JP2015516044A5 - - Google Patents
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Description
ウェイクアップ信号を受けると、コントローラ３０は、真空ポンプ装置２０への電力供給を増大させかつブースタポンプ２２およびバッキングポンプ２４の速度をそれぞれのアイドル速度からより高いレベルに上昇させる。コントローラ３０は、少なくとも真空ポンプ装置２０がアイドルモードから起動され、ブースタポンプ２２が所定の閾値に等しいかこれを超える温度に到達するときまでの時間、ブースタポンプ２２の出口のバッキング圧力を制御し、上昇させかつ少なくとも一定時間０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に維持する。これは、ブースタポンプ２２を通常状態で作動させるのに必要である。本明細書で開示する圧力範囲は、従来の一般的なウォーミングアップ工程におけるブースタポンプのバッキング圧力より高い。
Claims (16)
- ブースタポンプと、プロセスチャンバを真空引きするための、ブースタポンプの下流側のバッキングポンプとを有する真空ポンプ装置をウォーミングアップする方法において、
ブースタポンプがアイドルモードにあるときのブースタポンプのアイドル速度より速い第１速度にブースタポンプを設定する工程と、
真空ポンプ装置がアイドルモードから付勢されるときから、ブースタポンプが第１所定閾値に等しいかまたはこれを超える温度に到達するときまでの少なくとも一定時間、ブースタポンプの出口でのバッキング圧力を０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に制御する工程とを有することを特徴とする方法。 - 前記バッキング圧力を制御する工程は、入口がブースタポンプの出口に連結されたバッキングポンプの速度を調節することからなることを特徴とする請求項１記載の方法。
- 前記バッキングポンプは、真空ポンプ装置がアイドルモードから付勢されたときに、第２速度に設定されることを特徴とする請求項２記載の方法。
- 前記バッキングポンプの第２速度は、ブースタポンプのバッキング圧力が０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に入るようにするため、所定レベルに低下されることを特徴とする請求項３記載の方法。
- 前記第２速度は、多数の時間間隔に亘って増分的に所定レベルまで低下されることを特徴とする請求項４記載の方法。
- 前記バッキング圧力を制御する工程は、ブースタポンプの出口でパージガスを注入することからなることを特徴とする請求項１記載の方法。
- 前記パージガスの流量は、ブースタポンプのバッキング圧力が０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に調節されるように制御されることを特徴とする請求項６記載の方法。
- 前記真空ポンプ装置は、ブースタポンプの温度が第１所定閾値に等しいかまたはこれを超え、かつバッキングポンプの温度が第２所定閾値に等しいかまたはこれを超えるときに、通常作動モードにあるプロセスチャンバを真空引きする準備をするように設定され、この場合、第１所定閾値と第２所定閾値とは同じでもよいし、同じでなくてもよいことを特徴とする請求項１記載の方法。
- プロセスチャンバと、
該プロセスチャンバの出口に流体的に連結された入口を備えたブースタポンプと、
該ブースタポンプの出口に流体的に連結された入口を備えたバッキングポンプであって、ブースタポンプと協働してプロセスチャンバの真空引きを行うバッキングポンプと、
ブースタポンプおよびバッキングポンプに電気的に接続されたコントローラとを有し、該コントローラは、ブースタポンプおよびバッキングポンプがアイドルモードから付勢されるときから、ブースタポンプが第１所定閾値に等しいかまたはこれを超える温度に到達するときまでの少なくとも一定時間、ブースタポンプの出口でのバッキング圧力を０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に制御するように構成されていることを特徴とする装置。 - 前記コントローラは、バッキングポンプの速度を調節することによりブースタポンプのバッキング圧力を制御することを特徴とする請求項９記載の装置。
- 前記コントローラは、真空ポンプ装置がアイドルモードから付勢されたとき、バッキングポンプを所定速度に設定することを特徴とする請求項１０記載の装置。
- 前記コントローラは、バッキングポンプの所定速度を所定レベルに低下させ、ブースタポンプのバッキング圧力を０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に下降させることを特徴とする請求項１１記載の装置。
- 前記コントローラは、前記所定速度を、多数の時間間隔に亘って増分的に所定レベルまで低下させることを特徴とする請求項１２記載の装置。
- 前記ブースタポンプの出口に流体的に連結されたパージガス源を更に有することを特徴とする請求項９記載の装置。
- 前記コントローラは、ブースタポンプの出口で注入されるパージガスの流量を制御して、ブースタポンプのバッキング圧力を０．１ミリバールから１０ミリバールの範囲内に制御することを特徴とする請求項１４記載の装置。
- 前記ブースタポンプおよびバッキングポンプは、ブースタポンプの温度が第１所定閾値に等しいかまたはこれを超え、かつバッキングポンプの温度が第２所定閾値に等しいかまたはこれを超えるときに、通常作動モードにあるプロセスチャンバを真空引きする準備をするように設定され、この場合、第１所定閾値と第２所定閾値とは同じでもよいし、同じでなくてもよいことを特徴とする請求項９記載の装置。
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