KR20160121752A - Transfer robot with multi arm - Google Patents

Transfer robot with multi arm Download PDF

Info

Publication number
KR20160121752A
KR20160121752A KR1020150051124A KR20150051124A KR20160121752A KR 20160121752 A KR20160121752 A KR 20160121752A KR 1020150051124 A KR1020150051124 A KR 1020150051124A KR 20150051124 A KR20150051124 A KR 20150051124A KR 20160121752 A KR20160121752 A KR 20160121752A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arm
rail
unit
elevating
sliding
Prior art date
Application number
KR1020150051124A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김태현
김종욱
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020150051124A priority Critical patent/KR20160121752A/en
Publication of KR20160121752A publication Critical patent/KR20160121752A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/902—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

The present invention relates to a transfer robot with multiple arms and, more specifically, to a transfer robot with multiple arms which can transfer a plurality of substrates concurrently. To this end, the transfer robot provided with a plurality of the arms for transferring the substrates, comprises: a rail unit installed on the ground and provided with horizontal rails in the inside; a running unit horizontally running on the rails of the rail unit; a revolving unit installed at an upper side of the running unit to revolve; a lifting and lowering unit installed at one side of the revolving unit and having vertical rails vertically arranged; an arm unit lifted and lowered on the rails of the lifting and lowering unit and having a plurality of forks supporting the substrates, wherein the revolving unit is arranged in the center of an upper side of the running unit, the lifting and lowering unit is arranged to be deviated from the center of the revolving unit and a sliding arm is arranged at one side of the lifting and lowering unit.

Description

멀티 암 반송 로봇{Transfer robot with multi arm}Multi-arm transfer robot {Transfer robot with multi arm}

본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-arm carrying robot, and more particularly, to a multi-arm carrying robot capable of carrying a plurality of substrates simultaneously.

일반적으로 로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 반송 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다.Generally, robots are used for various purposes in various industrial fields. For example, in the semiconductor manufacturing field, a carrier robot is used to transport a substrate.

이러한 반송 로봇은 반도체웨이퍼, 액정표시장치용기판, 플라즈마디스플레이(plasma display)용기판, FED(Field Emission Display)용기판, 광디스크용기판, 자기디스크용기판, 광자기디스크용기판, 포토마스크(photomask)용기판 등의 다양한 형태의 기판을 카세트(cassette)로 효율적으로 반송하기 위한 로봇 시스템이다.Such a carrier robot can be used as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device container plate, a plasma display container plate, an FED (Field Emission Display) container plate, an optical disk container plate, a magnetic disk container plate, ) Container board and the like in a cassette.

이렇게 반송 로봇은 제품 제작에 사용되는 기판을 공정과 공정 사이에 설치되어 기판을 특정 카세트(cassette)에서 카세트(cassette)로 이송하고 상하로 이격되게 적재되도록 이송하여 다음 공정의 작업을 수행할 수 있도록 한다.In this way, the carrier robot is installed between the process and the process so that the substrate can be transferred from a specific cassette to a cassette and transferred to be vertically stacked, do.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은 크게, 레일부(10), 주행부(20), 선회부(30), 승강부(40), 암 유닛(50)으로 구성된다.1 is a perspective view of a conventional conveying robot. As shown in the drawing, a conventional conveying robot mainly includes a rail part 10, a traveling part 20, a pivot part 30, a lift part 40, 50).

상기 종래의 반송 로봇의 암 유닛(50)은 승강부(40)를 기준으로 상, 하로 이동되고, 주행부(20)의 수평이동을 통해 특정 위치의 카세트(cassette)로 기판을 반송할 수 있도록 구성된다.The arm unit 50 of the conventional transport robot is moved up and down with respect to the lift unit 40 so that the substrate can be transported to a cassette at a specific position through the horizontal movement of the travel unit 20. [ .

하지만 종래의 반송 로봇의 경우, 암 유닛(50)에 설치되어 기판을 지지하는 포크(52)가 한 개만 설치됨으로써, 한 개의 기판만을 반송할 수밖에 없어 생산성이 떨어지는 문제가 있다.However, in the case of the conventional carrier robot, there is a problem that productivity is deteriorated because only one fork 52 that is provided in the arm unit 50 and supports the substrate is provided.

또한, 도 2, 3은 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은, 상기 선회부(30) 중심에 승강부(40)가 설치되거나, 포크(52)가 레일부(10)의 면적보다 크게 돌출됨으로써 암(51)과 포크(52)에 의해 로봇의 선회동작반경이 커지게 되고, 이로 인해, 기판 이송을 위한 동작에 필요한 충분한 공간 확보가 어려운 문제가 있다.2 and 3 are plan views of a turning part of a conventional carrying robot. As shown in the figure, the conventional carrying robot is provided with the elevating part 40 at the center of the turning part 30, The radius of the turning motion of the robot is increased by the arm 51 and the fork 52. This makes it difficult to secure a sufficient space required for the operation for transferring the substrate have.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있고, 선회부에서 편심되도록 승강부를 설치하고 슬라이딩 암을 선회부 중심에 배치함으로써, 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있는 멀티 암 반송 로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived in order to solve the problems of the conventional art described above, and it is an object of the present invention to provide an elevator system, The present invention provides a multi-arm carrying robot capable of reducing the operating radius.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 선회부는 주행부 상측 중심에 배치되고, 승강부는 선회부 중심에서 편심 되도록 배치되며, 슬라이딩 암이 승강부의 일측으로 배치되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a transport robot including a plurality of arms for transporting a plurality of substrates, the transport robot comprising: a rail disposed on the ground and having a horizontal rail; A running portion that runs horizontally on a rail of the rail portion; A revolving portion provided on the upper portion of the traveling portion and rotating; An elevating portion provided at one side of the swivel portion and provided with a vertical rail arranged in a vertical phase; And an arm unit vertically elevated and lowered on the rails of the elevating unit and provided with a plurality of forks for supporting the substrate, wherein the revolving unit is disposed at the center of the upper portion of the running unit, and the elevating unit is disposed eccentrically from the center of the turning unit , And the sliding arm is disposed on one side of the elevating portion.

이때, 상기 암 유닛은, 승강부 일측에 체결되고 승강하기 위해 수직 구동부를 포함하는 암베이스; 상기 암베이스의 체결부분과 직각을 이루도록 암베이스에 설치되는 암바디; 상기 암바디의 상측과 하측에 복수개가 설치되고, 암바디와 직각을 이루도록 설치되는 슬라이딩 암; 상기 슬라이딩 암의 상측면과 하측면에 설치되고 절곡된 형태로 형성되는 복수개의 핸드프레임; 및 상기 복수개의 핸드프레임 마다 각각 설치되고, 기판을 지지하는 포크;를 포함하는 것이 바람직하다.At this time, the arm unit includes a vertical arm coupled to one side of the vertical part and including a vertical driving part for vertical movement; An arm body installed on the arm base at right angles to the fastening portion of the arm base; A plurality of sliding arms provided on the upper and lower sides of the arm body, the sliding arms being perpendicular to the arm body; A plurality of hand frames formed on the upper and lower sides of the sliding arm and bent; And a fork provided for each of the plurality of hand frames and supporting the substrate.

또한, 상기 암 유닛은, 선회부 회전시 레일부의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암의 크기가 레일부의 면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the size of the sliding arm is smaller than the area of the rail so that the arm unit can be pivoted without deviating from the area of the rail part when the pivot part is rotated.

한편, 상기 암 유닛의 슬라이딩 암은, 2개를 1개의 쌍으로 이루어지고, 암바디의 상측과 하측에 복수개의 쌍이 설치되는 것이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that two sliding arms of the arm unit are formed as one pair, and a plurality of pairs are provided on the upper and lower sides of the arm body.

상기와 같은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 다음과 같은 효과가 있다.The above-described multi-arm carrying robot according to the present invention has the following effects.

복수개의 암을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.A plurality of arms can be arranged at predetermined intervals, and a plurality of forks can be provided, so that a plurality of substrates can be carried by one transfer.

또한, 선회부에서 편심되도록 승강부를 배치하여 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있게 된다.In addition, the elevating and lowering portions can be arranged so as to be eccentric in the turning portion, so that the turning operation radius of the carrying robot can be reduced.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 선회부의 회전동작에 의한 선회동작반경을 줄여 기판 이송을 위한 회전동작시 충분한 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, productivity can be improved by transporting the plurality of substrates at a time, and the swinging operation radius by the swinging operation of the swinging unit can be reduced, thereby securing a sufficient space in the rotating operation for substrate transfer.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도.
도 2는 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도.
도 3은 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도.
도 7은 선회부 부분의 회전 동작 전 상태를 나타낸 작동상태도.
도 8은 선회부 부분의 회전 동작 후 상태를 나타낸 작동상태도.1 is a perspective view of a conventional carrying robot.
2 is a plan view of a portion of a turning part of a conventional carrier robot.
3 is a plan view of a part of a turning part of a conventional carrier robot.
4 is a perspective view of a multi-arm carrying robot according to the present invention.
5 is a plan view of a multi-arm transportation robot according to the present invention.
6 is a side view of a multi-arm carrying robot according to the present invention.
7 is an operational state view showing a state before the turning operation of the swivel portion.
8 is an operational state view showing a state after the turning operation of the turning part.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary meanings and the inventor may properly define the concept of the term to describe its invention in the best possible way And should be construed in accordance with the principles and meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

이하에서는, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도 4 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 8 attached hereto.

도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도, 도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도, 도 7은 선회부 부분의 회전 동작 전 상태를 나타낸 작동상태도, 도 8은 선회부 부분의 회전 동작 후 상태를 나타낸 작동상태도이다.FIG. 6 is a side view of the multi-arm carrying robot according to the present invention. FIG. 7 is a side view of the multi-arm carrying robot according to the present invention. Fig. 8 is an operational state view showing the state before the operation, and Fig. 8 is an operation state showing the state after the turning operation of the turning part.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 크게, 레일부(100), 주행부(200), 선회부(300), 승강부(400), 암 유닛(500)을 포함하여 구성된다.The multi-arm transportation robot according to the present invention mainly includes a rail part 100, a traveling part 200, a pivot part 300, a lift part 400, and an arm unit 500 .

또한, 상기 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된다.Also, the multi-arm transportation robot is provided with a plurality of arms so that a plurality of substrates can be simultaneously transported.

도 4를 참조하여 설명하면, 레일부(100)는 지면에 설치되고, 후술하는 주행부(200)가 수평상에서 주행할 수 있도록 안내하는 수평레일(110)을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 4, the rail 100 includes a horizontal rail 110 installed on the ground and guiding the traveling unit 200, which will be described later, to travel horizontally.

상기 수평레일(110)은 주행부(200)와 접하는 면, 즉, 레일부(100)의 내측에 설치될 수 있다.The horizontal rail 110 may be installed on a surface that contacts the running unit 200, that is, inside the rail 100.

또한, 상기 수평레일(110)은 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 안내하기 위한 역할을 하는 것으로, 수평상으로 레일부(100)의 길이만큼 연장될 수 있다.In addition, the horizontal rail 110 serves to guide the traveling unit 200 in a horizontal direction, and may extend as much as the length of the rail 100 in a horizontal plane.

한편, 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 형성되는 수평레일(110)의 형태를 보면, 평기어 형태의 랙기어, LM가이드의 레일, 볼스크류 구동 방식의 스크류 등으로, 수평 이동이 가능한 구조이면 어느 하나로 한정하지 않는다.On the other hand, as for the form of the horizontal rail 110 formed so as to enable the horizontal movement of the traveling unit 200, a rack gear of a flat gear type, a rail of an LM guide, a screw of a ball screw driving system, It is not limited to any one structure.

또한, 상기 레일부(100)는 내부에 공간이 마련되도록 형성되고 'ㄷ'자 또는 'ㅁ'자 형태로 형성될 수 있다.In addition, the rail part 100 may be formed to have a space therein, and may be formed in a 'C' shape or a 'C' shape.

여기서 상기 레일부(100)의 내부 공간에는 수평 케이블베어(120)가 설치될 수 있고, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 나란히 배치될 수 있다.Here, the horizontal cable bear 120 may be installed in the inner space of the rail 100, and the horizontal cable bear 120 may be arranged on both sides of the rail 100.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 구성되어 배치될 수 있고, 이는, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위해 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 나누어 배치시키기 위함이다.That is, the horizontal cable bails 120 may be arranged in pairs on both sides of the rail part 100, and may be arranged on both sides of the rail part 100 in order to reduce the width of the horizontal cable bear 120 In order to arrange them in pairs.

이렇게 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄임으로써 상기 레일부(100)의 설치 면적을 줄일 수 있음은 물론 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.By reducing the width of the horizontal cable bear 120, it is possible to reduce the installation area of the rail 100 and to reduce the operation interference area of the robot.

한편, 상기 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위함으로, 레일부(100) 양측에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어(120) 중 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 후술하는 배선설치부(130)를 기준으로 일측으로 설치되는 제1 수평 케이블베어(121), 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어(122)를 포함한다.In order to reduce the width of the horizontal cable bear 120, any one of the horizontal cable bear 120 of the pair of horizontal cable bearers 120 installed on both sides of the rail 100 may be connected to a wiring installation part A first horizontal cable bearing 121 installed at one side with respect to the first horizontal cable bearer 130, and a second horizontal cable bearing 122 installed at the other side.

상기 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122) 레일부(100)의 양측에 설치된 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 설치된다.The first horizontal cable bear 121 and the second horizontal cable bear 122 are installed on one side and the other side with respect to the wiring installation part 130 provided on both sides of the rail part 100.

또한, 후술하는 주행부(200)의 수평 이동에 따라 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122)가 수평상에서 좌, 우로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.In addition, the first horizontal cable bear 121 and the second horizontal cable bear 122 alternately move horizontally to the opposite positions to each other in accordance with the horizontal movement of the traveling unit 200, which will be described later.

이와 같이, 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치함으로써, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.In this way, the horizontal cable bear 120 is divided into two parts on both sides of the rail part 100, and one of the horizontal cable bearings 120 installed on one of the two sides is connected to one side and the other side with reference to the wiring part 130 The width of the horizontal cable bear 120 can be reduced.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.In other words, the width of the horizontal cable bear 120 can be reduced by half by disposing both side portions of the rail portion 100, and by dividing the horizontal cable bear 120 into one side and the other side with reference to the wiring installation portion 130, 1/2. ≪ / RTI >

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 레일부(100)의 설치면적을 줄일 수 있게 된다.This makes it possible to reduce the width of the cable bear by 1/4 and reduce the installation area of the rail portion 100 as compared with a case where all the cables are bundled in one direction and the cable bear is installed.

또한, 반송 로봇 암의 수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 구성될 수 있도록 할 수도 있으며, 이에 따라, 암의 개수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 정해지면서 수평 케이블베어(120)를 가변적으로 설계할 수도 있다.In addition, the number of the horizontal cable bails 120 may correspond to the number of the transport robot arms. Accordingly, the number of the horizontal cable bails 120 is determined corresponding to the number of the arms, (120) may be variably designed.

한편, 상기 레일부(100) 양측에는 전원 및 제어 신호를 외부로부터 인가받기 위한 배선설치부(130)가 설치되고, 그 위치는 레일부(100)의 중간 지점이 될 수 있다.On both sides of the rail 100, a wiring installation part 130 for receiving a power supply and a control signal from the outside is provided, and the location of the wiring installation part 130 may be a midpoint of the rail 100.

따라서, 상기에서 설명한 바와 같이, 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 케이블베어(122)가 상기 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치됨에 따라, 수평 케이블베어(120)의 원활한 이동을 위해서 상기 배선설치부(130)가 설치되는 위치는 레일부(100)의 중간 지점으로 설정하는 것이 바람직할 것이다.Therefore, as described above, since the first horizontal cable bear 121 and the second cable bear 122 are separately installed on one side and the other side with respect to the wiring installation part 130, the horizontal cable bear 120 It is preferable that the position where the wiring installation part 130 is installed is set as an intermediate point of the rail part 100. [

한편, 상기 배선설치부(130)는 레일부(100)의 외부로 돌출되지 않도록 레일부(100) 내부로 내장되도록 복수개의 단자가 구비된 케이블 커넥터(미도시)가 설치된다.The wiring installation part 130 is provided with a cable connector (not shown) having a plurality of terminals to be installed inside the rail part 100 so as not to protrude outside the rail part 100.

상기 케이블 커넥터는 로봇의 전원 및 신호 제어를 위한 케이블을 접속하기 위한 단자로서, 그 위치가 레일부(100) 안쪽에 위치할 수 있도록 설치된다.The cable connector is a terminal for connecting a cable for power supply and signal control of the robot and is installed so that its position can be located inside the rail 100.

여기서 상기 케이블 커넥터에 접속되는 케이블 측 커넥터는 'ㄱ'가 형태로 꺾어진 구조의 커넥터일 수 있으며, 이로 인해, 외부로부터 케이블이 케이블 커넥터에 접속된 상태에서도 레일부(100) 외부로 돌출되지 않는 구조가 될 수 있다.Here, the cable-side connector connected to the cable connector may be a connector having a structure in which the cable is connected to the cable connector from the outside, so that the cable-side connector does not protrude outside the rail portion 100 .

따라서, 반송 로봇의 설치 공간을 최소화시켜 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 도모한다.Therefore, the installation space of the transportation robot can be minimized and the operation interference area of the robot can be reduced.

한편, 레일부(100)는 지면에 직접 설치되거나, 설치공간의 환경에 맞게 지면으로부터 일정 높이를 띄운 상태로 설치하기 위해 레일부(100) 외측으로 복수개의 서포트(140)가 설치될 수 있다.Meanwhile, the rail part 100 may be installed directly on the ground, or a plurality of supports 140 may be installed outside the rail part 100 in order to install the rail part 100 in a state in which the rail part 100 has a predetermined height from the ground according to the environment of the installation space.

상기 서포트(140) 일측에는 수직으로 타공된 장공이 형성되고, 레일부(100)에 대해 장공에 볼트가 결합되어 서포트(140)가 설치될 수 있는 구조로 이루어진다.A vertical hole is formed at one side of the support 140 and a bolt is coupled to the rail 100 to support the support 140.

다음으로, 주행부(200)는 반송 로봇의 수평 이동을 위한 부분이다.Next, the traveling unit 200 is a part for horizontally moving the transportation robot.

상기 주행부(200)는 상기 레일부(100)의 수평레일(110) 상에서 수평으로 주행한다.The traveling unit 200 runs horizontally on the horizontal rail 110 of the rail 100.

이를 위해, 수평레일(110)의 구조에 대응하도록 수평 구동부(210)가 형성될 수 있는데, 그 예로, 수평레일(110)이 평기어 형태의 랙기어로 구성될 경우, 주행부(200)에는 수평 구동부(210)는 피니언기어를 포함하는 모터가 설치될 수 있다.For this purpose, the horizontal drive unit 210 may be formed to correspond to the structure of the horizontal rail 110. For example, when the horizontal rail 110 is a rack gear of the spur gear type, The horizontal driving unit 210 may include a motor including a pinion gear.

따라서, 랙기어의 수평레일(110) 상에서 피니언기어가 설치된 수평 구동부(210)에 의해 주행부(200)가 수평상에서 이동할 수 있게 된다.Therefore, the driving unit 200 can be moved horizontally by the horizontal driving unit 210 provided with the pinion gear on the horizontal rail 110 of the rack gear.

상기에서 설명한 바와 같이, 다양한 형태로 수평레일(110)을 구성할 수 있고, 이와 대응되도록 수평 구동부(210)를 구성할 수 있다.As described above, the horizontal rail 110 can be configured in various forms, and the horizontal driver 210 can be configured to correspond to the horizontal rail 110.

다음으로, 선회부(300)는 반송 로봇의 회전동작을 하기 위한 부분이다.Next, the swivel part 300 is a part for rotating the carrier robot.

상기 선회부(300)는 상기 주행부(200) 상측에 설치되고, 360도 회전 가능하도록 구성된다.The swivel part 300 is installed on the traveling part 200 and is rotatable 360 degrees.

다음으로, 승강부(400)는 후술하는 암 유닛(500)을 수직상에서 승강하기 위한 가이드 역할을 한다.Next, the elevating part 400 serves as a guide for vertically elevating and lowering the arm unit 500, which will be described later.

도 5를 참조하여 설명하면, 상기 승강부(400)는 선회부(300) 중심에서 편심되도록 배치된다.Referring to FIG. 5, the elevating unit 400 is disposed eccentrically from the center of the swivel unit 300.

즉, 상기 승강부(400)는 선회부(300)의 일측에 편심된 상태로 수직으로 설치되어, 암 유닛(500)의 승강을 위한 가이드 역할을 수행한다.That is, the elevating part 400 is vertically installed eccentrically on one side of the swivel part 300, and serves as a guide for raising and lowering the arm unit 500.

이렇게 상기 승강부(400)를 선회부(300)로부터 편심되도록 배치시키는 이유는 후술하는 암 유닛(500)의 슬라이딩 암(530)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회부(300)의 회전 동작이 이루어질 수 있도록 하기 위함으로, 이에 대하여, 이하에서 승강부(400)와 암 유닛(500)을 통해 구체적으로 설명하도록 한다.The reason why the elevating part 400 is disposed eccentrically from the swivel part 300 is that the sliding arm 530 of the arm unit 500 to be described later does not deviate from the area of the rail part 100, The elevation part 400 and the arm unit 500 will be described in detail below.

한편, 상기 승강부(400) 일측에는 수직으로 수직레일(410)이 설치된다.Meanwhile, a vertical rail 410 is vertically installed on one side of the elevating part 400.

상기 수직레일(410)은 수평레일(110)과 마찬가지로 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 수직으로 이동하도록 안내할 수 있는 구조이면 어느 한 가지 형태로 한정하지 않는다.The vertical rail 410 may be formed in various shapes as well as the horizontal rail 110, and is not limited to any one structure that can guide the vertical rail 410 to move vertically.

한편, 상기 승강부(400) 내부에는 암 유닛(500)의 작동을 위해 케이블을 보호하고 암 유닛(500)의 승강에 따라 이동하는 수직 케이블베어(420)가 설치된다.The vertical cable bear 420 is installed inside the elevating unit 400 to protect the cable for moving the arm unit 500 and move as the arm unit 500 moves up and down.

이때, 상기 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측으로 나누어 한 쌍으로 배치되도록 이루어질 수 있다.At this time, the vertical cable bails 420 may be divided into two parts on both sides of the elevating part 400.

이는, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄이기 위해 승강부(400) 양측으로 나누어 배치시키기 위함이다.In order to reduce the width of the vertical cable bear 420, the vertical cable bear 420 is divided into two parts.

여기서, 상기 승강부(400)의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어(420) 중 승강부(400) 일측에 설치되는 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)를 포함한다.The vertical cable bear 420 installed on one side of the elevation part 400 of the pair of vertical cable bearers 420 installed on both sides of the elevation part 400 is moved up and down by the arm unit 500 And includes a first vertical cable bear 421 and a second vertical cable bear 422 moving upward and downward.

이에 따라, 후술하는 암 유닛(500)의 수직 이동에 따라 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)가 수직상에서 상, 하로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.Accordingly, the first vertical cable bear 421 and the second vertical cable bear 422 are alternately moved vertically and vertically to each other in accordance with the vertical movement of the arm unit 500 described later.

이와 같이, 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수직 케이블베어(420)는 상, 하측으로 나누어 설치함으로써, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.The vertical cable bear 420 is divided into two parts on both sides of the lift part 400 and one vertical cable bear 420 installed on one side of the vertical cable bear 420 is divided into upper and lower parts, ) Can be reduced.

즉, 상기 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 상, 하측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.In other words, the width of the vertical cable bear 420 can be reduced by half by disposing the vertical cable bearer 420 on both sides of the vertical cable bearer 420, and by dividing the vertical cable bearer 420 into upper and lower sides, the width can be reduced to 1/2.

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 승강부(400)의 부피를 줄일 수 있게 된다.This makes it possible to reduce the width of the cable bear by 1/4 and reduce the volume of the elevation part 400 as compared with a case where all the cables are arranged in a bundle in one direction.

다음으로, 암 유닛(500)은 기판을 지지하는 복수개의 포크(550)가 설치되는 부분이다.Next, the arm unit 500 is a portion where a plurality of forks 550 supporting the substrate are installed.

상기 암 유닛(500)은 크게, 암베이스(510), 암바디(520), 슬라이딩 암(530), 핸드프레임(540), 포크(550)를 포함하여 구성된다.The arm unit 500 includes an arm base 510, an arm body 520, a sliding arm 530, a hand frame 540, and a fork 550.

상기 암베이스(510)는 상기 승강부(400)에 결합되고 수직레일(410)에 상에서 수직으로 승강하는 부분이다. The arm base 510 is coupled to the elevating unit 400 and vertically moves up and down on the vertical rail 410.

상기 암베이스(510) 내부에는 수직레일(410)의 구조와 대응되도록 수직 구동부(511)가 설치된다.Inside the arm base 510, a vertical driving unit 511 is provided to correspond to the structure of the vertical rail 410.

수직 구동부(511)는 상기 주행부(200)의 수평 구동부(210)와 마찬가지로 수직레일(410)의 구조에 대응되도록 구성된다.The vertical driving unit 511 is configured to correspond to the structure of the vertical rail 410 in the same manner as the horizontal driving unit 210 of the driving unit 200.

한편, 상기 암베이스(510)에는 승강부(400)에 대해 직각을 이루도록 배치되는 암바디(520)가 설치된다.The arm base 520 is disposed on the arm base 510 at right angles to the elevation part 400.

이때, 상기 암바디(520)는 암베이스(510)의 상측과 하측에 각각 설치되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the arm bodies 520 are installed on the upper side and the lower side of the arm base 510, respectively.

상기 슬라이딩 암(530)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 암바디(520)에 대해 윗면에서 봤을 때 직각을 이루는 구조로 설치된다.As shown in FIG. 5, the sliding arm 530 is installed at a right angle to the arm body 520 as viewed from the top.

여기서, 상기 슬라이딩 암(530)은 복수개로 구성될 수 있고, 2개를 1개 쌍을 이루도록 일정 간격을 두고 4개의 쌍으로 구성될 수 있다.Here, the sliding arm 530 may include a plurality of sliding arms 530, and the sliding arms 530 may be formed of four pairs at regular intervals to form two pairs.

하지만, 이는, 도면을 참고하여 설명하기 위한 것으로, 슬라이딩 암(530)의 개수는 한정하지 않는다.However, this is to be described with reference to the drawings, and the number of the sliding arms 530 is not limited.

한편, 도 7 내지 도 8을 참고하여 설명하면, 상기 암 유닛(500)은 선회부(300) 회전시 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암(530)의 크기가 레일부(100)의 면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.7 to 8, the arm unit 500 includes a sliding arm 530 having a size such that the sliding arm 530 can be swiveled without departing from the area of the rail 100 when the swivel unit 300 rotates, Is smaller than the area of the rail portion (100).

즉, 선회부(300)의 일측으로 편심되도록 승강부(400)를 배치하고, 승강부(400) 일측, 선회부(300)의 중앙에 레일부(100)의 면적보다 작게 슬라이딩 암(530)이 배치되도록 함으로써, 선회부(300)의 회전시 슬라이딩 암(530)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않고 회전할 수 있게 되는 것이다.That is, the elevating part 400 is arranged to be eccentric to one side of the swivel part 300, and the sliding arm 530 is formed at one side of the elevating part 400 and at the center of the swivel part 300 smaller than the area of the rail part 100, The sliding arm 530 can be rotated without departing from the area of the rail part 100 when the swivel part 300 rotates.

상기 슬라이딩 암(530)은 후술하는 핸드프레임(540)이 수평상으로 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로, 모터(미도시)를 포함할 수 있다.The sliding arm 530 may include a motor (not shown) for moving the hand frame 540 described below in a horizontal direction.

또한, 상기 슬라이딩 암(530)에는 하측면과 상측면으로 레일홈(531)이 길이방향으로 형성될 수 있다.Further, the sliding arm 530 may be formed with a rail groove 531 in the longitudinal direction from the lower side and the upper side.

상기 레일홈(531)은 슬라이딩 암(530)에 홈 형태로 형성되거나, 돌출된 레일의 형태로도 이루어질 수 있으며, 핸드프레임(540)과 결합되어 슬라이딩될 수 있는 구성이면 이를 모두 포함한다.The rail groove 531 may be formed in the form of a groove in the sliding arm 530 or may be formed in the form of a protruded rail and may be combined with the hand frame 540 so as to be slidable.

따라서, 핸드프레임(540)이 레일홈(531)에 안착된 상태로 슬라이딩될 수 있게 되는 것이다.Therefore, the hand frame 540 can be slid in a state of being seated in the rail groove 531. [

또한, 복수개의 핸드프레임(540)이 각각 개별적으로 슬라이딩될 수도 있다.In addition, the plurality of hand frames 540 may be individually slid.

한편, 도 6을 참고하여 설명하면, 상기 핸드프레임(540)은 후술하는 포크(550)를 설치하기 위한 부분이다.6, the hand frame 540 is a portion for installing a fork 550 to be described later.

상기 핸드프레임(540)은 상기 슬라이딩 암(530)에 설치된다.The hand frame 540 is installed on the sliding arm 530.

즉, 복수개로 구성되는 슬라이딩 암(530)의 개수에 맞게 상측면과 하측면에 설치될 수 있다.That is, it may be installed on the upper and lower sides in accordance with the number of the sliding arms 530.

즉, 상측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 하측면에, 하측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 상측면에 설치될 수 있다.That is, the hand frame 540 installed on the sliding arm 530 installed on the upper arm body 520 includes a sliding arm 530 installed on the lower arm body 520 on the lower side of the sliding arm 530, The hand frame 540 installed on the sliding arm 530 may be installed on the side surface of the sliding arm 530.

또한, 슬라이딩 암(530)의 레일홈(531)에 체결될 수도 있다.Further, it may be fastened to the rail groove 531 of the sliding arm 530.

이때, 상기 핸드프레임(540)은 직각으로 절곡된 구조로 형성되되, 그 길이를 달리하여 상측의 슬라이딩 암(530)과 하측의 슬라이딩 암(530) 사이에 핸드프레임(540)이 일정 간격으로 배열될 수 있도록 구성된다.At this time, the hand frame 540 is bent at right angles, and the hand frame 540 is arranged between the upper sliding arm 530 and the lower sliding arm 530 at regular intervals Lt; / RTI >

이를 위해, 상측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄴ'자 형태로 절곡되도록 하고, 하측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄱ'자 형태로 절곡되도록 구성하는 것이 바람직하다.To this end, it is preferable that the upper sliding arm 530 is bent in an 'a' shape and the lower sliding arm 530 is bent in an 'a' shape.

상기 포크(550)는 기판을 지지하기 위한 역할을 하는 부분이다.The fork 550 serves to support the substrate.

상기 포크(550)는 복수개가 설치되며, 상기 핸드프레임(540)의 개수에 대응하도록 구성된다.A plurality of the forks 550 are provided, and are configured to correspond to the number of the hand frames 540.

즉, 상기 핸드프레임(540)의 끝단부에 막대 형태로 설치될 수 있다.In other words, it may be provided in the form of a rod at the end of the hand frame 540.

따라서, 기판은 복수개의 포크(550)에 얹어진 상태로 정렬된 상태로 반송될 수 있다.Accordingly, the substrate can be transported in a state of being placed on the plurality of forks 550.

그리고 상기 포크(550)는 슬라이딩 암(530)의 길이 보다 길지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.Further, the fork 550 is preferably formed not to be longer than the length of the sliding arm 530.

이하에서는 도 4 내지 도 8을 참조하여 상기 설명한 멀티 암 반송 로봇의 작용에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the above-described multi-arm transportation robot will be described with reference to Figs. 4 to 8. Fig.

먼저, 작업공간의 지면에 레일부(100)가 설치되고, 레일부(100)에 설치된 수평레일(110) 상에서 주행부(200)의 수평 구동부(210)의 작동에 의해 주행부(200)는 수평 상에서 좌, 우로 주행하게 된다.First, a rail part 100 is installed on a ground surface of a work space, and the running part 200 is operated by the operation of the horizontal driving part 210 of the driving part 200 on the horizontal rail 110 installed on the rail part 100 It travels horizontally left and right.

이때, 레일부(100)에 설치된 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 양측, 즉, 레일부(100)의 양측 부분에 설치된 한 쌍의 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 주행에 따라 수평상에서 좌, 우로 번갈아 가면서 이동하게 된다.The horizontal cable bear 120 installed on the rail part 100 has a pair of horizontal cable bearings 120 installed on both sides of the running part 200, that is, both side parts of the rail part 100, In accordance with the running of the vehicle.

그 다음, 반송 로봇의 회전 동작을 요하는 경우, 선회부(300)의 작동에 의해 회전 동작을 구현한다.Next, when the turning operation of the conveying robot is required, the turning operation is realized by the operation of the turning unit 300. [

이때, 승강부(400)가 선회부(300)로부터 편심되도록 배치되고, 슬라이딩 암(530)이 선회부(300) 중앙의 상측에 배치되어 선회부(300)의 회전 동작 시 암 유닛(500)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 회전이 가능하게 된다.The sliding unit 530 is disposed on the upper side of the center of the swivel unit 300 so that the arm unit 500 is rotated in the rotating operation of the swivel unit 300, It is possible to rotate in a state in which the area of the rail part 100 does not deviate.

그 다음, 수직으로 이동하는 동작이 필요한 경우, 승강부(400)의 수직레일(410) 상에서 암 유닛(500)의 암베이스(510)가 수직으로 승강되면서 수직 동작을 구현한다.Then, when vertical movement is required, the arm base 500 of the arm unit 500 is lifted vertically on the vertical rail 410 of the lifting unit 400 to implement a vertical motion.

여기서, 상기 암베이스(510)의 수직 구동부(511)의 작동에 따라 암 유닛(500)이 승강부(400) 상에서 수직으로 주행이 가능해진다.Here, the arm unit 500 can vertically travel on the lifting unit 400 according to the operation of the vertical driving unit 511 of the arm base 510.

이때, 승강부(400)에 설치된 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측에 설치된 한 쌍의 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 주행에 따라 수직상에서 상, 하로 번갈아 가면서 이동하게 된다.At this time, the vertical cable bear 420 installed at the elevating part 400 is vertically moved upward and downward in accordance with the running of the arm unit 500 by a pair of vertical cable bearings 420 installed on both sides of the elevating part 400 .

한편, 암 유닛(500)에 설치되는 포크(550)에 기판이 얹어지는데, 기판의 특성 및 크기에 따라 기판의 개수를 정하고, 이에 대하여 핸드프레임(540)의 배열을 달리하여 포크(550) 사이의 간격을 설정할 수 있다.The number of the substrates is determined according to the characteristics and the size of the substrate. The number of the substrates is determined by the arrangement of the hand frames 540, Can be set.

이와 같이, 상기 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 탑재한 상태로 수평, 수직, 회전 동작을 구현하여 반송 작업을 수행할 수 있게 된다.As described above, the multi-arm transportation robot according to the present invention can carry out the transportation operation by implementing the horizontal, vertical, and rotation operations with a plurality of substrates mounted thereon.

상기 설명한 바와 같이, 복수개의 슬라이딩 암(530)을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크(550)를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.As described above, a plurality of sliding arms 530 can be arranged at predetermined intervals, and a plurality of forks 550 can be provided, so that a plurality of substrates can be transported in one transport.

또한, 선회부(300)에서 편심되도록 승강부(400)를 배치하여 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있게 된다.In addition, the elevation part 400 can be arranged to be eccentric in the swivel part 300, so that the turning operation radius of the conveying robot can be reduced.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 선회부(300)의 회전동작에 의한 선회동작반경을 줄여 기판 이송을 위한 회전동작시 충분한 공간을 확보할 수 있는 특징이 있는 것이다.This makes it possible to increase the productivity by transporting the plurality of substrates at one time, and it is possible to secure a sufficient space in the rotation operation for transferring the substrate by reducing the turning operation radius by the turning operation of the turning unit 300 will be.

한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. .

100: 레일부 110: 수평레일
120: 수평 케이블베어 121: 제1 수평 케이블베어
122: 제2 수평 케이블베어 130: 배선설치부
140: 서포트 200: 주행부
210: 수평 구동부 300: 선회부
400: 승강부 410: 수직레일
420: 수직 케이블베어 421: 제1 수직 케이블베어
422: 제2 수직 케이블베어 500: 암 유닛
510: 암베이스 511: 수직 구동부
520: 암바디 530: 슬라이딩 암
531: 레일홈 540: 핸드프레임
550: 포크100: rail part 110: horizontal rail
120: Horizontal cable bare 121: First horizontal cable bare
122: second horizontal cable bear 130: wiring installation part
140: Support 200:
210: horizontal driving unit 300:
400: elevating part 410: vertical rail
420: vertical cable bear 421: first vertical cable bearing
422: second vertical cable bear 500: arm unit
510: arm base 511: vertical driving part
520: arm body 530: sliding arm
531: rail groove 540: hand frame
550: fork

Claims (4)

복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서,
지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부;
상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부;
상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부;
상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및
상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되,
상기 선회부는 주행부 상측 중심에 배치되고, 승강부는 선회부 중심에서 편심 되도록 배치되며, 슬라이딩 암이 승강부의 일측으로 배치되는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.A transfer robot comprising a plurality of arms for transferring a plurality of substrates,
A rail part installed on the ground and having a horizontal rail inside;
A running portion that runs horizontally on a rail of the rail portion;
A revolving portion provided on the upper portion of the traveling portion and rotating;
An elevating portion provided at one side of the swivel portion and provided with a vertical rail arranged in a vertical phase; And
And a plurality of forks mounted vertically on the rails of the elevating unit and supporting the substrate,
Wherein the pivotal portion is disposed at the center of the upper portion of the travel portion, the elevating portion is disposed eccentrically from the center of the pivot portion, and the sliding arm is disposed at one side of the elevating portion. 제 1항에 있어서,
상기 암 유닛은,
승강부 일측에 체결되고 승강하기 위해 수직 구동부를 포함하는 암베이스;
상기 암베이스의 체결부분과 직각을 이루도록 암베이스에 설치되는 암바디;
상기 암바디의 상측과 하측에 복수개가 설치되고, 암바디와 직각을 이루도록 설치되는 슬라이딩 암;
상기 슬라이딩 암의 상측면과 하측면에 설치되고 절곡된 형태로 형성되는 복수개의 핸드프레임; 및
상기 복수개의 핸드프레임 마다 각각 설치되고, 기판을 지지하는 포크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.The method according to claim 1,
The above-
An arm base coupled to one side of the elevating part and including a vertical driving part for elevating and lowering;
An arm body installed on the arm base at right angles to the fastening portion of the arm base;
A plurality of sliding arms provided on the upper and lower sides of the arm body, the sliding arms being perpendicular to the arm body;
A plurality of hand frames formed on the upper and lower sides of the sliding arm and bent; And
And a fork provided for each of the plurality of hand frames and supporting the substrate. 제 2항에 있어서,
상기 암 유닛은, 선회부 회전시 레일부의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암의 크기가 레일부의 면적 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.3. The method of claim 2,
Wherein the arm unit is formed so that the size of the sliding arm is smaller than the area of the rail part so that the arm unit can be pivoted without deviating from the area of the rail part when the pivot part is rotated. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암 유닛의 슬라이딩 암은, 2개를 1개의 쌍으로 이루어지고, 암바디의 상측과 하측에 복수개의 쌍이 설치되는 것을 특징으로 하는 하는 멀티 암 반송 로봇.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the sliding arm of the arm unit is formed of two pairs, and a plurality of pairs are provided on the upper side and the lower side of the arm body.
KR1020150051124A 2015-04-10 2015-04-10 Transfer robot with multi arm KR20160121752A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150051124A KR20160121752A (en) 2015-04-10 2015-04-10 Transfer robot with multi arm

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150051124A KR20160121752A (en) 2015-04-10 2015-04-10 Transfer robot with multi arm

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160121752A true KR20160121752A (en) 2016-10-20

Family

ID=57251313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150051124A KR20160121752A (en) 2015-04-10 2015-04-10 Transfer robot with multi arm

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160121752A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018210291A1 (en) * 2017-05-18 2018-11-22 北京华沁智联科技有限公司 Robotic arm

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018210291A1 (en) * 2017-05-18 2018-11-22 北京华沁智联科技有限公司 Robotic arm

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101488649B1 (en) Substrate transfer robot and system
JP4711770B2 (en) Conveying apparatus, vacuum processing apparatus, and conveying method
US10957570B2 (en) Article storage facility
JP6849065B2 (en) Transport system and transport method
KR20160119917A (en) Transfer robot with multi arm
KR101204255B1 (en) Double-arm type two step cassette lifting robot
JP2012051674A (en) Lifting device
KR20160121752A (en) Transfer robot with multi arm
KR101328574B1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR20160119918A (en) Transfer robot with multi arm
KR20040019842A (en) Transportation apparatus
KR20160121751A (en) Transfer robot with multi arm
KR20160126151A (en) Transfer robot with multi arm
KR20180077734A (en) Apparatus for Transferring Substrate
JP2017127956A (en) Industrial robot
EP3888994A1 (en) Travelling vehicle system
KR20160121742A (en) Transfer robot with multi arm
KR20160125550A (en) Transfer robot with multi arm
KR20160122299A (en) Transfer robot with multi arm
JP5474328B2 (en) Substrate transfer robot
KR20150039482A (en) Cable veyor and apparatus for transferring substrate
JP4254135B2 (en) Transport device
JP2020083525A (en) Transfer apparatus
JP5309324B2 (en) Substrate transfer system
KR101580390B1 (en) Rotating apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application