JPH08335846A - 圧電部品 - Google Patents

圧電部品

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JPH08335846A
JPH08335846A JP16802395A JP16802395A JPH08335846A JP H08335846 A JPH08335846 A JP H08335846A JP 16802395 A JP16802395 A JP 16802395A JP 16802395 A JP16802395 A JP 16802395A JP H08335846 A JPH08335846 A JP H08335846A
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JP
Japan
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electrodes
piezoelectric
vibrating
piezoelectric substrate
electrode
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JP16802395A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Asano
野 博 之 浅
Yoshinori Nishiura
浦 義 範 西
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短絡不良の生じない圧電部品を提供する。 【構成】 ダブルトラップフィルタ10は、圧電体基板
12および18を含む。圧電体基板12および18は、
厚み方向に対向するようにして、互いに固着される。圧
電体基板12の両主面には、振動電極14a,14b,
14cおよび14dが形成される。圧電体基板18の両
主面には、振動電極20a,20b,20cおよび20
dが形成される。圧電体基板12および18は、同じ極
性の振動電極同士が対向するようにして、すなわち、振
動電極14cおよび14dと振動電極20aおよび20
bとが対向するようにして、接着剤24によって互いに
固着される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は圧電部品に関し、特に
たとえば、ダブルトラップフィルタやトリプルトラップ
フィルタなどの圧電部品に関する。
【0002】
【従来の技術】図7はこの発明の背景となる従来の圧電
部品の一例を示す斜視図であり、図8は、その線VII
I−VIIIにおける断面図である。また、図9は、図
7に示す従来例の分解斜視図である。この圧電部品1
は、たとえばPZTなどの圧電体からなる矩形の圧電体
基板2を含む。圧電体基板2の一方主面には、その長手
方向に間隔を隔てて、2つの円形の振動電極3aおよび
3bが形成される。これらの振動電極3aおよび3bか
ら圧電体基板2の長手方向における一端部および他端部
に延びて、たとえば略T字形の引き出し電極4aおよび
4bがそれぞれ形成される。
【0003】圧電体基板2の他方主面には、図9に示す
ように、2つの振動電極3cおよび3dが、振動電極3
aおよび3bに対向するように形成される。また、圧電
体基板2の他方主面には、振動電極3cおよび3dの中
間に、圧電体基板2の幅方向に延びるようにして、引き
出し電極4cが形成される。この引き出し電極4cは、
2つの振動電極3cおよび3dに延びて接続される。
【0004】さらに、圧電体基板2の下には、圧電体基
板1と同様の振動電極を有する圧電体基板5が形成され
る。すなわち、矩形の圧電体基板5は、たとえばPZT
などの圧電体から形成される。圧電体基板5の一方主面
には、その長手方向に間隔を隔てて、2つの円形の振動
電極6aおよび6bが形成される。これらの振動電極6
aおよび6bから圧電体基板2の長手方向における一端
部および他端部に延びて、たとえば略T字形の引き出し
電極7aおよび7bがそれぞれ形成される。
【0005】圧電体基板5の他方主面には、圧電体基板
2の振動電極3cおよび3dと同様に、2つの振動電極
6cおよび6dが、振動電極6aおよび6bに対向する
ように形成される。また、圧電体基板5の他方主面に
は、振動電極6cおよび6dの中間に、圧電体基板5の
幅方向に延びるようにして、圧電体基板2の引き出し電
極4cと同様に、引き出し電極7cが形成される。この
引き出し電極7cは、2つの振動電極6cおよび6dに
延びて接続される。
【0006】図8に示すように、圧電体基板2と圧電体
基板5とは、それらの間に間隔が生じるようにして、接
着剤8によって互いに固着される。この間隔は、接着剤
8の厚みによって設けられる。この間隔は、振動電極3
cおよび3dと振動電極6aおよび6bとが短絡しない
ようにし、かつ、それらの電極による振動を妨げないよ
うにするためのものである。また、この圧電部品1に
は、その長手方向における一端部および他端部に、入出
力用の外部電極9aおよび9bが形成される。外部電極
9aによって、引き出し電極4aと引き出し電極7aと
が電気的に接続される。また、外部電極9bによって、
引き出し電極4bと引き出し電極7bとが電気的に接続
される。さらに、圧電部品1の側面の中間部には、図7
に示すように、グランド電極としての外部電極9cが形
成される。外部電極9cによって、引き出し電極4cと
引き出し電極7cとが電気的に接続される。
【0007】したがって、入出力用として用いられる外
部電極9aおよび9bは、引き出し電極4a,4b,7
aおよび7bを介して、振動電極3a,3b,6aおよ
び6bと電気的に接続される。また、グランド電極とし
て用いられる外部電極9cは、引き出し電極4cおよび
7cを介して、振動電極3c,3d,6cおよび6dと
電気的に接続される。こうして、図7に示す従来例の圧
電部品1は、図10に示す回路構成となり、ダブルトラ
ップフィルタとして用いられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この圧
電部品1は、図8および図9に示すように、逆極性の振
動電極3cおよび3dと、振動電極6aおよび6bと
が、対向して形成されているので、図10に示すよう
に、短絡不良が発生しやすい。この原因としては、たと
えば接着剤8の厚みが薄すぎた場合や、圧電体基板2と
圧電体基板5との間に導電性を有する異物が嵌入してし
まった場合などがある。なお、短絡不良を防止するため
に、圧電体基板2と圧電体基板5との間に絶縁物を設け
ることも考えられる。しかし、この場合には、その絶縁
物によって圧電体基板2および5の振動がダンピングさ
れるため、圧電部品1の特性が劣化し好ましくない。
【0009】それゆえに、この発明の主たる目的は、短
絡不良の生じない圧電部品を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電部
品は、厚み方向に対向するようにして、互いに固着され
た複数の圧電体基板と、圧電体基板の両主面にそれぞれ
形成される振動電極とを含み、複数の圧電体基板は、同
じ極性の振動電極同士が対向するようにして互いに固着
される、圧電部品である。
【0011】また、複数の圧電体基板は、振動のダンピ
ングを防止するために、振動電極の周囲にそれぞれ間隔
を有しながら互いに固着されることが好ましい。
【0012】さらに、複数の圧電体基板は、グランド電
極に接続された振動電極同士が対向するようにして、互
いに固着されてもよい。
【0013】また、複数の圧電体基板は、入出力用電極
に接続された振動電極同士が対向するようにして、互い
に固着されてもよい。
【0014】
【作用】複数の圧電体基板は、同じ極性の振動電極同士
が対向するようにして、互いに固着される。そのため、
この圧電部品では、対向した振動電極同士が接触した
り、導電性を有する異物が嵌入したりした場合にも、短
絡不良が発生しない。
【0015】
【発明の効果】この発明によれば、短絡不良の生じない
圧電部品を得ることができる。また、圧電体基板間に絶
縁物を設ける必要性もないため、ダンピングによる特性
の劣化も防ぐことができる。
【0016】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0017】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
る。図2はその線II−IIにおける断面図である。ま
た、図3は、図1に示す圧電部品の分解斜視図である。
この実施例の圧電部品10は、ダブルトラップフィルタ
として用いられる。圧電部品10は、たとえばPZTな
どの圧電体からなる矩形の圧電体基板12を含む。圧電
体基板12の一方主面には、その長手方向に間隔を隔て
て、2つの円形の振動電極14aおよび14bが形成さ
れる。これらの振動電極14aおよび14bから圧電体
基板12の長手方向における一端部および他端部に延び
て、たとえば略T字形の引き出し電極16aおよび16
bがそれぞれ形成される。また、振動電極14aおよび
14bの中間に、圧電体基板12の幅方向に延びるよう
にして、細長い板状の引き出し電極16cが形成され
る。
【0018】圧電体基板12の他方主面には、たとえば
図3に示すように、2つの振動電極14cおよび14d
が、圧電体基板12を挟んで振動電極14aおよび14
bと対向するように形成される。また、圧電体基板12
の他方主面には、振動電極14cおよび14dの中間
に、圧電体基板12の幅方向に延びるようにして、細長
い板状の引き出し電極16dが形成される。この引き出
し電極16dは、2つの振動電極14cおよび14dに
延びて接続される。
【0019】圧電体基板12の下には、たとえばPZT
などの圧電体からなる矩形の圧電体基板18が形成され
る。圧電体基板18の両主面には、圧電体基板12と同
じ電極パターンが形成される。すなわち、圧電体基板1
8の一方主面には、圧電体基板12の振動電極14cお
よび14dと同様に、長手方向に間隔を隔てて、2つの
円形の振動電極20aおよび20bが形成される。振動
電極20aおよび20bは、振動電極14cおよび14
dと対向するようにして配置される。また、振動電極2
0aおよび20bの中間には、圧電体基板12の引き出
し電極16dと同様に、圧電体基板18の幅方向に延び
るようにして、細長い板状の引き出し電極22aが形成
される。この引き出し電極22aは、2つの振動電極2
0aおよび20bに延びて接続される。
【0020】また、圧電体基板18の他方主面には、そ
の長手方向に間隔を隔てて、図1に示す振動電極14a
および14bと同様の、2つの円形の振動電極20cお
よび20dが形成される。これらの振動電極20cおよ
び20dから圧電体基板12の長手方向における一端部
および他端部に延びて、図1に示す引き出し電極16a
および16bと同様の、略T字形の引き出し電極22b
および22cがそれぞれ形成される。また、振動電極2
0cおよび20dの中間には、圧電体基板18の幅方向
に延びるようにして、図1に示す引き出し電極16cと
同様の、細長い板状の引き出し電極22dが形成され
る。
【0021】そして、圧電体基板12と圧電体基板18
とは、図2に示すように、接着剤24によって互いに固
着される。このとき、圧電体基板12と、圧電体基板1
8との間には、接着剤24の厚み分の間隔が設けられ
る。そのため、圧電体基板12の振動電極14cおよび
14dと、圧電体基板18の振動電極20aおよび20
bとの間の振動のダンピングが防止される。
【0022】また、この圧電部品10には、その長手方
向における一端部および他端部の端面には、入出力用電
極として、たとえば略U字形状の外部電極26aおよび
26bが形成される。外部電極26aによって、引き出
し電極16aおよび22bが互いに電気的に接続され
る。また、外部電極26bによって、引き出し電極16
bおよび22cが互いに電気的に接続される。さらに、
圧電部品10の側面の中間部の端面には、グランド電極
として、たとえば板状の外部電極26cが形成される。
外部電極26cによって、引き出し電極16c,16
d,22aおよび22dが互いに電気的に接続される。
【0023】したがって、入出力用電極として用いられ
る外部電極26aおよび26bは、引き出し電極16
a,16b,22bおよび22cを介して、振動電極1
4a,14b,20cおよび20dと電気的に接続され
る。また、グランド電極として用いられる外部電極26
cは、引き出し電極16dおよび22aを介して、振動
電極14c,14d,20aおよび20bと電気的に接
続される。そのため、図1に示す圧電部品10は、図4
に示す回路構成となり、ダブルトラップフィルタとして
用いられる。
【0024】この実施例では、圧電体基板12および1
8が、振動電極14cおよび14dと振動電極20aお
よび20bとが対向する方向に、接着剤24によって互
いに固着される。この場合、上述のように、振動電極1
4cおよび14dと振動電極20aおよび20bとは、
それぞれグランド電極として用いられる外部電極26c
に接続されている。したがって、圧電体基板12および
18は、同じ極性の振動電極同士が対向するようにし
て、互いに固着されることになる。そのため、この圧電
部品10では、振動電極14cおよび14dと振動電極
20aおよび20bとが接触したり、それらの間に導電
性を有する異物が嵌入したりした場合にも、互いに同一
極性であるため短絡不良が発生しない。
【0025】このように、この実施例によれば、短絡不
良の生じない圧電部品10を得ることができる。また、
圧電体基板12および18の間に絶縁物を設ける必要が
ないため、振動のダンピングによる特性劣化を防ぐこと
ができる。また、この実施例の圧電部品10では、引き
出し電極16cおよび22dによって、圧電体基板12
の一方主面および圧電体基板18の他方主面にそれぞれ
グランド電極が引き出さる。そのため、圧電部品10の
実装時の方向性を無くすことができる。
【0026】また、図5は、この発明の他の実施例を示
す斜視図であり、図6は、図5に示す圧電部品の線VI
−VIにおける断面図である。この実施例の圧電部品3
0は、トリプルトラップフィルタとして用いられる。こ
の圧電部品30は、図1に示す実施例と同様の圧電体基
板12および18を含む。圧電体基板12および18の
それぞれの両主面には、それぞれ図1に示す実施例と同
様の構成で振動電極および引き出し電極が形成される。
【0027】図5に示す実施例では、図1に示す実施例
と比べて、圧電体基板12′を含む。圧電体基板12′
は、圧電体基板18の他方主面に対向するようにして形
成される。圧電体基板12′の一方主面には、図5に示
す振動電極14aおよび14bと同様に、長手方向に間
隔を隔てて、2つの円形の振動電極14a′および14
b′が形成される。振動電極14a′および14b′
は、圧電体基板12′を挟んで圧電体基板18の振動電
極20cおよび20dと対向するようにして形成され
る。これらの振動電極14a′および14b′から圧電
体基板12′の長手方向における一端部および他端部に
延びて、たとえば略T字形の引き出し電極16a′およ
び16b′が、図5に示す引き出し電極16aおよび1
6bと同様に形成される。また、振動電極14a′およ
び14b′の中間に、圧電体基板12′の幅方向に延び
るようにして、図5に示す引き出し電極16cと同様に
細長い板状の引き出し電極16c′が形成される。
【0028】圧電体基板12′の他方主面には、図5に
示した振動電極14cおよび14dと同様に、2つの振
動電極14c′および14d′が、振動電極14a′お
よび14b′と圧電体基板12′を挟んで対向するよう
に形成される。また、圧電体基板12′の他方主面に
は、振動電極14c′および14d′の中間に、圧電体
基板12′の幅方向に延びるようにして、図5に示す引
き出し電極16dと同様に、細長い板状の引き出し電極
16d′が形成される。さらに、この引き出し電極16
d′は、2つの振動電極14c′および14d′に延び
て接続される。
【0029】この圧電体基板12′は、図6に示すよう
に、圧電体基板18の他方主面に接着剤24′によって
固着される。このとき、圧電体基板12′と、圧電体基
板18との間には、接着剤24′の厚み分の間隔が設け
られる。そのため、圧電体基板18の振動電極20cお
よび20dと、圧電体基板12′の振動電極14a′お
よび14b′との間の振動のダンピングが防止される。
【0030】また、図5に示すように、この圧電部品3
0には、その長手方向における一端部および他端部の端
面には、入出力用電極として、たとえば略U字形状の外
部電極26aおよび26bが形成される。外部電極26
aによって、引き出し電極16a,22bおよび16
a′が互いに電気的に接続される。また、外部電極26
bによって、引き出し電極16b,22cおよび16
b′が互いに電気的に接続される。また、圧電部品30
の側面の中間部の端面には、グランド電極として、たと
えば板状の外部電極26cが形成される。外部電極26
cによって、引き出し電極16c,16d,22a,2
2d,16c′および16d′が互いに電気的に接続さ
れる。
【0031】したがって、入出力用電極として用いられ
る外部電極26aおよび26bは、引き出し電極16
a,16a′,16b,16b′,22bおよび22c
を介して、振動電極14a,14a′,14b,14
b′,20cおよび20dと電気的に接続される。ま
た、グランド電極として用いられる外部電極26cは、
引き出し電極16d,16d′および22aを介して、
振動電極14c,14c′,14d,14d′,20a
および20bと電気的に接続される。
【0032】図5に示す実施例では、圧電体基板12お
よび18が、振動電極14cおよび14dと振動電極2
0aおよび20bとが対向する方向に、接着剤24によ
って互いに固着される。この場合、上述のように、振動
電極14cおよび14dと振動電極20aおよび20b
とは、それぞれグランド電極として用いられる外部電極
26cに接続されている。また、圧電体基板18および
12′が、振動電極20cおよび20dと振動電極14
a′および14b′とが対向する方向に、接着剤24′
によって互いに固着される。この場合、上述のように、
振動電極20cおよび20dと振動電極14a′および
14b′とは、それぞれ入出力電極として用いられる外
部電極26aおよび26bに接続されている。
【0033】したがって、圧電体基板12,18および
12′は、同じ極性の振動電極同士が対向するようにし
て、互いに固着されることになる。そのため、この圧電
部品30では、振動電極14cおよび14dと振動電極
20aおよび20bとが接触したり、それらの間に導電
性を有する異物が嵌入したりした場合にも、これらの振
動電極は互いに同一極性であるため、短絡不良が発生し
ない。同様に、この圧電部品30では、振動電極20c
および20dと振動電極14a′および14b′とが接
触したり、それらの間に導電性を有する異物が嵌入した
りした場合にも、これらの振動電極は互いに同一極性で
あるため、短絡不良が発生しない。
【0034】このように、図5に示す実施例によれば、
短絡不良の生じない圧電部品30を得ることができる。
また、圧電体基板12,18および12′のそれぞれの
間に絶縁物を設ける必要性もないため、振動のダンピン
グによる特性劣化を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
る。
【図2】図1に示す圧電部品の線II−IIにおける断
面図である。
【図3】図1に示す圧電部品の分解斜視図である。
【図4】図1に示す圧電部品の等価回路図である。
【図5】この発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図6】図5に示す圧電部品の線VI−VIにおける断
面図である。
【図7】この発明の背景となる従来の圧電部品の一例を
示す斜視図である。
【図8】図7に示す圧電部品の線VIII−VIIIに
おける断面図である。
【図9】図7に示す圧電部品の分解斜視図である。
【図10】図7に示す圧電部品の等価回路図である。
【符号の説明】
10 圧電部品 12 圧電体基板 14a,14b,14c,14d 振動電極 16a,16b,16c,16d 引き出し電極 18 圧電体基板 20a,20b,20c,20d 振動電極 22a,22b,22c,22d 引き出し電極 24 接着剤 26a,26b,26c 外部電極

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 厚み方向に対向するようにして、互いに
    固着された複数の圧電体基板、および前記圧電体基板の
    両主面にそれぞれ形成される振動電極を含み、 複数の前記圧電体基板は、同じ極性の前記振動電極同士
    が対向するようにして互いに固着される、圧電部品。
  2. 【請求項2】 複数の前記圧電体基板は、前記振動電極
    の周囲にそれぞれ間隔を有しながら互いに固着される、
    請求項1に記載の圧電部品。
  3. 【請求項3】 グランド電極に接続された前記振動電極
    同士が対向するようにして互いに固着される、請求項1
    または請求項2に記載の圧電部品。
  4. 【請求項4】 入出力用電極に接続された前記振動電極
    同士が対向するようにして互いに固着される、請求項1
    または請求項2に記載の圧電部品。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6369487B1 (en) * 1999-03-29 2002-04-09 Murata Manufacturing Co., Inc. Piezoelectric resonance component
US7594517B2 (en) 2003-07-31 2009-09-29 Fujikin Incorporated Gas supply facility of a chamber and a method for an internal pressure control of the chamber for which the facility is employed
US7798167B2 (en) 2003-10-06 2010-09-21 Fujikin Incorporated Internal pressure controller of chamber and internal pressure subject-to-control type chamber

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