JP3511142B2 - 圧電振動ジャイロ用振動子 - Google Patents
圧電振動ジャイロ用振動子Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカメラ一体型Ｖ
ＴＲの手振れ防止装置や自動車のナビゲーションシステ
ム等に用いられるジャイロスコープであって、詳しくは
棒状屈曲振動構造を成す圧電振動ジャイロ用の振動子に
関する。 【０００２】 【従来の技術】一般に圧電振動ジャイロは、振動してい
る物体に回転角速度が与えられると、その振動方向と直
角な方向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用し
たジャイロスコープに属される。このジャイロスコープ
では、互いに直交する二つの方向の励振とその検出とが
可能であるように構成した振動系において、一方の振動
を励振した状態で、振動子自身を二つの振動面が交わる
線と平行な軸を中心軸として回転させると、上述したコ
リオリ力の作用により、この振動と直角な方向に力が働
き、他方の振動が励振される。この振動の大きさは入力
側の振動の大きさ及び回転角速度に比例するため、入力
電圧が一定の場合には出力電圧の大きさから回転角速度
の大きさを求めることができる。 【０００３】図４は従来の圧電振動ジャイロに用いられ
る圧電振動子を斜視図により示したものである。この圧
電振動子は、円柱状圧電セラミック１の外周面上におけ
る円周を６等分する位置に、円柱状圧電セラミック１の
長さ方向と平行に６本の帯状電極２，３，４，５，６，
７が設けられている。尚、図中において帯状電極２，
６，７は、円柱状圧電セラミック１の背後に隠れてい
る。 【０００４】圧電振動子は、これらの各帯状電極に対
し、互いに一つおきに接続を行うことで２端子構成と成
す分極処理を施した後、一つおきの帯状電極２，４，６
の両側を接続して共通アース用とすると共に、残りの帯
状電極のうちの帯状電極３を駆動用とし、更に帯状電極
５及び帯状電極７を検出用としている。ここで、圧電振
動子における各帯状電極は、共通アース用帯状電極２，
４，６が形成する間隔内に駆動用帯状電極３と検出用の
帯状電極５，７とが配置されている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】上述した圧電振動子の
場合、各帯状電極を円柱状圧電セラミックに設ける際
に、各帯状電極の振動方向を合致させることが煩雑な作
業になっている。通常は圧電振動ジャイロとして構成さ
れるときに、各リード線用接続端子側からみた共振周波
数をできるだけ一致させる方法により、実効的に各帯状
電極の振動方向を駆動電極の振動方向に合わせている。 【０００６】図５は図４に示した圧電振動子を用いて構
成した圧電振動ジャイロの特性，即ち、駆動用帯状電極
３及び検出用帯状電極５，７のインピーダンス［Ω］−
周波数［Ｈｚ］特性を示したもの（但し、横軸の周波数
は３０Ｈｚ間隔のリニア表示になっている）である。圧
電振動ジャイロを構成する場合、圧電振動子の各帯状電
極におけるインピーダンス特性ができるだけ一致してい
ることが望ましく、更にそれぞれの共振周波数（インピ
ーダンスが極小になる周波数）を一致させる必要があ
る。 【０００７】一般に円柱の屈曲振動においては、互いに
直交する振動モードｆｘとｆｙとが存在するが、これら
のｆｘ，ｆｙが完全に一致（縮退）し、円柱が形状的に
も弾性的にも完全に対称である場合、振動方向を所望と
する任意な方向に固定することができる。 【０００８】しかしながら、実際の円柱状圧電セラミッ
クでは僅かな非対称性を有する場合が多く、こうした場
合にはｆｘ，ｆｙが異なると共に、その振動方向が特定
の方向に限定される。 【０００９】図６は、同一平面上における二つの振動モ
ードと駆動用帯状電極及び検出用帯状電極との関係を示
したもので、同図（ａ）はｆｘの振動方向と駆動用帯状
電極３の中心とが一致している場合を示し、同図（ｂ）
はｆｘの振動方向が駆動用帯状電極３の中心から角度に
してδ度分ずれている場合を示している。 【００１０】即ち、図５で説明すれば、ずれ角度δがほ
ぼ１５度であって、ｆｘ，ｆｙの共振周波数がそれぞれ
３０．２４２［ｋＨｚ］，３０．２６５ｋＨｚ［ｋＨ
ｚ］で、これらの共振周波数が２３Ｈｚの相違を持って
いる。円柱状圧電セラミックが非対称性であると、この
場合の如く各帯状電極におけるインピーダンス特性は正
確には一致しなくなる。因みに、この圧電振動子におい
て、ｆｘのメカニカル品質係数Ｑc とｆｙのメカニカル
品質係数Ｑs とは９００で、ｆｘの電気容量γcとｆｙ
の電気容量γs とは６０［μＦ］で、ｆｘに対するｆｙ
の共振比ωs ／ωc は約１．００１である。 【００１１】ところで、圧電振動ジャイロは、上述した
如くｆｘの振動方向に励振している状態で、圧電振動子
が回転させられた場合に、ｆｙの振動が励振され、この
ｆｙの振動の大きさを検出用帯状電極で検出するもので
あるから、特性的に要求される基本条件としては以下に
述べる二点が挙げられる。 【００１２】第１の条件は、ｆｘの振動に対して二つの
検出用帯状電極が対称的に配置され、圧電振動子が回転
されない場合、これらの検出用帯状電極から発生する電
圧の振幅及びその位相が一致していることである。又、
第２の条件は、ｆｙができるだけｆｘと一致しているこ
とである。 【００１３】これらの条件のうちでは、第１の条件の方
が第２の条件より重要である。第１の条件を満たすため
には圧電振動子が回転しないときの出力電圧（ヌル電
圧）をできるだけ零に近づければ良い。又、第２の条件
は振動ジャイロの感度に関する条件であり、ｆｘとｆｙ
とが一致する程、感度が良くなる。 【００１４】このような構成の圧電振動子においては、
共通アース用帯状電極を除く他の３つの電極である駆動
用帯状電極及び検出用帯状電極に関する振動方向の固
定，即ち、これらの電極に対応する３つのリード端子側
からみた共振周波数の合致させる工程に時間がかかり過
ぎ、その組み立て工程における作業性が悪くなるという
問題がある。 【００１５】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、駆動用及び検出用帯状
電極に対する振動方向の固定を簡易に行い得ると共に、
組み立てを精度良く行い得る圧電振動ジャイロ用振動子
を提供することにある。 【００１６】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数個
の帯状電極が円柱状圧電セラミックの外周面に、該円柱
状圧電セラミックの長さ方向と平行に設けられた圧電振
動ジャイロ用振動子において、圧電振動ジャイロ用振動
子は、２つの直交する振動方向を固定，制御するために
長さ方向と平行に直線状平面部がただ１個所形成された
回転体であり、前記複数個の帯状電極のうちの駆動用帯
状電極は、前記直線状平面部上に設けられることで振動
方向を駆動方向に固定したことを特徴とする圧電振動ジ
ャイロ用振動子が得られる。 【００１７】 【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明の圧電振動ジャ
イロ用振動子について図面を参照して詳細に説明する。 【００１８】図１は、本発明の一実施例に係る圧電振動
ジャイロ用振動子に用いられる電極配置前の円柱状圧電
セラミック１０を斜視図により示したものである。この
円柱状圧電セラミック１０においては、その外周面であ
って、円柱状圧電セラミック１０の長さ方向と平行な位
置に一つの直線状平面部８が設けられている。この直線
状平面部８は、２つの直交する振動モードを固定，制御
するために円柱状圧電セラミック１０の外周面の一部を
切り欠いて円柱状圧電セラミック１０を非対称形な回転
体となるように形成したもので、その外周の面積全体に
おいては微小部分を占めている。 【００１９】図２は、図１に示す円柱状圧電セラミック
１０に複数の帯状電極が設けられた状態の電極配置後の
圧電振動子を平面断面図により示したものである。この
圧電振動子においては、円柱状圧電セラミック１０の外
周面上における円周を６等分する位置に、円柱状圧電セ
ラミック１０の長さ方向と平行に直線状平面部８を基準
として６本の帯状電極２０，３０，４０，５０，６０，
７０が設けられている。このうち、駆動用とする帯状電
極３０は直線状平面部８上に設けられている。 【００２０】ところで、円柱状圧電セラミック１０の外
周面の一部に直線状平面部８を形成した圧電振動子は、
圧電振動子本体の対称性が崩れる。この場合、図２に示
す如く、同一平面上における直線状平面部８の中心と円
柱状圧電セラミック１０の断面円における中心とを結ぶ
方向の屈曲振動ｆｘ′と、これと直角な方向の屈曲振動
ｆｙ′との共振周波数が僅かにずれる（ｆｘ′＜ｆｙ′
となる）が、ｆｘ′の振動方向に関しては、直線状平面
部８の中心と圧電セラミック円柱１０の断面円における
中心とを結ぶ方向に正確に固定される。 【００２１】そこで、円柱状圧電セラミック１０の外周
面上に各帯状電極を形成する際には、先ず駆動振動の方
向を定める駆動用帯状電極３０を直線状平面部８上に設
け、次いで検出用帯状電極５０，７０をこの駆動振動の
方向に対して対称な位置に形成する。これにより、共振
周波数が精度良く合致され、その調整を殆ど行わなくて
も済むようになる。尚、共通アース用帯状電極６０は、
検出用帯状電極５０，７０を形成した後に設けられる。 【００２２】このように、直線状平面部８上に設けた駆
動用帯状電極３０を基準にして各帯状電極を固定する
と、上述したジャイロ特性として要求される基本条件の
うちの第１の条件（即ち、ｆｘ´の振動に対して二つの
検出用帯状電極が対称的に配置され、圧電振動子が回転
されない場合、これらの検出用帯状電極から発生する電
圧の振幅及びその位相が一致していること）を容易に満
たすことができる。 【００２３】即ち、本発明においては意図的に円柱状圧
電セラミック１０の対称性を崩し、ｆｘ´及びｆｙ´に
係る共振周波数の僅小ずれ差を所定の範囲内に規定しつ
つ、ｆｘ´の振動方向を一定の方向に固定するものであ
る。実際には、更なる微調整を要するが、従来の場合と
比較すると、動鍵と微調整とは格段に短縮される。 【００２４】従って、この実施例に係る圧電振動ジャイ
ロ用振動子は、駆動用及び検出用帯状電極に対する振動
方向の固定を簡易に行い得ると共に、組み立てを精度良
く行い得る。 【００２５】 【００２６】 【００２７】 【００２８】 【発明の効果】以上に述べた通り、本発明の圧電振動ジ
ャイロ用振動子によれば、円柱状圧電セラミックの長さ
方向と平行に設けられた圧電振動ジャイロ用振動子にお
いて、圧電振動ジャイロ用振動子は、２つの直交する振
動方向を固定，制御するために長さ方向と平行に直線状
平面部がただ１個所形成された回転体であり、前記複数
個の帯状電極のうちの駆動用帯状電極を前記直線状平面
部上に設けることで振動方向を駆動方向に固定した構成
としたもので、その駆動振動の方向に対して対称な位置
に検出用帯状電極を設けることによって、各帯状電極に
おける共振周波数が精度良く合致させることができ、そ
の調整を殆ど行わなくても済み、これによって圧電振動
ジャイロ用振動子の組み立てを精度良く行い得るように
なる。又、この圧電振動子は検出用帯状電極にて発生す
る電圧の振幅及びその位相がほぼ揃った状態となり、最
終的な共振周波数の調整を容易に行い得るため、ジャイ
ロ特性のばらつきを小さくして大量に圧電振動ジャイロ
を生産できるようになる。
ＴＲの手振れ防止装置や自動車のナビゲーションシステ
ム等に用いられるジャイロスコープであって、詳しくは
棒状屈曲振動構造を成す圧電振動ジャイロ用の振動子に
関する。 【０００２】 【従来の技術】一般に圧電振動ジャイロは、振動してい
る物体に回転角速度が与えられると、その振動方向と直
角な方向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用し
たジャイロスコープに属される。このジャイロスコープ
では、互いに直交する二つの方向の励振とその検出とが
可能であるように構成した振動系において、一方の振動
を励振した状態で、振動子自身を二つの振動面が交わる
線と平行な軸を中心軸として回転させると、上述したコ
リオリ力の作用により、この振動と直角な方向に力が働
き、他方の振動が励振される。この振動の大きさは入力
側の振動の大きさ及び回転角速度に比例するため、入力
電圧が一定の場合には出力電圧の大きさから回転角速度
の大きさを求めることができる。 【０００３】図４は従来の圧電振動ジャイロに用いられ
る圧電振動子を斜視図により示したものである。この圧
電振動子は、円柱状圧電セラミック１の外周面上におけ
る円周を６等分する位置に、円柱状圧電セラミック１の
長さ方向と平行に６本の帯状電極２，３，４，５，６，
７が設けられている。尚、図中において帯状電極２，
６，７は、円柱状圧電セラミック１の背後に隠れてい
る。 【０００４】圧電振動子は、これらの各帯状電極に対
し、互いに一つおきに接続を行うことで２端子構成と成
す分極処理を施した後、一つおきの帯状電極２，４，６
の両側を接続して共通アース用とすると共に、残りの帯
状電極のうちの帯状電極３を駆動用とし、更に帯状電極
５及び帯状電極７を検出用としている。ここで、圧電振
動子における各帯状電極は、共通アース用帯状電極２，
４，６が形成する間隔内に駆動用帯状電極３と検出用の
帯状電極５，７とが配置されている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】上述した圧電振動子の
場合、各帯状電極を円柱状圧電セラミックに設ける際
に、各帯状電極の振動方向を合致させることが煩雑な作
業になっている。通常は圧電振動ジャイロとして構成さ
れるときに、各リード線用接続端子側からみた共振周波
数をできるだけ一致させる方法により、実効的に各帯状
電極の振動方向を駆動電極の振動方向に合わせている。 【０００６】図５は図４に示した圧電振動子を用いて構
成した圧電振動ジャイロの特性，即ち、駆動用帯状電極
３及び検出用帯状電極５，７のインピーダンス［Ω］−
周波数［Ｈｚ］特性を示したもの（但し、横軸の周波数
は３０Ｈｚ間隔のリニア表示になっている）である。圧
電振動ジャイロを構成する場合、圧電振動子の各帯状電
極におけるインピーダンス特性ができるだけ一致してい
ることが望ましく、更にそれぞれの共振周波数（インピ
ーダンスが極小になる周波数）を一致させる必要があ
る。 【０００７】一般に円柱の屈曲振動においては、互いに
直交する振動モードｆｘとｆｙとが存在するが、これら
のｆｘ，ｆｙが完全に一致（縮退）し、円柱が形状的に
も弾性的にも完全に対称である場合、振動方向を所望と
する任意な方向に固定することができる。 【０００８】しかしながら、実際の円柱状圧電セラミッ
クでは僅かな非対称性を有する場合が多く、こうした場
合にはｆｘ，ｆｙが異なると共に、その振動方向が特定
の方向に限定される。 【０００９】図６は、同一平面上における二つの振動モ
ードと駆動用帯状電極及び検出用帯状電極との関係を示
したもので、同図（ａ）はｆｘの振動方向と駆動用帯状
電極３の中心とが一致している場合を示し、同図（ｂ）
はｆｘの振動方向が駆動用帯状電極３の中心から角度に
してδ度分ずれている場合を示している。 【００１０】即ち、図５で説明すれば、ずれ角度δがほ
ぼ１５度であって、ｆｘ，ｆｙの共振周波数がそれぞれ
３０．２４２［ｋＨｚ］，３０．２６５ｋＨｚ［ｋＨ
ｚ］で、これらの共振周波数が２３Ｈｚの相違を持って
いる。円柱状圧電セラミックが非対称性であると、この
場合の如く各帯状電極におけるインピーダンス特性は正
確には一致しなくなる。因みに、この圧電振動子におい
て、ｆｘのメカニカル品質係数Ｑc とｆｙのメカニカル
品質係数Ｑs とは９００で、ｆｘの電気容量γcとｆｙ
の電気容量γs とは６０［μＦ］で、ｆｘに対するｆｙ
の共振比ωs ／ωc は約１．００１である。 【００１１】ところで、圧電振動ジャイロは、上述した
如くｆｘの振動方向に励振している状態で、圧電振動子
が回転させられた場合に、ｆｙの振動が励振され、この
ｆｙの振動の大きさを検出用帯状電極で検出するもので
あるから、特性的に要求される基本条件としては以下に
述べる二点が挙げられる。 【００１２】第１の条件は、ｆｘの振動に対して二つの
検出用帯状電極が対称的に配置され、圧電振動子が回転
されない場合、これらの検出用帯状電極から発生する電
圧の振幅及びその位相が一致していることである。又、
第２の条件は、ｆｙができるだけｆｘと一致しているこ
とである。 【００１３】これらの条件のうちでは、第１の条件の方
が第２の条件より重要である。第１の条件を満たすため
には圧電振動子が回転しないときの出力電圧（ヌル電
圧）をできるだけ零に近づければ良い。又、第２の条件
は振動ジャイロの感度に関する条件であり、ｆｘとｆｙ
とが一致する程、感度が良くなる。 【００１４】このような構成の圧電振動子においては、
共通アース用帯状電極を除く他の３つの電極である駆動
用帯状電極及び検出用帯状電極に関する振動方向の固
定，即ち、これらの電極に対応する３つのリード端子側
からみた共振周波数の合致させる工程に時間がかかり過
ぎ、その組み立て工程における作業性が悪くなるという
問題がある。 【００１５】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、駆動用及び検出用帯状
電極に対する振動方向の固定を簡易に行い得ると共に、
組み立てを精度良く行い得る圧電振動ジャイロ用振動子
を提供することにある。 【００１６】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数個
の帯状電極が円柱状圧電セラミックの外周面に、該円柱
状圧電セラミックの長さ方向と平行に設けられた圧電振
動ジャイロ用振動子において、圧電振動ジャイロ用振動
子は、２つの直交する振動方向を固定，制御するために
長さ方向と平行に直線状平面部がただ１個所形成された
回転体であり、前記複数個の帯状電極のうちの駆動用帯
状電極は、前記直線状平面部上に設けられることで振動
方向を駆動方向に固定したことを特徴とする圧電振動ジ
ャイロ用振動子が得られる。 【００１７】 【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明の圧電振動ジャ
イロ用振動子について図面を参照して詳細に説明する。 【００１８】図１は、本発明の一実施例に係る圧電振動
ジャイロ用振動子に用いられる電極配置前の円柱状圧電
セラミック１０を斜視図により示したものである。この
円柱状圧電セラミック１０においては、その外周面であ
って、円柱状圧電セラミック１０の長さ方向と平行な位
置に一つの直線状平面部８が設けられている。この直線
状平面部８は、２つの直交する振動モードを固定，制御
するために円柱状圧電セラミック１０の外周面の一部を
切り欠いて円柱状圧電セラミック１０を非対称形な回転
体となるように形成したもので、その外周の面積全体に
おいては微小部分を占めている。 【００１９】図２は、図１に示す円柱状圧電セラミック
１０に複数の帯状電極が設けられた状態の電極配置後の
圧電振動子を平面断面図により示したものである。この
圧電振動子においては、円柱状圧電セラミック１０の外
周面上における円周を６等分する位置に、円柱状圧電セ
ラミック１０の長さ方向と平行に直線状平面部８を基準
として６本の帯状電極２０，３０，４０，５０，６０，
７０が設けられている。このうち、駆動用とする帯状電
極３０は直線状平面部８上に設けられている。 【００２０】ところで、円柱状圧電セラミック１０の外
周面の一部に直線状平面部８を形成した圧電振動子は、
圧電振動子本体の対称性が崩れる。この場合、図２に示
す如く、同一平面上における直線状平面部８の中心と円
柱状圧電セラミック１０の断面円における中心とを結ぶ
方向の屈曲振動ｆｘ′と、これと直角な方向の屈曲振動
ｆｙ′との共振周波数が僅かにずれる（ｆｘ′＜ｆｙ′
となる）が、ｆｘ′の振動方向に関しては、直線状平面
部８の中心と圧電セラミック円柱１０の断面円における
中心とを結ぶ方向に正確に固定される。 【００２１】そこで、円柱状圧電セラミック１０の外周
面上に各帯状電極を形成する際には、先ず駆動振動の方
向を定める駆動用帯状電極３０を直線状平面部８上に設
け、次いで検出用帯状電極５０，７０をこの駆動振動の
方向に対して対称な位置に形成する。これにより、共振
周波数が精度良く合致され、その調整を殆ど行わなくて
も済むようになる。尚、共通アース用帯状電極６０は、
検出用帯状電極５０，７０を形成した後に設けられる。 【００２２】このように、直線状平面部８上に設けた駆
動用帯状電極３０を基準にして各帯状電極を固定する
と、上述したジャイロ特性として要求される基本条件の
うちの第１の条件（即ち、ｆｘ´の振動に対して二つの
検出用帯状電極が対称的に配置され、圧電振動子が回転
されない場合、これらの検出用帯状電極から発生する電
圧の振幅及びその位相が一致していること）を容易に満
たすことができる。 【００２３】即ち、本発明においては意図的に円柱状圧
電セラミック１０の対称性を崩し、ｆｘ´及びｆｙ´に
係る共振周波数の僅小ずれ差を所定の範囲内に規定しつ
つ、ｆｘ´の振動方向を一定の方向に固定するものであ
る。実際には、更なる微調整を要するが、従来の場合と
比較すると、動鍵と微調整とは格段に短縮される。 【００２４】従って、この実施例に係る圧電振動ジャイ
ロ用振動子は、駆動用及び検出用帯状電極に対する振動
方向の固定を簡易に行い得ると共に、組み立てを精度良
く行い得る。 【００２５】 【００２６】 【００２７】 【００２８】 【発明の効果】以上に述べた通り、本発明の圧電振動ジ
ャイロ用振動子によれば、円柱状圧電セラミックの長さ
方向と平行に設けられた圧電振動ジャイロ用振動子にお
いて、圧電振動ジャイロ用振動子は、２つの直交する振
動方向を固定，制御するために長さ方向と平行に直線状
平面部がただ１個所形成された回転体であり、前記複数
個の帯状電極のうちの駆動用帯状電極を前記直線状平面
部上に設けることで振動方向を駆動方向に固定した構成
としたもので、その駆動振動の方向に対して対称な位置
に検出用帯状電極を設けることによって、各帯状電極に
おける共振周波数が精度良く合致させることができ、そ
の調整を殆ど行わなくても済み、これによって圧電振動
ジャイロ用振動子の組み立てを精度良く行い得るように
なる。又、この圧電振動子は検出用帯状電極にて発生す
る電圧の振幅及びその位相がほぼ揃った状態となり、最
終的な共振周波数の調整を容易に行い得るため、ジャイ
ロ特性のばらつきを小さくして大量に圧電振動ジャイロ
を生産できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であって、圧電振動ジャイロ
振動子に用いられる電極配置前の円柱状圧電セラミック
を示した斜視図である。 【図２】図１に示す円柱状圧電セラミックに複数の帯状
電極を配置した後の圧電振動子を示した平面断面図であ
る。 【図３】従来の圧電振動子を示した斜視図である。 【図４】図３に示す圧電振動子を用いて構成した圧電振
動ジャイロの特性であって、圧電振動子に備えられる駆
動用帯状電極と検出用帯状電極とに係るインピーダンス
［Ω］−周波数［Ｈｚ］特性を示したものである。 【図５】図３に示す圧電振動子の同一平面上おける二つ
の振動モードと駆動用帯状電極および検出用帯状電極と
の関係を示したもので、（ａ）はｆｘの振動方向と駆動
用帯状電極の中心とが一致している場合を示し、（ｂ）
はｆｘの振動方向が駆動用帯状電極の中心から所定角度
分ずれている場合を示したものである。 【符号の説明】 １，１０，１００ 円柱状圧電セラミック ２，４，６，２０，４０，６０，２００，４００，６０
０ 共通アース用帯状電極 ３，３０，３００ 駆動用帯状電極 ５，７，５０，７０，５００，７００ 検出用帯状電
極 ８ 直線状平面部
振動子に用いられる電極配置前の円柱状圧電セラミック
を示した斜視図である。 【図２】図１に示す円柱状圧電セラミックに複数の帯状
電極を配置した後の圧電振動子を示した平面断面図であ
る。 【図３】従来の圧電振動子を示した斜視図である。 【図４】図３に示す圧電振動子を用いて構成した圧電振
動ジャイロの特性であって、圧電振動子に備えられる駆
動用帯状電極と検出用帯状電極とに係るインピーダンス
［Ω］−周波数［Ｈｚ］特性を示したものである。 【図５】図３に示す圧電振動子の同一平面上おける二つ
の振動モードと駆動用帯状電極および検出用帯状電極と
の関係を示したもので、（ａ）はｆｘの振動方向と駆動
用帯状電極の中心とが一致している場合を示し、（ｂ）
はｆｘの振動方向が駆動用帯状電極の中心から所定角度
分ずれている場合を示したものである。 【符号の説明】 １，１０，１００ 円柱状圧電セラミック ２，４，６，２０，４０，６０，２００，４００，６０
０ 共通アース用帯状電極 ３，３０，３００ 駆動用帯状電極 ５，７，５０，７０，５００，７００ 検出用帯状電
極 ８ 直線状平面部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−307322（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−331312（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−134208（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−231517（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01C 19/56
G01P 9/04
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数個の帯状電極が円柱状圧電セラミッ
クの外周面に、該円柱状圧電セラミックの長さ方向と平
行に設けられた圧電振動ジャイロ用振動子において、圧
電振動ジャイロ用振動子は、２つの直交する振動方向を
固定，制御するために長さ方向と平行に直線状平面部が
ただ１個所形成された回転体であり、前記複数個の帯状
電極のうちの駆動用帯状電極は、前記直線状平面部上に
設けられることで振動方向を駆動方向に固定したことを
特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34583692A JP3511142B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 圧電振動ジャイロ用振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34583692A JP3511142B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 圧電振動ジャイロ用振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06194174A JPH06194174A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3511142B2 true JP3511142B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=18379313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34583692A Expired - Fee Related JP3511142B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 圧電振動ジャイロ用振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3511142B2 (ja) |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP34583692A patent/JP3511142B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06194174A (ja) | 1994-07-15 |
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