KR100880285B1 - 코리올리 질량 유동 제어기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 유동 센서 튜브와;상기 유동 센서 튜브를 진동시키도록 유동 센서 튜브에 대하여 위치되어 있는 구동 장치와;코리올리 힘으로 인한 상기 유동 센서 튜브 내의 비틀림을 측정하도록 상기 유동 센서 튜브에 대하여 위치되어 있는 위치 민감성 장치와;상기 유동 센서 튜브로부터 유체를 받아들이도록 구성된 유동 제어 장치를 포함하는 코리올리 질량 유동 제어기로서,상기 유동 제어 장치는 밸브를 포함하며, 상기 밸브는,밸브 시트와;이 밸브 시트에 대해 밀봉하도록 구성된 플런저를 포함하며,상기 플런저는, 이 플런저가 상기 밸브 시트로부터 이탈될 때, 플런저를 통과하는 유체 유동 경로를 이루도록 플런저를 관통하여 연장하는 적어도 하나의 구멍을 형성하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 1에 있어서, 상기 유동 제어 장치는 펌프를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 2에 있어서, 상기 펌프는 계량 펌프를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 유동 입구와;유동 출구와;상기 유동 입구 및 유동 출구와 각각 유체 연통하는 제1 단부 및 제2 단부를 구비하는 유동 센서 튜브와;상기 유동 센서 튜브를 진동시키도록 상기 유동 센서 튜브와 인접하여 위치되어 있는 구동 장치와;코리올리 힘으로 인한 상기 유동 센서 튜브 내의 비틀림을 측정하도록 상기 유동 센서 튜브와 인접하여 위치되어 있는 위치 민감성 장치와;상기 유동 센서 튜브로부터 유체를 받아들이도록 구성된 유동 제어 장치를 포함하는 코리올리 질량 유동 제어기로서,상기 유동 제어 장치는상기 유동 입구와 유체 연통하는 제1 단부 및 상기 유동 출구와 유체 연통하는 제2 단부를 구비하며, 상기 유동 센서 튜브의 제1 단부 및 제2 단부를 수용하는 계측기 본체와;상기 계측기 본체에 위치되어 있는 밸브 코일과;상기 밸브 코일에 의해 수용되는 밸브 스템과;상기 밸브 코일에 의해 수용되는 플런저와;상기 계측기 본체와의 사이에 시일을 구비한 상태로 상기 계측기 본체와 연결되는 밸브 본체와;상기 밸브 본체에 위치되어 있는 밸브 시트로서, 상기 플런저는 이 밸브 시트에 대해 밀봉하도록 구성되어 있는 것인 밸브 시트와;위치 민감성 장치에 연결되어 있으며, 원하는 질량 유량에 대한 지시를 수신하는 프로세서를 포함하며,상기 프로세서는 코리올리 힘으로 인한 상기 유동 센서 튜브 내의 측정된 비틀림에 기초하여 실제 질량 유량을 결정하고, 원하는 질량 유량과 실제 질량 유량에 대응하여 상기 플런저를 조작하도록 프로그래밍되어 있는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 4에 있어서, 상기 플런저는 상기 플런저를 통과하는 유체 유동 경로를 이루도록 상기 플런저를 관통하여 연장하는 적어도 하나의 구멍을 형성하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 4에 있어서, 상기 위치 민감성 장치는 코리올리 힘으로 인한 상기 유동 센서 튜브 내의 비틀림을 측정하도록 상기 유동 센서 튜브와 인접하여 위치되어 있는 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지를 포함하고, 이 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지는 상기 유동 센서 튜브가 진동될 때 상기 유동 센서 튜브의 움직임에 접하는 평면에 나란히 위치되어 있는 제1 플레이트 및 제2 플레이트를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 4에 있어서, 상기 구동 장치는 전자기식 구동기를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 4에 있어서, 상기 구동 장치는 정전기식 구동기를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 4에 있어서, 상기 구동 장치는 음향식 구동기를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 4에 있어서, 상기 구동 장치는 압전식 구동기를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 6에 있어서, 상기 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지는 두 개의 용량성 변위량 게이지를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 11에 있어서, 상기 용량성 변위량 게이지는 센서 튜브 형상의 대칭적인 위치에 위치되어 있는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 11에 있어서, 상기 용량성 변위량 게이지는 센서 패키지 벽에 표면 장착되어 있는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 4에 있어서, 상기 코리올리 질량 유동 제어기는 코리올리 힘에 의해 유발된 위상 변위를 측정하는 회로를 더 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 14에 있어서, 상기 회로는 로크인 증폭기를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 6에 있어서, 상기 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지는 액추에이터에 장착되고, 이 액추에이터는 상기 유동 센서 튜브에 대해 상기 용량성 변위량 게이지의 위치를 정하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 16에 있어서, 상기 액추에이터는 압전 액추에이터를 포함하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 16에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지의 위치를 유동 조건에 대응하여 정하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 16에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 적어도 하나의 용량성 변위량 게이지의 위치를 3차원으로 정하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 6에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트는 그 사이에 균일한 틈새를 형성하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 6에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트는 동일한 전위에 있고 상기 유동 센서 튜브는 접지 전위에 있는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 6에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트는 장방형이며, 상기 틈새는 상기 유동 센서 튜브에 평행하게 연장하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 6에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트는 삼각형이며, 상기 틈새는 상기 유동 센서 튜브를 가로질러 대각선 방향으로 연장하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.청구항 6에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트는 톱니형이고, 상기 틈새는 톱니 형상을 형성하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 4에 있어서, 상기 코리올리 질량 유동 제어기는 진공화된 하우징을 더 포함하며, 상기 유동 센서 튜브는 이 진공화된 하우징 내부에 위치되는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
- 청구항 4에 있어서, 상기 코리올리 질량 유동 제어기는 상기 유동 센서 튜브의 제1 단부 및 제2 단부 상에 각각 위치되어 있는 제1 압전 스택 및 제2 압전 스택을 더 포함하며, 압전 효과 및 역압전 효과는 상기 유동 센서 튜브를 진동시키고 코리올리 힘으로 인한 상기 유동 센서 튜브 내의 비틀림을 감지하는 것인 코리올리 질량 유동 제어기.
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