JP6475516B2 - 圧力制御装置 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 被圧力制御対象内を設定圧力に保つ圧力制御装置であって、
圧力センサにより検出された被圧力制御対象内の圧力を示す圧力信号を、前記設定圧力を示す設定圧力信号に近づくように補正する補正手段と、
補正された前記圧力信号と、前記設定圧力信号とを比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づき流量制御バルブの開閉を制御するバルブ駆動手段と、を備え、
前記補正手段は、フィルタ回路であり、その周波数特性は、所定の周波数でピークを有し、前記圧力信号の前記所定の周波数の成分を持ち上げるように、前記圧力信号を補正する、圧力制御装置。 - 前記所定の周波数は、前記被圧力制御対象と前記圧力制御装置との間の配管のガスの流量と前記被圧力制御対象の容積との関係、および/または前記配管の長さに基づき決定される、請求項1の圧力制御装置。
- 前記圧力信号が、前記設定圧力信号よりも大きな値を示し、かつ減少するように変化しているときは、前記圧力信号は、前記補正手段により、その値が小さくなるように補正される、請求項1または請求項2の圧力制御装置。
- 前記圧力信号が、前記設定圧力信号よりも小さな値を示し、かつ増加するように変化しているときは、前記圧力信号は、前記補正手段により、その値が大きくなるように補正される、請求項1または請求項2の圧力制御装置。
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