KR20180077764A - Vacuum Robot - Google Patents

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KR20180077764A
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Korean (ko)
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김경수
김상현
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현대중공업지주 주식회사
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Abstract

The present invention provides a vacuum robot that can improve the accuracy of transportation of a substrate by adjusting the tension of a cable. The vacuum robot includes a plurality of hands supporting at least one of a substrate and a mask, an arm tube to which the hands are movably connected, a support supporting the arm tube, a rotating unit rotating the support, a lift moving the rotating unit up and down, a base to which the rotating unit is rotatably connected, a plurality of driving units connected to the arm tube to move the hands on the arm tube using a cable, and a cable tension adjustor connected to the hands to adjust the tension of the cable.

Description

진공로봇{Vacuum Robot}Vacuum Robot

본 발명은 진공영역에서 기판을 이송하기 위한 진공로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum robot for transferring a substrate in a vacuum region.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정은 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 제조공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 공정챔버는 복수개가 중앙에 위치한 진공로봇을 중심으로 정렬될 수 있다. 진공로봇은 복수개의 공정챔버로 기판을 이송하기 위한 것이다. 공정챔버들과 진공로봇의 일부는 기판이 이물질로 오염되는 것을 방지하도록 진공영역에 설치된다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. This manufacturing process is performed by using a substrate for manufacturing electronic parts. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. A plurality of process chambers can be aligned around a centered vacuum robot. The vacuum robot is for transferring substrates to a plurality of process chambers. The process chambers and a part of the vacuum robot are installed in the vacuum region to prevent contamination of the substrate with the foreign substance.

한편, 진공영역에서 기판을 이송하는 진공로봇은 슬라이더와 모터로 이루어져 기판을 지지하는 핸드를 이동시키는 슬라이더형, 다관절과 모터로 이루어져 핸드를 이동시키는 링크형, 및 케이블와 모터로 이루어져 핸드를 이동시키는 케이블형이 있다. 슬라이더형과 링크형은 케이블형에 비해 고가(高價)이고, 특히 링크형은 관절로 이루어져 있기 때문에 고중량의 마스크를 이송하는 경우 진동, 흔들림으로 인해 이송이 불안정한 문제가 있다. 이에 따라, 최근에는 케이블을 이용하여 기판을 이송하는 케이블형 진공로봇의 사용이 증가하는 추세이다.Meanwhile, a vacuum robot for transferring a substrate in a vacuum region is composed of a slider and a motor. The vacuum robot is composed of a slider type for moving a hand supporting a substrate, a link type for moving a hand consisting of a joint and a motor, There is a cable type. The slider type and the link type are expensive compared with the cable type. In particular, since the link type is composed of joints, there is a problem that the conveyance is unstable due to vibration and shaking when a mask of a high weight is transferred. Accordingly, in recent years, there has been an increasing tendency to use a cable-type vacuum robot for transferring a substrate using a cable.

종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 지지하는 핸드, 핸드에 결합되는 케이블, 케이블을 감거나 풀어 핸드를 이동시키기 위한 구동부, 핸드를 지지하는 받침부, 받침부를 회전시키기 위한 선회부, 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부로 구성된다. 여기서, 선회부, 받침부, 구동부 및 핸드는 진공영역에 설치된다.The vacuum robot according to the related art has a hand supporting a substrate, a cable coupled to a hand, a driving unit for moving a hand by winding or unwinding a cable, a support unit for supporting the hand, a swivel unit for rotating the support unit, As shown in Fig. Here, the swivel portion, the receiving portion, the driving portion, and the hand are installed in the vacuum region.

종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 이송하는 이송 시간이 증가할수록 케이블에 가해지는 장력으로 인해 케이블이 느슨해지는 문제가 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 로딩(Loading)하기 위한 로딩위치, 기판을 언로딩(Unloading)하기 위한 언로딩위치에 핸드를 정확하게 위치시키지 못하므로, 기판을 일부만 지지하거나 비뚤어지게 지지하는 등 기판 이송에 대한 정확성이 저하되는 문제가 있다.The vacuum robot according to the related art has a problem that the cable is loosened due to the tension applied to the cable as the transfer time for transferring the substrate increases. Accordingly, since the vacuum robot according to the related art can not correctly position the hand at a loading position for loading a substrate and an unloading position for unloading a substrate, There is a problem that the accuracy of the substrate transfer is deteriorated.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 케이블의 텐션을 조절하여 기판 이송에 대한 정확성을 향상시킬 수 있는 진공로봇을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum robot which can improve the accuracy of substrate transfer by controlling the tension of a cable.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 진공로봇은 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부; 상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브; 상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부; 상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부; 상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부; 상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부; 상기 암튜브에 결합되고, 케이블을 이용하여 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부; 및 상기 핸드부에 결합되고, 상기 구동부에 연결되는 케이블의 텐션(Tension)을 조절하기 위한 케이블텐션조절부를 포함할 수 있다.A vacuum robot according to the present invention includes: a plurality of hands for supporting at least one of a substrate and a mask; An arm tube to which the hand portions are movably engaged; A support for supporting the arm tube; A swivel portion for rotating the support portion; An elevating portion for elevating and lowering the turning portion; A base portion to which the pivot portion is rotatably coupled; A plurality of driving parts coupled to the arm tube for moving the hand parts on the arm tube using a cable; And a cable tension adjusting unit coupled to the hand unit and configured to adjust a tension of a cable connected to the driving unit.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 핸드부는 상기 암튜브에 결합되는 LM가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 LM블록을 포함하는 암캐리지를 포함할 수 있다. 상기 암캐리지는 상기 케이블텐션조절부가 삽입되기 위한 삽입공을 포함할 수 있다. 상기 케이블텐션조절부는 일부가 상기 삽입공을 기준으로 상기 케이블이 설치되는 제1영역과 반대되는 제2영역에 위치하도록 상기 삽입공에 삽입되어 상기 암캐리지에 의해 지지될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the hand unit may include an arm carriage including an LM block movably coupled to an LM guide rail coupled to the arm tube. The arm carriage may include an insertion hole into which the cable tension adjusting unit is inserted. The cable tension adjusting part may be inserted into the insertion hole so that the cable tension adjusting part is positioned in a second area opposite to the first area where the cable is installed with respect to the insertion hole, and may be supported by the arm carriage.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 케이블텐션조절부는 상기 케이블을 고정시키기 위한 고정부재, 및 일측이 상기 고정부재에 나사체결되고 타측이 상기 암캐리지에 지지되도록 상기 삽입공에 삽입되는 체결부재를 포함할 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the cable tension adjusting unit may include a fixing member for fixing the cable, and a fastening member inserted into the insertion hole so that one side is screwed to the fixing member and the other side is supported by the arm carriage .

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 체결부재는 시계방향으로 회전하여 상기 제2영역에서 상기 제1영역을 향하는 제1이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 단단하게 조절할 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the fastening member rotates in the clockwise direction to move the fixing member in the first moving direction in the second region toward the first region, thereby tightly controlling the tension of the cable .

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 체결부재는 반시계방향으로 회전하여 상기 제1이동방향과 반대되는 제2이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 느슨하게 조절할 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the fastening member may rotate in a counterclockwise direction to move the fixing member in a second moving direction opposite to the first moving direction, thereby loosely adjusting the tension of the cable.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 체결부재는 반시계방향으로 회전하여 상기 제2영역에서 상기 제1영역을 향하는 제1이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 단단하게 하고, 시계방향으로 회전하여 상기 제1이동방향과 반대되는 제2이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 느슨하게 조절할 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the fastening member rotates in the counterclockwise direction to move the fixing member in the first moving direction in the second region toward the first region, thereby tightening the tension of the cable, The fixing member may be rotated in a clockwise direction to move the fixing member in a second moving direction opposite to the first moving direction, thereby loosely adjusting the tension of the cable.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 핸드에 결합되는 케이블의 장력을 조절할 수 있도록 구현됨으로써, 핸드를 이송위치에 정확하게 위치시킬 수 있으므로 기판 이송에 대한 정확성이 저하되는 것을 방지하여 공정이 완료된 전자제품에 대한 불량률을 감소시킬 수 있다.The present invention is embodied to adjust the tension of a cable coupled to a hand so that the hand can be accurately positioned at the transfer position, thereby preventing the accuracy of the substrate transfer from being lowered, thereby reducing the defective rate of the completed electronic product have.

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 암캐리지를 설명하기 위한 핸드부의 개략적인 분해사시도
도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 케이블텐션조절부 및 삽입공을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 5는 본 발명에 따른 진공로봇에서 고정부재 및 체결부재를 설명하기 위한 도 4의 I-I선을 기준으로 한 단면도
도 6은 본 발명에 따른 진공로봇에서 체결부재가 케이블의 텐션을 조절하는 것을 설명하기 위한 도 5의 A부분의 개략적인 확대도1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention;
2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention.
3 is a schematic exploded perspective view of a hand part for explaining an arm carriage in a vacuum robot according to the present invention.
4 is a schematic perspective view for explaining a cable tension adjusting part and an insertion hole in a vacuum robot according to the present invention.
Fig. 5 is a cross-sectional view taken along the line II of Fig. 4 for explaining the fastening member and the fastening member in the vacuum robot according to the present invention
Fig. 6 is a schematic enlarged view of part A of Fig. 5 for explaining how the fastening member adjusts the tension of the cable in the vacuum robot according to the present invention

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 진공로봇에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a vacuum robot according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도, 도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 암캐리지를 설명하기 위한 핸드부의 개략적인 분해사시도, 도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 케이블텐션조절부 및 삽입공을 설명하기 위한 개략적인 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 진공로봇에서 고정부재 및 체결부재를 설명하기 위한 도 4의 I-I선을 기준으로 한 단면도, 도 6은 본 발명에 따른 진공로봇에서 체결부재가 케이블의 텐션을 조절하는 것을 설명하기 위한 도 5의 A부분의 개략적인 확대도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention, FIG. 2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic exploded view of a hand part for explaining an arm carriage in a vacuum robot according to the present invention. FIG. 4 is a schematic perspective view for explaining a cable tension adjusting part and an insertion hole in a vacuum robot according to the present invention. FIG. 5 is a sectional view of the vacuum robot according to the second embodiment of the present invention. Fig. 6 is a schematic enlarged view of a portion A in Fig. 5 for explaining how the fastening member adjusts the tension of the cable in the vacuum robot according to the present invention.

도 1 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 증착공정, 식각공정 등 다양한 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버로 기판 및 마스크를 이송하는데 있어서, 핸드부를 이동시키기 위한 케이블의 텐션(Tension)을 조절하기 위한 것이다.1 to 6, the vacuum robot 1 according to the present invention is used for transferring a substrate and a mask to a plurality of process chambers performing various processes such as a deposition process and an etching process, This is for adjusting the tension.

이를 위해, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 크게 핸드부(2), 암튜브(3), 지지부(4), 선회부(5), 승강부(6), 베이스부(7), 구동부(8) 및 케이블텐션조절부(9)를 포함한다.To this end, the vacuum robot 1 according to the present invention mainly includes a hand unit 2, an arm tube 3, a support unit 4, a swing unit 5, a lift unit 6, a base unit 7, (8) and a cable tension adjusting section (9).

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 또는 마스크가 먼지와 같은 이물질로 오염되는 것을 방지하기 위해 일부가 진공영역에 위치하도록 설치된다. 예컨대, 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 구동부(8), 및 상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 진공영역에 설치될 수 있다. 상기 진공영역은 공기(Air)가 제거된 챔버의 내부를 의미한다. 상기 진공영역에는 상기 챔버와 연결되게 설치되는 복수개의 공정챔버가 포함될 수 있다. 상기 승강부(6) 및 상기 베이스부(7)는 상기 진공영역이 아닌 대기영역에 설치될 수 있다. 상기 대기영역은 공기가 1기압으로 형성되는 대기압 영역을 의미한다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 진공영역에서 기판 또는 마스크를 이송함으로써, 기판 또는 마스크가 이물질로 오염되는 것을 방지할 수 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention is installed so that a part of the substrate or the mask is located in the vacuum region to prevent the substrate or the mask from being contaminated with foreign matter such as dust. For example, the hand unit 2, the arm tube 3, the supporting unit 4, the pivot unit 5, the driving unit 8, and the cable tension adjusting unit 9 are installed in the vacuum area . The vacuum region refers to the interior of the chamber from which the air is removed. The vacuum region may include a plurality of process chambers connected to the chamber. The elevating portion 6 and the base portion 7 may be installed in an atmospheric region other than the vacuum region. The atmospheric region means an atmospheric pressure region in which air is formed at 1 atm. The vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the substrate or the mask from being contaminated with foreign matter by transferring the substrate or the mask in the vacuum region.

이하에서는 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 승강부(6), 상기 베이스부(7), 상기 구동부(8) 및 상기 케이블텐션조절부(9)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the hand unit 2, the arm tube 3, the support unit 4, the pivot unit 5, the elevation unit 6, the base unit 7, the driving unit 8, The cable tension adjuster 9 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 핸드부(2)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 기판 및 상기 마스크는 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 상기 마스크(Mask)는 상기 기판에 비해 크기가 더 클 수 있다. 상기 마스크의 크기가 상기 기판의 크기보다 크므로, 기판을 지지하는 기판지지부재는 마스크를 지지하는 마스크지지부재 보다 내측에 위치하도록 상기 핸드부(2)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 복수개가 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)들은 Z축 방향(도 1에 도시됨)을 기준으로 상측 및 하측에 각각 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 핸드기구(21), 포크기구(22) 및 암캐리지(23)를 포함할 수 있다.1 to 6, the hand portion 2 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The substrate and the mask are for producing electronic components such as a display device, a solar cell, and a semiconductor device. The mask may be larger in size than the substrate. Since the size of the mask is larger than the size of the substrate, the substrate supporting member for supporting the substrate can be coupled to the hand portion 2 so as to be located inside the mask supporting member for supporting the mask. A plurality of the hand units 2 can be movably coupled to the arm tube 3. [ The hand portions 2 may be coupled to the arm tube 3 so as to be respectively located on the upper side and the lower side with respect to the Z-axis direction (shown in FIG. 1). The hand unit 2 may include a hand mechanism 21, a fork mechanism 22 and an arm carriage 23.

상기 핸드기구(21)는 상기 암캐리지(23)에 결합될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 Z축 방향을 기준으로 상기 암캐리지(23)의 상측에 위치하도록 상기 암캐리지(23)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)는 상기 암캐리지(23)에 의해 지지될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 암캐리지(23)에 결합될 수 있다. 상기 핸드기구(21)에는 복수개의 포크기구(22)가 결합될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 전체적으로 육각판형 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 암캐리지(23)에 지지되어 상기 포크기구(22)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 핸드기구(21)는 상기 암캐리지(23)가 상기 암튜브(3)의 상면에 설치되는 LM가이드레일(32, 도 3에 도시됨)을 따라 이동함으로써 상기 암튜브(3) 상에서 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)에 결합되는 포크기구(22)도 상기 암튜브(3) 상에서 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 상측에 위치하는 상측핸드부일 경우, Y축 방향의 단면이 'П'형태로 형성될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 하측에 위치하는 하측핸드부일 경우, Y축 방향의 단면이 'п'형태로 형성될 수 있다. 상기 하측핸드부는 상기 상측핸드부에 삽입될 수 있다.The hand mechanism 21 may be coupled to the arm carriage 23. The hand mechanism 21 may be coupled to the arm carriage 23 so as to be positioned above the arm carriage 23 with respect to the Z-axis direction. Accordingly, the hand mechanism 21 can be supported by the arm carriage 23. The hand mechanism 21 may be coupled to the arm carriage 23 by at least one of bolting, welding, and adhesive bonding. A plurality of fork mechanisms 22 may be coupled to the hand mechanism 21. The hand mechanism 21 may be formed in a hexagonal shape as a whole, but it is not limited thereto and may be formed in any other shape as long as it is supported by the arm carriage 23 and can support the fork mechanism 22. The hand mechanism 21 can move on the arm tube 3 by moving the arm carriage 23 along the LM guide rail 32 (shown in Fig. 3) provided on the upper surface of the arm tube 3 have. Accordingly, the fork mechanism 22 coupled to the hand mechanism 21 can also be moved on the arm tube 3. [ When the hand mechanism 21 is an upper hand part located on the upper side, a cross section in the Y-axis direction may be formed in a shape of 'P'. When the hand mechanism 21 is a lower hand unit located on the lower side, the cross section in the Y axis direction may be formed in the shape of 'п'. The lower hand part may be inserted into the upper hand part.

상기 포크기구(22)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 포크기구(22)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 포크기구(22)는 X축 방향을 향하도록 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 상기 포크기구(22)가 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 이송할 경우, 상기 기판 및 상기 마스크는 상기 포크기구(22)의 상면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)는 상기 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)는 복수개가 상기 핸드기구(21)에 서로 이격되게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 서로 이격되게 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 기판 및 마스크의 일측 및 타측을 각각 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)들에는 각각 기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 마스크를 지지하기 위한 마스크지지부재가 결합될 수 있다. 상기 기판지지부재는 상기 마스크지지부재의 내측에 위치하도록 상기 포크기구(22)에 결합될 수 있다. 상기 기판지지부재의 내측에는 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 미끄럼방지부재가 복수개 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 포크기구(22)에 상기 마스크지지부재와 상기 기판지지부재를 설치함으로써, 기판과 마스크 중 적어도 하나를 이송할 수 있다.The fork mechanism 22 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The fork mechanism 22 may be formed in the shape of a bar of a rectangular parallelepiped. The fork mechanism 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to face the X-axis direction. When the fork mechanism 22 transports at least one of the substrate and the mask, the substrate and the mask may be in contact with the upper surface of the fork mechanism 22. [ Accordingly, the fork mechanism 22 can support at least one of the substrate and the mask. A plurality of the fork mechanisms 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to be spaced apart from each other. For example, the fork mechanisms 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to be spaced apart from each other with respect to the Y-axis direction. Accordingly, the fork mechanisms 22 can support one side and the other side of the substrate and the mask with respect to the Y-axis direction, respectively. Each of the fork mechanisms 22 may be combined with a substrate supporting member for supporting the substrate and a mask supporting member for supporting the mask. The substrate support member may be coupled to the fork mechanism 22 to be located inside the mask support member. A plurality of anti-slip members may be provided inside the substrate support member to prevent the substrate from slipping. The vacuum robot 1 according to the present invention can transfer at least one of the substrate and the mask by providing the mask supporting member and the substrate supporting member in the fork mechanism 22. [

상기 암캐리지(23)는 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 암캐리지(23)는 상기 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합되는 LM블록을 포함하고, 상기 LM블록이 상기 암튜브(3)의 상면에 설치되는 LM가이드레일(32)을 따라 이동함으로써 상기 암튜브(3) 상에서 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)은 상기 암튜브(3)의 상면에 X축 방향(도 1에 도시됨)으로 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 암캐리지(23)는 X축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 암캐리지(23)는 X축 방향을 따라 전진방향(FD, 도 1에 도시됨) 또는 후퇴방향(BD, 도 1에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 암캐리지(23)가 이동함에 따라 상기 암캐리지(23)에 결합되는 핸드기구(21) 및 포크기구(22)도 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)은 복수개가 상기 암튜브(3)의 상면에서 Y축 방향(도 3에 도시됨)으로 서로 이격되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 암캐리지(23)는 Y축 방향을 기준으로 일측과 타측이 각각 상기 LM가이드레일(32)에 결합될 수 있다. 상기 암캐리지(23)는 케이블(10, 도 6에 도시됨)을 통해 상기 구동부(8)에 연결될 수 있다. 상기 암캐리지(23)는 상기 구동부(8)가 구동력을 발생시킴에 따라 상기 케이블(10)이 상기 구동부(8)에 설치되는 케이블드럼(미도시)에 감기거나 풀림으로써 전진방향(FD) 또는 후퇴방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 암캐리지(23)는 삽입공(231, 도 4에 도시됨)을 포함할 수 있다.The arm carriage 23 can be movably coupled to the arm tube 3. For example, the arm carriage 23 includes an LM block movably coupled to the LM guide rail 32, and the LM block includes an LM guide rail 32 mounted on the upper surface of the arm tube 3 And can move on the arm tube 3 by moving along. The LM guide rail 32 may be installed on the upper surface of the arm tube 3 in the X-axis direction (as shown in FIG. 1). Accordingly, the arm carriage 23 can move in the X-axis direction. The arm carriage 23 can move in the advancing direction FD (shown in Fig. 1) or the retracting direction BD (shown in Fig. 1) along the X-axis direction. As the arm carriage 23 moves, the hand mechanism 21 and the fork mechanism 22 coupled to the arm carriage 23 can also be moved. A plurality of the LM guide rails 32 may be spaced apart from each other in the Y-axis direction (as shown in FIG. 3) on the upper surface of the arm tube 3. Accordingly, the arm carriage 23 can be coupled to the LM guide rail 32 on one side and the other side with respect to the Y-axis direction. The arm carriage 23 may be connected to the driving unit 8 via a cable 10 (shown in FIG. 6). The arm carriage 23 is wound around a cable drum (not shown) provided in the driving unit 8 by pulling or loosening the cable 10 as the driving unit 8 generates a driving force, It is possible to move to the retreat direction BD. The arm carriage 23 may include an insertion hole 231 (shown in Fig. 4).

상기 삽입공(231)은 상기 케이블텐션조절부(9)가 삽입되기 위한 것이다. 상기 삽입공(231)은 상기 케이블텐션조절부(9)가 삽입되도록 상기 암캐리지(23)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 삽입공(231)은 X축 방향을 기준으로 상기 암캐리지(23)의 일측 또는 타측에 형성될 수 있다. 상기 삽입공(231)이 상기 암캐리지(23)의 일측에 형성될 경우, 상기 케이블(10)은 상기 암캐리지(23)의 타측을 통해 상기 구동부(8)의 케이블드럼에 결합될 수 있다. 상기 삽입공(231)이 상기 암캐리지(23)의 타측에 형성될 경우, 상기 케이블(10)은 상기 암캐리지(23)의 일측을 통해 상기 구동부(8)의 케이블드럼에 결합될 수 있다. 여기서, 상기 암캐리지(23)에서 상기 케이블(10)이 설치되는 영역을 제1영역(FA, 도 6에 도시됨)이라 한다. 상기 삽입공(231)을 기준으로 상기 제1영역(FA)과 반대되는 영역을 제2영역(SA, 도 6에 도시됨)이라 한다. 상기 제2영역(SA)에는 케이블(10)이 설치되지 않는 영역이다. 상기 삽입공(231)에는 상기 케이블텐션조절부(9)의 체결부재(92, 도 6에 도시됨)가 삽입될 수 있다. 이 경우, 상기 체결부재(92)의 일부는 상기 제2영역(SA)에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 케이블텐션조절부(9)는 일부가 상기 삽입공(231)에 삽입되어 상기 암캐리지(23)에 의해 지지될 수 있다.The insertion hole 231 is for inserting the cable tension adjusting portion 9. The insertion hole 231 may be formed through the arm carriage 23 so that the cable tension adjusting portion 9 is inserted. The insertion hole 231 may be formed on one side or the other side of the arm carriage 23 with reference to the X axis direction. When the insertion hole 231 is formed on one side of the arm carriage 23, the cable 10 can be coupled to the cable drum of the driving unit 8 through the other side of the arm carriage 23. When the insertion hole 231 is formed on the other side of the arm carriage 23, the cable 10 may be coupled to the cable drum of the driving unit 8 through one side of the arm carriage 23. Here, the area where the cable 10 is installed in the female carriage 23 is referred to as a first area (FA, shown in FIG. 6). An area opposite to the first area FA with respect to the insertion hole 231 is referred to as a second area SA (shown in FIG. 6). In the second area SA, the cable 10 is not provided. The fastening member 92 (shown in FIG. 6) of the cable tension adjusting part 9 may be inserted into the insertion hole 231. In this case, a part of the fastening member 92 may be located in the second area SA. Accordingly, a part of the cable tension adjuster 9 can be inserted into the insertion hole 231 and be supported by the arm carriage 23.

상기 암튜브(3)에는 상기 암캐리지(23)들이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)는 전체적으로 X축 방향으로 길이가 긴 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 암튜브(3)의 길이 방향을 따라 상기 암캐리지(23)들이 각각 이동하므로, 상기 암튜브(3)의 길이가 길수록 진공로봇(1)은 기판 및 마스크를 회전축(5a, 도 1에 도시됨)으로부터 더 멀리 위치된 공정챔버까지 이송할 수 있다. 상기 회전축(5a)은 선회부(5)가 회전하는 중심축을 의미한다. 상기 암튜브(3)에는 지지부(4) 및 구동부(8)가 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)의 하측에 결합되고, 상기 구동부(8)는 상기 암튜브(3)의 측면에 각각 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)는 본체(31) 및 LM가이드레일(32)를 포함할 수 있다.The arm carriage 23 may be movably coupled to the arm tube 3. The arm tube 3 may be formed as a rectangular parallelepiped having a long length in the X-axis direction as a whole. The arm carriage 23 moves along the longitudinal direction of the arm tube 3 so that the vacuum robot 1 can move the substrate and the mask to the rotating shaft 5a Lt; / RTI > to a further located process chamber. The rotating shaft 5a means a center axis on which the swivel unit 5 rotates. The support portion 4 and the driving portion 8 may be coupled to the arm tube 3. The supporting portion 4 is coupled to the lower side of the arm tube 3 and the driving portion 8 can be coupled to the side surface of the arm tube 3, respectively. The arm tube 3 may include a main body 31 and an LM guide rail 32.

상기 본체(31)는 상기 암캐리지(23)와 상기 지지부(4) 사이에 위치하도록 상기 암캐리지(23)와 상기 지지부(4)에 각각 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 암캐리지(23)의 LM블록(미도시)은 상기 본체(31)의 상면에 설치되는 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 본체(31)의 하면에 결합될 수 있다. 상기 본체의 상면은 Z축 방향을 기준으로 상측에 위치하는 상기 본체(31)의 일면이고, 상기 본체의 하면은 Z축 방향을 기준으로 상면보다 하측에 위치하는 상기 본체(31)의 타면이다. 이에 따라, 상기 본체(31)는 상기 암캐리지(23)와 상기 지지부(4)에 각각 결합될 수 있다. 상기 본체(31)는 상기 선회부(5)가 회전되는 회전축(5a)에 대해 수직한 방향으로 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)가 상기 선회부(5)에 의해 회전되면 상기 본체(31)의 끝단이 향하는 방향이 변동됨으로써, 상기 핸드부(2)의 방향이 변동될 수 있다. 상기 본체(31)는 전체적으로 X축 방향으로 길이가 긴 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(31)는 경량화를 위해 내부가 비어 있는 밀폐된 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(31)는 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)들을 지지할 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 본체(31)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 이송시키기 위한 케이블과 상기 구동부(8)의 일부가 설치될 수 있다. 상기 구동부(8)의 일부는 상기 케이블을 감거나 풀기 위한 케이블드럼(미도시)일 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블과 케이블드럼을 상기 본체(31)의 내측에 위치하도록 설치함으로써, 상기 핸드부(2)들을 이송시킬 경우에 발생하는 비산(飛散) 물질들이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크가 비산물질들로 오염되는 것을 방지함으로써, 기판 및 마스크에 대한 불량률을 감소시킬 수 있다.The main body 31 may be coupled to the arm carriage 23 and the support portion 4 so as to be positioned between the arm carriage 23 and the support portion 4, respectively. The LM block (not shown) of the arm carriage 23 may be movably coupled to the LM guide rail 32 provided on the upper surface of the main body 31. The support portion 4 may be coupled to a lower surface of the main body 31. The upper surface of the main body is one surface of the main body 31 positioned on the upper side with respect to the Z axis direction and the lower surface of the main body 31 is positioned on the lower side of the upper surface with reference to the Z axis direction. Accordingly, the main body 31 can be coupled to the arm carriage 23 and the support portion 4, respectively. The main body 31 may be installed in a direction perpendicular to the rotating shaft 5a on which the pivot portion 5 is rotated. Accordingly, when the support part 4 is rotated by the swivel part 5, the direction of the end of the main body 31 is changed, so that the direction of the hand part 2 can be changed. The main body 31 may be formed as a rectangular parallelepiped having a long overall length in the X-axis direction. The main body 31 may be formed in an airtight sealed form for light weight. The main body 31 may be made of a steel material but is not limited thereto and may be made of other materials as long as it can support the hand parts 2. A cable for transferring the hand unit 2 and a part of the driving unit 8 may be installed inside the main body 31. A part of the driving unit 8 may be a cable drum (not shown) for winding or unwinding the cable. The vacuum robot 1 according to the present invention is constructed such that the cable and the cable drum are disposed inside the main body 31 so that scattering materials generated when the hand parts 2 are transferred are transferred to the substrate and / It is possible to prevent movement toward the mask. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent contamination of the substrate and the mask with scattering materials, thereby reducing the defective rate of the substrate and the mask.

상기 LM가이드레일(32)은 상기 암캐리지(23)들을 이동시키기 위한 것이다. 상기 LM가이드레일(32)은 복수개가 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 상기 복수개의 LM가이드레일(32)은 X축 방향을 따라 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 또한, 상기 LM가이드레일(32)들은 Y축 방향으로 서로 이격되게 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 본체(31)의 상면에는 4개의 LM가이드레일(32)이 상기 본체(31)의 X축 방향을 따라 결합되되, 상기 본체(31)의 Y축 방향으로 서로 이격되게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 상측핸드부는 상기 본체(31)의 상면에서 Y축 방향을 기준으로 바깥쪽에 위치한 2개의 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 하측핸드부는 Y축 방향을 기준으로 상기 상측핸드부가 결합되는 LM가이드레일(32)들을 제외한 나머지 2개의 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 본체(31)의 X축 방향 길이와 동일한 길이로 형성되어 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 암캐리지(23)들이 X축 방향을 따라 상기 본체(31)의 끝단까지 이동하도록 할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 본체(31)의 폭에 서로 동일한 간격으로 이격되게 위치하도록 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 예컨대, 4개의 LM가이드레일(32) 중 2개의 LM가이드레일(32)은 Y축 방향을 기준으로 상기 본체(31)의 양 끝단에 위치하도록 상기 본체(31)의 상면에 결합되고, 나머지 2개의 LM가이드레일(32)은 상기 2개의 LM가이드레일(32) 사이에 동일한 간격으로 이격되도록 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 LM가이드레일(32)들은 Z축 방향에서 바라보았을 때 서로 평행하게 위치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 본체(31)의 상면에 서로 평행하게 위치하도록 상기 LM가이드레일(32)들을 배치시킴으로써, 상기 핸드부(2)들이 X축 방향을 따라 이동하는 경우 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않으며 상기 암캐리지(23)들을 이동시킬 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다.The LM guide rail 32 is for moving the arm carriages 23. A plurality of the LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31. The plurality of LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 along the X-axis direction. The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 so as to be spaced apart from each other in the Y-axis direction. For example, four LM guide rails 32 are coupled to the upper surface of the main body 31 along the X-axis direction of the main body 31, and may be spaced apart from each other in the Y-axis direction of the main body 31 . In this case, the upper hand portion may be movably coupled to two LM guide rails 32 positioned on the outer side with respect to the Y-axis direction on the upper surface of the main body 31. [ The lower hand part may be movably coupled to the other two LM guide rails 32 except for the LM guide rails 32 to which the upper hand part is coupled with respect to the Y axis direction. The LM guide rails 32 may be formed to have the same length as the X-axis direction of the main body 31 and may be coupled to the upper surface of the main body 31. Accordingly, the LM guide rails 32 can move the arm carriages 23 to the ends of the main body 31 along the X-axis direction. The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 such that the LM guide rails 32 are spaced apart from each other by an equal distance from the width of the main body 31. For example, two LM guide rails 32 of the four LM guide rails 32 are coupled to the upper surface of the main body 31 so as to be positioned at both ends of the main body 31 with respect to the Y-axis direction, The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 so as to be spaced equidistantly between the two LM guide rails 32. [ Accordingly, the LM guide rails 32 can be positioned parallel to each other when viewed from the Z-axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention is configured such that the LM guide rails 32 are disposed on the upper surface of the main body 31 so as to be parallel to each other, thereby moving the hand portions 2 along the X- It is possible to prevent interference with each other. The LM guide rails 32 may be formed of a steel material to increase rigidity, but the present invention is not limited thereto. The LM guide rails 32 may be formed of other materials as long as the arm carriages 23 can be moved. The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 by at least one of bolting, welding, and adhesive bonding.

상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지부(4)는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)에 비해 작은 크기로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질 등 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5) 사이에 위치하도록 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 각각 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)는 상기 선회부(5)에 지지되어 상기 암튜브(3)를 지지할 수 있다. 상기 지지부(4)는 X축 방향을 기준으로 상기 암튜브(3)의 가운데 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. Z축 방향을 기준으로 상기 지지부(4)의 아래에는 상기 선회부(5) 및 상기 베이스(7)가 순차적으로 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)의 하면에 결합되고, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 선회부(5)를 중심으로 무게중심이 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지부(4)의 내부에는 전원을 공급하기 위한 전원케이블, 신호를 송수신하기 위한 신호케이블 등이 설치될 수 있다. 상기 지지부(4)는 내부의 이물질이 상기 지지부(4)의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해 밀폐된 구조로 형성될 수 있다.The support part (4) is for supporting the arm tube (3). The support portion 4 may be formed in a rectangular plate shape. The supporting portion 4 may be formed to have a smaller size than the arm tube 3. The support portion 4 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, but it is not limited thereto and may be made of other materials such as steel to enhance rigidity. The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 and the swivel part 5 so as to be positioned between the arm tube 3 and the swivel part 5. The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 and the swivel part 5 by at least one of a bolt connection, a welding connection and an adhesive connection. Accordingly, the support portion 4 can be supported by the swivel portion 5 to support the arm tube 3. The support portion 4 may be coupled to the arm tube 3 such that the support portion 4 is positioned at the center of the arm tube 3 with respect to the X-axis direction. The swivel unit 5 and the base 7 may be sequentially positioned below the support unit 4 with respect to the Z-axis direction. The swivel part 5 may be coupled to the lower surface of the support part 4 and the swivel part 5 may be coupled to the base part 7. Accordingly, the center of gravity of the vacuum robot 1 according to the present invention may be centered around the swivel portion 5. Although not shown, a power cable for supplying power, a signal cable for transmitting and receiving signals, and the like may be installed inside the support part 4. The support portion 4 may be formed in a closed structure to prevent foreign matter from flowing out to the outside of the support portion 4.

상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 선회부(5)는 상기 핸드부(2)들이 향하는 방향이 변경되도록 상기 지지부(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(5)는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 선회부(5)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질 등 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 선회부(5)는 Z축 방향을 기준으로 일측이 상기 지지부(4)에 결합되고, 타측이 상기 베이스부(7)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 선회부(5)는 모터와 같은 구동장치에 의해 상기 베이스부(7)에 결합된 상태에서 회전축(5a, 도 1에 도시됨)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)에 결합되는 지지부(4), 상기 지지부(4)에 결합되는 암튜브(3), 상기 암튜브(3)에 결합되는 핸드부(2)는 상기 회전축(5a)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 상기 회전축(5a)은 바닥에 대해 수직한 방향일 수 있다.The swivel part (5) is for rotating the support part (4). The swivel part 5 may rotate the support part 4 so that the direction of the hand parts 2 is changed. The pivot portion 5 may be formed in a cylindrical shape. The swivel unit 5 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, but may be made of other materials such as steel to enhance rigidity. One end of the swivel part 5 is coupled to the support part 4 with respect to the Z-axis direction, and the other end of the swivel part 5 is rotatably coupled to the base part 7. The swivel unit 5 may be rotated clockwise or counterclockwise about a rotary shaft 5a (shown in FIG. 1) while being coupled to the base unit 7 by a driving device such as a motor. Thus, the support portion 4 coupled to the swivel portion 5, the arm tube 3 coupled to the support portion 4, and the hand portion 2 coupled to the arm tube 3 are connected to the rotation shaft 5a In a clockwise or counterclockwise direction. The rotating shaft 5a may be in a direction perpendicular to the floor.

상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)를 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 위치하도록 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있으면 다른 위치에 설치될 수도 있다. 상기 승강부(6)가 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 설치될 경우, 상기 승강부(6)는 상기 베이스부(7)에 지지되어 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 Z축 방향을 기준으로 상기 선회부(5)를 상측방향 또는 하측방향으로 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 선회부(5)를 상하 방향으로 승강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)에 결합되는 지지부(4), 암튜브(3) 및 핸드부(2)도 상하 방향으로 승강될 수 있다.The elevating portion 6 is for elevating the elevating portion 5. The elevating portion 6 may be installed to be positioned between the swivel portion 5 and the base portion 7 but is not limited thereto and may be installed at other positions have. When the elevating portion 6 is provided between the swivel portion 5 and the base portion 7, the elevating portion 6 is supported by the base portion 7 to lift the swivel portion 5 . The elevating part 6 can elevate the swivel part 5 upward or downward with respect to the Z-axis direction. The elevating portion 6 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, System, a linear motor using a coil and a permanent magnet, etc., can be used to raise and lower the swivel unit 5 in the vertical direction. Accordingly, the support portion 4, the arm tube 3, and the hand portion 2, which are coupled to the swivel portion 5, can also be raised and lowered in the vertical direction.

상기 베이스부(7)에는 상기 선회부(5)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 결합된 상태에서 회전축(5a)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 설치되어 고정될 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 지지되어 상기 선회부(5), 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 및 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 전체적으로 내부가 비어 있는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 베이스부(7)의 내부에는 상기 선회부(5)를 회전시키기 위한 구동장치, 및 상기 승강부(6)가 설치될 수 있다. 상기 베이스부(7)의 내부에는 상기 구동부(8)를 제어하기 위한 제어부, 상기 구동부(8)와 상기 제어부를 연결하는 다양한 전선 등이 설치될 수도 있다. 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)에 비해 큰 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)가 상기 승강부(6)에 의해 상하 방향으로 승강하여도 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)를 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 선회부(5)가 상하 방향으로 승강하면, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 삽입되거나 상기 베이스부(7)로부터 돌출될 수 있다.The swivel part (5) is rotatably coupled to the base part (7). The swivel part 5 can rotate about the rotary shaft 5a in a state of being coupled to the base part 7. [ The base portion 7 may be installed on the floor and fixed. The base part 7 is supported on the floor and can support the swivel part 5, the support part 4, the arm tube 3, and the hand part 2. The base portion 7 may be formed in a cylindrical shape having an empty interior as a whole. A driving device for rotating the swivel part 5 and the elevating part 6 may be installed in the base part 7. A control unit for controlling the driving unit 8 and various wires for connecting the driving unit 8 and the control unit may be installed in the base unit 7. The base portion 7 may be formed to have a larger diameter than the swivel portion 5. Accordingly, even if the swivel part 5 is lifted up and down by the elevating part 6, the base part 7 can stably support the swivel part 5. [ The swivel part 5 may be inserted into the base part 7 or protrude from the base part 7 when the swivel part 5 is lifted up and down.

상기 구동부(8)는 상기 핸드부(2)들을 상기 암튜브(3) 상에서 이동시키기 위한 것이다. 상기 핸드부(2)가 복수개일 경우, 상기 구동부(8)는 복수개가 각각 하나의 핸드부(2)를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 핸드부(2)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)는 2개일 수 있다. 상기 구동부(8)들은 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 암튜브(3)에 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 모터, 케이블드럼, 모터케이스를 포함할 수 있다. 상기 모터는 상기 케이블드럼을 회전시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 케이블드럼은 케이블(10)을 통해 상기 케이블텐션조절부(9)에 연결될 수 있다. 상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 암캐리지(23)에 결합되므로, 결과적으로 상기 케이블드럼은 케이블(10)을 통해 상기 암캐리지(23)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 모터가 상기 케이블드럼을 회전시키면, 상기 암캐리지(23)에 연결된 케이블(10)이 상기 케이블드럼에 감기거나 풀림으로써 상기 암캐리지(23)가 LM가이드레일(32)을 따라 전진방향(FD) 또는 후퇴방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 모터케이스는 상기 모터 회전시 발생되는 이물질이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 모터케이스는 상기 모터의 외측에서 상기 모터를 감싸도록 설치됨으로써, 외부로 이물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 모터를 제어하기 위한 엔코더를 더 포함할 수 있다. 상기 엔코더에 전원을 공급하기 위한 배터리는 대기영역에 설치되는 베이스부(7)의 내부에 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 베이스부(7)가 진공영역이 아닌 대기영역에 설치되므로, 배터리 교체에 대한 용이성을 확보할 수 있다. 상기 구동부(8)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)들은 회전축(5a)을 중심으로 대칭되는 위치에 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이 경우, 각 구동부(8)의 케이블드럼은 상기 암튜브(3)의 내측에서 서로 마주보게 위치될 수 있다. 상기 구동부(8)들은 X축 방향을 기준으로 상기 회전축(5a) 또는 상기 회전축(5a)에 근접한 근접위치에 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 전체적인 무게중심을 상기 회전축(5a) 또는 상기 회전축(5a)에 근접한 위치에 형성시킴으로써, 상기 구동부(8)들이 상기 회전축(5a)으로부터 이격된 위치에 설치되는 경우에 비해 무게중심이 편심되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크 이송 시 편심된 무게중심으로 인해 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 상기 핸드부(2) 중 적어도 하나가 기울어져 기판 및 마스크가 낙상하여 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The driving unit 8 is for moving the hand units 2 on the arm tube 3. When a plurality of the hand parts 2 are provided, a plurality of the driving parts 8 can move one hand part 2, respectively. For example, when the hand unit 2 is two, the number of the driving units 8 may be two. The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3. The driving unit 8 may be coupled to the arm tube 3 by at least one of bolt coupling, welding coupling, and adhesive coupling. The driving unit 8 may include a motor, a cable drum, and a motor case. The motor generates a driving force for rotating the cable drum. The cable drum may be connected to the cable tension adjuster 9 via a cable 10. The cable tension adjuster 9 is coupled to the arm carriage 23 so that the cable drum can be connected to the arm carriage 23 via the cable 10. Thus, when the motor rotates the cable drum, the cable 10 connected to the arm carriage 23 is wound or unwound on the cable drum so that the arm carriage 23 advances along the LM guide rail 32 Direction FD or the retraction direction BD. The motor case is for preventing foreign substances generated during rotation of the motor from moving toward the substrate and the mask. The motor case is installed to surround the motor on the outside of the motor, thereby preventing foreign matter from leaking to the outside. The driving unit 8 may further include an encoder for controlling the motor. The battery for supplying power to the encoder may be installed inside the base unit 7 installed in the waiting area. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention is provided in the waiting area, not in the vacuum area, so that the ease of replacement of the battery can be ensured. When the number of the driving units 8 is two, the driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 so as to be positioned symmetrically with respect to the rotation axis 5a. In this case, the cable drums of the respective driving portions 8 can be positioned so as to face each other on the inner side of the arm tube 3. The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 such that the driving units 8 are located at a position close to the rotation axis 5a or the rotation axis 5a with reference to the X axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention has the entire center of gravity at a position close to the rotation axis 5a or the rotation axis 5a, so that the driving units 8 are positioned at positions spaced apart from the rotation axis 5a It is possible to prevent the center of gravity from being eccentric as compared with the case where the center of gravity is provided at the center. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention has a structure in which at least one of the support portion 4, the arm tube 3, and the hand portion 2 is inclined due to the eccentric center of gravity when the substrate and the mask are transferred, It is possible to prevent the mask from falling and being damaged or broken.

상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 케이블드럼에 연결되는 케이블(10)의 텐션(Tension)을 조절하기 위한 것이다. 상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 암캐리지(23)에 지지되어 상기 케이블(10)의 텐션을 조절할 수 있다. 상기 케이블텐션조절부(9)는 일부가 상기 암캐리지(23)에 형성된 삽입공(231)에 삽입됨으로써, 상기 암캐리지(23)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 케이블텐션조절부(9)의 일부는 상기 제2영역(SA)에 위치될 수 있다. 상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 삽입공(231)에 삽입된 상태에서 상기 암캐리지(23)에 지지되어 상기 케이블(10)을 제2영역(SA)에서 제1영역(FA)을 향하는 제1이동방향(FMD, 도 6에 도시됨)으로 이동시키거나 상기 제1이동방향(FMD)과 반대되는 제2이동방향(SMD, 도 6에 도시됨)으로 이동시킴으로써 상기 케이블(10)의 텐션을 조절할 수 있다. 예컨대, 상기 케이블텐션조절부(9)가 상기 케이블(10)을 제1이동방향(FMD)으로 이동시키면, 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 할 수 있다. 상기 케이블텐션조절부(9)가 상기 케이블(10)을 제2이동방향(SMD)으로 이동시키면, 상기 케이블(10)의 텐션을 느슨하게 할 수 있다. 상기 케이블텐션조절부(9)는 상기 케이블(10)을 제1이동방향(FMD) 또는 제2이동방향(SMD)로 이동시키기 위해 고정부재(91) 및 체결부재(92)를 포함할 수 있다.The cable tension adjusting unit 9 is for adjusting a tension of the cable 10 connected to the cable drum. The cable tension adjuster 9 is supported by the arm carriage 23 to adjust the tension of the cable 10. A part of the cable tension adjusting part 9 may be coupled to the arm carriage 23 by being inserted into an insertion hole 231 formed in the arm carriage 23. In this case, a part of the cable tension adjusting part 9 may be located in the second area SA. The cable tension adjusting unit 9 is supported by the arm carriage 23 while being inserted into the insertion hole 231 so that the cable 10 is moved from the second area SA toward the first area FA Is moved to a first movement direction (FMD, shown in FIG. 6) or to a second movement direction (SMD, shown in FIG. 6) opposite to the first movement direction FMD, Tension can be adjusted. For example, when the cable tension adjusting unit 9 moves the cable 10 in the first moving direction FMD, the tension of the cable 10 can be made hard. When the cable tension adjusting unit 9 moves the cable 10 in the second moving direction SMD, the tension of the cable 10 can be loosened. The cable tension adjusting portion 9 may include a fixing member 91 and a fastening member 92 for moving the cable 10 in a first moving direction FMD or a second moving direction SMD .

상기 고정부재(91)는 상기 케이블(10)을 고정시키기 위한 것이다. 상기 고정부재(91)는 상기 케이블드럼에 결합되는 케이블(10)의 일측과 반대되는 케이블(10)의 타측을 고정시킬 수 있다. 상기 고정부재(91)는 상기 케이블(10)의 타측을 집는 집게부재가 상기 고정부재(91)를 기준으로 제2이동방향(SMD)으로 이동하지 못하도록 상기 집게부재를 지지함으로써, 상기 케이블(10)의 타측을 고정시킬 수 있다. 상기 고정부재(91)는 상기 케이블(10)이 제1영역(FA)에 위치할 경우, 상기 집게부재가 제1이동방향(FMD)로 이동하지 못하도록 지지함으로써, 상기 케이블(10)을 고정시킬 수도 있다. 상기 고정부재(91)는 상기 집게부재를 결합시킴으로써, 상기 케이블(10)을 고정시킬 수도 있다. 상기 고정부재(91)는 상기 집게부재를 통하지 않고 상기 케이블(10)의 타측을 직접 집도록 구현됨으로써, 상기 케이블(10)의 타측을 고정시킬 수도 있다. 상기 고정부재(91)에는 Z축 방향을 기준으로 상기 케이블(10)이 고정된 위치보다 상측으로 이격된 위치에 상기 체결부재(92)가 나사체결될 수 있다. 이에 따라, 상기 고정부재(91)는 상기 체결부재(92)가 회전하면, 제1이동방향(FMD) 또는 제2이동방향(SMD)으로 이동할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 고정부재(91)를 제1이동방향(FMD) 또는 제2이동방향(SMD)으로 이동시킴으로써, 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 하거나 느슨하게 조절할 수 있다. 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 한다는 것은 상기 고정부재(91)와 상기 케이블드럼을 연결하는 케이블(10)을 팽팽하게 한다는 것을 의미한다. 상기 케이블(10)이 팽팽하면, 느슨한 경우에 비해 상기 구동부(8)가 구동력을 발생시킴과 동시에 상기 케이블(10)이 케이블드럼에 즉각적으로 감기거나 풀림으로써 상기 암캐리지(23)를 신속하게 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 케이블(10)이 팽팽하면, 느슨한 경우에 비해 상기 암캐리지(23)를 상기 LM가이드레일(32) 상에서 정확한 위치에 위치시킬 수 있으므로 상기 포크기구(22)를 기설정된 정확한 위치에 위치시켜 기판을 로딩(Loading)하거나 언로딩(Unloading)할 수 있다. 상기 기설정된 정확한 위치는 최초에 작업자에 의해 설정된 상기 포크기구(22)가 기판을 로딩하는 로딩위치 및 언로딩하는 언로딩위치를 의미한다. 상기 케이블(10)의 텐션이 느슨하면, 상기 기설정된 정확한 위치에 상기 포크기구(22)를 위치시킬 수 없으므로 기판을 비뚤어지게 지지하거나 기판의 일부만을 지지하므로 기판을 떨어뜨리는 등 기판에 대한 안전한 이송이 어려운 문제가 있다. 또한, 기판을 비뚤어지게 지지하면 언로딩되는 기판의 위치가 비뚤어지므로 기판에 대한 공정이 정확하게 이루어지지 않아 기판의 불량률이 증대되는 문제가 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 조절함으로써, 상기 포크기구(22)의 위치를 기설정된 정확한 위치에 위치시켜 기판 이송에 대한 안전성 및 정확성이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블(10)이 너무 팽팽할 경우에는 상기 케이블(10)의 텐션을 느슨하게 조절함으로써, 상기 케이블(10)이 절단되는 것을 방지할 수도 있다.The fixing member 91 is for fixing the cable 10. The fixing member 91 can fix the other side of the cable 10 opposite to one side of the cable 10 coupled to the cable drum. The fixing member 91 supports the clamping member such that the clamping member for gripping the other side of the cable 10 can not move in the second moving direction SMD with respect to the fixing member 91, Can be fixed. The fixing member 91 supports the cable 10 so as not to move in the first movement direction FMD when the cable 10 is positioned in the first area FA, It is possible. The fixing member 91 may fix the cable 10 by engaging the clamping member. The other end of the cable 10 may be fixed by being fixed to the other end of the cable 10 without passing through the clamping member. The fastening member 92 can be screwed to the fixing member 91 at a position spaced upward from the position where the cable 10 is fixed with respect to the Z-axis direction. Accordingly, the fixing member 91 can move in the first movement direction FMD or the second movement direction SMD when the fastening member 92 rotates. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention moves the fixing member 91 in the first movement direction FMD or the second movement direction SMD, thereby tightening or loosening the tension of the cable 10 Can be adjusted. The tightening of the tension of the cable 10 means that the cable 10 connecting the fixing member 91 and the cable drum is tightened. When the cable 10 is tightened, the driving unit 8 generates a driving force as compared with a case where the cable 10 is loosened, and the cable 10 is immediately wound or unwound on the cable drum to rapidly move the arm carriage 23 . Further, when the cable 10 is tightened, the arm carriage 23 can be positioned at an accurate position on the LM guide rail 32 as compared with a case where the cable 10 is loosened, so that the fork mechanism 22 can be positioned The substrate can be loaded or unloaded. The predetermined precise position means the loading position at which the fork mechanism 22 initially set by the operator loads the substrate and the unloading position at which the fork mechanism 22 unloads the substrate. If the tension of the cable 10 is loose, the fork mechanism 22 can not be positioned at the precisely predetermined position. Therefore, since the substrate is supported in a skewed manner or only a part of the substrate is supported, the substrate can be safely transported This is a difficult problem. In addition, if the substrate is supported in a skewed manner, the position of the unloaded substrate is skewed, so that the process for the substrate is not accurately performed, thereby increasing the defect rate of the substrate. The vacuum robot 1 according to the present invention can securely position the position of the fork mechanism 22 at a predetermined accurate position by tightly controlling the tension of the cable 10, . The vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the cable 10 from being cut by loosely adjusting the tension of the cable 10 when the cable 10 is too tight.

상기 체결부재(92)는 상기 고정부재(91)를 이동시키기 위한 것이다. 상기 체결부재(92)는 일측이 상기 고정부재(91)에 나사체결되고, 타측이 상기 암캐리지(23)에 지지되도록 상기 삽입공(231)에 삽입될 수 있다. 상기 체결부재(92)는 상기 암캐리지(23)에 지지된 상태에서 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써, 나사체결된 상기 고정부재(91)를 제1이동방향(FMD) 또는 제2이동방향(SMD)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 고정부재(91)에 의해 고정된 케이블(10)도 제1이동방향(FMD) 또는 제2이동방향(SMD)으로 이동됨으로써, 상기 케이블(10)의 텐션이 단단해지거나 느슨해질 수 있다. 상기 체결부재(92)는 볼트일 수 있다. 상기 체결부재(92)는 상기 삽입공(231)을 기준으로 육각형태의 머리부분이 제1영역(FA)에 위치하고, 나사산이 형성된 몸통부분이 제2영역(SA)에 위치될 수 있다. 상기 고정부재(91)는 상기 제2영역(SA)에 위치된 몸통부분에 나사체결될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 제1영역(FA)에 위치하는 머리부분을 회전시켜 상기 몸통부분을 회전시킴으로써, 나사산을 따라 상기 고정부재(91)를 이동시킬 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 외부에 노출되는 제1영역(FA)에서 상기 체결부재(92)를 회전시킬 수 있도록 구현됨으로써, 상기 암캐리지(23)를 상기 암튜브(3)로부터 분리시키지 않고도 상기 케이블(10)의 텐션을 용이하게 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블(10)의 텐션을 조절하는 시간을 단축시킬 수 있으므로, 기판 이송 시간이 증대되는 것을 최소화시켜 기판에 대한 제조공정이 지연되는 것을 방지할 수 있다.The fastening member 92 is for moving the fixing member 91. The fastening member 92 may be inserted into the insertion hole 231 such that one side of the fastening member 92 is screwed to the fixing member 91 and the other side thereof is supported by the arm carriage 23. The fastening member 92 rotates in a clockwise or counterclockwise direction while being supported by the arm carriage 23 so that the fastening member 91 is rotated in the first moving direction FMD or the second moving direction (SMD). The cable 10 fixed by the fixing member 91 is also moved in the first movement direction FMD or the second movement direction SMD so that the tension of the cable 10 can be tightened or loosened have. The fastening member 92 may be a bolt. The hexagonal head portion may be located in the first region FA and the threaded body portion may be located in the second region SA with respect to the insertion hole 231. The fixing member 91 may be screwed to the body portion located in the second area SA. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can move the fixing member 91 along the threads by rotating the head portion located in the first region FA to rotate the body portion. The vacuum robot 1 according to the present invention is configured to rotate the fastening member 92 in the first area FA exposed to the outside so that the arm carriage 23 is separated from the arm tube 3 The tension of the cable 10 can be easily adjusted. Therefore, since the vacuum robot 1 according to the present invention can shorten the time for adjusting the tension of the cable 10, it is possible to minimize the increase in the substrate transfer time, have.

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 체결부재(92)를 시계방향으로 회전시켜 상기 고정부재(91)를 제1이동방향(FMD)으로 이동시킴으로써, 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 포크기구(22)를 신속하게 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 포크기구(22)를 기설정된 정확한 위치에 위치시킴으로써, 기판 이송에 대한 안전성 및 정확성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention can secure the tension of the cable 10 by moving the fastening member 91 in the first moving direction FMD by rotating the fastening member 92 in the clockwise direction Can be adjusted. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention not only can quickly move the fork mechanism 22 but also places the fork mechanism 22 at a predetermined precise position, Can be prevented from being lowered.

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 체결부재(92)를 반시계방향으로 회전시켜 상기 고정부재(91)를 제2이동방향(SMD)으로 이동시킴으로써, 상기 케이블(10)의 텐션을 느슨하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 갑작스런 이동 시에도 상기 케이블(10)에 걸리는 부하를 감소시킴으로써, 상기 케이블(10)이 절단되는 것을 방지하여 상기 케이블(10)에 대한 사용수명을 연장시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 이송에 대한 전체적인 유지보수 비용 및 교체 비용을 절감할 수 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention loosens the tension of the cable 10 by moving the fastening member 91 in the second moving direction SMD by rotating the fastening member 92 counterclockwise Can be adjusted. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the cable 10 from being cut by reducing the load applied to the cable 10 even when the robot 10 is suddenly moved, thereby reducing the service life of the cable 10 Can be extended. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention can reduce the overall maintenance cost and replacement cost for the substrate transfer.

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 체결부재(92)를 반시계방향으로 회전시켜 상기 고정부재(91)를 제1이동방향(FMD)으로 이동시켜 상기 케이블(10)의 텐션을 단단하게 조절하고, 상기 체결부재(92)를 시계방향으로 회전시켜 상기 고정부재(91)를 제2이동방향(SMD)으로 이동시켜 상기 케이블(10)의 텐션을 느슨하게 조절할 수도 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention rotates the coupling member 92 in the counterclockwise direction to move the fixing member 91 in the first moving direction FMD to firmly tension the cable 10 And the fixing member 91 may be moved in the second moving direction SMD by rotating the fastening member 92 in the clockwise direction to loosely adjust the tension of the cable 10. [

도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 진공로봇(1)에 있어서 상측핸드부와 하측핸드부는 각각 2개의 암캐리지(23)를 포함하고, 상기 암캐리지(23)들에는 각각 케이블(10)의 텐션을 조절하기 위한 케이블텐션조절부(9)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 상측핸드부가 상기 하측핸드부에 비해 크거나 무거울 경우 상기 상측핸드부는 상기 하측핸드부에 비해 더 많은 개수의 케이블(10)에 의해 이동될 수 있다. 예컨대, 상기 상측핸드부는 2개의 케이블(10)에 의해 이동되고, 상기 하측핸드부는 1개의 케이블(10)에 의해 이동될 수 있다. 상기 상측핸드부에 연결되는 2개의 케이블(10)은 1개의 케이블드럼 또는 2개의 케이블드럼에 각각 감기거나 풀릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 암캐리지(23) 또는 상기 핸드기구(21)의 크기 및 중량에 따라 케이블(10) 및 케이블드럼의 개수를 달리함으로써, 상기 포크기구(22)의 이동에 대한 신속성과 정확성을 높여 전체적인 기판 이송 시간이 지연되는 것을 방지할 수 있다.Although not shown, in the vacuum robot 1 according to the present invention, the upper hand portion and the lower hand portion each include two arm carriages 23, and the arm carriages 23 are each provided with a tension of the cable 10 A cable tension adjusting unit 9 for adjusting the cable tension can be installed. Here, when the upper hand portion is larger or heavier than the lower hand portion, the upper hand portion can be moved by a greater number of cables 10 than the lower hand portion. For example, the upper hand portion may be moved by two cables 10, and the lower hand portion may be moved by a single cable 10. The two cables 10 connected to the upper hand portion can be wound or unwound on one cable drum or two cable drums, respectively. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention is capable of changing the number of the cables 10 and the cable drums according to the size and weight of the arm carriage 23 or the hand mechanism 21, It is possible to prevent the delay of the overall substrate transfer time from being delayed.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

1 : 진공로봇
2 : 핸드부 3 : 암튜브
4 : 지지부 5 : 선회부
6 : 승강부 7 : 베이스부
8 : 구동부 9 : 케이블텐션조절부
21 : 핸드기구 22 : 포크기구
23 : 암캐리지 31 : 본체
32 : LM가이드레일 91 : 고정부재
92 : 체결부재 231 : 삽입공1: Vacuum robot
2: hand part 3: female tube
4: Support part 5:
6: elevating part 7: base part
8: Driving part 9: Cable tension adjusting part
21: hand mechanism 22: fork mechanism
23: female carriage 31: body
32: LM guide rail 91: Fixing member
92: fastening member 231: insertion hole

Claims (6)

기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부;
상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브;
상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부;
상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부;
상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부;
상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부;
상기 암튜브에 결합되고, 케이블을 이용하여 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부; 및
상기 핸드부에 결합되고, 상기 구동부에 연결되는 케이블의 텐션(Tension)을 조절하기 위한 케이블텐션조절부를 포함하는 진공로봇.A plurality of hands for supporting at least one of a substrate and a mask;
An arm tube to which the hand portions are movably engaged;
A support for supporting the arm tube;
A swivel portion for rotating the support portion;
An elevating portion for elevating and lowering the turning portion;
A base portion to which the pivot portion is rotatably coupled;
A plurality of driving parts coupled to the arm tube for moving the hand parts on the arm tube using a cable; And
And a cable tension adjusting unit coupled to the hand unit and configured to adjust a tension of a cable connected to the driving unit. 제1항에 있어서,
상기 핸드부는 상기 암튜브에 결합되는 LM가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 LM블록을 포함하는 암캐리지를 포함하고,
상기 암캐리지는 상기 케이블텐션조절부가 삽입되기 위한 삽입공을 포함하며,
상기 케이블텐션조절부는 일부가 상기 삽입공을 기준으로 상기 케이블이 설치되는 제1영역과 반대되는 제2영역에 위치하도록 상기 삽입공에 삽입되어 상기 암캐리지에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method according to claim 1,
Wherein the hand portion includes an arm carriage including an LM block movably coupled to an LM guide rail coupled to the arm tube,
Wherein the arm carriage includes an insertion hole into which the cable tension adjusting portion is inserted,
Wherein the cable tension adjusting part is inserted into the insertion hole and is supported by the arm carriage so that the cable tension adjusting part is positioned in a second area opposite to the first area where the cable is installed with respect to the insertion hole. 제2항에 있어서, 상기 케이블텐션조절부는
상기 케이블을 고정시키기 위한 고정부재; 및
일측이 상기 고정부재에 나사체결되고, 타측이 상기 암캐리지에 지지되도록 상기 삽입공에 삽입되는 체결부재를 포함하는 진공로봇.The apparatus of claim 2, wherein the cable tension adjuster
A fixing member for fixing the cable; And
And a fastening member inserted into the insertion hole so that one side is screwed to the fixing member and the other side is supported by the female carriage. 제3항에 있어서,
상기 체결부재는 시계방향으로 회전하여 상기 제2영역에서 상기 제1영역을 향하는 제1이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 단단하게 조절하는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method of claim 3,
Wherein the fastening member rotates in a clockwise direction to move the fixing member in a first moving direction in the second region toward the first region, thereby tightly controlling the tension of the cable. 제4항에 있어서,
상기 체결부재는 반시계방향으로 회전하여 상기 제1이동방향과 반대되는 제2이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 느슨하게 조절하는 것을 특징으로 하는 진공로봇.5. The method of claim 4,
Wherein the fastening member rotates in a counterclockwise direction to move the fixing member in a second moving direction opposite to the first moving direction to loosely adjust the tension of the cable. 제3항에 있어서,
상기 체결부재는 반시계방향으로 회전하여 상기 제2영역에서 상기 제1영역을 향하는 제1이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 단단하게 하고, 시계방향으로 회전하여 상기 제1이동방향과 반대되는 제2이동방향으로 상기 고정부재를 이동시켜서 상기 케이블의 텐션을 느슨하게 조절하는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method of claim 3,
The fastening member rotates in a counterclockwise direction to move the fixing member in a first moving direction in the second region toward the first region to make the tension of the cable hard, And the tension member is loosely adjusted by moving the fixing member in a second movement direction opposite to the direction of movement of the cable.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115744265A (en) * 2022-12-15 2023-03-07 无锡爱尔华光电科技有限公司 Vacuum transfer robot

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