JP2017127956A

JP2017127956A - Industrial robot

Info

Publication number: JP2017127956A
Application number: JP2016010903A
Authority: JP
Inventors: 康行北原; Yasuyuki Kitahara
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2016-01-22
Filing date: 2016-01-22
Publication date: 2017-07-27
Anticipated expiration: 2036-01-22
Also published as: JP6630162B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial robot capable of carrying an object to be carried, even when the object to be carried is stored at a low position.SOLUTION: An industrial robot 1 includes: hands 4 and 5; an arm 6 in which the hands 4 and 5 are rotatably coupled on a tip end side; an arm supporting member 7 to which a base end side of the arm 6 is rotatably coupled; a column 8 which holds the arm supporting member 7 so as to ascend/descend; an arm ascending/descending mechanism which ascends/descend the arm supporting member 7 to the column portion 8; and wiring 29 pulled around between the arm supporting member 7 and the column portion 8 so as to pass through the outside of the arm supporting member 7 and the outside of the column portion 8. The arm supporting member 7 is disposed on a front side of the column portion 8 and can ascend/descent along a front side surface 8a of the column portion 8. In the industrial robot 1, one end side of the wiring 29 is pulled into the inside of the column portion 8 from the front side of the column portion 8, and the other end side of the wiring 29 is pulled into the inside of the arm supporting member 7 from a lower surface of the arm supporting member 7.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot for transporting a transport object such as a semiconductor wafer.

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されている。この半導体製造システムは、たとえば、図７に示すように、半導体ウエハ処理装置１０１と、産業用ロボット１０２が収容される筐体１０３と、ＦＯＵＰ１０４を開閉する複数のロードポート１０５とを備えている。この半導体製造システムでは、産業用ロボット１０２の正面が半導体ウエハ処理装置１０１側を向き、産業用ロボット１０２の背面がロードポート１０５側を向くように産業用ロボット１０２が配置されている。 Conventionally, an industrial robot for transferring a semiconductor wafer is known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 is used by being incorporated in a semiconductor manufacturing system. For example, as shown in FIG. 7, the semiconductor manufacturing system includes a semiconductor wafer processing apparatus 101, a housing 103 in which an industrial robot 102 is accommodated, and a plurality of load ports 105 that open and close the FOUP 104. In this semiconductor manufacturing system, the industrial robot 102 is arranged so that the front of the industrial robot 102 faces the semiconductor wafer processing apparatus 101 side and the back of the industrial robot 102 faces the load port 105 side.

産業用ロボット１０２は、図８に示すように、半導体ウエハが搭載されるハンド１０６と、ハンド１０６が先端側に回動可能に連結されるアーム１０７と、アーム１０７の基端側が回動可能に連結される柱状部材１０８とを備えている。アーム１０７は、柱状部材１０８に基端側が回動可能に連結される第１アーム部１０９と、第１アーム部１０９の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１１０と、第２アーム部１１０の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンド１０６が先端側に回動可能に連結される第３アーム部１１１とから構成されている。 As shown in FIG. 8, the industrial robot 102 includes a hand 106 on which a semiconductor wafer is mounted, an arm 107 that is rotatably connected to the distal end side, and a base end side of the arm 107 that is rotatable. And a columnar member 108 to be connected. The arm 107 includes a first arm portion 109 that is pivotally connected to the columnar member 108 at a proximal end side, and a second arm portion 110 that is pivotally connected to the distal end side of the first arm portion 109. The third arm portion 111 is configured such that the proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 110 and the hand 106 is rotatably connected to the distal end side.

第１アーム部１０９、第２アーム部１１０、第３アーム部１１１およびハンド１０６は、下側からこの順番で配置されている。柱状部材１０８は、上下方向に細長い柱状に形成されており、第１アーム部１０９の基端側は、柱状部材１０８の上端面に載置されている。すなわち、アーム１０７は、柱状部材１０８の上端面に載置され、柱状部材１０８よりも上側に配置されている。 The first arm unit 109, the second arm unit 110, the third arm unit 111, and the hand 106 are arranged in this order from the lower side. The columnar member 108 is formed in a column shape elongated in the vertical direction, and the proximal end side of the first arm portion 109 is placed on the upper end surface of the columnar member 108. That is, the arm 107 is placed on the upper end surface of the columnar member 108 and is disposed above the columnar member 108.

また、産業用ロボット１０２は、柱状部材１０８と一緒にアーム１０７を昇降させるアーム昇降機構と、柱状部材１０８に対して第１アーム部１０９および第２アーム部１１０を回動させて第１アーム部１０９と第２アーム部１１０とからなるアーム１０７の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第２アーム部１１０に対して第３アーム部１１１を回動させる第３アーム部回動機構と、第３アーム部１１１に対してハンド１０６を回動させるハンド回動機構とを備えている。アーム部駆動機構は、上下方向から見たときの形状が長方形状となる筐体１０３の長手方向に平行な仮想線Ｌ１０１上を第２アーム部１１０と第３アーム部１１１との連結部が直線的に移動するように、第１アーム部１０９および第２アーム部１１０を回動させる。 The industrial robot 102 includes an arm lifting mechanism that moves the arm 107 up and down together with the columnar member 108, and a first arm unit 109 and a second arm unit 110 that rotate with respect to the columnar member 108. An arm drive mechanism for extending and contracting a part of the arm 107 composed of 109 and the second arm part 110; a third arm part turning mechanism for turning the third arm part 111 with respect to the second arm part 110; A hand rotation mechanism that rotates the hand 106 with respect to the third arm unit 111. The arm portion drive mechanism is such that the connecting portion between the second arm portion 110 and the third arm portion 111 is a straight line on an imaginary line L101 parallel to the longitudinal direction of the casing 103 that is rectangular when viewed from above and below. The first arm unit 109 and the second arm unit 110 are rotated so as to move in a regular manner.

産業用ロボット１０２において、アーム１０７が縮んだ状態では、図７の破線で示すように、上下方向から見たときに、第１アーム部１０９と第２アーム部１１０との連結部側および第３アーム部１１１とハンド１０６の連結部側が柱状部材１０８から産業用ロボット１０２の正面側に突出している。また、産業用ロボット１０２では、アーム１０７が柱状部材１０８の上端面よりも上側に配置されているため、図７の二点鎖線で示すように、産業用ロボット１０２の背面のすぐ横に配置されるＦＯＵＰ１０４に対しても半導体ウエハの搬送を行うことが可能となっている。 In the industrial robot 102, when the arm 107 is contracted, as shown by a broken line in FIG. 7, when viewed from above and below, the connecting portion side between the first arm portion 109 and the second arm portion 110 and the third arm portion are arranged. The connecting portion side of the arm portion 111 and the hand 106 protrudes from the columnar member 108 to the front side of the industrial robot 102. In the industrial robot 102, the arm 107 is disposed above the upper end surface of the columnar member 108, so that it is disposed immediately next to the rear surface of the industrial robot 102 as indicated by a two-dot chain line in FIG. 7. The semiconductor wafer can also be transferred to the FOUP 104.

特開２０１５−３６１８６号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-36186

特許文献１に記載の産業用ロボット１０２では、上下方向に細長い柱状部材１０８の上端面にアーム１０７が載置されているため、アーム１０７の先端側に連結されるハンド１０６を柱状部材１０８の上端面よりも下側に下げることができない。そのため、この産業用ロボット１０２は、柱状部材１０８の上端面よりも下側で半導体ウエハを搬送することができない。すなわち、産業用ロボット１０２は、低い位置に収容される半導体ウエハを搬送することができない。 In the industrial robot 102 described in Patent Document 1, since the arm 107 is placed on the upper end surface of the columnar member 108 that is elongated in the vertical direction, the hand 106 connected to the tip side of the arm 107 is placed on the columnar member 108. It cannot be lowered below the end face. Therefore, the industrial robot 102 cannot transfer the semiconductor wafer below the upper end surface of the columnar member 108. That is, the industrial robot 102 cannot transfer a semiconductor wafer accommodated in a low position.

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Then, the subject of this invention is providing the industrial robot which can convey a conveyance target object even if the conveyance target object is accommodated in the low position.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、アーム支持部材を昇降可能に保持する柱状の柱部と、柱部に対してアーム支持部材を昇降させるアーム昇降機構と、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で、アームの外部、アーム支持部材の外部および柱部の外部を通過するように引き回される配線とを備え、柱部は、前後の側面を備える柱状に形成され、アーム支持部材は、柱部の前側に配置されるとともに柱部の前側面に沿って昇降可能となっており、配線の一端側は、柱部の前側から柱部の内部に引き込まれ、配線の他端側は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方の下面からアームおよびアーム支持部材のいずれか一方の内部に引き込まれていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention has a hand on which an object to be transported is mounted, an arm to which the hand is pivotably connected to the distal end side, and a base end side of the arm that is pivotable. An arm support member to be connected, a columnar column portion that holds the arm support member so as to be movable up and down, an arm lifting mechanism that moves the arm support member up and down relative to the column portion, and either one of the arm and the arm support member and a column And a wiring routed so as to pass through the outside of the arm, the outside of the arm support member, and the outside of the column portion, and the column portion is formed in a columnar shape having front and rear side surfaces and supports the arm. The member is arranged on the front side of the column part and can be moved up and down along the front side surface of the column part, and one end side of the wiring is drawn into the inside of the column part from the front side of the column part, and the other end of the wiring The side of the arm and arm support member Characterized in that it is drawn displaced or from one of the lower surface within either arm and the arm support member.

本発明の産業用ロボットでは、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材が柱部の前側面に沿って昇降可能となっている。そのため、本発明では、柱部の前側面に沿って、アーム支持部材およびアームと一緒にハンドを柱部の下端側まで下げることが可能になる。したがって、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the arm support member to which the base end side of the arm is rotatably connected can be moved up and down along the front side surface of the column portion. Therefore, in the present invention, the hand can be lowered to the lower end side of the pillar portion along with the arm supporting member and the arm along the front side surface of the pillar portion. Therefore, in the industrial robot of the present invention, it is possible to transport the transport object even if the transport object is stored at a low position.

また、本発明では、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で、アームの外部、アーム支持部材の外部および柱部の外部を通過するように引き回される配線の一端側は、柱部の前側から柱部の内部に引き込まれ、配線の他端側は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方の下面からアームおよびアーム支持部材のいずれか一方の内部に引き込まれている。すなわち、本発明では、柱部の前側で配線が引き回されており、柱部の右側または左側で配線が引き回されていない。そのため、本発明では、柱部の前側面に沿ってアーム支持部材が昇降可能となっていても、柱部の後側面（背面）のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送する際に、アームと配線との干渉を防止することが可能になり、その結果、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送することが可能になる。 Further, in the present invention, one end side of the wiring routed so as to pass outside the arm, outside the arm support member, and outside the column portion between any one of the arm and the arm support member and the column portion. Is drawn from the front side of the column part into the column part, and the other end side of the wiring is drawn from the lower surface of either the arm or the arm support member to the inside of either the arm or the arm support member. . That is, in the present invention, the wiring is routed on the front side of the pillar portion, and the wiring is not routed on the right side or the left side of the pillar portion. Therefore, in the present invention, even if the arm support member can be moved up and down along the front side surface of the column part, with respect to the accommodation unit for the conveyance object arranged immediately next to the rear side surface (back surface) of the column part. When transporting a transport object, it becomes possible to prevent interference between the arm and the wiring. Can be transported.

本発明において、配線の一端側は、柱部の前側面の上下方向の中心位置において柱部の内部に引き込まれていることが好ましい。このように構成すると、アームおよびアーム支持部材の上下方向の移動ストロークを確保しつつ、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と、柱部との間の配線の長さを短くすることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that one end side of the wiring is drawn into the inside of the pillar portion at the center position in the vertical direction of the front side surface of the pillar portion. If comprised in this way, it becomes possible to shorten the length of the wiring between any one of an arm and an arm support member, and a pillar part, ensuring the movement stroke of an up-down direction of an arm and an arm support member. Become.

本発明において、産業用ロボットは、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で配線が内部に配置されるフレキシブルチューブを備え、フレキシブルチューブの一端は、柱部に固定され、フレキシブルチューブの他端は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方に固定されていることが好ましい。このように構成すると、フレキシブルチューブによって配線の損傷を防止することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes a flexible tube in which wiring is arranged between one of the arm and the arm support member and the column, and one end of the flexible tube is fixed to the column, and is flexible. The other end of the tube is preferably fixed to either the arm or the arm support member. If comprised in this way, it will become possible to prevent damage to wiring with a flexible tube.

本発明において、産業用ロボットは、アーム支持部材を上下方向へ案内するガイド機構を備え、柱部は、前後の側面と左右の側面とを備える略四角柱状に形成される柱状部材を備え、ガイド機構は、柱状部材の左右の側面のそれぞれに固定されるガイドレールと、アーム支持部材に固定されガイドレールに係合するガイドブロックとを備え、アーム昇降機構は、柱状部材の上端側および下端側のいずれか一方に固定されるモータと、モータの出力軸に連結される駆動側プーリと、柱状部材の上端側および下端側のいずれか他方に回転可能に取り付けられる従動側プーリと、駆動側プーリと従動側プーリとに架け渡されるベルトとを備え、ベルトの一部は、アーム支持部材に固定され、柱状部材の左右の側面の一方である一方面に沿って、駆動側プーリと従動側プーリとベルトとが配置されるとともにガイドレールとガイドブロックとが配置され、柱状部材の一方面側では、上下方向から見たときに、駆動側プーリおよび従動側プーリと、ガイドレールおよびガイドブロックとが重なるとともに、上下方向における駆動側プーリと従動側プーリとの間にガイドレールとガイドブロックとが配置されていることが好ましい。 In the present invention, the industrial robot includes a guide mechanism that guides the arm support member in the vertical direction, and the column portion includes a columnar member formed in a substantially square column shape including front and rear side surfaces and left and right side surfaces, and a guide. The mechanism includes a guide rail that is fixed to each of the left and right side surfaces of the columnar member, and a guide block that is fixed to the arm support member and engages with the guide rail. The arm lifting mechanism includes an upper end side and a lower end side of the columnar member. A motor fixed to one of the motors, a driving pulley connected to the output shaft of the motor, a driven pulley rotatably attached to either the upper end or the lower end of the columnar member, and a driving pulley And a belt that spans the driven pulley, and a part of the belt is fixed to the arm support member, and is driven along one of the left and right side surfaces of the columnar member. A pulley, a driven pulley, and a belt are disposed, and a guide rail and a guide block are disposed. When viewed from the up and down direction on one surface side of the columnar member, the driving pulley, the driven pulley, and the guide rail In addition, it is preferable that the guide rail and the guide block are disposed between the driving pulley and the driven pulley in the vertical direction.

このように構成すると、柱状部材の左右の側面の一方である一方面の側で、上下方向から見たときに駆動側プーリと従動側プーリとガイドレールとガイドブロックとが重なっているため、駆動側プーリおよび従動側プーリと、ガイドレールおよびガイドブロックとが左右方向でずれている場合と比較して、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送する際に、ベルト、ガイドレールおよびガイドブロックとアームとが干渉しにくくなる。したがって、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送することが可能になる。 With this configuration, the driving pulley, the driven pulley, the guide rail, and the guide block overlap when viewed from the up and down direction on one side of the left and right sides of the columnar member. Compared to the case where the side pulley and the driven pulley, and the guide rail and the guide block are displaced in the left-right direction, the object to be conveyed is compared with the container for the object to be conveyed that is arranged immediately next to the back surface of the column part. When transporting the belt, the belt, the guide rail, the guide block, and the arm are less likely to interfere with each other. Therefore, it becomes possible to convey a conveyance object with respect to the accommodating part of the conveyance object arrange | positioned just beside the back surface of a pillar part.

本発明において、たとえば、アームは、アーム支持部材に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンドが先端側に回動可能に連結される第３アーム部とから構成されている。すなわち、本発明の産業用ロボットは、たとえば、いわゆる３リンクアーム型の産業用ロボットである。 In the present invention, for example, the arm includes a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the arm support member, and a second arm whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion. And a third arm portion having a proximal end side rotatably connected to the distal end side of the second arm portion and a hand rotatably connected to the distal end side. That is, the industrial robot of the present invention is, for example, a so-called three-link arm type industrial robot.

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能になる。 As described above, the industrial robot of the present invention can transport a transport target even if the transport target is stored at a low position.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot concerning an embodiment of the invention. 図１に示す産業用ロボットの正面図である。It is a front view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing system in which the industrial robot shown in FIG. 1 is used. 図１に示す産業用ロボットのガイド機構およびアーム昇降機構等の構成を側面から説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the guide mechanism of an industrial robot shown in FIG. 1, an arm raising / lowering mechanism, etc. from the side. 図４に示すガイド機構の構成を上面から説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the guide mechanism shown in FIG. 4 from the upper surface. 図４に示すアーム昇降機構の構成を上面から説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the arm raising / lowering mechanism shown in FIG. 4 from an upper surface. 従来技術にかかる産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。It is a schematic plan view of the semiconductor manufacturing system in which the industrial robot concerning a prior art is used. 従来技術にかかる産業用ロボットの斜視図である。It is a perspective view of the industrial robot concerning a prior art.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の正面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。 (Overall configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a side view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing system 9 in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is used.

本形態の産業用ロボット１は、搬送対象物である半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材７と、アーム支持部材７を昇降可能に保持する柱状の柱部８とを備えている。 The industrial robot 1 of this embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2 that is a transport object. This industrial robot 1 includes two hands 4 and 5 on which a semiconductor wafer 2 is mounted, an arm 6 that is pivotally connected to the distal end side, and moves in the horizontal direction, and an arm 6 The arm support member 7 to which the base end side of this is connected so that rotation is possible, and the columnar pillar part 8 which hold | maintains the arm support member 7 so that raising / lowering is possible are provided.

以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図３等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図３等のＹ方向を「前後方向」とする。また、左右方向のうちのＸ１方向側を「右」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「左」側とするとともに、前後方向のうちのＹ１方向側を「前」側、その反対側であるＹ２方向側を「後（後ろ）」側とする。 In the following description, the industrial robot 1 is referred to as “robot 1”, and the semiconductor wafer 2 is referred to as “wafer 2”. In the following description, the X direction in FIG. 3 orthogonal to the vertical direction is referred to as “left-right direction”, and the Y direction in FIG. 3 orthogonal to the vertical direction and horizontal direction is referred to as “front-rear direction”. Also, the X1 direction side of the left-right direction is the “right” side, the opposite X2 direction side is the “left” side, and the Y1 direction side of the front-rear direction is the “front” side, and vice versa. The Y2 direction side that is the side is the “rear (rear)” side.

図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う複数の半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、複数の半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。ＦＯＵＰ１２には、複数枚のウエハ２が収容可能となっている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。ロボット１は、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。 As shown in FIG. 3, the robot 1 is used by being incorporated in a semiconductor manufacturing system 9. The semiconductor manufacturing system 9 includes an EFEM 10 and a plurality of semiconductor wafer processing apparatuses 11 that perform predetermined processing on the wafer 2. The EFEM 10 is disposed on the front side of the plurality of semiconductor wafer processing apparatuses 11. The robot 1 constitutes a part of the EFEM 10. The EFEM 10 includes a plurality of load ports 13 that open and close the FOUP 12 and a housing 14 in which the robot 1 is accommodated. The housing 14 is formed in a rectangular parallelepiped box shape elongated in the left-right direction. A plurality of wafers 2 can be accommodated in the FOUP 12. The load port 13 is disposed on the front side of the housing 14. The robot 1 transports the wafer 2 between the FOUP 12 and the semiconductor wafer processing apparatus 11.

アーム６は、アーム支持部材７に基端側が回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。アーム支持部材７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。 The arm 6 includes a first arm portion 16 whose base end side is rotatably connected to the arm support member 7, and a second arm portion 17 whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 16. And a third arm portion 18 whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 17. The first arm part 16, the second arm part 17, and the third arm part 18 are formed in a hollow shape. The arm support member 7, the first arm part 16, the second arm part 17, and the third arm part 18 are arranged in this order from the lower side in the vertical direction.

ハンド４、５は、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、ハンド４の基端側部分およびハンド５の基端側部分が第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４の基端側部分とハンド５の基端側部分とは上下方向で重なっている。本形態では、ハンド４の基端側部分がハンド５の基端側部分の上側に配置されている。すなわち、ハンド４はハンド５の上側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。 The hands 4 and 5 are rotatably connected to the distal end side of the third arm portion 18. Specifically, the base end side portion of the hand 4 and the base end side portion of the hand 5 are rotatably connected to the tip end side of the third arm portion 18. The base end side portion of the hand 4 and the base end side portion of the hand 5 overlap in the vertical direction. In this embodiment, the base end side portion of the hand 4 is disposed above the base end side portion of the hand 5. That is, the hand 4 is arranged on the upper side of the hand 5. Further, the hands 4 and 5 are disposed above the third arm portion 18. In addition, illustration of the hand 5 is abbreviate | omitted in FIG.

柱部８は、上下方向に細長い柱状に形成されている。この柱部８は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。また、柱部８は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成される柱状部材２０と、ロボット１を筺体１４に固定するための複数の固定板２１と、柱状部材２０の左右の両側に固定されるカバー部材２２とを備えている。 The column part 8 is formed in a column shape elongated in the vertical direction. The column portion 8 is formed in a substantially square column shape having front and rear side surfaces and left and right side surfaces. The column portion 8 includes a columnar member 20 formed in a substantially square column shape having front and rear side surfaces and left and right side surfaces, a plurality of fixing plates 21 for fixing the robot 1 to the housing 14, and the columnar member 20. And cover members 22 fixed to both the left and right sides.

柱状部材２０は、柱状部材２０の上側部分を構成する上側柱部２３と、柱状部材２０の下側部分を構成する下側柱部２４とから構成されている。上側柱部２３と下側柱部２４とは、上側柱部２３の下端面と下側柱部２４の上端面とが当接した状態で互いに固定されている。上側柱部２３は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。下側柱部２４は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。なお、下側柱部２４の前面側には、後ろ側に向かって窪む凹部２４ａ（図２参照）が形成されている。凹部２４ａは、下側柱部２４の左右方向の中心に形成されるとともに、下側柱部２４の上端から下端までの全域に形成されている。 The columnar member 20 includes an upper column portion 23 that constitutes an upper portion of the columnar member 20 and a lower column portion 24 that constitutes a lower portion of the columnar member 20. The upper column portion 23 and the lower column portion 24 are fixed to each other with the lower end surface of the upper column portion 23 and the upper end surface of the lower column portion 24 in contact with each other. The upper column portion 23 is formed in a substantially square column shape having front and rear side surfaces and left and right side surfaces. The lower column portion 24 is formed in a substantially square column shape having front and rear side surfaces and left and right side surfaces. A recess 24a (see FIG. 2) that is recessed toward the rear side is formed on the front side of the lower column portion 24. The concave portion 24 a is formed at the center in the left-right direction of the lower column portion 24 and is formed in the entire region from the upper end to the lower end of the lower column portion 24.

固定板２１は、平板状に形成されている。複数の固定板２１は、柱状部材２０の後側面に固定されている。ロボット１は、図３に示すように、筺体１４の内部の壁面のうちの後壁面に固定板２１の後面が接触するように筐体１４に固定されている。カバー部材２２は、平板状の部材を所定形状に折り曲げられることで形成されている。このカバー部材２２は、後述のガイド機構２７およびアーム昇降機構２８を左右方向の外側および前側から覆っている。 The fixed plate 21 is formed in a flat plate shape. The plurality of fixing plates 21 are fixed to the rear side surface of the columnar member 20. As shown in FIG. 3, the robot 1 is fixed to the housing 14 so that the rear surface of the fixing plate 21 contacts the rear wall surface of the inner wall surface of the housing 14. The cover member 22 is formed by bending a flat plate member into a predetermined shape. The cover member 22 covers a guide mechanism 27 and an arm elevating mechanism 28 described later from the outer side and the front side in the left-right direction.

アーム支持部材７は、ブロック状に形成されている。アーム支持部材７の後面側には、前側に向かって窪む凹部７ａ（図５、図６参照）が形成されている。また、アーム支持部材７は、中空状に形成されている。このアーム支持部材７は、柱部８の前側に配置されており、柱部８の前側面８ａに沿って昇降可能となっている。第１アーム部１６の基端側は、アーム支持部材７の上面に載置されている。 The arm support member 7 is formed in a block shape. On the rear surface side of the arm support member 7, a recess 7a (see FIGS. 5 and 6) that is recessed toward the front side is formed. The arm support member 7 is formed in a hollow shape. The arm support member 7 is disposed on the front side of the column portion 8 and can be moved up and down along the front side surface 8 a of the column portion 8. The proximal end side of the first arm portion 16 is placed on the upper surface of the arm support member 7.

また、ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構（図示省略）と、第２アーム部１７に対して第３アーム部１８を回動させる第３アーム部駆動機構（図示省略）と、第３アーム部１８に対してハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、第３アーム部１８に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。 In addition, the robot 1 rotates the first arm portion 16 and the second arm portion 17 to extend and contract a part of the arm 6 composed of the first arm portion 16 and the second arm portion 17 (illustrated). A third arm part drive mechanism (not shown) for rotating the third arm part 18 relative to the second arm part 17, and a hand drive mechanism for rotating the hand 4 relative to the third arm part 18. (Not shown) and a hand drive mechanism (not shown) for rotating the hand 5 with respect to the third arm portion 18 are provided.

アーム部駆動機構、第３アーム部駆動機構およびハンド駆動機構は、モータと、モータの動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。また、アーム部駆動機構、第３アーム部駆動機構およびハンド駆動機構は、中空状に形成されるアーム支持部材７、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の内部に配置されている。なお、アーム部駆動機構は、左右方向に平行な仮想線Ｌ１（図３参照）上を第２アーム部１７と第３アーム部１８との連結部が直線的に移動するように、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させる。 The arm drive mechanism, the third arm drive mechanism, and the hand drive mechanism include a motor and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor. The arm drive mechanism, the third arm drive mechanism, and the hand drive mechanism are provided inside the hollow arm support member 7, the first arm part 16, the second arm part 17, and the third arm part 18. Has been placed. Note that the arm portion driving mechanism is configured so that the connecting portion between the second arm portion 17 and the third arm portion 18 linearly moves on a virtual line L1 (see FIG. 3) parallel to the left-right direction. The part 16 and the second arm part 17 are rotated.

さらに、ロボット１は、アーム支持部材７を上下方向へ案内するガイド機構２７（図４等参照）と、柱部８に対してアーム支持部材７を昇降させるアーム昇降機構２８（図４等参照）と、アーム支持部材７と柱部８との間で、アーム支持部材７の外部および柱部８の外部を通過するように引き回される配線２９とを備えている。以下、ガイド機構２７、アーム昇降機構２８、配線２９の具体的な構成およびこれらの周辺部分の具体的な構成について説明する。 Further, the robot 1 includes a guide mechanism 27 (see FIG. 4 and the like) for guiding the arm support member 7 in the vertical direction, and an arm lifting and lowering mechanism 28 (see FIG. 4 and the like) that raises and lowers the arm support member 7 with respect to the column portion 8. And a wiring 29 routed between the arm support member 7 and the column portion 8 so as to pass outside the arm support member 7 and outside the column portion 8. Hereinafter, specific configurations of the guide mechanism 27, the arm elevating mechanism 28, and the wiring 29 and specific configurations of the peripheral portions thereof will be described.

（アーム昇降機構およびガイド機構の構成）
図４は、図１に示すロボット１のガイド機構２７およびアーム昇降機構２８等の構成を側面から説明するための図である。図５は、図４に示すガイド機構２７の構成を上面から説明するための図である。図６は、図４に示すアーム昇降機構２８の構成を上面から説明するための図である。 (Configuration of arm lifting mechanism and guide mechanism)
FIG. 4 is a view for explaining the configuration of the guide mechanism 27 and the arm lifting mechanism 28 of the robot 1 shown in FIG. 1 from the side. FIG. 5 is a view for explaining the configuration of the guide mechanism 27 shown in FIG. 4 from the top. FIG. 6 is a view for explaining the configuration of the arm lifting mechanism 28 shown in FIG. 4 from above.

ガイド機構２７は、柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに固定されるガイドレール３１と、ガイドレール３１に係合するガイドブロック３２とを備えている。すなわち、ガイド機構２７は、柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに沿って配置されるガイドレール３１およびガイドブロック３２を備えている。ガイドレール３１は、ガイドレール３１の長手方向と上下方向とが一致するように柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに固定されている。ガイドブロック３２は、連結部材３３を介してアーム支持部材７に固定されている。すなわち、ガイドブロック３２は、連結部材３３に固定され、連結部材３３は、アーム支持部材７に固定されている。 The guide mechanism 27 includes a guide rail 31 that is fixed to each of the left and right side surfaces of the columnar member 20, and a guide block 32 that engages with the guide rail 31. That is, the guide mechanism 27 includes a guide rail 31 and a guide block 32 that are disposed along the left and right side surfaces of the columnar member 20. The guide rail 31 is fixed to each of the left and right side surfaces of the columnar member 20 so that the longitudinal direction of the guide rail 31 matches the vertical direction. The guide block 32 is fixed to the arm support member 7 via a connecting member 33. That is, the guide block 32 is fixed to the connecting member 33, and the connecting member 33 is fixed to the arm support member 7.

上述のように、アーム支持部材７の後面側には凹部７ａが形成されている。凹部７ａは、左右方向におけるアーム支持部材７の中心位置に形成されており、左右方向における凹部７ａの両側は、後ろ側へ突出する凸部７ｂとなっている。左右方向における２個の凸部７ｂの間には、柱状部材２０の前端側部分が配置されている。連結部材３３は、２個の凸部７ｂのそれぞれの後端面に固定されており、柱状部材２０の左右の両外側に配置されている。ガイドブロック３２は、左右方向の外側からガイドレール３１に係合するように連結部材３３に固定されている。本形態では、上下方向で重なるように配置される２個のガイドブロック３２が１個の連結部材３３に固定されており、１本のガイドレール３１に２個のガイドブロック３２が係合している。 As described above, the recess 7 a is formed on the rear surface side of the arm support member 7. The concave portion 7a is formed at the center position of the arm support member 7 in the left-right direction, and both sides of the concave portion 7a in the left-right direction are convex portions 7b that protrude rearward. A front end portion of the columnar member 20 is disposed between the two convex portions 7b in the left-right direction. The connecting member 33 is fixed to the rear end surface of each of the two convex portions 7 b and is disposed on both the left and right outer sides of the columnar member 20. The guide block 32 is fixed to the connecting member 33 so as to engage with the guide rail 31 from the outside in the left-right direction. In this embodiment, two guide blocks 32 arranged so as to overlap in the vertical direction are fixed to one connecting member 33, and the two guide blocks 32 are engaged with one guide rail 31. Yes.

ガイド機構２７は、上述のようにカバー部材２２に覆われている。カバー部材２２の前面には、上下方向に細長いスリット状の貫通孔２２ａ（図２、図６参照）が形成されている。貫通孔２２ａは、連結部材３３の上下方向への移動が可能となるように、上下方向におけるカバー部材２２の略全域に形成されている。連結部材３３には、貫通孔２２ａに配置される貫通孔通過部３３ａ（図５参照）が形成されており、貫通孔通過部３３ａの前端面がアーム支持部材７の凸部７ｂの後端面に固定されている。なお、カバー部材２２の前端側の角部には、アーム６（より具体的には、第３アーム部１８）との干渉を防止するための面取り部２２ｂが形成されている。 The guide mechanism 27 is covered with the cover member 22 as described above. On the front surface of the cover member 22, a slit-like through hole 22a (see FIGS. 2 and 6) that is elongated in the vertical direction is formed. The through hole 22a is formed in substantially the entire area of the cover member 22 in the vertical direction so that the connecting member 33 can move in the vertical direction. The connecting member 33 is formed with a through-hole passage portion 33a (see FIG. 5) disposed in the through-hole 22a, and the front end surface of the through-hole passage portion 33a is formed on the rear end surface of the convex portion 7b of the arm support member 7. It is fixed. A chamfered portion 22b for preventing interference with the arm 6 (more specifically, the third arm portion 18) is formed at a corner portion on the front end side of the cover member 22.

また、連結部材３３には、貫通孔２２ａを塞ぐためのベルト３４の一部が固定されている。ベルト３４は、図４に示すように、柱状部材２０の左右の側面の上端側の２箇所に回転可能に取り付けられるプーリ３５と、柱状部材２０の左右の側面の下端側の２箇所に回転可能に取り付けられるプーリ３６とに架け渡されている。プーリ３５、３６は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように柱状部材２０に保持されている。 A part of the belt 34 for closing the through hole 22a is fixed to the connecting member 33. As shown in FIG. 4, the belt 34 is rotatably attached to two places on the left and right side surfaces of the columnar member 20, and a pulley 35 rotatably attached to two positions on the left and right side surfaces of the columnar member 20. It is spanned over a pulley 36 attached to the. The pulleys 35 and 36 are held by the columnar member 20 so that the pulleys 35 and 36 can rotate with the left-right direction as the axial direction of rotation.

アーム昇降機構２８は、図４、図６に示すように、柱状部材２０の上端側に固定されるモータ４０と、モータ４０の出力軸に連結される駆動側プーリとしてのプーリ４１と、柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられる従動側プーリとしてのプーリ４２と、プーリ４１、４２に架け渡されるベルト４３とを備えている。モータ４０の出力軸には、減速機４４が連結されており、プーリ４１は、減速機４４の出力軸に固定されている。すなわち、プーリ４１は、減速機４４を介してモータ４０の出力軸に連結されている。なお、図４では、モータ４０および減速機４４の図示を省略している。 As shown in FIGS. 4 and 6, the arm elevating mechanism 28 includes a motor 40 fixed to the upper end side of the columnar member 20, a pulley 41 as a driving pulley connected to the output shaft of the motor 40, and a columnar member. 20 includes a pulley 42 as a driven pulley that is rotatably attached to the lower end side of the belt 20 and a belt 43 that spans the pulleys 41 and 42. A reduction gear 44 is connected to the output shaft of the motor 40, and the pulley 41 is fixed to the output shaft of the reduction gear 44. That is, the pulley 41 is connected to the output shaft of the motor 40 via the speed reducer 44. In FIG. 4, illustration of the motor 40 and the speed reducer 44 is omitted.

減速機４４は、減速機４４の出力軸が柱状部材２０から左側に向かって突出するように柱状部材２０の上端側に固定されており、プーリ４１は、柱状部材２０の左側に配置されている。また、プーリ４２は、柱状部材２０の左側面の下端側に回転可能に取り付けられている。具体的には、プーリ４２は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられている。すなわち、プーリ４１、４２およびベルト４３は、柱状部材２０の左側面２０ｂ（図５参照）に沿って配置されている。 The speed reducer 44 is fixed to the upper end side of the columnar member 20 so that the output shaft of the speed reducer 44 protrudes from the columnar member 20 toward the left side, and the pulley 41 is disposed on the left side of the columnar member 20. . The pulley 42 is rotatably attached to the lower end side of the left side surface of the columnar member 20. Specifically, the pulley 42 is rotatably attached to the lower end side of the columnar member 20 so as to be able to rotate with the left-right direction as the axial direction of rotation. That is, the pulleys 41 and 42 and the belt 43 are disposed along the left side surface 20b (see FIG. 5) of the columnar member 20.

ベルト４３の一部は、柱状部材２０の左側に配置される連結部材３３に固定されている。すなわち、ベルト４３の一部は、連結部材３３を介してアーム支持部材７に固定されている。そのため、モータ４０が回転すると、ハンド４、５およびアーム６と一緒にアーム支持部材７が、ガイドレール３１に沿って上下動する。具体的には、図１の実線で示す位置と図１の二点鎖線で示す位置との間で、ハンド４、５およびアーム６と一緒にアーム支持部材７が上下動する。 A part of the belt 43 is fixed to a connecting member 33 disposed on the left side of the columnar member 20. That is, a part of the belt 43 is fixed to the arm support member 7 via the connecting member 33. Therefore, when the motor 40 rotates, the arm support member 7 moves up and down along the guide rail 31 together with the hands 4 and 5 and the arm 6. Specifically, the arm support member 7 moves up and down together with the hands 4 and 5 and the arm 6 between the position indicated by the solid line in FIG. 1 and the position indicated by the two-dot chain line in FIG.

上述のように、プーリ４１、４２およびベルト４３は、柱状部材２０の左側面２０ｂに沿って配置されている。また、ガイドレール３１およびガイドブロック３２も柱状部材２０の左側面２０ｂに沿って配置されている。柱状部材２０の左側では、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっている。また、図４に示すように、上下方向におけるプーリ４１とプーリ４２との間に、ガイドレール３１およびガイドブロック３２が配置されている。本形態の左側面２０ｂは、柱状部材２０の左右の一方の側面である一方面となっている。なお、柱状部材２０の左側では、ベルト３４は、ベルト４３の外周側を囲むように配置されており、上側から見たときに、ベルト３４とベルト４３とが重なっている。 As described above, the pulleys 41 and 42 and the belt 43 are disposed along the left side surface 20 b of the columnar member 20. Further, the guide rail 31 and the guide block 32 are also arranged along the left side surface 20 b of the columnar member 20. On the left side of the columnar member 20, the guide rail 31 and the guide block 32 overlap with the pulleys 41 and 42 when viewed from above. Further, as shown in FIG. 4, a guide rail 31 and a guide block 32 are arranged between the pulley 41 and the pulley 42 in the vertical direction. The left side surface 20 b of the present embodiment is one surface that is one of the left and right side surfaces of the columnar member 20. Note that, on the left side of the columnar member 20, the belt 34 is disposed so as to surround the outer peripheral side of the belt 43, and the belt 34 and the belt 43 overlap when viewed from above.

（配線の引き回し）
上述のように、アーム支持部材７と柱部８との間では、アーム支持部材７の外部および柱部８の外部を通過するように（すなわち、アーム６の外部も通過するように）配線２９が引き回されている。配線２９には、アーム部駆動機構のモータ、第３アーム部駆動機構のモータおよびハンド駆動機構のモータに電力を供給するための配線、アーム６の内部に配置される各種のセンサ（図示省略）に電力を供給するための配線、および、センサの検出信号を伝達するための配線等が含まれている。 (Wiring routing)
As described above, between the arm support member 7 and the column portion 8, the wiring 29 passes through the outside of the arm support member 7 and the outside of the column portion 8 (that is, also passes through the outside of the arm 6). Has been routed. The wiring 29 includes wiring for supplying electric power to the motor of the arm driving mechanism, the motor of the third arm driving mechanism and the motor of the hand driving mechanism, and various sensors (not shown) arranged in the arm 6. Wiring for supplying electric power, wiring for transmitting a detection signal of the sensor, and the like are included.

配線２９の一端側は、柱部８の前側から柱部８の内部に引き込まれている。具体的には、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれている。前側面８ａの上下方向の中心位置には、配線２９の一端側を柱部８の内部へ引き込むための引込部材４５が取り付けられている。具体的には、下側柱部２４の前側面の上端側に引込部材４５が取り付けられている。また、引込部材４５は、左右方向における柱部８の中心位置に取り付けられている。本形態では、配線２９の一端側は、引込部材４５の下面から柱部８の内部へ引き込まれている。より具体的には、配線２９の一端側は、引込部材４５の下面の左右方向の中心位置から柱部８の内部へ引き込まれている。 One end side of the wiring 29 is drawn into the column portion 8 from the front side of the column portion 8. Specifically, one end side of the wiring 29 is drawn into the inside of the column portion 8 at the center position in the vertical direction of the front side surface 8 a of the column portion 8. A pull-in member 45 for pulling one end side of the wiring 29 into the column portion 8 is attached to the center position in the vertical direction of the front side surface 8a. Specifically, the retracting member 45 is attached to the upper end side of the front side surface of the lower column part 24. Moreover, the drawing member 45 is attached to the center position of the column part 8 in the left-right direction. In this embodiment, one end side of the wiring 29 is drawn from the lower surface of the drawing member 45 into the column portion 8. More specifically, one end side of the wiring 29 is drawn into the inside of the column part 8 from the center position in the left-right direction of the lower surface of the drawing member 45.

配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。具体的には、アーム支持部材７には、配線２９の他端側をアーム支持部材７の内部へ引き込むための引込部７ｃが前側に突出するように形成されており、配線２９の他端側は、引込部７ｃの下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。また、引込部７ｃは、アーム支持部材７の左右方向の中心位置に形成されており、配線２９の他端側は、引込部７ｃの下面の左右方向の中心位置からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。また、配線２９は、下側で折り返されている。 The other end side of the wiring 29 is drawn into the arm support member 7 from the lower surface of the arm support member 7. Specifically, the arm support member 7 is formed with a lead-in portion 7 c for drawing the other end side of the wiring 29 into the arm support member 7 so as to protrude to the front side. Is drawn into the arm support member 7 from the lower surface of the lead-in part 7c. Moreover, the drawing-in part 7c is formed in the center position of the arm support member 7 in the left-right direction, and the other end side of the wiring 29 is located inside the arm support member 7 from the center position in the left-right direction of the bottom surface of the drawing-in part 7c. Has been drawn. Further, the wiring 29 is folded back on the lower side.

アーム支持部材７と柱部８との間において、配線２９は、フレキシブルチューブ４６の内部に配置されている。フレキシブルチューブ４６の一端は、柱部８に固定されている。具体的には、フレキシブルチューブ４６の一端は、引込部材４５の下面に固定されている。フレキシブルチューブ４６の他端は、アーム支持部材７に固定されている。具体的には、フレキシブルチューブ４６の他端は、引込部７ｃの下面に固定されている。配線２９およびフレキシブルチューブ４６は、配線２９およびフレキシブルチューブ４６の一部が下側柱部２４の凹部２４ａの中に配置されるように引き回されている。 Between the arm support member 7 and the column portion 8, the wiring 29 is disposed inside the flexible tube 46. One end of the flexible tube 46 is fixed to the column portion 8. Specifically, one end of the flexible tube 46 is fixed to the lower surface of the retracting member 45. The other end of the flexible tube 46 is fixed to the arm support member 7. Specifically, the other end of the flexible tube 46 is fixed to the lower surface of the lead-in part 7c. The wiring 29 and the flexible tube 46 are routed so that a part of the wiring 29 and the flexible tube 46 is disposed in the recess 24 a of the lower column part 24.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム支持部材７が柱状に形成される柱部８の前側面８ａに沿って昇降可能となっている。そのため、本形態は、柱部８の前側面８ａに沿って、ハンド４、５およびアーム６をアーム支持部材７と一緒に柱部８の下端側まで下げることが可能になる。したがって、本形態のロボット１では、ウエハ２が低い位置に収容されていても、ウエハ２を搬送することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the arm support member 7 can be moved up and down along the front side surface 8a of the column portion 8 formed in a column shape. Therefore, in this embodiment, the hands 4, 5 and the arm 6 can be lowered together with the arm support member 7 to the lower end side of the column portion 8 along the front side surface 8 a of the column portion 8. Therefore, in the robot 1 of this embodiment, the wafer 2 can be transferred even if the wafer 2 is stored at a low position.

本形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側から柱部８の内部に引き込まれ、配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。すなわち、本形態では、柱部８の前側で配線２９が引き回されており、柱部８の右側または左側で配線が引き回されていない。また、本形態では、アーム６はアーム支持部材７よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、柱部８の前側面８ａに沿ってアーム支持部材７が昇降可能となっていても、図３の実線で示すように、柱部８の後側面（背面）のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、アーム６と配線２９との干渉を防止することが可能になる。 In this embodiment, one end side of the wiring 29 is drawn into the column part 8 from the front side of the column part 8, and the other end side of the wiring 29 is drawn into the arm support member 7 from the lower surface of the arm support member 7. ing. That is, in this embodiment, the wiring 29 is routed on the front side of the column part 8, and the wiring is not routed on the right side or the left side of the column part 8. In this embodiment, the arm 6 is disposed above the arm support member 7. Therefore, in this embodiment, even if the arm support member 7 can be moved up and down along the front side surface 8a of the column part 8, as shown by the solid line in FIG. When the wafer 2 is transferred to the semiconductor wafer processing apparatus 11 disposed on the semiconductor wafer processing apparatus 11, interference between the arm 6 and the wiring 29 can be prevented.

また、本形態では、柱状部材２０の左側において、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっており、上下方向におけるプーリ４１とプーリ４２との間に、ガイドレール３１およびガイドブロック３２が配置されている。そのため、本形態では、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが左右方向でずれている場合と比較して、柱部８の左右方向の幅を狭めることが可能になり、その結果、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、柱部８とアーム６との干渉を防止することが可能になる。 In this embodiment, when viewed from the upper side on the left side of the columnar member 20, the guide rail 31 and the guide block 32 overlap the pulleys 41 and 42, and the pulley 41 and the pulley 42 in the vertical direction are overlapped. Further, a guide rail 31 and a guide block 32 are arranged. Therefore, in this embodiment, compared with the case where the guide rail 31 and the guide block 32 and the pulleys 41 and 42 are displaced in the left-right direction, the width in the left-right direction of the column part 8 can be reduced. As a result, when the wafer 2 is transported to the semiconductor wafer processing apparatus 11 disposed immediately next to the back surface of the pillar portion 8, it is possible to prevent the pillar portion 8 and the arm 6 from interfering with each other.

このように本形態では、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、アーム６と配線２９との干渉を防止することが可能になるとともに、柱部８とアーム６との干渉を防止することが可能になるため、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送することが可能になる。 As described above, in this embodiment, when the wafer 2 is transported to the semiconductor wafer processing apparatus 11 disposed immediately next to the back surface of the pillar portion 8, it is possible to prevent interference between the arm 6 and the wiring 29. In addition, since it is possible to prevent the interference between the column portion 8 and the arm 6, it is possible to transport the wafer 2 to the semiconductor wafer processing apparatus 11 disposed immediately next to the back surface of the column portion 8. become.

本形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれている。そのため、本形態では、アーム支持部材７の上下方向の移動ストロークを確保しつつ、アーム支持部材７と柱部８との間の配線２９の長さを短くすることが可能になる。また、本形態では、フレキシブルチューブ４６の内部に配線２９が配置されているため、フレキシブルチューブ４６によって配線２９の損傷を防止することが可能になる。 In this embodiment, one end side of the wiring 29 is drawn into the inside of the column part 8 at the center position in the vertical direction of the front side surface 8 a of the column part 8. Therefore, in this embodiment, it is possible to shorten the length of the wiring 29 between the arm support member 7 and the column portion 8 while ensuring the vertical movement stroke of the arm support member 7. In this embodiment, since the wiring 29 is disposed inside the flexible tube 46, the flexible tube 46 can prevent the wiring 29 from being damaged.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれているが、配線２９の他端側は、第１アーム部１６の基端側部分の下面から第１アーム部１６の内部に引き込まれても良い。すなわち、配線２９の他端側は、アーム６の下面からアーム６の内部に引き込まれても良い。また、上述した形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれているが、配線２９の一端側は、前側面８ａの上端側から柱部８の内部に引き込まれても良い。また、上述した形態では、配線２９は、フレキシブルチューブ４６の内部に配置されているが、配線２９は、ケーブルベヤ（登録商標）に保持されていても良い。 In the embodiment described above, the other end side of the wiring 29 is drawn into the arm supporting member 7 from the lower surface of the arm supporting member 7, but the other end side of the wiring 29 is the proximal end side of the first arm portion 16. It may be pulled into the first arm portion 16 from the lower surface of the portion. That is, the other end side of the wiring 29 may be drawn into the arm 6 from the lower surface of the arm 6. In the embodiment described above, one end side of the wiring 29 is drawn into the column part 8 at the center position in the vertical direction of the front side surface 8a of the column part 8, but one end side of the wiring 29 is drawn into the front side surface 8a. It may be drawn into the inside of the column part 8 from the upper end side. Moreover, although the wiring 29 is arrange | positioned inside the flexible tube 46 with the form mentioned above, the wiring 29 may be hold | maintained at the cable carrier (trademark).

上述した形態では、柱状部材２０の左側において、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっているが、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが左右方向でずれていても良い。また、上述した形態では、ベルト４３は、柱状部材２０の左側に配置されているが、ベルト４３は、左右方向における柱部８の中心位置に配置されても良い。この場合には、前後方向から見たときに、配線２９の一部とベルト４３の一部とが重なるようにベルト４３が配置される。 In the embodiment described above, the guide rail 31 and the guide block 32 and the pulleys 41 and 42 overlap when viewed from the upper side on the left side of the columnar member 20, but the guide rail 31 and the guide block 32 and the pulley 41 are overlapped. , 42 may be displaced in the left-right direction. Moreover, in the form mentioned above, although the belt 43 is arrange | positioned on the left side of the columnar member 20, the belt 43 may be arrange | positioned in the center position of the column part 8 in the left-right direction. In this case, the belt 43 is disposed so that a part of the wiring 29 and a part of the belt 43 overlap when viewed from the front-rear direction.

上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。 In the embodiment described above, the arm 6 is configured by the three arm portions of the first arm portion 16, the second arm portion 17, and the third arm portion 18, but the arm 6 is configured by the two arm portions. It may be configured by four or more arm portions. In the embodiment described above, the two hands 4 and 5 are attached to the distal end side of the third arm portion 18, but one hand may be attached to the distal end side of the third arm portion 18.

上述した形態では、モータ４０は柱状部材２０の上端側に固定され、プーリ４２は柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられているが、モータ４０が柱状部材２０の下端側に固定され、プーリ４２が柱状部材２０の上端側に回転可能に取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム昇降機構２８は、プーリ４１、４２およびベルト４３を備えているが、アーム昇降機構２８は、プーリ４１、４２およびベルト４３に代えて、ボールネジとこのボールネジに係合するナット部材とを備えていても良い。 In the embodiment described above, the motor 40 is fixed to the upper end side of the columnar member 20, and the pulley 42 is rotatably attached to the lower end side of the columnar member 20, but the motor 40 is fixed to the lower end side of the columnar member 20, The pulley 42 may be rotatably attached to the upper end side of the columnar member 20. In the above-described embodiment, the arm elevating mechanism 28 includes the pulleys 41 and 42 and the belt 43. However, the arm elevating mechanism 28 is engaged with the ball screw and the ball screw instead of the pulleys 41 and 42 and the belt 43. And a nut member to be provided.

上述した形態では、ロボット１は、筺体１４の内部の壁面のうちの後壁面に固定板２１が接触するように筐体１４に固定されているが、ロボット１は、筺体１４の内部の壁面のうちの前壁面に固定板２１が接触するように筐体１４に固定されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。 In the above-described form, the robot 1 is fixed to the housing 14 so that the fixing plate 21 contacts the rear wall surface of the inner wall surface of the housing 14, but the robot 1 is installed on the inner wall surface of the housing 14. You may fix to the housing | casing 14 so that the fixed plate 21 may contact the front wall surface of them. In the embodiment described above, the robot 1 is a robot for transporting the wafer 2, but the robot 1 may be a robot for transporting other transport objects such as a glass substrate for liquid crystal.

１ロボット（産業用ロボット）
２ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ハンド
６アーム
７アーム支持部材
８柱部
８ａ前側面
１６第１アーム部
１７第２アーム部
１８第３アーム部
２０柱状部材
２０ｂ左側面（一方面）
２７ガイド機構
２８アーム昇降機構
２９配線
３１ガイドレール
３２ガイドブロック
４０モータ
４１プーリ（駆動側プーリ）
４２プーリ（従動側プーリ）
４３ベルト
４６フレキシブルチューブ 1 Robot (industrial robot)
2 Wafer (semiconductor wafer, transfer object)
4, 5 Hand 6 Arm 7 Arm support member 8 Column portion 8a Front side surface 16 First arm portion 17 Second arm portion 18 Third arm portion 20 Columnar member 20b Left side surface (one side surface)
27 Guide Mechanism 28 Arm Lifting Mechanism 29 Wiring 31 Guide Rail 32 Guide Block 40 Motor 41 Pulley (Driving Pulley)
42 Pulley (driven pulley)
43 Belt 46 Flexible tube

Claims

A hand on which an object to be transported is mounted, an arm to which the hand is pivotally connected to a distal end side, an arm support member to which a base end side of the arm is pivotally connected, and the arm support member to be raised and lowered A columnar column portion that can be held, an arm lifting mechanism that lifts and lowers the arm support member relative to the column portion, and the arm between any one of the arm and the arm support member and the column portion. A wiring routed so as to pass through the outside of the arm supporting member and the outside of the column part,
The column part is formed in a columnar shape including front and rear side surfaces,
The arm support member is arranged on the front side of the pillar part and is movable up and down along the front side surface of the pillar part,
One end side of the wiring is drawn into the column part from the front side of the column part, and the other end side of the wiring is the arm and the arm support from the lower surface of one of the arm and the arm support member. An industrial robot characterized by being drawn into one of the members.

The industrial robot according to claim 1, wherein one end side of the wiring is drawn into the column portion at a center position in the vertical direction of the front side surface of the column portion.

A flexible tube in which the wiring is disposed between either one of the arm and the arm support member and the pillar portion;
The one end of the flexible tube is fixed to the column portion, and the other end of the flexible tube is fixed to one of the arm and the arm support member. Industrial robot.

A guide mechanism for guiding the arm support member in the vertical direction;
The column part includes a columnar member formed in a substantially square columnar shape including front and rear side surfaces and left and right side surfaces,
The guide mechanism includes a guide rail fixed to each of the left and right side surfaces of the columnar member, and a guide block fixed to the arm support member and engaged with the guide rail,
The arm elevating mechanism includes a motor fixed to one of the upper end side and the lower end side of the columnar member, a driving pulley connected to the output shaft of the motor, and an upper end side and a lower end side of the columnar member. A driven pulley that is rotatably attached to either one, and a belt that spans between the driving pulley and the driven pulley;
A portion of the belt is fixed to the arm support member;
The drive pulley, the driven pulley, and the belt are disposed along one of the left and right side surfaces of the columnar member, and the guide rail and the guide block are disposed,
On the one surface side of the columnar member, the driving pulley and the driven pulley overlap with the guide rail and the guide block when viewed from the up and down direction, and the driving pulley and the driving pulley in the up and down direction The industrial robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the guide rail and the guide block are disposed between the driven pulley and the pulley.

The arm includes a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the arm support member, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion; The base end side of the second arm portion is pivotally connected to the tip end side of the second arm portion, and the hand is configured to be pivotally connected to the tip end side of the third arm portion. The industrial robot according to any one of 1 to 4.