KR102062096B1

KR102062096B1 - Hand for conveying substrate and method for conveying substrate

Info

Publication number: KR102062096B1
Application number: KR1020130137374A
Authority: KR
Inventors: 유키 다테야마; 야스노리 이토
Original assignee: 에이지씨 가부시키가이샤
Priority date: 2012-11-13
Filing date: 2013-11-13
Publication date: 2020-01-03
Also published as: CN103802120B; TW201424957A; KR20140061279A; JP2014099447A; JP5978937B2; TWI586497B; CN103802120A

Abstract

본 발명은 평행하게 배치된 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동부와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 평행하게 배치된 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 연결함과 아울러, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 접근하는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향으로 평행 이동시키고, 또한, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 이격되는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 평행 링크 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라 복수 설치되고, 기판의 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제1 보유 지지부와, 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라서 복수 설치되고, 기판의 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제2 보유 지지부를 구비한 기판 반송용 핸드에 관한 것이다.The present invention provides a first pair of substrate support members arranged in parallel, a drive unit for moving the first pair of substrate support members in parallel in a direction approaching and spaced apart from each other, and the first one. A second pair of substrate support members arranged in parallel in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the pair of substrate support members, the first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members Connecting the second pair of substrate support members in parallel with each other in parallel with each other in parallel with each other in the direction in which the first pair of substrate support members approach each other, A parallel link portion for moving the second pair of substrate support members in parallel in a direction spaced apart from each other in association with the parallel movement of the first pair of substrate support members in the spaced apart direction; And a plurality of first holding portions provided along the longitudinal direction of the first pair of substrate supporting members, the first holding portions holding the edge portions of the lower surface of the substrate, and the longitudinal directions of the second pair of substrate supporting members. Therefore, it is related with the board | substrate conveyance hand provided with the 2nd holding part which is provided in multiple numbers and holds the edge of the lower surface of a board | substrate.

Description

HAND FOR CONVEYING SUBSTRATE AND METHOD FOR CONVEYING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer hand and a substrate transfer method.

특허문헌 1에는, 유리 기판의 하면의 4변의 테두리부를 지지하고 유리 기판을 반송하는 기판 반송용 핸드가 개시되어 있다.Patent Literature 1 discloses a substrate transfer hand that supports four edge portions of the lower surface of the glass substrate and conveys the glass substrate.

상기 기판 반송용 핸드는, 자동 반송 장치의 핸드 설치부에 핸드 설치용 플레이트를 개재하여 설치되어 있다. 또한, 기판 반송용 핸드의 아암부는, 유리 기판의 변부의 외측 근방에 각각의 변부와 평행하고 또한 유리 기판의 크기에 적합하도록 접합된 복수 개의 부재로 구성되어 있다. 상기 부재는, 경량화와 고강성화를 겸하며, 중공의 각(角)파이프재에 의해 구성되어 있다. 또한, 상기 부재에는, 유리 기판의 하면의 테두리부를 지지하는 기판 파지부가 설치되어 있다.The said board | substrate conveyance hand is provided through the hand installation plate through the hand attachment part of an automatic conveyance apparatus. Moreover, the arm part of the board | substrate conveyance hand is comprised by the some member joined to the outer side vicinity of the edge part of a glass substrate in parallel with each edge part, and being suitable for the magnitude | size of a glass substrate. The said member has both weight reduction and high rigidity, and is comprised by the hollow square pipe material. Moreover, the said board | substrate holding part which supports the edge part of the lower surface of a glass substrate is provided in the said member.

일본 특허 공개평11-254374호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 11-254374

그러나, 특허문헌 1에 개시된 기판 반송용 핸드의 아암부는, 복수의 부재를 접합하여 구성되어 있기 때문에 크기(복수의 부재에 의해 구획 형성되는 평면에서 보아 직사각형의 공간)를 변경할 수 없다. 따라서, 특허문헌 1의 흡착 패드에서는, 지지 가능한 크기와는 다른 크기의 유리 기판을 핸들링할 수 없다는 문제가 있었다.However, since the arm part of the board | substrate conveyance hand disclosed by patent document 1 is comprised by joining a some member, it cannot change a magnitude | size (a rectangular space seen from the plane formed by several members). Therefore, in the adsorption pad of patent document 1, there existed a problem that the glass substrate of the size different from the size which can be supported cannot be handled.

1대의 기판 반송용 핸드에 의해 크기가 다른 유리 기판을 핸들링하기 위해서는, 아암부를 구성하는 복수의 부재를 각각 이동 가능하게 지지하고, 각각의 부재를 독립하여 이동시키는 복수의 구동부를 설치할 필요가 있다. 그러나, 상기 부재를 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 부재마다 설치하거나, 복수의 구동부를 설치하거나 하면, 기판 반송용 핸드가 중량물이 됨과 아울러 대형화한다는 문제가 있다.In order to handle glass substrates of different sizes by one substrate transfer hand, it is necessary to provide a plurality of driving units each supporting a plurality of members constituting the arm portion so as to be movable, and moving each member independently. However, when the guide member which supports the said member so that a movement is possible is provided for each member, or a some drive part is provided, there exists a problem that a board | substrate conveyance hand becomes a heavy object and enlarges.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있음과 아울러 소형이고 경량인 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: It is an object to provide the small size and light weight board | substrate conveyance hand, and the board | substrate conveyance method while being able to change the size according to the size of a board | substrate.

본 발명의 일 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 평행하게 배치된 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동부와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향으로 평행하게 배치된 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 연결함과 아울러, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 접근하는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향으로 평행 이동시키고, 또한, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 상기 서로 이격되는 방향의 평행 이동에 연동하여 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 평행 링크 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라 복수 설치되고, 기판 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제1 보유 지지부와, 상기 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재의 길이 방향을 따라 복수 설치되고, 기판의 하면의 테두리부를 보유 지지하는 제2 보유 지지부를 구비하는 기판 반송용 핸드를 제공한다.One embodiment of the present invention, in order to achieve the above object, the first pair of substrate support members arranged in parallel, the first pair of substrate support members in a direction approaching each other and a direction spaced apart from each other A drive unit for moving in parallel, a second pair of substrate support members disposed in parallel in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the first pair of substrate support members, and the first pair of substrate support members And the second pair of substrate support members, and the second pair of substrate support members in conjunction with the parallel movement of the first pair of substrate support members to approach each other. The second pair of substrate support members are spaced apart from each other in association with the parallel movement in the direction in which the first pair of substrate support members are spaced apart from each other. A plurality of parallel link members which are moved in parallel in the direction, a first holding portion which is provided in a plurality of longitudinal directions of the first pair of substrate supporting members, and holds the edge portion of the lower surface of the substrate, and the second pair of The board | substrate conveyance hand provided with the 2nd holding part which is provided in multiple numbers along the longitudinal direction of a board | substrate supporting member, and holds the edge of the lower surface of a board | substrate is provided.

본 발명의 일 형태에 의하면, 구동부에 의해 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재가, 평행 링크 부재를 개재하여 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동한다. 이 동작과는 반대로, 구동부에 의해 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재가, 평행 링크 부재를 개재하여 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동한다.According to one embodiment of the present invention, when the first pair of substrate support members is horizontally moved in a direction approaching each other by the drive unit, the second pair of substrate support members is linked in parallel with the operation. It moves horizontally parallel to the direction approaching each other through a member. Contrary to this operation, when the first pair of substrate support members are horizontally moved in parallel in a direction to be spaced apart from each other by the drive unit, the second pair of substrate support members moves in parallel with the operation. They move horizontally parallel to each other in the direction spaced apart from each other.

즉, 본 발명의 일 형태에 의하면, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재에 의해 구획 형성되는 직사각형 공간의 크기가, 즉, 기판을 보유 지지하기 위한 직사각형 공간의 크기가, 최대 크기에서 최소 크기까지 무단계로 조정 가능하게 된다. 따라서, 본 발명의 일 형태의 기판 반송용 핸드에 의하면, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있다. 또한, 구동부는, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 구동하는 1대의 구동부만 구비하면 되므로, 소형이고 경량인 기판 반송용 핸드를 제공할 수 있다.That is, according to one aspect of the present invention, the size of the rectangular space partitioned by the first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members, that is, the rectangular space for holding the substrate The size of can be adjusted steplessly from the maximum size to the minimum size. Therefore, according to the board | substrate conveyance hand of one embodiment of this invention, the magnitude | size can be changed according to the magnitude | size of a board | substrate. Moreover, since a drive part only needs to be provided with one drive part which drives a 1st pair of board | substrate support member, it can provide a small size and light weight board | substrate conveyance hand.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부는, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동 가능하게 안내하는 가이드 부재와, 상기 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 동력을 전달하여 상기 서로 접근하는 방향 및 상기 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동원과, 상기 가이드 부재 및 상기 구동원이 설치된 지지 부재를 구비하는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the drive unit includes a guide member for movably guiding the first pair of substrate support members in a direction approaching each other and a direction spaced from each other, and the first pair of substrate supports. It is preferable to have a drive source which transmits power to the member and moves parallel to the direction approaching and the spaced apart from each other, and the support member provided with the guide member and the drive source.

본 발명의 일 형태에 의하면, 지지 부재에 가이드 부재와 구동원이 설치되어 있다. 따라서, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 가이드 부재를 개재하여 지지 부재에 설치되고, 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 평행 링크 부재를 개재하여 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 지지되는 구성으로 된다. 따라서, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재를 경량의 재료로 제작하는 것이, 지지 부재에 가해지는 중량 부담을 작게 할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 기판을 지지하므로, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재와 제2의 한 쌍의 기판 지지 부재는 고강성이 있는 재료로 제작하는 것이 바람직하다. 재료로서는, 경량이고 강성이 높은 CFRP(carbon fiber reinforced plastic: 탄소 섬유 강화 플라스틱), 알루미늄 합금, 또는 티타늄 합금을 예시할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the guide member and the drive source are provided on the support member. Accordingly, the first pair of substrate support members is provided to the support member via the guide member, and the second pair of substrate support members is provided to the first pair of substrate support members via the parallel link member. It becomes a structure supported by. Therefore, it is preferable to manufacture the first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members with a lightweight material because the weight burden applied to the support members can be reduced. In addition, since the substrate is supported, the first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members are preferably made of a material having high rigidity. As a material, a lightweight and rigid carbon fiber reinforced plastic (CFRP), an aluminum alloy, or a titanium alloy can be illustrated.

본 발명의 일 형태에 의하면, 구동원으로부터의 동력을 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재에 전달하면, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재는, 가이드 부재에 안내되어, 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다. 이것에 의해, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재가 지지 부재에 대하여 원활하게 동작한다.According to one embodiment of the present invention, when power from a driving source is transmitted to a first pair of substrate support members, the first pair of substrate support members is guided to the guide member, and the directions approaching each other and are spaced apart from each other. In parallel to the direction of movement. As a result, the first pair of substrate supporting members operates smoothly with respect to the supporting member.

가이드 부재로서는, LM(Linear Motion) 가이드(등록 상표)가 적합하고, 구동원으로서는, 서보 모터와 이송 나사 부재가 적합하다. 이송 나사 부재는 한 쌍의 너트부와 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대를 구비한다. 한 쌍의 너트부의 한쪽 너트부를, 한쪽 제1 기판 지지 부재에 설치하고, 다른 쪽 너트부를, 다른 쪽 제1 기판 지지 부재에 설치한다. 그리고, 한쪽 너트부에 한쪽 나사 막대를 나사 결합시키고, 다른 쪽 너트부에 다른 쪽 나사 막대를 나사 결합시킨다. 이것에 의해, 서보 모터에 의해 한 쌍의 나사 막대를 정회전 방향 및 역회전 방향으로 회전시키면, 이송 나사 부재의 이송 작용에 의해, 제1의 한 쌍의 기판 지지 부재가 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다.An LM (Linear Motion) guide (registered trademark) is suitable as the guide member, and a servo motor and a feed screw member are suitable as a drive source. The conveying screw member has a pair of nut parts and a pair of threaded rods each of which is inversely threaded. One nut part of a pair of nut parts is provided in one 1st board | substrate support member, and the other nut part is provided in the other 1st board | substrate support member. Then, one screw rod is screwed to one nut portion, and the other screw rod is screwed to the other nut portion. As a result, when the pair of screw rods are rotated by the servo motor in the forward rotation direction and the reverse rotation direction, the first pair of substrate support members approach each other and the mutually different directions by the transfer action of the transfer screw member. Move parallel in the direction of separation.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부에는, 상기 기판 반송용 핸드를 상기 기판의 수취 위치로부터 수수 위치로 이동시키는 반송 수단이 연결되어 있는 것이 바람직하다.As for one aspect of this invention, it is preferable that the conveyance means which moves the said board | substrate conveyance hand from the receiving position of the said board | substrate to the receiving position is connected to the said drive part.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 지지 부재로 반송 수단을 연결했으므로, 반송 수단에 의해 기판 반송용 핸드를, 기판의 수취 위치로부터 수수 위치로 이동시킬 수 있다. 반송 수단으로서는, 스카라 로봇 등의 수평 다관절 로봇이 바람직하다.According to one embodiment of the present invention, since the conveying means is connected to the supporting member of the substrate conveying hand, the conveying means can move the substrate conveying hand from the receiving position of the substrate to the receiving position. As a conveying means, horizontal articulated robots, such as a scara robot, are preferable.

본 발명의 일 형태는, 상기 제1 보유 지지부 및 상기 제2 보유 지지부에는, 상기 기판을 흡착 보유 지지하는 흡착 부재를 구비하는 것이 바람직하다.One embodiment of the present invention preferably includes an adsorption member for adsorbing and holding the substrate on the first holding portion and the second holding portion.

본 발명의 일 형태에 의하면, 흡착 부재에 의해 기판의 하면의 테두리부를 확실하게 보유 지지할 수 있으므로, 기판을 안정되게 반송할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, since the edge portion of the lower surface of the substrate can be reliably held by the adsorption member, the substrate can be transported stably.

본 발명의 일 형태는, 상기 기판의 상면에는 수지액이 도포되고, 상기 기판의 하면의 테두리부가 상기 제1 보유 지지부 및 상기 제2 보유 지지부에 의해 보유 지지되는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, it is preferable that a resin liquid is applied to the upper surface of the substrate, and the edge portion of the lower surface of the substrate is held by the first holding portion and the second holding portion.

본 발명의 일 형태에 의하면, 상면에 수지액이 도포된 기판의 하면의 테두리부를 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지하므로, 상기 수지액에 접촉하지 않고 기판을 반송할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, since the edge portion of the lower surface of the substrate coated with the resin liquid is held by the substrate transfer hand, the substrate can be transported without contacting the resin liquid.

본 발명의 일 형태는, 상기 구동부에는, 상기 기판의 하면에 접촉하는 접촉 부재가 구비되는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the drive unit is preferably provided with a contact member that contacts the lower surface of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 접촉 부재를 기판의 하면에 접촉하여 기판을 지지한다. 접촉 부재를 기판 반송용 핸드에 구비함으로써, 기판의 크기가 큰 기판이어도 기판의 휨을 억제하여 기판을 반송할 수 있다. 기판의 하면에 대한 접촉 부재의 접촉 위치는, 중앙부, 중앙부 근방, 또는 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상을 따른 위치인 것이, 기판의 휨을 억제할 수 있는 점에서 바람직하다. 상기 중앙부란, 기판의 무게 중심 위치이다.According to one embodiment of the present invention, the contact member contacts the lower surface of the substrate to support the substrate. By providing a contact member in the board | substrate conveyance hand, even if the board | substrate of a big size is a board | substrate, curvature of a board | substrate can be suppressed and a board | substrate can be conveyed. It is preferable that the contact position of the contact member with respect to the lower surface of a board | substrate is a position along the concentric shape centering on a center part, the vicinity of a center part, or a center part in the point which can suppress the curvature of a board | substrate. The center portion is the center of gravity of the substrate.

본 발명의 일 형태는, 상기 접촉 부재는, 상기 구동부로부터 연장된 아암 부재와, 상기 아암 부재에 설치됨과 아울러 상기 기판의 하면에 접촉하는 핀 형상 부재를 구비하는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the contact member preferably includes an arm member extending from the driving portion, and a pin-shaped member provided on the arm member and in contact with the bottom surface of the substrate.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판의 하면에 접촉하는 핀 형상 부재를, 아암 부재에 의해 접촉 위치에 배치할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the pin-shaped member in contact with the lower surface of the substrate can be arranged at the contact position by the arm member.

본 발명의 일 형태는, 상기 핀 형상 부재는, 승강 수단에 의해 상기 아암 부재에 대하여 승강 가능하게 구비되는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, it is preferable that the pin-shaped member is provided to be movable up and down with respect to the arm member by lifting means.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지하기 전에는, 핀 형상 부재가 기판의 하면에 충돌하지 않도록 핀 형상 부재를 하강 위치에 대기시켜 둔다. 그리고, 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지한 후, 핀 형상 부재를 상승시켜 기판의 하면을 핀 형상 부재에 의해 지지한다. 이것에 의해, 상기 충돌에 기인하는 기판의 손상을 방지할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the pin-shaped member is lowered so that the pin-shaped member does not collide with the lower surface of the substrate before the first holding portion and the second holding portion of the substrate transfer hand support the edge portion of the lower surface of the substrate. Wait at the location. And after supporting the edge part of the lower surface of a board | substrate by a 1st holding part and a 2nd holding part, a pin-shaped member is raised and a lower surface of a board | substrate is supported by a pin-shaped member. Thereby, damage to the board | substrate resulting from the said collision can be prevented.

본 발명의 일 형태는, 상기 아암 부재는, 승강 수단에 의해 상기 구동부에 대하여 승강 가능하게 구비되는 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, it is preferable that the arm member is provided to be capable of lifting up and down by the elevating means.

본 발명의 일 형태에 의하면, 기판 반송용 핸드의 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지하기 전에는, 핀 형상 부재가 기판의 하면에 충돌하지 않도록, 아암 부재를 하강 위치에 대기시켜 둔다. 그리고, 제1 보유 지지부 및 제2 보유 지지부에 의해 기판의 하면의 테두리부를 지지한 후, 아암 부재를 상승시켜 기판의 하면을 핀 형상 부재에 의해 지지한다. 이것에 의해, 상기 충돌에 기인하는 기판의 손상을 방지할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the arm member is lowered so that the pin-shaped member does not collide with the lower surface of the substrate before supporting the edge portion of the lower surface of the substrate by the first holding portion and the second holding portion of the substrate transfer hand. Wait at the location. And after supporting the edge part of the lower surface of a board | substrate by a 1st holding part and a 2nd holding part, an arm member is raised and a lower surface of a board | substrate is supported by a pin-shaped member. Thereby, damage to the board | substrate resulting from the said collision can be prevented.

본 발명의 일 형태는, 기판의 상면에 수지를 도포하는 도포부로부터, 상기 기판의 상면에 도포된 상기 수지를 건조시키는 건조부로, 본 발명의 기판 반송용 핸드를 사용하여 상기 기판을 반송하는 기판 반송 방법을 제공한다.One embodiment of the present invention is a drying unit for drying the resin applied to the upper surface of the substrate from an application unit for applying the resin to the upper surface of the substrate, the substrate for conveying the substrate using the substrate transfer hand of the present invention. Provide a conveying method.

본 발명의 일 형태에 의하면, 1대의 기판 반송용 핸드를 사용하여, 크기가 다른 기판을 도포부에서 건조부로 반송할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, one substrate transfer hand can be used to transfer substrates of different sizes from the application portion to the drying portion.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있음과 아울러 소형이고 경량의 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, the size can be changed according to the size of the substrate, and a small and light weight substrate transfer hand and a substrate transfer method can be provided.

도 1은, 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 2는, 유리 기판이 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지된 평면도이다.
도 3은, 도 1의 A-A 선을 따른 구동부의 단면도이다.
도 4는, 도 1에 도시한 유리 기판보다도 작은 크기의 유리 기판을 보유 지지한 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 5는, 도 4에 도시한 유리 기판보다도 작은 크기의 유리 기판을 보유 지지한 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 6a는, 도포부의 구성을 도시한 사시도이다.
도 6b는, 기판 적재대로부터 상승한 유리 기판의 상방 위치에 기판 반송용 핸드가 위치한 설명도이다.
도 6c는, 도포부에서 유리 기판을 기판 반송용 핸드에 의해 보유 지지한 설명도이다.
도 7은, 도포부에서 보유 지지한 유리 기판을 건조부로 이동시킨 형태를 도시한 설명도이다.
도 8은, 흡착 패드에 의한 유리 기판의 거동을 도시한 확대 단면도이다.
도 9a는, 도 8의 흡착 패드의 주위에 통 형상체를 배치한 확대 단면도이다.
도 9b는, 도 9a의 흡착 패드에 의한 유리 기판의 거동을 도시한 확대 단면도이다.
도 10은, 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 평면도이다.
도 11은, 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드의 측면도이다.
도 12a는, 에어 실린더에 의해 탄성 핀이 하강 위치에 위치된 설명도이다.
도 12b는, 에어 실린더에 의해 탄성 핀이 상승 위치에 위치된 설명도이다.
도 13a는, 도포부의 승강 핀을 상승시켜 유리 기판을 수취 위치에 위치시킨 측면도이다.
도 13b는, 기판 반송용 핸드를 유리 기판의 수취 위치로 이동시킨 측면도이다.
도 13c는, 기판 지지 부재의 보유 지지부에 의해 유리 기판의 하면의 테두리부가 보유 지지된 측면도이다.
도 13d는, 탄성 핀이 상승되어 유리 기판의 하면에 접촉된 측면도이다.
도 13e는, 기판 반송용 핸드를 상승 이동시킨 측면도이다.
도 13f는, 승강 핀을 하강 이동시킴과 아울러 기판 반송용 핸드를 수평 방향으로 이동시킨 측면도이다.
도 14a는, 건조부에 있어서의 수수 위치로 유리 기판을 이동시킨 측면도이다.
도 14b는, 유리 기판의 하면이 건조부의 고정 핀에 지지된 측면도이다.
도 14c는, 탄성 핀이 하강되어 유리 기판의 하면으로부터 퇴피된 측면도이다.
도 14d는, 기판 지지 부재가 서로 이격되는 방향으로 이동되고 상승 이동된 측면도이다.
도 14e는, 접촉 부재의 아암 부재를 수평 방향으로 직선상으로 슬라이드 이동시킨 측면도이다.
도 15a는, 접촉 부재의 아암 부재가 하강 위치에 있는 측면도이다.
도 15b는, 접촉 부재의 아암 부재가 상승 위치에 있는 측면도이다.1: is a top view of the board | substrate conveyance hand of 1st Embodiment.
2 is a plan view in which a glass substrate is held by a substrate transfer hand.
3 is a cross-sectional view of the driving unit along the line AA of FIG. 1.
It is a top view of the board | substrate conveyance hand which hold the glass substrate of the magnitude | size smaller than the glass substrate shown in FIG.
FIG. 5: is a top view of the board | substrate conveyance hand which hold | maintained the glass substrate of size smaller than the glass substrate shown in FIG.
6A is a perspective view showing the structure of an application part.
FIG. 6B is an explanatory diagram in which a hand for transferring a substrate is located at an upper position of the glass substrate raised from the substrate mounting table. FIG.
It is explanatory drawing which hold | maintained the glass substrate by the board | substrate conveyance hand in the application part.
It is explanatory drawing which showed the form which moved the glass substrate hold | maintained by the application part to the drying part.
8 is an enlarged cross-sectional view showing the behavior of the glass substrate by the suction pad.
FIG. 9A is an enlarged cross-sectional view of a cylindrical body disposed around the adsorption pad of FIG. 8.
FIG. 9B is an enlarged cross-sectional view illustrating the behavior of the glass substrate by the adsorption pad of FIG. 9A.
10 is a plan view of a substrate transfer hand of a second embodiment.
It is a side view of the board | substrate conveyance hand of 2nd Embodiment.
It is explanatory drawing in which the elastic pin was located in the lowered position by the air cylinder.
12B is an explanatory view in which the elastic pin is positioned at the lifted position by the air cylinder.
It is a side view which raised the lifting pin of the coating part, and placed the glass substrate in a receiving position.
It is a side view which moved the board | substrate conveyance hand to the receiving position of a glass substrate.
It is a side view in which the edge part of the lower surface of a glass substrate is hold | maintained by the holding part of a board | substrate supporting member.
13D is a side view in which the elastic pins are raised to contact the bottom surface of the glass substrate.
It is a side view which moved the board | substrate conveyance hand up and down.
13F is a side view of moving the lifting pins downward while moving the substrate transfer hand in the horizontal direction.
It is a side view which moved the glass substrate to the sorghum position in a drying part.
14B is a side view of the bottom surface of the glass substrate supported by the fixing pin of the drying unit.
14C is a side view of the elastic pin lowered and retracted from the bottom surface of the glass substrate.
14D is a side view in which the substrate support members are moved up and moved in a direction spaced apart from each other.
14E is a side view in which the arm member of the contact member is slid linearly in the horizontal direction.
15A is a side view of the arm member of the contact member in the lowered position.
15B is a side view of the arm member of the contact member in the raised position.

이하, 첨부 도면을 따라 본 발명에 따른 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법이 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the board | substrate conveyance hand and the board | substrate conveyance method which concern on this invention is described according to an accompanying drawing.

[기판 반송용 핸드(10)의 구성][Configuration of Board Transfer Hand 10]

도 1은 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)의 평면도이며, 기판 반송용 핸드(10)의 핸드 설치용 플레이트(지지 부재)(12)가, 개략 도시한 수평 다관절 로봇(예를 들어 스카라 로봇: 반송 수단)(14)의 아암(16)의 선단에 설치된 형태가 도시되어 있다. 즉, 핸드 설치용 플레이트(12)는 아암(16)을 개재하여 수평 다관절 로봇(14)과 연결되어 있다. 또한, 도 1에는, 기판 반송용 핸드(10)에 의해, 평면에서 보아 직사각형의 유리 기판 G1을 보유 지지하기 직전의 형태가 도시되어 있다. 도 2는 유리 기판 G1이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된 평면도이다. 유리 기판 G1은, 그 면(상면 및 하면)이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 수평 방향으로 보유 지지된다.FIG. 1 is a plan view of the substrate transport hand 10 of the first embodiment, wherein a horizontally articulated robot (for example, a hand mounting plate) 12 of the substrate transport hand 10 is schematically illustrated. The form provided in the tip of the arm 16 of the scara robot: conveying means) is shown. That is, the hand mounting plate 12 is connected to the horizontal articulated robot 14 via the arm 16. In addition, the form just before holding the glass substrate G1 of planar view by the hand 10 for board | substrate conveyance is shown by FIG. 2 is a plan view in which the glass substrate G1 is held by the substrate 10 hand. The surface (upper surface and lower surface) of the glass substrate G1 is hold | maintained in the horizontal direction by the board | substrate conveyance hand 10. As shown in FIG.

도 1, 도 2 도시된 기판 반송용 핸드(10)는 유리 기판 G1의 반송 방향에 대하여 수평 방향으로 평행하게 배치된 한 쌍의 기판 지지 부재(제1의 한 쌍의 기판 지지 부재)(18, 20)와, 한 쌍의 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동부(22)과, 한 쌍의 기판 지지 부재(18, 20)의 길이 방향에 대하여 직교하는 방향이며 수평 방향으로 평행하게 배치된 한 쌍의 기판 지지 부재(제2의 한 쌍의 기판 지지 부재)(24, 26)를 구비한다. 기판 지지 부재(18, 20)는, 판상이며 길이가 동등한 동일 구성물이고, 기판 지지 부재(24, 26)도 마찬가지이다.The board | substrate conveyance hand 10 shown in FIG.1, FIG.2 is a pair of board | substrate support member (1st pair of board | substrate support member) 18 which was arrange | positioned in parallel with the horizontal direction with respect to the conveyance direction of glass substrate G1, 20, the drive part 22 which moves the pair of board | substrate support members 18 and 20 in parallel in the direction which approaches each other, and the direction spaced from each other, and the longitudinal direction of the pair of board | substrate support members 18 and 20. A pair of board | substrate support members (2nd pair of board | substrate support members) 24 and 26 arrange | positioned in the orthogonal direction and parallel to a horizontal direction are provided. The board | substrate support members 18 and 20 are plate-like and the same structure with the same length, and the board | substrate support members 24 and 26 are the same.

또한, 기판 반송용 핸드(10)는 기판 지지 부재(24, 26)의 각각의 양단부에 있어서, 기판 지지 부재(18, 20)와 기판 지지 부재(24, 26)를 연결하는 평행 링크 부재(28, 28…)를 구비하고 있다. 이 평행 링크 부재(28, 28…)는, 기판 지지 부재(18, 20)의 서로 접근하는 방향의 평행 이동에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 접근하는 방향으로 평행 이동시키고, 또한, 기판 지지 부재(18, 20)의 서로 이격되는 방향의 평행 이동에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 기능을 구비한다.Moreover, the board | substrate conveyance hand 10 is the parallel link member 28 which connects the board | substrate support members 18 and 20 and the board | substrate support members 24 and 26 in the both ends of the board | substrate support members 24 and 26, respectively. , 28... The parallel link members 28, 28... Move the substrate support members 24, 26 in parallel with each other in parallel with the parallel movement of the substrate support members 18, 20 in the mutually approaching direction. And the substrate supporting members 24 and 26 are moved in parallel in a direction spaced apart from each other in conjunction with the parallel movement of the substrate supporting members 18 and 20 in the spaced apart directions.

평행 링크 부재(28)는 평행하게 배치된 2개의 링크(30, 30)를 구비하고, 2개의 링크(30, 30)의 한쪽 단부가 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)에 베어링(도시하지 않음)을 개재하여 수평 방향으로 회전 가능하게 연결된다. 또한, 2개의 링크(30, 30)의 다른 쪽 단부가 기판 지지 부재(24)(기판 지지 부재(26))에 베어링(도시하지 않음)을 개재하여 수평 방향으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 이 연결 구성에 의해, 평행 링크 부재(28)는 상기 기능을 구비한다.The parallel link member 28 has two links 30 and 30 arranged in parallel, and one end of the two links 30 and 30 is bearing to the substrate support member 18 (substrate support member 20). It is connected rotatably in the horizontal direction via (not shown) In addition, the other end of the two links 30 and 30 is connected to the board | substrate support member 24 (substrate support member 26), and is bearing (shown). (Not shown) is rotatably connected in the horizontal direction .. By this connection structure, the parallel link member 28 has the said function.

또한, 기판 반송용 핸드(10)는 보유 지지부(제1 보유 지지부)(32, 32…)와 보유 지지부(제2 보유 지지부)(34, 34…)를 구비하고 있다. 보유 지지부(32)는 기판 지지 부재(18)와 기판 지지 부재(20)가 대향하는 변부를 따라 소정의 간격을 두고 복수 설치되고, 도 2와 같이 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 보유 지지한다. 보유 지지부(34)는 도 1과 같이 기판 지지 부재(24)와 기판 지지 부재(26)가 대향하는 변부를 따라 소정의 간격을 두고 복수 설치되고, 도 2와 같이 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 보유 지지한다. 또한, 도 1과 같이 보유 지지부(32, 34)에 진공의 흡착 패드(36)(흡착 부재)를 설치하고, 흡착 패드(36)에 의해 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 흡착 보유 지지하는 것이, 유리 기판 G1을 안정되게 반송할 수 있는 점에서 바람직하다. 흡착 패드(36)에 대해서는 후술한다.Moreover, the board | substrate conveyance hand 10 is equipped with the holding part (1st holding part) 32, 32 ..., and the holding part (2nd holding part) 34, 34 .... The holding part 32 is provided in multiple numbers at predetermined intervals along the edge part which the board | substrate supporting member 18 and the board | substrate supporting member 20 oppose, and holds the edge of the lower surface of glass substrate G1 like FIG. The holding part 34 is provided in multiple numbers at predetermined intervals along the edge part which the board | substrate supporting member 24 and the board | substrate supporting member 26 oppose as shown in FIG. 1, and the edge part of the lower surface of glass substrate G1 as shown in FIG. Hold. In addition, as shown in FIG. 1, a vacuum suction pad 36 (adsorption member) is provided on the holding portions 32 and 34, and the suction pad 36 sucks and holds the edge of the lower surface of the glass substrate G1 by the suction pad 36. It is preferable at the point which can convey glass substrate G1 stably. The adsorption pad 36 is mentioned later.

구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동 가능하게 안내하는 가이드 부재(38, 38)와, 기판 지지 부재(18, 20)로 동력을 전달하여 상기 서로 접근하는 방향 및 상기 서로 이격되는 방향으로 평행 이동시키는 구동원(40)을 구비하고 있다. 그리고, 가이드 부재(38, 38) 및 구동원(40)이 핸드 설치용 플레이트(12)에 탑재되어 구동부(22)가 구성되어 있다.The driving unit 22 transmits power to the guide members 38 and 38 for movably guiding the substrate support members 18 and 20 in a direction approaching and spaced apart from each other, and the substrate support members 18 and 20. And a drive source 40 for parallel movement in the direction approaching each other and the direction away from each other. And the guide member 38, 38 and the drive source 40 are mounted in the plate 12 for hand installation, and the drive part 22 is comprised.

도 3은 도 1의 A-A 선을 따른 단면도이며, 가이드 부재(38)의 구성이 도시되어 있다.FIG. 3 is a cross-sectional view along the line A-A of FIG. 1, and the configuration of the guide member 38 is shown.

가이드 부재(38)로서는, LM(Linear Motion) 가이드(등록 상표)가 채용되어 있으며, 한 쌍의 레일(42, 42)와, 레일(42, 42)에 요동 가능하게 끼워 맞춰지는 블록(44, 44)을 구비하고 있다. 레일(42, 42)은, 기판 지지 부재(18, 20)의 이동 방향을 따라 핸드 설치용 플레이트(12)의 상면에 평행하게 고정되어 있고, 블록(44, 44)은 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)도 마찬가지)의 하면에 고정되어 있다.As the guide member 38, an LM (Linear Motion) guide (registered trademark) is adopted, and the block 44 fitted to the pair of rails 42 and 42 and the rails 42 and 42 so as to be able to swing is provided. 44). The rails 42 and 42 are fixed in parallel to the upper surface of the hand mounting plate 12 along the moving direction of the substrate support members 18 and 20, and the blocks 44 and 44 are connected to the substrate support member 18 ( The substrate support member 20 is also fixed to the lower surface of the same).

한편, 도 1에 도시한 구동원(40)은 서보 모터(46)과, 동축 상에서 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대(48, 48)와, 도 3에 도시하는 너트(50)를 구비한다. 또한, 구동원(40)은 도 1과 같이 서보 모터(46)의 회전력을 한 쌍의 나사 막대(48, 48)에 전달하는 풀리(52), 벨트(54) 및 풀리(56)를 구비하고 있다. 즉, 풀리(52)는 서보 모터(46)의 회전축에 설치되고, 풀리(56)는 한 쌍의 나사 막대(48, 48)의 길이 방향 중앙부에 설치되며, 이들 풀리(52, 56)에 벨트(54)가 걸쳐져 있다.On the other hand, the drive source 40 shown in FIG. 1 includes a servo motor 46, a pair of threaded rods 48 and 48 each of which is inversely threaded coaxially, and a nut 50 shown in FIG. do. Moreover, the drive source 40 is provided with the pulley 52, the belt 54, and the pulley 56 which transmit the rotational force of the servo motor 46 to a pair of screw rods 48 and 48 like FIG. . That is, the pulley 52 is installed on the rotation shaft of the servo motor 46, and the pulley 56 is installed on the longitudinal center portion of the pair of screw rods 48, 48, and the belts are attached to these pulleys 52, 56. (54) is over.

또한, 너트(50)는 도 3과 같이 기판 지지 부재(18)(기판 지지 부재(20)도 마찬가지)의 하면이며, 블록(44)과 블록(44)의 중간부에 고정되어 있다. 이 너트(50)에 레일(42)과 평행하게 부설된 나사 막대(48)가 나사 결합되어 있다. 즉, 구동원(40)에 의한 기판 지지 부재(18, 20)의 이동 기구로서, 나사 막대(48)와 너트(50)를 포함하여 이루어지는 이송 나사 부재가 채용되어 있다.Moreover, the nut 50 is a lower surface of the board | substrate support member 18 (the board | substrate support member 20 is also the same) like FIG. 3, and is fixed to the intermediate part of the block 44 and the block 44. As shown in FIG. A screw rod 48 attached to the nut 50 in parallel with the rail 42 is screwed. That is, as a moving mechanism of the board | substrate support members 18 and 20 by the drive source 40, the feed screw member which consists of the screw rod 48 and the nut 50 is employ | adopted.

따라서, 구동부(22)에 의하면, 서보 모터(46)에 의해 한 쌍의 나사 막대(48, 48)를 정회전 방향 및 역회전 방향으로 회전시키면, 각각 역나사가 각설된 한 쌍의 나사 막대(48, 48)와 너트(50, 50)에 의한 이송 작용에 의해, 기판 지지 부재(18, 20)가 서로 근접하는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 평행 이동한다. 또한, 기판 지지 부재(18, 20)는, 가이드 부재(38, 38)에 안내되고 있으므로, 핸드 설치용 플레이트(12)에 대하여 원활하게 이동한다.Therefore, according to the drive part 22, when the pair of screw rods 48 and 48 are rotated in the forward rotation direction and the reverse rotation direction by the servo motor 46, the pair of screw rods each of which the reverse threads are laid out ( By the transfer action by the 48 and 48 and the nuts 50 and 50, the substrate support members 18 and 20 move in parallel in the direction in which they are close to each other and in the direction spaced from each other. Moreover, since the board | substrate support members 18 and 20 are guide | induced to the guide member 38 and 38, it moves smoothly with respect to the plate 12 for hand installation.

한편, 구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)가 가이드 부재(38, 38)를 개재하여 핸드 설치용 플레이트(12)에 외팔보 지지되고, 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 기판 지지 부재(18, 20)에 지지되는 구성이다.On the other hand, as for the drive part 22, the board | substrate support members 18 and 20 cantilever the support plate 12 via the guide members 38 and 38, and the board | substrate support members 24 and 26 are parallel link members. It is a structure supported by the board | substrate support member 18 and 20 via (28, 28 ...).

따라서, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)를 경량의 재료로 제작하는 것이, 핸드 설치용 플레이트(12)에 가해지는 중량 부담을 작게 할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 유리 기판 G1을 지지하므로, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)은 고강성이 있는 재료로 제작하는 것이 바람직하다. 이들 관점에서 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)는, 경량이고 강성이 높은 CFRP(carbon fiber reinforced plastic: 탄소 섬유 강화 플라스틱)제, 알루미늄 합금제, 또는 티타늄 합금제인 것이 바람직하다.Therefore, manufacturing the board | substrate supporting member 18, 20, 24, 26 from a lightweight material is preferable because the weight burden applied to the hand installation plate 12 can be made small. In addition, since it supports the glass substrate G1, it is preferable to manufacture the board | substrate supporting member 18, 20, 24, 26 from the material with high rigidity. From these viewpoints, it is preferable that the board | substrate support members 18, 20, 24, and 26 are made of lightweight and rigid carbon fiber reinforced plastic (CFRP), aluminum alloy, or titanium alloy.

이어서, 상기한 바와 같이 구성된 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)의 작용에 대하여 설명한다.Next, the effect | action of the board | substrate conveyance hand 10 of 1st Embodiment comprised as mentioned above is demonstrated.

[기판 반송용 핸드(10)의 기본 동작][Basic operation of the board conveying hand 10]

구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 서로 근접하는 방향으로 수평으로 평행 이동한다. 이 동작과는 반대로, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동시키면, 그 동작에 연동하여 기판 지지 부재(24, 26)가, 평행 링크 부재(28, 28…)를 개재하여 서로 이격되는 방향으로 수평으로 평행 이동한다.When the substrate support members 18 and 20 are horizontally moved in the direction of approaching each other by the driving unit 22, the substrate support members 24 and 26 move in parallel with the operation, and the parallel link members 28, 28... It moves horizontally parallel to the direction adjacent to each other via. Contrary to this operation, when the substrate support members 18 and 20 are horizontally moved in the direction spaced apart from each other by the driving unit 22, the substrate support members 24 and 26 are linked in parallel with the operation. It moves horizontally and parallel to the direction spaced apart from each other via (28, 28 ...).

[기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판 G1의 보유 지지 동작][Holding operation of glass substrate G1 by the board | substrate conveyance hand 10]

우선, 도 1과 같이, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)의 간격을 최대한으로 확장한다. 즉, 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)에 의해 구획 형성되는 평면에서 보아 직사각형의 공간(58)을 최대 크기로 확장하고, 그 공간(58) 내에 유리 기판 G1이 들어가도록 기판 반송용 핸드(10)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨다. 또한, 핸드 설치용 플레이트(12)를 구비하는 구동부(22)는 아암(16)을 개재하여 수평 다관절 로봇(14)과 연결되어 있다.First, as shown in FIG. 1, the space | interval of the board | substrate support members 18 and 20 is expanded by the drive part 22 to the maximum. That is, for transporting the substrate so that the rectangular space 58 is enlarged to the maximum size in the plane defined by the substrate support members 18, 20, 24, and 26, and the glass substrate G1 enters the space 58. The hand 10 is moved by the horizontal articulated robot 14. Moreover, the drive part 22 provided with the hand mounting plate 12 is connected with the horizontal articulated robot 14 via the arm 16. As shown in FIG.

이어서, 구동부(22)에 의해 기판 지지 부재(18, 20)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시키고, 기판 지지 부재(24, 26)를 서로 접근하는 방향으로 수평으로 평행 이동시킨다. 이것에 의해, 도 2와 같이 모든 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)가 유리 기판 G1의 하면의 테두리부에 인입되고, 하면의 테두리부가 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)에 의해 지지된다. 이 동작에 의해, 유리 기판 G1이 기판 반송용 핸드(10)에 보유 지지된다. 또한, 기판 지지 부재(18, 20)의 이동량은, 유리 기판 G1의 크기에 대응하도록, 서보 모터(46)에 의해 제어되고 있다.Subsequently, the substrate 22 and the substrate support members 18 and 20 are horizontally moved in a direction approaching each other by the driving unit 22, and the substrate support members 24 and 26 are horizontally parallel to the direction approaching each other. Thereby, all the holding parts 32, 32 ..., 34, 34 ... are led to the edge part of the lower surface of the glass substrate G1 like FIG. 2, and the edge part of the lower surface is holding parts 32, 32 ..., 34, 34. ...). By this operation, glass substrate G1 is hold | maintained in the board | substrate conveyance hand 10. As shown in FIG. In addition, the movement amount of the board | substrate support members 18 and 20 is controlled by the servo motor 46 so that the magnitude | size of the glass substrate G1 may correspond.

제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)는 기판 지지 부재(18, 20, 24, 26)에 의해 구획 형성되는 공간(58)의 크기가, 도 1에 도시한 최대 크기에서 최소 크기(도시하지 않음)까지 무단계로 조정 가능하다.As for the board | substrate conveyance hand 10 of 1st Embodiment, the size of the space 58 partitioned by the board | substrate support member 18, 20, 24, 26 is the minimum size from the maximum size shown in FIG. Steplessly adjustable).

따라서, 기판 반송용 핸드(10)에 의하면, 유리 기판의 크기에 따라 그 크기를 변경할 수 있다. 즉, 기판 반송용 핸드(10)는 도 4와 같이, 유리 기판 G1(도 1, 도 2 참조)보다도 크기가 작은 유리 기판 G2이어도 보유 지지할 수 있고, 도 5와 같이, 유리 기판 G2(도 4 참조)보다도 크기가 작은 유리 기판 G3이어도 보유 지지할 수 있다. 또한, 기판 반송용 핸드(10)의 구동부(22)는 기판 지지 부재(18, 20)를 구동하는 1대의 구동부만 구비하면 되므로, 소형이고 경량의 기판 반송용 핸드(10)로 된다.Therefore, according to the board | substrate conveyance hand 10, the magnitude | size can be changed according to the magnitude | size of a glass substrate. That is, the board | substrate conveyance hand 10 can hold | maintain even the glass substrate G2 which is smaller than glass substrate G1 (refer FIG. 1, FIG. 2) like FIG. 4, and, as shown in FIG. 5, glass substrate G2 (FIG. Even if it is glass substrate G3 smaller in size than 4), it can hold | maintain. Moreover, since the drive part 22 of the board | substrate conveyance hand 10 only needs to be equipped with one drive part which drives the board | substrate support members 18 and 20, it becomes a compact and lightweight board | substrate conveyance hand 10. As shown in FIG.

[기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판의 반송 방법][Transfer Method of Glass Substrate by Hand 10 for Substrate Transfer]

도 6a, 도 6b, 도 6c는, 수지액의 도포부(기판의 수취 위치)(60)에 있어서 유리 기판 G를 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지하는 형태가 도시되어 있다. 도 7은 도포부(60)에서 보유 지지한 유리 기판 G를, 도 1의 수평 다관절 로봇(14)에 의해 건조부(기판의 수수 위치)(62)로 반송한 형태가 도시되어 있다.6A, 6B, and 6C show the form of holding the glass substrate G by the board | substrate conveyance hand 10 in the coating part (receiving position of a board | substrate) 60 of resin liquid. FIG. 7: shows the form which conveyed the glass substrate G hold | maintained by the coating part 60 to the drying part (receiving position of a board | substrate) 62 by the horizontal articulated robot 14 of FIG.

도 6a와 같이 도포부(60)는 다이 코터(64) 및 기판 적재대(66)를 구비한다. 또한, 기판 적재대(66)에는, 도 6b, 도 6c와 같이, 기판 적재대(66)의 상면에 대하여 돌몰되는 복수 개의 승강 핀(68, 68…)이 구비되어 있다.As shown in FIG. 6A, the applicator 60 includes a die coater 64 and a substrate mounting table 66. 6B and 6C, the board | substrate mounting board 66 is equipped with several lifting pins 68, 68 ... which are rushed with respect to the upper surface of the board | substrate mounting board 66. As shown in FIG.

도 6a의 도포부(60)에 있어서 유리 기판 G는, 기판 적재대(66)에 적재되고, 그 상면에 다이 코터(64)에 의해 수지액(70)이 도포된다. 수지액(70)의 도포가 종료되면, 다이 코터(64)는 기판 적재대(66)의 상방 위치로부터 측방 위치로 퇴피함과 아울러, 도 6b와 같이, 승강 핀(68, 68…)이 기판 적재대(66)의 상면으로부터 돌출된다. 이것에 의해, 유리 기판 G는, 승강 핀(68, 68…)에 의해 하면이 밀어올려져 기판 적재대(66)로부터 상승한다. 이후, 도 1의 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동된 기판 반송용 핸드(10)가 도 6b와 같이, 유리 기판 G의 상방 위치에 위치한다. 그 후, 기판 반송용 핸드(10)가 유리 기판 G의 보유 지지 가능한 위치까지 하강 이동되고, 그 후, 기판 반송용 핸드(10)의 구동부(22)가 구동되어 유리 기판 G가 도 6c와 같이 기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된다.In the application part 60 of FIG. 6A, the glass substrate G is mounted in the board | substrate mounting base 66, and the resin liquid 70 is apply | coated to the upper surface by the die coater 64. FIG. When the application of the resin liquid 70 is completed, the die coater 64 retracts from the upper position of the substrate mounting table 66 to the lateral position, and as shown in FIG. 6B, the lifting pins 68, 68... It protrudes from the upper surface of the mounting table 66. As a result, the lower surface of the glass substrate G is pushed up by the lifting pins 68, 68. Then, the board | substrate conveyance hand 10 moved by the horizontal articulated robot 14 of FIG. 1 is located in the upper position of glass substrate G like FIG. 6B. Then, the board | substrate conveyance hand 10 moves down to the position which can hold | maintain the glass substrate G, and the drive part 22 of the board | substrate conveyance hand 10 is driven after that, and glass substrate G is carried out like FIG. 6C. It is held by the board | substrate conveyance hand 10. As shown in FIG.

기판 반송용 핸드(10)에 의해 보유 지지된 유리 기판 G는, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 7의 건조부(62)로 반송되고, 건조부(62)의 오븐 선반(72)의 상면에 돌출 설치된 복수 개의 고정 핀(74, 74…)에 적재된다. 이후, 기판 반송용 핸드(10)의 기판 지지 부재(18, 20)가 서로 이격되는 방향으로 구동부(22)에 의해 이동된다. 이것에 의해, 기판 반송용 핸드(10)에 의한 유리 기판 G의 보유 지지가 해제된다. 이후, 기판 반송용 핸드(10)는 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 6a의 도포부(60)의 근방 위치까지 이동되고, 다음 유리 기판 G를 보유 지지하는 동작을 개시하기까지 그 위치에 대기된다.The glass substrate G held by the board | substrate conveyance hand 10 is conveyed to the drying part 62 of FIG. 7 by the horizontal articulated robot 14, and of the oven shelf 72 of the drying part 62 is carried out. It is mounted on a plurality of fixing pins 74, 74, ... protruding from the upper surface. Then, the board | substrate support members 18 and 20 of the board | substrate conveyance hand 10 are moved by the drive part 22 in the direction separated from each other. Thereby, holding | maintenance of the glass substrate G by the board | substrate conveyance hand 10 is canceled | released. Subsequently, the substrate conveying hand 10 is moved to a position near the applicator 60 of FIG. 6A by the horizontal articulated robot 14, and is positioned thereon until the operation of holding the next glass substrate G is started. Waiting.

상기 유리 기판 G의 반송 방법에 의하면, 상면에 수지액(70)이 도포된 유리 기판 G의 하면의 테두리부를 기판 반송용 핸드(10)의 보유 지지부(32, 32…, 34, 34…)에 의해 보유 지지하므로, 수지액(70)에 접촉하지 않고 유리 기판 G를 도포부(60)로부터 건조부(62)로 반송할 수 있다. 또한, 1대의 기판 반송용 핸드(10)를 사용하여, 크기가 다른 유리 기판을 도포부(60)로부터 건조부(62)로 반송할 수 있다. 또한, 도 6c에 도시한 승강 핀(68) 및 도 7에 도시한 고정 핀(74)의 형상은 원기둥 형상으로 한정되는 것은 아니며, 상단부가 첨예 형상의 원추 형상이어도 된다.According to the conveyance method of the said glass substrate G, the edge part of the lower surface of the glass substrate G by which the resin liquid 70 was apply | coated to the upper surface was carried out to the holding parts 32, 32 ..., 34, 34 ... of the board | substrate conveyance hand 10. Since it is hold | maintained by this, glass substrate G can be conveyed from the application part 60 to the drying part 62, without contacting the resin liquid 70. FIG. In addition, the glass substrates of different sizes can be conveyed from the application part 60 to the drying part 62 using one hand 10 for board | substrate conveyance. In addition, the shape of the lifting pin 68 shown in FIG. 6C and the fixing pin 74 shown in FIG. 7 is not limited to a cylindrical shape, The upper end part may be a sharp cone shape.

[흡착 패드(36)의 형태][Form of adsorption pad 36]

도 8은 보유 지지부(32, 34)에 구비되는 흡착 패드(36)의 확대 단면도이다. 흡착 패드(36)는 수지제 또는 고무제이며, 흡인로(76)에 연통되는 중앙 개구부(78)를 구비한 환상 부재이다. 흡착 패드(36)가 유리 기판 G의 하면의 테두리부에 흡착함으로써, 유리 기판 G가 기판 반송용 핸드(10)에 확실하게 보유 지지된다.8 is an enlarged cross-sectional view of the suction pad 36 provided in the holding portions 32 and 34. The suction pad 36 is made of resin or rubber and is an annular member having a central opening 78 communicating with the suction path 76. The adsorption pad 36 adsorb | sucks on the edge part of the lower surface of glass substrate G, and glass substrate G is hold | maintained by the board | substrate conveyance hand 10 reliably.

도 8에 도시한 흡착 패드(36)는 유리 기판 G의 무게에 의해 탄성 변형된다. 흡착 패드(36)의 탄성 변형에 의해, 유리 기판 G가 휜 상태에서 보유 지지되고, 그 휨에 의해 유리 기판 G가 파손되는 경우가 있다.The adsorption pad 36 shown in FIG. 8 is elastically deformed by the weight of the glass substrate G. As shown in FIG. By the elastic deformation of the suction pad 36, glass substrate G is hold | maintained in the state which pinched, and glass substrate G may be damaged by the curvature.

이러한 문제를 방지하기 위하여, 도 9a에 도시한 확대 단면와 같이, 흡착 패드(36)를 둘러싸는 통 형상체(80)를 보유 지지부(32, 34)에 배치하였다. 흡착 패드(36)가 유리 기판 G를 흡착 유지했을 때 유리 기판 G에 가압되어 탄성 변형되면, 유리 기판 G의 하면의 테두리부가 통 형상체(80)의 링 형상 상단부면(82)에 접촉한다. 이것에 의해, 유리 기판 G의 하면의 테두리부는, 도 9b와 같이 강성이 있는 통 형상체(80)의 링 형상 상단부면(82)에 가압 접촉된 상태에서, 즉, 휨이 억제된 상태에서 기판 반송용 핸드(10)에 보유 지지되므로, 휨에 기인하는 파손을 방지할 수 있다.In order to prevent such a problem, the cylindrical body 80 surrounding the adsorption pad 36 was arrange | positioned to the holding part 32, 34 like the enlarged cross section shown in FIG. 9A. When the adsorption pad 36 is pressurized and elastically deformed by the glass substrate G when adsorbing and holding the glass substrate G, the edge of the lower surface of the glass substrate G contacts the ring-shaped upper end surface 82 of the cylindrical body 80. Thereby, the edge part of the lower surface of the glass substrate G is the board | substrate in the state which contacted the ring-shaped upper end surface 82 of the rigid cylindrical body 80 as shown in FIG. 9B, ie, the curvature was suppressed. Since it is hold | maintained by the conveyance hand 10, the damage by curvature can be prevented.

[기판 반송용 핸드(100)의 구성][Configuration of Board Transfer Hand 100]

도 10은 제2 실시 형태의 기판 반송용 핸드(100)의 평면도, 도 11은 기판 반송용 핸드(100)의 측면도이며, 제1 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10)와 동일 또는 유사한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여하여, 그 설명은 생략한다.FIG. 10 is a plan view of the substrate conveyance hand 100 of the second embodiment, and FIG. 11 is a side view of the substrate conveyance hand 100, the same or similar to that of the substrate conveyance hand 10 of the first embodiment. The same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

도 10, 도 11과 같이 기판 반송용 핸드(100)는 유리 기판 G1의 하면에 접촉하는 접촉 부재(102)를 구비한다. 이 접촉 부재(102)는 구동부(22)에 구비된 핸드 설치용 플레이트(12)의 하면에 기단부가 외팔보 지지된 아암 부재(104)와, 아암 부재(104)의 선단부 근방에 설치됨과 아울러 유리 기판 G1의 하면에 접촉하는 2개의 탄성 핀(핀 형상 부재)(106, 106)을 구비한다.10 and 11, the board | substrate conveyance hand 100 is equipped with the contact member 102 which contacts the lower surface of glass substrate G1. The contact member 102 is provided in the arm member 104 whose base end is cantilever-supported on the lower surface of the hand mounting plate 12 provided in the driving unit 22, and in the vicinity of the distal end of the arm member 104, and the glass substrate G1. Are provided with two elastic pins (pin-shaped members) 106 and 106 in contact with the bottom surface.

구동부(22)로부터 연장된 아암 부재(104)의 상기 기단부는, 핸드 설치용 플레이트(12)의 길이 방향 중앙부에 고정됨과 아울러, 기판 지지 부재(18, 20)와 평행하게 설치되어 있다. 또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 아암 부재(104)는 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)보다도 소정량 하방 위치에 배치되어 있다.The base end of the arm member 104 extending from the driving unit 22 is fixed to the central portion in the longitudinal direction of the hand mounting plate 12 and is provided in parallel with the substrate supporting members 18 and 20. As shown in FIG. 11, the arm member 104 is disposed at a lower position than the substrate support member 20 (18, 24, 26) by a predetermined amount.

탄성 핀(106)은 고무제 또는 수지제이며, 유리 기판 G1의 하면에 탄성을 갖고 접촉하는 부재이다. 또한, 유리 기판 G1의 하면에 대한 탄성 핀(106, 106)의 접촉 위치는, 유리 기판 G1의 중앙부, 중앙부 근방, 또는 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상을 따른 위치인 것이, 유리 기판 G1의 휨을 억제할 수 있는 점에서 바람직하다. 상기 중앙부란 유리 기판 G1의 무게 중심 위치이며, 도 10, 도 11의 탄성 핀(106, 106)은, 상기 중앙부 근방 또는 상기 중앙부를 중심으로 하는 동심원 형상으로 배치된 예이다. 또한 탄성 핀(106)의 개수는 2개로 한정되는 것은 아니며, 1개이어도 3개 이상이어도 된다. 접촉 부재(102)가 아암 부재(104)를 구비함으로써, 탄성 핀(106, 106)을 아암 부재(104)의 길이 방향에 있어서 원하는 위치에 배치시킬 수 있다.The elastic pin 106 is made of rubber or resin, and is a member that is elastically in contact with the lower surface of the glass substrate G1. In addition, the contact position of the elastic pins 106 and 106 with respect to the lower surface of the glass substrate G1 is a position along the concentric shape centering on the center part, center part vicinity, or center part of glass substrate G1, suppresses the curvature of glass substrate G1. It is preferable at the point which can be performed. The said center part is a center of gravity position of glass substrate G1, and the elastic fins 106 and 106 of FIG. 10, FIG. 11 are the examples arrange | positioned in the concentric shape centering around the said center part or the said center part. The number of elastic pins 106 is not limited to two, and may be one or three or more. By providing the arm member 104 with the contact member 102, the elastic pins 106 and 106 can be arrange | positioned in a desired position in the longitudinal direction of the arm member 104. FIG.

도 12a, 도 12b는, 탄성 핀(106)을 아암 부재(104)의 상면에 대하여 승강 이동시키는 에어 실린더(승강 수단)(108)가 도시되어 있다. 즉 도 12a는 에어 실린더(108)의 피스톤(110)이 실린더(112)에 의해 하강 위치에 위치된 상태가 도시되고, 도 12b는, 에어 실린더(108)의 피스톤(110)이 실린더(112)에 의해 상승 위치에 위치된 상태가 도시되어 있다.12A and 12B show an air cylinder (elevating means) 108 for elevating and moving the elastic pin 106 relative to the upper surface of the arm member 104. 12A shows the state in which the piston 110 of the air cylinder 108 is positioned in the lowered position by the cylinder 112, and FIG. 12B shows that the piston 110 of the air cylinder 108 is the cylinder 112. The state positioned in the raised position by is shown.

아암 부재(104)는 중공의 파이프 형상으로 구성되며, 그 개구부(114)에 실린더(112)가 삽입 배치되어 있다.The arm member 104 is comprised in the shape of a hollow pipe, and the cylinder 112 is inserted into the opening 114.

[기판 반송용 핸드(100)에 의한 유리 기판의 반송 방법][Transfer method of glass substrate by the hand 100 for board | substrate conveyance]

도 13a 내지 도 13f는, 도포부(60)에서 수지액(70)(도 6a 참조)이 도포된 유리 기판 G1을 기판 반송용 핸드(100)에 의해 보유 지지하고, 반송하는 수순이 도시되어 있다.13A to 13F show a procedure of holding and conveying the glass substrate G1 coated with the resin liquid 70 (see FIG. 6A) by the application unit 60 by the substrate transfer hand 100. .

도 13a는, 도포부(60)의 승강 핀(68, 68…)을 상승시켜 유리 기판 G1을 기판 적재대(66)의 상방 위치(수취 위치)에 위치시킨 측면도이다.FIG. 13A is a side view of raising and lowering the lifting pins 68, 68... Of the coating unit 60 to position the glass substrate G1 at an upper position (receiving position) of the substrate mounting table 66.

도 13b는, 기판 반송용 핸드(100)를 유리 기판 G1의 수취 위치로 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨 측면도이다. 동 도면과 같이, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)는 유리 기판 G1의 상방 위치에 대기된다. 또한, 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)는 도포부(60)의 승강 핀(68, 68…)과 간섭하지 않도록 유리 기판 Gl의 하면의 하방 위치에 삽입 배치된다. 또한, 아암 부재(104)의 상기 삽입 시에는, 탄성 핀(106, 106)은, 유리 기판 G1의 하면에 충돌하지 않도록, 도 12a에서 도시한 하강 위치에 대기된다.FIG. 13B is a side view of moving the substrate transfer hand 100 to the receiving position of the glass substrate G1 by the horizontal articulated robot 14. As shown in the figure, the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are waiting at the upper position of the glass substrate G1. Moreover, the arm member 104 of the contact member 102 is inserted in the position below the lower surface of the glass substrate Gl so that it may not interfere with the lifting pins 68, 68 ... of the application part 60. As shown in FIG. In addition, at the time of the said insertion of the arm member 104, the elastic pins 106 and 106 are waiting in the descending position shown in FIG. 12A so that it may not collide with the lower surface of glass substrate G1.

도 13c는, 도 13b의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 수평 다관절 로봇(14)에 의해 하강 이동된 후, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 구동부(22)(도 1 참조)에 의해 서로 근접하는 방향으로 이동되고, 유리 기판 G1의 하면의 테두리부가 보유 지지부(32)(34)에 의해 보유 지지된 측면도이다.13C shows the substrate support members 20 (18, 24, 26) after the substrate support members 20 (18, 24, 26) are moved downward by the horizontal articulated robot 14 from the state of FIG. 13B. Is a side view in which the edge part of the lower surface of the glass substrate G1 is hold | maintained by the holding | maintenance part 32 (34) by the drive part 22 (refer FIG. 1).

도 13d는, 도 13c의 상태로부터, 탄성 핀(106, 106)이 에어 실린더(108)(도 12 참조)에 의해 상승되어 유리 기판 G1의 하면에 접촉된 측면도이다. 즉, 보유 지지부(32)(34)에 의해 유리 기판 G1의 하면의 테두리부를 지지한 후, 탄성 핀(106, 106)을 상승시켜 유리 기판 G1의 하면을 탄성 핀(106, 106)에 의해 지지하므로, 상기 충돌에 기인하는 유리 기판 G1의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 탄성 핀(106)을 승강시키지 않고, 탄성 핀(106)에 의해 유리 기판 G1의 하면을 지지해도 되지만, 상기 충돌을 피하는 관점에서 보면, 승강 동작을 행하는 것이 바람직하다.FIG. 13D is a side view in which the elastic fins 106 and 106 are raised by the air cylinder 108 (see FIG. 12) and contact the bottom surface of the glass substrate G1 from the state of FIG. 13C. That is, after holding the edges of the lower surface of the glass substrate G1 by the holding portions 32 and 34, the elastic pins 106 and 106 are raised to support the lower surface of the glass substrate G1 by the elastic pins 106 and 106. Therefore, damage to glass substrate G1 resulting from the said collision can be prevented. In addition, although the lower surface of the glass substrate G1 may be supported by the elastic pin 106 without elevating the elastic pin 106, it is preferable to perform a lifting operation from a viewpoint of avoiding the said collision.

도 13e는, 도 13d의 상태로부터, 기판 반송용 핸드(100)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 상승 이동시킨 측면도이다. 이것에 의해, 유리 기판 G1은 승강 핀(68, 68…)으로부터 이격되고, 그 하면의 테두리부가 보유 지지부(32)(34)에 의해 지지됨과 아울러, 그 하면 중앙부 근방이 탄성 핀(106, 106)에 의해 지지된다.FIG. 13E is a side view of the substrate conveying hand 100 being moved upward by the horizontal articulated robot 14 from the state of FIG. 13D. As a result, the glass substrate G1 is spaced apart from the lifting pins 68, 68, and the edges of the lower surface thereof are supported by the holding portions 32, 34, and the elastic pins 106, 106 near the center of the lower surface thereof. Supported by).

도 13f는, 도 13e의 상태로부터, 승강 핀(68, 68…)을 하강 이동시킴과 아울러, 기판 반송용 핸드(100)를 수평 다관절 로봇(14)에 의해 수평 방향으로 직선 이동시킨 측면도이다. 이후, 유리 기판 G1은, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 7에 도시한 건조부(62)로 반송된다.FIG. 13F is a side view in which the lifting pins 68, 68... Are moved downwards from the state of FIG. 13E, and the substrate conveying hand 100 is linearly moved in the horizontal direction by the horizontal articulated robot 14. . Thereafter, the glass substrate G1 is conveyed by the horizontal articulated robot 14 to the drying unit 62 shown in FIG. 7.

따라서, 유리 기판 G1의 하면 중앙부 근방을 지지하는 접촉 부재(102)를 구비한 기판 반송용 핸드(100)에 의하면, 크기가 큰 유리 기판 G1이어도 유리 기판 G1의 휨을 억제하여 유리 기판 G1을 도포부(60)로부터 건조부(62)부에 안정되게 반송할 수 있다.Therefore, according to the board | substrate conveyance hand 100 provided with the contact member 102 which supports the vicinity of the lower surface center part of the glass substrate G1, even if it is a large glass substrate G1, the curvature of the glass substrate G1 is suppressed and a glass substrate G1 is apply | coated part. It can convey to the drying part 62 part stably from 60.

도 14a 내지 도 14e는, 건조부(62)로 반송된 유리 기판 G1을, 건조부(62)의 고정 핀(74, 74…) 상에 적재하는 수순이 도시되어 있다.14A to 14E illustrate a procedure of loading the glass substrate G1 conveyed to the drying unit 62 on the fixing pins 74, 74... Of the drying unit 62.

도 14a는, 건조부(62)에 있어서의 수수 위치로 유리 기판 G1을 수평 다관절 로봇(14)에 의해 이동시킨 측면도이다. 동 도면과 같이, 기판 반송용 핸드(100)의 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)는 건조부(62)의 고정 핀(74, 74…)과 간섭하지 않도록 오븐 선반(72)의 상방에 삽입 배치된다.FIG. 14A is a side view in which the glass substrate G1 is moved by the horizontal articulated robot 14 to the delivery position in the drying unit 62. As shown in the figure, the arm member 104 of the contact member 102 of the substrate transfer hand 100 does not interfere with the fixing pins 74, 74... Of the drying unit 62 above the oven shelf 72. Is placed in the insert.

도 14b는, 도 14a의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 수평 다관절 로봇(14)에 의해 하강 이동되고, 유리 기판 G1의 하면이 고정 핀(74, 74…)에 의해 지지된 측면도이다.14B shows, from the state of FIG. 14A, the substrate supporting members 20 (18, 24, 26) are moved downward by the horizontal articulated robot 14, and the lower surface of the glass substrate G1 is fixed pins 74, 74. It is a side view supported by).

도 14c는, 도 14b의 상태로부터, 탄성 핀(106, 106)이 에어 실린더(108)(도 12 참조)에 의해 하강되고 유리 기판 G1의 하면으로부터 퇴피된 측면도이다.14C is a side view from the state of FIG. 14B in which the elastic fins 106 and 106 are lowered by the air cylinder 108 (see FIG. 12) and retracted from the bottom surface of the glass substrate G1.

도 14d는, 도 14c의 상태로부터, 기판 지지 부재(20)(18, 24, 26)가 구동부(22)(도 1 참조)에 의해 서로 이격되는 방향으로 이동된 후, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 상승 이동된 측면도이다. 이것에 의해, 유리 기판 G1이 고정 핀(74, 74…)에 의해 지지된다.FIG. 14D shows the horizontal articulated robot 14 after the substrate support members 20 (18, 24, 26) are moved in the direction spaced apart from each other by the driving unit 22 (see FIG. 1) from the state of FIG. 14C. It is the side view which was moved up by). In this way, the glass substrate G1 is supported by the fixing pins 74, 74...

도 14e는, 도 14d의 상태로부터, 접촉 부재(102)의 아암 부재(104)를 고정 핀(74, 74…)에 간섭시키지 않고, 수평 다관절 로봇(14)에 의해 수평 방향으로 직선상으로 슬라이드 이동시킨 측면도이다. 이후, 기판 반송용 핸드(100)는 수평 다관절 로봇(14)에 의해 도 13a에 도시한 도포부(60)로 이동된다.FIG. 14E shows a straight line in the horizontal direction by the horizontal articulated robot 14 without interfering the arm member 104 of the contact member 102 with the fixing pins 74, 74..., From the state of FIG. 14D. It is the side view which moved slide. Subsequently, the substrate transfer hand 100 is moved to the application part 60 shown in FIG. 13A by the horizontal articulated robot 14.

또한, 상기 실시 형태에서는, 탄성 핀(106)을 에어 실린더(108)에 의해 승강 이동시켰지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 15a, 도 15b에 도시한 바와 같이, 고정용 핀(116)을 개재하여 탄성 핀(106)을 아암 부재(104)에 고정하고, 승강 장치(승강 수단)(118)를 개재하여 아암 부재(104)를 구동부(22)에 구비된 핸드 설치용 플레이트(12)에 승강 가능하게 설치해도 된다. 즉, 아암 부재(104)는 승강 장치(118)에 의해 구동부(22)에 대하여 승강 가능하게 설치되어도 된다. 승강 장치(118)로서는, LM 가이드(상표 등록)와 이송 나사 장치를 예시할 수 있다. 또한, 승강 장치(118)에 의한 아암 부재(104)의 승강 동작 타이밍은, 에어 실린더(108)에 의한 탄성 핀(106)의 승강 동작 타이밍과 동일하므로, 여기서는 그 설명을 생략한다.In addition, although the elastic pin 106 was moved up and down by the air cylinder 108 in the said embodiment, it is not limited to this. For example, as shown to FIG. 15A, FIG. 15B, the elastic pin 106 is fixed to the arm member 104 via the fixing pin 116, and the lifting device (lifting means) 118 is interposed. The arm member 104 may be mounted on the hand mounting plate 12 provided in the drive unit 22 so as to be lifted and lowered. That is, the arm member 104 may be provided so that the arm member 104 can be raised and lowered with respect to the driving unit 22. As the lifting device 118, an LM guide (trademark registration) and a feed screw device can be illustrated. In addition, since the lifting operation timing of the arm member 104 by the lifting device 118 is the same as the lifting operation timing of the elastic pin 106 by the air cylinder 108, the description is abbreviate | omitted here.

이상, 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제한되지 않는다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 상기 실시 형태에 다양한 변형 및 치환을 가할 수 있다.As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment. Various modifications and substitutions can be made to the above embodiments without departing from the scope of the invention.

본 출원은, 2012년 11월 13일 출원된 일본 특허 출원2012-249179에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.This application is based on the JP Patent application 2012-249179 of an application on November 13, 2012, The content is taken in here as a reference.

실시 형태에서는, 기판 반송용 핸드(10, 100)의 반송 대상물로서 유리 기판을 예시했지만, 유리 기판 이외의 금속제, 수지제 등의 판상체이어도 실시 형태의 기판 반송용 핸드(10, 100)를 사용할 수 있다.In embodiment, although the glass substrate was illustrated as a conveyance object of the board | substrate conveyance hands 10 and 100, even if it is plate-shaped objects, such as metals and resins other than a glass substrate, the board | substrate conveyance hands 10 and 100 of an embodiment can be used. Can be.

제1 기판 반송용 핸드(10)에 의한 반송 대상의 유리 기판은, 휨 과다에 의한 유리 기판의 파손을 고려하면, 두께는 0.5㎜ 이상인 것이 바람직하다. 또한 이 경우의 유리 기판의 크기는, 종횡의 길이가 500㎜ × 1500㎜인 것이 바람직하다.When the glass substrate of the conveyance object by the 1st board | substrate conveyance hand 10 considers the damage of the glass substrate by excessive curvature, it is preferable that thickness is 0.5 mm or more. Moreover, it is preferable that the length of a glass substrate in this case is 500 mm x 1500 mm in length and breadth.

제2 기판 반송용 핸드(100)에 의한 반송 대상의 유리 기판은, 접촉 부재(102)에 의해 유리 기판의 휨이 억제되어 있으므로, 두께는 0.5㎜ 미만(예를 들어 0.2㎜)의 유리 기판이어도 반송할 수 있다. 또한, 이 경우, 종횡의 길이가 2400㎜ × 2100㎜를 초과하는 유리 기판이어도 반송할 수 있다.Since the curvature of a glass substrate is suppressed by the contact member 102 in the glass substrate of the conveyance object by the 2nd board | substrate conveyance hand 100, even if it is a glass substrate of thickness less than 0.5 mm (for example, 0.2 mm), You can return it. In this case, even if it is a glass substrate exceeding 2400 mm x 2100 mm in length and breadth, it can convey.

G, G1, G2, G3: 유리 기판
10: 기판 반송용 핸드
12: 핸드 설치용 플레이트
14: 수평 다관절 로봇
16: 아암
18, 20: 기판 지지 부재
22: 구동부
24, 26: 기판 지지 부재
28: 평행 링크 부재
30: 링크
32, 34: 보유 지지부
36: 흡착 패드
38: 가이드 부재
40: 구동원
42: 레일
44: 블록
46: 서보 모터
48: 나사 막대
50: 너트
52: 풀리
54: 벨트
56: 풀리
58: 공간
60: 도포부
62: 건조부
64: 다이 코터
66: 기판 적재대
68: 승강 핀
70: 수지액
72: 오븐 선반
74: 고정 핀
76: 흡인로
78: 중앙 개구부
80: 통 형상체
82: 링 형상 상단부면
100: 기판 반송용 핸드
102: 접촉 부재
104: 아암 부재
106: 탄성 핀
108: 에어 실린더
110: 피스톤
112: 실린더
114: 개구부
116: 고정용 핀
118: 승강 장치G, G1, G2, G3: glass substrate
10: Hand for transporting substrate
12: Plate for hand installation
14: horizontal articulated robot
16: arm
18, 20: substrate support member
22: drive unit
24, 26: substrate support member
28: parallel link member
30: Link
32, 34: holding portion
36: adsorption pad
38: guide member
40: drive source
42: rail
44: block
46: servo motor
48: screw rod
50: nut
52: pulley
54: belt
56: pulley
58: space
60: applicator
62: drying unit
64: die coater
66: substrate loading table
68: lifting pin
70: resin solution
72: oven rack
74: retention pin
76: aspiration furnace
78: center opening
80: tubular body
82: ring top surface
100: substrate transfer hand
102: contact member
104: no arm
106: elastic pin
108: air cylinder
110: piston
112: cylinder
114: opening
116: fixing pin
118: lifting device

Claims

A first pair of substrate supporting members arranged in parallel,
A driving unit for moving the first pair of substrate supporting members in parallel in a direction approaching and spaced apart from each other;
A second pair of substrate support members disposed in parallel in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the first pair of substrate support members;
The first pair of substrate support members and the second pair of substrate support members are coupled to each other, and the first pair of substrate support members is interlocked in parallel with the parallel movement of the first pair of substrate support members. The second pair of substrate support members are moved in parallel in a direction approaching each other, and the second pair of substrate support members is interlocked with the parallel movement of the first pair of substrate support members in the spaced apart direction. A parallel link member for moving the substrate support member in a direction spaced apart from each other;
A first holding portion provided in a plurality along the longitudinal direction of the first pair of substrate holding members and holding the edge portion of the lower surface of the substrate;
The second holding part which is provided in multiple numbers along the longitudinal direction of a said 2nd pair of board | substrate supporting member, and hold | maintains the edge part of the lower surface of a board | substrate.
A substrate transfer hand comprising a.

The method of claim 1,
The drive unit,
A guide member movably guiding the first pair of substrate supporting members in a direction approaching each other and a direction away from each other;
A driving source transferring power to the first pair of substrate supporting members to move in parallel in the direction of approaching each other and the direction of separation from each other;
Support member provided with the guide member and the drive source
A substrate transfer hand comprising a.

The method according to claim 1 or 2,
The said board | substrate conveyance hand with which the conveyance means which moves the said board | substrate conveyance hand from the receiving position of the said board | substrate to the receiving position is connected to the said drive part.

The method according to claim 1 or 2,
The said 1st holding part and the said 2nd holding part are the board | substrate conveyance hands provided with the adsorption member which carries out adsorption holding of the said board | substrate.

The method according to claim 1 or 2,
A resin liquid is applied to an upper surface of the substrate, and the edge portion of the lower surface of the substrate is held by the first holding portion and the second holding portion.

The method of claim 3,
The said conveyance part is a board | substrate conveyance hand provided with the contact member which contacts the lower surface of the said board | substrate.

The method of claim 6,
The said contact member is a board | substrate conveyance hand provided with the arm member extended from the said drive part, and the pin-shaped member provided in the said arm member and contacting the lower surface of the said board | substrate.

The method of claim 7, wherein
The said pin-shaped member is a board | substrate conveyance hand provided with the elevating means so that raising and lowering with respect to the arm member is possible.

The method of claim 7, wherein
The said arm member is a board | substrate conveyance hand provided with the lifting means so that raising / lowering is possible with respect to the said drive part.