JPH08327368A - 圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 雰囲気温度の変化などによるドリフトを改善
し、高感度化を図ることができる圧電振動子を提供す
る。 【構成】 圧電振動子１０は振動子１２を含み、振動子
１２はたとえば短冊状の振動体１４含む。振動体１４の
長さ方向の中央部には、その幅方向に間隔を隔てて切欠
き部１６，１８が形成される。切欠き部１６，１８は、
振動体１４の長手方向の中心線を境にして左右対称に配
置される。一方の切欠き部１６上には、振動体１４の長
手方向に延びて、切欠き部１６を跨がるように圧電素子
２０ａが形成される。同様に、他方の切欠き部１８上を
跨がるように圧電素子２０ｂが形成される。圧電素子２
０ａ，２０ｂは、その厚み方向に分極処理が施されてい
る。この圧電振動子１０では、圧電素子２０ａ，２０ｂ
に駆動電圧が印加されることによって振動体１４が厚み
方向に屈曲振動する。振動体１４に回転角速度や加速度
などが作用したとき、振動体１４はその幅方向に変位
し、その変位量は圧電素子２０ａ，２０ｂにより検出さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は圧電振動子に関し、特
にたとえば、振動ジャイロおよび加速度センサなどに用
いられる圧電振動子に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２はこの発明の背景となる従来の振
動ジャイロの一例を示す斜視図であり、図１３は図１２
の線ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩにおける断面図である。振動ジ
ャイロ１は振動子１ａを含み、振動子１ａはたとえば正
３角柱状の振動体２を含む。振動体２の３つの側面に
は、それぞれ、圧電素子３ａ，３ｂ，３ｃが接着され
る。圧電素子３ａ，３ｂと圧電素子３ｃとの間には、発
振回路（図示せず）が接続される。また、圧電素子３
ａ，３ｂは、差動回路（図示せず）に接続される。さら
に、差動回路は検波回路（図示せず）に接続され、検波
回路は平滑回路（図示せず）に接続される。

【０００３】この発振回路の信号によって、振動体２
は、圧電素子３ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動す
る。振動ジャイロ１に回転角速度が加わっていないと
き、圧電素子３ａ，３ｂの屈曲状態は同じであり、差動
回路には同じ信号が入力される。そのため、入力された
信号は差動回路で相殺され、差動回路からは信号が出力
されない。振動ジャイロ１が振動体２の軸を中心として
回転すると、コリオリ力によって、振動体２の方向が変
わる。そのため、圧電素子３ａ，３ｂの屈曲状態が変わ
り、差動回路に接続された圧電素子３ａ，３ｂに異なる
電圧が発生する。そのため、差動回路から信号が出力さ
れ、この信号が検波回路で検波された後、平滑回路で平
滑される。平滑された信号は、回転角速度に対応した信
号であるため、これを測定することによって、振動ジャ
イロ１に加わった回転角速度を検出することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動子
１ａを構成する振動体２，圧電素子３ａ，３ｂ，３ｃお
よび接着剤など各部材の線膨張係数のわずかな違いによ
り、雰囲気温度の変化に伴って、振動体２に反りが生じ
る。この振動体２の反りが２つの検出用の圧電素子３
ａ，３ｂの位置する方向に生じると、圧電素子３ａ，３
ｂにコリオリ力による電圧以外の電圧が発生し、正確な
回転角速度を検出できない。すなわち、振動体２の反り
方向と、回転角速度に伴う振動体２の変位方向とが同じ
になった場合、誤信号が発生する原因となり、検出効率
が悪くなる。

【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、雰
囲気温度の変化などによるドリフトを改善し、高感度化
を図ることができる、圧電振動子を提供することであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、振動体と、振動体に形成され、振動体の中心線を軸
として対称に配置される切欠き部と、切欠き部に跨がる
ように形成され、駆動信号が印加されることによって振
動する圧電素子とを含み、温度の変化により振動体が変
位する方向と振動体の振動方向とを同じにし、さらに、
振動体に加わる角速度，加速度等の外力により振動体が
変位する方向とを異なるようにしたことを特徴とする、
圧電振動子である。

【０００７】請求項２に記載の発明は、短冊状の振動体
と、振動体の長手方向の中心線を軸として対称に、振動
体の幅方向に間隔を隔てて形成される切欠き部と、振動
体の少なくとも一方主面で切欠き部に跨がるように形成
される圧電素子とを含み、圧電素子は、駆動信号が印加
されることによって、振動体の厚み方向に振動する、請
求項１に記載の圧電振動子である。

【０００８】請求項３に記載の発明は、柱状の振動体
と、振動体の幅方向の両側で振動体の長手方向に間隔を
隔てて配置される複数の支持片と、複数の支持片を跨が
るように形成され、振動体を軸として対称に配置される
圧電素子とを含み、圧電素子は、駆動信号が印加される
ことによって、支持片の厚み方向に振動する、圧電振動
子である。

【０００９】請求項４に記載の発明は、薄板状の支持板
と、支持板の一方主面に形成される柱状の振動体と、支
持板の少なくとも一方主面に形成され、振動体を軸とし
て対称に配置される圧電素子とを含み、振動体は、振動
体の側面の一部が支持板の中心線上に配置され、圧電素
子は、駆動信号が印加されることによって、支持板の厚
み方向に振動する、圧電振動子である。

【００１０】請求項５に記載の発明は、薄板状の支持板
と、支持板の一方主面に形成される角柱状の振動体と、
支持板の一方主面に形成され、振動体を軸として対称に
配置される圧電素子とを含み、振動体は、振動体の稜線
の一部が支持板の中心線上に配置され、圧電素子は、駆
動信号が印加されることによって、支持板の厚み方向に
振動する、圧電振動子である。

【００１１】

【作用】請求項１に記載の発明では、たとえば振動体，
圧電素子などの部材のわずかな線膨張係数の違いから生
じる温度変化に伴う振動体の反り方向と、振動体の屈曲
振動の方向とが同じ方向になる。また、振動体の反りの
変位方向と、回転角速度ないし加速度等の外力が振動体
に加わったときの振動体の変位方向とが異なるため、振
動体の反りによる誤信号の発生が防止される。

【００１２】請求項２に記載の発明では、振動体の少な
くとも一方主面に形成された圧電素子に駆動信号を印加
することにより、振動体がその厚み方向に屈曲振動し、
振動体に慣性が与えられる。この状態で、振動体の振動
方向と直交する向きにたとえば回転角速度や加速度が加
わったとき、振動体にはコリオリ力や撓みによる変位が
生じる。そのため、振動体の長手方向の中心線を軸とし
て対称に配置された切欠き部を跨がるように形成された
一方および他方の圧電素子には、その変位量に応じた電
圧が発生する。この場合、振動体は短冊状に形成される
ため、たとえば振動体，圧電素子などの部材のわずかな
線膨張係数の違いから生じる温度変化に伴う振動体の反
りが、振動体の厚み方向に発生する。この振動体の反り
方向は、振動体の振動方向と同じになる。さらに、振動
体には、振動体の長手方向の中心線を軸として対称に切
欠き部が形成されているので、振動体の中心部が細くな
り、振動体が屈曲しやすくなる。そのため、切欠き部を
跨ぐ圧電素子の屈曲が大きくなり、大きい出力信号が得
られる。

【００１３】請求項３に記載の発明では、振動体を軸と
して対称に配置された複数の支持片に跨がる圧電素子に
駆動信号を印加することにより、振動体が支持片の厚み
方向に屈曲振動し、振動体に慣性が与えられる。この状
態で、振動体の振動方向と直交する向きにたとえば回転
角速度や加速度が加わったとき、振動体にはコリオリ力
や撓みによる変位が生じる。そのため、振動体を軸とし
て対称に配置された一方および他方の圧電素子には、そ
の変位量に応じた電圧が発生する。

【００１４】請求項４および請求項５に記載の発明で
は、振動体を軸にして対称に支持板に配置された圧電素
子に駆動信号を印加することにより、振動体が支持板の
厚み方向に屈曲振動し、振動体に慣性が与えられる。こ
の状態で、振動体の振動方向と直交する向きにたとえば
回転角速度や加速度が加わったとき、振動体にはコリオ
リ力や撓みによる変位が生じる。そのため、振動体を軸
として対称に配置された一方および他方の圧電素子に
は、その変位量に応じた電圧が発生する。

【００１５】

【発明の効果】この発明によれば、振動子を構成する振
動体，圧電素子，接着剤などの各部材の線膨張係数の違
いから生じる雰囲気温度の変化に伴うドリフトを改善
し、高感度化を図ることができる、圧電振動子が得られ
る。しかも、特に、振動体を短冊状に形成し、その振動
体の長手方向の中心線を軸として対称に、振動体に切欠
き部を形成した場合、切欠き部により振動体の中心部が
細くなり、切欠き部を跨ぐ圧電素子が屈曲しやすくな
る。そのため、振動体に回転加速度や加速度が加わった
ときの圧電素子の屈曲量が大きくなり、大きい出力信号
が得られる。

【００１６】したがって、この発明の圧電振動子では、
雰囲気温度が変化してもドリフトの少ない出力信号を得
ることができ、しかも、圧電素子から大きい出力信号を
得ることができる。そのため、Ｓ／Ｎ比を大きくするこ
とができ、検出感度を高くすることができる。

【００１７】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図２は図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図解図であ
る。圧電振動子１０は、振動子１２を含む。振動子１２
は、たとえば短冊状の振動体１４を含む。振動体１４
は、たとえばエリンバ等の恒弾性金属材料、鉄−ニッケ
ル合金、石英、ガラス、水晶、セラミックスなど、一般
的に機械的な振動を生じる材料で形成される。そして、
振動体１４の振動モードに応じ、適宜、支持される。

【００１９】振動体１２には、その長手方向の中央部で
且つその幅方向に間隔を隔てて、たとえば２つの切欠き
部１６および１８が形成される。２つの切欠き部１６お
よび１８は、それぞれ、たとえば半円形等の円弧状に形
成され、振動体１４の幅方向の一端側および他端側を切
欠くことによって形成される。この場合、２つの切欠き
部１６および１８は、振動体１４の長さ方向の中心線Ａ
−Ａ、つまり、振動体１４の中心軸Ａ−Ａを境として左
右対称に形成される。また、切欠き部１６および１８と
の間隔、つまり、振動体１４の中央部の幅は、振動体１
４の厚み方向の弾性とほぼ同じになるように形成され
る。

【００２０】さらに、振動体１４の一方主面には、その
幅方向に間隔を隔てて、たとえば２つの圧電素子２０ａ
および２０ｂが形成される。圧電素子２０ａおよび２０
ｂは、それぞれ、切欠き部１６および１８を跨がるよう
に、振動体１４の長手方向に延びて形成される。この場
合、圧電素子２０ａおよび２０ｂは、振動体１４の長さ
方向の中心線Ａ−Ａを対称軸にして、振動体１４の幅方
向に左右対称に形成される。

【００２１】圧電素子２０ａは、たとえば圧電セラミッ
クスなどで形成された圧電板２２ａを含む。圧電板２２
ａの表面および裏面には、電極２４ａおよび２６ａが形
成される。そして、一方の電極２６ａが振動体１４に接
着される。同様に、圧電素子２０ｂは、圧電板２２ｂを
含む。圧電板２２ｂの両面には、電極２４ｂおよび２６
ｂが形成される。そして、一方の電極２６ｂが振動体１
４に接着される。この実施例では、圧電板２２ａおよび
２２ｂは、それぞれ、その厚み方向に分極処理が施され
ている。

【００２２】この圧電振動子１０を振動させるには、た
とえば図３に示すように、圧電素子２０ａよび２０ｂに
発振回路３０が接続される。この発振回路３０から、圧
電素子２０ａおよび２０ｂに、駆動信号として、たとえ
ば同位相の駆動電圧が印加される。圧電素子２０ａおよ
び２０ｂは、その圧電板２２ａおよび２２ｂが厚み方向
に分極されているため、駆動電圧が印加されることによ
って、その厚み方向に振動する。したがって、振動体１
４は、図４に示すように、振動体１４の厚み方向に屈曲
振動する。

【００２３】さらに、圧電素子２０ａ，２０ｂは、差動
回路３２の入力端に接続される。差動回路の出力端は検
波回路に接続され、検波回路３４で検波された信号は平
滑回路３６で平滑される。振動体１４にたとえば回転角
速度ないし角速度が加わっていないとき、振動体１４
は、圧電素子２０ａ，２０ｂの形成面に直交する方向、
つまり、振動体１４の厚み方向に屈曲振動しているた
め、圧電素子２０ａ，２０ｂの屈曲状態は同じであり、
差動回路３２には同じ信号が入力される。そのため、差
動回路３２から信号が出力されず、振動体１４に回転角
速度ないし加速度が加わっていないことがわかる。

【００２４】この状態で、振動体１４の長手方向の中心
線Ａ−Ａを軸として、圧電振動子１０に、たとえば回転
角速度が加わるとコリオリ力が生じ、たとえば加速度が
加わると撓みが生じる。そのコリオリ力や撓みによっ
て、たとえば図５に示すように、振動体１４の振動方向
が変わる。振動体１４の振動方向が変わると、圧電素子
２０ａ，２０ｂの屈曲状態が変わり、２つの圧電素子２
０ａ，２０ｂから異なる信号が出力される。

【００２５】すなわち、回転角速度ないし加速度は、振
動体１４の幅方向に加わり、振動体１４の長手方向の中
心線Ａ−Ａを対称軸にして、たとえば振動体１４の幅方
向の一方の圧電素子２０ａが伸び、幅方向の他方の圧電
素子２０ｂが縮む。そのため、２つの圧電素子２０ａお
よび２０ｂには、異なる信号が出力される。これらの信
号が差動回路３２に入力されるため、差動回路３２から
は２つの入力信号の差が出力される。

【００２６】そして、差動回路３２の出力信号が検波回
路３４で検波され、さらに、平滑回路３６で平滑され
る。平滑回路３６から出力される信号は、振動体１４の
振動状態の変化に対応した信号であり、すなわち、コリ
オリ力や撓みに対応した信号である。したがって、平滑
回路３６の出力信号を測定することにより、たとえば圧
電振動子１０に加わった回転角速度や加速度を検出する
ことができる。

【００２７】この実施例の圧電振動子１０では、振動体
１４が短冊状に形成され、振動体１４の一方主面上に
は、圧電素子２０ａ，２０ｂが振動体１４の長さ方向の
中心線Ａ−Ａを対称軸にして振動体１４の幅方向に対称
に形成され、また、圧電素子２０ａ，２０ｂの圧電板２
２ａ，２２ｂが厚み方向に分極されているため、圧電素
子２０ａ，２０ｂに駆動電圧を印加させることによっ
て、振動体１４をその厚み方向に屈曲振動させることが
できる。

【００２８】この実施例の圧電振動子１０では、振動体
１４，圧電素子２０ａ，２０ｂおよび接着剤などの各部
材の線膨張係数のわずかな違いから生じる雰囲気温度の
変化に伴う振動子１４の反りが、その振動子１４の厚み
方向に発生するため、振動体１４の屈曲振動の変位方向
と同じとなり、反りなどによる誤信号は差動回路で相殺
され検出されない。この場合、圧電振動子１０に回転角
速度や加速度が加わったときのコリオリ力や撓みによる
振動体１４の変位は、振動体１４の幅方向に発生するた
め、振動体１４の反り方向と相違する。

【００２９】したがって、この圧電振動子１０では、振
動子１２を構成する振動体１４，圧電素子２０ａ，２０
ｂおよび接着剤などの各部材の線膨張係数の違いにより
生じる温度変化に伴う振動体１４の反りの影響を受け
ず、反りによる誤信号の発生が防止される。そのため、
この圧電振動子１０では、温度ドリフトが改善され、検
出効率が高くなり、高感度化が図れる。

【００３０】さらに、この圧電振動子１０では、切欠き
部１６および１８が設けられることにより、振動体１４
の中心部の幅が小さくなるので、小さいコリオリ力ない
し加速度が振動子１２に作用した場合でも、振動子１２
を幅方向に変位させやすい。すなわち、振動体１４が屈
曲する際、その中央部分が細いため、振動体１４の中央
部における曲率半径が小さくなり、そのため、圧電素子
２０ａ，２０ｂが大きく屈曲し、大きい出力信号を得る
ことができる。また、切欠き部１６および１８が形成さ
れた振動体１４部分が重心を中心として形成されること
により、振動体１４はより安定した屈曲振動を得ること
ができる。このように、この圧電振動子１０では、大き
い出力信号を得ることができ、しかも、温度ドリフトが
小さいため、Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、さらに
高感度化がさらに可能となる。

【００３１】この圧電振動子１０では、振動体１４の中
央部の幅、言い換えれば、切欠き部１６および１８の切
欠き長さを調整することによって、振動体１４の幅およ
び厚みにより影響される共振特性を調整することがで
き、圧電振動子１０の高感度化がさらに図れる。

【００３２】なお、切欠き部１６および１８の形状は、
円弧状に限定されるものではなく、矩形，Ｖ字形，櫛歯
状など任意の形状に適宜変更可能である。また、切欠き
部の数は、２つに限定されるものではなく、２つ以上の
切欠き部が振動体１４の長手方向の中心線Ａ−Ａを対称
軸にして、対称に配置されるようにしてもよい。

【００３３】図６は、図１および図２に示す圧電振動子
の変形例を示す断面図解図である。この実施例の圧電振
動子１０は、図１および図２に示す圧電振動子１０と比
べて、特に、圧電素子２０ａ，２０ｂが振動体１４の他
方主面にも、切欠き部１６および１８を跨ぐようにして
形成されている。すなわち、振動体１４の長手方向の中
心線Ａ−Ａを対称軸として、振動体１４の幅方向の一方
には、切欠き部１６を跨いで、圧電素子２０ａ，２０ａ
が振動体１４の一方主面および他方主面にそれぞれ形成
され、振動体１４の幅方向の他方には、切欠き部１８を
跨いで、圧電素子２０ｂ，２０ｂが振動体１４の一方主
面および他方主面にそれぞれ形成される。

【００３４】図７はこの発明の他の実施例を示す斜視図
であり、図８は図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける断
面図解図である。この実施例の圧電振動子１０は、図１
および図２に示す圧電振動子１０と比べて、特に、振動
体１４がたとえば正４角柱状に形成され、振動体１４の
長手方向の中心線Ａ−Ａ、すなわち、振動体１４の中心
軸Ａ−Ａを対称軸にして、振動体１４の幅方向の両側に
棒状の複数の支持片４０ａおよび４０ｂが形成される。
支持片４０ａおよび４０ｂは、振動体１４と同様の材料
で形成される。

【００３５】すなわち、振動体１４の幅方向の対向する
一方の側面には、その長手方向に同じ間隔を隔てて、た
とえば円柱形の３つの支持片４０ａ，４０ａ，４０ａが
形成され、同様に、その他方の側面には、３つの円柱形
の支持片４０ｂ，４０ｂ，４０ｂが形成される。この実
施例では、支持片４０ａおよび４０ｂとなる３つの断面
円形の棒状部材（図示せず）が、振動体１４の長手方向
に間隔を隔てて、振動体１４の対向する２つの側面のほ
ぼ中央に直交するように貫通されることによって、各支
持片４０ａおよび４０ｂが形成される。

【００３６】そして、一方側の３つの支持片４０ａの上
を跨がるように圧電素子２０ａが形成され、他方側の３
つの支持片４０ｂの上を跨がるように圧電素子２０ｂが
形成される。そのため、この実施例の圧電振動子１０で
は、振動子１２を構成する振動体１４，支持片４０ａ，
４０ｂ，圧電振動子２０ａ，２０ｂおよび接着剤などの
各部材の線膨張係数の違いから生じる温度変化に伴う振
動体１４の反りは、圧電素子２０ａ，２０ｂの主面と直
交する方向に発生する。

【００３７】したがって、図７および図８に示す実施例
の圧電振動子１０でも、図１および図２に示す実施例と
同様の作用効果を有する。すなわち、圧電素子２０ａ，
２０ｂに駆動電圧を印加すると、振動体１４が圧電素子
２０ａ，２０ｂの主面と直交する方向に屈曲振動する。
また、圧電振動子１０に回転角速度や加速度が加わった
ときのコリオリ力や撓みによる振動体１４の変位は、振
動体１４の幅方向に発生するため、振動体１４の反り方
向と相違する。

【００３８】なお、これらの支持片４０ａおよび４０ｂ
は、棒状に限定されるものでなく、図９に示すように、
たとえば板状に形成されてもよい。この場合、たとえば
短冊状の板状部材（図示せず）を振動体１４の対向する
２つの側面に貫通させることにより、支持片４０ａおよ
び４０ｂが形成される。また、これらの支持片４０ａお
よび４０ｂは、振動体１４に棒状部材ないし板状部材を
貫通させて形成する以外にも、たとえば別途準備した断
面円形，矩形などの棒状部材あるいは短冊状の板状部材
を振動体１４の中心軸Ａ−Ａを対称軸として、対向する
２つの側面に、別々に、接着剤などで取り付けるように
してもよい。

【００３９】図１０はこの発明のさらに他の実施例を示
す斜視図であり、図１１は図１０の線ＸＩ−ＸＩにおけ
る断面図解図である。この実施例の圧電振動子１０は、
図１および図２に示す圧電振動子１０と比べて、特に、
振動体１４がたとえば４角柱状に形成され、その振動体
１４は、たとえば矩形薄板状の支持板５０の上に形成さ
れる。支持板５０は、振動体１４と同様の材料で形成さ
れる。この場合、振動体１４は、その１つの側面が支持
板５０の長手方向の中心線Ａ−Ａ上に配置される。

【００４０】また、支持板５０には、その幅方向の一端
側および他端側に、たとえば半円形等の円弧状の切欠き
部５２および５４がそれぞれ形成される。切欠き部５２
および５４は、支持板５０の長手方向の中心線Ａ−Ａを
対称軸にして、支持板５０の幅方向に対称に形成され
る。さらに、支持板５０の表面には、その中心線Ａ−Ａ
を対称軸にして、２つの圧電素子２０ａおよび２０ｂが
対称に配置される。圧電素子２０ａおよび２０ｂは、そ
れぞれ、切欠き部５２および５４を跨ぐようにして、支
持板５０上に形成される。

【００４１】図１０および図１１に示す実施例でも、上
述の各実施例と同様の作用および効果を有する。すなわ
ち、圧電素子２０ａ，２０ｂに駆動電圧を印加すると、
振動体１４が圧電素子２０ａ，２０ｂの主面と直交する
方向に屈曲振動する。また、圧電振動子１０に回転角速
度や加速度が加わったときのコリオリ力や撓みによる振
動体１４の変位は、支持板５０の幅方向に発生するた
め、振動体１４の反り方向と相違する。

【００４２】なお、振動体１４の長さをＬ₁ 、圧電素子
２０ａ，２０ｂの長さをＬ₂ 、支持板５０の長さをＬと
したとき、支持片Ｌの長さは、Ｌ₁ ≧Ｌ＞Ｌ₂ を満足す
る長さに、適宜、変更可能である。また、図１０および
図１１に示す実施例の圧電振動子１０では、支持板５０
に切欠き部５２および５４を形成したが、これらの切欠
き部は形成しないようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図解図であ
る。

【図３】図１および図２に示す圧電振動子の駆動検出回
路を示すブロック図である。

【図４】図１および図２に示す圧電振動子の屈曲振動の
状態を示す側面図解図である。

【図５】図１および図２に示す圧電振動子に回転角速度
ないし加速度が加わった際の圧電振動子の変位状態を示
す平面図解図である。

【図６】図１および図２に示す圧電振動子の変形例を示
す断面図解図である。

【図７】この発明の他の実施例を示す斜視図である。

【図８】図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける断面図解
図である。

【図９】図７および図８に示す圧電振動子の変形例を示
す斜視図である。

【図１０】この発明のさらに他の実施例を示す斜視図で
ある。

【図１１】図１０の線ＸＩ−ＸＩにおける断面図解図で
ある。

【図１２】この発明の背景となる従来の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。

【図１３】図１２の線ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩにおける断面
図である。

【符号の説明】

１０ 圧電振動子 １２ 振動子 １４ 振動体 １６，１８，５２，５４ 切欠き部 ２０ａ，２０ｂ 圧電素子 ２２ａ，２２ｂ 圧電板 ２４ａ，２４ｂ，２６ａ，２６ｂ 電極 ３０ 発振回路 ３２ 差動回路 ３４ 検波回路 ３６ 平滑回路 ４０ａ，４０ｂ 支持片 ５０ 支持板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動体、 前記振動体に形成され、前記振動体の中心線を軸として
   対称に配置される切欠き部、および前記切欠き部に跨が
   るように形成され、駆動信号が印加されることによって
   振動する圧電素子を含み、 温度の変化により前記振動体が変位する方向と前記振動
   体の振動方向とを同じにし、さらに、前記振動体に加わ
   る角速度，加速度等の外力により前記振動体が変位する
   方向とを異なるようにしたことを特徴とする、圧電振動
   子。
2. 【請求項２】 短冊状の振動体、 前記振動体の長手方向の中心線を軸として対称に、前記
   振動体の幅方向に間隔を隔てて形成される切欠き部、お
   よび前記振動体の少なくとも一方主面で前記切欠き部に
   跨がるように形成される圧電素子を含み、 前記圧電素子は、駆動信号が印加されることによって、
   前記振動体の厚み方向に振動する、請求項１に記載の圧
   電振動子。
3. 【請求項３】 柱状の振動体、 前記振動体の幅方向の両側で前記振動体の長手方向に間
   隔を隔てて配置される複数の支持片、および前記複数の
   支持片を跨がるように形成され、前記振動体を軸として
   対称に配置される圧電素子を含み、 前記圧電素子は、駆動信号が印加されることによって、
   前記支持片の厚み方向に振動する、圧電振動子。
4. 【請求項４】 薄板状の支持板、 前記支持板の一方主面に形成される柱状の振動体、およ
   び前記支持板の少なくとも一方主面に形成され、前記振
   動体を軸として対称に配置される圧電素子を含み、 前記振動体は、前記振動体の側面の一部が前記支持板の
   中心線上に配置され、前記圧電素子は、駆動信号が印加
   されることによって、前記支持板の厚み方向に振動す
   る、圧電振動子。
5. 【請求項５】 薄板状の支持板、 前記支持板の一方主面に形成される角柱状の振動体、お
   よび前記支持板の一方主面に形成され、前記振動体を軸
   として対称に配置される圧電素子を含み、 前記振動体は、前記振動体の稜線の一部が前記支持板の
   中心線上に配置され、前記圧電素子は、駆動信号が印加
   されることによって、前記支持板の厚み方向に振動す
   る、圧電振動子。