KR100847997B1 - 노광장치용 기판 스테이지 - Google Patents

Abstract

프린트 배선기판의 휨을 억제하고 고정밀도의 노광을 할 수 있는 노광장치 기판 스테이지를 제공하는 것으로, 그 기술수단을 미소한 흡인공(20)을 갖는 흡인판(2)은 지지체(3)위에 장착되고, 지지체(3)에는 흡인공(20)보다 큰 공 흡인공(20)은 공동(30)과 연통되고, 또 공기통로(31)와 저부 통로(32)에 의해 진공장치와 연통되어 있다. 흡인공(20)의 직경은 0.4 mm 이하이며, 프린트 배선기판에 노광장애를 일으키는 휨이 일어나지 않는다.

Description

노광장치용 기판 스테이지{A Board-stage for an aligner}

도 1은 본 발명의 1실시형태를 사용한 노광장치의 개략적인 사시도이다.

도 2는 본 발명의 1실시형태를 나타내는 개략적인 조립도이다.

도 3은 본 발명의 1실시형태를 나타내는 부분 단면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략적인 사시도이다.

* 도면의 주요부호의 설명

1: 스테이지 2: 흡인판

3: 지지대 5: 마스크

6: 노광 광원 7: CCD 카메라

8: 제어장치 9: 화상처리장치

10: 솔레노이드 11: 진공원(眞空源)

15: 이동기구 20: 흡인용 구멍

30: 공동(空洞) 31: 공기통로

32: 저부통로 33: 연결통로

본 발명은 기판위에 물체가 노출되어 노광되는 노광장치용 기판 스테이지에 관한 것이다.

전기제품이 소형화, 박형화 되어짐에 따라 프린트 배선 기판도 점차 박형화 되어지고 있다. 예를 들면, 박형화된 기판은 유연하고 가소성이 있어 캐스팅(casting)하여 전기 기구의 모양을 형성할 수 있기 때문에, 유연성 있는 회로 기판이 발전되어 왔고 흔한 장치가 되었다.

이와 같은 얇은 박형의 프린트 배선기판의 두께는 약 50㎛ 정도이고, 더 얇은 것으로는 25㎛ 정도이다.

또한 이와 같은 프린트 배선시판은 최근에는 포토리소그래피 방법(Photolithographic method)으로 제조되어지고, 반도체의 집적회로제조에 쓰이는 것과 같은 방법으로 노광장치에 쓰이어 회로패턴의 인화가 이루어진다. 노광장치로는 프린트 배선기판을 노광 스테이지에 올려놓아서 보관한 필요가 있게된다. 이와 같은 지지는 통상 스테이지에 구멍을 뚫고 바큠(vacuum)장치로 흡인하여 프린트 배선기판을 스테이지에 흡착시켜 이루어진다.

그러나, 전술한 바와 같이, 바큠에 의해 프린트 배선기판의 스테이지 흡인공 에 서로 접하는 부분에 휨이 발생하게 되는 문제가 있게된다. 이것 때문에 포토 마스크와 프린트 배선기판과의 사이에 간극이 생기게되고, 노광장치가 일어나 좋은 해상도를 얻을 수 없는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하는 것을 그 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 프린트 배선기판을 제조하기 위한 노광장치용 기판 스테이지로서, 이 기판스테이지 상에 개구되는 여러개의 기판 흡인공과, 이 기판 흡인공에 연통되어 상기 기판을 흡인하는 수단을 가지며, 전술한 기판 흡인공을 상기 기판에 흡인시킬 때 노광장애를 일으키는 휨이 일어나지 않는 크기로 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명자의 연구에 따르면, 두께가 얇은 박형의 프린트 배선기판의 평균 두께인 50㎛의 기판에 노광장애를 일으키지 않을 정도로 휨의 발생을 억제시키기 위하여 흡인공의 직경을 0.4 nm이하로 할 필요가 있다. 이와 같은 미세한 구멍은 포토리소그래피 방법으로 간단하고 저 비용으로 제조할 수 있다.

상기한 바와 같은 포토리소그래피 방법을 써서 미세한 구멍을 형성하는 경우, 금속판을 사용하여 흡인공을 형성하여 흡인판을 얻는 것이 바람직하다.

전술한 여러 개의 기판 흡인공과 연통하는 흡인공동(吸引空洞)을 갖는 지지체에 지지시켜 스테이지로 하는 것이 바람직하다.

상기 흡인공동(吸引空洞) 지지체의 한쪽 면을 개구하여 이 지지체의 한쪽 면에 기판 흡인판을 접착시키는 구성이 바람직하다.

특히, 상기 흡인 공동의 크기를 기판 흡인판에 흡인시킬 노광장애를 일으키는 휨을 일으키지 않는 크기로 할 필요가 있다. 그러나 흡인판은 프린트 회로 기판보다 약간 두껍게 할 수 있다. 예를 들면, 1mm 정도의 두께가 이상적이므로 휨을 일으키지 않는 크기로 흡인용 공동을 형성하는 것은 비교적 용이하다.

전술한 지지체에 흡인공동과 연통하는 공기 통로를 형성하고, 이 공기통로를 기판을 흡인하기 위한 수단과 연통하도록 한다. 이때에 공기 통로의 직경 크기는 상기 흡인공동의 직경보다 작게 하고, 지지체는 강도를 확보하도록 하는 것이 바람직하다.

발명의 실시형태

이하 본 발명의 실시형태를 도면에 의거 설명한다.

도1은 노광장치 전체를 개략적으로 나타낸다.

스테이지(1)에 기판(W)을 올려놓고, 도2에 나타난 흡인판(2)의 흡인공(20)으로 흡인하여 기판(W)을 스테이지(1) 위에 지지하도록 한다. 부호(10)는 솔레노이드, 부호(11)는 진공원이다.

스테이지(1)는 이동기구(15)를 갖추고 있고, XYZ축 방향으로 이동가능하고 또 θ방향으로 제어하도록 한다.

마스크(5)는 기판(W)위에 형성되도록 회로 패턴이 그려져 있고, CCD 카메라(7)와 화상처리 장치(9)에 근거하여 이동기구(15)에 의해 스테이지(1)를 움직이고, 마스크(5)와 기판(W)과의 위치 맞춤이 이루어지면, 마스크(5)와 기판(W)을 밀착시키거나 근접시켜 노광광원(6)으로부터 빛을 비추어 기판(W)위에 회로 패턴을 인화하도록 되어 있다.

스테이지(1)는 도2에 도시된 바와 같이 기본적으로 흡인판(2)과 지지체(3)로 구성되어 있다. 흡인판(2)은 얇은 금속판으로, 거의 전면에 흡인공(20)이 뚫어져 있다. 이 흡인공(20)은 기판(W)과 같이 포토리소그래피 방법에 의해 형성되는 것이 가격 면에서 저렴하며 정밀도가 높다.

흡인공(20)의 직경은 0.4㎛이하로 하는 것이 바람직하고 50㎛정도의 기판(W)에 대해 0.4㎛ 이하이면, 노광장애를 일으킬 정도의 기판(W)의 휨을 방지할 수 있게된다.

지지체(3)에는 공동(空洞)(30)이 형성되어 있고, 지지체(3)에 흡인판(2)이 장착되는 쪽에는 공동(30)이 개구되어 있다.

흡인판(2)은 지지체(3)의 공동(30) 개구면에 접착 등의 수단에 의해 장착되어 있다.

도3에 도시된 바와 같이 공동(30)은 지지체(3)를 두께 방향으로 관통하지 않고, 공동(30)으로부터 직경크기가 적은 공기통로(31)에 연통되고, 그 저부 통로(32)에 연결되어 연결로(33)에 의해 도1에 도시된 솔레노이드(10)와 진공원(11)과 접속되어 있다.

공기통로(31)를 공동(30)보다 그 직경을 적게 함으로써 지지체(3)의 강도를 크게 할 수 있다.

공동(30)은 흡인공(20)보다 충분히 큰 구멍으로 할 수 있고, 흡인에 의해 흡인판(2)에 노광장애를 일으키는 휨을 발생하지 않을 정도의 크기로 할 수 있다. 이와 같은 실시형태로는 흡인판(2)이 1mm 의 판 두께로 공동(30)의 직경을 3mm로 한다.

도4는 타의 구성의 지지체(3')를 나타낸다. 여기서는 공동(30')은 원형이 아니고 각 형상으로 되어 있으며, 또 타의 어떤 형상으로도 사용이 가능하다. 이상의 구성에 있어서, 기판(W)이 스테이지(1)의 흡인판(2)에 놓여지고, 솔레노이드(10)와 진공원(11)에 의해 흡인되어 지지되더라도 흡인공(20)은 작은 직경을 갖기 때문에 노광장애를 일으킬 정도의 휨을 기판(W)에 주지 않게 되며, 그것 때문에 정밀도가 높은 노광이 가능한 것이다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 노광장치용 기판 스테이지에 의하면, 기판(W)에 노광장애를 일으킬 정도의 휨의 발생을 억제하게 되므로 고정밀도의 노광을 하게되는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 삭제
2. 삭제
3. 프린트 배선기판을 제조하기 위한 노광장치용 기판 스테이지로서,

   복수개의 기판 흡인공을 형성하는 기판 흡인판과,

   이 기판 흡인판의 기판흡인공에 연통되는 흡인용 공동을 갖춘 지지체와,

   상기 흡인용 공동에 연통되고, 이 흡인용 공동과 상기 흡인공을 통해서 기판을 흡인하기 위한 수단을 가지며,

   상기 기판 흡인공을 기판에 흡인시킬 때 노광장애를 일으키는 휨이 일어나지 않을 정도의 크기를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 기판 스테이지.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 3항에 있어서,

   상기 흡인공의 직경이 0 mm 보다 크고 0.4 mm 이하인 것을 특징으로 하는 노광장치용 스테이지.
7. 제 3항 있어서,

   상기 흡인용 공동이 상기 지지체의 한쪽 면에 개구되고, 상기 기판 흡인판이 이 지지체의 한쪽 면에 장착되어 있음을 특징으로 하는 노광장치용 스테이지.
8. 제 3항에 있어서,

   상기 흡인용 공동의 크기를 기판 흡인판에 흡인 되었을때 노광장애를 일으키지 않을 정도의 크기를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 스테이지.
9. 제 3항에 있어서,

   상기 지지체가 흡인용 공동과 연통하는 공기통로를 가지며, 이 공기통로의 직경이 상기 흡인용 공통의 직경보다 적도록 된 것을 특징으로 하는 노광장치용 스테이지.

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