TW522289B - A board-stage for an aligner - Google Patents

Description

522289 五、發明說明（l) 【發明之領域】 本發明係有關於一種用 將承載台上進行曝光製程的 【發明之背景】 隨著電子設備愈趨小和 例來說，一種軟質的印刷電 界共通使用的元件，原因是 適合於電子設備外殼的形狀 具有約50 /zm或小於25 am的 些印刷電路板是以微 置類似於半導體積體電路生 圖案時所使用的裝置，能將 載台上。 於對正裝置之膜片承載台，能 一物體對正之。 薄，印刷電路板也需變薄。舉 路板已被發展出來，而成為業 其具有柔軟和可塑的特性，能 。這種軟質的印刷電路板一般 厚度。 影方法製成，所使用的對正裝 產過程中用於曝光基板上電路 印刷電路板固定在一曝光的承 【發明之目的與概述】 然而當電路板形由Λ 載台上具有真空孔洞的^ ^般=薄膜片時，其在接觸承 膜片彎曲將造成曝光势;f曰有曾曲情況的問題。電路板 膜片間形成間隙而產^ 使用一光罩時，光罩和電路板 發明的目的就在解決^二夕曝光的問題及錯誤的結果。本 本發明的特徵在Γί的問題。 孔洞以吸起具有—孔押=括在膜片承載台上形成複數個的 於孔洞以吸起電路板電路板膜片，以及有吸取裝置連 _ 其中孔洞具有的一尺寸將使得

觀 2099-4795-PF(N);ahddub.ptd 五、發明說明（2) 的問題。 需小於 膜片產生彎曲 易以微影方法 在一金屬板上 有吸取用空間 形成開 且 成金屬板也形 這樣的尺寸 於吸取用空 氣通道的直徑 結構強度。 和優點能更明 圖式，作詳細 ,、路板膜片被吸起時不致於曲而造 根據發明人的研究，上述孔洞的= ^以防止一般平均厚約5 0 // m的電路板 而=曝光的問題。而這樣小的孔洞：= 低價製造出來的。 疋倀令 ,在以从衫方法製作小的孔洞時，較佳是 形成孔洞且以此金屬板為一吸取板。 形成有孔洞的金屬吸取板較佳是由一且 的一支撐部所支撐。 〃 上述吸取用空間可在支撐部的一表面上 吸取板可以黏著或類似方式設置在此表面上 …此吸取用空間大體上必需很小而不會造 成彎曲。舉例來說，其可約具有lmm的厚度， 就不會讓金屬板彎曲而造成曝光的問題。又 上述的支撐部可提供具有一空氣通道連 間，再連到用於吸起電路板膜片的裝置。空 較佳是小於吸取用空間以維持整個支樓部$ 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、 顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合^斤附 說明如下。 較佳實施例的詳細說明】 先由所附$ 1圖所顯示的一對正裝置來說 一電路板膜片1被放置在一承载台i上以印出具^二電 2〇99-4795-PF(N);ahddub.ptd 五、發明說明（3) 路圖案。藉由第2圖所示 洞2 0被吸在承栽台j上 西的吸取板2，膜片W可由吸取孔 而11為一真空裝置。 杯示為一電磁線圈（solenoid) 承載台可藉由配 上移動以及在一0备从一移轉裝置15在一 軸的方向 一光罩5具有—角電的方向上轉動。 經由承載台1的調整而斑曰案將印製在膜片W上。光罩5將 藉由一影像處理機9由二$片W對正，而承載台1的調整是 1 5達成。對正之後， D 7處接收訊號來控制移轉裝置 緊密相鄰，在這樣的情況和，膜^片W將靠在一起相互接觸而 光線使光罩5上的電路闻，一曝光光源δ才能發出曝光 如第2圖所示至膜片w° 部3。平板2為一薄的金，包含-吸取用的平板2和支撐 洞20。吸取孔洞20較佳馎I個表面上形成有吸取孔 能在低成本要求上精=法形成，原因是此方法 诒地形成這些孔洞20。 及取孔洞20的直徑較佳是小於〇.“ 5〇 # m的情況而不會造成膜 、於膜片W約為 題。 成膜片w形成幫曲而產生曝光的問 支撐部3具有空間30，這些空間3〇在吸取 撐部3的一面形成開口。 〇置於支 及取用的平板2藉由黏著或類似的方式 一起。 /、支撐部3結合 如第3圖所示，空間30並沒有貫穿支撐部3， 由直徑小於空間30的空氣通道3丨連到一底Λ "，而是經 一。丨通道32。底部

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L iL 3 2則連到與圖1所示的電磁線圈1 〇和真空裝置1 〇 的一連接通道33。 ^ 空氣通道31的直徑小於空間30將可維持支撐部3的結 構強度。 空間30的直徑可大於吸取孔洞2〇，且其尺寸將使平板 2不會形成彎曲而造成曝光的問題。在此較佳實施例中， 配合吸取板2的厚度為lmm時空間3〇的直徑可為3mm。 如第4圖所示為本發明另一較佳實施例之支撐部3，。 可清楚比較出空間30並非形成圖形而是方形，空間3〇, 適用任何其它形狀。 如上述所 電磁線圈1 0由 成曝光的問題 曝光製程可順 如上所述 成電路板膜片 順利完成高精 雖然本發 限定本發明， 和範圍内，當 範圍當視後附 返的結構， 真空裝置1 1 。原因是吸 利被完成。 ’本發明用 在曝光時形 確度的曝光 明已以較佳 任何熟習此 可作些許之 之申請專利

吸起時，膜片W將不會彎曲而造 取孔洞20很小，所以高精密度 於對正裝置之膜片承載台不會 成彎曲而產生曝光的問題，而 程序。

貫施例揭露如上，然其並非用 技藝者，在不脫離本發明之精 更動與潤飾，因此本發明之保 範圍所界定者為準。

522289 圖式簡單說明 第1圖繪示本發明一較佳實施例的一立體示意圖。 第2圖繪示上述本發明較佳實施例部份位置的分解示 意圖。 第3圖繪示上述本發明較佳實施例的部份剖視圖。 第4圖繪示本發明另一較佳實施例的一立體示意圖。 符號說明： W〜電路板膜片 2〜吸取板； 5〜光罩； 7〜CCD ; 卜承載台； 3〜支撐部； 6〜曝光光源； 9〜影像處理機 10 11 20 31 33 電磁線圈（solenoid); 真空裝置 吸取孔洞 空氣通道 連接通道 15〜移轉裝置； 30、30’〜空間 32〜底部通道；

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Claims (1)

1. 522289

   用於製作印刷 六、申請專利範圍 1· 一種用於對正裝置之膜片承載台 電路板，包括： 複數孔洞，以吸起該電路板，該電路板於該膜片 台的一表面上具有一孔徑；以及 栽 一吸取裝置，連於該孔洞以吸起該電路板； 不 其中該孔洞具有的一尺寸將使得該電路板被吸起時 致於彎曲而造成曝光的問題。 守 2· —種用於對正裝置之膜片承載台，用於製作印 電路板，包括 刷 一吸取板’具有複數孔洞以吸起該電路板；以及 一吸取裝置，連於該孔洞以經由該孔洞吸起該電路 板； 其中該孔洞具有的一尺寸將使得該電路板被吸起時不 致於彎曲而造成曝光的問題。 3· —種用於對正裝置之膜片承載台，用於製作印刷 電路板，包括： 一吸取板’具有複數孔洞以吸起該電路板； 一支撐部，具有一吸取用空間，連於該吸取板的該孔 洞以吸起該電路板；以及 一吸取裝置，連於該孔洞以經由該孔洞吸起該電路 板； 其中該孔洞具有的一尺寸將使得該電路板被吸起時不 致於彎曲而造成曝光的問題。 4·如申請專利範圍第1項所述之膜片承載台，其中

   2099-4795-PF(N);ahddub.p t d 第10頁 522289 六、申請專利範圍 該孔洞的直徑小於0. 4mm。 5 ·如申請專利範圍第2項所述之膜片承載台，其中 該孔洞的直徑小於0. 4mm。 6 .如申請專利範圍第3項所述之膜片承載台，其中 該孔洞的直徑小於0. 4mm。 7 .如申請專利範圍第3項所述之膜片承載台，其中 該吸取用空間於該支撐部的一平面形成開口，該吸取板並 設置在該支撐部的該平面上。 8 .如申請專利範圍第3項所述之膜片承載台，其中 該吸取用空間的尺寸小到使得該吸取板不會形成變曲而造 成曝光的問題。 9.如申請專利範圍第3項所述之膜片承載台，其中 該支撐部具有一空氣通道，該空氣通道的直徑小於該吸取 用空間的直徑。

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