JPH07198392A - 圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロ - Google Patents
圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロInfo
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- JPH07198392A JPH07198392A JP33724593A JP33724593A JPH07198392A JP H07198392 A JPH07198392 A JP H07198392A JP 33724593 A JP33724593 A JP 33724593A JP 33724593 A JP33724593 A JP 33724593A JP H07198392 A JPH07198392 A JP H07198392A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 １枚の圧電素子に多機能性を持たせることを
目的とする。 【構成】 曲げ振動を検出するために厚み方向に分極処
理され第１の領域と、例えばねじれ振動を検出するため
に周方向に分極処理された第２の領域とを一枚の圧電素
子に設けるもので、表裏で対向する仮電極間を同電位と
し、隣接する仮電極間に電位差を与え、仮電極８−１と
８−３をグランドとし、仮電極８−２と８−４に正の電
圧＋Ｖを印加することで、圧電素子３には矢印で示すよ
うに仮電極間に時計回りと反時計回りに滑りを生じるよ
うなねじり歪みが発生し、これでねじり用の分極処理が
終了し、ついで表側の電極８−６、８−７と裏側の電極
８−５、８−８に正の極性の電圧＋Ｖを印加し、それ以
外の電極をグランド電位とすると、矢印に示す面外方向
に分極処理が施される。。
目的とする。 【構成】 曲げ振動を検出するために厚み方向に分極処
理され第１の領域と、例えばねじれ振動を検出するため
に周方向に分極処理された第２の領域とを一枚の圧電素
子に設けるもので、表裏で対向する仮電極間を同電位と
し、隣接する仮電極間に電位差を与え、仮電極８−１と
８−３をグランドとし、仮電極８−２と８−４に正の電
圧＋Ｖを印加することで、圧電素子３には矢印で示すよ
うに仮電極間に時計回りと反時計回りに滑りを生じるよ
うなねじり歪みが発生し、これでねじり用の分極処理が
終了し、ついで表側の電極８−６、８−７と裏側の電極
８−５、８−８に正の極性の電圧＋Ｖを印加し、それ以
外の電極をグランド電位とすると、矢印に示す面外方向
に分極処理が施される。。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、曲げ振動モードとねじ
り振動モードの検出を１枚の素子で行える圧電素子およ
びその分極処理方法、並びにこの圧電素子を用いて角速
度を検出する振動ジャイロに関する。
り振動モードの検出を１枚の素子で行える圧電素子およ
びその分極処理方法、並びにこの圧電素子を用いて角速
度を検出する振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、１個の振動ジャイロで２軸方
向成分の角速度を検出できる、例えば特願平５−８９８
９５号で提案された２次元の角速度成分（２軸方向）を
検出できるタイプの振動ジャイロの斜視図を示す。
向成分の角速度を検出できる、例えば特願平５−８９８
９５号で提案された２次元の角速度成分（２軸方向）を
検出できるタイプの振動ジャイロの斜視図を示す。
【０００３】金属製の振動子Ａの圧電素子３の一部に、
この振動子Ａのねじり固有振動数に略一致する交流電圧
ＶTin を印加すると、振動子Ａにはねじり振動が発生す
る。振動子Ａにｘ軸回り、又はｙ軸回りの角速度が加わ
ると、コリオリの力によって夫々ｚ−ｘ平面内又はｚ−
ｙ平面内の曲げ振動が振動子Ａに発生し、夫々の曲げ振
動による歪みを検出するための圧電素子には、振動子Ａ
に加わった角速度の値に応じた信号成分を含む交流電圧
ＶＡ、又はＶＢが発生する。
この振動子Ａのねじり固有振動数に略一致する交流電圧
ＶTin を印加すると、振動子Ａにはねじり振動が発生す
る。振動子Ａにｘ軸回り、又はｙ軸回りの角速度が加わ
ると、コリオリの力によって夫々ｚ−ｘ平面内又はｚ−
ｙ平面内の曲げ振動が振動子Ａに発生し、夫々の曲げ振
動による歪みを検出するための圧電素子には、振動子Ａ
に加わった角速度の値に応じた信号成分を含む交流電圧
ＶＡ、又はＶＢが発生する。
【０００４】このような振動体Ａには、図１１に示すよ
うな曲げ振動を検出する圧電素子８と、図１２に示すね
じり振動を励振および検出する圧電素子とが設けられ、
検出したねじり振動信号は曲げ振動信号を検波回路で検
波する際の同期検波参照信号として用いられる。
うな曲げ振動を検出する圧電素子８と、図１２に示すね
じり振動を励振および検出する圧電素子とが設けられ、
検出したねじり振動信号は曲げ振動信号を検波回路で検
波する際の同期検波参照信号として用いられる。
【０００５】図１１に示す圧電素子は、素子の直径部分
を境にした両側の領域の夫々の表裏両面に電極を設け、
双方の領域に印加する直流電圧の極性を互いに逆方向と
することにより矢印の方向に分極される。
を境にした両側の領域の夫々の表裏両面に電極を設け、
双方の領域に印加する直流電圧の極性を互いに逆方向と
することにより矢印の方向に分極される。
【０００６】図１２に示す圧電素子は、周方向に分割さ
れた扇形状の圧電素子１０１、１０２、１０３、１０４
の側面に電極を設け、面内（周）方向、ここでは反時計
まわりに分極した後、側面の電極を取り除き、上下面に
電極を付けている。
れた扇形状の圧電素子１０１、１０２、１０３、１０４
の側面に電極を設け、面内（周）方向、ここでは反時計
まわりに分極した後、側面の電極を取り除き、上下面に
電極を付けている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の圧電素子において、ねじり用の圧電素子は扇形に分割
されているため、製造工程の複雑化を招き、また振動子
の組立を困難なものとしている。
の圧電素子において、ねじり用の圧電素子は扇形に分割
されているため、製造工程の複雑化を招き、また振動子
の組立を困難なものとしている。
【０００８】また、ねじり振動検出のための圧電素子
と、曲げ振動検出用の圧電素子とが別であるためその分
電極板等も余分に必要とし、部品点数の増大を招いてい
た。
と、曲げ振動検出用の圧電素子とが別であるためその分
電極板等も余分に必要とし、部品点数の増大を招いてい
た。
【０００９】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の目的
を実現する構成は特許請求の範囲に記載した通りであ
り、本発明の目的を実現する圧電素子の構成の一例とし
ては、例えば曲げ振動を検出するために厚み方向に分極
処理され第１の領域と、例えばねじれ振動を検出するた
めに周方向に分極処理された第２の領域とを一枚の圧電
素子に設けているものであり、例えばこの第１の領域と
第２の領域とを共通の電極から取り出すことができるよ
うにすることもできる。
を実現する構成は特許請求の範囲に記載した通りであ
り、本発明の目的を実現する圧電素子の構成の一例とし
ては、例えば曲げ振動を検出するために厚み方向に分極
処理され第１の領域と、例えばねじれ振動を検出するた
めに周方向に分極処理された第２の領域とを一枚の圧電
素子に設けているものであり、例えばこの第１の領域と
第２の領域とを共通の電極から取り出すことができるよ
うにすることもできる。
【００１０】勿論、第１の領域と第２の領域とを夫々複
数領域有することにより、圧電素子の利用範囲を広げ
る。
数領域有することにより、圧電素子の利用範囲を広げ
る。
【００１１】
【実施例】図１は第１の実施例を示す。
【００１２】図１の（ａ）、（ｂ）は分極処理の手順を
示し、図１の（ｃ）が完成した圧電素子を示す。
示し、図１の（ｃ）が完成した圧電素子を示す。
【００１３】図１の（ａ）において、円板状のＰＺＴ３
の周方向４か所に等間隔位置で仮電極８−１〜８〜４を
表裏両面に夫々対向して設け、これら表裏で対向する仮
電極間を同電位とし、隣接する仮電極間に電位差を与え
る。図１の（ａ）では、仮電極８−１と８−３をグラン
ドとし、仮電極８−２と８−４に正の電圧＋Ｖを印加す
る。すると、圧電素子３には矢印で示すように仮電極間
に時計回りと反時計回りに滑りを生じるようなねじり歪
みが発生し、これでねじり用の分極処理が終了すること
になる。
の周方向４か所に等間隔位置で仮電極８−１〜８〜４を
表裏両面に夫々対向して設け、これら表裏で対向する仮
電極間を同電位とし、隣接する仮電極間に電位差を与え
る。図１の（ａ）では、仮電極８−１と８−３をグラン
ドとし、仮電極８−２と８−４に正の電圧＋Ｖを印加す
る。すると、圧電素子３には矢印で示すように仮電極間
に時計回りと反時計回りに滑りを生じるようなねじり歪
みが発生し、これでねじり用の分極処理が終了すること
になる。
【００１４】次に曲げ振動用の分極処理を行うが、この
処理は前述したねじり用の分極処理に用いた仮電極をそ
のまま使用するが、これらの電極はねじり用の分極処理
の説明と区別するために符号を８−５〜８−８とする。
ここで、表裏の対向する電極に印加する分極処理用の直
流電圧の極性を異ならせ、表側の電極８−６、８−７と
裏側の電極８−５、８−８に正の極性の電圧＋Ｖを印加
し、それ以外の電極をグランド電位とする。すると、矢
印に示す面外方向に分極処理が施される。
処理は前述したねじり用の分極処理に用いた仮電極をそ
のまま使用するが、これらの電極はねじり用の分極処理
の説明と区別するために符号を８−５〜８−８とする。
ここで、表裏の対向する電極に印加する分極処理用の直
流電圧の極性を異ならせ、表側の電極８−６、８−７と
裏側の電極８−５、８−８に正の極性の電圧＋Ｖを印加
し、それ以外の電極をグランド電位とする。すると、矢
印に示す面外方向に分極処理が施される。
【００１５】これで１枚のＰＺＴにねじり方向と曲げ方
向の分極処理が施されたことになる。しかる後に、電極
を図１の（ｃ）のようなパターンに付け直す。ねじり振
動信号検出用（印加用）の本電極８ｂは、ねじり分極処
理された上に配置し、又曲げ振動信号検出用（印加用）
の本電極８ａはその間に配置している。
向の分極処理が施されたことになる。しかる後に、電極
を図１の（ｃ）のようなパターンに付け直す。ねじり振
動信号検出用（印加用）の本電極８ｂは、ねじり分極処
理された上に配置し、又曲げ振動信号検出用（印加用）
の本電極８ａはその間に配置している。
【００１６】したがって、圧電素子の直径部分の一方を
ねじり振動駆動用とし、他方をねじり振動検出用として
使用でき、また４つの領域の曲げ振動検出信号を利用し
て２軸方向の角速度を検出する振動ジャイロに使用する
ことができる。
ねじり振動駆動用とし、他方をねじり振動検出用として
使用でき、また４つの領域の曲げ振動検出信号を利用し
て２軸方向の角速度を検出する振動ジャイロに使用する
ことができる。
【００１７】なお、上記した実施例では、 ねじり方向
の分極処理を行った後に面外方向の分極処理を行ってい
るが、この逆であっても良く、また面外方向における分
極方向もこれに限定されることはなく、すべて同じ方向
であっても良い。
の分極処理を行った後に面外方向の分極処理を行ってい
るが、この逆であっても良く、また面外方向における分
極方向もこれに限定されることはなく、すべて同じ方向
であっても良い。
【００１８】図２は図１に示す圧電素子を例えば振動ジ
ャイロの振動子に設けた実施例を示す。
ャイロの振動子に設けた実施例を示す。
【００１９】支持板５に支持棒４を介して支持される振
動子は、振動弾性体１の不図示のめねじ部にネジ結合さ
れるボルト部２ａを有する振動弾性体２の間に、表裏面
に電極膜が対向して形成された圧電素子３ａ、圧電素子
３ａ用の接続電極を上面側に形成された絶縁体６と、他
の圧電素子３ｂが挟持され、該絶縁体６の接続電極から
は圧電素子３ａで検出した曲げ振動信号ＶＢ１〜ＶＢ
４、ねじり振動信号ＶＴ１とＶＴ３が不図示の角速度検
出回路に出力され、またねじり駆動信号ＶＴ２とＶＴ４
が不図示の駆動回路から出力される。
動子は、振動弾性体１の不図示のめねじ部にネジ結合さ
れるボルト部２ａを有する振動弾性体２の間に、表裏面
に電極膜が対向して形成された圧電素子３ａ、圧電素子
３ａ用の接続電極を上面側に形成された絶縁体６と、他
の圧電素子３ｂが挟持され、該絶縁体６の接続電極から
は圧電素子３ａで検出した曲げ振動信号ＶＢ１〜ＶＢ
４、ねじり振動信号ＶＴ１とＶＴ３が不図示の角速度検
出回路に出力され、またねじり駆動信号ＶＴ２とＶＴ４
が不図示の駆動回路から出力される。
【００２０】なお、圧電素子３ａの上面はグランド用と
し使用するので、全面電極膜としてもよく、絶縁体６は
セラミックのような硬質物体でも、フレキシブルプリン
ト板のような軟材料であってもよい。
し使用するので、全面電極膜としてもよく、絶縁体６は
セラミックのような硬質物体でも、フレキシブルプリン
ト板のような軟材料であってもよい。
【００２１】また、他の圧電素子３ｂについても一方の
圧電素子３ａと同様のものであったり、他のパターン、
例えばねじり振動発生用電極パターンであってよい。
圧電素子３ａと同様のものであったり、他のパターン、
例えばねじり振動発生用電極パターンであってよい。
【００２２】絶縁体をフレキシブルプリント基板とした
ものとしては、図３に示す第２実施例のように、フレキ
シブル媒体６ａ上に斜線で示す電極８を印刷し、電力取
り出し部一体に設けて信号の入出力の構造を単純化する
ことができる。
ものとしては、図３に示す第２実施例のように、フレキ
シブル媒体６ａ上に斜線で示す電極８を印刷し、電力取
り出し部一体に設けて信号の入出力の構造を単純化する
ことができる。
【００２３】また、図４に示す第３の実施例のように、
絶縁体６として振動弾性体１、２よりも直径の大きい円
板を使用し、はみ出した部分にフレキシブル基板７によ
り接続することもできる。
絶縁体６として振動弾性体１、２よりも直径の大きい円
板を使用し、はみ出した部分にフレキシブル基板７によ
り接続することもできる。
【００２４】一方、１枚の圧電素子に曲げとねじりの分
極処理を施したパターンとしては、図５に示す第４の実
施例のように、対角をなす領域８０と８２を曲げ、８１
と８３をねじれ用としたもの、図６に示す第５の実施例
のように、直径部分の領域８４を曲げ、その両側の領域
８５、８６をねじれ用としたもの、図７に示す第６の実
施例のように、直径部分の領域８７をねじれ、その両側
の領域８８、８９を曲げ用としたもの、図８に示す第７
の実施例のように領域９０、９１、９３を曲げ、領域９
２をねじれとするものであって良い。
極処理を施したパターンとしては、図５に示す第４の実
施例のように、対角をなす領域８０と８２を曲げ、８１
と８３をねじれ用としたもの、図６に示す第５の実施例
のように、直径部分の領域８４を曲げ、その両側の領域
８５、８６をねじれ用としたもの、図７に示す第６の実
施例のように、直径部分の領域８７をねじれ、その両側
の領域８８、８９を曲げ用としたもの、図８に示す第７
の実施例のように領域９０、９１、９３を曲げ、領域９
２をねじれとするものであって良い。
【００２５】すなわち、第１の実施例では、圧電素子３
ａにおいて、面内および面外方向に分極された部分は夫
々４か所ずつであったが、いずれも任意の数でよく、ま
たねじり振動検出部の周方向の幅は第１の実施例では均
一としたが、不均一、例えば外周で大であってもよく、
そこで、面内（周）方向分極部分を２か所、面外方向分
極部分をを２か所としたのが図５に示す第４の実施例で
ある。
ａにおいて、面内および面外方向に分極された部分は夫
々４か所ずつであったが、いずれも任意の数でよく、ま
たねじり振動検出部の周方向の幅は第１の実施例では均
一としたが、不均一、例えば外周で大であってもよく、
そこで、面内（周）方向分極部分を２か所、面外方向分
極部分をを２か所としたのが図５に示す第４の実施例で
ある。
【００２６】この第４の実施例を図２に示す２軸振動ジ
ャイロにおいて一方向の曲げ検出、およびねじりの加
振、検出に用いても良く、この場合図６に示す圧電素子
が２枚以上必要となる。この場合は、必要に応じて挟持
される圧電素子や絶縁体の種類、数を増大すれば良い。
また、他の振動子、すなわち例えばねじりと曲げ振動を
用いる超音波モータや、ねじりと曲げ振動を用いる一軸
振動ジャイロ等に用いることができる。
ャイロにおいて一方向の曲げ検出、およびねじりの加
振、検出に用いても良く、この場合図６に示す圧電素子
が２枚以上必要となる。この場合は、必要に応じて挟持
される圧電素子や絶縁体の種類、数を増大すれば良い。
また、他の振動子、すなわち例えばねじりと曲げ振動を
用いる超音波モータや、ねじりと曲げ振動を用いる一軸
振動ジャイロ等に用いることができる。
【００２７】また、面内方向の力係数を大きくしたい場
合には図６の第５の実施例のように面内方向に分極され
た部分の面積を大きくすればよいし、面外方向の力係数
を大きくしたい場合には、図７の第６実施例のように分
極された部分の面積を大きくすればよい。
合には図６の第５の実施例のように面内方向に分極され
た部分の面積を大きくすればよいし、面外方向の力係数
を大きくしたい場合には、図７の第６実施例のように分
極された部分の面積を大きくすればよい。
【００２８】さらに、面外方向分極部は多数個、面内方
向分極部は一個で良い場合や、その逆の場合もありえ
る。そこで、面外方向分極部を３か所、面内方向分極部
を１か所設けた例が図８に示す第７の実施例である。
向分極部は一個で良い場合や、その逆の場合もありえ
る。そこで、面外方向分極部を３か所、面内方向分極部
を１か所設けた例が図８に示す第７の実施例である。
【００２９】なお、第２〜第７の実施例における圧電素
子の分極処理方法は図１に示す第１の実施例と同様であ
る。
子の分極処理方法は図１に示す第１の実施例と同様であ
る。
【００３０】図９は第８の実施例を示す。
【００３１】本実施例の圧電素子は斜線で示した４つの
電極から、ＶＢ１＋ＶＴ２、ＶＢ４＋ＶＴ１、ＶＢ３＋
ＶＴ４、ＶＢ２＋ＶＴ３の曲げとねじりの和の信号が出
力されるもので、図１の（ａ）、（ｂ）による分極処理
の後、本電極をねじりと曲げの分極処理がなされた箇所
に跨がって形成したものである。
電極から、ＶＢ１＋ＶＴ２、ＶＢ４＋ＶＴ１、ＶＢ３＋
ＶＴ４、ＶＢ２＋ＶＴ３の曲げとねじりの和の信号が出
力されるもので、図１の（ａ）、（ｂ）による分極処理
の後、本電極をねじりと曲げの分極処理がなされた箇所
に跨がって形成したものである。
【００３２】したがって、あらかじめ２か所の部分の信
号を単純に加算して用いることが分かっている場合に
は、本実施例の構成とすれば、電力入出力部の数を減少
させることができ、構造の単純化が図れる。
号を単純に加算して用いることが分かっている場合に
は、本実施例の構成とすれば、電力入出力部の数を減少
させることができ、構造の単純化が図れる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧電素子
は、１枚で面内および面外方向の分極を施された領域を
有するという多機能性を有し、この１枚の圧電素子のみ
で、ねじり及び曲げ駆動、検出部を作り出すことがで
き、振動ジャイロ等の振動子に利用すれば、振動子の構
造が簡単となり、部品点数の削減、分極処理や組立作業
性も含んだ製造工程が容易となり、またコストの低減化
を図れる。
は、１枚で面内および面外方向の分極を施された領域を
有するという多機能性を有し、この１枚の圧電素子のみ
で、ねじり及び曲げ駆動、検出部を作り出すことがで
き、振動ジャイロ等の振動子に利用すれば、振動子の構
造が簡単となり、部品点数の削減、分極処理や組立作業
性も含んだ製造工程が容易となり、またコストの低減化
を図れる。
【図１】本発明の第１の実施例を示し、（ａ）、（ｂ）
は分極処理手順を示し、（ｃ）は完成した圧電素子を示
す斜視図である。
は分極処理手順を示し、（ｃ）は完成した圧電素子を示
す斜視図である。
【図２】図１の圧電素子を使用した振動ジャイロの振動
子の分解斜視図。
子の分解斜視図。
【図３】第２の実施例を示す絶縁体の斜視図。
【図４】第３の実施例を示す絶縁体の斜視図。
【図５】第４の実施例を示す圧電素子の斜視図。
【図６】第５の実施例を示す圧電素子の斜視図。
【図７】第６の実施例を示す圧電素子の斜視図。
【図８】第７の実施例を示す圧電素子の斜視図。
【図９】第８の実施例を示す圧電素子と絶縁体の分解斜
視図。
視図。
【図１０】従来の振動ジャイロの斜視図。
【図１１】図１０の振動ジャイロに用いられる曲げ振動
検出用の圧電素子の斜視図。
検出用の圧電素子の斜視図。
【図１２】図１０の振動ジャイロに用いられるねじれ振
動駆動および検出用の圧電素子の斜視図。
動駆動および検出用の圧電素子の斜視図。
１、２ 振動弾性体 ３ 圧電素子 ４ 支持棒 ５ 支持板 ６ 絶縁体 ７ フレキシブル基板 ８ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 41/22
Claims (7)
- 【請求項１】 第１の領域が厚み方向に分極処理され、
第２の領域が周方向に分極処理されていることを特徴と
する圧電素子。 - 【請求項２】 請求項１において、第１の領域と第２の
領域とが共通の電極に含まれていることを特徴とする圧
電素子。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、第１の領域と
第２の領域とを夫々複数領域有することを特徴とする圧
電素子。 - 【請求項４】 請求項１に記載した圧電素子の分極処理
方法であって、第１の領域と第２の領域とを別々に分極
処理後、分極処理用の電極に代わり、第２の領域用の本
電極を分極処理された部分に設け、第１の領域部分に第
１の領域用の本電極を設けることを特徴とする圧電素子
の分極処理方法。 - 【請求項５】 請求項２に記載した圧電素子の分極処理
方法であって、第１の領域と第２の領域とを別々に分極
処理後、分極処理用の電極に代わり、本電極を第１の領
域と第２の領域に跨がって設けたことを特徴とする圧電
素子の分極処理方法。 - 【請求項６】 請求項１、２又は３に記載した圧電素子
を振動子に設け、該圧電素子の第１の領域から出力され
た曲げ振動信号を用いて角速度信号を検出することを特
徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項７】 請求項６にいて、圧電素子の分極パター
ンに対応した電極部を有する絶縁体を振動子に介装配置
され、該電極部を介して該圧電素子との信号の授受を行
うことを特徴とする振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33724593A JPH07198392A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33724593A JPH07198392A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198392A true JPH07198392A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18306810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33724593A Pending JPH07198392A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 圧電素子および圧電素子の分極処理方法並びに振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198392A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008268227A (ja) * | 1998-12-08 | 2008-11-06 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| JP2016162998A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | Fdk株式会社 | 円環状圧電素子の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33724593A patent/JPH07198392A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008268227A (ja) * | 1998-12-08 | 2008-11-06 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| JP2016162998A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | Fdk株式会社 | 円環状圧電素子の製造方法 |
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