KR100846758B1 - 챔버의 내압 제어 장치 및 내압 피제어식 챔버 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 공급 가스 입력부; 공급 가스 출력부; 상기 가스 입력부와 가스 출력부 사이에 배치된 가스 유량 제어부; 및 상기 공급 가스 출력부로부터의 출력 가스를 받는 챔버의 압력 데이터를 상기 가스 유량 제어부에 제공하는 수단을 갖는 챔버의 내압 제어 장치에 있어서:상기 가스 유량 제어부는 병렬상으로 접속된 복수의 압력식 유량 제어 장치, 및 상기 복수의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 신호 제어 장치를 구비하고, 상기 압력식 유량 제어 장치를 오리피스와, 오리피스 상류측에 설치된 압력 검출기와, 압력 검출기의 상류측에 설치된 컨트롤 밸브, 및 압력 검출기의 검출 압력(P1)으로부터 오리피스를 통과하는 가스 유량(Qc)을 Qc=KP1(단, K는 임의의 정수)에 의해 연산하여 설정 유량(Qs)과의 차이(Qy)를 상기 컨트롤 밸브의 구동용 신호로서 출력하는 연산 제어부를 포함해서 형성하고, 오리피스 상류측 압력(P1)을 하류측 압력(P2)의 2배 이상으로 유지한 상태하에서 사용하는 압력식 유량 제어 장치로 함과 아울러, 상기 복수의 압력식 유량 제어 장치 중 하나의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량 중 10% 이하의 가스 유량 영역을 가변 제어하는 장치로 함과 아울러 잔여의 압력식 유량 제어 장치를 10% 이상의 가스 유량 영역을 가변 제어하는 장치로 하고, 상기 챔버의 압력 데이터를 상기 복수의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 신호 제어 장치로 피드백함과 아울러, 상기 피드백된 압력 데이터에 기초하여 상기 압력식 유량 제어 장치로의 제어 신호를 비교 보정하여, 상기 가스 출력부로의 가스 공급량을 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 신호 제어 장치는 챔버로 공급하는 가스 유량을 설정하는 입력 설정부, 상기 입력 설정부로의 입력값을 유량 제어 신호로 변환하는 제 1 신호 변환부, 챔버내의 검출 압력을 유량 제어 신호로 변환하는 제 2 신호 변환부, 및 양 신호 변환부로부터의 유량 제어 신호의 비교 보정부를 구비하고, 상기 비교 보정부로부터 각 압력식 유량 제어 장치로 보정된 제어 신호를 발신함으로써 챔버로의 가스 공급량을 제어하는 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 병렬상으로 접속되는 압력식 유량 제어 장치를 2기로 하고, 한쪽을 소유량 영역을 제어하는 소유량 레인지의 압력식 유량 제어 장치로 하고, 다른 쪽을 대유량 영역을 제어하는 대유량 레인지의 압력식 유량 제어 장치로 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 병렬상으로 접속되는 압력식 유량 제어 장치를 소유량용 압력식 유량 제어 장치 및 대유량용 압력식 유량 제어 장치로 하고, 챔버로 공급되는 유량이 최대유량의 1/10 이하인 경우에 소유량용 압력식 유량 제어 장치가 작동되고, 상기 유량이 최대유량의 1/10 이상인 경우에는 소유량용 및 대유량용 압력식 유량 제어 장치가 동시에 작동되어, 챔버로 공급되는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 신호 제어 장치의 신호 변환부로부터 발신된 제어 신호에 의해 복수의 압력식 유량 제어 장치를 그 제어 유량 영역이 작은 압력식 유량 제어 장치로부터 차례대로 작동시키는 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,진공 펌프로 별도로 설치된 압력식 유량 제어 장치를 통해 가스를 공급함으로써 진공 펌프의 배기 능력을 조정하고, 이것에 의해 프로세스 챔버의 내압을 소정의 압력값으로 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 병렬상으로 접속된 복수의 압력식 유량 제어 장치를 4개 이상의 유닛으로 설치하고, 복수 종류의 가스를 챔버로 공급하는 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 신호 제어 장치는, 각 유량 영역을 분담하는 압력식 유량 제어 장치로 발신하는 제어 신호의 상승률을 조정하는 제어 신호 상승률 설정 기구를 더 포함하고, 상기 제어 신호의 발신으로부터 소정의 시간 경과후에 상기 압력식 유량 제어 장치가 설정 유량의 가스 유량을 공급하는 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 장치.
- 진공 펌프에 의해 배기되는 챔버와 상기 챔버로 가스를 유량 제어하면서 공급하는 가스 공급 수단을 포함하고;상기 가스 공급 수단은 병렬상으로 접속된 복수의 압력식 유량 제어 장치, 및 상기 복수의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 신호 제어 장치를 구비하고, 상기 압력식 유량 제어 장치를 오리피스와, 오리피스 상류측의 압력 검출기와, 압력 검출기의 상류측에 설치된 컨트롤 밸브, 및 압력 검출기의 검출 압력(P1)으로부터 오리피스를 통과하는 가스 유량(Qc)을 Qc=KP1(단, K는 임의의 정수)에 의해 연산하여 설정 유량(Qs)과의 차이(Qy)를 상기 컨트롤 밸브의 구동용 신호로서 출력하는 연산 제어부를 포함해서 형성하고, 오리피스 상류측 압력(P1)을 하류측 압력(P2)의 2배 이상으로 유지한 상태하에서 사용하는 압력식 유량 제어 장치로 함과 아울러, 상기 복수의 압력식 유량 제어 장치 중 하나의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량 중 10% 이하의 가스 유량 영역을 가변 제어하는 장치로 함과 아울러 잔여의 압력식 유량 제어 장치를 10% 이상의 가스 유량 영역을 가변 제어하는 장치로 하고, 더욱이 상기 챔버에 압력 검출기를 설치함과 아울러 상기 압력 검출기의 검출값을 상기 신호 제어 장치로 피드백하고, 상기 피드백된 검출값에 기초하여, 압력식 유량 제어 장치로의 제어 신호를 비교 보정하여 챔버로의 가스 공급량을 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 내압 피제어식 챔버.
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