KR100880196B1 - 진공 챔버에 연결된 진공 레티클 라이브러리를 갖는리소그래피 도구 - Google Patents

진공 챔버에 연결된 진공 레티클 라이브러리를 갖는리소그래피 도구 Download PDF

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에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.
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Abstract

리소그래피 도구는 노광 챔버와, 리소그래피 도구의 사용자에 의해 미리 지시된 대로 노광되는 레티클을 교환하는 레티클 핸들러를 포함한다. 레티클 핸들러는 진공-호환가능 로봇, 로봇을 수용하기 위한 진공 챔버, 레티클을 입력하여 대기압으로부터 진공으로 전이시키기 위한 로드 락, 레티클을 프로세싱하기 위한 프로세싱 섹션, 및 노광 프로세스 동안 레티클이 신속하게 교환되도록 하기 위하여 적어도 하나의 여분의 레티클을 저장하기 위한 레티클 라이브러리를 포함한다. 로봇은 다수의 레티클을 동시에 보유하기 위하여, 둘 이상의 핸드를 갖는 그리퍼를 가질 수 있다. 이는 제1 레티클이 제1 핸드에 의해 레티클 스테이지로부터 제거되고, 제2 레티클이 제2 핸드에 의해 레티클 스테이지 상에 적재되도록 하고, 이는 교환 시간을 최소화한다.
리소그래피 도구, 진공 레티클 라이브러리, 진공 챔버, 레티클 스테이지

Description

진공 챔버에 연결된 진공 레티클 라이브러리를 갖는 리소그래피 도구{LITHOGRAPHY TOOL HAVING A VACUUM RETICLE LIBRARY COUPLED TO A VACUUM CHAMBER}
본 명세서에 포함되며 그 일부를 구성하는 첨부 도면들은 본 발명을 예시하는 것이며, 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명하는 한편, 관련 기술 분야의 숙련된 기술자들이 본 발명을 구현하고 사용할 수 있게 한다.
도 1a, 1b ,1c는 본 발명의 실시예에 따라 리소그래피 도구 내의 구성 요소의 스테이지를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 노광 중에 레티클을 전환하는 방법을 나타낸 순서도.
도 3a, 3b, 3c는 본 발명의 실시예에 따라 리소그래피 도구 내의 다중 레티클 보유 장치를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 리소그래피 도구 내의 다중 레티클 보유 장치를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 방법을 나타낸 순서도.
<도면의 주요 부분의 부호의 설명>
104 : 레티클 핸들러
108 : 레티클 스테이지
110 : 로봇
114 : 진공 챔버
116 : 로드 락
118 : 프로세싱 섹션
120 : 레티클 라이브러리
본 발명은 노광 중에 다수의 레티클을 전환함으로써, 자외선 환경에서의 다중 노광 처리량(multiple exposure throughput)을 증가시키는 리소그래피 도구에 관한 것이다.
리소그래피 도구는, 보다 더 작은 장치들이 웨이퍼 상에 패터닝될 수 있도록 개발되어 왔다. 다중 노광(multiple exposure)을 이용하는 리소그래피 도구 및 방법이 개발되고 있다. 다중 노광 중에, 영상 처리(imaging) 사이의 레티클 교환(reticle swapping)을 근거로 하여, 둘 이상의 레티클이 순차적으로 영상화된다. 다중 노광은 극 자외선(EUV) 영상 처리에서 바람직하지 못하게 낮은 k1의 영상 처리 효과를 극복하는 데에 특히 유익하다. 현존하는 시스템에서, 교환될 레티클 각각은 노광 직전에 대기압으로부터 진공으로 이송되어야 하기 때문에, 레티클 교환 시간은 처리량에 중요한 영향을 미친다. 불행하게도, 다중 노광을 수행하고 다수의 레티클을 효율적으로 진공에 수용하는 리소그래피 시스템은 현재 존재하지 않는다.
그러므로, 진공 챔버에 연결되며 둘 이상의 레티클을 보유하기 위한 진공 저장소가 필요하다. 이러한 구성은 다중 노광 중에 고속의 레티클 교환을 허용하며, 따라서 처리량이 증가될 수 있게 한다.
본 발명의 실시예는, 진공 입력 섹션으로부터 수취된 레티클을 진공 프로세스 섹션에서 프로세싱하는 단계; 레티클을 진공 라이브러리에 저장하는 단계; 상기 프로세싱 단계 동안 생성된 정보와 진공 라이브러리 내에 저장된 레티클 각각의 위치를 상관시킨 데이터를 저장하는 단계; 및 상기 데이터 저장 단계를 근거로 하여, 웨이퍼 상에 패턴을 노광하는 데에 사용되기 위하여 요청된 레티클을 상기 진공 라이브러리로부터 회수하는 단계를 포함하는 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예는, 로봇을 갖는 중앙 진공 섹션을 제공하는 단계를 포함하는 방법을 제공한다. 또한, 이 방법은 레티클이 로봇에 의해 중앙 진공 섹션으로 가기 전에, 레티클을 수취하는 진공 입력 섹션을 중앙 진공 섹션에 연결하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은 제1 진공 보유 섹션을 중앙 진공 섹션에 연결하는 단계를 포함한다. 제1 진공 보유 섹션은 레티클을 로봇으로부터 한번에 하나씩 수취한다. 또한, 이 방법은 제2 진공 보유 섹션을 밸브를 통해 중앙 진공 섹션에 연결하는 단계를 포함한다. 제2 진공 보유 섹션은 로봇으로부터 밸브를 통해 수취된 미리 정해진 양의 레티클을 동시에 보유한다. 또한, 이 방법은 노광 섹션을 중앙 진공 섹션에 연결하는 단계를 포함한다. 노광 챔버는, 로봇을 통해 제1 또는 제2 진공 보유 섹션으로부터 이송된 레티클을 수취한다.
본 발명의 또 다른 실시예는 중앙 진공 섹션, 및 상기 중앙 진공 섹션 내에 배치된 로봇을 포함하는 시스템을 포함한다. 또한, 이 시스템은 레티클이 로봇에 의해 중앙 진공 섹션으로 들어가기 전에, 레티클을 수취하는 압력 제어 입력 섹션, 로봇으로부터 수취된 레티클을 한 번에 하나씩 보유하는 제1 보유 섹션, 중앙 진공 섹션에 연결되어, 로봇으로부터 수취된 미리 결정된 양의 레티클을 동시에 보유하는 제2 보유 섹션을 포함한다. 또한, 이 시스템은 로봇으로부터 레티클을 수취하는 노광 섹션을 포함한다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 레티클을 진공 입력 섹션으로 이송하기 전에 레티클을 인덱스하는 단계, 진공 입력 섹션으로부터 수취된 레티클을 진공 프로세싱 섹션 내에서 프로세싱하는 단계, 레티클을 진공 라이브러리 내에 저장하는 단계, 상기 저장된 레티클을 인덱스하는 단계, 및 상기 인덱스 단계를 근거로 하여, 웨이퍼 상에 패턴을 노광하는 데에 사용되기 위하여 요청된 레티클을 진공 라이브러리로부터 회수하는 단계를 포함하는 방법을 제공한다.
상기 실시예에서, 복수의 레티클을 진공 상태인 노광 도구 내에 저장함으로써, 다중 노광 중에의 레티클 교환 시간이 실질적으로 감소된다. 이는 반도체의 제조 비용을 절감시키는 한편, EUV 환경에서 발생하는 영상 처리 문제를 해결한다.
본 발명의 다양한 실시예의 구조 및 동작은 물론, 본 발명의 다른 실시예, 특징 및 이점이 첨부 도면을 참조로 하여 이하에 상세하게 설명될 것이다.
이하에서는, 본 발명이 첨부된 도면을 참조하여 설명될 것이다. 도면에서, 유사 참조 번호는 동일하거나 기능적으로 유사한 요소를 나타낸다. 또한, 참조 번호의 제일 앞자리수는 해당 참조 번호가 최초로 나오는 도면을 나타낸다.
일반적으로, 본 발명의 실시예에 따른 리소그래피 도구(100)는, 레티클 스테이지(108) 상에 실장된 레티클을 통해 EUV 광을 웨이퍼(도시되지 않음)에 투영시켜, 그 웨이퍼 상에 다수의 집적 회로의 층의 사본을 프린트하는, 하나 이상의 미러(도시되지 않음)를 갖는 노광 챔버(102)를 포함할 수 있다. 리소그래피 도구(100)는 리소그래피 도구(100)의 사용자에 의해 미리 지정된 대로 노광되는 레티클을 교환하는 레티클 핸들러(reticle handler, 104)도 포함할 수 있다. 노광을 위해 레티클을 이송하는 현존하는 리소그래피 도구는 Catey 등의 미국 특허 제6,239,863호, DeMarco 등의 미국 출원 제09/925,722호, Friedman 등의 미국 출원 제10/040,375호, del Puerto 등의 미국 가출원 제60/358,354호, 및 del Puerto 등의 미국 가출원 제60/364,129호에 교시되어 있으며, 상기 문헌 전체가 본 명세서에 참조로서 포함된다.
특히, 본 발명의 실시예에 따른 레티클 핸들러는 진공 호환가능 로봇(vacuum-compatible robot, 110), 로봇(110)을 수용하기 위한 진공 챔버(114, 예를 들어 중앙 또는 주요 진공 섹션), 레티클을 식별(또는 인덱스) 및 입력하고, 대기압으로부터 진공으로 변환하기 위한 압력 제어 입력 섹션{예를 들어, 로드 락(load-lock), 116}, 레티클을 식별하고, 레티클을 검사하고, 레티클의 두께를 측 정하고, 레티클을 세정하며, 및/또는 레티클을 리소그래피 도구(100)에 대해 정렬하기 위한 제1 보유 섹션{예를 들어, 프로세싱 스테이션 또는 섹션(118)}, 및 적어도 하나의 여분의 레티클을 저장함으로써, 그 레티클이 신속하게 교환 가능하게 하는 제2 보유 섹션{예를 들어, 레티클 라이브러리(120)}을 포함할 수 있다. 또한, 입력 섹션(116)과 프로세싱 섹션(118)에서 수집된 정보 및/또는 레티클 라이브러리(120) 내의 레티클의 위치를 근거로 하여, 노광 중에 레티클을 회수하는 데에 도움이 되도록, 저장된 레티클을 인덱스할 수 있다. 로봇(110)은 하나 이상의 레티클을 동시에 보유할 수 있는 하나 이상의 핸드를 갖는 그리퍼(handed gripper, 112)를 가질 수 있다. 이것은, 제1 레티클이 제1 핸드에 의해 레티클 스테이지(108)로부터 제거되고, 제2 레티클이 제2 핸드에 의해 레티클 스테이지(108) 상에 적재되게 하여, 교환 시간을 최소화한다. 본 명세서에서는 하나의 로드 락, 하나의 프로세싱 섹션 및 하나의 노광 섹션을 갖는 것으로 기재되지만, 필요에 따라 이 구성 요소들을 여러개 구비할 수 있다.
도 1a 내지 1c는 본 발명의 실시예에 따른 리소그래피 도구(100)를 위에서 들여다 본 단면도이다. 도 1b 및 도 1c는 리소그래피 도구(100)의 동작 중에 로봇 암(110)이 상이한 위치에 있는 경우를 나타내고 있는 것일 뿐이므로, 도 1a에만 요소의 번호가 전부 나타나 있다. 리소그래피 도구(100)는 노광 섹션{예를 들어, 하나 이상의 미러를 갖는 노광 챔버(102)}, 및 게이트 밸브(106)를 통하여 노광 챔버(102)에 연결되는 레티클 핸들러(104)를 포함한다. 레티클 스테이지(108)는 노광 챔버(102) 내부에 배치되며, 점선으로 이루어진 사각형으로 표시된 위치 근처에서 노광 중인 레티클을 보유할 수 있다.
계속하여, 도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 레티클 핸들러(102)는 2개의 핸드를 갖는 그리퍼(two-handed gripper, 112)를 구비하는 것으로 도시된 진공 호환가능 로봇(110)을 포함한다. 다른 실시예에서, 그리퍼(112)는 필요한 만큼의 다수의 핸드를 가질 수 있다. 로봇(110)은 중앙 진공 챔버(114) 내부에 배치된다. 로드 락(116), 프로세싱 스테이션(118) 및 레티클 라이브러리(120)는 각각 게이트 밸브(122, 124 및 126)를 통해 중앙 챔버(114)에 연결된다. 로드 락(116)은, 본 기술 분야에 알려져 있는 바와 같이, 레티클을 식별하기 위한 식별 장치를 포함할 수 있다. 프로세싱 스테이션(118)은, 본 기술 분야에 알려져 있는 바와 같이, (1) 센서{예를 들어, 카메라, 반사성 광학 센서, 투과빔 광학 센서(through beam optical sensor) 또는 이와 유사한 것}를 구비할 수 있는 정렬 장치, (2) 식별 장치(예를 들어, 카메라, 바코드 판독기 또는 이와 유사한 것), (3) 레티클 세정 장치, 및/또는 (4) 두께를 측정하고 레티클 상의 바코드 라벨을 판독하고 또한 이와 유사한 동작을 하기 위한 검사 장치(예를 들어, 측정 장치, 카메라 또는 이와 유사한 것)를 포함할 수 있다. 중앙 챔버(114)의 벽에 한쌍의 평행한 점선 사이의 공간으로서 표시된 각각의 메일 슬롯형 개구(mail-slot-like opening, 130, 132, 134, 136) {예를 들어 통로(passage)}는, 로봇(110)이 도구(100)의 한 영역으로부터 다른 영역으로 레티클을 전달할 수 있게 한다. 통로(130)는 노광 챔버(102)를 중앙 챔버(114)에 연결한다. 통로(132)는 로드 락(116)을 중앙 챔버(114)에 연결한다. 통로(134)는 프로세싱 스테이션(118)을 중앙 챔버(114)에 연결한다. 통로(136)는 레티클 라이브러리(120)를 중앙 챔버(114)에 연결한다. 각각의 통로(130, 132, 134 및/또는 136)는 그에 연관된 게이트 밸브(106, 122, 124 및 126)를 폐쇄하는 것에 의해, 폐쇄 및/또는 밀봉될 수 있다.
다시, 도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 로드 락(116)은 도어 밸브(door valve, 138)를 더 포함한다. 로드 락(116)은, 게이트 밸브(122) 및 도어 밸브(138)를 사용하여, 그를 통과하는 레티클의 압력을 제어한다. 초기에, 게이트 밸브(122)는 폐쇄되고 도어 밸브(138)는 개방되어, 레티클(140)이 도어 밸브(138)를 통해 로드 락(116)으로부터 제거되거나 로드 락(116) 내에 배치될 수 있게 한다. 레티클(140)을 로드 락(116) 내에 배치한 후, 도어 밸브(138)가 폐쇄되고, 로드 락(116)이 펌프다운되며, 게이트 밸브(122)가 개방된다. 이는 로봇이 통로(132)를 통해 레티클(140)에 도달하여, 로드 락(116)으로부터 레티클(140)을 제거할 수 있게 한다. 그 다음으로, 레티클(140)은 프로세싱 스테이션(118)에서 프로세스되며, 이에 대해서는 이하에 더 상세하게 설명한다. 로봇(110)은, 프로세싱 스테이션(118)으로부터 레티클(140)을 제거하고 난 후, 도 1b에 도시된 바와 같이, 슬롯(136)을 통해 레티클(140)을 레티클 라이브러리(120) 내에 저장할 수 있다. 프로세싱 스테이션(118)에서 수집된 데이터 및 레티클 라이브러리(120) 내에서의 레티클(140)의 위치를 식별하는 정보는 서로 관련될 수 있으며, 데이터 저장소(142)에 저장될 수 있다. 노광 프로세스 중에 로봇(110)이 요청된 레티클을 회수하도록 지시받을 때, 제어기(144)는 데이터 저장소(142) 내에 저장된 데이터에 액세스 한다. 따라서, 전술한 바와 같은 시스템에 의하면, 다수의 레티클을 진공에서 보유하는 레티클 라이브러리(120)가 리소그래피 도구(100) 내에 배치되어, 실질적으로 보다 더 신속하게 레티클을 교환할 수 있게 한다. 또한, 리소그래피 도구(100)의 데이터 저장소(142) 내의 상관 데이터를 근거로 하여, 저장된 레티클이 인덱스되어, 요청된 레티클을 회수할 때의 속도 및 정확도를 증가시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 레티클을 교환하는 방법(200)을 나타낸다 {단계(202) 내지 단계(216)}. 단계(202)에서, 사용자는 도구(100)에 레티클을 교환할 것을 명령한다. 단계(204)에서, 로봇(110)은 레티클 라이브러리(120, 도 1b)로부터 요청된 레티클을 인출한다. 단계(206)에서, 로봇(110)은 요청된 레티클을 프로세싱 스테이션(118) 내에 배치한다. 단계(208)에서, 프로세싱이 수행된다. 프로세싱은, 프로세싱 스테이션(118) 내의 기계적 스테이지 또는 다른 러프한(rough) 정렬 스테이지 상에서의 대충 또는 러프한 정렬 과정을 포함할 수 있다. 기계적 스테이지는 X, Y, Z 병진 및 Z축을 중심으로 한 회전으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 하나의 자유도를 갖는다. Z축은 요청된 레티클의 주면(major face) 또는 측면에 대해 수직한 것으로 정의된다. 단계(210)에서, 로봇(110)은 제1 핸드를 이용하여, 요청된 레티클을 프로세싱 스테이션(118)으로부터 제거한다. 단계(212)에서, 로봇(110)은 제2 핸드를 이용하여, 스테이지(108) 상에 현재 있는 레티클을 제거한다. 단계(214)에서, 로봇(110)은 요청된 레티클을 스테이지(108) 상에 배치한다(도 1c). 단계(216)에서, 로봇(110)은 이전에 스테이지(108) 상에 있던 레티클을 레티클 라이브러리(120)에 배치한다(도 1b).
현존하는 진공 시스템은 (1) 상업적으로 입수 가능한 진공-호환가능 로봇은 매우 제한된 수직 운동을 갖는 경향이 있고, (2) 상업적인 슬롯 밸브는 높이가 매우 좁은 개구를 가지며, (3) (1)과 (2)로 인해, 전형적인 진공 응용예에서 로봇에 의해 액세스 가능한 작업 부피는 매우 짧고 넓은 원통형(예를 들어, 대략 높이 25㎜ ×직경 2000㎜)이라는 한계를 갖는다. 따라서, 도 3a 내지 도 3c에 도시된 본 발명의 실시예에 따라, 저장 용량을 증가시키기 위하여, 레티클 라이브러리(120)는 수직 인덱서 모듈(vertical indexer module, 300)로 구현된다. 이는 라이브러리(120)의 저장 용량을 증가시켜, 라이브러리가 하나 이상의 레티클을 보유할 수 있게 한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 인덱서 모듈(300)의 측부 단면도이다. 인덱서 모듈(300)은 레티클 라이브러리(120)의 일부이며, 게이트 밸브(126)를 통해 중앙 진공 챔버(114)에 연결된다. 그리퍼(112)는, 통로(136)를 통해 인덱서 모듈(300)로부터 중앙 진공 챔버(114)로 레티클(302)을 이송하는 것으로 도시되어 있다. 다른 레티클(304-312)은 인덱서 모듈(300) 내에 저장되어 있는 것으로 도시되어 있다. 랙(rack, 314)은 레티클(304-312)을 지지한다.
랙(314)의 측면도{로봇(110)의 액세스 방향에서 본} 를 나타내고 있는 도 3b를 참조하면, 각각의 레티클(302-312)은 브래킷(bracket, 316)에 의해 지지되며, 이는 레티클(302-312)을 이 도면에 수직하는 방향으로 제거할 수 있게 한다.
도 3a를 참조하면, 랙(314)은 슬라이드(slide, 320)를 통해 라이브러리 진공 엔클로저(library vacuum enclosure, 318)에 연결된다. 랙(314)은 볼 스크류 드라이브(ball screw drive, 324)에 의해 전력을 공급받는 푸시 로드(push rod, 322)의 동작에 의해 엔클로저(318)에 대하여 상승 또는 하강된다. 랙(314)을 상승 또는 하강함으로써 레티클(302-312) 중 임의의 레티클을 통로(136)에 라인업시킬 수 있다. 이는 레티클(302-312)을 로봇(110)에 의해 레티클 라이브러리(120)로부터 용이하게 삽입 또는 인출할 수 있게 한다. 도 3a와 도 3c를 비교하면, 도 3a에서는 랙(314)이 그 이동의 상한선에 있어 레티클(302)을 보유하는 최하위 레티클 슬롯이 통로(136)에 라인업됨으로써, 로봇(110)이 레티클(302)에 액세스할 수 있게 된다. 반면에, 도 3c에서는 랙(314)이 그 이동의 하한선에 있어 레티클(312)을 보유하는 최상위 레티클 슬롯이 통로(136)에 라인업됨으로써 로봇(110)에 의해 레티클(312)에 액세스할 수 있게 된다. 벨로우(bellow, 326)는 진공 엔클로저(318)의 한 단부와, 푸시 로드(322)의 대향 단부에 부착된다. 벨로우(326)는 푸시 로드(322)의 이동을 허용하면서 진공 밀폐를 유지하기 위하여 사용된다. 벨로우(326)는 도 3a에서는 가장 수축된 위치에 도시되어 있고, 도 3c에서는 가장 확장된 위치에 도시되어 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 진공 상태 라이브러리(in-vacuum library, 402)를 포함하는 리소그래피 도구(400)를 도시하고 있다. 중앙 진공 챔버(404)는 라이브러리 영역(402)을 포함하기 위해 확장되어 있다. 라이브러리 영역(402) 내의 레티클 위치(404, 406, 408)에는, 저장된 레티클을 보유하기 위한 지지 장치(410)(예를 들어, 브래킷)를 갖는다. 일부 실시예에서, 레티클은 단지 약 6㎜ 두께이지만, 진공 로봇(412)의 전형적인 수직 이동 범위는 25㎜ 또는 그보다 약간 큰 정도이다. 그러므로, 로봇(412)의 수직 이동 범위는 레티클 하나의 두께보다 크다. 따라서, 다른 실시예에서, 하나 이상의 레티클이 레티클 위치(404, 406 및/또는 408) 각각에 수직으로 적층될 수 있다. 이는 라이브러리(402)의 용량을 증가시킨다. 도 3b의 랙(408)과 유사하지만 그보다는 짧은(예를 들어, 2단 높이) 랙(도시되지 않음)이 레티클을 지지하기 위해 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 방법(500)을 나타내고 있다 {단계(502) 내지 단계(512)}. 단계(502)에서, 대기압으로부터 진공으로 레티클을 전이시키는 진공 입력 섹션{예를 들어, 섹션(116)}으로부터 레티클이 회수된다. 또한, 단계(502) 이전에 또는 단계(502)에서, 레티클은 식별 또는 인덱스될 수 있다. 단계(504)에서, 프로세싱 섹션{예를 들어, 섹션(118)}은 레티클을 프로세스하며, 이에 대해서는 이하에 더 상세히 설명한다. 단계(506)에서, 레티클은 진공 라이브러리{예를 들어, 라이브러리(120) 또는 라이브러리(402)} 내에 저장된다. 단계(508)에서, 데이터가 저장된다 {예를 들어, 데이터 저장소(142) 내에}. 데이터는 프로세싱 단계(504) 동안에 생성된 정보 및/또는 단계(502) 이전에 또는 단계(502)에서 생성된 식별 정보와, 진공 라이브러리 내에 저장된 레티클 각각의 위치를 식별하는 정보 간의 상관 관계를 나타낸다. 단계(510)에서, {예를 들어, 제어기(144)의 제어 하에} 저장된 데이터를 근거로 하여, 요청된 레티클은 진공 라이브러리로부터 노광 챔버{예를 들어, 챔버(102)}로 이송된다. 다른 실시예에서, 이송 단계(510) 동안, 하나 이상의 요청된 레티클을 이송하여, 웨이퍼 상에 하나 이상의 패턴을 순차적으로 노광할 수 있게 하기 위하여, 다수의 보유 장치{예를 들어, 보유 장치(112)}를 갖는 로봇{예를 들어, 로봇(110) 또는 로봇(412)}이 사용될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 단계(510)는 레티클을 노광 챔버로 운반하기 전에, 요청된 레티클을 프로세싱 섹션에서 미리 정렬(pre-aligning)하는 단계를 포함할 수 있다. 단계(512)에서, 웨이퍼 상에 하나 이상의 패턴을 형성하기 위하여, 하나 이상의 레티클이 노광 챔버 내의 레티클 스테이지{예를 들어, 스테이지(108)} 상에서 순차적으로 노광된다.
다양한 실시예에서, 프로세싱 단계(504)는 하나 이상의 프로세스를 포함할 수 있다. 제1 프로세스는 레티클 각각을 식별하는 것일 수 있다. 식별은 카메라, 바코드 판독기 또는 이와 유사한 것에 의해 수행될 수 있다. 다른 프로세스는 적절한 검사 장치를 이용하여 레티클 각각을 검사하는 것일 수 있다. 다른 프로세스는 레티클 각각의 두께를 측정하는 것일 수 있다. 또 다른 프로세스는 레티클을 리소그래피 도구에 대하여 러프하게 정렬하는 것일 수 있다. 또 다른 프로세스는 레티클을 세정하는 것일 수 있다. 따라서, 단계(508)에서 저장된 데이터는 부분적으로 이들 프로세스 중 하나 이상의 프로세스를 근거로 한다.
이상, 본 발명의 다양한 실시예들이 설명되었지만, 이들은 단지 예를 들기 위한 것일 뿐 한정을 위한 것이 아님을 알아야 한다. 관련 기술 분야의 숙련된 기술자는, 형태 및 세부 사항에 대한 다양한 변경이 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고서 이루어질 수 있음을 분명히 알 것이다. 따라서, 본 발명은 상술한 예시적인 실시예들 중 어느 것에 의해서도 한정되어서는 안되며, 아래의 특허청구범위 및 그 등가물에 따라서만 정의되어야 한다.
본 발명에 따르면, 다중 노광 중에 고속의 레티클 교환이 가능하며, 따라서 처리량이 증가될 수 있다.

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  13. 로봇을 포함하는 주요 진공 섹션(main vacuum section)에 진공 입력 섹션을 연결 - 상기 진공 입력 섹션은 레티클이 상기 로봇에 의해 상기 주요 진공 섹션으로 가기 전에, 상기 레티클을 수취함 - 하는 단계;
    상기 레티클을 상기 로봇으로부터 한번에 하나씩 수취하는 제1 진공 보유 섹션을 상기 주요 진공 섹션에 연결하는 단계;
    상기 로봇으로부터 수취된 미리 정해진 양의 상기 레티클을 동시에 보유하는 제2 진공 보유 섹션을 상기 주요 진공 섹션에 연결하는 단계; 및
    상기 제1 또는 제2 진공 보유 섹션으로부터 이송된 상기 레티클을 상기 로봇을 통해 수취하는 노광 섹션을 게이트 밸브를 통하여 상기 주요 진공 섹션에 연결하는 단계
    를 포함하는 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제2 진공 보유 섹션으로부터 상기 노광 섹션으로의 상기 이송을 위하여, 상기 로봇을 사용하여 복수의 레티클을 동시에 보유하는 단계를 더 포함하는 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 로봇에 의해 이송된 상기 복수의 레티클을 사용하여, 상기 노광 섹션 내에서 웨이퍼를 순차적으로 노광하는 단계를 더 포함하는 방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 제1 진공 보유 섹션에서 상기 레티클을 러프하게 정렬하는 단계를 더 포함하는 방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 제1 진공 보유 섹션 내에서 상기 레티클에 관한 정보를 획득(capture)하는 단계를 더 포함하는 방법.
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  20. 주요 진공 섹션(main vacuum section);
    상기 주요 진공 섹션 내에 배치된 로봇;
    레티클이 상기 로봇에 의해 상기 주요 진공 섹션으로 들어가기 전에, 상기 레티클을 수취하는 압력 제어 입력 섹션;
    상기 주요 진공 섹션에 연결되고, 상기 로봇으로부터 수취된 상기 레티클을 한 번에 하나씩 보유하는 제1 보유 섹션;
    상기 주요 진공 섹션에 연결되고, 상기 로봇으로부터 수취된 미리 결정된 양의 상기 레티클을 동시에 보유하는 제2 보유 섹션; 및
    상기 로봇으로부터 상기 레티클을 수취하는 노광 섹션 - 상기 노광 섹션은 게이트 밸브를 통하여 상기 주요 진공 섹션에 연결됨 -
    을 포함하는 시스템.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 로봇은, 상기 제2 보유 섹션으로부터 상기 노광 섹션으로의 이송을 위하여 한 번에 복수의 레티클을 보유하기 위해 복수의 보유 장치를 갖는 시스템.
  22. 제20항에 있어서,
    상기 압력 제어 입력 섹션은 미리 결정된 압력을 갖는 로드 락 장치(load lock device)를 포함하는 시스템.
  23. 제20항에 있어서,
    상기 제1 보유 섹션은 상기 레티클을 러프하게 정렬하는 장치를 포함하는 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 러프하게 정렬하는 장치는 X, Y, Z 병진 운동 및 Z축에 관한 회전으로 이루어진 그룹으로부터의 적어도 하나의 자유도를 갖는 기계적 스테이지를 포함하는 시스템.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 러프하게 정렬하는 장치는 센서를 포함하는 시스템.
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  29. 제20항에 있어서,
    상기 제1 보유 섹션은 상기 레티클에 관한 정보를 획득하기 위한 정보 획득 장치를 포함하는 시스템.
  30. 삭제
  31. 삭제
  32. 제20항에 있어서,
    상기 제2 보유 섹션은 상기 복수의 레티클을 보유하기 위해 복수의 보유 장치를 갖는 랙(rack)을 포함하는 시스템.
  33. 제32항에 있어서,
    상기 랙은 이동 가능하며, 상기 로봇에 의한 액세스를 위해 상기 레티클 중에서 미리 결정된 각기 다른 하나의 레티클에 대하여 인덱스가 가능한 시스템.
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  47. 제13항에 있어서,
    상기 진공 입력 섹션을 사용하여 상기 레티클에 관한 정보를 획득하는 단계를 더 포함하는 방법.
  48. 제20항에 있어서,
    상기 압력 제어 입력 섹션은 상기 레티클에 관한 정보를 획득하기 위한 정보 획득 장치를 포함하는 시스템.
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