KR101836224B1 - 레티클 및 레티클 카세트 저장장치 - Google Patents

레티클 및 레티클 카세트 저장장치 Download PDF

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Abstract

레티클과 레티클 카세트가 하나의 장치에서 보관될 수 있는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치를 개시한다.
레티클 및 레티클 카세트 저장장치는 레티클 카세트를 저장하기 위한 제1스토리지 모듈을 구비하는 레티클 카세트 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 근접하게 설치되며 레티클의 저장하기 위한 제2스토리지 모듈을 구비하는 레티클 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 상기 레티클 저장부 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치를 포함한다.

Description

레티클 및 레티클 카세트 저장장치{Reticle and reticle cassette stocker}
본 발명은 레티클 및 레티클 카세트를 저장하고 출납하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치에 관한 것이다.
반도체 제장 공정 중에서 미리 설계된 회로패턴을 실리콘 웨이퍼 상에 찍는 공정을 포토리소그래피(Photolithography)공정이라고 하며, 포토리소그래피공정은 크게 감광막 도포공정, 노광공정, 현상공정 등으로 이루어진다. 여기서, 노광공정은 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 웨이퍼 스테이지에 안착시켜 이 웨이퍼의 일정지역에만 빛을 쬠으로써 레티클 스테이지에 안착된 레티클(Reticle)의 패턴을 웨이퍼로 옮기는 공정이다.
노광공정에 사용되는 레티클은 레티클 카세트 내부에 수용된 상태로 OHT(Overhead hoist transfer) 등의 이송장치나 사용자를 통해 저장장치와 노광공정이 수행되는 위치로 이동된다.
본 발명의 일 측면은 레티클과 레티클 카세트가 하나의 장치에서 보관될 수 있는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치는 레티클 카세트를 저장하기 위한 제1스토리지 모듈을 구비하는 레티클 카세트 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 근접하게 설치되며 레티클의 저장하기 위한 제2스토리지 모듈을 구비하는 레티클 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 상기 레티클 저장부 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치를 포함한다.
또한, 카세트 이송장치는 상기 레티클 카세트 저장부의 내부에 설치될 수 있다.
또한, 레티클 카세트 저장부 및 레티클 저장부는 레티클 카세트를 출납하기 위하여 제1 및 제2 로드포트모듈을 각각 구비하며, 카세트 이송장치는 상기 제1로드포트모듈, 상기 제1스토리지모듈 및 상기 제2로드포트모듈사이에서 레티클 카세트를 이송하도록 설정된다.
또한, 카세트 이송장치는 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부와, X축 이송부를 상기 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부와, Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부를 포함한다.
또한, X축 이송부는 레티클 카세트가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 상기 레티클 카세트와 슬라이딩되며 상기 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼와, 상기 카세트 그립퍼가 상기 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동하는 구동장치를 포함한다.
레티클 저장부는 제2로드포트모듈과 상기 제2스토리지모듈사이에서 레티클을 이송하는 레티클 이송장치과, 상기 레티클 이송장치가 수용되는 제1실의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛과, 제2스토리지모듈이 설치되는 제2실의 공기를 관리하는 제2내기관리유닛을 포함한다.
또한, 제1,2 내기관리유닛은 레티클 저장장치의 상부에 설치되며, 송풍력을 발생시키는 팬과, 팬을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈과, 팬을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기를 각각 포함한다.
또한, 제2실은 제2스토리지모듈이 수용되며 제2내기관리유닛의 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 송풍안내유로의 외측 네 모서리부분에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함한다.
제1실은 레티클 이송장치가 수용되며 제1내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 송풍안내유로의 후방에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함한다.
상술한 바와 같이, 레티클 저장부와 레티클 카세트 저장부가 하나의 장치에 구성되어 레티클과 레티클 카세트를 하나의 장치에 보관함으로써 레티클 카세트를 이송시키는 OHT(Overhead hoist transfer)의 이동부하율을 감소시켜 공장설비의 투자비용이 절감되도록 하며, 레티클의 보관 품질을 향상시킬 수 있어 공장의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 레티클 카세트 저장부의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 레티클 저장부의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 단면도이다.
도 4는 도 3의 카세트 이송장치의 사시도이다.
도 5는 도 4의 카세트 이송장치의 그립퍼의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 6은 도 3의 레티클 이송장치 및 제2스토리지 모듈에 대한 사시도이다.
도 7은 도 3의 레티클 및 레티클 카세트 저장부의 횡단면도이다.
이하에서는 본 발명에 따른 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치를 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치는 도 1 내지 3에 도시한 바와 같이, 레티클 카세트 저장부(100)와, 레티클 저장부(200) 및 레티클 카세트 저장부(100)와 레티클 저장부(200) 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치(150)를 포함한다.
레티클 카세트 저장부(100)는 외관을 형성하는 캐비닛(110)과, 캐비닛(110)의 일측에 마련되는 로드포트모듈(120,130)과, 레티클 카세트(C)가 보관되는 제1스토리지 모듈(140)과, 로드포트 모듈(120,130)과 제1스토리지 모듈(140) 및 후술할 레티클 저장부(200)의 로드포트 모듈(220)사이에서 레티클 카세트(C)를 이송시키는 카세트 이송장치(150)를 포함한다.
로드포트 모듈(120, 130)은 레티클 카세트 저장부(200)의 내외로 레티클 카세트(C)가 출입되는 장치로, OHT(Overhead hoist transfer)(O)로부터 이송되는 레티클 카세트를 받아 캐비닛 내부로 이송하거나 캐비닛 내부의 레티클 카세트를 상부로 이송시켜 OHT(O)로 전달하는 OHT포트모듈(120)과, 사용자에 의해 놓여진 레티클 카세트를 캐비닛(110) 내부로 이송하거나 사용자에게 주어질 캐비닛(110) 내부의 레티클 카세트(C)를 외부로 이송시키는 매뉴얼포트 모듈(130)을 포함한다.
본 실시예에 의하면 사용빈도가 보다 많은 OHT포트모듈(120)이 캐비닛(110)의 일측 상부에 3개가 배치되어 있으며, 사용자의 접근이 용이하도록 매뉴얼포트 모듈(130)은 OHT포트 모듈(120)의 하부에 2개가 배치되어 있다.
캐비닛(110)의 내부에는 유지보수를 위한 공간이 가운데에 배치되고 이를 중심으로 양측에 다층, 다열구조로 배열되어 레티클 카세트(C)를 수용하는 제1스토리지 모듈(140)이 설치된다.
모듈화된 제1스토리지 모듈(140)은 캐비넷(110) 내부공간에 조립 및 해체가 용이하며 레티클 카세트(C)가 안착될 수 있도록 커플링핀(미도시)가 마련되며, 레티클 카세트(C)가 수평상태로 저장될 수 있도록 레티클 카세트(C)의 하면을 지지한다.
또한, 캐비닛(110)의 내부에는 로드포트 모듈(120,130)로부터 전달되는 레티클 카세트를 제1스토리지 모듈(140) 또는 레티클 저장부(200)로 전달하거나, 이미 저장된 레티클 카세트(C) 또는 레티클 저장장치(200)로부터 전달되는 레티클 카세트를 로드포트 모듈(120, 130)로 이송하기 위한 카세트 이송장치(150)가 마련된다.
도 3 내지 5를 참조하면, 카세트 이송장치(150)는 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부(151)와, X축 이송부(151)를 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부(154)와, Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부(156)를 포함한다.
여기서, X축 방향은 레티클 카세트에 대한 로딩 및 언로딩 동작으로 위한 수평이동방향과 일치되는 것이 바람직하며, Y축 방향은 제1스토리지모듈(140)이 배열된 폭방향에 일치되는 것이 바람직하다.
X축 이송부(151)는 레티클 카세트(C)가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 레티클 카세트와 슬라이딩되며 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼(152)와, 상기 카세트 그립퍼(152)가 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동 및 안내하는 구동장치(153)를 포함한다. 구동장치(153)는 풀리(153a)와 밸트(153b)를 포함하여 구성되어 카세트 그립퍼 (152)을 X방향 진퇴이동시킨다.
카세트 그립퍼(152)에 의해 파지되어 이송되는 레티클 카세트(C)는 그 상부에 목부(11)와 플랜지부(12)가 형성되어 있고, 카세트 그립퍼(152)에는 목부(11) 및 플랜지부(12)에 슬라이딩되며 삽입되어 상면에 목부(11) 상측의 플랜지부(12)가 안착될 수 있도록 목부(11)의 폭만큼 이격되어 X축방향으로 평행하게 연장된 안착부(152a)가 형성된다.
이와 같은 카세트 그립퍼(152)는 레티클 카세트(C)를 X축상의 전후방향으로 출입될 수 있도록 하여 레티클 카세트(C)가 이송과정 중 회전되지 않고 방향성이 유지되도록 한다.
X축 이송부(151)는 Y축 이송부(154)에 설치되어 Y축방향으로의 이동이 가능하다.
Y축 이송부(154)는 Y축방향 이동을 안내하기 위하여 Y축방향으로 형성된 수평 가이드 레일(155)과, 수평 가이드 레일(155)의 내부에 설치되는 풀리(미도시) 및 벨트(미도시)와 이들을 구동하기 위한 구동모터(미도시)를 포함하며, 수평가이드 레일(155)의 양측은 후술할 Z축 이송부(156)의 수직 가이드레일(157)에 결합되어 지지된다.
Z축 이송부(156)는 수직방향으로 평형하게 연장형성된 수직 가이드레일(157)과, 풀리(157a) 및 벨트(157b)와 이들을 구동하기 위한 구동모터(158)를 포함한다.
수직가이드 레일(157)의 하부에는 구동모터(158)와, 구동모터(158)의 구동력을 수직 가이드레일의 풀리(157a)에 전달하기 위한 구동축(159)이 마련되어 있다.
수평가이드 레일(155)은 양측이 풀리(157a), 벨트(157b) 및 구동모터(158)에 의해 구동되며 수평 가이드 레일(155)에 의해 수직방향 이동이 안내되는 브라켓(155a)에 결합되어 수직방향인 Z축방향으로 진퇴운동이 가능하다.
결국, 레티클 카세트(C)를 파지하여 이송하는 카세트 그립퍼(152)는 각 구동부가 허용하는 범위 내에서 X축, Y축 및 Z축 방향으로 3자유도 이동이 가능하여 레티클 카세트는 로드포트 모듈(120,130), 제1스토리지 모듈(140) 및 제2 로드포크 모듈(220) 사이를 자유롭게 이동하며 레티클 카세트(C)를 이송할 수 있다.
도 2 및 3을 참조하면, 레티클 저장부(200)는 카세트 이송장치(150)를 통해 레티클 카세트(C)의 교환이 용이하게 이루어질 수 있도록 레티클 카세트 저장부(200)에 근접하게 설치되며, 외관을 형성하는 캐비닛(210)과, 캐비닛(210)의 내부에 설치되는 제2이송장치(240)와 제2스토리지 모듈(250)과, 캐비닛(210)의 상부에 설치되는 제1 내기관리유닛(260) 및 제2내기관리유닛(270)과, 캐비닛(210)의 외측에 설치되는 제2로드포트모듈(220,230)을 포함한다.
제2로드포트모듈(220, 230)은 레티클 카세트 저장부(100)의 제1이송장치(150)로부터 이송되거나 제1이송장치(150)로 이송될 레티클 카세트가 출입하는 자동포트모듈(220)과, 사용자에 의해 레티클 카세트의 입출입을 위한 매뉴얼 로드포트(230)를 포함한다.
자동포트모듈(220)은 제1이송장치(150)의 그립퍼(152)와의 레티클 카세트 전달이 용이하도록 레티클 카세트 저장부(100)에 대향되는 방향에 그립퍼(152)의 이송을 최소로 하는 위치에 마련되는 것이 바람직하며, 매뉴얼 로드포트(230)는 사용자의 접근이 용이한 부분에 마련되는 것이 바람직하다.
제2로드포트모듈(220,230)가 제1로드포트(120,130)와 다른점은 레티클 카세트(C)로부터 레티클(R)을 분리하는 동작과 역으로 레티클(R)을 카세트(C)에 수납시키는 동작이 가능하다는 것이며 레티클(R)로부터 분리된 레티클 카세트(C)를 보관할 수 있는데, 이러한 동작은 공지된 것이므로 여기서는 자세한 내용에 대한 기술은 생략한다.
도 6을 참조하면, 제2스토리지 모듈(250)은 레티클(R)에 형성된 패턴면이 오염되는 것을 방지할 수 있도록 레티클(R)의 패턴면이 측면으로 향하도록 수직으로 보관되며, 이를 위해 하측에 배치된 모터(256)에 의해 회전 가능한 원통형상의 중앙부재(251)와, 이 중앙부재(251)의 외면에 장착되어 레티클(R)을 지지하는 다수의 레티클 선반(252)을 구비한다.
중앙부재(251)에 장착된 레티클 선반(252)은 두 개의 링이 연결된 형상으로 이루어진다. 이 레티클 선반(252)의 내외측 링 상면에는 수직 보관되는 레티클(R)의 하부를 지지할 수 있도록 제 1슬롯(253)과 제 2슬롯(254)이 형성되고, 레티클 선반(252)의 내측 링 하면에는 레티클(R)의 상부를 지지할 수 있도록 제 3슬롯(255)이 형성되며, 이때의 슬롯들(253,254,255)은 하나의 세트가 하나의 수직평면상에 배열된다.
즉, 레티클(R)은 어느 하나의 레티클 선반(252)에 형성된 제 1슬롯(253)과 제 2슬롯(254)에 하면이 지지되고 레티클 선반(252)의 상부에 배치된 다른 레티클 선반(252)의 하면에 형성된 제 3슬롯(255)에 내측 상면에 지지됨으로써 수직 보관되는 것이다.
레티클 이송장치(240)은 캐비닛 내부의 제2스토리지 모듈(250)의 측면에 배치되며, 제2스토리지 모듈(250)과 로드포트모듈(220,230)의 레티클 카세트의 사이에서 레티클(R)을 이송하는 역할을 수행한다. 구체적으로, 레티클 이송장치(240)는 레티클(R)을 파지할 수 있도록 둘 이상의 핑거로 이루어진 그립퍼(242)와, 제2스토리지 모듈(250)에서 수직 보관된 레티클(R)을 수직 및/또는 수평이송할 수 있도록 그립퍼(242)를 회전시키는 틸트부(244)와, 이 틸트부(244)를 전후좌우로 수평이동시키는 제 1구동부(246)와, 이 제 1구동부(246)를 수직이동시키는 제 2구동부(248)를 포함한다.
도 2,3 및 7을 참조하면, 캐비닛(210)의 내부공간은 제2이송장치(240)가 설치되는 제1실(211)과 제2스토리지 모듈(250)이 설치되는 제2실(212)로 구분될 수 있으며 제1실(211)과 제2실(212)사이에는 게이트(미도시)가 형성되어 제2이송장치(240)를 통한 레티클(R)의 이동이 가능하게 한다.
레티클 이송장치(240)가 수용되는 제1실(211)의 상부에는 내부의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛(260)이 설치되고, 마찬가지로 제2스토리지모듈(250)이 설치되는 제2실(212)의 상부에는 공기를 관리하는 제2내기관리유닛(270)이 설치된다.
제1 내기관리유닛(260)은 송풍력을 발생시키는 팬(261)과, 팬(261)을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈(262)과, 팬(261)을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기(263)를 포함한다.
마찬가지로, 제2내기관리유닛(270)은 송풍력을 발생시키는 팬(271)과, 팬(271)을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈(272)과, 팬(271)을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기(273)를 포함한다.
이러한 열교환기(263,273)는 외부로부터 냉각수를 공급받아 내기와의 열교환을 통해 내기를 냉각시킬 수 있도록 마련될 수 있다.
제1실(211)은 레티클 이송장치(240)가 수용되는 공간으로 제1내기관리유닛(260)의 팬(261)으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로(211a)와, 송풍안내유로(211a)의 후방에 배치되며 송풍안내유로(211a)를 통과한 공기가 팬(261)으로 다시 흡입되어 지속적인 공기순환이 이루어질 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로(211b)를 포함하여 이루어진다.
송풍안내유로(211a)와 흡입안내유로(211b)는 제1실(211)의 하부에서 연통되게 구성되어 하강 및 상승기류가 자연스럽게 유도되도록 구성된다.
마찬가지로, 제2실(212)은 제2스토리지모듈(250)이 수용되는 공간으로 대략 원형에 가까운 형상으로 형성되며 제2 내기관리유닛(270)의 팬(271)으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로(212a)와, 송풍안내유로(212a)의 외측에 형성되는 네 모서리 부분에 형성되며 송풍안내유로(212a)를 통과한 공기가 팬(271)으로 다시 흡입되어 지속적인 공기순환이 이루어질 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로(212b)를 포함하여 이루어진다.
또한, 송풍안내유로(212a)와 흡입안내유로(212b)는 제2실(212)의 하부에서 연통되게 구성되어 하강 및 상승기류가 자연스럽게 유도되도록 구성된다.
제1실(211) 및 제2실(212)의 내기는 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)로 채워지며, 별도의 공급장치를 통해 주기적으로 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)를 제1실 및 제2실로 공급된다.
이와 같은 레티클 저장부(200) 내부의 내기는 레티클(R)에 악영향을 주는 화합물과 먼지가 제거된 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)로 채워지고 동시에 제1,2내기관리유닛(260,270)과 순환유로구조에 의해 잔류 먼지가 지속적으로 제거되면서 내부의 온도 및 습도가 관리되어 레티클의 보관 품질이 향상될 수 있다.
본 발명은 상기에 기재된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있다는 점은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 레티클 카세트 저장부 120: OHT로드포트
140: 제1스토리지모듈 150: 카세트 이송장치
200: 레티클 저장부 220: 자동로드포트
240: 레티클 이송장치 250: 제 2 스토리지모듈
260: 제1내기관리유닛 270: 제2내기관리유닛

Claims (9)

  1. 레티클 카세트를 저장하기 위한 제1스토리지 모듈을 구비하는 레티클 카세트 저장부;
    상기 레티클 카세트 저장부와 연결되며 레티클을 저장하기 위한 제2스토리지 모듈을 구비하는 레티클 저장부;
    상기 레티클 카세트 저장부의 내부에 설치되고, 상기 레티클 카세트 저장부와 상기 레티클 저장부 사이에서 상기 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치;
    상기 레티클 카세트 저장부로부터 상기 레티클 카세트를 출납하는 제1로드포트모듈; 및
    상기 레티클 저장부로부터 상기 레티클 카세트를 출납하는 제2로드포트모듈을 포함하되,
    상기 카세트 이송장치는 상기 제1로드포트모듈, 상기 제1스토리지모듈 및 상기 제2로드포트모듈사이에서 상기 레티클 카세트를 이송하도록 설정되고,
    상기 카세트 이송장치는 상기 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부와, 상기 X축 이송부를 상기 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부와, 상기 Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부를 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 X축 이송부는 상기 레티클 카세트가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 상기 레티클 카세트와 슬라이딩되며 상기 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼와, 상기 카세트 그립퍼가 상기 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동하는 구동장치를 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 레티클 저장부는 상기 제2로드포트모듈과 상기 제2스토리지모듈사이에서 상기 레티클을 이송하는 레티클 이송장치와, 상기 레티클 이송장치가 수용되는 제1실의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛과, 상기 제2스토리지모듈이 설치되는 제2실의 공기를 관리하는 제2내기관리유닛을 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1,2 내기관리유닛은 상기 레티클 저장부의 상부에 설치되며, 송풍력을 발생시키는 팬과, 상기 팬을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈과, 상기 팬을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기를 각각 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제2실은 상기 제2스토리지모듈이 수용되며 제2내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 상기 송풍안내유로의 외측 네 모서리부분에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1실은 상기 레티클 이송장치가 수용되며 상기 제1내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 상기 송풍안내유로의 후방에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함하는 레티클과 레티클 카세트를 함께 저장하는 저장장치.
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