KR20140061279A

KR20140061279A - Hand for conveying substrate and method for conveying substrate

Info

Publication number: KR20140061279A
Application number: KR1020130137374A
Authority: KR
Inventors: 유키 다테야마; 야스노리 이토
Original assignee: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2012-11-13
Filing date: 2013-11-13
Publication date: 2014-05-21
Also published as: TWI586497B; TW201424957A; JP5978937B2; KR102062096B1; CN103802120B; CN103802120A; JP2014099447A

Abstract

The present invention relates to a hand for conveying a substrate. The hand for conveying a substrate comprises: a pair of first substrate support members arranged in parallel with each other; a drive part configured to parallely move the first substrate support members in a direction where the first substrate support members come close to each other or a direction where the first substrate support members are spaced apart from each other; a pair of second substrate support members arranged in parallel with each other in a direction orthogonal to a longitudinal direction of the first substrate support members; a parallel link member configured to connect the first and second substrate support members, to parallely move the second substrate support members in a direction where the second substrate support members come close to each other in conjunction with the parallel movement of the first substrate support members in the direction where the first substrate support members come close to each other, and to parallely move the second substrate support members in a direction where the second substrate support members are spaced apart from each other in conjunction with the parallel movement of the first substrate support members in the direction where the first substrate support members are spaced apart from each other; a plurality of first holding and supporting portions arranged along the longitudinal direction of the first substrate support members, and configured to hold and support the edges of the bottom surface of a substrate; and a plurality of second holding and supporting portions arranged along a longitudinal direction of the second substrate support members, and configured to hold and support the edges of the bottom surface of the substrate.

Description

HAND FOR CONVEYING SUBSTRATE AND METHOD FOR CONVEYING SUBSTRATE BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer hand and a substrate transfer method.

특허문헌 1에는, 유리 기판의 하면의 4변의 테두리부를 지지하고 유리 기판을 반송하는 기판 반송용 핸드가 개시되어 있다.Patent Document 1 discloses a hand for carrying a substrate that supports four sides of the lower surface of a glass substrate and conveys the glass substrate.

상기 기판 반송용 핸드는, 자동 반송 장치의 핸드 설치부에 핸드 설치용 플레이트를 개재하여 설치되어 있다. 또한, 기판 반송용 핸드의 아암부는, 유리 기판의 변부의 외측 근방에 각각의 변부와 평행하고 또한 유리 기판의 크기에 적합하도록 접합된 복수 개의 부재로 구성되어 있다. 상기 부재는, 경량화와 고강성화를 겸하며, 중공의 각(角)파이프재에 의해 구성되어 있다. 또한, 상기 부재에는, 유리 기판의 하면의 테두리부를 지지하는 기판 파지부가 설치되어 있다.The substrate transfer hand is provided with a hand mounting plate on a hand mounting portion of the automatic transfer apparatus. The arm portion of the substrate transfer hand is constituted by a plurality of members which are arranged in the vicinity of the outer side of the edge portion of the glass substrate so as to be parallel to the respective edge portions and to conform to the size of the glass substrate. The member is composed of a hollow angular pipe material which combines lightness and high rigidity. Further, the above-mentioned member is provided with a substrate grasping portion for supporting a rim of the lower surface of the glass substrate.

일본 특허 공개평11-254374호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 11-254374

그러나, 특허문헌 1에 개시된 기판 반송용 핸드의 아암부는, 복수의 부재를 접합하여 구성되어 있기 때문에 크기(복수의 부재에 의해 구획 형성되는 평면에서 보아 직사각형의 공간)를 변경할 수 없다. 따라서, 특허문헌 1의 흡착 패드에서는, 지지 가능한 크기와는 다른 크기의 유리 기판을 핸들링할 수 없다는 문제가 있었다.However, since the arm portion of the substrate transfer hand disclosed in Patent Document 1 is formed by joining a plurality of members, it is not possible to change the size (a rectangular space in a plan view formed by a plurality of members). Accordingly, there is a problem in that the adsorption pad of Patent Document 1 can not handle a glass substrate having a size different from that of the supportable size.

1대의 기판 반송용 핸드에 의해 크기가 다른 유리 기판을 핸들링하기 위해서는, 아암부를 구성하는 복수의 부재를 각각 이동 가능하게 지지하고, 각각의 부재를 독립하여 이동시키는 복수의 구동부를 설치할 필요가 있다. 그러나, 상기 부재를 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 부재마다 설치하거나, 복수의 구동부를 설치하거나 하면, 기판 반송용 핸드가 중량물이 됨과 아울러 대형화한다는 문제가 있다.In order to handle glass substrates of different sizes by a single substrate transfer hand, it is necessary to provide a plurality of driving units for movably supporting a plurality of members constituting the arm portions and independently moving the respective members. However, if a guide member for movably supporting the member is provided for each member or a plurality of driving portions are provided, there is a problem that the substrate transfer hand becomes heavy and increases in size.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있음과 아울러 소형이고 경량인 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a small and light-weight substrate transfer hand and a substrate transfer method which can change its size according to the size of the substrate.

본 발명의 일 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 평행하게 배치된 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동부와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 평행하게 배치된 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 연결함과 아울러, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 접근하는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향으로 평행 이동시키고, 또한, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 이격되는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 평행 링크 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라 복수 설치되고, 기판 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제1 보유 지지부와, 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라 복수 설치되고, 기판의 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제2 보유 지지부를 구비하는 기판 반송용 핸드를 제공한다.According to one aspect of the present invention, in order to achieve the above object, there is provided a substrate processing apparatus including a first pair of substrate support members arranged in parallel to each other, A second pair of substrate support members arranged in parallel in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the first pair of substrate support members, And the second pair of substrate supporting members are interlocked with the parallel movement of the first pair of the substrate supporting members in the approaching directions of the pair of substrate supporting members, And the second pair of substrate support members are moved apart from each other in cooperation with the parallel movement of the first pair of substrate support members in the direction in which the first and second substrate support members are spaced apart from each other A plurality of second supporting portions provided along the longitudinal direction of the first pair of substrate supporting members and holding the rim of the bottom surface of the substrate; And a second holding portion which is provided in plurality along the longitudinal direction of the substrate supporting member and holds a rim portion of the lower surface of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 구동부에 의해 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재가, 평행 링크 부재를 개재하여 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동한다. 이 동작과는 반대로, 구동부에 의해 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재가, 평행 링크 부재를 개재하여 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동한다.According to one aspect of the present invention, when the first pair of substrate supporting members are horizontally moved in parallel to each other by the driving unit, the second pair of substrate supporting members are moved in parallel with the operation, And moves in parallel horizontally in a direction approaching each other through the member. In contrast to this operation, when the first pair of substrate supporting members are horizontally moved in parallel to each other by the driving unit, the second pair of substrate supporting members are moved in parallel with the operation, And horizontally move in a direction in which they are spaced apart from each other.

즉, 본 발명의 일 형태에 의하면, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재에 의해 구획 형성되는 직사각형 공간의 크기가, 즉, 기판을 보유 지지하기 위한 직사각형 공간의 크기가, 최대 크기에서 최소 크기까지 무단계로 조정 가능하게 된다. 따라서, 본 발명의 일 형태의 기판 반송용 핸드에 의하면, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있다. 또한, 구동부는, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 구동하는 1대의 구동부만 구비하면 되므로, 소형이고 경량인 기판 반송용 핸드를 제공할 수 있다.That is, according to one aspect of the present invention, the size of the rectangular space formed by the first pair of the substrate support members and the second pair of the substrate support members, that is, the size of the rectangular space Can be adjusted steplessly from the maximum size to the minimum size. Therefore, according to the substrate transfer hand of one embodiment of the present invention, the size can be changed according to the size of the substrate. In addition, since the driving unit may include only one driving unit for driving the first pair of substrate supporting members, it is possible to provide a small and light-weight substrate transferring hand.

기판은, 그 기판의 크기로 조정된 기판 반송용 핸드의 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 보유 지지된다.The substrate is held by the first holding portion and the second holding portion of the substrate carrying hand adjusted to the size of the substrate.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부는, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동 가능하게 안내하는 가이드 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 동력을 전달하여 상기 서로 접근하는 방향 및 상기 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동원과, 상기 가이드 부재 및 상기 구동원이 설치된 지지 부재를 구비하는 것이 바람직하다.According to an aspect of the present invention, the driving unit may include: a guide member movably guiding the first pair of substrate support members in a direction approaching each other and a direction away from the first pair of substrate support members; And a support member provided with the guide member and the drive source. The support member includes a guide member and a driving member.

본 발명의 일 형태에 의하면, 지지 부재에 가이드 부재와 구동원이 설치되어 있다. 따라서, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 가이드 부재를 개재하여 지지 부재에 설치되고, 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 평행 링크 부재를 개재하여 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 지지되는 구성으로 된다. 따라서, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 경량의 재료로 제작하는 것이, 지지 부재에 가해지는 중량 부담을 작게 할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 기판을 지지하므로, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재는 고강성이 있는 재료로 제작하는 것이 바람직하다. 재료로서는, 경량이고 강성이 높은 CFRP(carbon fiber reinforced plastic: 탄소 섬유 강화 플라스틱), 알루미늄 합금, 또는 티타늄 합금을 예시할 수 있다.According to one aspect of the present invention, a guide member and a drive source are provided on the support member. Therefore, the first pair of substrate support members are provided on the support member via the guide members, and the second pair of substrate support members are supported by the first pair of substrate support members As shown in Fig. Therefore, it is preferable that the first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members are made of a lightweight material because the weight load applied to the support members can be reduced. Further, since the substrate is supported, it is preferable that the first pair of substrate supporting members and the second pair of substrate supporting members are made of a material having high rigidity. As the material, a lightweight, high rigidity carbon fiber reinforced plastic (CFRP), an aluminum alloy, or a titanium alloy can be exemplified.

본 발명의 일 형태에 의하면, 구동원으로부터의 동력을 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 전달하면, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 가이드 부재에 안내되어, 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다. 이것에 의해, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재가 지지 부재에 대하여 원활하게 동작한다.According to one aspect of the present invention, when the power from the driving source is transmitted to the first pair of substrate support members, the first pair of substrate support members are guided by the guide member, In parallel to the direction of movement. As a result, the first pair of substrate supporting members smoothly operate with respect to the supporting member.

가이드 부재로서는, LM(Linear Motion) 가이드(등록 상표)가 적합하고, 구동원으로서는, 서보 모터와 이송 나사 부재가 적합하다. 이송 나사 부재는 한 쌍의 너트부와 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대를 구비한다. 한 쌍의 너트부의 한쪽 너트부를, 한쪽 제1 기판 지지 부재에 설치하고, 다른 쪽 너트부를, 다른 쪽 제1 기판 지지 부재에 설치한다. 그리고, 한쪽 너트부에 한쪽 나사 막대를 나사 결합시키고, 다른 쪽 너트부에 다른 쪽 나사 막대를 나사 결합시킨다. 이것에 의해, 서보 모터에 의해 한 쌍의 나사 막대를 정회전 방향 및 역회전 방향으로 회전시키면, 이송 나사 부재의 이송 작용에 의해, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재가 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다.As the guide member, a LM (Linear Motion) guide (registered trademark) is suitable, and as the drive source, a servo motor and a feed screw member are suitable. The feed screw member is provided with a pair of nut portions and a pair of screw rods on which reverse screws are laid. One nut portion of the pair of nut portions is provided on one of the first substrate supporting members and the other nut portion is provided on the other of the first substrate supporting members. Then, one screw rod is screwed to one nut part and the other screw rod is screwed to the other nut part. As a result, when the pair of screw rods are rotated in the normal rotation direction and the reverse rotation direction by the servomotor, the first pair of substrate support members are moved in the directions in which they approach each other, And moves in parallel to the direction of separation.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부에는, 상기 기판 반송용 핸드를 상기 기판의 수취 위치로부터 수수 위치로 이동시키는 반송 수단이 연결되어 있는 것이 바람직하다.In one aspect of the present invention, it is preferable that the driving unit is connected to a conveying means for moving the substrate transfer hand from the receiving position to the transfer position of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 지지 부재로 반송 수단을 연결했으므로, 반송 수단에 의해 기판 반송용 핸드를, 기판의 수취 위치로부터 수수 위치로 이동시킬 수 있다. 반송 수단으로서는, 스카라 로봇 등의 수평 다관절 로봇이 바람직하다.According to the embodiment of the present invention, since the conveying means is connected to the supporting member of the hand for conveying the substrate, the conveying means can move the substrate conveying hand from the receiving position to the conveying position of the substrate. As the carrying means, a horizontal articulated robot such as a scara robot is preferable.

본 발명의 일 형태는, 상기 제1 보유 지지부 및 상기 제2 보유 지지부에는, 상기 기판을 흡착 보유 지지하는 흡착 부재를 구비하는 것이 바람직하다.In one aspect of the present invention, it is preferable that the first holding portion and the second holding portion include a suction member for holding and holding the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 흡착 부재에 의해 기판의 하면의 테두리부를 확실하게 보유 지지할 수 있으므로, 기판을 안정되게 반송할 수 있다.According to one aspect of the present invention, since the edge portion of the lower surface of the substrate can be reliably held by the suction member, the substrate can be stably transported.

본 발명의 일 형태는, 상기 기판의 상면에는 수지액이 도포되고, 상기 기판의 하면의 테두리부가 상기 제1 보유 지지부 및 상기 제2 보유 지지부에 의해 보유 지지되는 것이 바람직하다.In one aspect of the present invention, it is preferable that a resin liquid is applied to the upper surface of the substrate, and a rim of the lower surface of the substrate is held by the first holding portion and the second holding portion.

본 발명의 일 형태에 의하면, 상면에 수지액이 도포된 기판의 하면의 테두리부를 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지하므로, 상기 수지액에 접촉하지 않고 기판을 반송할 수 있다.According to one aspect of the present invention, since the edge portion of the lower surface of the substrate coated with the resin liquid on the upper surface is held by the substrate carrying hand, the substrate can be transported without contacting the resin liquid.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부에는, 상기 기판의 하면에 접촉하는 접촉 부재가 구비되는 것이 바람직하다.According to an aspect of the present invention, it is preferable that the driving unit is provided with a contact member that contacts the lower surface of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 접촉 부재를 기판의 하면에 접촉하여 기판을 지지한다. 접촉 부재를 기판 반송용 핸드에 구비함으로써, 기판의 크기가 큰 기판이어도 기판의 휨을 억제하여 기판을 반송할 수 있다. 기판의 하면에 대한 접촉 부재의 접촉 위치는, 중앙부, 중앙부 근방, 또는 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상을 따른 위치인 것이, 기판의 휨을 억제할 수 있는 점에서 바람직하다. 상기 중앙부란, 기판의 무게 중심 위치이다.According to one aspect of the present invention, the contact member contacts the lower surface of the substrate to support the substrate. By providing the contact member in the substrate transfer hand, even if the substrate has a large size, it is possible to suppress the warp of the substrate and carry the substrate. It is preferable that the contact position of the contact member with respect to the lower surface of the substrate is a position along a concentric circle centering on the center portion, the central portion, or the center portion from the viewpoint of suppressing warping of the substrate. The center portion is the center of gravity of the substrate.

본 발명의 일 형태는, 상기 접촉 부재는, 상기 구동부로부터 연장된 아암 부재와, 상기 아암 부재에 설치됨과 아울러 상기 기판의 하면에 접촉하는 핀 형상 부재를 구비하는 것이 바람직하다.According to an aspect of the present invention, it is preferable that the contact member includes an arm member extending from the driving portion, and a pin-shaped member provided on the arm member and contacting the lower surface of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판의 하면에 접촉하는 핀 형상 부재를, 아암 부재에 의해 접촉 위치에 배치할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the pin member contacting the lower surface of the substrate can be disposed at the contact position by the arm member.

본 발명의 일 형태는, 상기 핀 형상 부재는, 승강 수단에 의해 상기 아암 부재에 대하여 승강 가능하게 구비되는 것이 바람직하다.In one aspect of the present invention, it is preferable that the pin-like member is provided so as to be able to move up and down with respect to the arm member by the elevating means.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지하기 전에는, 핀 형상 부재가 기판의 하면에 충돌하지 않도록 핀 형상 부재를 하강 위치에 대기시켜 둔다. 그리고, 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지한 후, 핀 형상 부재를 상승시켜 기판의 하면을 핀 형상 부재에 의해 지지한다. 이것에 의해, 상기 충돌에 기인하는 기판의 손상을 방지할 수 있다.According to one aspect of the present invention, before the rim of the lower surface of the substrate is supported by the first holding portion and the second holding portion of the substrate transfer hand, the pin-shaped member is lowered Place it on standby. After the rim of the lower surface of the substrate is supported by the first holding portion and the second holding portion, the pin-shaped member is raised to support the lower surface of the substrate by the pin-shaped member. Thus, damage to the substrate due to the collision can be prevented.

본 발명의 일 형태는, 상기 아암 부재는, 승강 수단에 의해 상기 구동부에 대하여 승강 가능하게 구비되는 것이 바람직하다.In an aspect of the present invention, it is preferable that the arm member is provided so as to be movable up and down with respect to the driving unit by the elevating means.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지하기 전에는, 핀 형상 부재가 기판의 하면에 충돌하지 않도록, 아암 부재를 하강 위치에 대기시켜 둔다. 그리고, 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지한 후, 아암 부재를 상승시켜 기판의 하면을 핀 형상 부재에 의해 지지한다. 이것에 의해, 상기 충돌에 기인하는 기판의 손상을 방지할 수 있다.According to one aspect of the present invention, before the edge portion of the lower surface of the substrate is supported by the first holding portion and the second holding portion of the substrate transfer hand, the arm member is lowered Place it on standby. After the edge of the lower surface of the substrate is supported by the first holding portion and the second holding portion, the arm member is raised to support the lower surface of the substrate by the pin-like member. Thus, damage to the substrate due to the collision can be prevented.

본 발명의 일 형태는, 기판의 상면에 수지를 도포하는 도포부로부터, 상기 기판의 상면에 도포된 상기 수지를 건조시키는 건조부로, 본 발명의 기판 반송용 핸드를 사용하여 상기 기판을 반송하는 기판 반송 방법을 제공한다.One aspect of the present invention relates to a method of manufacturing a substrate for transferring a substrate by using a substrate transfer hand of the present invention by using a drying section for drying the resin coated on the upper surface of the substrate from an application section for applying a resin to the upper surface of the substrate, And provides a conveying method.

본 발명의 일 형태에 의하면, 1대의 기판 반송용 핸드를 사용하여, 크기가 다른 기판을 도포부에서 건조부로 반송할 수 있다.According to one aspect of the present invention, substrates having different sizes can be transported from the application unit to the drying unit by using one substrate transfer hand.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있음과 아울러 소형이고 경량의 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a small and lightweight substrate transfer hand and a substrate transfer method which can change the size thereof according to the size of the substrate.

도 1은, 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 2는, 유리 기판이 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지된 평면도이다.
도 3은, 도 1의 A-A 선을 따른 구동부의 단면도이다.
도 4는, 도 1에 도시한 유리 기판보다도 작은 크기의 유리 기판을 보유 지지한 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 5는, 도 4에 도시한 유리 기판보다도 작은 크기의 유리 기판을 보유 지지한 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 6a는, 도포부의 구성을 도시한 사시도이다.
도 6b는, 기판 적재대로부터 상승한 유리 기판의 상방 위치에 기판 반송용 핸드가 위치한 설명도이다.
도 6c는, 도포부에서 유리 기판을 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지한 설명도이다.
도 7은, 도포부에서 보유 지지한 유리 기판을 건조부로 이동시킨 형태를 도시한 설명도이다.
도 8은, 흡착 패드에 의한 유리 기판의 거동을 도시한 확대 단면도이다.
도 9a는, 도 8의 흡착 패드의 주위에 통 형상체를 배치한 확대 단면도이다.
도 9b는, 도 9a의 흡착 패드에 의한 유리 기판의 거동을 도시한 확대 단면도이다.
도 10은, 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 11은, 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 측면도이다.
도 12a는, 에어 실린더에 의해 탄성 핀이 하강 위치에 위치된 설명도이다.
도 12b는, 에어 실린더에 의해 탄성 핀이 상승 위치에 위치된 설명도이다.
도 13a는, 도포부의 승강 핀을 상승시켜 유리 기판을 수취 위치에 위치시킨 측면도이다.
도 13b는, 기판 반송용 핸드를 유리 기판의 수취 위치로 이동시킨 측면도이다.
도 13c는, 기판 지지 부재의 보유 지지부에 의해 유리 기판의 하면의 테두리부가 보유 지지된 측면도이다.
도 13d는, 탄성 핀이 상승되어 유리 기판의 하면에 접촉된 측면도이다.
도 13e는, 기판 반송용 핸드를 상승 이동시킨 측면도이다.
도 13f는, 승강 핀을 하강 이동시킴과 아울러 기판 반송용 핸드를 수평 방향으로 이동시킨 측면도이다.
도 14a는, 건조부에 있어서의 수수 위치로 유리 기판을 이동시킨 측면도이다.
도 14b는, 유리 기판의 하면이 건조부의 고정 핀에 지지된 측면도이다.
도 14c는, 탄성 핀이 하강되어 유리 기판의 하면으로부터 퇴피된 측면도이다.
도 14d는, 기판 지지 부재가 서로 이격되는 방향으로 이동되고 상승 이동된 측면도이다.
도 14e는, 접촉 부재의 아암 부재를 수평 방향으로 직선상으로 슬라이드 이동시킨 측면도이다.
도 15a는, 접촉 부재의 아암 부재가 하강 위치에 있는 측면도이다.
도 15b는, 접촉 부재의 아암 부재가 상승 위치에 있는 측면도이다.1 is a plan view of a substrate transfer hand of the first embodiment.
2 is a plan view showing a glass substrate held by a substrate carrying hand.
3 is a cross-sectional view of the driving unit along the line AA in Fig.
4 is a plan view of a substrate carrying hand holding a glass substrate having a size smaller than that of the glass substrate shown in Fig.
5 is a plan view of a substrate carrying hand holding a glass substrate having a size smaller than that of the glass substrate shown in Fig.
6A is a perspective view showing a configuration of a coated portion.
Fig. 6B is an explanatory view showing the position of the substrate transfer hand at a position above the glass substrate elevated from the substrate loading position.
Fig. 6C is an explanatory view of holding the glass substrate by the substrate carrying hand in the application section; Fig.
7 is an explanatory view showing a mode in which the glass substrate held by the application unit is moved to the drying unit.
8 is an enlarged sectional view showing the behavior of the glass substrate by the adsorption pad.
Fig. 9A is an enlarged sectional view in which a cylindrical body is arranged around the adsorption pad of Fig. 8; Fig.
FIG. 9B is an enlarged sectional view showing the behavior of the glass substrate by the adsorption pad of FIG. 9A. FIG.
10 is a plan view of the substrate transfer hand of the second embodiment.
11 is a side view of the substrate transfer hand of the second embodiment.
12A is an explanatory view in which the elastic pin is located at the lowered position by the air cylinder.
12B is an explanatory view in which the elastic pin is located at the raised position by the air cylinder.
13A is a side view in which the lift pins of the application portion are raised and the glass substrate is placed at the receiving position.
13B is a side view of the substrate transfer hand moved to the receiving position of the glass substrate.
13C is a side view in which a rim of the lower surface of the glass substrate is held by the holding portion of the substrate supporting member.
13D is a side view in which the elastic pin is raised and brought into contact with the lower surface of the glass substrate.
13E is a side view of the substrate transfer hand being moved upward;
FIG. 13F is a side view showing the downward movement of the lift pin and the horizontal movement of the substrate transport hand. FIG.
Fig. 14A is a side view of the glass substrate moved to a delivery position in the drying section; Fig.
14B is a side view in which the lower surface of the glass substrate is supported by the fixing pins of the drying section.
14C is a side view of the elastic pin being lowered and retracted from the lower surface of the glass substrate.
14D is a side view in which the substrate supporting members are moved in the direction in which they are spaced apart from each other and moved up.
14E is a side view in which the arm member of the contact member is linearly slid in the horizontal direction.
15A is a side view in which the arm member of the contact member is in the lowered position.
15B is a side view in which the arm member of the contact member is in the raised position.

이하, 첨부 도면을 따라 본 발명에 따른 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법이 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a substrate transfer hand and a substrate transfer method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

[기판 반송용 핸드(10)의 구성][Configuration of the substrate transfer hand 10]

도 1은 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)의 평면도이며, 기판 반송용 핸드(10)의 핸드 설치용 플레이트(지지 부재)(12)가, 개략 도시한 수평 다관절 로봇(예를 들어 스카라 로봇: 반송 수단)(14)의 아암(16)의 선단에 설치된 형태가 도시되어 있다. 즉, 핸드 설치용 플레이트(12)는 아암(16)을 개재하여 수평 다관절 로봇(14)과 연결되어 있다. 또한, 도 1에는, 기판 반송용 핸드(10)에 의해, 평면에서 보아 직사각형의 유리 기판 G1을 보유 지지하기 직전의 형태가 도시되어 있다. 도 2는 유리 기판 G1이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된 평면도이다. 유리 기판 G1은, 그 면(상면 및 하면)이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 수평 방향으로 보유 지지된다.1 is a plan view of a substrate transfer hand 10 according to the first embodiment, in which a hand mounting plate (support member) 12 of a substrate transfer hand 10 is a horizontally articulated robot And a scalar robot (carrier means) 14 is provided at the tip of the arm 16 of the robot. In other words, the hand mounting plate 12 is connected to the horizontal articulated robot 14 via the arm 16. Fig. 1 shows a state immediately before holding a rectangular glass substrate G1 in a plan view by the substrate transfer hand 10. Fig. 2 is a plan view of the glass substrate G1 held by the substrate transfer hand 10. Fig. The surface (upper surface and lower surface) of the glass substrate G1 is held in the horizontal direction by the substrate carrying hand 10.

도 1, 도 2 도시된 기판 반송용 핸드(10)는 유리 기판 G1의 반송 방향에 대하여 수평 방향으로 평행하게 배치된 한 쌍의 기판 지지 부재(제1의 한 쌍의 기판 지지 부재)(18, 20)와, 한 쌍의 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동부(22)과, 한 쌍의 기판 지지 부재(18, 20)의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향이며 수평 방향으로 평행하게 배치된 한 쌍의 기판 지지 부재(제2의 한 쌍의 기판 지지 부재)(24, 26)를 구비한다. 기판 지지 부재(18, 20)는, 판상이며 길이가 동등한 동일 구성물이고, 기판 지지 부재(24, 26)도 마찬가지이다.1 and 2 includes a pair of substrate supporting members (a first pair of substrate supporting members) 18 arranged in parallel in the horizontal direction with respect to the conveying direction of the glass substrate G1, A driving unit 22 for moving the pair of substrate supporting members 18 and 20 in parallel to each other in a direction approaching and a direction away from the pair of substrate supporting members 18 and 20; And a pair of substrate supporting members (second pair of substrate supporting members) 24, 26 arranged in parallel in the horizontal direction. The substrate supporting members 18 and 20 are plate-shaped and have the same length, and the substrate supporting members 24 and 26 are the same.

또한, 기판 반송용 핸드(10)는 기판 지지 부재(24, 26)의 각각의 양단부에 있어서, 기판 지지 부재(18, 20)와 기판 지지 부재(24, 26)를 연결하는 평행 링크 부재(28, 28…)를 구비하고 있다. 이 평행 링크 부재(28, 28…)는, 기판 지지 부재(18, 20)의 서로 접근하는 방향의 평행 이동에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 접근하는 방향으로 평행 이동시키고, 또한, 기판 지지 부재(18, 20)의 서로 이격되는 방향의 평행 이동에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 기능을 구비한다.The substrate transfer hand 10 is provided with parallel link members 28 and 28 for connecting the substrate support members 18 and 20 and the substrate support members 24 and 26 at both ends of the substrate support members 24 and 26, , 28 ...). The parallel link members 28, 28 ... move parallel to the mutually approaching directions of the substrate support members 24, 26 in association with the parallel movement of the substrate support members 18, 20 in the mutually approaching directions, And a function of moving the substrate support members 24 and 26 in parallel to each other in a direction in which the substrate support members 24 and 26 are spaced apart from each other in association with the parallel movement of the substrate support members 18 and 20 in the mutually spaced directions.

평행 링크 부재(28)는 평행하게 배치된 2개의 링크(30, 30)를 구비하고, 2개의 링크(30, 30)의 한쪽 단부가 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)에 베어링(도시하지 않음)을 개재하여 수평 방향으로 회전 가능하게 연결된다. 또한, 2개의 링크(30, 30)의 다른 쪽 단부가 기판 지지 부재(24)(기판 지지 부재(26))에 베어링(도시하지 않음)을 개재하여 수평 방향으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 이 연결 구성에 의해, 평행 링크 부재(28)는 상기 기능을 구비한다.The parallel link member 28 has two links 30 and 30 arranged in parallel and one end of the two links 30 and 30 is supported by the substrate support member 18 The other ends of the two links 30 and 30 are connected to the substrate supporting member 24 (the substrate supporting member 26) through bearings (not shown) The parallel link member 28 has the above-described function. The parallel link member 28 has the above-described function.

또한, 기판 반송용 핸드(10)는 보유 지지부(제1 보유 지지부)(32, 32…)와 보유 지지부(제2 보유 지지부)(34, 34…)를 구비하고 있다. 보유 지지부(32)는 기판 지지 부재(18)와 기판 지지 부재(20)가 대향하는 변부를 따라 소정의 간격을 두고 복수 설치되고, 도 2와 같이 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 보유 지지한다. 보유 지지부(34)는 도 1과 같이 기판 지지 부재(24)와 기판 지지 부재(26)가 대향하는 변부를 따라 소정의 간격을 두고 복수 설치되고, 도 2와 같이 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 보유 지지한다. 또한, 도 1과 같이 보유 지지부(32, 34)에 진공의 흡착 패드(36)(흡착 부재)를 설치하고, 흡착 패드(36)에 의해 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 흡착 보유 지지하는 것이, 유리 기판 G1을 안정되게 반송할 수 있는 점에서 바람직하다. 흡착 패드(36)에 대해서는 후술한다.The substrate transfer hand 10 is provided with holding portions (first holding portions) 32, 32, ... and holding portions (second holding portions) 34, 34,. A plurality of holding portions 32 are provided at predetermined intervals along the opposite sides of the substrate supporting member 18 and the substrate supporting member 20 to hold the rim portion of the lower surface of the glass substrate G1 as shown in Fig. 1, a plurality of holding units 34 are provided at predetermined intervals along the opposite sides of the substrate supporting member 24 and the substrate supporting member 26, . It is preferable that a vacuum adsorption pad 36 (adsorption member) is provided on the holding portions 32 and 34 as shown in Fig. 1 and the edge portion of the lower surface of the glass substrate G1 is adsorbed and held by the adsorption pad 36, This is preferable in that the glass substrate G1 can be stably transported. The adsorption pad 36 will be described later.

구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동 가능하게 안내하는 가이드 부재(38, 38)와, 기판 지지 부재(18, 20)로 동력을 전달하여 상기 서로 접근하는 방향 및 상기 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동원(40)을 구비하고 있다. 그리고, 가이드 부재(38, 38) 및 구동원(40)이 핸드 설치용 플레이트(12)에 탑재되어 구동부(22)가 구성되어 있다.The driving unit 22 includes guide members 38 and 38 for movably guiding the substrate supporting members 18 and 20 in directions approaching each other and mutually spaced apart from each other, And a driving source (40) which moves in parallel to each other in a direction approaching each other and a direction away from each other. The guide members 38 and 38 and the driving source 40 are mounted on the hand mounting plate 12 to constitute the driving unit 22. [

도 3은 도 1의 A-A 선을 따른 단면도이며, 가이드 부재(38)의 구성이 도시되어 있다.Fig. 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A in Fig. 1, and shows the configuration of the guide member 38. Fig.

가이드 부재(38)로서는, LM(Linear Motion) 가이드(등록 상표)가 채용되어 있으며, 한 쌍의 레일(42, 42)와, 레일(42, 42)에 요동 가능하게 끼워 맞춰지는 블록(44, 44)을 구비하고 있다. 레일(42, 42)은, 기판 지지 부재(18, 20)의 이동 방향을 따라 핸드 설치용 플레이트(12)의 상면에 평행하게 고정되어 있고, 블록(44, 44)은 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)도 마찬가지)의 하면에 고정되어 있다.As the guide member 38, an LM (Linear Motion) guide (registered trademark) is employed and a pair of rails 42 and 42 and blocks 44 and 42, which are pivotably fitted on the rails 42 and 42, 44). The rails 42 and 42 are fixed parallel to the upper surface of the hand mounting plate 12 along the moving direction of the substrate supporting members 18 and 20 and the blocks 44 and 44 are fixed to the substrate supporting member 18 And the substrate supporting member 20).

한편, 도 1에 도시한 구동원(40)은 서보 모터(46)과, 동축 상에서 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대(48, 48)와, 도 3에 도시하는 너트(50)를 구비한다. 또한, 구동원(40)은 도 1과 같이 서보 모터(46)의 회전력을 한 쌍의 나사 막대(48, 48)에 전달하는 풀리(52), 벨트(54) 및 풀리(56)를 구비하고 있다. 즉, 풀리(52)는 서보 모터(46)의 회전축에 설치되고, 풀리(56)는 한 쌍의 나사 막대(48, 48)의 길이 방향 중앙부에 설치되며, 이들 풀리(52, 56)에 벨트(54)가 걸쳐져 있다.1 includes a servomotor 46 and a pair of screw rods 48 and 48 coaxially arranged on opposite sides of each other and having a nut 50 shown in Fig. do. 1, the drive source 40 has a pulley 52, a belt 54 and a pulley 56 for transmitting the rotational force of the servo motor 46 to the pair of screw rods 48 and 48 . That is, the pulley 52 is provided on the rotating shaft of the servo motor 46, and the pulley 56 is provided in the longitudinally central portion of the pair of threaded rods 48, 48, (Not shown).

또한, 너트(50)는 도 3과 같이 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)도 마찬가지)의 하면이며, 블록(44)과 블록(44)의 중간부에 고정되어 있다. 이 너트(50)에 레일(42)과 평행하게 부설된 나사 막대(48)가 나사 결합되어 있다. 즉, 구동원(40)에 의한 기판 지지 부재(18, 20)의 이동 기구로서, 나사 막대(48)와 너트(50)를 포함하여 이루어지는 이송 나사 부재가 채용되어 있다.The nut 50 is a lower face of the substrate supporting member 18 (the same also to the substrate supporting member 20) as shown in Fig. 3, and is fixed to the intermediate portion between the block 44 and the block 44. Fig. And a screw rod 48 attached to the nut 50 in parallel with the rail 42 is screwed. That is, as a mechanism for moving the substrate supporting members 18 and 20 by the driving source 40, a feed screw member including the screw rod 48 and the nut 50 is employed.

따라서, 구동부(22)에 의하면, 서보 모터(46)에 의해 한 쌍의 나사 막대(48, 48)를 정회전 방향 및 역회전 방향으로 회전시키면, 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대(48, 48)와 너트(50, 50)에 의한 이송 작용에 의해, 기판 지지 부재(18, 20)가 서로 근접하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다. 또한, 기판 지지 부재(18, 20)는, 가이드 부재(38, 38)에 안내되고 있으므로, 핸드 설치용 플레이트(12)에 대하여 원활하게 이동한다.Therefore, when the pair of screw rods 48, 48 are rotated in the normal rotation direction and the reverse rotation direction by the servo motor 46, the pair of screw rods 48 and 48 and the nuts 50 and 50, the substrate support members 18 and 20 move in parallel with each other in a direction in which they are close to each other and a direction in which they are spaced apart from each other. Since the substrate supporting members 18 and 20 are guided by the guide members 38 and 38, the substrate supporting members 18 and 20 move smoothly with respect to the hand mounting plate 12.

한편, 구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)가 가이드 부재(38, 38)를 개재하여 핸드 설치용 플레이트(12)에 외팔보 지지되고, 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 기판 지지 부재(18, 20)에 지지되는 구성이다.On the other hand, the driving unit 22 is configured such that the substrate supporting members 18 and 20 are cantilevered to the hand mounting plate 12 via the guide members 38 and 38 and the substrate supporting members 24 and 26 are supported by the parallel link members Are supported by the substrate support members 18, 20 via the respective support arms 28, 28 ....

따라서, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)를 경량의 재료로 제작하는 것이, 핸드 설치용 플레이트(12)에 가해지는 중량 부담을 작게 할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 유리 기판 G1을 지지하므로, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)은 고강성이 있는 재료로 제작하는 것이 바람직하다. 이들 관점에서 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)는, 경량이고 강성이 높은 CFRP(carbon fiber reinforced plastic: 탄소 섬유 강화 플라스틱)제, 알루미늄 합금제, 또는 티타늄 합금제인 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that the substrate supporting members 18, 20, 24, and 26 are made of a lightweight material because the weight load applied to the hand mounting plate 12 can be reduced. Further, since the glass substrate G1 is supported, it is preferable that the substrate supporting members 18, 20, 24, and 26 are made of a material having high rigidity. From these viewpoints, it is preferable that the substrate supporting members 18, 20, 24, and 26 are lightweight and rigid carbon fiber reinforced plastic (CFRP), aluminum alloy, or titanium alloy.

이어서, 상기한 바와 같이 구성된 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)의 작용에 대하여 설명한다.Next, the operation of the substrate transfer hand 10 of the first embodiment configured as described above will be described.

[기판 반송용 핸드(10)의 기본 동작][Basic operation of the substrate transfer hand 10]

구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 서로 근접하는 방향으로 수평으로 평행 이동한다. 이 동작과는 반대로, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동한다.When the substrate supporting members 18 and 20 are horizontally moved in parallel to each other by the driving unit 22, the substrate supporting members 24 and 26 are moved in parallel with the operation of the parallel link members 28, 28, In parallel with each other in the direction of approaching each other. When the substrate supporting members 18 and 20 are horizontally moved in parallel to each other in the direction in which they are spaced apart from each other by the driving unit 22, the substrate supporting members 24 and 26 are moved in parallel with the operation, (28, 28, ...).

[기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판 G1의 보유 지지 동작][Holding Operation of Glass Substrate G1 by Hand Carrying Hand 10]

우선, 도 1과 같이, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)의 간격을 최대한으로 확장한다. 즉, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)에 의해 구획 형성되는 평면에서 보아 직사각형의 공간(58)을 최대 크기로 확장하고, 그 공간(58) 내에 유리 기판 G1이 들어가도록 기판 반송용 핸드(10)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨다. 또한, 핸드 설치용 플레이트(12)를 구비하는 구동부(22)는 아암(16)을 개재하여 수평 다관절 로봇(14)과 연결되어 있다.First, as shown in Fig. 1, the distance between the substrate supporting members 18 and 20 is maximized by the driving unit 22. [ That is, the rectangular space 58 is expanded to a maximum size in a plane defined by the substrate supporting members 18, 20, 24, and 26, and the glass substrate G1 is inserted into the space 58 The hand 10 is moved by the horizontal articulated robot 14. The driving unit 22 having the hand mounting plate 12 is connected to the horizontal articulated robot 14 via the arm 16.

이어서, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키고, 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시킨다. 이것에 의해, 도 2와 같이 모든 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)가 유리 기판 G1의 하면의 테두리부에 인입되고, 하면의 테두리부가 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)에 의해 지지된다. 이 동작에 의해, 유리 기판 G1이 기판 반송용 핸드(10)에 보유 지지된다. 또한, 기판 지지 부재(18, 20)의 이동량은, 유리 기판 G1의 크기에 대응하도록, 서보 모터(46)에 의해 제어되고 있다.Subsequently, the substrate supporting members 18 and 20 are horizontally moved in parallel to each other by the driving unit 22, and the substrate supporting members 24 and 26 are horizontally moved in parallel to each other. As a result, all of the holding portions 32, 32, 34, 34, ... are drawn into the rim of the lower surface of the glass substrate G1 as shown in Fig. 2, ...). By this operation, the glass substrate G1 is held by the substrate transfer hand 10. The movement amount of the substrate supporting members 18, 20 is controlled by the servo motor 46 so as to correspond to the size of the glass substrate G1.

제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)는 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)에 의해 구획 형성되는 공간(58)의 크기가, 도 1에 도시한 최대 크기에서 최소 크기(도시하지 않음)까지 무단계로 조정 가능하다.The substrate transfer hand 10 of the first embodiment is configured such that the size of the space 58 partitioned by the substrate support members 18, 20, 24 and 26 is smaller than the maximum size ) Can be adjusted steplessly.

따라서, 기판 반송용 핸드(10)에 의하면, 유리 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있다. 즉, 기판 반송용 핸드(10)는 도 4와 같이, 유리 기판 G1(도 1, 도 2 참조)보다도 크기가 작은 유리 기판 G2이어도 보유 지지할 수 있고, 도 5와 같이, 유리 기판 G2(도 4 참조)보다도 크기가 작은 유리 기판 G3이어도 보유 지지할 수 있다. 또한, 기판 반송용 핸드(10)의 구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)를 구동하는 1대의 구동부만 구비하면 되므로, 소형이고 경량의 기판 반송용 핸드(10)로 된다.Therefore, according to the substrate transfer hand 10, the size can be changed according to the size of the glass substrate. 4, the glass substrate G2 having a size smaller than that of the glass substrate G1 (see FIGS. 1 and 2) can be held by the substrate transfer hand 10, and the glass substrate G2 The glass substrate G3 having a size smaller than that of the glass substrate G3 can be held. The driving unit 22 of the substrate transfer hand 10 can be provided with only one driving unit for driving the substrate supporting members 18 and 20 and thus becomes a small and lightweight substrate carrying hand 10.

[기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판의 반송 방법][Method of transporting the glass substrate by the substrate transfer hand 10]

도 6a, 도 6b, 도 6c는, 수지액의 도포부(기판의 수취 위치)(60)에 있어서 유리 기판 G를 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지하는 형태가 도시되어 있다. 도 7은 도포부(60)에서 보유 지지한 유리 기판 G를, 도 1의 수평 다관절 로봇(14)에 의해 건조부(기판의 수수 위치)(62)로 반송한 형태가 도시되어 있다.6A, 6B and 6C show a state in which the glass substrate G is held by the substrate carrying hand 10 in the resin portion (receiving position of the substrate) 60 of the resin liquid. Fig. 7 shows a form in which the glass substrate G held by the application unit 60 is transported to the drying unit (transfer position of the substrate) 62 by the horizontal articulated robot 14 of Fig.

도 6a와 같이 도포부(60)는 다이 코터(64) 및 기판 적재대(66)를 구비한다. 또한, 기판 적재대(66)에는, 도 6b, 도 6c와 같이, 기판 적재대(66)의 상면에 대하여 돌몰되는 복수 개의 승강 핀(68, 68…)이 구비되어 있다.As shown in Fig. 6A, the application portion 60 includes a die coater 64 and a substrate mounting table 66. Fig. 6B and 6C, the substrate stacking table 66 is provided with a plurality of lift pins 68, 68, ... projected against the upper surface of the substrate stacking table 66. As shown in FIG.

도 6a의 도포부(60)에 있어서 유리 기판 G는, 기판 적재대(66)에 적재되고, 그 상면에 다이 코터(64)에 의해 수지액(70)이 도포된다. 수지액(70)의 도포가 종료되면, 다이 코터(64)는 기판 적재대(66)의 상방 위치로부터 측방 위치로 퇴피함과 아울러, 도 6b와 같이, 승강 핀(68, 68…)이 기판 적재대(66)의 상면으로부터 돌출된다. 이것에 의해, 유리 기판 G는, 승강 핀(68, 68…)에 의해 하면이 밀어올려져 기판 적재대(66)로부터 상승한다. 이후, 도 1의 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동된 기판 반송용 핸드(10)가 도 6b와 같이, 유리 기판 G의 상방 위치에 위치한다. 그 후, 기판 반송용 핸드(10)가 유리 기판 G의 보유 지지 가능한 위치까지 하강 이동되고, 그 후, 기판 반송용 핸드(10)의 구동부(22)가 구동되어 유리 기판 G가 도 6c와 같이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된다.6A, the glass substrate G is stacked on the substrate mounting table 66, and a resin liquid 70 is coated on the upper surface of the glass substrate G by a die coater. When the application of the resin liquid 70 is finished, the die coater 64 is retracted from the upper position of the substrate stacking table 66 to the side position, and the lift pins 68, 68 ... And protrudes from the upper surface of the table 66. As a result, the lower surface of the glass substrate G is pushed up by the elevating pins 68, 68 ... and raised from the substrate mounting table 66. Thereafter, the substrate transfer hand 10 moved by the horizontal articulated robot 14 in Fig. 1 is positioned above the glass substrate G as shown in Fig. 6B. Thereafter, the substrate transfer hand 10 is moved down to a position at which the glass substrate G can be held, and then the driving section 22 of the substrate transfer hand 10 is driven so that the glass substrate G is moved And is held by the substrate transfer hand 10.

기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된 유리 기판 G는, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 7의 건조부(62)로 반송되고, 건조부(62)의 오븐 선반(72)의 상면에 돌출 설치된 복수 개의 고정 핀(74, 74…)에 적재된다. 이후, 기판 반송용 핸드(10)의 기판 지지 부재(18, 20)가 서로 이격되는 방향으로 구동부(22)에 의해 이동된다. 이것에 의해, 기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판 G의 보유 지지가 해제된다. 이후, 기판 반송용 핸드(10)는 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 6a의 도포부(60)의 근방 위치까지 이동되고, 다음 유리 기판 G를 보유 지지하는 동작을 개시하기까지 그 위치에 대기된다.The glass substrate G held by the substrate transfer hand 10 is conveyed to the drying unit 62 of Fig. 7 by the horizontal articulated robot 14 and is conveyed to the drying unit 62 of the oven shelf 72 of the drying unit 62 Are mounted on a plurality of fixing pins (74, 74, ...) projected on the upper surface. Thereafter, the substrate supporting members 18, 20 of the substrate transfer hand 10 are moved by the driving unit 22 in the direction in which they are spaced apart from each other. Thus, holding of the glass substrate G by the substrate transfer hand 10 is released. Thereafter, the substrate transfer hand 10 is moved by the horizontal articulated robot 14 to a position in the vicinity of the application unit 60 of Fig. 6A and is held at that position until the operation of holding the next glass substrate G is started Waiting.

상기 유리 기판 G의 반송 방법에 의하면, 상면에 수지액(70)이 도포된 유리 기판 G의 하면의 테두리부를 기판 반송용 핸드(10)의 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)에 의해 보유 지지하므로, 수지액(70)에 접촉하지 않고 유리 기판 G를 도포부(60)로부터 건조부(62)로 반송할 수 있다. 또한, 1대의 기판 반송용 핸드(10)를 사용하여, 크기가 다른 유리 기판을 도포부(60)로부터 건조부(62)로 반송할 수 있다. 또한, 도 6c에 도시한 승강 핀(68) 및 도 7에 도시한 고정 핀(74)의 형상은 원기둥 형상으로 한정되는 것은 아니며, 상단부가 첨예 형상의 원추 형상이어도 된다.The edge portion of the lower surface of the glass substrate G on which the resin liquid 70 is applied on the upper surface is held by the holding portions 32, 32, ..., 34, 34 ... of the substrate transfer hand 10 The glass substrate G can be transported from the application portion 60 to the drying portion 62 without contacting the resin liquid 70. [ Further, glass substrates having different sizes can be transported from the application unit 60 to the drying unit 62 by using one substrate transfer hand 10. The shape of the lifting pin 68 shown in Fig. 6C and the fixing pin 74 shown in Fig. 7 is not limited to a cylindrical shape, but may be a conical shape with an upper end portion of a sharp shape.

[흡착 패드(36)의 형태][Shape of the adsorption pad 36]

도 8은 보유 지지부(32, 34)에 구비되는 흡착 패드(36)의 확대 단면도이다. 흡착 패드(36)는 수지제 또는 고무제이며, 흡인로(76)에 연통되는 중앙 개구부(78)를 구비한 환상 부재이다. 흡착 패드(36)가 유리 기판 G의 하면의 테두리부에 흡착함으로써, 유리 기판 G가 기판 반송용 핸드(10)에 확실하게 보유 지지된다.8 is an enlarged cross-sectional view of the adsorption pad 36 provided in the holding support portions 32, 34. As shown in Fig. The adsorption pad 36 is made of resin or rubber and is an annular member having a central opening 78 communicating with the suction passage 76. The adsorption pad 36 is adsorbed on the edge of the lower surface of the glass substrate G so that the glass substrate G is securely held in the substrate transfer hand 10.

도 8에 도시한 흡착 패드(36)는 유리 기판 G의 무게에 의해 탄성 변형된다. 흡착 패드(36)의 탄성 변형에 의해, 유리 기판 G가 휜 상태에서 보유 지지되고, 그 휨에 의해 유리 기판 G가 파손되는 경우가 있다.The adsorption pad 36 shown in Fig. 8 is elastically deformed by the weight of the glass substrate G. The elastic deformation of the absorption pad 36 causes the glass substrate G to be held in a warped state and the glass substrate G may be broken by the warping.

이러한 문제를 방지하기 위하여, 도 9a에 도시한 확대 단면와 같이, 흡착 패드(36)를 둘러싸는 통 형상체(80)를 보유 지지부(32, 34)에 배치하였다. 흡착 패드(36)가 유리 기판 G를 흡착 유지했을 때 유리 기판 G에 가압되어 탄성 변형되면, 유리 기판 G의 하면의 테두리부가 통 형상체(80)의 링 형상 상단부면(82)에 접촉한다. 이것에 의해, 유리 기판 G의 하면의 테두리부는, 도 9b와 같이 강성이 있는 통 형상체(80)의 링 형상 상단부면(82)에 가압 접촉된 상태에서, 즉, 휨이 억제된 상태에서 기판 반송용 핸드(10)에 보유 지지되므로, 휨에 기인하는 파손을 방지할 수 있다.In order to prevent such a problem, a cylindrical body 80 surrounding the adsorption pad 36 is disposed on the holding portions 32 and 34 as shown in an enlarged section shown in Fig. 9A. The edge of the lower surface of the glass substrate G comes into contact with the ring-shaped upper end surface 82 of the cylinder body 80 when the adsorption pad 36 is pressed and elastically deformed by the glass substrate G when the glass substrate G is attracted and held. As a result, the edge portion of the lower surface of the glass substrate G is pressed against the ring-shaped upper end surface 82 of the tubular body 80 having rigidity as shown in Fig. 9B, that is, And is held by the carrying hand 10, so that breakage due to warping can be prevented.

[기판 반송용 핸드(100)의 구성][Configuration of Hand for Handing 100 of a Substrate]

도 10은 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드(100)의 평면도, 도 11은 기판 반송용 핸드(100)의 측면도이며, 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)와 동일 또는 유사한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여하여, 그 설명은 생략한다.Fig. 10 is a plan view of the substrate transfer hand 100 of the second embodiment, and Fig. 11 is a side view of the substrate transfer hand 100, which is similar to or similar to the substrate transfer hand 10 of the first embodiment Are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.

도 10, 도 11과 같이 기판 반송용 핸드(100)는 유리 기판 G1의 하면에 접촉하는 접촉 부재(102)를 구비한다. 이 접촉 부재(102)는 구동부(22)에 구비된 핸드 설치용 플레이트(12)의 하면에 기단부가 외팔보 지지된 아암 부재(104)와, 아암 부재(104)의 선단부 근방에 설치됨과 아울러 유리 기판 G1의 하면에 접촉하는 2개의 탄성 핀(핀 형상 부재)(106, 106)을 구비한다.As shown in Figs. 10 and 11, the substrate transfer hand 100 includes a contact member 102 which contacts the lower surface of the glass substrate G1. The contact member 102 includes an arm member 104 having a base portion cantilevered on a lower surface of a hand mounting plate 12 provided in the driving unit 22 and a pair of arm members 104 provided near the front end of the arm member 104, (Pin-shaped members) 106, 106 which come into contact with the lower surface of the base plate 106. [

구동부(22)로부터 연장된 아암 부재(104)의 상기 기단부는, 핸드 설치용 플레이트(12)의 길이 방향 중앙부에 고정됨과 아울러, 기판 지지 부재(18, 20)와 평행하게 설치되어 있다. 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암 부재(104)는 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)보다도 소정량 하방 위치에 배치되어 있다.The proximal end of the arm member 104 extending from the driving unit 22 is fixed to the longitudinal center portion of the hand mounting plate 12 and is provided in parallel with the substrate supporting members 18 and 20. 11, the arm member 104 is arranged at a position lower than the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) by a predetermined amount.

탄성 핀(106)은 고무제 또는 수지제이며, 유리 기판 G1의 하면에 탄성을 갖고 접촉하는 부재이다. 또한, 유리 기판 G1의 하면에 대한 탄성 핀(106, 106)의 접촉 위치는, 유리 기판 G1의 중앙부, 중앙부 근방, 또는 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상을 따른 위치인 것이, 유리 기판 G1의 휨을 억제할 수 있는 점에서 바람직하다. 상기 중앙부란 유리 기판 G1의 무게 중심 위치이며, 도 10, 도 11의 탄성 핀(106, 106)은, 상기 중앙부 근방 또는 상기 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상으로 배치된 예이다. 또한 탄성 핀(106)의 개수는 2개로 한정되는 것은 아니며, 1개이어도 3개 이상이어도 된다. 접촉 부재(102)가 아암 부재(104)를 구비함으로써, 탄성 핀(106, 106)을 아암 부재(104)의 길이 방향에 있어서 원하는 위치에 배치시킬 수 있다.The elastic pin 106 is made of rubber or resin and is a member that comes into elastic contact with the lower surface of the glass substrate G1. The contact positions of the elastic pins 106 and 106 with respect to the lower surface of the glass substrate G1 are positions along the concentric circles centering on the central portion, the central portion, or the central portion of the glass substrate G1. It is preferable from the viewpoint of being able to do. The central portion is the center of gravity of the glass substrate G1, and the elastic pins 106 and 106 of Figs. 10 and 11 are arranged in the vicinity of the central portion or concentrically around the central portion. Further, the number of elastic fins 106 is not limited to two, and may be one or three or more. The resilient fins 106 and 106 can be arranged at desired positions in the longitudinal direction of the arm member 104 by providing the contact member 102 with the arm member 104. [

도 12a, 도 12b는, 탄성 핀(106)을 아암 부재(104)의 상면에 대하여 승강 이동시키는 에어 실린더(승강 수단)(108)가 도시되어 있다. 즉 도 12a는 에어 실린더(108)의 피스톤(110)이 실린더(112)에 의해 하강 위치에 위치된 상태가 도시되고, 도 12b는, 에어 실린더(108)의 피스톤(110)이 실린더(112)에 의해 상승 위치에 위치된 상태가 도시되어 있다.12A and 12B show an air cylinder (elevating means) 108 for moving the elastic pin 106 up and down with respect to the upper surface of the arm member 104. As shown in Fig. 12A is a state in which the piston 110 of the air cylinder 108 is positioned in the lowered position by the cylinder 112 and FIG. As shown in Fig.

아암 부재(104)는 중공의 파이프 형상으로 구성되며, 그 개구부(114)에 실린더(112)가 삽입 배치되어 있다.The arm member 104 is formed in the shape of a hollow pipe, and the cylinder 112 is inserted and arranged in the opening 114. [

[기판 반송용 핸드(100)에 의한 유리 기판의 반송 방법][Method of Carrying Glass Substrate with Hand 100 for Carrying a Substrate]

도 13a 내지 도 13f는, 도포부(60)에서 수지액(70)(도 6a 참조)이 도포된 유리 기판 G1을 기판 반송용 핸드(100)에 의해 보유 지지하고, 반송하는 수순이 도시되어 있다.Figs. 13A to 13F show a procedure for holding and transporting a glass substrate G1 coated with a resin liquid 70 (see Fig. 6A) by a substrate carrying hand 100 in a coating section 60 .

도 13a는, 도포부(60)의 승강 핀(68, 68…)을 상승시켜 유리 기판 G1을 기판 적재대(66)의 상방 위치(수취 위치)에 위치시킨 측면도이다.13A is a side view in which the glass substrate G1 is positioned at an upper position (receiving position) of the substrate mounting table 66 by raising the elevating pins 68, 68 ... of the applying section 60. Fig.

도 13b는, 기판 반송용 핸드(100)를 유리 기판 G1의 수취 위치로 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨 측면도이다. 동 도면과 같이, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)는 유리 기판 G1의 상방 위치에 대기된다. 또한, 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)는 도포부(60)의 승강 핀(68, 68…)과 간섭하지 않도록 유리 기판 Gl의 하면의 하방 위치에 삽입 배치된다. 또한, 아암 부재(104)의 상기 삽입 시에는, 탄성 핀(106, 106)은, 유리 기판 G1의 하면에 충돌하지 않도록, 도 12a에서 도시한 하강 위치에 대기된다.13B is a side view of the horizontal articulated robot 14 moving the substrate transfer hand 100 to the receiving position of the glass substrate G1. As shown in the drawing, the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are waiting at the upper position of the glass substrate G1. The arm member 104 of the contact member 102 is inserted and disposed below the lower surface of the glass substrate Gl so as not to interfere with the lift pins 68, 68 ... of the application unit 60. [ In addition, at the time of insertion of the arm member 104, the elastic pins 106 and 106 are waiting at the lowered position shown in Fig. 12A so as not to collide with the lower surface of the glass substrate G1.

도 13c는, 도 13b의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 수평 다관절 로봇(14)에 의해 하강 이동된 후, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 구동부(22)(도 1 참조)에 의해 서로 근접하는 방향으로 이동되고, 유리 기판 G1의 하면의 테두리부가 보유 지지부(32)(34)에 의해 보유 지지된 측면도이다.13C shows a state in which the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are moved downward by the horizontal articulated robot 14 after the substrate supporting members 20 Are moved in a direction close to each other by the driving portion 22 (see Fig. 1) and the rim of the lower surface of the glass substrate G1 is held by the holding portions 32 and 34. Fig.

도 13d는, 도 13c의 상태로부터, 탄성 핀(106, 106)이 에어 실린더(108)(도 12 참조)에 의해 상승되어 유리 기판 G1의 하면에 접촉된 측면도이다. 즉, 보유 지지부(32)(34)에 의해 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 지지한 후, 탄성 핀(106, 106)을 상승시켜 유리 기판 G1의 하면을 탄성 핀(106, 106)에 의해 지지하므로, 상기 충돌에 기인하는 유리 기판 G1의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 탄성 핀(106)을 승강시키지 않고, 탄성 핀(106)에 의해 유리 기판 G1의 하면을 지지해도 되지만, 상기 충돌을 피하는 관점에서 보면, 승강 동작을 행하는 것이 바람직하다.13D is a side view in which the elastic pins 106 and 106 are raised by the air cylinder 108 (see Fig. 12) and contacted with the lower surface of the glass substrate G1 from the state of Fig. 13C. The elastic pins 106 and 106 are raised so that the lower surface of the glass substrate G1 is supported by the elastic pins 106 and 106 so as to support the lower surface of the glass substrate G1 It is possible to prevent the glass substrate G1 from being damaged due to the collision. Further, the lower surface of the glass substrate G1 may be supported by the elastic pin 106 without lifting the elastic pin 106 up and down. However, from the viewpoint of avoiding the collision, it is preferable to perform the lifting operation.

도 13e는, 도 13d의 상태로부터, 기판 반송용 핸드(100)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 상승 이동시킨 측면도이다. 이것에 의해, 유리 기판 G1은 승강 핀(68, 68…)으로부터 이격되고, 그 하면의 테두리부가 보유 지지부(32)(34)에 의해 지지됨과 아울러, 그 하면 중앙부 근방이 탄성 핀(106, 106)에 의해 지지된다.13E is a side view of the substrate carrying hand 100 moved upward by the horizontal articulated robot 14 from the state of FIG. 13D. The glass substrate G1 is spaced apart from the lift pins 68 and 68. The rim of the lower surface of the glass substrate G1 is supported by the holding portions 32 and 34 and the elastic pins 106 and 106 .

도 13f는, 도 13e의 상태로부터, 승강 핀(68, 68…)을 하강 이동시킴과 아울러, 기판 반송용 핸드(100)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 수평 방향으로 직선 이동시킨 측면도이다. 이후, 유리 기판 G1은, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 7에 도시한 건조부(62)로 반송된다.13F is a side view of moving the substrate transfer hand 100 linearly in the horizontal direction by the horizontal articulated robot 14 while moving the lift pins 68, 68 ... downward from the state of Figure 13E . Thereafter, the glass substrate G1 is transported to the drying unit 62 shown in Fig. 7 by the horizontal articulated robot 14.

따라서, 유리 기판 G1의 하면 중앙부 근방을 지지하는 접촉 부재(102)를 구비한 기판 반송용 핸드(100)에 의하면, 크기가 큰 유리 기판 G1이어도 유리 기판 G1의 휨을 억제하여 유리 기판 G1을 도포부(60)로부터 건조부(62)부에 안정되게 반송할 수 있다.Therefore, according to the substrate transfer hand 100 provided with the contact member 102 supporting the vicinity of the center of the lower surface of the glass substrate G1, even if the glass substrate G1 has a large size, the warpage of the glass substrate G1 is suppressed, (60) to the drying section (62).

도 14a 내지 도 14e는, 건조부(62)로 반송된 유리 기판 G1을, 건조부(62)의 고정 핀(74, 74…) 상에 적재하는 수순이 도시되어 있다.Figs. 14A to 14E show a procedure for loading the glass substrate G1 conveyed to the drying section 62 onto the fixing pins 74, 74 ... of the drying section 62. Fig.

도 14a는, 건조부(62)에 있어서의 수수 위치로 유리 기판 G1을 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨 측면도이다. 동 도면과 같이, 기판 반송용 핸드(100)의 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)는 건조부(62)의 고정 핀(74, 74…)과 간섭하지 않도록 오븐 선반(72)의 상방에 삽입 배치된다.Fig. 14A is a side view of the glass substrate G1 moved by the horizontal articulated robot 14 to the delivery position in the drying section 62. Fig. The arm member 104 of the contact member 102 of the substrate transfer hand 100 is positioned on the upper side of the oven shelf 72 so as not to interfere with the fixing pins 74, As shown in Fig.

도 14b는, 도 14a의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 수평 다관절 로봇(14)에 의해 하강 이동되고, 유리 기판 G1의 하면이 고정 핀(74, 74…)에 의해 지지된 측면도이다.14B shows a state in which the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are moved down by the horizontal articulated robot 14 and the lower surface of the glass substrate G1 is moved downward by the fixing pins 74, 74, ). &Lt; / RTI >

도 14c는, 도 14b의 상태로부터, 탄성 핀(106, 106)이 에어 실린더(108)(도 12 참조)에 의해 하강되고 유리 기판 G1의 하면으로부터 퇴피된 측면도이다.14C is a side view in which the elastic pins 106 and 106 are lowered by the air cylinder 108 (see Fig. 12) and retracted from the lower surface of the glass substrate G1 from the state of Fig. 14B.

도 14d는, 도 14c의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 구동부(22)(도 1 참조)에 의해 서로 이격되는 방향으로 이동된 후, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 상승 이동된 측면도이다. 이것에 의해, 유리 기판 G1이 고정 핀(74, 74…)에 의해 지지된다.14D shows a state in which the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are moved in the direction in which they are separated from each other by the driving portion 22 (see Fig. 1) As shown in Fig. Thus, the glass substrate G1 is supported by the fixing pins 74, 74, ....

도 14e는, 도 14d의 상태로부터, 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)를 고정 핀(74, 74…)에 간섭시키지 않고, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 수평 방향으로 직선상으로 슬라이드 이동시킨 측면도이다. 이후, 기판 반송용 핸드(100)는 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 13a에 도시한 도포부(60)로 이동된다.14E shows a state in which the arm member 104 of the contact member 102 is linearly moved in the horizontal direction by the horizontal articulated robot 14 without interfering with the fixing pins 74, FIG. Thereafter, the substrate transfer hand 100 is moved by the horizontal articulated robot 14 to the application section 60 shown in Fig. 13A.

또한, 상기 실시 형태에서는, 탄성 핀(106)을 에어 실린더(108)에 의해 승강 이동시켰지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 15a, 도 15b에 도시한 바와 같이, 고정용 핀(116)을 개재하여 탄성 핀(106)을 아암 부재(104)에 고정하고, 승강 장치(승강 수단)(118)를 개재하여 아암 부재(104)를 구동부(22)에 구비된 핸드 설치용 플레이트(12)에 승강 가능하게 설치해도 된다. 즉, 아암 부재(104)는 승강 장치(118)에 의해 구동부(22)에 대하여 승강 가능하게 설치되어도 된다. 승강 장치(118)로서는, LM 가이드(상표 등록)와 이송 나사 장치를 예시할 수 있다. 또한, 승강 장치(118)에 의한 아암 부재(104)의 승강 동작 타이밍은, 에어 실린더(108)에 의한 탄성 핀(106)의 승강 동작 타이밍과 동일하므로, 여기서는 그 설명을 생략한다.In the above embodiment, the elastic pin 106 is moved up and down by the air cylinder 108, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in Figs. 15A and 15B, the elastic pin 106 is fixed to the arm member 104 via the fixing pin 116, and the elevating device (elevating device) So that the arm member 104 can be mounted on the hand mounting plate 12 provided on the driving unit 22 so as to be movable up and down. In other words, the arm member 104 may be installed so as to be movable up and down with respect to the driving unit 22 by the elevating device 118. As the elevating device 118, an LM guide (registered trademark) and a feed screw device can be exemplified. The elevating operation timing of the arm member 104 by the elevating device 118 is the same as the elevating operation timing of the elastic pin 106 by the air cylinder 108, and the description thereof will be omitted here.

이상, 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제한되지 않는다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 상기 실시 형태에 다양한 변형 및 치환을 가할 수 있다.Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment. Various modifications and substitutions can be made without departing from the scope of the present invention.

본 출원은, 2012년 11월 13일 출원된 일본 특허 출원2012-249179에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.The present application is based on Japanese Patent Application No. 2012-249179 filed on November 13, 2012, the contents of which are incorporated herein by reference.

실시 형태에서는, 기판 반송용 핸드(10, 100)의 반송 대상물로서 유리 기판을 예시했지만, 유리 기판 이외의 금속제, 수지제 등의 판상체이어도 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10, 100)를 사용할 수 있다.Although the glass substrate is exemplified as a carrying object of the substrate carrying hands 10 and 100 in the embodiment, it is also possible to use the substrate carrying hands 10 and 100 of the embodiment even in the case of a plate made of metal or resin other than the glass substrate .

제1 기판 반송용 핸드(10)에 의한 반송 대상의 유리 기판은, 휨 과다에 의한 유리 기판의 파손을 고려하면, 두께는 0.5㎜ 이상인 것이 바람직하다. 또한 이 경우의 유리 기판의 크기는, 종횡의 길이가 500㎜ × 1500㎜인 것이 바람직하다.The glass substrate to be transported by the first substrate transport hand 10 preferably has a thickness of 0.5 mm or more in consideration of breakage of the glass substrate due to warping. In this case, the size of the glass substrate is preferably 500 mm x 1,500 mm in length and breadth.

제2 기판 반송용 핸드(100)에 의한 반송 대상의 유리 기판은, 접촉 부재(102)에 의해 유리 기판의 휨이 억제되어 있으므로, 두께는 0.5㎜ 미만(예를 들어 0.2㎜)의 유리 기판이어도 반송할 수 있다. 또한, 이 경우, 종횡의 길이가 2400㎜ × 2100㎜를 초과하는 유리 기판이어도 반송할 수 있다.Since the glass substrate to be transported by the second substrate transport hand 100 is suppressed from warping of the glass substrate by the contact member 102, the thickness of the glass substrate is less than 0.5 mm (for example, 0.2 mm) Can be returned. In this case, even a glass substrate having a longitudinal length of more than 2400 mm x 2100 mm can be conveyed.

G, G1, G2, G3: 유리 기판
10: 기판 반송용 핸드
12: 핸드 설치용 플레이트
14: 수평 다관절 로봇
16: 아암
18, 20: 기판 지지 부재
22: 구동부
24, 26: 기판 지지 부재
28: 평행 링크 부재
30: 링크
32, 34: 보유 지지부
36: 흡착 패드
38: 가이드 부재
40: 구동원
42: 레일
44: 블록
46: 서보 모터
48: 나사 막대
50: 너트
52: 풀리
54: 벨트
56: 풀리
58: 공간
60: 도포부
62: 건조부
64: 다이 코터
66: 기판 적재대
68: 승강 핀
70: 수지액
72: 오븐 선반
74: 고정 핀
76: 흡인로
78: 중앙 개구부
80: 통 형상체
82: 링 형상 상단부면
100: 기판 반송용 핸드
102: 접촉 부재
104: 아암 부재
106: 탄성 핀
108: 에어 실린더
110: 피스톤
112: 실린더
114: 개구부
116: 고정용 핀
118: 승강 장치G, G1, G2, G3: glass substrate
10: Hand for conveying a substrate
12: Hand mounting plate
14: Horizontal multi-joint robot
16:
18, 20: a substrate supporting member
22:
24, 26: substrate supporting member
28: parallel link member
30: Link
32, 34:
36: Adsorption pad
38: Guide member
40:
42: rail
44: Block
46: Servo motor
48: Screw rod
50: Nut
52: Pulley
54: Belt
56: Pulley
58: Space
60:
62: Drying section
64: die coater
66: Substrate stack
68: Lift pin
70: resin liquid
72: oven shelf
74: Fixing pin
76: Aspiration path
78: central opening
80: cylindrical upper body
82: ring top end face
100: Hand for conveying a substrate
102: contact member
104: arm member
106: elastic pin
108: Air cylinder
110: Piston
112: cylinder
114: opening
116: Fixing pin
118: lifting device

Claims

A first pair of substrate support members arranged in parallel,
A driving unit that moves the first pair of substrate support members in parallel in a direction approaching each other and a direction apart from each other,
A second pair of substrate support members arranged in parallel in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the first pair of substrate support members,
The first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members are connected to each other and the second pair of substrate support members are connected to each other by interlocking with parallel movement of the first pair of substrate support members in a direction approaching each other, The second pair of substrate support members are moved in parallel to each other in a direction approaching each other and the second pair of substrate support members are moved in parallel with the parallel movement of the first pair of substrate support members in the direction in which they are spaced apart from each other, A parallel link member for parallelly moving the substrate support members in a direction away from each other,
A plurality of first holding portions provided along the longitudinal direction of the first pair of the substrate supporting members and holding the rim of the lower surface of the substrate,
A plurality of second supporting members provided along the longitudinal direction of the second pair of the substrate supporting members and holding the rim of the lower surface of the substrate,
And a second substrate.

The method according to claim 1,
The driving unit includes:
A guide member for movably guiding the first pair of substrate supporting members in a direction approaching each other and a direction apart from each other,
A driving source for transmitting power to the first pair of substrate support members and moving the first and second substrate support members in parallel to each other in a direction approaching each other and a direction apart from each other,
The guide member and the support member
And a second substrate.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the driving unit is connected to a carrying means for moving the substrate transfer hand from the receiving position to the transfer position of the substrate.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the first holding portion and the second holding portion include a suction member for holding and holding the substrate.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein a resin liquid is applied to an upper surface of the substrate and a rim of a lower surface of the substrate is held by the first holding portion and the second holding portion.

6. The method according to any one of claims 3 to 5,
Wherein the driving portion is provided with a contact member that contacts a lower surface of the substrate.

The method according to claim 6,
Wherein the contact member includes an arm member extending from the driving portion and a pin member provided on the arm member and contacting the lower surface of the substrate.

8. The method of claim 7,
And the pin-like member is provided so as to be able to move up and down with respect to the arm member by the elevating means.

8. The method of claim 7,
Wherein the arm member is provided so as to be movable up and down with respect to the driving unit by the elevating means.

A method for manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: using a substrate transfer hand according to any one of claims 3 to 9 to transfer a substrate from an application section for applying resin to an upper surface of a substrate, A substrate transport method for transporting substrates.