby enabling safer loading and unloading of the trays.

또한, 트레이 수납 버퍼는 트레이 이송 유닛이 포트가 빈 상태인지를 감지할 수 있도록 트레이 감지부를 구비함으로써, 트레이들의 신속한 이송과 함께 트레이 이송 장치의 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the tray accommodation buffer is provided with a tray sensing unit to detect whether the tray transfer unit is in an empty state, thereby improving the efficiency of the tray transfer apparatus together with the rapid transfer of trays.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a tray transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic perspective view illustrating the tray storage buffer shown in FIG. 1 .
3 is a schematic enlarged perspective view for explaining the tray storage buffer shown in FIG.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a tray transfer device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정에서 반도체 소자들(미도시)의 운반을 위해 사용되는 트레이들(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a tray transport apparatus 300 according to an embodiment of the present invention may be used for transporting trays 10 used for transporting semiconductor devices (not shown) in a semiconductor manufacturing process. .

상기 트레이 이송 장치(300)는 반도체 제조 라인의 천장(20)에 설치된 주행 레일들(30)을 따라 주행하면서 상기 트레이들(10)을 후속 공정을 위한 반도체 설비로 이송하는 트레이 이송 유닛(100)과, 상기 트레이들(10)을 상기 반도체 설비로 이송 과정에서 상기 트레이들(10)을 임시 수납하기 위한 트레이 수납 버퍼(200)를 포함할 수 있다.The tray transfer device 300 is a tray transfer unit 100 that transfers the trays 10 to a semiconductor facility for a subsequent process while traveling along the traveling rails 30 installed on the ceiling 20 of the semiconductor manufacturing line. and a tray storage buffer 200 for temporarily accommodating the trays 10 in the process of transferring the trays 10 to the semiconductor facility.

구체적으로, 상기 트레이 이송 유닛(100)은, 상기 주행 레일(30)을 따라 이동하는 주행부(110)와, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 수납된 트레이들(10)을 수직 방향과 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 핸드(120)와, 상기 트레이들(10)이 적층된 형태로 수납될 수 있는 카트(130)와, 상기 카트(130) 안에 수납된 트레이들(10)을 지지하는 포크부(150)를 구비할 수 있다. 본 발명의 일례로, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 트레이 OHT(Overhaed Hoist Transport)로 이용될 수 있다.Specifically, the tray conveying unit 100, the traveling unit 110 moving along the traveling rail 30, and the trays 10 accommodated in the tray conveying unit 100 in vertical and horizontal directions A moving hand 120 that can move to the , a cart 130 in which the trays 10 can be accommodated in a stacked form, and a fork supporting the trays 10 accommodated in the cart 130 . A unit 150 may be provided. As an example of the present invention, the tray transport unit 100 may be used as a tray OHT (Overhaed Hoist Transport).

상기 이동 핸드(120)는 상기 주행부(110)에 결합되며, 상기 카트(130)를 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동 핸드(120)에는 상기 카트(130)를 보호하는 하우징(140)이 고정될 수 있으며, 상기 하우징(140) 안에는 상기 카트(130)의 상부 부위가 위치할 수 있다.The moving hand 120 is coupled to the traveling unit 110 , and may move the cart 130 in vertical and horizontal directions. A housing 140 protecting the cart 130 may be fixed to the moving hand 120 , and an upper portion of the cart 130 may be located in the housing 140 .

상기 카트(130)는 상기 이동 핸드(120)의 하부에 결합되며, 상기 트레이들(10)이 적층된 상태로 수납될 수 있는 수납공간을 구비한다. 상기 수납공간 안에는 상기 포크부(150)가 장착될 수 있다.The cart 130 is coupled to the lower portion of the moving hand 120 and has a storage space in which the trays 10 can be accommodated in a stacked state. The fork unit 150 may be mounted in the storage space.

상기 포크부(150)는 수평 이동이 가능하게 구비되며, 상기 카트(130)와 상기 트레이 수납 버퍼(200) 간에 상기 트레이들(10)을 이송할 수 있다. 즉, 상기 포크부(150)는 상기 트레이들(10)을 상기 카트(130)로부터 상기 트레이 수납 버퍼(200)로 반출하고, 상기 트레이 수납 버퍼(200)로부터 상기 트레이들(10)을 상기 카트(130)로 반입한다.The fork unit 150 is provided to be able to move horizontally, and the trays 10 can be transferred between the cart 130 and the tray storage buffer 200 . That is, the fork unit 150 transports the trays 10 from the cart 130 to the tray storage buffer 200 , and transports the trays 10 from the tray storage buffer 200 to the cart. Bring it to (130).

한편, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(100)의 이동 경로 상에 위치하며, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 트레이들(10)을 임시 보관할 수 있다. 예를 들어, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 수납된 트레이들(10)이 공급될 후속 공정 설비의 로드 영역에 트레이들이 적재되어 있을 경우, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 트레이들(10)을 상기 트레이 수납 버퍼(200)로 이송할 수 있다.Meanwhile, the tray storage buffer 200 is located on the movement path of the tray transfer unit 100 , and may temporarily store the trays 10 transferred by the tray transfer unit 100 . For example, when trays are loaded in a load area of a subsequent process facility to which the trays 10 accommodated in the tray transfer unit 100 are to be supplied, the tray transfer unit 100 is the trays 10 . may be transferred to the tray storage buffer 200 .

이하, 도면을 참조하여 상기 트레이 수납 버퍼(200)에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the tray storage buffer 200 will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 도 1에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도이다.FIG. 2 is a schematic perspective view for explaining the tray storage buffer shown in FIG. 1 , and FIG. 3 is a schematic enlarged perspective view for explaining the tray storage buffer shown in FIG. 2 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 도 1에 도시된 것처럼 상기 주행 레일들(30)의 일측에 위치하며, 상기 반도체 제조 라인의 천장(20)에 고정될 수 있다.1 and 2 , the tray storage buffer 200 is positioned on one side of the traveling rails 30 as shown in FIG. 1 , and may be fixed to the ceiling 20 of the semiconductor manufacturing line. .

도 1에는 상기 트레이 수납 버퍼(200)가 상기 주행 레일들(30)의 일측에만 구비되는 것으로 도시하였으나, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 주행 레일들(30)의 양측에 각각 구비될 수 있다.In FIG. 1 , the tray storage buffer 200 is illustrated as being provided on only one side of the traveling rails 30 , but the tray storage buffer 200 may be provided on both sides of the traveling rails 30 , respectively. .

구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는, 상기 트레이들(10)을 수납하기 위한 복수의 포트(212)를 구비하는 상기 메인 프레임(210)과, 상기 포트(212)에 수납되는 트레이들(10)을 지지하기 위한 한 쌍의 지지 프레임(220)과, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출 시 상기 카트(130)의 위치를 가이드하기 위한 복수의 카트 가이드 핀(230)과, 상기 포트(212)에 적층된 상태로 수납된 트레이들(10)의 기울어짐을 방지하기 위한 복수의 가이드 브라켓(242, 244)을 포함할 수 있다.Specifically, the tray storage buffer 200 includes the main frame 210 having a plurality of ports 212 for accommodating the trays 10 and trays ( 10) a pair of support frames 220 for supporting, and a plurality of carts for guiding the position of the cart 130 when the trays 10 are carried in and out by the tray transfer unit 100 A guide pin 230 and a plurality of guide brackets 242 and 244 for preventing inclination of the trays 10 stored in a stacked state on the port 212 may be included.

상기 메인 프레임(210)은 복수의 고정 브라켓(250)에 의해 상기 반도체 제조 라인의 천장(20)에 고정될 수 있으며, 상기 트레이들(10)의 출입을 위해 측부가 개방된다. 즉, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 메인 프레임(210)의 개방된 측부를 통해 상기 카트(130)에 수납된 트레이들(10)을 상기 메인 프레임(210)의 포트(212)에 적재하고, 상기 메인 프레임(210)의 개방된 측부를 통해 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 반출한다.The main frame 210 may be fixed to the ceiling 20 of the semiconductor manufacturing line by a plurality of fixing brackets 250 , and a side of the main frame 210 is opened for entry and exit of the trays 10 . That is, the tray transfer unit 100 loads the trays 10 accommodated in the cart 130 through the open side of the main frame 210 into the port 212 of the main frame 210 and , the trays 10 accommodated in the port 212 are taken out through the open side of the main frame 210 .

상기 메인 프레임(210)의 각 포트(212)에는 상기 트레이들(10)이 수납될 수 있다. 상기 트레이들(10)은 적층된 상태로 상기 포트(212)에 수납된다.The trays 10 may be accommodated in each port 212 of the main frame 210 . The trays 10 are accommodated in the port 212 in a stacked state.

도 1에는 상기 메인 프레임(210)이 4개의 포트(212)를 구비하는 것으로 도시하였으나, 상기 포트(212)의 개수는 상기 메인 프레임(210)과 상기 트레이들(10)의 크기에 따라 달라질 수 있다.Although the main frame 210 is illustrated as having four ports 212 in FIG. 1 , the number of the ports 212 may vary depending on the sizes of the main frame 210 and the trays 10 . have.

상기 포트(212)의 바닥부(214)에는 상기 한 쌍의 지지 프레임(220)이 장착될 수 있다. 상기 지지 프레임들(220)은 서로 이격되어 마주하게 위치하며, 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 지지할 수 있다. 특히, 상기 지지 프레임들(220)은 상기 트레이 이송 유닛(100)의 포크부(150)가 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로 적재 및 반출하기 용이하도록 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 상기 포트(212)의 바닥부(214)로부터 이격시켜 지지한다.The pair of support frames 220 may be mounted on the bottom 214 of the port 212 . The support frames 220 are spaced apart from each other to face each other, and may support the trays 10 accommodated in the port 212 . In particular, the support frames 220 are accommodated in the port 212 so that the fork 150 of the tray transfer unit 100 facilitates loading and unloading the trays 10 to and from the port 212 . The trays 10 are supported by being spaced apart from the bottom 214 of the port 212 .

상기 포트(212)의 입구부에는 상기 카트 가이드핀들(230)이 구비될 수 있다. 상기 카트 가이드핀들(230)은 상기 포트의 바닥부(214)에 장착되며, 상기 트레이들(10)이 상기 포트(212)로부터 반출되거나 상기 포트(212)로 반입 시 상기 카트(130)의 위치를 가이드하여 정렬한다.The cart guide pins 230 may be provided at the inlet portion of the port 212 . The cart guide pins 230 are mounted on the bottom part 214 of the port, and the position of the cart 130 when the trays 10 are taken out of the port 212 or loaded into the port 212 . to guide the alignment.

한편, 상기 가이드 브라켓들(242, 244)은 상기 메인 프레임(212)에서 상기 포트(212)의 측부를 구성하는 기둥 프레임들(216, 218)에 장착될 수 있으며, 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)의 측면 부위를 가이드한다.Meanwhile, the guide brackets 242 and 244 may be mounted on the pillar frames 216 and 218 constituting the side of the port 212 in the main frame 212 , and are accommodated in the port 212 . Guides the side portion of the trays (10).

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가이드 브라켓들(242, 244)은 상기 포트(212)의 입구부 측에 위치하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓(242)과, 상기 포트(212)의 후방부 측에 위치하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓(244)으로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the guide brackets 242 and 244 include a pair of front guide brackets 242 positioned on the inlet side of the port 212 and a rear portion of the port 212 . It may be made of a pair of rear guide brackets 244 located on the side.

상기 전방 가이드 브라켓들(242)은 상기 포트(212)의 입구부 측에 위치하는 기둥 프레임들(216)에 장착되고, 플레이트 형상을 가지며, 상기 트레이들(10)의 측면 부위를 가이드할 수 있다.The front guide brackets 242 are mounted on the pillar frames 216 positioned on the inlet side of the port 212 , have a plate shape, and guide side portions of the trays 10 . .

상기 후방 가이드 브라켓들(244)은 상기 전방 가이드 브라켓들(242)과 서로 대향하여 위치하고, 상기 포트(212)의 후방부 측에 위치하는 기둥 프레임들(218)에 장착되며, 상기 트레이들(10)의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드할 수 있다. 본 발명의 일례로, 상기 후방 가이드 브라켓들(244) 각각은 'ㄱ'자 형상을 가질 수 있다.The rear guide brackets 244 are positioned to face each other with the front guide brackets 242 , and are mounted on pillar frames 218 positioned on the rear side of the port 212 , and the trays 10 ) can guide the rear part together with the side part. As an example of the present invention, each of the rear guide brackets 244 may have a 'L' shape.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(100)의 포크부(150)가 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로 적재 및 상기 포트(212)로부터 반출시 상기 포크부(150)의 위치를 가이드하기 위한 포크 얼라인부(260)를 더 구비할 수 있다.1 and 3 , the tray storage buffer 200 includes the fork 150 of the tray transfer unit 100 loading the trays 10 into the port 212 and the port 212 . ) may further include a fork alignment part 260 for guiding the position of the fork part 150 when it is taken out.

즉, 상기 트레이들(10)은 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 포트(212)에 적재시 상기 포크부(150)에 적재된 상태로 이동되며, 상기 포트부(150)의 수평 이동에 의해 상기 포트(212) 안으로 인입되어 상기 지지 프레임들(220) 상에 적재된다. 또한, 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로부터 반출시, 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안으로 인입한 후에 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 픽업하여 상기 카트(130)로 이송한다. 이때, 상기 트레이들(10)은 상기 포크부(150)에 의해 지지된 상태로 이동된다. 이와 같이, 상기 포트(212)로부터 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출 시 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안으로 인입되어 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출해야 하기 때문에, 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안에서 정위치에 위치되지 못할 경우 상기 트레이들(10)이 상기 포크부(150) 또는 상기 지지 프레임들(220) 상에 정상적으로 적재되지 못하고, 이로 인해, 상기 트레이들(10)이 이송 과정에서 파손될 수 있다.That is, when the trays 10 are loaded on the port 212 by the tray transfer unit 100 , they are moved in a state loaded on the fork unit 150 , and the port unit 150 is moved horizontally. It is introduced into the port 212 by means of which is loaded on the support frames 220 . In addition, when the trays 10 are taken out from the port 212 , after the fork unit 150 is drawn into the port 212 , the trays 10 accommodated in the port 212 are picked up. It is transferred to the cart 130 . At this time, the trays 10 are moved in a state supported by the fork unit 150 . As such, when the trays 10 are brought in and out from the port 212 , the fork unit 150 is drawn into the port 212 to bring in and take out the trays 10 . When the fork part 150 is not positioned in the proper position in the port 212, the trays 10 are not normally loaded on the fork part 150 or the support frames 220, and therefore, The trays 10 may be damaged during transport.

이를 방지하기 위해, 상기 포크 얼라인부(260)는 상기 포트(212) 안에서 상기 포크부(150)의 수평 위치를 가이드하여 상기 포크부(150)가 정위치되도록 한다.To prevent this, the fork alignment part 260 guides the horizontal position of the fork part 150 in the port 212 so that the fork part 150 is properly positioned.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 포크 얼라인부(260)는 광을 반사할 수 있는 포크 센싱 반사판(260)으로 이루어질 수 있으며, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 포크 센싱 반사판(260)을 향해 광을 조사하는 제1 광센서(160)를 구비할 수 있다. 상기 포크 센싱 반사판(260)은 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 장착될 수 있으며, 상기 바닥부(214)와 수평하게 배치될 수 있다. 상기 제1 광센서(160)는 상기 포크부(150)의 하면에 장착될 수 있으며, 상기 포크 센싱 반사판(260)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부(150)를 정렬할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the fork aligning unit 260 may be formed of a fork sensing reflector 260 capable of reflecting light, and the tray transfer unit 100 includes the fork sensing reflector 260 . A first photosensor 160 for irradiating light toward it may be provided. The fork sensing reflector 260 may be mounted on the bottom 214 of the port 212 and may be disposed horizontally with the bottom 214 . The first optical sensor 160 may be mounted on the lower surface of the fork unit 150 , and the fork unit 150 may be aligned according to whether light reflected from the fork sensing reflector 260 is received.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부(270)를 더 구비할 수 있다.In addition, the tray storage buffer 200 may further include a tray detection unit 270 for detecting whether the port 212 is in an empty state.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트레이 감지부(270)는 광을 반사할 수 있는 트레이 센싱 반사판(270)으로 이루어질 수 있으며, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 트레이 센싱 반사판(270)을 향해 광을 조사하는 제2 광센서(170)를 구비할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the tray sensing unit 270 may be formed of a tray sensing reflector 270 capable of reflecting light, and the tray transfer unit 100 may include the tray sensing reflector 270 . A second photosensor 170 for irradiating light toward it may be provided.

상기 트레이 센싱 반사판(270)은 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 장착될 수 있으며, 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 대해 경사지게 배치될 수 있다. 상기 제2 광센서(170)는 상기 하우징(140) 또는 상기 카트(130)에 장착되며, 상기 트레이 센싱 반사판(270)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지할 수 있다.The tray sensing reflector 270 may be mounted on the bottom 214 of the port 212 and may be disposed to be inclined with respect to the bottom 214 of the port 212 . The second optical sensor 170 is mounted on the housing 140 or the cart 130 , and detects whether the port 212 is in an empty state according to whether light reflected from the tray sensing reflector 270 is received. can do.

상술한 바와 같이, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 주행 레일들(30)의 일측에 구비되며 상기 트레이들(10)의 반입 및 반출이 개방된 측부를 통해 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이들(10)의 크기가 커지더라도 상기 트레이 이송 유닛(100)의 동선에 간섭을 주지 않고 대량의 트레이들(10)을 수납할 수 있다. 그 결과, 상기 트레이 이송 장치(300)의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며 설비의 공간 이용율을 높일 수 있다.As described above, the tray storage buffer 200 is provided on one side of the traveling rails 30 and the loading and unloading of the trays 10 may be made through the open side. Accordingly, the tray storage buffer 200 can accommodate a large amount of trays 10 without interfering with the movement of the tray transfer unit 100 even if the size of the trays 10 is increased. As a result, the transfer efficiency of the tray transfer device 300 can be improved, and the space utilization rate of the facility can be increased.

더욱이, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 카트 가이드 핀(220)과 상기 가이드 브라켓들(242, 244)을 구비함으로써, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출할 수 있고 상기 트레이들(10)을 안전하게 수납할 수 있다.Furthermore, the tray storage buffer 200 includes a cart guide pin 220 and the guide brackets 242 and 244 , so that the trays 10 can be loaded and unloaded by the tray transfer unit 100 . and the trays 10 can be safely accommodated.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이들(10)의 반입 및 반출 시 상기 포트(212) 안에서 상기 포크부(150)를 정렬하기 위한 포크 얼라인부(260)를 구비함으로써, 상기 트레이들(10)의 더욱 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.In addition, the tray storage buffer 200 is provided with a fork aligning part 260 for aligning the fork part 150 in the port 212 when the trays 10 are brought in and out, so that the trays are Safer import and export of (10) can be achieved.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(10)이 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지할 수 있도록 상기 트레이 감지부(270)를 구비함으로써, 상기 트레이들(10)의 신속한 이송과 함께 상기 트레이 이송 장치(300)의 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the tray storage buffer 200 is provided with the tray detection unit 270 so that the tray transfer unit 10 can detect whether the port 212 is in an empty state. It is possible to improve the efficiency of the tray transfer device 300 together with rapid transfer.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 트레이 20 : 천장
30 : 주행 레일 100 : 트레이 이송 유닛
110 : 주행부 120 : 이동 핸드
130 : 카트 140 : 하우징
150 : 포크부 160 : 제1 광센서
170 : 제2 광센서 200 : 트레이 수납 버퍼
210 : 메인 프레임 220 : 지지 프레임
230 : 카트 가이드 핀 242, 244 : 가이드 브라켓
250 : 고정 브라켓 260 : 포크 얼라인부
270 : 트레이 감지부 300 : 트레이 이송 장치10: tray 20: ceiling
30: traveling rail 100: tray transfer unit
110: driving unit 120: moving hand
130: cart 140: housing
150: fork 160: first optical sensor
170: second optical sensor 200: tray storage buffer
210: main frame 220: support frame
230: cart guide pin 242, 244: guide bracket
250: fixing bracket 260: fork alignment part
270: tray detection unit 300: tray transfer device

Claims (10)

적층된 복수의 트레이가 수납되는 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하는 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼에 있어서,
반도체 제조 라인의 천장에 고정되며 적층된 복수의 트레이를 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임;
상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임;
상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀;
상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓; 및
상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 트레이들을 상기 포트에 반출 및 반입하기 위해 상기 포크부가 상기 포트 안으로 인입될 경우 상기 포크부의 위치를 감지하여 상기 포크부를 정위치시키기 위한 포크 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.In a tray storage buffer for accommodating trays transferred by a tray transfer unit having a cart in which a plurality of stacked trays are accommodated and a fork for carrying in and out of the trays into the cart,
a main frame fixed to the ceiling of a semiconductor manufacturing line and having a plurality of ports for accommodating a plurality of stacked trays and having an open side for entry and exit of the trays;
a pair of support frames mounted on the bottom of the pot and positioned to face each other and spaced apart from the bottom of the pot to support trays accommodated in the pot;
a cart guide pin mounted on the inlet side through which the trays enter and exit from the bottom of the port and for guiding the position of the cart;
a plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the port for guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from being tilted; and
and a fork aligner mounted on the bottom of the port and configured to detect the position of the fork when the fork is drawn into the port to transport and bring the trays into and out of the port to position the fork in place. Tray storage buffer to do. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 포크 얼라인부는 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위해 상기 포크부에 장착된 제1 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 포크 센싱 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.According to claim 1, wherein the fork aligning portion characterized in that provided with a fork sensing reflector that receives and reflects the light from the first optical sensor mounted on the fork in order to sense the position of the fork in the port. tray storage buffer. 제1항에 있어서, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The tray storage buffer according to claim 1, further comprising a tray sensing unit mounted on the bottom of the port and configured to detect whether the port is in an empty state. 제4항에 있어서, 상기 트레이 감지부는, 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되고 상기 포트 안의 트레이들 유무를 감지하기 위해 상기 트레이 이송 유닛에 장착된 제2 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 트레이 센싱 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The tray of claim 4, wherein the tray detection unit is disposed inclined with respect to the bottom of the port and receives and reflects light from a second optical sensor mounted on the tray transfer unit to detect the presence of trays in the port. Tray storage buffer comprising a sensing reflector. 제1항에 있어서, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 메인 프레임에서 상기 포트의 측부를 구성하는 기둥 프레임들에 결합되고 상기 포트에 수납된 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The tray storage buffer according to claim 1, wherein the guide brackets are coupled to pillar frames constituting a side portion of the port in the main frame and guide side portions of trays accommodated in the port. 제6항에 있어서, 상기 가이드 브라켓들은,
상기 포트의 입구부 측에 위치하고 플레이트 형상을 가지며 상기 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓; 및
상기 전방 가이드 브라켓들과 서로 대향하여 위치하고 상기 트레이들의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The method of claim 6, wherein the guide brackets,
a pair of front guide brackets positioned on the inlet side of the port and having a plate shape for guiding side portions of the trays; and
and a pair of rear guide brackets positioned opposite to each other from the front guide brackets and guiding the rear portions together with the side portions of the trays. 적층된 복수의 트레이가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하며 상기 트레이들을 이송하는 트레이 이송 유닛; 및
상기 주행 레일의 일측에 구비되며 상기 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼를 포함하고,
상기 트레이 수납 버퍼는,
상기 천장에 고정되며 상기 트레이들을 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임;
상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임;
상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀;
상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓; 및
상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 트레이들을 상기 포트에 반출 및 반입하기 위해 상기 포크부가 상기 포트 안으로 인입될 경우 상기 포크부의 위치를 감지하여 상기 포크부를 정위치시키기 위한 포크 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.A tray in which a plurality of stacked trays are accommodated, a cart capable of vertical and horizontal movement, and a fork unit for loading and unloading the trays into and out of the cart, traveling along a traveling rail provided on the ceiling of a semiconductor manufacturing line, and transporting the trays transfer unit; and
It is provided on one side of the traveling rail and includes a tray storage buffer for accommodating the trays transferred by the tray transfer unit,
The tray storage buffer,
a main frame fixed to the ceiling and having a plurality of ports for accommodating the trays and having an open side for entry and exit of the trays;
a pair of support frames mounted on the bottom of the pot and positioned to face each other and spaced apart from the bottom of the pot to support trays accommodated in the pot;
a cart guide pin mounted on the inlet side through which the trays enter and exit from the bottom of the port and for guiding the position of the cart;
a plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the port for guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from being tilted; and
and a fork aligner mounted on the bottom of the port and configured to detect the position of the fork when the fork is drawn into the port to transport and bring the trays into and out of the port to position the fork in place. Tray conveying device with 제8항에 있어서, 상기 포크 얼라인부는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 포크 센싱 반사판을 구비하고,
상기 트레이 이송 유닛은, 상기 포크부에 장착되며 상기 포크 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 포크 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제1 광센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.The method of claim 8, wherein the fork alignment unit is mounted on the bottom of the port and provided with a fork sensing reflector for detecting the position of the fork in the port,
The tray transfer unit may further include a first optical sensor mounted on the fork unit and configured to irradiate light toward the fork sensing reflector and align the fork unit according to whether or not light reflected from the fork sensing reflector is received. Tray conveying device with 제9항에 있어서, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되며 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 센싱 반사판을 더 구비하고,
상기 트레이 이송 유닛은, 상기 트레이 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 트레이 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 제2 광센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
The method according to claim 9, wherein the tray storage buffer further comprises a tray sensing reflector mounted on the bottom of the port and inclined with respect to the bottom of the port for detecting whether the port is in an empty state,
The tray transfer unit further comprises a second photosensor for irradiating light toward the tray sensing reflector and detecting whether the port is in an empty state according to whether the light reflected from the tray sensing reflector is received. tray transfer device.
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