KR20180077766A - Vacuum Robot - Google Patents

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KR20180077766A
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coupled
arm tube
hand
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김경수
김상현
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현대중공업지주 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a vacuum robot comprising: a plurality of hand parts for supporting at least one of a substrate and a mask; an arm tube, to which the hand parts are movably coupled; a support for supporting the arm tube; a rotation part for rotating the support; a lifting part for lifting the rotation part; a base part, to which the rotation part is rotatably coupled; and a plurality of driving parts coupled to the arm tube and moving the hand parts on the arm tube, wherein the arm tube includes: a main body mounted in a direction perpendicular to a rotation shaft, around which the support rotates; an LM guide rail coupled to the top surface of the main body; and a thermal deformation prevention member coupled to the bottom surface of the main body, which is opposite to the LM guide rail with reference to the main body, so as to prevent the main body from being deformed by heat.

Description

진공로봇{Vacuum Robot}Vacuum Robot

본 발명은 진공영역에서 기판을 이송하기 위한 진공로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum robot for transferring a substrate in a vacuum region.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정은 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 제조공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 공정챔버는 복수개가 중앙에 위치한 진공로봇을 중심으로 정렬될 수 있다. 공정챔버들과 진공로봇의 일부는 기판이 이물질로 오염되는 것을 방지하도록 진공영역에 설치된다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. This manufacturing process is performed by using a substrate for manufacturing electronic parts. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. A plurality of process chambers can be aligned around a centered vacuum robot. The process chambers and a part of the vacuum robot are installed in the vacuum region to prevent contamination of the substrate with the foreign substance.

종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 지지하는 포크를 포함하는 핸드, 핸드에 결합되고 다관절 또는 슬라이더로 이루어져 핸드를 이동시키는 암부, 암부를 지지하는 받침부, 받침부를 회전시키기 위한 선회부, 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부로 구성된다. 여기서, 선회부, 받침부, 암부 및 핸드는 진공영역에 설치된다.The vacuum robot according to the related art includes a hand including a fork for supporting a substrate, a arm portion coupled to the hand and made of a multi-joint or a slider for moving a hand, a support portion for supporting the arm portion, a swivel portion for rotating the support portion, And a base portion rotatably coupled. Here, the swivel portion, the receiving portion, the arm portion, and the hand are installed in the vacuum region.

한편, 공정챔버는 기판에 대한 다양한 공정을 수행하는데 있어서 내부의 온도가 300 - 400 ℃ 이상이 된다. 이에 따라, 공정챔버에서 발생된 열기가 기판 이송 시 열평형에 의해 진공로봇이 설치된 진공영역으로 이동하여 진공영역의 평균 온도는 약 300 ℃ 이상의 고온이 된다.On the other hand, in the process chamber, the internal temperature is 300 to 400 DEG C or more in performing various processes for the substrate. Accordingly, the heat generated in the process chamber is transferred to the vacuum region provided with the vacuum robot by thermal equilibrium at the time of transferring the substrate, and the average temperature of the vacuum region becomes higher than about 300 ° C.

이에 따라, 종래 기술에 따른 진공로봇은 진공영역에 설치되는 선회부, 받침부, 암부 및 핸드가 고온에 노출된다. 이 중에서도 특히, 받침부는 진공영역에 위치되는 진공로봇에서 가장 크기가 크므로 열에 노출되는 면적이 가장 크다. 따라서, 종래 기술에 따른 진공로봇은 고온에 노출되는 면적이 가장 큰 받침부가 진공영역의 고온으로 인해 휘어지는 등 열 변형이 발생하는 문제가 있다. 받침부의 열 변형이 발생하면, 받침부에 결합되는 암부의 위치가 변형되므로 기판에 대한 정확한 이송이 어려운 문제가 있다. 따라서, 고온에서도 기판에 대한 정확한 이송을 수행할 수 있는 진공로봇에 대한 개발이 절실히 필요하다.Accordingly, the vacuum robot according to the related art is exposed to high temperatures at the revolving portion, the receiving portion, the arm portion and the hand provided in the vacuum region. Among them, the support part is the largest in the vacuum robot positioned in the vacuum area, and thus the area exposed to the heat is the largest. Accordingly, the vacuum robot according to the related art has a problem that thermal deformation occurs, for example, the support portion having the largest area exposed to high temperature is bent due to the high temperature of the vacuum region. When thermal deformation of the pedestal portion occurs, the position of the arm portion coupled to the pedestal portion is deformed, which makes it difficult to accurately transport the substrate. Therefore, there is an urgent need to develop a vacuum robot capable of accurately transferring a substrate even at a high temperature.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 고온에서도 기판에 대한 정확한 이송을 수행할 수 있는 진공로봇을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum robot capable of performing accurate transfer to a substrate even at a high temperature.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 진공로봇은 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부; 상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브; 상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부; 상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부; 상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부; 상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부; 및 상기 암튜브에 결합되고, 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부를 포함할 수 있다. 상기 암튜브는 상기 지지부가 회전되는 회전축에 대해 수직한 방향으로 설치되는 본체; 상기 본체의 상면에 결합되는 LM가이드레일; 및 상기 본체가 열에 의해 변형되는 것을 방지하도록 상기 본체를 기준으로 상기 LM가이드레일과 반대되는 상기 본체의 하면에 결합되는 열변형방지부재를 포함할 수 있다.A vacuum robot according to the present invention includes: a plurality of hands for supporting at least one of a substrate and a mask; An arm tube to which the hand portions are movably engaged; A support for supporting the arm tube; A swivel portion for rotating the support portion; An elevating portion for elevating and lowering the turning portion; A base portion to which the pivot portion is rotatably coupled; And a plurality of driving parts coupled to the arm tube, for moving the hand parts on the arm tube. Wherein the arm tube is installed in a direction perpendicular to a rotation axis in which the support portion is rotated; An LM guide rail coupled to an upper surface of the main body; And a heat deformation preventing member coupled to a lower surface of the main body opposite to the LM guide rail with respect to the main body so as to prevent the main body from being deformed by heat.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 열변형방지부재는 상기 LM가이드레일과 열팽창계수가 동일한 재질로 형성될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the thermal deformation preventing member may be formed of a material having the same thermal expansion coefficient as the LM guide rail.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 열변형방지부재 및 상기 LM가이드레일은 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the heat deformation preventing member and the LM guide rail may be made of steel.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 열변형방지부재는 상기 LM가이드레일이 열에 의한 팽창이 가장 크게 일어나는 방향과 동일한 방향으로 상기 본체의 하면에 설치될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the heat deformation preventing member may be installed on the lower surface of the main body in the same direction as the direction in which the expansion of the LM guide rail is largest.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 암튜브의 상면에 설치되는 LM가이드레일과 동일한 재질의 열변형방지부재를 암튜브의 하면에 결합시킴으로써, 열에 암튜브가 변형되는 것을 방지할 수 있으므로 기판을 정확한 위치로 이송하는 이송작업에 있어서 오류가 발생하는 것을 최소화할 수 있다.According to the present invention, since the thermal deformation preventing member having the same material as the LM guide rail provided on the upper surface of the arm tube is coupled to the lower surface of the arm tube, the arm tube can be prevented from being deformed by heat, It is possible to minimize the occurrence of an error in the image.

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 암튜브의 개략적인 분해사시도
도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 LM가이드레일, 본체, 열변형방지부재의 길이를 비교하기 위한 암튜브의 개략적인 측면도
도 5는 본 발명에 따른 진공로봇에서 LM가이드레일, 본체, 열변형방지부재의 폭을 비교하기 위한 암튜브의 개략적인 정면도1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention;
2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention.
Fig. 3 is a schematic exploded perspective view of the arm tube in the vacuum robot according to the present invention. Fig.
4 is a schematic side view of the arm tube for comparing the lengths of the LM guide rail, the main body, and the heat deformation preventing member in the vacuum robot according to the present invention
5 is a schematic front view of an arm tube for comparing widths of an LM guide rail, a main body, and a heat distortion preventing member in a vacuum robot according to the present invention.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 진공로봇에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a vacuum robot according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도, 도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 암튜브의 개략적인 분해사시도, 도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 LM가이드레일, 본체, 열변형방지부재의 길이를 비교하기 위한 암튜브의 개략적인 측면도, 도 5는 본 발명에 따른 진공로봇에서 LM가이드레일, 본체, 열변형방지부재의 폭을 비교하기 위한 암튜브의 개략적인 정면도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention, FIG. 2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention, FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of an arm tube in a vacuum robot according to the present invention, FIG. 5 is a schematic side view of the arm tube for comparing the lengths of the LM guide rail, the main body, and the heat deformation preventing member in the vacuum robot according to the present invention, and FIG. 5 is a schematic side view of the LM guide rail, In order to compare the width of the arm tube.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 증착공정, 식각공정 등 다양한 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버로 기판 및 마스크를 이송하는데 있어서, 고온의 열로 인해 암튜브가 휘는 등 변형되는 것을 방지하기 위한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 암튜브를 기준으로 상면에 설치되는 LM가이드레일과 열팽창계수가 동일한 재질의 열변형방지부재를 하면에 설치함으로써, 고온의 열에 의해 상기 암튜브가 휘는 것을 방지하여 기판 이송에 대한 정확성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.1 to 5, in the vacuum robot 1 according to the present invention, in transferring a substrate and a mask to a plurality of process chambers performing various processes such as a deposition process, an etching process, and the like, And it is intended to prevent deformation such as warping. In particular, the vacuum robot (1) according to the present invention is provided on the lower surface with a heat deformation preventing member made of a material having the same thermal expansion coefficient as the LM guide rail provided on the upper surface with reference to the arm tube, It is possible to prevent the substrate from being bent and the accuracy with respect to the substrate transfer being deteriorated.

이를 위해, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 크게 핸드부(2), 암튜브(3), 지지부(4), 선회부(5), 승강부(6), 베이스부(7) 및 구동부(8)를 포함한다. 상기 암튜브(3)는 본체(31), LM가이드레일(32) 및 열변형방지부재(33)를 포함한다.The vacuum robot 1 according to the present invention mainly includes a hand unit 2, an arm tube 3, a support unit 4, a swing unit 5, a lift unit 6, a base unit 7, (8). The arm tube 3 includes a main body 31, an LM guide rail 32 and a heat distortion preventing member 33.

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 또는 마스크가 먼지와 같은 이물질로 오염되는 것을 방지하기 위해 일부가 진공영역에 위치하도록 설치된다. 예컨대, 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5) 및 상기 구동부(8)는 상기 진공영역에 설치될 수 있다. 상기 진공영역은 공기(Air)가 제거된 챔버의 내부를 의미한다. 상기 진공영역에는 상기 챔버와 연결되게 설치되는 복수개의 공정챔버가 포함될 수 있다. 상기 승강부(6) 및 상기 베이스부(7)는 상기 진공영역이 아닌 대기영역에 설치될 수 있다. 상기 대기영역은 공기가 1기압으로 형성되는 대기압 영역을 의미한다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 진공영역에서 기판 또는 마스크를 이송함으로써, 기판 또는 마스크가 이물질로 오염되는 것을 방지할 수 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention is installed so that a part of the substrate or the mask is located in the vacuum region to prevent the substrate or the mask from being contaminated with foreign matter such as dust. For example, the hand unit 2, the arm tube 3, the support unit 4, the pivot unit 5, and the driving unit 8 may be installed in the vacuum region. The vacuum region refers to the interior of the chamber from which the air is removed. The vacuum region may include a plurality of process chambers connected to the chamber. The elevating portion 6 and the base portion 7 may be installed in an atmospheric region other than the vacuum region. The atmospheric region means an atmospheric pressure region in which air is formed at 1 atm. The vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the substrate or the mask from being contaminated with foreign matter by transferring the substrate or the mask in the vacuum region.

이하에서는 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 승강부(6), 상기 베이스부(7) 및 상기 구동부(8)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the hand unit 2, the arm tube 3, the support unit 4, the swivel unit 5, the elevation unit 6, the base unit 7, Will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 핸드부(2)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 기판 및 상기 마스크는 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 상기 마스크(Mask)는 상기 기판에 비해 크기가 더 클 수 있다. 상기 마스크의 크기가 상기 기판의 크기보다 크므로, 후술할 기판지지부재는 마스크지지부재 보다 내측에 위치하도록 상기 핸드부(2)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 복수개가 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)들은 Z축 방향(도 1에 도시됨)을 기준으로 상측 및 하측에 각각 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 핸드기구(21) 및 포크기구(22)를 포함할 수 있다.1 to 5, the hand part 2 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The substrate and the mask are for producing electronic components such as a display device, a solar cell, and a semiconductor device. The mask may be larger in size than the substrate. Since the size of the mask is larger than the size of the substrate, a substrate support member, which will be described later, can be coupled to the hand unit 2 so as to be located inside the mask support member. A plurality of the hand units 2 can be movably coupled to the arm tube 3. [ The hand portions 2 may be coupled to the arm tube 3 so as to be respectively located on the upper side and the lower side with respect to the Z-axis direction (shown in FIG. 1). The hand unit 2 may include a hand mechanism 21 and a fork mechanism 22. [

상기 핸드기구(21)는 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 핸드기구(21)는 LM블록을 포함하고, 상기 LM블록이 상기 암튜브(3)의 상면에 설치되는 LM가이드레일(32)을 따라 이동함으로써 상기 암튜브(3)에서 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)은 상기 암튜브(3)의 상면에 X축 방향(도 1에 도시됨)으로 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)는 X축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 X축 방향을 따라 전진방향(FD, 도 1에 도시됨) 또는 후퇴방향(BD, 도 1에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)가 이동함에 따라 상기 핸드기구(21)에 결합되는 포크기구(22)도 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)은 복수개가 상기 암튜브(3)의 상면에서 Y축 방향(도 3에 도시됨)으로 서로 이격되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)는 Y축 방향을 기준으로 일측과 타측이 각각 상기 LM가이드레일(32)에 결합될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 케이블을 통해 상기 구동부(8)에 연결될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 상기 구동부(8)가 구동력을 발생시킴에 따라 상기 케이블이 상기 구동부(8)에 설치되는 케이블드럼에 감기거나 풀림으로써 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 상측에 위치하는 상측핸드부일 경우, Y축 방향의 단면이 'П'형태로 형성될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 하측에 위치하는 하측핸드부일 경우, Y축 방향의 단면이 'п'형태로 형성될 수 있다. 상기 하측핸드부는 상기 상측핸드부에 삽입될 수 있다.The hand mechanism (21) can be movably coupled to the arm tube (3). For example, the hand mechanism 21 includes an LM block, and the LM block can move in the arm tube 3 by moving along the LM guide rail 32 provided on the upper surface of the arm tube 3 . The LM guide rail 32 may be installed on the upper surface of the arm tube 3 in the X-axis direction (as shown in FIG. 1). Accordingly, the hand mechanism 21 can move in the X-axis direction. The hand mechanism 21 can move in the advancing direction (FD, shown in Fig. 1) or the retreating direction (BD, shown in Fig. 1) along the X-axis direction. As the hand mechanism 21 moves, the fork mechanism 22 coupled to the hand mechanism 21 can also move. A plurality of the LM guide rails 32 may be spaced apart from each other in the Y-axis direction (as shown in FIG. 3) on the upper surface of the arm tube 3. Accordingly, one hand and the other hand of the hand mechanism 21 can be coupled to the LM guide rail 32 with respect to the Y-axis direction. The hand mechanism 21 may be connected to the driving unit 8 through a cable. The hand mechanism 21 can be moved by winding or unwinding the cable on a cable drum installed in the driving unit 8 as the driving unit 8 generates a driving force. When the hand mechanism 21 is an upper hand part located on the upper side, a cross section in the Y-axis direction may be formed in a shape of 'P'. When the hand mechanism 21 is a lower hand unit located on the lower side, the cross section in the Y axis direction may be formed in the shape of 'п'. The lower hand part may be inserted into the upper hand part.

상기 포크기구(22)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 포크기구(22)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 포크기구(22)는 X축 방향을 향하도록 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 상기 포크기구(22)가 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 이송할 경우, 상기 기판 및 상기 마스크는 상기 포크기구(22)의 상면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)는 상기 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)는 복수개가 상기 핸드기구(21)에 서로 이격되게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 서로 이격되게 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 기판 및 마스크의 일측 및 타측을 각각 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)들에는 각각 기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 마스크를 지지하기 위한 마스크지지부재가 결합될 수 있다. 상기 기판지지부재는 상기 마스크지지부재의 내측에 위치하도록 상기 포크기구(22)에 결합될 수 있다. 상기 기판지지부재의 내측에는 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 미끄럼방지부재가 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 포크기구(22)에 상기 마스크지지부재와 기판지지부재가 설치됨으로써, 기판과 마스크 중 적어도 하나를 이송할 수 있다.The fork mechanism 22 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The fork mechanism 22 may be formed in the shape of a bar of a rectangular parallelepiped. The fork mechanism 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to face the X-axis direction. When the fork mechanism 22 transports at least one of the substrate and the mask, the substrate and the mask may be in contact with the upper surface of the fork mechanism 22. [ Accordingly, the fork mechanism 22 can support at least one of the substrate and the mask. A plurality of the fork mechanisms 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to be spaced apart from each other. For example, the fork mechanisms 22 may be coupled to the hand mechanism 21 so as to be spaced apart from each other with respect to the Y-axis direction. Accordingly, the fork mechanisms 22 can support one side and the other side of the substrate and the mask with respect to the Y-axis direction, respectively. Each of the fork mechanisms 22 may be combined with a substrate supporting member for supporting the substrate and a mask supporting member for supporting the mask. The substrate support member may be coupled to the fork mechanism 22 to be located inside the mask support member. An anti-slip member may be provided inside the substrate support member to prevent the substrate from slipping. In the vacuum robot 1 according to the present invention, the mask supporting member and the substrate supporting member are provided in the fork mechanism 22, so that at least one of the substrate and the mask can be transferred.

상기 암튜브(3)에는 상기 핸드부(2)들이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)는 전체적으로 X축 방향으로 길이가 긴 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 암튜브(3)의 길이 방향을 따라 상기 핸드부(2)들이 각각 이동하므로, 상기 암튜브(3)의 길이가 길수록 진공로봇(1)은 기판 및 마스크를 회전축(5a, 도 1에 도시됨)으로부터 더 멀리 위치된 공정챔버까지 이송할 수 있다. 상기 암튜브(3)는 경량화를 위해 내부가 비어 있는 밀폐된 형태로 형성될 수 있다. 또한, 상기 암튜브(3)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)들을 지지할 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 암튜브(3)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 이송시키기 위한 케이블과 상기 구동부(8)의 일부가 설치될 수 있다. 상기 구동부(8)의 일부는 상기 케이블을 감거나 풀기 위한 케이블드럼(미도시)일 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블과 케이블드럼을 상기 암튜브(3)의 내측에 위치하도록 설치함으로써, 상기 핸드부(2)들을 이송시킬 경우에 발생하는 비산(飛散) 물질들이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크가 비산물질들로 오염되는 것을 방지함으로써, 기판 및 마스크에 대한 불량률을 감소시킬 수 있다. 상기 암튜브(3)에는 지지부(4) 및 구동부(8)가 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)는 본체(31), LM가이드레일(32) 및 열변형방지부재(33)를 포함할 수 있다. 상기 본체(31), 상기 LM가이드레일(32) 및 상기 열변형방지부재(33)에 대한 설명은 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 승강부(6), 상기 베이스부(7) 및 상기 구동부(8)를 설명한 후에 설명하기로 한다.The hand units (2) can be movably coupled to the arm tube (3). The arm tube 3 may be formed as a rectangular parallelepiped having a long length in the X-axis direction as a whole. The hand unit 2 moves along the longitudinal direction of the arm tube 3 so that the vacuum robot 1 can move the substrate and the mask to the rotating shaft 5a Lt; / RTI > to a further located process chamber. The arm tube 3 may be formed in an airtight closed form for light weight. The arm tube 3 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, but it is not limited thereto and may be made of other materials as long as it can support the hand parts 2. A cable for transferring the hand unit 2 and a part of the driving unit 8 may be installed in the arm tube 3. A part of the driving unit 8 may be a cable drum (not shown) for winding or unwinding the cable. In the vacuum robot 1 according to the present invention, the cable and the cable drum are disposed inside the arm tube 3, so that scattering materials, which are generated when the hand parts 2 are transferred, And to move toward the mask. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent contamination of the substrate and the mask with scattering materials, thereby reducing the defective rate of the substrate and the mask. The support portion 4 and the driving portion 8 may be coupled to the arm tube 3. The arm tube 3 may include a main body 31, an LM guide rail 32, and a heat deformation preventing member 33. The description of the main body 31, the LM guide rail 32 and the heat deformation preventing member 33 will be omitted for the description of the support portion 4, the swivel portion 5, 7 and the driving unit 8 will be described later.

상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지부(4)는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)에 비해 작은 크기로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수도 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5) 사이에 위치하도록 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 각각 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)는 상기 선회부(5)에 지지되어 상기 암튜브(3)를 지지할 수 있다. 상기 지지부(4)는 X축 방향을 기준으로 상기 암튜브(3)의 가운데 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. Z축 방향을 기준으로 상기 지지부(4)의 아래에는 상기 선회부(5) 및 상기 베이스(7)가 순차적으로 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)의 하면에 결합되고, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 선회부(5)를 중심으로 무게중심이 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지부(4)의 내부에는 전원을 공급하기 위한 전원케이블, 신호를 송수신하기 위한 신호케이블 등이 설치될 수 있다. 상기 지지부(4)는 내부의 이물질이 상기 지지부(4)의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해 밀폐된 구조로 형성될 수 있다.The support part (4) is for supporting the arm tube (3). The support portion 4 may be formed in a rectangular plate shape. The supporting portion 4 may be formed to have a smaller size than the arm tube 3. The support part 4 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, but it is not limited thereto and may be made of steel to enhance rigidity. The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 and the swivel part 5 so as to be positioned between the arm tube 3 and the swivel part 5. The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 and the swivel part 5 by at least one of a bolt connection, a welding connection and an adhesive connection. Accordingly, the support portion 4 can be supported by the swivel portion 5 to support the arm tube 3. The support portion 4 may be coupled to the arm tube 3 such that the support portion 4 is positioned at the center of the arm tube 3 with respect to the X-axis direction. The swivel unit 5 and the base 7 may be sequentially positioned below the support unit 4 with respect to the Z-axis direction. The swivel part 5 may be coupled to the lower surface of the support part 4 and the swivel part 5 may be coupled to the base part 7. Accordingly, the center of gravity of the vacuum robot 1 according to the present invention may be centered around the swivel portion 5. Although not shown, a power cable for supplying power, a signal cable for transmitting and receiving signals, and the like may be installed inside the support part 4. The support portion 4 may be formed in a closed structure to prevent foreign matter from flowing out to the outside of the support portion 4.

상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 선회부(5)는 상기 핸드부(2)들이 향하는 방향이 변경되도록 상기 지지부(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(5)는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 선회부(5)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수도 있다. 상기 선회부(5)는 Z축 방향을 기준으로 일측이 상기 지지부(4)에 결합되고, 타측이 상기 베이스부(7)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 선회부(5)는 모터와 같은 구동장치에 의해 상기 베이스부(7) 상에서 회전축(5a, 도 1에 도시됨)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)에 결합되는 지지부(4), 상기 지지부(4)에 결합되는 암튜브(3), 상기 암튜브(3)에 결합되는 핸드부(2)는 상기 회전축(5a)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 상기 회전축(5a)은 바닥에 대해 수직한 방향일 수 있다.The swivel part (5) is for rotating the support part (4). The swivel part 5 may rotate the support part 4 so that the direction of the hand parts 2 is changed. The pivot portion 5 may be formed in a cylindrical shape. The swivel unit 5 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, but may be made of steel to improve rigidity. One end of the swivel part 5 is coupled to the support part 4 with respect to the Z-axis direction, and the other end of the swivel part 5 is rotatably coupled to the base part 7. The swivel unit 5 can be rotated clockwise or counterclockwise around the rotary shaft 5a (shown in Fig. 1) on the base 7 by a driving device such as a motor. Thus, the support portion 4 coupled to the swivel portion 5, the arm tube 3 coupled to the support portion 4, and the hand portion 2 coupled to the arm tube 3 are connected to the rotation shaft 5a In a clockwise or counterclockwise direction. The rotating shaft 5a may be in a direction perpendicular to the floor.

상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)를 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 위치하도록 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있으면 다른 위치에 설치될 수도 있다. 상기 승강부(6)가 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 설치될 경우, 상기 승강부(6)는 상기 베이스부(7)에 지지되어 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 Z축 방향을 기준으로 상기 선회부(5)를 상측방향 또는 하측방향으로 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 선회부(5)를 상하 방향으로 승강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)에 결합되는 지지부(4), 암튜브(3) 및 핸드부(2)도 상하 방향으로 승강될 수 있다.The elevating portion 6 is for elevating the elevating portion 5. The elevating portion 6 may be installed to be positioned between the swivel portion 5 and the base portion 7 but is not limited thereto and may be installed at other positions have. When the elevating portion 6 is provided between the swivel portion 5 and the base portion 7, the elevating portion 6 is supported by the base portion 7 to lift the swivel portion 5 . The elevating part 6 can elevate the swivel part 5 upward or downward with respect to the Z-axis direction. The elevating portion 6 may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt using a motor, a pulley, System, a linear motor using a coil and a permanent magnet, etc., can be used to raise and lower the swivel unit 5 in the vertical direction. Accordingly, the support portion 4, the arm tube 3, and the hand portion 2, which are coupled to the swivel portion 5, can also be raised and lowered in the vertical direction.

상기 베이스부(7)에는 상기 선회부(5)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7) 상에서 회전축(5a)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 설치되어 고정될 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 지지되어 상기 선회부(5), 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 및 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 전체적으로 내부가 비어 있는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 베이스부(7)의 내부에는 상기 선회부(5)를 회전시키기 위한 구동장치, 및 상기 승강부(6)가 설치될 수 있다. 상기 베이스부(7)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 제어하기 위한 제어부, 상기 제어부에 연결되는 다양한 전선 등이 설치될 수도 있다. 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)에 비해 큰 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)가 상기 승강부(6)에 의해 상하 방향으로 승강하여도 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)를 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 선회부(5)가 상하 방향으로 승강하면, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 삽입되거나 상기 베이스부(7)로부터 돌출될 수 있다.The swivel part (5) is rotatably coupled to the base part (7). The swivel part 5 can rotate on the base part 7 about the rotary shaft 5a. The base portion 7 may be installed on the floor and fixed. The base part 7 is supported on the floor and can support the swivel part 5, the support part 4, the arm tube 3, and the hand part 2. The base portion 7 may be formed in a cylindrical shape having an empty interior as a whole. A driving device for rotating the swivel part 5 and the elevating part 6 may be installed in the base part 7. A control unit for controlling the hand unit 2 and various electric wires connected to the control unit may be installed in the base unit 7. The base portion 7 may be formed to have a larger diameter than the swivel portion 5. Accordingly, even if the swivel part 5 is lifted up and down by the elevating part 6, the base part 7 can stably support the swivel part 5. [ The swivel part 5 may be inserted into the base part 7 or protrude from the base part 7 when the swivel part 5 is lifted up and down.

상기 구동부(8)는 상기 핸드부(2)들을 상기 암튜브(3) 상에서 이동시키기 위한 것이다. 상기 핸드부(2)가 복수개일 경우, 상기 구동부(8)는 복수개가 각각 하나의 핸드부(2)를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 핸드부(2)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)는 2개일 수 있다. 상기 구동부(8)들은 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 암튜브(3)에 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 모터, 케이블드럼, 모터케이스를 포함할 수 있다. 상기 모터는 상기 케이블드럼을 회전시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 케이블드럼은 케이블을 통해 상기 핸드부(2)에 연결될 수 있다. 상기 모터가 상기 케이블드럼을 회전시키면, 상기 핸드부(2)에 연결된 케이블이 상기 케이블드럼에 감기거나 풀림으로써 상기 핸드부(2)가 LM가이드레일(32)을 따라 전진방향(FD) 또는 후퇴방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 모터케이스는 상기 모터 회전시 발생되는 이물질이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 모터케이스는 상기 모터의 외측에서 상기 모터를 감싸도록 설치됨으로써, 외부로 이물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 모터를 제어하기 위한 엔코더를 더 포함할 수 있다. 상기 엔코더에 전원을 공급하기 위한 배터리는 대기영역에 설치되는 베이스부(7)의 내부에 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 베이스부(7)가 진공영역이 아닌 대기영역에 설치되므로, 배터리 교체에 대한 용이성을 확보할 수 있다. 상기 구동부(8)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)들은 회전축(5a)을 중심으로 대칭되는 위치에 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이 경우, 각각의 구동부(8)에 연결되는 케이블드럼은 상기 암튜브(3)의 내측에서 서로 마주보게 위치될 수 있다. 상기 구동부(8)들은 X축 방향을 기준으로 상기 회전축(5a) 또는 상기 회전축(5a)에 근접한 근접위치에 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 전체적인 무게중심을 상기 회전축(5a) 또는 상기 회전축(5a)에 근접한 위치에 형성시킴으로써, 상기 구동부(8)들이 상기 회전축(5a)으로부터 이격된 위치에 설치되는 경우에 비해 무게중심이 편심되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크 이송 시 편심된 무게중심으로 인해 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 상기 핸드부(2) 중 적어도 하나가 기울어져 기판 및 마스크가 낙상하여 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The driving unit 8 is for moving the hand units 2 on the arm tube 3. When a plurality of the hand parts 2 are provided, a plurality of the driving parts 8 can move one hand part 2, respectively. For example, when the hand unit 2 is two, the number of the driving units 8 may be two. The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3. The driving unit 8 may be coupled to the arm tube 3 by at least one of bolt coupling, welding coupling, and adhesive coupling. The driving unit 8 may include a motor, a cable drum, and a motor case. The motor generates a driving force for rotating the cable drum. The cable drum may be connected to the hand unit 2 via a cable. When the motor rotates the cable drum, the cable connected to the hand unit 2 is wound or unwound on the cable drum so that the hand unit 2 moves along the LM guide rail 32 in the advancing direction FD or retracting Direction (BD). The motor case is for preventing foreign substances generated during rotation of the motor from moving toward the substrate and the mask. The motor case is installed to surround the motor on the outside of the motor, thereby preventing foreign matter from leaking to the outside. The driving unit 8 may further include an encoder for controlling the motor. The battery for supplying power to the encoder may be installed inside the base unit 7 installed in the waiting area. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention is provided in the waiting area, not in the vacuum area, so that the ease of replacement of the battery can be ensured. When the number of the driving units 8 is two, the driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 so as to be positioned symmetrically with respect to the rotation axis 5a. In this case, the cable drums connected to the respective driving portions 8 can be positioned so as to face each other inside the arm tube 3. The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 such that the driving units 8 are located at a position close to the rotation axis 5a or the rotation axis 5a with reference to the X axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention has the entire center of gravity at a position close to the rotation axis 5a or the rotation axis 5a, so that the driving units 8 are positioned at positions spaced apart from the rotation axis 5a It is possible to prevent the center of gravity from being eccentric as compared with the case where the center of gravity is provided at the center. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention has a structure in which at least one of the support portion 4, the arm tube 3, and the hand portion 2 is inclined due to the eccentric center of gravity when the substrate and the mask are transferred, It is possible to prevent the mask from falling and being damaged or broken.

이하에서는 상기 본체(31), 상기 LM가이드레일(32) 및 상기 열변형방지부재(33)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the main body 31, the LM guide rail 32 and the heat distortion preventing member 33 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 본체(31)는 상기 핸드부(2)와 상기 지지부(4) 사이에 위치하도록 상기 핸드부(2)와 상기 지지부(4)에 각각 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 핸드부(2)의 LM블록(미도시)은 상기 본체(31)의 상면(311, 도 3에 도시됨)에 설치되는 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 본체(31)의 하면(312, 도 3에 도시됨)에 결합될 수 있다. 상기 본체의 상면(311)은 Z축 방향을 기준으로 상측에 위치하는 상기 본체(31)의 일면이고, 상기 본체의 하면(312)은 Z축 방향을 기준으로 상면(311)보다 하측에 위치하는 상기 본체(31)의 타면이다. 이에 따라, 상기 본체(31)는 상기 핸드부(2)와 상기 지지부(4)에 각각 결합될 수 있다. 상기 본체(31)는 상기 지지부(4)가 회전되는 회전축(5a)에 대해 수직한 방향으로 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)가 상기 선회부(5)에 의해 회전되면 상기 본체(31)의 끝단이 향하는 방향이 변동됨으로써, 상기 핸드부(2)의 방향이 변동될 수 있다. 상기 본체(31)는 전체적으로 X축 방향으로 길이가 긴 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(31)의 X축 길이 방향을 따라 상기 핸드부(2)들이 각각 이동하므로, 상기 본체(31)의 길이가 길수록 진공로봇(1)은 기판 및 마스크를 상기 회전축(5a)으로부터 더 멀리 위치된 공정챔버까지 이송할 수 있다. 상기 본체(31)는 경량화를 위해 내부가 비어 있는 밀폐된 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(31)는 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)들을 지지할 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 본체(31)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 이송시키기 위한 케이블과 상기 구동부(8)의 일부가 설치될 수 있다. 상기 구동부(8)의 일부는 상기 케이블을 감거나 풀기 위한 케이블드럼(미도시)일 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블과 케이블드럼을 상기 본체(31)의 내측에 위치하도록 설치함으로써, 상기 핸드부(2)들을 이송시킬 경우에 발생하는 비산(飛散) 물질들이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크가 비산물질들로 오염되는 것을 방지함으로써, 기판 및 마스크에 대한 불량률을 감소시킬 수 있다. 상기 본체(31)의 상면(311)에는 LM가이드레일(32)이 설치될 수 있다.1 to 5, the main body 31 may be coupled to the hand unit 2 and the support unit 4, respectively, so as to be positioned between the hand unit 2 and the support unit 4. Specifically, the LM block (not shown) of the hand unit 2 may be movably coupled to the LM guide rail 32 installed on the upper surface 311 (shown in FIG. 3) of the main body 31 . The support portion 4 may be coupled to a lower surface 312 of the main body 31 (shown in FIG. 3). The upper surface 311 of the main body is one surface of the main body 31 positioned on the upper side with respect to the Z axis direction and the lower surface 312 of the main body is positioned below the upper surface 311 with respect to the Z axis direction And the other surface of the main body 31. Accordingly, the main body 31 can be coupled to the hand unit 2 and the support unit 4, respectively. The main body 31 may be installed in a direction perpendicular to the rotation axis 5a on which the support portion 4 is rotated. Accordingly, when the support part 4 is rotated by the swivel part 5, the direction of the end of the main body 31 is changed, so that the direction of the hand part 2 can be changed. The main body 31 may be formed as a rectangular parallelepiped having a long overall length in the X-axis direction. The hands 2 move along the X axis longitudinal direction of the main body 31. The longer the length of the main body 31 is, the more the vacuum robot 1 moves the substrate and the mask away from the rotation axis 5a And can be transferred to a positioned process chamber. The main body 31 may be formed in an airtight sealed form for light weight. The main body 31 may be made of a steel material but is not limited thereto and may be made of other materials as long as it can support the hand parts 2. A cable for transferring the hand unit 2 and a part of the driving unit 8 may be installed inside the main body 31. A part of the driving unit 8 may be a cable drum (not shown) for winding or unwinding the cable. The vacuum robot 1 according to the present invention is constructed such that the cable and the cable drum are disposed inside the main body 31 so that scattering materials generated when the hand parts 2 are transferred are transferred to the substrate and / It is possible to prevent movement toward the mask. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent contamination of the substrate and the mask with scattering materials, thereby reducing the defective rate of the substrate and the mask. An LM guide rail 32 may be installed on the upper surface 311 of the main body 31.

상기 LM가이드레일(32)은 상기 핸드부(2)들을 이동시키기 위한 것이다. 상기 LM가이드레일(32)은 복수개가 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 상기 복수개의 LM가이드레일(32)은 X축 방향을 따라 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 또한, 상기 LM가이드레일(32)들은 Y축 방향으로 서로 이격되게 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 본체(31)의 상면에는 4개의 LM가이드레일(32)이 상기 본체(31)의 X축 방향을 따라 결합되되, 상기 본체(31)의 Y축 방향으로 서로 이격되게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 상측핸드부는 상기 본체(31)의 상면에서 Y축 방향을 기준으로 바깥쪽에 위치한 2개의 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 하측핸드부는 Y축 방향을 기준으로 상기 상측핸드부가 결합되는 LM가이드레일(32)들을 제외한 나머지 2개의 LM가이드레일(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 본체(31)의 길이(L, 도 4에 도시됨)와 동일한 길이로 형성되어 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 핸드부(32)들이 X축 방향을 따라 상기 본체(31)의 끝단까지 이동하도록 할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 상기 본체(31)의 폭(W, 도 5에 도시됨)에 서로 동일한 간격으로 이격되게 위치하도록 상기 본체(31)의 상면에 결합될 수 있다. 예컨대, 4개의 LM가이드레일(32) 중 2개의 LM가이드레일(32)은 Y축 방향을 기준으로 상기 본체(31)의 양 끝단에 위치하도록 상기 본체의 상면(311)에 결합되고, 나머지 2개의 LM가이드레일(32)은 상기 2개의 LM가이드레일(32) 사이에 동일한 간격으로 이격되도록 상기 본체의 상면(311)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 LM가이드레일(32)들은 Z축 방향에서 바라보았을 때 서로 평행하게 위치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 LM가이드레일(32)들이 서로 평행하게 위치하도록 상기 본체의 상면(311)에 배치시킴으로써, 상기 핸드부(2)들이 X축 방향을 따라 이동하는 경우 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않으며 상기 핸드부(2)들을 이동시킬 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 LM가이드레일(32)들은 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 본체의 상면(311)에 결합될 수 있다.The LM guide rail 32 is for moving the hand parts 2. A plurality of the LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31. The plurality of LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 along the X-axis direction. The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 so as to be spaced apart from each other in the Y-axis direction. For example, four LM guide rails 32 are coupled to the upper surface of the main body 31 along the X-axis direction of the main body 31, and may be spaced apart from each other in the Y-axis direction of the main body 31 . In this case, the upper hand portion may be movably coupled to two LM guide rails 32 positioned on the outer side with respect to the Y-axis direction on the upper surface of the main body 31. [ The lower hand part may be movably coupled to the other two LM guide rails 32 except for the LM guide rails 32 to which the upper hand part is coupled with respect to the Y axis direction. The LM guide rails 32 may have the same length as the length L of the main body 31 and may be coupled to the upper surface of the main body 31. Accordingly, the LM guide rails 32 can move the hand parts 32 to the ends of the main body 31 along the X-axis direction. The LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface of the main body 31 such that the LM guide rails 32 are spaced apart from each other at equal intervals in the width W of the main body 31 (shown in FIG. 5). For example, the two LM guide rails 32 of the four LM guide rails 32 are coupled to the upper surface 311 of the main body 31 so as to be positioned at both ends of the main body 31 with respect to the Y-axis direction, The two LM guide rails 32 may be coupled to the upper surface 311 of the main body so as to be spaced equidistantly between the two LM guide rails 32. Accordingly, the LM guide rails 32 can be positioned parallel to each other when viewed from the Z-axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention is arranged on the upper surface 311 of the main body so that the LM guide rails 32 are positioned in parallel with each other, so that when the hand parts 2 move along the X- It is possible to prevent interference with each other. The LM guide rails 32 may be made of steel to enhance rigidity, but the present invention is not limited thereto. The LM guide rails 32 may be made of other materials as long as the hand parts 2 can be moved. The LM guide rails 32 may be coupled to the top surface 311 of the body in at least one of the following ways: bolting, welding, or adhesive bonding.

상기 열변형방지부재(33)는 상기 본체(31)가 고온의 열에 의해 변형되는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 본체(31)가 변형된다는 것은 상기 본체(31)의 상면(311) 또는 하면(312)에 결합된 구조물이 고온의 열에 의해 팽창하여 Z축 방향을 기준으로 상기 본체(31)가 상측 방향 또는 하측 방향으로 휘어지는 것을 의미한다. 이 경우, 상기 구조물은 상기 본체(31)의 재질과 다른 재질일 수 있다. 예컨대, 상기 본체(31)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성되고, 상기 본체의 상면(311)에 결합되는 LM가이드레일(32)은 강성을 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있다. 상기 본체(31)와 상기 LM가이드레일(32)이 서로 다른 재질로 형성됨으로써, 열에 의한 열팽창계수가 서로 다를 수 있다. 예컨대, 300 ℃의 온도에서 스틸 재질의 열팽창계수가 알루미늄 재질의 열팽창계수보다 높으므로, 상기 LM가이드레일(32)이 상기 본체(31)보다 많이 팽창할 수 있다. 이에 따라, 상기 본체(31)는 하측 방향으로 휘어질 수 있다. 상기 열변형방지부재(33)는 상기 본체(31)가 하측 방향으로 휘는 것을 방지하기 위해 상기 LM가이드레일(32)과 열팽창계수가 동일한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 열변형방지부재(33)는 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있다. 상기 열변형방지부재(33)는 상기 LM가이드레일(32)이 알루미늄(Al) 재질로 형성되면, 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수도 있다. 상기 열변형방지부재(33)는 상기 본체(31)가 하측 방향으로 휘는 것을 방지하기 위해 상기 본체의 하면(312)에 결합될 수 있다. 상기 열변형방지부재(33)는 상기 LM가이드레일(32)과 개수, 형태, 길이, 크기 등이 동일하게 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 본체(31)가 변형되는 것을 방지할 수 있으면 사각판형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다. 예컨대, 상기 열변형방지부재(33)는 X축 방향을 기준으로 상기 LM가이드레일(32)의 길이(L, 도 4에 도시됨)와 동일한 길이로 형성될 수 있다. 상기 열변형방지부재(33)는 Y축 방향을 기준으로 상기 LM가이드레일(32)이 이격된 폭(W, 도 5에 도시됨)과 동일한 길이로 형성될 수도 있다. 다만, 이 경우 상기 열변형방지부재(33)는 상기 LM가이드레일(32)에 비해 두께가 더 얇게 형성될 수 있다. 이는 상기 열변형방지부재(33)가 열에 의해 팽창하는 정도가 상기 LM가이드레일(32)이 열에 의해 팽창하는 정도와 동일하게 하기 위함이다. 상기 열변형방지부재(33)는 상기 LM가이드레일(32)이 열에 의한 팽창이 가장 크게 일어나는 방향과 동일한 방향으로 상기 본체의 하면(312)에 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 LM가이드레일(32)이 상기 본체의 상면(311)에 X축 방향을 따라 설치되어 상기 LM가이드레일(32)이 X축 방향으로 팽창이 가장 크게 일어나므로, 상기 열변형방지부재(33)도 X축 방향을 따라 상기 본체의 하면(312)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 본체(31)를 기준으로 상면(311)에 설치되는 LM가이드레일(32)에 대해 하면(312)에 열변형방지부재(33)를 설치함으로써, 고온에 의한 열팽창이 상기 본체(31)의 상측과 하측에 동일하게 발생하도록 하여 상기 본체(31)가 열에 의해 상측 또는 하측으로 변형되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합되는 핸드부(2)의 이동 방향이 변형되는 것을 방지하여 기판을 정확한 위치에서 로딩(Loading)하여 정확한 위치에 언로딩(Unloading)하는 이송작업에 대한 정확성이 저하되는 것을 방지함으로써, 공정이 완료된 전자부품에 대한 불량률 및 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.The heat deformation preventing member 33 is for preventing the main body 31 from being deformed by heat of high temperature. The deformation of the main body 31 means that the structure coupled to the upper surface 311 or the lower surface 312 of the main body 31 expands due to high temperature heat and the main body 31 is moved upward It means that it is bent in the downward direction. In this case, the structure may be a material different from the material of the main body 31. For example, the main body 31 may be made of aluminum (Al) to reduce weight, and the LM guide rail 32 coupled to the upper surface 311 of the main body may be made of steel for rigidity . Since the main body 31 and the LM guide rail 32 are made of different materials, thermal expansion coefficients may be different from each other. For example, since the thermal expansion coefficient of the steel material is higher than the thermal expansion coefficient of the aluminum material at a temperature of 300 ° C, the LM guide rail 32 can expand more than the main body 31. Accordingly, the main body 31 can be bent in the downward direction. The heat deformation preventing member 33 may be formed of a material having the same thermal expansion coefficient as the LM guide rail 32 to prevent the body 31 from bending downward. For example, the heat deformation preventing member 33 may be made of steel. The heat deformation preventing member 33 may be formed of aluminum (Al) if the LM guide rail 32 is formed of aluminum (Al). The thermal deformation preventing member 33 may be coupled to the lower surface 312 of the main body 31 to prevent the main body 31 from bending in a downward direction. The thermal deformation preventing member 33 may be formed in the same number, shape, length, size, and the like as the LM guide rail 32, but is not limited thereto. If the thermal deformation preventing member 33 can prevent the deformation of the main body 31 A rectangular plate shape, or the like. For example, the thermal deformation preventing member 33 may have the same length as the length L of the LM guide rail 32 (shown in FIG. 4) with respect to the X-axis direction. The thermal deformation preventing member 33 may be formed to have the same length as the width (W, shown in FIG. 5) of the LM guide rail 32 spaced from the Y-axis direction. However, in this case, the thermal deformation preventing member 33 may be formed to be thinner than the LM guide rail 32. This is for the purpose of making the degree of expansion of the heat deformation preventing member 33 by heat equal to the degree of expansion of the LM guide rail 32 by heat. The heat deformation preventing member 33 may be installed on the lower surface 312 of the main body in the same direction as the direction in which the LM guide rail 32 generates the largest expansion by heat. For example, since the LM guide rail 32 is installed along the X-axis direction on the upper surface 311 of the main body, and the LM guide rail 32 has the largest expansion in the X-axis direction, 33 may also be installed on the lower surface 312 of the main body along the X-axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention is provided with the heat deformation preventing member 33 on the lower surface 312 with respect to the LM guide rail 32 provided on the upper surface 311 with respect to the main body 31 It is possible to prevent the main body 31 from being deformed upward or downward due to heat by causing the thermal expansion due to the high temperature to occur on the upper side and the lower side of the main body 31 in the same manner. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention prevents the moving direction of the hand unit 2 movably coupled to the arm tube 3 from being deformed, thereby loading the substrate at an accurate position, It is possible to prevent the defective rate and the productivity of the completed electronic parts from being deteriorated by preventing the accuracy of the unloading transfer operation from deteriorating.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

1 : 진공로봇
2 : 핸드부 3 : 암튜브
4 : 지지부 5 : 선회부
6 : 승강부 7 : 베이스부
8 : 구동부 21 : 핸드기구
22 : 포크기구 31 : 본체
32 : LM가이드레일 33 : 열변형방지부재
311 : 본체의 상면 312 : 본체의 하면1: Vacuum robot
2: hand part 3: female tube
4: Support part 5:
6: elevating part 7: base part
8: driving unit 21: hand mechanism
22: Fork mechanism 31: Body
32: LM guide rail 33: thermal deformation preventing member
311: upper surface of the main body 312: lower surface of the main body

Claims (4)

기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부;
상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브;
상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부;
상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부;
상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부;
상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부; 및
상기 암튜브에 결합되고, 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부를 포함하고,
상기 암튜브는,
상기 지지부가 회전되는 회전축에 대해 수직한 방향으로 설치되는 본체;
상기 본체의 상면에 결합되는 LM가이드레일; 및
상기 본체가 열에 의해 변형되는 것을 방지하도록 상기 본체를 기준으로 상기 LM가이드레일과 반대되는 상기 본체의 하면에 결합되는 열변형방지부재를 포함하는 진공로봇.A plurality of hands for supporting at least one of a substrate and a mask;
An arm tube to which the hand portions are movably engaged;
A support for supporting the arm tube;
A swivel portion for rotating the support portion;
An elevating portion for elevating and lowering the turning portion;
A base portion to which the pivot portion is rotatably coupled; And
And a plurality of driving parts coupled to the arm tube for moving the hand parts on the arm tube,
Wherein the arm tube
A main body installed in a direction perpendicular to a rotation axis in which the support portion is rotated;
An LM guide rail coupled to an upper surface of the main body; And
And a heat deformation preventing member coupled to a lower surface of the main body opposite to the LM guide rail with respect to the main body so as to prevent the main body from being deformed by heat. 제1항에 있어서,
상기 열변형방지부재는 상기 LM가이드레일과 열팽창계수가 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method according to claim 1,
Wherein the thermal deformation preventing member is formed of a material having the same thermal expansion coefficient as the LM guide rail. 제2항에 있어서,
상기 열변형방지부재 및 상기 LM가이드레일은 스틸(Steel) 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.3. The method of claim 2,
Wherein the heat deformation preventing member and the LM guide rail are made of steel. 제1항에 있어서,
상기 열변형방지부재는 상기 LM가이드레일이 열에 의한 팽창이 가장 크게 일어나는 방향과 동일한 방향으로 상기 본체의 하면에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method according to claim 1,
Wherein the heat deformation preventing member is installed on the lower surface of the main body in the same direction as the direction in which the LM guide rails are most likely to expand by heat.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112895485A (en) * 2021-01-19 2021-06-04 阜阳恒泰纺织有限公司 Automatic assembling equipment for breathing sheet of medical mask

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