KR20190047899A - Tray storage buffer and apparatus for transferring trays having the same - Google Patents

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KR20190047899A KR1020170142263A KR20170142263A KR20190047899A KR 20190047899 A KR20190047899 A KR 20190047899A KR 1020170142263 A KR1020170142263 A KR 1020170142263A KR 20170142263 A KR20170142263 A KR 20170142263A KR 20190047899 A KR20190047899 A KR 20190047899A
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Abstract

Disclosed is a tray storage buffer temporarily storing trays transferred by a tray transfer unit provided with a cart for storing the trays and a fork unit for carrying the trays into or out of the cart. The tray storage buffer comprises: a main frame fixated on the ceiling of a semiconductor manufacturing line, provided with a plurality of ports storing the trays and having an opened side portion for entrance and exit of the trays; a pair of support frames mounted on the floor of the ports, positioned to face each other and to be spaced apart and supporting the trays stored by the ports to be spaced from the floor of the ports; a cart guide pin mounted on an entrance side through which the trays are entered and exited on the floor of the ports and which guides the position of the cart; and a plurality of guide brackets coupled to the main frame, provided with the ports and guiding the trays to prevent the trays, supported on the support frames, from being tilted. The tray storage buffer carries the trays in and out through the opened side portion, thereby preventing interference on the moving line of the tray transfer unit and being capable of storing a large amount of trays.

Description

트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치{Tray storage buffer and apparatus for transferring trays having the same}Technical Field [0001] The present invention relates to a tray storage buffer and a tray transfer apparatus having the tray storage buffer.

본 발명의 실시예들은 트레이 수납 버퍼 및 트레이 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 반도체 소자들의 수납을 위한 트레이들을 이송하기 위한 트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a tray storage buffer and a tray transfer apparatus. And more particularly, to a tray receiving buffer for transferring trays for accommodating semiconductor devices in a semiconductor manufacturing process and a tray transfer apparatus having the tray receiving buffer.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 이렇게 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정을 통하여 반도체 패키지들과 같은 전자 부품으로 제조될 수 있다.Generally, semiconductor devices can be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes, and the semiconductor devices thus formed are electrically connected to electronic devices such as semiconductor packages through a dicing process, a bonding process, Parts.

이렇게 제조된 전자 부품들은 트레이에 수납된 상태로 OHT(Overhead Hoist Transfer)와 같은 이송 장치에 의해 검사 공정 등 후속 공정 설비들로 이송될 수 있다.The electronic components thus manufactured can be transported to a subsequent process facility such as an inspection process by a transporting device such as an overhead hoist transfer (OHT) while being housed in a tray.

OHT는 복수의 트레이를 적층된 상태로 수납하며 반도체 제조 라인의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동하면서 트레이들을 후속 공정 설비의 로드 영역으로 이송할 수 있다. 이때, 후속 공정 설비의 로드 영역에 트레이들이 존재하는 경우 OHT는 트레이들을 트레이 수납 버퍼에 임시 수납한다. 트레이 수납 버퍼는 주행 레일을 따라 구비될 수 있으며, 트레이들을 적층된 형태로 수납할 수 있는 복수의 포트를 구비할 수 있다.The OHT accommodates a plurality of trays in a stacked state and can transport the trays to the load area of the subsequent process facility while moving along a running rail installed in the ceiling of the semiconductor manufacturing line. At this time, when there are trays in the load area of the subsequent process facility, the OHT temporarily stores the trays in the tray receiving buffer. The tray receiving buffer may be provided along the running rail, and may include a plurality of ports capable of receiving the trays in a stacked form.

종래의 트레이 수납 버퍼는 OHT의 아래에 위치하며 개방된 상부를 통해 OHT로부터 트레이들이 반입 및 반출된다. 그러나 트레이의 사이즈가 증가할 경우 트레이 수납 버퍼에 적층된 트레이들의 높이 또한 증가하여 OHT의 동선 확보가 어렵고 소형 사이즈의 트레이만 트레이 수납 버퍼에 수납할 수 있는 문제점이 있다.The conventional tray storage buffer is located below the OHT and trays are loaded and unloaded from the OHT through the open top. However, when the size of the tray increases, the height of the trays stacked in the tray accommodating buffer also increases, making it difficult to secure the copper wire of the OHT and only a small size tray can be accommodated in the tray accommodating buffer.

대한민국공개특허공보 제10-2009-0091482호 (2009.08.28)Korean Patent Publication No. 10-2009-0091482 (Aug. 28, 2009) 대한민국공개특허공보 제10-2013-0098688호 (2013.09.05)Korean Patent Publication No. 10-2013-0098688 (2013.09.05)

본 발명의 실시예들은 트레이 이송 동선을 충분히 확보하면서 트레이 사이즈에 상관없이 트레이들을 임시 보관할 수 있는 트레이 수납 버퍼 및 이를 구비하는 트레이 이송 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a tray receiving buffer capable of temporarily storing trays regardless of the tray size while ensuring a sufficient amount of traversing conveying lines and a tray feeding apparatus having the tray receiving buffer.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 트레이 수납 버퍼는, 적층된 복수의 트레이가 수납되는 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하는 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납한다. 구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼, 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며 적층된 복수의 트레이를 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임과, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임과, 상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀과, 상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a tray storage buffer comprising: a tray which is transported by a tray transport unit having a cart in which a plurality of stacked trays are accommodated and a fork portion for transporting the trays to and from the cart, . A main frame having a plurality of ports for receiving a plurality of stacked trays and fixed to a ceiling of the semiconductor manufacturing line, the main frames having sides opened for entrance and exit of the trays, A pair of support frames which are mounted on the tray and which are spaced apart from each other to face each other and support the trays received in the tray from the bottom of the tray and mounted on the inlet side of the tray at the bottom of the tray A plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the ports for guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from tilting, . ≪ / RTI >

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼. 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 트레이들을 상기 포트에 반출 및 반입하기 위해 상기 포크부가 상기 포트 안으로 인입될 경우 상기 포크부의 위치를 감지하여 상기 포크부를 정위치시키기 위한 포크 얼라인부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray accommodating buffer. And a fork aligner mounted on a bottom portion of the port and adapted to sense the position of the fork portion when the fork portion is drawn into the port to move the trays to and from the port, have.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포크 얼라인부는 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위해 상기 포크부에 장착된 제1 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 포크 센싱 반사판을 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the fork aligner may have a fork sensing reflector that receives and reflects light from a first photosensor mounted on the fork to sense the position of the fork in the port have.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer may further include a tray sensing unit mounted on a bottom portion of the port, for sensing whether the port is empty.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 감지부는, 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되고 상기 포트 안의 트레이들 유무를 감지하기 위해 상기 트레이 이송 유닛에 장착된 제2 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 트레이 센싱 반사판을 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray sensing unit receives light from a second photosensor mounted on the tray conveying unit to be inclined with respect to the bottom of the port and to detect the presence or absence of trays in the port And may be provided with a tray reflection reflecting plate.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 메인 프레임에서 상기 포트의 측부를 구성하는 기둥 프레임들에 결합되고 상기 포트에 수납된 트레이들의 측면 부위를 가이드할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide brackets can guide side portions of the trays received in the ports and coupled to the column frames constituting the side portions of the ports in the main frame.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 포트의 입구부 측에 위치하고 플레이트 형상을 가지며 상기 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓과, 상기 전방 가이드 브라켓들과 서로 대향햐여 위치하고 상기 트레이들의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide brackets include a pair of front guide brackets positioned on the inlet side of the port and having a plate shape and guiding the side portions of the trays, and a pair of front guide brackets And a pair of rear guide brackets positioned under the tray and guiding the rear portion together with the side portions of the trays.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 트레이 이송 장치는, 적층된 복수의 트레이가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하며 상기 트레이들을 이송하는 트레이 이송 유닛과, 상기 주행 레일의 일측에 구비되며 상기 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 천장에 고정되며 상기 트레이들을 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임과, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임과, 상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀과, 상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a tray transfer apparatus comprising: a cart which accommodates a plurality of stacked trays and is vertically and horizontally movable; and a fork portion for carrying the trays into and out of the cart, A tray transfer unit for moving the trays along a running rail provided on a ceiling of a semiconductor manufacturing line and a tray receiving buffer provided at one side of the running rail for receiving the trays transported by the tray transport unit . Specifically, the tray receiving buffer includes: a main frame fixed to the ceiling and having a plurality of ports for receiving the trays, the main frames being open at the sides for the entry and exit of the trays; A pair of support frames which are positioned to face each other and support the trays received in the port away from the bottom of the port and a pair of supporting frames which are mounted on the inlet side of the tray at the bottom of the port, And a plurality of guide brackets coupled to the main frame and provided in the ports and guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from tilting .

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 포크 센싱 반사판을 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 트레이 이송 유닛은, 상기 포크부에 장착되며 상기 포크 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 포크 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제1 광센서를 더 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer may further include a fork sensing reflector mounted on a bottom portion of the port and sensing a position of the fork in the port. The tray transfer unit may further include a first photosensor mounted on the fork portion and configured to irradiate light toward the fork sensing reflector and align the fork portion according to whether the light reflected from the fork sensing reflector is received .

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되며 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 센싱 반사판을 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 트레이 이송 유닛은, 상기 트레이 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 트레이 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 제2 광센서를 더 구비할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray receiving buffer may further include a tray sensing reflector mounted on a bottom portion of the port and disposed to be inclined with respect to a bottom portion of the port to detect whether the port is empty . The tray transfer unit may further include a second photosensor for irradiating light toward the tray sensing reflector and detecting whether the port is empty according to whether the light reflected from the tray sensing reflector is received .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 트레이 수납 버퍼는 주행 레일들의 일측에 구비되며 트레이들의 반입 및 반출이 개방된 측부를 통해 이루어진다. 이에 따라, 트레이 수납 버퍼는 트레이들의 크기가 커지더라도 트레이 이송 유닛의 동선에 간섭을 주지 않고 대량의 트레이들을 수납할 수 있다. 그 결과, 트레이 이송 장치의 효율을 향상시킬 수 있으며 설비의 공간 이용율을 높일 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the tray receiving buffer is provided on one side of the running rails and through the opened side of the trays. Accordingly, even if the size of the trays becomes large, the tray storage buffer can accommodate a large number of trays without interfering with the copper wire of the tray transfer unit. As a result, the efficiency of the tray transfer device can be improved and the space utilization rate of the facility can be increased.

더욱이, 트레이 수납 버퍼는 카트 가이드 핀과 가이드 브라켓들을 구비함으로써, 트레이 이송 유닛에 의해 트레이들을 반입 및 반출할 수 있고 트레이들을 안전하게 수납할 수 있다.Further, the tray receiving buffer includes the cart guide pin and the guide brackets, so that the trays can be carried in and out by the tray transfer unit, and the trays can be received safely.

또한, 트레이 수납 버퍼는 트레이들의 반입 및 반출 시 포트 안에서 포크부를 정렬하기 위한 포크 얼라인부를 구비함으로써, 트레이들의 더욱 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.Further, the tray storage buffer includes a fork portion for aligning the fork portion in the port when the trays are loaded and unloaded, so that the trays can be loaded and unloaded more safely.

또한, 트레이 수납 버퍼는 트레이 이송 유닛이 포트가 빈 상태인지를 감지할 수 있도록 트레이 감지부를 구비함으로써, 트레이들의 신속한 이송과 함께 트레이 이송 장치의 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the tray storage buffer may include a tray sensing unit to detect whether the tray transport unit is in an empty state, thereby improving the efficiency of the tray transporting apparatus with the rapid traverse of the trays.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도이다.1 is a schematic view illustrating a tray transporting apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic perspective view for explaining the tray receiving buffer shown in Fig.
3 is a schematic enlarged perspective view for explaining the tray receiving buffer shown in Fig.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic view illustrating a tray transporting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정에서 반도체 소자들(미도시)의 운반을 위해 사용되는 트레이들(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다.1, a tray transfer apparatus 300 according to an embodiment of the present invention can be used for transferring trays 10 used for conveying semiconductor elements (not shown) in a semiconductor manufacturing process .

상기 트레이 이송 장치(300)는 반도체 제조 라인의 천장(20)에 설치된 주행 레일들(30)을 따라 주행하면서 상기 트레이들(10)을 후속 공정을 위한 반도체 설비로 이송하는 트레이 이송 유닛(100)과, 상기 트레이들(10)을 상기 반도체 설비로 이송 과정에서 상기 트레이들(10)을 임시 수납하기 위한 트레이 수납 버퍼(200)를 포함할 수 있다.The tray transfer unit 300 includes a tray transfer unit 100 for transferring the trays 10 to a semiconductor device for a subsequent process while traveling along traveling rails 30 installed on a ceiling 20 of a semiconductor manufacturing line, And a tray receiving buffer 200 for temporarily storing the trays 10 in a process of transferring the trays 10 to the semiconductor equipment.

구체적으로, 상기 트레이 이송 유닛(100)은, 상기 주행 레일(30)을 따라 이동하는 주행부(110)와, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 수납된 트레이들(10)을 수직 방향과 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 핸드(120)와, 상기 트레이들(10)이 적층된 형태로 수납될 수 있는 카트(130)와, 상기 카트(130) 안에 수납된 트레이들(10)을 지지하는 포크부(150)를 구비할 수 있다. 본 발명의 일례로, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 트레이 OHT(Overhaed Hoist Transport)로 이용될 수 있다.Specifically, the tray transfer unit 100 includes a running part 110 moving along the running rail 30, and trays 10 housed in the tray transfer unit 100 in a vertical direction and a horizontal direction A cart 130 that can be stored in a stacked form of the trays 10 and a fork 120 that supports the trays 10 stored in the cart 130. [ (150). In an example of the present invention, the tray transfer unit 100 may be used as a tray OHT (Overhaed Hoist Transport).

상기 이동 핸드(120)는 상기 주행부(110)에 결합되며, 상기 카트(130)를 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동 핸드(120)에는 상기 카트(130)를 보호하는 하우징(140)이 고정될 수 있으며, 상기 하우징(140) 안에는 상기 카트(130)의 상부 부위가 위치할 수 있다.The mobile hand 120 is coupled to the travel unit 110 and can move the cart 130 in the vertical and horizontal directions. A housing 140 for protecting the cart 130 may be fixed to the mobile hand 120 and an upper portion of the cart 130 may be located in the housing 140.

상기 카트(130)는 상기 이동 핸드(120)의 하부에 결합되며, 상기 트레이들(10)이 적층된 상태로 수납될 수 있는 수납공간을 구비한다. 상기 수납공간 안에는 상기 포크부(150)가 장착될 수 있다.The cart 130 is coupled to a lower portion of the mobile hand 120 and has a storage space in which the trays 10 can be stored in a stacked state. The fork portion 150 may be mounted in the storage space.

상기 포크부(150)는 수평 이동이 가능하게 구비되며, 상기 카트(130)와 상기 트레이 수납 버퍼(200) 간에 상기 트레이들(10)을 이송할 수 있다. 즉, 상기 포크부(150)는 상기 트레이들(10)을 상기 카트(130)로부터 상기 트레이 수납 버퍼(200)로 반출하고, 상기 트레이 수납 버퍼(200)로부터 상기 트레이들(10)을 상기 카트(130)로 반입한다.The fork unit 150 is horizontally movable and can transfer the trays 10 between the cart 130 and the tray receiving buffer 200. That is, the fork portion 150 takes out the trays 10 from the cart 130 to the tray receiving buffer 200 and transfers the trays 10 from the tray receiving buffer 200 to the cart 200 (130).

한편, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(100)의 이동 경로 상에 위치하며, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 트레이들(10)을 임시 보관할 수 있다. 예를 들어, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 수납된 트레이들(10)이 공급될 후속 공정 설비의 로드 영역에 트레이들이 적재되어 있을 경우, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 트레이들(10)을 상기 트레이 수납 버퍼(200)로 이송할 수 있다.The tray receiving buffer 200 is located on the movement path of the tray transfer unit 100 and may temporarily store the trays 10 transferred by the tray transfer unit 100. For example, when trays are loaded in a load region of a subsequent process facility to which the trays 10 accommodated in the tray transfer unit 100 are to be fed, the tray transfer unit 100 transfers the trays 10 to the trays 10, Can be transferred to the tray receiving buffer (200).

이하, 도면을 참조하여 상기 트레이 수납 버퍼(200)에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the tray receiving buffer 200 will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 도 1에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 트레이 수납 버퍼를 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도이다.FIG. 2 is a schematic perspective view for explaining the tray receiving buffer shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic enlarged perspective view for explaining the tray receiving buffer shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 도 1에 도시된 것처럼 상기 주행 레일들(30)의 일측에 위치하며, 상기 반도체 제조 라인의 천장(20)에 고정될 수 있다.1 and 2, the tray receiving buffer 200 is located at one side of the running rails 30 as shown in FIG. 1 and can be fixed to the ceiling 20 of the semiconductor manufacturing line .

도 1에는 상기 트레이 수납 버퍼(200)가 상기 주행 레일들(30)의 일측에만 구비되는 것으로 도시하였으나, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 주행 레일들(30)의 양측에 각각 구비될 수 있다.1, the tray receiving buffer 200 is provided only on one side of the running rails 30, but the tray receiving buffer 200 may be provided on both sides of the running rails 30 .

구체적으로, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는, 상기 트레이들(10)을 수납하기 위한 복수의 포트(212)를 구비하는 상기 메인 프레임(210)과, 상기 포트(212)에 수납되는 트레이들(10)을 지지하기 위한 한 쌍의 지지 프레임(220)과, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출 시 상기 카트(130)의 위치를 가이드하기 위한 복수의 카트 가이드 핀(230)과, 상기 포트(212)에 적층된 상태로 수납된 트레이들(10)의 기울어짐을 방지하기 위한 복수의 가이드 브라켓(242, 244)을 포함할 수 있다.Specifically, the tray receiving buffer 200 includes the main frame 210 having a plurality of ports 212 for receiving the trays 10, and trays (not shown) A plurality of carts 130 for guiding the position of the cart 130 when loading and unloading the trays 10 by the tray transfer unit 100; A guide pin 230 and a plurality of guide brackets 242 and 244 for preventing inclination of the trays 10 stacked on the port 212. [

상기 메인 프레임(210)은 복수의 고정 브라켓(250)에 의해 상기 반도체 제조 라인의 천장(20)에 고정될 수 있으며, 상기 트레이들(10)의 출입을 위해 측부가 개방된다. 즉, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 메인 프레임(210)의 개방된 측부를 통해 상기 카트(130)에 수납된 트레이들(10)을 상기 메인 프레임(210)의 포트(212)에 적재하고, 상기 메인 프레임(210)의 개방된 측부를 통해 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 반출한다.The main frame 210 can be fixed to the ceiling 20 of the semiconductor manufacturing line by a plurality of fixing brackets 250 and the side is opened for the entrance and exit of the trays 10. That is, the tray transfer unit 100 loads the trays 10 accommodated in the cart 130 through the open side of the main frame 210 to the port 212 of the main frame 210 , And takes out the trays 10 accommodated in the port 212 through the open side of the main frame 210.

상기 메인 프레임(210)의 각 포트(212)에는 상기 트레이들(10)이 수납될 수 있다. 상기 트레이들(10)은 적층된 상태로 상기 포트(212)에 수납된다.The trays 10 can be accommodated in each port 212 of the main frame 210. The trays 10 are stored in the port 212 in a stacked state.

도 1에는 상기 메인 프레임(210)이 4개의 포트(212)를 구비하는 것으로 도시하였으나, 상기 포트(212)의 개수는 상기 메인 프레임(210)과 상기 트레이들(10)의 크기에 따라 달라질 수 있다.Although the main frame 210 has four ports 212 in FIG. 1, the number of the ports 212 may vary depending on the size of the main frame 210 and the trays 10. have.

상기 포트(212)의 바닥부(214)에는 상기 한 쌍의 지지 프레임(220)이 장착될 수 있다. 상기 지지 프레임들(220)은 서로 이격되어 마주하게 위치하며, 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 지지할 수 있다. 특히, 상기 지지 프레임들(220)은 상기 트레이 이송 유닛(100)의 포크부(150)가 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로 적재 및 반출하기 용이하도록 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 상기 포트(212)의 바닥부(214)로부터 이격시켜 지지한다.The pair of support frames 220 may be mounted on the bottom portion 214 of the port 212. The support frames 220 are spaced apart from each other and can support the trays 10 accommodated in the ports 212. Particularly, the support frames 220 are installed in the tray 212 so that the forks 150 of the tray transfer unit 100 can easily load and unload the trays 10 to and from the ports 212. [ The trays 10 are spaced apart from the bottom 214 of the port 212 and are supported.

상기 포트(212)의 입구부에는 상기 카트 가이드핀들(230)이 구비될 수 있다. 상기 카트 가이드핀들(230)은 상기 포트의 바닥부(214)에 장착되며, 상기 트레이들(10)이 상기 포트(212)로부터 반출되거나 상기 포트(212)로 반입 시 상기 카트(130)의 위치를 가이드하여 정렬한다.The cart guide pins 230 may be provided at an inlet of the port 212. The cart guide pins 230 are mounted on the bottom portion 214 of the port and are positioned such that when the trays 10 are unloaded from the port 212 or loaded into the port 212, As shown in FIG.

한편, 상기 가이드 브라켓들(242, 244)은 상기 메인 프레임(212)에서 상기 포트(212)의 측부를 구성하는 기둥 프레임들(216, 218)에 장착될 수 있으며, 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)의 측면 부위를 가이드한다.The guide brackets 242 and 244 may be mounted on the column frames 216 and 218 constituting the sides of the port 212 in the main frame 212, Guides the side portions of the trays 10.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가이드 브라켓들(242, 244)은 상기 포트(212)의 입구부 측에 위치하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓(242)과, 상기 포트(212)의 후방부 측에 위치하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓(244)으로 이루어질 수 있다.The guide brackets 242 and 244 may include a pair of front guide brackets 242 positioned on the inlet side of the port 212 and a pair of front guide brackets 242 and 244 disposed on the rear side of the port 212. In this embodiment, And a pair of rear guide brackets 244 positioned on the side of the rear guide bracket.

상기 전방 가이드 브라켓들(242)은 상기 포트(212)의 입구부 측에 위치하는 기둥 프레임들(216)에 장착되고, 플레이트 형상을 가지며, 상기 트레이들(10)의 측면 부위를 가이드할 수 있다.The front guide brackets 242 are mounted on the column frames 216 positioned on the inlet side of the port 212 and have a plate shape to guide the side portions of the trays 10 .

상기 후방 가이드 브라켓들(244)은 상기 전방 가이드 브라켓들(242)과 서로 대향햐여 위치하고, 상기 포트(212)의 후방부 측에 위치하는 기둥 프레임들(218)에 장착되며, 상기 트레이들(10)의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드할 수 있다. 본 발명의 일례로, 상기 후방 가이드 브라켓들(244) 각각은 'ㄱ'자 형상을 가질 수 있다.The rear guide brackets 244 are positioned opposite to the front guide brackets 242 and mounted on the column frames 218 located on the rear side of the port 212, To guide the rear portion. In one example of the present invention, each of the rear guide brackets 244 may have a letter shape.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(100)의 포크부(150)가 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로 적재 및 상기 포트(212)로부터 반출시 상기 포크부(150)의 위치를 가이드하기 위한 포크 얼라인부(260)를 더 구비할 수 있다.1 and 3, the tray receiving buffer 200 may be configured such that the fork portion 150 of the tray transfer unit 100 stacks the trays 10 to the port 212, And a fork aligning portion 260 for guiding the position of the fork portion 150 when it is taken out from the fork portion 150.

즉, 상기 트레이들(10)은 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 포트(212)에 적재시 상기 포크부(150)에 적재된 상태로 이동되며, 상기 포트부(150)의 수평 이동에 의해 상기 포트(212) 안으로 인입되어 상기 지지 프레임들(220) 상에 적재된다. 또한, 상기 트레이들(10)을 상기 포트(212)로부터 반출시, 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안으로 인입한 후에 상기 포트(212)에 수납된 트레이들(10)을 픽업하여 상기 카트(130)로 이송한다. 이때, 상기 트레이들(10)은 상기 포크부(150)에 의해 지지된 상태로 이동된다. 이와 같이, 상기 포트(212)로부터 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출 시 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안으로 인입되어 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출해야 하기 때문에, 상기 포크부(150)가 상기 포트(212) 안에서 정위치에 위치되지 못할 경우 상기 트레이들(10)이 상기 포크부(150) 또는 상기 지지 프레임들(220) 상에 정상적으로 적재되지 못하고, 이로 인해, 상기 트레이들(10)이 이송 과정에서 파손될 수 있다.That is, when the trays 10 are loaded on the port 212 by the tray transfer unit 100, the trays 10 are loaded on the fork unit 150, Into the port 212 and mounted on the support frames 220. In addition, when the trays 10 are taken out of the port 212, the forks 150 are pulled into the port 212 and then the trays 10 stored in the port 212 are picked up And transported to the cart 130. At this time, the trays 10 are moved in a state of being supported by the fork unit 150. Since the fork portion 150 is drawn into the port 212 when the trays 10 are brought in and out of the port 212 so as to carry the trays 10 in and out, The trays 10 can not be normally loaded on the fork portion 150 or the support frames 220 if the fork portion 150 can not be positioned in the port 212, The trays 10 may be damaged during the transportation.

이를 방지하기 위해, 상기 포크 얼라인부(260)는 상기 포트(212) 안에서 상기 포크부(150)의 수평 위치를 가이드하여 상기 포크부(150)가 정위치되도록 한다.In order to prevent this, the fork portion 260 guides the fork portion 150 in a horizontal position in the port 212 so that the fork portion 150 is properly positioned.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 포크 얼라인부(260)는 광을 반사할 수 있는 포크 센싱 반사판(260)으로 이루어질 수 있으며, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 포크 센싱 반사판(260)을 향해 광을 조사하는 제1 광센서(160)를 구비할 수 있다. 상기 포크 센싱 반사판(260)은 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 장착될 수 있으며, 상기 바닥부(214)와 수평하게 배치될 수 있다. 상기 제1 광센서(160)는 상기 포크부(150)의 하면에 장착될 수 있으며, 상기 포크 센싱 반사판(260)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부(150)를 정렬할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the fork-aligning unit 260 may include a fork-sensing reflection plate 260 capable of reflecting light, and the tray-transporting unit 100 may reflect the fork- And a first optical sensor 160 for irradiating light toward the first optical sensor 160. The fork sensing reflector 260 may be mounted on the bottom portion 214 of the port 212 and may be disposed horizontally with the bottom portion 214. The first optical sensor 160 may be mounted on the lower surface of the fork unit 150 and may align the fork unit 150 according to whether the light reflected from the fork sensing reflector 260 is received.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부(270)를 더 구비할 수 있다.The tray storage buffer 200 may further include a tray sensing unit 270 for sensing whether the port 212 is empty.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트레이 감지부(270)는 광을 반사할 수 있는 트레이 센싱 반사판(270)으로 이루어질 수 있으며, 상기 트레이 이송 유닛(100)은 상기 트레이 센싱 반사판(270)을 향해 광을 조사하는 제2 광센서(170)를 구비할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the tray sensing unit 270 may include a tray sensing reflector 270 capable of reflecting light, and the tray conveying unit 100 may reflect the tray sensing reflector 270 And a second photosensor 170 for irradiating light toward the second photosensor 170.

상기 트레이 센싱 반사판(270)은 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 장착될 수 있으며, 상기 포트(212)의 바닥부(214)에 대해 경사지게 배치될 수 있다. 상기 제2 광센서(170)는 상기 하우징(140) 또는 상기 카트(130)에 장착되며, 상기 트레이 센싱 반사판(270)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지할 수 있다.The tray sensing reflector 270 may be mounted on the bottom portion 214 of the port 212 and be inclined with respect to the bottom portion 214 of the port 212. The second photosensor 170 is mounted on the housing 140 or the cart 130 and detects whether the port 212 is empty according to whether the light reflected from the tray sensing reflector 270 is received or not can do.

상술한 바와 같이, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 주행 레일들(30)의 일측에 구비되며 상기 트레이들(10)의 반입 및 반출이 개방된 측부를 통해 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이들(10)의 크기가 커지더라도 상기 트레이 이송 유닛(100)의 동선에 간섭을 주지 않고 대량의 트레이들(10)을 수납할 수 있다. 그 결과, 상기 트레이 이송 장치(300)의 이송 효율을 향상시킬 수 있으며 설비의 공간 이용율을 높일 수 있다.As described above, the tray receiving buffer 200 is provided on one side of the running rails 30 and through the opened side of the trays 10. Accordingly, even if the sizes of the trays 10 are large, the tray receiving buffer 200 can accommodate a large number of the trays 10 without interfering with the copper lines of the tray transfer unit 100. As a result, the transport efficiency of the tray transport apparatus 300 can be improved and the space utilization rate of the apparatus can be increased.

더욱이, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 카트 가이드 핀(220)과 상기 가이드 브라켓들(242, 244)을 구비함으로써, 상기 트레이 이송 유닛(100)에 의해 상기 트레이들(10)을 반입 및 반출할 수 있고 상기 트레이들(10)을 안전하게 수납할 수 있다.The tray receiving buffer 200 includes the cart guide pin 220 and the guide brackets 242 and 244 so that the trays 10 can be carried by the tray transfer unit 100 And the trays 10 can be received safely.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이들(10)의 반입 및 반출 시 상기 포트(212) 안에서 상기 포크부(150)를 정렬하기 위한 포크 얼라인부(260)를 구비함으로써, 상기 트레이들(10)의 더욱 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.The tray receiving buffer 200 may include a fork aligning portion 260 for aligning the fork portion 150 in the port 212 when the trays 10 are loaded and unloaded, It is possible to more safely carry and unload the battery 10.

또한, 상기 트레이 수납 버퍼(200)는 상기 트레이 이송 유닛(10)이 상기 포트(212)가 빈 상태인지를 감지할 수 있도록 상기 트레이 감지부(270)를 구비함으로써, 상기 트레이들(10)의 신속한 이송과 함께 상기 트레이 이송 장치(300)의 효율을 향상시킬 수 있다.The tray receiving buffer 200 is provided with the tray detecting unit 270 so that the tray transfer unit 10 can detect whether the port 212 is empty or not. The efficiency of the tray transfer apparatus 300 can be improved with rapid transfer.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that.

10 : 트레이 20 : 천장
30 : 주행 레일 100 : 트레이 이송 유닛
110 : 주행부 120 : 이동 핸드
130 : 카트 140 : 하우징
150 : 포크부 160 : 제1 광센서
170 : 제2 광센서 200 : 트레이 수납 버퍼
210 : 메인 프레임 220 : 지지 프레임
230 : 카트 가이드 핀 242, 244 : 가이드 브라켓
250 : 고정 브라켓 260 : 포크 얼라인부
270 : 트레이 감지부 300 : 트레이 이송 장치10: Tray 20: Ceiling
30: running rail 100: tray feeding unit
110: traveling part 120: moving hand
130: Cart 140: Housing
150: fork portion 160: first optical sensor
170: second optical sensor 200: tray receiving buffer
210: main frame 220: support frame
230: Cart guide pin 242, 244: Guide bracket
250: Fixing bracket 260: Fork aligning part
270: Tray detection unit 300: Tray transfer device

Claims (10)

적층된 복수의 트레이가 수납되는 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하는 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼에 있어서,
반도체 제조 라인의 천장에 고정되며 적층된 복수의 트레이를 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임;
상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임;
상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀; 및
상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.A tray storage buffer for storing trays transported by a tray transport unit including a cart in which a plurality of stacked trays are accommodated and a fork portion for transporting the trays to and from the cart,
A main frame fixed to a ceiling of a semiconductor manufacturing line and having a plurality of ports for accommodating a plurality of stacked trays, the side frames being open for entrance and exit of the trays;
A pair of support frames mounted on a bottom portion of the port and spaced apart from each other to face each other and to support the trays received in the port away from the bottom portion of the port;
A cart guide pin mounted at a bottom of the port for guiding the position of the cart; And
And a plurality of guide brackets coupled to the main frame, the guide brackets being provided in the ports and guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from being inclined. 제1항에 있어서, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 트레이들을 상기 포트에 반출 및 반입하기 위해 상기 포크부가 상기 포트 안으로 인입될 경우 상기 포크부의 위치를 감지하여 상기 포크부를 정위치시키기 위한 포크 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.2. The apparatus of claim 1, further comprising a fork lever attached to the bottom of the port for sensing the position of the fork portion when the fork portion is retracted into the port to move the trays to and from the port, Further comprising a grip portion for gripping the tray. 제2항에 있어서, 상기 포크 얼라인부는 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위해 상기 포크부에 장착된 제1 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 포크 센싱 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.[3] The apparatus according to claim 2, wherein the fork-aligning portion comprises a fork-sensing reflecting plate for receiving and reflecting light from a first optical sensor mounted on the fork portion to sense a position of the fork in the port, Tray storage buffer. 제1항에 있어서, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The tray storage buffer according to claim 1, further comprising a tray sensing unit mounted on a bottom of the port for sensing whether the port is empty. 제4항에 있어서, 상기 트레이 감지부는, 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되고 상기 포트 안의 트레이들 유무를 감지하기 위해 상기 트레이 이송 유닛에 장착된 제2 광센서로부터 광을 수신하여 반사하는 트레이 센싱 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.5. The apparatus of claim 4, wherein the tray sensing unit includes a tray that receives light from a second optical sensor mounted on the tray transport unit and detects the presence or absence of trays in the port, And a sensing reflection plate. 제1항에 있어서, 상기 가이드 브라켓들은, 상기 메인 프레임에서 상기 포트의 측부를 구성하는 기둥 프레임들에 결합되고 상기 포트에 수납된 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.The tray storage buffer according to claim 1, wherein the guide brackets are coupled to the column frames constituting the side portions of the ports in the main frame, and guide the side portions of the trays housed in the ports. 제6항에 있어서, 상기 가이드 브라켓들은,
상기 포트의 입구부 측에 위치하고 플레이트 형상을 가지며 상기 트레이들의 측면 부위를 가이드하는 한 쌍의 전방 가이드 브라켓; 및
상기 전방 가이드 브라켓들과 서로 대향햐여 위치하고 상기 트레이들의 측면 부위와 함께 후면 부위를 가이드하는 한 쌍의 후방 가이드 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 수납 버퍼.7. The apparatus of claim 6, wherein the guide brackets
A pair of front guide brackets positioned on an inlet side of the port and having a plate shape and guiding a side portion of the trays; And
And a pair of rear guide brackets disposed opposite to the front guide brackets and guiding a rear portion of the trays together with side portions of the trays. 적층된 복수의 트레이가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 카트와 상기 트레이들을 상기 카트로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고 반도체 제조 라인의 천장에 구비되는 주행 레일을 따라 주행하며 상기 트레이들을 이송하는 트레이 이송 유닛; 및
상기 주행 레일의 일측에 구비되며 상기 트레이 이송 유닛에 의해 이송된 트레이들을 수납하는 트레이 수납 버퍼를 포함하고,
상기 트레이 수납 버퍼는,
상기 천장에 고정되며 상기 트레이들을 수납하기 위한 복수의 포트를 구비하고 상기 트레이들의 출입을 위해 측부가 개방된 메인 프레임;
상기 포트의 바닥부에 장착되고 서로 이격되어 마주하게 위치하며 상기 포트에 수납된 트레이들을 상기 포트의 바닥부로부터 이격시켜 지지하는 한 쌍의 지지 프레임;
상기 포트의 바닥부에서 상기 트레이들이 출입하는 입구부 측에 장착되며 상기 카트의 위치를 가이드하기 위한 카트 가이드핀; 및
상기 메인 프레임에 결합되고 상기 포트 안에 구비되며 상기 지지 프레임들 상에 지지된 트레이들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여 상기 트레이들을 가이드하는 복수의 가이드 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.A plurality of stacked trays are accommodated in the tray and are vertically and horizontally movable, and a fork portion for carrying the trays into and out of the cart. The trays run along a running rail provided on a ceiling of a semiconductor manufacturing line, A transfer unit; And
And a tray receiving buffer provided at one side of the running rail for receiving the trays conveyed by the tray conveying unit,
The tray storage buffer
A main frame fixed to the ceiling and having a plurality of ports for accommodating the trays, the side frames being open for entrance and exit of the trays;
A pair of support frames mounted on a bottom portion of the port and spaced apart from each other to face each other and to support the trays received in the port away from the bottom portion of the port;
A cart guide pin mounted at a bottom of the port for guiding the position of the cart; And
And a plurality of guide brackets coupled to the main frame, the guide brackets being provided in the ports and guiding the trays to prevent the trays supported on the support frames from tilting. 제8항에 있어서, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트 안에서의 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 포크 센싱 반사판을 더 구비하고,
상기 트레이 이송 유닛은, 상기 포크부에 장착되며 상기 포크 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 포크 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제1 광센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.9. The apparatus of claim 8, wherein the tray receiving buffer further comprises a fork sensing reflector mounted on a bottom portion of the port for sensing a position of the fork in the port,
The tray transfer unit may further include a first photosensor mounted on the fork portion and configured to irradiate light toward the fork sensing reflector and align the fork portion according to whether the light reflected from the fork sensing reflector is received or not A tray transfer device. 제9항에 있어서, 상기 트레이 수납 버퍼는, 상기 포트의 바닥부에 장착되고 상기 포트의 바닥부에 대해 경사지게 배치되며 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 트레이 센싱 반사판을 더 구비하고,
상기 트레이 이송 유닛은, 상기 트레이 센싱 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 트레이 센싱 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포트가 빈 상태인지를 감지하기 위한 제2 광센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송 장치.
The apparatus of claim 9, wherein the tray receiving buffer further comprises a tray sensing reflector mounted on a bottom portion of the port and disposed to be inclined with respect to a bottom portion of the port to detect whether the port is empty,
The tray transfer unit may further include a second photosensor for irradiating light toward the tray sensing reflector and detecting whether the port is vacant according to whether the light reflected from the tray sensing reflector is received or not Tray feed device.
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